特開 2024-147151 産業用ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024147151

(43)【公開日】2024-10-16

(54)【発明の名称】産業用ロボット

(51)【国際特許分類】

   B25J 19/06 20060101AFI20241008BHJP

【ＦＩ】

B25J19/06

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023059978

(22)【出願日】2023-04-03

(71)【出願人】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(74)【代理人】

【識別番号】100196140

【弁理士】

【氏名又は名称】岩垂 裕司

(72)【発明者】

【氏名】濱沖 孟

(72)【発明者】

【氏名】増澤 佳久

(72)【発明者】

【氏名】矢澤 隆之

【テーマコード（参考）】

3C707

【Ｆターム（参考）】

3C707AS01

3C707BS15

3C707BS26

3C707CT04

3C707CY06

3C707ES17

3C707FS01

3C707FT02

3C707HS27

3C707NS12

(57)【要約】

【課題】ガラス基板などの搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、搬送対象物が載置されるフォークの帯電を抑制する。
【解決手段】ロボット１は、搬送対象物である基板２が載置されるハンド３がアーム４の先端に連結されており、アーム４はロボット本体部５に支持される。ハンド３は、アーム４の先端に連結されるハンド基部３０から直線状に延びるフォーク４０を備える。フォーク４０は、ハンド基部３０から直線状に延びる筒状の中空部材４１と、中空部材４１の内部空間においてフォーク４０の長手方向に延びる導電性部材６０と、中空部材４１の内部空間において導電性部材６０に接続されるフレームグランド線６５と、を備える。導電性部材６０は、中空部材４１の内側面に当接している。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送対象物を搬送する産業用ロボットであって、
前記搬送対象物が載置されるハンドと、前記ハンドが先端に連結されるアームと、前記アームを支持するロボット本体部と、を有し、
前記ハンドは、前記アームの先端に連結されるハンド基部と、前記ハンド基部から直線状に延びるフォークと、を備え、
前記フォークは、前記ハンド基部から直線状に延びる筒状の中空部材と、前記中空部材の内部空間において前記フォークの長手方向に延びる導電性部材と、前記中空部材の内部空間において前記導電性部材に接続されるフレームグランド線と、を備え、
前記導電性部材は、前記中空部材の内側面に当接することを特徴とする産業用ロボット。

【請求項2】

前記中空部材は、前記搬送対象物に対向する上板部を備え、
前記導電性部材は板状であり、前記上板部に内側から当接することを特徴とする請求項１に記載の産業用ロボット。

【請求項3】

前記フォークは、前記搬送対象物に向けて突出する複数の受け部を備え、
前記複数の受け部の少なくとも一部は、前記上板部に重なる取付板を介して前記中空部材に固定され、
前記取付板および前記上板部を貫通して前記中空部材の内側に突出する固定ねじの先端が前記導電性部材にねじ止めされることを特徴とする請求項２に記載の産業用ロボット。

【請求項4】

前記固定ねじは、硬質樹脂からなることを特徴とする請求項３に記載の産業用ロボット。

【請求項5】

前記複数の受け部は、前記搬送対象物を吸着する吸着部を含むことを特徴とする請求項３に記載の産業用ロボット。

【請求項6】

前記中空部材は、前記ハンド基部に接続されるフォーク基部と、前記フォーク基部から前記フォークの先端まで伸びる搬送対象物載置部と、を備え、
前記吸着部は、前記搬送対象物載置部の長手方向の両端部に配置されることを特徴とする請求項５に記載の産業用ロボット。

【請求項7】

前記搬送対象物載置部の長手方向の両端部には、前記搬送対象物の位置を規制するストッパーが配置され、
前記ストッパーは、硬質樹脂からなるストッパー固定ねじによって前記取付板に固定されることを特徴とする請求項６に記載の産業用ロボット。

【請求項8】

前記導電性部材は、前記複数の受け部の全てが配置される領域にわたって連続して延びていることを特徴とする請求項３に記載の産業用ロボット。

【請求項9】

前記導電性部材は、アルミニウム合金からなることを特徴とする請求項１に記載の産業用ロボット。

【請求項10】

前記中空部材は、炭素繊維強化プラスチックからなることを特徴とする請求項１に記載の産業用ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ガラス基板などの搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関し、特に、搬送対象物を載せて移動するハンドの構造に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、液晶ディスプレイなどに用いられるガラス基板を搬送する産業用ロボットが記載される。特許文献１に記載の産業用ロボットは、複数本のフォークを有するハンドに大型のガラス基板を載せて搬送する。フォークは、剛性の確保と軽量化を両立するため、中空の筒状に形成されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１２－０２０３６０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ガラス基板などの搬送対象物を取り扱う際、搬送対象物が帯電していると、搬送対象物を取り扱う部位（フォーク）との摩擦により静電気放電が発生して搬送対象物の破損などのトラブルが発生する。従来、静電気放電の対策として、イオナイザーなどを用いて搬送対象物を除電することが提案されている。

【0005】

しかしながら、イオナイザーの設置コストが発生するため、産業用ロボットの側で搬送対象物を取り扱う部位の帯電を抑制することにより、静電気放電によるトラブルを抑制したいという要望がある。

【0006】

本発明の課題は、上記の課題を解決するため、ガラス基板などの搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、搬送対象物を載せるフォークの帯電を抑制することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の課題を解決するために、本発明は、搬送対象物を搬送する産業用ロボットであって、前記搬送対象物が載置されるハンドと、前記ハンドが先端に連結されるアームと、前記アームを支持するロボット本体部と、を有し、前記ハンドは、前記アームの先端に連結されるハンド基部と、前記ハンド基部から直線状に延びるフォークと、を備え、前記フォークは、前記ハンド基部から直線状に延びる筒状の中空部材と、前記中空部材の内部空間において前記フォークの長手方向に延びる導電性部材と、前記中空部材の内部空間において前記導電性部材に接続されるフレームグランド線と、を備え、前記導電性部材は、前記中空部材の内側面に当接することを特徴とする。

【0008】

本発明によれば、フォークを構成する中空部材の内部空間にフレームグランド線が接続された導電性部材を配置して、中空部材の内側面に導電性部材を当接させる。このようにすると、導電性部材をフォーク内の任意の位置まで延ばすことができ、１部材でフォーク全体に発生した電荷をフレームグランド線を経由して逃がすことができる。従って、簡単な構造でありながら、フォーク全体の帯電を抑制することができる。よって、搬送対象物が帯電している場合でも、静電気放電によるトラブルを抑制できる。

【0009】

また、本発明では、中空部材に直接フレームグランド線を接続しないように構成しているので、固定用の穴を中空部材に形成する際に発生した切削屑などの異物が搬送対象物を
取り扱う空間に飛散することを抑制できる。さらに、フレームグランド線を接続する箇所は１箇所でよく、しかも、フレームグランド線は、中空部材に挿入される前に導電性部材に接続しておくことができるので、中空部材の内側の狭い空間でフレームグランド線を接続する作業を行う必要がない。従って、フレームグランド線を接続する作業が容易である。

【0010】

本発明において、前記中空部材は、前記搬送対象物に対向する上板部を備え、前記導電性部材は板状であり、前記上板部に内側から当接することが好ましい。このようにすると、搬送対象物に近い部位の電荷を逃がしやすい。従って、静電気放電の発生を抑制できる。

【0011】

本発明において、前記フォークは、前記搬送対象物に向けて突出する複数の受け部を備え、前記複数の受け部の少なくとも一部は、前記上板部に重なる取付板を介して前記中空部材に固定され、前記取付板および前記上板部を貫通して前記中空部材の内側に突出する固定ねじの先端が前記導電性部材にねじ止めされることが好ましい。このようにすると、受け部を取り付けるための取付板に導電性部材を共締めして固定できるので、固定用のねじおよびねじ穴の数を少なくすることができる。従って、部品コストおよび組立工数を削減できる。

【0012】

本発明において、固定ねじは、硬質樹脂からなることが好ましい。このようにすると、金属製のねじを使用する場合と比較して、フォークの軽量化を図ることができる。また、金属粉などの異物が搬送対象物を取り扱う空間に飛散することを抑制できる。

【0013】

本発明において、前記複数の受け部は、前記搬送対象物を吸着する吸着部を含むことが好ましい。このようにすると、搬送対象物の落下や位置ずれを抑制できる。また、フォークは中空部材により構成されているので、吸引装置と吸着部とを接続するエアチューブを吸着部まで引き回す空間を確保できる。

【0014】

本発明において、前記中空部材は、前記ハンド基部に接続されるフォーク基部と、前記フォーク基部から前記フォークの先端まで伸びる搬送対象物載置部と、を備え、前記吸着部は、前記搬送対象物載置部の長手方向の両端部に配置されることが好ましい。このようにすると、搬送対象物の両端を吸着できるので、搬送対象物を安定して保持できる。

【0015】

本発明において、前記搬送対象物載置部の長手方向の両端部には、前記搬送対象物の位置を規制するストッパーが配置され、前記ストッパーは、硬質樹脂からなるストッパー固定ねじによって前記取付板に固定されることが好ましい。このようにすると、中空部材に直接ストッパーを固定するための穴を設ける必要がない。従って、固定用の穴を中空部材に形成する際に発生した切削屑などの異物が搬送対象物を取り扱う空間に飛散することを抑制できる。また、ストッパー固定ねじは樹脂製であるため、金属製のねじを使用する場合と比較して、フォークの軽量化を図ることができ、金属粉などの異物が搬送対象物を取り扱う空間に飛散することを抑制できる。

【0016】

本発明において、前記導電性部材は、前記複数の受け部の全てが配置される領域にわたって連続して延びていることが好ましい。このようにすると、１部材で搬送対象物と接触する全範囲をカバーできるので、フレームグランド線を１本接続するだけでよく、各受け部に配置される複数の部材にそれぞれフレームグランド線を引き回して接続する作業を行う必要がない。従って、簡単な構造でありながら、搬送対象物が載せられる領域全体の帯電を抑制することができる。

【0017】

本発明において、前記導電性部材は、アルミニウム合金からなることが好ましい。この
ようにすると、フォークの軽量化を図ることができるとともに、導電性部材の部品コストを抑制できる。

【0018】

本発明において、前記中空部材は、炭素繊維強化プラスチックからなることが好ましい。このようにすると、フォークの軽量化を図り、且つ、強度を確保できる。

【発明の効果】

【0019】

本発明によれば、フォークを構成する中空部材の内部空間にフレームグランド線が接続された導電性部材を配置して、中空部材の内側面に導電性部材を当接させる。このようにすると、導電性部材をフォーク内の任意の位置まで延ばすことができ、１部材でフォーク全体に発生した電荷をフレームグランド線を経由して逃がすことができる。従って、簡単な構造でありながら、フォーク全体の帯電を抑制することができる。よって、搬送対象物が帯電している場合でも、静電気放電によるトラブルを抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本発明の実施形態に係る産業用ロボットの平面図である。

【図2】図１の産業用ロボットの側面図である。

【図3】図１の産業用ロボットを備えたガラス基板の製造システムの概略平面図である。

【図4】ハンドの部分平面図および断面図である。

【図5】図４の領域Ａ（第１吸着部の位置）におけるフォークの平面図および断面図である。

【図6】図４の領域Ｂ（第２吸着部の位置）におけるフォークの平面図および断面図と、先端側から見たフォークの端面図である。

【図7】図４の領域Ｃ（支持部の位置）におけるフォークの平面図および断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下に、図面を参照して、本発明を適用した産業用ロボット１の実施形態を説明する。

【0022】

（産業用ロボットの全体構成）
図１は、本発明の実施形態に係る産業用ロボットの平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボットの側面図である。図３は、図１に示す産業用ロボットを備えるガラス基板製造システム１００の概略平面図である。本明細書において、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の３方向は互いに直交する方向である。Ｚ方向は鉛直方向（上下方向）である。Ｘ方向およびＹ方向は、水平方向である。

【0023】

図１、図２、図３に示すように、産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である液晶ディスプレイのガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を搬送する水平多関節型ロボットである。ロボット１は、基板２が載置される２個のハンド３と、先端側にハンド３が連結される２本のアーム４と、２本のアーム４を支持するロボット本体部５と、ロボット本体部５を水平方向に移動可能に支持するベース部材６とを備える。ロボット本体部５は、アーム４の基端側を支持するとともに昇降可能なアームサポート７と、アームサポート７を昇降可能に支持する支持フレーム８と、ロボット本体部５の下端部分を構成するとともにベース部材６に対して水平移動可能な基台９と、支持フレーム８の下端が固定されるとともに基台９に対して回転可能な旋回フレーム１０とを備える。

【0024】

図３に示すように、ロボット１は、たとえば、ガラス基板製造システム１００に組み込まれて使用される。ガラス基板製造システム１００は、たとえば、基板２に対して所定の処理を行う４個の基板処理装置１３と、処理前または処理後の基板２が収容される２個の基板収容装置１４とを備える。ロボット１は、基板処理装置１３への基板２の搬入および基板処理装置１３からの基板２の搬出を行うとともに、基板収容装置１４への基板２の搬
入および基板収容装置１４からの基板２の搬出の少なくとも一方を行う。

【0025】

図３に示すように、２個の基板収容装置１４は、ベース部材６に対するロボット本体部５の移動方向であるＸ方向において、ロボット１を挟むように配置される。４個の基板処理装置１３のうちの２個の基板処理装置１３は、ロボット１のＹ方向の一方側においてＸ方向に並んでいる。残りの２個の基板処理装置１３は、ロボット１のＹ方向の他方側においてＸ方向に並んでいる。

【0026】

アーム４は、第１アーム部１７と第２アーム部１８を備える。第１アーム部１７の基端側は、アームサポート７に回転可能に連結される。第１アーム部１７の先端側には、第２アーム部１８の基端側が回転可能に連結される。第２アーム部１８の先端側には、ハンド３が回転可能に連結される。図１において２点鎖線で示すように、アーム４は、ハンド３が一定方向を向いた状態で略直線的に移動するように水平方向へ伸縮可能となっている。ロボット１は、２本のアーム４を個別に駆動する２個のアーム駆動機構を備える。

【0027】

図２、図３において２点鎖線で示すように、支持フレーム８は、アームサポート７を介してハンド３およびアーム４をＺ方向に昇降可能に保持する。支持フレーム８は、アームサポート７をＺ方向に昇降可能に保持する柱状の第１支持フレーム２０と、第１支持フレーム２０を昇降可能に保持する柱状の第２支持フレーム２１を備える。ロボット１は、第１支持フレーム２０に対してアームサポート７を昇降させるとともに第２支持フレーム２１に対して第１支持フレーム２０を昇降させる昇降機構を備える。

【0028】

旋回フレーム１０は、基台９の上側に配置される。旋回フレーム１０の基端側は、Ｚ方向を回転の軸方向とする回転が可能となるように基台９に支持される。旋回フレーム１０の先端側の上面には、第２支持フレーム２１の下端部が固定される。本形態では、アームサポート７と支持フレーム８と旋回フレーム１０とによって、アーム４の基端側が回転可能に連結されるアーム支持部が構成されており、基台９は、Ｚ方向を回転の軸方向とする回転が可能となるようにアーム支持部を支持する。ロボット１は、旋回フレーム１０を回転させる回転機構を備える。

【0029】

ロボット１は、ベース部材６に対して基台９を水平移動させる水平移動機構と、基台９を水平方向へ案内するガイド機構とを備える。

【0030】

ロボット１の制御部には、アーム駆動機構、昇降機構、回転機構、および水平移動機構のそれぞれに設けられたモータおよびエンコーダが接続される。制御部は、エンコーダの検知信号に基づき各モータを制御する。ロボット１は、アーム４の伸縮動作と、アーム４等の昇降動作、回転動作および水平移動動作との組合せによって、基板処理装置１３または基板収容装置１４に対する基板２の搬送を行う。

【0031】

（ハンド）
図４は、ハンド３の部分平面図および断面図である。ハンド３は、アーム４の先端側に連結されるハンド基部３０と、ハンド基部３０から同一方向に直線状に延びる複数本のフォーク４０を備える。図１に示すように、本形態のハンド３は、一定間隔で並ぶ４本のフォーク４０を備える。なお、フォーク４０の本数や配置間隔は、適宜変更可能である。ハンド基部３０の長手方向の中央には、第２アーム部１８の先端部がＺ方向を回転の軸方向とする回転が可能となるように連結される。４本のフォーク４０は、ハンド基部３０の長手方向と直交する方向に延びている。

【0032】

（フォーク）
図１、図４に示すように、各フォーク４０は、ハンド基部３０に接続されるフォーク基
部４０Ａと、フォーク基部４０Ａからフォーク４０の先端まで伸びる搬送対象物載置部４０Ｂを備える。ロボット１の搬送対象物である基板２は、フォーク４０の搬送対象物載置部４０Ｂに載置される。図４に示すように、搬送対象物載置部４０Ｂは、基板２に下側から接触して基板２を支持可能な受け部５０を備える。受け部５０は、基板２に向けて突出する。

【0033】

本形態では、フォーク４０の長手方向に一定間隔で並ぶ複数の受け部５０を備える。複数の受け部５０は、基板２を吸着する第１吸着部５０Ａおよび第２吸着部５０Ｂを含む。本形態では、複数の受け部５０のうちで最もハンド基部３０に近い受け部５０が、第１吸着部５０Ａであり、最もフォーク４０の先端に近い受け部５０が第２吸着部５０Ｂである。第１吸着部５０Ａと第２吸着部５０Ｂは、搬送対象物載置部４０Ｂの長手方向の両端に配置される。

【0034】

図５（ａ）は、図４の領域Ａにおけるフォーク４０の平面図であり、図５（ｂ）は、図４の領域Ａにおけるフォーク４０の断面図である。図４の領域Ａには、第１吸着部５０Ａが設けられている。図６（ａ）は、図４の領域Ｂにおけるフォーク４０の平面図であり、図６（ｂ）は、図４の領域Ｂにおけるフォーク４０の断面図であり、図６（ｃ）は、先端側から見たフォーク４０の端面図である。図４の領域Ｂには、第２吸着部５０Ｂが設けられている。

【0035】

図４、図５、図６に示すように、フォーク４０は、細長い筒状の中空部材４１を備える。中空部材４１は、ハンド基部３０からフォーク４０の先端まで直線状に延びている。図６（ｃ）に示すように、中空部材４１の断面形状は、角筒状である。中空部材４１は、Ｚ方向に対向する上板部４２および底板部４３と、Ｘ方向に対向する側板部４４、４５を備える。側板部４４は、上板部４２と底板部４３の幅方向（Ｘ方向）の一方側の端縁を接続し、側板部４５は、上板部４２と底板部４３の幅方向（Ｘ方向）の他方側の端縁を接続する。図６（ｂ）に示すように、中空部材４１の先端は、フォーク４０の先端に配置される端板４６によって塞がれている。基板２を支持する受け部５０は、基板２と対向する上板部４２に配置される。

【0036】

中空部材４１は、フォーク４０の剛性を確保するとともに軽量化を図るため、炭素繊維と樹脂との複合材料、例えば、ＣＦＲＰ（炭素繊維強化プラスチック）で形成されている。図６（ｃ）に示すように、搬送対象物載置部４０Ｂでは、中空部材４１の各部の板厚は一定である。一方、図４（ｂ）、図５（ｂ）に示すように、フォーク基部４０Ａでは、中空部材４１の板厚は一定ではなく、上板部４２と底板部４３の板厚が搬送対象物載置部４０Ｂにおける各部の板厚よりも大きい。従って、フォーク４０は、フォーク基部４０Ａの剛性が搬送対象物載置部４０Ｂの剛性よりも大きい。

【0037】

（導電性部材）
図５（ｂ）、図６（ｂ）、図６（ｃ）に示すように、中空部材４１の内部空間には、フォーク４０の電荷を逃がすための板状の導電性部材６０が配置される。導電性部材６０は、中空部材４１の上板部４２に内側から当接する。図４に示すように、導電性部材６０は、一定幅の板状の部材であり、フォーク４０の長手方向に直線状に延びる。本形態では、搬送対象物載置部４０Ｂの全範囲にわたって導電性部材６０が配置される。導電性部材６０は、例えば、Ａ５０５２などのアルミニウム合金からなる。なお、導電性部材６０は、導電性の素材からなるものであればよく、アルミニウム合金製に限定されない。

【0038】

図５（ａ）、図５（ｂ）に示すように、導電性部材６０のハンド基部３０側の端部には、配線接続部６１が設けられている。配線接続部６１には、導電性のねじによってフレームグランド線６５が固定される。フレームグランド線６５は、中空部材４１の内部空間に
通され、ハンド基部３０の側から導電性部材６０の位置まで延びている。導電性部材６０は、フレームグランド線６５を介してロボット１のフレームグランドに電気的に接続されている。例えば、アーム４を回転可能に支持する軸が設けられたアームサポート７に接続される。なお、フレームグランド線６５の接続先は、電荷を逃がすことができる部位であればよく、アームサポート７に限定されない。

【0039】

（導電性部材の取付構造）
導電性部材６０は、中空部材４１の上板部４２に内側から当接する。本形態では、複数の受け部５０のそれぞれが設けられた位置において、受け部５０に用いられているねじを利用して導電性部材６０が中空部材４１に固定される。

【0040】

図５（ｂ）、図６（ｂ）に示すように、第１吸着部５０Ａおよび第２吸着部５０Ｂのそれぞれは、上板部４２に重なる平板状の取付板５５を介して中空部材４１に固定される。取付板５５と導電性部材６０は、上板部４２をＺ方向の両側から挟むように配置される。第１吸着部５０ＡのＹ方向の両側、および、第２吸着部５０ＢのＹ方向の両側の各位置において、取付板５５および上板部４２を貫通する固定ねじ５６の先端を導電性部材６０にねじ止めすることにより、導電性部材６０および取付板５５が上板部４２に固定される。

【0041】

図５（ｂ）、図６（ｂ）に示すように、第１吸着部５０Ａおよび第２吸着部５０Ｂのそれぞれは、中空部材４１の内側に配置される吸着部本体５１を備える。第１吸着部５０Ａおよび第２吸着部５０Ｂのそれぞれは、吸着部本体５１に接続されるエアチューブ５４を介して、ロボット本体部５の側に配置される吸引装置に接続される。エアチューブ５４は、ハンド基部３０の側から中空部材４１の内側を第１吸着部５０Ａおよび第２吸着部５０Ｂの位置まで延びている。

【0042】

第１吸着部５０Ａおよび第２吸着部５０Ｂが設けられた位置では、吸着部本体５１が配置される上板部４２の開口部４７を塞ぐように取付板５５が取り付けられている。導電性部材６０には、上板部４２の開口部４７と重なる形状の開口部６２が設けられている。吸着部本体５１は、取付板５５を貫通して上方に突出する突出部５２を備えており、突出部５２の先端に配置される吸着パッド５３に基板２を吸着する。吸着パッド５３は、例えば、フッ素ゴムからなる。

【0043】

図７（ａ）は、図４の領域Ｃにおけるフォーク４０の平面図であり、図７（ｂ）は、図４の領域Ｃにおけるフォーク４０の断面図である。図４に示すように、本形態では、各フォーク４０に６か所の受け部５０が設けられている。６か所の受け部５０のうち、第１吸着部５０Ａおよび第２吸着部５０Ｂを除く４か所の受け部５０は、吸着機能を持たない受け部５０である。図７は、吸着機能を持たない受け部５０の構成を示す。

【0044】

図７（ｂ）に示すように、受け部５０は、基板２に下側から接触する基板受け部材５９を備える。基板受け部材５９は、上板部４２の開口部４８を塞ぐように配置された取付板５７に固定され、取付板５７を介して上板部４２に固定される。第１吸着部５０Ａおよび第２吸着部５０Ｂが設けられた箇所と同様に、この部位でも、取付板５７と導電性部材６０は上板部４２を挟むように配置される。取付板５７および上板部４２を貫通する固定ねじ５８の先端を導電性部材６０のねじ穴にねじ止めすることにより、導電性部材６０および取付板５５が上板部４２に固定される。

【0045】

（ストッパー）
中空部材４１には、フォーク４０の長手方向における基板２の両端の位置を規制するストッパー７０が取り付けられている。ストッパー７０は、搬送対象物載置部４０Ｂの長手方向の両端部に配置される。図５（ｂ）に示すように、ストッパー７０は、取付板５５を
介して中空部材４１に固定される。ストッパー７０は、ストッパー固定ねじ７１によって取付板５５に固定される。ストッパー７０は、第１吸着部５０Ａおよび第２吸着部５０Ｂの吸着パッド５３よりも上方に突出する形状をしている。

【0046】

本形態では、取付板５５、５７を介して部品を中空部材４１に固定するねじは、硬質樹脂からなる。例えば、取付板５５と導電性部材６０とを共締めする固定ねじ５６、取付板５７と導電性部材６０とを共締めする固定ねじ５８、および、ストッパー固定ねじ７１は、いずれもポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）からなる。なお、固定ねじ５６、５８およびストッパー固定ねじ７１は、ポリエーテルエーテルケトン製に限定されるものではなく、他の素材からなるものであってもよい。

【0047】

（本形態の主な作用効果）
以上説明したように、本形態のロボット１（産業用ロボット）は、基板２が載置されるハンド３と、ハンド３が先端に連結されるアーム４と、アーム４を支持するロボット本体部５と、を有する。ハンド３は、アーム４の先端に連結されるハンド基部３０と、ハンド基部３０から直線状に延びるフォーク４０と、を備える。フォーク４０は、ハンド基部３０から直線状に延びる筒状の中空部材４１と、中空部材４１の内部空間においてフォーク４０の長手方向に延びる導電性部材６０と、中空部材４１の内部空間において導電性部材６０に接続されるフレームグランド線６５と、を備える。導電性部材６０は、中空部材４１の内側面に当接する。

【0048】

本形態は、フォーク４０を構成する中空部材４１の内部空間にフレームグランド線６５が接続された導電性部材６０を配置して、中空部材４１の内側面に導電性部材６０を当接させる。このようにすると、中空部材４１の内部空間を利用して、導電性部材６０をフォーク４０の任意の位置まで延ばすことができるので、１部材でフォーク４０全体に発生した電荷をフレームグランド線６５を経由して逃がすことが可能である。従って、簡単な構造でありながら、基板２が載せられる領域全体の帯電を抑制することができる。よって、基板２が帯電している場合でも、静電気放電による基板２の損傷などのトラブルを抑制できる。

【0049】

また、本形態では、中空部材４１に直接フレームグランド線６５を接続しないように構成しているので、フレームグランド線６５を接続するための穴を中空部材４１に形成する必要がない。従って、中空部材４１に穴を形成する際に発生した切削屑などの異物が基板２を取り扱う空間に飛散することを抑制できる。さらに、１部材でフォーク４０全体の帯電を抑制できるので、フレームグランド線６５を接続する箇所は１箇所でよく、しかも、フレームグランド線６５は、中空部材４１に挿入される前に導電性部材６０に接続しておくことができるので、中空部材４１の内側の狭い空間でフレームグランド線６５を接続する作業を行う必要がない。従って、フレームグランド線６５を接続する作業が容易である。

【0050】

本形態では、中空部材４１は、基板２に対向する上板部４２を備え、導電性部材６０は板状であり、上板部４２に内側から当接する。このような位置に導電性部材６０を配置することにより、基板２に近い部位の電荷を逃がしやすい。従って、静電気放電の発生を抑制できる。

【0051】

本形態では、フォーク４０は、基板２を支持する複数の受け部５０を備える。複数の受け部５０のそれぞれは、上板部４２に重なる取付板５５もしくは取付板５７を介して中空部材４１に固定される。複数の受け部５０のうちの一部（第１吸着部５０Ａおよび第２吸着部５０Ｂ）では、取付板５５および上板部４２を貫通して中空部材４１の内側に突出する固定ねじ５６の先端が導電性部材６０にねじ止めされる。他の受け部５０では、取付板
５７および上板部４２を貫通して中空部材４１の内側に突出する固定ねじ５８の先端が導電性部材６０にねじ止めされる。このように、本形態では、複数の受け部５０のそれぞれに対応する位置で導電性部材６０を固定することができるので、長尺の導電性部材６０を中空部材４１の内面に確実に接触させることができる。また、複数の受け部５０のそれぞれに対応する位置で、各受け部５０を中空部材４１に取り付けるための取付板５５、５７に導電性部材６０を共締めして固定するように構成したので、固定用のねじおよびねじ穴の数を少なくすることができる。従って、部品コストおよび組立工数を削減できる。

【0052】

本形態では、複数の受け部５０は、基板２を吸着する第１吸着部５０Ａおよび第２吸着部５０Ｂを含むため、フォーク４０からの基板２の落下や位置ずれを抑制できる。また、フォーク４０は中空部材４１により構成されているので、吸引装置と第１吸着部５０Ａおよび第２吸着部５０Ｂとを接続するエアチューブ５４を引き回す空間を確保できる。

【0053】

なお、導電性部材６０を中空部材４１に固定する位置は、複数の受け部５０の全ての位置に限定されるものではなく、複数の受け部５０のうちの一部の位置であってもよい。

【0054】

本形態では、固定ねじ５６、５８は硬質樹脂からなる。例えば、固定ねじ５６、５８は硬質の非導電性樹脂であるポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）からなる。樹脂製のねじを用いることにより、金属製のねじを使用する場合と比較して、フォーク４０の軽量化を図ることができる。また、金属粉などの異物が基板２を取り扱う空間に飛散することを抑制できる。

【0055】

本形態では、中空部材４１は、ハンド基部３０に接続されるフォーク基部４０Ａと、フォーク基部４０Ａからフォーク４０の先端まで伸びる搬送対象物載置部４０Ｂと、を備える。第１吸着部５０Ａおよび第２吸着部５０Ｂは、搬送対象物載置部４０Ｂの長手方向の両端部に配置される。このように、本形態では、基板２の両端を吸着できるように構成しているので、基板２を安定して保持することができる。

【0056】

本形態では、搬送対象物載置部４０Ｂの長手方向の両端部には、基板２の位置を規制するストッパー７０が配置される。ストッパー７０は、硬質樹脂からなるストッパー固定ねじ７１によって取付板５５に固定される。このように、取付板５５、５７を介してストッパー７０を固定する場合には、中空部材４１に直接ストッパー７０を固定するための穴を設ける必要がない。従って、固定用の穴を中空部材４１に形成する際に発生した切削屑などの異物が基板２を取り扱う空間に飛散することを抑制できる。また、樹脂製のねじを用いることにより、金属製のねじを使用する場合と比較して、フォーク４０の軽量化を図ることができ、金属粉などの異物が基板２を取り扱う空間に飛散することを抑制できる。

【0057】

本形態では、導電性部材６０は、複数の受け部５０の全てが配置される領域にわたって連続して延びている。このようにすると、１部材で基板２と接触する全範囲をカバーできるので、フレームグランド線６５を１本接続するだけでよく、各受け部５０に配置される複数の部材にそれぞれフレームグランド線６５を引き回して接続する作業を行う必要がない。従って、簡単な構造でありながら、基板２が載せられる領域全体の帯電を抑制することができる。なお、導電性部材６０が配置される範囲は、搬送対象物載置部４０Ｂの全範囲（すなわち、複数の受け部５０の全てが配置される）でなくてもよく、その一部であってもよい。

【0058】

本形態では、導電性部材６０は、アルミニウム合金からなる。従って、フォーク４０の軽量化を図ることができるとともに、導電性部材６０の部品コストを抑制できる。

【0059】

本形態では、中空部材４１は、ＣＦＲＰ（炭素繊維強化プラスチック）からなる。従っ
て、フォーク４０の軽量化を図り、且つ、強度を確保できる。

【符号の説明】

【0060】

１…ロボット（産業用ロボット）、２…基板（ガラス基板）、３…ハンド、４…アーム、５…ロボット本体部、６…ベース部材、７…アームサポート、８…支持フレーム、９…基台、１０…旋回フレーム、１３…基板処理装置、１４…基板収容装置、１７…第１アーム部、１８…第２アーム部、２０…第１支持フレーム、２１…第２支持フレーム、３０…ハンド基部、４０…フォーク、４０Ａ…フォーク基部、４０Ｂ…搬送対象物載置部、４１…中空部材、４２…上板部、４３…底板部、４４、４５…側板部、４６…端板、４７、４８…開口部、５０Ａ…第１吸着部、５０Ｂ…第２吸着部、５０…受け部、５１…吸着部本体、５２…突出部、５３…吸着パッド、５４…エアチューブ、５５、５７…取付板、５６、５８…固定ねじ、５９…基板受け部材、６０…導電性部材、６１…配線接続部、６２…開口部、６５…フレームグランド線、７０…ストッパー、７１…ストッパー固定ねじ、１００…ガラス基板製造システム

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】