特開 2024-143699 キャリアフィルムの洗浄方法及び洗浄装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024143699

(43)【公開日】2024-10-11

(54)【発明の名称】キャリアフィルムの洗浄方法及び洗浄装置

(51)【国際特許分類】

   B29B 17/02 20060101AFI20241003BHJP

   B08B 3/02 20060101ALI20241003BHJP

【ＦＩ】

B29B17/02

B08B3/02 C

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023056489

(22)【出願日】2023-03-30

(71)【出願人】

【識別番号】390029089

【氏名又は名称】高周波熱錬株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】508056109

【氏名又は名称】株式会社ネツレンタクト

(74)【代理人】

【識別番号】100108062

【弁理士】

【氏名又は名称】日向寺 雅彦

(74)【代理人】

【識別番号】100168332

【弁理士】

【氏名又は名称】小崎 純一

(74)【代理人】

【識別番号】100146592

【弁理士】

【氏名又は名称】市川 浩

(74)【代理人】

【氏名又は名称】内田 敬人

(74)【代理人】

【識別番号】100197538

【弁理士】

【氏名又は名称】竹内 功

(74)【代理人】

【識別番号】100176751

【弁理士】

【氏名又は名称】星野 耕平

(72)【発明者】

【氏名】渡部 久明

(72)【発明者】

【氏名】浅井 一利

(72)【発明者】

【氏名】渡部 広介

【テーマコード（参考）】

3B201

4F401

【Ｆターム（参考）】

3B201AA08

3B201AB13

3B201AB44

3B201BA03

3B201BA23

3B201BB22

3B201BB24

3B201BB62

3B201BB92

3B201BB93

4F401AA22

4F401AB10

4F401AC06

4F401AD01

4F401AD07

4F401BA13

4F401BB09

4F401CA02

4F401CA56

4F401EA46

4F401EA90

(57)【要約】

【課題】リサイクルするために行われるＰＥＴフィルムのようなキャリアフィルムの洗浄において、コスト及び環境負荷が低いキャリアフィルムの洗浄方法及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】キャリアフィルムの洗浄方法は、誘電体セラミック層が残留したキャリアフィルムの表面に対してマイクロバブルを含む水を噴射することで、前記残留した誘電体セラミック層を前記表面から剥離する。キャリアフィルムの洗浄装置は、誘電体セラミック層が残留したキャリアフィルムを保持する保持部と、前記保持されたキャリアフィルムの表面に対してマイクロバブルを含む水を噴射することで、前記残留した誘電体セラミック層を前記表面から剥離するノズルと、を備える。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

誘電体セラミック層が残留したキャリアフィルムの表面に対してマイクロバブルを含む水を噴射することで、前記残留した誘電体セラミック層を前記表面から剥離するキャリアフィルムの洗浄方法。

【請求項2】

前記マイクロバブルを含む水は前記表面の垂直方向から表面方向に角度を有して、前記表面に対して噴射する請求項１に記載のキャリアフィルムの洗浄方法。

【請求項3】

誘電体セラミック層が残留したキャリアフィルムを保持する保持部と、
前記保持されたキャリアフィルムの表面に対してマイクロバブルを含む水を噴射することで、前記残留した誘電体セラミック層を前記表面から剥離するノズルと、
を備えるキャリアフィルムの洗浄装置。

【請求項4】

前記キャリアフィルムを移動させる移動部をさらに有し、
前記ノズルは、前記マイクロバブルを含む水を前記キャリアフィルムの移動方向の下流側から上流側に向けて噴射する請求項３に記載のキャリアフィルムの洗浄装置。

【請求項5】

前記キャリアフィルムの移動方向において前記ノズルの下流側に配置され、前記キャリアフィルムの表面に接触し、かつ、前記キャリアフィルムに対して相対的に移動するスクレイパーをさらに備える請求項４に記載のキャリアフィルムの洗浄装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

実施形態は、キャリアフィルムの洗浄方法及び洗浄装置に関する。

【背景技術】

【0002】

積層セラミックコンデンサの製造工程で使用されたＰＥＴフィルムを再利用するリサイクルシステムであって、使用された廃棄するＰＥＴフィルムの表面を洗浄し、その後ＰＥＴ樹脂（ペレット状）に戻し、成膜化を行い、そのフィルムに特殊処理を施すことにより、当該製造工程での再利用が可能になることが発表されている（非特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【非特許文献1】Ｐｒｅｓｓ Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ ＴＤＫ 積層セラミックコンデンサＰＥＴフィルムのリサイクル化を実現（２０２２年１月１４日）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本実施形態は、リサイクルするために行われるＰＥＴフィルムのようなキャリアフィルムの洗浄において、コスト及び環境負荷が低いキャリアフィルムの洗浄方法及び洗浄装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

実施形態に係るキャリアフィルムの洗浄方法は、誘電体セラミック層が残留したキャリアフィルムの表面に対してマイクロバブルを含む水を噴射することで、前記残留した誘電体セラミック層を前記表面から剥離することを特徴とする。

【0006】

実施形態に係るキャリアフィルムの洗浄装置は、誘電体セラミック層が残留したキャリアフィルムを保持する保持部と、前記保持されたキャリアフィルムの表面に対してマイクロバブルを含む水を噴射することで、前記残留した誘電体セラミック層を前記表面から剥離するノズルと、を備えることを特徴とする。

【発明の効果】

【0007】

実施形態によれば、リサイクルするために行われるキャリアフィルムの洗浄において、コスト及び環境負荷が低いキャリアフィルムの洗浄方法及び洗浄装置が提供される。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１（ａ）は実施形態の洗浄処理の対象となるキャリアフィルムを示す平面概念図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ－Ａ’線による断面概念図である。

【図2】図２（ａ）は実施形態のキャリアフィルムの洗浄方法及び洗浄装置を説明するための平面概念図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ－Ａ’線による断面概念図である。

【図3】図３は、図２（ｂ）において、マイクロバブルを含む水の噴射によって、残留した誘電体セラミック層が表面から剥離する様子を示す断面概念図である。

【図4】図４は、キャリアフィルム１０１の洗浄を連続的に行う場合の実施形態に係るキャリアフィルムの洗浄装置を示す上面図である。

【図5】図５は、キャリアフィルム１０１の洗浄を連続的に行う場合の実施形態に係るキャリアフィルムの洗浄装置を示す断面図である。

【図6】図６は、キャリアフィルムの洗浄を連続的に行う場合の実施形態に係るキャリアフィルムの洗浄方法を示す断面概念図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

＜キャリアフィルム＞
先ず、本実施形態においてリサイクルするために行われる洗浄処理の対象となるキャリアフィルムについて説明する。
図１（ａ）は本実施形態の洗浄処理の対象となるキャリアフィルムを示す平面概念図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ－Ａ’線による断面概念図である。

【0010】

本実施形態においてリサイクルするために行われる洗浄処理の対象となるキャリアフィルム１０１は、図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、表面１０１ａに積層セラミックコンデンサの製造工程で形成された誘電体セラミック層１０２が残留している。
表面１０１ａに誘電体セラミック層１０２が残留したキャリアフィルム１０１は、例えば、帯状のフィルムであり、収納時及び搬送時にはコイル状に巻かれている。
なお、図１（ａ）において、残留した誘電体セラミック層１０２にはドットを付して示している。

【0011】

表面１０１ａに残留した誘電体セラミック層１０２を有するキャリアフィルム１０１は、積層セラミックコンデンサの製造工程（周知の方法）で発生する。
すなわち、積層セラミックコンデンサの製造工程は、キャリアフィルム１０１の表面１０１ａに誘電体セラミック材料を塗布して、これを乾燥させることでキャリアフィルム１０１の表面１０１ａにセラミックシート（グリーンシートと呼称することもある）を形成する。次に、セラミックシートの表面にスクリーン印刷により例えば内部電極を印刷し、これを乾燥炉等に入れて乾燥させる。その後、剥離装置等によって、内部電極を含むセラミックシートをキャリアフィルム１０１から剥離する。これにより図１（ａ）及び（ｂ）に示すような剥離されたセラミックシートの一部がキャリアフィルム１０１の表面１０１ａに誘電体セラミック層１０２として残留する。

【0012】

キャリアフィルム１０１は、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）からなる。キャリアフィルム１０１の幅や厚さは、積層セラミックコンデンサの製造工程で適宜設定される。キャリアフィルム１０１の幅（キャリアフィルム１０１が帯状である場合は、その短辺の長さ）は、例えば、２０ｃｍ以上１００ｃｍ以下であり、厚みは１５μｍ以上２５０μｍ以下である。

【0013】

本実施形態では、キャリアフィルム１０１の一方の面を「第１面１０１ａ」といい、他方の面を「第２面１０１ｂ」という。また、残留した誘電体セラミック層１０２を有する第１面１０１ａを「表面」といい、第１面１０１ａ及び第２面１０１ｂを総称して「両面」ともいう。

【0014】

誘電体セラミック層１０２は、キャリアフィルム１０１の第１面１０１ａ（表面）上に残留しており、キャリアフィルム１０１に固着している状態である。残留した誘電体セラミック層１０２は、上述したように、積層セラミックコンデンサの製造工程において、内部電極を含むセラミックシートをキャリアフィルムから剥離した後にキャリアフィルム１０１の表面１０１ａ上に残留している残留物である。

【0015】

例えば、内部電極を含むセラミックシートをキャリアフィルム１０１の表面１０１ａから剥離する前は、例えば、セラミックシートがキャリアフィルム１０１の表面１０１ａの全領域に均一に形成されている。この内部電極を含むセラミックシートをキャリアフィルム１０１から剥離する際、例えば、特開２００３－１３３１５９号に示すような剥離装置で行うと、残留した誘電体セラミック層１０２は、剥離された内部電極を含むセラミックシートの部分が凹部となり、かつ、その凹部において剥離されたセラミックシートの一部がキャリアフィルム１０１の表面１０１ａに残留したような梯子状（図１（ａ）及び（ｂ））の形状を有する。

【0016】

残留した誘電体セラミック層１０２の材料は、積層セラミックコンデンサの製造工程において、キャリアフィルム１０１の表面１０１ａに塗布する誘電体セラミックの材料に基づいて適宜構成される。残留した誘電体セラミック層１０２は、例えば、チタン酸バリウムを主成分とし、副成分としてのビスマス化合物とガラス化した還元防止剤を添加含有した材料によって構成される。残留した誘電体セラミック層１０２の厚さは、例えば、１μｍ以上３０μｍ以下である。

【0017】

なお、積層セラミックコンデンサの製造工程では、セラミックスシートはキャリアフィルム１０１の第１面１０１ａ（表面）に形成される。しかし、積層セラミックコンデンサの製造工程では、セラミックシートを剥離したキャリアフィルム１０１は、回収のため連続してコイル状に巻かれることが多い。従って、残留した誘電体セラミック層１０２が巻かれた次の周回部分のキャリアフィルム１０１の第２面１０１ｂ（裏面）に付着する場合もある。

【0018】

次に、本実施形態に係るキャリアフィルムの洗浄方法及び洗浄装置について説明する。
図２（ａ）は実施形態のキャリアフィルムの洗浄方法及び洗浄装置を説明するための平面概念図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ－Ａ’線による断面概念図である。
本実施形態に係るキャリアフィルムの洗浄方法は、図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、積層セラミックコンデンサの製造工程で使用された表面１０１ａに残留した誘電体セラミック層１０２を有するキャリアフィルム１０１を、例えば、当該表面１０１ａを上面になるようにステージ１０５に保持し、当該表面１０１ａに対してマイクロバブルを含む水２０１を噴射することで、残留した誘電体セラミック層１０２を当該表面１０１ａから剥離する。

【0019】

図３は、図２（ｂ）において、マイクロバブルを含む水２０１の噴射によって、残留した誘電体セラミック層１０２が表面１０１ａから剥離する様子を示す断面概念図である。
図２及び図３に示すように、誘電体セラミック層１０２が残留したキャリアフィルム１０１の表面１０１ａに対してマイクロバブルを含む水２０１を噴射することで、残留した誘電体セラミック層１０２を表面１０１ａから剥離Ｈする。

【0020】

この剥離Ｈのメカニズムは下記の通りと考えられる。
残留した誘電体セラミック層１０２にマイクロバブルを含む水２０１を噴射するが、水に含まれるマイクロバブルが、残留した誘電体セラミック層１０２にあたった時に噴射の勢いで破裂し、その破裂した応力と噴射の勢いの応力とが重なって、残留した誘電体セラミック層１０２の表面１０１ａからの剥離Ｈを引き起こしているためと考えられる。

【0021】

本実施形態に係るキャリアフィルムの洗浄方法は、上記のようにマイクロバブルを含む水２０１の噴射により、残留した誘電体セラミック層１０２を剥離することができるため、コスト及び環境負荷が低い。
なお、残留した誘電体セラミック層１０２の全体をキャリアフィルム１０１の表面１０１ａから剥離する場合は、マイクロバブルを含む水２０１を噴射するノズル３６（以下後述）を例えば表面方向γ（表面１０１ａに平行な方向γ、以下同じ）αに作業者が又は図示しない移動手段により移動させることで行うことができる。
なお、噴射とは、マイクロバブルを含む水を一定の方向へふき出させることをいう。

【0022】

上述の噴射は、揺動噴射であってもよい。ここでいう揺動噴射とは、噴流（マイクロバブルを含む水）の噴射方向が平面内で揺動するように時間的に変化する噴射のことをいう。この揺動噴射によって、ノズル３６から波状の噴流（マイクロバブルを含む水）が放射状に広がるように伝搬する。
このように、ノズル３６からの噴射を揺動噴射とすることで、残留した誘電体セラミック層１０２をより剥離しやすくなる。

【0023】

マイクロバブルを含む水２０１は表面１０１ａの垂直方向βから表面方向γに角度θを有して、表面１０１ａに対して噴射することが好ましい。
これにより、残留した誘電体セラミック層１０２に対して、上述した応力が角度θを有して斜めにかかるため、より残留した誘電体セラミック層１０２を表面１０１ａから剥離しやすくなる。
角度θは、例えば、３０°以上６０°以下である。

【0024】

ノズル３６は、誘電体セラミック層１０２が残留したキャリアフィルム１０１の第１面（表面）１０１ａ上にマイクロバブルを含む水２０１を噴射（より好ましくは揺動噴射、以下同じ）する。ノズル３６は、エジェクター方式のノズルであってもよく、キャビテーション方式のノズルであってもよく、旋回流方式のノズルであってもよい。
ノズル３６は、例えば、水供給装置３６Ａに連結されており、水供給装置３６Ａから供給された水がノズル３６を通ることで、マイクロバブルを含む水が生成され、当該ノズル３６から誘電体セラミック層１０２が残留したキャリアフィルム１０１の表面１０１ａ上に噴射される。

【0025】

ここでいう「水」は、工業用水が好適に用いられる。ここで、工業用水とは、産業用および上水用に凝集、濾過等の清澄化を行う原水となる河川水、湖沼、ダム湖、溜池等の表流水であり、浄水場にて簡易な凝集、濾過を施した後、事業者に供給される水も含まれるが、井水、湧水は含まれない。
なお、ここでいう「水」は、井水、湧水、純水などを用いてもよい。
「井水」とは、井戸水のことをいい、地下水のうち井戸内に浸み出て留まっている水、及び、注水されて井戸内に留まっている水、更には、真空ポンプの稼働によって井戸内から脱気管内に引き上げられている水をいう。
「湧水」とは、地下水のうち自然状態で地表に流出した水、もしくは地表水に流入する水をいう。
「純水」とは、電気抵抗率が０．１ＭΩ・ｃｍ以上の水をいう。

【0026】

ここでいう「マイクロバブル」は、直径が１ｍｍ以下の気泡を指すものである。
マイクロバブルは、水中で発生し、水にマイクロバブルが分散された状態で供給される。ノズル３６は、水中にマイクロバブルを発生させるために用いられ、マイクロバブルを構成する気体は特に限定されない。マイクロバブルを構成する気体としては、例えば、空気、窒素、炭酸ガス、希ガス等のような不活性な気体や、酸素、オゾン等の酸化性ガスを用いることができる。

【0027】

本実施形態に係るキャリアフィルムの洗浄装置は、図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、積層セラミックコンデンサの製造工程で使用された表面１０１ａに誘電体セラミック層１０２が残留したキャリアフィルム１０１を保持する保持部（ステージ１０５）と、保持されたキャリアフィルム１０１の表面１０１ａに対してマイクロバブルを含む水２０１を噴射することで、残留した誘電体セラミック層１０２を表面１０１ａから剥離するノズル３６とを備える。
本実施形態に係るキャリアフィルムの洗浄装置は、以上の構成で、マイクロバブルを含む水２０１の噴射により、残留した誘電体セラミック層１０２を剥離することができるため、コスト及び環境負荷が低い。

【0028】

残留した誘電体セラミック層１０２を表面１０１ａから剥離するにあたり、誘電体セラミック層１０２が残留したキャリアフィルム１０１の表面１０１ａに対してマイクロバブルを含む水のみを噴射することが好ましい。
これにより、コスト及び環境負荷を更に低くすることができる。

【0029】

次に、リサイクルするために行われるキャリアフィルムの洗浄を連続的に行う場合の洗浄装置について説明する。
図４は、キャリアフィルム１０１の洗浄を連続的に行う場合の実施形態に係るキャリアフィルムの洗浄装置を示す上面図である。
図５は、キャリアフィルム１０１の洗浄を連続的に行う場合の実施形態に係るキャリアフィルムの洗浄装置を示す断面図である。
なお、図４及び図５は模式的なものであり、構成要素は適宜簡略化及び省略されている。例えば、図４においては、後述する上蓋１４が省略されている。

【0030】

図４及び図５に示すように、本実施形態に係るキャリアフィルムの洗浄装置１（以下、単に「装置１」ともいう）においては、基台１１と、本体部１２と、サイドボックス１３が設けられている。基台１１、本体部１２及びサイドボックス１３の大部分は、例えばステンレス鋼により形成されている。基台１１は装置１の設置場所の床面に接触する台座である。本体部１２及びサイドボックス１３は基台１１上に配置されている。

【0031】

本体部１２の形状は略直方体の箱状であり、上蓋１４が設けられている。上蓋１４は開閉可能とされている。上蓋１４が閉じている場合、本体部１２の内部は概ね水密的な空間となる。本体部１２の前面１２ａには、入側スリット１６が設けられている。本体部１２の背面１２ｂには、出側スリット１７が設けられている。上蓋１４には、ガラス窓１８ａ及び１８ｂがはめ込まれている。サイドボックス１３は本体部１２の側方に配置されている。

【0032】

本体部１２の前面１２ａにおける入側スリット１６の下方には、入側コイルホルダー２１が取り付けられている。本体部１２の背面１２ｂにおける出側スリット１７の下方には、出側コイルホルダー２２が取り付けられている。入側コイルホルダー２１には、コイル状に巻かれた使用済みキャリアフィルム１００（上述した誘電体セラミック層１０２が残留したキャリアフィルム１０１がコイル状に巻かれたもの）が装着される。使用済みキャリアフィルム１００は装置１内を通過することにより誘電体セラミック層１０２が剥離し除去されて、キャリアフィルム１０１のみが出側コイルホルダー２２にコイル状に巻き取られる。以下、本体部１２内の説明において、「キャリアフィルム１０１」と記載したときは、誘電体セラミック層１０２を含まないキャリアフィルム１０１に加えて、誘電体セラミック層１０２が残留した使用済みキャリアフィルム１００を含むこともある。

【0033】

本体部１２の内部の下部には、水槽３１が設けられている。水槽３１の上面は開口している。水槽３１の上面には、フィルタ３２が配置されている。水槽３１は、誘電体セラミック層１０２を剥離するためにキャリアフィルム１０１に向けて噴射され、その後、フィルタ３２で剥離した誘電体セラミック層１０２が除かれたマイクロバブルを含む水を回収して保持する。フィルタ３２は、キャリアフィルム１０１に向けて噴射され、その後、剥離した誘電体セラミック層１０２及びマイクロバブルを含む水から当該誘電体セラミック層１０２を分離する。フィルタ３２は、例えば、ステンレス鋼からなり上面が開口した箱状の構造物であり、底面の一部はパンチングメタルによって構成されている。本体部１２の内部の上部には、複数のローラ３５ａ～３５ｅ、複数のノズル３６ａ～３６ｄ、複数のスクレイパー３７ａ～３７ｄが配置されている。

【0034】

複数のローラ３５ａ～３５ｅ（以下、総称して「ローラ３５」ともいう）は、入側コイルホルダー２１及び出側コイルホルダー２２と共に、キャリアフィルム１０１を入側コイルホルダー２１から出側コイルホルダー２２まで移動させる移動手段（移動部）を構成する。ローラ３５により、本体部１２内におけるキャリアフィルム１０１の移動経路Ｐが画定される。各ローラ３５の回転軸は本体部１２の左右方向（紙面方向）に延びている。

【0035】

ローラ３５の個数及び配置は任意であるが、以下に図４及び図５に示す例を説明する。
ローラ３５ａは入側スリット１６の背面側上方に配置されている。ローラ３５ｂはローラ３５ａの背面側下方に配置されている。ローラ３５ｃはローラ３５ｂの背面側上方に配置されている。ローラ３５ｄはローラ３５ｃの背面側に配置されている。ローラ３５ｅはローラ３５ｄの背面側上方であって、出側スリット１７の前面側上方に配置されている。

【0036】

キャリアフィルム１０１の移動経路Ｐについて説明する。キャリアフィルム１０１は、入側コイルホルダー２１から巻き出され、入側スリット１６内を通過し、ローラ３５ａの上側、ローラ３５ｂの下側、ローラ３５ｃの上側、ローラ３５ｄの下側、ローラ３５ｅの上側を通過し、出側スリット１７内を通過し、出側コイルホルダー２２に巻き取られる。なお、図４及び図５には、キャリアフィルム１０１を入側コイルから出側コイルに下出し下巻きで移動させる例を示しているが、これには限定されず、下出し上巻き、上出し下巻き、又は、上出し上巻きであってもよい。

【0037】

ノズル３６ａ～３６ｄには水が供給され、この水に空気を混入させることにより、マイクロバブルを含む水２０１を生成する。ノズル３６ａ～３６ｄは、キャリアフィルム１０１の第１面１０１ａ及び第２面１０１ｂに対してマイクロバブルを含む水２０１を噴射する。

【0038】

ノズル３６ａ～３６ｄ（以下、総称して「ノズル３６」ともいう）は、キャリアフィルム１０１の移動経路Ｐのうち、ローラ３５ｂとローラ３５ｃの間の部分の上下に配置されている。より具体的には、ノズル３６ａは移動経路Ｐの上側に配置されている。ノズル３６ｂは移動経路Ｐの下側に配置されている。ノズル３６ｃは移動経路Ｐの上側であって、ノズル３６ａの背面側に配置されている。ノズル３６ｄは移動経路Ｐの下側であって、ノズル３６ｂの背面側に配置されている。

【0039】

ノズル３６ａ、３６ｂ、３６ｃ及び３６ｄはそれぞれ複数本、例えば、それぞれ６本設けられており、キャリアフィルム１０１の幅方向、すなわち、本体部１２の左右方向に沿って例えば等間隔で配列されている。したがって、ノズル３６は全体で２４本設けられている。各ノズル３６から水２０１を吐出する方向は、鉛直方向から前方に向かって傾斜している。これにより、各ノズル３６は、マイクロバブルを含む水２０１を使用済みキャリアフィルム１００の移動方向の下流側から上流側に向けて噴射する。
これにより、使用済みキャリアフィルム１００の洗浄を連続的に行うキャリアフィルムの洗浄装置において、マイクロバブルを含む水を表面１０１ａの垂直方向から表面方向に角度を有して、表面１０１ａに対して噴射する実施態様を実現することができる。

【0040】

スクレイパー３７ａ～３７ｄ（以下、総称して「スクレイパー３７」ともいう）は、キャリアフィルム１０１の移動経路Ｐのうち、ローラ３５ｄとローラ３５ｅの間の部分の上下に配置されている。より具体的には、スクレイパー３７ａ、３７ｂ、３７ｃ及び３７ｄは、本体部１２の前面１２ａから背面１２ｂに向かってこの順に配列されている。スクレイパー３７ａ及び３７ｃのエッジは上方に向いており、スクレイパー３７ｂ及び３７ｄのエッジは下方に向いている。

【0041】

これにより、キャリアフィルム１０１はスクレイパー３７ａ及び３７ｃの上側、並びに、スクレイパー３７ｂ及び３７ｄの下側を、スクレイパー３７に接触しながら通過する。換言すれば、スクレイパー３７ａ及び３７ｃはそのエッジがキャリアフィルム１０１の第２面１０１ｂに接触しつつ、キャリアフィルム１０１に対して相対的に移動する。スクレイパー３７ｂ及び３７ｄはそのエッジがキャリアフィルム１０１の第１面１０１ａに接触しつつ、キャリアフィルム１０１に対して相対的に移動する。スクレイパー３７により、キャリアフィルム１０１の第１面１０１ａ及び第２面１０１ｂ（両面）に残存したマイクロバブルを含む水を除去する水除去手段が構成される。

【0042】

上蓋１４のガラス窓１８ａ及び１８ｂは、移動経路Ｐの直上に配置されている。これにより、作業者は、ガラス窓１８ａ及び１８ｂを介してキャリアフィルム１０１の洗浄処理を視認でき、キャリアフィルム１０１から誘電体セラミック層１０２が除去されているかどうか、及び、キャリアフィルム１０１からマイクロバブルを含む水が除去されているかどうかを確認できる。

【0043】

サイドボックス１３内には、ポンプ３８、モータ３９及び制御装置４０が設けられている。ポンプ３８の入側は水槽３１に接続されている。ポンプ３８の出側は各ノズル３６に接続されている。ポンプ３８は、水槽３１から水２００が供給され、これを加圧してノズル３６に供給する。水槽３１、ポンプ３８及びフィルタ３２により、キャリアフィルム１０１に噴射されたマイクロバブルを含む水２０１を回収した水２００をノズル３６に再び供給する循環手段を構成する。

【0044】

モータ３９は、ギア等の機械的手段を介して出側コイルホルダー２２、入側コイルホルダー２１、及び、少なくとも１つのローラ３５に連結されており、これらを回転させる。モータ３９に連結されていないローラ３５は、従動ローラである。モータ３９、並びに、モータ３９に連結されて回転する出側コイルホルダー２２、入側コイルホルダー２１及びローラ３５により、キャリアフィルム１０１の移動部が構成されている。

【0045】

制御装置４０は、ポンプ３８及びモータ３９の駆動を制御する。制御装置４０には、作業者が操作できる制御盤が設けられていてもよい。
装置１には、外部から水２００が供給される給水管（図示せず）が設けられている。給水管は、ポンプ３８の入側又は水槽３１に接続されている。これにより、装置１に水２００を供給できる。

【0046】

次に、上述の装置１の動作、すなわち、キャリアフィルムの洗浄を連続的に行う場合の実施形態に係るキャリアフィルムの洗浄方法について説明する。
図６は、キャリアフィルムの洗浄を連続的に行う場合の実施形態に係るキャリアフィルムの洗浄方法を示す断面概念図である。

【0047】

図４及び図５に示すように、コイル状に巻かれた使用済みキャリアフィルム１００を装置１の入側コイルホルダー２１に装着する。そして、本体部１２の上蓋１４を開き、使用済みキャリアフィルム１００をコイルから巻き出して移動経路Ｐを通し、先端を出側コイルホルダー２２に固定する。その後、上蓋１４を閉じる。また、給水管を介して水槽３１内に水２００を溜めておく。又は、給水管をポンプ３８に接続してもよい。水２００は、例えば、工業用水である。

【0048】

次に、ポンプ３８を作動させる。これにより、水槽３１内又は外部から供給された水２００が加圧されてノズル３６に供給され、ノズル３６内で空気と混合されて、マイクロバブルを含む水２０１が生成され、使用済みキャリアフィルム１００に向けて噴射される。また、モータ３９を作動させる。これにより、出側コイルホルダー２２等が回転し、使用済みフィルム１００が入側コイルから出側コイルに向かって移動経路Ｐに沿って移動する。

【0049】

図６に示すように、ノズル３６ａ及び３６ｃから噴射されたマイクロバブルを含む水２０１はキャリアフィルム１０１の第１面１０１ａに到達し、ノズル３６ｂ及び３６ｄから噴射されたマイクロバブルを含む水２０１はキャリアフィルム１０１の第２面１０１ｂに到達する。マイクロバブルを含む水２０１はキャリアフィルム１０１の移動方向の下流側から上流側に向けて噴射される。

【0050】

例えば、ノズル３６ａから噴射されたマイクロバブルを含む水２０１とノズル３６ｂから噴射されたマイクロバブルを含む水２０１は、それぞれキャリアフィルム１０１における部分１０１ｃの第１面１０１ａ及び第２面１０１ｂに到達し、部分１０１ｃを両側から押圧する。また、ノズル３６ｃから噴射された水２０１とノズル３６ｄから噴射されたマイクロバブルを含む水２０１はそれぞれキャリアフィルム１０１における部分１０１ｄの第１面１０１ａ及び第２面１０１ｂに到達し、部分１０１ｄを両側から押圧する。部分１０１ｄは部分１０１ｃよりも下流側、すなわち、本体部１２の背面１２ｂ側に位置する。

【0051】

マイクロバブルを含む水２０１がキャリアフィルム１０１と誘電体セラミック層１０２の界面に進入すると、誘電体セラミック層１０２がキャリアフィルム１０１から剥離する。これにより、使用済みキャリアフィルム１００から誘電体セラミック層１０２が除去されて、キャリアフィルム１０１が残る。

【0052】

マイクロバブルを含む水２０１がキャリアフィルム１０１に衝突すると、マイクロバブルの大部分が消失し、通常の水に戻る。水は誘電体セラミック層１０２の破片と共にキャリアフィルム１０１から落下し、フィルタ３２に到達する。剥離された誘電体セラミック層１０２はフィルタ３２上に残留し、水はフィルタ３２のパンチングメタルの孔を通過して水槽３１内に落下する。これにより、水と誘電体セラミック層１０２とが分離される。このようにして、水は、（水槽３１（水２００）→ポンプ３８→ノズル３６→キャリアフィルム１０１→フィルタ３２→水槽３１）の経路で循環し、再利用される。

【0053】

図４及び図５に示すように、キャリアフィルム１０１は水が付着した状態で、ローラ３５ｃ及び３５ｄを通過し、スクレイパー３７ａ、３７ｂ、３７ｃ及び３７ｄのエッジに順次接触する。スクレイパー３７ａ及び３７ｃにより、キャリアフィルム１０１の第２面１０１ｂから水が除去され、スクレイパー３７ｂ及び３７ｄにより、キャリアフィルム１０１の第１面１０１ａから水が除去される。このように、スクレイパー３７をキャリアフィルム１０１の第１面１０１ａ及び第２面１０１ｂに接触させつつ、スクレイパー３７をキャリアフィルム１０１に対して相対的に移動させることにより、キャリアフィルム１０１の第１面１０１ａ及び第２面１０１ｂから水を除去する。

【0054】

水が除去されたキャリアフィルム１０１は、出側スリット１７内を通過して本体部１２から排出され、出側コイルホルダー２２にコイル状に巻き取られる。このようにして、キャリアフィルム１０１が洗浄される。

【0055】

＜効果＞
本実施形態によれば、マイクロバブルを含む水２０１を使用済みキャリアフィルム１００に向けて噴射することにより、使用済みキャリアフィルム１００から誘電体セラミック層１０２を効果的に除去することができる。この結果、リサイクルするために行われるキャリアフィルムの洗浄において、コスト及び環境負荷が低減できる。

【0056】

また、ノズル３６をキャリアフィルム１０１の上下両側に配置することにより、マイクロバブルを含む水２０１をキャリアフィルム１０１の第１面１０１ａ及び第２面１０１ｂの双方に衝突させることができる。これにより、キャリアフィルム１０１の第１面１０１ａ及び第２面１０１ｂのうち、どちらに誘電体セラミック層１０２が残留していても、誘電体セラミック層１０２を除去することができる。この結果、コイル状の使用済みフィルム１００を入側コイルホルダー２１の装着する際に、誘電体セラミック層１０２が残留している面が第１面１０１ａであるか第２面１０１ｂであるかを確認する必要がない。

【0057】

更に、マイクロバブルを含む水２０１はキャリアフィルム１０１の同じ部分に表裏両側から衝突する。これにより、水圧によるキャリアフィルム１０１の変形を抑制して誘電体セラミック層１０２を効率的に除去できる。

【0058】

更に、また、本実施形態においては、キャリアフィルム１０１を移動経路Ｐに沿って移動させつつ、ノズル３６によってマイクロバブルを含む水２０１をキャリアフィルム１０１の移動方向の下流側から上流側に向けて噴射する。これにより、マイクロバブルを含む水２０１をキャリアフィルム１０１の移動方向の上流側から下流側に向けて噴射する場合と比較して、マイクロバブルを含む水２０１をキャリアフィルム１０１と誘電体セラミック層１０２の界面に到達させやすくなり、キャリアフィルム１０１から誘電体セラミック層１０２を除去する効果が増加する。

【0059】

更にまた、キャリアフィルム１０１がローラ３５ｂからローラ３５ｃに向かって斜め上方に上昇しているときに、ノズル３６によってマイクロバブルを含む水２０１を移動経路Ｐの上流側に向かって噴射している。これにより、キャリアフィルム１０１に衝突しマイクロバブルが失われた後の水が、噴射の勢い及び重力によってキャリアフィルム１０１上を移動経路Ｐの上流側に向かって流れ、ローラ３５ｂ付近でキャリアフィルム１０１から落下する。この結果、水がキャリアフィルム１０１に付着したままスクレイパー３７まで移動することを抑制できる。

【0060】

更にまた、本実施形態においては、水として工業用水を用いて、ノズル３６によりマイクロバブルを含む水２０１を生成している。また、水槽３１、ポンプ２８及びフィルタ３２を含む循環手段により、水２００を再利用している。このため、キャリアフィルム１０１の洗浄に要するコストを更に低くすることができ、かつ、環境負荷も低い。また、工業用水はマイナスイオンを含んでいる場合があるため、誘電体セラミック層１０２中のプラスイオンを電気的に中和することができる場合がある。これによっても、キャリアフィルム１０１から誘電体セラミック層１０２を除去する効果が増加する。

【0061】

なお、マイクロバブルを含まない水を使用済みフィルム１００に向けて噴射して、キャリアフィルム１０１の洗浄処理を行うことも考えられる。しかしながら、この方法では、キャリアフィルム１０１から誘電体セラミック層１０２を効率よく剥離することができない。水の噴射圧力を高めることも考えられるが、そうすると装置が大がかりになってコストが増加すると共に、水圧によってキャリアフィルム１０１が損傷を受ける可能性がある。

【0062】

また、使用済みキャリアフィルム１００をエッジナイフでこすることにより、キャリアフィルム１０１から誘電体セラミック層１０２を除去することも考えられる。しかしながら、この場合は、誘電体セラミック層コール希釈水に浸漬しておく必要がある。このため、処理コストが増加すると共に、使用済みのアルコール希釈水の廃棄が必要となり、環境負荷が増加する。

【0063】

これに対して、本実施形態によれば、コスト及び環境負荷が低いキャリアフィルムの洗浄方法及び洗浄装置を実現できる。

【0064】

前述の実施形態は、本発明を具現化した例であり、本発明はこの実施形態には限定されない。例えば、前述の実施形態において、いくつかの構成要素又は工程を追加、削除又は変更したものも本発明に含まれる。

【0065】

本発明は、以下の態様を含む。

【0066】

（付記１）
誘電体セラミック層が残留したキャリアフィルムの表面に対してマイクロバブルを含む水を噴射することで、前記残留した誘電体セラミック層を前記表面から剥離するキャリアフィルムの洗浄方法。

【0067】

（付記２）
前記マイクロバブルを含む水は前記表面の垂直方向から表面方向に角度を有して、前記表面に対して噴射する付記１に記載のキャリアフィルムの洗浄方法。

【0068】

（付記３）
誘電体セラミック層が残留したキャリアフィルムを保持する保持部と、前記保持されたキャリアフィルムの表面に対してマイクロバブルを含む水を噴射することで、前記残留した誘電体セラミック層を前記表面から剥離するノズルと、を備えるキャリアフィルムの洗浄装置。

【0069】

（付記４）
前記キャリアフィルムを移動させる移動部をさらに有し、前記ノズルは、前記マイクロバブルを含む水を前記キャリアフィルムの移動方向の下流側から上流側に向けて噴射する付記３に記載のキャリアフィルムの洗浄装置。

【0070】

（付記５）
前記キャリアフィルムの移動方向において前記ノズルの下流側に配置され、前記キャリアフィルムの表面に接触し、かつ、前記キャリアフィルムに対して相対的に移動するスクレイパーをさらに備える付記４に記載のキャリアフィルムの洗浄装置。

【符号の説明】

【0071】

１ 洗浄装置
１１ 基台
１２ 本体部
１２ａ 前面
１２ｂ 背面
１３ サイドボックス
１４ 上蓋
１６ 入側スリット
１７ 出側スリット
１８ａ、１８ｂ ガラス窓
２１ 入側コイルホルダー
２２ 出側コイルホルダー
２８ ポンプ
３１ 水槽
３２ フィルタ
３５、３５ａ～３５ｅ ローラ
３６、３６ａ～３６ｄ ノズル
３７、３７ａ～３７ｄ スクレイパー
３８ ポンプ
３９ モータ
４０ 制御装置
１００ 使用済みキャリアフィルム
１０１ キャリアフィルム
１０１ａ 第１面
１０１ｂ 第２面
１０１ｃ、１０１ｄ 部分
１０２ 誘電体セラミック層
２００ 水
２０１ マイクロバブルを含む水
Ｐ 移動経路

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】