知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024145399
(43)【公開日】2024-10-15
(54)【発明の名称】グリーンシートおよび造粒粉
(51)【国際特許分類】
C04B 35/634 20060101AFI20241004BHJP
【ＦＩ】
C04B35/634 240
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023057724
(22)【出願日】2023-03-31
(71)【出願人】
【識別番号】000004293
【氏名又は名称】ノリタケ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100117606
【弁理士】
【氏名又は名称】安部 誠
(74)【代理人】
【識別番号】100121186
【弁理士】
【氏名又は名称】山根 広昭
(72)【発明者】
【氏名】稲岡 康二
(57)【要約】
【課題】セラミックスを含むシートの熱伝導性を向上させる技術を提供する。
【解決手段】ここで開示されるグリーンシート１００は、複数の顆粒１１２を含んでおり、顆粒１１２は、セラミックス粉末１４と、熱可塑性アクリル樹脂とを含む。セラミックス粉末１４は、ＳＥＭ観察に基づく平均アスペクト比が２以上、および、ＳＥＭ観察に基づく平均長径が５μｍ以上である。そして、ＳＥＭ画像に基づく顆粒１１２の平均粒子径が１０μｍ以上７０μｍ以下である。
【選択図】図６
【解決手段】ここで開示されるグリーンシート１００は、複数の顆粒１１２を含んでおり、顆粒１１２は、セラミックス粉末１４と、熱可塑性アクリル樹脂とを含む。セラミックス粉末１４は、ＳＥＭ観察に基づく平均アスペクト比が２以上、および、ＳＥＭ観察に基づく平均長径が５μｍ以上である。そして、ＳＥＭ画像に基づく顆粒１１２の平均粒子径が１０μｍ以上７０μｍ以下である。
【選択図】図６
【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数の顆粒を含むグリーンシートであって、
前記顆粒は、セラミックス粉末と、熱可塑性アクリル樹脂とを含み、
前記セラミックス粉末は、
ＳＥＭ観察に基づく平均アスペクト比が２以上、および
ＳＥＭ観察に基づく平均長径が５μｍ以上であり、
ＳＥＭ画像に基づく前記顆粒の平均粒子径が１０μｍ以上７０μｍ以下である、
グリーンシート。
前記顆粒は、セラミックス粉末と、熱可塑性アクリル樹脂とを含み、
前記セラミックス粉末は、
ＳＥＭ観察に基づく平均アスペクト比が２以上、および
ＳＥＭ観察に基づく平均長径が５μｍ以上であり、
ＳＥＭ画像に基づく前記顆粒の平均粒子径が１０μｍ以上７０μｍ以下である、
グリーンシート。
【請求項2】
断面ＳＥＭ画像に基づく前記顆粒の平均アスペクト比が１以上２以下である、請求項１に記載のグリーンシート。
【請求項3】
理論密度比（（実測密度／理論密度）×１００）が９８％以上である、請求項１に記載のグリーンシート。
【請求項4】
前記セラミックス粉末と前記熱可塑性アクリル樹脂との合計を１００ｖｏｌ％としたとき、前記セラミックス粉末の割合が４０ｖｏｌ％以上７０ｖｏｌ％以下である、請求項１に記載のグリーンシート。
【請求項5】
厚み方向における熱伝導率が３Ｗ／ｍ・Ｋ以上である、請求項１～４のいずれか一項に記載のグリーンシート。
【請求項6】
複数の顆粒を有するセラミックス造粒粉であって、
前記顆粒はセラミックス粉末と、熱可塑性アクリル樹脂とを含み、
前記セラミックス粉末は、
ＳＥＭ観察に基づく平均アスペクト比が２以上、および
ＳＥＭ観察に基づく平均長径が５μｍ以上であり、
前記顆粒のＳＥＭ画像に基づく平均粒子径が１０μｍ以上７０μｍ以下である、
セラミックス造粒粉。
前記顆粒はセラミックス粉末と、熱可塑性アクリル樹脂とを含み、
前記セラミックス粉末は、
ＳＥＭ観察に基づく平均アスペクト比が２以上、および
ＳＥＭ観察に基づく平均長径が５μｍ以上であり、
前記顆粒のＳＥＭ画像に基づく平均粒子径が１０μｍ以上７０μｍ以下である、
セラミックス造粒粉。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、グリーンシートおよびそのグリーンシートに用いられる造粒粉に関する。
【背景技術】
【0002】
電気エネルギーを効率的に利用するために、電力用半導体素子（いわゆるパワーデバイス）が不可欠な存在となっている。一般に、パワーデバイスの高密度化に伴い、パワーデバイスの発熱量が増大する。かかる発熱により、パワーデバイスや、かかるパワーデバイスの周囲の部材に不具合が生じ得るため、熱を周囲に放熱する技術が求められる。例えば、特許文献１には、緻密な窒化物セラミック粉末を含むシート状組成物（グリーンシート）を製造する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２２－０９７７７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、アスペクト比（長径／短径）の高いセラミックス粉末を使用したグリーンシートでは、例えば、セラミックス粉末の配向性等の影響により、熱伝導性が不十分になる場合がある。特許文献１に開示の技術では、このような制御の検討までは至っておらず、改良の余地がある。
【0005】
本開示は、セラミックスを含むシートの熱伝導性を向上させる技術を提供することを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示により、ここで開示される技術の一態様としてグリーンシートが提供される。ここで開示されるグリーンシートの一態様は、複数の顆粒を含むグリーンシートであって、上記顆粒は、セラミックス粉末と、熱可塑性アクリル樹脂とを含む。上記セラミックス粉末は、ＳＥＭ観察に基づく平均アスペクト比が２以上、および、ＳＥＭ観察に基づく平均長径が５μｍ以上である。そして、ＳＥＭ画像に基づく上記顆粒の平均粒子径が１０μｍ以上７０μｍ以下である。
【0007】
かかる構成のグリーンシートでは、グリーンシート中に顆粒が存在しており、当該顆粒は、アスペクト比が２以上かつ平均長径が５μｍ以上のセラミックス粉末を有している。このようなセラミックス粉末は熱伝導性に優れており、当該セラミックス粉末が顆粒中に配置されていることで、熱伝導性により優れたグリーンシートが実現される。
【0008】
ここで開示されるグリーンシートの一態様では、断面ＳＥＭ画像に基づく上記顆粒の平均アスペクト比が１以上２以下である。かかる構成では、顆粒は略球状を有しており、グリーンシート中で潰れていない。換言すれば、顆粒に含まれるセラミックス粉末が所定の方向に配向されず、セラミックス粉末がランダムに配向されている。そのため、かかる構成のグリーンシートは、シートのいずれの方向に対しても熱伝導性が良好になる。
【0009】
ここで開示されるグリーンシートの一態様では、理論密度比（（実測密度／理論密度）×１００）が９８％以上である。これにより、セラミックス粉末同士の繋がりが良好になり、熱伝導性がさらに向上する。
【0010】
ここで開示されるグリーンシートの一態様では、上記セラミックス粉末と上記熱可塑性アクリル樹脂との合計を１００ｖｏｌ％としたとき、上記セラミックス粉末の割合が４０ｖｏｌ％以上７０ｖｏｌ％以下である。これにより、セラミックス粉末と熱可塑性アクリル樹脂との比率が良好となり、熱伝導性と成形安定性とが良好になり得る。
【0011】
ここで開示されるグリーンシートの一態様では、厚み方向における熱伝導率が３Ｗ／ｍ・Ｋ以上である。ここで開示されるグリーンシートは、厚み方向における熱伝導率に優れている。
【0012】
本開示により、ここで開示される技術の一態様としてセラミックス造粒粉が提供される。ここで開示されるセラミックス造粒粉は、複数の顆粒を有しており、上記顆粒はセラミックス粉末と、熱可塑性アクリル樹脂とを含む。上記セラミックス粉末は、ＳＥＭ観察に基づく平均アスペクト比が２以上、およびＳＥＭ観察に基づく平均長径が５μｍ以上である。そして、上記顆粒のＳＥＭ画像に基づく平均粒子径が１０μｍ以上７０μｍ以下である。このようなセラミックス造粒粉を原料粉末とすることで、グリーンシートに優れた熱伝導性を付与することができる。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【発明を実施するための形態】
【0014】
以下、ここに開示される技術の好適な実施形態を説明する。なお、本明細書において特に言及している事項以外の事柄であって、ここに開示される技術の実施に必要な事柄は、本明細書により教示されている技術内容と、当該分野における当業者の一般的な技術常識とに基づいて理解することができる。ここで開示される技術は、本明細書に開示されている内容と当該分野における技術常識とに基づいて実施することができる。なお、本明細書において数値範囲を「Ａ～Ｂ（ここでＡ、Ｂは任意の数値）」と記載している場合は、「Ａ以上Ｂ以下」を意味すると共に、「Ａを超えてＢ未満」、「Ａを超えてＢ以下」、および「Ａ以上Ｂ未満」の意味を包含する。
【0015】
＜セラミックス造粒粉＞
図１は、一実施形態に係るセラミックス造粒粉を示す模式図である。セラミックス造粒粉１０は、複数の顆粒１２を含む。顆粒１２は、無機フィラーとしてセラミックス粉末１４と、バインダとして熱可塑性アクリル樹脂（図示せず）を含む。また、顆粒１２は、さらに、可塑剤等のその他の添加剤を含み得る。顆粒１２は、セラミックス粉末１４の粒子同士が熱可塑性アクリル樹脂により結着し、凝集して構成され得る。
図１は、一実施形態に係るセラミックス造粒粉を示す模式図である。セラミックス造粒粉１０は、複数の顆粒１２を含む。顆粒１２は、無機フィラーとしてセラミックス粉末１４と、バインダとして熱可塑性アクリル樹脂（図示せず）を含む。また、顆粒１２は、さらに、可塑剤等のその他の添加剤を含み得る。顆粒１２は、セラミックス粉末１４の粒子同士が熱可塑性アクリル樹脂により結着し、凝集して構成され得る。
【0016】
セラミックス造粒粉１０は、例えば、グリーンシートの材料として使用され得る。セラミックス造粒粉１０をシート状に成形することで、後述するグリーンシートが作成される。セラミックス造粒粉１０は、シート状に成形する際に潰れにくいため、顆粒の状態を保ったまま（即ち、顆粒１２に含まれるセラミックス粉末の配向性がランダムのまま）グリーンシートを成形することができる。これにより、熱伝導性に優れたグリーンシートが実現される。
【0017】
顆粒１２の形状は、特に限定されないが、球状または略球状であることが好ましい。本明細書において、「球状」や「略球状」は、全体として概ね球体（ボール）と見なせる形態であることを示し、楕円状、多角体状、円盤球状等を包含する。本明細書において「球状」とは、平均アスペクト比が１．０であることをいう。また、本明細書において「略球状」とは、平均アスペクト比が１．０を超えて２．０未満、好ましくは１．５以下であることをいう。
本明細書において、顆粒１２の平均アスペクト比は、ＳＥＭの観察画像において、１００以上の顆粒１２に対し、それぞれ顆粒１２に外接する最小の矩形を描いたときの長辺（長径）を短辺（短径）で除した値をアスペクト比（長径／短径）として求め、当該アスペクト比を算術平均した値のことをいう。
本明細書において、顆粒１２の平均アスペクト比は、ＳＥＭの観察画像において、１００以上の顆粒１２に対し、それぞれ顆粒１２に外接する最小の矩形を描いたときの長辺（長径）を短辺（短径）で除した値をアスペクト比（長径／短径）として求め、当該アスペクト比を算術平均した値のことをいう。
【0018】
顆粒１２の平均粒子径（Ｄ５０粒径）は、例えば、１０μｍ以上であって、好ましくは２０μｍ以上、より好ましくは３０μｍ以上、特に好ましくは３５μｍ以上（例えば３８μｍ以上）であり得る。顆粒１２の平均粒子径が１０μｍ以上であれば、シート中の顆粒同士のつながりが良くなり熱伝導性が十分に向上する。顆粒１２の平均粒子径（Ｄ５０粒径）は、例えば、７０μｍ以下であって、６５μｍ以下、６０μｍ以下、５５μｍ以下、５０μｍ以下、４５μｍ以下、または４０μｍ以下であり得る。顆粒１２の平均粒子径が７０μｍ以下であれば、シート成形時に顆粒１２が潰れることが防止される。これにより、熱伝導性に優れたセラミックスシート（例えば、グリーンシート）を作成することができる。
【0019】
本明細書において、顆粒１２の平均粒子径（Ｄ５０粒径）は、ＳＥＭの観察画像に基づく個数基準の粒度分布において、小径側から累積５０％に相当する粒子径のことをいう。ＳＥＭの観察画像で測定される顆粒１２の粒径は、顆粒１２の円相当径のことをいう。測定する顆粒１２の数は例えば１００個（またはそれ以上）である。ＳＥＭの観察画像は二値化処理をして円相当径を測定するとよい。また、本明細書において、上記ＳＥＭの観察画像に基づく個数基準の粒度分布において、小径側から累積１０％に相当する粒子径をＤ１０粒径、小径側から累積９０％に相当する粒子径をＤ９０粒径と呼称する。
【0020】
顆粒１２のＤ１０粒径は、例えば、３μｍ以上、１０μｍ以上、１５μｍ以上であり得る。また、顆粒１２のＤ１０粒径は、例えば、５０μｍ以下、４５μｍ以下、４０μｍ以下、３５μｍ以下、３０μｍ以下、２５μｍ以下、または２０μｍ以下であり得る。
【0021】
顆粒１２のＤ９０粒径は、例えば、２０μｍ以上、４０μｍ以上、６０μｍ以上、または７５μｍ以上であり得る。また、顆粒１２のＤ９０粒径は、例えば、１００μｍ以下、９５μｍ以下、９０μｍ以下、８５μｍ以下、または８０μｍ以下であり得る。
【0022】
（セラミックス粉末）
顆粒１２に含まれるセラミックス粉末１４は、無機フィラーとして含まれており、セラミックスシート（グリーンシートおよび焼成後のグリーンシートを含む）に熱伝導の機能を付与する主要な成分である。セラミックス粉末１４の粒子の形状は、例えば、板状、針状等の平均アスペクト比（平均長径／平均短径）が高い形状である。セラミックス粉末１４の平均アスペクト比は、例えば、２以上であるとよく、好ましくは４以上、より好ましくは６以上、さらに好ましくは７以上、特に好ましくは８以上である。また、セラミックス粉末１４の平均アスペクト比は８．３以上、９以上、または９．３以上であってよい。セラミックス粉末１４の平均アスペクト比が高いことで、セラミックス粉末１４の長径が延びる方向への熱伝導率が向上する。セラミックス粉末１４の平均アスペクト比の上限は、特に限定されないが、例えば５０以下である。平均アスペクト比が高すぎる場合には、顆粒へと造粒するのが困難になり得る。
顆粒１２に含まれるセラミックス粉末１４は、無機フィラーとして含まれており、セラミックスシート（グリーンシートおよび焼成後のグリーンシートを含む）に熱伝導の機能を付与する主要な成分である。セラミックス粉末１４の粒子の形状は、例えば、板状、針状等の平均アスペクト比（平均長径／平均短径）が高い形状である。セラミックス粉末１４の平均アスペクト比は、例えば、２以上であるとよく、好ましくは４以上、より好ましくは６以上、さらに好ましくは７以上、特に好ましくは８以上である。また、セラミックス粉末１４の平均アスペクト比は８．３以上、９以上、または９．３以上であってよい。セラミックス粉末１４の平均アスペクト比が高いことで、セラミックス粉末１４の長径が延びる方向への熱伝導率が向上する。セラミックス粉末１４の平均アスペクト比の上限は、特に限定されないが、例えば５０以下である。平均アスペクト比が高すぎる場合には、顆粒へと造粒するのが困難になり得る。
【0023】
セラミックス粉末１４の平均長径は、例えば、５μｍ以上であるとよく、好ましくは８μｍ以上である。また、セラミックス粉末１４の平均長径は、例えば、１０μｍ以上、１５μｍ以上、２０μｍ以上、２５μｍ以上、または２８μｍ以上であり得る。セラミックス粉末１４の平均長径が長いほど、セラミックス粉末１４の長径が延びる方向への熱伝導率が向上する。セラミックス粉末１４の平均長径の上限は特に限定されないが、例えば、５０μｍ以下であり得る。平均長径が長すぎる場合には、顆粒へと造粒するのが困難になり得る。
【0024】
セラミックス粉末１４の平均短径は、例えば、０．５μｍ以上、１μｍ以上、または２μｍ以上であり得る。また、セラミックス粉末１４の平均短径は、例えば、５μｍ以下、４μｍ以下、または３．５μｍ以下であり得る。
【0025】
本明細書において、セラミックス粉末１４の平均長径および平均短径は、ＳＥＭの観察画像において、１００個以上のセラミックス粉末１４を構成するセラミックス粒子に対し、当該セラミックス粒子に外接する最小の矩形を描いたときの長辺を長径、短辺を短径として測定したときの算術平均値のことをいう。また、セラミックス粉末１４の平均アスペクト比は、セラミックス粉末１４の平均長径を平均短径で除した値（平均長径／平均短径）のことをいう。
【0026】
セラミックス粉末１４の割合は、セラミックス粉末１４と熱可塑性アクリル樹脂との合計を１００ｖｏｌ％としたとき、例えば、４０ｖｏｌ％以上であって、好ましくは４５ｖｏｌ％以上、より好ましくは５５ｖｏｌ％以上、さらに好ましくは６０ｖｏｌ％以上である。かかる割合が高いほど、熱伝導率が向上し得る。また、セラミックス粉末１４の上記割合は、例えば、７５ｖｏｌ％以下であって、好ましくは７０ｖｏｌ％以下であって、より好ましくは６８ｖｏｌ％以下である。セラミックス粉末１４の占める割合が高すぎる場合、セラミックス粉末１４同士を結着するための熱可塑性アクリル樹脂の量が不十分になり、造粒が困難になり得る。
【0027】
セラミックス粉末１４を構成する無機物としては、例えば、酸化アルミニウム（アルミナ）、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化ベリリウム、酸化チタン、酸化ジルコニウム等の無機酸化物、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化ガリウムなどの無機窒化物等が挙げられる。
【0028】
（熱可塑性アクリル樹脂）
熱可塑性アクリル樹脂は、顆粒１２においてセラミックス粉末１４を結着する成分である。熱可塑性アクリル樹脂の一例として、アルキル（メタ）アクリレートを主モノマー（単量体全体の５０重量％超を占める成分）として含み、当該主モノマーと共重合性を有する副モノマーをさらに含むモノマー混合物が挙げられる。該モノマー混合物は、上記主モノマーおよび上記副モノマーに加えて、任意に、他の共重合成分を含むことができる。これらのモノマーが共重合することによって、所定の機能を有するアクリル系高分子化合物が形成され得る。なお、本明細書において「（メタ）アクリレート」とは、アクリレートおよびメタクリレートを意味する。同様に、「（メタ）アクリル」はアクリルおよびメタクリルを意味する。
熱可塑性アクリル樹脂は、顆粒１２においてセラミックス粉末１４を結着する成分である。熱可塑性アクリル樹脂の一例として、アルキル（メタ）アクリレートを主モノマー（単量体全体の５０重量％超を占める成分）として含み、当該主モノマーと共重合性を有する副モノマーをさらに含むモノマー混合物が挙げられる。該モノマー混合物は、上記主モノマーおよび上記副モノマーに加えて、任意に、他の共重合成分を含むことができる。これらのモノマーが共重合することによって、所定の機能を有するアクリル系高分子化合物が形成され得る。なお、本明細書において「（メタ）アクリレート」とは、アクリレートおよびメタクリレートを意味する。同様に、「（メタ）アクリル」はアクリルおよびメタクリルを意味する。
【0029】
アルキル（メタ）アクリレートとしては、例えば、一般式：ＣＨ２＝Ｃ（Ｒ１）ＣＯＯＲ２で表される化合物を好適に用いることができる。ここで、式中のＲ１は水素原子またはメチル基を示している。また、Ｒ２は炭素原子数が１～２０の鎖状アルキル基を示している。Ｒ２は、炭素原子数が１～１４の鎖状アルキル基であるアルキル（メタ）アクリレートが好ましく、炭素原子数が１～１２の鎖状アルキル基であるアルキル（メタ）アクリレートがより好ましい。
【0030】
副モノマーとしては、アクリル系高分子化合物に架橋点を導入したり、アクリル系高分子化合物の結着性を制御したりする機能を有し、所望のバインダ特性に応じて各種の官能基を含むモノマー成分を用いることができる。かかる官能基は、例えば、カルボキシル基、ヒドロキシ基、アミド基、アミノ基、エポキシ基等であり得る。副モノマーの量は特に限定されず、グリーンシートに所望の緻密性が実現されるように適宜設計することができる。なお、ここに例示した副モノマー以外の他の共重合成分を含むようにしてもよい。上記モノマー（主モノマーと副モノマーの総量）に占める副モノマーの割合は、所望の架橋度に応じて適宜選択すればよく、例えば、全モノマー成分１００質量％に対して、１～１０質量％程度とすることができる。また、モノマー混合物を重合する方法は特に制限されず、従来公知の一般的な重合方法（エマルション重合、溶液重合等）を採用することができる。
【0031】
熱可塑性アクリル樹脂の重量平均分子量は、特に限定されるものではないが、概ね５千以上（例えば１万以上）とすることができる。また、上記重量平均分子量は、概ね１００万以下、典型的には５０万以下、例えば３０万以下、２０万以下、１０万以下とすることができる。なお、熱可塑性アクリル樹脂の重量平均分子量は、例えば、ゲル浸透クロマトグラフィー（Ｇｅｌ Ｐｅｒｍｅａｔｉｏｎ Ｃｈｒｏｍａｔｏｇｒａｐｈｙ：ＧＰＣ）によって測定し、標準ポリスチレン検量線を用いて換算した重量基準の平均分子量を採用し得る。あるいは、メーカーの公称値を採用してもよい。
【0032】
熱可塑性アクリル樹脂は、乾燥処理（例えば、１００℃～２００℃程度の加熱処理）では分解されず、脱バインダ処理（例えば、２００℃～６００℃程度の加熱処理）によって分解除去し易いものを好ましく用いることができる。これにより、セラミックス造粒粉１０、および、当該造粒粉をシート成形して成るグリーンシート中では、熱可塑性アクリル樹脂がセラミックス粉末１４を結着させるように存在し、当該グリーンシートの焼成後には、熱可塑性アクリル樹脂が燃え抜け、焼成後のシートの熱伝導性を妨げないよう構成することができる。
【0033】
また、熱可塑性アクリル樹脂は水溶性であることが好ましい。水溶性であれば、セラミックス造粒粉１０の造粒工程において、有機溶媒ではなく水系溶媒を使用することができるため、環境負荷を低減することができる。
【0034】
熱可塑性アクリル樹脂の割合は、セラミックス粉末１４と熱可塑性アクリル樹脂との合計を１００ｖｏｌ％としたとき、例えば、２５ｖｏｌ％以上、３０ｖｏｌ％以上、３５ｖｏｌ％以上、４０ｖｏｌ％以上であり得る。これにより、セラミックス造粒粉を作製し易くなる。また、熱可塑性アクリル樹脂の上記割合は、例えば、６０ｖｏｌ％以下であって、好ましくは５５ｖｏｌ％以下、より好ましくは５０ｖｏｌ％以下である。セラミックス造粒粉１０において熱可塑性アクリル樹脂の占める割合が高すぎる場合、セラミックス粉末１４の割合が減少し、熱伝導性が不十分になり得る。
【0035】
（その他の添加剤）
顆粒１２は、必要に応じて、上記成分の他、可塑剤、離型剤、分散剤、消泡剤、酸化防止剤、増粘剤等の各種添加剤などを含んでもよい。この中でも、可塑剤を含むことが好ましい。
顆粒１２は、必要に応じて、上記成分の他、可塑剤、離型剤、分散剤、消泡剤、酸化防止剤、増粘剤等の各種添加剤などを含んでもよい。この中でも、可塑剤を含むことが好ましい。
【0036】
（可塑剤）
可塑剤は、主として、上述した熱可塑性アクリル樹脂を構成するポリマーの分子間力を弱め、それぞれの分子を動きやすくすることによって、ポリマーに柔軟性を付与する機能を有する成分である。これにより、顆粒１２を成形して作成されるグリーンシートの緻密性向上や加工性向上に寄与し得る。
可塑剤は、主として、上述した熱可塑性アクリル樹脂を構成するポリマーの分子間力を弱め、それぞれの分子を動きやすくすることによって、ポリマーに柔軟性を付与する機能を有する成分である。これにより、顆粒１２を成形して作成されるグリーンシートの緻密性向上や加工性向上に寄与し得る。
【0037】
可塑剤としては、乾燥処理（典型的には、１００℃～２００℃の加熱処理）によっては分解されず、かつ、脱バインダ処理（典型的には、２００℃超過６００℃以下程度の加熱処理）や６００℃超過（例えば１５００℃～２５００℃）での焼成工程によって分解除去し易いものを好ましく用いることができる。
【0038】
可塑剤として、水溶性可塑剤を好ましく用いることができる。水溶性可塑剤としては、公知の水溶性可塑剤を特に制限なく使用することができるが、例えば、多価アルコール、ポリエーテル等を使用することができる。これらは１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。ここで開示される技術の効果を実現し得る限りは、水溶性可塑剤の種類、平均分子量、その他の性状は特に限定されない。
【0039】
多価アルコールは、３価以上のアルコールであり得る。具体例としては、グリセリン、ポリグリセリン等が挙げられる。ポリグリセリンは、２以上のグリセリンが重合した構造を有する化合物であり、例えばジグリセリン、トリグリセリン、テトラグリセリン等が挙げられる。
【0040】
ポリエーテルは、ポリオキシアルキレングリセリルエーテル、ポリオキシアルキレンポリグリセリルエーテル、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等であり得る。ポリオキシアルキレングリセリルエーテル、およびポリオキシアルキレンポリグリセリルエーテルは、グリセリンまたはポリグリセリンにオキシアルキレンを付加重合して得られる化合物である。ポリオキシアルキレンを構成するオキシアルキレン基は、例えば、オキシエチレン基、オキシプロピレン基であり得る。即ち、ポリオキシアルキレングリセリルエーテルの具体例としては、ポリオキシエチレングリセリルエーテル、ポリオキシプロピレングリセリルエーテル等が挙げられる。ポリオキシアルキレンポリグリセリルエーテルの具体例としては、ポリオキシエチレンポリグリセリルエーテル、ポリオキシプロピレンポリグリセリルエーテル等が挙げられる。なお、オキシアルキレン基の繰り返し数は、１以上であるが、特に限定されず、適宜設定することができる。また、ポリオキシアルキレンを構成するオキシアルキレン基は、１種であってもよく、２種以上であってもよい。
【0041】
グリーンシートの成形性、加工容易性、および緻密性を向上する観点から、上記化合物の中でも、グリセリン系可塑剤を好ましく用いることができる。グリセリン系可塑剤は、グリセリン、ポリグリセリン、ポリオキシアルキレングリセリルエーテル、およびポリオキシアルキレンポリグリセリルエーテルを含む。また、グリセリン系可塑剤は、グリーンシートの保存安定性を向上する観点からも、好ましく使用され得る。
【0042】
セラミックス造粒粉１０が可塑剤を含む場合には、体積比において、熱可塑性アクリル樹脂：可塑剤の比が、例えば、９９：１～７０：３０、または９９：２～９０：１０となるように設定され得る。
【0043】
［グリーンシート］
ここで開示されるグリーンシートは、上述したセラミックス粉末をシート状に成形することで作成される。ここで開示されるグリーンシートは、例えば、上述したセラミックス粉末を圧縮成形（例えば後述の乾式粉末圧延法等）することによって得られる圧縮成形体である。図２は、一実施形態に係るグリーンシートを示す模式図である。図２中の方向Ｔは、グリーンシート１００の厚み方向を示している。図２に示すように、グリーンシート１００は、顆粒１１２を含んでいる。また、グリーンシートは顆粒１１２により構成されていてもよい。顆粒１１２は、上述したセラミックス造粒粉１０に含まれる顆粒１２と同様の構成であってよく、顆粒１１２はセラミックス粉末１４と、熱可塑性アクリル樹脂とを含んでいる。顆粒１２の平均粒子径が７０μｍ以下であることで、顆粒１２をシート成形する際に潰れにくくなるため、顆粒１１２のＤ１０粒径、Ｄ５０粒径（平均粒子径）、およびＤ９０粒径の範囲は上述した顆粒１２と同様であってよい。
ここで開示されるグリーンシートは、上述したセラミックス粉末をシート状に成形することで作成される。ここで開示されるグリーンシートは、例えば、上述したセラミックス粉末を圧縮成形（例えば後述の乾式粉末圧延法等）することによって得られる圧縮成形体である。図２は、一実施形態に係るグリーンシートを示す模式図である。図２中の方向Ｔは、グリーンシート１００の厚み方向を示している。図２に示すように、グリーンシート１００は、顆粒１１２を含んでいる。また、グリーンシートは顆粒１１２により構成されていてもよい。顆粒１１２は、上述したセラミックス造粒粉１０に含まれる顆粒１２と同様の構成であってよく、顆粒１１２はセラミックス粉末１４と、熱可塑性アクリル樹脂とを含んでいる。顆粒１２の平均粒子径が７０μｍ以下であることで、顆粒１２をシート成形する際に潰れにくくなるため、顆粒１１２のＤ１０粒径、Ｄ５０粒径（平均粒子径）、およびＤ９０粒径の範囲は上述した顆粒１２と同様であってよい。
【0044】
グリーンシート１００に含まれる顆粒１１２の形状は、好ましくは球状または略球状である。ここで開示されるセラミックス造粒粉に含まれる顆粒はシート成形時に潰れにくいため、グリーンシート１００においても原料の顆粒（成形前の）の形状を概ね維持することができる。そのため、グリーンシート１００の断面ＳＥＭ画像において、顆粒１１２の平均アスペクト比は、例えば、２以下であって、好ましくは１．５以下、より好ましくは１．３以下であり得る。これにより、グリーンシート１００の熱伝導性が向上する。なお、顆粒１１２の平均アスペクト比の下限は１以上である。顆粒１１２の平均アスペクト比は、１００個以上の顆粒１１２のアスペクト比（長径／短径）の算術平均である。顆粒１１２のアスペクト比の測定方法は、上述した顆粒１２のアスペクト比の測定方法と同様である。
【0045】
グリーンシート１００に含まれる顆粒１１２において、セラミックス粉末１４の配向性はランダムである。上述した顆粒１２の造粒時に、セラミックス粉末１４が熱可塑性アクリル樹脂を介し得てランダムに凝集するため、セラミックス造粒粉１０に含まれる顆粒１２においてもセラミックス粉末１４はランダムに配向されており、シート成形後の顆粒１１２においてもセラミックス粉末１４のランダムな配向は維持されている。これは、顆粒１２がシート成形時にも潰れにくい性質を有することに由来すると考えられる。顆粒１１２のセラミックス粉末１４がランダムに配向されていることで、シートのいずれの方向においても優れた熱伝導性が実現され得る。
【0046】
本明細書において、「セラミックス粉末がランダムに配向されている」ことは、顆粒の断面のＳＥＭ観察画像において、次の条件（１）～（４）の全てを満たすものをいう。
（１）所定の方向に延びる第１の基準線に対し、例えば１００個以上のセラミックス粉末の長径がなす鋭角の角度の算術平均が３０°～６０°（例えば、４０°～５０°）である。
（２）上記第１の基準線を４５°傾けた第２の基準線に対する当該１００個以上のセラミックス粉末の長径がなす鋭角の角度の平均が３０°～６０°（例えば、４０°～５０°）である。
（３）上記第１の基準線を９０°傾けた第３の基準線に対する当該１００個以上のセラミックス粉末の長径がなす鋭角の角度の平均が３０°～６０°（例えば、４０°～５０°）である。
（４）上記第２の基準線を９０°傾けた第４の基準線に対する当該１００個以上のセラミックス粉末の長径がなす鋭角の角度の平均が３０°～６０°（例えば、４０°～５０°）である。
（１）所定の方向に延びる第１の基準線に対し、例えば１００個以上のセラミックス粉末の長径がなす鋭角の角度の算術平均が３０°～６０°（例えば、４０°～５０°）である。
（２）上記第１の基準線を４５°傾けた第２の基準線に対する当該１００個以上のセラミックス粉末の長径がなす鋭角の角度の平均が３０°～６０°（例えば、４０°～５０°）である。
（３）上記第１の基準線を９０°傾けた第３の基準線に対する当該１００個以上のセラミックス粉末の長径がなす鋭角の角度の平均が３０°～６０°（例えば、４０°～５０°）である。
（４）上記第２の基準線を９０°傾けた第４の基準線に対する当該１００個以上のセラミックス粉末の長径がなす鋭角の角度の平均が３０°～６０°（例えば、４０°～５０°）である。
【0047】
グリーンシート１００の厚みは、特に限定されないが、例えば１０μｍ以上、２０μｍ以上、５０μｍ以上、または１００μｍ以上であり得る。また、上記厚みは、例えば３０００μｍ以下、２０００μｍ以下、１０００μｍ以下、または５００μｍ以下であり得る。
【0048】
グリーンシート１００は、主成分として顆粒１１２を含み、顆粒１１２のみで構成されてもよい。グリーンシート１００のうち、顆粒１１２が占める割合は、例えば、８０ｖｏｌ％以上、８５ｖｏｌ％以上、９０ｖｏｌ％以上、９５ｖｏｌ％以上、９８ｖｏｌ％以上、または１００ｖｏｌ％であり得る。
【0049】
グリーンシート１００を１００ｖｏｌ％としたとき、グリーンシート１００に含まれるセラミックス粉末１４の割合は、例えば、４０ｖｏｌ％以上であって、好ましくは４５ｖｏｌ％以上、より好ましくは５５ｖｏｌ％以上、さらに好ましくは６０ｖｏｌ％以上である。かかる割合が高いほど、熱伝導率が向上し得る。また、セラミックス粉末１４の上記割合は、例えば、７５ｖｏｌ％以下であって、好ましくは７０ｖｏｌ％以下であって、より好ましくは６８ｖｏｌ％以下である。
【0050】
また、グリーンシート１００を１００ｖｏｌ％としたとき、グリーンシート１００に含まれる熱可塑性アクリル樹脂の割合は、例えば、２５ｖｏｌ％以上、３０ｖｏｌ％以上、３５ｖｏｌ％以上、４０ｖｏｌ％以上であり得る。これにより、グリーンシート１００の形状安定性が向上する。また、熱可塑性アクリル樹脂の上記割合は、例えば、６０ｖｏｌ％以下であって、好ましくは５５ｖｏｌ％以下、より好ましくは５０ｖｏｌ％以下である。
【0051】
グリーンシート１００は、空隙が少なく、高密度となるように形成されている。グリーンシート１００の理論密度比は、９０％以上であって、好ましくは９５％以上、より好ましくは９８％以上、さらに好ましくは９８％以上、特に好ましくは９９％以上（例えば、９９．５％以上）であり得る。ここで、「理論密度比」は、以下の式（１）：
理論密度比（％）＝（実測密度）／（理論密度）×１００ …（１）
で算出される値をいう。式（１）中の「理論密度」とは、グリーンシート１００に含まれる各材料の比重と、グリーンシート１００に含まれる各材料の体積比とから導き出される値をいう。「実測密度」とは、グリーンシート１００を所定の形状（好適には、体積計算が容易な形状、例えば、矩形状の幅広面を有するシート状）に加工した試験片の体積および重量を測定することにより求められる密度をいう。理論密度比が高いほど、空隙が少なく、セラミックス粉末１４同士のつながりが良好となるため、熱伝導性が良好になる。
理論密度比（％）＝（実測密度）／（理論密度）×１００ …（１）
で算出される値をいう。式（１）中の「理論密度」とは、グリーンシート１００に含まれる各材料の比重と、グリーンシート１００に含まれる各材料の体積比とから導き出される値をいう。「実測密度」とは、グリーンシート１００を所定の形状（好適には、体積計算が容易な形状、例えば、矩形状の幅広面を有するシート状）に加工した試験片の体積および重量を測定することにより求められる密度をいう。理論密度比が高いほど、空隙が少なく、セラミックス粉末１４同士のつながりが良好となるため、熱伝導性が良好になる。
【0052】
グリーンシート１００の厚み方向Ｔにおける熱伝導性は、例えば、３Ｗ／ｍ・Ｋ以上であって、３．１Ｗ／ｍ・Ｋ以上、３．５Ｗ／ｍ・Ｋ以上、３．６Ｗ／ｍ・Ｋ以上、３．８Ｗ／ｍ・Ｋ以上を実現する。
【0053】
［グリーンシートの製造方法］
ここで開示されるグリーンシートを製造する方法の好適例としては、乾式粉末圧延法（例えばロール成形）が挙げられる。図３は、乾式粉末圧延法を用いて一実施形態に係るグリーンシートを製造する方法を説明する模式図である。図３では、上述したセラミックス造粒粉１０を用いて上述したグリーンシート１００を製造している。乾式粉末圧延法は、セラミックス造粒粉１０への圧力が他の方法（例えば、押出成形など）よりも比較的小さいので、より顆粒１２が潰れにくく、製造されるグリーンシート１００中のセラミックス粉末１４の配向性がランダムになり易くなる。
ここで開示されるグリーンシートを製造する方法の好適例としては、乾式粉末圧延法（例えばロール成形）が挙げられる。図３は、乾式粉末圧延法を用いて一実施形態に係るグリーンシートを製造する方法を説明する模式図である。図３では、上述したセラミックス造粒粉１０を用いて上述したグリーンシート１００を製造している。乾式粉末圧延法は、セラミックス造粒粉１０への圧力が他の方法（例えば、押出成形など）よりも比較的小さいので、より顆粒１２が潰れにくく、製造されるグリーンシート１００中のセラミックス粉末１４の配向性がランダムになり易くなる。
【0054】
乾式粉末圧延装置５は、おおまかにいって、貯留タンク１と、一対のロール２とを備える。貯留タンク１は、グリーンシート１００の原料であるセラミックス造粒粉１０を貯留する容器である。また、貯留タンク１は、その底部にフィーダー１ｂを備えており、フィーダー１ｂの吐出口から一定量のセラミックス造粒粉１０を一対のロール２の間に連続的に供給するよう構成されている。フィーダー１ｂとしては、定量性に優れるものであれば特に限定されず、例えばスクリュー式、振動式、流動式等の各種フィーダーを適宜採用し得る。
【0055】
上記製造方法は、おおまかにいって、原料用意工程、造粒工程、およびシート成形工程を含み得る。原料用意工程および造粒工程は、ここで開示されるセラミックス造粒粉の製造方法でもある。
【0056】
原料用意工程では、グリーンシート１００の原料として、セラミックス粉末１４および熱可塑性アクリル樹脂を準備する。また、必要に応じて、可塑剤等の各種添加剤を用意する。これらの体積割合等については上述したセラミックス造粒粉１０と同様であってよい。
【0057】
造粒工程では、上記原料を用いてセラミックス造粒粉１０を作製する。造粒方法は特に限定されず、湿式造粒および乾式造粒のいずれを採用してもよい。造粒方法としては、例えば、転動造粒法、流動層造粒法、撹拌造粒法、圧縮造粒法、押出造粒法、破砕造粒法、スプレードライ法（噴霧造粒法）等が挙げられる。より微細な原料粉末を扱いやすいという観点からは、スプレードライ法等の湿式造粒法の採用が好ましい。スプレードライ法では、まず、用意した原料の混合物を調製し、該混合物を分散媒中に分散して、原料スラリーを得る。原料の混合方法は特に限定されず、従来公知の撹拌・混合装置を使用することができる。例えば、ボールミル、ミキサー、ディスパー、ニーダ等を使用することができる。混合物の分散媒としては、環境負荷を減らす観点から、例えば水が好適例として挙げられる。次いで、スプレードライ装置を用いて、上記原料スラリーを液滴状に噴霧して乾燥させることで、セラミックス造粒粉１０を得ることができる。製造される造粒粒子（顆粒）のサイズは、上述した顆粒１２の粒子径の範囲と同様である。
【0058】
シート成形工程では、セラミックス造粒粉１０をシート状に成形する。具体的には、図３に示されるように、上記造粒工程で得られたセラミックス造粒粉１０を、乾式粉末圧延装置５の貯留タンク１に投入する。セラミックス造粒粉１０は、貯留タンク１の底部のフィーダー１ｂを通って外部に吐出される。そして、吐出されたセラミックス造粒粉１０は、一対のロール２の間に供給される。そして、ロール２が回転（図３中の矢印を参照。）することによって、上記供給されたセラミックス造粒粉１０が圧縮されることによって、シート状に成形されて、グリーンシート１００が得られる。ここでの温度条件や圧力条件は、原料の種類等によって異なり得るため、特に制限されず、適宜変更され得る。また、ロール２の間の間隔は、グリーンシート１００の厚みとして所望される厚みを実現できるように、適宜変更され得る。
【0059】
＜グリーンシートの用途＞
グリーンシート１００の用途は、特に限定されないが、例えば、放熱材料として使用することができる。一例として、発熱部品（例えばパワーデバイス等）と放熱部品（放熱フィン、ヒートシンク、放熱板等）との間に介在させて、あるいは、放熱部品に代えて、発熱部品の放熱を行う放熱シートを作製するためのグリーンシートとして使用することができる。また、上記放熱部品と組み合わせた放熱装置を構成する材料としても使用され得る。
グリーンシート１００の用途は、特に限定されないが、例えば、放熱材料として使用することができる。一例として、発熱部品（例えばパワーデバイス等）と放熱部品（放熱フィン、ヒートシンク、放熱板等）との間に介在させて、あるいは、放熱部品に代えて、発熱部品の放熱を行う放熱シートを作製するためのグリーンシートとして使用することができる。また、上記放熱部品と組み合わせた放熱装置を構成する材料としても使用され得る。
【0060】
以上のとおり、ここで開示される技術の具体的な態様として、以下の各項に記載のものが挙げられる。
項１：
複数の顆粒を含むグリーンシートであって、
上記顆粒は、セラミックス粉末と、熱可塑性アクリル樹脂とを含み、
上記セラミックス粉末は、
ＳＥＭ観察に基づく平均アスペクト比が２以上、および
ＳＥＭ観察に基づく平均長径が５μｍ以上であり、
ＳＥＭ画像に基づく上記顆粒の平均粒子径が１０μｍ以上７０μｍ以下である、
グリーンシート。
項２：断面ＳＥＭ画像に基づく上記顆粒の平均アスペクト比が１以上２以下である、項１に記載のグリーンシート。
項３：理論密度比（（実測密度／理論密度）×１００）が９８％以上である、項１または２に記載のグリーンシート。
項４：上記セラミックス粉末と上記熱可塑性アクリル樹脂との合計を１００ｖｏｌ％としたとき、上記セラミックス粉末の割合が４０ｖｏｌ％以上７０ｖｏｌ％以下である、項１～３のいずれか一項に記載のグリーンシート。
項５：厚み方向における熱伝導率が３Ｗ／ｍ・Ｋ以上である、項１～４のいずれか一項に記載のグリーンシート。
項６：
複数の顆粒を有するセラミックス造粒粉であって、
上記顆粒はセラミックス粉末と、熱可塑性アクリル樹脂とを含み、
上記セラミックス粉末は、
ＳＥＭ観察に基づく平均アスペクト比が２以上、および
ＳＥＭ観察に基づく平均長径が５μｍ以上であり、
上記顆粒のＳＥＭ画像に基づく平均粒子径が１０μｍ以上７０μｍ以下である、
セラミックス造粒粉。
項１：
複数の顆粒を含むグリーンシートであって、
上記顆粒は、セラミックス粉末と、熱可塑性アクリル樹脂とを含み、
上記セラミックス粉末は、
ＳＥＭ観察に基づく平均アスペクト比が２以上、および
ＳＥＭ観察に基づく平均長径が５μｍ以上であり、
ＳＥＭ画像に基づく上記顆粒の平均粒子径が１０μｍ以上７０μｍ以下である、
グリーンシート。
項２：断面ＳＥＭ画像に基づく上記顆粒の平均アスペクト比が１以上２以下である、項１に記載のグリーンシート。
項３：理論密度比（（実測密度／理論密度）×１００）が９８％以上である、項１または２に記載のグリーンシート。
項４：上記セラミックス粉末と上記熱可塑性アクリル樹脂との合計を１００ｖｏｌ％としたとき、上記セラミックス粉末の割合が４０ｖｏｌ％以上７０ｖｏｌ％以下である、項１～３のいずれか一項に記載のグリーンシート。
項５：厚み方向における熱伝導率が３Ｗ／ｍ・Ｋ以上である、項１～４のいずれか一項に記載のグリーンシート。
項６：
複数の顆粒を有するセラミックス造粒粉であって、
上記顆粒はセラミックス粉末と、熱可塑性アクリル樹脂とを含み、
上記セラミックス粉末は、
ＳＥＭ観察に基づく平均アスペクト比が２以上、および
ＳＥＭ観察に基づく平均長径が５μｍ以上であり、
上記顆粒のＳＥＭ画像に基づく平均粒子径が１０μｍ以上７０μｍ以下である、
セラミックス造粒粉。
【0061】
以下、ここに開示される技術に関するいくつかの試験例を説明するが、本発明を係る試験例に示すものに限定することを意図したものではない。
【0062】
１．各サンプルの作製
無機フィラーとして、板状のアルミナ粉末を準備した。例１～９における板状のアルミナ粉末のＳＥＭ画像に基づく平均長径、平均短径、および平均アスペクト比（平均長径／平均短径）は表１に示す通りである。また、バインダとして熱可塑性アクリル樹脂（アロンＡＳ－１８００（東亞合成株式会社））、可塑剤としてＰＥＧ－１５００（三洋化成工業株式会社））を準備した。
無機フィラーとして、板状のアルミナ粉末を準備した。例１～９における板状のアルミナ粉末のＳＥＭ画像に基づく平均長径、平均短径、および平均アスペクト比（平均長径／平均短径）は表１に示す通りである。また、バインダとして熱可塑性アクリル樹脂（アロンＡＳ－１８００（東亞合成株式会社））、可塑剤としてＰＥＧ－１５００（三洋化成工業株式会社））を準備した。
【0063】
次に、用意した材料を、同質量の水（分散媒）と共にポットミルに投入し、混合することで造粒用スラリーを調製した。このとき、アルミナ粉末と、水溶性樹脂バインダと、可塑剤との体積比を６５：３２：３とした。そして、スプレードライ装置を用いてこの造粒用スラリーを噴霧乾燥して、顆粒（造粒粉）を作製した。作製した顆粒のＳＥＭ画像に基づく粒度分布を作製し、Ｄ１０粒径、Ｄ５０粒径、およびＤ９０粒径を求めた。Ｄ１０粒径、Ｄ５０粒径、およびＤ９０粒径を表１に示す。なお、噴霧乾燥における乾燥温度は１８０～２００℃程度であり、造粒粉中に含まれる分散媒の残量はほぼ０ｖｏｌ％であった。その後、作製した造粒粉を用いて、乾式粉末圧延装置を用いて厚さ１ｍｍのグリーンシートを作製した。
【0064】
２．評価
（１）グリーンシート中の顆粒のＳＥＭ画像
各例のグリーンシートにおいて、断面ＳＥＭ画像を取得した。代表例として、例３におけるグリーンシートの断面ＳＥＭ画像を図４に示す。また、例６におけるグリーンシートの断面ＳＥＭ画像を図５に示す。図４の画像では、グリーンシート中で顆粒が密に凝集しながらも、顆粒がほとんど潰れていないことがわかる。図４に示すように、顆粒と顆粒との境がＳＥＭ画像において目視で識別できるものを顆粒跡「有」と判定して表１に示した。一方で、図５の画像では、上下方向に潰れた顆粒が観察され、顆粒と顆粒との境が不鮮明であることがわかる。このように、顆粒と顆粒との境がＳＥＭ画像において目視で識別できないものを顆粒跡「無」と判定して表１に示した。
（１）グリーンシート中の顆粒のＳＥＭ画像
各例のグリーンシートにおいて、断面ＳＥＭ画像を取得した。代表例として、例３におけるグリーンシートの断面ＳＥＭ画像を図４に示す。また、例６におけるグリーンシートの断面ＳＥＭ画像を図５に示す。図４の画像では、グリーンシート中で顆粒が密に凝集しながらも、顆粒がほとんど潰れていないことがわかる。図４に示すように、顆粒と顆粒との境がＳＥＭ画像において目視で識別できるものを顆粒跡「有」と判定して表１に示した。一方で、図５の画像では、上下方向に潰れた顆粒が観察され、顆粒と顆粒との境が不鮮明であることがわかる。このように、顆粒と顆粒との境がＳＥＭ画像において目視で識別できないものを顆粒跡「無」と判定して表１に示した。
【0065】
また、各例のグリーンシートにおいて破断面のＳＥＭ画像を取得した。代表例として、例２におけるグリーンシートの破断面のＳＥＭ画像を図６に示す。図６の画像から明らかなように、グリーンシート中において、顆粒同士が一体化するのではなく、顆粒の形状を維持したまま存在していることがわかる。
【0066】
（２）グリーンシートの相対密度の評価
各例のグリーンシートから、打ち抜き刃を用いて所定の大きさの試験片を準備し、かかる試験片の寸法を測定した。そして、試験片の重量を測定し、実測密度（ｇ／ｃｍ３）を求めた。また、各材料の比重と構成割合から理論密度（ｇ／ｃｍ３）を求めた。このとき、分散媒は０ｇとして計算した。求めた実測密度および理論密度を用いて各例のグリーンシートの理論密度比（％）を算出した。結果を表１に示す。
各例のグリーンシートから、打ち抜き刃を用いて所定の大きさの試験片を準備し、かかる試験片の寸法を測定した。そして、試験片の重量を測定し、実測密度（ｇ／ｃｍ３）を求めた。また、各材料の比重と構成割合から理論密度（ｇ／ｃｍ３）を求めた。このとき、分散媒は０ｇとして計算した。求めた実測密度および理論密度を用いて各例のグリーンシートの理論密度比（％）を算出した。結果を表１に示す。
【0067】
（３）グリーンシートの熱伝導率の評価
熱伝導率測定装置（ＬＦＡ ４６７ ＨｙｐｅｒＦｌａｓｈ（登録商標）（ＮＥＴＺＳ
ＣＨ社））を用いて、装置のマニュアルに従って、各例に係るグリーンシートの厚み方向
における熱伝導率（Ｗ／ｍ・Ｋ）を測定した。結果を表１に示す。
熱伝導率測定装置（ＬＦＡ ４６７ ＨｙｐｅｒＦｌａｓｈ（登録商標）（ＮＥＴＺＳ
ＣＨ社））を用いて、装置のマニュアルに従って、各例に係るグリーンシートの厚み方向
における熱伝導率（Ｗ／ｍ・Ｋ）を測定した。結果を表１に示す。
【0068】
【表1】
【0069】
表１に示すように、例えば、顆粒の粒子径（Ｄ５０）が１０μｍ以上７０μｍ以下の範囲であり、セラミックス粉末（ここでは板状アルミナ）のアスペクト比が２以上であり、セラミックス粉末の平均長径が５μｍ以上である場合に、熱伝導率に優れたグリーンシートが実現されることがわかる。
【0070】
以上、ここで開示される技術の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
【符号の説明】
【0071】
１ 貯留タンク
１ｂ フィーダー
２ ロール
５ 乾式粉末圧延装置
１０ セラミックス造粒粉
１２、１１２ 顆粒
１４ セラミックス粉末
１００ グリーンシート
１ｂ フィーダー
２ ロール
５ 乾式粉末圧延装置
１０ セラミックス造粒粉
１２、１１２ 顆粒
１４ セラミックス粉末
１００ グリーンシート
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
