特開 2024-147136 駆動装置、産業用ロボットおよび駆動装置の異常検知方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024147136

(43)【公開日】2024-10-16

(54)【発明の名称】駆動装置、産業用ロボットおよび駆動装置の異常検知方法

(51)【国際特許分類】

   B25J 19/06 20060101AFI20241008BHJP

【ＦＩ】

B25J19/06

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023059953

(22)【出願日】2023-04-03

(71)【出願人】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(72)【発明者】

【氏名】改野 重幸

(72)【発明者】

【氏名】小林 敏之

【テーマコード（参考）】

3C707

【Ｆターム（参考）】

3C707AS24

3C707BS15

3C707CT04

3C707CU03

3C707CY18

3C707HS27

3C707HT02

3C707HT20

3C707MS14

3C707MS15

3C707MS22

3C707NS13

(57)【要約】

【課題】第１部材と、第１部材に対して直線的に移動可能な第２部材と、第１部材に対して第２部材を移動させるためのプーリおよびベルトとを備える駆動装置において、ベルトの伸びに起因する不具合の発生を防止することが可能な駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置５は、第１部材５３に対して第２部材５０を移動させるための駆動源となるモータ３７と、第１部材５３に対して第２部材５０を移動させるためのプーリ４５およびベルト４６と、第１部材５３に取り付けられるセンサと、第２部材５０に取り付けられる被検知部材と、モータ３７の回転量を検知するためのエンコーダとを備えており、ベルト４６の一部は、第２部材５０に固定されている。駆動装置５の制御部は、基準位置に配置される第２部材５０を被検知部材がセンサに検知されるまで第１部材５３に対して移動させたときのエンコーダのカウント値が基準範囲から外れると所定の異常処理を実行する。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１部材と、前記第１部材に対して直線的に移動可能な第２部材と、前記第１部材に対して前記第２部材を移動させるための駆動源となるモータと、前記第１部材に対して前記第２部材を移動させるためのプーリおよびベルトと、前記第１部材および前記第２部材のいずれか一方に取り付けられるセンサと、前記第１部材および前記第２部材のいずれか他方に取り付けられるとともに前記センサによって検知される被検知部材と、前記モータの回転量を検知するためのエンコーダと、前記モータ、前記センサおよび前記エンコーダが電気的に接続される制御部とを備え、
前記プーリは、前記第１部材に取り付けられ、
前記ベルトの一部は、前記第２部材に固定され、
前記制御部は、前記モータを駆動させて所定の基準位置に配置される前記第２部材を前記被検知部材が前記センサに検知されるまで前記第１部材に対して移動させたときの前記エンコーダのカウント値が所定の基準範囲から外れると所定の異常処理を実行することを特徴とする駆動装置。

【請求項2】

請求項１記載の駆動装置を備えることを特徴とする産業用ロボット。

【請求項3】

ハンドと、前記ハンドが連結されるアームとを備え、
前記駆動装置は、前記ハンドおよび前記アームを昇降させる昇降装置であり、
前記第２部材は、前記第１部材に対して昇降可能な昇降体であることを特徴とする請求項２記載の産業用ロボット。

【請求項4】

前記昇降装置は、固定体と、前記固定体に対して昇降可能な第２昇降体と、前記第２昇降体に対して昇降可能な前記第１部材としての第３昇降体と、前記固定体に対して前記第２昇降体を昇降させるための昇降機構と、前記昇降機構の動力で昇降する前記第２昇降体に連動するように前記第３昇降体を昇降させるための第２プーリおよび第２ベルトとを備え、
前記昇降機構は、前記モータを備え、
前記第２プーリは、前記第２昇降体に取り付けられ、
前記第２ベルトの一部は、前記固定体と前記第３昇降体とに固定され、
前記昇降体は、昇降する前記第３昇降体に連動するように昇降し、
前記アームは、前記昇降体に連結されていることを特徴とする請求項３記載の産業用ロボット。

【請求項5】

前記第３昇降体の上端部および下端部に前記プーリが取り付けられ、
前記第２昇降体の上端部および下端部に前記第２プーリが取り付けられ、
前記ベルトおよび前記第２ベルトは、環状に形成される無端ベルトであり、
前記ベルトは、２個の前記プーリに架け渡され、
前記第２ベルトは、２個の前記第２プーリに架け渡されていることを特徴とする請求項４記載の産業用ロボット。

【請求項6】

第１部材と、前記第１部材に対して直線的に移動可能な第２部材と、前記第１部材に対して前記第２部材を移動させるための駆動源となるモータと、前記第１部材に対して前記第２部材を移動させるためのプーリおよびベルトと、前記第１部材および前記第２部材のいずれか一方に取り付けられるセンサと、前記第１部材および前記第２部材のいずれか他方に取り付けられるとともに前記センサによって検知される被検知部材と、前記モータの回転量を検知するためのエンコーダとを備え、前記プーリは、前記第１部材に取り付けられ、前記ベルトの一部は、前記第２部材に固定されている駆動装置の異常を検知するための異常検知方法であって、
前記モータを駆動させて所定の基準位置に配置される前記第２部材を前記被検知部材が前記センサに検知されるまで前記第１部材に対して移動させたときの前記エンコーダのカウント値が所定の基準範囲から外れると前記駆動装置の異常を検知することを特徴とする駆動装置の異常検知方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ベルトを用いて所定の第１部材に対して第２部材を直線的に移動させるための駆動装置に関する。また、本発明は、かかる駆動装置を備える産業用ロボットに関する。さらに、本発明は、ベルトを用いて所定の第１部材に対して第２部材を直線的に移動させる駆動装置の異常を検知するための駆動装置の異常検知方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体ウエハ等のワークを搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、たとえば、４段のフレームが望遠鏡の鏡筒のように伸縮可能なテレスコピック型の構造を有しており、４段のフレームが上下方向に伸縮する。この産業用ロボットでは、１段目のフレームである第１フレームに対して２段目のフレームである第２フレームが昇降可能となっている。また、第２フレームに対して３段目のフレームである第３フレームが昇降可能となっており、第３フレームに対して４段目のフレームである第４フレームが昇降可能になっている。第４フレームの上端には、ワーク取扱いユニットが連結されている。

【0003】

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、第１フレームにボールねじのねじ軸が取り付けられ、第２フレームにボールねじのナット部が取り付けられている。ボールねじのねじ軸には、ねじ軸を回転させるモータが連結されている。第２フレームには、２個のプーリが取り付けされている。２個のプーリには、ベルトが架け渡されており、ベルトは、第１フレームと第３フレームとに接合されている。第３フレームには、２個のプーリが取り付けされている。２個のプーリには、ベルトが架け渡されており、ベルトは、第２フレームと第４フレームとに接合されている。そのため、この産業用ロボットでは、ボールねじのねじ軸の回転に伴って昇降する第２フレームに連動して第３フレームおよび第４フレームが昇降する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平１１－７０４８７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、４段のフレームの伸縮動作が繰り返し行われるため、ベルトの伸びが発生するおそれがある。特許文献１に記載の産業用ロボットにおいて、ベルトの伸びが発生すると、ボールねじのねじ軸を回転させるモータを同じ量回転させても、第４フレームの上端に連結されるワーク取扱いユニットの上下方向の位置がずれるおそれがある。ワーク取扱いユニットの上下方向の位置が所定量以上にずれると、ワークを所定の位置まで搬送できなくなる等の不具合が生じる。すなわち、特許文献１に記載の産業用ロボットでは、ベルトの伸びに起因する不具合が発生するおそれがある。

【0006】

そこで、本発明の課題は、第１部材と、第１部材に対して直線的に移動可能な第２部材と、第１部材に対して第２部材を移動させるためのプーリおよびベルトとを備える駆動装置において、ベルトの伸びに起因する不具合の発生を防止することが可能な駆動装置を提供することにある。また、本発明の課題は、かかる駆動装置を備える産業用ロボットを提供することにある。また、本発明の課題は、第１部材と、第１部材に対して直線的に移動可能な第２部材と、第１部材に対して第２部材を移動させるためのプーリおよびベルトとを備える駆動装置において、ベルトの伸びに起因する不具合の発生を防止することが可能となる駆動装置の異常検知方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の課題を解決するため、本発明の駆動装置は、第１部材と、第１部材に対して直線的に移動可能な第２部材と、第１部材に対して第２部材を移動させるための駆動源となるモータと、第１部材に対して第２部材を移動させるためのプーリおよびベルトと、第１部材および第２部材のいずれか一方に取り付けられるセンサと、第１部材および第２部材のいずれか他方に取り付けられるとともにセンサによって検知される被検知部材と、モータの回転量を検知するためのエンコーダと、モータ、センサおよびエンコーダが電気的に接続される制御部とを備え、プーリは、第１部材に取り付けられ、ベルトの一部は、第２部材に固定され、制御部は、モータを駆動させて所定の基準位置に配置される第２部材を被検知部材がセンサに検知されるまで第１部材に対して移動させたときのエンコーダのカウント値が所定の基準範囲から外れると所定の異常処理を実行することを特徴とする。

【0008】

本発明の駆動装置は、第１部材に対して第２部材を移動させるための駆動源となるモータと、第１部材に対して第２部材を移動させるためのプーリおよびベルトと、第１部材および第２部材のいずれか一方に取り付けられるセンサと、第１部材および第２部材のいずれか他方に取り付けられるとともにセンサによって検知される被検知部材と、モータの回転量を検知するためのエンコーダとを備えており、プーリは、第１部材に取り付けられ、ベルトの一部は、第２部材に固定されている。そのため、本発明では、ベルトの伸びが発生すると、モータを駆動させて所定の基準位置に配置される第２部材を被検知部材がセンサに検知されるまで第１部材に対して移動させたときの、モータの回転量が変動して、エンコーダのカウント値が変動する。

【0009】

また、本発明では、制御部は、モータを駆動させて基準位置に配置される第２部材を被検知部材がセンサに検知されるまで第１部材に対して移動させたときのエンコーダのカウント値が所定の基準範囲から外れると所定の異常処理を実行している。そのため、本発明では、駆動装置に不具合が発生する程のベルトの伸びが発生して、エンコーダのカウント値が基準範囲から外れたときに異常処理を実行することが可能になる。したがって、本発明では、ベルトの伸びに起因する駆動装置の不具合の発生を防止することが可能になる。

【0010】

本発明の駆動装置は、たとえば、産業用ロボットに用いることができる。この産業用ロボットでは、ベルトの伸びに起因する駆動装置の不具合の発生を防止することが可能になる。

【0011】

本発明において、産業用ロボットは、たとえば、ハンドと、ハンドが連結されるアームとを備え、駆動装置は、ハンドおよびアームを昇降させる昇降装置であり、第２部材は、第１部材に対して昇降可能な昇降体である。

【0012】

本発明において、昇降装置は、固定体と、固定体に対して昇降可能な第２昇降体と、第２昇降体に対して昇降可能な第１部材としての第３昇降体と、固定体に対して第２昇降体を昇降させるための昇降機構と、昇降機構の動力で昇降する第２昇降体に連動するように第３昇降体を昇降させるための第２プーリおよび第２ベルトとを備え、昇降機構は、モータを備え、第２プーリは、第２昇降体に取り付けられ、第２ベルトの一部は、固定体と第３昇降体とに固定され、昇降体は、昇降する第３昇降体に連動するように昇降し、アームは、昇降体に連結されていることが好ましい。

【0013】

このように構成すると、第１部材である第３昇降体および第２部材である昇降体のいずれか一方のみにセンサが取り付けられ、第３昇降体および昇降体のいずれか他方のみに被検知部材が取り付けられていても、モータを駆動させて基準位置に配置される昇降体を被検知部材がセンサに検知されるまで移動させたときのエンコーダのカウント値に基づいて、ベルトおよび第２ベルトの伸びに起因する昇降体の上下方向の位置の変動量を検知することが可能になり、その結果、ベルトおよび第２ベルトの伸びに起因するハンドおよびアームの上下方向の位置の変動量を直接的に検知することが可能になる。

【0014】

すなわち、第３昇降体および昇降体のいずれか一方のみにセンサが取り付けられ、第３昇降体および昇降体のいずれか他方のみに被検知部材が取り付けられていても、産業用ロボットの、不具合が生じたときに最も問題となりやすい部分（すなわち、ハンドおよびアーム）の上下方向の位置の変動量を直接的に検知することが可能になる。したがって、産業用ロボットの構成を簡素化しつつ、産業用ロボットの、不具合が生じたときに最も問題となりやすい部分の不具合の発生を防止することが可能になる。

【0015】

本発明において、たとえば、第３昇降体の上端部および下端部にプーリが取り付けられ、第２昇降体の上端部および下端部に第２プーリが取り付けられ、ベルトおよび第２ベルトは、環状に形成される無端ベルトであり、ベルトは、２個のプーリに架け渡され、第２ベルトは、２個の第２プーリに架け渡されている。

【0016】

また、上記の課題を解決するため、本発明の駆動装置の異常検知方法は、第１部材と、第１部材に対して直線的に移動可能な第２部材と、第１部材に対して第２部材を移動させるための駆動源となるモータと、第１部材に対して第２部材を移動させるためのプーリおよびベルトと、第１部材および第２部材のいずれか一方に取り付けられるセンサと、第１部材および第２部材のいずれか他方に取り付けられるとともにセンサによって検知される被検知部材と、モータの回転量を検知するためのエンコーダとを備え、プーリは、第１部材に取り付けられ、ベルトの一部は、第２部材に固定されている駆動装置の異常を検知するための異常検知方法であって、モータを駆動させて所定の基準位置に配置される第２部材を被検知部材がセンサに検知されるまで第１部材に対して移動させたときのエンコーダのカウント値が所定の基準範囲から外れると駆動装置の異常を検知することを特徴とする。

【0017】

本発明では、駆動装置は、第１部材に対して第２部材を移動させるための駆動源となるモータと、第１部材に対して第２部材を移動させるためのプーリおよびベルトと、第１部材および第２部材のいずれか一方に取り付けられるセンサと、第１部材および第２部材のいずれか他方に取り付けられるとともにセンサによって検知される被検知部材と、モータの回転量を検知するためのエンコーダとを備えており、プーリは、第１部材に取り付けられ、ベルトの一部は、第２部材に固定されている。そのため、本発明では、ベルトの伸びが発生すると、モータを駆動させて所定の基準位置に配置される第２部材を被検知部材がセンサに検知されるまで第１部材に対して移動させたときの、モータの回転量が変動して、エンコーダのカウント値が変動する。

【0018】

また、本発明では、モータを駆動させて基準位置に配置される第２部材を被検知部材がセンサに検知されるまで第１部材に対して移動させたときのエンコーダのカウント値が所定の基準範囲から外れると駆動装置の異常を検知している。そのため、本発明では、駆動装置に不具合が発生する程のベルトの伸びが発生して、エンコーダのカウント値が基準範囲から外れたときに駆動装置の異常を検知して、所定の異常処理を実行することが可能になる。したがって、本発明では、ベルトの伸びに起因する駆動装置の不具合の発生を防止することが可能になる。

【発明の効果】

【0019】

以上のように、本発明では、第１部材と、第１部材に対して直線的に移動可能な第２部材と、第１部材に対して第２部材を移動させるためのプーリおよびベルトとを備える駆動装置において、ベルトの伸びに起因する駆動装置の不具合の発生を防止することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの斜視図であり、（Ａ）は、ハンドおよびアームが上限位置まで上昇している状態を示す図、（Ｂ）は、ハンドおよびアームが下限位置まで下降している状態を示す図である。

【図2】図１に示す産業用ロボットの構成を説明するための側面図である。

【図3】図１に示す産業用ロボットの構成を説明するための側面図である。

【図4】図１（Ａ）に示す本体部から固定カバー、第１可動カバー、第２可動カバーおよび第３可動カバーを取り外した状態の正面図である。

【図5】図４のＥ部の構成を説明するための拡大斜視図である。

【図6】図１に示す本体部の構成を説明するためのブロック図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0022】

（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の斜視図であり、（Ａ）は、ハンド３およびアーム４が上限位置まで上昇している状態を示す図、（Ｂ）は、ハンド３およびアーム４が下限位置まで下降している状態を示す図である。

【0023】

本形態の産業用ロボット１は、半導体ウエハを搬送するための水平多関節型のロボットである。産業用ロボット１は、半導体製造システムに組み込まれて使用される。産業用ロボット１は、半導体ウエハが搭載される２個のハンド３と、２個のハンド３が連結されるアーム４と、アーム４が連結される本体部５とを備えている。ハンド３は、アーム４の先端側に回動可能に連結されている。本体部５には、アーム４の基端側が回動可能に連結されている。

【0024】

アーム４は、本体部５の上側に配置されている。アーム４は、本体部５に基端側が回動可能に連結される第１アーム部７と、第１アーム部７の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部８と、第２アーム部８の先端側に基端側が回動可能に連結される第３アーム部９とを備えている。本形態のアーム４は、第１アーム部７と第２アーム部８と第３アーム部９との３個のアーム部によって構成されている。アーム４は、水平方向に伸縮動作を行う。第１アーム部７と第２アーム部８と第３アーム部９とは、上下方向において、下側からこの順番で配置されている。ハンド３は、アーム４の上側に配置されている。ハンド３は、上下方向から見たときの形状が略Ｙ形状となるように形成されている。ハンド３の基端部は、第３アーム部９の先端側に回動可能に連結されている。

【0025】

また、産業用ロボット１は、第３アーム部９に対してハンド３を回動させるハンド回動機構と、本体部５に対して第１アーム部７を回動させるとともに第１アーム部７に対して第２アーム部８を回動させて第１アーム部７と第２アーム部８とからなるアーム４の一部を伸縮させるアーム部駆動機構と、第２アーム部８に対して第３アーム部９を回動させる第３アーム部回動機構とを備えている。

【0026】

（本体部の構成）
図２、図３は、図１に示す産業用ロボット１の構成を説明するための側面図である。図４は、図１（Ａ）に示す本体部５から固定カバー１６、第１可動カバー１７、第２可動カバー１８および第３可動カバー１９を取り外した状態の正面図である。図５は、図４のＥ部の構成を説明するための拡大斜視図である。図６は、図１に示す本体部５の構成を説明するためのブロック図である。なお、図２は、ハンド３およびアーム４が上限位置まで上昇している状態を示し、図３は、ハンド３およびアーム４が下限位置まで下降している状態を示している。

【0027】

以下の説明では、上下方向（鉛直方向、図１等のＺ方向）に直交する図１等のＸ方向を前後方向とし、上下方向と前後方向とに直交する図１等のＹ方向を左右方向とする。また、以下の説明では、前後方向の一方側である図１等のＸ１方向側を「前」側とし、その反対側である図１等のＸ２方向側を「後ろ」側とし、左右方向の一方側である図１等のＹ１方向側を「右」側とし、その反対側である図１等のＹ２方向側を「左」側とする。

【0028】

本体部５は、ハンド３およびアーム４を昇降（上下動）させる機能を備えている。すなわち、本形態の本体部５は、ハンド３およびアーム４を昇降させる昇降装置である。本体部５は、本体部５の下端部を構成する固定フレーム１２と、固定フレーム１２に対して昇降可能な第１可動フレーム１３と、第１可動フレーム１３に対して昇降可能な第２可動フレーム１４と、第２可動フレーム１４に対して昇降可能な第３可動フレーム１５と、固定フレーム１２を覆う固定カバー１６と、第１可動フレーム１３を覆う第１可動カバー１７と、第２可動フレーム１４を覆う第２可動カバー１８と、第３可動フレーム１５を覆う第３可動カバー１９とを備えている。

【0029】

また、本体部５は、固定フレーム１２に対して第１可動フレーム１３を昇降させるための昇降機構２２と、昇降機構２２の動力で昇降する第１可動フレーム１３と連動するように第１可動フレーム１３に対して第２可動フレーム１４を昇降させるための第１動力伝達機構２３と、昇降する第２可動フレーム１４と連動するように第２可動フレーム１４に対して第３可動フレーム１５を昇降させるための第２動力伝達機構２４と、昇降機構２２と第１可動フレーム１３とを連結する第１スライダ２５と、第１動力伝達機構２３と第２可動フレーム１４とを連結する第２スライダ２６と、第２動力伝達機構２４と第３可動フレーム１５とを連結する第３スライダ２７とを備えている。

【0030】

さらに、本体部５は、第２可動フレーム１４に取り付けられるセンサ２８と、第３スライダ２７に取り付けられるとともにセンサ２８によって検知される被検知部材２９と、本体部５を制御するための制御部３０とを備えている。制御部３０は、産業用ロボット１を制御するためのロボット制御部の一部を構成している。

【0031】

本形態では、固定フレーム１２に対して第１可動フレーム１３が上昇すると、連動して、第１可動フレーム１３に対して第２可動フレーム１４が上昇するとともに、第２可動フレーム１４に対して第３可動フレーム１５が上昇する。また、固定フレーム１２に対して第１可動フレーム１３が下降すると、連動して、第１可動フレーム１３に対して第２可動フレーム１４が下降するとともに、第２可動フレーム１４に対して第３可動フレーム１５が下降する。

【0032】

固定フレーム１２は、本体部５の背面（後面）を構成するフレーム本体３１を備えている。フレーム本体３１の後面は、前後方向に直交する長方形状の平面となっている。固定フレーム１２には、第１可動フレーム１３および第１スライダ２５を上下方向に案内するための２本のガイドレール３２が固定されている。２本のガイドレール３２は、左右方向において間隔をあけた状態で配置されている。

【0033】

第１可動フレーム１３は、固定フレーム１２のフレーム本体３１およびガイドレール３２よりも前側に配置されている。第１可動フレーム１３の左右方向の幅は、固定フレーム１２の左右方向の幅よりも狭くなっている。第１可動フレーム１３には、第２可動フレーム１４および第２スライダ２６を上下方向に案内するための２本のガイドレール３３が固定されている。２本のガイドレール３３は、左右方向において間隔をあけた状態で配置されている。

【0034】

第２可動フレーム１４は、第１可動フレーム１３およびガイドレール３３よりも前側に配置されている。第２可動フレーム１４の左右方向の幅は、第１可動フレーム１３の左右方向の幅よりも狭くなっている。第２可動フレーム１４には、第３可動フレーム１５および第３スライダ２７を上下方向に案内するための２本のガイドレール３４が固定されている。２本のガイドレール３４は、左右方向において間隔をあけた状態で配置されている。

【0035】

第３可動フレーム１５は、第２可動フレーム１４およびガイドレール３４よりも前側に配置されている。第３可動フレーム１５の左右方向の幅は、第２可動フレーム１４の左右方向の幅よりも狭くなっている。第３可動フレーム１５の上端部には、アーム４が連結されている。具体的には、第３可動フレーム１５の上端部に第１アーム部７の基端側が回動可能に連結されている。上述のアーム部駆動機構は、第３可動フレーム１５の内部に配置されている。本形態の本体部５は、第３可動フレーム１５の上端部に連結されるアーム４およびハンド３を上下方向に駆動するための駆動装置である。

【0036】

昇降機構２２は、駆動源であるモータ３７と、モータ３７に連結されるボールねじ３８とを備えている。本形態の昇降機構２２は、２個のモータ３７と、２個のモータ３７のそれぞれが連結される２本のボールねじ３８とを備えている。また、昇降機構２２は、モータ３７の回転量を検知するためのエンコーダ３６を備えている。モータ３７は、固定フレーム１２に対して第１可動フレーム１３を昇降させるための駆動源である。また、モータ３７は、第１可動フレーム１３に対して第２可動フレーム１４を昇降させるための駆動源になっているとともに、第２可動フレーム１４に対して第３可動フレーム１５を昇降させるための駆動源になっている。モータ３７は、制御部３０に電気的に接続されている。なお、昇降機構２２は、１個のモータ３７と１本のボールねじ３８とを備えていても良い。

【0037】

ボールねじ３８は、モータ３７の動力で回転するねじ軸３９と、ねじ軸３９に係合するナット部材４０とを備えている。ねじ軸３９は、固定フレーム１２に回転可能に保持されている。２本のねじ軸３９は、左右方向において間隔をあけた状態で配置されている。２個のナット部材４０は、第１スライダ２５に取り付けられている。２個のモータ３７のそれぞれは、２本のボールねじ３８の左右方向の外側に配置されている。また、昇降機構２２は、左右方向において２本のガイドレール３２の間に配置されるとともに、フレーム本体３１の前側に配置されている。

【0038】

エンコーダ３６は、たとえば、光学式のロータリーエンコーダである。エンコーダ３６は、たとえば、モータ３７の出力軸に固定されるスリット板と、スリット板を挟むように配置される発光部および受光部を有する光学式のセンサとを備えている。エンコーダ３６は、制御部３０に電気的に接続されている。具体的には、エンコーダ３６のセンサが制御部３０に電気的に接続されている。制御部３０には、エンコーダ３６の出力信号が入力される。なお、エンコーダ３６は、磁気式のロータリーエンコーダであっても良い。

【0039】

第１動力伝達機構２３は、第１可動フレーム１３の上端部と下端部とに取り付けられる２個のプーリ４１と、２個のプーリ４１に掛け渡される環状のベルト４２と、ベルト４２の一部が固定される柱状の柱状部材４３とを備えている。第１動力伝達機構２３は、第１可動フレーム１３の左側に配置されている。第１動力伝達機構２３は、昇降機構２２およびガイドレール３２よりも前側に配置されている。また、第１動力伝達機構２３は、第２可動フレーム１４よりも後ろ側に配置されている。

【0040】

プーリ４１は、たとえば、歯付きプーリである。プーリ４１は、左右方向を回転の軸方向として回転可能になっている。２個のプーリ４１は、第１可動フレーム１３の左端部に回転可能に取り付けられている。ベルト４２は、無端ベルトである。また、ベルト４２は、たとえば、ゴム製の歯付きベルトである。柱状部材４３は、上下方向を長手方向とする柱状に形成されている。たとえば、柱状部材４３は、四角柱状に形成されている。柱状部材４３の下端部は、固定フレーム１２の下端部に固定されている。上下方向から見たときに、柱状部材４３は、第１可動フレーム１３の左側に配置されている。

【0041】

柱状部材４３の上端部には、固定フレーム１２に対して第１可動フレーム１３が下降し、かつ、第１可動フレーム１３に対して第２可動フレーム１４が下降しているとともに、第２可動フレーム１４に対して第３可動フレーム１５が下降して、ハンド３およびアーム４が下限位置まで下降しているとき（図１（Ｂ）および図３参照）のベルト４２の上側部分が固定されている。第２スライダ２６には、ハンド３およびアーム４が下限位置まで下降しているときのベルト４２の下側部分が固定されている。柱状部材４３は、ベルト４２の後ろ側に配置されており、柱状部材４３の上端部には、ベルト４２の、プーリ４１の後ろ側に配置される部分が固定されている。また、第２スライダ２６は、ベルト４２の前側に配置されており、第２スライダ２６には、ベルト４２の、プーリ４１の前側に配置される部分が固定されている。

【0042】

第２動力伝達機構２４は、第２可動フレーム１４の上端部と下端部とに取り付けられる２個のプーリ４５と、２個のプーリ４５に掛け渡される環状のベルト４６と、ベルト４６の一部が固定される柱状の柱状部材４７とを備えている。第２動力伝達機構２４は、第２可動フレーム１４の右側に配置されている。第２動力伝達機構２４は、第１可動フレーム１３およびガイドレール３３よりも前側に配置されている。また、第２動力伝達機構２４は、第３可動フレーム１５よりも後ろ側に配置されている。

【0043】

プーリ４５は、たとえば、歯付きプーリである。プーリ４５は、左右方向を回転の軸方向として回転可能になっている。２個のプーリ４５は、第２可動フレーム１４の右端部に回転可能に取り付けられている。ベルト４６は、無端ベルトである。また、ベルト４６は、たとえば、ゴム製の歯付きベルトである。柱状部材４７は、上下方向を長手方向とする柱状に形成されている。たとえば、柱状部材４７は、四角柱状に形成されている。柱状部材４７の下端部は、第１可動フレーム１３の下端部に固定されている。上下方向から見たときに、柱状部材４７は、第２可動フレーム１４の右側に配置されている。

【0044】

柱状部材４７の上端部には、固定フレーム１２に対して第１可動フレーム１３が下降し、かつ、第１可動フレーム１３に対して第２可動フレーム１４が下降しているとともに、第２可動フレーム１４に対して第３可動フレーム１５が下降して、ハンド３およびアーム４が下限位置まで下降しているときのベルト４６の上側部分が固定されている。第３スライダ２７には、ハンド３およびアーム４が下限位置まで下降しているときのベルト４６の下側部分が固定されている。柱状部材４７は、ベルト４６の後ろ側に配置されており、柱状部材４７の上端部には、ベルト４６の、プーリ４５の後ろ側に配置される部分が固定されている。また、第３スライダ２７は、ベルト４６の前側に配置されており、第３スライダ２７には、ベルト４６の、プーリ４５の前側に配置される部分が固定されている。

【0045】

第３可動カバー１９は、下面が開口する直方体の箱状に形成されている。第３可動カバー１９の上面は、上下方向に直交し、第３可動カバー１９の側面は、左右方向または前後方向に直交している。第３可動カバー１９の上面部には、第３可動フレーム１５の上端部が配置される貫通穴１９ａが形成されている。第３可動カバー１９は、第３可動フレーム１５に固定されており、第３可動フレーム１５と一緒に昇降する。

【0046】

第３可動カバー１９の上下方向の長さは、第３可動フレーム１５の上下方向の長さよりも短くなっている。第３可動フレーム１５の下端部は、第３可動カバー１９の下端よりも下側に配置されている（図２等参照）。第３可動カバー１９は、第３可動フレーム１５の一部を上側から覆うとともに、第３可動フレーム１５の、上端部および下端部を除いた部分を前後左右方向の両側から覆っている。

【0047】

第２可動カバー１８は、下面が開口する直方体の箱状に形成されている。第２可動カバー１８の上面は、上下方向に直交し、第２可動カバー１８の側面は、左右方向または前後方向に直交している。第２可動カバー１８の外形は、第３可動カバー１９の外形よりも大きくなっている。上下方向から見たときに、第３可動カバー１９は、第２可動カバー１８の外周面よりも内周側に配置されている。第２可動カバー１８の上面部には、第３可動カバー１９が配置される貫通穴１８ａが形成されている。貫通穴１８ａは、第２可動フレーム１４、第２動力伝達機構２４およびガイドレール３４よりも前側に配置されている。

【0048】

第２可動カバー１８は、第２可動フレーム１４に固定されており、第２可動フレーム１４と一緒に昇降する。第２可動カバー１８の上下方向の長さは、第２可動フレーム１４の上下方向の長さよりも短くなっている。第２可動フレーム１４の下端部は、第２可動カバー１８の下端よりも下側に配置されている（図２等参照）。第２可動カバー１８は、第２可動フレーム１４および第２動力伝達機構２４を上側から覆うとともに、第２可動フレーム１４の、下端部を除いた部分を前後左右方向の両側から覆っている。

【0049】

第１可動カバー１７は、下面が開口する直方体の箱状に形成されている。第１可動カバー１７の上面は、上下方向に直交し、第１可動カバー１７の側面は、左右方向または前後方向に直交している。第１可動カバー１７の外形は、第２可動カバー１８の外形よりも大きくなっている。上下方向から見たときに、第２可動カバー１８は、第１可動カバー１７の外周面よりも内周側に配置されている。第１可動カバー１７の上面部には、第２可動カバー１８および第３可動カバー１９が配置される貫通穴１７ａが形成されている。貫通穴１７ａは、第１動力伝達機構２３およびガイドレール３３よりも前側に配置されている。

【0050】

第１可動カバー１７は、第１可動フレーム１３に固定されており、第１可動フレーム１３と一緒に昇降する。第１可動カバー１７の上下方向の長さは、第１可動フレーム１３の上下方向の長さよりも短くなっている。第１可動フレーム１３の下端部は、第１可動カバー１７の下端よりも下側に配置されている（図２等参照）。第１可動カバー１７は、第１可動フレーム１３および第１動力伝達機構２３を上側から覆うとともに、第１可動フレーム１３の、下端部を除いた部分を前後左右方向の両側から覆っている。

【0051】

固定カバー１６は、下面および後面が開口する直方体の箱状に形成されている。固定カバー１６の上面は、上下方向に直交し、固定カバー１６の側面は、左右方向または前後方向に直交している。固定カバー１６の外形は、第１可動カバー１７の外形よりも大きくなっている。上下方向から見たときに、第１可動カバー１７は、固定カバー１６の外周面よりも内周側に配置されている。固定カバー１６の上面部には、第１可動カバー１７、第２可動カバー１８および第３可動カバー１９が配置される貫通穴１６ａが形成されている。貫通穴１６ａは、昇降機構２２およびガイドレール３２よりも前側に配置されている。

【0052】

固定カバー１６は、固定フレーム１２に固定されている。固定カバー１６の後端部の内周面は、フレーム本体３１の左右方向の両側面および上端面に接触している。固定カバー１６の上下方向の長さは、固定フレーム１２の上下方向の長さとほぼ等しくなっている。固定カバー１６の後面側に形成される開口は、フレーム本体３１によって塞がれている。固定カバー１６は、固定フレーム１２および昇降機構２２を上側から覆うとともに、固定フレーム１２を前側および左右方向の両側から覆っている。

【0053】

第１スライダ２５は、第１可動カバー１７の下端よりも下側に配置される第１可動フレーム１３の下端部に固定されている。第１スライダ２５の後端部には、２個のナット部材４０が取り付けられている。すなわち、第１スライダ２５は、第１可動フレーム１３と２個のナット部材４０とを連結している。第１スライダ２５は、ガイドレール３２に係合するガイドブロックを備えており、２本のガイドレール３２に沿って昇降する。なお、第１スライダ２５は、第１可動フレーム１３と一体で形成されていても良い。

【0054】

第２スライダ２６は、第２可動カバー１８の下端よりも下側に配置される第２可動フレーム１４の下端部に固定されている。第２スライダ２６の後端部には、ベルト４２の一部が固定されている。すなわち、第２スライダ２６は、第２可動フレーム１４とベルト４２とを連結している。第２スライダ２６は、ガイドレール３３に係合するガイドブロックを備えており、２本のガイドレール３３に沿って昇降する。なお、第２スライダ２６は、第２可動フレーム１４と一体で形成されていても良い。

【0055】

第３スライダ２７は、第３可動カバー１９の下端よりも下側に配置される第３可動フレーム１５の下端部に固定されている。第３スライダ２７の後端部には、ベルト４６の一部が固定されている。すなわち、第３スライダ２７は、第３可動フレーム１５とベルト４６とを連結している。第３スライダ２７は、ガイドレール３４に係合するガイドブロックを備えており、２本のガイドレール３４に沿って昇降する。なお、第３スライダ２７は、第３可動フレーム１５と一体で形成されていても良い。

【0056】

センサ２８は、たとえば、発光部および受光部を有する光学式のセンサである。センサ２８の発光部と受光部とは、左右方向において間隔をあけた状態で対向配置されている。上述のように、センサ２８は、第２可動フレーム１４に取り付けられている。具体的には、センサ２８は、第２可動フレーム１４の右上端部に固定されている。センサ２８は、第２可動フレーム１４の右上端部に取り付けらけられるプーリ４５の近くに配置されている。センサ２８は、制御部３０に電気的に接続されている。制御部３０には、センサ２８の出力信号が入力される。

【0057】

被検知部材２９は、金属板を所定形状に折り曲げることで形成されている。被検知部材２９は、センサ２８の発光部と受光部との間を遮るための遮光部２９ａを備えている。遮光部２９ａは、左右方向を厚さ方向とする平板状に形成されている。上述のように、被検知部材２９は、第３スライダ２７に取り付けられている。具体的には、被検知部材２９は、第３スライダ２７の、ベルト４６の一部が固定される部分の近傍に固定されている。遮光部２９ａは、第２可動フレーム１４に対して第３可動フレーム１５が所定の位置まで上昇するとセンサ２８の発光部と受光部との間を遮る。すなわち、第２可動フレーム１４に対して第３可動フレーム１５が所定の位置まで上昇すると、被検知部材２９がセンサ２８に検知される。

【0058】

本形態では、第３可動フレーム１５と第３スライダ２７とによって昇降体５０が構成され、固定フレーム１２と柱状部材４３とによって固定体５１が構成されている。また、第１可動フレーム１３と第１スライダ２５と柱状部材４７とによって固定体５１に対して昇降可能な第２昇降体としての昇降体５２が構成され、第２可動フレーム１４と第２スライダ２６とによって昇降体５２に対して昇降可能な第３昇降体としての昇降体５３が構成されている。すなわち、本体部５は、昇降体５０と固定体５１と昇降体５２と昇降体５３とを備えている。

【0059】

昇降体５０は、第３昇降体である昇降体５３に対して昇降可能となっている。また、昇降体５０は、昇降する昇降体５３と連動するように昇降する。アーム４は、昇降体５０に連結されている。昇降機構２２は、固定体５１に対して昇降体５２を昇降させる。本形態のプーリ４１は、昇降機構２２の動力で昇降する昇降体５２に連動するように昇降体５３を昇降させるための第２プーリであり、ベルト４２は、昇降機構２２の動力で昇降する昇降体５２に連動するように昇降体５３を昇降させるための第２ベルトである。

【0060】

また、本形態の昇降体５３は、第１部材となっており、昇降体５０は、第１部材である昇降体５３に対して直線的に移動可能な第２部材となっている。モータ３７は、第１部材である昇降体５３に対して、第２部材である昇降体５０を移動させるための駆動源となっている。プーリ４５およびベルト４６は、昇降体５３に対して昇降体５０を移動させるために設けられている。

【0061】

産業用ロボット１では、定期的に、所定の基準位置に配置される昇降体５０を被検知部材２９がセンサ２８に検知されるまで昇降体５３に対して移動させる。すなわち、産業用ロボット１では、定期的に、モータ３７を駆動して、被検知部材２９がセンサ２８に検知される位置まで昇降体５０、５２、５３を移動させる。基準位置は、たとえば、昇降体５３に対する昇降体５０の下限位置であり、基準位置に配置される昇降体５０は、被検知部材２９がセンサ２８に検知されるまで上昇する。昇降体５０が基準位置に配置されているときには、昇降体５２は、固定体５１に対する下限位置に配置され、昇降体５３は、昇降体５２に対する下限位置に配置されている。また、産業用ロボット１では、たとえば、１日に１回、基準位置に配置される昇降体５０を被検知部材２９がセンサ２８に検知されるまで昇降体５３に対して上昇させる。

【0062】

制御部３０は、モータ３７を駆動させて基準位置に配置される昇降体５０を被検知部材２９がセンサ２８に検知されるまで昇降体５３に対して移動させたときのエンコーダ３６のカウント値を算出する。すなわち、制御部３０は、モータ３７を駆動させて基準位置に配置される昇降体５０を被検知部材２９がセンサ２８に検知されるまで昇降体５３に対して上昇させたときのエンコーダ３６の出力信号に基づいてカウントされるエンコーダ３６のカウント値を算出する。

【0063】

また、制御部３０は、このときのエンコーダ３６のカウント値が所定の基準範囲から外れると、本体部５の異常を検知して、所定の異常処理を実行する。すなわち、制御部３０は、このときのモータ３７の回転量が所定の基準範囲から外れると、本体部５の異常を検知して、異常処理を実行する。たとえば、制御部３０は、エンコーダ３６のカウント値が所定の基準範囲から外れると、産業用ロボット１を制御する上位装置にアラーム信号を送信する。

【0064】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、本体部５は、モータ３７と、昇降体５２に対して昇降体５３を昇降させるためのプーリ４１およびベルト４２と、昇降体５３に対して昇降体５０を昇降させるためのプーリ４５およびベルト４６と、昇降体５３に取り付けられるセンサ２８と、昇降体５０に取り付けられる被検知部材２９と、モータ３７の回転量を検知するためのエンコーダ３６とを備えている。また、本形態では、モータ３７は、昇降体５２に対して昇降体５３を昇降させるための駆動源になっているとともに、昇降体５３に対して昇降体５０を昇降させるための駆動源になっている。さらに、本形態では、プーリ４１が第２昇降体５２に取り付けられ、プーリ４５が第３昇降体５３に取り付けられているとともに、ベルト４２が固定体５１および昇降体５３に固定され、ベルト４６が昇降体５０、５２に固定されている。

【0065】

そのため、本形態では、ベルト４２、４６の伸びが発生すると、モータ３７を駆動させて基準位置に配置される昇降体５０を被検知部材２９がセンサ２８に検知されるまで昇降体５３に対して移動させたときの、モータ３７の回転量が変動して、エンコーダ３６のカウント値が変動する。また、本形態では、制御部３０は、モータ３７を駆動させて基準位置に配置される昇降体５０を被検知部材２９がセンサ２８に検知されるまで昇降体５３に対して移動させたときのエンコーダ３６のカウント値を算出し、エンコーダ３６のカウント値が所定の基準範囲から外れると、異常を検知して所定の異常処理を実行している。

【0066】

したがって、本形態では、産業用ロボット１に不具合が発生する程のベルト４２、４６の伸びが発生して、エンコーダ３６のカウント値が基準範囲から外れたときに異常を検知して異常処理を実行することが可能になる。たとえば、上述のように、上位装置にアラーム信号を送信することが可能になる。また、本形態では、上位装置がアラーム信号を受信したときに、オペレータがベルト４２、４６のメンテナンス等を行うことで、ベルト４２、４６の伸びに起因する産業用ロボット１の不具合の発生を防止することが可能になる。

【0067】

本形態では、アーム４が連結される昇降体５０に被検知部材２９が取り付けられ、昇降体５３にセンサ２８が取り付けられている。そのため、本形態では、昇降体５０のみに被検知部材２９が取り付けられ、昇降体５３のみにセンサ２８が取り付けられていても、モータ３７を駆動させて基準位置に配置される昇降体５０を被検知部材２９がセンサ２８に検知されるまで移動させたときのエンコーダ３６のカウント値に基づいて、ベルト４２、４６の伸びに起因するハンド３およびアーム４の上下方向の位置の変動量を直接的に検知することが可能になる。

【0068】

すなわち、本形態では、昇降体５０のみに被検知部材２９が取り付けられ、昇降体５３のみにセンサ２８が取り付けられていても、産業用ロボット１の、不具合が生じたときに最も問題となりやすい部分（すなわち、ハンド３およびアーム４）の上下方向の位置の変動量を直接的に検知することが可能になる。したがって、本形態では、産業用ロボット１の構成を簡素化しつつ、産業用ロボット１の、不具合が生じたときに最も問題となりやすい部分の不具合の発生を防止することが可能になる。

【0069】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0070】

上述した形態において、第２可動フレーム１４に被検知部材２９が取り付けられ、第３スライダ２７にセンサ２８が取り付けられていても良い。また、上述した形態において、本体部５は、第２可動フレーム１４に取り付けられるセンサ２８および第３スライダ２７に取り付けられる被検知部材２９に加えて、あるいは、第２可動フレーム１４に取り付けられるセンサ２８および第３スライダ２７に取り付けられる被検知部材２９に代えて、第１可動フレーム１３および第２スライダ２６のいずれか一方に取り付けられるセンサ２８と、第１可動フレーム１３および第２スライダ２６のいずれか他方に取り付けられる被検知部材２９とを備えていても良い。この場合には、昇降体５２と昇降体５３との関係において、昇降体５２は第１部材となっており、昇降体５３は第２部材となっている。

【0071】

上述した形態において、本体部５は、第３可動フレーム１５と第３可動カバー１９と第２動力伝達機構２４と第３スライダ２７とを備えていなくても良い。すなわち、第２可動フレーム１４の上端部にアーム４が連結されていても良い。この場合には、第１可動フレーム１３および第２スライダ２６のいずれか一方にセンサ２８が取り付けられ、第１可動フレーム１３および第２スライダ２６のいずれか他方に被検知部材２９が取り付けられている。この場合には、昇降体５２と昇降体５３との関係において、昇降体５２は第１部材となっており、昇降体５３は第２部材となっている。

【0072】

上述した形態において、本体部５は、第３可動フレーム１５に対して昇降可能な第４可動フレームと、昇降する第３可動フレーム１５と連動するように第３可動フレーム１５に対して第４可動フレームを昇降させるためのプーリおよびベルトを有する第３動力伝達機構と、第３動力伝達機構と第４可動フレームとを連結する第４スライダとを備えていても良い。この場合には、第４可動フレームの上端部にアーム４が連結されている。また、この場合には、たとえば、第３可動フレーム１５および第４スライダのいずれか一方にセンサ２８が取り付けられ、第３可動フレーム１５および第４スライダのいずれか他方に被検知部材２９が取り付けられている。この場合には、第４可動フレームと第４スライダとによって構成される昇降体と昇降体５０との関係において、昇降体５０は第１部材となっており、第４可動フレームと第４スライダとによって構成される昇降体は、第２部材となっている。

【0073】

また、本体部５は、さらに、第４可動フレームに対して昇降可能な第５可動フレームと、昇降する第４可動フレームと連動するように第４可動フレームに対して第５可動フレームを昇降させるためのプーリおよびベルトを有する第４動力伝達機構と、第４動力伝達機構と第５可動フレームとを連結する第５スライダとを備えていても良い。この場合には、第５可動フレームの上端部にアーム４が連結されている。また、この場合には、たとえば、第４可動フレームおよび第５スライダのいずれか一方にセンサ２８が取り付けられ、第４可動フレームおよび第５スライダのいずれか他方に被検知部材２９が取り付けられている。

【0074】

このように、本体部５は、第１可動フレーム１３と第２可動フレーム１４と第３可動フレーム１５と第４可動フレームとを有する５段構造となっていても良いし、第１可動フレーム１３と第２可動フレーム１４と第３可動フレーム１５と第４可動フレームと第５可動フレームとを有する６段構造となっていても良い。また、本体部５は、７段構造以上の複数段構造となっていても良い。

【0075】

上述した形態において、昇降機構２２は、ボールねじ３８に代えて、固定フレーム１２の上端部と下端部とに取り付けられる２個のプーリと、２個のプーリに架け渡されるとともに一部が第１スライダ２５に固定されるベルトとを備えていても良い。この場合には、モータ３７の動力で２個のプーリのうちの一方のプーリが回転する。この場合には、固定フレーム１２および第１スライダ２５のいずれか一方にセンサ２８が取り付けられ、固定フレーム１２および第１スライダ２５のいずれか他方に被検知部材２９が取り付けられていても良い。

【0076】

この場合には、固定体５１と昇降体５２との関係において、固定体５１は第１部材となっており、昇降体５２は、第２部材となっている。また、この場合には、本体部５は、第２可動フレーム１４と第３可動フレーム１５と第２可動カバー１８と第３可動カバー１９と第１動力伝達機構２３と第２動力伝達機構２４と第２スライダ２６と第３スライダ２７とを備えていなくても良い。すなわち、第１可動フレーム１３の上端部にアーム４が連結されていても良い。

【0077】

上述した形態において、第１動力伝達機構２３は、第１可動フレーム１３の上端部に取り付けられる１個のみのプーリ４１を備えていても良い。この場合には、ベルト４２は環状に形成されていない。同様に、第２動力伝達機構２４は、第２可動フレーム１４の上端部に取り付けられる１個のみのプーリ４５を備えていても良い。この場合には、ベルト４６は環状に形成されていない。また、上述した形態において、アーム４は、２個のアーム部によって構成されても良いし、４個以上のアーム部によって構成されていても良い。さらに、上述した形態において、第３アーム部９の先端側に１個のハンド３が取り付けられても良い。また、上述した形態において、産業用ロボット１は、液晶表示装置用のガラス基板等の、半導体ウエハ以外の搬送対象物を搬送しても良い。

【0078】

上述した形態において、産業用ロボット１は、水平多関節型のロボット以外のロボットであっても良い。たとえば、産業用ロボット１は、特開２０１９－２５５８７号公報に開示されているように、ハンドと、ハンドが固定されるハンド支持部材と、ハンド支持部材を介してハンドが連結されるアームとを備えていても良い。この場合には、ハンドおよびハンド支持部材がアームに対して水平方向に直線的に往復移動する。

【0079】

本発明が適用される駆動装置は、ハンド３およびアーム４を昇降させる昇降装置でなくても良い。たとえば、本発明が適用される駆動装置は、本体部５を水平方向に直線的に移動させるための水平駆動装置であっても良い。この場合には、駆動装置は、たとえば、本体部５が移動可能に載置される第１部材としてのベース部材を備えており、本体部５が第２部材となっている。また、この場合には、駆動装置は、たとえば、ベース部材に取り付けられる２個のプーリと、２個のプーリに架け渡されるとともに一部が固定フレーム１２に固定されるベルトとを備えていても良い。この場合には、ベース部材および固定フレーム１２のいずれか一方にセンサ２８が取り付けられ、ベース部材および固定フレーム１２のいずれか他方に被検知部材２９が取り付けられている。また、本発明が適用される駆動装置は、たとえば、特開２０１９－２５５８７号公報に開示された産業用ロボットにおいて、アームに対してハンドおよびハンド支持部材を水平方向に直線的に移動させるためのハンド駆動装置であっても良い。

【符号の説明】

【0080】

１ 産業用ロボット
３ ハンド
４ アーム
５ 本体部（昇降装置、駆動装置）
２２ 昇降機構
２８ センサ
２９ 被検知部材
３０ 制御部
３６ エンコーダ
３７ モータ
４１ プーリ（第２プーリ）
４２ ベルト（第２ベルト）
４５ プーリ
４６ ベルト
５０ 昇降体（第２部材）
５１ 固定体
５２ 昇降体（第２昇降体）
５３ 昇降体（第３昇降体、第１部材）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】