特開 2024-147135 産業用ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024147135

(43)【公開日】2024-10-16

(54)【発明の名称】産業用ロボット

(51)【国際特許分類】

   B25J 18/02 20060101AFI20241008BHJP

【ＦＩ】

B25J18/02

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023059952

(22)【出願日】2023-04-03

(71)【出願人】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(72)【発明者】

【氏名】改野 重幸

(72)【発明者】

【氏名】小林 敏之

【テーマコード（参考）】

3C707

【Ｆターム（参考）】

3C707AS24

3C707BS15

3C707CT04

3C707CU03

3C707CY18

3C707HS27

3C707HT02

3C707HT20

3C707NS13

(57)【要約】

【課題】第１可動カバーおよび第２可動カバーに切欠き等を形成しなくても、第１可動フレームおよび第２可動フレームが下降しているときに、第１可動カバーおよび第２可動カバーと産業用ロボットの他の構成部品との干渉を防止することが可能であるとともに、産業用ロボットの側面を固定して設置することも可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット１では、昇降機構２２と第１可動フレーム１３とを連結する第１スライダ２５は第１可動フレーム１３の下端部に繋がり、第１動力伝達機構２３と第２可動フレーム１４とを連結する第２スライダ２６は第２可動フレーム１４の下端部に繋がっている。上下方向から見たときに、昇降機構２２は、第１可動カバー１７の外周面より外周側に配置され、第１動力伝達機構２３は、第１可動カバー１７の外周面より内周側であって、かつ、第２可動カバー１８の外周面より外周側に配置されている。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ハンドと、前記ハンドが連結されるアームと、前記アームが連結される本体部とを備え、
前記本体部は、固定フレームと、前記固定フレームに対して昇降可能な第１可動フレームと、前記第１可動フレームに対して昇降可能な第２可動フレームと、前記固定フレームに固定されるとともに前記固定フレームを覆う固定カバーと、前記第１可動フレームに固定されるとともに前記第１可動フレームを覆う第１可動カバーと、前記第２可動フレームに固定されるとともに前記第２可動フレームを覆う第２可動カバーと、前記固定フレームに対して前記第１可動フレームを昇降させるための昇降機構と、前記昇降機構の動力で昇降する前記第１可動フレームと連動するように前記第１可動フレームに対して前記第２可動フレームを昇降させるための第１動力伝達機構と、前記昇降機構と前記第１可動フレームとを連結する第１スライダと、前記第１動力伝達機構と前記第２可動フレームとを連結する第２スライダとを備え、
前記第１動力伝達機構は、前記第１可動フレームの上端部と下端部とに取り付けられる２個の第１プーリと、２個の前記第１プーリに架け渡される環状の第１ベルトと、前記第１ベルトの一部が固定される柱状の第１柱状部材とを備え、
前記第１可動フレームの下端部は、前記第１可動カバーの下端よりも下側に配置され、
前記第２可動フレームの下端部は、前記第２可動カバーの下端よりも下側に配置され、
前記第１スライダは、前記第１可動カバーの下端よりも下側に配置される前記第１可動フレームの下端部に繋がり、
前記第２スライダは、前記第２可動カバーの下端よりも下側に配置される前記第２可動フレームの下端部に繋がり、
前記第１柱状部材の下端部は、前記固定フレームの下端部に固定され、
前記第１柱状部材の上端部には、前記固定フレームに対して前記第１可動フレームが下降し、かつ、前記第１可動フレームに対して前記第２可動フレームが下降しているときの前記第１ベルトの上側部分が固定され、
前記第２スライダには、前記固定フレームに対して前記第１可動フレームが下降し、かつ、前記第１可動フレームに対して前記第２可動フレームが下降しているときの前記第１ベルトの下側部分が固定され、
上下方向から見たときに、前記第１可動カバーは、前記固定カバーの外周面より内周側に配置され、前記第２可動カバーは、前記第１可動カバーの外周面より内周側に配置され、前記昇降機構は、前記固定カバーの外周面より内周側であって、かつ、前記第１可動カバーの外周面より外周側に配置されるとともに、２個の前記第１プーリと前記第１ベルトと前記第１柱状部材とは、前記第１可動カバーの外周面より内周側であって、かつ、前記第２可動カバーの外周面より外周側に配置されていることを特徴とする産業用ロボット。

【請求項2】

前記本体部は、前記第２可動フレームに対して昇降可能な第３可動フレームと、前記第３可動フレームに固定されるとともに前記第３可動フレームを覆う第３可動カバーと、昇降する前記第２可動フレームと連動するように前記第２可動フレームに対して前記第３可動フレームを昇降させるための第２動力伝達機構と、前記第２動力伝達機構と前記第３可動フレームとを連結する第３スライダとを備え、
前記第２動力伝達機構は、前記第２可動フレームの上端部と下端部とに取り付けられる２個の第２プーリと、２個の前記第２プーリに架け渡される環状の第２ベルトと、前記第２ベルトの一部が固定される柱状の第２柱状部材とを備え、
前記第３可動フレームの下端部は、前記第３可動カバーの下端よりも下側に配置され、
前記第３スライダは、前記第３可動カバーの下端よりも下側に配置される前記第３可動フレームの下端部に繋がり、
前記第２柱状部材の下端部は、前記第１可動フレームの下端部に固定され、
前記第２柱状部材の上端部には、前記固定フレームに対して前記第１可動フレームが下降し、かつ、前記第１可動フレームに対して前記第２可動フレームが下降しているとともに、前記第２可動フレームに対して前記第３可動フレームが下降しているときの前記第２ベルトの上側部分が固定され、
前記第３スライダには、前記固定フレームに対して前記第１可動フレームが下降し、かつ、前記第１可動フレームに対して前記第２可動フレームが下降しているとともに、前記第２可動フレームに対して前記第３可動フレームが下降しているときの前記第２ベルトの下側部分が固定され、
上下方向から見たときに、前記第３可動カバーは、前記第２可動カバーの外周面より内周側に配置されるとともに、２個の前記第２プーリと前記第２ベルトと前記第２柱状部材とは、前記第２可動カバーの外周面より内周側であって、かつ、前記第３可動カバーの外周面より外周側に配置されていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。

【請求項3】

前記固定フレームに対して前記第１可動フレームが下降し、かつ、前記第１可動フレームに対して前記第２可動フレームが下降しているとともに、前記第２可動フレームに対して前記第３可動フレームが下降しているときに、前記昇降機構と前記第１動力伝達機構と前記第２動力伝達機構とは、上下方向に直交する所定の方向である第１方向においてこの順番で配列され、
上下方向と前記第１方向とに直交する方向を第２方向とすると、
上下方向から見たときに、前記第１柱状部材は、前記第２方向における前記第２可動フレームの一方側に配置され、前記第２柱状部材は、前記第２方向における前記第２可動フレームの他方側に配置されていることを特徴とする請求項２記載の産業用ロボット。

【請求項4】

前記第３可動フレームの上端部に前記アームが連結されていることを特徴とする請求項２または３記載の産業用ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、たとえば、搬送対象物を搬送するための産業用ロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体ウエハ等のワークを搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、たとえば、４段のフレームが望遠鏡の鏡筒のように伸縮可能なテレスコピック型の構造を有しており、４段のフレームが上下方向に伸縮する。この産業用ロボットでは、１段目のフレームである第１フレームに対して２段目のフレームである第２フレームが昇降可能となっている。また、第２フレームに対して３段目のフレームである第３フレームが昇降可能となっており、第３フレームに対して４段目のフレームである第４フレームが昇降可能になっている。

【0003】

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、第１フレームにボールねじのねじ軸が取り付けられ、第２フレームにボールねじのナット部が取り付けられている。第２フレームには、２個のプーリが取り付けされている。２個のプーリには、ベルトが架け渡されており、ベルトは、第１フレームと第３フレームとに接合されている。第３フレームには、２個のプーリが取り付けされている。２個のプーリには、ベルトが架け渡されており、ベルトは、第２フレームと第４フレームとに接合されている。そのため、この産業用ロボットでは、ボールねじのねじ軸の回転に伴って昇降する第２フレームに連動して第３フレームおよび第４フレームが昇降する。

【0004】

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、第２フレーム、第３フレームおよび第４フレームが上昇して４段のフレームが伸びているときには、第１フレームの側面は、第１側面カバーで覆われ、第２フレームの側面は、第２側面カバーで覆われ、第３フレームの側面は、第３側面カバーで覆われ、第４フレームの上面および側面は、端面カバーで覆われている。第１側面カバーは、第１フレームに固定され、第２側面カバーは、第２フレームに固定され、第３側面カバーは、第３フレームに固定され、端面カバーは、第４フレームに固定されている。

【0005】

また、特許文献１に記載の産業用ロボットでは、第１側面カバーの外形、第２側面カバーの外形、第３側面カバーの外形および端面カバーの外形は、この順番で次第に大きくなっている。第２フレーム、第３フレームおよび第４フレームが下降して４段のフレームが縮んでいるときには、第２側面カバーの内周側に第１側面カバーが配置され、第３側面カバーの内周側に第２側面カバーと第１側面カバーとが配置され、端面カバーの内周側に第３側面カバーと第２側面カバーと第１側面カバーとが配置されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開平１１－７０４８７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、第１側面カバーの外形、第２側面カバーの外形、第３側面カバーの外形および端面カバーの外形がこの順番で次第に大きくなっており、第２フレーム、第３フレームおよび第４フレームが下降して４段のフレームが縮んでいるときに、第２側面カバーの内周側に第１側面カバーが配置され、第３側面カバーの内周側に第２側面カバーと第１側面カバーとが配置され、端面カバーの内周側に第３側面カバーと第２側面カバーと第１側面カバーとが配置されている。そのため、特許文献１に記載の産業用ロボットでは、第２側面カバー、第３側面カバーおよび端面カバーに切欠き等を形成しなくても、４段のフレームが縮んでいるときに、第２側面カバー、第３側面カバーおよび端面カバーと、産業用ロボットの他の構成部品との干渉を防止することが可能になっている。

【0008】

一方で、特許文献１に記載の産業用ロボットでは、第２フレーム、第３フレームおよび第４フレームが下降して４段のフレームが縮んでいるときに、第４フレームと一緒に昇降する端面カバーの内周側に第３側面カバーと第２側面カバーと第１側面カバーとが配置されているため、産業用ロボットが設置される各種の製造装置等において、産業ロボットの底面を固定して産業用ロボットを設置することはできるが、産業ロボットの側面を固定して産業用ロボットを設置することができない。したがって、特許文献１に記載の産業用ロボットの場合、産業用ロボットを設置できる場所が限定される。

【0009】

そこで、本発明の課題は、固定フレームと、固定フレームに対して昇降可能な第１可動フレームと、第１可動フレームの昇降に連動して第１可動フレームに対して昇降可能な第２可動フレームと、固定フレームを覆う固定カバーと、第１可動フレームを覆う第１可動カバーと、第２可動フレームを覆う第２可動カバーとを備える産業用ロボットにおいて、第１可動カバーおよび第２可動カバーに切欠き等を形成しなくても、第１可動フレームおよび第２可動フレームが下降しているときに、第１可動カバーおよび第２可動カバーと産業用ロボットの他の構成部品との干渉を防止することが可能であるとともに、産業用ロボットの側面を固定して設置することも可能な産業用ロボットを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0010】

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、ハンドと、ハンドが連結されるアームと、アームが連結される本体部とを備え、本体部は、固定フレームと、固定フレームに対して昇降可能な第１可動フレームと、第１可動フレームに対して昇降可能な第２可動フレームと、固定フレームに固定されるとともに固定フレームを覆う固定カバーと、第１可動フレームに固定されるとともに第１可動フレームを覆う第１可動カバーと、第２可動フレームに固定されるとともに第２可動フレームを覆う第２可動カバーと、固定フレームに対して第１可動フレームを昇降させるための昇降機構と、昇降機構の動力で昇降する第１可動フレームと連動するように第１可動フレームに対して第２可動フレームを昇降させるための第１動力伝達機構と、昇降機構と第１可動フレームとを連結する第１スライダと、第１動力伝達機構と第２可動フレームとを連結する第２スライダとを備え、第１動力伝達機構は、第１可動フレームの上端部と下端部とに取り付けられる２個の第１プーリと、２個の第１プーリに架け渡される環状の第１ベルトと、第１ベルトの一部が固定される柱状の第１柱状部材とを備え、第１可動フレームの下端部は、第１可動カバーの下端よりも下側に配置され、第２可動フレームの下端部は、第２可動カバーの下端よりも下側に配置され、第１スライダは、第１可動カバーの下端よりも下側に配置される第１可動フレームの下端部に繋がり、第２スライダは、第２可動カバーの下端よりも下側に配置される第２可動フレームの下端部に繋がり、第１柱状部材の下端部は、固定フレームの下端部に固定され、第１柱状部材の上端部には、固定フレームに対して第１可動フレームが下降し、かつ、第１可動フレームに対して第２可動フレームが下降しているときの第１ベルトの上側部分が固定され、第２スライダには、固定フレームに対して第１可動フレームが下降し、かつ、第１可動フレームに対して第２可動フレームが下降しているときの第１ベルトの下側部分が固定され、上下方向から見たときに、第１可動カバーは、固定カバーの外周面より内周側に配置され、第２可動カバーは、第１可動カバーの外周面より内周側に配置され、昇降機構は、固定カバーの外周面より内周側であって、かつ、第１可動カバーの外周面より外周側に配置されるとともに、２個の第１プーリと第１ベルトと第１柱状部材とは、第１可動カバーの外周面より内周側であって、かつ、第２可動カバーの外周面より外周側に配置されていることを特徴とする。

【0011】

本発明の産業用ロボットでは、固定フレームに対して第１可動フレームを昇降させるための昇降機構と第１可動フレームとを連結する第１スライダは、第１可動カバーの下端よりも下側に配置される第１可動フレームの下端部に繋がり、第１可動フレームと連動するように第１可動フレームに対して第２可動フレームを昇降させるための第１動力伝達機構と第２可動フレームとを連結する第２スライダは、第２可動カバーの下端よりも下側に配置される第２可動フレームの下端部に繋がっている。

【0012】

また、本発明では、第１動力伝達機構は、第１可動フレームの上端部と下端部とに取り付けられる２個の第１プーリと、２個の第１プーリに架け渡される環状の第１ベルトと、第１ベルトの一部が固定される柱状の第１柱状部材とを備えており、第１ベルトは、第２スライダに固定されている。さらに、本発明では、上下方向から見たときに、昇降機構は、固定カバーの外周面より内周側であって、かつ、第１可動カバーの外周面より外周側に配置され、２個の第１プーリと第１ベルトと第１柱状部材とは、第１可動カバーの外周面より内周側であって、かつ、第２可動カバーの外周面より外周側に配置されている。

【0013】

そのため、本発明では、第１可動カバーおよび第２可動カバーに切欠き等を形成しなくても、第１可動フレームおよび第２可動フレームが下降しているときに、固定カバーの外周面より内周側に配置される第１可動カバーおよび第１可動カバーの外周面より内周側に配置される第２可動カバーと、昇降機構や第１動力伝達機構等の産業用ロボットの他の構成部品との干渉を防止することが可能になる。

【0014】

また、本発明では、上下方向から見たときに、第１可動カバーが固定カバーの外周面よりも内周側に配置され、第２可動カバーが第１可動カバーの外周面よりも内周側に配置されているため、固定フレームの底面を固定して産業用ロボットを設置することが可能になるとともに、固定フレームの側面または固定カバーの側面を固定して産業用ロボットを設置することが可能になる。すなわち、本発明では、産業用ロボットの側面を固定して産業用ロボットを設置することも可能になる。

【0015】

また、本発明では、上下方向から見たときに、第１可動カバーが固定カバーの外周面よりも内周側に配置され、第２可動カバーが第１可動カバーの外周面よりも内周側に配置されており、固定カバーの外形、第１可動カバーの外形および第２可動カバーの外形がこの順番で次第に小さくなっている。そのため、本発明では、第１可動フレームおよび第２可動フレームが上昇しているときの本体部の上端側の外形を小さくすることが可能になる。

【0016】

本発明において、本体部は、第２可動フレームに対して昇降可能な第３可動フレームと、第３可動フレームに固定されるとともに第３可動フレームを覆う第３可動カバーと、昇降する第２可動フレームと連動するように第２可動フレームに対して第３可動フレームを昇降させるための第２動力伝達機構と、第２動力伝達機構と第３可動フレームとを連結する第３スライダとを備え、第２動力伝達機構は、第２可動フレームの上端部と下端部とに取り付けられる２個の第２プーリと、２個の第２プーリに架け渡される環状の第２ベルトと、第２ベルトの一部が固定される柱状の第２柱状部材とを備え、第３可動フレームの下端部は、第３可動カバーの下端よりも下側に配置され、第３スライダは、第３可動カバーの下端よりも下側に配置される第３可動フレームの下端部に繋がり、第２柱状部材の下端部は、第１可動フレームの下端部に固定され、第２柱状部材の上端部には、固定フレームに対して第１可動フレームが下降し、かつ、第１可動フレームに対して第２可動フレームが下降しているとともに、第２可動フレームに対して第３可動フレームが下降しているときの第２ベルトの上側部分が固定され、第３スライダには、固定フレームに対して第１可動フレームが下降し、かつ、第１可動フレームに対して第２可動フレームが下降しているとともに、第２可動フレームに対して第３可動フレームが下降しているときの第２ベルトの下側部分が固定され、上下方向から見たときに、第３可動カバーは、第２可動カバーの外周面より内周側に配置されるとともに、２個の第２プーリと第２ベルトと第２柱状部材とは、第２可動カバーの外周面より内周側であって、かつ、第３可動カバーの外周面より外周側に配置されていることが好ましい。

【0017】

このように構成すると、第２可動フレームと連動するように第２可動フレームに対して第３可動フレームを昇降させるための第２動力伝達機構と第３可動フレームとを連結する第３スライダが、第３可動カバーの下端よりも下側に配置される第３可動フレームの下端部に繋がっているとともに、上下方向から見たときに、第２動力伝達機構を構成する２個の第２プーリと第２ベルトと第２柱状部材とが、第２可動カバーの外周面より内周側であって、かつ、第３可動カバーの外周面より外周側に配置されているため、第２可動カバーおよび第３可動カバーに切欠き等を形成しなくても、第１可動フレーム、第２可動フレームおよび第３可動フレームが下降しているときに、第１可動カバーの外周面より内周側に配置される第２可動カバーおよび第２可動カバーの外周面より内周側に配置される第３可動カバーと、第２動力伝達機構等の産業用ロボットの他の構成部品との干渉を防止することが可能になる。また、このように構成すると、上下方向から見たときに、第３可動カバーが第２可動カバーの外周面よりも内周側に配置されており、第３可動カバーの外形が第２可動カバーの外形よりも小さくなっているため、第１可動フレーム、第２可動フレームおよび第３可動フレームが上昇しているときの本体部の上端側の外形を小さくすることが可能になる。

【0018】

本発明において、たとえば、固定フレームに対して第１可動フレームが下降し、かつ、第１可動フレームに対して第２可動フレームが下降しているとともに、第２可動フレームに対して第３可動フレームが下降しているときに、昇降機構と第１動力伝達機構と第２動力伝達機構とは、上下方向に直交する所定の方向である第１方向においてこの順番で配列され、上下方向と第１方向とに直交する方向を第２方向とすると、上下方向から見たときに、第１柱状部材は、第２方向における第２可動フレームの一方側に配置され、第２柱状部材は、第２方向における第２可動フレームの他方側に配置されている。

【0019】

本発明において、たとえば、第３可動フレームの上端部にアームが連結されている。

【発明の効果】

【0020】

以上のように、本発明では、固定フレームと、固定フレームに対して昇降可能な第１可動フレームと、第１可動フレームの昇降に連動して第１可動フレームに対して昇降可能な第２可動フレームと、固定フレームを覆う固定カバーと、第１可動フレームを覆う第１可動カバーと、第２可動フレームを覆う第２可動カバーとを備える産業用ロボットにおいて、第１可動カバーおよび第２可動カバーに切欠き等を形成しなくても、第１可動フレームおよび第２可動フレームが下降しているときに、第１可動カバーおよび第２可動カバーと産業用ロボットの他の構成部品との干渉を防止することが可能になるとともに、産業用ロボットの側面を固定して産業用ロボットを設置することも可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの斜視図であり、（Ａ）は、ハンドおよびアームが上限位置まで上昇している状態を示す図、（Ｂ）は、ハンドおよびアームが下限位置まで下降している状態を示す図である。

【図2】図１に示す産業用ロボットの構成を説明するための側面図である。

【図3】図１に示す産業用ロボットの構成を説明するための側面図である。

【図4】図１（Ａ）に示す本体部から固定カバー、第１可動カバー、第２可動カバーおよび第３可動カバーを取り外した状態の正面図である。

【図5】図１に示す本体部の構成を説明するための平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0023】

（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の斜視図であり、（Ａ）は、ハンド３およびアーム４が上限位置まで上昇している状態を示す図、（Ｂ）は、ハンド３およびアーム４が下限位置まで下降している状態を示す図である。

【0024】

本形態の産業用ロボット１は、半導体ウエハを搬送するための水平多関節型のロボットである。産業用ロボット１は、半導体製造システムに組み込まれて使用される。産業用ロボット１は、半導体ウエハが搭載される２個のハンド３と、２個のハンド３が連結されるアーム４と、アーム４が連結される本体部５とを備えている。ハンド３は、アーム４の先端側に回動可能に連結されている。本体部５には、アーム４の基端側が回動可能に連結されている。

【0025】

アーム４は、本体部５の上側に配置されている。アーム４は、本体部５に基端側が回動可能に連結される第１アーム部７と、第１アーム部７の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部８と、第２アーム部８の先端側に基端側が回動可能に連結される第３アーム部９とを備えている。本形態のアーム４は、第１アーム部７と第２アーム部８と第３アーム部９との３個のアーム部によって構成されている。アーム４は、水平方向に伸縮動作を行う。第１アーム部７と第２アーム部８と第３アーム部９とは、上下方向において、下側からこの順番で配置されている。ハンド３は、アーム４の上側に配置されている。ハンド３は、上下方向から見たときの形状が略Ｙ形状となるように形成されている。ハンド３の基端部は、第３アーム部９の先端側に回動可能に連結されている。

【0026】

また、産業用ロボット１は、第３アーム部９に対してハンド３を回動させるハンド回動機構と、本体部５に対して第１アーム部７を回動させるとともに第１アーム部７に対して第２アーム部８を回動させて第１アーム部７と第２アーム部８とからなるアーム４の一部を伸縮させるアーム部駆動機構と、第２アーム部８に対して第３アーム部９を回動させる第３アーム部回動機構とを備えている。

【0027】

（本体部の構成）
図２、図３は、図１に示す産業用ロボット１の構成を説明するための側面図である。図４は、図１（Ａ）に示す本体部５から固定カバー１６、第１可動カバー１７、第２可動カバー１８および第３可動カバー１９を取り外した状態の正面図である。図５は、図１に示す本体部５の構成を説明するための平面図である。なお、図２は、ハンド３およびアーム４が上限位置まで上昇している状態を示し、図３は、ハンド３およびアーム４が下限位置まで下降している状態を示している。

【0028】

以下の説明では、上下方向（鉛直方向、図１等のＺ方向）に直交する図１等のＸ方向を前後方向とし、上下方向と前後方向とに直交する図１等のＹ方向を左右方向とする。また、以下の説明では、前後方向の一方側である図１等のＸ１方向側を「前」側とし、その反対側である図１等のＸ２方向側を「後ろ」側とし、左右方向の一方側である図１等のＹ１方向側を「右」側とし、その反対側である図１等のＹ２方向側を「左」側とする。本形態の前後方向（Ｘ方向）は、上下方向に直交する所定の方向である第１方向となっており、左右方向（Ｙ方向）は、上下方向と前後方向とに直交する方向である第２方向となっている。

【0029】

本体部５は、本体部５の下端部を構成する固定フレーム１２と、固定フレーム１２に対して昇降可能な第１可動フレーム１３と、第１可動フレーム１３に対して昇降可能な第２可動フレーム１４と、第２可動フレーム１４に対して昇降可能な第３可動フレーム１５と、固定フレーム１２を覆う固定カバー１６と、第１可動フレーム１３を覆う第１可動カバー１７と、第２可動フレーム１４を覆う第２可動カバー１８と、第３可動フレーム１５を覆う第３可動カバー１９とを備えている。

【0030】

また、本体部５は、固定フレーム１２に対して第１可動フレーム１３を昇降させるための昇降機構２２と、昇降機構２２の動力で昇降する第１可動フレーム１３と連動するように第１可動フレーム１３に対して第２可動フレーム１４を昇降させるための第１動力伝達機構２３と、昇降する第２可動フレーム１４と連動するように第２可動フレーム１４に対して第３可動フレーム１５を昇降させるための第２動力伝達機構２４と、昇降機構２２と第１可動フレーム１３とを連結する第１スライダ２５と、第１動力伝達機構２３と第２可動フレーム１４とを連結する第２スライダ２６と、第２動力伝達機構２４と第３可動フレーム１５とを連結する第３スライダ２７とを備えている。

【0031】

本形態では、固定フレーム１２に対して第１可動フレーム１３が上昇すると、連動して、第１可動フレーム１３に対して第２可動フレーム１４が上昇するとともに、第２可動フレーム１４に対して第３可動フレーム１５が上昇する。また、固定フレーム１２に対して第１可動フレーム１３が下降すると、連動して、第１可動フレーム１３に対して第２可動フレーム１４が下降するとともに、第２可動フレーム１４に対して第３可動フレーム１５が下降する。

【0032】

固定フレーム１２は、本体部５の背面（後面）を構成するフレーム本体３１を備えている。フレーム本体３１の後面は、前後方向に直交する長方形状の平面となっている。フレーム本体３１は、長方形状の平面をなすフレーム本体３１の後面の長辺の方向と左右方向とが一致するように配置されている。固定フレーム１２には、第１可動フレーム１３および第１スライダ２５を上下方向に案内するための２本のガイドレール３２が固定されている。２本のガイドレール３２は、左右方向において間隔をあけた状態で配置されている。

【0033】

第１可動フレーム１３は、固定フレーム１２のフレーム本体３１およびガイドレール３２よりも前側に配置されている。第１可動フレーム１３の左右方向の幅は、固定フレーム１２の左右方向の幅よりも狭くなっている。第１可動フレーム１３には、第２可動フレーム１４および第２スライダ２６を上下方向に案内するための２本のガイドレール３３が固定されている。２本のガイドレール３３は、左右方向において間隔をあけた状態で配置されている。

【0034】

第２可動フレーム１４は、第１可動フレーム１３およびガイドレール３３よりも前側に配置されている。第２可動フレーム１４の左右方向の幅は、第１可動フレーム１３の左右方向の幅よりも狭くなっている。第２可動フレーム１４には、第３可動フレーム１５および第３スライダ２７を上下方向に案内するための２本のガイドレール３４が固定されている。２本のガイドレール３４は、左右方向において間隔をあけた状態で配置されている。

【0035】

第３可動フレーム１５は、第２可動フレーム１４およびガイドレール３４よりも前側に配置されている。第３可動フレーム１５の左右方向の幅は、第２可動フレーム１４の左右方向の幅よりも狭くなっている。第３可動フレーム１５の上端部には、アーム４が連結されている。具体的には、第３可動フレーム１５の上端部に第１アーム部７の基端側が回動可能に連結されている。上述のアーム部駆動機構は、第３可動フレーム１５の内部に配置されている。

【0036】

昇降機構２２は、駆動源であるモータ３７と、モータ３７に連結されるボールねじ３８とを備えている。本形態の昇降機構２２は、２個のモータ３７と、２個のモータ３７のそれぞれが連結される２本のボールねじ３８を備えている。ボールねじ３８は、モータ３７の動力で回転するねじ軸３９と、ねじ軸３９に係合するナット部材４０とを備えている。ねじ軸３９は、固定フレーム１２に回転可能に保持されている。２本のねじ軸３９は、左右方向において間隔をあけた状態で配置されている。２個のナット部材４０は、第１スライダ２５に取り付けられている。２個のモータ３７のそれぞれは、２本のボールねじ３８の左右方向の外側に配置されている。また、昇降機構２２は、左右方向において２本のガイドレール３２の間に配置されるとともに、フレーム本体３１の前側に配置されている。

【0037】

第１動力伝達機構２３は、第１可動フレーム１３の上端部と下端部とに取り付けられる２個の第１プーリ４１と、２個の第１プーリ４１に掛け渡される環状の第１ベルト４２と、第１ベルト４２の一部が固定される柱状の第１柱状部材４３とを備えている。第１動力伝達機構２３は、第１可動フレーム１３の左側に配置されている。第１動力伝達機構２３は、昇降機構２２およびガイドレール３２よりも前側に配置されている。また、第１動力伝達機構２３は、第２可動フレーム１４よりも後ろ側に配置されている。

【0038】

第１プーリ４１は、たとえば、歯付きプーリである。第１プーリ４１は、左右方向を回転の軸方向として回転可能になっている。２個の第１プーリ４１は、第１可動フレーム１３の左端部に回転可能に取り付けられている。第１ベルト４２は、無端ベルトである。また、第１ベルト４２は、たとえば、歯付きベルトである。第１柱状部材４３は、上下方向を長手方向とする柱状に形成されている。たとえば、第１柱状部材４３は、四角柱状に形成されている。第１柱状部材４３の下端部は、固定フレーム１２の下端部に固定されている。上下方向から見たときに、第１柱状部材４３は、第１可動フレーム１３の左側に配置されている。

【0039】

第１柱状部材４３の上端部には、固定フレーム１２に対して第１可動フレーム１３が下降し、かつ、第１可動フレーム１３に対して第２可動フレーム１４が下降しているとともに、第２可動フレーム１４に対して第３可動フレーム１５が下降して、ハンド３およびアーム４が下限位置まで下降しているとき（図１（Ｂ）および図３参照）の第１ベルト４２の上側部分が固定されている。第２スライダ２６には、ハンド３およびアーム４が下限位置まで下降しているときの第１ベルト４２の下側部分が固定されている。第１柱状部材４３は、第１ベルト４２の後ろ側に配置されており、第１柱状部材４３の上端部には、第１ベルト４２の、第１プーリ４１の後ろ側に配置される部分が固定されている。また、第２スライダ２６は、第１ベルト４２の前側に配置されており、第２スライダ２６には、第１ベルト４２の、第１プーリ４１の前側に配置される部分が固定されている。

【0040】

第２動力伝達機構２４は、第２可動フレーム１４の上端部と下端部とに取り付けられる２個の第２プーリ４５と、２個の第２プーリ４５に掛け渡される環状の第２ベルト４６と、第２ベルト４６の一部が固定される柱状の第２柱状部材４７とを備えている。第２動力伝達機構２４は、第２可動フレーム１４の右側に配置されている。第２動力伝達機構２４は、第１可動フレーム１３およびガイドレール３３よりも前側に配置されている。また、第２動力伝達機構２４は、第３可動フレーム１５よりも後ろ側に配置されている。

【0041】

第２プーリ４５は、たとえば、歯付きプーリである。第２プーリ４５は、左右方向を回転の軸方向として回転可能になっている。２個の第２プーリ４５は、第２可動フレーム１４の右端部に回転可能に取り付けられている。第２ベルト４６は、無端ベルトである。また、第２ベルト４６は、たとえば、歯付きベルトである。第２柱状部材４７は、上下方向を長手方向とする柱状に形成されている。たとえば、第２柱状部材４７は、四角柱状に形成されている。第２柱状部材４７の下端部は、第１可動フレーム１３の下端部に固定されている。上下方向から見たときに、第２柱状部材４７は、第２可動フレーム１４の右側に配置されている。

【0042】

第２柱状部材４７の上端部には、固定フレーム１２に対して第１可動フレーム１３が下降し、かつ、第１可動フレーム１３に対して第２可動フレーム１４が下降しているとともに、第２可動フレーム１４に対して第３可動フレーム１５が下降して、ハンド３およびアーム４が下限位置まで下降しているときの第２ベルト４６の上側部分が固定されている。第３スライダ２７には、ハンド３およびアーム４が下限位置まで下降しているときの第２ベルト４６の下側部分が固定されている。第２柱状部材４７は、第２ベルト４６の後ろ側に配置されており、第２柱状部材４７の上端部には、第２ベルト４６の、第２プーリ４５の後ろ側に配置される部分が固定されている。また、第３スライダ２７は、第２ベルト４６の前側に配置されており、第３スライダ２７には、第２ベルト４６の、第２プーリ４５の前側に配置される部分が固定されている。

【0043】

図３に示すように、ハンド３およびアーム４が下限位置まで下降しているときには、昇降機構２２と第１動力伝達機構２３と第２動力伝達機構２４とが前後方向においてこの順番で配列されている。具体的には、ハンド３およびアーム４が下限位置まで下降しているときに、昇降機構２２と第１動力伝達機構２３と第２動力伝達機構２４とが後ろ側から前側に向かってこの順番で配列されている。また、上下方向から見たときに、第１動力伝達機構２３は、第２可動フレーム１４の左側に配置され、第２動力伝達機構２４は、第２可動フレーム１４の右側に配置されている。すなわち、上下方向から見たときに、第１柱状部材４３は、第２可動フレーム１４の左右方向の一方側に配置され、第２柱状部材４７は、第２可動フレーム１４の左右方向の他方側に配置されている。

【0044】

第３可動カバー１９は、下面が開口する直方体の箱状に形成されている。第３可動カバー１９の上面は、上下方向に直交し、第３可動カバー１９の側面は、左右方向または前後方向に直交している。すなわち、上下方向から見たときの第３可動カバー１９の外形は、長方形状となっている。上下方向から見たときの外形が長方形状をなす第３可動カバー１９の長辺の方向は、左右方向と一致している。

【0045】

第３可動カバー１９の上面部には、第３可動フレーム１５の上端部が配置される貫通穴１９ａが形成されている（図３参照）。貫通穴１９ａは、上下方向において第３可動カバー１９の上面部を貫通している。第３可動カバー１９は、第３可動フレーム１５に固定されており、第３可動フレーム１５と一緒に昇降する。第３可動カバー１９の上下方向の長さは、第３可動フレーム１５の上下方向の長さよりも短くなっている。第３可動フレーム１５の下端部は、第３可動カバー１９の下端よりも下側に配置されている（図２等参照）。第３可動カバー１９は、第３可動フレーム１５の一部を上側から覆うとともに、第３可動フレーム１５の、上端部および下端部を除いた部分を前後左右方向の両側から覆っている。なお、図５では、貫通穴１９ａの図示を省略している。

【0046】

第２可動カバー１８は、下面が開口する直方体の箱状に形成されている。第２可動カバー１８の上面は、上下方向に直交し、第２可動カバー１８の側面は、左右方向または前後方向に直交している。すなわち、上下方向から見たときの第２可動カバー１８の外形は、長方形状となっている。上下方向から見たときの外形が長方形状をなす第２可動カバー１８の長辺の方向は、左右方向と一致している。

【0047】

第２可動カバー１８の外形は、第３可動カバー１９の外形よりも大きくなっている。上下方向から見たときに、第３可動カバー１９は、第２可動カバー１８の外周面よりも内周側に配置されている（図５等参照）。第２可動カバー１８の上面部には、第３可動カバー１９が配置される貫通穴１８ａが形成されている。貫通穴１８ａは、上下方向において第２可動カバー１８の上面部を貫通している。貫通穴１８ａは、第３可動カバー１９の外形に応じた長方形状に形成されている。貫通穴１８ａは、第３可動カバー１９よりも若干大きくなっている。貫通穴１８ａは、第２可動フレーム１４、第２動力伝達機構２４およびガイドレール３４よりも前側に配置されている。

【0048】

第２可動カバー１８は、第２可動フレーム１４に固定されている。具体的には、第２可動カバー１８の上面部が第２可動フレーム１４の上端に固定されている。第２可動カバー１８は、第２可動フレーム１４と一緒に昇降する。第２可動カバー１８の上下方向の長さは、第２可動フレーム１４の上下方向の長さよりも短くなっている。第２可動フレーム１４の下端部は、第２可動カバー１８の下端よりも下側に配置されている（図２等参照）。第２可動カバー１８は、第２可動フレーム１４および第２動力伝達機構２４を上側から覆うとともに、第２可動フレーム１４の、下端部を除いた部分を前後左右方向の両側から覆っている。

【0049】

第１可動カバー１７は、下面が開口する直方体の箱状に形成されている。第１可動カバー１７の上面は、上下方向に直交し、第１可動カバー１７の側面は、左右方向または前後方向に直交している。すなわち、上下方向から見たときの第１可動カバー１７の外形は、長方形状となっている。上下方向から見たときの外形が長方形状をなす第１可動カバー１７の長辺の方向は、左右方向と一致している。

【0050】

第１可動カバー１７の外形は、第２可動カバー１８の外形よりも大きくなっている。上下方向から見たときに、第２可動カバー１８は、第１可動カバー１７の外周面よりも内周側に配置されている（図５等参照）。第１可動カバー１７の上面部には、第２可動カバー１８および第３可動カバー１９が配置される貫通穴１７ａが形成されている。貫通穴１７ａは、上下方向において第１可動カバー１７の上面部を貫通している。貫通穴１７ａは、第２可動カバー１８の外形に応じた長方形状に形成されている。貫通穴１７ａは、第２可動カバー１８よりも若干大きくなっている。貫通穴１７ａは、第１動力伝達機構２３およびガイドレール３３よりも前側に配置されている。

【0051】

第１可動カバー１７は、第１可動フレーム１３に固定されている。具体的には、第１可動カバー１７の上面部が第１可動フレーム１３の上端に固定されている。第１可動カバー１７は、第１可動フレーム１３と一緒に昇降する。第１可動カバー１７の上下方向の長さは、第１可動フレーム１３の上下方向の長さよりも短くなっている。第１可動フレーム１３の下端部は、第１可動カバー１７の下端よりも下側に配置されている（図２等参照）。第１可動カバー１７は、第１可動フレーム１３および第１動力伝達機構２３を上側から覆うとともに、第１可動フレーム１３の、下端部を除いた部分を前後左右方向の両側から覆っている。

【0052】

固定カバー１６は、下面および後面が開口する直方体の箱状に形成されている。固定カバー１６の上面は、上下方向に直交し、固定カバー１６の側面は、左右方向または前後方向に直交している。すなわち、上下方向から見たときの固定カバー１６の外形は、長方形状または正方形状となっている。固定カバー１６の外形は、第１可動カバー１７の外形よりも大きくなっている。上下方向から見たときに、第１可動カバー１７は、固定カバー１６の外周面よりも内周側に配置されている（図５等参照）。

【0053】

固定カバー１６の上面部には、第１可動カバー１７、第２可動カバー１８および第３可動カバー１９が配置される貫通穴１６ａが形成されている。貫通穴１６ａは、上下方向において固定カバー１６の上面部を貫通している。貫通穴１６ａは、第１可動カバー１７の外形に応じた長方形状に形成されている。貫通穴１６ａは、第１可動カバー１７よりも若干大きくなっている。貫通穴１６ａは、昇降機構２２およびガイドレール３２よりも前側に配置されている。固定カバー１６は、固定フレーム１２に固定されている。具体的には、固定カバー１６は、フレーム本体３１に固定されている。

【0054】

固定カバー１６の後端部の内周面は、フレーム本体３１の左右方向の両側面および上端面に接触している。固定カバー１６の上下方向の長さは、固定フレーム１２の上下方向の長さとほぼ等しくなっている。固定カバー１６の後面側に形成される開口は、フレーム本体３１によって塞がれている。固定カバー１６は、固定フレーム１２および昇降機構２２を上側から覆うとともに、固定フレーム１２を前側および左右方向の両側から覆っている。

【0055】

図２に示すように、固定フレーム１２に対して第１可動フレーム１３が上昇し、かつ、第１可動フレーム１３に対して第２可動フレーム１４が上昇しているとともに、第２可動フレーム１４に対して第３可動フレーム１５が上昇して、ハンド３およびアーム４が上限位置まで上昇しているときには、第１可動カバー１７の下端は、固定カバー１６の上面部の下面よりも下側に配置されており、固定カバー１６の内部に配置されている。また、このときには、第２可動カバー１８の下端は、第１可動カバー１７の上面部の下面よりも下側に配置され、第３可動カバー１９の下端は、第２可動カバー１８の上面部の下面よりも下側に配置されている。

【0056】

第１スライダ２５は、第１可動カバー１７の下端よりも下側に配置される第１可動フレーム１３の下端部に繋がっている。具体的には、第１スライダ２５は、第１可動カバー１７の下端よりも下側に配置される第１可動フレーム１３の下端部に固定されている。また、第１スライダ２５は、第１可動フレーム１３の後面側に固定されている。第１スライダ２５の後端部には、２個のナット部材４０が取り付けられている。すなわち、第１スライダ２５は、第１可動フレーム１３と２個のナット部材４０とを連結している。第１スライダ２５は、ガイドレール３２に係合するガイドブロックを備えており、２本のガイドレール３２に沿って昇降する。なお、第１スライダ２５は、第１可動フレーム１３と一体で形成されていても良い。

【0057】

第２スライダ２６は、第２可動カバー１８の下端よりも下側に配置される第２可動フレーム１４の下端部に繋がっている。具体的には、第２スライダ２６は、第２可動カバー１８の下端よりも下側に配置される第２可動フレーム１４の下端部に固定されている。また、第２スライダ２６は、第２可動フレーム１４の後面側に固定されている。第２スライダ２６の後端部には、第１ベルト４２の一部が固定されている。すなわち、第２スライダ２６は、第２可動フレーム１４と第１ベルト４２とを連結している。第２スライダ２６は、ガイドレール３３に係合するガイドブロックを備えており、２本のガイドレール３３に沿って昇降する。なお、第２スライダ２６は、第２可動フレーム１４と一体で形成されていても良い。

【0058】

第３スライダ２７は、第３可動カバー１９の下端よりも下側に配置される第３可動フレーム１５の下端部に繋がっている。具体的には、第３スライダ２７は、第３可動カバー１９の下端よりも下側に配置される第３可動フレーム１５の下端部に固定されている。第３スライダ２７の後端部には、第２ベルト４６の一部が固定されている。すなわち、第３スライダ２７は、第３可動フレーム１５と第２ベルト４６とを連結している。第３スライダ２７は、ガイドレール３４に係合するガイドブロックを備えており、２本のガイドレール３４に沿って昇降する。なお、第３スライダ２７は、第３可動フレーム１５と一体で形成されていても良い。

【0059】

上述のように、固定カバー１６の貫通穴１６ａは、昇降機構２２よりも前側に配置されており、昇降機構２２は、貫通穴１６ａに配置される第１可動カバー１７より後ろ側に配置されている。すなわち、図５に示すように、上下方向から見たときに、昇降機構２２は、第１可動カバー１７の外周面より外周側に配置されている。

【0060】

また、上述のように、第１可動カバー１７の貫通穴１７ａは、第１動力伝達機構２３より前側に配置されており、第１動力伝達機構２３は、貫通穴１７ａに配置される第２可動カバー１８よりも後ろ側に配置されている。また、上述のように、第１可動カバー１７は、第１動力伝達機構２３を上側から覆っている。すなわち、図５に示すように、上下方向から見たときに、第１動力伝達機構２３は（具体的には、２個の第１プーリ４１と第１ベルト４２と第１柱状部材４３とは）、第１可動カバー１７の外周面より内周側であって、かつ、第２可動カバー１８の外周面より外周側に配置されている。

【0061】

さらに、上述のように、第２可動カバー１８の貫通穴１８ａは、第２動力伝達機構２４よりも前側に配置されており、第２動力伝達機構２４は、貫通穴１８ａに配置される第３可動カバー１９より後ろ側に配置されている。また、上述にように、第２可動カバー１８は、第２動力伝達機構２４を上側から覆っている。すなわち、図５に示すように、上下方向から見たときに、第２動力伝達機構２４は（具体的には、２個の第２プーリ４５と第２ベルト４６と第２柱状部材４７とは）、第２可動カバー１８の外周面より内周側であって、かつ、第３可動カバー１９の外周面より外周側に配置されている。

【0062】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、昇降機構２２と第１可動フレーム１３とを連結する第１スライダ２５は、第１可動カバー１７の下端よりも下側に配置される第１可動フレーム１３の下端部に繋がり、第１動力伝達機構２３と第２可動フレーム１４とを連結する第２スライダ２６は、第２可動カバー１８の下端よりも下側に配置される第２可動フレーム１４の下端部に繋がり、第２動力伝達機構２４と第３可動フレーム１５とを連結する第３スライダ２７は、第３可動カバー１９の下端よりも下側に配置される第３可動フレーム１５の下端部に繋がっている。

【0063】

また、本形態では、第１ベルト４２は、第１柱状部材４３および第２スライダ２６に固定され、第２ベルト４６は、第２柱状部材４７および第３スライダ２７に固定されている。さらに、本形態では、上下方向から見たときに、昇降機構２２は、第１可動カバー１７の外周面より外周側に配置され、第１動力伝達機構２３は、第１可動カバー１７の外周面より内周側であって、かつ、第２可動カバー１８の外周面より外周側に配置され、第２動力伝達機構２４は、第２可動カバー１８の外周面より内周側であって、かつ、第３可動カバー１９の外周面より外周側に配置されている。

【0064】

そのため、本形態では、第１可動カバー１７、第２可動カバー１８および第３可動カバー１９に切欠き等を形成しなくても、第１可動フレーム１３、第２可動フレーム１４および第３可動フレーム１５が下降しているときに、固定カバー１６の外周面より内周側に配置される第１可動カバー１７、第１可動カバー１７の外周面より内周側に配置される第２可動カバー１８、および、第２可動カバー１８の外周面より内周側に配置される第３可動カバー１９と、駆動機構２２、第１動力伝達機構２３および第２動力伝達機構２４等の産業用ロボット１の他の構成部品との干渉を防止することが可能になる。

【0065】

本形態では、上下方向から見たときに、第１可動カバー１７、第２可動カバー１８および第３可動カバー１９が固定カバー１６の外周面よりも内周側に配置されている。そのため、本形態では、固定フレーム１２の底面を固定して産業用ロボット１を設置することが可能になるとともに、固定フレーム１２のフレーム本体３１の後面、固定カバー１６の前面または固定カバー１６の左右方向の側面を固定して産業用ロボット１を設置することが可能になる。すなわち、本形態では、産業用ロボット１の側面を固定して産業用ロボット１を設置することも可能になる。

【0066】

本形態では、固定カバー１６の外形、第１可動カバー１７の外形、第２可動カバー１８の外形および第３可動カバー１９の外形がこの順番で次第に小さくなっている。そのため、本形態では、第１可動フレーム１３、第２可動フレーム１４および第３可動フレーム１５が上昇しているときの本体部５の上端側の外形を小さくすることが可能になる。

【0067】

（本体部の変更例１）
上述した形態において、本体部５は、第３可動フレーム１５と第３可動カバー１９と第２動力伝達機構２４と第３スライダ２７とを備えていなくても良い。すなわち、上述した形態において、第２可動フレーム１４の上端部にアーム４が連結されていても良い。

【0068】

この場合であっても、第１可動カバー１７および第２可動カバー１８に切欠き等を形成しなくても、第１可動フレーム１３および第２可動フレーム１４が下降しているときに、固定カバー１６の外周面より内周側に配置される第１可動カバー１７、および、第１可動カバー１７の外周面より内周側に配置される第２可動カバー１８と、駆動機構２２および第１動力伝達機構２３等の産業用ロボット１の他の構成部品との干渉を防止することが可能になる。また、この場合であっても、産業用ロボット１の側面を固定して産業用ロボット１を設置することも可能になる。

【0069】

（本体部の変更例２）
上述した形態において、本体部５は、第３可動フレーム１５に対して昇降可能な第４可動フレームと、第４可動フレームに固定されるとともに第４可動フレームを覆う第４可動カバーと、昇降する第３可動フレーム１５と連動するように第３可動フレーム１５に対して第４可動フレームを昇降させるための第３動力伝達機構と、第３動力伝達機構と第４可動フレームとを連結する第４スライダとを備えていても良い。この場合には、第４可動フレームの上端部にアーム４が連結されている。第３動力伝達機構は、第３可動フレーム１５の上端部と下端部とに取り付けられる２個の第３プーリと、２個の第３プーリに架け渡される環状の第３ベルトと、第３ベルトの一部が固定される柱状の第３柱状部材とを備えている。

【0070】

第４可動フレームの下端部は、第４可動カバーの下端よりも下側に配置されている。第４スライダは、第４可動カバーの下端よりも下側に配置される第４可動フレームの下端部に繋がっている。第３柱状部材の下端部は、第２可動フレーム１４の下端部に固定されている。第３柱状部材の上端部には、ハンド３およびアーム４が下限位置まで下降しているときの第３ベルトの上側部分が固定され、第４スライダには、ハンド３およびアーム４が下限位置まで下降しているときの第３ベルトの下側部分が固定されている。上下方向から見たときに、第４可動カバーは、第３可動カバー１９の外周面より内周側に配置されるとともに、２個の第３プーリと第３ベルトと第３柱状部材とは、第３可動カバー１９の外周面より内周側であって、かつ、第４可動カバーの外周面より外周側に配置されている。

【0071】

また、本体部５は、さらに、第４可動フレームに対して昇降可能な第５可動フレームと、第５可動フレームに固定されるとともに第５可動フレームを覆う第５可動カバーと、昇降する第４可動フレームと連動するように第４可動フレームに対して第５可動フレームを昇降させるための第４動力伝達機構と、第４動力伝達機構と第５可動フレームとを連結する第５スライダとを備えていても良い。この場合には、第５可動フレームの上端部にアーム４が連結されている。第４動力伝達機構は、第４可動フレームの上端部と下端部とに取り付けられる２個の第４プーリと、２個の第４プーリに架け渡される環状の第４ベルトと、第４ベルトの一部が固定される柱状の第４柱状部材とを備えている。

【0072】

第５可動フレームの下端部は、第５可動カバーの下端よりも下側に配置されている。第５スライダは、第５可動カバーの下端よりも下側に配置される第５可動フレームの下端部に繋がっている。第４柱状部材の下端部は、第３可動フレーム１５の下端部に固定されている。第４柱状部材の上端部には、ハンド３およびアーム４が下限位置まで下降しているときの第４ベルトの上側部分が固定され、第５スライダには、ハンド３およびアーム４が下限位置まで下降しているときの第４ベルトの下側部分が固定されている。上下方向から見たときに、第５可動カバーは、第４可動カバーの外周面より内周側に配置されるとともに、２個の第４プーリと第４ベルトと第４柱状部材とは、第４可動カバーの外周面より内周側であって、かつ、第５可動カバーの外周面より外周側に配置されている。

【0073】

このように、本体部５は、第１可動フレーム１３と第２可動フレーム１４と第３可動フレーム１５と第４可動フレームとを有する５段構造となっていても良いし、第１可動フレーム１３と第２可動フレーム１４と第３可動フレーム１５と第４可動フレームと第５可動フレームとを有する６段構造となっていても良い。また、本体部５は、７段構造以上の複数段構造となっていても良い。

【0074】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0075】

上述した形態において、第１動力伝達機構２３は、第１可動フレーム１３の右側に配置されていても良い。また、上述した形態において、第２動力伝達機構２４は、第２可動フレーム１４の左側に配置されていても良い。また、上述した形態において、第１動力伝達機構２３は、第１可動フレーム１３の左右方向の両側に配置されていても良い。また、第２動力伝達機構２４は、第２可動フレーム１４の左右方向の両側に配置されていても良い。さらに、上述した形態において、第１動力伝達機構２３は、第１可動フレーム１３の前後方向の一方側または両側に配置されていても良い。また、第２動力伝達機構２４は、第２可動フレーム１４の前後方向の一方側または両側に配置されていても良い。

【0076】

上述した形態において、アーム４は、２個のアーム部によって構成されても良いし、４個以上のアーム部によって構成されていても良い。また、上述した形態において、第３アーム部９の先端側に１個のハンド３が取り付けられても良い。さらに、上述した形態において、産業用ロボット１は、液晶表示装置用のガラス基板等の、半導体ウエハ以外の搬送対象物を搬送しても良い。

【0077】

上述した形態において、産業用ロボット１は、水平多関節型のロボット以外のロボットであっても良い。たとえば、産業用ロボット１は、特開２０１９－２５５８７号公報に開示されているように、ハンドと、ハンドが固定されるハンド支持部材と、ハンド支持部材を介してハンドが連結されるアームとを備えていても良い。この場合には、ハンドおよびハンド支持部材がアームに対して水平方向に直線的に往復移動する。

【符号の説明】

【0078】

１ 産業用ロボット
３ ハンド
４ アーム
５ 本体部
１２ 固定フレーム
１３ 第１可動フレーム
１４ 第２可動フレーム
１５ 第３可動フレーム
１６ 固定カバー
１７ 第１可動カバー
１８ 第２可動カバー
１９ 第３可動カバー
２２ 昇降機構
２３ 第１動力伝達機構
２４ 第２動力伝達機構
２５ 第１スライダ
２６ 第２スライダ
２７ 第３スライダ
４１ 第１プーリ
４２ 第１ベルト
４３ 第１柱状部材
４５ 第２プーリ
４６ 第２ベルト
４７ 第２柱状部材
Ｘ 第１方向
Ｙ 第２方向
Ｚ 上下方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】