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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024145745
(43)【公開日】2024-10-15
(54)【発明の名称】真空装置
(51)【国際特許分類】
F04B 37/16 20060101AFI20241004BHJP
F04B 49/06 20060101ALI20241004BHJP
【ＦＩ】
F04B37/16 E
F04B37/16 A
F04B49/06 341J
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023058229
(22)【出願日】2023-03-31
(71)【出願人】
【識別番号】000004260
【氏名又は名称】株式会社デンソー
(74)【代理人】
【識別番号】110003214
【氏名又は名称】弁理士法人服部国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】佐藤 勝久
(72)【発明者】
【氏名】佐藤 駿太
【テーマコード（参考）】
3H076
3H145
【Ｆターム（参考）】
3H076BB21
3H076BB43
3H076CC44
3H076CC94
3H076CC95
3H145AA26
3H145AA38
3H145CA02
3H145DA13
3H145DA16
3H145EA13
(57)【要約】
【課題】簡単な構成および制御によりチャンバ内を大気圧から高速で低真空領域に安定させることが可能な真空装置を提供する。
【解決手段】ポンプ側絞り部遮断弁８３は、３つのポンプ側流路８１のそれぞれに設けられ、開閉作動によりポンプ側流路８１における流体の流通を許容または遮断可能である。ポンプ側絞り８５は、３つのポンプ側流路８１のうち２つに設けられ、ポンプ側流路８１における流体の流れを絞ることが可能である。供給部側絞り部遮断弁９３は、２つの供給部側流路９１のそれぞれに設けられ、開閉作動により供給部側流路９１における流体の流通を許容または遮断可能である。供給部側絞り９５は、２つの供給部側流路９１のそれぞれに設けられ、供給部側流路９１における流体の流れを絞ることが可能である。
【選択図】図１
【解決手段】ポンプ側絞り部遮断弁８３は、３つのポンプ側流路８１のそれぞれに設けられ、開閉作動によりポンプ側流路８１における流体の流通を許容または遮断可能である。ポンプ側絞り８５は、３つのポンプ側流路８１のうち２つに設けられ、ポンプ側流路８１における流体の流れを絞ることが可能である。供給部側絞り部遮断弁９３は、２つの供給部側流路９１のそれぞれに設けられ、開閉作動により供給部側流路９１における流体の流通を許容または遮断可能である。供給部側絞り９５は、２つの供給部側流路９１のそれぞれに設けられ、供給部側流路９１における流体の流れを絞ることが可能である。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
流体および検査対象（２）を収容可能なチャンバ（２０）と、
作動により前記チャンバ内の流体を吸引可能な真空ポンプ（３０）と、
前記チャンバ内に流体を供給可能な流体供給部（４０）と、
開閉作動により前記チャンバと大気側との間の流体の流通を許容または遮断可能な大気側遮断弁（７０）と、
前記チャンバと前記真空ポンプとの間の流体の流れを絞ることが可能なポンプ側絞り部（８０）と、
前記流体供給部と前記チャンバとの間の流体の流れを絞ることが可能な供給部側絞り部（９０）と、
前記チャンバ内の圧力を検出可能な真空計（１７）と、を備え、
前記ポンプ側絞り部は、
前記チャンバと前記真空ポンプとの間の流体が流通可能な３つ以上のポンプ側流路（８１）、
３つ以上の前記ポンプ側流路のそれぞれに設けられ、開閉作動により前記ポンプ側流路における流体の流通を許容または遮断可能なポンプ側絞り部遮断弁（８３）、および、
３つ以上の前記ポンプ側流路の少なくとも２つに設けられ、前記ポンプ側流路における流体の流れを絞ることが可能なポンプ側絞り（８５）を有し、
前記供給部側絞り部は、
前記流体供給部と前記チャンバとの間の流体が流通可能な２つ以上の供給部側流路（９１）、
２つ以上の前記供給部側流路のそれぞれに設けられ、開閉作動により前記供給部側流路における流体の流通を許容または遮断可能な供給部側絞り部遮断弁（９３）、および、
２つ以上の前記供給部側流路の少なくとも２つに設けられ、前記供給部側流路における流体の流れを絞ることが可能な供給部側絞り（９５）を有する真空装置。
作動により前記チャンバ内の流体を吸引可能な真空ポンプ（３０）と、
前記チャンバ内に流体を供給可能な流体供給部（４０）と、
開閉作動により前記チャンバと大気側との間の流体の流通を許容または遮断可能な大気側遮断弁（７０）と、
前記チャンバと前記真空ポンプとの間の流体の流れを絞ることが可能なポンプ側絞り部（８０）と、
前記流体供給部と前記チャンバとの間の流体の流れを絞ることが可能な供給部側絞り部（９０）と、
前記チャンバ内の圧力を検出可能な真空計（１７）と、を備え、
前記ポンプ側絞り部は、
前記チャンバと前記真空ポンプとの間の流体が流通可能な３つ以上のポンプ側流路（８１）、
３つ以上の前記ポンプ側流路のそれぞれに設けられ、開閉作動により前記ポンプ側流路における流体の流通を許容または遮断可能なポンプ側絞り部遮断弁（８３）、および、
３つ以上の前記ポンプ側流路の少なくとも２つに設けられ、前記ポンプ側流路における流体の流れを絞ることが可能なポンプ側絞り（８５）を有し、
前記供給部側絞り部は、
前記流体供給部と前記チャンバとの間の流体が流通可能な２つ以上の供給部側流路（９１）、
２つ以上の前記供給部側流路のそれぞれに設けられ、開閉作動により前記供給部側流路における流体の流通を許容または遮断可能な供給部側絞り部遮断弁（９３）、および、
２つ以上の前記供給部側流路の少なくとも２つに設けられ、前記供給部側流路における流体の流れを絞ることが可能な供給部側絞り（９５）を有する真空装置。
【請求項2】
開閉作動により前記チャンバと前記真空ポンプとの間の流体の流通を許容または遮断可能なポンプ側遮断弁（５０）と、
開閉作動により前記チャンバと前記流体供給部との間の流体の流通を許容または遮断可能な供給部側遮断弁（６０）と、
をさらに備える請求項１に記載の真空装置。
開閉作動により前記チャンバと前記流体供給部との間の流体の流通を許容または遮断可能な供給部側遮断弁（６０）と、
をさらに備える請求項１に記載の真空装置。
【請求項3】
前記ポンプ側流路は、
前記チャンバと前記真空ポンプとの間に設けられた第１ポンプ側流路（８１１）、
前記チャンバと前記真空ポンプとの間において前記第１ポンプ側流路と並列に設けられた第２ポンプ側流路（８１２）、および、
前記チャンバと前記真空ポンプとの間において前記第１ポンプ側流路および前記第２ポンプ側流路と並列に設けられた第３ポンプ側流路（８１３）を有し、
前記ポンプ側絞り部遮断弁は、
前記第１ポンプ側流路に設けられ、開閉作動により前記第１ポンプ側流路における流体の流通を許容または遮断可能な第１ポンプ側絞り部遮断弁（８３１）、
前記第２ポンプ側流路に設けられ、開閉作動により前記第２ポンプ側流路における流体の流通を許容または遮断可能な第２ポンプ側絞り部遮断弁（８３２）、および、
前記第３ポンプ側流路に設けられ、開閉作動により前記第３ポンプ側流路における流体の流通を許容または遮断可能な第３ポンプ側絞り部遮断弁（８３３）を有し、
前記ポンプ側絞りは、
前記第２ポンプ側流路に設けられ、所定の絞り径が設定され、前記第２ポンプ側流路における流体の流れを絞ることが可能な第１ポンプ側絞り（８５１）、および、
前記第３ポンプ側流路に設けられ、前記第１ポンプ側絞りの絞り径より小さい絞り径が設定され、前記第３ポンプ側流路における流体の流れを絞ることが可能な第２ポンプ側絞り（８５２）を有し、
前記供給部側流路は、
前記流体供給部と前記チャンバとの間に設けられた第１供給部側流路（９１１）、および、
前記流体供給部と前記チャンバとの間において前記第１供給部側流路と並列に設けられた第２供給部側流路（９１２）を有し、
前記供給部側絞り部遮断弁は、
前記第１供給部側流路に設けられ、開閉作動により前記第１供給部側流路における流体の流通を許容または遮断可能な第１供給部側絞り部遮断弁（９３１）、および、
前記第２供給部側流路に設けられ、開閉作動により前記第２供給部側流路における流体の流通を許容または遮断可能な第２供給部側絞り部遮断弁（９３２）を有し、
前記供給部側絞りは、
前記第１供給部側流路に設けられ、所定の絞り径が設定され、前記第１供給部側流路における流体の流れを絞ることが可能な第１供給部側絞り（９５１）、および、
前記第２供給部側流路に設けられ、前記第１供給部側絞りの絞り径より小さい絞り径が設定され、前記第２供給部側流路における流体の流れを絞ることが可能な第２供給部側絞り（９５２）を有する請求項１または２に記載の真空装置。
前記チャンバと前記真空ポンプとの間に設けられた第１ポンプ側流路（８１１）、
前記チャンバと前記真空ポンプとの間において前記第１ポンプ側流路と並列に設けられた第２ポンプ側流路（８１２）、および、
前記チャンバと前記真空ポンプとの間において前記第１ポンプ側流路および前記第２ポンプ側流路と並列に設けられた第３ポンプ側流路（８１３）を有し、
前記ポンプ側絞り部遮断弁は、
前記第１ポンプ側流路に設けられ、開閉作動により前記第１ポンプ側流路における流体の流通を許容または遮断可能な第１ポンプ側絞り部遮断弁（８３１）、
前記第２ポンプ側流路に設けられ、開閉作動により前記第２ポンプ側流路における流体の流通を許容または遮断可能な第２ポンプ側絞り部遮断弁（８３２）、および、
前記第３ポンプ側流路に設けられ、開閉作動により前記第３ポンプ側流路における流体の流通を許容または遮断可能な第３ポンプ側絞り部遮断弁（８３３）を有し、
前記ポンプ側絞りは、
前記第２ポンプ側流路に設けられ、所定の絞り径が設定され、前記第２ポンプ側流路における流体の流れを絞ることが可能な第１ポンプ側絞り（８５１）、および、
前記第３ポンプ側流路に設けられ、前記第１ポンプ側絞りの絞り径より小さい絞り径が設定され、前記第３ポンプ側流路における流体の流れを絞ることが可能な第２ポンプ側絞り（８５２）を有し、
前記供給部側流路は、
前記流体供給部と前記チャンバとの間に設けられた第１供給部側流路（９１１）、および、
前記流体供給部と前記チャンバとの間において前記第１供給部側流路と並列に設けられた第２供給部側流路（９１２）を有し、
前記供給部側絞り部遮断弁は、
前記第１供給部側流路に設けられ、開閉作動により前記第１供給部側流路における流体の流通を許容または遮断可能な第１供給部側絞り部遮断弁（９３１）、および、
前記第２供給部側流路に設けられ、開閉作動により前記第２供給部側流路における流体の流通を許容または遮断可能な第２供給部側絞り部遮断弁（９３２）を有し、
前記供給部側絞りは、
前記第１供給部側流路に設けられ、所定の絞り径が設定され、前記第１供給部側流路における流体の流れを絞ることが可能な第１供給部側絞り（９５１）、および、
前記第２供給部側流路に設けられ、前記第１供給部側絞りの絞り径より小さい絞り径が設定され、前記第２供給部側流路における流体の流れを絞ることが可能な第２供給部側絞り（９５２）を有する請求項１または２に記載の真空装置。
【請求項4】
前記真空計により検出した圧力に基づき、前記真空ポンプ、前記大気側遮断弁、前記ポンプ側絞り部遮断弁、前記供給部側絞り部遮断弁の作動を制御可能な制御部（１０）、
をさらに備える請求項３に記載の真空装置。
をさらに備える請求項３に記載の真空装置。
【請求項5】
前記制御部は、
前記大気側遮断弁を開いた状態、かつ、前記ポンプ側絞り部遮断弁および前記供給部側絞り部遮断弁を閉じた状態で、前記真空ポンプを作動させ、
前記大気側遮断弁を閉じ、前記第１ポンプ側絞り部遮断弁を開き、
前記大気側遮断弁を閉じてから所定時間経過後の時点であるタイマ時間到達時点において、前記真空計により検出した圧力が目標圧より低い場合、前記第１ポンプ側絞り部遮断弁を閉じ、前記第２ポンプ側絞り部遮断弁を開き、前記第１供給部側絞り部遮断弁を開き、
前記タイマ時間到達時点において、前記真空計により検出した圧力が目標圧以上の場合、前記第１ポンプ側絞り部遮断弁を閉じ、前記第２ポンプ側絞り部遮断弁を開き、前記第２供給部側絞り部遮断弁を開き、
前記タイマ時間到達時点の後、前記真空計により検出した圧力が目標圧になった時点である目標圧到達時点において、前記第１供給部側絞り部遮断弁が開いていた場合、前記第２ポンプ側絞り部遮断弁を閉じ、前記第３ポンプ側絞り部遮断弁を開き、前記第１供給部側絞り部遮断弁を閉じ、前記第２供給部側絞り部遮断弁を開き、
前記目標圧到達時点において、前記第１供給部側絞り部遮断弁が閉じていた場合、前記第２ポンプ側絞り部遮断弁を閉じ、前記第３ポンプ側絞り部遮断弁を開く請求項４に記載の真空装置。
前記大気側遮断弁を開いた状態、かつ、前記ポンプ側絞り部遮断弁および前記供給部側絞り部遮断弁を閉じた状態で、前記真空ポンプを作動させ、
前記大気側遮断弁を閉じ、前記第１ポンプ側絞り部遮断弁を開き、
前記大気側遮断弁を閉じてから所定時間経過後の時点であるタイマ時間到達時点において、前記真空計により検出した圧力が目標圧より低い場合、前記第１ポンプ側絞り部遮断弁を閉じ、前記第２ポンプ側絞り部遮断弁を開き、前記第１供給部側絞り部遮断弁を開き、
前記タイマ時間到達時点において、前記真空計により検出した圧力が目標圧以上の場合、前記第１ポンプ側絞り部遮断弁を閉じ、前記第２ポンプ側絞り部遮断弁を開き、前記第２供給部側絞り部遮断弁を開き、
前記タイマ時間到達時点の後、前記真空計により検出した圧力が目標圧になった時点である目標圧到達時点において、前記第１供給部側絞り部遮断弁が開いていた場合、前記第２ポンプ側絞り部遮断弁を閉じ、前記第３ポンプ側絞り部遮断弁を開き、前記第１供給部側絞り部遮断弁を閉じ、前記第２供給部側絞り部遮断弁を開き、
前記目標圧到達時点において、前記第１供給部側絞り部遮断弁が閉じていた場合、前記第２ポンプ側絞り部遮断弁を閉じ、前記第３ポンプ側絞り部遮断弁を開く請求項４に記載の真空装置。
【請求項6】
前記第３ポンプ側絞り部遮断弁および前記第２供給部側絞り部遮断弁が開いた状態で前記チャンバ内の圧力が目標圧付近で安定している請求項５に記載の真空装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、真空装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、モータ製品等に用いられるコイルに対し、製造工程において高電圧を印加し、放電の有無を確認することでピンホール検査を実施することが知られている。ここで、例えば耐電圧の低いコイルに対しでは、大気圧ではなく、１００～１０００Ｐａ程度の低真空領域に真空引きしたチャンバ内において、より低い電圧での検査を実施することにより、非破壊検査を達成できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特許第７０１３１５２号公報
【特許文献2】特開２０２１－９３０５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
生産ラインにおいて上記検査を全数実施するには、１：検査対象としての部品をチャンバ内へ投入し、２：大気圧から真空引き、３：真空度安定、４：検査（電圧印加）、５：大気開放、６：チャンバ内から部品を取り出す工程を経る。ここで、生産性を向上するためには、２：大気圧からの真空引き、３：真空度安定に掛かる時間を短縮することが効果的である。
【0005】
例えば従来技術では、目標とする真空度を達成する能力の真空ポンプを作動させ、成り行きでの真空度の安定を図るものが知られている。この場合、上記２、３に掛かる時間を短縮することは難しく、真空度の安定までに時間が掛かり、生産ラインに適するサイクルタイムの実現が難しくなるおそれがある。
【0006】
一方、例えば特許文献１、２には、チャンバ内の真空度に応じたバルブ開度制御により真空度の安定を図るものが開示されている。この場合、制御系が複雑であり、設備への投資コストが課題となるおそれがある。
【0007】
本発明の目的は、簡単な構成および制御によりチャンバ内を大気圧から高速で低真空領域に安定させることが可能な真空装置。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明に係る真空装置は、チャンバ（２０）と真空ポンプ（３０）と流体供給部（４０）と大気側遮断弁（７０）とポンプ側絞り部（８０）と供給部側絞り部（９０）と真空計（１７）とを備える。チャンバは、流体および検査対象を収容可能である。真空ポンプは、作動によりチャンバ内の流体を吸引可能である。流体供給部は、チャンバ内に流体を供給可能である。
【0009】
大気側遮断弁は、開閉作動によりチャンバと大気側との間の流体の流通を許容または遮断可能である。ポンプ側絞り部は、チャンバと真空ポンプとの間の流体の流れを絞ることが可能である。供給部側絞り部は、流体供給部とチャンバとの間の流体の流れを絞ることが可能である。真空計は、チャンバ内の圧力を検出可能である。
【0010】
ポンプ側絞り部は、３つ以上のポンプ側流路（８１）、ポンプ側絞り部遮断弁（８３）、および、ポンプ側絞り（８５）を有している。ポンプ側流路は、チャンバと真空ポンプとの間の流体が流通可能である。ポンプ側絞り部遮断弁は、３つ以上の前記ポンプ側流路のそれぞれに設けられ、開閉作動によりポンプ側流路における流体の流通を許容または遮断可能である。ポンプ側絞りは、３つ以上の前記ポンプ側流路の少なくとも２つに設けられ、ポンプ側流路における流体の流れを絞ることが可能である。
【0011】
供給部側絞り部は、２つ以上の供給部側流路（９１）、供給部側絞り部遮断弁（９３）、および、供給部側絞り（９５）を有する。供給部側流路は、流体供給部とチャンバとの間の流体が流通可能である。供給部側絞り部遮断弁は、２つ以上の前記供給部側流路のそれぞれに設けられ、開閉作動により供給部側流路における流体の流通を許容または遮断可能である。供給部側絞りは、２つ以上の前記供給部側流路の少なくとも２つに設けられ、供給部側流路における流体の流れを絞ることが可能である。
【0012】
本発明では、簡単な構成において、真空ポンプを作動させながら、大気側遮断弁、ポンプ側絞り部遮断弁、供給部側絞り部遮断弁を単に開閉作動させるという簡単な制御で、チャンバ内を大気圧から高速で低真空領域に安定させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【発明を実施するための形態】
【0014】
以下、一実施形態による真空装置を図面に基づき説明する。
【0015】
（一実施形態）
一実施形態の真空装置を図１に示す。
一実施形態の真空装置を図１に示す。
【0016】
真空装置１は、例えばモータ製品等に用いられるコイル２に対し、製造工程において高電圧を印加し、放電の有無を確認することでピンホール検査を実施するための装置である。本実施形態では、検査対象としてのコイル２をチャンバ２０内に配置し、例えば１００～１０００Ｐａ程度の低真空領域に真空引きしたチャンバ２０内において、一般的な高電圧より低い電圧での検査を実施する。これにより、コイル２の非破壊検査が可能である。
【0017】
次に、真空装置１の構成について説明する。
【0018】
＜１＞真空装置１は、チャンバ２０と真空ポンプ３０と流体供給部４０とポンプ側遮断弁５０と供給部側遮断弁６０と大気側遮断弁７０とポンプ側絞り部８０と供給部側絞り部９０と真空計１７とを備える。チャンバ２０は、流体および検査対象を収容可能である。真空ポンプ３０は、作動によりチャンバ２０内の流体を吸引可能である。流体供給部４０は、チャンバ２０内に流体を供給可能である。
【0019】
本実施形態は、ポンプ間流路１１、供給部間流路１３、大気間流路１５を備えている。ポンプ間流路１１は、チャンバ２０内と真空ポンプ３０の吸引口とを接続している。供給部間流路１３は、チャンバ２０内と流体供給部４０の供給口とを接続している。大気間流路１５は、チャンバ２０内と大気側とを接続している。
【0020】
本実施形態では、チャンバ２０内に収容される「流体」は「空気」であり、「検査対象」は「コイル２」である。真空ポンプ３０は、例えば公知の電動ポンプであり、オン指示により作動し、吸引口から流体を吸引可能である。流体供給部４０は、流体を収容可能に形成され、供給口から供給部間流路１３を経由して流体をチャンバ２０内に供給可能である。流体供給部４０がチャンバ２０内に供給する「流体」は例えば「窒素」である。
【0021】
＜２＞ポンプ側遮断弁５０は、開閉作動によりチャンバ２０と真空ポンプ３０との間の流体の流通を許容または遮断可能である。供給部側遮断弁６０は、開閉作動によりチャンバ２０と流体供給部４０との間の流体の流通を許容または遮断可能である。大気側遮断弁７０は、開閉作動によりチャンバ２０と大気側との間の流体の流通を許容または遮断可能である。
【0022】
本実施形態では、ポンプ側遮断弁５０、供給部側遮断弁６０、大気側遮断弁７０は、例えば公知の電動遮断弁であり、開指示により全開状態、閉指示により全閉状態となるよう開閉作動する。ポンプ側遮断弁５０は、ポンプ間流路１１に設けられ、開閉作動により、ポンプ間流路１１における流体の流通を許容または遮断可能である。供給部側遮断弁６０は、供給部間流路１３に設けられ、開閉作動により、供給部間流路１３における流体の流通を許容または遮断可能である。大気側遮断弁７０は、大気間流路１５に設けられ、開閉作動により、大気間流路１５おける流体の流通を許容または遮断可能である。
【0023】
ポンプ側絞り部８０は、チャンバ２０（ポンプ側遮断弁５０）と真空ポンプ３０との間の流体の流れを絞ることが可能である。供給部側絞り部９０は、流体供給部４０とチャンバ２０（供給部側遮断弁６０）との間の流体の流れを絞ることが可能である。真空計１７は、チャンバ２０内の圧力を検出可能である。
【0024】
ポンプ側絞り部８０は、３つのポンプ側流路８１、ポンプ側絞り部遮断弁８３、および、ポンプ側絞り８５を有している。ポンプ側流路８１は、チャンバ２０と真空ポンプ３０との間の流体が流通可能である。ポンプ側絞り部遮断弁８３は、３つのポンプ側流路８１のそれぞれに設けられ、開閉作動によりポンプ側流路８１における流体の流通を許容または遮断可能である。ポンプ側絞り８５は、３つのポンプ側流路８１のうち２つに設けられ、ポンプ側流路８１における流体の流れを絞ることが可能である。
【0025】
本実施形態では、ポンプ側絞り部遮断弁８３は、例えば公知の電動遮断弁であり、開指示により全開状態、閉指示により全閉状態となるよう開閉作動する。ポンプ側絞り８５は、所定の絞り径に設定されたオリフィス流路である。
【0026】
供給部側絞り部９０は、２つの供給部側流路９１、供給部側絞り部遮断弁９３、および、供給部側絞り９５を有する。供給部側流路９１は、流体供給部４０とチャンバ２０との間の流体が流通可能である。供給部側絞り部遮断弁９３は、２つの供給部側流路９１のそれぞれに設けられ、開閉作動により供給部側流路９１における流体の流通を許容または遮断可能である。供給部側絞り９５は、２つの供給部側流路９１のそれぞれに設けられ、供給部側流路９１における流体の流れを絞ることが可能である。
【0027】
本実施形態では、供給部側絞り部遮断弁９３は、例えば公知の電動遮断弁であり、開指示により全開状態、閉指示により全閉状態となるよう開閉作動する。供給部側絞り９５は、所定の絞り径に設定されたオリフィス流路である。
【0028】
＜３＞ポンプ側流路８１は、チャンバ２０と真空ポンプ３０との間に設けられた第１ポンプ側流路８１１、チャンバ２０と真空ポンプ３０との間において第１ポンプ側流路８１１と並列に設けられた第２ポンプ側流路８１２、および、チャンバ２０と真空ポンプ３０との間において第１ポンプ側流路８１１および第２ポンプ側流路８１２と並列に設けられた第３ポンプ側流路８１３を有している。
【0029】
本実施形態では、ポンプ間流路１１は、ポンプ間流路１１１、ポンプ間流路１１３を有している。ポンプ間流路１１１は、一端がチャンバ２０内に接続している。ポンプ側遮断弁５０は、ポンプ間流路１１１に設けられている。ポンプ間流路１１３は、一端が真空ポンプ３０の吸引口に接続している。第１ポンプ側流路８１１、第２ポンプ側流路８１２、第３ポンプ側流路８１３は、それぞれがポンプ間流路１１１の他端とポンプ間流路１１３の他端とを接続するよう並列に設けられている。第１ポンプ側流路８１１、第２ポンプ側流路８１２、第３ポンプ側流路８１３の流路径は、同じに設定されている。
【0030】
ポンプ側絞り部遮断弁８３は、第１ポンプ側絞り部遮断弁８３１、第２ポンプ側絞り部遮断弁、および、第３ポンプ側絞り部遮断弁を有している。第１ポンプ側絞り部遮断弁８３１は、第１ポンプ側流路８１１に設けられ、開閉作動により第１ポンプ側流路８１１における流体の流通を許容または遮断可能である。第２ポンプ側絞り部遮断弁８３２は、第２ポンプ側流路８１２に設けられ、開閉作動により第２ポンプ側流路８１２における流体の流通を許容または遮断可能である。第３ポンプ側絞り部遮断弁８３３は、第３ポンプ側流路８１３に設けられ、開閉作動により第３ポンプ側流路８１３における流体の流通を許容または遮断可能である。
【0031】
ポンプ側絞り８５は、第１ポンプ側絞り８５１、および、第２ポンプ側絞り８５２を有している。第１ポンプ側絞り８５１は、第２ポンプ側流路８１２に設けられ、所定の絞り径が設定され、第２ポンプ側流路８１２における流体の流れを絞ることが可能である。第２ポンプ側絞り８５２は、第３ポンプ側流路８１３に設けられ、第１ポンプ側絞り８５１の絞り径より小さい絞り径が設定され、第３ポンプ側流路８１３における流体の流れを絞ることが可能である。
【0032】
本実施形態では、第１ポンプ側絞り８５１は、第２ポンプ側流路８１２において第２ポンプ側絞り部遮断弁８３２に対し真空ポンプ３０側に設けられており、絞り径が第２ポンプ側流路８１２の流路径の約２０％に設定されている。そのため、第１ポンプ側絞り８５１を通過する流体は、流量が約２０％に絞られる。第２ポンプ側絞り８５２は、第３ポンプ側流路８１３において第３ポンプ側絞り部遮断弁８３３に対し真空ポンプ３０側に設けられており、絞り径が第３ポンプ側流路８１３の流路径の約１０％に設定されている。そのため、第２ポンプ側絞り８５２を通過する流体は、流量が約１０％に絞られる。
【0033】
供給部側流路９１は、流体供給部４０とチャンバ２０との間に設けられた第１供給部側流路９１１、および、流体供給部４０とチャンバ２０との間において第１供給部側流路９１１と並列に設けられた第２供給部側流路９１２を有している。
【0034】
本実施形態では、供給部間流路１３は、供給部間流路１３１、供給部間流路１３３を有している。供給部間流路１３１は、一端がチャンバ２０内に接続している。供給部側遮断弁６０は、供給部間流路１３１に設けられている。供給部間流路１３３は、一端が流体供給部４０の供給口に接続している。第１供給部側流路９１１、第２供給部側流路９１２は、それぞれが供給部間流路１３１の他端と供給部間流路１３３の他端とを接続するよう並列に設けられている。第１供給部側流路９１１、第２供給部側流路９１２の流路径は、同じに設定されている。
【0035】
供給部側絞り部遮断弁９３は、第１供給部側絞り部遮断弁９３１、および、第２供給部側絞り部遮断弁９３２を有している。第１供給部側絞り部遮断弁９３１は、第１供給部側流路９１１に設けられ、開閉作動により第１供給部側流路９１１における流体の流通を許容または遮断可能である。第２供給部側絞り部遮断弁９３２は、第２供給部側流路９１２に設けられ、開閉作動により第２供給部側流路９１２における流体の流通を許容または遮断可能である。
【0036】
供給部側絞り９５は、第１供給部側絞り９５１、および、第２供給部側絞り９５２を有している。第１供給部側絞り９５１は、第１供給部側流路９１１に設けられ、所定の絞り径が設定され、第１供給部側流路９１１における流体の流れを絞ることが可能である。第２供給部側絞り９５２は、第２供給部側流路９１２に設けられ、第１供給部側絞り９５１の絞り径より小さい絞り径が設定され、第２供給部側流路９１２における流体の流れを絞ることが可能である。
【0037】
本実施形態では、第１供給部側絞り９５１は、第１供給部側流路９１１において第１供給部側絞り部遮断弁９３１に対し流体供給部４０側に設けられており、絞り径が第１供給部側流路９１１の流路径の約２０％に設定されている。そのため、第１供給部側絞り９５１を通過する流体は、流量が約２０％に絞られる。第２供給部側絞り９５２は、第２供給部側流路９１２において第２供給部側絞り部遮断弁９３２に対し流体供給部４０側に設けられており、絞り径が第２供給部側流路９１２の流路径の約１０％に設定されている。そのため、第２供給部側絞り９５２を通過する流体は、流量が約１０％に絞られる。
【0038】
＜４＞本実施形態は、制御部１０をさらに備える。制御部１０は、真空計１７により検出した圧力に基づき、真空ポンプ３０、ポンプ側遮断弁５０、供給部側遮断弁６０、大気側遮断弁７０、ポンプ側絞り部遮断弁８３（第１ポンプ側絞り部遮断弁８３１、第２ポンプ側絞り部遮断弁８３２、第３ポンプ側絞り部遮断弁８３３）、供給部側絞り部遮断弁９３（第１供給部側絞り部遮断弁９３１、第２供給部側絞り部遮断弁９３２）の作動を制御可能である。
【0039】
制御部１０は、演算部としてのＣＰＵ、記憶部としてのＲＯＭ、ＲＡＭ等、入出力部としてのＩ／Ｏ等を有するコンピュータである。制御部１０は、ＲＯＭ等に格納されたプログラムに従い演算を実行し、真空ポンプ３０、ポンプ側遮断弁５０、供給部側遮断弁６０、大気側遮断弁７０、ポンプ側絞り部遮断弁８３、供給部側絞り部遮断弁９３の作動を制御する。このように、制御部１０は、非遷移的実体的記録媒体に格納されたプログラムを実行する。このプログラムが実行されることで、プログラムに対応する方法が実行される。
【0040】
実際は、制御部１０と、真空計１７、真空ポンプ３０、ポンプ側遮断弁５０、供給部側遮断弁６０、大気側遮断弁７０、ポンプ側絞り部遮断弁８３（第１ポンプ側絞り部遮断弁８３１、第２ポンプ側絞り部遮断弁８３２、第３ポンプ側絞り部遮断弁８３３）、供給部側絞り部遮断弁９３（第１供給部側絞り部遮断弁９３１、第２供給部側絞り部遮断弁９３２）との間は、検出信号または指示信号を伝達するための信号線で接続されているが、図面が煩雑になることを避けるため、信号線の図示を省略している。
【0041】
次に、本実施形態の真空装置１による検査について説明する。
【0042】
本実施形態では、例えばモータ製品のコイル２の製造工程において、真空装置１を用いてコイル２のピンホール検査を行う。真空装置１の各部は、制御部１０により作動が制御される。
【0043】
まず、検査の作業者は、検査対象としてのコイル２をチャンバ２０内に配置し、チャンバ２０の蓋を閉じる。その後、作業者は、制御部１０による真空装置１の制御を開始する。
【0044】
＜５＞制御部１０による真空装置１の制御に関する一連の処理Ｓ１００を図２に示す。Ｓ１００は、例えば作業者が制御部１０による制御開始のスイッチを押すことにより開始される。
【0045】
Ｓ１０１では、制御部１０は、大気側遮断弁７０を開き、ポンプ側遮断弁５０、供給部側遮断弁６０、ポンプ側絞り部遮断弁８３（第１ポンプ側絞り部遮断弁８３１、第２ポンプ側絞り部遮断弁８３２、第３ポンプ側絞り部遮断弁８３３）および供給部側絞り部遮断弁９３（第１供給部側絞り部遮断弁９３１、第２供給部側絞り部遮断弁９３２）を閉じた状態で、真空ポンプ３０を作動させる。Ｓ１０１の後、処理はＳ１０２に移行する。
【0046】
Ｓ１０２では、制御部１０は、大気側遮断弁７０を閉じ、ポンプ側遮断弁５０および第１ポンプ側絞り部遮断弁８３１を開く。これにより、チャンバ２０内の空気がポンプ間流路１１１、第１ポンプ側流路８１１、ポンプ間流路１１３を経由して真空ポンプ３０に吸引される。これにより、チャンバ２０内の圧力が低下する。Ｓ１０２の後、処理はＳ１０３に移行する。
【0047】
Ｓ１０３では、制御部１０は、Ｓ１０２で大気側遮断弁７０を閉じてから所定時間経過したか否かを判断する。所定時間経過したと判断した場合（Ｓ１０３：ＹＥＳ）、処理はＳ１０４に移行する。一方、所定時間経過していないと判断した場合（Ｓ１０３：ＮＯ）、処理はＳ１０３に戻る。
【0048】
Ｓ１０４では、制御部１０は、真空計１７によりチャンバ２０内の圧力を検出する。Ｓ１０４の後、処理はＳ１０５に移行する。なお、制御部１０は、Ｓ１０４以降、真空計１７によるチャンバ２０内の圧力の検出を継続する。
【0049】
Ｓ１０５では、制御部１０は、Ｓ１０４で真空計１７により検出したチャンバ２０内の圧力が目標圧より低いか否か判断する。チャンバ２０内の圧力は目標圧より低いと判断した場合（Ｓ１０５：ＹＥＳ）、処理はＳ１０６に移行する。一方、チャンバ２０内の圧力は目標圧以上であると判断した場合（Ｓ１０５：ＮＯ）、処理はＳ１０７に移行する。なお、目標圧は、例えば１００～１０００Ｐａの範囲内の圧力に設定されている。
【0050】
Ｓ１０６では、制御部１０は、第１ポンプ側絞り部遮断弁８３１を閉じ、第２ポンプ側絞り部遮断弁８３２を開き、供給部側遮断弁６０および第１供給部側絞り部遮断弁９３１を開く。これにより、チャンバ２０内の空気がポンプ間流路１１１、第２ポンプ側流路８１２、第１ポンプ側絞り８５１、ポンプ間流路１１３を経由して真空ポンプ３０に吸引されるとともに、流体供給部４０から供給部間流路１３３、第１供給部側絞り９５１、第１供給部側流路９１１、供給部間流路１３１を経由してチャンバ２０内に窒素が供給される。これにより、チャンバ２０内の圧力が上昇する。Ｓ１０６の後、処理はＳ１０８に移行する。
【0051】
Ｓ１０７では、制御部１０は、第１ポンプ側絞り部遮断弁８３１を閉じ、第２ポンプ側絞り部遮断弁８３２を開き、供給部側遮断弁６０および第２供給部側絞り部遮断弁９３２を開く。これにより、チャンバ２０内の空気がポンプ間流路１１１、第２ポンプ側流路８１２、第１ポンプ側絞り８５１、ポンプ間流路１１３を経由して真空ポンプ３０に吸引されるとともに、流体供給部４０から供給部間流路１３３、第２供給部側絞り９５２、第２供給部側流路９１２、供給部間流路１３１を経由してチャンバ２０内に窒素が供給される。これにより、チャンバ２０内の圧力が低下する。Ｓ１０７の後、処理はＳ１０８に移行する。
【0052】
Ｓ１０８では、制御部１０は、真空計１７により検出したチャンバ２０内の圧力が目標圧になったか否か判断する。チャンバ２０内の圧力は目標圧になったと判断した場合（Ｓ１０８：ＹＥＳ）、処理はＳ１０９に移行する。一方、チャンバ２０内の圧力は目標圧になっていないと判断した場合（Ｓ１０８：ＮＯ）、処理はＳ１０８に戻る。
【0053】
Ｓ１０９では、制御部１０は、第１供給部側絞り部遮断弁９３１が開いているか否か判断する。第１供給部側絞り部遮断弁９３１は開いていると判断した場合（Ｓ１０９：ＹＥＳ）、処理はＳ１１０に移行する。一方、第１供給部側絞り部遮断弁９３１は開いていない（閉じている）と判断した場合（Ｓ１０９：ＮＯ）、処理はＳ１１１に移行する。なお、Ｓ１０６の後にＳ１０９の処理に至った場合、第１供給部側絞り部遮断弁９３１は開いており、第２供給部側絞り部遮断弁９３２は閉じている。一方、Ｓ１０７の後にＳ１０９の処理に至った場合、第１供給部側絞り部遮断弁９３１は閉じており、第２供給部側絞り部遮断弁９３２は開いている。
【0054】
Ｓ１１０では、制御部１０は、第２ポンプ側絞り部遮断弁８３２を閉じ、第３ポンプ側絞り部遮断弁８３３を開き、第１供給部側絞り部遮断弁９３１を閉じ、第２供給部側絞り部遮断弁９３２を開く。これにより、チャンバ２０内の空気がポンプ間流路１１１、第３ポンプ側流路８１３、第２ポンプ側絞り８５２、ポンプ間流路１１３を経由して真空ポンプ３０に吸引されるとともに、流体供給部４０から供給部間流路１３３、第２供給部側絞り９５２、第２供給部側流路９１２、供給部間流路１３１を経由してチャンバ２０内に窒素が供給される。これにより、チャンバ２０内の圧力は、目標圧付近で安定する。Ｓ１１０の後、処理はＳ１２０に移行する。
【0055】
Ｓ１１１では、制御部１０は、第２ポンプ側絞り部遮断弁８３２を閉じ、第３ポンプ側絞り部遮断弁８３３を開く。これにより、チャンバ２０内の空気がポンプ間流路１１１、第３ポンプ側流路８１３、第２ポンプ側絞り８５２、ポンプ間流路１１３を経由して真空ポンプ３０に吸引されるとともに、流体供給部４０から供給部間流路１３３、第２供給部側絞り９５２、第２供給部側流路９１２、供給部間流路１３１を経由してチャンバ２０内に窒素が供給される。これにより、チャンバ２０内の圧力は、目標圧付近で安定する。Ｓ１１１の後、処理はＳ１２０に移行する。
【0056】
Ｓ１２０では、制御部１０は、コイル２のピンホール検査のために待機する。ここで、検査の作業者は、コイル２に電圧を印加し、放電の有無を確認することでピンホール検査を実施する。コイル２の検査の完了後、処理はＳ１２１に移行する。
【0057】
Ｓ１２１では、制御部１０は、ポンプ側遮断弁５０および第３ポンプ側絞り部遮断弁８３３を閉じ、供給部側遮断弁６０および第２供給部側絞り部遮断弁９３２を閉じ、大気側遮断弁７０を開き、真空ポンプ３０の作動を停止する。これにより、チャンバ２０内の圧力が大気に開放される。Ｓ１２１の後、制御部１０は、一連の処理Ｓ１００を終了する。
【0058】
Ｓ１００の終了後、作業者は、チャンバ２０の蓋を開け、検査済のコイル２を取り出し、次の検査対象であるコイル２をチャンバ２０内に配置する。以降、上記と同様にコイル２のピンホール検査を繰り返し実施する。
【0059】
本実施形態では、ポンプ側遮断弁５０、供給部側遮断弁６０、ポンプ側絞り部遮断弁８３（第１ポンプ側絞り部遮断弁８３１、第２ポンプ側絞り部遮断弁８３２、第３ポンプ側絞り部遮断弁８３３）および供給部側絞り部遮断弁９３（第１供給部側絞り部遮断弁９３１、第２供給部側絞り部遮断弁９３２）は、システム構成時に１度調整するのみで、制御部１０により流量（開度）調整する制御機能は有していない。また、第１ポンプ側絞り８５１、第２ポンプ側絞り８５２、第１供給部側絞り９５１、第２供給部側絞り９５２は、Ｓ１０６においてチャンバ２０内の圧力が上昇し、Ｓ１０７においてチャンバ２０内の圧力が低下し、Ｓ１１０、Ｓ１１１においてチャンバ２０内の圧力が目標圧付近で安定するよう、それぞれの絞り径が予め設定されている。
【0060】
次に、真空装置１の制御部１０の制御による作動例（パターン１、パターン２）について図３に基づき説明する。
【0061】
時刻ｔ０では、大気側遮断弁７０が開き、ポンプ側遮断弁５０、供給部側遮断弁６０、ポンプ側絞り部遮断弁８３（第１ポンプ側絞り部遮断弁８３１、第２ポンプ側絞り部遮断弁８３２、第３ポンプ側絞り部遮断弁８３３）および供給部側絞り部遮断弁９３（第１供給部側絞り部遮断弁９３１、第２供給部側絞り部遮断弁９３２）が閉じた状態で、真空ポンプ３０が作動しているため、チャンバ２０内の圧力は大気圧と同じである。
【0062】
時刻ｔ１で大気側遮断弁７０が閉じ、ポンプ側遮断弁５０および第１ポンプ側絞り部遮断弁８３１が開くと、その後、チャンバ２０内の圧力は高速で低下する。
【0063】
パターン１では、時刻ｔ１から所定時間経過後の時刻ｔ２において、チャンバ２０内の圧力が目標圧より低くなっている。時刻ｔ２で第１ポンプ側絞り部遮断弁８３１が閉じ、第２ポンプ側絞り部遮断弁８３２が開き、第１供給部側絞り部遮断弁９３１が開くと、その後、チャンバ２０内の圧力は徐々に上昇する。
【0064】
一方、パターン２では、時刻ｔ１から所定時間経過後の時刻ｔ２において、チャンバ２０内の圧力が目標圧以上になっている。時刻ｔ２で第１ポンプ側絞り部遮断弁８３１が閉じ、第２ポンプ側絞り部遮断弁８３２が開き、第２供給部側絞り部遮断弁９３２が開くと、その後、チャンバ２０内の圧力は徐々に低下する。
【0065】
＜６＞時刻ｔ３でチャンバ２０内の圧力が目標圧になると、第２ポンプ側絞り部遮断弁８３２が閉じ、第３ポンプ側絞り部遮断弁８３３が開き、第１供給部側絞り部遮断弁９３１が閉じ、第２供給部側絞り部遮断弁９３２が開くと、その後、チャンバ２０内の圧力は、目標圧付近で安定する。
【0066】
時刻ｔ３以降、コイル２のピンホール検査が実施される。コイル２の検査が完了すると、時刻ｔ４で第３ポンプ側絞り部遮断弁８３３および第２供給部側絞り部遮断弁９３２が閉じ、大気側遮断弁７０が開く。その後、チャンバ２０内の圧力が大気に開放される。
【0067】
図３に示すように、時刻ｔ１において大気圧と同じであったチャンバ２０内の圧力は、短時間（時刻ｔ１～ｔ３）で目標圧に達している。また、コイル２の検査中（時刻ｔ３～ｔ４）、チャンバ２０内の真空度は低真空領域で安定している。
【0068】
以上説明したように、＜１＞本実施形態では、ポンプ側絞り部８０は、３つのポンプ側流路８１、ポンプ側絞り部遮断弁８３、および、ポンプ側絞り８５を有している。ポンプ側流路８１は、チャンバ２０と真空ポンプ３０との間の流体が流通可能である。ポンプ側絞り部遮断弁８３は、３つのポンプ側流路８１のそれぞれに設けられ、開閉作動によりポンプ側流路８１における流体の流通を許容または遮断可能である。ポンプ側絞り８５は、３つのポンプ側流路８１のうち２つに設けられ、ポンプ側流路８１における流体の流れを絞ることが可能である。
【0069】
供給部側絞り部９０は、２つの供給部側流路９１、供給部側絞り部遮断弁９３、および、供給部側絞り９５を有する。供給部側流路９１は、流体供給部４０とチャンバ２０との間の流体が流通可能である。供給部側絞り部遮断弁９３は、２つの供給部側流路９１のそれぞれに設けられ、開閉作動により供給部側流路９１における流体の流通を許容または遮断可能である。供給部側絞り９５は、２つの供給部側流路９１のそれぞれに設けられ、供給部側流路９１における流体の流れを絞ることが可能である。
【0070】
本実施形態では、上記の簡単な構成において、真空ポンプ３０を作動させながら、大気側遮断弁７０、ポンプ側絞り部遮断弁８３、供給部側絞り部遮断弁９３を単に開閉作動させるという簡単な制御で、チャンバ２０内を大気圧から高速で低真空領域（圧）に安定させることができる。
【0071】
したがって、検査対象の検査時において、大気圧からの真空引き、および、真空度安定に掛かる時間を短縮することができ、生産性を向上できる。
【0072】
また、＜２＞本実施形態は、ポンプ側遮断弁５０および供給部側遮断弁６０をさらに備える。ポンプ側遮断弁５０は、開閉作動によりチャンバ２０と真空ポンプ３０との間の流体の流通を許容または遮断可能である。供給部側遮断弁６０は、開閉作動によりチャンバ２０と流体供給部４０との間の流体の流通を許容または遮断可能である。
【0073】
ポンプ側遮断弁５０および供給部側遮断弁６０により、チャンバ２０と真空ポンプ３０との間、および、チャンバ２０と流体供給部４０との間の流体の流通をより確実に制御できる。
【0074】
また、＜３＞本実施形態では、ポンプ側流路８１は、チャンバ２０と真空ポンプ３０との間に設けられた第１ポンプ側流路８１１、チャンバ２０と真空ポンプ３０との間において第１ポンプ側流路８１１と並列に設けられた第２ポンプ側流路８１２、および、チャンバ２０と真空ポンプ３０との間において第１ポンプ側流路８１１および第２ポンプ側流路８１２と並列に設けられた第３ポンプ側流路８１３を有している。
【0075】
ポンプ側絞り部遮断弁８３は、第１ポンプ側絞り部遮断弁８３１、第２ポンプ側絞り部遮断弁、および、第３ポンプ側絞り部遮断弁を有している。第１ポンプ側絞り部遮断弁８３１は、第１ポンプ側流路８１１に設けられ、開閉作動により第１ポンプ側流路８１１における流体の流通を許容または遮断可能である。第２ポンプ側絞り部遮断弁８３２は、第２ポンプ側流路８１２に設けられ、開閉作動により第２ポンプ側流路８１２における流体の流通を許容または遮断可能である。第３ポンプ側絞り部遮断弁８３３は、第３ポンプ側流路８１３に設けられ、開閉作動により第３ポンプ側流路８１３における流体の流通を許容または遮断可能である。
【0076】
ポンプ側絞り８５は、第１ポンプ側絞り８５１、および、第２ポンプ側絞り８５２を有している。第１ポンプ側絞り８５１は、第２ポンプ側流路８１２に設けられ、所定の絞り径が設定され、第２ポンプ側流路８１２における流体の流れを絞ることが可能である。第２ポンプ側絞り８５２は、第３ポンプ側流路８１３に設けられ、第１ポンプ側絞り８５１の絞り径より小さい絞り径が設定され、第３ポンプ側流路８１３における流体の流れを絞ることが可能である。
【0077】
供給部側流路９１は、流体供給部４０とチャンバ２０との間に設けられた第１供給部側流路９１１、および、流体供給部４０とチャンバ２０との間において第１供給部側流路９１１と並列に設けられた第２供給部側流路９１２を有している。
【0078】
供給部側絞り部遮断弁９３は、第１供給部側絞り部遮断弁９３１、および、第２供給部側絞り部遮断弁９３２を有している。第１供給部側絞り部遮断弁９３１は、第１供給部側流路９１１に設けられ、開閉作動により第１供給部側流路９１１における流体の流通を許容または遮断可能である。第２供給部側絞り部遮断弁９３２は、第２供給部側流路９１２に設けられ、開閉作動により第２供給部側流路９１２における流体の流通を許容または遮断可能である。
【0079】
供給部側絞り９５は、第１供給部側絞り９５１、および、第２供給部側絞り９５２を有している。第１供給部側絞り９５１は、第１供給部側流路９１１に設けられ、所定の絞り径が設定され、第１供給部側流路９１１における流体の流れを絞ることが可能である。第２供給部側絞り９５２は、第２供給部側流路９１２に設けられ、第１供給部側絞り９５１の絞り径より小さい絞り径が設定され、第２供給部側流路９１２における流体の流れを絞ることが可能である。
【0080】
本実施形態は、ポンプ側絞り部８０および供給部側絞り部９０の具体的な構成について示すものである。
【0081】
また、＜４＞本実施形態は、制御部１０をさらに備える。制御部１０は、真空計１７により検出した圧力に基づき、真空ポンプ３０、大気側遮断弁７０、ポンプ側絞り部遮断弁８３、供給部側絞り部遮断弁９３の作動を制御可能である。
【0082】
制御部１０により、自動で、チャンバ２０内を大気圧から高速で低真空領域に安定させることができる。
【0083】
また、＜５＞本実施形態では、制御部１０は、大気側遮断弁７０を開いた状態、かつ、ポンプ側絞り部遮断弁８３および供給部側絞り部遮断弁９３を閉じた状態で、真空ポンプ３０を作動させ、大気側遮断弁７０を閉じ、第１ポンプ側絞り部遮断弁８３１を開く。
【0084】
制御部１０は、大気側遮断弁７０を閉じてから所定時間経過後の時点であるタイマ時間到達時点において、真空計１７により検出した圧力が目標圧より低い場合、第１ポンプ側絞り部遮断弁８３１を閉じ、第２ポンプ側絞り部遮断弁８３２を開き、第１供給部側絞り部遮断弁９３１を開く。
【0085】
制御部１０は、タイマ時間到達時点において、真空計１７により検出した圧力が目標圧以上の場合、第１ポンプ側絞り部遮断弁８３１を閉じ、第２ポンプ側絞り部遮断弁８３２を開き、第２供給部側絞り部遮断弁９３２を開く。
【0086】
制御部１０は、タイマ時間到達時点の後、真空計１７により検出した圧力が目標圧になった時点である目標圧到達時点において、第１供給部側絞り部遮断弁９３１が開いていた場合、第２ポンプ側絞り部遮断弁８３２を閉じ、第３ポンプ側絞り部遮断弁８３３を開き、第１供給部側絞り部遮断弁９３１を閉じ、第２供給部側絞り部遮断弁９３２を開く。
【0087】
制御部１０は、目標圧到達時点において、第１供給部側絞り部遮断弁９３１が閉じていた場合、第２ポンプ側絞り部遮断弁８３２を閉じ、第３ポンプ側絞り部遮断弁８３３を開く。
【0088】
制御部１０による大気側遮断弁７０、ポンプ側絞り部遮断弁８３および供給部側絞り部遮断弁９３の単純な開閉制御により、チャンバ２０内を大気圧から高速で低真空領域に安定させることができる。
【0089】
また、＜６＞本実施形態では、第３ポンプ側絞り部遮断弁８３３および第２供給部側絞り部遮断弁９３２が開いた状態でチャンバ２０内の圧力が目標圧付近で安定している。
【0090】
本実施形態では、第３ポンプ側絞り部遮断弁８３３および第２供給部側絞り部遮断弁９３２をシステム構成時に１度調整しておくことで、検査中、流量調整等の複雑な制御を行うことなく、第３ポンプ側絞り部遮断弁８３３および第２供給部側絞り部遮断弁９３２が開いた状態でチャンバ２０内の圧力を目標圧付近に安定させることができる。
【0091】
（他の実施形態）
他の実施形態では、ポンプ側流路およびポンプ側絞り部遮断弁は、４つ以上設けられていてもよい。また、ポンプ側絞りは、３つ以上のポンプ側流路の少なくとも２つに設けられるのであれば、いくつ設けられていてもよい。また、供給部側流路、供給部側絞り部遮断弁および供給部側絞りは、３つ以上設けられていてもよい。
他の実施形態では、ポンプ側流路およびポンプ側絞り部遮断弁は、４つ以上設けられていてもよい。また、ポンプ側絞りは、３つ以上のポンプ側流路の少なくとも２つに設けられるのであれば、いくつ設けられていてもよい。また、供給部側流路、供給部側絞り部遮断弁および供給部側絞りは、３つ以上設けられていてもよい。
【0092】
また、他の実施形態では、ポンプ側遮断弁および供給部側遮断弁を備えていなくてもよい。この場合でも、大気側遮断弁、ポンプ側絞り部遮断弁および供給部側絞り部遮断弁を単に開閉作動させることで、チャンバ内を大気圧から高速で低真空領域に安定させることができる。
【0093】
また、他の実施形態では、制御部を備えていなくてもよい。この場合でも、例えば作業者が、真空計により検出した圧力に基づき、ポンプ側絞り部遮断弁等を単に開閉操作することにより、手動で、チャンバ内を大気圧から高速で低真空領域に安定させることができる。
【0094】
また、上述の実施形態では、流体供給部がチャンバ内に供給する「流体」が「窒素」である例を示した。これに対し、他の実施形態では、流体供給部がチャンバ内に供給する「流体」は、例えば空気等、窒素以外の流体（気体）であってもよい。
【0095】
また、真空装置による検査対象としては、モータ製品に用いられるコイルに限らず、絶縁被膜により覆われた導体等を想定できる。
【0096】
このように、本開示は、上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の形態で実施可能である。
【0097】
本開示に記載の制御部及びその手法は、コンピュータプログラムにより具体化された一つ乃至は複数の機能を実行するようにプログラムされたプロセッサ及びメモリを構成することによって提供された専用コンピュータにより、実現されてもよい。あるいは、本開示に記載の制御部及びその手法は、一つ以上の専用ハードウェア論理回路によってプロセッサを構成することによって提供された専用コンピュータにより、実現されてもよい。もしくは、本開示に記載の制御部及びその手法は、一つ乃至は複数の機能を実行するようにプログラムされたプロセッサ及びメモリと一つ以上のハードウェア論理回路によって構成されたプロセッサとの組み合わせにより構成された一つ以上の専用コンピュータにより、実現されてもよい。また、コンピュータプログラムは、コンピュータにより実行されるインストラクションとして、コンピュータ読み取り可能な非遷移有形記録媒体に記憶されていてもよい。
【符号の説明】
【0098】
１ 真空装置、２ コイル（検査対象）、１７ 真空計、２０ チャンバ、３０ 真空ポンプ、４０ 流体供給部、７０ 大気側遮断弁、８０ ポンプ側絞り部、８１ ポンプ側流路、８３ ポンプ側絞り部遮断弁、８５ ポンプ側絞り、９０ 供給部側絞り部、９１ 供給部側流路、９３ 供給部側絞り部遮断弁、９５ 供給部側絞り
【図1】
【図2】
【図3】