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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024144165
(43)【公開日】2024-10-11
(54)【発明の名称】フィルム剥離装置およびフィルム剥離方法
(51)【国際特許分類】
B65H 41/00 20060101AFI20241003BHJP
【ＦＩ】
B65H41/00 B
【審査請求】有
【請求項の数】12
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2024026626
(22)【出願日】2024-02-26
(31)【優先権主張番号】18/127557
(32)【優先日】2023-03-28
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(71)【出願人】
【識別番号】000005326
【氏名又は名称】本田技研工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100154380
【弁理士】
【氏名又は名称】西村 隆一
(74)【代理人】
【識別番号】100081972
【弁理士】
【氏名又は名称】吉田 豊
(72)【発明者】
【氏名】石川 泰己
(72)【発明者】
【氏名】山岸 弘幸
(72)【発明者】
【氏名】渋谷 智秀
(72)【発明者】
【氏名】瀧川 晋作
【テーマコード（参考）】
3F108
【Ｆターム（参考）】
3F108JA02
(57)【要約】
【課題】簡易な構成で、ワークに密着されたフィルムを容易に剥離する。
【解決手段】フィルム剥離装置１００は、ワークが載置されるトレイ３００の上方において、第１位置と第１位置よりも上方の第２位置との間を、上下方向に移動可能に配置された支持プレート２０と、支持プレート２０からトレイ３００に向けて下方に延在し、支持プレート２０が第１位置に位置するとき、フィルムの上面に当接する吸着パッドを下端部に有する吸着ロッドと、支持プレート２０からトレイ３００に向けて下方に延在し、支持プレート２０が第１位置に位置するとき、フィルムの上面に当接する第１押さえパッドを下端部に有する第１押さえロッドと、支持プレート２０が第１位置から第２位置まで移動するとき、吸着ロッドが上昇を開始した後、第１押さえロッドが上昇を開始するように吸着ロッドおよび第１押さえロッドを支持する支持部と、を備える。
【選択図】図１
【解決手段】フィルム剥離装置１００は、ワークが載置されるトレイ３００の上方において、第１位置と第１位置よりも上方の第２位置との間を、上下方向に移動可能に配置された支持プレート２０と、支持プレート２０からトレイ３００に向けて下方に延在し、支持プレート２０が第１位置に位置するとき、フィルムの上面に当接する吸着パッドを下端部に有する吸着ロッドと、支持プレート２０からトレイ３００に向けて下方に延在し、支持プレート２０が第１位置に位置するとき、フィルムの上面に当接する第１押さえパッドを下端部に有する第１押さえロッドと、支持プレート２０が第１位置から第２位置まで移動するとき、吸着ロッドが上昇を開始した後、第１押さえロッドが上昇を開始するように吸着ロッドおよび第１押さえロッドを支持する支持部と、を備える。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
フィルムが密着されたワークから前記フィルムを剥離するフィルム剥離装置であって、
前記ワークが載置される載置部の上方において、第１位置と前記第１位置よりも上方の第２位置との間を、上下方向に移動可能に配置された移動体と、
前記移動体から前記載置部に向けて下方に延在し、前記移動体が前記第１位置に位置するとき、前記フィルムの上面に当接する第１当接部を下端部に有する第１ロッドと、
前記移動体から前記載置部に向けて下方に延在し、前記移動体が前記第１位置に位置するとき、前記フィルムの上面に当接する第２当接部を下端部に有する第２ロッドと、
前記移動体の上下方向の移動に伴い前記第１ロッドおよび前記第２ロッドが上下方向に移動するように前記第１ロッドおよび前記第２ロッドを前記移動体から支持する支持部と、を備え、
前記第１当接部は、前記フィルムを吸着する吸着部を有し、
前記第２当接部は、前記フィルムが前記第２ロッドにより押圧されたまま、前記フィルムが水平方向に移動可能となるように滑り部を有し、
前記支持部は、前記移動体が前記第１位置から前記第２位置まで移動するとき、前記第１ロッドが上昇を開始した後、前記第２ロッドが上昇を開始するように前記第１ロッドおよび前記第２ロッドを支持することを特徴とするフィルム剥離装置。
前記ワークが載置される載置部の上方において、第１位置と前記第１位置よりも上方の第２位置との間を、上下方向に移動可能に配置された移動体と、
前記移動体から前記載置部に向けて下方に延在し、前記移動体が前記第１位置に位置するとき、前記フィルムの上面に当接する第１当接部を下端部に有する第１ロッドと、
前記移動体から前記載置部に向けて下方に延在し、前記移動体が前記第１位置に位置するとき、前記フィルムの上面に当接する第２当接部を下端部に有する第２ロッドと、
前記移動体の上下方向の移動に伴い前記第１ロッドおよび前記第２ロッドが上下方向に移動するように前記第１ロッドおよび前記第２ロッドを前記移動体から支持する支持部と、を備え、
前記第１当接部は、前記フィルムを吸着する吸着部を有し、
前記第２当接部は、前記フィルムが前記第２ロッドにより押圧されたまま、前記フィルムが水平方向に移動可能となるように滑り部を有し、
前記支持部は、前記移動体が前記第１位置から前記第２位置まで移動するとき、前記第１ロッドが上昇を開始した後、前記第２ロッドが上昇を開始するように前記第１ロッドおよび前記第２ロッドを支持することを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項2】
請求項１に記載のフィルム剥離装置において、
前記滑り部は、回転可能なボールまたはローラを有することを特徴とするフィルム剥離装置。
前記滑り部は、回転可能なボールまたはローラを有することを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項3】
請求項１に記載のフィルム剥離装置において、
前記支持部は、前記第１ロッドを前記移動体に固定する固定部と、前記第２ロッドを前記移動体に対し上下動可能に支持する可動支持部と、を有し、
前記可動支持部は、前記移動体から下方に突出する前記第２ロッドの突出量の減少に伴い、前記第２ロッドの下方への付勢力が増加するようにばねを介して前記第２ロッドを支持することを特徴とするフィルム剥離装置。
前記支持部は、前記第１ロッドを前記移動体に固定する固定部と、前記第２ロッドを前記移動体に対し上下動可能に支持する可動支持部と、を有し、
前記可動支持部は、前記移動体から下方に突出する前記第２ロッドの突出量の減少に伴い、前記第２ロッドの下方への付勢力が増加するようにばねを介して前記第２ロッドを支持することを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項4】
請求項１に記載のフィルム剥離装置において、
前記第１ロッドおよび前記第２ロッドは、前記移動体が前記第１位置に位置するとき、前記第２当接部が前記第１当接部と前記フィルムの縁部との間に位置するように設けられることを特徴とするフィルム剥離装置。
前記第１ロッドおよび前記第２ロッドは、前記移動体が前記第１位置に位置するとき、前記第２当接部が前記第１当接部と前記フィルムの縁部との間に位置するように設けられることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項5】
請求項１に記載のフィルム剥離装置において、
前記移動体から前記載置部に向けて下方に延在し、前記移動体が前記第１位置に位置するとき、前記フィルムの上面に当接する第３当接部を下端部に有する第３ロッドをさらに備え、
前記第３当接部は、前記フィルムが前記第３ロッドにより押圧されたまま、前記フィルムが変位可能となるように弾性体を有し、
前記支持部は、前記移動体が前記第１位置から前記第２位置まで移動するとき、前記第１ロッドが上昇を開始した後、前記第２ロッドが上昇を開始する前に前記第３ロッドが上昇を開始するようにさらに前記第３ロッドを支持することを特徴とするフィルム剥離装置。
前記移動体から前記載置部に向けて下方に延在し、前記移動体が前記第１位置に位置するとき、前記フィルムの上面に当接する第３当接部を下端部に有する第３ロッドをさらに備え、
前記第３当接部は、前記フィルムが前記第３ロッドにより押圧されたまま、前記フィルムが変位可能となるように弾性体を有し、
前記支持部は、前記移動体が前記第１位置から前記第２位置まで移動するとき、前記第１ロッドが上昇を開始した後、前記第２ロッドが上昇を開始する前に前記第３ロッドが上昇を開始するようにさらに前記第３ロッドを支持することを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項6】
請求項５に記載のフィルム剥離装置において、
前記支持部は、前記第１ロッドを前記移動体に固定する固定部と、前記第２ロッドを前記移動体に対し上下動可能に支持する第１可動支持部と、前記第３ロッドを前記移動体に対し上下動可能に支持する第２可動支持部と、を有し、
前記第１可動支持部は、前記移動体から下方に突出する前記第２ロッドの突出量の減少に伴い、前記第２ロッドの下方への付勢力が増加するように第１ばねを介して前記第２ロッドを支持し、
前記第２可動支持部は、前記移動体から下方に突出する前記第３ロッドの突出量の減少に伴い、前記第３ロッドの下方への付勢力が増加するように第２ばねを介して前記第３ロッドを支持し、
前記第２ロッドの付勢力が０となる下方への突出量は、前記第３ロッドの付勢力が０となる下方への突出量よりも大きいことを特徴とするフィルム剥離装置。
前記支持部は、前記第１ロッドを前記移動体に固定する固定部と、前記第２ロッドを前記移動体に対し上下動可能に支持する第１可動支持部と、前記第３ロッドを前記移動体に対し上下動可能に支持する第２可動支持部と、を有し、
前記第１可動支持部は、前記移動体から下方に突出する前記第２ロッドの突出量の減少に伴い、前記第２ロッドの下方への付勢力が増加するように第１ばねを介して前記第２ロッドを支持し、
前記第２可動支持部は、前記移動体から下方に突出する前記第３ロッドの突出量の減少に伴い、前記第３ロッドの下方への付勢力が増加するように第２ばねを介して前記第３ロッドを支持し、
前記第２ロッドの付勢力が０となる下方への突出量は、前記第３ロッドの付勢力が０となる下方への突出量よりも大きいことを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項7】
請求項５に記載のフィルム剥離装置において、
前記第３ロッドの両側に一対の前記第１ロッドを備え、
前記一対の前記第１ロッドと前記第３ロッドとは、前記移動体が前記第１位置に位置するとき、前記一対の前記第１当接部の一方と前記第３当接部とが隣り合って位置するとともに、前記第３当接部が前記一対の前記第１当接部を結ぶ仮想線と前記フィルムの縁部との間に位置するように設けられることを特徴とするフィルム剥離装置。
前記第３ロッドの両側に一対の前記第１ロッドを備え、
前記一対の前記第１ロッドと前記第３ロッドとは、前記移動体が前記第１位置に位置するとき、前記一対の前記第１当接部の一方と前記第３当接部とが隣り合って位置するとともに、前記第３当接部が前記一対の前記第１当接部を結ぶ仮想線と前記フィルムの縁部との間に位置するように設けられることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項8】
請求項７に記載のフィルム剥離装置において、
前記フィルムは平面視略矩形状を呈し、
前記一対の前記第１ロッドと前記第２ロッドと前記第３ロッドとは、前記移動体が前記第１位置に位置するとき、前記一対の前記第１当接部の前記一方と前記第３当接部とが前記フィルムの前記縁部に沿って並んで位置し、前記第２当接部が前記フィルムの角部に位置し、さらに前記一対の前記第１当接部の他方が前記第２当接部に並んで前記角部の反対側に位置するように設けられることを特徴とするフィルム剥離装置。
前記フィルムは平面視略矩形状を呈し、
前記一対の前記第１ロッドと前記第２ロッドと前記第３ロッドとは、前記移動体が前記第１位置に位置するとき、前記一対の前記第１当接部の前記一方と前記第３当接部とが前記フィルムの前記縁部に沿って並んで位置し、前記第２当接部が前記フィルムの角部に位置し、さらに前記一対の前記第１当接部の他方が前記第２当接部に並んで前記角部の反対側に位置するように設けられることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項9】
請求項１～８のいずれか１項に記載のフィルム剥離装置において、
前記ワークは、燃料電池の膜電極接合体を構成する樹脂製のフレームであることを特徴とするフィルム剥離装置。
前記ワークは、燃料電池の膜電極接合体を構成する樹脂製のフレームであることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項10】
フィルムが密着されたワークから前記フィルムを剥離するフィルム剥離方法であって、
前記ワークが載置された載置部に向けて下方に延在し、下端部に第１当接部を有する第１ロッドと、前記載置部に向けて下方に延在し、下端部に第２当接部を有する第２ロッドとを支持する移動体を、前記載置部の上方に配置する第１工程と、
前記第１当接部と前記第２当接部とが前記フィルムの上面に当接する第１位置まで前記移動体を下降する第２工程と、
前記第１当接部により前記フィルムを吸着しながら、前記移動体を上昇する第３工程と、を含み、
前記第２当接部は、前記フィルムが前記第２ロッドにより押圧されたまま、前記フィルムが水平方向に移動可能となるように滑り部を有し、
前記第３工程では、前記第１ロッドが所定量上昇するまで、前記第２ロッドが上昇しないことを特徴とするフィルム剥離方法。
前記ワークが載置された載置部に向けて下方に延在し、下端部に第１当接部を有する第１ロッドと、前記載置部に向けて下方に延在し、下端部に第２当接部を有する第２ロッドとを支持する移動体を、前記載置部の上方に配置する第１工程と、
前記第１当接部と前記第２当接部とが前記フィルムの上面に当接する第１位置まで前記移動体を下降する第２工程と、
前記第１当接部により前記フィルムを吸着しながら、前記移動体を上昇する第３工程と、を含み、
前記第２当接部は、前記フィルムが前記第２ロッドにより押圧されたまま、前記フィルムが水平方向に移動可能となるように滑り部を有し、
前記第３工程では、前記第１ロッドが所定量上昇するまで、前記第２ロッドが上昇しないことを特徴とするフィルム剥離方法。
【請求項11】
請求項１０に記載のフィルム剥離方法において、
前記第１工程では、前記載置部に向けて下方に延在し、下端部に第３当接部を有する第３ロッドをさらに支持する前記移動体を、前記載置部の上方に配置し、
前記所定量は第１所定量であり、
前記第３当接部は、前記フィルムが前記第３ロッドにより押圧されたまま、前記フィルムが変位可能となるように弾性体を有し、
前記第３工程では、前記第１ロッドが前記第１所定量よりも小さい第２所定量上昇するまで、前記第３ロッドが上昇しないことを特徴とするフィルム剥離方法。
前記第１工程では、前記載置部に向けて下方に延在し、下端部に第３当接部を有する第３ロッドをさらに支持する前記移動体を、前記載置部の上方に配置し、
前記所定量は第１所定量であり、
前記第３当接部は、前記フィルムが前記第３ロッドにより押圧されたまま、前記フィルムが変位可能となるように弾性体を有し、
前記第３工程では、前記第１ロッドが前記第１所定量よりも小さい第２所定量上昇するまで、前記第３ロッドが上昇しないことを特徴とするフィルム剥離方法。
【請求項12】
請求項１０または１１に記載のフィルム剥離方法において、
前記ワークは、燃料電池の膜電極接合体を構成する樹脂製のフレームであることを特徴とするフィルム剥離方法。
前記ワークは、燃料電池の膜電極接合体を構成する樹脂製のフレームであることを特徴とするフィルム剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ワークに密着されたフィルムを剥離するフィルム剥離装置およびフィルム剥離方法に関する。
【背景技術】
【0002】
この種の装置として、従来、保護シートが貼り付けられたプリプレグシートから保護シートを剥離するようにした装置が知られている（例えば特許文献１参照）。特許文献１記載の装置では、プリプレグシートの端面にエアを噴射して、プリプレグシートから保護シートを剥離する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２０－１０９０４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、特許文献１記載の装置のように、エアを噴射する構成では、ワークに密着されたフィルムを剥離することが難しい。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の一態様は、フィルムが密着されたワークからフィルムを剥離するフィルム剥離装置であって、ワークが載置される載置部の上方において、第１位置と第１位置よりも上方の第２位置との間を、上下方向に移動可能に配置された移動体と、移動体から載置部に向けて下方に延在し、移動体が第１位置に位置するとき、フィルムの上面に当接する第１当接部を下端部に有する第１ロッドと、移動体から載置部に向けて下方に延在し、移動体が第１位置に位置するとき、フィルムの上面に当接する第２当接部を下端部に有する第２ロッドと、移動体の上下方向の移動に伴い第１ロッドおよび第２ロッドが上下方向に移動するように第１ロッドおよび第２ロッドを移動体から支持する支持部と、を備える。第１当接部は、フィルムを吸着する吸着部を有し、第２当接部は、フィルムが第２ロッドにより押圧されたまま、フィルムが水平方向に移動可能となるように滑り部を有する。支持部は、移動体が第１位置から第２位置まで移動するとき、第１ロッドが上昇を開始した後、第２ロッドが上昇を開始するように第１ロッドおよび第２ロッドを支持する。
【0006】
本発明の他の態様は、フィルムが密着されたワークからフィルムを剥離するフィルム剥離方法であって、ワークが載置された載置部に向けて下方に延在し、下端部に第１当接部を有する第１ロッドと、載置部に向けて下方に延在し、下端部に第２当接部を有する第２ロッドとを支持する移動体を、載置部の上方に配置する第１工程と、第１当接部と第２当接部とがフィルムの上面に当接する第１位置まで移動体を下降する第２工程と、第１当接部によりフィルムを吸着しながら、移動体を上昇する第３工程と、を含む。第２当接部は、フィルムが第２ロッドにより押圧されたまま、フィルムが水平方向に移動可能となるように滑り部を有する。第３工程では、第１ロッドが所定量上昇するまで、第２ロッドが上昇しない。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、簡易な構成で、ワークに密着されたフィルムを容易に剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、図１～図７を参照して本発明の実施形態について説明する。本発明の実施形態に係るフィルム剥離装置は、予め保護フィルムが装着されたワークの表面から保護フィルムを剥離し、除去するように構成される。ワークは、例えば燃料電池の構成要素である燃料電池スタックに組み込まれる樹脂製のフレームである。
【0010】
このフレームは、電解質膜と電解質膜の両側に配置されたアノード用およびカソード用の電極との接合体、すなわち膜電極接合体（ＭＥＡ）を支持するものであり、サブガスケットとも呼ばれる。このような接合体と一体化されたフレームと、金属製のセパレータとを、所定枚数だけ交互に積層することで、複数の発電セルを含む燃料電池スタックが構成される。
【0011】
図１は、本発明の実施形態に係るフィルム剥離装置１００の全体構成を概略的に示す図である。図１に示すように、フィルム剥離装置１００は、多関節型のアーム１１，１２とアーム１２の先端部に設けられたハンド１３とを有する産業用のロボット１０と、ハンド１３に取り付けられた支持プレート２０と、支持プレート２０に支持された複数のロッド３０とを有する。
【0012】
アーム１１とアーム１２とは回動軸１０ａを介して回動可能に連結され、アーム１２とハンド１３とは回動軸１０ｂを介して回動可能に連結される。なお、ロボット１０の構成（アームの個数など）は図示したものに限らない。アーム１１，１２とハンド１３とは、例えば回動軸１０ａ，１０ｂに設けられたサーボモータなどのアクチュエータ１４の駆動により回動し、これによりハンド１３の位置および姿勢が変化する。アクチュエータ１４はＥＣＵ１５により制御される。ＥＣＵ１５は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭおよびその他の周辺回路を有するコンピュータを含んで構成される電子制御ユニットである。
【0013】
支持プレート２０は、ハンド１３の先端部のプレート１３ａに、スペーサ１３ｂを介して固定される。したがって、支持プレート２０は、プレート１３ａから所定距離だけ離間してプレート１３ａと略平行に設けられ、ハンド１３と一体に移動する。このため、ＥＣＵ１５により、支持プレート２０の位置および姿勢を制御できる。具体的には、支持プレート２０を図１の水平姿勢に保持したまま、支持プレート２０を矢印Ｚ方向に移動、すなわち上下方向に昇降できる。
【0014】
ロッド３０は、支持プレート２０に対し略垂直方向に、換言すると、水平姿勢の支持プレート２０に対し上下方向に延在する。ロッド３０の下端部にはパッド４０が設けられる。パッド４０は、ワーク２０１や保護フィルム２０２などの対象物２００を吸着する吸着パッドを含む。吸着パッドのロッド３０は筒状に構成されて内部通路が真空発生器に接続され、真空発生器を介して吸着パッドに負圧（真空圧）を発生させることで、対象物２００を吸着することができる。図１には、保護フィルム２０２が吸着された水平姿勢の支持プレート２０が示される。
【0015】
支持プレート２０は、上面が開放されたトレイ３００の上方で昇降する。トレイ３００には、ワーク２０１が積層状態で格納され、トレイ３００はワーク２０１の載置台を構成する。ワーク２０１の間には保護フィルム２０２が装着され、ワーク２０１と保護フィルム２０２とは交互に積層される。保護フィルム２０２は、ポリエチレンナフタレートなどの可撓性を有する屈曲可能な薄膜状の樹脂フィルムである。トレイ３００内では、保護フィルム２０２がワーク２０１の表面に密着している。
【0016】
図２Ａは、保護フィルム２０２をワーク２０１の表面から分離した後の、トレイ内の様子を示す平面図（図１の矢視IIA図）である。図２Ａに示すように、トレイ３００の最上部にはワーク２０１が配置される。ワーク２０１は上述したように燃料電池の膜電極接合体を支持する略矩形状の樹脂製フレームである。ワーク２０１の中央部には、略矩形状の開口部２０４が設けられる。ワーク２０１がトレイ３００から取り出された後、開口部２０４を覆うように膜電極接合体が形成される。なお、ワーク２０１には、燃料ガス、酸化剤ガスおよび冷却媒体の供給用および排出用の流路を構成する複数の貫通孔２０５も設けられる。
【0017】
このようにワーク２０１には開口部２０４や貫通孔２０５が設けられる。このため、ワーク２０１がトレイ３００の最上部に位置するとき（図２Ａ）、開口部２０４や貫通孔２０５を介して押さえパッド（不図示）によりワーク２０１の下方の保護フィルム２０２を上方から押さえることができる。そして、押さえパッドにより保護フィルム２０２を押圧しながら吸着パッドによりワーク２０１を吸着すれば、ワーク２０１と保護フィルム２０２の界面で真空破壊させることができ、ワーク２０１と保護フィルム２０２とを分離することが可能である。なお、ワーク２０１がトレイ３００に配置されている段階では、ワーク２０１に貫通孔２０５が設けられなくてもよい。
【0018】
これに対し、保護フィルム２０２がトレイ３００の最上部に位置するとき（図２Ｂ）、保護フィルム２０２には貫通孔がないため、押さえパッドにより保護フィルム２０２の下方のワーク２０１を上方から押さえることができない。このため、密着状態の保護フィルム２０２をワーク２０１から剥離することが困難であり、吸着パッドを介して保護フィルム２０２を上昇させると、ワーク２０１も一体に上昇するおそれがある。そこで、図２Ｂに示すような場合であっても保護フィルム２０２を容易に剥離することができるよう、本実施形態は以下のようにフィルム剥離装置１００を構成する。
【0019】
本実施形態に係るフィルム剥離装置１００は、互いに動作の異なる３種類のロッドおよびパッドを有する。以下では、３種類のロッドを、便宜上、吸着ロッド、第１押さえロッドおよび第２押さえロッドと呼び、これら吸着ロッド、第１押さえロッドおよび第２押さえロッドの先端に設けられるパッドを、それぞれ吸着パッド、第１押さえパッドおよび第２押さえパッドと呼ぶ。
【0020】
図３は、保護フィルム２０２の上面に当接されるパッド４０（吸着パッド４１、第１押さえパッド４２、第２押さえパッド４３）の位置を示す図である。図中、吸着パッド４１を丸で、第１押さえパッド４２を二重丸で、第２押さえパッド４３を三重丸で、それぞれ示す。
【0021】
まず、吸着ロッド３１と第１押さえロッド３２との関係について説明する。図３に示すように、保護フィルム２０２は４つの角部２０２ａと４つの辺（縁部２０２ｂ）とを有する。４つの角部２０２ａの内側には、それぞれ第１押さえパッド４２が配置される。より詳しくは、角部２０２ａ、２０２ａ同士を結ぶ対角線（不図示）上に、かつ、保護フィルム２０２の縁部２０２ｂに近接して第１押さえパッド４２が配置される。第１押さえパッド４２の内側（角部２０２ａの反対側）には、それぞれ第１押さえパッド４２に隣り合って吸着パッド４１が配置される。
【0022】
図４Ａは、吸着ロッド３１と第１押さえロッド３２の構成を概略的に示す図、すなわち図３の領域IVを側方から見た図である。図４Ａは、支持プレート２０の下降動作の途中を示す図であり、第１押さえパッド４２が保護フィルム２０２に接触を開始した時点を示す。
【0023】
図４Ａに示すように、吸着ロッド３１は、支持プレート２０を貫通して上下方向に延在し、支持部２１を介して支持プレート２０に支持される。支持部２１は、吸着ロッド３１を支持プレート２０に固定的に支持する固定部であり、例えば吸着ロッド３１の外周面から水平方向に延在するフランジ部を、ボルトを介して支持プレート２０の上面に固定するように構成される。支持部２１を溶接等の接合手段により構成し、接合手段を介して吸着ロッド３１を支持プレート２０に固定するようにしてもよい。吸着ロッド３１は筒状に形成され、上下方向に延在する内部通路を有する。内部通路は、不図示の真空発生器に連通する。
【0024】
吸着パッド４１は、ゴムや樹脂などの弾力性を有する部材によって構成される。吸着パッド４１には、上端面から下端面にかけて貫通孔が設けられ、貫通孔が吸着ロッド３１の内部通路を介して真空発生器に連通する。吸着パッド４１の下端面は、ワーク２０１や保護フィルム２０２などの対象物２００を吸着する吸着面であり、真空発生器がオンして貫通孔の内部が真空状態になると、対象物２００に対して吸着力が作用し、対象物２００を吸着することができる。真空発生器がオフすると、吸着力が除去され、吸着面から対象物２００を離脱することができる。真空発生器のオンオフは、真空発生器と吸着ロッド３１の内部通路とを接続する流路の途中に設けられた電磁弁の開閉を含む。真空発生器のオンオフ（例えば電磁弁の開閉）は、ＥＣＵ１５（図１）により制御される。
【0025】
第１押さえロッド３２は、支持プレート２０を貫通して上下方向に延在し、支持部２２を介して支持プレート２０に支持される。支持部２２は、ばね２２１を有し、ばね２２１を介して第１押さえロッド３２を、支持プレート２０に対して上下方向に相対移動可能に支持する。ばね２２１は例えば、支持プレート２０の上方において第１押さえロッド３２の周囲に配置された引張コイルばねである。ばね２２１の上端部は第１押さえロッド３２の上端部に連結され、下端部は支持プレート２０の上面に連結される。図４Ａは、ばね２２１に付勢力が作用していない初期状態であり、ばね２２１の長さは自由長である。
【0026】
第１押さえパッド４２は、保護フィルム２０２が第１押さえロッド３２により押圧されたまま、保護フィルム２０２がワーク２０１の上面に沿って水平方向に移動可能（摺動可能）となるように滑り部４２１を有する。滑り部４２１は、第１押さえパッド４２の先端のケース部４２０に、水平方向に延在する回転軸を介して回転可能に支持された、ボールまたはローラにより構成される。図４Ａの初期状態では、第１押さえパッド４２（滑り部４２１）の下端は、吸着パッド４１の下端よりも所定長さＺ１だけ下方に位置する。
【0027】
図４Ａ～図４Ｄを参照して、吸着ロッド３１と第１押さえロッド３２とを介したフィルム剥離装置１００の動作を説明する。支持プレート２０は、図４Ａに示す初期状態から下降される。このとき、第１押さえロッド３２の下端は保護フィルム２０２の上面に既に当接しているため、第１押さえロッド３２の位置は一定のまま、吸着ロッド３１が支持プレート２０とともに下降する。
【0028】
図４Ａの状態から支持プレート２０が所定長さＺ１だけ下降されると、図４Ｂに示すように、吸着パッド４１が保護フィルム２０２の上面に当接する。このとき、ばね２２１は、所定長さＺ１だけ引っ張られるため、第１押さえロッド３２にはばね２２１を介して下方への押し付け力が作用する。このため、保護フィルム２０２は第１押さえパッド４２を介して下方に押圧される。この状態で真空発生器がオンされ、吸着パッド４１を介した保護フィルム２０２の吸着が開始される。
【0029】
支持プレート２０が図４Ｂの状態から上昇されると、吸着パッド４１が上昇する。支持プレート２０が所定長さＺ１上昇するまでは、第１押さえパッド４２は、ばね２２１の付勢力により保護フィルム２０２に当接したままである。これにより、図４Ｃに示すように、保護フィルム２０２の端部（角部２０２ａ）が第１押さえパッド４２により押圧された状態で、保護フィルム２０２の一部（角部２０２ａの反対側）が吸着パッド４１により吸着されて上昇する。保護フィルム２０２の端部は第１押さえパッド４２により押圧されるため、ワーク２０１が保護フィルム２０２に吸着されて保護フィルム２０２と一体に上昇することを阻止できる。
【0030】
このとき、保護フィルム２０２には吸着パッド４１から引張力が作用するため、保護フィルム２０２は、滑り部４２１の下方でワーク２０１の上面に沿って摺動しながら、水平方向（吸着パッド側）に移動する。この場合、滑り部４２１のボールまたはローラが回転するため、第１押さえパッド４２により保護フィルム２０２が押圧されながらの保護フィルム２０２の移動が容易である。支持プレート２０が所定長さＺ１上昇した状態では、保護フィルム２０２の端部（角部２０２ａ）が第１押さえパッド４２の下方に位置する。
【0031】
図４Ｃの状態からさらに支持プレート２０が上昇されると、図４Ｄに示すように、第１押さえロッド３２が支持プレート２０とともに上昇し、第１押さえパッド４２が保護フィルム２０２から離れる。これにより第１押さえパッド４２の下方の保護フィルム２０２が、ワーク２０１の上面から剥離される。
【0032】
次に、吸着ロッド３１と第２押さえロッド３３との関係について説明する。図３に示すように、保護フィルム２０２の４つの辺（縁部２０２ｂ）の中間部における内側には、縁部２０２ｂに沿って吸着パッド４１と第２押さえパッド４３とが並んで配置される。このため、領域Vに示すように、第２押さえパッド４３の両側に一対の吸着パッド４１が配置されるようになり、第２押さえパッド４３は、一対の吸着パッド４１を結んだ仮想線Ｌ１よりも外側（保護フィルム２０２の縁側）に位置する。
【0033】
図５Ａは、吸着ロッド３１と第２押さえロッド３３の構成を概略的に示す図、すなわち図３の領域Vを側方から見た図である。図５Ａは、図４Ａと同様、 支持プレート２０の下降動作の途中を示す図であり、第２押さえパッド４３が保護フィルム２０２に接触を開始した時点を示す。なお、図３では、第２押さえパッド４３が一対の吸着パッド４１の一方に寄っているが、図５Ａは、便宜上、第２押さえパッド４３が一対の吸着パッド４１の中間地点に位置するものとして示す。
【0034】
図５Ａに示すように、第２押さえロッド３３は、支持プレート２０を貫通して上下方向に延在し、支持部２３を介して支持プレート２０に支持される。支持部２３は、ばね２３１を有し、ばね２３１を介して第２押さえロッド３３を、支持プレート２０に対して上下方向に相対移動可能に支持する。ばね２３１は例えば、支持プレート２０の上方において第２押さえロッド３３の周囲に配置された引張コイルばねである。ばね２３１の上端部は第２押さえロッド３３の上端部に連結され、下端部は支持プレート２０の上面に連結される。図５Ａは、ばね２３１に付勢力が作用していない初期状態であり、ばね２３１の長さは自由長である。
【0035】
第２押さえパッド４３は、保護フィルム２０２が第２押さえロッド３３により押圧されたまま、保護フィルム２０２が変位可能となるように弾性体４３１を有する。弾性体４３１は、ゴムや樹脂などにより構成される。図５Ａの状態では、第２押さえパッド４３の下端は、吸着パッド４１の下端よりも所定長さＺ２だけ下方に位置する。所定長さＺ２は、所定長さＺ１（図４Ａ）よりも短い。なお、Ｚ２がＺ１と等しくてもよい。
【0036】
図５Ａ～図５Ｃを参照して、吸着ロッド３１と第２押さえロッド３３とを介したフィルム剥離装置１００の動作を説明する。支持プレート２０は、図５Ａに示す初期状態から下降される。このとき、第２押さえロッド３３の下端は保護フィルム２０２の上面に既に当接しているため、第２押さえロッド３３の位置は一定のまま、吸着ロッド３１が支持プレート２０とともに下降する。
【0037】
図５Ａの状態から支持プレート２０が所定量（所定長さＺ２）だけ下降されると、図５Ｂに示すように、吸着パッド４１が保護フィルム２０２の上面に当接する。このとき、ばね２３１は、所定長さＺ２だけ引っ張られるため、第２押さえロッド３３にはばね２３１を介して下方への押し付け力が作用する。このため、保護フィルム２０２は第２押さえパッド４３を介して下方に押圧される。
【0038】
支持プレート２０が図５Ｂの状態から上昇されると、吸着パッド４１が上昇する。支持プレート２０が所定長さＺ２上昇するまでは、第２押さえパッド４３は、ばね２３１の付勢力により保護フィルム２０２に当接したままである。このとき、第２押さえパッド４３の弾性体４３１が弾性変形しながら、保護フィルム２０２に引張力が作用することにより、ワーク２０１と保護フィルム２０２との界面で真空破壊が生じ、界面に空気が入り込む。
【0039】
この場合、図６の矢印Ａに示すように、第２押さえパッド４３と吸着パッド４１とを結ぶ領域ＡＲ１に、外側から空気が浸入し、領域ＡＲ１にしわが生じる。これにより保護フィルム２０２の剥離が促進され、吸着パッド４１により保護フィルム２０２を上方に引っ張り上げた際に、保護フィルム２０２をワーク２０１から容易に剥離することができる。
【0040】
本実施形態に係るフィルム剥離装置１００による動作をまとめると以下のようになる。なお、以下の動作は、本実施形態に係るフィルム剥離方法による保護フィルム２０２の剥離の工程を表す。まず、ＥＣＵ１５からの指令によりロボット１０を駆動し、支持プレート２０を水平姿勢としてトレイ３００の上方の初期位置に移動する（初期移動工程）。次いで、吸着パッド４１と第１押さえパッド４２と第２押さえパッド４３とがそれぞれ保護フィルム２０２の上面に当接するまで、ロボット１０の駆動によって支持プレート２０を下降する（下降工程）。このとき、第１押さえパッド４２が保護フィルム２０２に最初に当接し、次に、第２押さえパッド４３が当接し、最後に吸着パッド４１が当接する。
【0041】
なお、全てのパッド４１～４３が保護フィルム２０２に当接した状態における支持プレート２０の位置（図４Ｂ，図５Ｂ）を、第１位置と呼ぶことがある。また、支持プレート２０の下降前の初期位置を第２位置と呼ぶことがある。支持プレート２０は、第１位置と第２位置との間を移動可能に設けられる。
【0042】
次いで、ＥＣＵ１５からの指令により真空発生器をオンし、吸着パッドによる保護フィルム２０２の吸着を開始する。さらに、ロボット１０の駆動によって支持プレート２０を所定速度で上昇させる（上昇工程）。図７は、上昇工程の開始時点からの時間経過に伴うパッド４０の移動量を示す図である。図中、特性ｆ０は、吸着パッド４１の移動量を、特性ｆ１は、第１押さえパッド４２の移動量を、特性ｆ２は、第２押さえパッド４３の移動量に相当する。
【0043】
図７に示すように、時点ｔ１に至るまでは、第１押さえパッド４２と第２押さえパッド４３とがばね２２１，２３１の付勢力により保護フィルム２０２を押圧したまま、吸着パッド４１のみが上昇する。第１押さえパッド４２の上昇開始の時点が吸着パッド４１の上昇開始の時点よりも遅れることで、第１押さえパッド４２によりワーク２０１の上昇が阻止される。一方、保護フィルム２０２は、滑り部４２１を介して第１押さえパッド４２に対し相対移動可能であるため、保護フィルム２０２の上昇は可能である。
【0044】
このとき、保護フィルム２０２は第２押さえパッド４３により押圧されながら上昇するため、吸着パッド４１と第２押さえパッド４３との間の領域ＡＲ１で真空破壊が生じ、領域ＡＲ１に空気が浸入する（図６）。時点ｔ１で、吸着パッド４１の移動量が所定値（所定長さＺ２）に達すると、第２押さえパッド４３が上昇を開始する（図５Ｃ）。その後、時点ｔ２に至るまでは、第１押さえパッド４２がばね２２１の付勢力により保護フィルム２０２を押圧したまま、吸着パッド４１と第２押さえパッド４３とが上昇する。時点ｔ２で、吸着パッド４１の移動量が所定値（所定長さＺ１）になると、第１押さえパッド４２が上昇を開始する（図４Ｃ）。以上によりワーク２０１から保護フィルム２０２を容易に剥離することができる。
【0045】
本実施形態によれば以下のような作用効果を奏することができる。
（１）フィルム剥離装置１００は、保護フィルム２０２が密着されたワーク２０１から保護フィルム２０２を剥離するものであり、ワーク２０１が載置されるトレイ３００の上方において、第１位置と第１位置よりも上方の第２位置との間を、上下方向に移動可能に配置された支持プレート２０と、支持プレート２０からトレイ３００に向けて下方に延在し、支持プレート２０が第１位置に位置するとき、保護フィルム２０２の上面に当接する吸着パッド４１を下端部に有する吸着ロッド３１と、支持プレート２０からトレイ３００に向けて下方に延在し、支持プレート２０が第１位置に位置するとき、保護フィルム２０２の上面に当接する第１押さえパッド４２を下端部に有する第１押さえロッド３２と、支持プレート２０の上下方向の移動に伴い吸着ロッド３１および第１押さえロッド３２が上下方向に移動するように吸着ロッド３１および第１押さえロッド３２を支持プレート２０から支持する支持部２１，２２と、を備える（図１，図４Ａ）。吸着パッド４１は、保護フィルム２０２を吸着する吸着部として機能する。第１押さえパッド４２は、保護フィルム２０２が第１押さえロッド３２により押圧されたまま、保護フィルム２０２が水平方向に移動可能となるように滑り部４２１を有する（図４Ａ）。支持部２１，２２は、支持プレート２０が第１位置から第２位置まで移動するとき、吸着ロッド３１が上昇を開始した後、第１押さえロッド３２が上昇を開始するように吸着ロッド３１および第１押さえロッド３２を支持する（図４Ａ～図４Ｄ，図７）。
（１）フィルム剥離装置１００は、保護フィルム２０２が密着されたワーク２０１から保護フィルム２０２を剥離するものであり、ワーク２０１が載置されるトレイ３００の上方において、第１位置と第１位置よりも上方の第２位置との間を、上下方向に移動可能に配置された支持プレート２０と、支持プレート２０からトレイ３００に向けて下方に延在し、支持プレート２０が第１位置に位置するとき、保護フィルム２０２の上面に当接する吸着パッド４１を下端部に有する吸着ロッド３１と、支持プレート２０からトレイ３００に向けて下方に延在し、支持プレート２０が第１位置に位置するとき、保護フィルム２０２の上面に当接する第１押さえパッド４２を下端部に有する第１押さえロッド３２と、支持プレート２０の上下方向の移動に伴い吸着ロッド３１および第１押さえロッド３２が上下方向に移動するように吸着ロッド３１および第１押さえロッド３２を支持プレート２０から支持する支持部２１，２２と、を備える（図１，図４Ａ）。吸着パッド４１は、保護フィルム２０２を吸着する吸着部として機能する。第１押さえパッド４２は、保護フィルム２０２が第１押さえロッド３２により押圧されたまま、保護フィルム２０２が水平方向に移動可能となるように滑り部４２１を有する（図４Ａ）。支持部２１，２２は、支持プレート２０が第１位置から第２位置まで移動するとき、吸着ロッド３１が上昇を開始した後、第１押さえロッド３２が上昇を開始するように吸着ロッド３１および第１押さえロッド３２を支持する（図４Ａ～図４Ｄ，図７）。
【0046】
この構成により、第１押さえパッド４２の上昇開始の時点が吸着パッド４１の上昇開始の時点よりも遅れるため、吸着パッド４１で保護フィルム２０２が吸着した際にワーク２０１が保護フィルム２０２とともに上昇することが、第１押さえパッド４２により阻止される。また、保護フィルム２０２は、滑り部４２１を介して第１押さえパッド４２に対し相対移動可能であるため、保護フィルム２０２がワーク２０１の上面を摺動しながら上昇することが可能である。これにより、ワーク２０１に密着された保護フィルム２０２を容易に剥離することができる。
（２）滑り部４２１は、回転可能なボールまたはローラを有する（図４Ａ）。これにより、保護フィルム２０２は第１押さえパッド４２により押圧されながら、第１押さえパッド４２に対し容易に水平方向に移動可能である。
（３）支持部２１は、吸着ロッド３１を支持プレート２０に固定する固定部であり、支持部２２は、第１押さえロッド３２を支持プレート２０に対し上下動可能に支持する可動支持部である。可動支持部は、支持プレート２０から下方に突出する第１押さえロッド３２の突出量の減少に伴い、第１押さえロッド３２の下方への付勢力が増加するようにばね２３１を介して第１押さえロッド３２を支持する（図４Ａ）。これにより、簡易な構成で、第１押さえパッド４２により保護フィルム２０２を押圧しながら吸着パッド４１を上昇させることができる。
（４）吸着ロッド３１および第１押さえロッド３２は、支持プレート２０が第１位置に位置するとき、第１押さえパッド４２が吸着パッド４１と保護フィルム２０２の縁部２０２ｂとの間に位置するように設けられる（図３）。これにより、保護フィルム２０２が水平方向内側に引っ張られ、保護フィルム２０２をワーク２０１から容易に剥離することができる。
（５）フィルム剥離装置１００は、支持プレート２０からトレイ３００に向けて下方に延在し、支持プレート２０が第１位置に位置するとき、保護フィルム２０２の上面に当接する第２押さえパッド４３を下端部に有する第２押さえロッド３３をさらに備える（図５Ａ）。第２押さえパッド４３は、保護フィルム２０２が第２押さえロッド３３により押圧されたまま、保護フィルム２０２が変位可能となるように弾性体４３１を有する（図５Ａ）。支持部２１～２３は、支持プレート２０が第１位置から第２位置まで移動するとき、吸着ロッド３１が上昇を開始した後、第１押さえロッド３２が上昇を開始する前に第２押さえロッド３３が上昇を開始するようにさらに第２押さえロッド３３をさらに支持する（図５Ａ～図５Ｃ、図７）。これにより、ワーク２０１と保護フィルム２０２との界面での真空破壊を生じさせやすく、保護フィルム２０２の剥離を促進することができる。
（６）支持部２３は、第２押さえロッド３３を支持プレート２０に対し上下動可能に支持する可動支持部であり、支持プレート２０から下方に突出する第２押さえロッド３３の突出量の減少に伴い、第２押さえロッド３３の下方への付勢力が増加するようにばね２３１を介して第２押さえロッド３３を支持するように構成される（図５Ａ）。第１押さえロッド３２の付勢力が０となる下方への突出量（長さＺ１）は、第２押さえロッド３３の付勢力が０となる下方への突出量（長さＺ２）よりも大きい（図４Ａ，図５Ａ）。これにより、簡易な構成で、第２押さえパッド４３により保護フィルム２０２を押圧しながら吸着パッド４１を上昇させることができる。また、長さＺ１とＺ２との関係は、Ｚ１＞Ｚ２であるので、第２押さえパッド４３が保護フィルム２０２から離間した後に第１押さえパッド４２が保護フィルム２０２から離間するようになる。すなわち、第２押さえパッド４３と吸着パッド４１とを結ぶ領域ＡＲ１（図６）に空気を浸入させて保護フィルム２０２の剥離を促進した状態で、第１押さえパッド４２によりワーク２０１を押圧しながら保護フィルム２０２を剥離するようになる。これにより保護フィルム２０２の剥離が一層容易になる。
（７）フィルム剥離装置１００は、第２押さえロッド３３の両側に一対の吸着ロッド３１を備える（図５Ａ）。一対の吸着ロッド３１と第２押さえロッド３３とは、支持プレート２０が第１位置に位置するとき、一対の吸着パッド４１の一方と第２押さえパッド４３とが隣り合って位置するとともに、第２押さえパッド４３が一対の吸着パッド４１を結ぶ仮想線Ｌ１と保護フィルム２０２の縁部２２ｂとの間に位置するように設けられる（図３）。これにより、第２押さえパッド４３の両側の領域ＡＲ１に空気を浸入させることができ、保護フィルム２０２の剥離が容易になる。
（８）保護フィルム２０２は平面視略矩形状を呈する（図３）。一対の吸着ロッド３１と第１押さえロッド３２と第２押さえロッド３３とは、支持プレート２０が第１位置に位置するとき、一対の吸着パッド４１の一方と第２押さえパッド４３とが保護フィルム２０２の縁部２０２ｂに沿って並んで位置し、第１押さえパッド４２が保護フィルム２０２の角部２０２ａに位置し、さらに一対の吸着パッド４１の他方が第１押さえパッド４２に並んで角部２０２ａの反対側に位置するように設けられる（図３）。これにより第１押さえパッド４２と第２押さえパッド４３とを相互に有効に作用させることができ、保護フィルム２０２全体を容易に剥離することができる。
（９）保護フィルム２０２が密着されたワーク２０１から保護フィルム２０２を剥離するフィルム剥離方法としては、ワーク２０１が載置されたトレイ３００に向けて下方に延在し、下端部に吸着パッド４１を有する吸着ロッド３１と、トレイ３００に向けて下方に延在し、下端部に第１押さえパッド４２を有する第１押さえロッド３２とを支持する支持プレート２０を、トレイ３００の上方に配置する初期移動工程（第１工程）と、吸着パッド４１と第１押さえパッド４２とが保護フィルム２０２の上面に当接する第１位置まで支持プレート２０を下降する下降工程（第２工程）と、吸着パッド４１により保護フィルム２０２を吸着しながら、支持プレート２０を上昇する上昇工程（第３工程）と、を含む（図４Ａ～図４Ｄ）。第１押さえパッド４２は、保護フィルム２０２が第１押さえロッド３２により押圧されたまま、保護フィルム２０２が水平方向に移動可能となるように滑り部４２１を有する（図４Ａ）。上昇工程では、吸着ロッド３１が所定量（長さＺ１）上昇するまで、第１押さえロッド３２が上昇しない（図４Ａ～図４Ｄ）。これによりワーク２０１に密着された保護フィルム２０２を、ワーク表面から容易に剥離することができる。
（１０）初期移動工程では、トレイ３００に向けて下方に延在し、下端部に第２押さえパッド４３を有する第２押さえロッド３３をさらに支持する支持プレート２０を、トレイ３００の上方に配置する（図５Ａ）。第２押さえパッド４３は、保護フィルム２０２が第２押さえロッド３３により押圧されたまま、保護フィルム２０２が変位可能となるように弾性体４３１を有する（図５Ａ）。上昇工程では、吸着ロッド３１が所定量（長さＺ１より小さい長さＺ２）上昇するまで、第２押さえロッド３３が上昇しない（図５Ａ～図５Ｃ）。第２押さえパッド４３の作用により、ワーク２０１と保護フィルム２０２との界面での真空破壊が促進され、保護フィルム２０２の剥離が一層容易になる。
（２）滑り部４２１は、回転可能なボールまたはローラを有する（図４Ａ）。これにより、保護フィルム２０２は第１押さえパッド４２により押圧されながら、第１押さえパッド４２に対し容易に水平方向に移動可能である。
（３）支持部２１は、吸着ロッド３１を支持プレート２０に固定する固定部であり、支持部２２は、第１押さえロッド３２を支持プレート２０に対し上下動可能に支持する可動支持部である。可動支持部は、支持プレート２０から下方に突出する第１押さえロッド３２の突出量の減少に伴い、第１押さえロッド３２の下方への付勢力が増加するようにばね２３１を介して第１押さえロッド３２を支持する（図４Ａ）。これにより、簡易な構成で、第１押さえパッド４２により保護フィルム２０２を押圧しながら吸着パッド４１を上昇させることができる。
（４）吸着ロッド３１および第１押さえロッド３２は、支持プレート２０が第１位置に位置するとき、第１押さえパッド４２が吸着パッド４１と保護フィルム２０２の縁部２０２ｂとの間に位置するように設けられる（図３）。これにより、保護フィルム２０２が水平方向内側に引っ張られ、保護フィルム２０２をワーク２０１から容易に剥離することができる。
（５）フィルム剥離装置１００は、支持プレート２０からトレイ３００に向けて下方に延在し、支持プレート２０が第１位置に位置するとき、保護フィルム２０２の上面に当接する第２押さえパッド４３を下端部に有する第２押さえロッド３３をさらに備える（図５Ａ）。第２押さえパッド４３は、保護フィルム２０２が第２押さえロッド３３により押圧されたまま、保護フィルム２０２が変位可能となるように弾性体４３１を有する（図５Ａ）。支持部２１～２３は、支持プレート２０が第１位置から第２位置まで移動するとき、吸着ロッド３１が上昇を開始した後、第１押さえロッド３２が上昇を開始する前に第２押さえロッド３３が上昇を開始するようにさらに第２押さえロッド３３をさらに支持する（図５Ａ～図５Ｃ、図７）。これにより、ワーク２０１と保護フィルム２０２との界面での真空破壊を生じさせやすく、保護フィルム２０２の剥離を促進することができる。
（６）支持部２３は、第２押さえロッド３３を支持プレート２０に対し上下動可能に支持する可動支持部であり、支持プレート２０から下方に突出する第２押さえロッド３３の突出量の減少に伴い、第２押さえロッド３３の下方への付勢力が増加するようにばね２３１を介して第２押さえロッド３３を支持するように構成される（図５Ａ）。第１押さえロッド３２の付勢力が０となる下方への突出量（長さＺ１）は、第２押さえロッド３３の付勢力が０となる下方への突出量（長さＺ２）よりも大きい（図４Ａ，図５Ａ）。これにより、簡易な構成で、第２押さえパッド４３により保護フィルム２０２を押圧しながら吸着パッド４１を上昇させることができる。また、長さＺ１とＺ２との関係は、Ｚ１＞Ｚ２であるので、第２押さえパッド４３が保護フィルム２０２から離間した後に第１押さえパッド４２が保護フィルム２０２から離間するようになる。すなわち、第２押さえパッド４３と吸着パッド４１とを結ぶ領域ＡＲ１（図６）に空気を浸入させて保護フィルム２０２の剥離を促進した状態で、第１押さえパッド４２によりワーク２０１を押圧しながら保護フィルム２０２を剥離するようになる。これにより保護フィルム２０２の剥離が一層容易になる。
（７）フィルム剥離装置１００は、第２押さえロッド３３の両側に一対の吸着ロッド３１を備える（図５Ａ）。一対の吸着ロッド３１と第２押さえロッド３３とは、支持プレート２０が第１位置に位置するとき、一対の吸着パッド４１の一方と第２押さえパッド４３とが隣り合って位置するとともに、第２押さえパッド４３が一対の吸着パッド４１を結ぶ仮想線Ｌ１と保護フィルム２０２の縁部２２ｂとの間に位置するように設けられる（図３）。これにより、第２押さえパッド４３の両側の領域ＡＲ１に空気を浸入させることができ、保護フィルム２０２の剥離が容易になる。
（８）保護フィルム２０２は平面視略矩形状を呈する（図３）。一対の吸着ロッド３１と第１押さえロッド３２と第２押さえロッド３３とは、支持プレート２０が第１位置に位置するとき、一対の吸着パッド４１の一方と第２押さえパッド４３とが保護フィルム２０２の縁部２０２ｂに沿って並んで位置し、第１押さえパッド４２が保護フィルム２０２の角部２０２ａに位置し、さらに一対の吸着パッド４１の他方が第１押さえパッド４２に並んで角部２０２ａの反対側に位置するように設けられる（図３）。これにより第１押さえパッド４２と第２押さえパッド４３とを相互に有効に作用させることができ、保護フィルム２０２全体を容易に剥離することができる。
（９）保護フィルム２０２が密着されたワーク２０１から保護フィルム２０２を剥離するフィルム剥離方法としては、ワーク２０１が載置されたトレイ３００に向けて下方に延在し、下端部に吸着パッド４１を有する吸着ロッド３１と、トレイ３００に向けて下方に延在し、下端部に第１押さえパッド４２を有する第１押さえロッド３２とを支持する支持プレート２０を、トレイ３００の上方に配置する初期移動工程（第１工程）と、吸着パッド４１と第１押さえパッド４２とが保護フィルム２０２の上面に当接する第１位置まで支持プレート２０を下降する下降工程（第２工程）と、吸着パッド４１により保護フィルム２０２を吸着しながら、支持プレート２０を上昇する上昇工程（第３工程）と、を含む（図４Ａ～図４Ｄ）。第１押さえパッド４２は、保護フィルム２０２が第１押さえロッド３２により押圧されたまま、保護フィルム２０２が水平方向に移動可能となるように滑り部４２１を有する（図４Ａ）。上昇工程では、吸着ロッド３１が所定量（長さＺ１）上昇するまで、第１押さえロッド３２が上昇しない（図４Ａ～図４Ｄ）。これによりワーク２０１に密着された保護フィルム２０２を、ワーク表面から容易に剥離することができる。
（１０）初期移動工程では、トレイ３００に向けて下方に延在し、下端部に第２押さえパッド４３を有する第２押さえロッド３３をさらに支持する支持プレート２０を、トレイ３００の上方に配置する（図５Ａ）。第２押さえパッド４３は、保護フィルム２０２が第２押さえロッド３３により押圧されたまま、保護フィルム２０２が変位可能となるように弾性体４３１を有する（図５Ａ）。上昇工程では、吸着ロッド３１が所定量（長さＺ１より小さい長さＺ２）上昇するまで、第２押さえロッド３３が上昇しない（図５Ａ～図５Ｃ）。第２押さえパッド４３の作用により、ワーク２０１と保護フィルム２０２との界面での真空破壊が促進され、保護フィルム２０２の剥離が一層容易になる。
【0047】
なお、上記実施形態では、多関節型のロボット１０を用いて支持プレート２０（移動体）をトレイ３００（載置部）の上方で昇降するようにしたが、ロボット以外を用いて移動体を上下動可能に支持するようにしてもよい。例えば移動体が、鉛直方向に立設された枠体に沿って上下動可能に支持されるようにしてもよい。上記実施形態では、移動体を支持プレート２０により構成したが、移動体はプレート以外であってもよい。吸着パッド４１（第１当接部）を下端部に有する吸着ロッド３１（第１ロッド）と、第１押さえパッド４２（第２当接部）を下端部に有する第１押さえロッド３２（第２ロッド）と、第２押さえパッド４３（第３当接部）を下端部に有する第２押さえロッド３３（第３ロッド）と、をフィルム剥離装置１００に設けるようにしたが、第３ロッドを省略することもできる。
【0048】
上記実施形態では、吸着パッド４１に真空発生器を接続して保護フィルム２０２を吸着するようにしたが、吸着部の構成は上述したものに限らない。上記実施形態では、回転可能なボールまたはローラにより第１押さえパッド４２の滑り部４２１を構成したが、滑り部の構成は上述したものに限らない。滑り部に導電性の高いローラやイオナイザーを用いることで、静電気の除去機能を得るようにしてもよい。上記実施形態では、支持部２２がばね２２１（第１ばね）を介して第１押さえロッド３２を支持プレート２０に上下動可能に支持するようにしたが、可動支持部（第１可動支持部）の構成は上述したものに限らない。上記実施形態では、支持部２３がばね２３１（第２ばね）を介して第２押さえロッド３３を支持プレート２０に上下動可能に支持するようにしたが、第２可動支持部の構成は上述したものに限らない。
【0049】
上記実施形態では、燃料電池の膜電極接合体を構成する樹脂製のフレームをワーク２０１として、ワーク２０１の表面に密着された保護フィルム２０２を剥離する例を説明したが、本発明は、フィルムが密着された他のワークからフィルムを剥離する場合にも同様に適用することができる。
【0050】
以上、本発明をその好適な実施形態に関連して説明したが、後述する特許請求の範囲の開示範囲から逸脱することなく様々な修正及び変更をなしうることは、当業者に理解されよう。
【符号の説明】
【0051】
２０ 支持プレート、２１，２２ 支持部、３１ 吸着ロッド、３２ 第１押さえロッド、３３ 第２押さえロッド、４１ 吸着パッド、４２ 第１押さえパッド、４３ 第２押さえパッド、１００ フィルム剥離装置、３００ トレイ、４２１ 滑り部
【図1】
【図2A】
【図2B】
【図3】
【図4A】
【図4B】
【図4C】
【図4D】
【図5A】
【図5B】
【図5C】
【図6】
【図7】