特開 2024-144282 塗布装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024144282

(43)【公開日】2024-10-11

(54)【発明の名称】塗布装置

(51)【国際特許分類】

   B05C 5/02 20060101AFI20241003BHJP

   B05C 11/10 20060101ALI20241003BHJP

【ＦＩ】

B05C5/02

B05C11/10

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2024048082

(22)【出願日】2024-03-25

(31)【優先権主張番号】P 2023054455

(32)【優先日】2023-03-30

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000219314

【氏名又は名称】東レエンジニアリング株式会社

(72)【発明者】

【氏名】渡邉 敦

(72)【発明者】

【氏名】木田 威

【テーマコード（参考）】

4F041

4F042

【Ｆターム（参考）】

4F041AA12

4F041AB01

4F041BA05

4F041BA12

4F041BA34

4F041BA36

4F041CA03

4F041CA13

4F041CA17

4F042AA22

4F042BA02

4F042BA06

4F042BA08

4F042BA12

4F042BA25

4F042CA01

4F042CA09

4F042CB02

4F042CB08

4F042CB10

4F042CB19

4F042DF23

(57)【要約】

【課題】塗布終了部における塗布液の引きずりを抑制することができる塗布装置を提供することを目的としている。
【解決手段】搬送される基材に対して塗布液を塗布する塗布装置であって、基材の搬送方向と直交する幅方向に長い吐出口と、前記吐出口と繋がり塗布液を前記吐出口に供給する塗布流路とが形成された塗布部と、前記塗布流路の容積を変化させる容積調節機構と、を備えており、前記容積調節機構は、前記塗布流路に挿入された容積調節部と、前記容積調節部の挿入量を調節する駆動部と、を有している構成とする。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送される基材に対して塗布液を塗布する塗布装置であって、
基材の搬送方向と直交する幅方向に長い吐出口と、前記吐出口と繋がり塗布液を前記吐出口に供給する塗布流路とが形成された塗布部と、
前記塗布流路の容積を変化させる容積調節機構と、を備えており、
前記容積調節機構は、前記塗布流路に挿入された容積調節部と、前記容積調節部の挿入量を調節する駆動部と、を有していることを特徴とする塗布装置。

【請求項2】

前記容積調節機構は、前記幅方向における前記塗布流路の両端部のそれぞれから挿入された一対の前記容積調節部を有していることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。

【請求項3】

前記塗布流路は、前記幅方向における前記吐出口の両端部のそれぞれよりも前記幅方向に向かって突出するように形成された一対の拡大空間を有しており、
前記一対の前記容積調節部は、前記一対の前記拡大空間に挿入されていることを特徴とする請求項２に記載の塗布装置。

【請求項4】

前記塗布流路は、前記幅方向に長く塗布液を溜める空間であるマニホールドと、前記マニホールドと前記吐出口とを繋ぐスリットと、を有しており、
前記一対の前記拡大空間は、前記幅方向における前記マニホールドの両端部のそれぞれから突出するように形成されていることを特徴とする請求項３に記載の塗布装置。

【請求項5】

前記幅方向における前記拡大空間の断面積は、前記幅方向における前記マニホールドの断面積よりも小さいことを特徴とする請求項４に記載の塗布装置。

【請求項6】

前記容積調節部の前記拡大空間に挿入された先端部には、前記幅方向において少なくとも一部の断面積が前記拡大空間の断面積と略同一の大きさになるように形成された抵抗部が設けられ、前記拡大空間において前記駆動部により前記幅方向に往復動作することを特徴とする請求項３から請求項５のいずれかに記載の塗布装置。

【請求項7】

前記抵抗部は、前記幅方向における断面積が、前記幅方向における前記塗布部の中央側に向かうにつれて小さくなるように形成されていることを特徴とする請求項６に記載の塗布装置。

【請求項8】

前記塗布流路は、前記幅方向に長く塗布液を溜める空間であるマニホールドと、前記幅方向に広く前記マニホールドと前記吐出口とを繋ぐスリットと、を有しており、前記容積調節部は、前記マニホールドに挿入されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の塗布装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

基材に塗布液を塗布して塗膜を形成する塗布装置に関する。

【背景技術】

【0002】

リチウムイオン電池は、ロールツーロールで搬送されるアルミ箔や、銅箔などのシート状の基材に対して、電極材料のスラリーを塗布して塗膜を形成し、形成した塗膜を乾燥させることで正極、負極が形成されている。

【0003】

そして、搬送される基材に塗布液を塗布する工程では、生産性向上のための高速化、塗布液のロス軽減のために塗布液を間欠的に塗布することが行われている。すなわち、ロールツーロールで搬送される基材に対して塗布液の塗布と塗布の中断が繰り返されて、基材の搬送方向において各々の塗膜間に一定の間隔が空くように基材上に塗膜を連続的に形成している。

【0004】

下記特許文献１には、塗布液を間欠的に塗布する塗布装置が開示されている。この塗布装置は、図１０に示すように、塗布液を塗布する塗布部９１０と、塗布部９１０に塗布液を供給する供給機構９２０と、を備え、供給機構９２０から塗布部９１０に供給された塗布液が、塗布部９１０の内部に形成されたマニホールド９１１およびスリット９１２を経由して、基材９３０と対向する吐出口９１３から吐出される。

【0005】

また、供給機構９２０は、図１０に示すように、塗布液を貯留するタンク９４０と塗布部９１０を連結する供給路９２１と、供給路９２１の途中に設けられた供給バルブ９２２と、を有しており、供給バルブ９２２の内部に設けられた弁体９２３の位置がモータの駆動により変化することによって、塗布液の流路を形成する開状態と塗布液の流路を遮断する閉状態との２つの状態に切り替える。ここで、塗布装置９００は、供給バルブ９２２を開状態に切り替えたときに塗布部９１０の吐出口９１３から塗布液が吐出されて塗布液の塗布を開始し、供給バルブ９２２を閉状態に切り替えたときに塗布部９１０への塗布液の供給が途切れて塗布液の塗布を中断する。すなわち、塗布装置９００は、弁体９２３の位置を変化させて供給バルブ９２２の開状態と閉状態の切り替えを繰り返すことによって、基材上に塗布液を間欠的に塗布している。

【0006】

また、図１０に示すように、供給バルブ９２２よりも手前の供給路９２１の途中には回収バルブ９２４があり、回収バルブ９２４の内部に設けられた弁体９２５の位置がモータの駆動により変化することによって、回収バルブ９２４を開状態と閉状態に切り替える。ここで、塗布装置９００は、供給バルブ９２２を閉状態に切り替え回収バルブ９２４を開状態に切り替えることによって塗布液の塗布を中断して塗布液をタンク９４０に回収し、供給バルブ９２２を開状態に切り替え回収バルブ９２４を閉状態に切り替えることによって、塗布液の塗布を行っている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開２０１４－１８８４４９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

しかし、上記塗布装置９００では、塗布終了部において塗布液の引きずりが生じるという問題があった。具体的には、上記塗布装置９００では、供給バルブ９２２を閉状態に切り替えて塗布部９１０による塗布液の塗布を中断する際に、供給路９２１の上流側に向かって弁体９２３の位置を変化させて塗布部９１０内の圧力を低減させることによって、吐出口９１３から供給路９２１に向かって塗布液を引き込み、吐出口９１３における液切りを行っている。このように、上記塗布装置９００では、吐出口９１３から離れた位置に設けられた供給バルブ９２２の弁体９２３の動作によって、塗布部９１０内の圧力を低減させているため、その効果が吐出口９１３に及びにくくなっていた。そのため、吐出口９１３における液切りを十分に行うことができず、図１１（ａ）に示すように塗膜９３１の終端である塗布終了部９３２において塗布液の引きずり９３３が生じる場合があった。

【0009】

本発明は、上記問題点を鑑みてなされたものであり、塗布終了部における塗布液の引きずりを抑制することができる塗布装置を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0010】

上記課題を解決するために本発明の塗布装置は、搬送される基材に対して塗布液を塗布する塗布装置であって、基材の搬送方向と直交する幅方向に長い吐出口と、前記吐出口と繋がり塗布液を前記吐出口に供給する塗布流路とが形成された塗布部と、前記塗布流路の容積を変化させる容積調節機構と、を備えており、前記容積調節機構は、前記塗布流路に挿入された容積調節部と、前記容積調節部の挿入量を調節する駆動部と、を有していることを特徴としている。

【0011】

上記塗布装置によれば、容積調節機構が容積調節部と駆動部を有し、駆動部によって塗布部に形成された塗布流路に挿入された容積調節部の挿入量を調節することにより塗布流路の容積を大きくし、塗布流路の圧力を低減させ、塗布液を吐出口から塗布流路に引き込ませることが可能になる。すなわち、容積調節機構は、塗布部内に挿入された容積調節部の挿入量を調節することによって、塗布部内の圧力を低減させている。これにより、吐出口に近い位置で塗布部内の圧力を低減させることが可能になるため、その効果を吐出口に及ぼしやすくなる。これにより、塗布部による塗布液の塗布を中断させる際に吐出口における液切りを十分に行うことが可能になり、塗布終了部における塗布液の引きずりを抑制することができる。

【0012】

また、前記容積調節機構は、前記幅方向における前記塗布流路の両端部のそれぞれから挿入された一対の前記容積調節部を有している構成としてもよい。

【0013】

この構成によれば、基材の搬送方向と直交する幅方向（以下、幅方向と呼ぶ）における流路の両端部のそれぞれから塗布流路に挿入された一対の容積調節部の挿入量を調節することにより、幅方向における塗布流路の両端部のそれぞれの近傍の容積を大きくし、塗布流路の圧力を低減させ、吐出口から塗布流路に向かって塗布液を引き込むことが可能になる。すなわち、塗布流路の圧力を幅方向に亘って低減させることが可能になり、その効果を吐出口の幅方向に亘って及ぼすことができる。これにより、塗布終了部における塗布液の引きずりを幅方向に亘って抑制することができる。

【0014】

また、前記塗布流路は、前記幅方向における前記吐出口の両端部のそれぞれよりも前記幅方向に向かって突出するように形成された一対の拡大空間を有しており、前記一対の前記容積調節部は、前記一対の前記拡大空間に挿入されている構成としてもよい。

【0015】

この構成によれば、一対の容積調節部が、幅方向における吐出口の両端部のそれぞれよりも幅方向に向かって突出するように形成された一対の拡大空間に挿入されているため、塗布液の流れを阻害しにくくなっている。

【0016】

また、前記塗布流路は、前記幅方向に長く塗布液を溜める空間であるマニホールドと、前記マニホールドと前記吐出口とを繋ぐスリットと、を有しており、前記一対の前記拡大空間は、前記幅方向における前記マニホールドの両端部のそれぞれから突出するように形成されている構成としてもよい。

【0017】

この構成によれば、拡大空間が、スリットよりも広いマニホールドから突出するように形成されているため、スリットに拡大空間を形成するよりも塗布液の流れを阻害しにくくなる。

【0018】

また、前記幅方向における前記拡大空間の断面積は、前記幅方向における前記マニホールドの断面積よりも小さい構成としてもよい。

【0019】

この構成によれば、幅方向における拡大空間の断面積が幅方向におけるマニホールドの断面積よりも小さいため、幅方向における拡大空間の断面積が幅方向におけるマニホールドの断面積と同等以上の大きさである場合よりも、拡大空間に挿入される容積調節部の幅方向における断面積を小さくすることが可能になる。そして、幅方向における容積調節部の断面積を小さくすると、容積調節部の挿入量を調整する際に容積調節部が受ける抵抗が小さくなり、容積調節部の挿入量の調節を素早く行うことが可能になる。これにより、容積調節機構の応答性が向上するため、塗布終了部における塗布液の引きずりを抑制しやすくなる。

【0020】

また、前記容積調節部の前記拡大空間に挿入された先端部には、前記幅方向において少なくとも一部の断面積が前記拡大空間の断面積と略同一の大きさになるように形成された抵抗部が設けられ、前記拡大空間において前記駆動部により前記幅方向に往復動作する構成としてもよい。

【0021】

この構成によれば、容積調節部の先端部に抵抗部が設けられているため、抵抗部が設けられていない場合よりも容積調節部の挿入量を調節することによる塗布流路の容積の変化量を大きくし、塗布流路の圧力を急速に変化させることが可能になり、その効果を吐出口により及ぼしやすくなる。これにより、塗布終了部における塗布液の引きずりをより抑制することができる。

【0022】

また、前記抵抗部は、前記幅方向における断面積が、前記幅方向における前記塗布部の中央側に向かうにつれて小さくなるように形成されている構成としてもよい。

【0023】

この構成によれば、拡大空間に挿入された容積調節部を拡大空間に押し入れる方向に動作させる際に、抵抗部によって塗布液が塗布流路を通じて吐出口に向かって押し出される力を低減することができる。これにより、塗布液が過剰に塗布されることを防ぐことができる。

【0024】

また、前記塗布流路は、前記幅方向に長く塗布液を溜める空間であるマニホールドと、前記幅方向に広く前記マニホールドと前記吐出口とを繋ぐスリットと、を有しており、前記容積調節部は、前記マニホールドに挿入されている構成としてもよい。

【0025】

この構成によれば、容積調節部が、スリットよりも広いマニホールドに挿入されているため、スリットに容積調節部を挿入するよりも塗布液の流れを阻害しにくくなっている。

【発明の効果】

【0026】

本発明の塗布装置によれば、塗布終了部における塗布液の引きずりを抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】本発明の一実施形態における塗布装置を概略的に示す図であり、塗布液を塗布している状態を示している。

【図2】本発明の一実施形態における塗布装置を概略的に示す図であり、塗布液の塗布を中断している状態を示している。

【図3】本発明の一実施形態における容積調節機構を説明するための図であり、（ａ）は、図１のＡ－Ａ矢視断面図を示し、（ｂ）は図２のＢ－Ｂ矢視断面図を示している。

【図4】本発明の一実施形態における塗布装置の塗布動作を説明するための図であり、（ａ）は供給バルブ、回収バルブ、および容積調節部の動作のタイムチャートを示し、（ｂ）は本実施形態における塗布装置により形成された塗膜の状態を示している。

【図5】本発明の一実施形態における塗布部のバリエーションを示す図である。

【図6】本発明の一実施形態における塗布部のバリエーションを示す図である。

【図7】本発明の一実施形態における容積調節部のバリエーションを示す図である。

【図8】本発明の一実施形態における塗布部のバリエーションを示す図である。

【図9】本発明の一実施形態における塗布装置の塗布動作のバリエーションを示す図である。

【図10】従来の塗布装置を示す図である。

【図11】従来の塗布装置により形成された塗膜の状態を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0028】

本実施形態における塗布装置１００について図面を参照しながら説明する。図１および図２は、本発明の第一実施形態における塗布装置１００を概略的に示す図であり、図１は塗布液１１を塗布している状態を示し、図２は塗布液１１の塗布を中断している状態を示している。なお、以下の説明では、直交座標系の３軸をＸ、Ｙ、Ｚとし、水平方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向と表現し、ＸＹ平面と垂直な方向（つまり、鉛直方向）をＺ軸方向と表現する。

【0029】

塗布装置１００は、図１に示すように、基材１を搬送する搬送機構２と、基材１に塗布液１１を塗布する塗布部３と、塗布液１１が貯留されたタンク４と、タンク４から塗布液１１を塗布部３に供給する供給機構５と、塗布部３に形成されたマニホールド３４の容積を調節する容積調節機構６と、を備えている。そして、搬送機構２により搬送される基材１に対して塗布部３による塗布液１１の塗布と塗布の中断を繰り返すことによって、基材１上に塗膜１２を間欠的に形成する。ここでいう、塗布液１１を間欠的に塗布するとは、図４（ｂ）に示すように、基材１の搬送方向において形成する各々の塗膜１２間に一定の間隔が空くように基材１上に塗布液１１を連続的に塗布することである。

【0030】

基材１は、リチウムイオン電池の電池用極板となる金属箔であり、正極を構成する場合はアルミニウム箔などが用いられ、負極を構成する場合は銅箔などが用いられる。この基材１は、一方向に長い帯状のシートであり、搬送機構２により連続的に搬送される。

【0031】

塗布液１１は、たとえば、活物質、バインダー、導電助剤を溶剤により混合させたスラリーのことであり、リチウムイオン電池の電池用極板の材料（所謂、電極材料）として用いられる。この塗布液１１を塗布部３により基材１に塗布することで、塗膜１１が形成される。

【0032】

搬送機構２は、基材１を搬送するためのものであり、複数のロールが回転することにより基材１を搬送するロールツーロール方式を採用している。この搬送機構２による基材１の搬送速度は、図示しない制御部により制御される。この制御部はたとえば、汎用のコンピューターであり、以下の説明でも同様に扱う。なお、本実施形態では、塗布液１１を塗布する場所に基材１を案内する塗布ロール２１のみを図示している。そして、塗布ロール２１は、塗布部３と対向し、塗布部３により塗布液１１を塗布するときに吐出口３６と所定の間隔を空けるよう配置される。そのため、塗布部３と一定の間隔を保ちながら基材１を搬送することができる。

【0033】

塗布部３は、搬送される基材１に塗布液１１を塗布して塗膜１２を形成するためのものであり、基材１の搬送方向と直交する幅方向（図１におけるＹ軸方向）に沿って長く形成されている。なお、以下の説明では、基材１の搬送方向と直交する幅方向を単に幅方向と呼ぶ。

【0034】

この塗布部３は、図１に示すように、先細り形状である第１のリップ３１ａを有する第１の分割体３１と、先細り形状である第２のリップ３２ａを有する第２の分割体３２とを、これらの間にシム板３３を挟んで、組み合わせることによって形成されている。そして、塗布部３の内部には、幅方向に長く塗布液１１を溜める空間であるマニホールド３４と、このマニホールド３４と繋がった幅方向に広いスリット３５とが形成され、第１のリップ３１ａと第２のリップ３２ａとの間には、スリット３５の開放端であり幅方向においてスリット３５と同じ長さで開口する吐出口３６が形成されている。すなわち、マニホールド３４と吐出口３６はスリット３５を経由して繋がっている。

【0035】

スリット３５は、マニホールド３４と同様に幅方向に長く形成されている。このスリット３５の幅方向寸法は、シム板３３の内寸によって決定されており、スリット３５の幅方向寸法と略同一の幅方向寸法の塗布液１１を、基材１上に塗布することができるようになっている。また、スリット３５の隙間寸法（高さ寸法）は、たとえば０．１～１０ｍｍである。なお、本実施形態では、スリット３５の隙間方向が上下方向（図１におけるＺ軸方向）であり、幅方向が水平方向となる姿勢で塗布部３が設置されている。すなわち、マニホールド３４とスリット３５が水平方向に並んで配置される姿勢で塗布部３が設置され、マニホールド３４に溜められている塗布液１１がスリット３５を経由して吐出口３６を通じて吐出される方向は水平方向になる。

【0036】

なお、本実施形態においては、塗液１１が吐出口３６を通じて基材１へと流れる方向を水平方向としたが、必ずしもこれに限定されず任意の方向に適宜変更してもよい。たとえば、上方向としてもよいし、下方向としてもよい。

【0037】

そして、吐出口３６は、塗布ロール２１と基材１を挟んで対向している。すなわち、吐出口３６は基材１の表面側で基材１と対向している。これにより、吐出口３６と基材１との間隔を一定に保った状態で、基材１の表面側に塗布液１１を塗布することができる。

【0038】

また、図１および図３（ａ）に示すように、塗布部３の幅方向の中央部には、流入部３７が設けられている。流入部３７は、塗布部３の外部からマニホールド３４に繋がる貫通孔であり、この流入部３７を通じて供給機構５によりマニホールド３４に塗布液１１が供給されるようになっている。なお、本実施形態では、流入部３７はマニホールド３４の底部に繋がっている。

【0039】

供給機構５は、タンク４に貯留された塗布液１１を塗布部３に供給するためのものである。本実施形態における供給機構５は、図１に示すように、塗布部３とタンク４とを連結する供給路５１と、供給路５１の開閉状態を切り替える供給バルブ５２と、供給路５１とタンク４とを連結する回収路５３と、回収路５３の開閉状態を切り替える回収バルブ５４と、タンク４から塗布部３に向かって塗布液１１を送液する図示しないポンプと、を有している。

【0040】

供給路５１は、図１に示すように、塗布部３とタンク４とを連結し、ポンプによりタンク４から塗布部３へ塗布液１１が送液される流路である。本実施形態では、供給路５１は流入部３７と繋がっており、ポンプによりタンク４から送液された塗布液１１が供給路５１と流入路３７を通じてマニホールド３４に供給される。そして、マニホールド３４に供給された塗布液１１は、スリット３５を経由して吐出口３６から吐出される。これにより、基材１上に塗布液１１が塗布されて塗膜１２が形成される。

【0041】

供給バルブ５２は、塗布液１１の流路を形成する開状態と塗布液１１の流路を遮断する閉状態との２つの状態に供給路５１の状態を切り替えるためのものである。この供給バルブ５２は、供給路５１の途中に設けられている。具体的には、図１に示すように、供給バルブ５２の塗布液１１の入口部は回収バルブ５４の塗布液１１の入口部を介して供給路５１と連結され、供給バルブ５２の塗布液１１の出口部は供給路５１を介して塗布部３と連結されている。すなわち、ポンプによりタンク４から送液された塗布液１１が、供給路５１と回収バルブ５４の入口部を通じて供給バルブ５２の入口部から供給バルブ５２に供給され、供給バルブ５２の出口部から供給路５１を通じて塗布部３に供給されるようになっている。

【0042】

また、図１に示すように、供給バルブ５２は内部に弁体５２ａを有し、弁体５２ａの位置を変化させることによって供給路５１の開閉状態を切り替えるようになっている。具体的には、図１に示すように、弁体５２ａは駆動源である弁体駆動部５２ｂ（たとえば、エアシリンダーや電動モータ）と接続されており、弁体駆動部５２ｂにより弁体５２ａと繋がるシャフト５２ｃを供給路５１の開閉方向に移動させることによって、弁体５２ａにより供給路５１を開閉する。なお、弁体駆動部５２ｂの制御は、前述の制御部により行う。

【0043】

そして、供給機構５は、図１に示すように供給バルブ５２により供給路５１を開状態に切り替えることによって塗布部３へ塗布液１１を供給し、図２に示すように供給バルブ５２により供給路５１を閉状態に切り替えることによって塗布部３への塗布液１１の供給を停止する。そして、供給バルブ５２による供給路５１の開閉状態の切り替えを繰り返し行うことによって、塗布部３による塗布液１１の塗布と塗布の中断が繰り返し行われ、搬送機構２により搬送される基材１に対して塗布液１１が間欠的に塗布される。

【0044】

回収路５３は、図１に示すように、回収バルブ５４の出口部を介して塗布液１１の流路において供給バルブ５２よりも上流側に位置する供給路５１とタンク４を連結している。すなわち、供給路５１を流れる塗布液１１が、回収バルブ５４の入口部から回収バルブ５４に供給され、回収バルブ５４の出口部から回収路５３を通じてタンク４に回収されるようになっている。

【0045】

回収バルブ５４は、塗布液１１の流路を形成する開状態と塗布液１１の流路を遮断する閉状態との２つの状態に回収路５３の状態を切り替えるためのものである。この回収バルブ５４は、図１に示すように、弁体５４ａを有しており、弁体５４ａの位置を変化させることによって回収路５３の開閉状態を切り替えるようになっている。具体的には、図１に示すように、弁体５４ａは駆動源である弁体駆動部５４ｂ（たとえば、エアシリンダーや電動モータ）と接続されており、弁体駆動部５４ｂにより弁体５４ａと繋がるシャフト５４ｃを回収路５３の開閉方向に移動させることによって、弁体５４ａにより回収路５３を開閉する。なお、弁体駆動部５４ｂの制御は前述の制御部により行う。

【0046】

そして、供給機構５は、図２に示すように回収バルブ５４により回収路５３を開状態に切り替えることによってタンク４に塗布液１１を回収させ、図１に示すように回収バルブ５４により回収路５３を閉状態に切り替えることによってタンク４への塗布液１１の回収を停止する。

【0047】

ここで、図４（ａ）に示すように、供給機構５は、回収バルブ５４による回収路５３の開閉状態の切り替え動作を、供給バルブ５２による供給路５１の開閉状態の切り替え動作に合わせて行うようになっている。具体的には、図１および図２に示すように回収バルブ５４は、供給バルブ５２により供給路５１を開状態に切り替えるときに回収路５３を閉状態に切り替え、供給バルブ５２により供給路５１を閉状態に切り替えるときに回収路５３を開状態に切り替える。

【0048】

これにより、図２に示すように、供給バルブ５２により供給路５１を閉状態に切り替えて塗布部３への塗布液１１の供給を停止する際に、供給バルブ５２よりも上流に位置する供給路５１内の塗布液１１を回収路５３を通じてタンク４に回収させることができるため、供給バルブ５２よりも上流側に位置する供給路５１内の圧力が高くなることを防ぐことができる。これにより、供給バルブ５２により供給路５１を開状態に切り替えたときに、塗布液１１が塗布部３に過剰に供給されることを防ぐことができる。

【0049】

また、供給機構５は、供給バルブ５２により供給路５１を閉状態に切り替えて塗布部３による塗布液１１の塗布を中断させる際に、図２に示すように弁体駆動部５２ｂにより弁体５２ａと繋がるシャフト５２ｃを供給路５１の閉方向に移動させて、塗布部３内の圧力を低減させることによって、吐出口３６から供給路５１に向かって塗布液１１を引き込んでいる。これにより、塗布装置１００は、塗布部３による塗布液１１の塗布を中断するときに吐出口３６による液切りを行っている。

【0050】

ここで、塗布装置１００は、吐出口３６と離れた位置に設けられた供給バルブ５２の弁体５２ａの動作によって、塗布部３内の圧力を低減させているため、その効果が吐出口３６に及びにくくなっていた。そのため、吐出口３６における液切りを十分に行うことができず、塗膜１２の終端部であると塗布終了部１４（図４（ｂ）を参照）において塗布液１１の引きずり（図１１（ａ）に示す引きずり９３３）が生じる場合があった。そこで、本実施形態における塗布装置１００は、塗布終了部１４における塗布液１１の引きずりを抑制するため、容積調節機構６によって供給バルブ５２よりも吐出口３６に近い位置で塗布部３内の圧力を低減させている。

【0051】

以下、容積調節機構６について説明する。

【0052】

容積調節機構６は、塗布流路の容積を変化させるためのものである。ここでいう、塗布流路とは、塗布部３に形成された塗布液１１を吐出口３６に供給するための流路のことであり、本実施形態ではマニホールド３４とスリット３５のことをいう。この容積調節機構６は、図３（ａ）に示すように、幅方向における塗布流路の両端部のそれぞれから挿入された一対の容積調節部６１と、一対の前記容積調節部６１のそれぞれの挿入量を調節する駆動部６２と、を有している。

【0053】

容積調節部６１は、図３（ａ）に示すように、一方向に長く形成された棒状形状を有しており、マニホールド３４に挿入される。ここで、マニホールド３４は、図３（ａ）に示すように、幅方向における吐出口３６の両端部のそれぞれよりも幅方向に向かって突出するように形成された一対の拡大空間３８を有している。

【0054】

本実施形態では、一対の容積調節部６１は一対の拡大空間３８に挿入されるようになっている。具体的には、図３（ａ）に示すように、各々の容積調節部６１が、塗布部３に形成された各々の拡大空間３８を形成する壁部からもう一方の容積調節部６１が挿入される拡大空間３８に向かって伸びるように各々の拡大空間３８に挿入される。

【0055】

このように本実施形態では、一対の容積調節部６１が、幅方向における吐出口３６の両端部のそれぞれよりも幅方向に向かって突出するように形成された一対の拡大空間３８に挿入されるため、塗布流路の一対の拡大空間３８以外の部分に容積調節部６１を挿入するよりも塗布液１１の流れを阻害しにくくなっている。具体的には、塗布液１１が流れる流路に凸部（本実施形態でいう容積調節部６１）があると、その凸部によって塗布液１１の流速に変化が生じ、吐出口３７から吐出される塗布液１１の量が幅方向においてばらついてしまう場合がある。すなわち、容積調節部６１によって塗布液１１の流れが阻害されてしまう場合がある。これに対し、本実施形態では、容積調節部６１が塗布流路から突出するように形成された拡大空間３８に挿入されているため、塗布液１１の流れが阻害されにくくなる。

【0056】

また、拡大空間３８は、スリット３５よりも広いマニホールド３４から突出するように形成されているため、スリット３５に拡大空間３８を形成するよりも塗布液１１の流れを阻害しにくくなっている。具体的には、塗布液１１が流れる流路に凹部（本実施形態でいう拡大空間３８）があると、その凹部によって塗布液１１の流速に変化が生じ、吐出口３７から吐出される塗布液１１の量が幅方向においてばらつく場合がある。すなわち、拡大空間３８が塗布液１１の流れを阻害する要因になり得る。これに対し、本実施形態では、拡大空間３８がスリット３５よりも広いマニホールド３４から突出するように形成されているため、拡大空間３８がマニホールド３４よりも狭いスリット３５に形成されるよりも、拡大空間３８によって塗布液１１の流れが阻害されにくくなる。

【0057】

また、図１、図２、図３（ａ）、および図３（ｂ）に示すように、幅方向における拡大空間３８の断面積は、幅方向におけるマニホールド３４の断面積よりも小さくなっている。本実施形態では、マニホールド３４を形成する第１の分割体３１、第２の分割体３２、およびシム３３のうち、第２の分割体３２のみに拡大空間３８を形成することにより、幅方向におけるマニホールド３４の断面積よりも幅方向における拡大空間３８の断面積を小さくしている。このように、第２の分割体３２のみに拡大空間３８が形成されているため、スリット３５の高さ寸法を変更するためにシム３３を変更するなど、塗布部３を構成する第２の分割体３２以外の構成を変更したとしても、拡大空間３８の大きさや形状に変化を生じさせないようにしている。

【0058】

駆動部６２は、容積調節部６１の挿入量を調節するための駆動源（たとえば、エアシリンダーや電動モータ）であり、図１に示すように容積調節部６１と接続されている。本実施形態では、駆動部６２は電動モータであり、容積調節部６１の挿入量を調節する動作の速度を可変することができるようになっている。この駆動部６２は、容積調節部６１を容積調節部６１の長手方向に往復動作させることによって、塗布流路の容積を調節するようになっている。

【0059】

具体的には、駆動部６２により容積調節部６１を拡大空間３８から引き出すように動作させることによって塗布流路の容積を大きくして塗布流路の圧力を低減させ、駆動部６２により容積調節部６１をマニホールド３４に押し入れるように動作させることによって塗布流路の容積を小さくして塗布流路の圧力を増大させている。また、駆動部６２の動作は前述の制御部により制御される。

【0060】

ここで、駆動部６２により往復動作する容積調節部６１の拡大空間３８に挿入された先端部には、抵抗部６３が設けられている。本実施形態における抵抗部６３は、図３（ａ）に示すように、円盤部６３ａと円錐部６３ｂにより構成されている。

【0061】

円盤部６３ａは、幅方向における断面積が拡大空間３８の断面積と略同一の大きさになるように形成されている。ここでいう、略同一の大きさとは、駆動部６２による容積調節部６１の動作に伴って抵抗部６３を動作させることが可能であり、抵抗部６３が動作する際に容積調節部６１が挿入される拡大空間３８の壁部側に塗布液１１が漏れ出ないようにすることが可能な大きさのことである。これにより、駆動部６２により容積調節部６１を往復動作させる際に、抵抗部６３を設けない場合よりも塗布流路の容積の変化量を大きくすることが可能になるため、塗布流路の容積を大きくする際に塗布流路の圧力を急速に低減させることができる。

【0062】

また、円錐部６３ｂは、幅方向における断面積が、容積調節部６１が拡大空間に挿入される方向に向かうにつれて小さくなるように形成されている。これにより、駆動部６２により容積調節部６１を拡大空間３８に押し入れるように動作させて塗布流路の容積を小さくする際に、抵抗部６３が円盤部６３ａのみにより構成される場合よりも塗布液１１が吐出口３６に向かって押し出される力を低減することができる。

【0063】

なお、駆動部６２により容積調節部６１を拡大空間３８に押し入れるように動作させるときは、図３（ａ）に示すように抵抗部６３の先端部が幅方向において吐出口３６の端部の位置と同じ位置に位置するように容積調節部６１を動作させる。この動作の後の容積調節部６１の位置を、以下の説明では第１の位置と呼ぶ。また、駆動部６２により容積調節部６１を拡大空間３８から引き出すように動作させるときは、図３（ｂ）に示すように拡大空間３８に抵抗部６３を残して拡大空間３８から容積調節部６１を引き出すように容積調節部６１を動作させる。この動作の後の容積調節部６１の位置を、以下の説明では第２の位置と呼ぶ。

【0064】

また、本実施形態における容積調節機構６は、塗布部３による塗布液１１の塗布を中断させる際に一対の容積調節部６１の挿入量が少なくなるように駆動部６２により一対の容積調節部６１の挿入量を調節する第１の調節モードと、塗布部３による塗布液１１の塗布を再開させる際に第１の調節モードにおいて調節された容積調節部６１の挿入量を調節前の挿入量に戻すように駆動部６２により容積調節部６１の挿入量を調節する第２の調節モードと、を有している。なお、第１の調節モードと第２の調節モードの２つのモードは、前述の制御部により切り替えられる。

【0065】

具体的に説明する。容積調節機構６は、第１の調節モードにおいて、図３（ａ）に示す第１の位置から図３（ｂ）に示す第２の位置に一対の容積調節部６１を移動させるように、駆動部６２により一対の容積調節部６１を一対の拡大空間３８から引き出すように動作させることによって、塗布流路の容積を大きくして塗布流路の圧力を低減させている。すなわち、容積調節機構６は、塗布部３内に挿入された一対の容積調節部６１を動作させることによって、塗布部３内の圧力を低減させている。これにより、吐出口３６に近い位置で塗布部３内の圧力を低減させることが可能になるため、その効果を吐出口３６に及ぼしやすくなる。これにより、塗布部３による塗布液１１の塗布を中断させる際に吐出口３６における液切りを十分に行うことが可能になり、塗布終了部１４における塗布液１１の引きずりを抑制することができる。

【0066】

ここで、容積調節部６１の先端部には、円盤部６３ａと円錐部６３ｂにより構成された抵抗部６３が設けられているため、抵抗部６３が設けられていない場合よりも一対の容積調節部６１の挿入量を調節することによる塗布流路の容積の変化量を大きくし、塗布流路の圧力を急速に変化させることが可能になり、その効果を吐出口３６により及ぼしやすくなる。これにより、塗布終了部１４における塗布液１１の引きずりをより抑制することができる。

【0067】

また、第１の調節モードでは、駆動部６２によって、幅方向における塗布流路の両端部のそれぞれから塗布流路に挿入された一対の容積調節部６１の挿入量を調節することにより、幅方向における塗布流路の両端部のそれぞれの近傍の容積を大きくしている。そのため、１つの容積調節部６１を動作させることによって塗布流路の容積を大きくするよりも、高速で塗布流路の圧力を低減させることが可能になるため、塗布終了部１３における塗布液１１の引きずりをより抑制することができる。また、塗布流路の圧力を幅方向に亘って低減させることが可能になり、その効果を吐出口３６の幅方向に亘って及ぼすことができる。これにより、塗布終了部１４における塗布液１１の引きずりを幅方向に亘って抑制することができる。

【0068】

また、容積調節機構６は、第２の調節モードにおいて、図３（ｂ）に示す第２の位置から図３（ａ）に示す第１の位置に一対の容積調節部６１の位置を戻すように、駆動部６２により一対の容積調節部６１を一対の拡大空間３８に押し入れるように動作させることによって、塗布流路の容積を小さくして塗布流路の圧力を増大させている。これにより、塗布液１１が塗布流路から吐出口３６に向かって押し出され、吐出口３６から吐出される。

【0069】

そして、容積調節部６１の先端部には、円盤部６３ａと円錐部６３ｂにより構成された抵抗部６３が設けられているため、抵抗部６３が円盤部６３ａのみにより構成される場合よりも一対の容積調節部６１を一対の拡大空間３８に押し入れるときの塗布液１１への抗力を低減することが可能になるため、塗布液１１が吐出口３６に向かって押し出される力を低減させることができる。これにより、塗布液１１の塗布を再開する際に塗布液１１が過剰に塗布されることを防ぎ、塗膜１２の始端である塗布開始部１３（図４（ｂ）を参照）において塗膜１２が盛り上がる（図１１（ｂ）の盛り上がり９３４）ことを防ぐことができる。

【0070】

また、前述のとおり、幅方向における拡大空間３８の断面積が、幅方向におけるマニホールド３４の断面積よりも小さくなっているため、幅方向における拡大空間３８の断面積が幅方向におけるマニホールド３４の断面積と同等以上の大きさである場合よりも、拡大空間３８に挿入される容積調節部６１の幅方向における断面積を小さくすることが可能になる。そして、幅方向における容積調節部６１の断面積を小さくすると、容積調節部６１の挿入量を調整する際に容積調節部６１が受ける抵抗が小さくなり、容積調節部６１の挿入量の調節を素早く行うことが可能になる。これにより、容積調節機構６の応答性が向上するため、塗布終了部１４における塗布液１１の引きずりを抑制しやすくなる。また、幅方向における拡大空間３８の断面積が幅方向におけるマニホールド３４の断面積と同等以上の大きさである場合よりも、容積調節部６１の挿入量を調整した際の塗布流路の容積の変化量が小さくなるため、塗布流路の圧力を微調整することが可能になる。

【0071】

以下に本実施形態における塗布装置１００の動作について具体的に説明する。

【0072】

なお、以下の説明では、図４（ａ）に示すように供給機構５による塗布部３への塗布液１１の供給が行われておらず、塗布液１１の塗布を行っていない状態から説明する。すなわち、図２に示すように、供給バルブ５２により供給路５１が閉状態になり、回収バルブ５４により回収路５３が開状態になっている状態から説明を始める。なお、ポンプによるタンク４から塗布部３への塗布液１１の送液は、塗布部３による塗布液１１の塗布を完全に停止させるまでの間は常に行われているものとする。

【0073】

まず、塗布装置１００により塗布液１１の塗布を開始するときの動作を説明する。塗布装置１００は、図１および図４（ａ）に示すように、供給バルブ５２により供給路５１を閉状態から開状態に切り替え、回収バルブ５４により回収路５３を開状態から閉状態に切り替える。これにより、塗布液１１が、ポンプによりタンク４から供給路５１を通じてマニホールド３４に供給される。そして、マニホールド３４に供給された塗布液１１がスリット３５を経由して吐出口３６から吐出される。これにより、図４（ｂ）に示すように搬送機構２により搬送される基材１上に塗布開始部１３が形成される。この塗布装置１００により塗布液１１の塗布を開始するときの一連の動作は、塗布液１１の塗布を中断した後、塗布液１１の塗布を再開するときにも行われるようになっている。

【0074】

また、塗布装置１００により塗布液１１の塗布を開始するときは、図３（ａ）に示すように一対の容積調節部６１は第１の位置に位置している。

【0075】

そして、塗布装置１００は、供給バルブ５２、回収バルブ５３、および容積調節部６１の状態を維持しながら塗布部３による塗布液１１の塗布を続けることによって、図４（ｂ）に示すように搬送機構２により搬送される基材１上に塗膜１２を形成する。

【0076】

次に、塗布装置１００により塗布液１１の塗布を中断するときの動作を説明する。塗布装置１００は、図２および図４（ａ）に示すように、供給バルブ５２により供給路５１を開状態から閉状態に切り替え、回収バルブ５４により回収路５３を閉状態から開状態に切り替える。これにより、マニホールド３４への塗布液１１の供給が停止されて塗布部３による塗布液１１の塗布が中断され、図４（ｂ）に示すように搬送機構により搬送される基材１上に塗膜１２の終端である塗布終了部１４が形成される。

【0077】

ここで、容積調節機構６は、供給バルブ５２と回収バルブ５４の動作と同時に、第１の調節モードにおける動作を実行する。具体的には、容積調節機構６は、図３（ａ）および図４（ａ）に示す第１の位置から図３（ｂ）および図４（ａ）に示す第２の位置に一対の容積調節部６１を移動させるように、駆動部６２により一対の容積調節部６１を一対の拡大空間３８から引き出すように動作させることによって、吐出口３６における液切りを行う。

【0078】

次に、塗布装置１００により塗布液１１の塗布を再開するときの動作を説明する。なお、容積調節機構６の動作以外は、塗布液１１の塗布を開始するときの動作と同様なため、説明を省略する。

【0079】

容積調節機構６は、供給バルブ５２と回収バルブ５４の動作と同時に、第２の調節モードにおける動作を実行する。具体的には、容積調節機構６は、図３（ｂ）および図４（ａ）に示す第２の位置から図３（ａ）および図４（ａ）に示す第１の位置に一対の容積調節部６１の位置を戻すように、駆動部６２により一対の容積調節部６１を一対の拡大空間３８に押し入れるように動作させることによって、塗布流路の容積を小さくして塗布流路の圧力を増大させている。

【0080】

これにより、塗布部３による塗布液１１の塗布が再開され、塗布開始部１３が形成される。ここで、容積調節機構６は、図４（ａ）に示すように、容積調節部６１を第１の位置から第２の位置に動作させるときよりも、低速で容積調節部６１を第２の位置から第１の位置に動作させるようになっている。これにより、塗布流路の圧力が急速に増大することを防ぐことができるため、塗布液１１の塗布を再開する際に塗布液１１が過剰に塗布されることを防ぎ、塗布開始部１３において塗膜１２が盛り上がることを防ぐことができる。そして、塗布装置１００は、以上の動作を図４（ａ）に示すように繰り返し行うことによって、図４（ｂ）に示すように基材１に塗布液１１を間欠的に塗布する。

【0081】

このように上記実施形態における塗布装置１００によれば、容積調節機構６が容積調節部６１と駆動部６２を有し、駆動部６２によって塗布部３に形成された塗布流路に挿入された容積調節部６１の挿入量を調節することにより塗布流路の容積を大きくし、塗布流路の圧力を低減させ、塗布液１１を吐出口３６から塗布流路に引き込ませることが可能になる。すなわち、容積調節機構６は、塗布部３内に挿入された容積調節部６１の挿入量を調節することによって、塗布部３内の圧力を低減させている。これにより、吐出口３６に近い位置で塗布部３内の圧力を低減させることが可能になるため、その効果を吐出口３６に及ぼしやすくなる。これにより、塗布部３による塗布液１１の塗布を中断させる際に吐出口３６における液切りを十分に行うことが可能になり、塗布終了部１４における塗布液１１の引きずりを抑制することができる。

【0082】

また、上記実施形態における塗布装置１００によれば、幅方向における塗布流路の両端部のそれぞれから塗布流路に挿入された一対の容積調節部６１の挿入量を調節することにより、塗布流路の圧力を幅方向に亘って低減させることが可能になり、その効果を吐出口３６の幅方向に亘って及ぼすことができる。これにより、塗布終了部１４における塗布液１１の引きずりを幅方向に亘って抑制することができる

【0083】

以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、各実施形態における構成およびそれらの組み合わせ等は一例であり、本発明の趣旨から逸脱しない範囲内で、構成の付加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。たとえば、上記実施形態では、容積調節機構６が一対の容積調節部６１を有している構成を例について説明したが、これに限らず、容積調機構６が容積調節部６１を１つだけ有している構成としてもよい。

【0084】

また、容積調節機構６は、一対の容積調節部６１を複数有していてもよく、一対の容積調節６１それぞれを塗布流路の塗布液１１が流れる方向に沿って並べて配置してもよい。具体的には、図５（ａ）および図５（ｂ）に示すように、マニホールド３４とスリット３５のそれぞれが一対の拡大空間３８を有しており、一対の拡大空間３８それぞれに一対の容積調節部６１それぞれが挿入されるようになっている。ここで、容積調節機構６は、マニホールド３４が有する一対の拡大空間３８に挿入された一対の容積調節部６１を図５（ｂ）に示す第２の位置から図５（ａ）に示す第１の位置に動作させるときに、スリット３５が有する一対の拡大空間３８に挿入された一対の容積調節部６１を図５（ｂ）に示す第１の位置から図５（ａ）に示す第２の位置に動作させる。すなわち、塗布液１１の塗布を再開させる際に、マニホールド３４が有する一対の拡大空間３８に挿入された一対の容積調節部６１を動作させることにより増大した塗布流路の圧力を、スリット３５が有する一対の拡大空間３８に挿入された一対の容積調節部６１を動作させることにより低減させている。これにより、塗布液１１の塗布を再開する際に塗布液１１が過剰に塗布されることを防ぐことができ、塗布開始部１３において塗膜１２が盛り上がることを防ぐことができる。

【0085】

また、上記実施形態では、第１の位置が、抵抗部６３の先端部が幅方向において吐出口３６の端部の位置と同じ位置に位置するように容積調節部６１を動作させた後の位置であり、第２の位置が、拡大空間３８に抵抗部６３を残して拡大空間３８から容積調節部６１を引き出すように容積調節部６１を動作させた後の位置であることを例に説明したがこれに限らず、形成する塗膜の１２の幅方向の寸法や膜厚に応じて適宜変更してもよい。すなわち、塗布液１１を塗布する条件に応じて、第１の位置と第２の位置を適宜変更することにより、塗布経路の容積の変化量をコントロールしてもよい。

【0086】

また、上記実施形態では、拡大空間３８が第２の分割体３２に形成されている例について説明したがこれに限られない。たとえば、第１の分割体３１に形成されていてもよい。

【0087】

また、上記実施形態では、幅方向における拡大空間３８の断面積が、幅方向におけるマニホールド３４の断面積よりも小さい例について説明したが、これに限らず、図６（ａ）および６（ｂ）に示すように幅方向における拡大空間３８の断面積が、幅方向におけるマニホールド３４の断面積と同一の大きさであってもよい。この場合、図６（ａ）および図６（ｂ）に示すように、幅方向における容積調節部６１の断面積も、幅方向におけるマニホールド３４の断面積と同一の大きさであってもよい。

【0088】

また、上記実施形態では、抵抗部６３が、円盤部６３ａと円錐部６３ｂにより構成される例について説明したが、これに限らず、幅方向において少なくとも抵抗部６３の一部の断面積が拡大空間３８の断面積と略同一の大きさになるように形成されるとよい。たとえば、図６に示すように、抵抗部６３を円盤部６３ａのみにより構成してもよい。

【0089】

また、上記実施形態では、容積調節部６１の先端部に抵抗部６３を設ける例について説明したが、抵抗部６３を設けなくてもよい。

【0090】

また、上記実施形態では、マニホールド３４が一対の拡大空間３８を有している例について説明したが、これに限られず、少なくとも塗布流路が拡大空間３８を有しているとよい。たとえば、図８に示すようにスリット３５が拡大空間３８を有していてもよい。

【0091】

また、上記実施形態では、塗布流路が一対の拡大空間３８を有している例について説明したが、拡大空間３８は一つでもよい。

【0092】

また、塗布流路が拡大空間３８を有していなくてもよい。すなわち、幅方向においてマニホールド３４、スリット３５、および吐出口３６が同じ広さに形成されていてもよい。

【0093】

また、上記実施形態では、供給バルブ５２と回収バルブ５４により供給路５１と回収路５３の開閉状態を切り替えることによって塗布部３による塗布液１１の塗布と塗布の中断を行っていたが、容積調節機構６によって行ってもよい。すなわち、塗布装置１００は、供給バルブ５２と回収バルブ５４を備えていなくてもよい。

【0094】

また、上記実施形態では、容積調節機構６が、容積調節部６１を第１の位置から第２の位置に動作させるときよりも、低速で容積調節部６１を第２の位置から第１の位置に動作させる例について説明したが、図９（ａ）に示すように同一の速度で容積調節部６１を第２の位置から第１の位置に動作させてもよい。

【符号の説明】

【0095】

１００ 塗布装置
１ 基材
１１ 塗布液
１２ 塗膜
１３ 塗布開始部
１４ 塗布終了部
２ 搬送機構
２１ 塗布ロール
３ 塗布部
３１ 第１の分割体
３１ａ 第１のリップ
３２ 第２の分割体
３２ａ 第２のリップ
３３ シム板
３４ マニホールド
３５ スリット
３６ 吐出口
３７ 流入部
３８ 拡大空間
４ タンク
５ 供給機構
５１ 供給路
５２ 供給バルブ
５２ａ 弁体
５２ｂ 弁体駆動部
５２ｃ シャフト
５３ 回収路
５４ 回収バルブ
５４ａ 弁体
５４ｂ 弁体駆動部
５４ｃ シャフト
６ 容積調節機構
６１ 容積調節部
６２ 駆動部
６３ 抵抗部
６３ａ 円盤部
６３ｂ 円錐部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】