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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024142090
(43)【公開日】2024-10-10
(54)【発明の名称】支持装置および支持方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/683 20060101AFI20241003BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 N
【審査請求】未請求
【請求項の数】4
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023054083
(22)【出願日】2023-03-29
(71)【出願人】
【識別番号】000102980
【氏名又は名称】リンテック株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110000637
【氏名又は名称】弁理士法人樹之下知的財産事務所
(72)【発明者】
【氏名】森 誠治
(72)【発明者】
【氏名】中村 勝彦
(72)【発明者】
【氏名】荒井 善男
【テーマコード（参考）】
5F131
【Ｆターム（参考）】
5F131AA02
5F131AA03
5F131AA12
5F131AA13
5F131BA00
5F131CA45
5F131CA46
5F131EB02
5F131EB03
5F131EC31
5F131KA12
5F131KA40
(57)【要約】
【課題】支持部材を追加する場合にセンサを追加することなく、支持部材に付与された情報を読み取ることができる支持装置および支持方法を提供する。
【解決手段】支持装置ＥＡ１は、情報が付与された支持部材１１～１６で支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２を支持する支持手段１０と、支持部材１１～１６を移動させる移動手段２０と、支持部材１１～１６に付与された情報を読み取る読取手段３０とを備え、情報は、支持部材１１～１６の形状および支持部材１１～１６の色の少なくとも一方によって決定され、読取手段３０は、所定の検知領域ＤＡをセンシングする単一のセンサ３１を備え、所定の検知領域ＤＡを移動する支持部材１１～１６の形状または支持部材１１～１６の色を単一のセンサ３１で検知することで、支持部材１１～１６に付与された情報を読み取る。
【選択図】図１
【解決手段】支持装置ＥＡ１は、情報が付与された支持部材１１～１６で支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２を支持する支持手段１０と、支持部材１１～１６を移動させる移動手段２０と、支持部材１１～１６に付与された情報を読み取る読取手段３０とを備え、情報は、支持部材１１～１６の形状および支持部材１１～１６の色の少なくとも一方によって決定され、読取手段３０は、所定の検知領域ＤＡをセンシングする単一のセンサ３１を備え、所定の検知領域ＤＡを移動する支持部材１１～１６の形状または支持部材１１～１６の色を単一のセンサ３１で検知することで、支持部材１１～１６に付与された情報を読み取る。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
情報が付与された支持部材で支持対象物を支持する支持手段と、
前記支持部材を移動させる移動手段と、
前記支持部材に付与された情報を読み取る読取手段とを備え、
前記情報は、前記支持部材の形状および前記支持部材の色の少なくとも一方によって決定され、
前記読取手段は、所定の検知領域をセンシングする単一のセンサを備え、前記所定の検知領域を移動する前記支持部材の形状または前記支持部材の色を前記単一のセンサで検知することで、前記支持部材に付与された前記情報を読み取ることを特徴とする支持装置。
前記支持部材を移動させる移動手段と、
前記支持部材に付与された情報を読み取る読取手段とを備え、
前記情報は、前記支持部材の形状および前記支持部材の色の少なくとも一方によって決定され、
前記読取手段は、所定の検知領域をセンシングする単一のセンサを備え、前記所定の検知領域を移動する前記支持部材の形状または前記支持部材の色を前記単一のセンサで検知することで、前記支持部材に付与された前記情報を読み取ることを特徴とする支持装置。
【請求項2】
前記支持部材には、凹部および凸部の少なくとも一方が形成され、
前記情報は、前記凹部および前記凸部の前記少なくとも一方の数、形状もしくは配置、または前記凹部の深さおよび前記凸部の高さの少なくとも一方による前記支持部材の形状の違いによって決定されることを特徴とする請求項１に記載の支持装置。
前記情報は、前記凹部および前記凸部の前記少なくとも一方の数、形状もしくは配置、または前記凹部の深さおよび前記凸部の高さの少なくとも一方による前記支持部材の形状の違いによって決定されることを特徴とする請求項１に記載の支持装置。
【請求項3】
前記情報は、前記支持部材に付された色の色相、明度、彩度、数または配置による当該支持部材の色の違いによって決定されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の支持装置。
【請求項4】
情報が付与された支持部材で支持対象物を支持する支持工程と、
前記支持部材を移動させる移動工程と、
前記支持部材に付与された情報を読み取る読取工程とを実施し、
前記情報は、前記支持部材の形状および前記支持部材の色の少なくとも一方によって決定され、
前記読取工程では、所定の検知領域をセンシングする単一のセンサによって、前記所定の検知領域を移動する前記支持部材の形状または前記支持部材の色を検知することで、前記支持部材に付与された前記情報を読み取ることを特徴とする支持方法。
前記支持部材を移動させる移動工程と、
前記支持部材に付与された情報を読み取る読取工程とを実施し、
前記情報は、前記支持部材の形状および前記支持部材の色の少なくとも一方によって決定され、
前記読取工程では、所定の検知領域をセンシングする単一のセンサによって、前記所定の検知領域を移動する前記支持部材の形状または前記支持部材の色を検知することで、前記支持部材に付与された前記情報を読み取ることを特徴とする支持方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、支持装置および支持方法に関する。
【背景技術】
【0002】
支持部材で支持対象物を支持し、当該支持部材に付与された情報を読み取る支持装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１３－１１０１５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１に記載された光照射装置１（支持装置）は、テーブル３１における被照射体ＩＲ（支持対象物）の支持領域を変更する第１～第５区画プレート５１～５５（支持部材）に形成された区画孔５０Ａ～５０Ｇの数、位置（情報）を読み取る際、支持部材に形成された貫通孔５９Ａ～５９Ｄ（凹部）の各々に対向して配置された複数のセンサ５Ａ～５Ｄ（センサ）で凹部を検知し、その検知結果に基づいて、支持部材に付与された情報を読み取る。そのため、新たな支持部材を追加する場合、支持部材に付与された情報の位置に応じて追加のセンサが必要になるという不都合がある。
【0005】
本発明の目的は、支持部材を追加する場合にセンサを追加することなく、支持部材に付与された情報を読み取ることができる支持装置および支持方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、支持部材を移動させ、所定の検知領域を移動する支持部材の形状または支持部材の色を単一のセンサで検知することで、支持部材に付与された情報を読み取るため、支持部材を追加する場合にセンサを追加することなく、支持部材に付与された情報を読み取ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）、図２（Ａ）の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）、図２（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。
なお、実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）、図２（Ａ）の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）、図２（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【0010】
［第１実施形態］
図１（Ａ）、（Ｂ）において、支持装置ＥＡ１は、情報が付与された支持部材としてのテーブル１１～１６で支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２を支持する支持工程を実施する支持手段１０と、テーブル１１～１６を移動させる移動工程を実施する移動手段２０と、テーブル１１～１６に付与された情報を読み取る読取工程を実施する読取手段３０とを備えている。
なお、テーブル１１～１６に付与された情報は、テーブル１１～１６の形状によって決定される。本実施形態の場合、テーブル１１～１６には、凹部１１Ｅ～１１Ｇ、１２Ｅ～１２Ｇ、１３Ｅ～１３Ｇ、１４Ｅ～１４Ｇ、１５Ｇ、１６Ｇが形成され、テーブル１１～１６に付与された情報は、凹部１１Ｅ～１１Ｇ、１２Ｅ～１２Ｇ、１３Ｅ～１３Ｇ、１４Ｅ～１４Ｇ、１５Ｇ、１６Ｇの配置によるテーブル１１～１６の形状の違いによって決定される。本実施形態の情報は、テーブル１１～１６における吸引形態、非粘着処理およびテーブル１１～１６で支持する支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２の大きさである。また、凹部１１Ｅ～１１Ｇ、１２Ｅ～１２Ｇ、１３Ｅ～１３Ｇ、１４Ｅ～１４Ｇ、１５Ｇ、１６Ｇの配置は、テーブル１１～１６の左端縁を基準位置として決定される。
図１（Ａ）、（Ｂ）において、支持装置ＥＡ１は、情報が付与された支持部材としてのテーブル１１～１６で支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２を支持する支持工程を実施する支持手段１０と、テーブル１１～１６を移動させる移動工程を実施する移動手段２０と、テーブル１１～１６に付与された情報を読み取る読取工程を実施する読取手段３０とを備えている。
なお、テーブル１１～１６に付与された情報は、テーブル１１～１６の形状によって決定される。本実施形態の場合、テーブル１１～１６には、凹部１１Ｅ～１１Ｇ、１２Ｅ～１２Ｇ、１３Ｅ～１３Ｇ、１４Ｅ～１４Ｇ、１５Ｇ、１６Ｇが形成され、テーブル１１～１６に付与された情報は、凹部１１Ｅ～１１Ｇ、１２Ｅ～１２Ｇ、１３Ｅ～１３Ｇ、１４Ｅ～１４Ｇ、１５Ｇ、１６Ｇの配置によるテーブル１１～１６の形状の違いによって決定される。本実施形態の情報は、テーブル１１～１６における吸引形態、非粘着処理およびテーブル１１～１６で支持する支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２の大きさである。また、凹部１１Ｅ～１１Ｇ、１２Ｅ～１２Ｇ、１３Ｅ～１３Ｇ、１４Ｅ～１４Ｇ、１５Ｇ、１６Ｇの配置は、テーブル１１～１６の左端縁を基準位置として決定される。
【0011】
支持手段１０は、支持面１１Ａ、１２Ａに設けられた多孔質部材１１Ｃ、１２Ｃで支持対象物ＷＫ１、Ｋ２を吸着保持するテーブル１１、１２と、支持面１３Ａ、１４Ａに設けられた吸引孔１３Ｂ、１４Ｂで支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２を吸着保持するテーブル１３、１４と、支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２を吸着保持せずに支持面１５Ａ、１６Ａで支持するテーブル１５、１６とを備え、テーブル１１～１６を交換可能な構成とされている。
【0012】
テーブル１１は、支持対象物ＷＫ１を支持する支持面１１Ａと、支持面１１Ａに設けられ、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段と連通する凹部１１Ｂと、凹部１１Ｂ内に配置された多孔質部材１１Ｃと、前面１１Ｄに設けられ、テーブル１１の情報に応じて形成された複数の凹部１１Ｅ、１１Ｆ、１１Ｇとを備えている。凹部１１Ｅは、支持面１１Ａにおける吸引形態を判別するために設けられ、前面１１Ｄの第１判別領域ＡＲ１に形成されている。凹部１１Ｅの位置からは、多孔質部材１１Ｃによる吸引形態が採用されていることが判別される。凹部１１Ｆは、支持面１１Ａの非粘着処理を判別するために設けられ、前面１１Ｄの第１判別領域ＡＲ１よりも右方の第２判別領域ＡＲ２に形成されている。凹部１１Ｆの位置からは、支持面１１Ａに非粘着処理としてフッ素樹脂コーティングやシリコンコーティング等のコーティング処理が施されていることが判別される。凹部１１Ｇは、支持面１１Ａで支持する支持対象物ＷＫ１の大きさを判別するために設けられ、前面１１Ｄの第２判別領域ＡＲ２よりも右方の第３判別領域ＡＲ３に形成されている。凹部１１Ｇの位置からは、支持面１１Ａで支持される支持対象物ＷＫ１の大きさが判別される。
テーブル１２は、テーブル１１と同様の構成であり、テーブル１１の各構成の付番号の２番目の１の記号を２に置き換えることで説明ができるので、凹部１２Ｇの位置について説明し、その他の説明を省略する。凹部１２Ｇは、支持面１２Ａで支持対象物ＷＫ２が支持されるため、凹部１１Ｇとは異なる位置に形成されている。凹部１２Ｇの位置からは、支持面１２Ａで支持される支持対象物ＷＫ２の大きさが判別され、支持対象物ＷＫ２が支持対象物ＷＫ１よりも大きいことが判別される。
テーブル１２は、テーブル１１と同様の構成であり、テーブル１１の各構成の付番号の２番目の１の記号を２に置き換えることで説明ができるので、凹部１２Ｇの位置について説明し、その他の説明を省略する。凹部１２Ｇは、支持面１２Ａで支持対象物ＷＫ２が支持されるため、凹部１１Ｇとは異なる位置に形成されている。凹部１２Ｇの位置からは、支持面１２Ａで支持される支持対象物ＷＫ２の大きさが判別され、支持対象物ＷＫ２が支持対象物ＷＫ１よりも大きいことが判別される。
【0013】
テーブル１３は、支持対象物ＷＫ１を支持する支持面１３Ａと、支持面１３Ａに設けられ、図示しない減圧手段（保持手段）に連通する吸引孔１３Ｂと、前面１３Ｄに設けられ、テーブル１３の情報に応じて形成された複数の凹部１３Ｅ、１３Ｆ、１３Ｇとを備えている。凹部１３Ｅは、凹部１１Ｅ、１２Ｅと異なる位置に形成され、凹部１３Ｅの位置からは、吸引孔１３Ｂよる吸引形態が採用されていることが判別される。凹部１３Ｆは、凹部１１Ｆ、１２Ｆと異なる位置に形成され、凹部１３Ｆの位置からは、支持面１３Ａに非粘着処理として粗面処理が施されていることが判別される。なお、支持面１３Ａには、支持面１１Ａと同様に支持対象物ＷＫ１が支持されるため、凹部１３Ｇの位置は、凹部１１Ｇと同じ位置になる。
テーブル１４は、テーブル１３と同様の構成であり、テーブル１３の各構成の付番号の２番目の３の記号を４に置き換えることで説明ができるので、凹部１４Ｇの位置について説明し、その他の説明を省略する。支持面１４Ａには、支持面１２Ａと同様に支持対象物ＷＫ２が支持されるため、凹部１４Ｇの位置は、凹部１２Ｇと同じ位置になる。
テーブル１４は、テーブル１３と同様の構成であり、テーブル１３の各構成の付番号の２番目の３の記号を４に置き換えることで説明ができるので、凹部１４Ｇの位置について説明し、その他の説明を省略する。支持面１４Ａには、支持面１２Ａと同様に支持対象物ＷＫ２が支持されるため、凹部１４Ｇの位置は、凹部１２Ｇと同じ位置になる。
【0014】
テーブル１５は、支持対象物ＷＫ１を支持する支持面１５Ａと、支持面１５Ａに設置された環状のゴムや樹脂等の弾性部材１５Ｂと、前面１５Ｄに設けられ、テーブル１５の情報に応じて形成された凹部１５Ｇとを備えている。支持面１５Ａは、支持対象物ＷＫ１を吸引する構成とはなっておらず、非粘着処理も施されていないため、前面１５Ｄの第１判別領域ＡＲ１および第２判別領域ＡＲ２には、凹部が形成されていない。一方、支持面１５Ａには支持対象物ＷＫ１が支持されるため、凹部１５Ｇの位置は、凹部１１Ｇ、１３Ｇと同じ位置になる。
テーブル１６は、テーブル１５と同様の構成であり、テーブル１５の各構成の付番号の２番目の５の記号を６に置き換えることで説明ができので、凹部１６Ｇの位置について説明し、その他の説明を省略する。支持面１６Ａには、支持面１２Ａ、１４Ａと同様に支持対象物ＷＫ２が支持されるため、凹部１６Ｇの位置は、凹部１２Ｇ、１４Ｇと同じ位置になる。
テーブル１６は、テーブル１５と同様の構成であり、テーブル１５の各構成の付番号の２番目の５の記号を６に置き換えることで説明ができので、凹部１６Ｇの位置について説明し、その他の説明を省略する。支持面１６Ａには、支持面１２Ａ、１４Ａと同様に支持対象物ＷＫ２が支持されるため、凹部１６Ｇの位置は、凹部１２Ｇ、１４Ｇと同じ位置になる。
【0015】
移動手段２０は、駆動機器としてのリニアモータ２１と、リニアモータ２１のスライダ２１Ａに支持され、テーブル１１～１６を支持する複数の支持台２２～２４とを備えている。支持台２２～２４は、リニアモータ２１のスライダ２１Ａ上に左右方向に並設され、それぞれが前後方向に延設されている。
【0016】
読取手段３０は、所定の検知領域ＤＡをセンシングする光学センサや超音波センサ等の単一のセンサ３１を備え、所定の検知領域ＤＡを移動するテーブル１１～１６の形状を単一のセンサ３１で検知することで、テーブル１１～１６に付与された情報を読み取る構成となっている。
【0017】
以上の支持装置ＥＡ１の動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置された支持装置ＥＡ１に対し、当該支持装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）が、支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２の種類、大きさ、支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２に施される処理等に応じて、例えば同図に示すように、テーブル１１を支持台２２、２３上の所定の位置に載置し、ボルトやねじ等の図示しない固定手段でテーブル１１を支持台２２、２３に固定する。次いで、使用者が、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して、テーブル１１の情報を入力するともに、自動運転開始の信号を入力する。その後、移動手段２０がリニアモータ２１を駆動し、図１（Ａ）に示すように、テーブル１１がセンサ３１による所定の検知領域ＤＡよりも右方に位置するまで、テーブル１１を右方に移動させる。この際、読取手段３０が単一のセンサ３１を駆動し、所定の検知領域ＤＡを通過する凹部１１Ｅ、１１Ｆ、１１Ｇを順番に検知することで、凹部１１Ｅ、１１Ｆ、１１Ｇの位置から、テーブル１１の吸引形態、非粘着処理および支持対象物ＷＫ１の大きさを読み取る。次に、支持手段１０がリニアモータ２１を駆動し、テーブル１１を初期位置に復帰させた後、読取手段３０は、読み取ったテーブル１１の情報と、操作手段を介して入力された情報との対応を検証し、テーブル１１が適格なものか不適格なものかを判定する。その結果、テーブル１１が不適格なものであると判断されると、読取手段３０がスピーカや表示器等の図示しない警告手段に所定の信号を出力し、当該警告手段を介して音や光等の警告シグナルを発することで、テーブル１１の交換が必要であることを使用者に知らせる。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置された支持装置ＥＡ１に対し、当該支持装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）が、支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２の種類、大きさ、支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２に施される処理等に応じて、例えば同図に示すように、テーブル１１を支持台２２、２３上の所定の位置に載置し、ボルトやねじ等の図示しない固定手段でテーブル１１を支持台２２、２３に固定する。次いで、使用者が、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して、テーブル１１の情報を入力するともに、自動運転開始の信号を入力する。その後、移動手段２０がリニアモータ２１を駆動し、図１（Ａ）に示すように、テーブル１１がセンサ３１による所定の検知領域ＤＡよりも右方に位置するまで、テーブル１１を右方に移動させる。この際、読取手段３０が単一のセンサ３１を駆動し、所定の検知領域ＤＡを通過する凹部１１Ｅ、１１Ｆ、１１Ｇを順番に検知することで、凹部１１Ｅ、１１Ｆ、１１Ｇの位置から、テーブル１１の吸引形態、非粘着処理および支持対象物ＷＫ１の大きさを読み取る。次に、支持手段１０がリニアモータ２１を駆動し、テーブル１１を初期位置に復帰させた後、読取手段３０は、読み取ったテーブル１１の情報と、操作手段を介して入力された情報との対応を検証し、テーブル１１が適格なものか不適格なものかを判定する。その結果、テーブル１１が不適格なものであると判断されると、読取手段３０がスピーカや表示器等の図示しない警告手段に所定の信号を出力し、当該警告手段を介して音や光等の警告シグナルを発することで、テーブル１１の交換が必要であることを使用者に知らせる。
【0018】
一方、テーブル１１が適格なものであると判断された場合、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、支持面１１Ａ上の所定の位置に支持対象物ＷＫ１を載置すると、支持手段１０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面１１Ａでの支持対象物ＷＫ１の吸着保持を開始する。そして、移動手段２０がリニアモータ２１を駆動し、テーブル１１を右方に移動させ、当該テーブル１１が所定の位置に到達すると、支持対象物ＷＫ１に所定の処理を施す図示しない処理手段によって、支持対象物ＷＫ１に所定の処理が施される。次いで、支持手段１０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面１１Ａでの支持対象物ＷＫ１の吸着保持を解除すると、使用者または図示しない搬送手段が支持対象物ＷＫ１を次工程に搬送する。その後、支持手段１０がリニアモータ２１を駆動し、テーブル１１を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【0019】
以上のような実施形態によれば、テーブル１１～１６を移動させ、所定の検知領域ＤＡを移動するテーブル１１～１６の形状を単一のセンサ３１で検知することで、テーブル１１～１６に付与された情報を読み取るため、テーブルを追加する場合にセンサ３１を追加することなく、テーブル１１～１６に付与された情報を読み取ることができる。
【0020】
［第２実施形態］
図２（Ａ）、（Ｂ）に示す支持装置ＥＡ２では、テーブル１１～１６に付与された情報は、テーブル１１～１６の色によって決定され、本実施形態の場合、テーブル１１～１６に付された色の色相によるテーブル１１～１６の色の違いによって決定される。また、テーブル１１～１６の色部１１Ｊ～１１Ｌ、１２Ｊ～１２Ｌの配置は、テーブル１１～１６の左端縁を基準位置として決定される。
図２（Ａ）、（Ｂ）に示す支持装置ＥＡ２では、テーブル１１～１６に付与された情報は、テーブル１１～１６の色によって決定され、本実施形態の場合、テーブル１１～１６に付された色の色相によるテーブル１１～１６の色の違いによって決定される。また、テーブル１１～１６の色部１１Ｊ～１１Ｌ、１２Ｊ～１２Ｌの配置は、テーブル１１～１６の左端縁を基準位置として決定される。
【0021】
テーブル１１は、第１実施形態で示した凹部１１Ｅ、１１Ｆ、１１Ｇに代えて、前面１１Ｄの異なる所定の位置に設けられ、テーブル１１の情報に応じて色が付された複数の色部１１Ｊ、１１Ｋ、１１Ｌを備えている。色部１１Ｊは、支持面１１Ａにおける吸引形態を判別するために色が付され、前面１１Ｄの左端縁から右方に所定距離離れた第１判別位置ＰＮ１に設けられている。色部１１Ｊに付された色の色相からは、多孔質部材１１Ｃによる吸引形態が採用されていることが判別される。色部１１Ｋは、支持面１１Ａの非粘着処理を判別するために色が付され、前面１１Ｄの第１判別位置ＰＮ１よりも右方で、前面１１Ｄの左端縁から右方に所定距離離れた第２判別位置ＰＮ２に設けられている。色部１１Ｌに付された色の色相からは、支持面１１Ａに非粘着処理としてコーティング処理が施されていることが判別される。色部１１Ｌは、支持面１１Ａで支持する支持対象物ＷＫ１の大きさを判別するために色が付され、前面１１Ｄの第２判別位置ＰＮ２よりも右方で、前面１１Ｄの左端縁から右方に所定距離離れた第３判別位置ＰＮ３に設けられている。色部１１Ｊに付された色の色相からは、支持面１１Ａで支持される支持対象物ＷＫ１の大きさが判別される。
【0022】
テーブル１２は、凹部１２Ｅ、１２Ｆ、１２Ｇに代えて、テーブル１２の情報に応じて色が付された複数の色部１２Ｊ、１２Ｋ、１２Ｌを備えている。色部１２Ｊ、１２Ｋ、１２Ｌは、テーブル１２の左端縁を基準位置として、色部１１Ｊ、１１Ｋ、１１Ｌと同じ位置に設けられている。テーブル１２の吸引形態および非粘着処理判は、テーブル１１と同じであるため、色部１２Ｊ、１２Ｋに付された色の色相は、色部１１Ｊ、１１Ｋの色相と同じである。一方、色部１２Ｌに付された色の色相は、色部１１Ｌの色相とは異っており、色部１２Ｌの色相からは、支持面１２Ａで支持される支持対象物ＷＫ２の大きさが支持対象物ＷＫ１よりも大きいことが判別される。
【0023】
テーブル１３～１６は、テーブル１１、１２と同様に、それぞれの凹部１３Ｅ～１３Ｇ、１４Ｅ～１４Ｇ、１５Ｇ、１６Ｇに代えて、各々の吸引形態、非粘着処理および支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２の大きさを判別するための色部を備えている。例えば、テーブル１３、１４は、テーブル１１、１２とは吸引形態および非粘着処理が異なるため、第１判別位置ＰＮ１および第２判別位置ＰＮ２に設けられた色部の色相が、色部１１Ｊ、１１Ｋの色相と異なる。また、テーブル１５、１６の色部は、第３判別位置ＰＮ３にのみ設けられ、支持面１５Ａ、１６Ａで支持される支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２の大きさが異なることから、それぞれの色部に付された色の色相が異なる。
【0024】
読取手段３０は、移動手段２０で所定の検知領域ＤＡを移動するテーブル１１～１６の色を単一のセンサ３１で検知することで、テーブル１１～１６に付与された情報を読み取る構成となっている。本実施形態の場合、センサ３１は、色を検知可能なカラーセンサで構成される。
【0025】
以上の支持装置ＥＡ２では、例えば、テーブル１１を支持台２２、２３上の所定の位置に載置して固定した場合、上記と同様にして、読取手段３０が単一のセンサ３１によって、所定の検知領域ＤＡを通過する色部１１Ｊ、１１Ｋ、１１Ｌに付されたの色の色相を順番に検知することで、テーブル１１の吸引形態、非粘着処理および支持対象物ＷＫ１の大きさを読み取る。即ち、本実施形態によれば、テーブル１１～１６を移動させ、所定の検知領域ＤＡを移動するテーブル１１～１６の色を単一のセンサ３１で検知することで、テーブル１１～１６に付与された情報を読み取るため、テーブルを追加する場合にセンサ３１を追加することなく、テーブル１１～１６に付与された情報を読み取ることができる。
【0026】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【0027】
例えば、支持手段１０は、交換可能なテーブル１１～１６の数に応じて、支持台２２～２４の数を増やしたり、減らしたりしてもよいし、リニアモータ２１のスライダ２１Ａで支持台２２、２３のみを支持し、当該支持台２２、２３の位置をテーブル１１～１６の大きさに応じて変更可能な構成としてもよいし、支持台２２～２４を介さずにスライダ２１Ａでテーブル１１～１６を直接支持してもよい。
テーブル１１～１６には、一部または全ての凹部１１Ｅ～１１Ｇ、１２Ｅ～１２Ｇ、１３Ｅ～１３Ｇ、１４Ｅ～１４Ｇ、１５Ｇ、１６Ｇに代えて凸部が形成されていてもよいし、凹部および凸部の両方が形成されていてもよい。
テーブル１１～１６には、吸引形態、非粘着処理および支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２の大きさ以外の情報が付与されていてもよく、例えば、支持面１１Ａにおける吸引領域の大きさをテーブル１１に付与し、図２（Ｃ）に示すように、吸引領域の大きさを判別するためにテーブル１１に設けた色部１１Ｍの色から、テーブル１１における吸引領域の大きさを読み取れるようにしてもよい。なお、図２（Ｃ）では、色部１１Ｊ～１１Ｍが上下方向および左右方向に並設されている。
テーブル１１とテーブル１２、またはテーブル１３とテーブル１４とでは、吸引形態および非粘着処理の一方または両方が互いに異なっていてもよく、この場合、凹部１１Ｅ、１１Ｆ、１２Ｅ、１２Ｆ、１３Ｅ、１３Ｆ、１４Ｅ、１４Ｆの位置や凸部の位置、色部１１Ｊ、１１Ｋ、１２Ｊ、１２Ｋに付された色の色相を、吸引形態や非粘着処理に応じて変更してもよい。
テーブル１１～１４は、支持面１１Ａ、１２Ａ、１３Ａ、１４Ａで支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２を吸着保持せずに支持する構成とされてもよく、この場合、前面１１Ｄ、１２Ｄ、１３Ｄ、１４Ｄの第１判別領域ＡＲ１に凹部１１Ｅ、１２Ｅ、１３Ｅ、１４Ｅや凸部が形成されていなくてもよい。
テーブル１５、１６は、弾性部材１５Ｂ、１６Ｂに代えてまたは併用して、支持面１５Ａ、１６Ａで吸着保持が可能な構成とされてもよいし、支持面１５Ａ、１６Ａに非粘着処理が施されていてもよく、支持面１５Ａ、１６Ａで吸着保持が可能な構成とされた場合、吸引形態に対応する凹部や凸部が前面１５Ｄ、１６Ｄの第１判別領域ＡＲ１に形成されていてもよいし、支持面１５Ａ、１６Ａに非粘着処理が施された場合、非粘着処理に対応する凹部や凸部が前面１５Ｄ、１６Ｄの第２判別領域ＡＲ２に形成されていてもよい。
支持面１１Ａ、１２Ａ、１３Ａ、１４Ａ、１５Ａ、１６Ａに施す非粘着処理は、例えば、フッ素樹脂コーティングやシリコンコーティング等のコーティング処理であってもよいし、ブラスト加工やエッチング加工等による粗面処理であってもよい。
凹部１１Ｅ～１１Ｇ、１２Ｅ～１２Ｇ、１３Ｅ～１３Ｇ、１４Ｅ～１４Ｇ、１５Ｇ、１６Ｇ、凸部、または色部１１Ｊ～１１Ｍ、１２Ｊ～１２Ｌ等の情報は、テーブル１１～１６の前面、後面、右側面、左側面、上面、下面等、テーブル１１～１６のどの面に設けられてもよいし、移動手段２０によるテーブル１１～１６の移動方向に沿った方向であれば、上下方向、左右方向、前後方向またはこれらのうちの少なくとも１方向に交わる方向等、どのような方向に並設されてもよい。
凹部１１Ｅ～１１Ｇ、１２Ｅ～１２Ｇ、１３Ｅ～１３Ｇ、１４Ｅ～１４Ｇ、１５Ｇ、１６Ｇ、凸部、または色部１１Ｊ～１１Ｍ、１２Ｊ～１２Ｌの配置の基準となる基準位置は、テーブル１１～１６の左端縁、右端縁、前方端縁、後方端縁、上方端縁、下方端縁、中心位置等、テーブル１１～１６のどの位置であってもよい。
支持手段１０は、テーブル１１～１６に代えて、例えば、支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２を把持するメカチャックやチャックシリンダ等の把持部材を支持部材として備えていてもよく、この場合、把持部材の所定の位置を基準位置として、当該把持部材に凹部や凸部、色部を設けてもよい。
支持部材に付与された情報は、支持部材の形状および支持部材の色の両方によって決定されてもよいし、凹部および凸部の少なくとも一方の数形状または配置による支持部材の形状の違いによって決定されてもよいし、凹部の深さおよび凸部の高さの少なくとも一方による支持部材の形状の違いによって決定されてもよいし、支持部材に付された色の明度、彩度、数または配置による支持部材の色の違いによって決定されてもよいし、それらのうちの２つ以上の組み合わせによる違いによって形成されてもよい。例えば、凹部または凸部の数による支持部材の形状の違いによって情報が決定される場合、第１判別領域ＡＲ１に凹部または凸部が１つ形成されていれば多孔質部材による吸引形態、凹部または凸部が２つ形成されていれば吸引孔による吸引形態と決定してもよいし、凹部または凸部の形状による支持部材の形状の違いによって情報が決定される場合、第１判別領域ＡＲ１に円形の凹部または凸部が形成されていれば多孔質部材による吸引形態、矩形の凹部または凸部が形成されていれば吸引孔による吸引形態と決定してもよいし、凹部および凸部の数による支持部材の形状の違いによって情報が決定される場合、第１判別領域ＡＲ１に凹部、凸部が合計で１つ形成されていれば多孔質部材による吸引形態、凹部、凸部が合計で２つ形成されていれば吸引孔による吸引形態と決定してもよいし、支持部材に付された色の明度による支持部材の色の違いによって情報が決定される場合、第１判別位置ＰＮ１の色部に付された色の明度が高ければ多孔質部材による吸引形態、明度が低ければ吸引孔による吸引形態と決定してもよいし、凹部および色の配置による違いによって情報が決定される場合、例えば、第１判別領域ＡＲ１に形成された凹部の配置によって吸引形態を決定し、第２判別領域ＡＲ２に形成された凹部の配置によって非粘着処理を決定し、第３判別領域ＡＲ３の色部に付された色の配置によって支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２の大きさを決定してもよい。
支持部材に付与される情報としては、前記実施形態で示したものの他、例えば、支持部材の種類、形状、大きさ、材質、識別番号、品名等、何ら限定されるものではない。
テーブル１１～１６には、一部または全ての凹部１１Ｅ～１１Ｇ、１２Ｅ～１２Ｇ、１３Ｅ～１３Ｇ、１４Ｅ～１４Ｇ、１５Ｇ、１６Ｇに代えて凸部が形成されていてもよいし、凹部および凸部の両方が形成されていてもよい。
テーブル１１～１６には、吸引形態、非粘着処理および支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２の大きさ以外の情報が付与されていてもよく、例えば、支持面１１Ａにおける吸引領域の大きさをテーブル１１に付与し、図２（Ｃ）に示すように、吸引領域の大きさを判別するためにテーブル１１に設けた色部１１Ｍの色から、テーブル１１における吸引領域の大きさを読み取れるようにしてもよい。なお、図２（Ｃ）では、色部１１Ｊ～１１Ｍが上下方向および左右方向に並設されている。
テーブル１１とテーブル１２、またはテーブル１３とテーブル１４とでは、吸引形態および非粘着処理の一方または両方が互いに異なっていてもよく、この場合、凹部１１Ｅ、１１Ｆ、１２Ｅ、１２Ｆ、１３Ｅ、１３Ｆ、１４Ｅ、１４Ｆの位置や凸部の位置、色部１１Ｊ、１１Ｋ、１２Ｊ、１２Ｋに付された色の色相を、吸引形態や非粘着処理に応じて変更してもよい。
テーブル１１～１４は、支持面１１Ａ、１２Ａ、１３Ａ、１４Ａで支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２を吸着保持せずに支持する構成とされてもよく、この場合、前面１１Ｄ、１２Ｄ、１３Ｄ、１４Ｄの第１判別領域ＡＲ１に凹部１１Ｅ、１２Ｅ、１３Ｅ、１４Ｅや凸部が形成されていなくてもよい。
テーブル１５、１６は、弾性部材１５Ｂ、１６Ｂに代えてまたは併用して、支持面１５Ａ、１６Ａで吸着保持が可能な構成とされてもよいし、支持面１５Ａ、１６Ａに非粘着処理が施されていてもよく、支持面１５Ａ、１６Ａで吸着保持が可能な構成とされた場合、吸引形態に対応する凹部や凸部が前面１５Ｄ、１６Ｄの第１判別領域ＡＲ１に形成されていてもよいし、支持面１５Ａ、１６Ａに非粘着処理が施された場合、非粘着処理に対応する凹部や凸部が前面１５Ｄ、１６Ｄの第２判別領域ＡＲ２に形成されていてもよい。
支持面１１Ａ、１２Ａ、１３Ａ、１４Ａ、１５Ａ、１６Ａに施す非粘着処理は、例えば、フッ素樹脂コーティングやシリコンコーティング等のコーティング処理であってもよいし、ブラスト加工やエッチング加工等による粗面処理であってもよい。
凹部１１Ｅ～１１Ｇ、１２Ｅ～１２Ｇ、１３Ｅ～１３Ｇ、１４Ｅ～１４Ｇ、１５Ｇ、１６Ｇ、凸部、または色部１１Ｊ～１１Ｍ、１２Ｊ～１２Ｌ等の情報は、テーブル１１～１６の前面、後面、右側面、左側面、上面、下面等、テーブル１１～１６のどの面に設けられてもよいし、移動手段２０によるテーブル１１～１６の移動方向に沿った方向であれば、上下方向、左右方向、前後方向またはこれらのうちの少なくとも１方向に交わる方向等、どのような方向に並設されてもよい。
凹部１１Ｅ～１１Ｇ、１２Ｅ～１２Ｇ、１３Ｅ～１３Ｇ、１４Ｅ～１４Ｇ、１５Ｇ、１６Ｇ、凸部、または色部１１Ｊ～１１Ｍ、１２Ｊ～１２Ｌの配置の基準となる基準位置は、テーブル１１～１６の左端縁、右端縁、前方端縁、後方端縁、上方端縁、下方端縁、中心位置等、テーブル１１～１６のどの位置であってもよい。
支持手段１０は、テーブル１１～１６に代えて、例えば、支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２を把持するメカチャックやチャックシリンダ等の把持部材を支持部材として備えていてもよく、この場合、把持部材の所定の位置を基準位置として、当該把持部材に凹部や凸部、色部を設けてもよい。
支持部材に付与された情報は、支持部材の形状および支持部材の色の両方によって決定されてもよいし、凹部および凸部の少なくとも一方の数形状または配置による支持部材の形状の違いによって決定されてもよいし、凹部の深さおよび凸部の高さの少なくとも一方による支持部材の形状の違いによって決定されてもよいし、支持部材に付された色の明度、彩度、数または配置による支持部材の色の違いによって決定されてもよいし、それらのうちの２つ以上の組み合わせによる違いによって形成されてもよい。例えば、凹部または凸部の数による支持部材の形状の違いによって情報が決定される場合、第１判別領域ＡＲ１に凹部または凸部が１つ形成されていれば多孔質部材による吸引形態、凹部または凸部が２つ形成されていれば吸引孔による吸引形態と決定してもよいし、凹部または凸部の形状による支持部材の形状の違いによって情報が決定される場合、第１判別領域ＡＲ１に円形の凹部または凸部が形成されていれば多孔質部材による吸引形態、矩形の凹部または凸部が形成されていれば吸引孔による吸引形態と決定してもよいし、凹部および凸部の数による支持部材の形状の違いによって情報が決定される場合、第１判別領域ＡＲ１に凹部、凸部が合計で１つ形成されていれば多孔質部材による吸引形態、凹部、凸部が合計で２つ形成されていれば吸引孔による吸引形態と決定してもよいし、支持部材に付された色の明度による支持部材の色の違いによって情報が決定される場合、第１判別位置ＰＮ１の色部に付された色の明度が高ければ多孔質部材による吸引形態、明度が低ければ吸引孔による吸引形態と決定してもよいし、凹部および色の配置による違いによって情報が決定される場合、例えば、第１判別領域ＡＲ１に形成された凹部の配置によって吸引形態を決定し、第２判別領域ＡＲ２に形成された凹部の配置によって非粘着処理を決定し、第３判別領域ＡＲ３の色部に付された色の配置によって支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２の大きさを決定してもよい。
支持部材に付与される情報としては、前記実施形態で示したものの他、例えば、支持部材の種類、形状、大きさ、材質、識別番号、品名等、何ら限定されるものではない。
【0028】
移動手段２０は、例えば、図２（Ｃ）に示すように、リニアモータ２１のスライダ２１Ａに支持された駆動機器としての直動モータ２５と、直動モータ２５の出力軸２５Ａに支持され、支持台２２～２４を支持する基台２６とを備え、テーブル１１～１６を左右方向および上下方向に移動可能な構成とされてもよい。
移動手段２０は、支持部材の厚み方向（Ｚ方向）に伸びる所定の回転軸を中心に支持部材を回転可能な構成であってもよく、回転する支持部材に付与した情報を読取手段３０で読み取るようにしてもよい。
固定手段は、例えば、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって支持台２２～２４でテーブル１１～１６を吸着保持可能とすることで、支持台２２～２４にテーブル１１～１６を固定するものであってもよい。
移動手段２０は、支持部材の厚み方向（Ｚ方向）に伸びる所定の回転軸を中心に支持部材を回転可能な構成であってもよく、回転する支持部材に付与した情報を読取手段３０で読み取るようにしてもよい。
固定手段は、例えば、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって支持台２２～２４でテーブル１１～１６を吸着保持可能とすることで、支持台２２～２４にテーブル１１～１６を固定するものであってもよい。
【0029】
読取手段３０は、支持部材に付与された情報を読取可能な単一のセンサ３１であれば、どのようなセンサを備えていてもよいし、支持部材の形状や支持部材の色を鏡や反射板等の反射手段で反射させ、支持部材の形状または支持部材の色を単一のセンサ３１で検知することで、支持部材に付与された情報を読み取ってもよい。
読取手段３０は、支持部材に付与された情報を読取可能な位置に設ければよく、支持部材の前方、後方、側方、上方、下方等に設けてもよい。
読取手段３０は、支持部材に付与された情報を読取可能な位置に設ければよく、支持部材の前方、後方、側方、上方、下方等に設けてもよい。
【0030】
処理手段は、例えば、支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２を検査する検査手段、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段で支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２に接着シートを貼付するシート貼付手段、支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２に貼付された接着シートを剥離するシート剥離手段、支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２を清掃する清掃手段、支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２を研磨する研磨手段や研削する研削手段等、支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２に所定の処理を施すものであればどのようなものでもよいし、本発明の支持装置ＥＡ１、ＥＡ２に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
【0031】
接着シートおよび支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートおよび支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、支持対象物ＷＫ１、ＷＫ２としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【0032】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、移動手段は、支持部材を移動させるものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
【0033】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持、固定）手段や支持（保持、固定）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持、固定）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持、固定）する構成を採用してもよい。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持、固定）手段や支持（保持、固定）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持、固定）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持、固定）する構成を採用してもよい。
【符号の説明】
【0034】
ＥＡ１、ＥＡ２…支持装置
１０…支持手段
１１…テーブル（支持部材）
１１Ｅ～１１Ｇ…凹部
１２…テーブル（支持部材）
１２Ｅ～１２Ｇ…凹部
１３…テーブル（支持部材）
１３Ｅ～１３Ｇ…凹部
１４…テーブル（支持部材）
１４Ｅ～１４Ｇ…凹部
１５…テーブル（支持部材）
１５Ｇ…凹部
１６…テーブル（支持部材）
１６Ｇ…凹部
２０…移動手段
３０…読取手段
３１…センサ
ＷＫ１、ＷＫ２…支持対象物
１０…支持手段
１１…テーブル（支持部材）
１１Ｅ～１１Ｇ…凹部
１２…テーブル（支持部材）
１２Ｅ～１２Ｇ…凹部
１３…テーブル（支持部材）
１３Ｅ～１３Ｇ…凹部
１４…テーブル（支持部材）
１４Ｅ～１４Ｇ…凹部
１５…テーブル（支持部材）
１５Ｇ…凹部
１６…テーブル（支持部材）
１６Ｇ…凹部
２０…移動手段
３０…読取手段
３１…センサ
ＷＫ１、ＷＫ２…支持対象物
【図1】
【図2】
