特開 2024-14299 フォイル軸受

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024014299

(43)【公開日】2024-02-01

(54)【発明の名称】フォイル軸受

(51)【国際特許分類】

   F16C 27/02 20060101AFI20240125BHJP

【ＦＩ】

F16C27/02 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022117018

(22)【出願日】2022-07-22

(71)【出願人】

【識別番号】000003218

【氏名又は名称】株式会社豊田自動織機

(74)【代理人】

【識別番号】100105957

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100068755

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 博宣

(72)【発明者】

【氏名】篠田 史也

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 文博

【テーマコード（参考）】

3J012

【Ｆターム（参考）】

3J012AB07

3J012BB01

3J012EB08

3J012EB10

3J012EB11

3J012FB01

(57)【要約】

【課題】回転軸をラジアル方向に安定的に支持することができるとともに、回転軸の振動を減衰させやすくしつつも、軸受ハウジングの摩耗を抑制できるフォイル軸受を提供すること。
【解決手段】フォイル軸受１０は、軸受ハウジング２０と、トップフォイル３０と、バンプフォイル４０と、を備えている。バンプフォイル４０は、第１部位５０と、第２部位６０と、少なくとも第１部位５０と第２部位６０との間に設けられており、トップフォイル３０と接触可能である第３部位７０と、を有している。第３部位７０は、トップフォイル３０における径方向外側方向への変位によってトップフォイルから第２部位６０に入力される荷重Ｇが所定値以下である場合には、トップフォイル３０と非接触であり、荷重Ｇが所定値を上回る場合には、第２部位６０の弾性変形に伴いトップフォイル３０と接触する。第１部位５０は、内周面２０ａと面接触している。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

回転軸をラジアル方向に支持するフォイル軸受であって、
前記回転軸が挿通される筒状の軸受ハウジングと、
前記回転軸と前記軸受ハウジングとの間に配置される薄板状のトップフォイルと、
前記軸受ハウジングを形成する材料よりも硬度が高い材料により形成されており、且つ前記軸受ハウジングと前記トップフォイルとの間において前記トップフォイルを弾性的に支持する薄板状のバンプフォイルと、を備え、
前記バンプフォイルは、
前記軸受ハウジングの内周面と接触している第１部位と、
前記トップフォイルと接触しているとともに前記トップフォイルにおける前記軸受ハウジングの径方向外側方向への変位に伴い弾性変形する第２部位と、
少なくとも前記第１部位と前記第２部位との間に設けられており、且つ前記トップフォイルと接触可能である第３部位と、を有し、
前記第３部位は、前記トップフォイルにおける前記軸受ハウジングの径方向外側方向への変位によって前記トップフォイルから前記第２部位に入力される荷重が所定値以下である場合には、前記トップフォイルと非接触であり、前記荷重が前記所定値を上回る場合には、前記第２部位の弾性変形に伴い前記トップフォイルと接触し、
前記第１部位は、前記内周面と面接触していることを特徴とするフォイル軸受。

【請求項2】

前記バンプフォイルは、少なくとも前記第１部位と前記第２部位との間に設けられており、且つ前記内周面と接触可能な第４部位を有し、
前記第４部位は、前記荷重が所定値以下である場合には、前記内周面と非接触であり、前記荷重が前記所定値を上回る場合には、前記第２部位の弾性変形に伴い前記内周面と接触する、請求項１に記載のフォイル軸受。

【請求項3】

前記荷重が前記所定値を上回る場合、前記第４部位は、前記内周面と面接触している、請求項２に記載のフォイル軸受。

【請求項4】

前記バンプフォイルの板厚は、均一であり、
前記バンプフォイルは、前記第１部位と前記第２部位との間に設けられた前記第３部位の一部を切り欠くことにより形成された切り欠き部を有している、請求項２又は請求項３に記載のフォイル軸受。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、回転軸をラジアル方向に支持するフォイル軸受に関する。

【背景技術】

【0002】

回転軸をラジアル方向に支持するフォイル軸受は、軸受ハウジングと、トップフォイルと、バンプフォイルと、を備えている。ラジアル方向とは、回転軸の径方向である。軸受ハウジングは、筒状である。軸受ハウジングには、回転軸が挿通される。トップフォイルは、薄板状である。トップフォイルは、回転軸と軸受ハウジングとの間に配置されている。バンプフォイルは、薄板状である。バンプフォイルは、軸受ハウジングとトップフォイルとの間においてトップフォイルを弾性的に支持する。このようなフォイル軸受は、回転軸の回転数が所定の回転数に到達したとき、回転軸とトップフォイルとの間に流体膜が形成される。当該流体膜の動圧によって、回転軸がトップフォイルに対して浮上する。これによって、フォイル軸受は、回転軸をラジアル方向に支持する。

【0003】

詳細には、バンプフォイルは、軸受ハウジングの内周面と接触している第１部位と、トップフォイルと接触している第２部位と、を有している。ここで、トップフォイルは、回転軸とトップフォイルとの間に形成される流体膜の動圧により、軸受ハウジングの径方向外側方向へ変位する。すると、第２部位には、トップフォイルにおける軸受ハウジングの径方向外側方向への変位によってトップフォイルから荷重が入力される。これにより、第２部位が弾性変形することで、バンプフォイルがトップフォイルを弾性的に支持する。

【0004】

ところで、例えば、バンプフォイルが剛性の高い材質により形成されていると、トップフォイルから第２部位に入力される荷重が所定値以下である場合に、第２部位が弾性変形し難くなってしまう。すると、トップフォイルが軸受ハウジングの径方向外側方向へ変位しても、バンプフォイルによってトップフォイルを弾性的に支持し難くなってしまう。その結果、回転軸をラジアル方向に安定的に支持することができなくなってしまう。

【0005】

一方で、例えば、バンプフォイルが剛性の低い材質により形成されていると、トップフォイルから第２部位に入力される荷重が所定値を上回る場合に、第２部位が過剰に変形してしまう虞がある。その結果、バンプフォイルが過剰に変形してしまうことになるため、回転軸をラジアル方向に安定的に支持することができなくなってしまう。

【0006】

そこで、トップフォイルから第２部位に入力される荷重が所定値以下である場合には、トップフォイルと非接触である第３部位をさらに有するバンプフォイルが、例えば特許文献１に開示されている。このようなバンプフォイルにおいて、第３部位は、当該荷重が所定値を上回る場合には、第２部位の弾性変形に伴いトップフォイルと接触するように構成されている。これによれば、トップフォイルから第２部位に入力される荷重が所定値以下である場合であっても、第３部位がトップフォイルと非接触であることによりバンプフォイルの弾性変形量が確保される。このため、トップフォイルから第２部位に入力される荷重が所定値以下である場合であっても、バンプフォイルによってトップフォイルを弾性的に支持できる。一方で、トップフォイルから第２部位に入力される荷重が所定値を上回る場合には、第３部位がトップフォイルと接触することによりバンプフォイルの剛性が向上する。このため、トップフォイルから第２部位に入力される荷重が所定値を上回る場合であっても、バンプフォイルが過剰に変形しない。したがって、第３部位を有するバンプフォイルにより回転軸をラジアル方向に安定的に支持できる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開昭５８－９９５１５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

ところで、第１部位が軸受ハウジングの内周面の曲率半径よりも小さい曲率半径で湾曲している場合、当該第１部位がばね構造となる。このため、振動している回転軸の変位をバンプフォイルで支持した際に、第１部位が弾性変形すると、回転軸の振動が減衰しにくくなる虞がある。

【0009】

また、バンプフォイルが軸受ハウジングを形成する材料よりも硬度が高い材料により形成されている場合、バンプフォイルにおける第１部位と軸受ハウジングの内周面との接触面積が少ないと、軸受ハウジングの摩耗が促進される虞がある。

【課題を解決するための手段】

【0010】

上記課題を解決するフォイル軸受は、回転軸をラジアル方向に支持するフォイル軸受であって、前記回転軸が挿通される筒状の軸受ハウジングと、前記回転軸と前記軸受ハウジングとの間に配置される薄板状のトップフォイルと、前記軸受ハウジングを形成する材料よりも硬度が高い材料により形成されており、且つ前記軸受ハウジングと前記トップフォイルとの間において前記トップフォイルを弾性的に支持する薄板状のバンプフォイルと、を備え、前記バンプフォイルは、前記軸受ハウジングの内周面と接触している第１部位と、前記トップフォイルと接触しているとともに前記トップフォイルにおける前記軸受ハウジングの径方向外側方向への変位に伴い弾性変形する第２部位と、少なくとも前記第１部位と前記第２部位との間に設けられており、且つ前記トップフォイルと接触可能である第３部位と、を有し、前記第３部位は、前記トップフォイルにおける前記軸受ハウジングの径方向外側方向への変位によって前記トップフォイルから前記第２部位に入力される荷重が所定値以下である場合には、前記トップフォイルと非接触であり、前記荷重が前記所定値を上回る場合には、前記第２部位の弾性変形に伴い前記トップフォイルと接触し、前記第１部位は、前記内周面と面接触している。

【0011】

回転軸の回転数が所定の回転数に到達したとき、回転軸とトップフォイルとの間に流体膜が形成される。そして、回転軸は流体膜によりラジアル方向に支持される。トップフォイルから第２部位に入力される荷重が所定値以下である場合、バンプフォイルの第３部位がトップフォイルと非接触であるため、バンプフォイルの弾性変形量を確保できる。このため、バンプフォイルによってトップフォイルを弾性的に支持できる。トップフォイルから第２部位に入力される荷重が所定値を上回る場合、バンプフォイルの第３部位がトップフォイルと接触するため、バンプフォイルの剛性が向上する。このため、バンプフォイルが過剰に変形しない。よって、回転軸をラジアル方向に安定的に支持することができる。

【0012】

バンプフォイルの第１部位が軸受ハウジングの内周面と面接触している。このため、振動している回転軸をバンプフォイルにより支持した際に、第１部位が変形しにくい。第１部位がばね構造である場合と比較すると、回転軸の変位を軸受ハウジングで受け止めやすくなるため、回転軸の振動を減衰させやすい。

【0013】

さらに、第１部位が軸受ハウジングの内周面と面接触しているため、第１部位と軸受ハウジングとの接触面積を確保しやすくなる。よって、バンプフォイルが、軸受ハウジングを形成する材料よりも硬度が高い材料により形成されていても、バンプフォイルによる軸受ハウジングの摩耗が抑制される。以上により、回転軸をラジアル方向に安定的に支持することができるとともに、回転軸の振動を減衰させやすくしつつも、軸受ハウジングの摩耗を抑制できる。

【0014】

上記のフォイル軸受において、前記バンプフォイルは、少なくとも前記第１部位と前記第２部位との間に設けられており、且つ前記内周面と接触可能な第４部位を有し、前記第４部位は、前記荷重が所定値以下である場合には、前記内周面と非接触であり、前記荷重が前記所定値を上回る場合には、前記第２部位の弾性変形に伴い前記内周面と接触するとよい。

【0015】

上記構成によれば、トップフォイルから第２部位に入力される荷重が所定値を上回る場合、第２部位及び第３部位がトップフォイルと接触するとともに、第１部位及び第４部位が軸受ハウジングの内周面と接触する。このため、トップフォイルから第２部位に入力される荷重が所定値を上回る場合にバンプフォイルの剛性が更に向上する。よって、トップフォイルから第２部位に入力される荷重が所定値を上回る場合、バンプフォイルの過剰な変形がより抑制される。よって、トップフォイルから第２部位に入力される荷重が所定値を上回る場合であっても回転軸をラジアル方向により安定的に支持することができる。

【0016】

上記のフォイル軸受において、前記荷重が前記所定値を上回る場合、前記第４部位は、前記内周面と面接触しているとよい。
上記構成によれば、トップフォイルから第２部位に入力される荷重が所定値を上回った場合に第１部位だけでなく第４部位も軸受ハウジングの内周面と面接触する。よって、バンプフォイルと軸受ハウジングの内周面との接触面積が確保される。よって、バンプフォイルによる軸受ハウジングの摩耗をより抑制できる。

【0017】

上記のフォイル軸受において、前記バンプフォイルの板厚は、均一であり、前記バンプフォイルは、前記第１部位と前記第２部位との間に設けられた前記第３部位の一部を切り欠くことにより形成された切り欠き部を有しているとよい。

【0018】

上記構成によれば、第１部位と第２部位との間に設けられた第３部位の剛性が、第１部位と第２部位との間に設けられた第４部位の剛性よりも小さくなる。これにより、第１部位と第２部位との間に設けられた第３部位が、第１部位と第２部位との間に設けられた第４部位よりも弾性変形しやすい。よって、トップフォイルから第２部位に入力される荷重が所定値を上回るとき、第１部位と第２部位との間に設けられた第４部位の変形が抑えられる。したがって、第４部位と軸受ハウジングとの接触面積の減少を抑制できるため、軸受ハウジングの摩耗抑制効果を好適に得ることができる。

【発明の効果】

【0019】

この発明によれば、回転軸をラジアル方向に安定的に支持することができるとともに、回転軸の振動を減衰させやすくしつつも、軸受ハウジングの摩耗を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】フォイル軸受が搭載された遠心圧縮機を示す概略構成図である。

【図2】フォイル軸受の断面図である。

【図3】バンプフォイルの概略図である。

【図4】荷重が所定値を上回る場合のフォイル軸受の断面図である。

【図5】荷重とバンプフォイルの弾性変形量との関係を示すグラフである。

【図6】フォイル軸受の変更例におけるバンプフォイルの斜視図である。

【図7】フォイル軸受の変更例におけるバンプフォイルの斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、フォイル軸受を具体化した実施形態を図１～図５にしたがって説明する。なお、本実施形態のフォイル軸受は、遠心圧縮機に搭載されている。
＜遠心圧縮機＞
図１に示すように、遠心圧縮機１００は、２つのフォイル軸受１０と、ハウジング１０１と、電動モータ１０２と、回転軸１０３と、インペラ１０４と、を備えている。電動モータ１０２、回転軸１０３、及びインペラ１０４は、ハウジング１０１に収容されている。電動モータ１０２は、ハウジング１０１に形成されたモータ室１０１ａに収容されている。インペラ１０４は、ハウジング１０１に形成されたインペラ室１０１ｂに収容されている。回転軸１０３は、モータ室１０１ａからインペラ室１０１ｂに至るまで延びている。回転軸１０３には、電動モータ１０２が取り付けられている。回転軸１０３の端部には、インペラ１０４が取り付けられている。電動モータ１０２が駆動することにより回転軸１０３が回転する。回転軸１０３が回転すると、インペラ１０４が回転する。インペラ１０４が回転すると、ハウジング１０１の外部からインペラ室１０１ｂに流体が引き込まれる。インペラ室１０１ｂ内に引き込まれた流体は、インペラ１０４の回転に伴い圧縮される。圧縮された流体は、ハウジング１０１の外部に吐出される。

【0022】

２つのフォイル軸受１０は、回転軸１０３をラジアル方向Ｒｄに支持している。ラジアル方向Ｒｄは、回転軸１０３の径方向である。２つのフォイル軸受１０は、回転軸１０３の軸方向において電動モータ１０２を挟む位置に設けられている。２つのフォイル軸受１０は、ハウジング１０１に固定されている。

【0023】

＜フォイル軸受＞
図２に示すように、フォイル軸受１０は、筒状の軸受ハウジング２０と、薄板状のトップフォイル３０と、３つの薄板状のバンプフォイル４０と、を備えている。なお、図２に示すフォイル軸受１０は、回転軸１０３が回転していないときの状況を記載している。

【0024】

＜軸受ハウジング＞
軸受ハウジング２０には、回転軸１０３が挿通される。以下の説明では、軸受ハウジング２０の軸方向を単に「軸方向Ａ」、軸受ハウジング２０の周方向を単に「周方向Ｂ」、軸受ハウジング２０の径方向を単に「径方向Ｃ」と記載する。

【0025】

軸受ハウジング２０は、内周面２０ａを有している。内周面２０ａは、周方向Ｂに湾曲した円筒面である。軸受ハウジング２０の内周面２０ａには、保持溝２０ｂが形成されている。保持溝２０ｂは、内周面２０ａに３つ設けられている。３つの保持溝２０ｂは、周方向Ｂにおいて所定の間隔を空けて配置されている。保持溝２０ｂは、軸方向Ａに延びている。なお、軸受ハウジング２０を形成する材料は、例えばアルミニウムである。

【0026】

＜トップフォイル＞
トップフォイル３０は、軸受ハウジング２０の内側に配置されている。トップフォイル３０は、回転軸１０３と軸受ハウジング２０との間に配置される。トップフォイル３０は、可撓性を有する長尺状の金属板材を筒状に湾曲させることにより形成されている。トップフォイル３０は、略円筒状である。トップフォイル３０の軸方向は、軸方向Ａと一致している。トップフォイル３０の周方向は、周方向Ｂと一致している。トップフォイル３０の径方向は、径方向Ｃと一致している。トップフォイル３０は、長縁が周方向Ｂに延びるように、且つ短縁が軸方向Ａに延びるように筒状に湾曲させることで形成されている。トップフォイル３０を形成する金属板材は、例えば、ステンレス鋼やインコネル（登録商標）型のニッケル合金により形成されている。すなわち、トップフォイル３０は、軸受ハウジング２０を形成する材料よりも硬度が高い材料により形成されている。

【0027】

トップフォイル３０は、固定端部３１と、自由端部３２と、を有している。固定端部３１は、トップフォイル３０を形成する金属板材の長辺方向に位置する一方の端部をトップフォイル３０の径方向外側へ折り曲げることにより形成されている。固定端部３１は、３つの保持溝２０ｂのうちの１つに挿入されている。固定端部３１は、例えば溶接等により保持溝２０ｂに固定されている。自由端部３２は、トップフォイル３０を形成する金属板材の長辺方向に位置する他方の端部である。自由端部３２は、固定端部３１の基端に対して周方向Ｂで離れた状態で対向している。したがって、トップフォイル３０は、一部が切り欠かれた非環状である。

【0028】

＜バンプフォイル＞
３つのバンプフォイル４０は、軸受ハウジング２０とトップフォイル３０との間に配置される。各バンプフォイル４０は、トップフォイル３０よりも径方向Ｃの外側に配置されている。各バンプフォイル４０は、周方向Ｂにおいて所定の間隔を空けて配置されている。各バンプフォイル４０の板厚は、トップフォイル３０の板厚よりも薄い。各バンプフォイル４０の板厚は、均一である。

【0029】

各バンプフォイル４０は、可撓性を有する長尺状の金属板材を略円弧状に湾曲させることにより形成されている。各バンプフォイル４０の短辺方向は、軸方向Ａに一致している。バンプフォイル４０を形成する金属板材は、例えば、ステンレス鋼やインコネル型のニッケル合金により形成されている。各バンプフォイル４０は、軸受ハウジング２０を形成する材料よりも硬度が高い材料により形成されている。

【0030】

各バンプフォイル４０は、固定端部４１と、自由端部４２と、を有している。固定端部４１は、バンプフォイル４０を形成する金属板材の長辺方向に位置する一方の端部である。各バンプフォイル４０の固定端部４１は、各保持溝２０ｂに挿入されている。１つの固定端部４１は、トップフォイル３０の固定端部３１とともに１つの保持溝２０ｂに挿入されている。トップフォイル３０の固定端部３１とともに保持溝２０ｂに挿入された固定端部４１は、例えば溶接等により固定端部３１とともに保持溝２０ｂに固定されている。残り２つの固定端部４１は、残り２つの保持溝２０ｂの各々に例えば溶接等により固定されている。自由端部４２は、バンプフォイル４０を形成する金属板材の長辺方向に位置する他方の端部である。周方向Ｂで隣り合うバンプフォイル４０の一方の自由端部４２は、周方向Ｂで隣り合うバンプフォイル４０の他方の固定端部４１と所定の間隔を空けて配置されている。なお、固定端部３１，４１の保持溝２０ｂへの固定手段は適宜変更してもよい。

【0031】

各バンプフォイル４０は、２つの第１部位５０と、２つの第２部位６０と、第１延設部７１と、第２延設部７２と、第３延設部７３と、第１端板部８１と、第２端板部８２と、を有している。

【0032】

２つの第１部位５０は、各バンプフォイル４０の一部をバンプフォイル４０の厚さ方向に湾曲させることにより形成されている。２つの第１部位５０は、バンプフォイル４０の長辺方向に間隔を空けて設けられている。２つの第１部位５０は、周方向Ｂにおいて所定の間隔を空けて設けられている。２つの第１部位５０は、軸受ハウジング２０の内周面２０ａに沿って延びている。２つの第１部位５０は、軸受ハウジング２０の内周面２０ａの曲率半径Ｒで湾曲している。２つの第１部位５０は、軸受ハウジング２０の内周面２０ａと面接触している。各バンプフォイル４０が軸受ハウジング２０の内側に設けられた状態において、第１部位５０は、軸受ハウジング２０の内周面２０ａの曲率半径Ｒで湾曲している。

【0033】

２つの第２部位６０は、各バンプフォイル４０の一部を厚さ方向に屈曲させることにより形成されている。２つの第２部位６０は、バンプフォイル４０の長辺方向において第１部位５０と交互に配置されている。２つの第２部位６０は、周方向Ｂにおいて所定の間隔を空けて設けられている。２つの第２部位６０は、トップフォイル３０に向けて膨らむように屈曲している。２つの第２部位６０は、トップフォイル３０と接触している。第２部位６０とトップフォイル３０との接触面積は、第１部位５０と軸受ハウジング２０との接触面積よりも小さい。

【0034】

図３には、バンプフォイル４０が軸受ハウジング２０の内側に配置されていない場合のバンプフォイル４０を示している。この場合、第１部位５０は、軸受ハウジング２０の内周面２０ａの曲率半径Ｒよりも大きい曲率半径Ｒ１で湾曲している。そして、図２に示すように、各バンプフォイル４０が軸受ハウジング２０の内側に配置された場合、バンプフォイル４０が軸受ハウジング２０とトップフォイル３０との間に挟み込まれる。これにより、第１部位５０は、軸受ハウジング２０の内周面２０ａに沿って延びるように弾性変形する。なお、第１部位５０の曲率半径Ｒ１は、曲率半径Ｒと同じであってもよい。この場合、各バンプフォイル４０が軸受ハウジング２０の内側に配置された場合、第１部位５０は弾性変形することなく軸受ハウジング２０の内周面２０ａに沿って延びる。

【0035】

第１延設部７１は、第１部位５０に連続している。第１延設部７１と第１部位５０との境界は、軸受ハウジング２０に向けて膨らむように屈曲している。第１延設部７１と第１部位５０とのなす角度は、鈍角である。第１延設部７１は、第１部位５０からトップフォイル３０に向けて延びている。第１延設部７１は、トップフォイル３０に至るまで延びていない。

【0036】

第２延設部７２は、第２部位６０に連続している。第２延設部７２は、第２部位６０から軸受ハウジング２０に向けて延びている。第２延設部７２は、軸受ハウジング２０に至るまで延びていない。

【0037】

第３延設部７３は、第１延設部７１と第２延設部７２との間に延びている。第３延設部７３は、第１延設部７１と連続している。第１延設部７１と第３延設部７３とのなす角度は、鈍角である。第１延設部７１と第３延設部７３との境界には、トップフォイル３０に向けて膨らむように屈曲した第１屈曲部７１１が形成されている。第３延設部７３は、第１延設部７１とともに第１屈曲部７１１を形成している。第１屈曲部７１１は、第１部位５０と第２部位６０との間に設けられている。第１屈曲部７１１は、第１延設部７１と第３延設部７３とが近づいたり離れたりするときに弾性力を発生させるばね構造である。回転軸１０３が回転していない場合、第１屈曲部７１１は、トップフォイル３０と非接触である。

【0038】

第３延設部７３は、第２延設部７２と連続している。第２延設部７２と第３延設部７３とのなす角度は、鈍角である。第２延設部７２と第３延設部７３との境界には、軸受ハウジング２０に向けて膨らむように屈曲した第２屈曲部７１２が形成されている。第３延設部７３は、第２延設部７２とともに第２屈曲部７１２を形成している。第２屈曲部７１２は、第２延設部７２と第３延設部７３とが近づいたり離れたりするときに弾性力を発生させるばね構造である。第３延設部７３及び第２屈曲部７１２は、第１部位５０と第２部位６０との間に設けられている。回転軸１０３が回転していない場合、第２屈曲部７１２は、軸受ハウジング２０と非接触である。よって、バンプフォイル４０は、軸受ハウジング２０とトップフォイル３０との間において第２部位６０、第１屈曲部７１１、及び第２屈曲部７１２の各々の弾性力によりトップフォイル３０を弾性的に支持する。

【0039】

第２屈曲部７１２は、第１屈曲部７１１よりも軸受ハウジング２０の内周面２０ａに近い位置に配置されている。第１屈曲部７１１は、第２屈曲部７１２よりもトップフォイル３０に近い位置に配置されている。つまり、回転軸１０３が回転していない場合、第３延設部７３は、周方向Ｂにおいて第１屈曲部７１１から第２屈曲部７１２に向かうにつれて徐々に軸受ハウジング２０の内周面２０ａに近づくように延びている。

【0040】

図２及び図３に示すように、回転軸１０３が回転していない場合、第３延設部７３は、軸受ハウジング２０に向けて膨らむように湾曲している。第３延設部７３は、軸受ハウジング２０の内周面２０ａの曲率半径Ｒよりも大きい曲率半径Ｒ２で湾曲している。なお、回転軸１０３が回転していない場合、第３延設部７３の曲率半径Ｒ２は、曲率半径Ｒと同じであってもよい。要するに、回転軸１０３が回転していない場合、第３延設部７３は、曲率半径Ｒ以上の曲率半径Ｒ２で湾曲していればよい。

【0041】

第１端板部８１は、各バンプフォイル４０の固定端部４１の基端と第１部位５０との間に設けられている。第１端板部８１は、各バンプフォイル４０の固定端部４１の基端に連続している。第１端板部８１は、第１部位５０に連続している。第１端板部８１は、第１板部８１ａと、第２板部８１ｂと、第３板部８１ｃと、を有している。第１板部８１ａは、各バンプフォイル４０の固定端部４１の基端から軸受ハウジング２０とトップフォイル３０との間に向けて延びている。第２板部８１ｂは、各バンプフォイル４０の一部を厚さ方向に屈曲させることにより形成されている。第２板部８１ｂは、トップフォイル３０に向けて膨らむように屈曲している。回転軸１０３が回転していない場合、第２板部８１ｂは、トップフォイル３０と非接触である。第３板部８１ｃは、第２板部８１ｂと第１部位５０とに連続している。第３板部８１ｃは、第２板部８１ｂから軸受ハウジング２０に向けて延びている。

【0042】

第２端板部８２は、各バンプフォイル４０の自由端部４２と第２部位６０との間に設けられている。第２端板部８２は、各バンプフォイル４０の自由端部４２に連続している。第２端板部８２は、第２部位６０と連続している。第２端板部８２は、軸受ハウジング２０に向けて膨らむように湾曲している湾曲部位８２ａを有している。湾曲部位８２ａは、軸受ハウジング２０の内周面２０ａの曲率半径Ｒと同じ曲率半径で湾曲している。回転軸１０３が回転していない場合、第２端板部８２は、軸受ハウジング２０と非接触である。

【0043】

＜トップフォイルの変形及びバンプフォイルの変形＞
図２に示すように、遠心圧縮機１００が駆動し始めると、回転軸１０３が矢印Ｄの方向に回転する。回転軸１０３の回転数が所定の回転数に到達したとき、回転軸１０３とトップフォイル３０との間に流体膜が形成される。この流体膜の動圧によって、回転軸１０３がトップフォイル３０に対して浮上する。この流体膜により回転軸１０３がトップフォイル３０と非接触である状態でラジアル方向Ｒｄに支持される。

【0044】

回転軸１０３が回転して流体膜が形成されると、流体膜によりトップフォイル３０が軸受ハウジング２０の径方向外側方向に向けて膨らむように弾性変形する。径方向外側方向とは、径方向Ｃのうち軸受ハウジング２０の軸線から内周面２０ａに向かう方向である。すると、トップフォイル３０における軸受ハウジング２０の径方向外側方向への変位によってトップフォイル３０から第２部位６０に荷重Ｇが入力される。

【0045】

回転軸１０３の回転数が所定の回数数から上昇していくと、荷重Ｇも上昇していく。荷重Ｇが上昇していくことにより、トップフォイル３０がバンプフォイル４０の第２部位６０を軸受ハウジング２０に向けて押圧することにより第２屈曲部７１２が軸受ハウジング２０の内周面２０ａに徐々に近づく。荷重Ｇが上昇していくことにより、トップフォイル３０が第１端板部８１の第２板部８１ｂ及び第１屈曲部７１１に近づく。荷重Ｇが上昇していくことにより、バンプフォイル４０の第２端板部８２が軸受ハウジング２０の内周面２０ａに近づく。

【0046】

荷重Ｇが所定値Ｇｔｈ以下である場合には、第２屈曲部７１２及び第３延設部７３は軸受ハウジング２０の内周面２０ａと非接触である。荷重Ｇが所定値Ｇｔｈ以下である場合、第２端板部８２の湾曲部位８２ａは、軸受ハウジング２０の内周面２０ａと非接触である。荷重Ｇが所定値Ｇｔｈ以下である場合、第１端板部８１の第２板部８１ｂ及び第１屈曲部７１１はトップフォイル３０と非接触である。

【0047】

図４に示すように、荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合、第２屈曲部７１２及び第３延設部７３は軸受ハウジング２０の内周面２０ａと接触する。荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合、第２端板部８２の湾曲部位８２ａが軸受ハウジング２０の内周面２０ａと面接触する。荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合、第１端板部８１の第２板部８１ｂ及び第１屈曲部７１１はトップフォイル３０と接触する。

【0048】

荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回ると、第２部位６０は、周方向Ｂに広がるように弾性変形する。第２部位６０は、トップフォイル３０における軸受ハウジング２０の径方向外側方向への変位に伴い弾性変形する。第２部位６０が周方向Ｂに広がるように弾性変形すると、第２部位６０の弾性力が第２延設部７２を介して第３延設部７３に伝わる。このとき、第１屈曲部７１１はトップフォイル３０と接触しているため、第１屈曲部７１１にも荷重Ｇが作用している。第３延設部７３には、第２延設部７２側から第２部位６０の弾性力が作用しており、且つ第１延設部７１側から荷重Ｇが作用しているため、第３延設部７３が厚さ方向に屈曲するように弾性変形する。これにより、第３延設部７３における屈曲した箇所と第１延設部７１との間に位置する部位は、第１延設部７１に近接する。すなわち、第１屈曲部７１１が周方向Ｂに圧縮される。

【0049】

また、第３延設部７３における屈曲した箇所と第２延設部７２との間に位置する部位が、荷重Ｇにより軸受ハウジング２０の内周面２０ａに押し付けられる。このため、第３延設部７３の一部が軸受ハウジング２０の内周面２０ａに沿って延びるように弾性変形する。よって、荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合、第３延設部７３の一部は、軸受ハウジング２０の内周面２０ａに沿って当該内周面２０ａと接触する。

【0050】

第２板部８１ｂ及び第１屈曲部７１１は、荷重Ｇが所定値Ｇｔｈ以下である場合には、トップフォイル３０と非接触であり、荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合には、第２部位６０の弾性変形に伴いトップフォイル３０と接触する第３部位７０である。バンプフォイル４０は、少なくとも第１部位５０と第２部位６０との間に設けられており、且つトップフォイル３０と接触可能な第３部位７０を有している。

【0051】

第２屈曲部７１２、第３延設部７３、及び湾曲部位８２ａは、荷重Ｇが所定値Ｇｔｈ以下である場合には、内周面２０ａと非接触であり、荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合には、第２部位６０の弾性変形に伴い内周面２０ａと接触する第４部位８０である。バンプフォイル４０は、少なくとも第１部位５０と第２部位６０との間に設けられており、且つ内周面２０ａと接触可能な第４部位８０を有している。また、第３延設部７３の一部が内周面２０ａと面接触している。このため、荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合、第４部位８０は、内周面２０ａと面接触している。

【0052】

＜荷重とバンプフォイルの弾性変形量との関係＞
図２及び図５に示すように、荷重Ｇが所定値Ｇｔｈ以下である場合には、第３部位７０は、トップフォイル３０と非接触である。このため、荷重Ｇが所定値Ｇｔｈ以下である場合には、バンプフォイル４０の弾性変形量を確保できる。このため、荷重Ｇが所定値Ｇｔｈ以下である場合には、荷重Ｇの上昇に伴うバンプフォイル４０の弾性変形量は、比較的多くなるといえる。

【0053】

図４及び図５に示すように、荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合には、第３部位７０がトップフォイル３０と接触し、且つ第４部位８０が内周面２０ａと接触する。このため、バンプフォイル４０の剛性が向上する。このため、荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合、バンプフォイル４０の弾性変形量は、荷重Ｇが所定値Ｇｔｈ以下である場合のバンプフォイル４０の弾性変形量よりも少なくなる。このため、荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合、荷重Ｇの上昇に伴うバンプフォイル４０の弾性変形量は、比較的少なくなるといえる。

【0054】

図５に示すように、本実施形態のバンプフォイル４０は、荷重Ｇが所定値Ｇｔｈ以下である場合に剛性を比較的低く抑えつつ、荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合に剛性を比較的高くするばね特性を有している。

【0055】

［本実施形態の作用］
本実施形態の作用を説明する。
回転軸１０３の回転数が所定の回転数に到達したとき、回転軸１０３とトップフォイル３０との間に流体膜が形成される。そして、回転軸１０３は流体膜によりラジアル方向Ｒｄに支持される。トップフォイル３０から第２部位６０に入力される荷重Ｇが所定値Ｇｔｈ以下である場合、バンプフォイル４０の第３部位７０がトップフォイル３０と非接触であるため、バンプフォイル４０の弾性変形量を確保できる。このため、バンプフォイル４０によってトップフォイル３０を弾性的に支持できる。トップフォイル３０から第２部位６０に入力される荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合、バンプフォイル４０の第３部位７０がトップフォイル３０と接触するため、バンプフォイル４０の剛性が向上する。このため、バンプフォイル４０が過剰に変形しない。よって、回転軸１０３をラジアル方向Ｒｄに安定的に支持することができる。

【0056】

バンプフォイル４０の第１部位５０が軸受ハウジング２０の内周面２０ａと面接触している。このため、振動している回転軸１０３をバンプフォイル４０により支持した際に、第１部位５０が変形しにくい。第１部位５０がばね構造である場合と比較すると、回転軸１０３の変位を軸受ハウジング２０で受け止めやすくなるため、回転軸１０３の振動を減衰させやすい。さらに、第１部位５０が軸受ハウジング２０の内周面２０ａと面接触しているため、第１部位５０と軸受ハウジング２０との接触面積を確保しやすくなる。よって、バンプフォイル４０が、軸受ハウジング２０を形成する材料よりも硬度が高い材料により形成されていても、バンプフォイル４０による軸受ハウジング２０の摩耗が抑制される。

【0057】

［本実施形態の効果］
本実施形態の効果を説明する。
（１）バンプフォイル４０の第１部位５０が軸受ハウジング２０の内周面２０ａと面接触することにより、回転軸１０３の振動を軸受ハウジング２０で受け止めつつ、バンプフォイル４０と軸受ハウジング２０との接触面積を確保できる。以上により、回転軸１０３をラジアル方向Ｒｄに安定的に支持することができるとともに、回転軸１０３の振動を減衰させやすくしつつも、軸受ハウジング２０の摩耗を抑制できる。ひいては、フォイル軸受１０の長寿命化を実現することができる。

【0058】

（２）トップフォイル３０から第２部位６０に入力される荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合、第２部位６０及び第３部位７０がトップフォイル３０と接触するとともに、第１部位５０及び第４部位８０が軸受ハウジング２０の内周面２０ａと接触する。このため、トップフォイル３０から第２部位６０に入力される荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合にバンプフォイル４０の剛性が更に向上する。よって、トップフォイル３０から第２部位６０に入力される荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合、バンプフォイル４０の過剰な変形がより抑制される。よって、トップフォイル３０から第２部位６０に入力される荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合であっても回転軸１０３をラジアル方向Ｒｄにより安定的に支持することができる。

【0059】

（３）トップフォイル３０から第２部位６０に入力される荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回った場合に第１部位５０だけでなく第４部位８０も軸受ハウジング２０の内周面２０ａと面接触する。よって、バンプフォイル４０と軸受ハウジング２０の内周面２０ａとの接触面積が確保される。よって、バンプフォイル４０による軸受ハウジング２０の摩耗をより抑制できる。

【0060】

（４）回転軸１０３の振動を減衰させやすくなるため、回転軸１０３が振動することにより軸受ハウジング２０が共振することを抑制できる。
［変更例］
なお、上記各実施形態は、以下のように変更して実施できる。上記各実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施できる。

【0061】

○ 図６に示すように、バンプフォイル４０は、第１切り欠き部７４と、第２切り欠き部７５と、を有していてもよい。第１切り欠き部７４は、バンプフォイル４０の短辺方向において、第１屈曲部７１１の両側の一部を切り欠くことにより形成されている。本変更例では、第３延設部７３における第１切り欠き部７４に隣り合う一部も切り欠いている。このため、第１切り欠き部７４は、バンプフォイル４０の長辺方向において、第３延設部７３における第１屈曲部７１１を形成する一部分にまで設けられている。第１切り欠き部７４は、第１部位５０と第２部位６０との間に設けられた第３部位７０の一部を切り欠くことにより形成された切り欠き部である。

【0062】

第１切り欠き部７４を形成することにより、バンプフォイル４０の短辺方向において、第１屈曲部７１１は、第３延設部７３のうち最も長い箇所よりも短い。第１切り欠き部７４により第３延設部７３を切り欠く量は、荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合に第３延設部７３の一部と軸受ハウジング２０の内周面２０ａとが面接触することにより接触面積を十分に確保できる量とする。

【0063】

第２切り欠き部７５は、バンプフォイル４０の短辺方向において、第２部位６０の両側の一部を切り欠くことにより形成されている。第２切り欠き部７５を形成することにより、バンプフォイル４０の短辺方向において、第２部位６０は、第３延設部７３のうち最も長い箇所よりも短い。

【0064】

バンプフォイル４０は、第３切り欠き部７６と、第４切り欠き部７７と、を有していてもよい。第３切り欠き部７６は、バンプフォイル４０の短辺方向において、第１端板部８１の両側の一部を切り欠くことにより形成されている。第３切り欠き部７６は、第１端板部８１の第２板部８１ｂの一部を切り欠いている。第３切り欠き部７６を形成することにより、バンプフォイル４０の短辺方向において、第１端板部８１は、第１部位５０よりも短い。

【0065】

第４切り欠き部７７は、バンプフォイル４０の短辺方向において、第２端板部８２の両側の一部及び自由端部４２の両側の一部を切り欠くことにより形成されている。第４切り欠き部７７を形成することにより、バンプフォイル４０の短辺方向において、第２端板部８２は、第３延設部７３のうち最も長い箇所よりも短い。バンプフォイル４０の短辺方向において、自由端部４２は、第２端板部８２と同じ長さである。

【0066】

このように変更することにより、第１切り欠き部７４により第１屈曲部７１１の剛性が、第３延設部７３の剛性よりも小さくなる。これにより、第１屈曲部７１１が第３延設部７３よりも弾性変形しやすい。よって、トップフォイル３０から第２部位６０に入力される荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回るとき、第３延設部７３の変形が抑えられる。したがって、第１部位５０と第２部位６０との間に設けられた第４部位８０と軸受ハウジング２０との接触面積の減少を抑制できるため、軸受ハウジング２０の摩耗抑制効果を好適に得ることができる。

【0067】

第２切り欠き部７５により第２部位６０がより弾性変形しやすくなる。このため、トップフォイル３０から第２部位６０に入力される荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合には、第３延設部７３の一部が軸受ハウジング２０の内周面２０ａと面接触した状態を維持しやすくなる。

【0068】

第３切り欠き部７６により第１端板部８１の第２板部８１ｂがより弾性変形しやすくなる。このため、トップフォイル３０から第２部位６０に入力される荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合には、第１部位５０が軸受ハウジング２０の内周面２０ａと面接触した状態を維持しやすくなる。

【0069】

第４切り欠き部７７により第２端板部８２が弾性変形しやすくなるため、トップフォイル３０から第２部位６０に入力される荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合には、湾曲部位８２ａが軸受ハウジング２０の内周面２０ａに向けて押し付けられやすくなる。

【0070】

○ 図６に示す変更例において、第１切り欠き部７４は、バンプフォイル４０の短辺方向において、第１屈曲部７１１の一方側だけ切り欠くことにより形成されていてもよい。要するに、第１切り欠き部７４は、第１屈曲部７１１の一部を切り欠くことにより形成されていればよい。

【0071】

○ 図６に示す変更例において、第２切り欠き部７５は、バンプフォイル４０の短辺方向において、第２部位６０の一方側だけを切り欠くことにより形成されていてもよい。要するに、第２切り欠き部７５は、第２部位６０の一部を切り欠くことにより形成されていればよい。

【0072】

○ 図６に示す変更例において、第３切り欠き部７６は、バンプフォイル４０の短辺方向において、第１端板部８１の第２板部８１ｂ及び第３板部８１ｃの両側の一部を切り欠くことにより形成されていてもよい。第３切り欠き部７６は、バンプフォイル４０の短辺方向において、第１端板部８１の第２板部８１ｂ及び第３板部８１ｃの一方側だけ切り欠くことにより形成されていてもよい。

【0073】

第３切り欠き部７６は、バンプフォイル４０の短辺方向において、第１端板部８１における第２板部８１ｂの両側の一部のみを切り欠くことにより形成されていてもよい。第３切り欠き部７６は、バンプフォイル４０の短辺方向において、第１端板部８１における第２板部８１ｂの一方側のみを切り欠くことにより形成されていてもよい。要するに、第３切り欠き部７６は、少なくとも第１部位５０と第２部位６０との間に設けられていない第３部位７０の一部を切り欠くことにより形成されていればよい。

【0074】

○ 図６に示す変更例において、バンプフォイル４０は、第１切り欠き部７４を省略して、第２切り欠き部７５、第３切り欠き部７６、及び第４切り欠き部７７の少なくとも１つを有していてもよい。バンプフォイル４０は、第２切り欠き部７５、第３切り欠き部７６、及び第４切り欠き部７７を省略して、第１切り欠き部７４を有していてもよい。

【0075】

○ 図７に示すように、バンプフォイル４０は、第１切り欠き部９１と、第２切り欠き部９２と、を有していてもよい。第１切り欠き部９１は、バンプフォイル４０の短辺方向において、第１屈曲部７１１の中央の一部を切り欠くことにより形成されている。本変更例では、第３延設部７３における第１切り欠き部９１に隣り合う一部も切り欠いている。このため、第１切り欠き部９１は、バンプフォイル４０の長辺方向において、第３延設部７３における第１屈曲部７１１を形成する一部分にまで設けられている。第１切り欠き部９１は、第１部位５０と第２部位６０との間に設けられた第３部位７０の一部を切り欠くことにより形成された切り欠き部である。第１切り欠き部９１により第３延設部７３を切り欠く量は、荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合に第３延設部７３の一部と軸受ハウジング２０の内周面２０ａとが面接触することにより接触面積を十分に確保できる量とする。

【0076】

第２切り欠き部９２は、バンプフォイル４０の短辺方向において、第２部位６０の中央の一部を切り欠くことにより形成されている。
バンプフォイル４０は、第３切り欠き部９３と、第４切り欠き部９４と、を有していてもよい。第３切り欠き部９３は、バンプフォイル４０の短辺方向において、第１端板部８１の中央の一部を切り欠くことにより形成されている。第３切り欠き部９３は、第１端板部８１の第２板部８１ｂの一部を切り欠いている。第４切り欠き部９４は、バンプフォイル４０の短辺方向において、第２端板部８２の中央の一部及び自由端部４２の中央の一部を切り欠くことにより形成されている。

【0077】

このように変更することにより、第１切り欠き部９１により第１屈曲部７１１の剛性が、第３延設部７３の剛性よりも小さくなる。これにより、第１屈曲部７１１が第３延設部７３よりも弾性変形しやすい。よって、トップフォイル３０から第２部位６０に入力される荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回るとき、第３延設部７３の変形が抑えられる。したがって、第１部位５０と第２部位６０との間に設けられた第４部位８０と軸受ハウジング２０との接触面積の減少を抑制できるため、軸受ハウジング２０の摩耗抑制効果を好適に得ることができる。

【0078】

第２切り欠き部９２により第２部位６０がより弾性変形しやすくなる。このため、トップフォイル３０から第２部位６０に入力される荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合には、第３延設部７３の一部が軸受ハウジング２０の内周面２０ａと面接触した状態を維持しやすくなる。

【0079】

第３切り欠き部９３により第１端板部８１の第２板部８１ｂがより弾性変形しやすくなる。このため、トップフォイル３０から第２部位６０に入力される荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合には、第１部位５０が軸受ハウジング２０の内周面２０ａと面接触した状態を維持しやすくなる。

【0080】

第４切り欠き部９４により第２端板部８２が弾性変形しやすくなるため、トップフォイル３０から第２部位６０に入力される荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合には、湾曲部位８２ａが軸受ハウジング２０の内周面２０ａに向けて押し付けられやすくなる。

【0081】

○ 図７に示す変更例において、第３切り欠き部９３は、バンプフォイル４０の短辺方向において、第１端板部８１の第２板部８１ｂ及び第３板部８１ｃの中央の一部を切り欠くことにより形成されていてもよい。第３切り欠き部９３は、バンプフォイル４０の短辺方向において、第１端板部８１における第２板部８１ｂの中央の一部のみを切り欠くことにより形成されていてもよい。要するに、第３切り欠き部９３は、少なくとも第１部位５０と第２部位６０との間に設けられていない第３部位７０の一部を切り欠くことにより形成されていればよい。

【0082】

○ 図７に示す変更例において、バンプフォイル４０は、第１切り欠き部９１を省略して、第２切り欠き部９２、第３切り欠き部９３、及び第４切り欠き部９４の少なくとも１つを有していてもよい。バンプフォイル４０は、第２切り欠き部９２、第３切り欠き部９３、及び第４切り欠き部９４を省略して、第１切り欠き部９１を有していてもよい。

【0083】

○ トップフォイル３０から第２部位６０に入力される荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合、第３延設部７３の一部が軸受ハウジング２０の内周面２０ａと非接触であってもよい。この場合、第１屈曲部７１１がトップフォイル３０に、第２屈曲部７１２が軸受ハウジング２０の内周面２０ａと接触していればよい。要するに、トップフォイル３０から第２部位６０に入力される荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合には、第４部位８０が軸受ハウジング２０の内周面２０ａと接触していればよい。なお、第３延設部７３は、平板状に変更してもよい。

【0084】

○ トップフォイル３０から第２部位６０に入力される荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合、第２屈曲部７１２は、軸受ハウジング２０の内周面２０ａと非接触であってもよい。つまり、トップフォイル３０から第２部位６０に入力される荷重Ｇが所定値Ｇｔｈを上回る場合には、第４部位８０が軸受ハウジング２０の内周面２０ａと非接触であってもよい。

【0085】

○ 各バンプフォイル４０において、第１部位５０の数及び第２部位６０の数は適宜変更してもよい。
○ ３つのバンプフォイル４０が採用されたが、１つの略円筒状のバンプフォイル４０を採用してもよい。この場合、軸受ハウジング２０の保持溝２０ｂは、１つのみでよい。なお、第１部位５０の数及び第２部位６０の数は、バンプフォイル４０がトップフォイル３０を適切に弾性的に支持できる程度の数に変更する。

【0086】

○ バンプフォイル４０の第１端板部８１は、第２板部８１ｂを省略して、第１板部８１ａと第３板部８１ｃとが連続していてもよい。
○ バンプフォイル４０は、第２端板部８２は、省略してもよい。

【0087】

○ フォイル軸受１０は、遠心圧縮機１００の回転軸１０３をラジアル方向Ｒｄに支持するもの限らない。フォイル軸受１０の適用先は、適宜変更してもよい。

【符号の説明】

【0088】

１０…フォイル軸受、２０…軸受ハウジング、２０ａ…内周面、３０…トップフォイル、４０…バンプフォイル、５０…第１部位、６０…第２部位、７０…第３部位、８０…第４部位、７４，９１…切り欠き部としての第１切り欠き部、１０３…回転軸、Ｃ…軸受ハウジングの径方向、Ｒｄ…ラジアル方向、Ｇ…荷重、Ｇｔｈ…所定値、Ｒ…軸受ハウジングの内周面の曲率半径。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】