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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024147150
(43)【公開日】2024-10-16
(54)【発明の名称】ロボット
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20241008BHJP
B25J 13/08 20060101ALI20241008BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
B25J13/08 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】5
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023059977
(22)【出願日】2023-04-03
(71)【出願人】
【識別番号】000002233
【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100142619
【弁理士】
【氏名又は名称】河合 徹
(74)【代理人】
【識別番号】100153316
【弁理士】
【氏名又は名称】河口 伸子
(74)【代理人】
【識別番号】100196140
【弁理士】
【氏名又は名称】岩垂 裕司
(72)【発明者】
【氏名】濱沖 孟
(72)【発明者】
【氏名】矢澤 隆之
【テーマコード（参考）】
3C707
5F131
【Ｆターム（参考）】
3C707AS05
3C707BS15
3C707BS26
3C707CS04
3C707CT04
3C707ES17
3C707HS27
3C707KV11
3C707MS14
3C707NS12
5F131AA02
5F131CA09
5F131CA69
5F131DA02
5F131DA32
5F131DA33
5F131DA42
5F131DB02
5F131DB04
5F131DB52
5F131DB58
5F131DB62
5F131DB76
5F131DD03
5F131DD33
5F131DD43
5F131DD94
5F131EA04
5F131KA16
5F131KA62
5F131KA64
5F131KA66
5F131KB32
5F131KB45
5F131KB58
(57)【要約】
【課題】高温の処理装置の内部でガラス基板を受け渡す場合であって、ハンド上のガラス基板の有無を検出する検出センサが熱の影響による損傷を抑制することが可能なロボットを提供すること。
【解決手段】ロボット１００は、基板Ｗが載置されるハンド３と、ハンド３が先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向で伸縮するアーム４と、アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部５１を備える本体部５と、アーム支持部に設けられハンドに基板Ｗが載置されたかどうかを検出する検出機構６と、を有する。検出機構６は、上下方向の一方側に光を発する発光部と、上下方向の他方側からの光を受光する受光部と、発光部の一方側に配置された遮蔽板と、を備える。検出機構６は、発光部からの光が基板Ｗで反射された反射光を受光部が受光することにより、基板Ｗの存在を検出する。
【選択図】図３
【解決手段】ロボット１００は、基板Ｗが載置されるハンド３と、ハンド３が先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向で伸縮するアーム４と、アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部５１を備える本体部５と、アーム支持部に設けられハンドに基板Ｗが載置されたかどうかを検出する検出機構６と、を有する。検出機構６は、上下方向の一方側に光を発する発光部と、上下方向の他方側からの光を受光する受光部と、発光部の一方側に配置された遮蔽板と、を備える。検出機構６は、発光部からの光が基板Ｗで反射された反射光を受光部が受光することにより、基板Ｗの存在を検出する。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
平板状であるワークを搬送するロボットにおいて、
前記ワークが載置されるハンドと、
前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向で伸縮するアームと、
前記アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部を備える本体部と、
前記アーム支持部に設けられ前記ハンドに前記ワークが載置されたかどうかを検出する検出機構と、
前記アームを制御して、前記ワークの有無を検出する検出位置に前記ハンドを移動させる制御部と、
を有し、
前記検出機構は、上下方向の一方側に光を発する発光部と、上下方向の他方側からの光を受光する受光部と、前記発光部の前記一方側に配置された遮蔽板と、を備え、
前記ハンドが前記検出位置に移動した際に前記ワークが前記ハンドに載置されていた場合には、
前記ワークは、上下方向において、前記発光部と前記遮蔽板との間に位置し、
前記検出機構は、前記発光部からの光が前記ワークで反射された反射光を前記受光部が受光することにより、前記ワークの存在を検出することを特徴とするロボット。
前記ワークが載置されるハンドと、
前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向で伸縮するアームと、
前記アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部を備える本体部と、
前記アーム支持部に設けられ前記ハンドに前記ワークが載置されたかどうかを検出する検出機構と、
前記アームを制御して、前記ワークの有無を検出する検出位置に前記ハンドを移動させる制御部と、
を有し、
前記検出機構は、上下方向の一方側に光を発する発光部と、上下方向の他方側からの光を受光する受光部と、前記発光部の前記一方側に配置された遮蔽板と、を備え、
前記ハンドが前記検出位置に移動した際に前記ワークが前記ハンドに載置されていた場合には、
前記ワークは、上下方向において、前記発光部と前記遮蔽板との間に位置し、
前記検出機構は、前記発光部からの光が前記ワークで反射された反射光を前記受光部が受光することにより、前記ワークの存在を検出することを特徴とするロボット。
【請求項2】
前記ハンドは、前記ワークが載置される第１ハンドおよび第２ハンドと、を備え、
前記アームは、前記第１ハンドが先端側に回転可能に連結された第１アームと、前記第２ハンドが先端側に回転可能に連結された第２アームと、を備え、
前記アーム支持部は、前記第１アームの基端側が回動可能に連結されるとともに、前記第１アームの下方側で前記第２アームの基端側が回動可能に連結され、
前記制御部は、前記第１アームおよび第２アームをそれぞれ制御して、前記検出位置に前記第１ハンドおよび前記第２ハンドをそれぞれ移動させ、
前記発光部は、上方側に光を発する第１発光部と、下方側に光を発する第２発光部と、を備え、
前記受光部は、上方側からの光を受光する第１受光部と、下方側からの光を受光する第２受光部と、を備え、
前記遮蔽板は、上下方向において前記第１発光部および前記第２発光部の間に配置され、
前記第１ハンドが前記検出位置に移動した際に前記ワークが前記第１ハンドに載置されていた場合には、前記ワークは、上下方向において、前記第１発光部および前記遮蔽板の間に位置し、
前記第２ハンドが前記検出位置に移動した際に前記ワークが前記第２ハンドに載置されていた場合には、前記ワークは、上下方向において、前記第２発光部および前記遮蔽板の間に位置し、
前記検出機構は、前記第１発光部からの光が前記ワークで反射された反射光を前記第１受光部が受光することにより、前記第１ハンドに前記ワークが存在することを検出し、前記第２発光部からの光が前記ワークで反射された反射光を前記第２受光部が受光することにより、前記第２ハンドに前記ワークが存在することを検出することを特徴とする請求項１に記載のロボット。
前記アームは、前記第１ハンドが先端側に回転可能に連結された第１アームと、前記第２ハンドが先端側に回転可能に連結された第２アームと、を備え、
前記アーム支持部は、前記第１アームの基端側が回動可能に連結されるとともに、前記第１アームの下方側で前記第２アームの基端側が回動可能に連結され、
前記制御部は、前記第１アームおよび第２アームをそれぞれ制御して、前記検出位置に前記第１ハンドおよび前記第２ハンドをそれぞれ移動させ、
前記発光部は、上方側に光を発する第１発光部と、下方側に光を発する第２発光部と、を備え、
前記受光部は、上方側からの光を受光する第１受光部と、下方側からの光を受光する第２受光部と、を備え、
前記遮蔽板は、上下方向において前記第１発光部および前記第２発光部の間に配置され、
前記第１ハンドが前記検出位置に移動した際に前記ワークが前記第１ハンドに載置されていた場合には、前記ワークは、上下方向において、前記第１発光部および前記遮蔽板の間に位置し、
前記第２ハンドが前記検出位置に移動した際に前記ワークが前記第２ハンドに載置されていた場合には、前記ワークは、上下方向において、前記第２発光部および前記遮蔽板の間に位置し、
前記検出機構は、前記第１発光部からの光が前記ワークで反射された反射光を前記第１受光部が受光することにより、前記第１ハンドに前記ワークが存在することを検出し、前記第２発光部からの光が前記ワークで反射された反射光を前記第２受光部が受光することにより、前記第２ハンドに前記ワークが存在することを検出することを特徴とする請求項１に記載のロボット。
【請求項3】
前記遮蔽板は、平面を備える板状部材であり、上下方向に傾いて配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載のロボット。
【請求項4】
前記遮蔽板は、黒色であることを特徴とする請求項１または２に記載のロボット。
【請求項5】
前記本体部は、前記アーム支持部を上下方向に移動させる駆動部を備えることを特徴と
する請求項１に記載のロボット。
する請求項１に記載のロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、搬送対象物を搬送するロボットに関する。
【0002】
ガラス基板などの搬送対象物を搬送するロボットは、特許文献１に記載されている。特許文献１に記載のロボットは、ガラス基板が搭載される第１ハンドおよび第２ハンドを有するハンドと、ハンドが回転可能に連結されたアームと、アームを保持するアーム支持部材とを備えている。アームは、前後方向に細長い略直方体状に形成されている。アームは、水平方向で伸縮することにより、第１ハンドおよび第２ハンドを直線的に往復移動させる。
【0003】
同文献のロボットは、複数枚のガラス基板が収容される収容カセットからガラス基板に対して所定の処理を行う処理装置まで、ガラス基板を搬送する。処理装置は、高温環境下でガラス基板に対する処理が実行される。このため、処理装置の内部温度は、高温となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１９－０２５５８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
ハンドには、ハンド上のガラス基板の有無を検出する検出センサが設けられることがある。ロボットは、検出センサにより、ハンド上のガラス基板の有無を認識し、ガラス基板が確実に搬送されたかを確認している。ここで、処理装置の内部温度は高温となっているので、ハンドが処理装置の内部でガラス基板を受け渡す際に、検出センサが熱の影響で損傷するおそれがある。検出センサが損傷した場合には、ロボットは、ハンド上のガラス基板の有無を認識できないという問題がある。
【0006】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、高温の処理装置の内部でガラス基板を受け渡す場合であって、ハンド上のガラス基板の有無を検出する検出センサが熱の影響による損傷を抑制することが可能なロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記課題を解決するため、本発明の平板状であるワークを搬送するロボットは、前記ワークが載置されるハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向で伸縮するアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部を備える本体部と、前記アーム支持部に設けられ前記ハンドに前記ワークが載置されたかどうかを検出する検出機構と、前記アームを制御して、前記ワークの有無を検出する検出位置に前記ハンドを移動させる制御部と、を有し、前記検出機構は、上下方向の一方側に光を発する発光部と、上下方向の他方側からの光を受光する受光部と、前記発光部の前記一方側に配置された遮蔽板と、を備え、前記ハンドが前記検出位置に移動した際に前記ワークが前記ハンドに載置されていた場合には、前記ワークは、上下方向において、前記発光部と前記遮蔽板との間に位置し、前記検出機構は、前記発光部からの光が前記ワークで反射された反射光を前記受光部が受光することにより、前記ワークの存在を検出することを特徴とする。
【0008】
本発明によれば、ハンド上のワークの有無を検出する検出機構が、アーム支持部に設け
られているので、ロボットが、高温の処理装置の内部でワークを受け渡す場合であって、検出機構は、熱の影響を受けにくい。これにより、検出機構が熱の影響により損傷しにくいので、ロボットが、ハンド上のワークの有無を認識できないということを抑制することができる。
られているので、ロボットが、高温の処理装置の内部でワークを受け渡す場合であって、検出機構は、熱の影響を受けにくい。これにより、検出機構が熱の影響により損傷しにくいので、ロボットが、ハンド上のワークの有無を認識できないということを抑制することができる。
【0009】
また、検出機構は遮蔽板を備えるので、ロボットの動作中に、受光部が外部からの光を誤って検出しにくい。これにより、検出機構が誤作動することを抑制することができる。
【0010】
本発明において、前記ハンドは、前記ワークが載置される第１ハンドおよび第２ハンドと、を備え、前記アームは、前記第１ハンドが先端側に回転可能に連結された第１アームと、前記第２ハンドが先端側に回転可能に連結された第２アームと、を備え、前記アーム支持部は、前記第１アームの基端側が回動可能に連結されるとともに、前記第１アームの下方側で前記第２アームの基端側が回動可能に連結され、前記制御部は、前記第１アームおよび第２アームをそれぞれ制御して、前記検出位置に前記第１ハンドおよび前記第２ハンドをそれぞれ移動させ、前記発光部は、上方側に光を発する第１発光部と、下方側に光を発する第２発光部と、を備え、前記受光部は、上方側からの光を受光する第１受光部と、下方側からの光を受光する第２受光部と、を備え、前記遮蔽板は、上下方向において前記第１発光部および前記第２発光部の間に配置され、前記第１ハンドが前記検出位置に移動した際に前記ワークが前記第１ハンドに載置されていた場合には、前記ワークは、上下方向において、前記第１発光部および前記遮蔽板の間に位置し、前記第２ハンドが前記検出位置に移動した際に前記ワークが前記第２ハンドに載置されていた場合には、前記ワークは、上下方向において、前記第２発光部および前記遮蔽板の間に位置し、前記検出機構は、前記第１発光部からの光が前記ワークで反射された反射光を前記第１受光部が受光することにより、前記第１ハンドに前記ワークが存在することを検出し、前記第２発光部からの光が前記ワークで反射された反射光を前記第２受光部が受光することにより、前記第２ハンドに前記ワークが存在することを検出することが好ましい。
【0011】
このようにすれば、第１ハンドおよび第２ハンドの２個のハンドによってワークを搬送する場合であっても、ハンド上のワークの有無を検出することができる。また、遮蔽板は、上下方向において第１発光部および第２発光部の間に配置されているので、第１発光部が発した光を第２受光部が誤って受光することを抑制することができる。同様に、第２発光部が発した光を第１受光部が誤って受光することを抑制することができる。
【0012】
本発明において、前記遮蔽板は、平面を備える板状部材であり、上下方向に傾いて配置されていることが好ましい。このようにすれば、発光部からの光が遮蔽板で反射した場合であっても、遮蔽板で反射した反射光が受光部に向かわないようにすることができる。この結果、発光部と遮蔽板との間隔を短くした場合であっても、受光部が遮蔽板で反射した反射光を受光することを抑制することができる。
【0013】
本発明において、前記遮蔽板は、黒色であることが好ましい。このようにすれば、遮蔽板で光が反射しにくい。
【0014】
本発明において、前記本体部は、前記アーム支持部を上下方向に移動させる駆動部を備えることができる。このようにすれば、ロボットは、水平方向および上下方向に、ワークを搬送することができる。
【発明の効果】
【0015】
本発明では、検出機構がアーム支持部に設けられているので、ロボットが、高温の処理装置の内部でワークを受け渡す場合であって、検出機構は、熱の影響により損傷しにくい。これにより、ロボットが、ハンド上のワークの有無を認識できないということを抑制す
ることができる。
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【発明を実施するための形態】
【0017】
図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。以下の説明では、搬送対象物としてのワークが、液晶ディスプレイ用のガラス基板（以下、「基板」とする。）である場合を中心に説明する。基板Ｗは、矩形の平板状である。図１は、本発明を適用したロボットの平面図である。図２は、図１に示すロボットの側面図である。図３は、アーム支持部および検出機構を説明する図である。
【0018】
（ロボットの全体構成）
本形態のロボット１００は、液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれて使用される。ロボット１００は、水平多関節型のロボットである。図１に示すように、ロボット１００は、複数枚のガラス製の基板Ｗが収容される収容カセット１から基板Ｗに対して所定の処理を行う処理装置２まで、基板Ｗを搬送する。処理装置２では、高温環境下で基板Ｗに対する処理が実行される。処理装置２で処理された基板Ｗは、ロボット１００により、次工程に搬送される。
本形態のロボット１００は、液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれて使用される。ロボット１００は、水平多関節型のロボットである。図１に示すように、ロボット１００は、複数枚のガラス製の基板Ｗが収容される収容カセット１から基板Ｗに対して所定の処理を行う処理装置２まで、基板Ｗを搬送する。処理装置２では、高温環境下で基板Ｗに対する処理が実行される。処理装置２で処理された基板Ｗは、ロボット１００により、次工程に搬送される。
【0019】
図１および図２に示すように、ロボット１００は、基板Ｗが載置されるハンド３と、ハンド３が先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向で伸縮するアーム４と、アーム４の基端側が回動可能に連結されるアーム支持部５１を備える本体部５と、本体部５を水平方向に移動可能に支持するベース８と、を有する。また、ロボット１００は、アーム支持部５１に設けられハンド３に基板Ｗが載置されたかどうかを検出する検出機構６と、アーム４を制御して基板Ｗの有無を検出する検出位置３０Ａにハンド３を移動させる制御部７と、を有する。
【0020】
以下の説明では、便宜上、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸とする。ベース８に対する本体部５の移動方向をＹ軸方向とする。上下方向をＺ軸方向とする。Ｚ軸方向において、上方側をＺ１側とし、下方側をＺ２側とする。
【0021】
図１および図２に示すように、ハンド３は、基板Ｗが載置される第１ハンド３１および第２ハンド３２と、を備える。第１ハンド３１および第２ハンド３２は、アーム４の先端側に回動可能に連結されるハンド基部３３と、Ｚ１側に基板Ｗが載置される直線状の複数のフォーク３４と、を備える。本形態では、フォーク３４は、２本設けられている。２本のフォーク３４は、ハンド基部３３から水平方向の同方向へ突出している。２本のフォーク３４は、間隔をあけた状態で互いに平行に配置されている。
【0022】
図１および図２に示すように、アーム４は、水平方向に伸縮する多関節アームである。アーム４は、第１ハンド３１が先端側に回転可能に連結された第１アーム４１と、第２ハンド３２が先端側に回転可能に連結された第２アーム４２と、を備える。第１アーム４１は、第１部分４３と第２部分４４とを備える。第１部分４３の基端側は、第１関節部４１ａを介して、アーム支持部５１に回動可能に連結されている。第１部分４３の先端側には、第２関節部４１ｂを介して、第２部分４４の基端側が回動可能に連結されている。第２部分４４の先端側には、第３関節部４１ｃを介して、第１ハンド３１が回動可能に連結されている。第１関節部４１ａ、第２関節部４１ｂおよび第３関節部４１ｃには、回転駆動の駆動源であるサーボモータと、サーボモータの出力軸の回転位置を検出する回転位置セ
ンサとが配置されている。第１アーム４１は、制御部７がサーボモータの駆動力を制御することにより、第１ハンド３１をＸ方向に直線移動させて、処理装置２の内部に基板Ｗを搬送する。ここで、本形態では、第１ハンド３１が検出位置３０Ａに移動した場合には、第１アーム４１は、最も縮まった状態であり、第１ハンド３１の先端は、Ｘ軸方向を向いている。
ンサとが配置されている。第１アーム４１は、制御部７がサーボモータの駆動力を制御することにより、第１ハンド３１をＸ方向に直線移動させて、処理装置２の内部に基板Ｗを搬送する。ここで、本形態では、第１ハンド３１が検出位置３０Ａに移動した場合には、第１アーム４１は、最も縮まった状態であり、第１ハンド３１の先端は、Ｘ軸方向を向いている。
【0023】
第２アーム４２は、第１アーム４１のＺ２側に位置する。第２アーム４２は、第１部分４６と第２部分４７とを備える。第１部分４６の基端側は、第１関節部４２ａを介して、第１アーム４１の第１部分４３の下方側でアーム支持部５１に回動可能に連結されている。第１部分４６の先端側には、第２関節部４２ｂを介して、第２部分４７の基端側が回動可能に連結されている。第２部分４７の先端側には、第３関節部４２ｃを介して、第２ハンド３２が回動可能に連結されている。第１関節部４２ａ、第２関節部４２ｂおよび第３関節部４２ｃには、回転駆動の駆動源であるサーボモータと、サーボモータの出力軸の回転位置を検出する回転位置センサとが配置されている。第２アーム４２は、制御部７がサーボモータの駆動力を制御することにより、第２ハンド３２をＸ方向に直線移動させて、処理装置２の内部に基板Ｗを搬送する。ここで、本形態では、第２ハンド３２が検出位置３０Ａに移動した場合には、第２アーム４２は、最も縮まった状態であり、第２ハンド３２の先端は、Ｘ軸方向を向いている。
【0024】
図１および図２に示すように、本体部５は、アーム支持部５１と、アーム支持部５１を昇降可能に支持する支持フレーム５２と、Ｚ軸方向の沿った回転軸を中心に支持フレーム５２を回転可能に支持する基台５３と、を備える。
【0025】
図３に示すように、アーム支持部５１は、支持フレーム５２に支持された本体部５１１と、本体部５１１の上端部から突出する第１支持部５１２と、本体部５１１の下端部から突出する第２支持部５１３と、本体部５１１の中央に設けられた第３支持部５１４と、を備える。第１支持部５１２は、第１部分４３の基端側が回動可能に連結されている。第２支持部５１３は、第１部分４６の基端側が回動可能に連結されている。第１支持部５１２および第２支持部５１３は、本体部５１１から同じ方向に突出する。第３支持部５１４は、Ｚ軸方向において、第１支持部５１２および第２支持部５１３の間に位置する。第３支持部５１４は、検出機構６を支持する。
【0026】
図１および図２に示すように、支持フレーム５２は、Ｚ軸方向に延在する。支持フレーム５２は、支持フレーム５２に対して、アーム支持部５１をＺ軸方向に移動させる駆動部５４を備える。
駆動部５４は、駆動源となるモータと、モータの動力をアーム支持部５１に伝達する動力伝達部と、を備える。駆動部５４は、制御部７に電気的に接続されており、制御部７により、モータの駆動力が制御される。
駆動部５４は、駆動源となるモータと、モータの動力をアーム支持部５１に伝達する動力伝達部と、を備える。駆動部５４は、制御部７に電気的に接続されており、制御部７により、モータの駆動力が制御される。
【0027】
基台５３は、ベース８に対してＹ軸方向に直線的に移動可能となっている。基台５３は、基台５３に対して、支持フレーム５２をＺ軸方向に沿った回転軸を中心に回転させる駆動部５５を備える。駆動部５５は、駆動源となるモータと、モータの動力を支持フレーム５２に伝達する動力伝達部と、を備えている。駆動部５５は、制御部７に電気的に接続されており、制御部７により、モータの駆動力が制御される。これにより、アーム支持部５１は、基台５３に対して、Ｚ軸方向に沿った回転軸を中心に回転する。
【0028】
図１および図２に示すように、ベース８は、基台５３をＹ軸方向に移動させる駆動部８１を備える。駆動部８１は、駆動源となるモータと、モータの動力を基台５３に伝達する動力伝達部と、を備えている。駆動部８１は、制御部７に電気的に接続されており、制御部７により、モータの駆動力が制御される。これにより、本体部５は、ベース８に対して
、Ｙ軸方向に往復移動する。
、Ｙ軸方向に往復移動する。
【0029】
図３に示すように、検出機構６は、第１光センサ６１と、第１光センサ６１のＺ２側に配置された第２光センサ６２と、Ｚ軸方向において第１光センサ６１および第２光センサ６２の間に配置された遮蔽板６７と、を備える。第１光センサ６１および第２光センサ６２は、反射型の光センサである。第１光センサ６１は、Ｚ１側に光を発する第１発光部６３と、Ｚ１側からの光を受光する第１受光部６４と、を備える。第２光センサ６２は、Ｚ２側に光を発する第２発光部６５と、Ｚ２側からの光を受光する第２受光部６６と、を備える。
【0030】
ここで、図３に示すように、第１ハンド３１が検出位置３０Ａに移動した際に基板Ｗが第１ハンド３１に載置されていた場合には、基板Ｗは、Ｚ軸方向において、第１光センサ６１および遮蔽板６７の間に位置する。同様に、第２ハンド３２が検出位置３０Ａに移動した際に基板Ｗが第２ハンド３２に載置されていた場合には、基板Ｗは、Ｚ軸方向において、第２光センサ６２および遮蔽板６７の間に位置する。このとき、第１ハンド３１および第２ハンド３２のフォーク３４の先端は、Ｘ軸方向を向いている。なお、フォーク３４の先端が向く方向は、Ｘ１側およびＸ２側の何れであってもよい。
【0031】
遮蔽板６７は、板状部材である。遮蔽板６７は、塗装などによって、黒色となっている。遮蔽板６７は、第３支持部５１４からＹ軸方向に延びる第１部分６７１と、第１部分６７１の先端部からＺ軸方向に傾いて延びる第２部分６７２と、を備える。第２部分６７２は、Ｚ軸方向において、第１光センサ６１および第２光センサ６２と重なる。本形態の第２部分６７２は、Ｘ１側に延びるに従ってＺ１側に傾斜する。ここで、第２部分６７２が傾斜するので、第１発光部６３が発した光が第２部分６７２で反射した場合には、反射光は、第１受光部６４には向かわない。同様に、第２発光部６５が発した光が第２部分６７２で反射した場合には、反射光は、第２受光部６６には向かわない。これにより、第１発光部６３および第２発光部６５からの光が遮蔽板６７で反射した場合には、第１受光部６４および第２受光部６６は、反射光を受光しない。
【0032】
（ロボットの動作）
次に、ロボット１００の動作について説明する。ロボット１００は、収容カセット１から基板Ｗを、第１ハンド３１および第２ハンド３２に載置する。その後、ロボット１００は、アーム４を制御して基板Ｗの有無を検出する検出位置３０Ａに第１ハンド３１および第２ハンド３２を移動させる。第１ハンド３１が検出位置３０Ａに移動した際に、基板Ｗは、Ｚ軸方向において、第１光センサ６１および遮蔽板６７の間に位置する。同様に、第２ハンド３２が検出位置３０Ａに移動した際に、基板Ｗは、Ｚ軸方向において、第２光センサ６２および遮蔽板６７の間に位置する。
次に、ロボット１００の動作について説明する。ロボット１００は、収容カセット１から基板Ｗを、第１ハンド３１および第２ハンド３２に載置する。その後、ロボット１００は、アーム４を制御して基板Ｗの有無を検出する検出位置３０Ａに第１ハンド３１および第２ハンド３２を移動させる。第１ハンド３１が検出位置３０Ａに移動した際に、基板Ｗは、Ｚ軸方向において、第１光センサ６１および遮蔽板６７の間に位置する。同様に、第２ハンド３２が検出位置３０Ａに移動した際に、基板Ｗは、Ｚ軸方向において、第２光センサ６２および遮蔽板６７の間に位置する。
【0033】
検出機構６は、第１発光部６３からの光が基板Ｗで反射された反射光を第１受光部６４が受光することにより、第１ハンド３１に基板Ｗが存在することを検出する。また、検出機構６は、第２発光部６５からの光が基板Ｗで反射された反射光を第２受光部６６が受光することにより、第２ハンド３２に基板Ｗが存在することを検出する。この際、検出機構６が、第１ハンド３１に基板Ｗが存在すること、または、第２ハンド３２に基板Ｗが存在することを検出できない場合には、ロボット１００は、収容カセット１から基板Ｗを取り出すことができていないので、制御部７は、ロボット１００の動作を停止させてもよい。また、ロボット１００でエラーが発生したことをユーザ等に警告してもよい。
【0034】
検出機構６が、第１ハンド３１および第２ハンド３２に、それぞれ、基板Ｗが存在することを検出すると、ロボット１００は、処理装置２Ａ、２Ｂの内部に、それぞれの基板Ｗを載置する。その後、処理装置２では、高温環境下で基板Ｗに対する処理が実行される。
処理装置２で処理された基板Ｗは、ロボット１００により、次工程に搬送される。なお、ロボット１００が次工程に基板Ｗを搬送する際に、ロボット１００は、アーム４を制御して基板Ｗの有無を検出する検出位置３０Ａに第１ハンド３１および第２ハンド３２を移動させて、検出機構６により、基板Ｗの存在を検出し、処理装置２から基板Ｗを取り出したことを確認してもよい。また、ロボット１００が次工程に基板Ｗを搬送した後に、ロボット１００は、アーム４を制御して基板Ｗの有無を検出する検出位置３０Ａに第１ハンド３１および第２ハンド３２を移動させて、検出機構６により、基板Ｗが存在しないことを検出し、次工程に基板Ｗを搬送したことを確認してもよい。
処理装置２で処理された基板Ｗは、ロボット１００により、次工程に搬送される。なお、ロボット１００が次工程に基板Ｗを搬送する際に、ロボット１００は、アーム４を制御して基板Ｗの有無を検出する検出位置３０Ａに第１ハンド３１および第２ハンド３２を移動させて、検出機構６により、基板Ｗの存在を検出し、処理装置２から基板Ｗを取り出したことを確認してもよい。また、ロボット１００が次工程に基板Ｗを搬送した後に、ロボット１００は、アーム４を制御して基板Ｗの有無を検出する検出位置３０Ａに第１ハンド３１および第２ハンド３２を移動させて、検出機構６により、基板Ｗが存在しないことを検出し、次工程に基板Ｗを搬送したことを確認してもよい。
【0035】
（作用効果）
本形態のロボット１００では、ハンド３上の基板Ｗの有無を検出する検出機構６が、アーム支持部５１に設けられている。これにより、ロボット１００が、高温の処理装置２の内部で基板Ｗを受け渡す場合であって、検出機構６は、熱の影響を受けにくい。この結果、検出機構６が熱の影響により損傷しにくいので、ロボット１００が、ハンド３上の基板Ｗの有無を認識できないということを抑制することができる。
本形態のロボット１００では、ハンド３上の基板Ｗの有無を検出する検出機構６が、アーム支持部５１に設けられている。これにより、ロボット１００が、高温の処理装置２の内部で基板Ｗを受け渡す場合であって、検出機構６は、熱の影響を受けにくい。この結果、検出機構６が熱の影響により損傷しにくいので、ロボット１００が、ハンド３上の基板Ｗの有無を認識できないということを抑制することができる。
【0036】
また、検出機構６は遮蔽板６７を備えるので、ロボット１００の動作中に、受光部が外部からの光を誤って検出しにくい。これにより、検出機構６が誤作動することを抑制することができる。また、遮蔽板６７は、Ｚ軸方向において第１発光部６３および第２発光部６５の間に配置されているので、第１発光部６３が発した光を第２受光部６６が誤って受光することを抑制することができる。同様に、第２発光部６５が発した光を第１受光部６４が誤って受光することを抑制することができる。
【0037】
遮蔽板６７は、平面を備える板状部材である。遮蔽板６７は、Ｚ軸方向に傾いて配置された第２部分６７２を備える。これにより、第１発光部６３および第２発光部６５からの光が遮蔽板６７で反射した場合であっても、遮蔽板６７で反射した反射光が第１受光部６４および第２受光部６６に向かわないようにすることができる。この結果、第１発光部６３および第２発光部６５と遮蔽板６７との間隔を短くした場合であっても、第１受光部６４および第２受光部６６が遮蔽板６７で反射した反射光を受光することを抑制することができる。また、遮蔽板６７は、黒色である。これにより、遮蔽板６７で光が反射しにくい。
【0038】
（他の実施形態）
上記形態では、第１ハンド３１および第２ハンド３２の２個のハンド３によって基板Ｗを搬送したが、他の実施形態のロボットは、１個のハンドおよび１個のアームで構成されてもよい。この場合、検出機構６は、Ｚ軸方向の一方側に光を発する発光部と、Ｚ軸方向の他方側からの光を受光する受光部と、発光部の一方側に配置された遮蔽板と、を備えればよい、この場合であっても、他の実施形態のロボットは、上記形態と同様の作用効果を得ることができる。
上記形態では、第１ハンド３１および第２ハンド３２の２個のハンド３によって基板Ｗを搬送したが、他の実施形態のロボットは、１個のハンドおよび１個のアームで構成されてもよい。この場合、検出機構６は、Ｚ軸方向の一方側に光を発する発光部と、Ｚ軸方向の他方側からの光を受光する受光部と、発光部の一方側に配置された遮蔽板と、を備えればよい、この場合であっても、他の実施形態のロボットは、上記形態と同様の作用効果を得ることができる。
【0039】
なお、本技術は以下のような構成をとることが可能である。
【0040】
（１）
平板状であるワークを搬送するロボットにおいて、
前記ワークが載置されるハンドと、
前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向で伸縮するアームと、
前記アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部を備える本体部と、
前記アーム支持部に設けられ前記ハンドに前記ワークが載置されたかどうかを検出する検出機構と、
前記アームを制御して、前記ワークの有無を検出する検出位置に前記ハンドを移動させ
る制御部と、
を有し、
前記検出機構は、上下方向の一方側に光を発する発光部と、上下方向の他方側からの光を受光する受光部と、前記発光部の前記一方側に配置された遮蔽板と、を備え、
前記ハンドが前記検出位置に移動した際に前記ワークが前記ハンドに載置されていた場合には、
前記ワークは、上下方向において、前記発光部と前記遮蔽板との間に位置し、
前記検出機構は、前記発光部からの光が前記ワークで反射された反射光を前記受光部が受光することにより、前記ワークの存在を検出することを特徴とするロボット。
平板状であるワークを搬送するロボットにおいて、
前記ワークが載置されるハンドと、
前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向で伸縮するアームと、
前記アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部を備える本体部と、
前記アーム支持部に設けられ前記ハンドに前記ワークが載置されたかどうかを検出する検出機構と、
前記アームを制御して、前記ワークの有無を検出する検出位置に前記ハンドを移動させ
る制御部と、
を有し、
前記検出機構は、上下方向の一方側に光を発する発光部と、上下方向の他方側からの光を受光する受光部と、前記発光部の前記一方側に配置された遮蔽板と、を備え、
前記ハンドが前記検出位置に移動した際に前記ワークが前記ハンドに載置されていた場合には、
前記ワークは、上下方向において、前記発光部と前記遮蔽板との間に位置し、
前記検出機構は、前記発光部からの光が前記ワークで反射された反射光を前記受光部が受光することにより、前記ワークの存在を検出することを特徴とするロボット。
【0041】
これにより、検出機構がアーム支持部に設けられているので、ロボットが、高温の処理装置の内部でワークを受け渡す場合であって、検出機構は、熱の影響により損傷しにくい。
【0042】
（２）
前記ハンドは、前記ワークが載置される第１ハンドおよび第２ハンドと、を備え、
前記アームは、前記第１ハンドが先端側に回転可能に連結された第１アームと、前記第２ハンドが先端側に回転可能に連結された第２アームと、を備え、
前記アーム支持部は、前記第１アームの基端側が回動可能に連結されるとともに、前記第１アームの下方側で前記第２アームの基端側が回動可能に連結され、
前記制御部は、前記第１アームおよび第２アームをそれぞれ制御して、前記検出位置に前記第１ハンドおよび前記第２ハンドをそれぞれ移動させ、
前記発光部は、上方側に光を発する第１発光部と、下方側に光を発する第２発光部と、を備え、
前記受光部は、上方側からの光を受光する第１受光部と、下方側からの光を受光する第２受光部と、を備え、
前記遮蔽板は、上下方向において前記第１発光部および前記第２発光部の間に配置され、
前記第１ハンドが前記検出位置に移動した際に前記ワークが前記第１ハンドに載置されていた場合には、前記ワークは、上下方向において、前記第１発光部および前記遮蔽板の間に位置し、
前記第２ハンドが前記検出位置に移動した際に前記ワークが前記第２ハンドに載置されていた場合には、前記ワークは、上下方向において、前記第２発光部および前記遮蔽板の間に位置し、
前記検出機構は、前記第１発光部からの光が前記ワークで反射された反射光を前記第１受光部が受光することにより、前記第１ハンドに前記ワークが存在することを検出し、前記第２発光部からの光が前記ワークで反射された反射光を前記第２受光部が受光することにより、前記第２ハンドに前記ワークが存在することを検出することを特徴とする（１）に記載のロボット。
前記ハンドは、前記ワークが載置される第１ハンドおよび第２ハンドと、を備え、
前記アームは、前記第１ハンドが先端側に回転可能に連結された第１アームと、前記第２ハンドが先端側に回転可能に連結された第２アームと、を備え、
前記アーム支持部は、前記第１アームの基端側が回動可能に連結されるとともに、前記第１アームの下方側で前記第２アームの基端側が回動可能に連結され、
前記制御部は、前記第１アームおよび第２アームをそれぞれ制御して、前記検出位置に前記第１ハンドおよび前記第２ハンドをそれぞれ移動させ、
前記発光部は、上方側に光を発する第１発光部と、下方側に光を発する第２発光部と、を備え、
前記受光部は、上方側からの光を受光する第１受光部と、下方側からの光を受光する第２受光部と、を備え、
前記遮蔽板は、上下方向において前記第１発光部および前記第２発光部の間に配置され、
前記第１ハンドが前記検出位置に移動した際に前記ワークが前記第１ハンドに載置されていた場合には、前記ワークは、上下方向において、前記第１発光部および前記遮蔽板の間に位置し、
前記第２ハンドが前記検出位置に移動した際に前記ワークが前記第２ハンドに載置されていた場合には、前記ワークは、上下方向において、前記第２発光部および前記遮蔽板の間に位置し、
前記検出機構は、前記第１発光部からの光が前記ワークで反射された反射光を前記第１受光部が受光することにより、前記第１ハンドに前記ワークが存在することを検出し、前記第２発光部からの光が前記ワークで反射された反射光を前記第２受光部が受光することにより、前記第２ハンドに前記ワークが存在することを検出することを特徴とする（１）に記載のロボット。
【0043】
これにより、第１ハンドおよび第２ハンドの２個のハンドによってワークを搬送する場合であっても、ハンド上のワークの有無を検出することができる。また、遮蔽板は、上下方向において第１発光部および第２発光部の間に配置されているので、第１発光部が発した光を第２受光部が誤って受光することを抑制することができる。同様に、第２発光部が発した光を第１受光部が誤って受光することを抑制することができる。
【0044】
（３）
前記遮蔽板は、平面を備える板状部材であり、上下方向に傾いて配置されていることを特徴とする（１）または（２）に記載のロボット。
前記遮蔽板は、平面を備える板状部材であり、上下方向に傾いて配置されていることを特徴とする（１）または（２）に記載のロボット。
【0045】
これにより、発光部からの光が遮蔽板で反射した場合であっても、遮蔽板で反射した反射光が受光部に向かわないようにすることができる。この結果、発光部と遮蔽板との間隔を短くした場合であっても、受光部が遮蔽板で反射した反射光を受光することを抑制することができる。
【0046】
（４）
前記遮蔽板は、黒色であることを特徴とする（１）から（３）のうち何れか一項に記載のロボット。
前記遮蔽板は、黒色であることを特徴とする（１）から（３）のうち何れか一項に記載のロボット。
【0047】
これにより、遮蔽板で光が反射しにくい。
【0048】
（５）
前記本体部は、前記アーム支持部を上下方向に移動させる駆動部を備えることを特徴とする（１）から（４）のうち何れか一項に記載のロボット。
前記本体部は、前記アーム支持部を上下方向に移動させる駆動部を備えることを特徴とする（１）から（４）のうち何れか一項に記載のロボット。
【0049】
これにより、ロボットは、ワークを水平方向および上下方向に搬送することができる。
【符号の説明】
【0050】
１００…ロボット、１…収容カセット、２・２Ａ・２Ｂ…処理装置、３…ハンド、４…アーム、５…本体部、６…検出機構、６…遮蔽板、７…制御部、８…ベース、３０Ａ…検出位置、３１…第１ハンド、３２…第２ハンド、３３…ハンド基部、３４…フォーク、４１…第１アーム、４１ａ…第１関節部、４１ｂ…第２関節部、４１ｃ…第３関節部、４２…第２アーム、４２ａ…第１関節部、４２ｂ…第２関節部、４２ｃ…第３関節部、４３…第１部分、４４…第２部分、４６…第１部分、４７…第２部分、５１…アーム支持部、５２…支持フレーム、５３…基台、５４…駆動部、５５…駆動部、６１…第１光センサ、６２…第２光センサ、６３…第１発光部、６４…第１受光部、６５…第２発光部、６６…第２受光部、６７…遮蔽板、８１…駆動部、５１１…本体部、５１２…第１支持部、５１３…第２支持部、５１４…第３支持部、６７１…第１部分、６７２…第２部分、Ｗ…基板。
【図1】
【図2】
【図3】