特開2024-143130基板搬送機構の動作判定方法

発明の名称　基板搬送機構の動作判定方法

出願人　ＳＰＰテクノロジーズ株式会社　（識別番号 511265154）

　　　　特許公開件数ランキング 11770 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3241 位（4件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-143130

公報発行日　2024年10月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-143130

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