特開 2024-145037 搬送装置および搬送方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024145037

(43)【公開日】2024-10-15

(54)【発明の名称】搬送装置および搬送方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20241004BHJP

   B25J 9/10 20060101ALI20241004BHJP

   B25J 9/04 20060101ALI20241004BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B25J9/10 A

B25J9/04 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023057265

(22)【出願日】2023-03-31

(71)【出願人】

【識別番号】000000262

【氏名又は名称】株式会社ダイヘン

(74)【代理人】

【識別番号】100135389

【弁理士】

【氏名又は名称】臼井 尚

(74)【代理人】

【識別番号】100168099

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 伸太郎

(72)【発明者】

【氏名】塔本 健太

【テーマコード（参考）】

3C707

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C707BS06

3C707CT05

3C707CV02

3C707CW02

3C707HT21

3C707HT31

3C707KS20

3C707KS24

3C707LT11

3C707LT18

3C707MT04

3C707NS12

3C707NS21

5F131AA03

5F131AA12

5F131AA32

5F131AA33

5F131BA03

5F131BA04

5F131BA11

5F131BA19

5F131BB04

5F131BB23

5F131DA02

5F131DA22

5F131DA42

5F131DB62

5F131DB76

5F131DB86

5F131DB93

5F131HA09

5F131HA12

5F131HA13

(57)【要約】

【課題】搬送されるワークＷの位位置決め精度を向上させるのに適した搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明の搬送装置Ａ１は、周囲に複数のチャンバ１１，２１～２５が配置された搬送室３内に設けられており、ワークＷを複数のチャンバ１１，２１～２５のいずれかから他のいずれかに搬送する場合、旋回駆動部によりアーム４１，４２が旋回開始位置から旋回終了位置まで旋回するように旋回ベースを旋回させる旋回角度について、アーム４１，４２が複数のチャンバ１１，２１～２５のうち選択された１つの目標チャンバに対応する旋回終了位置まで旋回するように旋回ベースを第１の旋回方向ＴＬに第１の旋回速度で旋回させるときの旋回角度が基準旋回角度と設定され、アーム４１，４２が目標チャンバに対応する旋回終了位置まで旋回するように旋回ベースを第２の旋回方向ＴＲに旋回させるときの旋回角度は、基準旋回角度に個別の補正値を加えた値に設定される。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

周囲に複数のチャンバが配置された搬送室内に設けられ、それぞれの前記チャンバとの間でワークを搬送する搬送装置であって、
前記搬送室内に旋回可能に設けられた旋回ベースと、
前記旋回ベース上に設けられ、前記ワークを支持するとともに前記複数のチャンバの各々に向けて前記ワークを進入させるためのアームと、
動力源からギア機構を介して伝達された動力により、前記旋回ベースを、第１の旋回方向または前記第１の旋回方向とは反対の方向である第２の旋回方向に旋回させる旋回駆動部と、を備え、
前記ワークを前記複数のチャンバのいずれかから他のいずれかに搬送する場合、前記旋回駆動部により前記アームが旋回開始位置から旋回終了位置まで旋回するように前記旋回ベースを旋回させるときの旋回角度について、
前記アームが前記複数のチャンバのうち選択された１つの目標チャンバに対応する前記旋回終了位置まで旋回するように前記旋回ベースを前記第１の旋回方向に第１の旋回速度で旋回させるときの旋回角度が基準旋回角度と設定され、
前記アームが前記目標チャンバに対応する前記旋回終了位置まで旋回するように前記旋回ベースを前記第２の旋回方向に旋回させるときの旋回角度は、前記基準旋回角度に個別の補正値を加えた値に設定される、搬送装置。

【請求項2】

前記アームが前記目標チャンバに対応する前記旋回終了位置まで旋回するように前記旋回ベースを前記第１の旋回速度とは異なる旋回速度で旋回させるときの旋回角度は、前記基準旋回角度に個別の補正値を加えた値に設定される、請求項１に記載の搬送装置。

【請求項3】

前記目標チャンバに対応する前記旋回終了位置が同じ場合において、前記旋回ベースの旋回方向および旋回速度が同じであれば、前記旋回開始位置が異なっても前記補正値は同一に設定される、請求項２に記載の搬送装置。

【請求項4】

前記ギア機構は、減速機により構成される、請求項１ないし３のいずれかに記載の搬送装置。

【請求項5】

周囲に複数のチャンバが配置された搬送室内に旋回可能に設けられた旋回ベースと、
前記旋回ベース上に設けられ、それぞれの前記チャンバとの間で搬送されるワークを支持するアームと、
動力源からギア機構を介して伝達された動力により、前記旋回ベースを、第１の旋回方向または前記第１の旋回方向とは反対の方向である第２の旋回方向に旋回させる旋回駆動部と、を備える搬送装置によって行う搬送方法であって、
前記ワークを前記複数のチャンバのいずれかから他のいずれかに搬送する場合、前記旋回駆動部により前記アームが旋回開始位置から旋回終了位置まで旋回するように前記旋回ベースを旋回させるときの旋回角度について、
前記アームが前記複数のチャンバのうち選択された１つの目標チャンバに対応する前記旋回終了位置まで旋回するように前記旋回ベースを前記第１の旋回方向に第１の旋回速度で旋回させるときの旋回角度が基準旋回角度と設定され、
前記アームが前記目標チャンバに対応する前記旋回終了位置まで旋回するように前記旋回ベースを前記第２の旋回方向に旋回させるときの旋回角度は、前記基準旋回角度に個別の補正値を加えた値に設定される、搬送方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送装置および搬送方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体、ＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）、有機ＥＬ基板等の製造工程における処理のスループットを向上させるために、被処理基板（ワーク）に対して処理を行う処理室（チャンバ）を複数用いて、複数のワークを並行して処理する場合がある。複数の処理室は、ワークが搬送される搬送室に接続される。搬送室内は、所定の真空度に保たれている。搬送室内には、搬送用のアームを備えた搬送装置が配置され、アームにより、被処理基板が搬送室から各処理室に搬送される。また、被処理基板に対して複数の処理工程が行われる場合、被処理基板は、それぞれの処理工程を行う処理室の間でも搬送される。アームは、モータ等の動力源からギアを介して伝達された動力により搬送室内で回転する（たとえば特許文献１を参照）。

【0003】

近年、被処理基板が大型化する傾向にある。一方、動力源からの動力がギアを介してアームに伝達される場合、ギアのバックラッシにより、アームの回転角度が僅かにずれる。このアームの回転角度の僅かなずれも、アームにより処理室に搬送された被処理基板の位置では、１ｍｍ以上のずれになり得る。アームの回転方向は右回転（平面視で時計回り）と左回転（平面視で時計回り）がある。特許文献１に記載された搬送装置においては、アームを目標位置まで回転させる際に、たとえばアームが目標位置に向かって左回転する場合には、アームを目標位置の手間で一旦停止させ、その後アームを少し左回転させて目標位置に到達させる。一方、アームが目標位置に向かって右回転する場合には、アームが目標位置を通過するように右回転させ、その後アームを少し左回転させて目標位置に到達させる。このように、アームが目標位置に向けていずれの回転方向に回転させられる場合でも、アームは同じ回転方向から目標位置に到達させられる。このようにすることで、ギアのバックラッシに起因する被処理基板の位置ずれを抑制している。

【0004】

しかしながら、上記のようにアームを同じ回転方向から目標位置に到達させても、アームの回転方向や目標位置の違いによって、ワークの位置決め精度が十分に得られない場合があった。このことは、アームを様々な回転条件で回転させる際にギアのバックラッシ以外の要因が影響していると考えられる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特許第７０９７７６０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、搬送されるワークの位位置決め精度を向上させるのに適した搬送装置を提供することを主たる課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の課題を解決するため、本発明では、次の技術的手段を採用した。

【0008】

本発明の第１の側面によって提供される搬送装置は、周囲に複数のチャンバが配置された搬送室内に設けられ、それぞれの前記チャンバとの間でワークを搬送する搬送装置であって、前記搬送室内に旋回可能に設けられた旋回ベースと、前記旋回ベース上に設けられ、前記ワークを支持するとともに前記複数のチャンバの各々に向けて前記ワークを進入させるためのアームと、動力源からギア機構を介して伝達された動力により、前記旋回ベースを、第１の旋回方向または前記第１の旋回方向とは反対の方向である第２の旋回方向に旋回させる旋回駆動部と、を備え、前記ワークを前記複数のチャンバのいずれかから他のいずれかに搬送する場合、前記旋回駆動部により前記アームが旋回開始位置から旋回終了位置まで旋回するように前記旋回ベースを旋回させるときの旋回角度について、前記アームが前記複数のチャンバのうち選択された１つの目標チャンバに対応する前記旋回終了位置まで旋回するように前記旋回ベースを前記第１の旋回方向に第１の旋回速度で旋回させるときの旋回角度が基準旋回角度と設定され、前記アームが前記目標チャンバに対応する前記旋回終了位置まで旋回するように前記旋回ベースを前記第２の旋回方向に旋回させるときの旋回角度は、前記基準旋回角度に個別の補正値を加えた値に設定される。

【0009】

好ましい実施の形態においては、前記アームが前記目標チャンバに対応する前記旋回終了位置まで旋回するように前記旋回ベースを前記第１の旋回速度とは異なる旋回速度で旋回させるときの旋回角度は、前記基準旋回角度に個別の補正値を加えた値に設定される。

【0010】

好ましい実施の形態においては、前記目標チャンバに対応する前記旋回終了位置が同じ場合において、前記旋回ベースの旋回方向および旋回速度が同じであれば、前記旋回開始位置が異なっても前記補正値は同一に設定される。

【0011】

好ましい実施の形態においては、前記ギア機構は、減速機により構成される。

【0012】

本発明の第２の側面によって提供される搬送方法は、周囲に複数のチャンバが配置された搬送室内に旋回可能に設けられた旋回ベースと、前記旋回ベース上に設けられ、それぞれの前記チャンバとの間で搬送されるワークを支持するアームと、動力源からギア機構を介して伝達された動力により、前記旋回ベースを、第１の旋回方向または前記第１の旋回方向とは反対の方向である第２の旋回方向に旋回させる旋回駆動部と、を備える搬送装置によって行う搬送方法であって、前記ワークを前記複数のチャンバのいずれかから他のいずれかに搬送する場合、前記旋回駆動部により前記アームが旋回開始位置から旋回終了位置まで旋回するように前記旋回ベースを旋回させるときの旋回角度について、前記アームが前記複数のチャンバのうち選択された１つの目標チャンバに対応する前記旋回終了位置まで旋回するように前記旋回ベースを前記第１の旋回方向に第１の旋回速度で旋回させるときの旋回角度が基準旋回角度と設定され、前記アームが前記目標チャンバに対応する前記旋回終了位置まで旋回するように前記旋回ベースを前記第２の旋回方向に旋回させるときの旋回角度は、前記基準旋回角度に個別の補正値を加えた値に設定される。

【0013】

本発明の第２の側面に係る搬送方法の好ましい実施の形態においては、前記アームが前記目標チャンバに対応する前記旋回終了位置まで旋回するように前記旋回ベースを前記第１の旋回速度とは異なる旋回速度で旋回させるときの旋回角度は、前記基準旋回角度に個別の補正値を加えた値に設定される。

【0014】

本発明の第２の側面に係る搬送方法の好ましい実施の形態においては、前記目標チャンバに対応する前記旋回終了位置が同じ場合において、前記旋回ベースの旋回方向および旋回速度が同じであれば、前記旋回開始位置が異なっても前記補正値は同一に設定される。

【0015】

本発明の第２の側面に係る搬送方法の好ましい実施の形態においては、前記ギア機構は、減速機により構成される。

【発明の効果】

【0016】

本発明に係る搬送装置は、周囲に複数のチャンバが配置された搬送室内に設けられており、ワークを複数のチャンバのいずれかから他のいずれかに搬送する場合、旋回駆動部によりアームが旋回開始位置から旋回終了位置まで旋回するように旋回ベースを旋回させる際の旋回角度について、アームが複数のチャンバのうち選択された１つの目標チャンバに対応する旋回終了位置まで旋回するように旋回ベースを第１の旋回方向に第１の旋回速度で旋回させるときの旋回角度が基準旋回角度と設定される。このように設定した場合、 アームが目標チャンバに対応する旋回終了位置まで旋回するように旋回ベースを第２の旋回方向に旋回させるときの旋回角度は、基準旋回角度に個別の補正値を加えた値に設定される。このような構成によれば、旋回ベースの旋回方向の違いにより生じる旋回角度のずれ、および旋回ベースの旋回終了位置の相違により生じる旋回角度のずれを補正することができる。これにより、目標チャンバに搬送されるワークの位置決め精度を向上させることができる。

【0017】

本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明に係る搬送装置を備えたワーク処理システムの一例を示す概略平面図である。

【図2】本発明に係る搬送装置の一例を示す平面図である。

【図3】図２に示す搬送装置の側面図である。

【図4】搬送装置の動作の一例を説明するための図である。

【図5】目標チャンバに対応する旋回終了位置を説明するための図である。

【図6】旋回終了位置、旋回方向および旋回速度と、基準旋回角度に対する補正値との関係の一例を示す図である。

【図7】ワークの搬送方法の一例を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、本発明の好ましい実施形態につき、図面を参照しつつ具体的に説明する。

【0020】

図１は、本発明に係る搬送装置を備えたワーク処理システムの一例を示す概略平面図である。図１に示すワーク処理システムＸ１は、ロードロックチャンバ１１と、複数（本実施形態では５つ）の処理チャンバ２１，２２，２３，２４，２５と、搬送室３と、搬送装置４と、を備える。搬送室３は、平面視において六角形形状をなし、ロードロックチャンバ１１および複数の処理チャンバ２１～２５は、搬送室３の周囲に放射状に配置されている。搬送装置４は、搬送室３の中央に配置されている。搬送装置４は、ロードロックチャンバ１１および複数の処理チャンバ２１～２５のいずれかの間でワークＷを搬送するものである。ワークＷは、特に限定されないが、たとえば薄板状のガラス基板である。なお、以下の説明において、ロードロックチャンバ１１および複数の処理チャンバ２１～２５をまとめて、適宜「複数のチャンバ１１，２１～２５」と言う。また、複数のチャンバ１１，２１～２５のうちの任意の１つを、単に「チャンバ」と言う場合がある。

【0021】

詳細な図示は省略するが、複数のチャンバ１１，２１～２５は、それぞれゲート弁を介して搬送室３に接続されている。本実施形態において図示した例では、搬送室３の５つの側面のそれぞれにゲート弁を介して複数の処理チャンバ２１～２５のいずれかが接続されている。搬送室３の側面の１つには、ゲート弁を介してロードロックチャンバ１１が接続されている。また、図示は省略しているが、ロードロックチャンバ１１において、搬送室３が接続された側面と反対側の側面には他の搬送室が配置されている。他の搬送室には他の搬送装置が配置されており、たとえばワークＷを収納するカセットが他の搬送装置によってロードロックチャンバ１１に対して出し入れされるように構成されている。

【0022】

搬送室３内は、所定の真空状態に維持される。複数の処理チャンバ２１～２５はそれぞれ、たとえば所定の減圧雰囲気状態に維持される。複数の処理チャンバ２１～２５は、たとえばワークＷの表面に所定の製造プロセス処理を行うチャンバである。製造プロセス処理は特に限定されず、たとえばＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）技術やＰＶＤ（Physical Vapor Deposition）技術による薄膜形成処理、ドライエッチング技術やリソグラフィ技術による回路のパターン形成処理、熱処理などが挙げられる。

【0023】

図２、図３に示すように、搬送装置４は、たとえば２つのアーム４１，４２、旋回ベース４３、固定ベース４４、旋回駆動部４５、スライド駆動部４６、および制御部（図示せず）を有する。旋回ベース４３は、固定ベース４４に対して昇降可能に支持されている。また、旋回ベース４３は、旋回軸線Ｏを中心として旋回可能である。各アーム４１，４２は、旋回ベース４３上に設けられており、ワークＷを支持する。本実施形態では、アーム４１は、水平方向に延びる２本のホーク状の保持片４１１，４１２を有する。また、アーム４２もアーム４１と同様に、水平方向に延びる２本のホーク状の保持片４２１，４２２を有する。

【0024】

旋回駆動部４５は、モータ等の動力源からギア機構４７を介して伝達された動力により、旋回ベース４３およびこれに支持されたアーム４１，４２を、旋回軸線Ｏを中心として旋回させる。本実施形態において、ギア機構４７は、減速機であり、たとえば精密減速機である。旋回駆動部４５およびギア機構４７は、たとえば固定ベース４４内に配置される。

【0025】

スライド駆動部４６は、各アーム４１，４２を旋回軸線Ｏに対して離れる方向と近づく方向とに往復するように水平方向に直線移動させる。スライド駆動部４６は、たとえば旋回ベース４３内に配置されたベルト駆動による直線移動機構を含む。各アーム４１，４２は、旋回ベース４３の長手方向（図１では図中下方）に沿って移動可能である。各アーム４１，４２は、複数のチャンバ１１，２１～２５の各々に向けてワークＷを進入させることが可能である。各アーム４１，４２は、旋回ベース４３上において旋回ベース４３の長手方向に沿って移動することにより、複数のチャンバ１１，２１～２５のうちアーム４１，４２が向けられた方向にあるいずれかに、ワークＷを搬入する。また、各アーム４１，４２は、旋回ベース４３上において旋回ベース４３の長手方向に沿って移動することにより、複数のチャンバ１１，２１～２５のうちアーム４１，４２が向けられた方向にあるいずれかから、ワークＷを搬出する。

【0026】

制御部は、搬送装置４の動作を統括的に制御するものである。制御部は、たとえば、相互に接続されたメモリ、プロセッサおよび入出力インターフェースを有する。プロセッサは、メモリに格納されたプログラムやワークＷの搬送に関する情報を読み出して実行することにより、入出力インターフェースを介して、搬送室３内の搬送装置４の各部の動作を制御する。

【0027】

図４は、搬送装置４の動作の一例を説明するための図である。搬送装置４は、たとえば処理前のワークＷをロードロックチャンバ１１から取り出して処理チャンバ２１～２５のいずれかへ搬送する。搬送装置４は、当該処理チャンバにおいて処理が行われたワークＷを、他のいずれかの処理チャンバに搬送する。このようにしてワークＷに対して処理チャンバ２１～２５において必要な処理を順次行う。そして、搬送装置４は、必要な処理が行われたワークＷを、ロードロックチャンバ１１へ搬送する。

【0028】

搬送装置４の旋回ベース４３およびアーム４１，４２は、旋回駆動部４５によって第１の旋回方向ＴＬまたは第２の旋回方向ＴＲに旋回する。本実施形態においては、図４に示すように、第１の旋回方向ＴＬは、平面視において左旋回（反時計回りの方向）であり、第２の旋回方向ＴＲは、平面視において右旋回（時計回りの方向）である。なお、本実施形態において、旋回ベース４３の旋回可能範囲には制限がある。たとえば、旋回ベース４３、図４においてハッチングを付した旋回不能範囲９を除く範囲において、旋回が可能である。そのため、本実施形態の搬送室３では、たとえば処理チャンバ２１，２２のいずれかから処理チャンバ２３～２５のいずれかへワークＷが搬送される際、旋回ベース４３およびこれに支持されたアーム４１，４２は、第１の旋回方向ＴＬに旋回する。また、処理チャンバ２３～２５のいずれかから処理チャンバ２１，２２のいずれかへワークＷが搬送される際、旋回ベース４３およびアーム４１，４２は、第２の旋回方向ＴＲに旋回する。
なお、本実施形態と異なり、旋回ベース４３の旋回不能範囲９を設けず、旋回ベース４３およびアーム４１，４２が第１の旋回方向ＴＬおよび第２の旋回方向ＴＲのいずれにも常に旋回できるように構成してもよい。

【0029】

本実施形態において、アーム４１，４２によりロードロックチャンバ１１および複数の処理チャンバ２１～２５のいずれかに対してワークＷを搬入または搬出する際、旋回ベース４３は、当該チャンバに対応する位置において停止する。図５において、実線で表した旋回ベース４３およびアーム４１，アーム４２は、ロードロックチャンバ１１に対応する位置にあり、ロードロックチャンバ１１に正対している。旋回ベース４３およびアーム４１，４２がロードロックチャンバ１１に対応する位置にあるとき、旋回ベース４３およびアーム４１，４２は位置Ａにあると定義する。旋回ベース４３およびアーム４１，４２が処理チャンバ２１に対応する位置にあるとき、旋回ベース４３およびアーム４１，４２は位置Ｂにあると定義する。旋回ベース４３およびアーム４１，４２が処理チャンバ２２に対応する位置にあるとき（図５において二点鎖線で表す）、旋回ベース４３およびアーム４１，４２は位置Ｃにあると定義する。旋回ベース４３およびアーム４１，４２が処理チャンバ２３に対応する位置にあるとき、旋回ベース４３およびアーム４１，４２は位置Ｄにあると定義する。旋回ベース４３およびアーム４１，４２が処理チャンバ２４に対応する位置にあるとき、旋回ベース４３およびアーム４１，４２は位置Ｅにあると定義する。旋回ベース４３およびアーム４１，４２が処理チャンバ２５に対応する位置にあるとき、旋回ベース４３およびアーム４１，４２は位置Ｆにあると定義する。

【0030】

本実施形態において、ワークＷを複数のチャンバ１１，２１～２５のいずれかから他のいずれかに搬送する場合、旋回ベース４３およびアーム４１，４２は、ワークＷを搬出するチャンバ（ワークＷの搬送元のチャンバ）に対応する位置からワークＷを搬入するチャンバ（ワークＷの搬送先のチャンバ）に対応する位置まで旋回動作を行う。ここで、アーム４１，４２がワークＷを搬出するチャンバに対応する位置を「旋回開始位置」と定義し、アーム４１，４２がワークＷを搬入するチャンバに対応する位置を「旋回終了位置」と定義する。また、アーム４１，４２がワークＷを搬入するチャンバを「目標チャンバ」と定義する。図５を参照し、たとえばワークＷをロードロックチャンバ１１から処理チャンバ２２に搬送する場合、旋回ベース４３およびアーム４１，４２の旋回開始位置は、位置Ａであり、旋回ベース４３およびアーム４１，４２の旋回終了位置は、位置Ｃであり、目標チャンバは、処理チャンバ２２である。また、ワークＷを処理チャンバ２１から処理チャンバ２３に搬送する場合、旋回ベース４３およびアーム４１，４２の旋回開始位置は、位置Ｂであり、旋回ベース４３およびアーム４１，４２の旋回終了位置は、位置Ｄであり、目標チャンバは、処理チャンバ２３である。同様に、ワークＷを処理チャンバ２４からからロードロックチャンバ１１に搬送する場合、旋回ベース４３およびアーム４１，４２の旋回開始位置は、位置Ｅであり、旋回ベース４３およびアーム４１，４２の旋回終了位置は、位置Ａであり、目標チャンバは、ロードロックチャンバ１１である。

【0031】

旋回駆動部４５は、モータ等の動力源からギア機構４７を介して伝達された動力により、旋回ベース４３およびアーム４１，４２を旋回させる。アーム４１，４２が所定の旋回開始位置から旋回終了位置まで旋回するように旋回ベース４３を旋回させる際、旋回軸線Ｏ回りの旋回ベース４３の旋回動作の角度を「旋回角度」と定義する。ここで、旋回ベース４３の旋回条件（旋回終了位置、旋回方向および旋回速度）が異なると、目標とする所定の旋回角度で旋回するように旋回駆動部４５を駆動しても、ギア機構４７において僅かなずれが生じ、旋回角度にずれが生じる。すなわち、旋回ベース４３の旋回条件が異なると、旋回条件に応じて旋回終了位置におけるアーム４１，４２の位置にずれが生じてしまう。また、旋回ベース４３の旋回方向が異なると、ギア機構４７のバックラッシが異なり、旋回角度にずれが生じる。本実施形態において、ギア機構４７は減速機であり、旋回ベース４３の旋回終了位置が異なると、ギア機構４７の内部における歯の接触状態等が異なり、旋回角度にずれが生じる。また、旋回動作時の旋回速度、旋回加速度、旋回減速度が異なると、ギア機構４７の内部における弾性変形や歯の接触状態等が異なり、旋回角度にずれが生じる。

【0032】

本実施形態においては、上記のような旋回ベース４３の旋回条件の違いに起因する旋回角度のずれに対して、旋回条件に応じて、ずれを無くすように補正が行われる。図６は、当該補正の一例を示す。旋回ベース４３の旋回動作において、複数のチャンバ１１，２１～２５の各々が目標チャンバとなり得る。旋回終了位置としては、複数のチャンバ１１，２１～２５それぞれに対応する位置Ａ～Ｆがある。たとえば目標チャンバがロードロックチャンバ１１である場合、旋回終了位置が位置Ａであり、旋回開始位置は、位置Ｂ～Ｆのいずれかである。

【0033】

本実施形態では、図６に示した旋回条件１～６は、目標チャンバがロードロックチャンバ１１である（図５参照）。旋回条件１においては、旋回ベース４３およびアーム４１，４２の旋回終了位置が位置Ａであり、旋回開始位置は位置Ｂ～Ｆのいずれかである。旋回条件１は、旋回ベース４３の旋回方向が第１の旋回方向ＴＬであり、旋回速度が高速であり、この場合の旋回ベース４３の旋回角度のずれを補正して、「基準旋回角度」として設定される。図６に示すように、旋回条件１における補正値は０（無し）である。なお、旋回ベース４３の旋回動作において、旋回ベース４３は台形加速の駆動制御が行われる。旋回速度が高速である場合、旋回加速度および旋回減速度が大きく、旋回速度の最大値が高速に設置される。旋回条件１における旋回速度（高速）は、本発明の「第１の旋回速度」の一例に相当する。

【0034】

旋回条件２は、旋回ベース４３の旋回方向が第２の旋回方向ＴＲであり、且つ旋回速度が高速であり、旋回条件１と比べて旋回ベース４３の旋回方向が異なる。旋回条件２において、旋回条件１における基準旋回角度に対して所定の補正値ａ１を加えた値に設定される。この補正値ａ１は、角度と方向（第１の旋回方向ＴＬまたは第２の旋回方向ＴＲ）を含む値である。これと同様に、後述の各補正値についても角度と方向を含む値である。

【0035】

旋回条件３は、旋回ベース４３の旋回方向が第１の旋回方向ＴＬであり、且つ旋回速度が中速であり、旋回条件１と比べて旋回ベース４３の旋回速度が異なる。旋回条件３では、旋回ベース４３の旋回速度は、旋回条件１よりも低い中速に設定される。旋回条件３において、旋回条件１における基準旋回角度に対して所定の補正値ａ２を加えた値に設定される。旋回条件４は、旋回ベース４３の旋回方向が第２の旋回方向ＴＲであり、且つ旋回速度が中速であり、旋回条件１と比べて旋回ベース４３の旋回方向および旋回速度が異なる。旋回条件４において、旋回条件１における基準旋回角度に対して所定の補正値ａ３を加えた値に設定される。

【0036】

旋回条件５は、旋回ベース４３の旋回方向が第１の旋回方向ＴＬであり、且つ旋回速度が低速であり、旋回条件１と比べて旋回ベース４３の旋回速度が異なる。旋回条件３では、旋回ベース４３の旋回速度は、旋回条件３よりも低い低速に設定される。旋回条件５において、旋回条件１における基準旋回角度に対して所定の補正値ａ４を加えた値に設定される。旋回条件６は、旋回ベース４３の旋回方向が第２の旋回方向ＴＲであり、且つ旋回速度が低速であり、旋回条件１と比べて旋回ベース４３の旋回方向および旋回速度が異なる。旋回条件６において、旋回条件１における基準旋回角度に対して所定の補正値ａ５を加えた値に設定される。

【0037】

旋回条件（上記旋回条件１～６）の相違に起因するずれの補正値は、たとえば次の手順で求められる。旋回ベース４３を旋回させ、目標チャンバであるロードロックチャンバ１１にアーム４１（４２）を進入させる。ここで、アーム４１のずれ量を測定し、当該ずれ量から補正値を算出する。このことは、図６に示した後述する他の旋回条件７～３６についても同様である。

【0038】

なお、上記の各旋回条件１～６において、目標チャンバはいずれもロードロックチャンバ１１である。当該目標チャンバに対応する旋回終了位置は、いずれも位置Ａであり、同じである。このように目標チャンバに対応する旋回終了位置が同じ場合においては、旋回ベース４３の旋回方向および旋回速度が同じであれば、旋回開始位置が異なっても、補正値は同一とされる。たとえば、旋回条件２において、旋回開始位置は、位置Ｄ～Ｆのいずれかである。ワークＷを処理チャンバ２３からロードロックチャンバ１１に搬送する場合、旋回開始位置は位置Ｄであり、ワークＷを処理チャンバ２４からロードロックチャンバ１１に搬送する場合、旋回開始位置は位置Ｅである。これら２つの場合において、旋回方向が第２の旋回方向ＴＲであり、旋回速度が高速で同じであれば、いずれも旋回条件２に該当し、補正値として同じ値（ａ１）が設定される。このことは、図６に示した旋回条件１～３６のいずれにおいても同様である。

【0039】

図６に示した旋回条件７～１２は、目標チャンバが処理チャンバ２１である（図５参照）。旋回条件７～１２においては、旋回ベース４３およびアーム４１，４２の旋回終了位置が位置Ｂであり、旋回開始位置は位置Ａ，Ｃ～Ｆのいずれかである。旋回条件７は、旋回ベース４３の旋回方向が第１の旋回方向ＴＬであり、旋回速度が高速であり、この場合の旋回ベース４３の旋回角度のずれを補正して、「基準旋回角度」として設定される。図６に示すように、旋回条件７における補正値は０（無し）である。旋回条件８～１２については、目標チャンバがロードロックチャンバ１１である場合の上述の旋回条件２～６にそれぞれ対応しているので、詳細な説明は省略する。旋回条件８～１２において、補正値ｂ１～ｂ５が個別に設定される。

【0040】

図６に示した旋回条件１３～１８は、目標チャンバが処理チャンバ２２である（図５参照）。旋回条件１３～１８においては、旋回ベース４３およびアーム４１，４２の旋回終了位置が位置Ｃであり、旋回開始位置は位置Ａ，Ｂ，Ｄ～Ｆのいずれかである。旋回条件１３は、旋回ベース４３の旋回方向が第１の旋回方向ＴＬであり、旋回速度が高速であり、この場合の旋回ベース４３の旋回角度のずれを補正して、「基準旋回角度」として設定される。図６に示すように、旋回条件１３における補正値は０（無し）である。旋回条件１３～１８については、目標チャンバがロードロックチャンバ１１である場合の上述の旋回条件２～６にそれぞれ対応しているので、詳細な説明は省略する。旋回条件１３～１８において、補正値ｃ１～ｃ５が個別に設定される。

【0041】

図６に示した旋回条件１９～２４は、目標チャンバが処理チャンバ２３である（図５参照）。旋回条件１９～２４においては、旋回ベース４３およびアーム４１，４２の旋回終了位置が位置Ｄであり、旋回開始位置は位置Ａ～Ｃ，Ｅ，Ｆのいずれかである。旋回条件１９は、旋回ベース４３の旋回方向が第１の旋回方向ＴＬであり、旋回速度が高速であり、この場合の旋回ベース４３の旋回角度のずれを補正して、「基準旋回角度」として設定される。図６に示すように、旋回条件１９における補正値は０（無し）である。旋回条件１９～２４については、目標チャンバがロードロックチャンバ１１である場合の上述の旋回条件２～６にそれぞれ対応しているので、詳細な説明は省略する。旋回条件１９～２４において、補正値ｄ１～ｄ５が個別に設定される。

【0042】

図６に示した旋回条件２５～３０は、目標チャンバが処理チャンバ２４である（図５参照）。旋回条件２５～３０においては、旋回ベース４３およびアーム４１，４２の旋回終了位置が位置Ｅであり、旋回開始位置は位置Ａ～Ｄ，Ｆのいずれかである。旋回条件２５は、旋回ベース４３の旋回方向が第１の旋回方向ＴＬであり、旋回速度が高速であり、この場合の旋回ベース４３の旋回角度のずれを補正して、「基準旋回角度」として設定される。図６に示すように、旋回条件２５における補正値は０（無し）である。旋回条件２６～３０については、目標チャンバがロードロックチャンバ１１である場合の上述の旋回条件２～６にそれぞれ対応しているので、詳細な説明は省略する。旋回条件２５～３０において、補正値ｅ１～ｅ５が個別に設定される。

【0043】

図６に示した旋回条件３１～３６は、目標チャンバが処理チャンバ２５である（図５参照）。旋回条件３１～３６においては、旋回ベース４３およびアーム４１，４２の旋回終了位置が位置Ｆであり、旋回開始位置は位置Ａ～Ｅのいずれかである。旋回条件３１は、旋回ベース４３の旋回方向が第１の旋回方向ＴＬであり、旋回速度が高速であり、この場合の旋回ベース４３の旋回角度のずれを補正して、「基準旋回角度」として設定される。図６に示すように、旋回条件３１における補正値は０（無し）である。旋回条件３１～３６については、目標チャンバがロードロックチャンバ１１である場合の上述の旋回条件２～６にそれぞれ対応しているので、詳細な説明は省略する。旋回条件３１～３６において、補正値ｆ１～ｆ５が個別に設定される。

【0044】

図６に示した、旋回条件１～３６毎の旋回終了位置、旋回方向および旋回速度と、基準旋回角度に対する補正値との情報は、たとえば制御部のメモリ内のテーブルに予め格納されている。

【0045】

図７は、ワークＷの搬送方法の一例を示すフローチャートである。図７に例示されたフローチャートは、制御部が搬送装置４の各部を制御することにより実施される。まず、制御部は、搬送情報に基づいて、ワークＷの搬送元および搬送先それぞれのチャンバと、旋回条件（旋回終了位置、旋回方向および旋回速度）とを特定する（Ｓ１）。次に、メモリ内のテーブル（旋回条件毎の補正値）を参照して、旋回条件に対応する補正値を特定する（Ｓ２）。次に、制御部は、旋回ベース４３が旋回条件に基づく基準旋回角度に補正値を加えた旋回角度で旋回するように、旋回駆動部４５を制御する（Ｓ３）。そして、制御部は、アーム４１（４２）上のワークＷを搬送先のチャンバへ搬送するように、スライド駆動部４６を制御する（Ｓ４）。これにより、図７のフローチャートに示した搬送方法は終了する。

【0046】

次に、本実施形態の作用について説明する。

【0047】

搬送装置４は、周囲に複数のチャンバ１１，２１～２５が配置された搬送室３内に設けられており、それぞれのチャンバの間でワークＷを搬送する。搬送装置４は、旋回ベース４３、アーム４１，４２および旋回駆動部４５を備える。旋回ベース４３は、搬送室３内に旋回可能に設けられる。アーム４１，４２は、旋回ベース４３上に設けられ、ワークＷを支持するとともに複数のチャンバ１１，２１～２５の各々に向けてワークＷを進入させる。旋回駆動部４５は、動力源からギア機構４７を介して伝達された動力により、旋回ベース４３を、第１の旋回方向ＴＬまたは第１の旋回方向ＴＬとは反対の方向である第２の旋回方向ＴＲに旋回させる。ワークＷを複数のチャンバ１１，２１～２５のいずれかから他のいずれかに搬送する場合、旋回駆動部４５によりアーム４１，４２が旋回開始位置から旋回終了位置まで旋回するように旋回ベース４３を旋回させる際の旋回角度について、アーム４１，４２が複数のチャンバ１１，２１～２５のうち選択された１つの目標チャンバに対応する旋回終了位置まで旋回するように旋回ベース４３を第１の旋回方向ＴＬに第１の旋回速度（高速）で旋回させるときの旋回角度が基準旋回角度と設定される。このように設定した場合、アーム４１，４２が目標チャンバに対応する旋回終了位置まで旋回するように旋回ベース４３を第２の旋回方向ＴＲに旋回させるときの旋回角度は、基準旋回角度に個別の補正値を加えた値に設定される。旋回ベース４３の旋回方向が異なると、ギア機構４７のバックラッシが異なり、旋回角度にずれが生じる。また、旋回ベース４３の旋回方向が同じでも、アーム４１，４２の旋回終了位置が異なると、ギア機構４７の内部における歯の接触状態等が異なり、旋回角度にずれが生じる。上記構成によれば、旋回ベース４３の旋回方向の違いにより生じる旋回角度のずれ、およびアーム４１，４２の旋回終了位置の相違により生じる旋回角度のずれを補正することができる。これにより、目標チャンバに搬送されるワークＷの位置決め精度を向上させることができる。

【0048】

本実施形態においては、アーム４１，４２が目標チャンバに対応する旋回終了位置まで旋回するように旋回ベース４３を第１の旋回速度（高速）とは異なる旋回速度（中速あるいは低速）で旋回させるときの旋回角度は、基準旋回角度に個別の補正値を加えた値に設定される。このような構成によれば、旋回ベース４３の旋回条件（旋回終了位置、旋回方向および旋回速度）の相違により発生する旋回角度のずれを補正することができる。これにより、目標チャンバに搬送されるワークＷの位置決め精度をより向上させることができる。

【0049】

本実施形態においては、目標チャンバに対応する旋回終了位置が同じ場合において、旋回ベース４３の旋回方向および旋回速度が同じであれば、旋回開始位置が異なっても補正値は同一に設定される。このような構成によれば、旋回ベース４３の旋回動作時におけるギア機構４７のヒステリシス特性が同じであるため、目標チャンバに搬送されるワークＷの位置決め精度を適切に向上させることができる。

【0050】

本実施形態においては、ギア機構４７は、減速機により構成される。減速機において、アーム４１，４２の旋回終了位置が異なると、当該減速機の内部における歯の接触状態等が異なり、旋回角度にずれが生じる。また、旋回動作時の旋回速度が異なると、ギア機構４７の内部における弾性変形や歯の接触状態等が異なり、旋回角度にずれが生じる。本実施形態によれば、目標チャンバに対応する旋回終了位置毎に、旋回方向あるいは旋回速度が異なれば、基準旋回角度に個別の補正値が加えられる。これにより、ギア機構４７が減速機である場合でも、目標チャンバに搬送されるワークＷの位置決め精度を適切に向上させることができる。

【0051】

以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の範囲は上記した実施形態に限定されるものではなく、各請求項に記載した事項の範囲内でのあらゆる変更は、すべて本発明の範囲に包摂される。

【0052】

上記実施形態では、搬送室３は平面視六角形とされているが、本発明はこれに限定されない。搬送室３の平面視形状は、たとえば三角形状、四角形状、五角形状、あるいは八角形状等、六角形状以外の他の多角形状であってもよい。なお、搬送室３の周囲に配置されるチャンバの数は、搬送室３の多角形状の角数に応じた数に設定すればよい。

【0053】

上記実施形態では、搬送室３の周囲に配置された複数のチャンバについて、１つのロードロックチャンバ１１を含むように構成されていたが、本発明はこれに限定されず、たとえば２つの1ロードロックチャンバを含むように構成してもよい。２つのロードロックチャンバを含む構成のワーク処理システムにおいては、一方のロードロックチャンバが外部からワークを搬送室内へ搬入するためのチャンバであり、他方のロードロックチャンバがワークを外部に搬出するためのチャンバである。

【符号の説明】

【0054】

１１：ロードロックチャンバ（チャンバ）、２１～２５：処理チャンバ（チャンバ）、３：搬送室、４：搬送装置、４１，４２：アーム、４３：旋回ベース、４５：旋回駆動部４５、４７：ギア機構、ＴＬ：第１の旋回方向、ＴＲ：第２の旋回方向、Ｗ：ワーク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】