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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024143745
(43)【公開日】2024-10-11
(54)【発明の名称】ロボット
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20241003BHJP
B25J 9/06 20060101ALI20241003BHJP
B25J 9/10 20060101ALI20241003BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
B25J9/06 D
B25J9/10 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】9
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023056568
(22)【出願日】2023-03-30
(71)【出願人】
【識別番号】000000974
【氏名又は名称】川崎重工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100104433
【弁理士】
【氏名又は名称】宮園 博一
(74)【代理人】
【識別番号】100202728
【弁理士】
【氏名又は名称】三森 智裕
(72)【発明者】
【氏名】芝田 武士
(72)【発明者】
【氏名】室井 祐也
【テーマコード（参考）】
3C707
5F131
【Ｆターム（参考）】
3C707AS01
3C707AS25
3C707CT04
3C707CV07
3C707CW07
3C707CX01
3C707DS05
3C707HS27
3C707HT21
3C707LT11
3C707MS05
3C707NS12
5F131AA03
5F131AA32
5F131AA33
5F131BA00
5F131CA38
5F131CA39
5F131DA02
5F131DA22
5F131DA42
5F131DB02
5F131DB12
5F131DB22
5F131DB52
5F131DB62
5F131DB82
(57)【要約】
【課題】ワークが壁部に干渉することを回避して、ワークの搬送を円滑に行うことが可能なロボットを提供する。
【解決手段】このロボット２３は、水平多関節型のロボットアーム２３ｂと、ロボットアーム２３ｂの先端に配置されるとともに、矩形板状の基板Ｓを保持するハンド２３ｃと、複数の載置部３０の間で基板Ｓを搬送するように、ハンド２３ｃおよびロボットアーム２３ｂの動作を制御する制御部２３ｄと、を備える。ハンド２３ｃおよびロボットアーム２３ｂは、壁部２１ａで囲まれた搬送空間２０ａに配置されており、制御部２３ｄは、基板Ｓが壁部２１ａに干渉しないように、ハンド２３ｃの中央から基板Ｓの端面までの距離が不均等な状態で基板Ｓを搬送するように、ハンド２３ｃおよびロボットアーム２３ｂの動作を制御する。
【選択図】図５
【解決手段】このロボット２３は、水平多関節型のロボットアーム２３ｂと、ロボットアーム２３ｂの先端に配置されるとともに、矩形板状の基板Ｓを保持するハンド２３ｃと、複数の載置部３０の間で基板Ｓを搬送するように、ハンド２３ｃおよびロボットアーム２３ｂの動作を制御する制御部２３ｄと、を備える。ハンド２３ｃおよびロボットアーム２３ｂは、壁部２１ａで囲まれた搬送空間２０ａに配置されており、制御部２３ｄは、基板Ｓが壁部２１ａに干渉しないように、ハンド２３ｃの中央から基板Ｓの端面までの距離が不均等な状態で基板Ｓを搬送するように、ハンド２３ｃおよびロボットアーム２３ｂの動作を制御する。
【選択図】図５
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基台と、
前記基台に接続される水平多関節型のロボットアームと、
前記ロボットアームの先端に配置されるとともに、矩形板状のワークを保持するハンドと、
複数の載置部の間で前記ワークを搬送するように、前記ハンドおよび前記ロボットアームの動作を制御する制御部と、を備え、
前記ハンドおよび前記ロボットアームは、壁部で囲まれた搬送空間に配置されており、
前記制御部は、前記ワークが前記壁部に干渉しないように、前記ハンドの中央から前記ワークの端面までの距離が不均等な状態で前記ワークを搬送するように、前記ハンドおよび前記ロボットアームの動作を制御する、ロボット。
前記基台に接続される水平多関節型のロボットアームと、
前記ロボットアームの先端に配置されるとともに、矩形板状のワークを保持するハンドと、
複数の載置部の間で前記ワークを搬送するように、前記ハンドおよび前記ロボットアームの動作を制御する制御部と、を備え、
前記ハンドおよび前記ロボットアームは、壁部で囲まれた搬送空間に配置されており、
前記制御部は、前記ワークが前記壁部に干渉しないように、前記ハンドの中央から前記ワークの端面までの距離が不均等な状態で前記ワークを搬送するように、前記ハンドおよび前記ロボットアームの動作を制御する、ロボット。
【請求項2】
前記ハンドは、第１ハンドと、前記第１ハンドの上方に配置され、前記第１ハンドとは別個に動作する第２ハンドとを含み、
前記制御部は、前記第１ハンドおよび前記第２ハンドの一方としての進入ハンドが前記載置部に進入する場合、前記第１ハンドおよび前記第２ハンドの他方としての逃げハンドが前記載置部から逃げるように、前記ハンドの動作を制御し、
前記制御部は、前記逃げハンドが保持する前記ワークが前記壁部に干渉しないように、前記進入ハンドの中央に対して前記逃げハンドが前記載置部から逃げる方向側に所定の距離だけ前記ワークをずらすことにより前記ハンドの中央から前記ワークの端面までの距離が不均等な状態で前記ワークを搬送するように、前記ハンドおよび前記ロボットアームの動作を制御する、請求項１に記載のロボット。
前記制御部は、前記第１ハンドおよび前記第２ハンドの一方としての進入ハンドが前記載置部に進入する場合、前記第１ハンドおよび前記第２ハンドの他方としての逃げハンドが前記載置部から逃げるように、前記ハンドの動作を制御し、
前記制御部は、前記逃げハンドが保持する前記ワークが前記壁部に干渉しないように、前記進入ハンドの中央に対して前記逃げハンドが前記載置部から逃げる方向側に所定の距離だけ前記ワークをずらすことにより前記ハンドの中央から前記ワークの端面までの距離が不均等な状態で前記ワークを搬送するように、前記ハンドおよび前記ロボットアームの動作を制御する、請求項１に記載のロボット。
【請求項3】
前記ロボットアームは、複数のリンクと、複数の関節とを含み、
前記複数の関節の各々は、モータと、ギアを含む減速機とを有する、請求項１に記載のロボット。
前記複数の関節の各々は、モータと、ギアを含む減速機とを有する、請求項１に記載のロボット。
【請求項4】
前記複数のリンクは、前記基台に接続される第１リンクと、前記第１リンクに接続されるとともに前記ハンドに接続される第２リンクとを有し、
前記複数の関節は、前記第１リンクを駆動する第１関節と、前記第２リンクを駆動する第２関節と、前記ハンドを駆動する第３関節とを有し、
前記第１関節および前記第２関節の各々の前記モータおよび前記減速機は、前記第１リンク内に配置されており、
前記第３関節の前記モータおよび前記減速機は、前記第２リンク内に配置されている、請求項３に記載のロボット。
前記複数の関節は、前記第１リンクを駆動する第１関節と、前記第２リンクを駆動する第２関節と、前記ハンドを駆動する第３関節とを有し、
前記第１関節および前記第２関節の各々の前記モータおよび前記減速機は、前記第１リンク内に配置されており、
前記第３関節の前記モータおよび前記減速機は、前記第２リンク内に配置されている、請求項３に記載のロボット。
【請求項5】
前記第１関節の前記モータは、前記第１リンク内において前記第１リンクが延びる方向に沿った姿勢で基端側を向いて配置されており、
前記第２関節の前記モータは、前記第１リンク内において前記第１リンクが延びる方向に沿った姿勢で先端側を向いて配置されており、
前記第３関節の前記モータは、前記第２リンク内において前記第２リンクが延びる方向に沿った姿勢で先端側を向いて配置されている、請求項４に記載のロボット。
前記第２関節の前記モータは、前記第１リンク内において前記第１リンクが延びる方向に沿った姿勢で先端側を向いて配置されており、
前記第３関節の前記モータは、前記第２リンク内において前記第２リンクが延びる方向に沿った姿勢で先端側を向いて配置されている、請求項４に記載のロボット。
【請求項6】
前記ロボットアームは、複数のリンクを含み、
前記複数のリンクは、前記基台に接続される第１リンクと、前記第１リンクに接続されるとともに前記ハンドに接続される第２リンクとを有し、
前記第１リンクおよび前記第２リンクの各々は、前記ハンドが前記壁部に干渉しないように、互いに異なる軸間距離を有する、請求項１に記載のロボット。
前記複数のリンクは、前記基台に接続される第１リンクと、前記第１リンクに接続されるとともに前記ハンドに接続される第２リンクとを有し、
前記第１リンクおよび前記第２リンクの各々は、前記ハンドが前記壁部に干渉しないように、互いに異なる軸間距離を有する、請求項１に記載のロボット。
【請求項7】
前記第２リンクは、前記ハンドが前記壁部に干渉しないように、前記第１リンクよりも大きい軸間距離を有する、請求項６に記載のロボット。
【請求項8】
前記基台は、前記搬送空間の中心線からずれた位置に配置されている、請求項１に記載のロボット。
【請求項9】
前記ハンドは、第１ハンドと、前記第１ハンドの上方に配置され、前記第１ハンドとは別個に動作する第２ハンドとを含む、請求項１に記載のロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
この開示は、ロボットに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、ロボットアームを備えるロボットが知られている。特許文献１には、ガラス基板を搬送する基板搬送ロボットが開示されている。この基板搬送ロボットは、ハンドが先端に設けられる伸縮アーム部と、伸縮アーム部を走行軸に沿って走行させる走行台車とを備えている。この基板搬送ロボットは、伸縮アーム部の伸縮動作、および、走行台車の走行軸動作などの各種の動作を行うことにより、ガラス基板をカセットから所定の搬送箇所に搬送する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１４－１０３１５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記特許文献１に記載されたような基板搬送ロボットでは、ロボットアームおよびハンドが壁部に囲まれた空間に配置されている場合がある。この場合、ロボットアームおよびハンドによるガラス基板の搬送中に、ガラス基板が壁部に干渉すると、ガラス基板の搬送を円滑に行うことができないという問題点がある。
【0005】
この開示は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この開示の１つの目的は、ワークが壁部に干渉することを回避して、ワークの搬送を円滑に行うことが可能なロボットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
この開示の一の局面によるロボットは、基台と、基台に接続される水平多関節型のロボットアームと、ロボットアームの先端に配置されるとともに、矩形板状のワークを保持するハンドと、複数の載置部の間でワークを搬送するように、ハンドおよびロボットアームの動作を制御する制御部と、を備え、ハンドおよびロボットアームは、壁部で囲まれた搬送空間に配置されており、制御部は、ワークが壁部に干渉しないように、ハンドの中央からワークの端面までの距離が不均等な状態でワークを搬送するように、ハンドおよびロボットアームの動作を制御する。
【0007】
この開示の一の局面によるロボットでは、上記のように、制御部は、ワークが壁部に干渉しないように、ハンドの中央からワークの端面までの距離が不均等な状態でワークを搬送するように、ハンドおよびロボットアームの動作を制御する。これにより、ハンドの中央にワークを配置した状態でワークを搬送するとワークが壁部に干渉する場合にも、ハンドの中央からワークの端面までの距離が不均等な状態でワークを搬送することにより、ワークが壁部に干渉することを回避することができる。その結果、ワークの搬送を円滑に行うことができる。
【発明の効果】
【0008】
本開示によれば、ワークが壁部に干渉することを回避して、ワークの搬送を円滑に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】一実施形態による基板処理システムの構成を示す模式図である。
【図2】一実施形態によるロボットを示す模式的な側面図である。
【図3】一実施形態によるロボットを示す模式的な平面図である。
【図4】ハンドの中央に基板を配置した状態で基板を搬送する例を説明するための模式図である。
【図5】一実施形態によるロボットの基板の搬送を説明するための模式図である。
【図6】アームの軸間距離が等しい例を説明するための模式図である。
【図7】一実施形態によるアームの軸間距離を説明するための模式図である。
【図8】一実施形態の変形例による基板処理システムの構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、本開示を具体化した本開示の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、本願明細書において、上下方向をＺ方向と呼ぶ。上方側をＺ１側と呼び、下方側をＺ２側と呼ぶ。Ｚ方向に直交する方向をＸ方向と呼ぶ。Ｘ方向の一方側をＸ１側と呼び、他方側をＸ２側と呼ぶ。Ｚ方向およびＸ方向に直交する方向をＹ方向と呼ぶ。Ｙ方向の一方側をＹ１側と呼び、他方側をＹ２側と呼ぶ。
【0011】
（基板処理システムの構成）
図１に示すように、基板処理システム１００は、矩形板状の基板Ｓを搬送するとともに、搬送した基板Ｓに対して所定の処理を行うシステムである。基板処理システム１００は、基板処理装置１０と、基板搬送装置２０とを備えている。基板Ｓは、ワークの一例である。
図１に示すように、基板処理システム１００は、矩形板状の基板Ｓを搬送するとともに、搬送した基板Ｓに対して所定の処理を行うシステムである。基板処理システム１００は、基板処理装置１０と、基板搬送装置２０とを備えている。基板Ｓは、ワークの一例である。
【0012】
基板処理装置１０は、予め雰囲気が調整された処理空間１０ａ内において基板Ｓに対して所定の処理を行う装置である。処理空間１０ａは、たとえば、所定のクリーン度の雰囲気に予め調整される。所定のクリーン度として、たとえば、国際標準化機構（ＩＳＯ：Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｏｒｇａｎｉｚａｔｉｏｎ ｆｏｒ Ｓｔａｎｄａｒｄｉｚａｔｉｏｎ）に規定されるＣＬＡＳＳ１が採用されてもよい。
【0013】
基板処理装置１０は、処理空間１０ａを有する筐体１１と、複数の載置部とを含んでいる。複数の載置部の各々は、筐体１１内の処理空間１０ａに配置されている。また、複数の載置部の各々には、基板搬送装置２０の後述するロボット２３により基板Ｓが搬送されて載置される。そして、載置部の各々に載置された後、処理空間１０ａ内において基板Ｓに対して所定の処理が行われる。
【0014】
基板搬送装置２０は、予め雰囲気が調整された搬送空間２０ａを経由して基板Ｓを搬送する装置である。搬送空間２０ａは、たとえば、所定のクリーン度の雰囲気に予め調整される。所定のクリーン度として、たとえば、国際標準化機構に規定されるＣＬＡＳＳ１が採用されてもよい。基板搬送装置２０は、フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ：Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｆｒｏｎｔ Ｅｎｄ Ｍｏｄｕｌｅ）とも呼ばれる。基板搬送装置２０の後述する筐体２１のＹ１側に基板処理装置１０が配置され、筐体２１のＹ２側に複数の載置部３０ａ、３０ｂおよび３０ｃが配置される。複数の載置部３０ａ、３０ｂおよび３０ｃの各々は、基板収容容器である。基板収容容器は、複数の基板Ｓを収容する。
【0015】
基板搬送装置２０は、搬送空間２０ａを有する筐体２１と、複数の支持部２２と、ロボット２３と、載置部３０ｄとを含んでいる。なお、基板搬送装置２０には、基台２３ａを走行駆動するための走行手段は設けられていない。
【0016】
筐体２１は、搬送空間２０ａを形成する壁部２１ａを有している。壁部２１ａは、Ｚ方向に沿って延びる側壁部であり、ロボット２３および載置部３０ｄの各々の四方を囲んでいる。すなわち、壁部２１ａは、Ｙ１側の壁部２１ａａと、Ｙ２側の壁部２１ａｂと、Ｘ１側の壁部２１ａｃと、Ｘ２側の壁部２１ａｄとを有している。壁部２１ａは、平面視において矩形形状を有している。
【0017】
基板処理装置１０に面する壁部２１ａａには、処理空間１０ａと搬送空間２０ａとの間で基板Ｓを搬送するための複数の開口部２１ａｅが形成されている。複数の開口部２１ａｅの各々は、処理空間１０ａと搬送空間２０ａとを連通しており、基板Ｓを挿抜することが可能な大きさを有している。また、複数の開口部２１ａｅの各々は、基板処理装置１０の複数の載置部の各々に対応して設けられている。
【0018】
複数の載置部３０ａ、３０ｂおよび３０ｃの各々に面する壁部２１ａｂには、基板収容容器内の空間と搬送空間２０ａとの間で基板Ｓを搬送するための複数の開口部２１ａｆが形成されている。複数の開口部２１ａｆの各々は、基板収容容器内の空間と搬送空間２０ａとを連通しており、基板Ｓを挿抜することが可能な大きさを有している。また、複数の開口部２１ａｆの各々は、複数の載置部３０ａ、３０ｂおよび３０ｃの各々に対応して設けられている。
【0019】
支持部２２は、基板収容容器を下方から支持する台である。すなわち、複数の支持部２２の各々は、複数の載置部３０ａ、３０ｂおよび３０ｃの各々を下方から支持する。複数の支持部２２の各々は、３つの開口部２１ａｆの各々に対応して設けられている。また、複数の支持部２２と、複数の載置部３０ａ、３０ｂおよび３０ｃとの各々は、筐体２１外に配置されている。
【0020】
また、ロボット２３および載置部３０ｄの各々は、筐体２１内の搬送空間２０ａに配置されている。具体的には、ロボット２３および載置部３０ｄの各々は、筐体２１を構成する壁部２１ａに囲まれて配置されている。また、載置部３０ｄには、ロボット２３により基板Ｓが搬送されて載置される。載置部３０ｄは、載置された基板Ｓの向きを揃えるなどの基板Ｓのアライメントを行うアライメント装置である。なお、以下では、載置部３０ａ、３０ｂ、３０ｃおよび３０ｄと、基板処理装置１０の複数の載置部とを総称して、載置部３０と呼ぶことがある。
【0021】
ロボット２３は、搬送空間２０ａを経由して複数の載置部３０の間で基板Ｓを搬送する基板搬送ロボットである。たとえば、ロボット２３は、基板収容容器としての複数の載置部３０ａ、３０ｂおよび３０ｃのいずれかから基板Ｓを取得し、取得した基板Ｓをアライメント装置としての載置部３０ｄに搬送する。また、たとえば、ロボット２３は、載置部３０ｄからアライメントされた基板Ｓを取得し、取得した基板Ｓを、基板処理装置１０の複数の載置部のいずれかに搬送する。
【0022】
【0023】
基台２３ａは、ロボットアーム２３ｂを支持する台である。基台２３ａは、床面などの設置面上に設置されている。また、基台２３ａは、搬送空間２０ａの中心線Ｃからずれた位置に配置されている。基台２３ａは、Ｙ１側の壁部２１ａａに寄せて、壁部２１ａａの近傍に配置されている。また、基台２３ａには、ロボットアーム２３ｂを昇降する昇降機構２３ａａが配置されている。昇降機構２３ａａは、駆動源としてモータを含み、基台２３ａに対してロボットアーム２３ｂをＺ方向に昇降する。
【0024】
ロボットアーム２３ｂは、水平多関節型である。ロボットアーム２３ｂの基端は、基台２３ａに回転可能に接続されている。なお、ロボットアーム２３ｂの詳細な構成については、後述する。
【0025】
ハンド２３ｃは、矩形形状を有する基板Ｓを保持する。ハンド２３ｃは、ロボットアーム２３ｂの先端に配置されている。また、ハンド２３ｃは、第１ハンド２３ｃａと、第１ハンド２３ｃａの上方に配置され、第１ハンド２３ｃａとは別個に動作する第２ハンド２３ｃｂとを含んでいる。第１ハンド２３ｃａは、基板Ｓを下方から支持する支持部２３ｃｃを有している。同様に、第２ハンド２３ｃｂは、基板Ｓを下方から支持する支持部２３ｃｄを有している。支持部２３ｃｃおよび２３ｃｄの各々は、基板Ｓを下方から支持する薄板状の支持板である。支持部２３ｃｃおよび２３ｃｄの各々に、１つずつ基板Ｓを支持可能である。
【0026】
制御部２３ｄは、プログラムを実行するＣＰＵなどのプロセッサと、プログラムが格納されたメモリなどの記憶部とを含み、ロボット２３の動作を制御する。具体的には、制御部２３ｄは、基台２３ａが水平方向に移動することなく、搬送空間２０ａを経由して複数の載置部３０の間で基板Ｓを搬送するように、ハンド２３ｃおよびロボットアーム２３ｂの動作を制御する。より具体的には、制御部２３ｄは、ロボットアーム２３ｂの後述する複数の関節２３ｂｃ、２３ｂｄおよび２３ｂｅを制御することにより、ハンド２３ｃおよびロボットアーム２３ｂの動作を制御する。
【0027】
また、図５に示すように、制御部２３ｄは、第１ハンド２３ｃａおよび第２ハンド２３ｃｂの一方としての進入ハンドが載置部３０に進入する場合、第１ハンド２３ｃａおよび第２ハンド２３ｃｂの他方としての逃げハンドが載置部３０から逃げるように、ハンド２３ｃの動作を制御する。この際、制御部２３ｄは、進入ハンドに対して所定の角度θだけ逃げハンドを回転させることにより、進入ハンドが進入する載置部３０から逃げハンドを逃げさせる。なお、図５では、第２ハンド２３ｃｂが進入ハンドであり、第１ハンド２３ｃａが逃げハンドである例を示しているが、第１ハンド２３ｃａが進入ハンドであり、第２ハンドが２３ｃｂが逃げハンドである場合も同様の動作である。また、進入ハンドが載置部３０ｄに進入する例を示しているが、進入ハンドが載置部３０ｄ以外の他の載置部３０に進入する場合も同様の動作である。
【0028】
【0029】
複数のリンク２３ｂａおよび２３ｂｂは、第１リンク２３ｂａと、第２リンク２３ｂｂとを有している。第１リンク２３ｂａの基端側は、Ｚ方向に延びる回転軸線Ａ１周りに回転可能に基台２３ａに接続されている。第１リンク２３ｂａは、３６０度の範囲で回転するのではなく、１８０度の範囲で回転軸線Ａ１周りに回転する。また、第１リンク２３ｂａの先端側には、Ｚ方向に延びる回転軸線Ａ２周りに回転可能に第２リンク２３ｂｂの基端側が接続されている。また、第２リンク２３ｂｂの先端側には、Ｚ方向に延びる回転軸線Ａ３周りに回転可能にハンド２３ｃが接続されている。
【0030】
複数の関節２３ｂｃ、２３ｂｄおよび２３ｂｅは、第１関節２３ｂｃと、第２関節２３ｂｄと、第３関節２３ｂｅとを有している。第１関節２３ｂｃは、第１リンク２３ｂａを駆動する肩関節であり、第１リンク２３ｂａの基端側と基台２３ａとの連結部に設けられている。第２関節２３ｂｄは、第２リンク２３ｂｂを駆動する肘関節であり、第１リンク２３ｂａの先端側と第２リンク２３ｂｂの基端側との連結部に設けられている。第３関節２３ｂｅは、ハンド２３ｃを駆動する手首関節であり、第２リンク２３ｂｂの先端側とハンド２３ｃの基端側との連結部に設けられている。
【0031】
第１実施形態では、複数の関節２３ｂｃ、２３ｂｄおよび２３ｂｅの各々は、モータと、ギアを含む減速機とを有している。具体的には、第１関節２３ｂｃは、モータ４１と、ギアを含む減速機４２とを有している。第２関節２３ｂｄは、モータ５１と、ギアを含む減速機５２とを有している。第３関節２３ｂｅは、複数のモータ６１および６２と、各々がギアを含む複数の減速機６３および６４とを有している。減速機４２、５２、６３および６４の各々のギアは、所定の減速比を有する複数のギアからなるギア列として設けられている。
【0032】
第１関節２３ｂｃの減速機４２は、ギア列の最終ギアを介して、第１リンク２３ｂａを回転軸線Ａ１周りに回転する回転軸４３に接続されている。第１関節２３ｂｃは、モータ４１の駆動力を減速機４２を介して回転軸４３に伝達する。これにより、第１関節２３ｂｃは、回転軸４３を回転軸線Ａ１周りに回転するとともに、第１リンク２３ｂａを回転軸線Ａ１周りに回転する。
【0033】
第２関節２３ｂｄの減速機５２は、ギア列の最終ギアを介して、第２リンク２３ｂｂを回転軸線Ａ２周りに回転する回転軸５３に接続されている。第２関節２３ｂｄは、モータ５１の駆動力を減速機５２を介して回転軸５３に伝達する。これにより、第２関節２３ｂｄは、回転軸５３を回転軸線Ａ２周りに回転するとともに、第２リンク２３ｂｂを回転軸線Ａ２周りに回転する。
【0034】
第３関節２３ｂｅの減速機６３は、ギア列の最終ギアを介して、第１ハンド２３ｃａを回転軸線Ａ３周りに回転する回転軸６５に接続されている。第３関節２３ｂｅは、モータ６１の駆動力を減速機６３を介して回転軸６５に伝達する。これにより、第３関節２３ｂｅは、回転軸６５を回転軸線Ａ３周りに回転するとともに、第１ハンド２３ｃａを回転軸線Ａ３周りに回転する。
【0035】
また、第３関節２３ｂｅの減速機６４は、ギア列の最終ギアを介して、第２ハンド２３ｃｂを回転軸線Ａ３周りに回転する、回転軸６５と同軸に配置された回転軸６６に接続されている。第３関節２３ｂｅは、モータ６２の駆動力を減速機６４を介して回転軸６６に伝達する。これにより、第３関節２３ｂｅは、回転軸６６を回転軸線Ａ３周りに回転するとともに、第２ハンド２３ｃｂを回転軸線Ａ３周りに回転する。
【0036】
これらのように、複数の関節２３ｂｃ、２３ｂｄおよび２３ｂｅにより、第１リンク２３ｂａ、第２リンク２３ｂｂ、第１ハンド２３ｃａおよび第２ハンド２３ｃｂを互いに独立して動作させることが可能である。
【0037】
また、第１実施形態では、第１関節２３ｂｃおよび第２関節２３ｂｄの各々のモータ４１、５１および減速機４２、５２は、第１リンク２３ｂａ内に配置されている。具体的には、第１関節２３ｂｃのモータ４１は、第１リンク２３ｂａ内において第１リンク２３ｂａが延びるＡ４方向に沿った姿勢で基端側を向いて配置されている。すなわち、第１関節２３ｂｃのモータ４１は、出力軸が第１リンク２３ｂａが延びるＡ４方向に沿ってかつ基端側を向いて配置されている。また、第２関節２３ｂｄのモータ５１は、第１リンク２３ｂａ内において第１リンク２３ｂａが延びるＡ４方向に沿った姿勢で先端側を向いて配置されている。すなわち、第２関節２３ｂｄのモータ５１は、出力軸が第１リンク２３ｂａが延びるＡ４方向に沿ってかつ先端側を向いて配置されている。第１関節２３ｂｃのモータ４１および第２関節２３ｂｄのモータ５１は、第１リンク２３ｂａ内において互いに逆向きになるように配置されている。
【0038】
また、第１関節２３ｂｃのモータ４１および減速機４２は、第１リンク２３ｂａ内において基端側に配置されている。また、第２関節２３ｂｄのモータ５１および減速機５２は、第１リンク２３ｂａ内において先端側に配置されている。また、第１関節２３ｂｃのモータ４１および第２関節２３ｂｄのモータ５１は、第１リンク２３ｂａが延びるＡ４方向およびＺ方向の両方に直交するＡ５方向において、一方側および他方側にそれぞれ配置されている。第１リンク２３ｂａ内において第１関節２３ｂｃのモータ４１および第２関節２３ｂｄのモータ５１を極力離間して設けることができるので、第１リンク２３ｂａ内において各モータを配置するスペースを容易に確保することが可能である。
【0039】
また、第１実施形態では、第３関節２３ｂｅのモータ６１、６２および減速機６３、６４は、第２リンク２３ｂｂ内に配置されている。具体的には、第３関節２３ｂｅのモータ６１、６２は、第２リンク２３ｂｂ内において第２リンク２３ｂｂが延びるＡ６方向に沿った姿勢で先端側を向いて配置されている。すなわち、第３関節２３ｂｅのモータ６１、６２は、出力軸が第２リンク２３ｂｂが延びるＡ６方向に沿ってかつ先端側を向いて配置されている。また、第３関節２３ｂｅのモータ６１、６２および減速機６３、６４は、第２リンク２３ｂｂ内において先端側に配置されている。また、第３関節２３ｂｅのモータ６１、６２は、第２リンク２３ｂｂが延びるＡ６方向およびＺ方向の両方に直交するＡ７方向において、一方側および他方側にそれぞれ配置されている。
【0040】
（基板搬送制御）
ここで、図４に示すように、ハンド２３ｃの中央に基板Ｓを配置した状態で基板Ｓを搬送すると基板Ｓが壁部２１ａに干渉する場合がある。具体的には、進入ハンドの中央に基板Ｓを配置した状態で基板Ｓを搬送すると、壁部２１ａと進入ハンドとの間の距離Ｄ１を十分に取れないため、逃げハンドが逃げた際に逃げハンドが保持する基板Ｓが壁部２１ａに干渉する場合がある。
ここで、図４に示すように、ハンド２３ｃの中央に基板Ｓを配置した状態で基板Ｓを搬送すると基板Ｓが壁部２１ａに干渉する場合がある。具体的には、進入ハンドの中央に基板Ｓを配置した状態で基板Ｓを搬送すると、壁部２１ａと進入ハンドとの間の距離Ｄ１を十分に取れないため、逃げハンドが逃げた際に逃げハンドが保持する基板Ｓが壁部２１ａに干渉する場合がある。
【0041】
そこで、図５に示すように、第１実施形態では、制御部２３ｄは、基板Ｓが壁部２１ａに干渉しないように、ハンド２３ｃの中央から基板Ｓの端面までの距離が不均等な状態で基板Ｓを搬送するように、ハンド２３ｃおよびロボットアーム２３ｂの動作を制御する。具体的には、制御部２３ｄは、逃げハンドが保持する基板Ｓが壁部２１ａに干渉しないように、進入ハンドの中央に対して逃げハンドが載置部３０から逃げる方向側に所定の距離Ｄ２だけ基板Ｓをずらすことによりハンド２３ｃの中央から基板Ｓの端面までの距離が不均等な状態で基板Ｓを搬送するように、ハンド２３ｃおよびロボットアーム２３ｂの動作を制御する。これにより、壁部２１ａと進入ハンドとの間の距離Ｄ１を十分に取れるため、逃げハンドが逃げた際に逃げハンドが保持する基板Ｓが壁部２１ａに干渉することを回避することが可能である。なお、逃げハンドが載置部３０から逃げる方向側とは、逃げハンドが回転する側であり、図５ではＹ２側である。
【0042】
たとえば、制御部２３ｄは、基板収容容器としての複数の載置部３０ａ、３０ｂおよび３０ｃのいずれかから、第１ハンド２３ｃａおよび第２ハンド２３ｃｂの各々により、所定の距離Ｄ１だけ基板Ｓをずらした状態で基板Ｓを取得する。そして、制御部２３ｄは、第１ハンド２３ｃａおよび第２ハンド２３ｃｂの各々により、所定の距離Ｄ１だけ基板Ｓをずらした状態で、アライメント装置としての載置部３０ｄや、基板処理装置１０の載置部に基板Ｓを搬送する。
【0043】
また、所定の距離Ｄ２は、壁部２１ａと基板Ｓとの干渉の程度に基づいて設定されている。具体的には、所定の距離Ｄ２は、壁部２１ａの内周部と、ハンド２３ｃの中央に配置した場合に干渉する基板Ｓの部分との間の距離Ｄ３（図４参照）よりも大きくなるように設定されている。より具体的には、所定の距離Ｄ２は、距離Ｄ３に、余裕分を加えた値に設定されている。これにより、基板Ｓが壁部２１ａに干渉することを確実に回避することが可能である。
【0044】
また、ハンド２３ｃの中央に対して基板Ｓをずらした状態で基板Ｓを搬送する場合、ハンド２３ｃの中央に基板Ｓを配置した状態で基板Ｓを搬送する場合に比べて、より遠い位置までハンド２３ｃを移動させる必要がある。すなわち、Ｘ１側の載置部３０ａにハンド２３ｃを移動させる場合には、よりＸ１側までハンド２３ｃを移動させる必要があるし、Ｘ２側の載置部３０ｂにハンド２３ｃを移動させる場合には、よりＸ２側までハンド２３ｃを移動させる必要がある。一方、ハンド２３ｃが移動可能な範囲は予め決まっているため、所定の距離Ｄ２の上限は、ハンド２３ｃの中央に対して基板Ｓをずらしても、載置部３０にハンド２３ｃがアクセスできる範囲に設定する必要がある。
【0045】
（リンクの軸間距離）
ここで、図６に示すように、第１リンク２３ｂａおよび第２リンク２３ｂｂの各々が同じ軸間距離Ｄ４を有すると、ハンド２３ｃが壁部２１ａに干渉する場合がある。具体的には、第１リンク２３ｂａおよび第２リンク２３ｂｂの各々が同じ軸間距離Ｄ４を有する場合、ハンド２３ｃの旋回半径Ｒが大きいと、ロボット２３が寄せられたＹ１側の壁部２１ａａとは反対のＹ２側の壁部２１ａｂに、ハンド２３ｃが干渉する場合がある。
ここで、図６に示すように、第１リンク２３ｂａおよび第２リンク２３ｂｂの各々が同じ軸間距離Ｄ４を有すると、ハンド２３ｃが壁部２１ａに干渉する場合がある。具体的には、第１リンク２３ｂａおよび第２リンク２３ｂｂの各々が同じ軸間距離Ｄ４を有する場合、ハンド２３ｃの旋回半径Ｒが大きいと、ロボット２３が寄せられたＹ１側の壁部２１ａａとは反対のＹ２側の壁部２１ａｂに、ハンド２３ｃが干渉する場合がある。
【0046】
そこで、図７に示すように、第１実施形態では、第１リンク２３ｂａおよび第２リンク２３ｂｂの各々は、ハンド２３ｃが壁部２１ａｂに干渉しないように、互いに異なる軸間距離Ｄ５およびＤ６を有している。具体的には、第２リンク２３ｂｂは、ハンド２３ｃが壁部２１ａｂに干渉しないように、第１リンク２３ｂａの軸間距離Ｄ５よりも大きい軸間距離Ｄ６を有している。これにより、干渉する壁部２１ａｂとは反対の壁部２１ａａ側にハンド２３ｃを寄せられるため、ハンド２３ｃの旋回半径Ｒが大きくても、壁部２１ａｂにハンド２３ｃが干渉することを回避することが可能である。なお、軸間距離Ｄ５は、回転軸線Ａ１と回転軸線Ａ２との間の距離である。また、軸間距離Ｄ６は、回転軸線Ａ２と回転軸線Ａ３との間の距離である。また、旋回半径Ｒは、回転軸線Ａ３とハンド２３ｃの先端との間の距離である。
【0047】
回転軸線Ａ３は、第１リンク２３ｂａ、第２リンク２３ｂｂおよびハンド２３ｃが折り畳まれてＺ方向に重なった状態において、回転軸線Ａ１よりも、干渉する壁部２１ａｂとは反対の壁部２１ａａ側に配置されている。
【0048】
［本実施形態の効果］
本実施形態では、上記のように、基板Ｓが壁部に干渉しないように、ハンド２３ｃの中央から基板Ｓの端面までの距離が不均等な状態で基板Ｓを搬送するように、ハンド２３ｃおよびロボットアームの動作を制御する。これにより、ハンド２３ｃの中央に基板Ｓを配置した状態で基板Ｓを搬送すると基板Ｓが壁部２１ａに干渉する場合にも、ハンド２３ｃの中央から基板Ｓの端面までの距離が不均等な状態で基板Ｓを搬送することにより、基板Ｓが壁部２１ａに干渉することを回避することができる。その結果、基板Ｓの搬送を円滑に行うことができる。
本実施形態では、上記のように、基板Ｓが壁部に干渉しないように、ハンド２３ｃの中央から基板Ｓの端面までの距離が不均等な状態で基板Ｓを搬送するように、ハンド２３ｃおよびロボットアームの動作を制御する。これにより、ハンド２３ｃの中央に基板Ｓを配置した状態で基板Ｓを搬送すると基板Ｓが壁部２１ａに干渉する場合にも、ハンド２３ｃの中央から基板Ｓの端面までの距離が不均等な状態で基板Ｓを搬送することにより、基板Ｓが壁部２１ａに干渉することを回避することができる。その結果、基板Ｓの搬送を円滑に行うことができる。
【0049】
また、本実施形態では、上記のように、ハンド２３ｃは、第１ハンド２３ｃａと、第１ハンド２３ｃａの上方に配置され、第１ハンド２３ｃａとは別個に動作する第２ハンド２３ｃｂとを含み、制御部２３ｄは、第１ハンド２３ｃａおよび第２ハンド２３ｃｂの一方としての進入ハンドが載置部３０に進入する場合、第１ハンド２３ｃａおよび第２ハンド２３ｃｂの他方としての逃げハンドが載置部３０から逃げるように、ハンド２３ｃの動作を制御し、制御部２３ｄは、逃げハンドが保持する基板Ｓが壁部２１ａに干渉しないように、進入ハンドの中央に対して逃げハンドが載置部３０から逃げる方向側に所定の距離だけ基板Ｓをずらすことによりハンド２３ｃの中央から基板Ｓの端面までの距離が不均等な状態で基板Ｓを搬送するように、ハンド２３ｃおよびロボットアーム２３ｂの動作を制御する。これにより、進入ハンドの中央に基板Ｓを配置した状態で基板Ｓを搬送すると、逃げハンドが逃げた際に逃げハンドが保持する基板Ｓが壁部２１ａに干渉する場合にも、進入ハンドの中央に対して逃げハンドが載置部３０から逃げる方向側に基板Ｓをずらすことによりハンド２３ｃの中央から基板Ｓの端面までの距離が不均等な状態で基板Ｓを搬送することにより、逃げハンドが保持する基板Ｓが壁部２１ａに干渉することを効果的に回避することができる。
【0050】
本実施形態では、上記のように、ロボットアーム２３ｂは、複数のリンク２３ｂａおよび２３ｂｂと、複数の関節２３ｂｃ、２３ｂｄおよび２３ｂｅとを含み、複数の関節２３ｂｃ、２３ｂｄおよび２３ｂｅの各々は、モータと、ギアを含む減速機とを有する。これにより、複数のリンク２３ｂａおよび２３ｂｂとハンド２３ｃとを互いに独立して動作させることができるので、複数のリンク２３ｂａおよび２３ｂｂを連動させてロボットアーム２３ｂを伸縮動作させる場合と異なり、基台２３ａを走行駆動するための走行手段を設けなくても、基板Ｓの搬送の自由度を確保することができる。その結果、走行手段を削減することができるので、走行手段を設ける場合に比べて、構造の複雑化を抑制しながら、複数の載置部３０の間で基板Ｓを搬送することができる。
【0051】
また、走行手段を設けない場合、基板Ｓの搬送を広範囲に行うためには、比較的長いロボットアーム２３ｂが必要になるが、その場合、複数のリンク２３ｂａおよび２３ｂｂとハンド２３ｃとの各々を駆動するためのトルクが増大する。これに対して、複数の関節２３ｂｃ、２３ｂｄおよび２３ｂｅの各々がギアを含む減速機を有することにより、大きなトルクを伝達することに適したギアによりモータの駆動力を伝達することができるので、複数のリンク２３ｂａおよび２３ｂｂの各々を容易に駆動することができる。また、矩形形状を有する大型の基板Ｓを搬送する場合、複数のリンク２３ｂａおよび２３ｂｂの各々を駆動するためのトルクが増大しやすいため、大きなトルクを伝達することに適したギアによりモータの駆動力を伝達することができることは、非常に効果的である。
【0052】
また、本実施形態では、上記のように、複数のリンク２３ｂａおよび２３ｂｂは、基台２３ａに接続される第１リンク２３ｂａと、第１リンク２３ｂａに接続されるとともにハンド２３ｃに接続される第２リンク２３ｂｂとを有し、複数の関節２３ｂｃ、２３ｂｄおよび２３ｂｅは、第１リンク２３ｂａを駆動する第１関節２３ｂｃと、第２リンク２３ｂｂを駆動する第２関節２３ｂｄと、ハンド２３ｃを駆動する第３関節２３ｂｅとを有し、第１関節２３ｂｃおよび第２関節２３ｂｄの各々のモータ４１、５１および減速機４２、５２は、第１リンク２３ｂａ内に配置されており、第３関節２３ｂｅのモータ４１および減速機４２は、第２リンク２３ｂｂ内に配置されている。これにより、第２リンク２３ｂｂ内に第２関節２３ｂｄのモータ５１および減速機５２を配置するスペースを確保する必要がないので、第２リンク２３ｂｂの大型化を抑制することができる。その結果、第２リンク２３ｂｂの大型化に起因して第２リンク２３ｂｂの重量が増大することを抑制することができるので、第２リンク２３ｂｂの重量の増大に起因して第２関節２３ｂｄのモータ５１の容量が増大することを抑制することができる。
【0053】
また、本実施形態では、上記のように、第１関節２３ｂｃのモータ４１は、第１リンク２３ｂａ内において第１リンク２３ｂａが延びるＡ４方向に沿った姿勢で基端側を向いて配置されており、第２関節２３ｂｄのモータ５１は、第１リンク２３ｂａ内において第１リンク２３ｂａが延びるＡ４方向に沿った姿勢で先端側を向いて配置されており、第３関節２３ｂｅのモータ６１および６２は、第２リンク２３ｂｂ内において第２リンク２３ｂｂが延びるＡ６方向に沿った姿勢で先端側を向いて配置されている。これにより、第１関節２３ｂｃ、第２関節２３ｂｄおよび第３関節２３ｂｅの各々のモータが、各リンクが延びる方向に直交する厚み方向に沿った姿勢で配置されている場合と異なり、各リンクが厚み方向に大型化することを抑制することができる。
【0054】
また、本実施形態では、上記のように、複数のリンク２３ｂａおよび２３ｂｂは、基台２３ａに接続される第１リンク２３ｂａと、第１リンク２３ｂａに接続されるとともにハンド２３ｃに接続される第２リンク２３ｂｂとを有し、第１リンク２３ｂａおよび第２リンク２３ｂｂの各々は、ハンド２３ｃが壁部２１ａに干渉しないように、互いに異なる軸間距離Ｄ５およびＤ６を有する。これにより、第１リンク２３ｂａおよび第２リンク２３ｂｂの各々が同じ軸間距離Ｄ４を有すると、ハンド２３ｃが壁部２１ａに干渉する場合にも、第１リンク２３ｂａおよび第２リンク２３ｂｂの各々が互いに異なる軸間距離Ｄ５およびＤ６を有することにより、ハンド２３ｃが壁部２１ａに干渉することを回避することができる。
【0055】
また、本実施形態では、上記のように、第２リンク２３ｂｂは、ハンド２３ｃが壁部２１ａに干渉しないように、第１リンク２３ｂａよりも大きい軸間距離Ｄ６を有する。これにより、ハンド２３ｃに接続される第２リンク２３ｂｂの軸間距離Ｄ６を大きくすることにより、干渉する壁部２１ａとは反対の壁部２１ａ側に寄せてハンド２３ｃを配置することができるので、ハンド２３ｃが壁部２１ａに干渉することを効果的に回避することができる。
【0056】
また、本実施形態では、上記のように、基台２３ａは、搬送空間２０ａの中心線Ｃからずれた位置に配置されている。これにより、ロボットアーム２３ｂを長くすることができるので、基台２３ａを走行駆動するための走行手段を設けない場合にも、複数の載置部３０の間で基板Ｓを容易に搬送することができる。
【0057】
また、本実施形態では、上記のように、ハンド２３ｃは、第１ハンド２３ｃａと、第１ハンド２３ｃａの上方に配置され、第１ハンド２３ｃａとは別個に動作する第２ハンド２３ｃｂとを含む。これにより、第１ハンド２３ｃａと第２ハンド２３ｃｂとの２つのハンドにより、基板Ｓを搬送することができるので、基板Ｓの搬送の効率を向上させることができる。
【0058】
［変形例］
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本開示の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本開示の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。
【0059】
たとえば、上記実施形態では、ロボットアームが２つのリンクを有している例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、ロボットアームが３つ以上のリンクを有していてもよい。
【0060】
また、上記実施形態では、ロボットアームの先端に２つのハンドが設けられている例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、ロボットアームの先端に１つまたは３つ以上のハンドが設けられていてもよい。
【0061】
また、上記実施形態では、第２関節のモータおよび減速機が、第１リンク内に配置されている例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、第２関節のモータおよび減速機が、第２リンク内に配置されていてもよい。
【0062】
また、上記実施形態では、逃げハンドが載置部から逃げる際に逃げハンドが保持する基板が壁部と干渉する場合に、基板が壁部に干渉しないように、ハンドの中央に対して基板をずらした状態で基板を搬送する例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、逃げハンドに限られず、基板の搬送中のいずれかのタイミングでハンドが保持する基板が壁部と干渉する場合に、基板が壁部に干渉しないように、ハンドの中央から基板の端面までの距離が不均等な状態で基板を搬送してもよい。
【0063】
また、上記実施形態では、第１リンクおよび第２リンクの各々が互いに異なる軸間距離を有する例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、壁部とハンドとが干渉しない場合には、第１リンクおよび第２リンクの各々が互いに同じ軸間距離を有していてもよい。また、第１リンクの軸間距離が、第２リンクの軸間距離よりも大きくてもよい。
【0064】
また、上記実施形態の載置部の配置および数は、あくまでも一例であり、特に限定されない。図８に示す変形例では、基板収容容器として、２つの載置部１３０ａおよび１３０ｂが設けられている。
【0065】
また、上記実施形態では、搬送空間が、所定のクリーン度の雰囲気に予め調整される例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、搬送区間が、ガスパージにより所定のガス雰囲気に予め調整されてもよいし、減圧することにより真空雰囲気に予め調整されてもよい。
【0066】
また、上記実施形態では、基台を走行駆動するための走行手段が設けられていない例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、基台を走行駆動するための走行手段が設けられていてもよい。
【0067】
本明細書で開示する要素の機能は、開示された機能を実行するよう構成またはプログラムされた汎用プロセッサ、専用プロセッサ、集積回路、ＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔｓ）、従来の回路、および／または、それらの組み合わせ、を含む回路または処理回路を使用して実行できる。プロセッサは、トランジスタやその他の回路を含むため、処理回路または回路と見なされる。本開示において、回路、ユニット、または手段は、列挙された機能を実行するハードウェアであるか、または、列挙された機能を実行するようにプログラムされたハードウェアである。ハードウェアは、本明細書に開示されているハードウェアであってもよいし、あるいは、列挙された機能を実行するようにプログラムまたは構成されているその他の既知のハードウェアであってもよい。ハードウェアが回路の一種と考えられるプロセッサである場合、回路、手段、またはユニットはハードウェアとソフトウェアの組み合わせであり、ソフトウェアはハードウェアおよび／またはプロセッサの構成に用いられる。
【0068】
［態様］
上記した例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
上記した例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
【0069】
（項目１）
基台と、
前記基台に接続される水平多関節型のロボットアームと、
前記ロボットアームの先端に配置されるとともに、矩形板状のワークを保持するハンドと、
複数の載置部の間で前記ワークを搬送するように、前記ハンドおよび前記ロボットアームの動作を制御する制御部と、を備え、
前記ハンドおよび前記ロボットアームは、壁部で囲まれた搬送空間に配置されており、
前記制御部は、前記ワークが前記壁部に干渉しないように、前記ハンドの中央から前記ワークの端面までの距離が不均等な状態で前記ワークを搬送するように、前記ハンドおよび前記ロボットアームの動作を制御する、ロボット。
基台と、
前記基台に接続される水平多関節型のロボットアームと、
前記ロボットアームの先端に配置されるとともに、矩形板状のワークを保持するハンドと、
複数の載置部の間で前記ワークを搬送するように、前記ハンドおよび前記ロボットアームの動作を制御する制御部と、を備え、
前記ハンドおよび前記ロボットアームは、壁部で囲まれた搬送空間に配置されており、
前記制御部は、前記ワークが前記壁部に干渉しないように、前記ハンドの中央から前記ワークの端面までの距離が不均等な状態で前記ワークを搬送するように、前記ハンドおよび前記ロボットアームの動作を制御する、ロボット。
【0070】
（項目２）
前記ハンドは、第１ハンドと、前記第１ハンドの上方に配置され、前記第１ハンドとは別個に動作する第２ハンドとを含み、
前記制御部は、前記第１ハンドおよび前記第２ハンドの一方としての進入ハンドが前記載置部に進入する場合、前記第１ハンドおよび前記第２ハンドの他方としての逃げハンドが前記載置部から逃げるように、前記ハンドの動作を制御し、
前記制御部は、前記逃げハンドが保持する前記ワークが前記壁部に干渉しないように、前記進入ハンドの中央に対して前記逃げハンドが前記載置部から逃げる方向側に所定の距離だけ前記ワークをずらすことにより前記ハンドの中央から前記ワークの端面までの距離が不均等な状態で前記ワークを搬送するように、前記ハンドおよび前記ロボットアームの動作を制御する、項目１に記載のロボット。
前記ハンドは、第１ハンドと、前記第１ハンドの上方に配置され、前記第１ハンドとは別個に動作する第２ハンドとを含み、
前記制御部は、前記第１ハンドおよび前記第２ハンドの一方としての進入ハンドが前記載置部に進入する場合、前記第１ハンドおよび前記第２ハンドの他方としての逃げハンドが前記載置部から逃げるように、前記ハンドの動作を制御し、
前記制御部は、前記逃げハンドが保持する前記ワークが前記壁部に干渉しないように、前記進入ハンドの中央に対して前記逃げハンドが前記載置部から逃げる方向側に所定の距離だけ前記ワークをずらすことにより前記ハンドの中央から前記ワークの端面までの距離が不均等な状態で前記ワークを搬送するように、前記ハンドおよび前記ロボットアームの動作を制御する、項目１に記載のロボット。
【0071】
（項目３）
前記ロボットアームは、複数のリンクと、複数の関節とを含み、
前記複数の関節の各々は、モータと、ギアを含む減速機とを有する、項目１または２に記載のロボット。
前記ロボットアームは、複数のリンクと、複数の関節とを含み、
前記複数の関節の各々は、モータと、ギアを含む減速機とを有する、項目１または２に記載のロボット。
【0072】
（項目４）
前記複数のリンクは、前記基台に接続される第１リンクと、前記第１リンクに接続されるとともに前記ハンドに接続される第２リンクとを有し、
前記複数の関節は、前記第１リンクを駆動する第１関節と、前記第２リンクを駆動する第２関節と、前記ハンドを駆動する第３関節とを有し、
前記第１関節および前記第２関節の各々の前記モータおよび前記減速機は、前記第１リンク内に配置されており、
前記第３関節の前記モータおよび前記減速機は、前記第２リンク内に配置されている、項目３に記載のロボット。
前記複数のリンクは、前記基台に接続される第１リンクと、前記第１リンクに接続されるとともに前記ハンドに接続される第２リンクとを有し、
前記複数の関節は、前記第１リンクを駆動する第１関節と、前記第２リンクを駆動する第２関節と、前記ハンドを駆動する第３関節とを有し、
前記第１関節および前記第２関節の各々の前記モータおよび前記減速機は、前記第１リンク内に配置されており、
前記第３関節の前記モータおよび前記減速機は、前記第２リンク内に配置されている、項目３に記載のロボット。
【0073】
（項目５）
前記第１関節の前記モータは、前記第１リンク内において前記第１リンクが延びる方向に沿った姿勢で基端側を向いて配置されており、
前記第２関節の前記モータは、前記第１リンク内において前記第１リンクが延びる方向に沿った姿勢で先端側を向いて配置されており、
前記第３関節の前記モータは、前記第２リンク内において前記第２リンクが延びる方向に沿った姿勢で先端側を向いて配置されている、項目４に記載のロボット。
前記第１関節の前記モータは、前記第１リンク内において前記第１リンクが延びる方向に沿った姿勢で基端側を向いて配置されており、
前記第２関節の前記モータは、前記第１リンク内において前記第１リンクが延びる方向に沿った姿勢で先端側を向いて配置されており、
前記第３関節の前記モータは、前記第２リンク内において前記第２リンクが延びる方向に沿った姿勢で先端側を向いて配置されている、項目４に記載のロボット。
【0074】
（項目６）
前記ロボットアームは、複数のリンクを含み、
前記複数のリンクは、前記基台に接続される第１リンクと、前記第１リンクに接続されるとともに前記ハンドに接続される第２リンクとを有し、
前記第１リンクおよび前記第２リンクの各々は、前記ハンドが前記壁部に干渉しないように、互いに異なる軸間距離を有する、項目１から項目５のいずれか１項に記載のロボット。
前記ロボットアームは、複数のリンクを含み、
前記複数のリンクは、前記基台に接続される第１リンクと、前記第１リンクに接続されるとともに前記ハンドに接続される第２リンクとを有し、
前記第１リンクおよび前記第２リンクの各々は、前記ハンドが前記壁部に干渉しないように、互いに異なる軸間距離を有する、項目１から項目５のいずれか１項に記載のロボット。
【0075】
（項目７）
前記第２リンクは、前記ハンドが前記壁部に干渉しないように、前記第１リンクよりも大きい軸間距離を有する、項目６に記載のロボット。
前記第２リンクは、前記ハンドが前記壁部に干渉しないように、前記第１リンクよりも大きい軸間距離を有する、項目６に記載のロボット。
【0076】
（項目８）
前記基台は、前記搬送空間の中心線からずれた位置に配置されている、項目１から項目７のいずれか１項に記載のロボット。
前記基台は、前記搬送空間の中心線からずれた位置に配置されている、項目１から項目７のいずれか１項に記載のロボット。
【0077】
（項目９）
前記ハンドは、第１ハンドと、前記第１ハンドの上方に配置され、前記第１ハンドとは別個に動作する第２ハンドとを含む、項目１から項目８のいずれか１項に記載のロボット。
前記ハンドは、第１ハンドと、前記第１ハンドの上方に配置され、前記第１ハンドとは別個に動作する第２ハンドとを含む、項目１から項目８のいずれか１項に記載のロボット。
【符号の説明】
【0078】
２０ａ 搬送空間
２１ 筐体
２１ａ 壁部
２３ ロボット
２３ａ 基台
２３ｂ ロボットアーム
２３ｂａ 第１リンク（リンク）
２３ｂｂ 第２リンク（リンク）
２３ｂｃ 第１関節（関節）
２３ｂｄ 第２関節（関節）
２３ｂｅ 第３関節（関節）
２３ｃ ハンド
２３ｃａ 第１ハンド
２３ｃｂ 第２ハンド
２３ｄ 制御部
３０、３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、１３０ａ、１３０ｂ 載置部
４１、５１、６１、６２ モータ
４２、５２、６３、６４ 減速機
Ｃ 中心線
Ｄ２ 所定の距離
Ｄ５、Ｄ６ 軸間距離
Ｓ 基板（ワーク）
２１ 筐体
２１ａ 壁部
２３ ロボット
２３ａ 基台
２３ｂ ロボットアーム
２３ｂａ 第１リンク（リンク）
２３ｂｂ 第２リンク（リンク）
２３ｂｃ 第１関節（関節）
２３ｂｄ 第２関節（関節）
２３ｂｅ 第３関節（関節）
２３ｃ ハンド
２３ｃａ 第１ハンド
２３ｃｂ 第２ハンド
２３ｄ 制御部
３０、３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、１３０ａ、１３０ｂ 載置部
４１、５１、６１、６２ モータ
４２、５２、６３、６４ 減速機
Ｃ 中心線
Ｄ２ 所定の距離
Ｄ５、Ｄ６ 軸間距離
Ｓ 基板（ワーク）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】