特開 2024-145275 液体噴射ヘッド

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024145275

(43)【公開日】2024-10-15

(54)【発明の名称】液体噴射ヘッド

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20241004BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 607

B41J2/14 305

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023057556

(22)【出願日】2023-03-31

(71)【出願人】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100179475

【弁理士】

【氏名又は名称】仲井 智至

(74)【代理人】

【識別番号】100216253

【弁理士】

【氏名又は名称】松岡 宏紀

(74)【代理人】

【識別番号】100225901

【弁理士】

【氏名又は名称】今村 真之

(72)【発明者】

【氏名】長沼 陽一

(72)【発明者】

【氏名】水田 祥平

(72)【発明者】

【氏名】渡邉 悠生

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 まどか

【テーマコード（参考）】

2C057

【Ｆターム（参考）】

2C057AF07

2C057AG14

2C057AG32

2C057AG33

2C057AG68

2C057BA04

2C057BA14

(57)【要約】

【課題】液体噴射ヘッドにおいて、各圧力室の圧力損失にばらつきを抑制し、液体噴射特性を改善できる技術を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、複数の圧電素子と、振動板と、ノズルに連通し振動板の振動により液体に圧力を付与し液体の噴射に寄与する複数の圧力室と、液体の噴射に寄与しない１以上のダミー圧力室とを構成する圧力室基板と、を有する。圧力室とダミー圧力室と、は、圧力室基板の振動板と向かい合う面とは逆の面に開口しており、積層方向における振動板に向かう方向に深さを有する凹部である。さらに、複数の圧力室と１以上のダミー圧力室は、積層方向に対して垂直な方向である配列方向に配列されており、ダミー圧力室の深さとしての第１深さは、圧力室の深さとしての第２深さよりも浅い。
【選択図】図１０

【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体噴射ヘッドであって、
複数の圧電素子と、
前記複数の圧電素子のそれぞれの圧電素子の駆動により振動する振動板と、
ノズルに連通し前記振動板の振動により液体に圧力を付与し液体の噴射に寄与する複数の圧力室と、液体の噴射に寄与しない１以上のダミー圧力室とを構成する圧力室基板と、
が積層方向に積層されている積層体を有し、
前記積層体において、前記複数の圧力室のそれぞれの圧力室と、前記１以上のダミー圧力室のそれぞれのダミー圧力室と、は、前記圧力室基板の前記振動板と向かい合う面とは逆の面に開口しており、前記積層方向における前記振動板に向かう方向に深さを有する凹部であり、
前記複数の圧力室と前記１以上のダミー圧力室は、前記積層方向に対して垂直な方向である配列方向に配列されており、
前記ダミー圧力室の前記深さとしての第１深さは、前記圧力室の前記深さとしての第２深さよりも浅い、液体噴射ヘッド。

【請求項2】

請求項１に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記圧電素子は、さらに、
第１電極と圧電体層と第２電極とを備え、かつ、
前記積層方向に沿ってみたときに、前記圧力室と、前記振動板と、前記第１電極と、前記圧電体層と、前記第２電極と、が重なる領域である能動領域を備え、
前記能動領域は、
前記積層方向と前記配列方向と直交する方向を流路方向とし、前記配列方向に沿ってみたときに、前記流路方向の範囲が前記ダミー圧力室に包含されるように構成されており、
前記ダミー圧力室の前記流路方向の範囲の長さは、前記能動領域の前記流路方向の範囲の長さ以上である、液体噴射ヘッド。

【請求項3】

請求項１に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記複数の圧力室と前記１以上のダミー圧力室は、前記配列方向に、等間隔に配列されている、液体噴射ヘッド。

【請求項4】

請求項１に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記複数の圧力室は、前記圧力室基板と前記振動板とによって画定され、
前記１以上のダミー圧力室は、前記圧力室基板によって画定され、かつ、前記振動板によっては画定されていない、液体噴射ヘッド。

【請求項5】

請求項４に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記圧力室基板は、シリコン結晶であり、
前記振動板は、酸化シリコン膜である、液体噴射ヘッド。

【請求項6】

請求項４または請求項５の液体噴射ヘッドであって、
前記圧電素子と同じ構成を備えるが駆動されない１以上のダミー圧電素子を備え、
前記１以上のダミー圧電素子のそれぞれのダミー圧電素子は、前記積層方向に沿ってみたときに、前記ダミー圧力室に重なる関係である、液体噴射ヘッド。

【請求項7】

請求項１に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記第１深さは、前記第２深さの半分以上である、液体噴射ヘッド。

【請求項8】

請求項１に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記圧電素子は、さらに、
第１電極と圧電体層と第２電極とを備え、
前記液体噴射ヘッドは、
前記積層方向に沿ってみたときに、前記圧力室と、前記振動板と、前記第１電極と、前記圧電体層と、前記第２電極と、が重なる能動領域を有し、
前記積層方向と前記配列方向とに交わる方向である流路方向において、前記能動領域の位置を第１位置とし、
前記能動領域以外の位置であって、前記流路方向において前記第１位置よりも前記圧力室の端部に近い位置を第２位置とし、
前記第２位置における前記圧力室の前記深さを第３深さとし、
前記第２位置における前記ダミー圧力室の前記深さを第４深さとしたとき、
前記第１深さと、前記第２深さと、は前記第１位置における前記深さであって、
前記第４深さと前記第３深さとの差は、前記第１深さと前記第２深さとの差よりも小さい、液体噴射ヘッド。

【請求項9】

請求項８に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記第２位置は、前記流路方向において、前記第１位置よりも前記ノズルに近い、液体噴射ヘッド。

【請求項10】

請求項８または請求項９に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記第２位置は、前記積層方向に沿ってみたときに、前記圧力室と、前記振動板と、が重なる位置であって、
前記第１電極と、前記圧電体層と、前記第２電極と、のうちの少なくとも１つが重ならない、
または、前記第１電極と、前記圧電体層と、前記第２電極と、前記圧力室基板の一部と、が重なる位置である、液体噴射ヘッド。

【請求項11】

請求項１に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記圧力室基板には、
前記圧力室基板の前記振動板と向かい合う面とは逆の面に開口しており、前記積層方向における前記振動板に向かう方向に深さを有する凹部としてのディンプルを備え、
前記ダミー圧力室は、前記配列方向において、前記ディンプルと前記圧力室との間に配され、
前記ディンプルの深さは、前記第１深さよりも浅い、液体噴射ヘッド。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、液体噴射ヘッドに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１に記載のように、液体噴射ヘッドにおいて、配列した複数の圧力室に隣接してダミー圧力室が設けられる場合がある。ダミー圧力室は、異なる位置に設けられている圧力室同士の圧力損失のばらつきを低減する技術である。圧力室同士の圧力損失のばらつきは、噴射される液体の量や飛翔速度の差を生じる。複数の圧力室は、隣接する圧力室の圧力変動の影響を受ける。このため、複数の圧力室のうち、端部の圧力室と中央の圧力室とでは、隣接する圧力室の有無により圧力損失に差が生じる。よって、ダミー圧力室は、端部の圧力室に隣接して設けられることで、端部の圧力室の圧力損失と、中央の圧力室の圧力損失と、の差を低減している。

【0003】

しかし、特許文献１に記載のように、ダミー圧力室を設けただけでは、各圧力室の圧力損失のばらつきを抑制することが十分ではないことが知られている。ダミー圧力室においては、圧力変動を生じさせないため、ダミー圧力室上の振動板や隔壁に張力が加えられない。よって、ダミー圧力室と隣接する圧力室は、ダミー圧力室ではない圧力室と隣接する圧力室と比べ、振動板や隔壁の変形の度合いが大きくなる。したがって、ダミー圧力室と隣接する端部の圧力室と、ダミー圧力室と隣接しない中央とで、各圧力室の圧力損失のばらつきが発生する。

【0004】

特許文献１の技術は、ダミー圧力室にも圧電素子を設け、液体噴射ヘッドによる液体噴射が行われる期間中、ダミー圧力室の圧電素子も駆動させることで、ダミー圧力室に圧力変動を生じさせる。よって、特許文献１の技術は、ダミー圧力室上の振動板や隔壁に張力を生じさせることで、各圧力室の圧力損失のばらつきを抑制している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１８－６５３９１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかし、ダミー圧力室にも圧電素子を設けてダミー圧力室を駆動させる場合、液体噴射ヘッドにおいて、配線や制御回路が複雑になる。このうえ、液体噴射ヘッドは、ダミー圧力室の圧電素子を駆動させるためにエネルギーを多く消費する。

【0007】

圧力損失のばらつきは、液体の噴射特性も悪化させる。これにより、噴射される液体に濃度差が生じることで、噴射対象に付着した液体にムラが生じる場合がある。したがって、ダミー圧力室の圧電素子を駆動させることなく、各圧力室の圧力損失のばらつきを抑制できる技術が望まれていた。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本開示の一形態によれば、液体噴射ヘッドが提供される。この液体噴射ヘッドは、複数の圧電素子と、前記複数の圧電素子のそれぞれの圧電素子の駆動により振動する振動板と、ノズルに連通し前記振動板の振動により液体に圧力を付与し液体の噴射に寄与する複数の圧力室と、液体の噴射に寄与しない１以上のダミー圧力室とを構成する圧力室基板と、が積層方向に積層されている積層体を有する。前記積層体において、前記複数の圧力室のそれぞれの圧力室と、前記１以上のダミー圧力室のそれぞれのダミー圧力室と、は、前記圧力室基板の前記振動板と向かい合う面とは逆の面に開口しており、前記積層方向における前記振動板に向かう方向に深さを有する凹部である。前記複数の圧力室と前記１以上のダミー圧力室は、前記積層方向に対して垂直な方向である配列方向に配列されている。前記ダミー圧力室の前記深さとしての第１深さは、前記圧力室の前記深さとしての第２深さよりも浅い。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】液体噴射装置５００の概略構成を示すブロック図。

【図2】液体噴射ヘッド５１０の構成を示す分解斜視図。

【図3】液体噴射ヘッド５１０の構成を平面視で示す説明図。

【図4】図３のＩＶ－ＩＶ位置を示す断面図。

【図5】図４の圧電素子３００近傍を拡大して示す断面図。

【図6】図３のＶＩ－ＶＩ位置を示す断面図。

【図7】図３の圧力室１２ｅ１の近傍を示す平面図。

【図8】圧力室１２ｅ１について、図７のＶＩＩ－ＶＩＩ位置の断面を示す説明図。

【図9】ダミー圧力室１３ｅ１について、図７のＩＸ－ＩＸ断面を示す説明図。

【図10】第１位置Ｐ１における、図７のＸ－Ｘ断面を示す説明図。

【図11】第２位置Ｐ２における、図７のＸＩ－ＸＩ断面を示す説明図。

【図12】比較例のダミー圧力室１４ｅ１の断面を示す説明図。

【図13】本開示の実施形態のダミー圧力室１３ｅ１の断面を示す説明図。

【図14】連通板１５と圧力室基板１０の接着の状態を示す説明図。

【発明を実施するための形態】

【0010】

Ａ．第１実施形態：
Ａ１．液体噴射装置の全体構成：
図１は、本開示の第１実施形態としての液体噴射ヘッド５１０を備える液体噴射装置５００の概略構成を示すブロック図である。本実施形態において、液体噴射装置５００は、インクジェット式プリンターとして構成され、印刷用紙Ｐにインクを噴射して画像を形成する。図１には、相互に直交する３つの軸であるＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が表されている。他の図面に記載のＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸は、いずれも図１のＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸に対応する。向きを特定する場合には、正の方向を「＋」、負の方向を「－」として、方向表記に正負の符合を併用する。

【0011】

液体噴射装置５００は、液体噴射ヘッド５１０と、インクタンク５５０と、搬送機構５６０と、移動機構５７０と、制御ユニット５４０とを備えている。

【0012】

液体噴射ヘッド５１０は、多数のノズル２１を有し、＋Ｚ方向にインクを噴射して印刷用紙Ｐ上に画像を形成する。液体噴射ヘッド５１０の構成は、後に詳細に説明する。噴射するインクとしては、例えば、ブラック、シアン、マゼンタ、イエローの合計４色のインクが挙げられる。なお、液体噴射ヘッド５１０は、移動機構５７０が有する後述のキャリッジ５７２に搭載され、キャリッジ５７２の移動とともに主走査方向に往復移動する。本実施形態において、主走査方向は、＋Ｘ方向および－Ｘ方向である。＋Ｘ方向および－Ｘ方向を「Ｘ軸方向」とも呼ぶ。

【0013】

インクタンク５５０は、液体噴射ヘッド５１０から噴射するインクを収容する。インクタンク５５０は、キャリッジ５７２には搭載されていない。インクタンク５５０と液体噴射ヘッド５１０とは、樹脂製のチューブ５５２によって接続されており、かかるチューブ５５２を介してインクタンク５５０から液体噴射ヘッド５１０へとインクが供給される。

【0014】

搬送機構５６０は、印刷用紙Ｐを副走査方向に搬送する。副走査方向は、主走査方向であるＸ軸方向と直交する方向であり、本実施形態では、＋Ｙ方向および－Ｙ方向である。＋Ｙ方向および－Ｙ方向を「Ｙ軸方向」とも呼ぶ。搬送機構５６０は、３つの搬送ローラー５６２が装着された搬送ロッド５６４と、搬送ロッド５６４を回転駆動する搬送用モーター５６６とを備える。搬送用モーター５６６が搬送ロッド５６４を回転駆動することにより、複数の搬送ローラー５６２が回転して印刷用紙Ｐが副走査方向である＋Ｙ方向に搬送される。

【0015】

移動機構５７０は、前述のキャリッジ５７２に加えて、搬送ベルト５７４と、移動用モーター５７６と、プーリー５７７とを備える。キャリッジ５７２は、インクを噴射可能な状態で液体噴射ヘッド５１０を搭載する。キャリッジ５７２は、搬送ベルト５７４に取り付けられている。搬送ベルト５７４は、移動用モーター５７６とプーリー５７７との間に架け渡されている。移動用モーター５７６が回転モーターことにより、搬送ベルト５７４は、主走査方向に往復移動する。これにより、搬送ベルト５７４に取り付けられているキャリッジ５７２も、主走査方向に往復移動する。

【0016】

制御ユニット５４０は、液体噴射装置５００の全体を制御する。例えば、制御ユニット５４０は、キャリッジ５７２の主走査方向に沿った往復動作や、印刷用紙Ｐの副走査方向に沿った搬送動作を制御する。本実施形態において、制御ユニット５４０は、後述の圧電アクチュエーターの駆動制御部としても機能する。すなわち、制御ユニット５４０は、液体噴射ヘッド５１０に駆動信号を出力して圧電アクチュエーターを駆動させることにより、印刷用紙Ｐへのインク噴射を制御する。

【0017】

Ａ２．液体噴射ヘッドの詳細構成：
図２は、液体噴射ヘッド５１０の構成を示す分解斜視図である。図３は、液体噴射ヘッド５１０の構成を平面視で示す説明図である。図３では、液体噴射ヘッド５１０における圧力室基板１０周辺の構成が示されている。図３では、技術の理解を容易にするために、保護基板３０、ケース部材４０が省略されている。図４は、図３のＩＶ－ＩＶ位置を示す断面図である。

【0018】

液体噴射ヘッド５１０は、より具体的には、図２に示すように、圧力室基板１０と、連通板１５と、ノズルプレート２０と、コンプライアンス基板４５と、保護基板３０と、ケース部材４０と、中継基板１２０と、を有し、さらに、図３に示す圧電素子３００とダミー圧電素子３００ａと、図４に示す振動板５０と、を有している。圧力室基板１０と、連通板１５と、ノズルプレート２０と、コンプライアンス基板４５と、振動板５０と、圧電素子３００またはダミー圧電素子３００ａと、保護基板３０と、ケース部材４０と、は、積層部材であり、積層されることで液体噴射ヘッド５１０を形成する。本開示において、液体噴射ヘッド５１０を形成する積層部材が積層される方向を、積層方向Ａｍ１０とも呼ぶ。－Ｚ方向および＋Ｚ方向を「Ｚ軸方向」とも呼ぶ。積層方向Ａｍ１０は、Ｚ軸方向に沿った方向でもある。

【0019】

圧力室基板１０は、例えば、シリコン結晶を用いて形成されている。図３に示すように、圧力室基板１０には、複数の圧力室１２と１以上のダミー圧力室１３と、が、積層方向Ａｍ１０に対して垂直な方向である配列方向Ａｍ２０に配列されている。複数の圧力室１２と１以上のダミー圧力室１３とが配列される方向を、配列方向Ａｍ２０とも呼ぶ。＋Ｙ方向および－Ｙ方向を「Ｙ軸方向」とも呼ぶ。配列方向Ａｍ２０は、Ｙ軸方向に沿った方向でもある。圧力室１２とダミー圧力室１３は、平面視においてＸ軸方向の長さがＹ軸方向の長さよりも長い長方形状で形成されている。

【0020】

複数の圧力室１２のそれぞれの圧力室１２と、１以上のダミー圧力室１３のそれぞれのダミー圧力室１３と、は、Ｚ軸方向としての積層方向Ａｍ１０における振動板５０に向かう方向に深さｈを有する凹部である。圧力室１２とダミー圧力室１３の深さｈについては、後に詳細に説明する。

【0021】

本実施形態では、複数の圧力室１２は、それぞれＹ軸方向を配列方向Ａｍ２０とする２つの列で配列されている。図３の例では、圧力室基板１０には、Ｙ軸方向を配列方向Ａｍ２０とする第１圧力室列Ｌａと、Ｙ軸方向を配列方向Ａｍ２０とする第２圧力室列Ｌｂとの２つの圧力室列が形成されている。第２圧力室列Ｌｂは、第１圧力室列Ｌａの配列方向Ａｍ２０に交差する方向において、第１圧力室列Ｌａと隣り合うように配置されている。配列方向Ａｍ２０に交差する方向を流路方向Ａｍ３０とも呼ぶ。図３の例では、流路方向Ａｍ３０は、Ｘ軸方向であり、第２圧力室列Ｌｂは、第１圧力室列Ｌａの－Ｘ方向に隣り合っている。

【0022】

第１圧力室列Ｌａに属する複数の圧力室１２と１以上のダミー圧力室１３と、第２圧力室列Ｌｂに属する複数の圧力室１２とダミー圧力室１３とは、それぞれ配列方向Ａｍ２０での位置が互いに一致し、流路方向Ａｍ３０では互いに隣り合うように配置されている。この配置については、後に詳細に説明する。

【0023】

各圧力室列において、圧力室１２同士と、ダミー圧力室１３同士と、圧力室１２とダミー圧力室１３は、後述するように、隔壁１１によって等間隔に区画されている。隔壁１１は、圧力室基板１０を区画している圧力室基板１０の一部である。圧力室１２とダミー圧力室１３については、後に詳細に説明する。

【0024】

図２に示すように、圧力室基板１０の－Ｚ方向側には、連通板１５と、ノズルプレート２０およびコンプライアンス基板４５とが順に積層されている。連通板１５は、例えば、シリコン基板を用いた平板状の部材である。図４に示すように、連通板１５には、ノズル連通路１６と、第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８と、供給連通路１９とが設けられている。

【0025】

図４に示すように、ノズル連通路１６は、圧力室１２と、ノズル２１とを連通する流路である。第１マニホールド部１７および第２マニホールド部１８は、複数の圧力室１２が連通する共通液室となるマニホールド１００の一部として機能する。第１マニホールド部１７は、連通板１５をＺ軸方向に貫通して設けられている。また、第２マニホールド部１８は、図４に示すように、連通板１５をＺ軸方向に貫通することなく、連通板１５の－Ｚ方向側の面に設けられている。

【0026】

供給連通路１９は、圧力室１２のＸ軸方向の一方の端部に連通する流路である。供給連通路１９は、複数であり、Ｙ軸方向、すなわち配列方向Ａｍ２０に沿って配列され、圧力室１２の各々に個別に設けられている。供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と各圧力室１２とを連通して、マニホールド１００内のインクを各圧力室１２に供給する。

【0027】

ノズルプレート２０は、連通板１５を挟んで圧力室基板１０とは反対側、すなわち、連通板１５の＋Ｚ方向側の面に設けられている。ノズルプレート２０の材料としては、例えば、シリコン基板である。

【0028】

ノズルプレート２０には、複数のノズル２１が形成されている。各ノズル２１は、ノズル連通路１６を介して各圧力室１２と連通している。図２に示すように、複数のノズル２１は、圧力室１２の配列方向Ａｍ２０、すなわちＹ軸方向に沿って配列されている。ノズルプレート２０には、これら複数のノズル２１が列設されたノズル列が２列設けられている。２つのノズル列は、第１圧力室列Ｌａ、第２圧力室列Ｌｂにそれぞれ対応する。

【0029】

図４に示すように、コンプライアンス基板４５は、ノズルプレート２０とともに、連通板１５を挟んで圧力室基板１０とは反対側、すなわち、連通板１５の－Ｚ方向側の面に設けられている。コンプライアンス基板４５は、ノズルプレート２０の周囲に設けられ、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７および第２マニホールド部１８の開口を覆う。本実施形態では、コンプライアンス基板４５は、可撓性を有する薄膜からなる封止膜４６と、金属等の硬質の材料からなる固定基板４７と、を備えている。図４に示すように、固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっている。このため、マニホールド１００の一方面は、封止膜４６のみで封止されたコンプライアンス部４９となっている。

【0030】

図４に示すように、圧力室基板１０を挟んでノズルプレート２０等とは反対側、すなわち圧力室基板１０の－Ｚ方向側の面には、振動板５０と、圧電素子３００とが積層されている。圧電素子３００は、振動板５０を撓み変形させて圧力室１２内のインクに圧力変化を生じさせる。図４では、技術の理解を容易にするために、圧電素子３００の構成については簡略化して示している。圧電素子３００については、後に詳細に説明する。振動板５０は、圧電素子３００の－Ｚ方向側に設けられ、圧力室基板１０は、振動板５０の＋Ｚ方向側に設けられている。

【0031】

図４に示すように、圧力室基板１０の－Ｚ方向側の面には、さらに、圧力室基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接着剤等によって接合されている。保護基板３０は、圧電素子３００を保護する空間である保持部３１を有する。保持部３１は、Ｙ軸方向である配列方向Ａｍ２０に沿って配列された圧電素子３００の列毎に設けられたものであり、本実施形態では、Ｘ軸方向に２列で並んで形成されている。また、保護基板３０において、２列の保持部３１の間に、Ｘ軸方向に沿って延伸し＋Ｘ軸方向に沿って貫通する貫通孔３２が設けられている。

【0032】

図４に示すように、保護基板３０上には、ケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、複数の圧力室１２に連通するマニホールド１００を、連通板１５とともに形成している。ケース部材４０は、平面視において連通板１５と略同一の外形形状を有し、保護基板３０と、連通板１５とに亘って接合されている。

【0033】

ケース部材４０は、収容部４１と、供給口４４と、第３マニホールド部４２と、接続口４３と、を有している。収容部４１は、圧力室基板１０および保護基板３０を収容可能な深さを有する空間である。第３マニホールド部４２は、ケース部材４０において、収容部４１のＸ軸方向における両外側に形成されている空間である。第３マニホールド部４２と、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７および第２マニホールド部１８とが接続されることによって、マニホールド１００が形成されている。マニホールド１００は、Ｙ軸方向に亘って連続する長尺な形状を有している。供給口４４は、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給する。接続口４３は、保護基板３０の貫通孔３２に連通する貫通孔であり、中継基板１２０が挿通される。

【0034】

本実施形態の液体噴射ヘッド５１０では、図１に示すインクタンク５５０から供給されるインクが、図４に示す供給口４４から取り込まれる。マニホールド１００からノズル２１に至るまで内部の流路をインクで満たした後、複数の圧力室１２に対応するそれぞれの圧電素子３００に、駆動信号に基づく電圧が印加される。これにより、後述する圧電素子３００とともに振動板５０がたわみ変形して各圧力室１２内の圧力が高まり、各ノズル２１からインク滴が噴射される。

【0035】

複数の圧力室１２に対して１以上のダミー圧力室１３は、マニホールド１００およびノズル２１に連通していない。より具体的には、連通板１５は、ダミー圧力室１３に接続される流路を備えていない。よって、ダミー圧力室１３には、インクは供給されない。

【0036】

図３から図６を用いて、圧力室基板１０のＺ軸方向の構成について説明する。図５は、図４の圧電素子３００近傍を拡大して示す断面図である。図６は、図３のＶＩ－ＶＩ位置を示す断面図である。液体噴射ヘッド５１０は、図５に示すように、圧力室１２を備える圧力室基板１０の－Ｚ方向側に、振動板５０と、圧電素子３００と、に加え、さらに、個別リード電極９１と、共通リード電極９２と、を有している。

【0037】

圧力室１２は、図５に示すように、流入口１２ｃ１と、供給路１２ｃ２と、圧力部１２ｒと、より構成される。インクは、供給連通路１９に繋がる流入口１２ｃ１から圧力室１２内部に流入する。圧力室１２のＹ軸方向の幅は、供給路１２ｃ２において、Ｙ軸方向に狭くなっている。供給路１２ｃ２のＹ軸方向の幅については、後に説明する図７において示されている。供給路１２ｃ２は、流入するインクに対して流路抵抗となる部分である。インクは、供給路１２ｃ２を通過することで、圧力部１２ｒに到達する。本実施形態において、後に説明する圧力室１２の長さＬ３は、圧力部１２ｒの長さである。インクは、圧力部１２ｒを通過してノズル連通路１６に到達する。圧力室１２の構造については、後に詳細に説明する。

【0038】

振動板５０は、複数の圧電素子３００のそれぞれの圧電素子３００の駆動により振動する。振動板５０は、図５の中段左部に示すように、圧力室基板１０側に設けられた酸化シリコン膜からなる弾性膜５５と、酸化ジルコニウム膜からなる絶縁体膜５６と、に構成されている。圧力室１２等の圧力室基板１０に形成される流路は、圧力室基板１０を＋Ｚ方向側から－Ｚ方向に向かって、異方性エッチングすることにより形成されている。圧力室１２等の流路の－Ｚ方向側の面は、弾性膜５５で構成されている。技術の理解を容易にするため、図５以外の図面では、弾性膜５５と絶縁体膜５６の図示を省略する。

【0039】

圧電素子３００は、圧力室１２に圧力を付与する。図５および図６に示すように、圧電素子３００は、第１電極６０と、圧電体層７０と、第２電極８０とを有する。第１電極６０と、圧電体層７０と、第２電極８０とは、－Ｚ方向側から＋Ｚ方向側に向かって順に積層されている。圧電体層７０は、第１電極６０、第２電極８０、および圧電体層７０が積層される積層方向Ａｍ１０、すなわちＺ軸方向において、第１電極６０と第２電極８０との間に設けられている。

【0040】

ダミー圧電素子３００ａは、図６に示すように、圧電素子３００と同じ構成を備えるが駆動されない素子である。１以上のダミー圧電素子３００ａのそれぞれのダミー圧電素子３００ａは、積層方向Ａｍ１０に沿ってみたときに、ダミー圧力室１３に重なる関係である。

【0041】

第１電極６０および第２電極８０は、いずれも図４に示す中継基板１２０と電気的に接続されている。第１電極６０および第２電極８０は、駆動信号に応じた電圧を、圧電体層７０に印加する。第１電極６０には、インクの噴射量に応じて異なる駆動電圧が供給され、第２電極８０には、インクの噴射量に関わらず、一定の基準電圧信号が供給される。インクの噴射量は、圧力室１２に必要な容積変化量である。圧電素子３００が駆動されることにより、第１電極６０と第２電極８０との間に電位差が生じると、圧電体層７０が変形する。圧電体層７０の変形により、振動板５０は、変形または振動して圧力室１２の容積が変化する。圧力室１２の容積が変化することにより、圧力室１２に収容されているインクに圧力が付与され、ノズル連通路１６を介してノズル２１からインクが噴射される。

【0042】

図３に示すように、第１電極６０は、複数の圧力室１２に対して個別に設けられる個別電極である。第１電極６０は、例えば、白金（Ｐｔ）で構成されている。図６に示すように、第１電極６０のＹ軸方向の幅は、圧力室１２の幅よりも狭い。すなわち、第１電極６０のＹ方向の両端は、圧力室１２のＹ軸方向の両端よりも内側に位置している。図５に示すように、第１電極６０の＋Ｘ方向の端部６０ａは、圧力室１２の内側に配置されている。第１電極６０の－Ｘ方向の端部６０ｂは、圧力室１２の外側に配置されている。例えば、第１圧力室列Ｌａでは、第１電極６０の端部６０ａは、圧力室１２の＋Ｘ方向の端部１２ａよりも＋Ｘ方向側となる位置に配置されている。第１電極６０の端部６０ｂは、圧力室１２の－Ｘ方向の端部１２ｂよりも－Ｘ方向側となる位置に配置されている。

【0043】

圧電体層７０は、図５に示すように、圧電体層７０のＸ軸方向の幅は、圧力室１２の長手方向であるＸ軸方向の幅よりも長い。圧電体層７０は、図５に示すように、圧力室１２の配列方向Ａｍ２０、すなわち、Ｘ軸方向に沿って延在して設けられている。このため、圧力室１２のＸ軸方向の両側では、圧電体層７０は、圧力室１２の外側まで延在している。圧電体層７０としては、第１電極６０上に形成される電気機械変換作用を示す強誘電性セラミックス材料からなるペロブスカイト構造の結晶膜、いわゆるペロブスカイト型結晶が挙げられる。本実施形態では、圧電体層７０として、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を用いたが、これに限定されない。

【0044】

図５に示すように、圧電体層７０の＋Ｘ方向の端部７０ａは、第１圧力室列Ｌａにおいて、第１電極６０の端部６０ａよりも外側となる＋Ｘ方向側に位置している。すなわち、第１電極６０の端部６０ａは圧電体層７０によって覆われている。一方、圧電体層７０の－Ｘ方向の端部７０ｂは、第１電極６０の端部６０ｂよりも内側となる－Ｘ方向側に位置しており、第１電極６０の端部６０ｂは、圧電体層７０では覆われていない。

【0045】

圧電体層７０には、図６に示すように、他の領域よりも厚さが薄い部分である溝部７１が形成されている。溝部７１は、各隔壁１１に対応する位置に設けられる。溝部７１は、圧電体層７０をＺ軸方向に完全に除去することで、形成されている。圧電体層７０に溝部７１を設けることにより、振動板５０の圧力室１２のＸ軸方向の端部に対向する部分、いわゆる振動板５０の腕部の剛性が抑えられるため、圧電素子３００をより良好に変位させることができる。

【0046】

第２電極８０は、図５および図６に示すように、第１電極６０とは圧電体層７０を挟んだ反対側、すなわち圧電体層７０の－Ｚ方向側に設けられている。第２電極８０は、図３に示すように、複数の圧力室１２に対して共通に設けられ、後に説明する複数の能動領域５０ｒ１に共通する共通電極である。本実施形態では、第２電極８０としてイリジウム（Ｉｒ）を用いている。

【0047】

第２電極８０は、図３に示すように、Ｘ軸方向に所定の幅を有するとともに、圧力室１２の配列方向Ａｍ２０、すなわちＹ軸方向に沿って延在して設けられている。図６に示すように、第２電極８０は、圧電体層７０の溝部７１の側面上および溝部７１の底面である絶縁体膜５６上にも設けられている。

【0048】

図５に示すように、第２電極８０の＋Ｘ方向の端部８０ａは、圧電体層７０で覆われている第１電極６０の端部６０ａよりも外側、すなわち＋Ｘ方向側に配置されている。第２電極８０の端部８０ａは、圧力室１２の端部１２ａよりも外側であり、かつ第１電極６０の端部６０ａよりも外側に位置している。本実施形態では、第２電極８０の端部８０ａは、Ｘ軸方向において、圧電体層７０の端部７０ａと略一致している。

【0049】

図５に示すように、第２電極８０の－Ｘ方向の端部８０ｂは、圧力室１２の－Ｘ方向の端部１２ｂよりも内側となる＋Ｘ方向側に配置され、圧電体層７０の端部７０ｂよりも内側となる＋Ｘ方向側に配置されている。圧電体層７０の端部７０ｂは、第１電極６０の端部６０ｂよりも＋Ｘ方向側となる内側に位置している。したがって、第２電極８０の端部８０ｂは、第１電極６０の端部６０ｂよりも＋Ｘ方向側となる圧電体層７０上に位置している。第２電極８０の端部８０ｂの－Ｘ方向側には、圧電体層７０の表面が露出された部分が存在する。このように、第２電極８０の端部８０ｂは、圧電体層７０の端部７０ｂおよび第１電極６０の端部６０ｂよりも＋Ｘ方向側に配置されている。

【0050】

第２電極８０の端部８０ｂの外側には、第２電極８０と同一層となるが、第２電極８０とは電気的に不連続となる配線部８５が設けられている。配線部８５は、第２電極８０の端部８０ｂから間隔を空けた状態で、圧電体層７０の端部７０ｂ近傍から第１電極６０の端部６０ｂに亘って形成されている。配線部８５は、圧電素子３００毎に設けられている。すなわち、配線部８５は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔で複数配置されている。

【0051】

圧電素子３００において、図５に示すように、積層方向Ａｍ１０に沿ってみたときに、圧力室１２と、振動板５０と、第１電極６０と、圧電体層７０と、第２電極８０と、が重なり、かつ、後述の段差部１０ｓと重ならない領域、および、当該領域によって規定されるＸ軸方向における区間を、能動領域５０ｒ１とよぶ。積層方向Ａｍ１０と配列方向Ａｍ２０とに交わる方向である流路方向Ａｍ３０における能動領域５０ｒ１の任意の位置を第１位置Ｐ１ともよぶ。

【0052】

図５に示すように、非能動領域５０ｒ２は、圧電素子３００を積層方向Ａｍ１０に沿ってみたときに、能動領域５０ｒ１以外の領域であって、かつ、圧力室１２の少なくとも一部と、圧力室１２を区画する圧力室基板１０の段差部１０ｓと、振動板５０と、が重なる領域、および、当該領域によって規定されるＸ軸方向における区間である。なお、説明の便宜上、以下では、能動領域５０ｒ１よりも－Ｘ方向に位置する領域のみについて非能動領域５０ｒ２と称する。ここで、段差部１０ｓとは、圧力室１２を－Ｚ方向にみたときに、圧力室基板１０の一部が残されており、振動板５０が露出していない部分である。Ｘ軸方向において、非能動領域５０ｒ２内の任意の位置は、第２位置Ｐ２ともよぶ。第２位置Ｐ２は、流路方向Ａｍ３０において、第１位置Ｐ１よりもノズル２１に近い位置である。非能動領域５０ｒ２は、能動領域５０ｒ１よりもノズル２１に近い領域である。

【0053】

図３および図５に示すように、圧電素子３００においては、個別電極である第１電極６０には個別リード電極９１が接続され、共通電極である第２電極８０には駆動用共通電極である共通リード電極９２がそれぞれ電気的に接続されている。個別リード電極９１および共通リード電極９２は、圧電体層７０を駆動する電圧を圧電体層７０に印加するための駆動配線として機能する。

【0054】

ダミー圧電素子３００ａにおいても、第２電極８０は、圧電素子３００と同様に、後に説明する中継基板１２０と電気的に接続される。すなわち、第２電極８０と共通リード電極９２と、は電気的に接続されている。一方で、図３からも理解されるように、ダミー圧電素子３００ａにおいては、第１電極６０は、個別リード電極９１とは電気的に接続されていない。このため、ダミー圧電素子３００ａの圧電体層７０には電圧が印加されることはない。つまり、ダミー圧電素子３００ａは駆動されることはない。このため、ダミー圧力室１３はインクの噴射に寄与しない。

【0055】

図３および図４に示すように、個別リード電極９１および共通リード電極９２は、保護基板３０に形成された貫通孔３２内に露出するように延設されており、貫通孔３２内で中継基板１２０と電気的に接続されている。中継基板１２０には、図示しない制御基板および電源回路と接続するための複数の配線が形成されている。本実施形態において、中継基板１２０は、例えば、フレキシブル基板（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）により構成されている。

【0056】

中継基板１２０には、スイッチング素子を有する集積回路１２１が実装されている。集積回路１２１には、中継基板１２０で伝搬する圧電素子３００を駆動するための信号が入力される。集積回路１２１は、入力される信号に基づいて、圧電素子３００を駆動するための信号が第１電極６０に供給されるタイミングを制御する。これにより、圧電素子３００が駆動するタイミング、および圧電素子３００の駆動量が制御される。

【0057】

個別リード電極９１および共通リード電極９２の材料は、金（Ａｕ）を用いている。個別リード電極９１は、圧電素子３００毎、すなわち、第１電極６０毎に設けられている。図５に示すように、例えば、個別リード電極９１は、第１圧力室列Ｌａでは、配線部８５を介して、第１電極６０の端部６０ｂ付近に接続され、振動板５０上まで－Ｘ方向に引き出されている。

【0058】

図３に示すように、例えば、第１圧力室列Ｌａでは、共通リード電極９２は、Ｘ軸方向の両端部において屈曲し、第２電極８０上から振動板５０上にまで－Ｘ方向に引き出されている。共通リード電極９２は、延設部９２ａ、および延設部９２ｂを有する。図５に示すように、例えば、第１圧力室列Ｌａでは、延設部９２ａは、圧力室１２の端部１２ａに対応する領域にＸ軸方向に沿って延設され、延設部９２ｂは、圧力室１２の端部１２ｃに対応する領域にＸ軸方向に沿って延設される。圧力室１２の端部１２ｃは、能動領域５０ｒ１における－Ｘ方向の端部である。延設部９２ａおよび延設部９２ｂは、複数の能動領域５０ｒ１に対してＹ軸方向に亘って連続して設けられている。延設部９２ａ、および延設部９２ｂは、Ｙ軸方向において、圧力室１２の内側から圧力室１２の外側まで延設されている。

【0059】

したがって、液体噴射ヘッド５１０は、複数の圧電素子３００と、振動板５０と、ノズル２１に連通し振動板５０の振動により液体に圧力を付与し液体の噴射に寄与する複数の圧力室１２および液体の噴射に寄与しない１以上のダミー圧力室１３を構成する圧力室基板１０と、が積層されている積層体３１０を有している。さらに、液体噴射ヘッド５１０は、図６に示すように、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とを含む圧電素子３００と、圧電素子３００の駆動により振動する振動板５０と、ノズル２１に連通する圧力室１２を振動板５０とともに画定する隔壁１１を有する圧力室基板１０と、を積層した構造を有している。

【0060】

Ａ３．圧力室とダミー圧力室の詳細構成：
複数の圧力室１２は、ノズル２１に連通し振動板５０の振動により液体に圧力を付与し液体の噴射に寄与する。１以上のダミー圧力室１３は、液体の噴射に寄与しない。なお、液体の噴射に寄与しないとは、液体を噴射させるための圧力の付与を行わないことである。

【0061】

図７は、図３の圧力室１２ｅ１の近傍を示す平面図である。複数の圧力室１２は、前述のように、Ｘ軸方向に第１圧力室列Ｌａと第２圧力室列Ｌｂとに分かれて配列されている。図７では、図３に示す第１圧力室列Ｌａに属する圧力室１２のうち、－Ｙ方向において端部に配置されている圧力室１２ｅ１の近傍が示されている。図７では、圧力室１２とダミー圧力室１３の関係を示すため、圧力室基板１０の平面のみが示されている。

【0062】

１以上のダミー圧力室１３は、図３に示すように、格圧力室列のＹ軸方向における端部の圧力室１２ｅ１に隣接して配置されている。図７に示すように、複数の圧力室１２について、端部の圧力室１２ｅ１から圧力室基板１０の中央側に近い順に、圧力室１２ｅ２と圧力室１２ｅ３とよぶ。１以上のダミー圧力室１３について、端部の圧力室１２ｅ１から遠ざかる順に、ダミー圧力室１３ｅ１とダミー圧力室１３ｅ２とよぶ。

【0063】

複数の圧力室１２と１以上のダミー圧力室１３は、配列方向Ａｍ２０に、等間隔に配列されている。この間隔とは、Ｘ軸方向の能動領域５０ｒ１の位置における隔壁１１の厚さである。Ｙ軸方向であるダミー圧力室１３同士の間隔Ｔ２は、圧力室１２同士の間隔Ｔ１と等間隔に配列されている。すなわち、この等間隔とは、ダミー圧力室１３同士の間隔Ｔ２および圧力室１２同士の間隔Ｔ１に存在する隔壁１１の厚さが等しいという意味である。さらに、Ｙ軸方向に隣接する端部のダミー圧力室１３ｅ１と端部の圧力室１２ｅ１との間隔Ｔ３も、間隔Ｔ１および間隔Ｔ２と同じである。

【0064】

さらに、端部の圧力室１２ｅ１の能動領域５０ｒ１は、積層方向Ａｍ１０と配列方向Ａｍ２０と直交する方向を流路方向Ａｍ３０とし、配列方向Ａｍ２０に沿ってみたときに、流路方向Ａｍ３０の範囲がダミー圧力室１３に包含されるように構成されている。流路方向Ａｍ３０は、図７におけるＸ軸方向である。すなわち、図７に示すように、Ｘ軸方向において、端部のダミー圧力室１３ｅ１の範囲の長さＬ１とし、能動領域５０ｒ１の範囲を長さＬ２としたとき、長さＬ１は、長さＬ２以上であり、かつ、長さＬ２の位置を含む範囲である。

【0065】

このうえ、端部の圧力室１２ｅ１の範囲である長さＬ３としたとき、長さＬ３は、長さＬ２と、端部の圧力室１２ｅ１の非能動領域５０ｒ２の範囲である長さＬ４と、の合計である。

【0066】

すなわち、端部の圧力室１２ｅ１と端部のダミー圧力室１３ｅ１の隣接とは、前述のように、間隔Ｔ１～間隔Ｔ３が等しい状態、かつ、長さＬ１の範囲の内側に、長さＬ２の範囲が位置する状態である。また、圧力室基板１０において、端部の圧力室１２ｅ１と端部のダミー圧力室１３ｅ１との間に、他の空間が設けられていない状態を、端部の圧力室１２ｅ１と端部のダミー圧力室１３ｅ１が隣接するといえる。

【0067】

図７に示すように、圧力室基板１０は、ディンプル１０ｄを備えている。ディンプル１０ｄは、積層方向Ａｍ１０における振動板５０に向かう方向である－Ｚ方向に深さｈｄを有する凹部である。ディンプル１０ｄは、連通板１５と圧力室基板１０の接着のために接着剤を塗布する場合、圧力室基板１０上の凹部となることで、接着剤の塗布を容易にする。よって、ディンプル１０ｄの形状や位置は、接着条件に基づいて決定される。ディンプル１０ｄの深さｈｄについては、後に説明する。ダミー圧力室１３は、配列方向Ａｍ２０において、ディンプル１０ｄと圧力室１２との間に配される。ディンプル１０ｄにおいて、Ｘ軸方向の範囲Ｌ５や、Ｙ軸方向のダミー圧力室１３との間隔Ｔ４などは、間隔Ｔ１～間隔Ｔ３や範囲Ｌ１～範囲Ｌ４とは異なる。

【0068】

流路Ｃ１は、ディンプル１０ｄとダミー圧力室１３の内部圧力を調整するための空気の流路である。ディンプル１０ｄとダミー圧力室１３の内部圧力は、圧電素子３００の駆動やインクの流動などにより圧力室基板１０の振動することで、変動する。流路Ｃ１は、圧力室基板１０の外部に繋がっている。流路Ｃ１は、ディンプル１０ｄとダミー圧力室１３に接続されることで、空気の逃げ道をつくる。よって、流路Ｃ１は、内部圧力の変動を防止する。

【0069】

図８は、圧力室１２ｅ１について、図７のＶＩＩ－ＶＩＩ位置の断面を示す説明図である。図８では、Ｚ軸方向の圧力室１２ｅ１の深さｈが示されている。図８では、技術理解を容易にするため、圧力室１２ｅ１に繋がる供給連通路１９とノズル連通路１６とが示されている。

【0070】

なお、以下の説明において深さｈとは、特定の範囲における最大値もしくは平均値である。特定の範囲とは、圧力室１２もしくはダミー圧力室１３における能動領域５０ｒもしくは非能動領域５０ｒ２の範囲である。例えば、後に説明する第２深さｈ２は、圧力室１２の能動領域５０ｒ１の範囲内における深さｈの最大値もしくは平均値である。深さｈの平均値は、特定の範囲の流路方向Ａｍ３０において、両端部の深さｈと両端部からの距離が等しい中央部の深さｈとの平均より求められる。

【0071】

図８において、第１位置Ｐ１の深さｈとしての第２深さｈ２は、能動領域５０ｒ１における深さｈの最大値もしくは平均値である。第２位置Ｐ２の深さｈを第３深さｈ３としたとき、第３深さｈ３は、第２深さｈ２よりも浅い。すなわち、圧力室１２ｅ１の凹部の深さｈは、供給連通路１９側よりもノズル連通路１６側において、浅くなっている。

【0072】

図９は、ダミー圧力室１３ｅ１について、図７のＩＸ－ＩＸ断面を示す説明図である。ダミー圧力室１３ｅ１の第１位置Ｐ１の深さｈとしての第１深さｈ１と、第２位置Ｐ２の深さｈとしての第４深さｈ４と、は略等しい深さである。また、「略等しい深さ」とは、数十μｍの誤差を許容する概念である。つまり、ダミー圧力室１３ｅ１の深さｈは、Ｘ軸方向において、一定の深さｈである。ダミー圧力室１３ｅ１の底面１３ｃは、後に説明するように、波打った面である。このため、この一定の深さｈとは、ダミー圧力室１３ｅ１の深さｈの設計値が一定という意味である。ここで、図８および９における、第１位置Ｐ１および第２位置Ｐ２のＸ軸方向における位置は共通である。

【0073】

Ａ４．圧力室とダミー圧力室の深さの関係：
図１０は、第１位置Ｐ１における、図７のＸ－Ｘ断面を示す説明図である。圧力室１２とダミー圧力室１３の深さｈの関係について説明する。図１０では、Ｘ軸方向の能動領域５０ｒ１における圧力室１２ｅ１とダミー圧力室１３ｅ１の深さｈを示している。積層体３１０において、前述のように、複数の圧力室１２のそれぞれの圧力室１２と、１以上のダミー圧力室１３のそれぞれのダミー圧力室１３と、は、積層方向Ａｍ１０における振動板５０に向かう方向に深さｈを有する凹部である。なお、図１０では、技術の理解を容易にするため、圧電素子３００の図示の簡略化およびノズルプレート２０の図示の省略がされている。さらに、圧力室１２やダミー圧力室１３は、図７に基づいて図示されているが、ディンプル１０ｄの図示は、技術の理解を容易にするため、簡略化されている。

【0074】

圧力室１２とダミー圧力室１３の凹部は、圧力室基板１０に対して、連通板１５から振動板５０に向かう方向に行われる異方性エッチングにより、形成されている。図５に示すように、振動板５０を構成する酸化シリコンからなる弾性膜５５は、この異方性エッチングに対してストップ層として機能する。すなわち、圧力室１２の凹部は、圧力室基板１０において、連通板１５から振動板５０まで貫通するように形成されている。ただし、非能動領域５０ｒ２では、図５に示すように、圧力室１２ｅの凹部は、貫通していない。圧力室１２ｅの凹部は、能動領域５０ｒ１において貫通している。

【0075】

ダミー圧力室１３の凹部は、図１０に示すように、圧力室１２と異なり、圧力室基板１０を貫通していない。ダミー圧力室１３の形成において、異方性エッチングは、連通板１５から振動板５０に向かって、圧力室基板１０を中間まで行われる。すなわち、ダミー圧力室１３の凹部の底面１３ｃは、ストップ層により深さｈを規定されないため、異方性エッチングの処理の精度に依存する。よって、ダミー圧力室１３の凹部の底面１３ｃは、波打った面である。例えば、ダミー圧力室１３の凹部の底面１３ｃは、深さｈの設計値に対して±１０μｍ程度の凹凸を有する。技術の理解を容易にするため、図面中のダミー圧力室１３の底面１３ｃは、平面として図示されている。

【0076】

よって、複数の圧力室１２は、圧力室基板１０と振動板５０とによって画定されている。１以上のダミー圧力室１３は、圧力室基板１０によって画定されている。さらに、１以上のダミー圧力室１３は、振動板５０によっては画定されていない。

【0077】

図１０に示すように、ダミー圧力室１３の深さｈとしての第１深さｈ１は、圧力室１２の深さｈとしての第２深さｈ２よりも浅く形成されている。より具体的には、第１深さｈ１は、第２深さｈ２の半分である。

【0078】

ディンプル１０ｄの深さｈｄは、第１深さｈ１～第４深さｈ４よりも浅い深さｈである。すなわち、ディンプル１０ｄの深さｈｄは、圧力室１２やダミー圧力室１３の深さｈよりも浅い凹部である。

【0079】

図１１は、第２位置Ｐ２における、図７のＸＩ－ＸＩ断面を示す説明図である。前述のように、圧力室１２は、第２位置Ｐ２における第３深さｈ３が、第１位置Ｐ１における第２深さｈ２よりも浅い。すなわち、ダミー圧力室１３の深さｈとしての第１深さｈ１と、圧力室１２の第２位置Ｐ２の第３深さｈ３と、が、圧力室１２の第１位置Ｐ１の第２深さｈ２よりも浅い。より具体的には、第２位置Ｐ２における、ダミー圧力室１３の第４深さｈ４と、圧力室１２の第３深さｈ３と、は略等しい深さｈである。前述のように、圧力室基板１０の中間までの凹部の底面１３ｃは、異方性エッチングの際に波打った面となる。よって、第１深さｈ１と第３深さｈ３の深さｈは、設計上において等しく形成されるが、設計値に対して±１０μｍの誤差を含む。

【0080】

図１０および図１１に示すように、ダミー圧力室１３の深さｈとしての第１深さｈ１は、連通板１５から振動板５０の間における圧力室基板１０の厚さＴ５により規定されている。圧力室１２ｅ１の第１位置Ｐ１の深さｈとしての第２深さｈ２は、圧力室基板１０の厚さＴ６により規定されている。圧力室１２ｅ１の第２位置Ｐ２の深さｈとしての第３深さｈ３は、連通板１５から振動板５０までの圧力室基板１０の段差部１０ｓの厚さＴ７により規定されている。

【0081】

以上をまとめると、能動領域５０ｒ１の第１位置Ｐ１においては、ダミー圧力室１３の第１深さｈ１は、圧力室１２の第２深さｈ２よりも浅い。また、非能動領域５０ｒ２の第２位置Ｐ２においては、ダミー圧力室１３の第４深さｈ４は、圧力室１２の第３深さｈ３と略等しい。また、ダミー圧力室１３の第１深さｈ１と第４深さｈ４とは、略等しい。したがって、図１１に示す非能動領域５０ｒ２の第２位置Ｐ２における、第４深さｈ４と第３深さｈ３との差は、図１０に示す能動領域５０ｒ１の第１位置Ｐ１における、第１深さｈ１と第２深さｈ２との差と比較して小さい。

【0082】

Ａ５．ダミー圧力室の機能：
図１２は、圧電素子３００の駆動時の比較例としてのダミー圧力室１４ｅ１の断面を示す説明図である。図１２では、図１０と同様に第１位置Ｐ１における圧力室１２ｅ１と圧力室１２ｅ２と、ダミー圧力室１３ｅ１をダミー圧力室１４ｅ１に置き換えた構成が示されている。ダミー圧力室１４ｅ１は、本開示のダミー圧力室１３ではなく、本開示のダミー圧力室１３の機能を説明するための比較例である。ダミー圧力室１４ｅ１は、圧力室１２ｅ１と同じ貫通孔である。すなわち、ダミー圧力室１４ｅ１の第５深さｈ５は、圧力室１２ｅ１の第２深さｈ２と同じである。ダミー圧力室１４ｅ１に設けられたダミー圧電素子３００ａは、ダミー圧力室１３ｅ１のダミー圧電素子３００ａと同じ構成である。すなわち、ダミー圧力室１４ｅ１は、ダミー圧力室１３ｅ１と同様にインクの噴射に寄与しない。

【0083】

圧電素子３００は、圧電素子３００の駆動時、＋Ｚ方向に圧力を加える。このとき、圧力室１２ｅ１に面した振動板５０は、圧力室１２の内部に向かってたわむことで、圧電素子３００に向かう張力Ｆ１を受ける。圧電素子３００は、インクの噴射を必要としない場合も、待機電圧を印加されているため、振動板５０に圧力を加えている。例えば、圧電素子３００は、圧力室１２ｅ２に待機電圧を印加している場合、圧力室１２ｅ１に面した振動板５０に張力Ｆ２を加えている。よって、圧力室１２同士の間の隔壁１１は、一方の圧力室１２に引っ張られることがない。

【0084】

しかし、ダミー圧力室１４ｅ１に面した振動板５０は、ダミー圧電素子３００ａを駆動させないため、ダミー圧電素子３００ａに向かう張力を受けない。よって、ダミー圧力室１４ｅ１と圧力室１２ｅ１の間の隔壁１１において、振動板５０近傍の隔壁１１の一部１１ｃは、圧力室１２ｅ１側に一方的に引っ張られることで、変形する場合がある。隔壁１１の変形は、圧力室１２ｅ１の容積を変えることで、圧力変動に影響する。すなわち、ダミー圧力室１４ｅ１に隣接した圧力室１２ｅ１と、ダミー圧力室１４ｅ１に隣接していない圧力室１２ｅ２と、で圧力損失にばらつきが生じる。圧力損失のばらつきにより、複数の圧力室１２のそれぞれの液体の噴射特性も、圧力室１２の配列の位置により差が生じる。より詳細には、図１２に示すように、ダミー圧力室１４ｅ１と圧力室１２ｅ１との間の隔壁１１の一部１１ｃに意図しない変形が生じることによって、ダミー圧力室１４ｅ１に隣接した圧力室１２ｅ１上の振動板５０と、ダミー圧力室１４ｅ１に隣接していない圧力室１２ｅ２上の振動板５０と、の間に張力の差が生じる。このため、圧力室１２ｅ１に対応する圧電素子３００と、圧力室１２ｅ２する圧電素子３００と、が同等に駆動したとしても、振動板５０の張力の差に起因して噴射特性に差が生じてしまう。

【0085】

ダミー圧力室１４ｅ１は、ダミー圧電素子３００ａを設けられているため、例えば、ダミー圧電素子３００ａに待機電圧を印加させた場合、圧力室１２ｅ２と同様に張力Ｆ２を生ずる。しかし、ダミー圧力室１４ｅ１は、液体噴射装置５００によるインクの噴射の間に、インクの噴射に寄与しない待機電圧によるエネルギーを消費する。

【0086】

図１３は、圧電素子３００の駆動時の本開示の実施形態のダミー圧力室１３ｅ１の断面を示す説明図である。図１３では、図１２の比較例のダミー圧力室１４ｅ１を本開示の実施形態のダミー圧力室１３ｅ１に置き換えた構成が示されている。ダミー圧力室１３ｅ１の第１深さｈ１は、ダミー圧力室１４ｅ１の第５深さｈ５よりも浅い。このため、振動板５０の近傍において、ダミー圧力室１３ｅ１の隔壁１１の一部１１ｃは、ダミー圧力室１４ｅ１の隔壁１１の一部１１ｃよりも、Ｙ軸方向に厚い。よって、張力Ｆ１を受けた場合、本開示のダミー圧力室１３ｅ１の隔壁１１の変形は、比較例のダミー圧力室１４ｅ１の隔壁１１の変形に比べて、抑制される。

【0087】

このような態様とすることで、ダミー圧力室１３は、圧力室１２よりも浅い凹部として画定される。すなわち、ダミー圧力室１３は、圧力室１２に比べて小さい空間を画定している。このため、圧力室基板１０におけるダミー圧力室１３を画定している部位は、圧力室１２を画定している部位に比べて高い剛性を有する。よって、本開示のダミー圧力室１３は、ダミー圧力室１４ｅ１のように、圧力室１２と同じ深さｈの態様と比べて、変形を抑制する。

【0088】

ダミー圧力室１３は、圧力室基板１０を貫通していない状態である。圧力室１２は、圧力室基板１０を貫通した状態である。よって、圧力室基板１０におけるダミー圧力室１３を画定している部位は、圧力室１２を画定している部位に比べて高い剛性を有する。したがって、ダミー圧力室１３ｅ１と圧力室１２ｅ１との間の隔壁１１の一部１１ｃに意図しない変形が生じることが抑制され、ダミー圧力室１４ｅ１に隣接した圧力室１２ｅ１上の振動板５０と、ダミー圧力室１４ｅ１に隣接していない圧力室１２ｅ２上の振動板５０と、の間に張力の差が低減される。このため、圧力室１２ｅ１に対応する圧電素子３００と、圧力室１２ｅ２する圧電素子３００と、を同等に駆動した場合の噴射特性の差が生じることが抑制される。

【0089】

ダミー圧力室１３の第１深さｈ１は、圧力室１２の第２深さｈ２よりも浅い。このため、ダミー圧力室１３の剛性は、深さｈが半分未満の場合に比べて、圧力室１２の剛性と差が大きく、かつ、圧力室１２の剛性よりも高くなる。よって、ダミー圧力室１３は、隣接する圧力室１２による変形を防止する。

【0090】

このうえ、ダミー圧力室１３は、ダミー圧電素子３００ａを備えている。すなわち、ダミー圧力室１３と圧力室１２は、圧力室基板１０上に同様の積層構造により構成されている。よって、圧力室基板１０は、ダミー圧電素子３００ａを設けない場合に比べて、圧力室基板１０上の剛性の差や膜応力の変化などを抑制される。

【0091】

さらに、ダミー圧力室１３は、能動領域５０ｒ１に隣接して配置される。よって、ダミー圧力室１３は、圧力室１２において圧力変動を生じる領域に対して、その変形を抑制できる。

【0092】

複数の圧力室１２と１以上のダミー圧力室１３は、等間隔に配列されている。より具体的には、圧力室１２同士と、ダミー圧力室１３同士と、圧力室１２とダミー圧力室１３と、の間隔が、等しい。よって、ダミー圧力室１３と圧力室１２の条件を近づけることで、圧力室基板１０において、圧力室１２の剛性とダミー圧力室１３の剛性との差が低減する。

【0093】

したがって、本開示のダミー圧力室１３は、駆動していない状態において、変形による圧力室１２の容積の変化を防止することで、各圧力室の圧力損失にばらつきを抑制できる。すなわち、液体噴射ヘッド５１０について、液体の噴射特性が改善する。

【0094】

さらに、非能動領域５０ｒ２の第２位置Ｐ２における、ダミー圧力室１３の第４深さｈ４と圧力室１２の第３深さｈ３との差は、能動領域５０ｒ１の第１位置Ｐ１における、ダミー圧力室１３の第１深さｈ１と圧力室１２の第２深さｈ２との差と比較して小さい。このような態様とすることで、このような態様とすることで、第２位置Ｐ２における圧力室１２の第３深さｈ３と、ダミー圧力室１３の第４深さｈ４との差が比較的小さくなる。ここで、非能動領域５０ｒ２である第２位置Ｐ２においては、圧力室基板１０の段差部１０ｓが設けられることによって振動板５０が変形しないため、能動領域５０ｒ１である第１位置Ｐ１のように振動板５０の張力は問題とならない。その一方で、第２位置Ｐ２においては、圧力室１２同士、または、ダミー圧力室１３と圧力室１３と、を区画する圧力室基板の意図しない変形が隣接する圧力室１２に影響を与える問題、いわゆるクロストークが問題となる。こうした変形は、圧電素子３００を駆動することによる圧力室１２内の内圧によって生じる。したがって、圧力室１２の第３深さｈ３と、ダミー圧力室１３の第４深さｈ４との差を小さくする、より好ましくは、第３深さｈ３と、第４深さｈ４と、を略等しくすることで、端部の圧力室１２ｅ１と、端部以外の圧力室１２である圧力室１２ｅ２などと、が受ける前述のクロストークの影響の差を小さくすることができる。よって、端部の圧力室１２と、端部以外の圧力室１２と、が噴射するインクの量に生じるばらつきを抑制できる。

【0095】

第２位置Ｐ２における圧力室１２の変形は、圧力室１２の両端におけるノズル２１に近い一方の端部において、防止される。よって、ノズル２１から遠い側の端部の変形が防止される場合に比べて、ノズル２１に近い位置において圧力損失のばらつきが低減されるため、液体の噴射特性がより改善する。

【0096】

このうえ、第２位置Ｐ２は、圧電素子３００の駆動しない振動板５０の領域、または、圧力室基板１０の一部が重なる領域であり、圧力室１２において、圧力の付与を受けない領域である。よって、圧力の付与を受けない領域において、圧力室１２の剛性は、隣接するダミー圧力室１３の剛性に近づく。

【0097】

したがって、本開示の圧力室１２は、第２位置Ｐ２における変形を防止することで、各圧力室１２の圧力損失にばらつきが生じることを防止する。

【0098】

さらに、このような態様とすることで、酸化シリコン膜の振動板５０は、シリコン結晶の圧力室基板１０を異方性エッチングすることで圧力室１２が形成される場合、エッチングストップ層として機能することができる。すなわち、酸化シリコン膜の振動板５０は、異方性エッチングにより、振動板５０までの凹部を形成することを容易する。

【0099】

図１４は、連通板１５と圧力室基板１０の接着の状態を示す説明図である。図１４では、図１０からダミー圧力室１３を除いた状態が示されている。さらに、図１４では、連通板１５と圧力室基板１０を接着する接着剤の一部ＧＬを図示している。接着剤は、連通板１５と圧力室基板１０の間に塗布される。接着剤は、接着のときに、連通板１５と圧力室基板１０の間から溢れ出る。溢れた接着剤の一部ＧＬは、凹部である圧力室１２に流入する。端部の圧力室１２ｅ１は、接着面の広い隔壁１１に接しているため、他の圧力室１２に比べて多くの接着剤の一部ＧＬが流入する。さらに、接着剤の一部ＧＬは、－Ｚ方向に向かって振動板５０まで流れる場合もある。接着剤の一部ＧＬは、圧力室１２の容積を変化させることや、振動板５０の振動の抑制する場合がある。端部の圧力室１２ｅ１は、接着剤の一部ＧＬの流入が多いため、他の圧力室１２に比べて接着剤の一部ＧＬによる影響を受けやすい。したがって、接着剤の一部ＧＬは、複数の圧力室１２の圧力損失にばらつきを生じさせる。

【0100】

ダミー圧力室１３が存在する場合、接着剤の一部ＧＬは、ダミー圧力室１３にも流入する。よって、端部の圧力室１２ｅ１に隣接してダミー圧力室１３が設けられることで、接着剤の一部ＧＬによる複数の圧力室１２の圧力損失のばらつきが、低減する。

【0101】

さらに、複数の圧力室１２と１以上のダミー圧力室１３は、等間隔に配列されている。すなわち、複数の圧力室１２のそれぞれの圧力室１２は、隣り合う凹部を有する。このため、ダミー圧力室１３は、複数の圧力室１２における中央や端部の位置により、接着剤の一部ＧＬの流れ込む量に偏りが生じることを防止する。よって、複数の圧力室１２の圧力損失のばらつきが、低減される。

【0102】

このような態様とすることで、圧力室基板１０に、ダミー圧力室１３とは異なる凹部としてのディンプル１０ｄが設けられる。例えば、積層構造を構成するために圧力室基板１０に接着剤を塗布する場合、ディンプル１０ｄは、圧力室基板上の凹部となることで、接着剤の塗布を容易にする。

【0103】

Ｂ．変形例：
上記実施形態において、液体噴射ヘッド５１０は、第１圧力室列Ｌａと第２圧力室列Ｌｂとそれぞれの流路ごとにノズル２１を備える。第１圧力室列Ｌａと第２圧力室列Ｌｂとの各圧力室列に分かれて、インクの噴射が行われる。すなわち、第１圧力室列Ｌａから供給されたインクは、第２圧力室列Ｌｂの圧力室１２に到達しない構造である。しかし、液体噴射ヘッド５１０は、第１圧力室列Ｌａと第２圧力室列Ｌｂとそれぞれの流路が連通した構造であってもよい。この構造を、ＤＣＲ構造ともよぶ。すなわち、第１圧力室列Ｌａから供給されたインクは、第２圧力室列Ｌｂの圧力室１２に到達する。ノズル２１は、第１圧力室列Ｌａの圧力室１２と、第２圧力室列Ｌｂの圧力室１２とをつなぐ流路の間に設けられている。ＤＣＲ構造であっても、上記実施形態と同様に、圧力の付与がされる圧力室１２に対して、隣接してダミー圧力室１３が設けられることで、各圧力室１２の圧力損失にばらつきが生じることを防止する。

【0104】

Ｃ．変形例：
（１）上記実施形態において、端部の圧力室１２ｅ１の能動領域５０ｒ１は、配列方向Ａｍ２０に沿ってみたときに、流路方向Ａｍ３０の範囲がダミー圧力室１３に包含されるように構成されている。すなわち、長さＬ１は、長さＬ２以上であり、かつ、長さＬ２の範囲を含む長さである。しかし、長さＬ１は、長さＬ２未満でもよい。例えば、長さＬ１は、能動領域５０ｒ１の長さＬ２の半分でもよい。圧電素子３００の駆動時に、能動領域５０ｒ１における振動板５０の変位量が大きい中央付近に隣り合うように、ダミー圧力室１３を設けてもよい。

【0105】

（２）上記実施形態において、複数の圧力室１２と１以上のダミー圧力室１３は、配列方向Ａｍ２０に、等間隔に配列されている。しかし、例えば、ダミー圧力室１３ｅ１の隔壁１１の一部１１ｃが変形する場合は、変位量に基づいて、実験的に圧力室１２ｅ１とダミー圧力室１３ｅ１の間隔Ｔ３を調整してもよい。

【0106】

（３）上記実施形態において、複数の圧力室１２は、圧力室基板１０と振動板５０とによって画定され、１以上のダミー圧力室１３は、圧力室基板１０によって画定され、かつ振動板５０によっては画定されていない。しかし、１以上のダミー圧力室１３は、振動板５０により画定されていてもよい。より具体的には、振動板５０のダミー圧力室１３に面する面に突出した凸部を設けることで、振動板５０により、ダミー圧力室１３の深さｈが規定されていてもよい。

【0107】

（４）上記実施形態において、圧力室基板１０は、ガラス基板、ＳＯＩ基板、各種セラミック基板等を用いて形成されていてもよい。

【0108】

（５）上記実施形態において、振動板５０は、例えば、弾性膜５５と絶縁体膜５６とのいずれか一方で構成されていてもよい。さらには、弾性膜５５および絶縁体膜５６以外のその他の膜が含まれていてもよい。その他の膜の材料としては、シリコン、窒化ケイ素等が挙げられる。

【0109】

（６）上記実施形態において、ダミー圧電素子３００ａは、中継基板１２０と電気的に接続されている。しかし、ダミー圧電素子３００ａは、中継基板１２０と電気的に接続されてなくてもよい。すなわち、第１電極６０と個別リード電極９１と、第２電極８０と共通リード電極９２と、は電気的に接続されていなくてもよい。ダミー圧電素子３００ａは、中継基板１２０と電気的に接続されずに駆動していなくてもよいし、中継基板１２０と電気的に接続された状態において、駆動されてもよいし、駆動されていなくてもよい。

【0110】

（７）上記実施形態において、第１深さｈ１は、第２深さｈ２の半分である。しかし、例えば、第１深さｈ１は、ディンプル１０ｄの深さｈｄより大きく、第２深さｈ２より小さい深さｈであればよい。

【0111】

（８）上記実施形態において、圧力室１２には、非能動領域５０ｒ２の領域が有する。しかし、圧力室１２は、非能動領域５０ｒ２の領域が有さず、能動領域５０ｒ１のみの領域により構成されていてもよい。すなわち、圧力室１２の深さｈは、第２深さｈ２のみで形成されていてもよい。

【0112】

（９）上記実施形態において、圧力室基板１０は、ディンプル１０ｄを備えている。しかし、圧力室基板１０は、必ずしもディンプル１０ｄを備えていなくてもよい。

【0113】

（１０）上記実施形態において、１以上のダミー圧力室１３は、マニホールド１００およびノズル２１に連通していない。しかし、１以上のダミー圧力室１３は、マニホールド１００およびノズル２１に連通していてもよい。１以上のダミー圧力室１３は、ノズル２１に連通していなければよい。

【0114】

Ｄ．他の形態：
本開示は、上述した実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実現することができる。例えば、本開示は、以下の形態によっても実現可能である。以下に記載した各形態中の技術的特徴に対応する上記実施形態中の技術的特徴は、本開示の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、本開示の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

【0115】

（１）本開示の一形態によれば、液体噴射ヘッドが提供される。この液体噴射ヘッドは、複数の圧電素子と、前記複数の圧電素子のそれぞれの圧電素子の駆動により振動する振動板と、ノズルに連通し前記振動板の振動により液体に圧力を付与し液体の噴射に寄与する複数の圧力室と、液体の噴射に寄与しない１以上のダミー圧力室とを構成する圧力室基板と、が積層されている積層体を有する。前記積層体において、前記複数の圧力室のそれぞれの圧力室と、前記１以上のダミー圧力室のそれぞれのダミー圧力室と、は、前記圧力室基板の前記振動板と向かい合う面とは逆の面に開口しており、前記積層方向における前記振動板に向かう方向に深さを有する凹部である。前記複数の圧力室と前記１以上のダミー圧力室は、前記積層方向に対して垂直な方向である配列方向に配列されている。前記ダミー圧力室の前記深さとしての第１深さは、前記圧力室の前記深さとしての第２深さよりも浅い。このような態様とすることで、ダミー圧力室は、圧力室よりも浅い凹部として画定される。すなわち、ダミー圧力室は、圧力室に比べて小さい空間を画定している。このため、圧力室基板におけるダミー圧力室を画定している部位は、圧力室を画定している部位に比べて高い剛性を有する。よって、ダミー圧力室は、ダミー圧力室のように、圧力室と同じ深さの態様と比べて、変形を抑制する。したがって、例えば、ダミー圧力室は、圧力室に隣接して配された場合、駆動していない状態において、変形による圧力室の容積の変化を防止することで、各圧力室の圧力損失にばらつきを抑制できる。すなわち、液体噴射ヘッドについて、液体の噴射特性が改善する。

【0116】

（２）上記形態では、前記圧電素子は、さらに、第１電極と圧電体層と第２電極とを備え、かつ、前記積層方向に沿ってみたときに、前記圧力室と、前記振動板と、前記第１電極と、前記圧電体層と、前記第２電極と、が重なる領域である能動領域を備え、前記能動領域は、前記積層方向と前記配列方向と直交する方向を流路方向とし、前記配列方向に沿ってみたときに、前記流路方向の範囲が前記ダミー圧力室に包含されるように構成されており、前記ダミー圧力室の前記流路方向の範囲の長さは、前記能動領域の前記流路方向の範囲の長さ以上でもよい。このような態様とすることで、ダミー圧力室は、能動領域に隣接して配置される。よって、ダミー圧力室は、圧力室において圧力変動を生じる領域に対して、その変形を抑制できる。

【0117】

（３）上記形態では、前記複数の圧力室と前記１以上のダミー圧力室は、前記配列方向に、等間隔に配列されていてもよい。このような態様とすることで、複数の圧力室と１以上のダミー圧力室は、等間隔に配列されている。より具体的には、圧力室同士と、ダミー圧力室同士と、圧力室とダミー圧力室と、の間隔が、等しい。よって、ダミー圧力室と圧力室の条件を近づけることで、圧力室基板において、圧力室の剛性とダミー圧力室の剛性との差が低減する。

【0118】

（４）上記形態では、前記複数の圧力室は、前記圧力室基板と前記振動板とによって画定され、前記１以上のダミー圧力室は、前記圧力室基板によって画定され、かつ、前記振動板によっては画定されていなくてもよい。このような態様とすることで、ダミー圧力室は、圧力室基板を貫通していない状態である。圧力室は、圧力室基板を貫通した状態である。よって、圧力室基板におけるダミー圧力室を画定している部位は、圧力室を画定している部位に比べて高い剛性を有する。

【0119】

（５）上記形態では、前記圧力室基板は、シリコン結晶であり、前記振動板は、酸化シリコン膜でもよい。このような態様とすることで、酸化シリコン膜の振動板は、シリコン結晶の圧力室基板を異方性エッチングすることで圧力室１２を形成する場合、エッチングストップ層として機能することができる。すなわち、酸化シリコン膜の振動板は、異方性エッチングにより、振動板までの凹部を形成することを容易する。

【0120】

（６）上記形態では、前記液体噴射ヘッドは、前記圧電素子と同じ構成を備えるが駆動されない１以上のダミー圧電素子を備え、前記１以上のダミー圧電素子のそれぞれのダミー圧電素子は、前記積層方向に沿ってみたときに、前記ダミー圧力室に重なる関係でもよい。このような態様とすることで、ダミー圧力室は、ダミー圧電素子を備えている。すなわち、ダミー圧力室と圧力室は、圧力室基板上に同様の積層構造により構成されている。よって、圧力室基板は、ダミー圧電素子を設けない場合に比べて、圧力室基板上の剛性の差や膜応力の変化などを抑制される。

【0121】

（７）上記形態では、前記第１深さは、前記第２深さの半分以上でもよい。このような態様とすることで、ダミー圧力室の第１深さは、圧力室の第２深さよりも浅い。このため、ダミー圧力室の剛性は、深さが半分未満の場合に比べて、圧力室の剛性と差が小さく、かつ、圧力室の剛性よりも高くなる。よって、ダミー圧力室は、隣接する圧力室による変形を防止する。

【0122】

（８）上記形態では、前記圧電素子は、さらに、第１電極と圧電体層と第２電極とを備え、前記液体噴射ヘッドは、前記積層方向に沿ってみたときに、前記圧力室と、前記振動板と、前記第１電極と、前記圧電体層と、前記第２電極と、が重なる能動領域を有し、前記積層方向と前記配列方向とに交わる方向である流路方向において、前記能動領域の位置を第１位置とし、前記能動領域以外の位置であって、前記流路方向において前記第１位置よりも前記圧力室の端部に近い位置を第２位置とし、前記第２位置における前記圧力室の前記深さを第３深さとし、前記第２位置における前記ダミー圧力室の前記深さを第４深さとしたとき、前記第１深さと、前記第２深さと、は前記第１位置における前記深さであって、前記第４深さと前記第３深さとの差は、前記第１深さと前記第２深さとの差よりも小さくてもよい。このような態様とすることで、第２位置における圧力室の第３深さと、ダミー圧力室の第４深さとの差が比較的小さくなる。ここで、非能動領域である第２位置においては、圧力室基板の段差部が設けられることによって振動板が変形しないため、振動板の張力は問題とならない一方で、圧力室同士、または、ダミー圧力室と圧力室と、を区画する圧力室基板の意図しない変形によるクロストークが問題となる。したがって、圧力室の第３深さと、ダミー圧力室の第４深さとの差を小さくする、より好ましくは、第３深さと、第４深さと、を略等しくすることで、端部の圧力室と、端部以外の圧力室と、が受ける前述のクロストークの影響の差を小さくすることができる。よって、端部の圧力室と、端部以外の圧力室と、が噴射するインクの量に生じるばらつきを抑制できる。

【0123】

（９）上記形態では、前記第２位置は、前記流路方向において、前記第１位置よりも前記ノズルに近くてもよい。このような態様とすることで、圧力室の変形は、圧力室の両端におけるノズルに近い一方の端部において、防止される。よって、ノズルから遠い側の端部の変形が防止される場合に比べて、ノズルに近い位置において圧力損失のばらつきを低減できるため、液体の噴射特性がより改善する。

【0124】

（１０）上記形態では、前記第２位置は、前記積層方向に沿ってみたときに、前記圧力室と、前記振動板と、が重なる位置であって、前記第１電極と、前記圧電体層と、前記第２電極と、のうちの少なくとも１つが重ならない、または、前記第１電極と、前記圧電体層と、前記第２電極と、前記圧力室基板の一部と、が重なる位置でもよい。このような態様とすることで、第２位置は、圧電素子の駆動しない振動板の領域、または、圧力室基板の一部が重なる領域であり、圧力室において、圧力の付与を受けない領域である。よって、圧力の付与を受けない領域において、圧力室の剛性は、隣接するダミー圧力室の剛性に近づく。

【0125】

（１１）上記形態では、前記圧力室基板には、前記圧力室基板の前記振動板と向かい合う面とは逆の面に開口しており、前記積層方向における前記振動板に向かう方向に深さを有する凹部としてのディンプルを備え、前記ダミー圧力室は、前記配列方向において、前記ディンプルと前記圧力室との間に配され、前記ディンプルの深さは、前記第１深さよりも浅くてもよい。このような態様とすることで、圧力室基板に、ダミー圧力室とは異なる凹部としてのディンプルが設けられる。例えば、積層構造を構成するために圧力室基板に接着剤を塗布する場合、ディンプルは、圧力室基板上の凹部となることで、接着剤の塗布を容易にする。

【符号の説明】

【0126】

１０…圧力室基板、１０ａ…一部、１０ｄ…ディンプル、１１…隔壁、１１ｃ…一部、１２…圧力室、１２ａ，１２ｂ…端部、１２ｃ１…流入口、１２ｃ２…供給路、１２ｅ…圧力室、１２ｒ…圧力部、１３…ダミー圧力室、１２ｄ，１３ｃ…部位、１５…連通板、１６…ノズル連通路、１７…第１マニホールド部、１８…第２マニホールド部、１９…供給連通路、２０…ノズルプレート、２１…ノズル、３０…保護基板、３１…保持部、３２…貫通孔、４０…ケース部材、４１…収容部、４２…第３マニホールド部、４３…接続口、４４…供給口、４５…コンプライアンス基板、４６…封止膜、４７…固定基板、４８…開口部、４９…コンプライアンス部、５０…振動板、５０ｒ１…能動領域、５０ｒ２…非能動領域、５５…弾性膜、５６…絶縁体膜、６０…第１電極、６０ａ，６０ｂ…端部、７０…圧電体層、７０ａ，７０ｂ…端部、７１…溝部、８０…第２電極、８０ａ，８０ｂ…端部、８５…配線部、９１…個別リード電極、９２…共通リード電極、９２ａ…延設部、９２ｂ…延設部、１００…マニホールド、１２０…中継基板、１２ｅ１…圧力室、１２１…集積回路、１３ｅ１…ダミー圧力室、１４ｅ１…ダミー圧力室、３００…圧電素子、３００ａ…ダミー圧電素子、３１０…積層体、５００…液体噴射装置、５１０…液体噴射ヘッド、５４０…制御ユニット、５５０…インクタンク、５５２…チューブ、５６０…搬送機構、５６２…搬送ローラー、５６４…搬送ロッド、５６６…搬送用モーター、５７０…移動機構、５７２…キャリッジ、５７４…搬送ベルト、５７６…移動用モーター、５７７…プーリー、５８０…制御基板、１２ｅ２…圧力室、１３ｅ２…ダミー圧力室、１２ｅ３…圧力室、Ａｍ１０…方向、Ａｍ２０…配列方向、Ａｍ３０…流路方向、Ｃ１…流路、Ｆ１，Ｆ２…張力、ＧＬ…接着剤、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５…長さ、Ｌａ…第１圧力室列、Ｌｂ…第２圧力室列、Ｐ…印刷用紙、Ｐ１…第１位置、Ｐ２…第２位置、Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４…間隔、Ｔ５，Ｔ６，Ｔ７…厚さ、ｈ，ｈ１，ｈ２，ｈ３，ｈｄ，ｈ５…深さ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】