特開 2024-146496 光学素子、レンズユニットおよびカメラモジュール

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024146496

(43)【公開日】2024-10-15

(54)【発明の名称】光学素子、レンズユニットおよびカメラモジュール

(51)【国際特許分類】

   G02B 1/14 20150101AFI20241004BHJP

   G02B 3/00 20060101ALI20241004BHJP

   G02B 1/11 20150101ALI20241004BHJP

   G02B 7/02 20210101ALI20241004BHJP

【ＦＩ】

G02B1/14

G02B3/00 Z

G02B1/11

G02B7/02 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023059440

(22)【出願日】2023-03-31

(71)【出願人】

【識別番号】000232302

【氏名又は名称】ニデック株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100138689

【弁理士】

【氏名又は名称】梶原 慶

(72)【発明者】

【氏名】杉本 建

(72)【発明者】

【氏名】加本 貴則

(72)【発明者】

【氏名】西川 昌之

(72)【発明者】

【氏名】中川 小百合

(72)【発明者】

【氏名】ダマスコ・ティ ジェニファー トレス

(72)【発明者】

【氏名】山本 明典

(72)【発明者】

【氏名】川上 政孝

【テーマコード（参考）】

2H044

2K009

【Ｆターム（参考）】

2H044AA10

2K009AA02

2K009AA15

2K009BB11

(57)【要約】

【課題】光学素子において、耐久性が向上するとともに光学特性の低下を抑制する。
【解決手段】
光学素子１０は、光軸Ｌｘを有する。光学素子１０は、プラスチックレンズ１１と、ハードコート層１２と、反射防止膜１３とを備える。ハードコート層１２は、プラスチックレンズ１１と反射防止膜１３との間に位置する。反射防止膜１３は、プラスチックレンズ１１の少なくとも一方の面側に配置される。ハードコート層１２の光軸Ｌｘにおける厚さＬｘ１は、２μｍ以上２０μｍ以下である。
【選択図】図１Ｂ

【特許請求の範囲】

【請求項1】

光軸を有する光学素子であって、
プラスチックレンズと、
前記プラスチックレンズの少なくとも一方の面側に配置された反射防止膜と、
前記プラスチックレンズと前記反射防止膜との間に位置するハードコート層と
を備え、
前記ハードコート層の前記光軸における厚さは、２μｍ以上２０μｍ以下である、光学素子。

【請求項2】

前記ハードコート層の最小厚さは、２μｍ以上であり
前記ハードコート層の最大厚さは、２０μｍ以下である、請求項１に記載の光学素子。

【請求項3】

前記ハードコート層の弾性率は、５ＧＰａ以上１２ＧＰａ以下である、請求項１または２に記載の光学素子。

【請求項4】

前記プラスチックレンズの熱膨張係数は、６０ｐｐｍ／Ｋ以上１５０ｐｐｍ／Ｋ以下である、請求項１または２に記載の光学素子。

【請求項5】

前記反射防止膜の熱膨張係数は、１ｐｐｍ／Ｋ以上１０ｐｐｍ／Ｋ以下である、請求項１または２に記載の光学素子。

【請求項6】

前記プラスチックレンズの熱膨張係数は、６０ｐｐｍ／Ｋ以上１００ｐｐｍ／Ｋ以下であり、
前記反射防止膜の熱膨張係数は、５ｐｐｍ／Ｋ以上１０ｐｐｍ／Ｋ以下である、請求項１または２に記載の光学素子。

【請求項7】

前記ハードコート層の前記光軸における厚さと外縁の厚さとの差は、１５μｍ以下である、請求項１または２に記載の光学素子。

【請求項8】

複数のレンズと、
前記複数のレンズを収容する収容部材と
を備える、レンズユニットであって、
前記複数のレンズは、前記収容部材の開口から順番に配置され、
前記複数のレンズのうち前記収容部材の開口側に位置する最外レンズは、請求項１または２に記載の光学素子である、レンズユニット。

【請求項9】

前記最外レンズの外縁を遮光する遮光部材をさらに備える、請求項８に記載のレンズユニット。

【請求項10】

前記遮光部材は、前記収容部材と単一の部材である、請求項９に記載のレンズユニット。

【請求項11】

請求項８に記載のレンズユニットと、
撮像素子と
を備える、カメラモジュール。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光学素子、レンズユニットおよびカメラモジュールに関する。

【背景技術】

【0002】

光を透過するプラスチックレンズ基材を保護するために、プラスチックレンズ基材よりも硬いハードコート層でプラスチックレンズ基材を被覆するとともに、ハードコート層の表面に光の反射を防止する反射防止層を設けることが知られている（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

特許文献１には、プラスチックレンズ基材を被覆するハードコート層の上に反射防止層を備えたプラスチックレンズを眼鏡レンズとして用いることが記載されている。特許文献１のプラスチックレンズでは、反射防止層が、二酸化珪素（ＳｉＯ₂）からなる低屈折率膜と、四窒化三珪素（Ｓｉ₃Ｎ₄）からなる高屈折率膜とが交互に積層された多層膜であり、反射防止層の低屈折率膜および高屈折率膜を特定の膜厚に設定することにより、プラスチックレンズの耐久品質を向上させている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００８－７６５９８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１のプラスチックレンズでも、周囲環境に起因して反射防止層が剥離したりハードコート層が損傷したりして、光学素子の耐久性が低下するおそれがある。一方で、プラスチックレンズにおいて、ハードコート層が厚くなると、耐久性の低下は抑制できるが、光学的な歪みが生じて光学特性が低下するおそれがある。

【0006】

本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、耐久性が向上するとともに光学特性の低下を抑制可能な光学素子、レンズユニットおよびカメラモジュールを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の例示的な光学素子は、光軸を有する光学素子であって、プラスチックレンズと、前記プラスチックレンズの少なくとも一方の面側に配置された反射防止膜と、前記プラスチックレンズと前記反射防止膜との間に位置するハードコート層とを備える。前記ハードコート層の前記光軸における厚さは、２μｍ以上２０μｍ以下である。

【0008】

本発明の例示的なレンズユニットは、複数のレンズと、前記複数のレンズを収容する収容部材とを備える。前記複数のレンズは、前記収容部材の開口から順番に配置され、前記複数のレンズのうち前記収容部材の開口側に位置する最外レンズは、上記に記載の光学素子である。

【0009】

本発明の例示的なカメラモジュールは、上記に記載のレンズユニットと、撮像素子とを備える。

【発明の効果】

【0010】

例示的な本発明は、耐久性が向上するとともに光学特性の低下を抑制可能な光学素子、レンズユニットおよびカメラモジュールを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1A】図１Ａは、本実施形態に係る光学素子の一例の模式図である。

【図1B】図１Ｂは、図１Ａの一部拡大図である。

【図2A】図２Ａは、本実施形態に係るカメラモジュールの模式図である。

【図2B】図２Ｂは、図２Ａの一部拡大図である。

【図3A】図３Ａは、本実施形態に係るカメラモジュールの模式図である。

【図3B】図３Ｂは、図３Ａの一部拡大図である。

【図4A】図４Ａは、本実施形態に係るカメラモジュールの分解図である。

【図4B】図４Ｂは、本実施形態に係るカメラモジュールの作製過程の模式図である。

【図4C】図４Ｃは、本実施形態に係るカメラモジュールを示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、図面を適宜参照しながら本発明の実施形態の光学素子、レンズユニットおよびカメラモジュールを説明する。なお、図中、同一または相当部分には同一の参照符号を付して説明を繰り返さない。図中の寸法、形状および構成要素間の大小関係は、実際の寸法、形状および構成要素間の大小関係とは必ずしも同一ではない。特に、図中の反射防止膜、ハードコート層およびプラスチックレンズの厚さは、実際の反射防止膜、ハードコート層およびプラスチックレンズの厚さと大きく異なることがある。なお、本明細書において、光学素子の各部位の「厚さ」は、光学素子の光軸方向に平行な長さを示す。

【0013】

以下、図１Ａおよび図１Ｂを参照して、本実施形態に係る光学素子１０を説明する。図１Ａは、本実施形態に係る光学素子１０の模式図である。図１Ｂは、図１Ａの一部拡大図である。

【0014】

図１Ａおよび図１Ｂに示すように、光学素子１０は、曲面形状を有する。典型的には、光学素子１０は、球面形状を有する。光学素子１０は、中心軸を中心とした球面形状を有する。

【0015】

光学素子１０は、光軸Ｌｘを有する。光軸Ｌｘは、光学素子１０の曲面形状の中心を通過する。光学素子１０は、光軸Ｌｘを中心とした対称構造を有する。典型的には、光学素子１０は、光軸Ｌｘを中心とした回転対称構造を有する。光学素子１０には、光軸Ｌｘに沿った方向から光が入射する。

【0016】

光学素子１０は、プラスチックレンズ１１と、ハードコート層１２と、反射防止膜１３とを備える。プラスチックレンズ１１、ハードコート層１２および反射防止膜１３は、この順番に積層される。典型的には、プラスチックレンズ１１、ハードコート層１２および反射防止膜１３は、この順番に密着して配置される。

【0017】

［プラスチックレンズ１１］
プラスチックレンズ１１は、光を透過する。例えば、プラスチックレンズ１１は、透明である。また、プラスチックレンズ１１は、半透明であってもよく、透光性を有してもよい。

【0018】

典型的には、プラスチックレンズ１１は、樹脂製である。プラスチックレンズ１１は、単一部材から構成されてもよい。例えば、プラスチックレンズ１１は、環構造として環状イミド構造を有する樹脂を含む。このような樹脂の一例として、旭化成株式会社製のＡＺＰ、株式会社日本触媒製のＲＭ－１０４、ＲＭ－２５０、ＲＭ－１００－Ｚなどが挙げられる。

【0019】

プラスチックレンズ１１は、曲面形状を有する。典型的には、プラスチックレンズ１１は、球面形状を有する。なお、プラスチックレンズ１１の少なくとも一方の面は、凸面または凹面であってもよい。プラスチックレンズ１１が凸面、または凹面を有する場合、プラスチックレンズ１１は、レンズ（具体的には、例えば、両凸レンズ、平凸レンズ、凸メニスカスレンズおよび凹メニスカスレンズ）として機能する。

【0020】

プラスチックレンズ１１は、凸面を有してもよい。例えば、プラスチックレンズ１１の曲率半径は、９ｍｍ以上１６ｍｍ以下である。

【0021】

プラスチックレンズ１１の熱膨張係数は、６０ｐｐｍ／Ｋ以上１５０ｐｐｍ／Ｋ以下であることが好ましい。これにより、プラスチックレンズ１１と反射防止膜１３との間の熱応力の影響を抑制できる。

【0022】

［ハードコート層１２］
ハードコート層１２は、プラスチックレンズ１１を被覆する。例えば、ハードコート層１２は、プラスチックレンズ１１の光軸Ｌｘの延びる方向において物体側に位置する一方側の面を被覆する。ハードコート層１２は、プラスチックレンズ１１よりも高い硬度を有する。ハードコート層１２は、プラスチックレンズ１１に耐擦傷性を付与するとともに、プラスチックレンズ１１と反射防止膜１３との密着性を向上させる。

【0023】

ハードコート層１２は、光を透過する。例えば、ハードコート層１２は、透明である。また、ハードコート層１２は、半透明であってもよく、透光性を有してもよい。

【0024】

ハードコート層１２は、ベース層を有してもよい。典型的には、ベース層は、有機材料層または有機ケイ素化合物層を含む。また、ハードコート層１２において、ベース層には、金属酸化物微粒子が分散されてもよい。

【0025】

ハードコート層１２の弾性率は、５ＧＰａ以上１２ＧＰａ以下であることが好ましい。ハードコート層１２の弾性率が５ＧＰａ以上であることにより、プラスチックレンズ１１が損傷することを抑制できる。また、ハードコート層１２の弾性率が１２ＧＰａ以下であることにより、温度変化に起因してハードコート層１２にクラックが発生することを抑制できる。

【0026】

典型的には、ハードコート層１２は、プラスチックレンズ１１の表面に付着した成分液を乾燥させた後、紫外線等の電磁波または電子ビームで成分液の膜を硬化させることによって形成できる。なお、成分液を乾燥させる際に、成分液を加熱してもよい。

【0027】

一例では、ハードコート層１２は、スピンコート法によって形成してもよい。この場合、所定の回転速度で回転するプラスチックレンズ１１上に、ハードコート層１２の成分液を吐出し、ハードコート層１２の成分液に対して、紫外線等の電磁波または電子ビームで成分液を硬化させて形成する。

【0028】

あるいは、ハードコート層１２は、ディッピング法によって形成してもよい。この場合、プラスチックレンズ１１をハードコート層１２の成分液に浸漬させた後、所定の回転速度で回転するプラスチックレンズ１１上のハードコート層１２の成分液に対して、紫外線等の電磁波または電子ビームで成分液を硬化させて形成する。

【0029】

なお、プラスチックレンズ１１を回転させながらプラスチックレンズ１１の表面にハードコート層１２を形成する場合、ハードコート層１２の厚さは、光軸Ｌｘからの距離に応じて異なる。典型的には、ハードコート層１２の厚さは、光軸Ｌｘからの距離が大きくなるにつれて小さくなる。

【0030】

［反射防止膜１３］
反射防止膜１３は、ハードコート層１２を被覆する。例えば、反射防止膜１３は、ハードコート層１２の空気側を被覆する。反射防止膜１３は、反射防止膜１３に入射する光が反射することを抑制する。反射防止膜１３により、プラスチックレンズ１１に入射する方向に進行する光の少なくとも一部がプラスチックレンズ１１の表面側で反射することが抑制される。例えば、反射防止膜１３により、プラスチックレンズ１１に入射する方向に進行する可視光がプラスチックレンズ１１の表面側で反射することが抑制される。

【0031】

反射防止膜１３は、光を透過する。例えば、反射防止膜１３は、透明である。また、反射防止膜１３は、半透明であってもよく、透光性を有してもよい。

【0032】

反射防止膜１３の厚さは、１００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下である。反射防止膜１３の厚さは、２００ｎｍ以上９００ｎｍ以下であってもよく、３００ｎｍ以上８００ｎｍ以下であってもよい。

【0033】

反射防止膜１３の熱膨張係数は、１ｐｐｍ／Ｋ以上１０ｐｐｍ／Ｋ以下であることが好ましい。これにより、プラスチックレンズ１１と反射防止膜１３との間の熱応力の影響を抑制できる。

【0034】

反射防止膜１３は、積膜構造を有してもよい。例えば、反射防止膜１３において、組成の異なる層が積層される。

【0035】

例えば、反射防止膜１３は、無機酸化物からなる。反射防止膜１３において、無機酸化物として、例えば、酸化ケイ素、酸化チタン、チタン酸ランタン、酸化タンタル、酸化ニオブ等の金属酸化物等が挙げられる。例えば、反射防止膜１３において、複数種類の金属酸化物の層が積層される。

【0036】

例えば、反射防止膜１３は、高屈折率膜と、低屈折率膜とを有する。反射防止膜１３は、高屈折率膜と低屈折率膜とが交互に重なるように構成される。

【0037】

高屈折率膜の屈折率は、低屈折率膜の屈折率よりも高い。典型的には、可視域において、高屈折率膜の屈折率は、低屈折率膜の屈折率よりも高い。

【0038】

高屈折率膜は、四窒化三珪素（Ｓｉ₃Ｎ₄）を含む。低屈折率膜は、二酸化珪素（ＳｉＯ₂）を含む。このように、高屈折率膜が四窒化三珪素（Ｓｉ₃Ｎ₄）を含み、低屈折率膜が二酸化珪素（ＳｉＯ₂）を含むことにより、耐熱衝撃性を向上できる。

【0039】

例えば、高屈折率膜は、１．９以上である。一例では、高屈折率膜は、１．９以上２．３以下である。

【0040】

例えば、低屈折率膜の屈折率は、１．５以上１．８以下である。一例では、低屈折率膜の屈折率は、１．６以上１．７５以下である。

【0041】

高屈折率膜および低屈折率膜の厚さは、５ｎｍ以上２００ｎｍ以下である。これにより、高屈折率膜および低屈折率膜を均一に形成できるとともに、反射防止膜１３において複数の高屈折率膜および低屈折率膜を配置できる。高屈折率膜および低屈折率膜の厚さは、１０ｎｍ以上１８０ｎｍ以下であってもよく、２０ｎｍ以上１７０ｎｍ以下であってもよい。

【0042】

反射防止膜１３は、可視域の光を透過する一方で、紫外域の光を反射することが好ましい。反射防止膜１３において、可視光波長の平均反射率は、紫外線波長の平均反射率よりも低いことが好ましい。

【0043】

なお、プラスチックレンズ１１と反射防止膜１３との間の熱応力の影響をさらに抑制する観点から、プラスチックレンズ１１の熱膨張係数と反射防止膜１３の熱膨張係数との差は比較的小さいことが好ましい。例えば、プラスチックレンズ１１の熱膨張係数が６０ｐｐｍ／Ｋ以上１００ｐｐｍ／Ｋ以下であり、反射防止膜１３の熱膨張係数が５ｐｐｍ／Ｋ以上１０ｐｐｍ／Ｋ以下であることが好ましい。

【0044】

図１Ｂに示すように、プラスチックレンズ１１は、曲面形状を有する。ここでは、プラスチックレンズ１１の一方側の面は曲面であり、他方側の面は平面である。プラスチックレンズ１１の厚さは、光軸Ｌｘからの距離に応じて異なる。

【0045】

ハードコート層１２の厚さは、光軸Ｌｘからの距離に応じて異なる。典型的には、ハードコート層１２の厚さは、中心となる光軸Ｌｘにおいて最も大きい。また、典型的には、ハードコート層１２の厚さは、外縁において最も小さい。

【0046】

典型的には、ハードコート層１２の外縁の厚さＬｘ２は、ハードコート層１２の光軸Ｌｘにおける厚さＬｘ１よりも小さい。ただし、ハードコート層１２の光軸Ｌｘにおける厚さＬｘ１とハードコート層１２の外縁の厚さＬｘ１との差は、比較的小さいことが好ましい。例えば、ハードコート層１２の光軸Ｌｘにおける厚さＬｘ１とハードコート層１２の外縁の厚さＬｘ２との差は、１５μｍ以下であることが好ましく、６μｍ以下であることが好ましい。

【0047】

ハードコート層の光軸Ｌｘにおける厚さが小さいと、光学素子を屋外環境下に曝し、ハードコート層と反射防止膜との界面の密着性が低下した場合、反射防止膜がハードコート層から剥離したりハードコート層が損傷して光学素子の耐久性が低下することがある。

【0048】

一方で、ハードコート層の光軸Ｌｘにおける厚さが大きいと、光学素子において光学的な歪みが生じ、光学素子の光学特性が低下することがある。また、ハードコート層の光軸Ｌｘにおける厚さがさらに大きくなると、ハードコート層の膜状態が不均一となり、ハードコート層にクラックが発生することがある。

【0049】

本実施形態の光学素子１０において、ハードコート層１２の光軸Ｌｘにおける厚さＬｘ１が２μｍ以上であることにより、光学素子１０を屋外環境下に曝しても、高光量の光が透過する光軸Ｌｘにおいて反射防止膜１３がハードコート層１２から剥離したりハードコート層１２が損傷して光学素子１０の耐久性が低下することを抑制できる。また、本実施形態の光学素子１０において、ハードコート層１２の光軸Ｌｘにおける厚さＬｘ１が２０μｍ以下であることにより、高光量の光が透過する光軸Ｌｘにおいて光学素子１０の光学特性が低下することを抑制できる。

【0050】

本実施形態の光学素子１０は、ハードコート層１２の光軸Ｌｘにおける厚さＬｘ１は、２μｍ以上２０μｍ以下である。ハードコート層１２おいて光軸Ｌｘにおける厚さＬｘ１が２μｍ以上であることにより、光学素子１０の高光量の光が透過する光軸Ｌｘにおいて、光学素子１０に光が照射されてもハードコート層１２から反射防止膜１３が剥離することを抑制できる。また、ハードコート層１２の光軸Ｌｘにおける厚さが２０μｍ以下であることにより、光学的な歪みの発生を抑制できるとともに、ハードコート層１２にクラックが発生することを抑制できる。

【0051】

なお、ハードコート層１２の最小厚さは、２μｍ以上であることが好ましい。これにより、光学素子１０全体の耐久性が低下することを抑制できる。

【0052】

また、ハードコート層１２の最大厚さは、２０μｍ以下であることが好ましい。これにより、光学素子１０全体の光学特性が低下することを抑制できる。

【0053】

本実施形態の光学素子１０は、光学的な歪みが比較的少なく、比較的高い耐久性を示す。このため、光学素子１０は、監視カメラまたは車載カメラに好適に用いられる。監視カメラまたは車載カメラが屋外環境下で長時間にわたって用いられる場合でも、光学素子１０を継続して使用できる。

【0054】

本実施形態において、光学素子１０は、光軸Ｌｘを有する。光学素子１０は、プラスチックレンズ１１と、ハードコート層１２と、反射防止膜１３とを備える。ハードコート層１２は、プラスチックレンズ１１と反射防止膜１３との間に位置する。反射防止膜１３は、プラスチックレンズ１１の少なくとも一方の面側に配置される。ハードコート層１２の光軸Ｌｘにおける厚さＬｘ１は、２μｍ以上２０μｍ以下である。

【0055】

ハードコート層１２の光軸Ｌｘにおける厚さＬｘ１が２μｍ以上であることにより、光学素子１０の光軸Ｌｘにおいて、光学素子１０に紫外線が照射されてもハードコート層１２から反射防止膜１３が剥離することを抑制できる。また、ハードコート層１２の光軸Ｌｘにおける厚さＬｘ１が２０μｍ以下であることにより、光学的な歪みの発生を抑制できるとともに、ハードコート層１２にクラックが発生することを抑制できる。

【0056】

一般に、光学素子を屋外環境下において紫外線が照射されると、ハードコート層の表面において劣化が起こりハードコート層と反射防止膜との界面の密着性が低下することがある。これに対して、ハードコート層１２の光軸Ｌｘにおける厚さＬｘ１が２μｍ以上であることにより、光学素子１０に光が照射されてもハードコート層１２から反射防止膜１３の剥離およびハードコート層１２の損失を抑制できる。これにより、耐候性が優れ、かつ、光学特性の低下が抑制された光学素子１０を提供できる。

【0057】

ハードコート層１２の最小厚さは、２μｍ以上であり、ハードコート層１２の最大厚さは、２０μｍ以下である。ハードコート層１２の最小厚さが２μｍ以上であることにより、光学素子１０に光が照射されても反射防止膜１３が剥離することを抑制できる。また、ハードコート層１２の最大厚さが２０μｍ以下であることにより、光学的な歪みの発生を抑制できるとともに、ハードコート層１２にクラックが発生することを抑制できる。

【0058】

ハードコート層１２の弾性率は、５ＧＰａ以上１２ＧＰａ以下である。ハードコート層１２の弾性率が５ＧＰａ以上であることにより、プラスチックレンズ１１が傷つくことを抑制できる。また、ハードコート層１２の弾性率が１２ＧＰａ以下であることにより、熱応力に起因してハードコート層１２にクラックが発生することを抑制できる。

【0059】

プラスチックレンズ１１の熱膨張係数は、６０ｐｐｍ／Ｋ以上１５０ｐｐｍ／Ｋ以下である。プラスチックレンズ１１の熱膨張係数が６０ｐｐｍ／Ｋ以上１５０ｐｐｍ／Ｋであることにより、プラスチックレンズ１１と反射防止膜１３との間の熱応力の影響を低減できる。

【0060】

反射防止膜１３の熱膨張係数は、１ｐｐｍ／Ｋ以上１０ｐｐｍ／Ｋ以下である。反射防止膜１３の熱膨張係数が１ｐｐｍ／Ｋ以上１０ｐｐｍ／Ｋ以下であることにより、プラスチックレンズ１１と反射防止膜１３との間の熱応力の影響を低減できる。

【0061】

プラスチックレンズ１１の熱膨張係数は、６０ｐｐｍ／Ｋ以上１００ｐｐｍ／Ｋ以下であり、反射防止膜１３の熱膨張係数は、５ｐｐｍ／Ｋ以上１０ｐｐｍ／Ｋ以下である。プラスチックレンズ１１の熱膨張係数は、６０ｐｐｍ／Ｋ以上１００ｐｐｍ／Ｋ以下であり、反射防止膜１３の熱膨張係数が５ｐｐｍ／Ｋ以上１０ｐｐｍ／Ｋ以下であることにより、プラスチックレンズ１１と反射防止膜１３との間の熱応力の影響をさらに低減できる。

【0062】

ハードコート層１２の光軸Ｌｘにおける厚さＬｘ１と外縁の厚さＬｘ２との差は、１５μｍ以下である。ハードコート層１２の光軸Ｌｘにおける厚さＬｘ１と外縁の厚さＬｘ２との差が１５μｍ以下であることにより、プラスチックレンズ１１の表面にハードコート層１２の成分液を所定の速度で回転させながら比較的薄いハードコート層１２を好適に形成できる。

【0063】

なお、図１Ａおよび図１Ｂに示した光学素子１０では、プラスチックレンズ１１の一方の面側に、ハードコート層１２および反射防止膜１３が配置されたが、本実施形態はこれに限定されない。プラスチックレンズ１１の両面側に、ハードコート層１２および反射防止膜１３が配置されてもよい。

【0064】

次に、図１Ａ、図１Ｂ、図２Ａおよび図２Ｂを参照して本実施形態に係るカメラモジュール２００を説明する。図２Ａは、本実施形態に係るカメラモジュール２００の一例を示す模式図であり、図２Ｂは、図２Ａの一部拡大部である。カメラモジュール２００は、周囲を撮像する。

【0065】

図２Ａに示すように、カメラモジュール２００は、レンズユニット１００と、撮像素子２１０とを備える。撮像素子２１０は、レンズユニット１００を透過する光を受光して周囲を撮像する。

【0066】

レンズユニット１００は、複数のレンズ１１０を備える。複数のレンズ１１０のうちの少なくとも１つのレンズは、光学素子１０である。

【0067】

複数のレンズ１１０は、第１レンズ１１０ａ、第２レンズ１１０ｂ、第３レンズ１１０ｃ、第４レンズ１１０ｄおよび第５レンズ１１０ｅを含む。第１レンズ１１０ａ、第２レンズ１１０ｂ、第３レンズ１１０ｃ、第４レンズ１１０ｄおよび第５レンズ１１０ｅは、物体側から像側に向かって順に配置されている。

【0068】

例えば、第１レンズ１１０ａは、上述した光学素子１０である。すなわち、第１レンズ１１０ａは、上述したプラスチックレンズ１１と、ハードコート層１２と、反射防止膜１３とを備える。

【0069】

レンズユニット１００は、収容部材１２０と、固定部材１２２と、フィルタ１３０と、封止部材１４０とをさらに備える。収容部材１２０は、筒状である。典型的には、収容部材１２０は、円筒状である。なお、収容部材１２０の内周面には凹凸が設けられてもよい。

【0070】

収容部材１２０は、複数のレンズ１１０およびフィルタ１３０を収容する。収容部材１２０は、光を透過しない部材から形成される。例えば、収容部材１２０は、可視光および紫外線を透過しない部材から形成される。

【0071】

固定部材１２２は、複数のレンズ１１０のうちの少なくとも１つのレンズを収容部材１２０に固定する。固定部材１２２は、光軸Ｌｘに対して直交する方向に収容部材１２０を貫通して少なくとも１つのレンズを収容部材１２０に固定する。

【0072】

第１レンズ１１０ａ、第２レンズ１１０ｂ、第３レンズ１１０ｃ、第４レンズ１１０ｄおよび第５レンズ１１０ｅは、収容部材１２０に設置される。第１レンズ１１０ａ、第２レンズ１１０ｂ、第３レンズ１１０ｃ、第４レンズ１１０ｄおよび第５レンズ１１０ｅの少なくとも１つのレンズの少なくとも一部が収容部材１２０から露出して配置されてもよい。例えば、第１レンズ１１０ａは、少なくとも一部が収容部材１２０から露出して配置され、他の第２レンズ１１０ｂ、第３レンズ１１０ｃ、第４レンズ１１０ｄおよび第５レンズ１１０ｅは、収容部材１２０内に配置される。

【0073】

ここでは、第１レンズ１１０ａの直径は、第２レンズ１１０ｂ、第３レンズ１１０ｃ、第４レンズ１１０ｄおよび第５レンズ１１０ｅのそれぞれの直径よりも大きい。また、第５レンズ１１０ｅの直径は、第２レンズ１１０ｂ、第３レンズ１１０ｃおよび第４レンズ１１０ｄのそれぞれの直径よりも大きい。

【0074】

固定部材１２２は、第１レンズ１１０ａを収容部材１２０に固定する。固定部材１２２は、第１レンズ１１０ａのコバ面を押圧して第１レンズ１１０ａを収容部材１２０に固定する。

【0075】

フィルタ１３０は、円盤状である。フィルタ１３０は、入射する光を選択的に透過する。例えば、フィルタ１３０は、入射する光のうちの特定の波長の光を選択的に透過する。ここでは、フィルタ１３０は、収容部材１２０に配置される。例えば、図２Ａに示すように、撮像素子２１０は、レンズユニット１００の外に配置される。

【0076】

フィルタ１３０は、第５レンズ１１０ｅに対して像側に配置される。フィルタ１３０により、撮像素子２１０に到達する光の波長を選択できる。撮像素子２１０は、照射された光を電気信号に変換する光電変換素子である。撮像素子２１０は、例えばＣＭＯＳイメージセンサやＣＣＤイメージセンサである。ただし、撮像素子２１０は、これらに限定されるものではない。撮像素子２１０は、複数のレンズ１１０によって結像された被写体の像を撮像する。なお、撮像素子２１０は、フィルタ１３０（レンズユニット１００）に対して像側に配置されてもよい。

【0077】

第１レンズ１１０ａは、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズである。本実施形態において、第１レンズ１１０ａの凸面からなる物体側の面は球面であり、凹面からなる像側の面は非球面である。

【0078】

第２レンズ１１０ｂ、第３レンズ１１０ｃ、第４レンズ１１０ｄおよび第５レンズ１１０ｅは、樹脂（プラスチックレンズ）であってもよく、ガラスであってもよい。

【0079】

第２レンズ１１０ｂ、第３レンズ１１０ｃ、第４レンズ１１０ｄおよび第５レンズ１１０ｅは、両凸レンズ、平凸レンズ、凸メニスカスレンズおよび凹メニスカスレンズのいずれであってもよい。

【0080】

上述したように、レンズユニット１００が複数のレンズ１１０を備え、複数のレンズ１１０の少なくとも１つのレンズが光学素子１０であることにより、レンズユニット１００内のレンズ１１０の劣化を抑制できる。

【0081】

また、上述したプラスチックレンズ１１、ハードコート層１２および反射防止膜１３を備える第１レンズ１１０ａが収容部材１２０から露出して配置され、残りのレンズ（第２レンズ１１０ｂ、第３レンズ１１０ｃ、第４レンズ１１０ｄおよび第５レンズ１１０ｅ）が収容部材１２０内に配置されることにより、耐久性の高い第１レンズ１１０ａ以外のレンズの劣化を抑制できる。

【0082】

封止部材１４０は、第１レンズ１１０ａと収容部材１２０との間で変形して第１レンズ１１０ａと収容部材１２０との間を封止する。例えば、封止部材１４０は、環状の弾性体である。一例では、封止部材１４０は、Ｏリングである。

【0083】

レンズユニット１００は、車の周囲を撮影するための車載レンズに好適に用いられる。例えば、レンズユニット１００は、車の後方または側方を撮影するための車載レンズに用いられる。

【0084】

レンズユニット１００が封止部材１４０を備えるため、外部からレンズユニット１００に水がかかっても、レンズユニット１００の内部（すなわち、収容部材１２０の内部）に水が浸入することを抑制できる。

【0085】

第１レンズ１１０ａが、上述したプラスチックレンズ１１と、ハードコート層１２と、反射防止膜１３とを備えることにより、収容部材１２０内に入射する紫外線を好適に抑制できる。このため、収容部材１２０内のレンズの劣化を抑制できる。

【0086】

例えば、第１レンズ１１０ａの直径Ｌｄは、１ｍｍ以上１００ｍｍ以下であり、２ｍｍ以上５０ｍｍ以下であってもよい。一例では、第１レンズ１１０ａの直径Ｌｄは、１３．７０ｍｍ以上１３．７５ｍｍ以下である。

【0087】

本実施形態によれば、レンズユニット１００は、複数のレンズ１１０と、複数のレンズ１１０を収容する収容部材１２０とを備える。複数のレンズ１１０は、収容部材１２０の開口から順番に配置される。複数のレンズ１１０のうち収容部材１２０の開口側に位置する最外レンズは、上記の光学素子１０である。これにより、レンズユニット１００の耐候性を向上できる。

【0088】

カメラモジュール２００は、上記に記載のレンズユニット１００と、撮像素子２１０とを備える。これにより、カメラモジュール２００の耐候性を向上できる。

【0089】

次に、図１～図３Ｂを参照して本実施形態に係るカメラモジュール２００を説明する。図３Ａは、本実施形態に係るカメラモジュール２００の一例を示す模式図であり、図３Ｂは、図３Ａの一部拡大部である。図３Ａおよび図３Ｂのカメラモジュール２００は、固定部材１２２に代えて遮光部材１５０をさらに備える点を除いて図２Ａおよび図２Ｂを参照して上述したカメラモジュール２００と同様の構成を有しており、冗長を避ける目的で重複する説明を省略する。

【0090】

図３Ａに示すように、カメラモジュール２００は、レンズユニット１００と、撮像素子２１０とを備える。レンズユニット１００は、複数のレンズ１１０を備える。複数のレンズ１１０のうちの少なくとも１つのレンズは、光学素子１０である。

【0091】

複数のレンズ１１０は、第１レンズ１１０ａ、第２レンズ１１０ｂ、第３レンズ１１０ｃ、第４レンズ１１０ｄおよび第５レンズ１１０ｅを含む。第１レンズ１１０ａ、第２レンズ１１０ｂ、第３レンズ１１０ｃ、第４レンズ１１０ｄおよび第５レンズ１１０ｅは、物体側から像側に向かって順に配置されている。

【0092】

例えば、第１レンズ１１０ａは、上述した光学素子１０である。すなわち、第１レンズ１１０ａは、上述したプラスチックレンズ１１と、ハードコート層１２と、反射防止膜１３とを備える。

【0093】

レンズユニット１００は、収容部材１２０と、フィルタ１３０と、封止部材１４０と、遮光部材１５０とをさらに備える。収容部材１２０は、筒状である。典型的には、収容部材１２０は、円筒状である。なお、収容部材１２０の内周面には凹凸が設けられてもよい。

【0094】

収容部材１２０は、複数のレンズ１１０およびフィルタ１３０を収容する。収容部材１２０は、光を透過しない部材から形成される。収容部材１２０は、可視光および紫外線を透過しない部材から形成される。

【0095】

遮光部材１５０は、第１レンズ１１０ａを遮光する。遮光部材１５０は、第１レンズ１１０ａの周縁を遮光する。遮光部材１５０は、収容部材１２０に対して光軸Ｌｘに対して直交する方向に延びる。遮光部材１５０は、第１レンズ１１０ａの周縁に沿って延びる。遮光部材１５０は、第１レンズ１１０ａが収容部材１２０から脱離することを抑制する。遮光部材１５０は、収容部材１２０と単一の部材であってもよい。

【0096】

遮光部材１５０は、第１レンズ１１０ａの直径に対して０．５％以上１０％以下の長さの周縁を覆う。このため、第１レンズ１１０ａの有効径Ｅｄは、第１レンズ１１０ａの直径Ｌｄよりも小さい。

【0097】

例えば、第１レンズ１１０ａの直径Ｌｄは、１ｍｍ以上１００ｍｍ以下であり、２ｍｍ以上５０ｍｍ以下であってもよい。光軸Ｌｘに対して直交する方向に沿った遮光部材１５０の長さＳｄは、０．００５ｍｍ以上１０ｍｍ以下であり、０．０１ｍｍ以上５ｍｍ以下であってもよい。

【0098】

例えば、第１レンズ１１０ａの直径Ｌｄは、１３．７０ｍｍ以上１３．７５ｍｍ以下である。一例では、遮光部材１５０は、第１レンズ１１０ａの外縁から０．１ｍｍ以上１．０ｍｍ以下の長さにわたって第１レンズ１１０ａの周縁を覆う。このため、光軸Ｌｘに対して直交する方向に沿った遮光部材１５０の長さＳｄは、０．１ｍｍ以上１．０ｍｍ以下である。したがって、第１レンズ１１０ａの有効径Ｅｄは、１１．７０ｍｍ以上１３．５５ｍｍ以下である。

【0099】

本実施形態では、レンズユニット１００が、遮光部材１５０を備えるため、第１レンズ１１０ａが収容部材１２０から脱離することを抑制できる。

【0100】

次に、図１～図４Ｃを参照して本実施形態に係るカメラモジュール２００を説明する。図４Ａは、本実施形態に係るカメラモジュール２００の分解図である。図４Ｂは、本実施形態に係るカメラモジュール２００の作製過程の模式図である。図４Ｃは、本実施形態に係るカメラモジュール２００を示す模式図である。

【0101】

図４Ａに示すように、収容部材１２０は、複数のレンズ１１０を収容可能である。複数のレンズ１１０のうちの少なくとも１つのレンズは、光学素子１０である。

【0102】

収容部材１２０は、筒形状である。典型的には、収容部材１２０は、円筒形状である。

【0103】

複数のレンズ１１０は、第１レンズ１１０ａ、第２レンズ１１０ｂ、第３レンズ１１０ｃ、第４レンズ１１０ｄおよび第５レンズ１１０ｅを含む。収容部材１２０は、第１レンズ１１０ａ、第２レンズ１１０ｂ、第３レンズ１１０ｃ、第４レンズ１１０ｄおよび第５レンズ１１０ｅをそれぞれ収容可能な収容部を有する。

【0104】

なお、ここでは、収容部材１２０の一方側の外縁には突起部１５０ａが設けられる。典型的には、突起部１５０ａは、収容部材１２０と同じ材料から形成される。突起部１５０ａは、収容部材１２０と単一の部材である。突起部１５０ａは、光軸Ｌｘと平行に収容部材１２０から延びる。

【0105】

図４Ｂに示すように、収容部材１２０に、複数のレンズ１１０、フィルタ１３０および封止部材１４０が収容される。ここでは、第１レンズ１１０ａ、第２レンズ１１０ｂ、第３レンズ１１０ｃおよび封止部材１４０は、収容部材１２０に対して一方側から他方側に挿入される。第４レンズ１１０ｄ、第５レンズ１１０ｅおよびフィルタ１３０は、収容部材１２０に対して他方側から一方側に挿入される。フィルタ１３０は、複数のレンズ１１０と撮像素子２１０との間に位置する。

【0106】

図４Ｃに示すように、収容部材１２０に対して突起部１５０ａを光軸Ｌｘに対して直交する方向に折り曲げることにより、遮光部材１５０を形成する。突起部１５０ａが、加熱された状態で押圧されることにより、光軸Ｌｘに対して直交する方向に収容部材１２０に対して折れ曲がる。遮光部材１５０は、最外レンズである第１レンズ１１０ａを遮光する。遮光部材１５０は、レンズユニット１００に入射する光が第１レンズ１１０ａの外縁に入射することを抑制する。また、遮光部材１５０は、第１レンズ１１０ａが収容部材１２０から脱離することを抑制する。

【0107】

本実施形態によれば、レンズユニット１００は、複数のレンズ１１０、収容部材１２０、フィルタ１３０および封止部材１４０に加えて、最外レンズの外縁を遮光する遮光部材１５０をさらに備える。これにより、最外レンズにおいてハードコート層１２の外縁の厚さが薄くても、遮光部材１５０が遮光することにより、反射防止膜１３とハードコート層１２との界面の密着性の低下を抑制できるとともに、ハードコート層１２の劣化を抑制できる。

【0108】

遮光部材１５０は、収容部材１２０と単一の部材である。これにより、ハードコート層１２の外縁を遮光する遮光部材１５０のために部品点数が増加することを抑制できる。

【実施例0109】

以下、本発明の実施例について説明する。ただし、本発明は、以下の実施例の範囲に何ら限定されるものではない。

【0110】

［実施例１］
まず、実施例１の光学素子１０を作製した。

【0111】

株式会社日本触媒製のＲＭ－１０４を材料とするプラスチックレンズ１１を用意した。プラスチックレンズ１１は、物体側に凸面を向けたメニスカスレンズであり、プラスチックレンズ１１のレンズ外径は約１４ｍｍであった。

【0112】

プラスチックレンズ１１の表面にハードコート層１２を被覆した。ハードコート層１２は、ウレタン等からなる光硬化性樹脂材料であった。ハードコート層１２は、スピンコート法によってプラスチックレンズ１１にハードコート層１２の成分液を塗布した後、成分液の膜を加熱して乾燥させ、その後、紫外線等の電磁波または電子ビームで膜を硬化させて形成した。

【0113】

ハードコート層１２の表面に反射防止膜１３を被覆した。反射防止膜１３は、Ｓｉ₃Ｎ₄からなる高屈折率膜と、ＳｉＯ₂からなる低屈折率膜とをスパッタリング法で交互に形成した。以上のようにして実施例１の光学素子１０を作製した。

【0114】

実施例１の光学素子１０においてハードコート層１２の厚さを測定した。ハードコート層１２の光軸Ｌｘにおける厚さＬｘ１は５．４μｍであったのに対して、ハードコート層１２の外縁の厚さＬｘ２は２．１μｍであった。

【0115】

次に、実施例１の光学素子１０に対して、以下の条件で光学特性試験および耐候性試験を行った。

【0116】

［光学特性試験］
実施例１の光学素子１０に蛍光性光源から蛍光を照射して光学的な歪みを目視で検査した。

【0117】

［耐候性試験］
高促進耐候性試験機７．５ｋＷスーパーキセノンウェザーメーターを用いて耐候性試験を行った。耐候性試験では、放射照度１８０Ｗ／ｍ²で、照射＋降雨１８分間の後に、照射のみ１０２分間行うことを１サイクルとし、５００サイクル繰り返した。耐候性試験中および耐候性試験後に、反射防止膜１３が剥離していないか、および、ハードコート層１２に損傷がないかチェックした。

【0118】

表１に、実施例１の光学素子１０におけるハードコート層１２の光軸における厚さ、ハードコート層１２の外縁の厚さ、光学素子１０の光学特性試験および耐候性試験の結果を示す。本明細書において、蛍光性光源下での目視検査において、光学的な歪みがないものを「〇」、光学的な歪みがあるのを「×」と示す。また、本明細書において、耐候性試験後に、目視検査において反射防止膜の剥離およびハードコート層の損傷がないものを「〇」、反射防止膜の剥離およびハードコート層の損傷のいずれかがあるものを「×」で示す。

【0119】

【表1】

【0120】

表１に示すように、実施例１の光学素子１０では、光学素子１０を透過する光に歪みが生じなかった。また、実施例１の光学素子１０において、耐候性試験の後でも、反射防止膜１３の剥離およびハードコート層１２の損傷を確認できなかった。

【0121】

実施例１の光学素子１０と同様に、実施例２～３の光学素子１０を作製し、実施例２～３の光学素子１０についても実施例１の光学素子１０と同様に光学特性試験および耐候性試験を行った。また、比較例１～３の光学素子を作製し、比較例１～３の光学素子についても実施例１の光学素子１０と同様に光学特性試験および耐候性試験を行った。表１に、実施例１～３および比較例１～３の光学素子におけるハードコート層の光軸における厚さ、ハードコート層の外縁の厚さ、光学特性試験および耐候性試験の結果を示す。

【0122】

実施例２の光学素子１０では、ハードコート層１２の光軸における厚さおよび外縁の厚さはそれぞれ８．６μｍ、２．７μｍであり、光学素子１０を透過する光に歪みが生じなかった。また、耐候性試験の後でも、反射防止膜１３の剥離およびハードコート層１２の損傷を確認できなかった。

【0123】

実施例３の光学素子１０では、ハードコート層１２の光軸における厚さおよび外縁の厚さはそれぞれ１５．８μｍ、５．２μｍであり、光学素子１０を透過する光に歪みが生じなかった。また、耐候性試験の後でも、反射防止膜１３の剥離およびハードコート層１２の損傷を確認できなかった。

【0124】

比較例１の光学素子では、ハードコート層の光軸における厚さおよび外縁の厚さはそれぞれ１．４μｍ、０．３μｍであり、比較例１の光学素子を透過する光に歪みが生じなかった。一方で、耐候性試験の後、反射防止膜の剥離およびハードコート層の損傷のいずれかが生じた。

【0125】

比較例２の光学素子では、ハードコート層の光軸における厚さおよび外縁の厚さはそれぞれ２３．５μｍ、８．３μｍであり、比較例２の光学素子を透過する光に歪みが生じた。一方で、耐候性試験の後でも、反射防止膜の剥離およびハードコート層の損傷を確認できなかった。

【0126】

比較例３の光学素子では、ハードコート層の光軸における厚さおよび外縁の厚さはそれぞれ３３．９μｍ、１０．２μｍであり、比較例３の光学素子を透過する光に歪みが生じた。さらに、耐候性試験の後、反射防止膜の剥離およびハードコート層の損傷のいずれかが生じた。

【0127】

実施例１～３の光学素子１０では、光学的な歪みはなく、反射防止膜１３の剥離およびハードコート層１２の損傷は生じなかった。一方で、比較例１の光学素子では、光学的な歪みはなかったが、反射防止膜の剥離およびハードコート層の損傷のいずれかが生じた。比較例２の光学素子では、反射防止膜の剥離およびハードコート層の損傷は生じなかったが、光学的な歪みが生じた。比較例３の光学素子では、光学的な歪みが生じるとともに、反射防止膜の剥離およびハードコート層の損傷のいずれかが生じた。

【0128】

なお、本技術は、以下のような構成を取り得る。
（１）光軸を有する光学素子であって、
プラスチックレンズと、
前記プラスチックレンズの少なくとも一方の面側に配置された反射防止膜と、
前記プラスチックレンズと前記反射防止膜との間に位置するハードコート層と
を備え、
前記ハードコート層の前記光軸における厚さは、２μｍ以上２０μｍ以下である、光学素子。

【0129】

（２）前記ハードコート層の最小厚さは、２μｍ以上であり
前記ハードコート層の最大厚さは、２０μｍ以下である、（１）に記載の光学素子。

【0130】

（３）前記ハードコート層の弾性率は、５ＧＰａ以上１２ＧＰａ以下である、（１）または（２）に記載の光学素子。

【0131】

（４）前記プラスチックレンズの熱膨張係数は、６０ｐｐｍ／Ｋ以上１５０ｐｐｍ／Ｋ以下である、（１）から（３）のいずれかに記載の光学素子。

【0132】

（５）前記反射防止膜の熱膨張係数は、１ｐｐｍ／Ｋ以上１０ｐｐｍ／Ｋ以下である、（１）から（４）のいずれかに記載の光学素子。

【0133】

（６）前記プラスチックレンズの熱膨張係数は、６０ｐｐｍ／Ｋ以上１００ｐｐｍ／Ｋ以下であり、
前記反射防止膜の熱膨張係数は、５ｐｐｍ／Ｋ以上１０ｐｐｍ／Ｋ以下である、（１）から（５）のいずれかに記載の光学素子。

【0134】

（７）前記ハードコート層の前記光軸における厚さと外縁の厚さとの差は、１５μｍ以下である、（１）から（６）のいずれかに記載の光学素子。

【0135】

（８）複数のレンズと、
前記複数のレンズを収容する収容部材と
を備える、レンズユニットであって、
前記複数のレンズは、前記収容部材の開口から順番に配置され、
前記複数のレンズのうち前記収容部材の開口側に位置する最外レンズは、（１）から（７）のいずれかに記載の光学素子である、レンズユニット。

【0136】

（９）前記最外レンズの外縁を遮光する遮光部材をさらに備える、（８）に記載のレンズユニット。

【0137】

（１０）前記遮光部材は、前記収容部材と単一の部材である、（９）に記載のレンズユニット。

【0138】

（１１）（８）から（１０）のいずれかに記載のレンズユニットと、
撮像素子と
を備える、カメラモジュール。

【符号の説明】

【0139】

１０ 光学素子
１１ プラスチックレンズ
１２ ハードコート層
１３ 反射防止膜

【図1A】

【図1B】

【図2A】

【図2B】

【図3A】

【図3B】

【図4A】

【図4B】

【図4C】