特開 2024-143304 電解めっき装置、給電ローラユニットおよび搬送ローラユニット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024143304

(43)【公開日】2024-10-11

(54)【発明の名称】電解めっき装置、給電ローラユニットおよび搬送ローラユニット

(51)【国際特許分類】

   C25D 17/00 20060101AFI20241003BHJP

   C25D 21/12 20060101ALI20241003BHJP

   C25D 7/06 20060101ALI20241003BHJP

【ＦＩ】

C25D17/00 G

C25D21/12 E

C25D21/12 G

C25D7/06 C

C25D7/06 N

C25D7/06 L

【審査請求】未請求

【請求項の数】21

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023055907

(22)【出願日】2023-03-30

(71)【出願人】

【識別番号】000230249

【氏名又は名称】メクテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120031

【弁理士】

【氏名又は名称】宮嶋 学

(74)【代理人】

【識別番号】100107582

【弁理士】

【氏名又は名称】関根 毅

(74)【代理人】

【識別番号】100152205

【弁理士】

【氏名又は名称】吉田 昌司

(72)【発明者】

【氏名】金子 匠

(72)【発明者】

【氏名】藤田 憲政

(72)【発明者】

【氏名】松田 文彦

(72)【発明者】

【氏名】豊島 良一

【テーマコード（参考）】

4K024

【Ｆターム（参考）】

4K024BB11

4K024CB03

4K024CB10

4K024CB24

4K024CB26

4K024EA02

(57)【要約】

【課題】被めっき物の製品領域の損傷を防ぎつつ、電解めっき処理を連続的に行う電解めっき装置を提供する。
【解決手段】実施形態に係る電解めっき装置１は、可撓性を有する長尺の被めっき物Ｍを搬送しつつ電解めっきを行う電解めっき装置１であって、被めっき物Ｍに給電するための給電ローラユニット２０と、被めっき物Ｍをその長手方向に沿って搬送するための搬送ローラユニット３０と、を備え、給電ローラユニット２０は、被めっき物Ｍの製品領域Ｐに接触せず製品領域Ｐ以外の非製品領域ＮＰに接触可能に互いに離間して配置された複数の給電ローラ２１，２２と、複数の給電ローラ２１，２２を接続し、複数の給電ローラ２１，２２とともに回転するシャフト２４とを有する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

可撓性を有する長尺の被めっき物を搬送しつつ電解めっきを行う電解めっき装置であって、
前記被めっき物に給電するための給電ローラユニットと、
前記被めっき物をその長手方向に沿って搬送するための搬送ローラユニットと、
を備え、
前記給電ローラユニットは、前記被めっき物の製品領域に接触せず前記製品領域以外の非製品領域に接触可能に互いに離間して配置された複数の給電ローラと、前記複数の給電ローラを接続し、前記複数の給電ローラとともに回転するシャフトとを有する、電解めっき装置。

【請求項2】

前記非製品領域は、前記製品領域を挟むように配置された第１の非製品領域および第２の非製品領域を含み、
前記給電ローラユニットは、前記複数の給電ローラとして、前記第１の非製品領域に接触可能に配置された第１の給電ローラと、前記第２の非製品領域に接触可能に配置された第２の給電ローラとを有する、請求項１に記載の電解めっき装置。

【請求項3】

前記製品領域は、前記第１の非製品領域に隣接する第１の製品領域と、前記第２の非製品領域に隣接する第２の製品領域とを含み、
前記非製品領域は、前記第１の製品領域と前記第２の製品領域との間に配置された第３の非製品領域をさらに含み、
前記給電ローラユニットは、前記第１の給電ローラと前記第２の給電ローラの間に設けられ、前記第３の非製品領域に接触可能に配置された第３の給電ローラをさらに有する、請求項２に記載の電解めっき装置。

【請求項4】

前記給電ローラユニットは、前記複数の給電ローラの位置を、前記製品領域のレイアウトに応じて変更可能に構成されている、請求項１に記載の電解めっき装置。

【請求項5】

前記複数の給電ローラには中心軸に沿って貫通孔が設けられ、前記シャフトは前記複数の給電ローラの貫通孔に挿通されており、前記各給電ローラは前記非製品領域に接触可能に前記シャフトに固定されている、請求項１～４のいずれかに記載の電解めっき装置。

【請求項6】

前記各給電ローラは、前記シャフトが挿通される貫通孔が設けられた本体部と、前記本体部に設けられ、前記給電ローラに固定されるフランジ部とを有する固定部材により前記シャフトにねじ固定される、請求項５に記載の電解めっき装置。

【請求項7】

前記シャフトの外周面には雄ねじが形成され、前記各給電ローラの前記貫通孔には前記雄ねじと螺合する雌ねじが形成されており、前記各給電ローラは前記シャフトにねじ固定される、請求項５に記載の電解めっき装置。

【請求項8】

前記複数の給電ローラには中心軸に沿って貫通孔または凹部が設けられ、
前記シャフトは、複数の短尺シャフトを有し、
前記短尺シャフトは、一端が前記複数の給電ローラのうちの第１の給電ローラに固定され、他端が前記複数の給電ローラのうち前記第１の給電ローラと隣り合う第２の給電ローラに固定され、前記一端は前記第１の給電ローラの貫通孔または凹部に挿入され、前記他端は前記第２の給電ローラの貫通孔または凹部に挿入されている、請求項１～４のいずれかに記載の電解めっき装置。

【請求項9】

前記各給電ローラは、前記短尺シャフトが挿通される貫通孔が設けられた本体部と、前記本体部に設けられ、前記給電ローラに固定されるフランジ部とを有する固定部材により前記短尺シャフトにねじ固定される、請求項８に記載の電解めっき装置。

【請求項10】

前記短尺シャフトの外周面には雄ねじが形成され、前記各給電ローラの貫通孔または凹部には前記雄ねじと螺合する雌ねじが形成されており、前記各給電ローラは前記短尺シャフトにねじ固定される、請求項８に記載の電解めっき装置。

【請求項11】

前記搬送ローラユニットは、前記被めっき物の製品領域に接触せず前記製品領域以外の非製品領域に接触可能に互いに離間して配置された複数の搬送ローラと、前記複数の搬送ローラを接続し、前記複数の搬送ローラとともに回転するシャフトとを有する、請求項１～４のいずれかに記載の電解めっき装置。

【請求項12】

前記非製品領域は、前記製品領域を挟むように配置された第１の非製品領域および第２の非製品領域を含み、
前記搬送ローラユニットは、前記複数の搬送ローラとして、前記第１の非製品領域に接触可能に配置された第１の搬送ローラと、前記第２の非製品領域に接触可能に配置された第２の搬送ローラとを有する、請求項１１に記載の電解めっき装置。

【請求項13】

前記搬送ローラユニットは、前記複数の搬送ローラの位置を、前記製品領域のレイアウトに応じて変更可能に構成されている、請求項１１に記載の電解めっき装置。

【請求項14】

前記給電ローラと前記被めっき物との接触を保持するための接触保持機構をさらに備える、請求項１～４のいずれかに記載の電解めっき装置。

【請求項15】

前記接触保持機構は、前記複数の給電ローラのうち少なくとも１つの給電ローラの高さ位置を検出する位置検出部と、前記給電ローラの高さ位置に基づいて前記給電ローラユニットの高さを調整する位置調整部と、を有する、請求項１４に記載の電解めっき装置。

【請求項16】

前記接触保持機構は、前記被めっき物によって前記給電ローラユニットに掛かる力を検出する力検出部と、前記給電ローラに掛かる力に基づいて前記給電ローラユニットの高さを調整する位置調整部と、を有する、請求項１４に記載の電解めっき装置。

【請求項17】

前記被めっき物に電解めっきを行うための処理槽と、
前記被めっき物の搬送方向に沿って前記処理槽の前後に設けられた給電槽と、
を備える、請求項１～４のいずれかに記載の電解めっき装置。

【請求項18】

被めっき物に給電するための給電ローラユニットであって
前記被めっき物の製品領域に接触せず前記製品領域以外の非製品領域に接触可能に互いに離間して配置された導電性の複数の給電ローラと、前記複数の給電ローラを接続し、前記複数の給電ローラとともに回転するシャフトとを有する、給電ローラユニット。

【請求項19】

前記複数の給電ローラの位置を、前記製品領域のレイアウトに応じて変更可能に構成されている、請求項１８に記載の給電ローラユニット。

【請求項20】

被めっき物をその長手方向に沿って搬送するための搬送ローラユニットであって、
前記被めっき物の製品領域に接触せず前記製品領域以外の非製品領域に接触可能に互いに離間して配置された複数の搬送ローラと、前記複数の搬送ローラを回転させるシャフトとを有する、搬送ローラユニット。

【請求項21】

前記複数の搬送ローラの位置を、前記製品領域のレイアウトに応じて変更可能に構成されている、請求項２０に記載の搬送ローラユニット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電解めっき装置、給電ローラユニットおよび搬送ローラユニットに関し、より詳しくは、ロールツーロール工程における電解めっき処理に用いられる電解めっき装置、ならびに当該電解めっき装置が備える給電ローラユニットおよび搬送ローラユニットに関する。

【背景技術】

【0002】

可撓性プリント配線板（フレキシブルプリント配線板）は、屈曲可能なプリント基板であり、折り畳んだ状態で実装できることから小型電子機器などの基板として多く用いられている。可撓性プリント配線板の回路を形成する方法として、所望のパターンを有するめっきレジストの開口部に露出した銅箔をエッチングで除去することで配線を形成するサブトラクティブ法と、めっきレジストの開口部に露出したシード層に銅めっきを析出し、その後シード層を除去することで配線を形成するセミアディティブ法とが知られている。このうちセミアディティブ法は、めっきレジストの解像度に応じて配線の解像度を上げることができるため、微細な配線を形成するのに優れている。

【0003】

サブトラクティブ法およびセミアディティブ法のいずれの方法についても、ロールツーロール工程を用いて可撓性プリント配線板を連続的に製造することが可能である。ロールツーロール工程は、枚葉での生産と比べて高い生産性を有する。

【0004】

電解めっき処理をロールツーロール工程において行うために、特許文献１に記載されたような電解めっき装置が知られている。電解めっき装置は、絶縁フィルム上の銅に給電するための給電ローラ（カソードローラ）を給電槽内に備えている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特許３４２９６８６号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

上記のように、電解めっき装置は、電解めっき処理を行う対象である被めっき物に電流を流すための給電ローラを備える。給電ローラは、少なくとも被めっき物と接する部分は銅などの金属からなる。しかし、金属は剛性が高いため、被めっき物を搬送する際、給電ローラがめっきレジストに接触しめっきレジストを破壊するおそれがある。その結果、めっきレジストが破壊された部分にめっきが析出して、回路の配線間においてショート不良が生じるおそれがある。

【0007】

本発明は、上記技術的認識に基づいてなされたものであり、その目的の一つは、被めっき物の製品領域の損傷を防ぎつつ、電解めっき処理を連続的に行う電解めっき装置を提供することである。ただし、この目的に限られず、後述する各実施形態の構成による各効果に対応する目的を、本発明の目的の一つとしてもよい。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明に係る電解めっき装置は、
可撓性を有する長尺の被めっき物を搬送しつつ電解めっきを行う電解めっき装置であって、
前記被めっき物に給電するための給電ローラユニットと、
前記被めっき物をその長手方向に沿って搬送するための搬送ローラユニットと、
を備え、
前記給電ローラユニットは、前記被めっき物の製品領域に接触せず前記製品領域以外の非製品領域に接触可能に互いに離間して配置された複数の給電ローラと、前記複数の給電ローラを接続し、前記複数の給電ローラとともに回転するシャフトとを有することを特徴とする。

【0009】

また、前記電解めっき装置において、
前記非製品領域は、前記製品領域を挟むように配置された第１の非製品領域および第２の非製品領域を含み、
前記給電ローラユニットは、前記複数の給電ローラとして、前記第１の非製品領域に接触可能に配置された第１の給電ローラと、前記第２の非製品領域に接触可能に配置された第２の給電ローラとを有するようにしてもよい。

【0010】

また、前記電解めっき装置において、
前記製品領域は、前記第１の非製品領域に隣接する第１の製品領域と、前記第２の非製品領域に隣接する第２の製品領域とを含み、
前記非製品領域は、前記第１の製品領域と前記第２の製品領域との間に配置された第３の非製品領域をさらに含み、
前記給電ローラユニットは、前記第１の給電ローラと前記第２の給電ローラの間に設けられ、前記第３の非製品領域に接触可能に配置された第３の給電ローラをさらに有するようにしてもよい。

【0011】

また、前記電解めっき装置において、
前記給電ローラユニットは、前記複数の給電ローラの位置を、前記製品領域のレイアウトに応じて変更可能に構成されているようにしてもよい。

【0012】

また、前記電解めっき装置において、
前記複数の給電ローラには中心軸に沿って貫通孔が設けられ、前記シャフトは前記複数の給電ローラの貫通孔に挿通されており、前記各給電ローラは前記非製品領域に接触可能に前記シャフトに固定されているようにしてもよい。

【0013】

また、前記電解めっき装置において、
前記各給電ローラは、前記シャフトが挿通される貫通孔が設けられた本体部と、前記本体部に設けられ、前記給電ローラに固定されるフランジ部とを有する固定部材により前記シャフトにねじ固定されるようにしてもよい。

【0014】

また、前記電解めっき装置において、
前記シャフトの外周面には雄ねじが形成され、前記各給電ローラの前記貫通孔には前記雄ねじと螺合する雌ねじが形成されており、前記各給電ローラは前記シャフトにねじ固定されるようにしてもよい。

【0015】

また、前記電解めっき装置において、
前記複数の給電ローラには中心軸に沿って貫通孔または凹部が設けられ、
前記シャフトは、複数の短尺シャフトを有し、
前記短尺シャフトは、一端が前記複数の給電ローラのうちの第１の給電ローラに固定され、他端が前記複数の給電ローラのうち前記第１の給電ローラと隣り合う第２の給電ローラに固定され、前記一端は前記第１の給電ローラの貫通孔または凹部に挿入され、前記他端は前記第２の給電ローラの貫通孔または凹部に挿入されているようにしてもよい。

【0016】

また、前記電解めっき装置において、
前記各給電ローラは、前記短尺シャフトが挿通される貫通孔が設けられた本体部と、前記本体部に設けられ、前記給電ローラに固定されるフランジ部とを有する固定部材により前記短尺シャフトにねじ固定されるようにしてもよい。

【0017】

また、前記電解めっき装置において、
前記短尺シャフトの外周面には雄ねじが形成され、前記各給電ローラの貫通孔または凹部には前記雄ねじと螺合する雌ねじが形成されており、前記各給電ローラは前記短尺シャフトにねじ固定されるようにしてもよい。

【0018】

また、前記電解めっき装置において、
前記搬送ローラユニットは、前記被めっき物の製品領域に接触せず前記製品領域以外の非製品領域に接触可能に互いに離間して配置された複数の搬送ローラと、前記複数の搬送ローラを接続し、前記複数の搬送ローラとともに回転するシャフトとを有するようにしてもよい。

【0019】

また、前記電解めっき装置において、
前記非製品領域は、前記製品領域を挟むように配置された第１の非製品領域および第２の非製品領域を含み、
前記搬送ローラユニットは、前記複数の搬送ローラとして、前記第１の非製品領域に接触可能に配置された第１の搬送ローラと、前記第２の非製品領域に接触可能に配置された第２の搬送ローラとを有するようにしてもよい。

【0020】

また、前記電解めっき装置において、
前記搬送ローラユニットは、前記複数の搬送ローラの位置を、前記製品領域のレイアウトに応じて変更可能に構成されているようにしてもよい。

【0021】

また、前記電解めっき装置において、
前記給電ローラと前記被めっき物との接触を保持するための接触保持機構をさらに備えるようにしてもよい。

【0022】

また、前記電解めっき装置において、
前記接触保持機構は、前記複数の給電ローラのうち少なくとも１つの給電ローラの高さ位置を検出する位置検出部と、前記給電ローラの高さ位置に基づいて前記給電ローラユニットの高さを調整する位置調整部と、を有するようにしてもよい。

【0023】

また、前記電解めっき装置において、
前記接触保持機構は、前記被めっき物によって前記給電ローラユニットに掛かる力を検出する力検出部と、前記給電ローラに掛かる力に基づいて前記給電ローラユニットの高さを調整する位置調整部と、を有するようにしてもよい。

【0024】

また、前記電解めっき装置において、
前記被めっき物に電解めっきを行うための処理槽と、
前記被めっき物の搬送方向に沿って前記処理槽の前後に設けられた給電槽と、
を備えるようにしてもよい。

【0025】

本発明に係る給電ローラユニットは、
被めっき物に給電するための給電ローラユニットであって
前記被めっき物の製品領域に接触せず前記製品領域以外の非製品領域に接触可能に互いに離間して配置された導電性の複数の給電ローラと、前記複数の給電ローラを接続し、前記複数の給電ローラとともに回転するシャフトとを有することを特徴とする。

【0026】

また、前記給電ローラユニットにおいて、
前記複数の給電ローラの位置を、前記製品領域のレイアウトに応じて変更可能に構成されているようにしてもよい。

【0027】

本発明に係る搬送ローラユニットは、
被めっき物をその長手方向に沿って搬送するための搬送ローラユニットであって、
前記被めっき物の製品領域に接触せず前記製品領域以外の非製品領域に接触可能に互いに離間して配置された複数の搬送ローラと、前記複数の搬送ローラを回転させるシャフトとを有することを特徴とする。

【0028】

また、前記搬送ローラユニットにおいて、
前記複数の搬送ローラの位置を、前記製品領域のレイアウトに応じて変更可能に構成されているようにしてもよい。

【発明の効果】

【0029】

本発明によれば、被めっき物の製品領域の損傷を防ぎつつ、電解めっき処理を連続的に行う電解めっき装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0030】

【図1】（ａ）は、第１の実施形態に係る電解めっき装置の平面図である。（ｂ）は、第１の実施形態に係る電解めっき装置の縦断面図である。

【図2】実施形態に係る被めっき物の製品領域および非製品領域について説明するための図である。

【図3A】第１の実施形態に係る給電ローラユニットの斜視図である。

【図3B】第１の実施形態に係る給電ローラユニットにおける、給電ローラとシャフトの結合部分の拡大図である。

【図3C】第１の実施形態に係る給電ローラユニットにおける、シャフトの断面図である。

【図4】第１の実施形態に係る搬送ローラユニットの斜視図である。

【図5A】第１の実施形態の変形例１に係る給電ローラユニットの回転軸に沿った部分断面図である。

【図5B】第１の実施形態の変形例２に係る給電ローラユニットの回転軸に沿った断面図である。

【図5C】第１の実施形態の変形例３に係る給電ローラユニットの回転軸に沿った部分断面図である。

【図6】第２の実施形態に係る給電ローラユニットおよび位置検出機構の斜視図である。

【図7A】第２の実施形態に係る接触保持機構の模式図である。

【図7B】第２の実施形態の変形例に係る接触保持機構の模式図である。

【図8】実施形態に係る電解めっき装置における給電ローラユニットの斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0031】

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、各図においては、同等の機能を有する構成要素に同一の符号を付している。また、各構成要素の縮尺比率は、図面上で認識可能な程度の大きさとするため、適宜に変えている。

【0032】

また、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件および物理的特性並びにそれらの程度を特定する、たとえば、「円柱形状」、「平行」、「直交」、「等しい」等の用語や寸法、物理的特性の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。

【0033】

（第１の実施形態）
図１を参照して、第１の実施形態に係る電解めっき装置１について説明する。図１（ａ）は、本実施形態に係る電解めっき装置１の平面図である。図１（ｂ）は、本実施形態に係る電解めっき装置１の縦断面図である。

【0034】

＜電解めっき装置＞
電解めっき装置１は、ロールツーロール工程における電解めっき処理に用いられる。電解めっき装置１は、可撓性を有する長尺の被めっき物Ｍを搬送しつつ、連続的に電解めっき処理を行う。本実施形態では、被めっき物Ｍは、フレキシブルプリント配線板の製造に用いる可撓性フィルムである。たとえば、被めっき物Ｍは、銅張積層板（本実施形態では両面銅張積層板）の銅箔の上に、所望の配線パターンに対応する開口が設けられためっきレジストが形成された可撓性フィルムである。後述のように、めっきレジストは製品領域に形成されている。非製品領域には、めっきレジストは形成されておらず、被めっき物Ｍの導電層が露出している。電解めっき装置１を用いることで、電解めっき処理をロールツーロール工程に組み込むことができ、生産性を向上させることができる。

【0035】

本実施形態に係る電解めっき装置１は、被めっき物Ｍを水平に搬送する水平搬送型の電解めっき装置である。以下、被めっき物Ｍを水平に搬送することを前提として説明するが、本明細書で示される各実施形態は、被めっき物Ｍを垂直または斜めに搬送するように変形可能である。

【0036】

図１に示すように、本実施形態に係る電解めっき装置１は、処理槽１１と、給電槽１２と、ブスバー（バスバー）１５と、モータ１６と、ドライブシャフト１７と、チェーンベルト１８と、ギア１９とを有する。

【0037】

処理槽１１は、めっき液を貯蔵し、長手方向に搬送される被めっき物Ｍに対して電解めっき処理を行うように構成されている。本実施形態では、電解めっき処理として銅めっき処理を行う。なお、電解めっき処理として銅以外の金属めっき処理（たとえば、ニッケルめっき処理など）を行ってもよい。

【0038】

処理槽１１には、めっき液槽Ｂ、搬送ローラユニット３０および電極兼噴流パイプ１４が設けられている。本実施形態では、搬送ローラユニット３０および電極兼噴流パイプ１４は、いずれも複数設けられている。なお、搬送ローラユニット３０は、電解めっき装置１において少なくとも１つ設けられていればよく、処理槽１１には設けられていなくてもよい。また、電極兼噴流パイプ１４は、めっき液槽Ｂ内に少なくとも１つ設けられていればよい。

【0039】

めっき液槽Ｂは、めっき液を貯蔵するための槽である。図１（ｂ）に示すように、被めっき物Ｍは、めっき液槽Ｂを通過する。

【0040】

搬送ローラユニット３０は、被めっき物Ｍを長手方向に沿って、図１に示す搬送方向に搬送する。詳しくは後述するが、搬送ローラユニット３０は、互いに離間して配置された複数の搬送ローラ３１，３２と、ソケット３３と、搬送ローラ３１，３２およびソケット３３を接続するシャフト３４とを有する。シャフト３４は、後述するモータ１６の駆動力が、チェーンベルト１８、ドライブシャフト１７、およびギア１９を介して伝わることによって回転駆動される。シャフト３４の回転が搬送ローラ３１，３２を介して被めっき物Ｍに伝わることで、被めっき物Ｍが搬送される。

【0041】

電極兼噴流パイプ１４は、めっき液槽Ｂに貯蔵されためっき液に浸漬するように設けられたパイプ状の電極である。本実施形態では、電極兼噴流パイプ１４は図示しない電源装置に接続され、アノードとして機能する。また、電極兼噴流パイプ１４は、めっき液槽Ｂにめっき液を供給するための孔（図示せず）を有する。めっき液が当該孔から噴出することで、めっき液槽Ｂに含まれるめっき液が攪拌され、電解めっき処理の安定化を図ることができる。

【0042】

給電槽１２は、被めっき物Ｍに対して電解めっき処理を行うための電流を供給するように構成されている。本実施形態では、給電槽１２は、被めっき物Ｍの搬送方向に沿って処理槽１１の前後に設けられている。給電槽１２が処理槽１１の前後に設けられることにより、電解めっき処理の安定化を図ることができる。

【0043】

給電槽１２には、給電ローラユニット２０、搬送ローラユニット３０および給電ローラ水洗スプレー１３が設けられている。本実施形態では、給電ローラユニット２０、搬送ローラユニット３０および給電ローラ水洗スプレー１３は、いずれも複数設けられている。なお、給電ローラユニット２０は、１つの給電槽１２において少なくとも１つ設けられていればよい。本実施形態では、被めっき物Ｍの両面に電解めっき処理を施すために、１つの給電槽１２に２つの給電ローラユニット２０が設けられている。

【0044】

給電ローラユニット２０は、被めっき物Ｍを長手方向に沿って、図１に示す搬送方向に搬送する。さらに、給電ローラユニット２０は、被めっき物Ｍに対して電解めっき処理のための電流を給電する。本実施形態では、前述の電極兼噴流パイプ１４がアノードとして機能するのに対し、給電ローラユニット２０はカソードとして機能する。また、詳しくは後述するが、図８に示すように、給電ローラユニット２０は、互いに離間して配置された複数の給電ローラ（カソードローラ）２１，２２，２３と、給電ローラ２１，２２，２３を接続するシャフト２４と、ロータリコネクタ２５とを有する。

【0045】

図８に示すように、シャフト２４は、導電性を有し、後述する支持部４３によって回転自在に支持されている。また、シャフト２４は、ロータリコネクタ２５と接続されている。ロータリコネクタ２５を介して図示しない電源装置からシャフト２４に電流が供給される。

【0046】

シャフト２４は、後述するモータ１６の駆動力が、チェーンベルト１８、ドライブシャフト１７、およびギア１９を介して伝わることによって回転駆動される。シャフト２４の回転が給電ローラ２１，２２，２３を介して被めっき物Ｍに伝わることで、被めっき物Ｍが搬送される。

【0047】

図１（ｂ）に示すように、給電ローラユニット２０は、被めっき物Ｍを上下両面から挟むように配置されている。これにより、被めっき物Ｍの両面に対して電解めっき処理を同時に行うことができる。なお、被めっき物Ｍの片面にのみ電解めっき処理を行う場合は、上下いずれかの給電ローラユニット２０が設けられていればよい。

【0048】

また、被めっき物Ｍの上方に位置する給電ローラユニット２０は、被めっき物Ｍを所定の力で圧迫するように設けられている。これにより、被めっき物Ｍと給電ローラユニット２０との接触を確保することができ、電解めっき処理を安定的に行うことができる。なお、被めっき物Ｍの下方に位置する給電ローラユニット２０が、被めっき物Ｍを所定の力で圧迫するように設けられてもよいし、あるいは上下両方から圧迫するように設けられてもよい。

【0049】

給電ローラ水洗スプレー１３は、給電ローラユニット２０の給電ローラ２１，２２，２３を洗浄するためのスプレーである。給電ローラ水洗スプレー１３は、次の理由によって設けられている。処理槽１１のめっき液槽Ｂ内のめっき液は、処理槽１１を通過した被めっき物Ｍによって給電槽１２に持ち込まれ、各給電ローラに付着する。各給電ローラに付着しためっき液は、各給電ローラを劣化させる原因となる。そこで、給電ローラ水洗スプレー１３によって各給電ローラを洗浄することにより、めっき液による各給電ローラの劣化を抑制することができる。

【0050】

本実施形態では、ブスバー１５は、全体として導電性である。なお、ブスバー１５の一部が非導電性であってもよい。また、ブスバー１５は、電源装置に電気的に接続されている。電源装置から供給された電流は、ブスバー１５、図８に示すロータリコネクタ２５、シャフト２４、給電ローラ２１，２２，２３の順に流れ、被めっき物Ｍに供給される。

【0051】

モータ１６は、給電ローラユニット２０および搬送ローラユニット３０を駆動し、これらに被めっき物Ｍを搬送する駆動力を与える。より詳しくは、モータ１６の駆動力は、チェーンベルト１８を介してドライブシャフト１７に伝わり、ドライブシャフト１７を回転させる。ドライブシャフト１７の回転は、各給電ローラユニット２０および各搬送ローラユニット３０の端部に設けられたギア１９を介して、各給電ローラユニット２０および各搬送ローラユニット３０に伝わり、各給電ローラユニット２０および各搬送ローラユニット３０を回転させる。

【0052】

なお、各給電ローラユニット２０および各搬送ローラユニット３０を回転駆動する構成は、上記のものに限られない。たとえば、複数のモータを各給電ローラユニット２０および各搬送ローラユニット３０にそれぞれ設けてもよい。

【0053】

＜被めっき物の製品領域および非製品領域＞
次に、図２を参照して、本実施形態に係る被めっき物Ｍの製品領域および非製品領域について説明する。図２は、本実施形態に係る被めっき物の製品領域および非製品領域について説明するための図である。

【0054】

図２に示すように、被めっき物Ｍは、製品領域Ｐおよび非製品領域ＮＰを有する。製品領域Ｐは、被めっき物Ｍのうちめっきレジストが形成されている領域である。製品領域Ｐに形成されためっきレジストには配線パターンに対応する開口が形成されている。非製品領域ＮＰは、被めっき物Ｍのうち製品領域Ｐ以外の領域である。被めっき物Ｍの導電層（銅箔等）は、非製品領域ＮＰにおいて露出している。給電ローラユニット２０の給電ローラ２１，２２，２３は、当該導電層に接触することで、被めっき物Ｍに電流を供給する。

【0055】

本実施形態では、製品領域Ｐおよび非製品領域ＮＰは、それぞれ複数の製品領域および非製品領域を含む。より詳しくは、図２に示すように、製品領域Ｐは、製品領域Ｐ１および製品領域Ｐ２を含む。非製品領域ＮＰは、非製品領域ＮＰ１、非製品領域ＮＰ２および非製品領域ＮＰ３を含む。

【0056】

製品領域Ｐ１，Ｐ２および非製品領域ＮＰ１，ＮＰ２，ＮＰ３は、被めっき物Ｍの幅方向に見て交互に配置されている。より詳しくは、非製品領域ＮＰ１および非製品領域ＮＰ２は、製品領域Ｐ１，Ｐ２を挟むように配置されている。ここで、製品領域Ｐ１は、非製品領域ＮＰ１に隣接し、製品領域Ｐ２は、非製品領域ＮＰ２に隣接する。また、製品領域Ｐ１と製品領域Ｐ２との間には、非製品領域ＮＰ３が配置されている。

【0057】

図２に示すように、本実施形態に係る電解めっき装置１において、給電ローラユニット２０の給電ローラ２１，２２，２３は、いずれも被めっき物Ｍの製品領域Ｐに接触せず、非製品領域ＮＰに接触可能に配置されている。より詳しくは、給電ローラ２１は、非製品領域ＮＰ１に接触可能に配置されている。給電ローラ２２は、非製品領域ＮＰ２に接触可能に配置されている。給電ローラ２３は、給電ローラ２１と給電ローラ２２の間に設けられ、非製品領域ＮＰ３に接触可能に配置されている。

【0058】

同様に、搬送ローラユニット３０の有する搬送ローラ３１，３２は、いずれも被めっき物Ｍの製品領域Ｐに接触せず、非製品領域ＮＰに接触可能に配置されている。より詳しくは、搬送ローラ３１は、非製品領域ＮＰ１に接触可能に配置されている。搬送ローラ３２は、非製品領域ＮＰ２に接触可能に配置されている。なお、後述するように、ソケット３３は、搬送ローラ３１，３２と比べて小さい径を有するため、非製品領域ＮＰ３に接触しない。

【0059】

このように、給電ローラユニット２０の給電ローラ２１，２２，２３は、いずれも被めっき物Ｍの製品領域Ｐに接触しない。また、搬送ローラユニット３０の有する搬送ローラ３１，３２は、いずれも被めっき物Ｍの製品領域Ｐに接触しない。これにより、被めっき物Ｍの製品領域Ｐの損傷を抑制することができる。

【0060】

また、本実施形態に係る給電ローラユニット２０は、製品領域Ｐのレイアウト、すなわち製品領域Ｐおよび非製品領域ＮＰの配置に応じて、給電ローラ２１，２２，２３の位置を変更可能に構成されている。同様に、本実施形態に係る搬送ローラユニット３０は、製品領域Ｐのレイアウトに応じて、搬送ローラ３１，３２の位置を変更可能に構成されている。

【0061】

以下、製品領域Ｐのレイアウトに応じて各ローラの位置を変更可能にするための構成について、図３Ａ～図３Ｃおよび図４を参照して、詳しく説明する。

【0062】

＜給電ローラユニット＞
図３Ａは、本実施形態に係る給電ローラユニット２０の斜視図である。図３Ａに示すように、給電ローラ２１，２２，２３は円柱形状を有する。また、給電ローラ２１，２２，２３には、円柱体の中心軸に沿って、貫通孔が設けられている。当該貫通孔にはシャフト２４が挿通され、給電ローラ２１，２２，２３は、シャフト２４の所定の位置に固定されている。ここで、所定の位置とは、各給電ローラが被めっき物Ｍの非製品領域ＮＰと接触するための位置である。

【0063】

本実施形態において、給電ローラ２１，２２の幅（図３Ａにおける横方向の長さ）は、給電ローラ２３の幅よりも大きい。また、給電ローラ２１，２２，２３は、互いに等しい直径（たとえば４０ｍｍ）を有する。シャフト２４は、給電ローラ２１，２２，２３よりも小さい直径（たとえば２０ｍｍ）を有する。

【0064】

給電ローラユニット２０は、被めっき物Ｍに電流を供給するために、全体として導電性を有する必要がある。本実施形態では、給電ローラ２１，２２，２３の材料は銅である。また、本実施形態では、シャフト２４の材料はステンレススチールである。なお、給電ローラ２１，２２，２３の材料は、上記のものに限られず、たとえばステンレススチールであってもよいが、給電ローラ２１，２２，２３の材料は、高い導電性を有する金属（たとえば、銅）が好ましい。給電ローラ２１，２２，２３の材料に高い導電性を有する金属を用いることにより、電解めっき処理を効率よく行うことができる。

【0065】

また、本実施形態では、給電ローラ２１，２２，２３は、各給電ローラの両端に設けられた固定部材により、シャフト２４の所定の位置にねじ固定されている。より詳しくは、給電ローラ２１は、固定部材２１ａおよび固定部材２１ｂにより、シャフト２４の所定の位置にねじ固定されている。給電ローラ２２は、固定部材２２ａおよび固定部材２２ｂにより、シャフト２４の所定の位置にねじ固定されている。給電ローラ２３は、固定部材２３ａおよび固定部材２３ｂにより、シャフト２４の所定の位置にねじ固定されている。

【0066】

以下、固定部材によるねじ固定について、固定部材２１ｂを例に用いて説明する。図３Ｂは、本実施形態に係る給電ローラユニット２０における、給電ローラ２１とシャフト２４の結合部分の拡大図である。

【0067】

図３Ｂに示すように、固定部材２１ｂは、シャフト２４が挿通される貫通孔が設けられた本体部と、当該本体部の外周面に設けられ、給電ローラ２１にねじで固定されるフランジ部とを有する。セットねじ２１２ａは、固定部材２１ｂの本体部を、当該本体部の外周面からシャフト２４が挿通される貫通孔まで貫通し、固定部材２１ｂをシャフト２４の所定の位置に固定する。本実施形態では、３本のセットねじ２１２ａにより固定部材２１ｂをシャフト２４に固定している。

【0068】

同様に、セットねじ２１２ｂは、固定部材２１ｂのフランジ部を貫通し、固定部材２１ｂを給電ローラ２１に固定する。このように、給電ローラ２１は、固定部材２１ｂにより、シャフト２４の所定の位置にねじ固定されている。

【0069】

なお、固定部材２１ｂの形状および構成は、図３Ｂに示したものに限られない。たとえば、セットねじ２１２ａおよびセットねじ２１２ｂの本数は、それぞれ任意である。また、セットねじ２１２ｂによるねじ固定に代えて、接着材などで固定部材２１ｂを給電ローラ２１に固定してもよい。

【0070】

他の固定部材２１ａ，２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂによるねじ固定についても、図３Ｂと同様である。

【0071】

図３Ｃは、本実施形態におけるシャフト２４の断面図である。本実施形態では、図３Ｃ（ａ）に示すように、シャフト２４の断面は、真円を３つの弦２４１で切り落とした形状を有する。３つの弦２４１は、真円の中心点を中心に、互いに１２０度ずつ回転した位置にある。

【0072】

シャフト２４の断面図を、図３Ｃ（ａ）に示すものとすることで、固定部材の本体部を貫通するセットねじは、各弦２４１に垂直に当接する。これにより、給電ローラユニット２０の回転方向に対する各給電ローラとシャフトとのねじ固定を、より確実にすることができる。

【0073】

なお、シャフト２４の断面は、図３Ｃ（ｂ）に示すように、真円を互いに平行な２つの弦２４１で切り落とした形状であってもよいし、図３Ｃ（ｃ）に示すように、真円を１つの弦２４１で切り落とした形状であってもよい。また、真円の中心点から弦２４１までの距離は任意である。

【0074】

また、弦２４１は、シャフト２４の全長に渡って設けられてもよいし、給電ローラ２１，２２，２３を固定するために必要な位置にのみ設けられてもよい。

【0075】

このように、給電ローラ２１，２２，２３をシャフト２４にねじ固定することにより、被めっき物Ｍの製品領域Ｐのレイアウトに応じて、各給電ローラ２１，２２，２３の位置を柔軟に変更することができる。具体的には、各固定部材のセットねじを緩め、給電ローラ２１，２２，２３を移動した後、当該セットねじを締めることにより、給電ローラ２１，２２，２３の位置を容易に変更することができる。

【0076】

＜搬送ローラユニット＞
次に、搬送ローラユニットについて詳しく説明する。図４は、本実施形態に係る搬送ローラユニット３０の斜視図である。

【0077】

図４に示すように、本実施形態に係る搬送ローラユニット３０は、互いに離間して配置された複数の搬送ローラ３１，３２と、ソケット３３と、搬送ローラ３１，３２およびソケット３３を接続し、搬送ローラ３１，３２およびソケット３３とともに回転するシャフト３４とを有する。

【0078】

図４に示すように、搬送ローラ３１，３２は円柱形状を有する。搬送ローラ３１，３２には、円柱体の中心軸に沿って、貫通孔が設けられている。

【0079】

シャフト３４は、２つの短尺シャフト３４ａおよび短尺シャフト３４ｂに分かれている。短尺シャフト３４ａは、搬送ローラ３１の貫通孔に挿通されており、短尺シャフト３４ｂは、搬送ローラ３２の貫通孔に挿通されている。短尺シャフト３４ａおよび短尺シャフト３４ｂは、円柱形状を有するソケット３３によって互いに連結されている。本実施形態では、ソケット３３の両端には、短尺シャフト３４ａおよび短尺シャフト３４ｂを差し込むための凹部が設けられている。なお、当該凹部に代えて、ソケット３３には中心軸に沿って貫通孔が設けられてもよい。

【0080】

本実施形態では、搬送ローラ３１，３２の幅（図４における横方向の長さ）は、ソケット３３の幅よりも大きい。搬送ローラ３１，３２は、互いに等しい直径（たとえば２０ｍｍ）を有する。また、搬送ローラ３１，３２の直径は、ソケット３３の直径（たとえば１５ｍｍ）、および短尺シャフト３４ａ，３４ｂの直径（たとえば１０ｍｍ）よりも大きい。

【0081】

また、図１に示すように、一部の搬送ローラユニット３０は、めっき液槽Ｂ内のめっき液に浸漬するように設けられる。そのため、搬送ローラユニット３０は、全体として非導電性であることが好ましい。本実施形態において、搬送ローラ３１，３２の材料はゴムである。また、本実施形態において、短尺シャフト３４ａ，３４ｂの材料はステンレススチールである。搬送ローラ３１，３２に弾力のある材料を用いることにより、搬送ローラ３１，３２に接触した被めっき物Ｍの損傷を抑えることができる。さらに、処理槽１１内の搬送ローラ３１，３２については、めっき液による劣化を防ぐことができる。なお、搬送ローラ３１，３２の材料は、スポンジなどであってもよい。また、短尺シャフト３４ａ，３４ｂの材料は、プラスチックなどであってもよい。

【0082】

本実施形態では、搬送ローラ３１，３２の貫通孔の径は、短尺シャフト３４ａ，３４ｂの径に比べて、わずかに小さい。これにより、固定部材を必要とすることなく、搬送ローラ３１，３２をシャフト短尺３４ａ，３４ｂの所定の位置に配置することができ、かつ、被めっき物Ｍの製品領域Ｐのレイアウトに応じて、搬送ローラ３１，３２の位置を柔軟に変更することができる。なお、回転時における搬送ローラ３１，３２と短尺シャフト３４ａ，３４ｂとの間の滑りを抑制するために、搬送ローラ３１，３２の貫通孔および短尺シャフト３４ａ，３４ｂの断面形状を図３Ｃに示すようなものとしてもよい。

【0083】

以上説明したように、第１の実施形態に係る電解めっき装置１によれば、給電ローラユニット２０の有する給電ローラ２１，２２，２３が、被めっき物Ｍの製品領域Ｐに接触せず、非製品領域ＮＰに接触するように構成されている。これにより、被めっき物Ｍの製品領域Ｐの損傷を防ぎつつ、電解めっき処理を連続的に行うことができる。たとえば、製品領域Ｐに微細な配線パターンが存在する場合であっても、製品を歩留まり良く製造することができる。すなわち、微細な配線パターンを有するフレキシブルプリント配線板を歩留まり良く製造することができる。

【0084】

また、本実施形態に係る電解めっき装置１は、搬送ローラユニット３０の有する搬送ローラ３１，３２が、被めっき物の製品領域Ｐに接触せず、非製品領域ＮＰに接触するように構成されている。これにより、被めっき物Ｍの製品領域Ｐの損傷をより防ぐことができる。

【0085】

また、本実施形態に係る電解めっき装置１は、被めっき物Ｍの製品領域Ｐのレイアウトに応じて、各給電ローラおよび各搬送ローラの位置を変更可能に構成されている。これにより、被めっき物Ｍの製品領域Ｐの位置の制限を緩和することができ、設計の自由度を向上させることができる。

【0086】

たとえば、非製品領域ＮＰ１の外側に製品領域Ｐが存在してもよい。また、非製品領域ＮＰ２の外側に製品領域Ｐが存在してもよい。このような場合、給電ローラ２１および／または給電ローラ２２は、給電ローラユニット２０の軸方向に見て、相対的に内側に配置されることとなる。このように、本実施形態に係る電解めっき装置１は、製品領域Ｐが被めっき物Ｍに端部に存在する場合であっても、給電ローラが製品領域Ｐに接触しないようにすることができる。

【0087】

また、電解めっき装置においては、電解めっき処理を行うにつれて、処理槽から給電槽に持ち出されるめっき液によって給電ローラが劣化するとともに、被めっき物との機械的な接触により給電ローラが摩耗する。これにより、給電ローラの径が細くなり、給電ローラと被めっき物との接触を十分に確保することができなくなる。本実施形態に係る電解めっき装置１では、給電ローラユニット２０が複数の給電ローラ２１，２２，２３を有することにより、一部の給電ローラのみを交換することもできる。

【0088】

なお、以上の説明においては、被めっき物Ｍの非製品領域ＮＰには、被めっき物Ｍの導電層が露出しているとしたが、これに限られず、非製品領域ＮＰには、被めっき物Ｍのめっきレジストが存在してもよい。この場合、給電ローラユニット２０の各給電ローラは、当該めっきレジストに接触しないように配置してもよい。

【0089】

なお、給電ローラ２１，２２，２３の形状は、被めっき物Ｍと接触するためのローラ面が確保されていれば任意である。たとえば、給電ローラ２３の幅は、給電ローラ２１の幅より大きくてもよい。あるいは、給電ローラ２１，２２，２３には、固定部材に代えて、後述の図５Ａに示す突起部が設けられてもよい。この場合、給電ローラ２１，２２，２３は、突起部を貫通するセットねじにより、シャフト２４の所定の位置にねじ固定されてもよい。また、給電ローラ２１，２２，２３の径の大きさは任意である。さらに、非製品領域ＮＰ１，ＮＰ２，ＮＰ３の幅に応じて、給電ローラ２１，２２，２３の幅を変更してもよい。

【0090】

同様に、搬送ローラ３１，３２の形状は、被めっき物Ｍと接触する面が確保されていれば任意である。たとえば、搬送ローラ３１，３２の幅は任意である。また、搬送ローラ３１，３２およびソケット３３の径の大きさは任意である。あるいは、搬送ローラ３１，３２の径は、ソケット３３の径と等しくてもよい。さらに、非製品領域ＮＰ１，ＮＰ２の幅に応じて、搬送ローラ３１，３２の幅を変更してもよい。

【0091】

なお、非製品領域ＮＰ３が存在せず、製品領域Ｐ１，Ｐ２が隣接している場合、給電ローラユニット２０から給電ローラ２３を取り外すことで対応することができる。また、製品領域Ｐおよび非製品領域ＮＰが、さらに多くの部分に分かれている場合、給電ローラユニット２０の有する給電ローラの数を増やすことで対応することができる。

【0092】

また、本実施形態では、給電ローラ２１，２２，２３の全体が導体で形成されていることとしたが、これに限られず、給電ローラ２１，２２，２３の一部は絶縁体で構成されていてもよい。たとえば、各給電ローラのローラ面のうち少なくとも一部、および貫通孔の内面のうち少なくとも一部が導体であり、当該ローラ面の導体部分と、貫通孔の内面の導体部分とが導通するように構成されていてもよい。

【0093】

また、本実施形態では、シャフト２４の全体が導体で形成されていることとしたが、これに限られず、シャフト２４の一部は絶縁体で構成されていてもよい。たとえば、シャフト２４は、絶縁体の表面に導電処理を施したものであってもよい。

【0094】

また、搬送ローラユニット３０の構成は、図４に示すものに限られない。たとえば、搬送ローラ３１，３２には、円柱体の中心軸に沿って、貫通孔が設けられ、１本のシャフトが搬送ローラ３１，３２の貫通孔を連通してもよい。この場合、ソケット３３は設けられていなくてもよい。また、給電ローラユニット２０のように、搬送ローラ３１，３２は、固定部材により、シャフト３４にねじ固定されてもよい。

【0095】

また、ソケット３３の代わりに、第３の搬送ローラが設けられてもよい。さらに、複数の第３の搬送ローラが設けられてもよい。いずれの場合についても、本実施形態に係る搬送ローラユニット３０を利用することができる。具体的には、搬送ローラユニット３０の搬送ローラ３１，３２の位置を変更することにより対応することができる。

【0096】

次に、本実施形態の給電ローラユニットに係る３つの変型例について説明する。

【0097】

（第１の実施形態の変形例１）
図５Ａを参照して、第１の実施形態の変形例１について説明する。図５Ａは、本変形例に係る給電ローラユニット２０Ａの回転軸に沿った部分断面図である。本変形例は、給電ローラとシャフトが螺合し、給電ローラの位置を変更できるようにしたものである。以下、第１の実施形態との相違点を中心に説明し、同様の部分の説明は省略する。

【0098】

図５Ａに示すように、本変形例に係る給電ローラユニット２０Ａは、給電ローラ２１Ａと、給電ローラ２２Ａと、給電ローラ２３Ａと、シャフト２４Ａとを有する。

【0099】

本変形例に係るシャフト２４Ａの外周面には、雄ねじが形成されている。なお、図５Ａにおいて、シャフト２４Ａは側面図で表されている。

【0100】

給電ローラ２１Ａ，２２Ａ，２３Ａは、円柱形状を有し、給電ローラ２１Ａ，２２Ａ，２３Ａには、円柱体の中心軸に沿って、貫通孔が設けられている。当該貫通孔には、シャフト２４Ａの外周面に形成された雄ねじと螺合する雌ねじが形成されている。

【0101】

また、各給電ローラの中心軸上の両端部には、突起部が設けられている。各給電ローラは、当該突起部を挿通するセットねじ（たとえば、イモねじ）によってシャフト２４Ａにねじ固定されている。より詳しくは、給電ローラ２１Ａは、突起部２１ｃを貫通するセットねじ２１１および突起部２１ｄを貫通するセットねじ２１２によって、シャフト２４Ａにねじ固定されている。給電ローラ２２Ａは、突起部２２ｃを貫通するセットねじ２２１および突起部２２ｄを貫通するセットねじ２２２によって、シャフト２４Ａにねじ固定されている。給電ローラ２３Ａは、突起部２３ｃを貫通するセットねじ２３１および突起部２３ｄを貫通するセットねじ２３２によって、シャフト２４Ａにねじ固定されている。なお、図５Ａにおいて、各セットねじは簡略化して表されている。

【0102】

なお、突起部は、各給電ローラ２１Ａ，２２Ａ，２３Ａの一方の端部にのみ設けられてもよい。また、給電ローラ２１Ａ，２２Ａ，２３Ａの貫通孔の雌ねじは、当該貫通孔の全部に渡って形成されていてもよいし、一部にのみ形成されてもよい。

【0103】

また、シャフト２４Ａの断面は、少なくともセットねじ２１１，２１２，２２１，２２２，２３１，２３２が当接する位置において、図３Ｃに示すような形状であることが好ましい。これにより、セットねじによってシャフト２４Ａのねじ山が潰れることを防ぐことができる。

【0104】

また、シャフト２４Ａの外周面のねじは、シャフト２４Ａの全部に渡って形成されていてもよいし、一部にのみ形成されてもよい。

【0105】

このように、第１の実施形態の変形例１によれば、貫通孔に形成されたねじとシャフト２４Ａに形成されたねじが螺合することによって、給電ローラ２１Ａ，２２Ａ，２３Ａの位置を変更することができ、また、給電ローラの位置をより安定化することができる。また、前述の固定部材２１ａ～２３ａ，２１ｂ～２３ｂが不要であるため、部品の数を減らすことができる。

【0106】

（第１の実施形態の変形例２）
図５Ｂを参照して、第１の実施形態の変形例２について説明する。図５Ｂは、本変形例に係る給電ローラユニット２０Ｂの回転軸に沿った断面図である。第１の実施形態に係る給電ローラユニット２０および第１の実施形態の変形例１に係る給電ローラユニット２０Ａは、シャフトが１本のもので構成されていた。本変形例では、給電ローラユニットのシャフトは複数の短尺シャフトによって構成される。以下、第１の実施形態との相違点を中心に説明し、同様の部分の説明は省略する。

【0107】

図５Ｂに示すように、本変形例に係る給電ローラユニット２０Ｂは、給電ローラ２１Ｂと、給電ローラ２２Ｂと、給電ローラ２３Ｂと、シャフト２４とを有する。

【0108】

給電ローラ２１Ｂ，２２Ｂ，２３Ｂは円柱形状を有する。給電ローラ２１Ｂ，２２Ｂ，２３Ｂの両端部（両側面）には、円柱体の中心軸に沿って、凹部が設けられている。より詳しくは、給電ローラ２１Ｂの両端部には、凹部２１ｅおよび凹部２１ｆが設けられている。給電ローラ２２Ｂの両端部には、凹部２２ｅおよび凹部２２ｆが設けられている。給電ローラ２３Ｂの両端部には、凹部２３ｅおよび凹部２３ｆが設けられている。

【0109】

本変形例では、シャフト２４は、複数の短尺シャフト２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄによって構成されている。短尺シャフト２４ａの一端は、給電ローラ２１Ｂの凹部２１ｅに挿入される。給電ローラ２１Ｂは、固定部材２１ａにより、短尺シャフト２４ａにねじ固定されている。短尺シャフト２４ｂの一端は、給電ローラ２１Ｂの凹部２１ｆに挿入される。給電ローラ２１Ｂは、固定部材２１ｂにより、短尺シャフト２４ｂにねじ固定されている。また、短尺シャフト２４ｂの他端は、給電ローラ２３Ｂの凹部２３ｅに挿入される。給電ローラ２３Ｂは、固定部材２３ａにより、短尺シャフト２４ｂにねじ固定されている。短尺シャフト２４ｃの一端は、給電ローラ２３Ｂの凹部２３ｆに挿入される。給電ローラ２３Ｂは、固定部材２３ｂにより、短尺シャフト２４ｃにねじ固定されている。また、短尺シャフト２４ｃの他端は、給電ローラ２２Ｂの凹部２２ｅに挿入される。給電ローラ２２Ｂは、固定部材２２ａにより、短尺シャフト２４ｃにねじ固定されている。短尺シャフト２４ｄの一端は、給電ローラ２２Ｂの凹部２２ｆに挿入される。給電ローラ２２Ｂは、固定部材２２ｂにより、短尺シャフト２４ｄにねじ固定されている。

【0110】

このように各短尺シャフトの一端は、第１の給電ローラの凹部に挿入され、第１の給電ローラに固定される。各短尺シャフトの他端は、第１の給電ローラと隣り合う第２の給電ローラの凹部に挿入され、第２の給電ローラに固定される。

【0111】

本変形例では、各短尺シャフトが凹部に挿入される程度を変更することで、被めっき物Ｍの製品領域Ｐのレイアウトに応じて、各給電ローラ２１Ｂ，２２Ｂ，２３Ｂの位置を柔軟に変更することができる。具体的には、各固定部材の本体部を貫通するセットねじを緩め、短尺シャフト２４ａ～２４ｄが凹部に挿入される程度を変更した後、当該セットねじを締めることにより、給電ローラ２１Ｂ，２２Ｂ，２３Ｂの位置を容易に変更することができる。

【0112】

なお、各給電ローラ２１Ｂ，２２Ｂ，２３Ｂには、上記の凹部の代わりに、円柱体の中心軸に沿って貫通孔が設けられてもよい。また、短尺シャフト２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄとして、異なる長さのものを複数用意してもよい。これにより、より柔軟に給電ローラの位置を変更することができる。

【0113】

（第１の実施形態の変形例３）
上述した第１の実施形態の変形例２は、第１の実施形態の変形例１の場合に対しても適用可能である。すなわち、第１の実施形態の変形例３に係る給電ローラユニット２０Ｃは、各給電ローラに突起部を設け、それらを複数の短尺シャフトで連結する構成である。以下、第１の実施形態の変形例１および第１の実施形態の変形例２との相違点を中心に説明し、同様の部分の説明は省略する。

【0114】

図５Ｃは、本変形例に係る給電ローラユニット２０Ｃの部分断面図である。図５Ｃに示すように、本変形例に係る給電ローラユニット２０Ｃは、給電ローラ２１Ｃと、給電ローラ２２Ｃと、給電ローラ２３Ｃと、シャフト２４Ａとを有する。

【0115】

給電ローラ２１Ａ，２２Ａ，２３Ａの両端部（両側面）には、円柱体の中心軸に沿って突起部が設けられている。また、当該突起部には、雌ねじが側面に形成された凹部が設けられている。より詳しくは、給電ローラ２１Ｃの両端部の各突起部には、凹部２１ｇおよび凹部２１ｈが設けられている。給電ローラ２２Ｃの両端部の各突起部には、凹部２２ｇおよび凹部２２ｈが設けられている。給電ローラ２３Ｃの両端部の各突起部には、凹部２３ｇおよび凹部２３ｈが設けられている。

【0116】

本変形例では、シャフト２４Ａは、複数の短尺シャフト２４Ａａ，２４Ａｂ，２４Ａｃ，２４Ａｄによって構成されている。なお、図５Ｃにおいて、短尺シャフト２４Ａａ～２４Ａｄは側面図で表されている。短尺シャフト２４Ａａ～２４Ａｄの外周面には、給電ローラの凹部の雌ねじと螺合する雄ねじが形成されている。なお、短尺シャフト２４Ａａ～２４Ａｄの雄ねじは、各短尺シャフトの端部にのみ形成されてもよい。

【0117】

各給電ローラは、給電ローラの突起部を貫通するセットねじにより、各短尺シャフトにねじ固定される。各短尺シャフトの一端は、第１の給電ローラの凹部に挿入され、第１の給電ローラに固定される。各短尺シャフトの他端は、第１の給電ローラと隣り合う第２の給電ローラの凹部に挿入され、第２の給電ローラに固定される。

【0118】

より詳しくは、短尺シャフト２４Ａａの一端は、給電ローラ２１Ｃの凹部２１ｇに挿入される。給電ローラ２１Ｃは、セットねじ２１１により、短尺シャフト２４Ａａにねじ固定されている。短尺シャフト２４Ａｂの一端は、給電ローラ２１Ｃの凹部２１ｈに挿入される。給電ローラ２１Ｃは、セットねじ２１２により、短尺シャフト２４Ａｂにねじ固定されている。また、短尺シャフト２４Ａｂの他端は、給電ローラ２３Ｃの凹部２３ｇに挿入される。給電ローラ２３Ｃは、セットねじ２３１により、短尺シャフト２４Ａｂにねじ固定されている。短尺シャフト２４Ａｃの一端は、給電ローラ２３Ｃの凹部２３ｈに挿入される。給電ローラ２３Ｃは、セットねじ２３２により、短尺シャフト２４Ａｃにねじ固定されている。また、短尺シャフト２４Ａｃの他端は、給電ローラ２２Ｃの凹部２２ｇに挿入される。給電ローラ２２Ｃは、セットねじ２２１により、短尺シャフト２４Ａｃにねじ固定されている。短尺シャフト２４Ａｄの一端は、給電ローラ２２Ｃの凹部２２ｈに挿入される。給電ローラ２２Ｃは、セットねじ２２２により、短尺シャフト２４Ａｄにねじ固定されている。なお、図５Ｃにおいて、各セットねじは簡略化して表されている。

【0119】

このように、第１の実施形態の変形例３によれば、各給電ローラの凹部または貫通孔に形成されたねじと各短尺シャフトに形成されたねじが螺合することによって、給電ローラ２１Ｃ，２２Ｃ，２３Ｃの位置をより安定化することができる。

【0120】

本変形例では、各短尺シャフトが凹部に挿入される程度を変更することで、被めっき物Ｍの製品領域Ｐのレイアウトに応じて、各給電ローラ２１Ｃ，２２Ｃ，２３Ｃの位置を柔軟に変更することができる。具体的には、各給電ローラの突起部を貫通するセットねじを緩め、短尺シャフト２４Ａａ～２４Ａｄが挿入される程度を変更した後、当該セットねじを締めることにより、給電ローラ２１Ｃ，２２Ｃ，２３Ｃの位置を容易に変更することができる。

【0121】

（第２の実施形態）
図６、図７Ａおよび図８を参照して、第２の実施形態について説明する。図６は、本実施形態に係る給電ローラユニットおよび位置検出機構の斜視図である。図７Ａは、本実施形態に係る接触保持機構の模式図である。図８は、実施形態に係る電解めっき装置１における給電ローラユニット２０の斜視図である。

【0122】

第１の実施形態に係る電解めっき装置１において、電解めっき処理を行うにつれて、処理槽１１から給電槽１２に持ち出されるめっき液によって給電ローラユニット２０の各給電ローラが劣化するとともに、被めっき物Ｍとの機械的な接触により各給電ローラが摩耗する。これにより、給電ローラの径が細くなり、給電ローラと被めっき物Ｍとの接触を十分に確保することができなくなる。その結果、めっき不良などの問題が生じる。

【0123】

そこで、図６に示すように、本実施形態に係る電解めっき装置１は、給電ローラと被めっき物Ｍとの接触を保持するための接触保持機構４０をさらに備える。図６、図７Ａおよび図８に示すように、接触保持機構４０は、位置検出部４１と、位置調整部４２と、支持部４３と、バネ４４と、支持プレート４５とを有する。なお、図６では支持部４３、バネ４４および支持プレート４５は省略している。また、図７Ａでは、位置検出部４１は省略している。図８では、位置検出部４１および位置調整部４２は省略している。

【0124】

位置検出部４１は、複数の給電ローラ２１，２２，２３のうち少なくとも１つの給電ローラのローラ面の高さ位置を検出する。位置検出部４１は、たとえばレーザ変位計などのレーザセンサである。

【0125】

位置調整部４２は、位置検出部４１によって検出された当該給電ローラの高さ位置に基づいて、当該給電ローラと被めっき物Ｍとの接触が確保されるように給電ローラユニット２０の高さを調整する。位置調整部４２は、たとえばサーボ機構と、シリンダー本体４２ａおよびロッド４２ｂを有するエアシリンダーとを備えている。なお、位置調整部４２は、エアシリンダーに代えて、油圧シリンダーまたはバネを備えてもよい。位置調整部４２は、図示しない制御部（たとえばコンピュータ、タブレットなど）に接続され、給電ローラユニット２０の高さを自動で調整する。

【0126】

本実施形態では、図６に示すように、位置調整部４２は、給電ローラユニット２０の両端部に設けられている。また、当該給電ローラユニット２０は、図１（ｂ）において被めっき物Ｍの上方に位置する給電ローラユニット２０である。なお、位置調整部４２は、被めっき物Ｍの下方に位置する給電ローラユニット２０に設けられてもよい。

【0127】

位置調整部４２のロッド４２ｂは、支持部４３に当接する。なお、ロッド４２ｂは、支持部４３に接合されていてもよい。

【0128】

支持部４３は、給電ローラユニット２０のシャフト２４を回転自在に支持する。図７Ａおよび図８に示すように、本実施形態では、支持部４３は内側にベアリングなどを有するロータリジョイントであり、シャフト２４を回転自在に支持する。

【0129】

このように、位置調整部４２は、ロッド４２ｂを介して支持部４３の位置を制御することにより、給電ローラユニット２０の高さを調整する。また、支持部４３を設ける代わりに、ロッド４２ｂの他端がシャフト２４を受容する形状を有し、ロッド４２ｂがシャフト２４を回転自在に支持してもよい。

【0130】

支持プレート４５は、支持部４３を挟んでロッド４２ｂの反対側に配置され、支持部４３を支持する。また、支持プレート４５には、バネ４４の一端が接続されている。バネ４４は、たとえば金属バネおよび樹脂バネである。バネ４４の他端は、支点Ｑに接続されている。支点Ｑは、たとえば給電槽１２の枠、蓋および底面などに設けられる。

【0131】

このように、バネ４４および支持プレート４５を設けることにより、位置調整部４２の移動が図７における縦方向に制限され、支持部４３の位置を安定させることができる。なお、支持部４３の位置を安定させるための構成は、バネ４４および支持プレート４５に限られない。たとえば、バネ４４の代わりに、第２の位置調整部としてエアシリンダーを設けてもよい。この場合、第２の位置調整部は、制御部により制御されてもよい。支持プレート４５は省略してもよい。

【0132】

以上説明したように、第２の実施形態に係る電解めっき装置１によれば、給電ローラの径が細くなっても、給電ローラと被めっき物Ｍとの接触が確保されることにより、電解めっき処理を安定して行うことができる。

【0133】

なお、位置検出部４１に代えて、給電ローラユニット２０に掛かる力を検出する力検出部を設けてもよい。この場合、力検出部は、各給電ローラ２１，２２，２３およびシャフト２４のうち、少なくとも１つに掛かる力を検出する。力検出部は、たとえば位置調整部４２またはバネ４４の一端に設けられたロードセル、力覚センサ、秤などである。力覚センサを用いるときは、たとえば光学式、静電容量式、歪みゲージ式（電気抵抗式）、圧電式のものが利用可能である。

【0134】

なお、力検出部は、位置検出部４１とともに用いてもよい。これにより、被めっき物Ｍの位置の検出精度を高めることができる。

【0135】

（第２の実施形態の変形例）
第２の実施形態では、位置調整部として、エアシリンダーなどの直線運動によるものを用いている。これに限られず、位置調整部として、回転運動によるものを用いてもよい。

【0136】

図７Ｂは、第２の実施形態の変形例に係る接触保持機構４０Ａの模式図である。接触保持機構４０Ａは、エアシリンダーを有する位置調整部４２に代えて、カムを有する位置調整部４２Ａを設けたものである。

【0137】

図７Ｂに示すように、位置調整部４２Ａは、図示しないステッピングモータに接続されたカムを有する。ステッピングモータは、図示しない制御部（たとえばコンピュータ、タブレットなど）に接続され、位置検出部４１によって検出された給電ローラの高さ位置に基づいて、カムの回転量を自動で制御する。カムの回転量によって、給電ローラと被めっき物Ｍとの接触が確保されるように給電ローラユニット２０の高さを自動で調整する。

【0138】

このように、第２の実施形態の変形例によれば、位置調整部４２Ａとしてカムを用いることにより、設計の自由度を高めることができる。

【0139】

上記の記載に基づいて、当業者であれば、本発明の追加の効果や種々の変形を想到できるかもしれないが、本発明の態様は、上述した個々の実施形態に限定されるものではない。異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。特許請求の範囲に規定された内容およびその均等物から導き出される本発明の概念的な思想と趣旨を逸脱しない範囲で種々の追加、変更および部分的削除が可能である。

【符号の説明】

【0140】

１ 電解めっき装置
１１ 処理槽
１２ 給電槽
１３ 給電ローラ水洗スプレー
１４ 電極兼噴流パイプ
１５ ブスバー
１６ モータ
１７ ドライブシャフト
１８ チェーンベルト
１９ ギア
２０，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ 給電ローラユニット
２１～２３，２１Ａ～２３Ａ，２１Ｂ～２３Ｂ，２１Ｃ～２３Ｃ 給電ローラ
２１ａ～２３ａ，２１ｂ～２３ｂ 固定部材
２１ｃ～２３ｃ，２１ｄ～２３ｄ 突起部
２１ｅ～２３ｅ，２１ｆ～２３ｆ，２１ｇ～２３ｇ，２１ｈ～２３ｈ 凹部
２１１，２１２，２２１，２２２，２３１，２３２，２１２ａ，２１２ｂ セットネジ
２４，２４Ａ シャフト
２４ａ～２４ｄ，２４Ａａ～２４Ａｄ 短尺シャフト
２５ ロータリコネクタ
３０ 搬送ローラユニット
３１，３２ 搬送ローラ
３３ ソケット
３４ シャフト
３４ａ，３４ｂ 短尺シャフト
４０ 接触保持機構
４１ 位置検出部
４２，４２Ａ 位置調整部
４２ａ シリンダー本体
４２ｂ ロッド
４３ 支持部
４４ バネ
４５ 支持プレート
Ｍ 被めっき物
Ｐ 製品領域
ＮＰ 非製品領域
Ｑ 支点

【図1】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図3C】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図5C】

【図6】

【図7A】

【図7B】

【図8】