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特開2024-143605衝撃センサ、及び衝撃センサユニット

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024143605

(43)【公開日】2024-10-11

(54)【発明の名称】衝撃センサ、及び衝撃センサユニット

(51)【国際特許分類】

G01P 15/135 20060101AFI20241003BHJP

G01P 15/00 20060101ALI20241003BHJP

【ＦＩ】

G01P15/135 Z

G01P15/00 C

【審査請求】未請求

【請求項の数】12

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023056369

(22)【出願日】2023-03-30

(71)【出願人】

【識別番号】000130581

【氏名又は名称】サトーホールディングス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002468

【氏名又は名称】弁理士法人後藤特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】▲高▼田倫久

(57)【要約】

【課題】特定の方向の衝撃を選択的に検知可能な衝撃センサを提供する。
【解決手段】外部からの衝撃を受けて一方向に移動可能な可動電極と、可動電極に対して一方向に離間して配置され可動電極が移動したときに可動電極に接触する第１固定電極と、を含み、可動電極は、可動電極の移動方向に垂直な方向が深さ方向となる第１凹部を含み、第１固定電極は、第１凹部に少なくとも一部が収容される第１凸部を含み、可動電極が移動して第１凹部が第１凸部に接触し、可動電極と第１固定電極が電気的に接続することで衝撃を検知する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

外部からの衝撃を受けて一方向に移動可能な可動電極と、前記可動電極に対して前記一方向に離間して配置され前記可動電極が移動したときに前記可動電極に接触する第１固定電極と、を含み、
前記可動電極及び前記第１固定電極のいずれか一方は、前記可動電極の移動方向に垂直な方向が深さ方向となる第１凹部を含み、
前記可動電極及び前記第１固定電極のいずれか他方は、前記第１凹部に少なくとも一部が収容される第１凸部を含み、
前記可動電極が移動して前記第１凹部が前記第１凸部に接触し、前記可動電極と前記第１固定電極が電気的に接続することで前記衝撃を検知する衝撃センサ。

【請求項2】

前記可動電極を囲むとともに前記第１固定電極を包含する枠部をさらに含み、
前記可動電極は、前記枠部に接続された一対のバネ部により前記可動電極の前記移動方向の両側から支持されるとともに、前記可動電極の慣性力により一対の前記バネ部を変形させることで前記第１固定電極に対して前記移動方向に相対移動し、
前記枠部は、前記第１固定電極と絶縁する第２固定電極を含み、
前記第２固定電極は、前記バネ部に延出することで前記可動電極と電気的に接続されている請求項１に記載の衝撃センサ。

【請求項3】

前記第１凹部は前記可動電極に配置され、
前記第１凸部は前記第１固定電極に配置されている請求項２に記載の衝撃センサ。

【請求項4】

前記可動電極は、前記第１凹部が形成された縁辺とは反対側の縁辺に第２凹部を含み、
前記枠部は、前記第２凹部に対向する位置に前記第２凹部に少なくとも一部が収容される第２凸部を含み、
前記第１凹部の前記移動方向の中央部と前記第２凹部の前記移動方向の中央部は前記移動方向において同一となる位置に配置され、
前記可動電極は、前記移動方向に直交し且つ前記第１凹部の前記移動方向の中央部と前記第２凹部の前記移動方向の中央部を通過する線を基準とした鏡面対称の形状を有する請求項３に記載の衝撃センサ。

【請求項5】

前記第１凹部は前記第１固定電極に配置され、
前記第１凸部は前記可動電極に配置され、
前記可動電極は、前記第１凸部が形成された縁辺とは反対側の縁辺に第２凸部を含み、
前記枠部は、前記第２凸部に対向する位置に前記第２凸部の少なくとも一部を収容する第２凹部を含み、
前記第１凸部の前記移動方向の中央部と前記第２凸部の前記移動方向の中央部は前記移動方向において同一となる位置に配置され、
前記可動電極は、前記移動方向に直交し且つ前記第１凸部の前記移動方向の中央部と前記第２凸部の前記移動方向の中央部を通過する線を基準とした鏡面対称の形状を有する請求項２に記載の衝撃センサ。

【請求項6】

請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の衝撃センサを第１衝撃センサと第２衝撃センサとして２個含む衝撃センサユニットであって、
前記第２衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向は、前記第１衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向と直交する衝撃センサユニット。

【請求項7】

請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の衝撃センサを第１衝撃センサと第２衝撃センサとして２個含む衝撃センサユニットであって、
前記第２衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向は、前記第１衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向と平行であり、
前記第２衝撃センサの前記第１凹部と前記第１凸部との前記移動方向の隙間は、前記第１衝撃センサの前記第１凹部と前記第１凸部との前記移動方向の隙間よりも広く形成されている衝撃センサユニット。

【請求項8】

請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の衝撃センサを第１衝撃センサ、第２衝撃センサ、第３衝撃センサ、及び第４衝撃センサとして４個含む衝撃センサユニットであって、
前記第１衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向は、前記第３衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向と平行であり、
前記第２衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向は、前記第４衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向と平行であり、
前記第３衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向は、前記第４衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向と垂直であり、
前記第３衝撃センサの前記第１凹部と前記第１凸部との前記移動方向の隙間は、前記第１衝撃センサの前記第１凹部と前記第１凸部との前記移動方向の隙間よりも広く形成され、
前記第４衝撃センサの前記第１凹部と前記第１凸部との前記移動方向の隙間は、前記第２衝撃センサの前記第１凹部と前記第１凸部との前記移動方向の隙間よりも広く形成されている衝撃センサユニット。

【請求項9】

請求項２に記載の衝撃センサを第１衝撃センサ、第２衝撃センサ、第３衝撃センサ、及び第４衝撃センサとして４個含む衝撃センサユニットであって、
前記第１衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向は、前記第３衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向と平行であり、
前記第２衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向は、前記第４衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向と平行であり、
前記第３衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向は、前記第４衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向と垂直であり、
前記第３衝撃センサの前記第１凹部と前記第１凸部との前記移動方向の隙間は、前記第１衝撃センサの前記第１凹部と前記第１凸部との前記移動方向の隙間よりも広く形成され、
前記第４衝撃センサの前記第１凹部と前記第１凸部との前記移動方向の隙間は、前記第２衝撃センサの前記第１凹部と前記第１凸部との前記移動方向の隙間よりも広く形成され、
前記第１衝撃センサの前記可動電極と前記第１固定電極との接触に起因する前記第１固定電極と前記第２固定電極との第１の通電と、前記第２衝撃センサの前記可動電極と前記第１固定電極との接触に起因する前記第１固定電極と前記第２固定電極との第２の通電と、前記第３衝撃センサの前記可動電極と前記第１固定電極との接触に起因する前記第１固定電極と前記第２固定電極との第３の通電と、前記第４衝撃センサの前記可動電極と前記第１固定電極との接触に起因する前記第１固定電極と前記第２固定電極との第４の通電と、を検知する検知手段をさらに含む衝撃センサユニット。

【請求項10】

前記第１衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向及び前記第３衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向をＸ方向とし、前記第２衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向及び前記第４衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向を前記Ｘ方向に直交するＹ方向とした場合において、
前記検知手段は、
前記第１の通電を検知し、前記第２の通電、前記第３の通電、及び前記第４の通電を検知しない場合、前記Ｘ方向に平行な方向に所定の強度の第１の衝撃があったと判断し、
前記第１の通電及び前記第３の通電を検知し、前記第２の通電及び前記第４の通電を検知しない場合、前記Ｘ方向に平行な方向に前記第１の衝撃よりも強度が大きい第２の衝撃があったと判断し、
前記第２の通電を検知し、前記第１の通電、前記第３の通電、及び前記第４の通電を検知しない場合、前記Ｙ方向に平行な方向に所定の強度を第３の衝撃があったと判断し、
前記第２の通電及び前記第４の通電を検知し、前記第１の通電及び前記第３の通電を検知しない場合、前記Ｙ方向に平行な方向に前記第３の衝撃よりも強度が大きい第４の衝撃があったと判断する請求項９に記載の衝撃センサユニット。

【請求項11】

前記検知手段は、
前記第１の通電及び前記第２の通電を検知し、前記第３の通電、及び前記第４の通電を検知しない場合、前記Ｘ方向に前記第１の衝撃に係る衝撃成分を含み前記Ｙ方向に前記第３の衝撃に係る衝撃成分を含む第５の衝撃があったと判断し、
前記第１の通電、前記第２の通電、及び前記第３の通電を検知し、前記第４の通電を検知しない場合、前記Ｘ方向に前記第２の衝撃に係る衝撃成分を含み前記Ｙ方向に前記第３の衝撃に係る衝撃成分を含む第６の衝撃があったと判断し、
前記第１の通電、前記第２の通電、及び前記第４の通電を検知し、前記第３の通電を検知しない場合、前記Ｘ方向に前記第１の衝撃に係る衝撃成分を含み前記Ｙ方向に前記第４の衝撃に係る衝撃成分を含む第７の衝撃があったと判断し、
前記第１の通電、前記第２の通電、前記第３の通電、及び前記第４の通電を検知した場合、前記Ｘ方向に前記第２の衝撃に係る衝撃成分を含み前記Ｙ方向に前記第４の衝撃に係る衝撃成分を含む第８の衝撃があったと判断する請求項１０に記載の衝撃センサユニット。

【請求項12】

請求項２に記載の衝撃センサを第１衝撃センサ、第２衝撃センサとして２個含む衝撃センサユニットであって、
前記第１衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向は、前記第２衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向と垂直であり、
前記枠部は、矩形形状を有するとともに矩形の各辺を形成する４つのビームを含み、
前記４つのビームは、
前記第１固定電極を包含する第１ビームと、
前記第１ビームと平行且つ長手方向が互いに対向するように配置され、前記第１ビームとは離間して配置された第２ビームと、
前記第１ビームの長手方向の一方の端部と当該端部に対向する前記第２ビームの長手方向の一方の端部とを接続する第３ビームと、
前記第１ビームの長手方向の他方の端部と当該端部に対向する前記第２ビームの長手方向の他方の端部とを接続する第４ビームと、を含み、
前記第１衝撃センサの前記第３ビームと前記第２衝撃センサの前記第２ビームが互いに隣接、又は一体となっている、又は、
前記第１衝撃センサの前記第４ビームと前記第２衝撃センサの前記第２ビームが互いに隣接、又は一体となっている衝撃センサユニット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、衝撃センサ、及び衝撃センサユニットに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１は、渦巻き状の弾性体で可動電極を支持し、可動電極の中央部を円筒形状とし、円筒形状の内側において所定の間隔を設けて固定電極を配置し、外部からの衝撃により可動電極が慣性力により固定電極に対して相対移動し、可動電極が固定電極に接触することで外部からの衝撃を検知する内容を開示している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１６－１６１５００号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、特許文献１の構成では衝撃の方向を検知することができない。

【0005】

そこで、本発明の一つの態様は、特定の方向の衝撃を選択的に検知可能な衝撃センサを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一つの態様によれば、外部からの衝撃を受けて一方向に移動可能な可動電極と、可動電極に対して一方向に離間して配置され可動電極が移動したときに可動電極に接触する第１固定電極と、を含み、可動電極は、可動電極の移動方向に垂直な方向が深さ方向となる第１凹部を含み、第１固定電極は、第１凹部に少なくとも一部が収容される第１凸部を含み、可動電極が移動して第１凹部が第１凸部に接触し、可動電極と第１固定電極が電気的に接続することで衝撃を検知する衝撃センサが提供される。

【発明の効果】

【0007】

本発明の一つの態様によれば、可動電極の移動方向に平行な方向の衝撃を可動電極と第１固定電極との通電により選択的に検知できる。また、第１凸部と第１凹部との間隔を狭く設定することで小さな衝撃を検知可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、本発明の第１実施形態に係る衝撃センサの平面図である。

【図2】図２は、図１の破線Ｘで囲まれた部分の拡大図であり、図２（ａ）は衝撃センサが衝撃を受ける前の状態、図２（ｂ）は衝撃センサが衝撃を受けて可動電極が衝撃に伴う慣性力により枠部に対してＸ方向に相対移動して第１固定電極に接触した状態を示す。

【図3】図３は、図１の破線Ｙで囲まれた部分の拡大図であり、図３（ａ）は衝撃センサが衝撃を受ける前の状態、図３（ｂ）は衝撃センサが衝撃を受けて可動電極が衝撃に伴う慣性力により枠部に対してＹ方向に相対移動して第１固定電極に接触した状態を示す。

【図4】図４は、本発明の第１実施形態に係る衝撃センサが検知信号として検知可能な衝撃（加速度）の分布を示す図である。

【図5】図５は、本発明の第１実施形態に係る衝撃センサの個片化前の第１の状態を示す平面図である。

【図6】図６は、本発明の第１実施形態に係る衝撃センサの個片化前の第２の状態を示す平面図である。

【図7】図７は、本発明の第１実施形態に係る衝撃センサの背面方向からの斜視図である。

【図8】図８は、本発明の第１実施形態に係る衝撃センサを基板に搭載した状態を表す模式図である。

【図9】図９は、本発明の第１実施形態に係る衝撃センサを鏡面対称で形成した変形例の平面図である。

【図10】図１０は、本発明の第２実施形態に係る衝撃センサの平面図である。

【図11】図１１は、本発明の第２実施形態に係る衝撃センサが検知信号として検知可能な衝撃（加速度）の分布を示す図である。

【図12】図１２は、本発明の第３実施形態に係る衝撃センサの個片化前の状態を示す平面図である。

【図13】図１３は、本発明の第３実施形態に係る衝撃センサの鏡面対称となる変形例を個片化前の状態を示す平面図である。

【図14】図１４は、本発明の第４実施形態に係る衝撃センサの個片化前の状態を示す平面図である。

【図15】図１５は、本発明の第５実施形態に係る衝撃センサの平面図である。

【図16】図１６は、本発明の図１５の破線Ｘで囲まれた部分の拡大図であり、図１６（ａ）は衝撃センサが衝撃を受ける前の状態、図１６（ｂ）は衝撃センサが衝撃を受けて可動電極が衝撃に伴う慣性力により枠部に対してＸ方向に相対移動して第１固定電極に接触した状態を示す。

【図17】図１７は、本発明の実施形態に係る衝撃センサを包含する電子タグの概略構成図である。

【図18】図１８は、電子タグを構成するラッチ回路の一例を示す回路図である。

【図19】図１９は、電子タグの作動の流れを示すフローチャートである。

【図20】図２０は、電子タグの使用方法について説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下に記載する形態は、図面の簡単な説明により説明される図面に限定されるものではない。

【0010】

【0011】

本発明のある態様によれば、可動電極の移動方向に平行な方向の衝撃を可動電極と第１固定電極との通電により容易に検知できる。また、第１凸部と第１凹部との間隔を狭く設定することで小さな衝撃を検知可能となる。

【0012】

本発明のある態様は、前記可動電極を囲むとともに前記第１固定電極を包含する枠部をさらに含み、前記可動電極は、前記枠部に接続された一対のバネ部により前記可動電極の前記移動方向の両側から支持されるとともに、前記可動電極の慣性力により一対の前記バネ部を変形させることで前記第１固定電極に対して前記移動方向に相対移動し、前記枠部は、前記第１固定電極と絶縁する第２固定電極を含み、前記第２固定電極は、前記バネ部に延出することで前記可動電極と電気的に接続されている衝撃センサである。

【0013】

本発明のある態様によれば、第２固定電極と、第１固定電極との通電を検知することで、可動電極と第１固定電極との接触を検知できるので、衝撃の検知が容易となる。

【0014】

本発明のある態様は、前記第１凹部は前記可動電極に配置され、前記第１凸部は前記第１固定電極に配置されている衝撃センサである。

【0015】

本発明のある態様によれば、可動電極の衝撃に対する強度を確保できる。

【0016】

【0017】

本発明のある態様によれば、可動電極の衝撃に対する強度を確保できる。

【0018】

本発明のある態様は、前記可動電極は、前記第１凹部が形成された縁辺とは反対側の縁辺に第２凹部を含み、前記枠部は、前記第２凹部に対向する位置に前記第２凹部に少なくとも一部が収容される第２凸部を含み、前記第１凹部の前記移動方向の中央部と前記第２凹部の前記移動方向の中央部は前記移動方向において同一となる位置に配置され、前記可動電極は、前記移動方向に直交し且つ前記第１凹部の前記移動方向の中央部と前記第２凹部の前記移動方向の中央部を通過する線を基準とした鏡面対称の形状を有する衝撃センサである。

【0019】

本発明のある態様によれば、可動電極を「Ｈ」型とすることにより、可動電極の移動方向以外の方向の振動や、回転運動を低減し、衝撃センサの誤検知を低減できる。

【0020】

本発明のある態様は、前記第１凹部は前記第１固定電極に配置され、前記第１凸部は前記可動電極に配置され、前記可動電極は、前記第１凸部が形成された縁辺とは反対側の縁辺に第２凸部を含み、前記枠部は、前記第２凸部に対向する位置に前記第２凸部の少なくとも一部を収容する第２凹部を含み、前記第１凸部の前記移動方向の中央部と前記第２凸部の前記移動方向の中央部は前記移動方向において同一となる位置に配置され、前記可動電極は、前記移動方向に直交し且つ前記第１凸部の前記移動方向の中央部と前記第２凸部の前記移動方向の中央部を通過する線を基準とした鏡面対称の形状を有する衝撃センサである。

【0021】

本発明のある態様によれば、可動電極に第１凸部及び第２凸部を配置することで可動電極の質量が増加する。これにより可動電極の衝撃に対する慣性力を高め、衝撃センサの衝撃の検知感度を高めることができる。また、可動電極を、移動方向に垂直な方向に延び、可動電極の移動方向の中央部を通過する線を中心として鏡面対称な形状とすることで、可動電極の移動方向以外の方向の振動や、回転運動を低減し、衝撃センサの誤検知を低減できる。

【0022】

本発明のある態様は、衝撃センサを第１衝撃センサと第２衝撃センサとして２個含む衝撃センサユニットであって、前記第２衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向は、前記第１衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向と直交する衝撃センサユニットである。

【0023】

本発明のある態様によれば、簡易な構成で互いに直交する衝撃を個別に検知可能となる。

【0024】

本発明のある態様は、衝撃センサを第１衝撃センサと第２衝撃センサとして２個含む衝撃センサユニットであって、前記第２衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向は、前記第１衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向と平行であり、前記第２衝撃センサの前記第１凹部と前記第１凸部との前記移動方向の隙間は、前記第１衝撃センサの前記第１凹部と前記第１凸部との前記移動方向の隙間よりも広く形成されている衝撃センサユニットである。

【0025】

本発明のある態様によれば、一方向において簡易な構成で互いに強度の異なる２段階の衝撃を検知できる。

【0026】

【0027】

本発明のある態様によれば、簡易な構成で互いに強度の異なる２段階の衝撃をＸ方向、Ｙ方向において独立に検知できる。

【0028】

【0029】

本発明のある態様によれば、Ｘ方向、Ｙ方向の衝撃を２段階で個別に検知でき、且つＸ方向成分及びＹ方向成分を有する衝撃も検知可能となる。

【0030】

本発明のある態様は、外部からの衝撃を受けて一方向に移動可能な可動電極と、前記可動電極に対して前記一方向に離間して配置され前記可動電極が移動したときに前記可動電極に接触する第１固定電極と、を含み、前記可動電極及び前記第１固定電極のいずれか一方は、前記可動電極の移動方向に垂直な方向が深さ方向となる第１凹部を含み、前記可動電極及び前記第１固定電極のいずれか他方は、前記第１凹部に少なくとも一部が収容される第１凸部を含み、前記可動電極が移動して前記第１凹部が前記第１凸部に接触し、前記可動電極と前記第１固定電極が電気的に接続することで前記衝撃を検知する衝撃センサを第１衝撃センサ、第２衝撃センサ、第３衝撃センサ、及び第４衝撃センサとして４個含む衝撃センサユニットであって、前記第１衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向は、前記第３衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向と平行であり、前記第２衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向は、前記第４衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向と平行であり、前記第３衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向は、前記第４衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向と垂直であり、前記第３衝撃センサの前記第１凹部と前記第１凸部との前記移動方向の隙間は、前記第１衝撃センサの前記第１凹部と前記第１凸部との前記移動方向の隙間よりも広く形成され、前記第４衝撃センサの前記第１凹部と前記第１凸部との前記移動方向の隙間は、前記第２衝撃センサの前記第１凹部と前記第１凸部との前記移動方向の隙間よりも広く形成され、前記第１衝撃センサの前記可動電極と前記第１固定電極との接触に起因する前記可動電極と前記第１固定電極との第１の通電と、前記第２衝撃センサの前記可動電極と前記第１固定電極との接触に起因する前記可動電極と前記第１固定電極との第２の通電と、前記第３衝撃センサの前記可動電極と前記第１固定電極との接触に起因する前記可動電極と前記第１固定電極との第３の通電と、前記第４衝撃センサの前記可動電極と前記第１固定電極との接触に起因する前記可動電極と前記第１固定電極との第４の通電と、を検知する検知手段をさらに含む衝撃センサユニットである。

【0031】

本発明のある態様によれば、Ｘ方向、Ｙ方向の衝撃を２段階で個別に検知でき、且つＸ方向成分及びＹ方向成分を有する衝撃も検知可能となる。

【0032】

本発明のある態様は、前記第１衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向及び前記第３衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向をＸ方向とし、前記第２衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向及び前記第４衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向を前記Ｘ方向に直交するＹ方向とした場合において、前記検知手段は、前記第１の通電を検知し、前記第２の通電、前記第３の通電、及び前記第４の通電を検知しない場合、前記Ｘ方向に平行な方向に所定の強度の第１の衝撃があったと判断し、前記第１の通電及び前記第３の通電を検知し、前記第２の通電及び前記第４の通電を検知しない場合、前記Ｘ方向に平行な方向に前記第１の衝撃よりも強度が大きい第２の衝撃があったと判断し、前記第２の通電を検知し、前記第１の通電、前記第３の通電、及び前記第４の通電を検知しない場合、前記Ｙ方向に平行な方向に所定の強度を第３の衝撃があったと判断し、前記第２の通電及び前記第４の通電を検知し、前記第１の通電及び前記第３の通電を検知しない場合、前記Ｙ方向に平行な方向に前記第３の衝撃よりも強度が大きい第４の衝撃があったと判断する衝撃センサユニットである。

【0033】

本発明のある態様によれば、第２固定電極と複数の第１固定電極との通電を個別に検知することで、Ｘ方向、Ｙ方向それぞれで互いに強度の異なる２段階の衝撃を検知できる。

【0034】

本発明のある態様は、前記第１の通電及び前記第２の通電を検知し、前記第３の通電、及び前記第４の通電を検知しない場合、前記Ｘ方向に前記第１の衝撃に係る衝撃成分を含み前記Ｙ方向に前記第３の衝撃に係る衝撃成分を含む第５の衝撃があったと判断し、前記第１の通電、前記第２の通電、及び前記第３の通電を検知し、前記第４の通電を検知しない場合、前記Ｘ方向に前記第２の衝撃に係る衝撃成分を含み前記Ｙ方向に前記第３の衝撃に係る衝撃成分を含む第６の衝撃があったと判断し、前記第１の通電、前記第２の通電、及び前記第４の通電を検知し、前記第３の通電を検知しない場合、前記Ｘ方向に前記第１の衝撃に係る衝撃成分を含み前記Ｙ方向に前記第４の衝撃に係る衝撃成分を含む第７の衝撃があったと判断し、前記第１の通電、前記第２の通電、前記第３の通電、及び前記第４の通電を検知した場合、前記Ｘ方向に前記第２の衝撃に係る衝撃成分を含み前記Ｙ方向に前記第４の衝撃に係る衝撃成分を含む第８の衝撃があったと判断する衝撃センサユニットである。

【0035】

本発明のある態様によれば、Ｘ方向成分及びＹ方向成分を有する衝撃を検知可能となり、Ｘ方向、Ｙ方向の２次元方向に分布する衝撃を検知可能となる。

【0036】

本発明のある態様は、衝撃センサを第１衝撃センサ、第２衝撃センサとして２個用いた衝撃センサユニットであって、前記第１衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向は、前記第２衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向と垂直であり、前記枠部は、矩形形状を有するとともに矩形の各辺を形成する４つのビームを含み、前記４つのビームは、前記第１固定電極を包含する第１ビームと、前記第１ビームと平行且つ長手方向が互いに対向するように配置され、前記第１ビームとは離間して配置された第２ビームと、前記第１ビームの長手方向の一方の端部と当該端部に対向する前記第２ビームの長手方向の一方の端部とを接続する第３ビームと、前記第１ビームの長手方向の他方の端部と当該端部に対向する前記第２ビームの長手方向の他方の端部とを接続する第４ビームと、を含み、前記第１衝撃センサの前記第３ビームと前記第２衝撃センサの前記第２ビームが互いに隣接、又は一体となっている、又は、前記第１衝撃センサの前記第４ビームと前記第２衝撃センサの前記第２ビームが互いに隣接、又は一体となっている衝撃センサユニットである。

【0037】

本発明のある態様によれば、複数の衝撃センサを基板にパターニングして個片化する場合、一つの衝撃センサの第１固定電極１１Ａは当該一つの衝撃センサに隣接するとともに第１固定電極１１Ａに対向する第１の他の衝撃センサの第２固定電極１２に接続され、一つの衝撃センサの第１固定電極１１Ｂは当該一つの衝撃センサに隣接するとともに第１固定電極１１Ｂに対向する第２の他の衝撃センサの第２固定電極に接続される。また互いに隣接する衝撃センサ（第２固定電極）は互いに接続している。よって、例えば第２固定電極の形成部分に電極を配置してメッキ処理することにより、第１固定電極１１Ａ及び第２固定電極１２にもメッキ処理が及ぶ。したがって、１回のメッキ処理で衝撃センサ全体のメッキ処理を行えるので、作業負担を軽減できる。

【0038】

【0039】

本発明のある態様によれば、複数の第３固定電極と第２固定電極との通電、及び複数の第４固定電極と第２固定電極との通電を検知することで、＋Ｘ方向、＋Ｙ方向、－Ｘ方向、－Ｙ方向においてそれぞれ互いに強度の異なる２段階の衝撃を検知できる。

【0040】

本発明のある態様は、衝撃センサを第１衝撃センサ、第２衝撃センサ、第３衝撃センサ、及び第４衝撃センサとして４個含む衝撃センサユニットであって、前記第１衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向は、前記第３衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向と平行であり、前記第２衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向は、前記第４衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向と平行であり、前記第３衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向は、前記第４衝撃センサの前記可動電極の前記移動方向と垂直であり、前記第３衝撃センサの前記第１凹部と前記第１凸部との前記移動方向の隙間は、前記第１衝撃センサの前記第１凹部と前記第１凸部との前記移動方向の隙間よりも広く形成され、前記第４衝撃センサの前記第１凹部と前記第１凸部との前記移動方向の隙間は、前記第２衝撃センサの前記第１凹部と前記第１凸部との前記移動方向の隙間よりも広く形成され、前記枠部は、矩形形状を有するとともに矩形の各辺を形成する４つのビームを含み、前記４つのビームは、前記第１固定電極を包含する第１ビームと、前記第１ビームと平行且つ長手方向が互いに対向するように配置され、前記第１ビームとは離間して配置された第２ビームと、前記第１ビームの長手方向の一方の端部と当該端部に対向する前記第２ビームの長手方向の一方の端部とを接続する第３ビームと、前記第１ビームの長手方向の他方の端部と当該端部に対向する前記第２ビームの長手方向の他方の端部とを接続する第４ビームと、を含み、前記第１衝撃センサ、前記第２衝撃センサ、前記第３衝撃センサ、及び前記第４衝撃センサは、互いに隣接して配置され、前記第１衝撃センサの前記第３ビームと前記第２衝撃センサの前記第２ビームが互いに隣接する場合において、前記第２衝撃センサの前記第３ビームが前記第３衝撃センサの前記第２ビームが互いに隣接し、前記第３衝撃センサの前記第３ビームが前記第４衝撃センサの前記第２ビームが互いに隣接し、前記第４衝撃センサの前記第３ビームが前記第１衝撃センサの前記第２ビームが互いに隣接し、前記第１衝撃センサの前記第４ビームと前記第２衝撃センサの前記第３ビームが互いに隣接する場合において、前記第１衝撃センサの前記第２ビームが前記第４衝撃センサの前記第４ビームが互いに隣接し、前記第４衝撃センサの前記第２ビームが前記第３衝撃センサの前記第４ビームが互いに隣接し、前記第３衝撃センサの前記第２ビームが前記第２衝撃センサの前記第４ビームが互いに隣接している衝撃センサユニットである。

【0041】

本発明のある態様によれば、全ての第１ビーム、すなわち全ての第１固定電極は、衝撃センサの周縁に配置される。これにより、複数の衝撃センサを基板にパターニングして個片化する場合、各第１固定電極は、隣接する衝撃センサの第２固定電極に接続される。また互いに隣接する衝撃センサ（第２固定電極）は互いに接続している。

【0042】

よって、例えば第２固定電極の形成部分に電極を配置してメッキ処理することにより、各第１固定電極の形成部分及び第２固定電極１２の形成部分にもメッキ処理が及ぶ。したがって、１回のメッキ処理で衝撃センサ全体のメッキ処理を行えるので、作業負担を軽減できる。

【0043】

以下、図面を参照して、実施形態について説明する。

【0044】

［第１実施形態］
［衝撃センサ３００の構成］
図１は、本発明の第１実施形態に係る衝撃センサ３００の平面図である。図１（他の図も同様）において、Ｘ方向及びＹ方向は互いに直交するものとする。また、以下の説明において、「Ｘ方向」を「左右方向」、「Ｙ方向」を「上下方向」、「＋Ｘ方向」を「右方向」、「－Ｘ方向」を「左方向」、「＋Ｙ方向」を「上方向」、「－Ｙ方向」を「下方向」という場合がある。

【0045】

図１に示すように、衝撃センサ３００は、平面視で矩形（正方形）の形状を有している。衝撃センサ３００は、矩形（正方形）の枠部１と、枠部１の内側に配置された可動電極２と、枠部１と可動電極２の間の領域に配置され枠部１に支持され且つ可動電極２を支持するバネ部４（４Ａ，４Ｂ，４Ｃ，４Ｄ）と、を含む。

【0046】

なお、ここでは同一の構成要素であって位置又は向きが異なるものについて「Ａ」、「Ｂ」、「Ｃ」、「Ｄ」という符号を追加して区別しているが、当該構成要素に共通する事項を説明する場合には当該符号を省略して説明する場合がある。

【0047】

枠部１は、４つの略矩形（正方形）の開口部を有し、４つの開口部を囲む外形が略矩形（正方形）となるように配置されることで略矩形の外枠と十字型の内枠を含む格子状の形状を有する。

【0048】

図１の枠部１の左上の開口部には可動電極２Ａが配置され、右上の開口部には可動電極２Ｂが配置され、右下の開口部には可動電極２Ｃが配置され、左下の開口部には可動電極２Ｄが配置されている。

【0049】

ここで、可動電極２Ａと枠部１の可動電極２Ａを囲む矩形部分を第１衝撃センサ３０１Ａと称し、可動電極２Ｂと枠部１の可動電極２Ｂを囲む矩形部分を第２衝撃センサ３０１Ｂと称し、可動電極２Ｃと枠部１の可動電極２Ｃを囲む矩形部分を第３衝撃センサ３０１Ｃと称し、可動電極２Ｄと枠部１の可動電極２Ｄを囲む矩形部分を第４衝撃センサ３０１Ｄと称す。

【0050】

第１衝撃センサ３０１Ａにおいて、枠部１の外枠であって第１固定電極１１Ａが形成された部分を第１ビーム１４１Ａと称し、枠部１の内枠であって第１ビーム１４１Ａに対向する部分を第２ビーム１４２Ａと称し、枠部１の内枠であって第１ビーム１４１Ａと第２ビーム１４２Ａとを連結する部分を第３ビーム１４３Ａと称し、枠部１の外枠であって第１ビーム１４１Ａと第２ビーム１４２Ａとを連結する部分を第４ビーム１４４Ａと称す。

【0051】

第２衝撃センサ３０１Ｂにおいて、枠部１の外枠であって第１固定電極１１Ｂが形成された部分を第１ビーム１４１Ｂと称し、枠部１の内枠であって第１ビーム１４１Ｂに対向する部分を第２ビーム１４２Ｂと称し、枠部１の内枠であって第１ビーム１４１Ｂと第２ビーム１４２Ｂとを連結する部分を第３ビーム１４３Ｂと称し、枠部１の外枠であって第１ビーム１４１Ｂと第２ビーム１４２Ｂとを連結する部分を第４ビーム１４４Ｂと称す。

【0052】

第３衝撃センサ３０１Ｃにおいて、枠部１の外枠であって第１固定電極１１Ｃが形成された部分を第１ビーム１４１Ｃと称し、枠部１の内枠であって第１ビーム１４１Ｃに対向する部分を第２ビーム１４２Ｃと称し、枠部１の内枠であって第１ビーム１４１Ｃと第２ビーム１４２Ｃとを連結する部分を第３ビーム１４３Ｃと称し、枠部１の外枠であって第１ビーム１４１Ｃと第２ビーム１４２Ｃとを連結する部分を第４ビーム１４４Ｃと称す。

【0053】

第４衝撃センサ３０１Ｄにおいて、枠部１の外枠であって第１固定電極１１Ｄが形成された部分を第１ビーム１４１Ｄと称し、枠部１の内枠であって第１ビーム１４１Ｄに対向する部分を第２ビーム１４２Ｄと称し、枠部１の内枠であって第１ビーム１４１Ｄと第２ビーム１４２Ｄとを連結する部分を第３ビーム１４３Ｄと称し、枠部１の外枠であって第１ビーム１４１Ｄと第２ビーム１４２Ｄとを連結する部分を第４ビーム１４４Ｄと称す。

【0054】

図１に示すように、第１実施形態の衝撃センサ３００では、第１衝撃センサ３０１Ａ、第２衝撃センサ３０１Ｂ、第３衝撃センサ３０１Ｃ、及び第４衝撃センサ３０１Ｄが一体となっている。このとき、第３ビーム１４３Ａと第２ビーム１４２Ｂが一体であり、第３ビーム１４３Ｂと第２ビーム１４２Ｃが一体であり、第３ビーム１４３Ｃと第２ビーム１４２Ｄが一体であり、第３ビーム１４３Ｄと第２ビーム１４２Ａが一体である。

【0055】

なお、第１実施形態の衝撃センサ３００は、第１衝撃センサ３０１Ａ、第２衝撃センサ３０１Ｂ、第３衝撃センサ３０１Ｃ、第４衝撃センサ３０１Ｄが互いに分離しつつも、図１の配置にしたがって互いに隣接する配置として構築されてもよい。この場合、各衝撃センサ間に配置される各ビームを一体とせずに、具体的には第３ビーム１４３Ａと第２ビーム１４２Ｂが互いに隣接し、第３ビーム１４３Ｂと第２ビーム１４２Ｃが互いに隣接し、第３ビーム１４３Ｃと第２ビーム１４２Ｄが互いに隣接し、第３ビーム１４３Ｄと第２ビーム１４２Ａが互いに隣接する構成としてもよい。

【0056】

なお、第１衝撃センサ３０１Ａ及び第３衝撃センサ３０１Ｃのみにより衝撃センサ３００を構成してもよく、また第２衝撃センサ３０１Ｂ及び第４衝撃センサ３０１Ｄのみにより衝撃センサ３００を構成してもよい。この場合、後述の第３実施形態（図１２、図１３）の配置に倣って第１衝撃センサ３０１Ａ及び第３衝撃センサ３０１Ｃを隣接配置し、又は第２衝撃センサ３０１Ｂ及び第４衝撃センサ３０１Ｄを隣接配置すればよい。なお、第１衝撃センサ３０１Ａ及び第２衝撃センサ３０１Ｂのみにより衝撃センサ３００を構成してもよく、また第３衝撃センサ３０１Ｃ及び第４衝撃センサ３０１Ｄのみにより衝撃センサ３００を構成してもよい。

【0057】

可動電極２Ａは、後述のように左右方向の剛性（弾性）が上下方向の剛性（弾性）よりも低いバネ部４Ａにより左右方向の両側から支持されることにより、左右方向に選択的に変位可能で上下方向の変位が左右方向の変位と比較して強く抑制された電極である。可動電極２Ａは、衝撃センサ３００が外部から加速度（衝撃）を受けると可動電極２Ａの質量により慣性力を発生させ、枠部１に対してＸ方向に相対移動する。

【0058】

第１ビーム１４１Ａにおいて、可動電極２Ａに対向する位置には第１固定電極１１Ａが配置されている。また、第１ビーム１４１Ａにおける第１固定電極１１Ａが配置された以外の部分（後述の溝部１３を除く）と、第２ビーム１４２Ａと、第３ビーム１４３Ａと、第４ビーム１４４Ａと、は第２固定電極１２となっている。

【0059】

第１ビーム１４１Ａにおいて、第１固定電極１１Ａと第２固定電極１２との間には溝部１３が配置され、枠部１において第１固定電極１１Ａと第２固定電極１２は溝部１３により絶縁している。

【0060】

第１固定電極１１Ａは、第１ビーム１４１Ａにおいて可動電極２Ａの上側の縁辺の中央部に対向する位置において下方向、すなわち可動電極２Ａに向けて延びる第１凸部１１１Ａを有する。一方、可動電極２Ａの第１凸部１１１Ａに対向する縁辺には第１凹部２１Ａが形成されている。

【0061】

第１凸部１１１Ａは、第１凹部２１Ａとの間に隙間を形成し、且つ第１凹部２１Ａと非接触の状態で、少なくともその一部が第１凹部２１Ａ内に収容される。

【0062】

第２ビーム１４２Ａにおいて可動電極２Ａの左右方向に延びる縁辺の中央部に対向する位置には上方向、すなわち可動電極２Ａに向けて延びる第２凸部１２１Ａを有する。一方、可動電極２Ａの第２凸部１２１Ａに対向する縁辺には第２凹部２２Ａが形成されている。

【0063】

第２凸部１２１Ａは、第２凹部２２Ａとの間に隙間を形成し、且つ第２凹部２２Ａと非接触の状態で、少なくともその一部が第２凹部２２Ａ内に収容される。

【0064】

ここで、第１凹部２１Ａの左側の側面と、第２凹部２２Ａの左側の側面は左右方向において同じ位置に配置され、第１凹部２１Ａの右側の側面と、第２凹部２２Ａの右側の側面は左右方向において同じ位置に配置される。すなわち、第１凹部２１Ａの左右方向の中央部と第２凹部２２Ａの左右方向の中央部は左右方向において同一の位置に配置される。よって、可動電極２Ａは上下方向を縦方向とする「Ｈ」型の形状を有する。可動電極２Ａは上下方向に平行な方向であって可動電極２Ａの左右方向の中央部（すなわち第１凹部２１Ａ及び第２凹部２２Ａの左右方向の中央部）を通過する線（図１に示す破線Ｓ）を基準として鏡面対称な形状を有する（可動電極２Ｂ―２Ｄも同様）。このように可動電極２を「Ｈ」型とすることにより、バネ部４に挟まれた方向（可動電極２Ａの場合は左右方向）以外の方向の振動や、左右方向及び上下方向に垂直な方向を回転軸とする回転運動を低減し、衝撃センサ３００の誤検知を低減できる。

【0065】

バネ部４Ａは、左右方向の力に対する剛性（弾性）が上下方向の力に対する剛性（弾性）よりも弱くなるように形成され、左右方向に選択的に伸縮可能で上下方向の伸縮が左右方向の伸縮に比べて強く抑制された部材である。バネ部４Ａは、可動電極２Ａから左右方向の慣性力を受けると変形し、これにより復元力を発生させる。

【0066】

左側のバネ部４Ａは、第１ビーム１４１Ａの左側であって第２固定電極１２と接続可能な位置と、可動電極２Ａの左側の縁辺であって下側の端部と、に接続されている。

【0067】

左側のバネ部４Ａは、第１ビーム１４１Ａ、可動電極２Ａ、第２ビーム１４２Ａ、第４ビーム１４４Ａに囲まれた領域において上下方向に延びるとともに第１ビーム１４１Ａに隣接する位置と第２ビーム１４２Ａに隣接する位置で折り返すことで第１ビーム１４１Ａと第２ビーム１４２Ａの間を上下方向に複数回往復するつづら折り構造を有している。

【0068】

右側のバネ部４Ａは、第１ビーム１４１Ａの右側であって第２固定電極１２と接続可能な位置と、可動電極２Ａの右側の縁辺であって下側の端部と、に接続されている。

【0069】

右側のバネ部４Ａは、第１ビーム１４１Ａ、第３ビーム１４３Ａ、第２ビーム１４２Ａ、可動電極２Ａに囲まれた領域において上下方向に延びるとともに第１ビーム１４１Ａに隣接する位置と第２ビーム１４２Ａに隣接する位置で折り返すことで第１ビーム１４１Ａと第２ビーム１４２Ａの間を上下方向に往復するつづら折り構造を有している。

【0070】

第２固定電極１２は、バネ部４Ａに延出して可動電極２Ａに接続されている。よって、後述のように可動電極２Ａ（第１凹部２１Ａ）が第１固定電極１１Ａ（第１凸部１１１Ａ）に接触すると第２固定電極１２は第１固定電極１１Ａと電気的に接続（通電）する。

【0071】

可動電極２Ｂは、後述のように上下方向の剛性（弾性）が左右方向の剛性（弾性）よりも低いバネ部４Ｂにより上下方向の両側から支持されることにより、上下方向に選択的に変位可能で左右方向の変位が上下方向の変位と比較して強く抑制された電極である。可動電極２Ｂは、衝撃センサ３００が外部から加速度（衝撃）を受けると可動電極２Ｂの質量により慣性力を発生させ、枠部１に対して上下方向に相対移動する。

【0072】

第１ビーム１４１Ｂにおいて、可動電極２Ｂに対向する位置には第１固定電極１１Ｂが配置されている。また、第１ビーム１４１Ｂにおいて、第１固定電極１１Ｂが配置された以外の部分（後述の溝部１３を除く）と、第２ビーム１４２Ｂと、第３ビーム１４３Ｂと、第４ビーム１４４Ｂと、は第２固定電極１２となっている。

【0073】

第１ビーム１４１Ｂにおいて、第１固定電極１１Ｂと第２固定電極１２との間には溝部１３が配置され、枠部１において第１固定電極１１Ｂと第２固定電極１２は溝部１３により絶縁している。

【0074】

第１固定電極１１Ｂは、第１ビーム１４１Ｂにおいて可動電極２Ｂの右側の縁辺の中央部に対向する位置において左方向、すなわち可動電極２Ｂに向けて延びる第１凸部１１１Ｂを含む。一方、可動電極２Ｂの第１凸部１１１Ｂに対向する縁辺には第１凹部２１Ｂが形成されている。

【0075】

第１凸部１１１Ｂは、第１凹部２１Ｂとの間に隙間を形成し、且つ第１凹部２１Ｂと非接触の状態で、少なくともその一部が第１凹部２１Ｂ内に収容される。

【0076】

第２ビーム１４２Ｂにおいて可動電極２Ｂの上下方向に延びる縁辺の中央部に対向する位置には右方向、すなわち可動電極２Ｂに向けて延びる第２凸部１２１Ｂが配置されている。一方、可動電極２Ｂの第２凸部１２１Ｂに対向する縁辺には第２凹部２２Ｂが形成されている。

【0077】

第２凸部１２１Ｂは、第２凹部２２Ｂとの間に隙間を形成し、且つ第２凹部２２Ｂと非接触の状態で、少なくともその一部が第２凹部２２Ｂ内に収容される。

【0078】

ここで、第１凹部２１Ｂの上側の側面と、第２凹部２２Ｂの上側の側面は上下方向において同じ位置に配置され、第１凹部２１Ｂの下側の側面と、第２凹部２２Ｂの下側の側面は上下方向において同じ位置に配置される。よって、可動電極２Ｂは左右方向を縦方向とする「Ｈ」型の形状を有する。

【0079】

バネ部４Ｂは、上下方向の力に対する剛性（弾性）が左右方向の力に対する剛性（弾性）よりも弱くなるように形成され、上下方向に選択的に伸縮可能で左右方向の伸縮が上下方向の伸縮に比べて強く抑制された部材である。バネ部４Ｂは、可動電極２Ｂから上下方向の慣性力を受けると変形し、これにより復元力を発生させる。

【0080】

上側のバネ部４Ｂは、第１ビーム１４１Ｂの上側であって第２固定電極１２と接続可能な位置と、可動電極２Ｂの上側の縁辺であって左側の端部と、に接続されている。

【0081】

上側のバネ部４Ｂは、第１ビーム１４１Ｂ、可動電極２Ｂ、第２ビーム１４２Ｂ、第４ビーム１４４Ｂに囲まれた領域において左右方向に延びるとともに第１ビーム１４１Ｂに隣接する位置と第２ビーム１４２Ｂに隣接する位置で折り返すことで第１ビーム１４１Ｂと第２ビーム１４２Ｂの間を左右方向に往復するつづら折り構造を有している。

【0082】

下側のバネ部４Ｂは、第１ビーム１４１Ｂの下側であって第２固定電極１２と接続可能な位置と、可動電極２Ｂの下側の縁辺であって左側の端部と、に接続されている。

【0083】

下側のバネ部４Ｂは、第１ビーム１４１Ｂ、第３ビーム１４３Ｂ、第２ビーム１４２Ｂ、可動電極２Ｂに囲まれた領域において左右方向に延びるとともに第１ビーム１４１Ｂに隣接する位置と第２ビーム１４２Ｂに隣接する位置で折り返すことで第１ビーム１４１Ｂと第２ビーム１４２Ｂの間を左右方向に複数回往復するつづら折り構造を有している。

【0084】

第２固定電極１２は、バネ部４Ｂに延出して可動電極２Ｂに接続されている。よって、後述のように可動電極２Ｂ（第１凹部２１Ｂ）が第１固定電極１１Ｂ（第１凸部１１１Ｂ）に接触すると第２固定電極１２は第１固定電極１１Ｂと電気的に接続（通電）する。

【0085】

可動電極２Ｃは、後述のように左右方向の剛性（弾性）が上下方向の剛性（弾性）よりも低いバネ部４Ｃにより左右方向の両側から支持されることにより、左右方向に選択的に変位可能で上下方向に変位が左右方向の変位に比較して強く抑制された電極である。可動電極２Ｃは、衝撃センサ３００が外部から加速度（衝撃）を受けると可動電極２Ｃの質量により慣性力を発生させ、枠部１に対して左右方向に相対移動する。

【0086】

第１ビーム１４１Ｃにおいて、可動電極２Ｃに対向する位置には第１固定電極１１Ｃが配置されている。また、第１ビーム１４１Ｃにおける第１固定電極１１Ｃが配置された以外の部分（後述の溝部１３を除く）と、第２ビーム１４２Ｃと、第３ビーム１４３Ｃと、第４ビーム１４４Ｃと、は第２固定電極１２となっている。

【0087】

第１ビーム１４１Ｃにおいて、第１固定電極１１Ｃと第２固定電極１２との間には溝部１３が配置され、枠部１において第１固定電極１１Ｃと第２固定電極１２は溝部１３により絶縁している。

【0088】

第１固定電極１１Ｃは、第１ビーム１４１Ｃにおいて可動電極２Ｃの下側の縁辺の中央部に対向する位置において上方向、すなわち可動電極２Ｃに向けて延びる第１凸部１１１Ｃを有する。一方、可動電極２Ｃの第１凸部１１１Ｃに対向する縁辺には第１凹部２１Ｃが形成されている。

【0089】

第１凸部１１１Ｃは、第１凹部２１Ｃとの間に隙間を形成し、且つ第１凹部２１Ｃと非接触の状態で、少なくともその一部が第１凹部２１Ｃ内に収容される。

【0090】

第２ビーム１４２Ｃにおいて可動電極２Ｃの左右方向に延びる縁辺の中央部に対向する位置には下方向、すなわち可動電極２Ｃに向けて延びる第２凸部１２１Ｃが配置されている。一方、可動電極２Ｃの第２凸部１２１Ｃに対向する縁辺には第２凹部２２Ｃが形成されている。

【0091】

第２凸部１２１Ｃは、第２凹部２２Ｃとの間に隙間を形成し、且つ第２凹部２２Ｃと非接触の状態で、少なくともその一部が第２凹部２２Ｃ内に収容される。

【0092】

ここで、第１凹部２１Ｃの右側の側面と、第２凹部２２Ｃの右側の側面は左右方向において同じ位置に配置され、第１凹部２１Ｃの左側の側面と、第２凹部２２Ｃの左側の側面は左右方向において同じ位置に配置される。よって、可動電極２ＡはＹ方向を縦方向とする「Ｈ」型の形状を有する。

【0093】

バネ部４Ｃは、左右方向の力に対する剛性（弾性）が上下方向の力に対する剛性（弾性）よりも弱くなるように形成され、左右方向に選択的に伸縮可能で上下方向の伸縮が左右方向の伸縮に比べて強く抑制された部材である。バネ部４Ｃは、可動電極２Ｃから左右方向の慣性力を受けると変形し、これにより復元力を発生させる。

【0094】

右側のバネ部４Ｃは、第１ビーム１４１Ｃの右側であって第２固定電極１２と接続可能な位置と、可動電極２Ｃの右側の縁辺であって上側の端部と、に接続されている。

【0095】

右側のバネ部４Ｃは、第１ビーム１４１Ｃ、可動電極２Ｃ、第２ビーム１４２Ｃ、第４ビーム１４４Ｃに囲まれた領域において上下方向に延びるとともに第１ビーム１４１Ｃに隣接する位置と第２ビーム１４２Ｃに隣接する位置で折り返すことで第１ビーム１４１Ｃと第２ビーム１４２Ｃの間を上下方向に往復するつづら折り構造を有している。

【0096】

左側のバネ部４Ｃは、第１ビーム１４１Ｃの左側であって第２固定電極１２と接続可能な位置と、可動電極２Ｃの左側の縁辺であって上側の端部と、に接続されている。

【0097】

左側のバネ部４Ｃは、第１ビーム１４１Ｃ、第３ビーム１４３Ｃ、第２ビーム１４２Ｃ、可動電極２Ｃに囲まれた領域において上下方向に延びるとともに第１ビーム１４１Ｃに隣接する位置と第２ビーム１４２Ｃに隣接する位置で折り返すことで第１ビーム１４１Ｃと第２ビーム１４２Ｃの間を上下方向に複数回往復するつづら折り構造を有している。

【0098】

第２固定電極１２は、バネ部４Ｃに延出して可動電極２Ｃに接続されている。よって、後述のように可動電極２Ｃ（第１凹部２１Ｃ）が第１固定電極１１Ｃ（第１凸部１１１Ｃ）に接触すると第２固定電極１２は第１固定電極１１Ｃと電気的に接続（通電）する。

【0099】

可動電極２Ｄは、後述のように上下方向の剛性（弾性）が左右方向の剛性（弾性）よりも低いバネ部４Ｄにより上下方向の両側から支持されることにより、上下方向に選択的に変位可能で左右方向の変位が上下方向の変位と比較して強く抑制された電極である。可動電極２Ｄは、衝撃センサ３００が外部から加速度（衝撃）を受けると可動電極２Ｄの質量により慣性力を発生させ、枠部１に対して上下方向に相対移動する。

【0100】

第１ビーム１４１Ｄにおいて、可動電極２Ｄに対向する位置には第１固定電極１１Ｄが配置されている。また、第１ビーム１４１Ｄにおいて、第１固定電極１１Ｄが配置された以外の部分（後述の溝部１３を除く）と、第２ビーム１４２Ｄと、第３ビーム１４３Ｄと、第４ビーム１４４Ｄと、は第２固定電極１２となっている。

【0101】

第１ビーム１４１Ｄにおいて、第１固定電極１１Ｄと第２固定電極１２との間には溝部１３が配置され、枠部１において第１固定電極１１Ｄと第２固定電極１２は溝部１３により絶縁している。

【0102】

第１固定電極１１Ｄは、第１ビーム１４１Ｄにおいて可動電極２Ｂの左側の縁辺の中央部に対向する位置において右方向、すなわち可動電極２Ｄに向けて延びる第１凸部１１１Ｄを有する。一方、可動電極２Ｄの第１凸部１１１Ｄに対向する縁辺には第１凹部２１Ｄが形成されている。

【0103】

第１凸部１１１Ｄは、第１凹部２１Ｄとの間に隙間を形成し、且つ第１凹部２１Ｄと非接触の状態で、少なくともその一部が第１凹部２１Ｄ内に収容される。

【0104】

第２ビーム１４２Ｄにおいて可動電極２Ｄの上下方向に延びる縁辺の中央部に対向する位置には左方向、すなわち可動電極２Ｄに向けて延びる第２凸部１２１Ｄが配置されている。一方、可動電極２Ｄの第２凸部１２１Ｄに対向する縁辺には第２凹部２２Ｄが形成されている。

【0105】

第２凸部１２１Ｄは、第２凹部２２Ｄとの間に隙間を形成し、且つ第２凹部２２Ｄと非接触の状態で、少なくともその一部が第２凹部２２Ｄ内に収容される。

【0106】

ここで、第１凹部２１Ｄの下側の側面と、第２凹部２２Ｄの下側の側面は上下方向において同じ位置に配置され、第１凹部２１Ｄの上側の側面と、第２凹部２２Ｄの上側の側面は上下方向において同じ位置に配置される。よって、可動電極２Ｄは左右方向を縦方向とする「Ｈ」型の形状を有する。

【0107】

バネ部４Ｄは、上下方向の力に対する剛性（弾性）が左右方向の力に対する剛性（弾性）よりも弱くなるように形成され、上下方向に選択的に伸縮可能で左右方向の伸縮が上下方向の伸縮に比べて強く抑制された部材である。バネ部４Ｄは、可動電極２Ｄから上下方向の慣性力を受けると変形し、これにより復元力を発生させる。

【0108】

下側のバネ部４Ｄは、第１ビーム１４１Ｄの下側であって第２固定電極１２と接続可能な位置と、可動電極２Ｄの下側の縁辺であって右側の端部と、に接続されている。

【0109】

下側のバネ部４Ｄは、第１ビーム１４１Ｄ、可動電極２Ｄ、第２ビーム１４２Ｄ、第４ビーム１４４Ｄに囲まれた領域において左右方向に延びるとともに第１ビーム１４１Ｄに隣接する位置と第２ビーム１４２Ｄに隣接する位置で折り返すことで第１ビーム１４１Ｄと第２ビーム１４２Ｄの間を左右方向に往復するつづら折り構造を有している。

【0110】

上側のバネ部４Ｄは、第１ビーム１４１Ｄの上側であって第２固定電極１２と接続可能な位置と、可動電極２Ｄの上側の縁辺であって右側の端部と、に接続されている。

【0111】

上側のバネ部４Ｄは、第１ビーム１４１Ｄ、第３ビーム１４３Ｄ、第２ビーム１４２Ｄ、可動電極２Ｄに囲まれた領域において左右方向に延びるとともに第１ビーム１４１Ｄに隣接する位置と第２ビーム１４２Ｄに隣接する位置で折り返すことで第１ビーム１４１Ｄと第２ビーム１４２Ｄの間を左右方向に複数回往復するつづら折り構造を有している。

【0112】

第２固定電極１２は、バネ部４Ｄに延出して可動電極２Ｄに接続されている。よって、後述のように可動電極２Ｄ（第１凹部２１Ｄ）が第１固定電極１１Ｄ（第１凸部１１１Ｄ）に接触すると第２固定電極１２は第１固定電極１１Ｄと電気的に接続（通電）する。

【0113】

枠部１の外枠の周縁には、接続部１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃが配置されている。接続部１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃは、例えば衝撃センサ３００の外形がパターニングされた基板において互いに隣接する衝撃センサ３００同士を接続する部分であり、衝撃センサ３００を個片化（切断）する際に切断させる部分である（図５参照）。接続部１５Ａは、枠部１の角部となる位置に配置され、接続部１５Ｂは、枠部１において第１固定電極１１の一部となるように配置されている。接続部１５Ｃは、個片化前において接続部１５Ｂと一体となる位置に配置されている（図５参照）。

【0114】

［衝撃センサ３００の動作］
図２は、図１の破線Ｘで囲まれた部分の拡大図であり、図２（ａ）は衝撃センサ３００（第１衝撃センサ３０１Ａ）が衝撃を受ける前の状態、図２（ｂ）は衝撃センサ３００（第１衝撃センサ３０１Ａ）が衝撃を受けて可動電極２Ａが衝撃に伴う慣性力により枠部１に対してＸ方向（左右方向）に相対移動して第１固定電極１１Ａに接触した状態を示す。図３は、図１の破線Ｙで囲まれた部分の拡大図であり、図３（ａ）は衝撃センサ３００（第４衝撃センサ３０１Ｄ）が衝撃を受ける前の状態、図３（ｂ）は衝撃センサ３００（第４衝撃センサ３０１Ｄ）が衝撃を受けて可動電極２Ｄが衝撃に伴う慣性力により枠部１に対してＹ方向（上下方向）に相対移動して第１固定電極１１Ｄに接触した状態を示す。

【0115】

図２（ａ）に示すように、第１衝撃センサ３０１Ａが外部から衝撃を受ける前において、第１凸部１１１Ａの左側の側面と第１凹部２１Ａの左側の側面との隙間（Ｄ１）と、第１凸部１１１Ａの右側の側面と第１凹部２１Ａの右側の側面との隙間（Ｄ１）と、は同一である。

【0116】

図示は省略するが、第１衝撃センサ３０１Ａが外部から衝撃を受ける前において、第２凸部１２１Ａの左側の側面と第２凹部２２Ａの左側の側面との隙間（Ｄ１）と、第２凸部１２１Ａの右側の側面と第２凹部２２Ａの右側の側面との隙間（Ｄ１）と、は同一である。

【0117】

また、第２衝撃センサ３０１Ｂ（図１）が外部から衝撃を受ける前において、第１凸部１１１Ｂの上側の側面と第１凹部２１Ｂの上側の側面との隙間（Ｄ１）と、第１凸部１１１Ｂの下側の側面と第１凹部２１Ｂの下側の側面との隙間（Ｄ１）と、は同一である。

【0118】

さらに、第２衝撃センサ３０１Ｂ（図１）が外部から衝撃を受ける前において、第２凸部１２１Ｂの上側の側面と第２凹部２２Ｂの上側の側面との隙間（Ｄ１）と、第２凸部１２１Ｂの下側の側面と第２凹部２２Ｂの下側の側面との隙間（Ｄ１）と、は同一である。

【0119】

図２（ｂ）に示すように、第１衝撃センサ３０１Ａが左方向の衝撃（加速度）を受けると可動電極２Ａが慣性力により枠部１に対して右方向に相対移動し、第１凹部２１Ａ（可動電極２Ａ）の左側の側面と第１凸部１１１Ａ（第１固定電極１１Ａ）の左側の側面が接触する。このとき、図示は省略するが、第２凹部２２Ａ（可動電極２Ａ）の左側の側面と第２凸部１２１Ａ（第２固定電極１２）の左側の側面が接触する。

【0120】

逆に、第１衝撃センサ３０１Ａが右方向の衝撃を受けると可動電極２Ａが慣性力により枠部１に対して左方向に相対移動し、第１凹部２１Ａ（可動電極２Ａ）の右側の側面と第１凸部１１１Ａ（第１固定電極１１Ａ）の右側の側面が接触する。このとき、第２凹部２２Ａ（可動電極２Ａ）の右側の側面と第２凸部１２１Ａ（第２固定電極１２）の右側の側面が接触する。

【0121】

また、図示は省略するが、第２衝撃センサ３０１Ｂ（図１）が上方向の衝撃を受けると可動電極２Ｂが慣性力により枠部１に対して下方向に相対移動し、第１凹部２１Ｂ（可動電極２Ｂ）の上側の側面と第１凸部１１１Ｂ（第１固定電極１１Ｂ）の上側の側面が接触する。このとき、第２凹部２２Ｂ（可動電極２Ｂ）の上側の側面と第２凸部１２１Ｂ（第２固定電極１２）の上側の側面が接触する。

【0122】

逆に第２衝撃センサ３０１Ｂ（図１）が下方向の衝撃を受けると可動電極２Ｂが慣性力により枠部１に対して上方向に相対移動し、第１凹部２１Ｂ（可動電極２Ｂ）の下側の側面と第１凸部１１１Ｂ（第１固定電極１１Ｂ）の下側の側面が接触する。このとき、第２凹部２２Ｂ（可動電極２Ｂ）の下側の側面と第２凸部１２１Ｂ（第２固定電極１２）の下側の側面が接触する。

【0123】

図３（ａ）に示すように、第４衝撃センサ３０１Ｄが外部から衝撃を受ける前において、第１凸部１１１Ｄの下側の側面と第１凹部２１Ｄの下側の側面との隙間（Ｄ２）と、第１凸部１１１Ｄの上側の側面と第１凹部２１Ｄの上側の側面との隙間（Ｄ２）と、は同一である。

【0124】

図示は省略するが、第４衝撃センサ３０１Ｄが外部から衝撃を受ける前において、第２凸部１２１Ｄの下側の側面と第２凹部２２Ｄの下側の側面との隙間（Ｄ２）と、第２凸部１２１Ｄの上側の側面と第２凹部２２Ｄの上側の側面との隙間（Ｄ２）と、は同一である。

【0125】

また、第３衝撃センサ３０１Ｃ（図１）が外部から衝撃を受ける前において、第１凸部１１１Ｃの右側の側面と第１凹部２１Ｃの右側の側面との隙間（Ｄ２）と、第１凸部１１１Ｃの左側の側面と第１凹部２１Ｃの左側の側面との隙間（Ｄ２）と、は同一である。

【0126】

さらに、第３衝撃センサ３０１Ｃ（図１）が外部から衝撃を受ける前において、第２凸部１２１Ｃの右側の側面と第２凹部２２Ｃの右側の側面との隙間（Ｄ２）と、第２凸部１２１Ｃの左側の側面と第２凹部２２Ｃの左側の側面との隙間（Ｄ２）と、は同一である。

【0127】

図３（ｂ）に示すように、第４衝撃センサ３０１Ｄが下方向の衝撃（加速度）を受けると可動電極２Ｄが慣性力により枠部１に対して上方向に相対移動し、第１凹部２１Ｄ（可動電極２Ｄ）の下側の側面と第１凸部１１１Ｄ（第１固定電極１１Ｄ）の下側の側面が接触する。このとき、図示は省略するが、第２凹部２２Ｄ（可動電極２Ｄ）の下側の側面と第２凸部１２１Ｄ（第２固定電極１２）の下側の側面が接触する。

【0128】

逆に、第４衝撃センサ３０１Ｄが上方向の衝撃を受けると可動電極２Ｄが慣性力により枠部１に対して下方向に相対移動し、第１凹部２１Ｄ（可動電極２Ｄ）の上側の側面と第１凸部１１１Ｄ（第１固定電極１１Ｄ）の上側の側面が接触する。このとき、第２凹部２２Ｄ（可動電極２Ｄ）の上側の側面と第２凸部１２１Ｄ（第２固定電極１２）の上側の側面が接触する。

【0129】

また、図示は省略するが、第３衝撃センサ３０１Ｃ（図１）が右方向の衝撃を受けると可動電極２Ｃが慣性力により枠部１に対して左方向に相対移動し、第１凹部２１Ｃ（可動電極２Ｃ）の右側の側面と第１凸部１１１Ｃ（第１固定電極１１Ｃ）の右側の側面が接触する。このとき、第２凹部２２Ｃ（可動電極２Ｃ）の右側の側面と第２凸部１２１Ｃ（第２固定電極１２）の右側の側面が接触する。

【0130】

逆に第３衝撃センサ３０１Ｃ（図１）が左方向の衝撃を受けると可動電極２Ｃが慣性力により枠部１に対して右方向に相対移動し、第１凹部２１Ｃ（可動電極２Ｃ）の左側の側面と第１凸部１１１Ｃ（第１固定電極１１Ｃ）の左側の側面が接触する。このとき、第２凹部２２Ｃ（可動電極２Ｃ）の左側の側面と第２凸部１２１Ｃ（第２固定電極１２）の左側の側面が接触する。

【0131】

ここで、可動電極２Ａ－２Ｄは同一の寸法及び同一の質量であり、バネ部４Ａ－４Ｄは同一のバネ性を有する。そして、左右方向に相対移動する可動電極２Ａに設定された隙間（Ｄ１）と、上下方向に相対移動する可動電極２Ｂに設定された隙間（Ｄ１）は同じ寸法とされ、左右方向に相対移動する可動電極２Ｃに設定された隙間（Ｄ２）、上下方向に相対移動する可動電極２Ｄに設定された隙間（Ｄ２）は同じ寸法とされる。

【0132】

一方、隙間（Ｄ２）は、隙間（Ｄ１）よりも大きく設定されている。

【0133】

よって、左右方向において、可動電極２Ｃが第１固定電極１１Ｃに接触するために必要な加速度（衝撃）の大きさ（閾値Ｘ_２）は、可動電極２Ａが第１固定電極１１Ａを接触させるのに必要な加速度（衝撃）の大きさ（閾値Ｘ_１）よりも大きくなる。なお、可動電極２Ｄ及び可動電極２Ｂは、左右方向の加速度成分により枠部１に対して相対移動することはない。

【0134】

また、上下方向において、可動電極２Ｄが第１固定電極１１Ｄに接触するために必要な加速度（衝撃）の大きさ（閾値Ｙ_２）は、可動電極２Ｂが第１固定電極１１Ｂを接触させるのに必要な加速度（衝撃）の大きさ（閾値Ｙ_１）よりも大きくなる。なお、可動電極２Ｃ及び可動電極２Ａは、上下方向の加速度成分により枠部１に対して相対移動することはない。

【0135】

よって、本実施形態の衝撃センサ３００は、左右方向（Ｘ方向）の加速度成分及び上下方向（Ｙ方向）の加速度成分をそれぞれ独立に２段階で検知可能となる。

【0136】

ところで、特許文献１の構成では、渦巻き状の可動電極が回転対称でも線対称でもなく、方向により弾性率が異なり、衝撃の検知の感度が等方ではない。一方、第１実施形態の衝撃センサ３００では、左右方向の衝撃を検知する第１衝撃センサ３０１Ａと上下方向の衝撃を検知する第２衝撃センサ３０１Ｂは同一の特性（前記の隙間（Ｄ１）が同一）を有するため同一の強度の衝撃を検知でき、等方的に衝撃を検知できる。同様に、左右方向の衝撃を検知する第３衝撃センサ３０１Ｃと上下方向の衝撃を検知する第４衝撃センサ３０１Ｄは同一の特性（前記の隙間（Ｄ２）が同一）を有するため同一の強度の衝撃を検知でき、等方的に衝撃を検知できる。

【0137】

［第１実施形態の衝撃センサ３００が検知可能な衝撃の分布］
図４は、本発明の第１実施形態に係る衝撃センサ３００が検知信号として検知可能な衝撃（加速度）の分布を示す図である。衝撃センサ３００において、可動電極２Ａ及び可動電極２ＣはＸ方向（左右方向）に変位可能であるが、Ｙ方向（上下方向）の変位は禁止される。したがって、第１衝撃センサ３０１Ａ及び第３衝撃センサ３０１Ｃは可動電極２Ａ及び可動電極２Ｃの変位方向（Ｘ方向）に平行な方向の衝撃を選択的に検知可能である。また、可動電極２Ｂ及び可動電極２ＤはＹ方向（上下方向）に変位可能であるが、Ｘ方向（左右方向）の変位は抑制される。したがって、第２衝撃センサ３０１Ｂ及び第４衝撃センサ３０１Ｄは可動電極２Ｂ及び可動電極２Ｄの変位方向（Ｙ方向）に平行な方向の衝撃を選択的に検知可能である。

【0138】

衝撃センサ３００は、Ｘ方向の加速度（衝撃）であって閾値（Ｘ_１）よりも低い加速度（衝撃）は検知できず、Ｙ方向の加速度（衝撃）であって閾値（Ｙ_１）よりも低い加速度（衝撃）は検知できない。

【0139】

しかし、衝撃センサ３００は、Ｘ方向の加速度（衝撃）であって閾値（Ｘ_１）以上且つ閾値（Ｘ_２）よりも低い加速度（衝撃）と、閾値（Ｘ_２）以上の加速度（衝撃）を検知できる。

【0140】

また、衝撃センサ３００は、Ｙ方向の加速度（衝撃）であって閾値（Ｙ_１）以上且つ閾値（Ｙ_２）よりも低い加速度（衝撃）と、閾値（Ｙ_２）以上の加速度（衝撃）を検知できる。

【0141】

よって、第１実施形態の衝撃センサ３００は、図４に示すように８種類（領域（１）－領域（８））の衝撃を検知することができる。

【0142】

なお、図４において「Ｘ_１：０」は、Ｘ方向の衝撃（慣性力）であってＸ_１以上の衝撃を検知信号として検知していないことを表し、「Ｘ_１：１」は、Ｘ方向の衝撃であってＸ_１以上の衝撃を検知信号として検知していることを表す。同様に「Ｙ_１：０」は、Ｙ方向の衝撃（慣性力）であってＹ_１以上の衝撃を検知していないことを表し、「Ｙ_１：１」は、Ｙ方向の衝撃であってＹ_１以上の衝撃を検知信号として検知していることを表す。

【0143】

領域（１）は、Ｘ方向にＸ_１以上且つＸ_２未満の衝撃を検知し、＋Ｙ方向の衝撃を検知しない領域となる。領域（１）において、可動電極２Ａは第１固定電極１１Ａに接触し、可動電極２Ｂは第１固定電極１１Ｂには接触せず、可動電極２Ｃは第１固定電極１１Ｃには接触せず、可動電極２Ｄは第１固定電極１１Ｄには接触しない（図１参照、以下同様）。よって、第２固定電極１２は、第１固定電極１１Ａと通電し、第１固定電極１１Ｂと通電せず、第１固定電極１１Ｃと通電せず、第１固定電極１１Ｄと通電しないので、検知信号は（Ｘ_１：１，Ｙ_１：０，Ｘ_２：０，Ｙ_２：０）となる。

【0144】

領域（２）は、Ｘ方向にＸ_２以上の衝撃を検知し、Ｙ方向の衝撃を検知しない領域となる。領域（２）において、可動電極２Ａは第１固定電極１１Ａに接触し、可動電極２Ｂは第１固定電極１１Ｂに接触せず、可動電極２Ｃは第１固定電極１１Ｃに接触し、可動電極２Ｄは第１固定電極１１Ｄに接触しない。よって、第２固定電極１２は、第１固定電極１１Ａと通電し、第１固定電極１１Ｂと通電せず、第１固定電極１１Ｃと通電し、第１固定電極１１Ｄと通電しないので、検知信号は（Ｘ_１：１，Ｙ_１：０，Ｘ_２：１，Ｙ_２：０）となる。

【0145】

領域（３）は、Ｘ方向の衝撃を検知せず、Ｙ方向にＹ_１以上且つＹ_２未満の衝撃を検知する領域となる。領域（３）において、可動電極２Ａは第１固定電極１１Ａに接触せず、可動電極２Ｂは第１固定電極１１Ｂに接触し、可動電極２Ｃは第１固定電極１１Ｃに接触せず、可動電極２Ｄは第１固定電極１１Ｄに接触しない。よって、第２固定電極１２は、第１固定電極１１Ａと通電せず、第１固定電極１１Ｂと通電し、第１固定電極１１Ｃと通電せず、第１固定電極１１Ｄと通電しないので、検知信号は（Ｘ_１：０，Ｙ_１：１，Ｘ_２：０，Ｙ_２：０）となる。

【0146】

領域（４）は、Ｘ方向にＸ_１以上且つＸ_２未満の衝撃を検知し、Ｙ方向にＹ_１以上且つＹ_２未満の衝撃を検知する領域となる。領域（４）において、可動電極２Ａは第１固定電極１１Ａに接触し、可動電極２Ｂは第１固定電極１１Ｂに接触し、可動電極２Ｃは第１固定電極１１Ｃに接触せず、可動電極２Ｄは第１固定電極１１Ｄに接触しない。よって、第２固定電極１２は、第１固定電極１１Ａと通電し、第１固定電極１１Ｂと通電し、第１固定電極１１Ｃと通電せず、第１固定電極１１Ｄと通電しないので、検知信号は（Ｘ_１：１，Ｙ_１：１，Ｘ_２：０，Ｙ_２：０）となる。

【0147】

領域（５）は、Ｘ方向にＸ_２以上の衝撃を検知し、Ｙ方向にＹ_１以上且つＹ_２未満の衝撃を検知する領域となる。領域（５）において、可動電極２Ａは第１固定電極１１Ａに接触し、可動電極２Ｂは第１固定電極１１Ｂに接触し、可動電極２Ｃは第１固定電極１１Ｃに接触し、可動電極２Ｄは第１固定電極１１Ｄに接触しない。よって、第２固定電極１２は、第１固定電極１１Ａと通電し、第１固定電極１１Ｂと通電し、第１固定電極１１Ｃと通電し、第１固定電極１１Ｄと通電しないので、検知信号は（Ｘ_１：１，Ｙ_１：１，Ｘ_２：１，Ｙ_２：０）となる。

【0148】

領域（６）は、Ｘ方向の衝撃を検知せず、Ｙ方向にＹ_２以上の衝撃を検知する領域となる。領域（６）において、可動電極２Ａは第１固定電極１１Ａに接触せず、可動電極２Ｂは第１固定電極１１Ｂに接触し、可動電極２Ｃは第１固定電極１１Ｃに接触せず、可動電極２Ｄは第１固定電極１１Ｄに接触する。よって、第２固定電極１２は、第１固定電極１１Ａと通電せず、第１固定電極１１Ｂと通電し、第１固定電極１１Ｃと通電せず、第１固定電極１１Ｄと通電するので、検知信号は（Ｘ_１：０，Ｙ_１：１，Ｘ_２：０，Ｙ_２：１）となる。

【0149】

領域（７）は、Ｘ方向にＸ_１以上且つＸ_２未満の衝撃を検知し、Ｙ方向にＹ_２以上の衝撃を検知する領域となる。領域（７）において、可動電極２Ａは第１固定電極１１Ａに接触し、可動電極２Ｂは第１固定電極１１Ｂに接触し、可動電極２Ｃは第１固定電極１１Ｃに接触せず、可動電極２Ｄは第１固定電極１１Ｄに接触する。よって、第２固定電極１２は、第１固定電極１１Ａと通電し、第１固定電極１１Ｂと通電し、第１固定電極１１Ｃと通電せず、第１固定電極１１Ｄと通電するので、検知信号は（Ｘ_１：１，Ｙ_１：１，Ｘ_２：０，Ｙ_２：１）となる。

【0150】

領域（８）は、Ｘ方向にＸ_２以上の衝撃を検知し、Ｙ方向にＹ_２以上の衝撃を検知する領域となる。領域（８）において、可動電極２Ａは第１固定電極１１Ａに接触し、可動電極２Ｂは第１固定電極１１Ｂに接触し、可動電極２Ｃは第１固定電極１１Ｃに接触し、可動電極２Ｄは第１固定電極１１Ｄに接触する。よって、第２固定電極１２は、第１固定電極１１Ａと通電し、第１固定電極１１Ｂと通電し、第１固定電極１１Ｃと通電し、第１固定電極１１Ｄと通電するので、検知信号は（Ｘ_１：１，Ｙ_１：１，Ｘ_２：１，Ｙ_２：１）となる。

【0151】

なお、「Ｘ_１：１」（「Ｘ_２：１」でもよい）を検知する時間と「Ｙ_１：１」（「Ｙ_２：１」でもよい）を検知する時間とを比較し、「Ｘ_１：１」を検知する時間の方が早い場合、衝撃センサ３００が受けた衝撃がＹ方向よりもＸ方向に近い方向の衝撃と判断することができ、「Ｙ_１：１」を検知する時間の方が早い場合、衝撃センサ３００が受けた衝撃がＸ方向よりもＹ方向に近い方向の衝撃と判断することができる。

【0152】

［衝撃センサ３００の製造工程］
図５は、本発明の第１実施形態に係る衝撃センサ３００の個片化前の第１の状態を示す平面図である。図６は、本発明の第１実施形態に係る衝撃センサ３００の個片化前の第２の状態を示す平面図である。図７は、本発明の第１実施形態に係る衝撃センサ３００の背面方向からの斜視図である。図８は、本発明の第１実施形態に係る衝撃センサ３００を基板に搭載した状態を表す模式図である。

【0153】

衝撃センサ３００は、例えばＳＯＩ（ＳｉｌｉｃｏｎＯｎＩｎｓｕｌａｔｏｒ）ウエハにより形成される。ＳＯＩウエハはシリコン基板１ａ上に、ＳｉＯ_２による絶縁層１ｂ（ＳｉＯ_２）、活性層１ｃ（Ｓｉ）をその順で積層したものである（図８参照）。

【0154】

衝撃センサ３００の製造工程としては、例えばＳＯＩウエハの裏面においてシリコン基板１ａ及び絶縁層１ｂを枠部１の外形に倣ってエッチング（例えばドライエッチング）し（図７参照）、ＳＯＩウエハの表面において活性層１ｃを第１固定電極１１、第２固定電極１２、接続部１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ、可動電極２、バネ部４、溝部１３の形状に倣ってエッチング（図５、図６参照）し、ＳＯＩウエハの表面の活性層１ｃが残された部分に金属メッキを施すことにより衝撃センサ３００が形成される。

【0155】

よって、衝撃センサ３００（第１固定電極１１、第２固定電極１２、接続部１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ、可動電極２、バネ部４）の表面は溝部１３を除き金属（例えば銅）メッキにより覆わされている。よって、第２固定電極１２は、バネ部４に配置された接続電極（不図示、第２固定電極１２がバネ部４に延出した部分）を介して可動電極２に電気的に接続される。一方、溝部１３では、絶縁層１ｂが露出している。

【0156】

なお、ＳＯＩ基板に対するパターニングは、図５又は図６のように配置することができる。

【0157】

図５では、互いに隣接する個片化前の衝撃センサ３００同士が接続部１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃを通じて接続し、それ以外の部分では隙間を形成した配置となっている。この場合、ＳＯＩ基板の表面（活性層１ｃ）の溝部１３を除くいずれかの位置に電極を配置してメッキ処理することで溝部１３を除く全ての表面が金属メッキされる。

【0158】

図５において、互いに隣接する４つの接続部１５Ａが一体となっており、互いに隣接する４つの衝撃センサ３００の第２固定電極１２を連結している。また、接続部１５Ｂと接続部１５Ｃは一体となっており、互いに隣接する一方の衝撃センサ３００の第２固定電極１２と他方の衝撃センサ３００の第１固定電極１１とを連結している。

【0159】

ここで、例えば一つの衝撃センサ３００の第２固定電極１２の形成部分に電極を配置して電流を流すと、当該第２固定電極１２の形成部分に接続するバネ部４の形成部分及び可動電極２の形成部分にも電流が流れるので一つの衝撃センサ３００の第２固定電極１２、バネ部４、可動電極２が同時にメッキ処理される。

【0160】

一方、一つの衝撃センサ３００において、第１固定電極１１の形成部分は第２固定電極１２の形成部分とは絶縁しているが、当該第２固定電極１２と他の衝撃センサ３００の第２固定電極１２とを接続する接続部１５Ａ、当該他の衝撃センサ３００の第２固定電極１２、当該他の衝撃センサ３００の第２固定電極１２と前記一つの衝撃センサ３００の第１固定電極１１とを連結する接続部１５Ｂ及び接続部１５Ｃを介して通電可能となっている。よって、一つの衝撃センサ３００の第２固定電極１２の形成部分に電極を配置して電流を流すと、結果的に一つの衝撃センサ３００の第１固定電極１１の形成部分にもメッキ処理される。また、ＳＯＩ基板においてパターニングされた全ての第２固定電極１２の形成部分は、接続部１５Ａを通じて通電可能なっている。

【0161】

したがって、１回のメッキ処理によりＳＯＩ基板にパターニングされた全ての電極形成部分に１回のメッキ処理により電極を形成することができる。

【0162】

また、図５では、互いに隣接する衝撃センサ３００同士を接続部１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃにおいて接続し、他の部分を互いに離間した配置となっている。これにより、接続部１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃを切断（例えば接続部１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃにおいて破線で示した部分を切断）するのみで衝撃センサ３００を個片化でき、且つ接続部１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃを切断（若しくは破断）する際に印加される衝撃センサ３００への応力を低減できる。

【0163】

図６では、ＳＯＩ基板の表面（活性層１ｃ）において、矩形（正方形）の格子状の支持枠１ｄを形成し、支持枠１ｄの内側に衝撃センサ３００の外形をパターニングしている。図６において、衝撃センサ３００（個片化前）は、接続部１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃを通じて支持枠１ｄ（接続部１５Ｄ）に支持されている。接続部１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃは、それぞれ支持枠１ｄから延出した接続部１５Ｄと一体となっている。この場合、第１固定電極１１は、接続部１５Ｂ及び接続部１５Ｄを介して支持枠１ｄに接続され、第２固定電極１２は、接続部１５Ａ及び接続部１５Ｄを介して支持枠１ｄに接続され、接続部１５Ｃ及び接続部１５Ｄを介して支持枠１ｄに接続される。図６に示すパターニングの場合、例えば支持枠１ｄに電極を配置してメッキ処理を行う。

【0164】

これにより、ＳＯＩ基板上の全ての衝撃センサ３００の第１固定電極１１の形成部分には、支持枠１ｄ（接続部１５Ｄ）から接続部１５Ｂを通じて電流が供給されることで第１固定電極１１が形成される。また、ＳＯＩ基板上の全ての衝撃センサ３００の第２固定電極１２の形成部分には、支持枠１ｄ（接続部１５Ｄ）から接続部１５Ａを通じて電流が供給され、また支持枠１ｄ（接続部１５Ｄ）から接続部１５Ｃを通じて電流が供給されることで第２固定電極１２が形成される。よって、ＳＯＩ基板上の全ての衝撃センサ３００の形成部分は、全て支持枠１ｄを通じて電流が供給される形となるので、ＳＯＩ基板上の電流分布を均一にし、第１固定電極１１、第２固定電極１２、第２固定電極１２のバネ部４に及ぶ部分、及び可動電極２をムラの少ない状態で形成できる。

【0165】

［第１実施形態の変形例］
図９は、本発明の第１実施形態に係る衝撃センサ３００を鏡面対称で形成した変形例の平面図である。

【0166】

図９に示すように、変形例の衝撃センサ３００は、第１衝撃センサ３０１Ａが枠部１の右上の領域を構成するように配置され、第２衝撃センサ３０１Ｂが枠部１の左上の領域を構成するように配置され、第３衝撃センサ３０１Ｃが枠部１の左下の領域を構成するように配置され、第４衝撃センサ３０１Ｄが枠部１の右下の領域を構成するように配置されている。

【0167】

これにより、第２ビーム１４２Ａと第４ビーム１４４Ｄが一体となり、第２ビーム１４２Ｄと第４ビーム１４４Ｃが一体となり、第２ビーム１４２Ｃと第４ビーム１４４Ｂが一体となり、第２ビーム１４２Ｂと第４ビーム１４４Ａが一体となっている。変形例の衝撃センサ３００の作用効果は第１実施形態と同様である。

【0168】

［第２実施形態］
図１０は、本発明の第２実施形態に係る衝撃センサ３００の平面図である。第２実施形態の衝撃センサ３００は、第１固定電極１１Ａ－１１Ｄが第３固定電極１１Ａａ－１１Ｄａと第４固定電極１１Ａｂ－１１Ｄｂに分割され、第３固定電極１１Ａａ－１１Ｄａと第４固定電極１１Ａｂ－１１Ｄｂの間に溝部１３が配置されている。衝撃センサ３００において第３固定電極１１Ａａ－１１Ｄａと第４固定電極１１Ａｂ－１１Ｄｂは絶縁している。

【0169】

第３固定電極１１Ａａ－１１Ｄａは、第１凸部１１１Ａ－１１１Ｄの少なくとも一部が収容される可動電極２Ａ－２Ｄの第１凹部２１Ａ－２１Ｄの可動電極２Ａ－２Ｄの移動方向に対向する一対の側面のうちの一方の側面に対向する第１凸部１１１Ａ－１１１Ｄの一方の側面を包含する。

【0170】

第４固定電極１１Ａｂ－１１Ｄｂは、可動電極２Ａ－２Ｄの第１凹部２１Ａ－２１Ｄの可動電極２Ａ－２Ｄの移動方向に対向する一対の側面のうちの他方の側面に対向する第１凸部１１１Ａ－１１１Ｄの他方の側面を包含する。

【0171】

第３固定電極１１Ａａは、第１凸部１１１Ａの少なくとも一部が収容される可動電極２Ａの第１凹部２１Ａの可動電極２Ａの移動方向（左右方向）に対向する一対の側面のうちの一方の側面（左側の側面）に対向する第１凸部１１１Ａの一方の側面（左側の側面）を構成する。

【0172】

第４固定電極１１Ａｂは、可動電極２Ａの第１凹部２１Ａの可動電極２Ａの移動方向（Ｘ方向）に対向する一対の側面のうちの他方の側面（右側の側面）に対向する第１凸部１１１Ａの他方の側面（右側の側面）を構成する。

【0173】

第３固定電極１１Ｂａは、第１凸部１１１Ｂの少なくとも一部が収容される可動電極２Ｂの第１凹部２１Ｂの可動電極２Ｂの移動方向（上下方向）に対向する一対の側面のうちの一方の側面（上側の側面）に対向する第１凸部１１１Ｂの一方の側面（上側の側面）を構成する。

【0174】

第４固定電極１１Ｂｂは、可動電極２Ｂの第１凹部２１Ｂの可動電極２Ｂの移動方向（上下方向）に対向する一対の側面のうちの他方の側面（下側の側面）に対向する第１凸部１１１Ｂの他方の側面（下側の側面）を構成する。

【0175】

第３固定電極１１Ｃａは、第１凸部１１１Ｃの少なくとも一部が収容される可動電極２Ｃの第１凹部２１Ｃの可動電極２Ｃの移動方向（左右方向）に対向する一対の側面のうちの一方の側面（右側の側面）に対向する第１凸部１１１Ｃの一方の側面（右側の側面）を構成する。

【0176】

第４固定電極１１Ｃｂは、可動電極２Ｃの第１凹部２１Ｃの可動電極２Ｃの移動方向（左右方向）に対向する一対の側面のうちの他方の側面（左側の側面）に対向する第１凸部１１１Ｃの他方の側面（左側の側面）を構成する。

【0177】

第３固定電極１１Ｄａは、第１凸部１１１Ｄの少なくとも一部が収容される可動電極２Ｄの第１凹部２１Ｄの可動電極２Ｄの移動方向（上下方向）に対向する一対の側面のうちの一方の側面（下側の側面）に対向する第１凸部１１１Ｄの一方の側面（下側の側面）を構成する。

【0178】

第４固定電極１１Ｄｂは、可動電極２Ｄの第１凹部２１Ｄの可動電極２Ｄの移動方向（上下方向）に対向する一対の側面のうちの他方の側面（上側の側面）に対向する第１凸部１１１Ｄの他方の側面（上側の側面）を構成する。

【0179】

可動電極２Ａが慣性力により枠部１に対して右方向に相対移動すると、第１凹部２１Ａ（可動電極２Ａ）の左側の側面と、第１凸部１１１Ａの左側の側面、即ち第３固定電極１１Ａａに接触する。これにより、第２固定電極１２と第３固定電極１１Ａａが通電する。

【0180】

可動電極２Ａが慣性力により枠部１に対して左方向に相対移動すると、第１凹部２１Ａ（可動電極２Ａ）の右側の側面と、第１凸部１１１Ａの右側の側面、即ち第４固定電極１１Ａｂに接触する。これにより、第２固定電極１２と第４固定電極１１Ａｂが通電する。

【0181】

可動電極２Ｂが慣性力により枠部１に対して下方向に相対移動すると、第１凹部２１Ｂ（可動電極２Ｂ）の上側の側面と、第１凸部１１１Ｂの上側の側面、即ち第３固定電極１１Ｂａに接触する。これにより、第２固定電極１２と第３固定電極１１Ｂａが通電する。

【0182】

可動電極２Ｂが慣性力により枠部１に対して上方向に相対移動すると、第１凹部２１Ｂ（可動電極２Ｂ）の下側の側面と、第１凸部１１１Ｂの下側の側面、即ち第４固定電極１１Ｂｂに接触する。これにより、第２固定電極１２と第４固定電極１１Ｂｂが通電する。

【0183】

可動電極２Ｃが慣性力により枠部１に対して左方向に相対移動すると、第１凹部２１Ｃ（可動電極２Ｃ）の右側の側面と、第１凸部１１１Ｃの右側の側面、即ち第３固定電極１１Ｃａに接触する。これにより、第２固定電極１２と第３固定電極１１Ｃａが通電する。

【0184】

可動電極２Ｃが慣性力により枠部１に対して右方向に相対移動すると、第１凹部２１Ｃ（可動電極２Ｃ）の左側の側面と、第１凸部１１１Ｃの左側の側面、即ち第４固定電極１１Ｃｂに接触する。これにより、第２固定電極１２と第４固定電極１１Ｃｂが通電する。

【0185】

可動電極２Ｄが慣性力により枠部１に対して上方向に相対移動すると、第１凹部２１Ｄ（可動電極２Ｄ）の下側の側面と、第１凸部１１１Ｄの下側の側面、即ち第３固定電極１１Ｄａに接触する。これにより、第２固定電極１２と第３固定電極１１Ｄａが通電する。

【0186】

可動電極２Ｄが慣性力により枠部１に対して下方向に相対移動すると、第１凹部２１Ｄ（可動電極２Ｄ）の上側の側面と、第１凸部１１１Ｄの上側の側面、即ち第４固定電極１１Ｄｂに接触する。これにより、第２固定電極１２と第４固定電極１１Ｄｂが通電する。

【0187】

また、上記のように、第１凸部１１１Ｃと第１凹部２１Ｃとの隙間（Ｄ２）及び第１凸部１１１Ｄと第１凹部２１Ｄの隙間（Ｄ２）は、第１凸部１１１Ａと第１凹部２１Ａとの隙間（Ｄ１）及び第１凸部１１１Ｂと第１凹部２１Ｂの隙間（Ｄ１）よりも広く設定されている。

【0188】

よって、第１凸部１１１Ｃと第１凹部２１Ｃとの隙間（Ｄ２）を用いて検知される閾値（±Ｘ_２）は、第１凸部１１１Ａと第１凹部２１Ａとの隙間（Ｄ１）を用いて検知される閾値（±Ｘ_１）よりも絶対値が大きくなる。同様に、第１凸部１１１Ｄと第１凹部２１Ｄとの隙間（Ｄ２）を用いて検知される閾値（±Ｙ_２）は、第１凸部１１１Ｂと第１凹部２１Ｂとの隙間（Ｄ１）を用いて検知される閾値（±Ｙ_１）よりも絶対値が大きくなる。

【0189】

よって、第２実施形態では、＋Ｘ方向（右方向）、－Ｘ方向（左方向）、＋Ｙ方向（上方向）、－Ｙ方向（下方向）において２段階の強度で衝撃を検知可能となる。

【0190】

［第２実施形態の衝撃センサ３００が検知可能な衝撃の分布］
図１１は、本発明の第２実施形態に係る衝撃センサ３００が検知信号として検知可能な衝撃（加速度）の分布を示す図である。

【0191】

可動電極２Ａ（図１０）は、Ｘ方向に変位可能で、Ｙ方向の変位が禁止される。ただし、Ｘ方向の衝撃（加速度）が、－Ｘ_１＜Ｘ方向の衝撃（慣性力）＜＋Ｘ_１の場合、可動電極２Ａは、第３固定電極１１Ａａ及び第４固定電極１１Ａｂに接触しないので衝撃を検知することはできない。

【0192】

可動電極２Ｂ（図１０）は、Ｙ方向に変位可能で、Ｘ方向の変位が禁止される。ただし、Ｙ方向の衝撃（慣性力）が、－Ｙ_１＜Ｙ方向の衝撃（慣性力）＜＋Ｙ_１の場合、可動電極２Ｂは、第３固定電極１１Ｂａ及び第４固定電極１１Ｂｂに接触しないので衝撃を検知することはできない。

【0193】

可動電極２Ｃ（図１０）は、Ｘ方向に変位可能で、Ｙ方向の変位が禁止される。ただし、Ｘ方向の衝撃（慣性力）が、－Ｘ_２＜Ｘ方向の衝撃（慣性力）＜＋Ｘ_２の場合、可動電極２Ｃは、第３固定電極１１Ｃａ及び第４固定電極１１Ｃｂに接触しないので衝撃を検知することはできない。

【0194】

可動電極２Ｄ（図１０）は、Ｙ方向に変位可能で、Ｘ方向の変位が禁止される。ただし、Ｙ方向の衝撃（慣性力）が、－Ｙ_２＜Ｙ方向の衝撃（慣性力）＜＋Ｙ_２の場合、可動電極２Ｄは、第３固定電極１１Ｄａ及び第４固定電極１１Ｄｂに接触しないので衝撃を検知することはできない。よって、図１１に示すように３２種類の衝撃を検知することができる。

【0195】

図１１において、第１象限（＋Ｘ，＋Ｙ）は、領域（１１）－（１８）に区分され、第２象限（－Ｘ，＋Ｙ）は、領域（２１）－（２８）に区分され、第３象限（－Ｘ，－Ｙ）は、領域（３１）－（３８）に区分され、第４象限（＋Ｘ，－Ｙ）は、領域（４１）－（４８）に区分される。

【0196】

なお、例えば、「＋Ｘ_１：０」は、＋Ｘ方向の衝撃（慣性力）であってＸ_１以上の衝撃を検知信号として検知していないことを表し、「Ｘ_１：１」は、＋Ｘ方向の衝撃であってＸ_１以上の衝撃を検知信号として検知していることを表す。同様に「＋Ｙ_１：０」は、＋Ｙ方向の衝撃（慣性力）であってＹ_１以上の衝撃を検知していないことを表し、「Ｙ_１：１」は、＋Ｙ方向の衝撃であってＹ_１以上の衝撃を検知信号として検知していることを表す。

【0197】

第１象限（＋Ｘ，＋Ｙ）において、可動電極２Ａは第３固定電極１１Ａａと接触せず第４固定電極１１Ａｂと接触可能であり、可動電極２Ｂは第３固定電極１１Ｂａと接触可能で第４固定電極１１Ｂｂと接触せず、可動電極２Ｃは第３固定電極１１Ｃａと接触可能で第４固定電極１１Ｃｂと接触せず、可動電極２Ｄは、第３固定電極１１Ｄａと接触せず第４固定電極１１Ｄｂと接触可能である。第１象限（＋Ｘ，＋Ｙ）において、｜－Ｘ_１｜（絶対値）以上の衝撃、又は｜－Ｘ_２｜（絶対値）以上の衝撃は検知されず、｜－Ｙ_１｜（絶対値）以上の衝撃、又は｜－Ｙ_２｜（絶対値）以上の衝撃は検知されない。

【0198】

領域（１１）は、衝撃センサ３００が＋Ｘ方向に＋Ｘ_１以上且つ＋Ｘ_２未満の衝撃（加速度）の衝撃を検知し、＋Ｙ方向の衝撃（加速度）を検知しない領域となる。領域（１１）において，可動電極２Ａは第４固定電極１１Ａｂと接触し、可動電極２Ｂは第３固定電極１１Ｂａと接触せず、可動電極２Ｃは第３固定電極１１Ｃａと接触せず、可動電極２Ｄは第４固定電極１１Ｄｂと接触しない。よって、第２固定電極１２は、第４固定電極１１Ａｂ（＋Ｘ_１）と通電し、第３固定電極１１Ｂａ（＋Ｙ_１）と通電せず、第３固定電極１１Ｃａ（＋Ｘ_２）と通電せず、第４固定電極１１Ｄｂ（＋Ｙ_２）と通電しないので、検知信号は（＋Ｘ_１：１，＋Ｙ_１：０，＋Ｘ_２：０，＋Ｙ_２：０）となる。

【0199】

領域（１２）は、衝撃センサ３００が＋Ｘ方向に＋Ｘ_２以上の衝撃を検知し、＋Ｙ方向の衝撃を検知しない領域となる。領域（１２）において、可動電極２Ａは第４固定電極１１Ａｂと接触し、可動電極２Ｂは第３固定電極１１Ｂａと接触せず、可動電極２Ｃは第３固定電極１１Ｃａと接触し、可動電極２Ｄは第４固定電極１１Ｄｂと接触しない。よって、第２固定電極１２は、第４固定電極１１Ａｂ（＋Ｘ_１）と通電し、第３固定電極１１Ｂａ（＋Ｙ_１）と通電せず、第３固定電極１１Ｃａ（＋Ｘ_２）と通電し、第４固定電極１１Ｄｂ（＋Ｙ_２）と通電しないので、検知信号は（＋Ｘ_１：１，＋Ｙ_１：０，＋Ｘ_２：０，＋Ｙ_２：０）となる。

【0200】

領域（１３）は、衝撃センサ３００が＋Ｘ方向の衝撃を検知せず、＋Ｙ方向に＋Ｙ_１以上且つ＋Ｙ_２未満の衝撃を検知する領域となる。領域（１３）において、可動電極２Ａは第４固定電極１１Ａｂと接触せず、可動電極２Ｂは第３固定電極１１Ｂａと接触し、可動電極２Ｃは第３固定電極１１Ｃａと接触せず、可動電極２Ｄは第４固定電極１１Ｄｂと接触しない。よって、第２固定電極１２は、第４固定電極１１Ａｂ（＋Ｘ_１）と通電せず、第３固定電極１１Ｂａ（＋Ｙ_１）と通電し、第３固定電極１１Ｃａ（＋Ｘ_２）と通電せず、第４固定電極１１Ｄｂ（＋Ｙ_２）と通電しないので、検知信号は（＋Ｘ_１：０，＋Ｙ_１：１，＋Ｘ_２：０，＋Ｙ_２：０）となる。

【0201】

領域（１４）は、衝撃センサ３００が＋Ｘ方向に＋Ｘ_１以上且つ＋Ｘ_２未満の衝撃を検知し、＋Ｙ方向に＋Ｙ_１以上且つ＋Ｙ_２未満の衝撃を検知する領域となる。領域（１４）において、可動電極２Ａは第４固定電極１１Ａｂと接触し、可動電極２Ｂは第３固定電極１１Ｂａと接触し、可動電極２Ｃは第３固定電極１１Ｃａと接触せず、可動電極２Ｄは第４固定電極１１Ｄｂと接触しない。よって、第２固定電極１２は、第４固定電極１１Ａｂ（＋Ｘ_１）と通電し、第３固定電極１１Ｂａ（＋Ｙ_１）と通電し、第３固定電極１１Ｃａ（＋Ｘ_２）と通電せず、第４固定電極１１Ｄｂ（＋Ｙ_２）と通電しないので、検知信号は（＋Ｘ_１：１，＋Ｙ_１：１，＋Ｘ_２：０，＋Ｙ_２：０）となる。

【0202】

領域（１５）は、衝撃センサ３００が＋Ｘ方向に＋Ｘ_２以上の衝撃を検知し、＋Ｙ方向に＋Ｙ_１以上且つ＋Ｙ_２未満の衝撃を検知する領域となる。領域（１５）において、可動電極２Ａは第４固定電極１１Ａｂと接触し、可動電極２Ｂは第３固定電極１１Ｂａと接触し、可動電極２Ｃは第３固定電極１１Ｃａと接触し、可動電極２Ｄは第４固定電極１１Ｄｂと接触しない。よって、第２固定電極１２は、第４固定電極１１Ａｂ（＋Ｘ_１）と通電し、第３固定電極１１Ｂａ（＋Ｙ_１）と通電し、第３固定電極１１Ｃａ（＋Ｘ_２）と通電し、第４固定電極１１Ｄｂ（＋Ｙ_２）と通電しないので、検知信号は（＋Ｘ_１：１，＋Ｙ_１：１，＋Ｘ_２：１，＋Ｙ_２：０）となる。

【0203】

領域（１６）は、衝撃センサ３００が＋Ｘ方向の衝撃を検知せず、＋Ｙ方向に＋Ｙ_２以上の衝撃を検知する領域となる。領域（１６）において、可動電極２Ａは第４固定電極１１Ａｂと接触せず、可動電極２Ｂは第３固定電極１１Ｂａと接触し、可動電極２Ｃは第３固定電極１１Ｃａと接触せず、可動電極２Ｄは第４固定電極１１Ｄｂと接触する。よって、第２固定電極１２は、第４固定電極１１Ａｂ（＋Ｘ_１）と通電せず、第３固定電極１１Ｂａ（＋Ｙ_１）と通電し、第３固定電極１１Ｃａ（＋Ｘ_２）と通電せず、第４固定電極１１Ｄｂ（＋Ｙ_２）と通電するので、検知信号は（＋Ｘ_１：０，＋Ｙ_１：１，＋Ｘ_２：０，＋Ｙ_２：１）となる。

【0204】

領域（１７）は、衝撃センサ３００が＋Ｘ方向に＋Ｘ_１以上且つ＋Ｘ_２未満の衝撃を検知し、＋Ｙ方向に＋Ｙ_２以上の衝撃を検知する領域となる。領域（１７）において、可動電極２Ａは第４固定電極１１Ａｂと接触し、可動電極２Ｂは第３固定電極１１Ｂａと接触し、可動電極２Ｃは第３固定電極１１Ｃａと接触せず、可動電極２Ｄは第４固定電極１１Ｄｂと接触する。よって、第２固定電極１２は、第４固定電極１１Ａｂ（＋Ｘ_１）と通電し、第３固定電極１１Ｂａ（＋Ｙ_１）と通電し、第３固定電極１１Ｃａ（＋Ｘ_２）と通電せず、第４固定電極１１Ｄｂ（＋Ｙ_２）と通電するので、検知信号は（＋Ｘ_１：１，＋Ｙ_１：１，＋Ｘ_２：０，＋Ｙ_２：１）となる。

【0205】

領域（１８）は、衝撃センサ３００が＋Ｘ方向に＋Ｘ_２以上の衝撃を検知し、＋Ｙ方向に＋Ｙ_２以上の衝撃を検知する領域となる。領域（１８）において、可動電極２Ａは第４固定電極１１Ａｂと接触し、可動電極２Ｂは第３固定電極１１Ｂａと接触し、可動電極２Ｃは第３固定電極１１Ｃａと接触し、可動電極２Ｄは第４固定電極１１Ｄｂと接触する。よって、第２固定電極１２は、第３固定電極１１Ａａ（＋Ｘ_１）と通電し、第４固定電極１１Ｂｂ（＋Ｙ_１）と通電し、第３固定電極１１Ｃａ（＋Ｘ_２）と通電し、第４固定電極１１Ｄｂ（＋Ｙ_２）と通電するので、検知信号は（＋Ｘ_１：１，＋Ｙ_１：１，＋Ｘ_２：１，＋Ｙ_２：１）となる。

【0206】

第２象限（－Ｘ，＋Ｙ）において、可動電極２Ａは第３固定電極１１Ａａと接触可能で第４固定電極１１Ａｂと接触せず、可動電極２Ｂは第３固定電極１１Ｂａと接触可能で第４固定電極１１Ｂｂと接触せず、可動電極２Ｃは第３固定電極１１Ｃａと接触せず第４固定電極１１Ｃｂと接触可能であり、可動電極２Ｄは、第３固定電極１１Ｄａと接触せず第４固定電極１１Ｄｂと接触可能である。第２象限（－Ｘ，＋Ｙ）において、＋Ｘ_１以上の衝撃、又は＋Ｘ_２以上の衝撃は検知されず、｜－Ｙ_１｜以上の衝撃、又は｜－Ｙ_２｜以上の衝撃は検知されない。

【0207】

領域（２１）は、衝撃センサ３００が－Ｘ方向に｜－Ｘ_１｜以上且つ｜－Ｘ_２｜未満の衝撃を検知し、＋Ｙ方向の衝撃を検知しない領域となる。領域（２１）において、可動電極２Ａは第３固定電極１１Ａａと接触し、可動電極２Ｂは第３固定電極１１Ｂａと接触せず、可動電極２Ｃは第４固定電極１１Ｃｂと接触せず、可動電極２Ｄは第４固定電極１１Ｄｂと接触しない。よって、第２固定電極１２は、第３固定電極１１Ａａ（－Ｘ_１）と通電し、第３固定電極１１Ｂａ（＋Ｙ_１）通電せず、第４固定電極１１Ｃｂ（－Ｘ_２）と通電せず、第４固定電極１１Ｄｂ（＋Ｙ_２）と通電しないので、検知信号は（－Ｘ_１：１，－Ｙ_１：０，－Ｘ_２：０，＋Ｙ_２：０）となる。

【0208】

領域（２２）は、衝撃センサ３００が－Ｘ方向に｜－Ｘ_２｜以上の衝撃を検知し、＋Ｙ方向の衝撃を検知しない領域となる。領域（２２）において、可動電極２Ａは第３固定電極１１Ａａと接触し、可動電極２Ｂは第３固定電極１１Ｂａと接触せず、可動電極２Ｃは第４固定電極１１Ｃｂと接触し、可動電極２Ｄは第４固定電極１１Ｄｂと接触しない。よって、第２固定電極１２は、第３固定電極１１Ａａ（－Ｘ_１）と通電し、第３固定電極１１Ｂａ（＋Ｙ_１）通電せず、第４固定電極１１Ｃｂ（－Ｘ_２）と通電し、第４固定電極１１Ｄｂ（＋Ｙ_２）と通電しないので、検知信号は（－Ｘ_１：１，－Ｙ_１：０，－Ｘ_２：１，＋Ｙ_２：０）となる。

【0209】

領域（２３）は、衝撃センサ３００が－Ｘ方向の衝撃を検知せず、＋Ｙ方向に＋Ｙ_１以上且つ＋Ｙ_２未満の衝撃を検知する領域となる。領域（２３）において、可動電極２Ａは第３固定電極１１Ａａと接触せず、可動電極２Ｂは第３固定電極１１Ｂａと接触し、可動電極２Ｃは第４固定電極１１Ｃｂと接触せず、可動電極２Ｄは第４固定電極１１Ｄｂと接触しない。よって、第２固定電極１２は、第３固定電極１１Ａａ（－Ｘ_１）と通電せず、第３固定電極１１Ｂａ（＋Ｙ_１）通電し、第４固定電極１１Ｃｂ（－Ｘ_２）と通電せず、第４固定電極１１Ｄｂ（＋Ｙ_２）と通電しないので、検知信号は（－Ｘ_１：０，－Ｙ_１：１，－Ｘ_２：０，＋Ｙ_２：０）となる。

【0210】

領域（２４）は、衝撃センサ３００が－Ｘ方向に｜－Ｘ_１｜以上且つ｜－Ｘ_２｜未満の衝撃を検知し、＋Ｙ方向に＋Ｙ_１以上且つ＋Ｙ_２未満の衝撃を検知する領域となる。領域（２４）において、可動電極２Ａは第３固定電極１１Ａａと接触し、可動電極２Ｂは第３固定電極１１Ｂａと接触し、可動電極２Ｃは第４固定電極１１Ｃｂと接触せず、可動電極２Ｄは第４固定電極１１Ｄｂと接触しない。よって、第２固定電極１２は、第３固定電極１１Ａａ（－Ｘ_１）と通電し、第３固定電極１１Ｂａ（＋Ｙ_１）通電し、第４固定電極１１Ｃｂ（－Ｘ_２）と通電せず、第４固定電極１１Ｄｂ（＋Ｙ_２）と通電しないので、検知信号は（－Ｘ_１：１，－Ｙ_１：１，－Ｘ_２：０，＋Ｙ_２：０）となる。

【0211】

領域（２５）は、衝撃センサ３００が－Ｘ方向に｜－Ｘ_２｜以上の衝撃を検知し、＋Ｙ方向に＋Ｙ_１以上且つ＋Ｙ_２未満の衝撃を検知する領域となる。領域（２５）において、可動電極２Ａは第３固定電極１１Ａａと接触し、可動電極２Ｂは第３固定電極１１Ｂａと接触し、可動電極２Ｃは第４固定電極１１Ｃｂと接触し、可動電極２Ｄは第４固定電極１１Ｄｂと接触しない。よって、第２固定電極１２は、第３固定電極１１Ａａ（－Ｘ_１）と通電し、第３固定電極１１Ｂａ（＋Ｙ_１）通電し、第４固定電極１１Ｃｂ（－Ｘ_２）と通電し、第４固定電極１１Ｄｂ（＋Ｙ_２）と通電しないので、検知信号は（－Ｘ_１：１，－Ｙ_１：１，－Ｘ_２：１，＋Ｙ_２：０）となる。

【0212】

領域（２６）は、衝撃センサ３００が－Ｘ方向の衝撃を検知せず、＋Ｙ方向に＋Ｙ_２以上の衝撃を検知する領域となる。領域（２６）において、可動電極２Ａは第３固定電極１１Ａａと接触せず、可動電極２Ｂは第３固定電極１１Ｂａと接触し、可動電極２Ｃは第４固定電極１１Ｃｂと接触せず、可動電極２Ｄは第４固定電極１１Ｄｂと接触する。よって、第２固定電極１２は、第３固定電極１１Ａａ（－Ｘ_１）と通電せず、第３固定電極１１Ｂａ（＋Ｙ_１）通電し、第４固定電極１１Ｃｂ（－Ｘ_２）と通電せず、第４固定電極１１Ｄｂ（＋Ｙ_２）と通電するので、検知信号は（－Ｘ_１：０，－Ｙ_１：１，－Ｘ_２：０，＋Ｙ_２：１）となる。

【0213】

領域（２７）は、衝撃センサ３００が－Ｘ方向に｜－Ｘ_１｜以上且つ｜－Ｘ_２｜未満の衝撃を検知し、＋Ｙ方向に＋Ｙ_２以上の衝撃を検知する領域となる。領域（２７）において、可動電極２Ａは第３固定電極１１Ａａと接触し、可動電極２Ｂは第３固定電極１１Ｂａと接触し、可動電極２Ｃは第４固定電極１１Ｃｂと接触せず、可動電極２Ｄは第４固定電極１１Ｄｂと接触する。よって、第２固定電極１２は、第３固定電極１１Ａａ（－Ｘ_１）と通電し、第３固定電極１１Ｂａ（＋Ｙ_１）通電し、第４固定電極１１Ｃｂ（－Ｘ_２）と通電せず、第４固定電極１１Ｄｂ（＋Ｙ_２）と通電するので、検知信号は（－Ｘ_１：１，－Ｙ_１：１，－Ｘ_２：０，＋Ｙ_２：１）となる。

【0214】

領域（２８）は、衝撃センサ３００が－Ｘ方向に｜－Ｘ_２｜以上の衝撃を検知し、＋Ｙ方向に＋Ｙ_２以上の衝撃を検知する領域となる。領域（２８）において、可動電極２Ａは第３固定電極１１Ａａと接触し、可動電極２Ｂは第３固定電極１１Ｂａと接触し、可動電極２Ｃは第４固定電極１１Ｃｂと接触し、可動電極２Ｄは第４固定電極１１Ｄｂと接触する。よって、第２固定電極１２は、第３固定電極１１Ａａ（－Ｘ_１）と通電し、第３固定電極１１Ｂａ（＋Ｙ_１）通電し、第４固定電極１１Ｃｂ（－Ｘ_２）と通電し、第４固定電極１１Ｄｂ（＋Ｙ_２）と通電するので、検知信号は（－Ｘ_１：１，－Ｙ_１：１，－Ｘ_２：１，＋Ｙ_２：１）となる。

【0215】

第３象限（－Ｘ，－Ｙ）において、可動電極２Ａは第３固定電極１１Ａａと接触可能で第４固定電極１１Ａｂと接触せず、可動電極２Ｂは第３固定電極１１Ｂａと接触せず第４固定電極１１Ｂｂと接触可能であり、可動電極２Ｃは第３固定電極１１Ｃａと接触せず第４固定電極１１Ｃｂと接触可能であり、可動電極２Ｄは、第３固定電極１１Ｄａと接触可能で第４固定電極１１Ｄｂと接触しない。第３象限（－Ｘ，－Ｙ）において、＋Ｘ_１以上の衝撃、又は＋Ｘ_２以上の衝撃は検知されず、＋Ｙ_１以上の衝撃、又は＋Ｙ_２以上の衝撃は検知されない。

【0216】

領域（３１）は、衝撃センサ３００が－Ｘ方向に｜－Ｘ_１｜以上且つ｜－Ｘ_２｜未満の衝撃を検知し、－Ｙ方向の衝撃を検知しない領域となる。領域（３１）において、可動電極２Ａは第３固定電極１１Ａａと接触し、可動電極２Ｂは第４固定電極１１Ｂｂと接触せず、可動電極２Ｃは第４固定電極１１Ｃｂと接触せず、可動電極２Ｄは第３固定電極１１Ｄａと接触しない。よって、第２固定電極１２は、第３固定電極１１Ａａ（－Ｘ_１）と通電し、第４固定電極１１Ｂｂ（－Ｙ_１）と通電せず、第４固定電極１１Ｃｂ（－Ｘ_２）と通電せず、第３固定電極１１Ｄａ（－Ｙ_２）と通電しないので、検知信号は（－Ｘ_１：１，－Ｙ_１：０，－Ｘ_２：０，－Ｙ_２：０）となる。

【0217】

領域（３２）は、衝撃センサ３００が－Ｘ方向に｜－Ｘ_２｜以上の衝撃を検知し、－Ｙ方向の衝撃を検知しない領域となる。この場合、領域（３２）において、可動電極２Ａは第３固定電極１１Ａａと接触し、可動電極２Ｂは第４固定電極１１Ｂｂと接触せず、可動電極２Ｃは第４固定電極１１Ｃｂと接触し、可動電極２Ｄは第３固定電極１１Ｄａと接触しない。よって、第２固定電極１２は、第３固定電極１１Ａａ（－Ｘ_１）と通電し、第４固定電極１１Ｂｂ（－Ｙ_１）と通電せず、第４固定電極１１Ｃｂ（－Ｘ_２）と通電し、第３固定電極１１Ｄａ（－Ｙ_２）と通電しないので、検知信号は（－Ｘ_１：１，－Ｙ_１：０，－Ｘ_２：１，－Ｙ_２：０）となる。

【0218】

領域（３３）は、衝撃センサ３００が－Ｘ方向の衝撃を検知せず、－Ｙ方向に｜－Ｙ_１｜以上且つ｜－Ｙ_２｜未満の衝撃を検知する領域となる。領域（３３）において、可動電極２Ａは第３固定電極１１Ａａと接触せず、可動電極２Ｂは第４固定電極１１Ｂｂと接触し、可動電極２Ｃは第４固定電極１１Ｃｂと接触せず、可動電極２Ｄは第３固定電極１１Ｄａと接触しない。よって、第２固定電極１２は、第３固定電極１１Ａａ（－Ｘ_１）と通電せず、第４固定電極１１Ｂｂ（－Ｙ_１）と通電し、第４固定電極１１Ｃｂ（－Ｘ_２）と通電せず、第３固定電極１１Ｄａ（－Ｙ_２）と通電しないので、検知信号は（－Ｘ_１：０，－Ｙ_１：１，－Ｘ_２：０，－Ｙ_２：０）となる。

【0219】

領域（３４）は、衝撃センサ３００が－Ｘ方向に｜－Ｘ_１｜以上且つ｜－Ｘ_２｜未満の衝撃を検知し、－Ｙ方向に－Ｙ_１以上且つ－Ｙ_２未満の衝撃を検知する領域となる。領域（１４）において、可動電極２Ａは第３固定電極１１Ａａと接触し、可動電極２Ｂは第４固定電極１１Ｂｂと接触し、可動電極２Ｃは第４固定電極１１Ｃｂと接触せず、可動電極２Ｄは第３固定電極１１Ｄａと接触しない。よって、第２固定電極１２は、第３固定電極１１Ａａ（－Ｘ_１）と通電し、第４固定電極１１Ｂｂ（－Ｙ_１）と通電し、第４固定電極１１Ｃｂ（－Ｘ_２）と通電せず、第３固定電極１１Ｄａ（－Ｙ_２）と通電しないので、検知信号は（－Ｘ_１：１，－Ｙ_１：１，－Ｘ_２：０，－Ｙ_２：０）となる。

【0220】

領域（３５）は、衝撃センサ３００が－Ｘ方向に｜－Ｘ_２｜以上の衝撃を検知し、－Ｙ方向に｜－Ｙ_１｜以上且つ｜－Ｙ_２｜未満の衝撃を検知する領域となる。領域（３５）において、可動電極２Ａは第３固定電極１１Ａａと接触し、可動電極２Ｂは第４固定電極１１Ｂｂと接触し、可動電極２Ｃは第４固定電極１１Ｃｂと接触し、可動電極２Ｄは第３固定電極１１Ｄａと接触しない。よって、第２固定電極１２は、第３固定電極１１Ａａ（－Ｘ_１）と通電し、第４固定電極１１Ｂｂ（－Ｙ_１）と通電し、第４固定電極１１Ｃｂ（－Ｘ_２）と通電し、第３固定電極１１Ｄａ（－Ｙ_２）と通電しないので、検知信号は（－Ｘ_１：１，－Ｙ_１：１，－Ｘ_２：１，－Ｙ_２：０）となる。

【0221】

領域（３６）は、衝撃センサ３００が－Ｘ方向の衝撃を検知せず、－Ｙ方向に｜－Ｙ_２｜以上の衝撃を検知する領域となる。領域（３６）において、可動電極２Ａは第３固定電極１１Ａａと接触せず、可動電極２Ｂは第４固定電極１１Ｂｂと接触し、可動電極２Ｃは第４固定電極１１Ｃｂと接触せず、可動電極２Ｄは第３固定電極１１Ｄａと接触する。よって、第２固定電極１２は、第３固定電極１１Ａａ（－Ｘ_１）と通電せず、第４固定電極１１Ｂｂ（－Ｙ_１）と通電し、第４固定電極１１Ｃｂ（－Ｘ_２）と通電せず、第３固定電極１１Ｄａ（－Ｙ_２）と通電するので、検知信号は（－Ｘ_１：０，－Ｙ_１：１，－Ｘ_２：０，－Ｙ_２：１）となる。

【0222】

領域（３７）は、衝撃センサ３００が－Ｘ方向に｜－Ｘ_１｜以上且つ｜－Ｘ_２｜未満の衝撃を検知し、－Ｙ方向に｜－Ｙ_２｜以上の衝撃を検知する領域となる。領域（３７）において、可動電極２Ａは第３固定電極１１Ａａと接触し、可動電極２Ｂは第４固定電極１１Ｂｂと接触し、可動電極２Ｃは第４固定電極１１Ｃｂと接触せず、可動電極２Ｄは第３固定電極１１Ｄａと接触する。よって、第２固定電極１２は、第３固定電極１１Ａａ（－Ｘ_１）と通電し、第４固定電極１１Ｂｂ（－Ｙ_１）と通電し、第４固定電極１１Ｃｂ（－Ｘ_２）と通電せず、第３固定電極１１Ｄａ（－Ｙ_２）と通電するので、検知信号は（－Ｘ_１：１，－Ｙ_１：１，－Ｘ_２：０，－Ｙ_２：１）となる。

【0223】

領域（３８）は、衝撃センサ３００が－Ｘ方向に｜－Ｘ_２｜以上の衝撃を検知し、－Ｙ方向に｜－Ｙ_２｜以上の衝撃を検知する領域となる。領域（３８）において、可動電極２Ａは第３固定電極１１Ａａと接触し、可動電極２Ｂは第４固定電極１１Ｂｂと接触し、可動電極２Ｃは第４固定電極１１Ｃｂと接触し、可動電極２Ｄは第３固定電極１１Ｄａと接触する。よって、第２固定電極１２は、第３固定電極１１Ａａ（－Ｘ_１）と通電し、第４固定電極１１Ｂｂ（－Ｙ_１）と通電し、第４固定電極１１Ｃｂ（－Ｘ_２）と通電し、第３固定電極１１Ｄａ（－Ｙ_２）と通電するので、検知信号は（－Ｘ_１：１，－Ｙ_１：１，－Ｘ_２：１，－Ｙ_２：１）となる。

【0224】

第４象限（＋Ｘ，－Ｙ）において、可動電極２Ａは第３固定電極１１Ａａと接触せず第４固定電極１１Ａｂと接触可能であり、可動電極２Ｂは第３固定電極１１Ｂａと接触せず第４固定電極１１Ｂｂと接触可能であり、可動電極２Ｃは第３固定電極１１Ｃａと接触可能で第４固定電極１１Ｃｂと接触せず、可動電極２Ｄは、第３固定電極１１Ｄａと接触可能で第４固定電極１１Ｄｂと接触しない。第４象限（＋Ｘ，－Ｙ）において、｜－Ｘ_１｜以上の衝撃、又は｜－Ｘ_２｜以上の衝撃は検知されず、＋Ｙ_１以上の衝撃、又は＋Ｙ_２以上の衝撃は検知されない。

【0225】

領域（４１）は、衝撃センサ３００が＋Ｘ方向に＋Ｘ_１以上且つ＋Ｘ_２未満の衝撃を検知し、－Ｙ方向の衝撃を検知しない領域となる。領域（４１）において、可動電極２Ａは第４固定電極１１Ａｂと接触し、可動電極２Ｂは第４固定電極１１Ｂｂと接触せず、可動電極２Ｃは第３固定電極１１Ｃａと接触せず、可動電極２Ｄは第３固定電極１１Ｄａと接触しない。よって、第２固定電極１２は、第４固定電極１１Ａｂ（＋Ｘ_１）と通電し、第４固定電極１１Ｂｂ（－Ｙ_１）と通電せず、第３固定電極１１Ｃａ（＋Ｘ_２）と通電せず、第３固定電極１１Ｄａ（－Ｙ_２）と通電しないので、検知信号は（＋Ｘ_１：１，－Ｙ_１：０，＋Ｘ_２：０，－Ｙ_２：０）となる。

【0226】

領域（４２）は、衝撃センサ３００が＋Ｘ方向に＋Ｘ_２以上の衝撃を検知し、－Ｙ方向の衝撃を検知しない領域となる。領域（４２）において、可動電極２Ａは第４固定電極１１Ａｂと接触し、可動電極２Ｂは第４固定電極１１Ｂｂと接触せず、可動電極２Ｃは第３固定電極１１Ｃａと接触し、可動電極２Ｄは第３固定電極１１Ｄａと接触しない。よって、第２固定電極１２は、第４固定電極１１Ａｂ（＋Ｘ_１）と通電し、第４固定電極１１Ｂｂ（－Ｙ_１）と通電せず、第３固定電極１１Ｃａ（＋Ｘ_２）と通電し、第３固定電極１１Ｄａ（－Ｙ_２）と通電しないので、検知信号は（＋Ｘ_１：１，－Ｙ_１：０，＋Ｘ_２：１，－Ｙ_２：０）となる。

【0227】

領域（４３）は、衝撃センサ３００が＋Ｘ方向の衝撃を検知せず、－Ｙ方向に｜－Ｙ_１｜以上且つ｜－Ｙ_２｜未満の衝撃を検知する領域となる。領域（４３）において、可動電極２Ａは第４固定電極１１Ａｂと接触せず、可動電極２Ｂは第４固定電極１１Ｂｂと接触し、可動電極２Ｃは第３固定電極１１Ｃａと接触せず、可動電極２Ｄは第３固定電極１１Ｄａと接触しない。よって、第２固定電極１２は、第４固定電極１１Ａｂ（＋Ｘ_１）と通電せず、第４固定電極１１Ｂｂ（－Ｙ_１）と通電し、第３固定電極１１Ｃａ（＋Ｘ_２）と通電せず、第３固定電極１１Ｄａ（－Ｙ_２）と通電しないので、検知信号は（＋Ｘ_１：０，－Ｙ_１：１，＋Ｘ_２：０，－Ｙ_２：０）となる。

【0228】

領域（４４）は、衝撃センサ３００が－Ｘ方向に＋Ｘ_１以上且つ＋Ｘ_２未満の衝撃を検知し、－Ｙ方向に｜－Ｙ_１｜以上且つ｜－Ｙ_２｜未満の衝撃を検知する領域となる。領域（４４）において、可動電極２Ａは第４固定電極１１Ａｂと接触し、可動電極２Ｂは第４固定電極１１Ｂｂと接触し、可動電極２Ｃは第３固定電極１１Ｃａと接触せず、可動電極２Ｄは第３固定電極１１Ｄａと接触しない。よって、第２固定電極１２は、第４固定電極１１Ａｂ（＋Ｘ_１）と通電し、第４固定電極１１Ｂｂ（－Ｙ_１）と通電し、第３固定電極１１Ｃａ（＋Ｘ_２）と通電せず、第３固定電極１１Ｄａ（－Ｙ_２）と通電しないので、検知信号は（＋Ｘ_１：１，－Ｙ_１：１，＋Ｘ_２：０，－Ｙ_２：０）となる。

【0229】

領域（４５）は、衝撃センサ３００が＋Ｘ方向に＋Ｘ_２以上の衝撃を検知し、－Ｙ方向に｜－Ｙ_１｜以上且つ｜－Ｙ_２｜未満の衝撃を検知する領域となる。領域（４５）において、可動電極２Ａは第４固定電極１１Ａｂと接触し、可動電極２Ｂは第４固定電極１１Ｂｂと接触し、可動電極２Ｃは第３固定電極１１Ｃａと接触し、可動電極２Ｄは第３固定電極１１Ｄａと接触しない。よって、第２固定電極１２は、第４固定電極１１Ａｂ（＋Ｘ_１）と通電し、第４固定電極１１Ｂｂ（－Ｙ_１）と通電し、第３固定電極１１Ｃａ（＋Ｘ_２）と通電し、第３固定電極１１Ｄａ（－Ｙ_２）と通電しないので、検知信号は（＋Ｘ_１：１，－Ｙ_１：１，＋Ｘ_２：１，－Ｙ_２：０）となる。

【0230】

領域（４６）は、衝撃センサ３００が＋Ｘ方向の衝撃を検知せず、－Ｙ方向に｜－Ｙ_２｜以上の衝撃を検知する領域となる。領域（４６）において、可動電極２Ａは第４固定電極１１Ａｂと接触せず、可動電極２Ｂは第４固定電極１１Ｂｂと接触し、可動電極２Ｃは第３固定電極１１Ｃａと接触せず、可動電極２Ｄは第３固定電極１１Ｄａと接触する。よって、第２固定電極１２は、第４固定電極１１Ａｂ（＋Ｘ_１）と通電せず、第４固定電極１１Ｂｂ（－Ｙ_１）と通電し、第３固定電極１１Ｃａ（＋Ｘ_２）と通電せず、第３固定電極１１Ｄａ（－Ｙ_２）と通電するので、検知信号は（＋Ｘ_１：０，－Ｙ_１：１，＋Ｘ_２：０，－Ｙ_２：１）となる。

【0231】

領域（４７）は、衝撃センサ３００が＋Ｘ方向に＋Ｘ_１以上且つ＋Ｘ_２未満の衝撃を検知し、－Ｙ方向に｜－Ｙ_２｜以上の衝撃を検知する領域となる。領域（４７）において、可動電極２Ａは第４固定電極１１Ａｂと接触し、可動電極２Ｂは第４固定電極１１Ｂｂと接触し、可動電極２Ｃは第３固定電極１１Ｃａと接触せず、可動電極２Ｄは第３固定電極１１Ｄａと接触する。よって、第２固定電極１２は、第４固定電極１１Ａｂ（＋Ｘ_１）と通電し、第４固定電極１１Ｂｂ（－Ｙ_１）と通電し、第３固定電極１１Ｃａ（＋Ｘ_２）と通電せず、第３固定電極１１Ｄａ（－Ｙ_２）と通電するので、検知信号は（＋Ｘ_１：１，－Ｙ_１：１，＋Ｘ_２：０，－Ｙ_２：１）となる。

【0232】

領域（４８）は、衝撃センサ３００が＋Ｘ方向に＋Ｘ_２以上の衝撃を検知し、－Ｙ方向に｜－Ｙ_２｜以上の衝撃を検知する領域となる。領域（４８）において、可動電極２Ａは第４固定電極１１Ａｂと接触し、可動電極２Ｂは第４固定電極１１Ｂｂと接触し、可動電極２Ｃは第３固定電極１１Ｃａと接触し、可動電極２Ｄは第３固定電極１１Ｄａと接触する。よって、第２固定電極１２は、第４固定電極１１Ａｂ（＋Ｘ_１）と通電し、第４固定電極１１Ｂｂ（－Ｙ_１）と通電し、第３固定電極１１Ｃａ（＋Ｘ_２）と通電し、第３固定電極１１Ｄａ（－Ｙ_２）と通電するので、検知信号は（＋Ｘ_１：１，－Ｙ_１：１，＋Ｘ_２：１，－Ｙ_２：１）となる。

【0233】

なお、図１１において、領域（１３）と領域（２３）は一体の領域であり、領域（１６）と領域（２６）は一体の領域であり、領域（２１）と領域（３１）は一体の領域であり、領域（２２）と領域（３２）は一体の領域である。また、領域（３３）と領域（４３）は一体の領域であり、領域（３６）と領域（４６）は一体の領域であり、領域（４１）と領域（１１）は一体の領域であり、領域（４２）と領域（１２）は一体の領域である。

【0234】

［第３実施形態］
図１２は、本発明の第３実施形態に係る衝撃センサ３００の個片化前の状態を示す平面図である。図１３は、本発明の第３実施形態に係る衝撃センサ３００の鏡面対称となる変形例を個片化前の状態を示す平面図である。

【0235】

図１２、図１３に示すように、第３実施形態の衝撃センサ３００は、例えば可動電極２Ａと第１ビーム１４１Ａ乃至第４ビーム１４４Ａからなる第１衝撃センサ３０１Ａと、可動電極２Ｂと第１ビーム１４１Ｂ乃至第４ビーム１４４Ｂからなる第２衝撃センサ３０１Ｂにより構成される。枠部１は、第１ビーム１４１Ａ乃至第４ビーム１４４Ａ、及び第１ビーム１４１Ｂ乃至第４ビーム１４４Ｂにより構成される。

【0236】

図１２では、第３ビーム１４３Ａと第２ビーム１４２Ｂが一体となっており、図１３では、第４ビーム１４４Ａと第２ビーム１４２Ｂが一体となっている。

【0237】

第１ビーム１４１Ａに配置された第１固定電極１１Ａは、接続部１５Ｂ，１５Ｃを介して他の衝撃センサ３００（図１２の上部）の第２固定電極１２に接続されている。同様に、第１ビーム１４１Ｂに配置された第１固定電極１１Ｂは、接続部１５Ｂ，１５Ｃを介して他の衝撃センサ３００（図１２の右側）の第２固定電極１２に接続されている。

【0238】

またＳＯＩ基板に形成された衝撃センサ３００のパターニングにおいて、互いに隣接する第２固定電極１２の形成部分は、接続部１５Ａ，１５Ｅを介して互いに接続されている。なお、接続部１５Ｅは、枠部１の角部以外の位置に配置され、個片化前の状態において、互いに隣接する衝撃センサ３００の接続部１５Ｅ同士が一体となるように配置されている。よって、第２固定電極１２の形成部分に電極を配置してメッキ処理を行うことにより、第２固定電極１２、バネ部４Ａ、可動電極２Ａ、バネ部４Ｂ、可動電極２Ｂ、第１固定電極１１Ａ、第１固定電極１１Ｂに対するメッキ処理を一度で実行できる。なお、第３実施形態においても第１実施形態と同様にＳＯＩ基板上に支持枠１ｄ（図６）を配置し、支持枠１ｄの内側に衝撃センサ３００を配置する構成としてもよい。

【0239】

［第４実施形態］
図１４は、本発明の第４実施形態に係る衝撃センサ３００の個片化前の状態を示す平面図である。第４実施形態の衝撃センサ３００は、可動電極２と第１ビーム１４１乃至第４ビーム１４４により構成される。枠部１は、第１ビーム１４１乃至第４ビーム１４４により構成される。

【0240】

第１ビーム１４１に配置された第１固定電極１１は、接続部１５Ｂ，１５Ｃを介して他の衝撃センサ３００（図１２の上部）の第２固定電極１２に接続されている。

【0241】

またＳＯＩ基板に形成された衝撃センサ３００のパターニングにおいて、互いに隣接する第２固定電極１２の形成部分は、接続部１５Ａ及び接続部１５Ｅを介して互いに接続されている。よって、第２固定電極１２の形成部分に電極を配置してメッキ処理を行うことにより、第２固定電極１２、バネ部４、可動電極２、第１固定電極１１に対するメッキ処理を一度で実行できる。なお、第４実施形態においても第１実施形態と同様にＳＯＩ基板上に支持枠１ｄ（図６）を配置し、支持枠１ｄの内側に衝撃センサ３００を配置する構成としてもよい。

【0242】

［第５実施形態］
図１５は、本発明の第５実施形態に係る衝撃センサ３００の平面図である。図１６は、本発明の図１５の破線Ｘで囲まれた部分の拡大図であり、図１６（ａ）は衝撃センサ３００が衝撃を受ける前の状態、図１６（ｂ）は衝撃センサ３００が衝撃を受けて可動電極２が衝撃に伴う慣性力により枠部１に対してＸ方向（左右方向）に相対移動して第１固定電極１１に接触した状態を示す。

【0243】

第５実施形態の衝撃センサ３００において、第１凸部１１１Ａは可動電極２Ａに配置され、第１凹部２１Ａは第１固定電極１１Ａに配置され、第２凸部１２１Ａは可動電極２Ａに配置され、第２凹部２２Ａは枠部１（第２ビーム１４２Ａ）に配置されている。

【0244】

第１凸部１１１Ａは可動電極２Ａの第１固定電極１１Ａに対向する縁辺の中央部に配置され、第２凸部１２１Ａは可動電極２Ａの第１凸部１１１Ａが配置された縁辺に対向する縁辺の中央部に配置される。

【0245】

第１凸部１１１Ａの左側の縁辺と第２凸部１２１Ａの左側の縁辺は、左右方向で同一の位置に配置され、第１凸部１１１Ａの右側の縁辺と第２凸部１２１Ａの右側の縁辺は、左右方向で同一の位置に配置されている。すなわち第１凸部１１１Ａの左右方向の中央部と第２凸部１２１Ａの左右方向の中央部は左右方向において同一の位置に配置される。

【0246】

第１凸部１１１Ａ及び第２凸部１２１Ａを包含する可動電極２Ａは、図１５に示すように、上下方向に延び、第１凸部１１１Ａの左右方向の中央部と第２凸部１２１Ａの左右方向の中央部を通過する破線Ｓを基準として鏡面対称な形状となっている。

【0247】

第１凹部２１Ａは、第１固定電極１１Ａの第１凸部１１１Ａに対向する位置に配置され、第２凹部２２Ａは枠部１（第２ビーム１４２Ａ）の第２凸部１２１Ａに対向する位置に配置されている。

【0248】

第１凸部１１１Ａは、第１凹部２１Ａとの間に隙間を形成し、第１凹部２１Ａと非接触な状態で少なくともその一部が第１凹部２１Ａ内に収容される。

【0249】

第２凸部１２１Ａは、第２凹部２２Ａとの間に隙間を形成し、第２凹部２２Ａと非接触の状態で少なくともその一部が第２凹部２２Ａ内に収容される。

【0250】

第１凹部２１Ａの左側の側面と第２凹部２２Ａの左側の側面は左右方向において同一の位置に配置され、第１凹部２１Ａの右側の側面と第２凹部２２Ａの右側の側面は左右方向において同一の位置に配置される。すなわち、第１凹部２１Ａの左右方向の中央部と第２凹部２２Ａの左右方向の中央部は左右方向において同一の位置に配置される。

【0251】

第１凹部２１Ａ及び第２凹部２２Ａは、上下方向に延び、第１凹部２１Ａの左右方向の中央部と第２凹部２２Ａの左右方向の中央部を通過する破線Ｓを基準として鏡面対称な配置となっている。

【0252】

第１凸部１１１Ｂは可動電極２Ｂに配置され、第１凹部２１Ｂは第１固定電極１１Ｂに配置され、第２凸部１２１Ｂは可動電極２Ｂに配置され、第２凹部２２Ｂは枠部１（第２ビーム１４２Ｂ）に配置されている。

【0253】

第１凸部１１１Ｃは可動電極２Ｃに配置され、第１凹部２１Ｃは第１固定電極１１Ｃに配置され、第２凸部１２１Ｃは可動電極２Ｃに配置され、第２凹部２２Ｃは枠部１（第２ビーム１４２Ｃ）に配置されている。

【0254】

第１凸部１１１Ｄは可動電極２Ｄに配置され、第１凹部２１Ｄは第１固定電極１１Ｄに配置され、第２凸部１２１Ｄは可動電極２Ｄに配置され、第２凹部２２Ｄは枠部１（第２ビーム１４２Ｄ）に配置されている。

【0255】

第１凸部１１１Ｂ－１１１Ｄ、第１凹部２１Ｂ－２１Ｄ、第２凸部１２１Ｂ－１２１Ｄ、及び第２凹部２２Ｂ－２２Ｄの配置は、それぞれ、第１凸部１１１Ａ、第１凹部２１Ａ、第２凸部１２１Ａ、第２凹部２２Ａと同様である。

【0256】

図１６は、第５実施形態の衝撃センサ３００が衝撃を受ける前（図１６（ａ））と衝撃を受けたときの動作（図１６（ｂ））を表しているが、第１実施形態と同様であるので説明を省略する。

【0257】

第５実施形態のように可動電極２に第１凸部１１１及び第２凸部１２１を配置することで可動電極２の質量を増加する。これにより可動電極２の衝撃に対する慣性力を高め、衝撃センサ３００の衝撃の検知感度を高めることができる。また、可動電極２を、移動方向に垂直な方向に延び、可動電極２の移動方向の中央部を通過する線（破線Ｓ）を中心として鏡面対称な形状とすることで、可動電極２の移動方向以外の方向の振動や、回転運動を低減し、衝撃センサ３００の誤検知を低減できる。

【0258】

［衝撃センサ３００を包含する電子タグ１００］
図１７は、本発明の実施形態に係る衝撃センサ３００を包含する電子タグ１００の概略構成図である。

【0259】

図１７に示すように、電子タグ１００は、衝撃センサ３００と、電池４００と、リアルタイムクロック（以下、ＲＴＣという。）５００と、ラッチ回路６００と、制御回路７００と、アンテナ８００と、メモリ９００と、を備える。

【0260】

ＲＴＣ５００、ラッチ回路６００、制御回路７００、メモリ９００は、それぞれＩＣ（ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）チップとして設けることができる。また、これら複数の構成のうちのいくつか又は全てを１つのＩＣパッケージに搭載してもよい。

【0261】

電子タグ１００は、上記の各構成を実装した基板（例えば図８の基板５）を樹脂製のタグボディ２００に収容して構成される。基板は、リジッド基板であってもよいし、フレキシブル基板であってもよい。電子タグ１００のサイズは、長手方向が数十［ｍｍ］程度であり、厚さ方向が数［ｍｍ］程度である。

【0262】

電池４００としては、例えば、ボタン電池を採用することができる。

【0263】

ＲＴＣ５００は、時計機能を有する。ＲＴＣ５００は、電力が常時供給されるように電池４００と電気的に接続される。ＲＴＣ５００は、電力が供給されている間は、常に時刻を計時している。

【0264】

衝撃センサ３００は、電線Ｓ１、電線Ｓ２によってラッチ回路６００と接続され、ラッチ回路６００を介して電池４００と電気的に接続される。本実施形態では、電池４００から衝撃センサ３００に電力を供給する経路は、ラッチ回路６００に組み込まれている。

【0265】

電線Ｓ２は、第２固定電極１２（すなわち可動電極２）に接続されており、上記の実施形態において共通の構成となる。

【0266】

第１実施形態、第５実施形態において、電線Ｓ１は４個の信号「Ｘ_１，Ｘ_２，Ｙ_１，Ｙ_２」を独立に得るように複数配置される。

【0267】

電線Ｓ１（Ｘ_１）は第１固定電極１１Ａに接続され、電線Ｓ１（Ｘ_２）は第１固定電極１１Ｃに接続され、電線Ｓ１（Ｙ_１）は第１固定電極１１Ｂに接続され、電線Ｓ１（Ｙ_２）は第１固定電極１１Ｄに接続されている（図１参照）。

【0268】

第２実施形態において、電線Ｓ１は８個の信号「＋Ｘ_１，－Ｘ_１，＋Ｙ_１，－Ｙ_１，＋Ｘ_２，－Ｘ_２，＋Ｙ_２，－Ｙ_２」を独立に得るように複数配置される。

【0269】

電線Ｓ１（＋Ｘ_１）は第４固定電極１１Ａｂに接続され、電線Ｓ１（－Ｘ_１）は第３固定電極１１Ａａに接続され、電線Ｓ１（＋Ｙ_１）は第３固定電極１１Ｂａに接続され、電線Ｓ１（－Ｙ_１）は第４固定電極１１Ｂｂに接続され、電線Ｓ２（＋Ｘ_２）は第３固定電極１１Ｃａに接続され、電線Ｓ１（－Ｘ_２）は第４固定電極１１Ｃｂに接続され、電線Ｓ２（＋Ｙ_２）は第４固定電極１１Ｄｂに接続され、電線Ｓ２（－Ｙ_２）は第３固定電極１１Ｄａに接続されている（図１０参照）。

【0270】

第３実施形態において、電線Ｓ１は２つの信号「Ｘ、Ｙ」を独立に得るように複数配置される。電線Ｓ１（Ｘ）は第１固定電極１１Ａに接続され、電線Ｓ１（Ｙ）は第１固定電極１１Ｂに接続されている（図１２、図１３参照）。

【0271】

第４実施形態において、電線Ｓ１は第１固定電極１１に接続されている。

【0272】

衝撃センサ３００は、前記のように、絶対値が所定加速度以上の加速度（衝撃）が印加されている状態では通電し、絶対値が所定加速度以上の加速度が印加されていない状態では通電しないように構成されたメカニカルなセンサである。衝撃センサ３００は、絶対値が所定加速度以上の加速度が印加されていない状態では電池４００の電力を消費しない。

【0273】

ラッチ回路６００は、電池４００、衝撃センサ３００、及び制御回路７００と電気的に接続されている。

【0274】

ラッチ回路６００は、電線Ｓ１（１又は複数）と電線Ｓ２との通電を検知するものであり、電線Ｓ１の個数と同数の個数が配置される。

【0275】

ラッチ回路６００は、電線Ｓ１と電線Ｓ２が通電すると制御回路７００に電力を供給するＯＮ状態になり、その後に前記通電が遮断されてもＯＮ状態を維持する。その後、ラッチ回路６００は、制御回路７００から制御信号（電源ＯＦＦ信号）を受信すると制御回路７００に電力を供給しないＯＦＦ状態になる。ラッチ回路６００は、ＯＦＦ状態では電池４００の電力を消費しない。ラッチ回路６００については後で詳しく説明する。

【0276】

制御回路７００は、ＲＴＣ５００、ラッチ回路６００、アンテナ８００、及びメモリ９００と電気的に接続されている。ラッチ回路６００から制御回路７００に電力が供給されると、制御回路７００を介してメモリ９００にも電力が供給される。ラッチ回路６００がＯＮ状態になるとラッチ回路６００からメモリ９００に電力が直接供給されるようにしてもよい。

【0277】

制御回路７００は、ラッチ回路６００から電力が供給されると、ＲＴＣ５００から時刻を取得し、取得した時刻の情報をメモリ９００に書き込む。

【0278】

電子タグ１００において、衝撃センサ３００に絶対値が所定加速度以上の加速度（衝撃）が印加されることで衝撃センサ３００が通電し、これに起因してラッチ回路６００が制御回路７００に電力を供給することで、制御回路７００が衝撃センサ３００に加速度（衝撃）が印加されたときの時刻をＲＴＣ５００から取得する。

【0279】

例えば、制御回路７００の処理能力が不十分である等の影響により、衝撃センサ３００に加速度（衝撃）が印加されてから制御回路７００がＲＴＣ５００から時刻を取得するまでにタイムラグがある場合は、そのタイムラグ分を制御回路７００で補正することで、衝撃センサ３００に加速度（衝撃）が印加されたときの時刻を実質的に得ることができる。

【0280】

制御回路７００は、メモリ９００への時刻の書き込みが完了すると、ラッチ回路６００に制御信号（電源ＯＦＦ信号）を出力してラッチ回路６００を制御回路７００及びメモリ９００に電力を供給しないＯＦＦ状態にする。これにより、制御回路７００及びメモリ９００への電力の供給が停止される。制御回路７００及びメモリ９００は、ラッチ回路６００がＯＦＦ状態では電池４００の電力を消費しない。

【0281】

メモリ９００は、電力が供給されていない状態でも書き込まれた記憶内容を保持する不揮発性のメモリである。

【0282】

アンテナ８００は、リーダライタ９２０（図１３参照）から発せられる電波を受けることで制御回路７００及びメモリ９００を動作させるための電力を発生させる。制御回路７００は、アンテナ８００が発生させた電力を用いてメモリ９００に書き込まれた情報を読み出し、読み出した情報をアンテナ８００からリーダライタ９２０に送る。

【0283】

リーダライタ９２０を用いてメモリ９００に記憶されている情報を書き換えることも可能である。なお、メモリ９００には、書き換え不能な情報も記憶されている。書き換え不能な情報は、例えば、電子タグ１００の識別情報である。

【0284】

このように、本実施形態の電子タグ１００は、ＲＦＩＤ（ＲａｄｉｏＦｒｅｑｕｅｎｃｙＩｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）技術に対応した無線通信タグ（ＲＦＩＤタグ）として構成される。

【0285】

電子タグ１００は、低消費電力の通信モードであるＢＬＵＥＴＯＯＴＨ（登録商標）ＬｏｗＥｎｅｒｇｙ（ＢＬＥ）の通信方式を採用したＢＬＥタグとしてもよい。

【0286】

［ラッチ回路６００］
図１８は、電子タグ１００を構成するラッチ回路６００の一例を示す回路図である。

【0287】

図１８に示すように、ラッチ回路６００は、ＰＮＰ型のトランジスタＴｒ１、ＮＰＮ型のトランジスタＴｒ２、ＰＮＰ型のトランジスタＴｒ３、ＮＰＮ型のトランジスタＴｒ４と、抵抗Ｒ１～Ｒ１１と、コンデンサＣ１と、を備えた電子回路であり、当該電子回路を電線Ｓ１の個数備えるものである。ラッチ回路６００は、メカニカルな可動部を有しない電子回路である。

【0288】

抵抗Ｒ１と抵抗Ｒ２は直列回路を形成しており、抵抗Ｒ１の一端は電源（Ｖｃｃ）に接続され他端が抵抗Ｒ２に接続されている。抵抗Ｒ２の一端は抵抗Ｒ１に接続され、他端が電線Ｓ１に接続されている。なお、電線Ｓ２は接地されている。

【0289】

トランジスタＴｒ１は、エミッタが電池４００（Ｖｃｃ）に接続され、コレクタが抵抗Ｒ３に接続され、ベースが抵抗Ｒ１と抵抗Ｒ２の接続中点に接続されている。抵抗Ｒ３は一端がトランジスタＴｒ１のコレクタに接続され他端は接地されている。

【0290】

抵抗Ｒ４、抵抗Ｒ７、及び抵抗Ｒ８は直列回路を形成している。抵抗Ｒ４の一端はトランジスタＴｒ１（コレクタ）と抵抗Ｒ３の接続中点に接続され他端が抵抗Ｒ７に接続されている。抵抗Ｒ７は一端が抵抗Ｒ４に接続され他端が抵抗Ｒ８及びトランジスタＴｒ２のベースに接続されている。抵抗Ｒ８は一端が抵抗Ｒ７及びトランジスタＴｒ２のベースに接続され他端が接地されている。

【0291】

コンデンサＣ１は一端が抵抗Ｒ４と抵抗Ｒ７の接続中点に接続され他端は接地されている。

【0292】

トランジスタＴｒ２は、コレクタが抵抗Ｒ９に接続され、ベースが抵抗Ｒ７に接続され、エミッタが接地されている。

【0293】

トランジスタＴｒ３は、エミッタが電池４００（Ｖｃｃ）に接続され、ベースが抵抗Ｒ９に接続され、コレクタが抵抗Ｒ１１に接続されている。

【0294】

抵抗Ｒ９は一端がトランジスタＴｒ３のベースに接続され他端がトランジスタＴｒ２のコレクタに接続されている。

【0295】

抵抗Ｒ１１は一端がトランジスタＴｒ３のコレクタに接続され他端が制御回路７００（電源入力側）に接続されている。

【0296】

トランジスタＴｒ４は、コレクタが抵抗Ｒ６に接続され、ベースが抵抗Ｒ１０に接続され、エミッタが接地されている。

【0297】

抵抗Ｒ６は、一端が抵抗Ｒ４と抵抗Ｒ７の接続中点に接続され他端がトランジスタＴｒ４のコレクタに接続されている。

【0298】

抵抗Ｒ１０は、一端がトランジスタＴｒ４のベースに接続され他端が制御回路７００（制御信号出力側）に接続されている。

【0299】

抵抗Ｒ５は、一端が抵抗Ｒ１１と制御回路７００（電源入力側）との接続中点に接続され、他端が抵抗Ｒ４と抵抗Ｒ７の接続中点に接続されている。

【0300】

初期状態（加速度印加前）において、衝撃センサ３００は不通電であり、トランジスタＴｒ１～Ｔｒ４はＯＦＦ状態（不通電状態）となっている。

【0301】

衝撃センサ３００が通電状態となると抵抗Ｒ１と抵抗Ｒ２の接続中点の電圧が降下し、トランジスタＴｒ１のベースの電圧が降下することでトランジスタＴｒ１がＯＮ状態（通電状態）となる。

【0302】

トランジスタＴｒ１がＯＮ状態となるとトランジスタＴｒ１から抵抗Ｒ３、及び抵抗Ｒ４と抵抗Ｒ７と抵抗Ｒ８の直列回路に対して電圧が印加され、抵抗Ｒ４と抵抗Ｒ７の接続中点となる電圧がコンデンサＣ１に印加され、抵抗Ｒ７と抵抗Ｒ８の接続中点となる電圧がトランジスタＴｒ２のベースに印加される。

【0303】

コンデンサＣ１は抵抗Ｒ４と抵抗Ｒ７の接続中点の電圧まで充電される。

【0304】

トランジスタＴｒ２のベースに抵抗Ｒ７と抵抗Ｒ８の接続中点となる電圧が印加され、抵抗Ｒ８の電圧降下分、すなわちトランジスタＴｒ２のベース－エミッタ間の電圧が閾値電圧（例えば０．６［Ｖ］）以上となることでトランジスタＴｒ２はＯＮとなる。

【0305】

トランジスタＴｒ２がＯＮ状態となるとトランジスタＴｒ３のベースの電圧が低下することでトランジスタＴｒ３がＯＮ状態となる。

【0306】

トランジスタＴｒ３がＯＮとなるとトランジスタＴｒ３のエミッタに接続された電池４００（Ｖｃｃ）からトランジスタＴｒ３のコレクタ及び抵抗Ｒ１１を介して電力が制御回路７００（電源入力側）に供給される。このとき、抵抗Ｒ１１と制御回路７００の接続中点の電圧が抵抗Ｒ５、抵抗Ｒ７及び抵抗Ｒ８に印加される。よって、トランジスタＴｒ３のコレクタに起因する電圧であって抵抗Ｒ７と抵抗Ｒ８の接続中点に印加される電圧がトランジスタＴｒ２のベースの電圧となる。これにより、その後衝撃センサ３００が不通電となりトランジスタＴｒ１がＯＦＦとなってもトランジスタＴｒ２のＯＮ状態が維持される。

【0307】

制御回路７００からトランジスタＴｒ４のベースに制御信号（電源ＯＦＦ信号）が入力されるとトランジスタＴｒ４がＯＮ状態となる。

【0308】

トランジスタＴｒ４がＯＮ状態となると、抵抗Ｒ６（抵抗Ｒ５よりも十分小さい抵抗値とする）に電流が流れることで抵抗Ｒ８に印加される電圧、すなわちトランジスタＴｒ２のベース－エミッタ間の電圧が閾値電圧（例えば０．６［Ｖ］）よりも低くなるのでトランジスタＴｒ２がＯＦＦ状態となる。

【0309】

トランジスタＴｒ２がＯＦＦ状態となることでトランジスタＴｒ３のベース電流がゼロとなりトランジスタＴｒ３がＯＦＦ状態となる。これにより制御回路７００への電力供給が停止する。

【0310】

上記したように、衝撃センサ３００は、絶対値が所定加速度以上の加速度（衝撃）が印加されると通電状態になって通電し、その後に印加されている加速度の絶対値が減少して所定加速度を下回ると非通電状態になって通電が遮断される。

【0311】

そのため、仮に、衝撃センサ３００が通電している間のみ制御回路７００及びメモリ９００に電力が供給されるように電子タグ１００を構成した場合は、制御回路７００がメモリ９００への時刻の書き込みを完了する前に制御回路７００及びメモリ９００への電力の供給が停止する可能性がある。この場合は、衝撃センサ３００が衝撃を検知した時刻をメモリ９００に記録することができない。

【0312】

これに対して、本実施形態では、ラッチ回路６００を設けることで、制御回路７００がメモリ９００への時刻の書き込みを完了するまでは、制御回路７００及びメモリ９００への電力の供給が維持される。そして、制御回路７００がメモリ９００への時刻の書き込みを完了した後は、ラッチ回路６００がＯＦＦ状態になることで、ラッチ回路６００、制御回路７００、及びメモリ９００の電力消費が停止する。よって、電池４００の消費を抑制しつつ、衝撃センサ３００が衝撃を検知した時刻を記録できないフェイルの発生を防止できる。

【0313】

また、本実施形態では、衝撃センサ３００に電池４００から電力を供給する抵抗Ｒ１及び抵抗Ｒ２の直列回路が、ラッチ回路６００の一部を構成している。

【0314】

そのため、衝撃センサ３００が衝撃を検知して通電するとともにラッチ回路６００が作動して制御回路７００に電力が供給される。つまり、抵抗Ｒ１及び抵抗Ｒ２の直列回路に流れる電流は、衝撃センサ３００が衝撃を検知したことを示す検知信号として機能する。

【0315】

これによれば、衝撃センサ３００からラッチ回路６００に検知信号を別途送信する必要がない。そのため、衝撃センサ３００からラッチ回路６００に検知信号を別途送信することでラッチ回路６００を作動させる場合と比べて、衝撃センサ３００が衝撃を検知してからラッチ回路６００が制御回路７００に電力を供給するまでのタイムラグを小さくできる。これにより、制御回路７００がＲＴＣ５００から時刻を取得するまでのタイムラグも小さくなるので、メモリ９００に記憶した時刻の信頼性が高くなる。また、ラッチ回路６００がＯＦＦ状態になるまでの時間も短くなるので、電池４００の消費を抑制できる。

【0316】

［電子タグ１００の作動手順］
図１９は、電子タグ１００の作動の流れを示すフローチャートである。

【0317】

ステップＳ０１では、電子タグ１００（衝撃センサ３００）に絶対値が所定加速度以上の加速度（衝撃）が印加される。

【0318】

ステップＳ０２では、衝撃センサ３００が通電状態になって通電する。

【0319】

ステップＳ０３では、ラッチ回路６００がＯＮ状態になるとともにラッチ回路６００から制御回路７００及びメモリ９００に電力が供給される。

【0320】

ステップＳ０４では、制御回路７００がＲＴＣ５００から時刻を取得する。

【0321】

ステップＳ０５では、制御回路７００がメモリ９００に取得した時刻を書き込む。

【0322】

ステップＳ０６では、制御回路７００がラッチ回路６００に制御信号（電源ＯＦＦ信号）を出力する。

【0323】

ステップＳ０７では、ラッチ回路６００がＯＦＦ状態になるとともにラッチ回路６００から制御回路７００及びメモリ９００への電力の供給が停止される。

【0324】

［電子タグ１００の使用方法］
図２０は、電子タグ１００の使用方法について説明するための図である。

【0325】

手順（１）では、可搬物品９１０に電子タグ１００を取り付ける。可搬物品９１０は、搬送が可能であって電子タグ１００を取り付けることができる様々な物品である。

【0326】

電子タグ１００は、例えば、両面テープで可搬物品９１０に取り付けてもよいし、専用の治具等によって可搬物品９１０に取り付けてもよいし、タグボディ２００（図１５）に取付孔を設けて可搬物品９１０にねじ止めしてもよい。

【0327】

手順（２）では、電子タグ１００を取り付けた可搬物品９１０に衝撃が印加される。電子タグ１００は、衝撃センサ３００によって衝撃を検知した時刻をメモリ９００に記憶する。図１３は、落下により可搬物品９１０に負の加速度が印加される様子を示している。

【0328】

電子タグ１００は、衝撃を複数回検知した場合は、衝撃を検知した複数の時刻を全てメモリ９００に記憶する。

【0329】

手順（３）では、リーダライタ９２０を用いてメモリ９００に記憶された情報を読み取る。

【0330】

［本発明の実施形態の効果］
本実施形態の衝撃センサ３００によれば、外部からの衝撃を受けて一方向に移動可能な可動電極２（２Ａ－２Ｄ）と、可動電極２（２Ａ－２Ｄ）に対して一方向に離間して配置され可動電極２（２Ａ－２Ｄ）が移動したときに可動電極２（２Ａ－２Ｄ）に接触する第１固定電極１１（１１Ａ－１１Ｄ）と、を含み、可動電極２（２Ａ－２Ｄ）及び第１固定電極１１（１１Ａ－１１Ｄ）のいずれか一方は、可動電極２（２Ａ－２Ｄ）の移動方向に垂直な方向が深さ方向となる第１凹部２１（２１Ａ－２１Ｄ）を含み、可動電極２（２Ａ－２Ｄ）及び第１固定電極１１（１１Ａ－１１Ｂ）のいずれか他方は、第１凹部２１（２１Ａ－２１Ｄ）に少なくとも一部が収容される第１凸部１１１（１１１Ａ－１１１Ｄ）を含み、可動電極２（２Ａ－２Ｄ）が移動して第１凹部２１（２１Ａ－２１Ｄ）が第１凸部１１１（１１１Ａ－１１１Ｄ）に接触し、可動電極２（２Ａ－２Ｄ）と第１固定電極１１（１１Ａ－１１Ｄ）が電気的に接続（通電）することで衝撃を検知する。

【0331】

上記構成により、可動電極２（２Ａ－２Ｄ）の移動方向に平行な方向の衝撃を可動電極２（２Ａ－２Ｄ）と第１固定電極１１（１１Ａ－１１Ｄ）との通電により選択的に検知できる。また、第１凸部１１１（１１１Ａ－１１１Ｄ）と第１凹部２１（２１Ａ－２１Ｄ）との間隔（Ｄ１）を狭く設定することで小さな衝撃を検知可能となる。

【0332】

本実施形態において、可動電極２（２Ａ－２Ｄ）を囲むとともに第１固定電極１１（１１Ａ－１１Ｄ）を包含する枠部１をさらに含み、可動電極２（２Ａ－２Ｄ）は、枠部１に接続された一対のバネ部４（４Ａ－４Ｄ）により可動電極２（２Ａ－２Ｄ）の移動方向の両側から支持されるとともに、可動電極２（２Ａ－２Ｄ）の慣性力により一対のバネ部４（４Ａ－４Ｄ）を変形させることで第１固定電極１１（１１Ａ－１１Ｄ）に対して移動方向に相対移動し、枠部１は、第１固定電極１１（１１Ａ－１１Ｄ）と絶縁する第２固定電極１２を含み、第２固定電極１２は、バネ部４（４Ａ－４Ｄ）に延出することで可動電極２（２Ａ－２Ｄ）と電気的に接続されている。

【0333】

上記構成により、第２固定電極１２と、第１固定電極１１（１１Ａ－１１Ｄ）との通電を検知することで、可動電極２（２Ａ－２Ｄ）と第１固定電極１１（１１Ａ－１１Ｄ）との接触を検知できるので、衝撃の検知が容易となる。

【0334】

本実施形態において、第１凹部２１（２１Ａ－２１Ｄ）は可動電極２（２Ａ－２Ｄ）に配置され、第１凸部１１１（１１１Ａ－１１１Ｄ）は第１固定電極１１（１１Ａ－１１Ｄ）に配置されている。

【0335】

上記構成により、可動電極２（２Ａ－２Ｄ）の衝撃に対する強度を確保できる。

【0336】

可動電極２（２Ａ－２Ｄ）は、第１凹部２１（２１Ａ－２１Ｄ）が形成された縁辺とは反対側の縁辺に第２凹部２２（２２Ａ－２２Ｄ）を含み、枠部１は、第２凹部２２（２２Ａ－２２Ｄ）に対向する位置に第２凹部２２（２２Ａ－２２Ｄ）に少なくとも一部が収容される第２凸部１２１（１２１Ａ－１２１Ｄ）を含み、第１凹部２１（２１Ａ－２１Ｄ）の移動方向の中央部と第２凹部２２（２２Ａ－２２Ｄ）の移動方向の中央部は移動方向において同一となる位置に配置され、可動電極２は、移動方向に直交し且つ第１凹部２１（２１Ａ－２１Ｄ）の移動方向の中央部と第２凹部２２（２２Ａ－２２Ｄ）の移動方向の中央部を通過する線を基準とした鏡面対称の形状を有する。

【0337】

上記構成により、可動電極２（２Ａ－２Ｄ）を「Ｈ」型とすることにより、可動電極２（２Ａ－２Ｄ）の移動方向以外の方向の振動や、回転運動を低減し、衝撃センサ３００の誤検知を低減できる。

【0338】

本実施形態において、第１凹部２１（２１Ａ－２１Ｄ）は第１固定電極１１（１１Ａ－１１Ｄ）に配置され、第１凸部１１１（１１１Ａ－１１１Ｄ）は可動電極２（２Ａ－２Ｄ）に配置され、可動電極２（２Ａ－２Ｄ）は、第１凸部１１１（１１１Ａ－１１１Ｄ）が形成された縁辺とは反対側の縁辺に第２凸部１２１（１２１Ａ－１２１Ｄ）を含み、枠部１は、第２凸部１２１（１２１Ａ－１２１Ｄ）に対向する位置に第２凸部１２１（１２１Ａ－１２１Ｄ）の少なくとも一部を収容する第２凹部２２（２２Ａ－２２Ｄ）を含み、第１凸部１１１（１１１Ａ－１１１Ｄ）の移動方向の中央部と第２凸部１２１（１２１Ａ－１２１Ｄ）の移動方向の中央部は移動方向において同一となる位置に配置され、可動電極２（２Ａ－２Ｄ）は、移動方向に直交し且つ第１凸部１１１（１１１Ａ－１１１Ｄ）の移動方向の中央部と第２凸部１２１（１２１Ａ－１２１Ｄ）の移動方向の中央部を通過する線（破線Ｓ）を基準とした鏡面対称の形状を有する。

【0339】

上記構成により、可動電極２に第１凸部１１１及び第２凸部１２１を配置することで可動電極２の質量が増加する。これにより可動電極２の衝撃に対する慣性力を高め、衝撃センサ３００の衝撃の検知感度を高めることができる。また、可動電極２を、移動方向に垂直な方向に延び、可動電極２の移動方向の中央部を通過する線（破線Ｓ）を中心として鏡面対称な形状とすることで、可動電極２の移動方向以外の方向の振動や、回転運動を低減し、衝撃センサ３００の誤検知を低減できる。

【0340】

本実施形態において、衝撃センサ３００を第１衝撃センサ３０１Ａと第２衝撃センサ３０１Ｂとして２個用いた衝撃センサユニット（衝撃センサ３００）であって、第２衝撃センサ３０１Ｂの可動電極２Ｂの移動方向（Ｙ方向）は、第１衝撃センサ３０１Ａの可動電極２Ａの移動方向（Ｘ方向）と直交する。

【0341】

上記構成により、簡易な構成で互いに直交する衝撃を個別に検知可能となる。

【0342】

本実施形態（第１実施形態）において、衝撃センサ３００（図１４参照）を第１衝撃センサ３０１Ａと第２衝撃センサ（第３衝撃センサ３０１Ｃ）として２個用いた衝撃センサユニット（衝撃センサ３００）であって、第２衝撃センサ（第３衝撃センサ３０１Ｃ）の可動電極２Ｃの移動方向（Ｘ方向）は、第１衝撃センサ３０１Ａの可動電極２Ａの移動方向（Ｘ方向）と平行であり、第２衝撃センサ（第３衝撃センサ３０１Ｃ）の第１凹部２１Ｃと第１凸部１１１Ｃとの移動方向（Ｘ方向）の隙間（Ｄ２）は、第１衝撃センサ３０１Ａの第１凹部２１Ａと第１凸部１１１Ａとの移動方向（Ｘ方向）の隙間（Ｄ１）よりも広く形成されている。

【0343】

上記構成により、一方向（例えばＸ方向）において簡易な構成で互いに強度の異なる２段階の衝撃を検知できる。

【0344】

本実施形態（第２実施形態）において、衝撃センサ３００（図１４参照）を第１衝撃センサ３０１Ａ、第２衝撃センサ３０１Ｂ、第３衝撃センサ３０１Ｃ、及び第４衝撃センサ３０１Ｄとして４個用いた衝撃センサユニット（衝撃センサ３００）とする。

【0345】

第１衝撃センサ３０１Ａの可動電極２Ａの移動方向（Ｘ方向）は、第３衝撃センサ３０１Ｃの可動電極２Ｃの移動方向（Ｙ方向）と平行である。

【0346】

第２衝撃センサ３０１Ｂの可動電極２Ｂの移動方向（Ｙ方向）は、第４衝撃センサ３０１Ｄの可動電極２Ｄの移動方向（Ｙ方向）と平行である。

【0347】

第３衝撃センサ３０１Ｃの可動電極２Ｃの移動方向（Ｘ方向）は、第４衝撃センサ３０１Ｄの可動電極２Ｄの移動方向（Ｙ方向）と垂直である。

【0348】

第３衝撃センサ３０１Ｃの第１凹部２１Ｃと第１凸部１１１Ｃとの移動方向（Ｘ方向）の隙間（Ｄ２）は、第１衝撃センサ３０１Ａの第１凹部２１Ａと第１凸部１１１Ａとの移動方向（Ｘ方向）の隙間（Ｄ１）よりも広く形成されている。

【0349】

第４衝撃センサ３０１Ｄの第１凹部２１Ｄと第１凸部１１１Ｄとの移動方向（Ｙ方向）の隙間（Ｄ２）は、第２衝撃センサ３０１Ｂの第１凹部２１Ｂと第１凸部１１１Ｂとの移動方向（Ｙ方向）の隙間（Ｄ１）よりも広く形成されている。

【0350】

上記構成により、簡易な構成で互いに強度の異なる２段階の衝撃をＸ方向、Ｙ方向において独立に検知できる。

【0351】

本実施形態（第２実施形態）において、衝撃センサ３００を第１衝撃センサ３０１Ａ、第２衝撃センサ３０１Ｂ、第３衝撃センサ３０１Ｃ及び第４衝撃センサ３０１Ｄとして４個用いた衝撃センサユニット（衝撃センサ３００）である。

【0352】

第１衝撃センサ３０１Ａの可動電極２Ａの移動方向（Ｘ方向）は、第３衝撃センサ３０１Ｃの可動電極２Ｃの移動方向（Ｙ方向）と平行である。

【0353】

第２衝撃センサ３０１Ｂの可動電極２Ｂの移動方向（Ｙ方向）は、第４衝撃センサ３０１Ｄの可動電極２Ｄの移動方向（Ｙ方向）と平行である。

【0354】

第３衝撃センサ３０１Ｃの可動電極２Ｃの移動方向（Ｘ方向）は、第４衝撃センサ３０１Ｄの可動電極２Ｄの移動方向（Ｙ方向）と垂直である。

【0355】

【0356】

【0357】

第１衝撃センサ３０１Ａの可動電極２Ａと第１固定電極１１Ａとの接触に起因する第１固定電極１１Ａと第２固定電極１２との第１の通電（Ｘ_１）と、第２衝撃センサ３０１Ｂの可動電極２Ｂと第１固定電極１１Ｂとの接触に起因する第１固定電極１１Ｂと第２固定電極１２との第２の通電（Ｙ_１）と、第３衝撃センサ３０１Ｃの可動電極２Ｃと第１固定電極１１Ｃとの接触に起因する第１固定電極１１Ｃと第２固定電極１２との第３の通電（Ｘ_２）と、第４衝撃センサ３０１Ｄの可動電極２Ｄと第１固定電極１１Ｄとの接触に起因する第１固定電極１１Ｄと第２固定電極１２との第４の通電（Ｙ_２）と、を検知する検知手段（ラッチ回路６００）をさらに含む。

【0358】

上記構成により、Ｘ方向、Ｙ方向の衝撃を２段階で個別に検知でき、且つＸ方向成分及びＹ方向成分を有する衝撃も検知可能となる。

【0359】

第１衝撃センサ３０１Ａの可動電極２Ａの移動方向（Ｘ方向）及び第３衝撃センサ３０１Ｃの可動電極２Ｃの移動方向（Ｘ方向）をＸ方向とし、第２衝撃センサ３０１Ｂの可動電極２Ｂの移動方向（Ｙ方向）及び第４衝撃センサ３０１Ｄの可動電極２Ｄの移動方向（Ｙ方向）をＸ方向に直交するＹ方向とする。

【0360】

検知手段（ラッチ回路６００）は、第１の通電（Ｘ_１）を検知し、第２の通電（Ｙ_１）、第３の通電（Ｘ_２）、及び第４の通電（Ｙ_２）を検知しない場合、Ｘ方向に平行な方向に所定の強度の第１の衝撃があったと判断する。

【0361】

第１の通電（Ｘ_１）及び第３の通電（Ｘ_２）を検知し、第２の通電（Ｙ_１）及び第４の通電（Ｙ_２）を検知しない場合、Ｘ方向に平行な方向に第１の衝撃よりも強度が大きい第２の衝撃があったと判断する。

【0362】

第２の通電（Ｙ_１）を検知し、第１の通電（Ｘ_１）、第３の通電（Ｘ_２）、及び第４の通電（Ｙ_２）を検知しない場合、Ｙ方向に平行な方向に所定の強度を第３の衝撃があったと判断する。

【0363】

第２の通電（Ｙ_１）及び第４の通電（Ｙ_２）を検知し、第１の通電（Ｘ_１）及び第３の通電（Ｘ_２）を検知しない場合、Ｙ方向に平行な方向に第３の衝撃よりも強度が大きい第４の衝撃があったと判断する。

【0364】

上記構成により、第２固定電極１２と複数の第１固定電極１１との通電を個別に検知することで、Ｘ方向、Ｙ方向それぞれで互いに強度の異なる２段階の衝撃を検知できる。

【0365】

本実施形態において、検知手段（ラッチ回路６００）は、第１の通電（Ｘ_１）及び第２の通電（Ｙ_１）を検知し、第３の通電（Ｘ_２）、及び第４の通電（Ｙ_２）を検知しない場合、Ｘ方向に第１の衝撃に係る衝撃成分を含みＹ方向に第３の衝撃に係る衝撃成分を含む第５の衝撃があったと判断する。

【0366】

第１の通電（Ｘ_１）、第２の通電（Ｙ_１）、及び第３の通電（Ｘ_２）を検知し、第４の通電（Ｙ_２）を検知しない場合、Ｘ方向に第２の衝撃に係る衝撃成分を含みＹ方向に第３の衝撃に係る衝撃成分を含む第６の衝撃があったと判断する。

【0367】

第１の通電（Ｘ_１）、第２の通電（Ｙ_１）、及び第４の通電（Ｙ_２）を検知し、第３の通電（Ｘ_２）を検知しない場合、Ｘ方向に第１の衝撃に係る衝撃成分を含みＹ方向に第４の衝撃に係る衝撃成分を含む第７の衝撃があったと判断する。

【0368】

第１の通電（Ｘ_１）、第２の通電（Ｙ_１）、第３の通電（Ｘ_２）、及び第４の通電（Ｙ_２）を検知した場合、Ｘ方向に第２の衝撃に係る衝撃成分を含みＹ方向に第４の衝撃に係る衝撃成分を含む第８の衝撃があったと判断する。

【0369】

上記構成により、Ｘ方向成分及びＹ方向成分を有する衝撃を検知可能となり、Ｘ方向、Ｙ方向の２次元方向に分布する衝撃を検知可能となる。

【0370】

本実施形態（第３実施形態）において、衝撃センサ３００（図１４参照）を第１衝撃センサ３０１Ａ（又は第３衝撃センサ３０１Ｃ）、第２衝撃センサ３０１Ｂ（又は第４衝撃センサ３０１Ｄ）として２個用いた衝撃センサユニット（衝撃センサ３００）であって、第１衝撃センサ３０１Ａの可動電極２Ａの移動方向（Ｘ方向）は、第２衝撃センサ３０１Ｂの可動電極２Ｂの移動方向（Ｙ方向）と垂直であり、枠部１は、矩形形状を有するとともに矩形の各辺を形成する４つのビームを含み、４つのビームは、第１固定電極１１を包含する第１ビーム１４１（１４１Ａ，１４１Ｂ）と、第１ビーム１４１と平行且つ長手方向が互いに対向するように配置され、第１ビーム１４１とは離間して配置された第２ビーム１４２（１４２Ａ，１４２Ｂ）と、第１ビーム１４１の長手方向の一方の端部と当該端部に対向する第２ビーム１４２の長手方向の一方の端部とを接続する第３ビーム１４３（１４３Ａ，１４３Ｂ）と、第１ビーム１４１の長手方向の他方の端部と当該端部に対向する第２ビーム１４２の長手方向の他方の端部とを接続する第４ビーム１４４（１４４Ａ，１４４Ｂ）と、を含み、第１衝撃センサ３０１Ａの第３ビーム１４３Ａと第２衝撃センサ３０１Ｂの第２ビーム１４２Ｂが互いに隣接、又は一体となっている（図１２）、又は、第１衝撃センサ３０１Ａの第４ビーム１４４Ａと第２衝撃センサ３０１Ｂの第２ビーム１４２Ｂが互いに隣接、又は一体となっている（図１３）。

【0371】

上記構成により、複数の衝撃センサ３００を基板（ＳＯＩ基板）にパターニングして個片化する場合、一つの衝撃センサ３００の第１固定電極１１Ａは当該一つの衝撃センサ３００に隣接するとともに第１固定電極１１Ａに対向する第１の他の衝撃センサ３００の第２固定電極１２に接続され、一つの衝撃センサ３００の第１固定電極１１Ｂは当該一つの衝撃センサ３００に隣接するとともに第１固定電極１１Ｂに対向する第２の他の衝撃センサ３００の第２固定電極１２に接続される。また互いに隣接する衝撃センサ３００（第２固定電極１２）は互いに接続している。よって、例えば第２固定電極１２の形成部分に電極を配置してメッキ処理することにより、第１固定電極１１Ａ及び第２固定電極１２にもメッキ処理が及ぶ。したがって、１回のメッキ処理で衝撃センサ３００全体のメッキ処理を行えるので、作業負担を軽減できる。

【0372】

【0373】

第１衝撃センサ３０１Ａの可動電極２Ａの移動方向（Ｘ方向）は、第３衝撃センサ３０１Ｃの可動電極２Ｃの移動方向（Ｙ方向）と平行である。

【0374】

第２衝撃センサ３０１Ｂの可動電極２Ｂの移動方向（Ｙ方向）は、第４衝撃センサ３０１Ｄの可動電極２Ｄの移動方向（Ｙ方向）と平行である。

【0375】

第３衝撃センサ３０１Ｃの可動電極２Ｃの移動方向（Ｘ方向）は、第４衝撃センサ３０１Ｄの可動電極２Ｄの移動方向（Ｙ方向）と垂直である。

【0376】

【0377】

【0378】

第１固定電極１１（１１Ａ－１１Ｄ）は、第１凸部１１１（１１１Ａ－１１１Ｄ）の少なくとも一部が収容される可動電極２（２Ａ－２Ｄ）の第１凹部２１（２１Ａ－２１Ｄ）の可動電極２（２Ａ－２Ｄ）の移動方向に対向する一対の側面の内の一方の側面に対向する第１凸部１１１（１１１Ａ－１１１Ｄ）の一方の側面を包含する第３固定電極１１ａ（１１Ａａ－１１Ｄａ）と、当該可動電極２（２Ａ－２Ｄ）の第１凹部２１（２１Ａ－２１Ｄ）の可動電極２（２Ａ－２Ｄ）の移動方向に対向する一対の側面の内の他方の側面に対向する第１凸部１１１（１１１Ａ－１１１Ｄ）の他方の側面を包含する第４固定電極１１ｂ（１１Ａｂ－１１Ｄｂ）と、を含む。

【0379】

第３固定電極１１ａ（１１Ａａ－１１Ｄａ）と第４固定電極１１ｂ（１１Ａｂ－１１Ｄｂ）は枠部１において互いに絶縁している。

【0380】

上記構成により、複数の第３固定電極１１ａ（１１Ａａ－１１Ｄａ）と第２固定電極１２との通電、及び複数の第４固定電極１１ｂ（１１Ａｂ－１１Ｄｂ）と第２固定電極１２との通電を検知することで、＋Ｘ方向、＋Ｙ方向、－Ｘ方向、－Ｙ方向においてそれぞれ互いに強度の異なる２段階の衝撃を検知できる。

【0381】

本実施形態において、衝撃センサ３００（図１４参照）を第１衝撃センサ３０１Ａ、第２衝撃センサ３０１Ｂ、第３衝撃センサ３０１Ｃ、及び第４衝撃センサ３０１Ｄとして４個用いた衝撃センサユニット（衝撃センサ３００）とする。

【0382】

第１衝撃センサ３０１Ａの可動電極２Ａの移動方向（Ｘ方向）は、第３衝撃センサ３０１Ｃの可動電極２Ｃの移動方向（Ｙ方向）と平行である。

【0383】

第２衝撃センサ３０１Ｂの可動電極２Ｂの移動方向（Ｙ方向）は、第４衝撃センサ３０１Ｄの可動電極２Ｄの移動方向（Ｙ方向）と平行である。

【0384】

第３衝撃センサ３０１Ｃの可動電極２Ｃの移動方向（Ｘ方向）は、第４衝撃センサ３０１Ｄの可動電極２Ｄの移動方向（Ｙ方向）と垂直である。

【0385】

【0386】

【0387】

枠部１は、矩形形状を有するとともに矩形の各辺を形成する４つのビームを含み、４つのビームは、第１固定電極１１（１１Ａ－１１Ｄ）を包含する第１ビーム１４１（１４１Ａ－１４１Ｄ）と、第１ビーム１４１（１４１Ａ－１４１Ｄ）と平行且つ長手方向が互いに対向するように配置され、第１ビーム１４１（１４１Ａ－１４１Ｄ）とは離間して配置された第２ビーム１４２（１４２Ａ－１４２Ｄ）と、第１ビーム１４１（１４１Ａ－１４１Ｄ）の長手方向の一方の端部と当該端部に対向する第２ビーム１４２（１４２Ａ－１４２Ｄ）の長手方向の一方の端部とを接続する第３ビーム１４３（１４３Ａ－１４３Ｄ）と、第１ビーム１４１（１４１Ａ－１４１Ｄ）の長手方向の他方の端部と当該端部に対向する第２ビーム１４２（１４２Ａ－１４２Ｄ）の長手方向の他方の端部とを接続する第４ビーム１４４（１４４Ａ－１４４Ｄ）と、を含む。

【0388】

第１衝撃センサ３０１Ａ、第２衝撃センサ３０１Ｂ、第３衝撃センサ３０１Ｃ、及び第４衝撃センサ３０１Ｄは、互いに隣接して配置されている。

【0389】

第１衝撃センサ３０１Ａの第３ビーム１４３Ａと第２衝撃センサ３０１Ｂの第２ビーム１４２Ｂが互いに隣接する場合において、第２衝撃センサ３０１Ｂの第３ビーム１４３Ｂが第３衝撃センサ３０１Ｃの第２ビーム１４２Ｃが互いに隣接し、第３衝撃センサ３０１Ｃの第３ビーム１４３Ｃが第４衝撃センサ３０１Ｄの第２ビーム１４２Ｄが互いに隣接し、第４衝撃センサ３０１Ｄの第３ビーム１４３Ｄが第１衝撃センサ３０１Ａの第２ビーム１４２Ａが互いに隣接している。

【0390】

第１衝撃センサ３０１Ａの第４ビーム１４４Ａと第２衝撃センサ３０１Ｂの第３ビーム１４３Ｂが互いに隣接する場合において、第１衝撃センサ３０１Ａの第２ビーム１４２Ａが第４衝撃センサ３０１Ｄの第４ビーム１４４Ｄが互いに隣接し、第４衝撃センサ３０１Ｄの第２ビーム１４２Ｄが第３衝撃センサ３０１Ｃの第４ビーム１４４Ｃが互いに隣接し、第３衝撃センサ３０１Ｃの第２ビーム１４２Ｃが第２衝撃センサ３０１Ｂの第４ビーム１４４Ｂが互いに隣接している。

【0391】

上記構成により、全ての第１ビーム１４１Ａ－１４１Ｄ、すなわち全ての第１固定電極１１Ａ－１１Ｄは、衝撃センサ３００の周縁に配置される。これにより、複数の衝撃センサ３００を基板（ＳＯＩ基板）にパターニングして個片化する場合、各第１固定電極１１（１１Ａ－１１Ｄ）は、隣接する衝撃センサ３００の第２固定電極１２に接続される。また互いに隣接する衝撃センサ３００（第２固定電極１２）は互いに接続している。

【0392】

よって、例えば第２固定電極１２の形成部分に電極を配置してメッキ処理することにより、各第１固定電極１１（１１Ａ―１１Ｄ）の形成部分及び第２固定電極１２の形成部分にもメッキ処理が及ぶ。したがって、１回のメッキ処理で衝撃センサ３００全体のメッキ処理を行えるので、作業負担を軽減できる。

【0393】

以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は本発明の適用例の一つを示したものに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。

【符号の説明】

【0394】

１枠部
１ａシリコン基板
１ｂ絶縁層
１ｃ活性層
１ｄ支持枠
１１Ａ１１Ｂ１１Ｃ１１Ｄ第１固定電極
１１１Ａ１１１Ｂ１１１Ｃ１１１Ｄ第１凸部
１２第２固定電極
１２１Ａ１２１Ｂ１２１Ｃ１２１Ｄ第２凸部
１３溝部
１４１Ａ１４１Ｂ１４１Ｃ１４１Ｄ第１ビーム
１４２Ａ１４２Ｂ１４２Ｃ１４２Ｄ第２ビーム
１４３Ａ１４３Ｂ１４３Ｃ１４３Ｄ第３ビーム
１４４Ａ１４４Ｂ１４４Ｃ１４４Ｄ第４ビーム
１５Ａ１５Ｂ接続部
２Ａ２Ｂ２Ｃ２Ｄ可動電極
２１Ａ２１Ｂ２１Ｃ２１Ｄ第１凹部
２２Ａ２２Ｂ２２Ｃ２２Ｄ第２凹部
４Ａ４Ｂ４Ｃ４Ｄバネ部
５基板
５１パッド電極
５２ワイヤー
１００電子タグ
２００タグボディ
３００衝撃センサ
４００電池
５００ＲＴＣ
６００ラッチ回路
７００制御回路
８００アンテナ
９００メモリ
９１０可搬物品
９２０リーダライタ

【図1】