特開 2024-147154 ミラー装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024147154

(43)【公開日】2024-10-16

(54)【発明の名称】ミラー装置

(51)【国際特許分類】

   G02B 26/08 20060101AFI20241008BHJP

   G02B 26/10 20060101ALI20241008BHJP

   B81B 3/00 20060101ALN20241008BHJP

【ＦＩ】

G02B26/08 E

G02B26/10 104Z

B81B3/00

【審査請求】未請求

【請求項の数】19

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023059985

(22)【出願日】2023-04-03

(71)【出願人】

【識別番号】000236436

【氏名又は名称】浜松ホトニクス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100140442

【弁理士】

【氏名又は名称】柴山 健一

(74)【代理人】

【識別番号】100177910

【弁理士】

【氏名又は名称】木津 正晴

(72)【発明者】

【氏名】井出 智行

【テーマコード（参考）】

2H045

2H141

3C081

【Ｆターム（参考）】

2H045AB13

2H045AB73

2H045BA12

2H045DA02

2H045DA04

2H141MA12

2H141MB23

2H141MB24

2H141MC05

2H141MD13

2H141MD16

2H141MD20

2H141MD23

2H141MD24

2H141MD40

2H141MF10

2H141MZ06

2H141MZ26

2H141MZ30

3C081AA13

3C081BA28

3C081BA30

3C081BA44

3C081BA47

3C081BA54

3C081CA32

3C081DA04

3C081DA27

3C081EA08

(57)【要約】

【課題】枠部材のベース部に対する配置精度が向上されていると共に、走査可能範囲が広く確保されたミラー装置を提供する。
【解決手段】ミラー装置１は、配置面３ａに開口する凹部３３が形成されたベース部３と、凹部３３内に配置された磁石部４と、ミラー面１５ａを有するミラーユニット２と、第２表面５ｂにおいて配置面３ａ上に配置された枠部材５と、窓部材６と、を備える。窓部材６は、枠部材５の第１壁部５１及び第２壁部５２の頂面５１ａ，５２ａ上に配置され、ミラー面１５ａに対して傾斜している。枠部材５の第２表面５ｂには、突起部７が形成されている。突起部７は、Ｚ方向から見た場合に、磁石部４と凹部３３の開口縁３３ａとの間に配置されている。枠部材５の第１表面５ａのうち、Ｚ方向において突起部７と重なる部分は、ミラー面１５ａに対して傾斜した傾斜面となっており、当該傾斜面上に窓部材６が配置されている。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

配置面を有し、前記配置面に開口する凹部が形成されたベース部と、
前記凹部内に配置された磁石部と、
所定の軸線周りに揺動可能に構成された可動部、前記可動部に設けられ、前記磁石部が発生させる磁界が作用するコイル、及び前記可動部上に設けられたミラー面を有し、前記磁石部上に配置されたミラーユニットと、
第１方向における一方側を向いた第１表面、及び前記第１方向における他方側を向いた第２表面を有し、前記第２表面において前記ベース部の前記配置面上に配置された枠部材と、
前記枠部材上に配置された窓部材と、を備え、
前記枠部材は、第１壁部と、前記第１方向に垂直な第２方向において前記第１壁部と向かい合う第２壁部と、を有し、
前記第１壁部の高さは、前記第２壁部の高さよりも低く、
前記窓部材は、前記第１壁部の頂面上及び前記第２壁部の頂面上に配置され、前記ミラー面に対して傾斜しており、
前記枠部材の前記第２表面には、突起部が形成されており、
前記突起部は、前記第１方向から見た場合に、前記磁石部と前記凹部の開口縁との間に配置されており、
前記枠部材の前記第１表面のうち、前記第１方向において前記突起部と重なる部分の少なくとも一部は、前記ミラー面に対して傾斜した傾斜面となっており、前記傾斜面上に前記窓部材が配置されている、ミラー装置。

【請求項2】

前記突起部は、前記第１方向に垂直な一の方向において、前記磁石部と前記凹部の側面との間に配置されている、請求項１に記載のミラー装置。

【請求項3】

前記突起部は、前記第１壁部の底面に形成された第１部分を有している、請求項１又は２に記載のミラー装置。

【請求項4】

前記第１部分は、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向に沿って延在している、請求項３に記載のミラー装置。

【請求項5】

前記突起部は、前記第２壁部の底面に形成された第２部分を更に有している、請求項３に記載のミラー装置。

【請求項6】

前記第２部分は、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向に沿って延在している、請求項５に記載のミラー装置。

【請求項7】

前記枠部材は、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向において互いに向かい合う一対の第３壁部を更に有し、
前記突起部は、前記一対の第３壁部の底面にそれぞれ形成された一対の第３部分を有している、請求項１又は２に記載のミラー装置。

【請求項8】

前記第３部分は、前記第２方向に沿って延在している、請求項７に記載のミラー装置。

【請求項9】

前記枠部材は、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向において互いに向かい合う一対の第３壁部を更に有し、
前記突起部は、前記第１壁部の底面に形成された第１部分と、前記第２壁部の底面に形成された第２部分と、前記一対の第３壁部の一方の底面に形成された第３部分と、を有し、
前記第３部分は、前記第２方向に沿って延在しており、前記第２方向における一端において前記第１部分に接続され、前記第２方向における他端において前記第２部分に接続されている、請求項１又は２に記載のミラー装置。

【請求項10】

前記突起部は、前記第１方向から見た場合に前記凹部の隅部に対応する箇所に配置された部分を有している、請求項１又は２に記載のミラー装置。

【請求項11】

前記突起部は、前記第１方向から見た場合に前記磁石部を囲むように環状に形成されている、請求項１又は２に記載のミラー装置。

【請求項12】

前記第２壁部は、前記第２方向における頂面の幅が前記第２方向における底面の幅よりも狭い部分を有している、請求項１又は２に記載のミラー装置。

【請求項13】

前記枠部材は、第１接着材により前記ベース部に固定されており、
前記第１接着材は、前記突起部と前記凹部の側面との間に配置されている、請求項１又は２に記載のミラー装置。

【請求項14】

前記枠部材は、第１接着材により前記ベース部に固定されており、
前記第１接着材は、全周にわたって前記枠部材と前記ベース部との間に配置されている、請求項１又２に記載のミラー装置。

【請求項15】

前記第２方向において、前記第１部分は、前記窓部材の外縁に対して前記ミラーユニットの側に位置しており、前記第２方向において、前記枠部材の開口の縁は、前記窓部材の外縁に対して前記ミラーユニットの側に位置しており、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向から見た場合に、前記第２方向における前記枠部材の開口の縁の位置は、前記第２方向における前記第１壁部の位置と重なっている、請求項３に記載のミラー装置。

【請求項16】

前記枠部材は、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向において互いに向かい合う一対の第３壁部を更に有し、
前記窓部材は、第２接着材により前記一対の第３壁部の頂面に固定されている、請求項１又２に記載のミラー装置。

【請求項17】

前記窓部材と前記第１壁部の頂面との間、及び前記窓部材と前記第２壁部の頂面との間の少なくとも一方には、隙間が形成されている、請求項１又は２に記載のミラー装置。

【請求項18】

前記第１方向から見た場合に、前記ミラーユニットの外縁は、前記磁石部の外縁の内側に位置している、請求項１又は２に記載のミラー装置。

【請求項19】

前記軸線は、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向と平行である、請求項１又は２に記載のミラー装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ミラー装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ミラー装置として、回転可能なミラー部を有するミラーユニットを備え、ベース部上に配置された枠状の部材によりガラス板をミラー部と向かい合うように支持したものがある（例えば特許文献１の図７参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１６－０９９５６７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述したようなミラー装置には、ミラー部へ向かう光、又はミラー部で反射した光が枠状の部材により遮られることを防止するために、枠状の部材をベース部上に精度良く配置することが求められ得る。また、ミラー装置には、ミラー部により光を走査可能な範囲を広く確保することが併せて求められ得る。

【0005】

そこで、本発明は、枠部材のベース部に対する配置精度が向上されていると共に、走査可能範囲が広く確保されたミラー装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明のミラー装置は、［１］「配置面を有し、前記配置面に開口する凹部が形成されたベース部と、前記凹部内に配置された磁石部と、所定の軸線周りに揺動可能に構成された可動部、前記可動部に設けられ、前記磁石部が発生させる磁界が作用するコイル、及び前記可動部上に設けられたミラー面を有し、前記磁石部上に配置されたミラーユニットと、第１方向における一方側を向いた第１表面、及び前記第１方向における他方側を向いた第２表面を有し、前記第２表面において前記ベース部の前記配置面上に配置された枠部材と、前記枠部材上に配置された窓部材と、を備え、前記枠部材は、第１壁部と、前記第１方向に垂直な第２方向において前記第１壁部と向かい合う第２壁部と、を有し、前記第１壁部の高さは、前記第２壁部の高さよりも低く、前記窓部材は、前記第１壁部の頂面上及び前記第２壁部の頂面上に配置され、前記ミラー面に対して傾斜しており、前記枠部材の前記第２表面には、突起部が形成されており、前記突起部は、前記第１方向から見た場合に、前記磁石部と前記凹部の開口縁との間に配置されており、前記枠部材の前記第１表面のうち、前記第１方向において前記突起部と重なる部分は、前記ミラー面に対して傾斜した傾斜面となっており、前記傾斜面上に前記窓部材が配置されている、ミラー装置」である。

【0007】

このミラー装置では、第１壁部の高さが第２壁部の高さよりも低く、窓部材が、第１壁部の頂面上及び第２壁部の頂面上に配置され、ミラー面に対して傾斜している。これにより、窓部材で反射した光が進む方向をミラー面で反射した光が進む方向とは異ならせることができ、窓部材で反射した光がノイズ光となることを抑制することができる。また、枠部材の第２表面に突起部が形成されており、突起部が、第１方向から見た場合に磁石部と凹部の開口縁との間に配置されている。これにより、例えば枠部材をベース部上に配置する際に、突起部が第１方向から見た場合に磁石部と凹部の開口縁との間に位置するように枠部材を配置することで、枠部材を狙いの位置に配置することができる。また、例えば枠部材をベース部上に配置した後に枠部材がベース部に対して第１方向と垂直な方向に移動してしまった場合でも、突起部が凹部の側面に接触することで、枠部材の位置ずれを所定量以下に抑えることができる。これらの理由により、このミラー装置では、枠部材のベース部に対する配置精度が向上されている。また、このミラー装置では、枠部材の第１表面のうち第１方向において突起部と重なる部分が、ミラー面に対して傾斜した傾斜面となっており、当該傾斜面上に窓部材が配置されている。これにより、窓部材の面積を広くすることができ、ミラー面により光を走査可能な範囲を広く確保することができる。このように、このミラー装置においては、枠部材のベース部に対する配置精度が向上されていると共に、走査可能範囲が広く確保されている。

【0008】

本発明のミラー装置は、［２］「前記突起部は、前記第１方向に垂直な一の方向において、前記磁石部と前記凹部の側面との間に配置されている、［１］に記載のミラー装置」であってもよい。この場合、例えば枠部材をベース部上に配置した後に枠部材がベース部に対して第１方向に垂直な方向に移動してしまった場合でも、突起部が凹部の側面又は磁石部に接触することで、枠部材の位置ずれを所定量以下に抑えることができる。

【0009】

本発明のミラー装置は、［３］「前記突起部は、前記第１壁部の底面に形成された第１部分を有している、［１］又は［２］に記載のミラー装置」であってもよい。この場合、第２壁部がミラー面に近づくように移動することを抑制することができ、第１壁部よりも高い第２壁部によってミラー面へ向かう光又はミラー面で反射した光が遮られることを抑制することができる。

【0010】

本発明のミラー装置は、［４］「前記第１部分は、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向に沿って延在している、［３］に記載のミラー装置」であってもよい。この場合、枠部材をベース部に対して一層精度良く配置することができる。また、第１壁部の強度を高めることができる。

【0011】

本発明のミラー装置は、［５］「前記突起部は、前記第２壁部の底面に形成された第２部分を更に有している、［３］又は［４］に記載のミラー装置」であってもよい。この場合、第２方向において枠部材をベース部に対して一層精度良く配置することができる。

【0012】

本発明のミラー装置は、［６］「前記第２部分は、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向に沿って延在している、［５］に記載のミラー装置」であってもよい。この場合、第２方向において枠部材をベース部に対して一層精度良く配置することができる。また、第２壁部の強度を高めることができる。

【0013】

本発明のミラー装置は、［７］「前記枠部材は、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向において互いに向かい合う一対の第３壁部を更に有し、前記突起部は、前記一対の第３壁部の底面にそれぞれ形成された一対の第３部分を有している、［１］～［６］のいずれか１つに記載のミラー装置」であってもよい。この場合、第３方向において枠部材をベース部に対して精度良く配置することができる。

【0014】

本発明のミラー装置は、［８］「前記第３部分は、前記第２方向に沿って延在している、［７］に記載のミラー装置」であってもよい。この場合、第３方向において枠部材をベース部に対して一層精度良く配置することができる。また、第３壁部の強度を高めることができる。

【0015】

本発明のミラー装置は、［９］「前記枠部材は、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向において互いに向かい合う一対の第３壁部を更に有し、前記突起部は、前記第１壁部の底面に形成された第１部分と、前記第２壁部の底面に形成された第２部分と、前記一対の第３壁部の一方の底面に形成された第３部分と、を有し、前記第３部分は、前記第２方向に沿って延在しており、前記第２方向における一端において前記第１部分に接続され、前記第２方向における他端において前記第２部分に接続されている、［１］～［６］のいずれか１つに記載のミラー装置」であってもよい。この場合、第２方向及び第３方向の両方において枠部材をベース部に対して精度良く配置することができる。また、枠部材の強度を高めることができる。

【0016】

本発明のミラー装置は、［１０］「前記突起部は、前記第１方向から見た場合に前記凹部の隅部に対応する箇所に配置された部分を有している、［１］～［９］のいずれか１つに記載のミラー装置」であってもよい。この場合、枠部材をベース部に対して一層精度良く配置することができる。

【0017】

本発明のミラー装置は、［１１］「前記突起部は、前記第１方向から見た場合に前記磁石部を囲むように環状に形成されている、［１］～［１０］のいずれか１つに記載のミラー装置」であってもよい。この場合、枠部材をベース部に対して一層精度良く配置することができる。

【0018】

本発明のミラー装置は、［１２］「前記第２壁部は、前記第２方向における頂面の幅が前記第２方向における底面の幅よりも狭い部分を有している、［１］～［１１］のいずれか１つに記載のミラー装置」であってもよい。この場合、第１壁部よりも高い第２壁部によってミラー面へ向かう光又はミラー面で反射した光が遮られることを抑制することができる。

【0019】

本発明のミラー装置は、［１３］「前記枠部材は、第１接着材により前記ベース部に固定されており、前記第１接着材は、前記突起部と前記凹部の側面との間に配置されている、［１］～［１２］のいずれか１つに記載のミラー装置」であってもよい。この場合、枠部材をベース部に強固に固定することができる。

【0020】

本発明のミラー装置は、［１４］「前記枠部材は、第１接着材により前記ベース部に固定されており、前記第１接着材は、全周にわたって前記枠部材と前記ベース部との間に配置されている、［１］～［１３］のいずれか１つに記載のミラー装置」であってもよい。この場合、枠部材をベース部に強固に固定することができる。

【0021】

本発明のミラー装置は、［１５］「前記第２方向において、前記第１部分は、前記窓部材の外縁に対して前記ミラーユニットの側に位置しており、前記第２方向において、前記枠部材の開口の縁は、前記窓部材の外縁に対して前記ミラーユニットの側に位置しており、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向から見た場合に、前記第２方向における前記枠部材の開口の縁の位置は、前記第２方向における前記第１壁部の位置と重なっている、［３］に記載のミラー装置」であってもよい。この場合、窓部材の面積を広くすることができ、ミラー面により光を走査可能な範囲を広く確保することができる。また、枠部材の開口を広くすることができ、枠部材によって光が遮られることを抑制することができる。

【0022】

本発明のミラー装置は、［１６］「前記枠部材は、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向において互いに向かい合う一対の第３壁部を更に有し、前記窓部材は、第２接着材により前記一対の第３壁部の頂面に固定されている、［１］～［１５］のいずれか１つに記載のミラー装置」であってもよい。この場合、固定時に枠部材が撓むことを抑制することができる。

【0023】

本発明のミラー装置は、［１７］「前記窓部材と前記第１壁部の頂面との間、及び前記窓部材と前記第２壁部の頂面との間の少なくとも一方には、隙間が形成されている、［１］～［１６］のいずれか１つに記載のミラー装置」であってもよい。この場合、ミラー装置内における結露の発生を抑制することができる。

【0024】

本発明のミラー装置は、［１８］「前記第１方向から見た場合に、前記ミラーユニットの外縁は、前記磁石部の外縁の内側に位置している、［１］～［１７］のいずれか１つに記載のミラー装置」であってもよい。この場合、例えば枠部材をベース部上に配置する際に、枠部材（第１～第３壁部及び突起部）がミラーユニットに接触してミラーユニットが破損してしまうことを抑制することができる。

【0025】

本発明のミラー装置は、［１９］「前記軸線は、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向と平行である、［１］～［１８］のいずれか１つに記載のミラー装置」であってもよい。このようなミラー装置においても、枠部材のベース部に対する配置精度が向上されると共に、走査可能範囲が広く確保される。

【発明の効果】

【0026】

本発明によれば、枠部材のベース部に対する配置精度が向上されていると共に、走査可能範囲が広く確保されたミラー装置を提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】実施形態に係るミラー装置の斜視図である。

【図2】ミラー装置の平面図である。

【図3】図２のIII－III線に沿っての断面図である。

【図4】図２のIV－IV線に沿っての断面図である。

【図5】図２のV－V線に沿っての断面図である。

【図6】枠部材及び磁石部を底面側から見た図である。

【図7】ミラーユニットの平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0028】

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の説明において、同一又は相当要素には同一符号を用い、重複する説明を省略する。

【0029】

図１～図６に示されるように、ミラー装置１は、ミラーユニット２と、ベース部３と、磁石部４と、枠部材５と、窓部材６と、を備えている。まず、図７を参照しつつ、ミラーユニット２について説明する。ミラーユニット２は、この例ではミラーデバイス１０のみにより構成されているが、例えばミラーデバイス１０が固定されるベース部材を更に備えていてもよい。以下、各図に示されるようにＸ方向（第２方向）、Ｙ方向（第３方向）、Ｚ方向（第１方向）を設定して説明する。Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向は互いに垂直な方向である。
［ミラーデバイス（ミラーユニット）］

【0030】

ミラーデバイス１０は、支持部１１と、支持部１１に対して揺動可能な可動ミラー部１２と、を有している。可動ミラー部１２は、可動部１３と、一対の連結部１４と、ミラー１５と、を有している。支持部１１、可動部１３及び一対の連結部１４は、例えばＳＯＩ（Silicon on Insulator）基板により一体的に形成されている。つまり、ミラーデバイス１０は、半導体材料を用いて形成されたＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）デバイスである。

【0031】

支持部１１は、例えば矩形枠状に形成されている。可動部１３は、例えば矩形板状に形成されており、光軸方向から見た場合に支持部１１の内側に配置されている（支持部１１により囲まれている）。光軸方向は、支持部１１及び可動ミラー部１２が配置される平面に垂直な方向であり、この例ではミラー１５に垂直な方向である。この例では光軸方向はＺ方向と平行である。可動部１３は、軸線Ａ周りに揺動可能となるように、一対の連結部１４により支持部１１に連結されている。軸線Ａは、この例ではＹ方向と平行である。

【0032】

可動部１３は、第１部分１３１と、第２部分１３２と、を含んでいる。第１部分１３１は、光軸方向から見た場合に、例えば円形状に形成されている。第２部分１３２は、光軸方向から見た場合に、例えば矩形環状に形成されている。第１部分１３１は、光軸方向から見た場合に第２部分１３２の内側に配置されており（第２部分１３２により囲まれており）、複数（この例では２つ）の接続部分１３３を介して第２部分１３２と接続されている。第１部分１３１と第２部分１３２との間には、複数の接続部分１３３を除いて隙間が形成されている。接続部分１３３は、例えば、第２部分１３２の矩形状の内縁のうち軸線Ａと平行な２辺の中央部に位置している。

【0033】

一対の連結部１４は、支持部１１と可動部１３との間の隙間において、可動部１３を挟むように軸線Ａ上に配置されている。各連結部１４は、この例では長方形板状に形成されて軸線Ａに沿って延在している。各連結部１４は、トーションバーとして機能する。

【0034】

ミラー１５は、可動部１３の第１部分１３１に設けられている。ミラー１５は、光軸方向における第１部分１３１の一方側の表面上に形成されている。ミラー１５は、例えば、アルミニウム、アルミニウム系合金、金又は銀等の金属材料により、円形、楕円形又は矩形の膜状に形成されている。ミラー１５における可動部１３とは反対側の表面は、光軸方向と垂直に延在するミラー面１５ａを構成している。ミラー１５の中心は、光軸方向から見た場合に、第１部分１３１の中心（ミラーデバイス１０の中心）に一致している。ミラーデバイス１０では、複数の接続部分１３３を介して第２部分１３２と接続された第１部分１３１にミラー１５が設けられているため、可動部１３が共振周波数レベルで軸線Ａ周りに揺動する場合でも、ミラー１５に撓み等の変形が生じることが抑制されている。

【0035】

さらに、ミラーデバイス１０は、コイル１６と、一対の電極パッド１７ａ，１７ｂと、を有している。コイル１６は、可動部１３の第２部分１３２に設けられている。コイル１６は、光軸方向から見た場合に、ミラー１５の外側の領域（すなわち、第２部分１３２）においてスパイラル状（渦巻き状）に複数回巻かれている。コイル１６には、磁石部４が発生させる磁界が作用する。

【0036】

コイル１６は、例えば、銅等の金属材料からなり、可動部１３の表面に形成された溝内に配置されている。つまり、コイル１６は、可動部１３に埋め込まれている。コイル１６の一端は、配線（図示省略）を介して電極パッド１７ａに接続されており、コイル１６の他端は、配線（図示省略）を介して電極パッド１７ｂに接続されている。各電極パッド１７ａ，１７ｂには、ミラーデバイス１０を外部機器（例えば電源装置等）と電気的に接続するためのワイヤ（図示両略）が接続されている。

【0037】

ミラーデバイス１０の駆動方法の例を説明する。一例として、コイル１６に高周波数の駆動電流が印加される。このとき、コイル１６には、磁石部４により発生させられた磁界が作用しているため、コイル１６にローレンツ力が発生する。これにより、可動部１３が、例えば、共振周波数レベルで軸線Ａ周りに揺動させられる。このようにミラーデバイス１０を駆動することにより、所定の光源からの光をミラー１５（ミラー面１５ａ）により反射させて走査することができる。別例として、コイル１６に一定の大きさの駆動電流が印加されてもよい。この場合、可動部１３は、駆動電流の大きさに応じて軸線Ａ周りに回転し、所定の回転角度で停止する。このように、可動部１３は静的に駆動されてもよい（リニア駆動）。
［ミラー装置］

【0038】

図１～図６を参照しつつ、ミラー装置１の各部の構成について説明する。ベース部３は、樹脂材料により形成された本体部３１と、金属材料により形成された金属板部３２と、を有し、全体として略直方体状の外形を有している。ベース部３は、配置面３ａ及び底面３ｂを有している。配置面３ａは、Ｚ方向における一方側の面であり、ベース部３の頂面を構成している。底面３ｂは、Ｚ方向における他方側の面であり、配置面３ａとは反対側に位置している。この例では、配置面３ａ及び底面３ｂは、Ｚ方向に垂直な平坦面であり、互いに平行である。配置面３ａは本体部３１により構成されており、底面３ｂは本体部３１及び金属板部３２により構成されている。すなわち、金属板部３２は、底面３ｂの一部を構成するようにベース部３の底部に配置されている。

【0039】

ベース部３には、配置面３ａに開口する凹部３３が形成されている。この例では、凹部３３の開口縁３３ａ（配置面３ａにおける凹部３３の縁）は、Ｙ方向と平行な長辺を有する略長方形状に形成されている。図６には開口縁３３ａが二点鎖線により示されている。凹部３３の側面３３ｂ（内側面）は本体部３１により構成されており、凹部３３の底面３３ｃは金属板部３２により構成されている。

【0040】

凹部３３内には、磁石部４が配置されている。磁石部４は、凹部３３の底面３３ｃ上に配置されている。磁石部４は、例えば、ハルバッハ配列で並べられた複数の永久磁石を含んで構成されており、全体として略直方体状に形成されている。磁石部４は、ミラーデバイス１０のコイル１６に作用する磁界を発生させる。図２及び図６に示されるように、磁石部４は、Ｚ方向から見た場合に、例えばＹ方向と平行な長辺を有する長方形状に形成されている。

【0041】

ミラーデバイス１０（ミラーユニット２）は、Ｚ方向において磁石部４上に配置されている。より具体的には、ミラーデバイス１０は、ミラー面１５ａがＺ方向における一方側（窓部材６側）を向き、且つ軸線ＡがＹ方向と平行になるように、支持部１１において磁石部４の頂面４ａ（窓部材６側の表面）上に配置されている。図２に示されるように、Ｚ方向から見た場合に、ミラーデバイス１０の外縁１０ａの全体は、磁石部４の外縁４ｂの内側に位置している。ミラーユニット２が、ミラーデバイス１０が固定されるベース部材を備える場合、ミラーユニット２は、当該ベース部材を介して磁石部４上に配置されてもよい。

【0042】

ベース部３の配置面３ａ上には、枠部材５が配置されている。枠部材５は、Ｚ方向における一方側を向いた第１表面５ａと、Ｚ方向における他方側を向いた第２表面５ｂと、を有し、第２表面５ｂにおいて（Ｚ方向において）配置面３ａ上に配置されている。第１表面５ａは、後述する第１壁部５１、第２壁部５２及び一対の第３壁部５３の頂面５１ａ～５３ａにより構成されている。第２表面５ｂは、後述する第１壁部５１、第２壁部５２、一対の第３壁部５３及び一対の立壁部５４の底面５１ｂ～５４ｂにより構成されている。枠部材５は、第１表面５ａにおいて光通過開口５ｃを画定している。光通過開口５ｃは、ミラーデバイス１０のミラー面１５ａへ向かう光、又はミラー面１５ａで反射した光が通過する開口である。図６には、光通過開口５ｃが破線により示されている。枠部材５は、Ｚ方向から見た場合にミラーデバイス１０（ミラー面１５ａ）を囲むように配置されている。Ｙ方向における光通過開口５ｃの幅は、Ｙ方向における各立壁部５４の幅Ｗ５よりも大きい。立壁部５４及びその幅Ｗ５については後述する。これにより、ミラー面１５ａへ向かう光、又はミラー面１５ａで反射した光が枠部材５と干渉することを抑制することができる。

【0043】

枠部材５は、第１壁部５１と、第２壁部５２と、一対の第３壁部５３と、一対の立壁部５４と、を有している。この例では、一対の第３壁部５３は、一対の立壁部５４とそれぞれ一体に形成されている。各壁部５１，５２，５４は、略平板状の中実な（内部に空洞を有しない）壁部であり、Ｚ方向に沿って延在している。各第３壁部５３は、後述するように、Ｚ方向に沿って延在する略平板状の中実な本体部５３１を有している。第１壁部５１及び第２壁部５２は、互いに平行に延在し、Ｘ方向において互いに向かい合っている。一対の第３壁部５３の本体部５３１は、互いに平行に延在し、Ｙ方向において互いに向かい合っている。一方の第３壁部５３の本体部５３１は、Ｙ方向における第１壁部５１の一端及び第２壁部５２の一端に接続されており、他方の第３壁部５３の本体部５３１は、Ｙ方向における第１壁部５１の他端及び第２壁部５２の他端に接続されている。

【0044】

第１壁部５１の頂面５１ａ（ベース部３とは反対側の表面）は、第２壁部５２に近づくにつれてベース部３の配置面３ａから遠ざかるように、配置面３ａ（ミラー面１５ａ）に対して傾斜している。第２壁部５２の頂面５２ａ（ベース部３とは反対側の表面）は、第１壁部５１に近づくにつれてベース部３の配置面３ａに近づくように、配置面３ａ（ミラー面１５ａ）に対して傾斜している。第１壁部５１の高さＨ１は、第２壁部５２の高さＨ２よりも低い。第１壁部５１の高さＨ１は、配置面３ａから頂面５１ａまでの距離の最大値であり、第２壁部５２の高さＨ２は、配置面３ａから頂面５２ａまでの距離の最大値である。

【0045】

第３壁部５３は、Ｙ方向に垂直な平面に沿って延在する平板状の本体部５３１と、本体部５３１からＹ方向の内側（ミラーデバイス１０側）に突出した庇部５３２と、を有している。庇部５３２は、Ｙ方向又はＺ方向から見た場合に、第１壁部５１と第２壁部５２との間にわたって連続して延在するように設けられている。この例では、第３壁部５３の頂面５３ａ（ベース部３とは反対側の表面）は、庇部５３２により構成されており、第３壁部５３の底面５３ｂは、本体部５３１により構成されている。図５では、破線により底面５３ｂが示されている。

【0046】

この例では、Ｚ方向から見た場合に、枠部材５は、Ｙ方向と平行な長辺を有する長方形枠状に形成されており、Ｘ方向における第３壁部５３の長さＬ３は、Ｙ方向における第１壁部５１の長さＬ１及び第２壁部５２の長さＬ２よりも短い。この例では、長さＬ１，Ｌ２は互いに等しく、第３壁部５３の長さＬ３は、Ｘ方向における立壁部５４の長さと等しい。

【0047】

第３壁部５３の頂面５３ａは、第１壁部５１に近づくにつれてベース部３の配置面３ａに近づくように（第２壁部５２に近づくにつれて配置面３ａから遠ざかるように）、配置面３ａ（ミラー面１５ａ）に対して傾斜している。この例では、頂面５３ａは、第１壁部５１の頂面５１ａ及び第２壁部５２の頂面５２ａに接続されている。頂面５１ａ～５３ａは、面一となっており、同一平面上に位置している。すなわち、枠部材５の第１表面５ａの全体は、配置面３ａ（ミラー面１５ａ）に対して傾斜した傾斜面となっている。なお、「ミラー面１５ａに対して傾斜している」とは、可動部１３が揺動していない状態におけるミラー面１５ａ（この例ではＺ向に垂直なミラー面１５ａ）に対して傾斜していることをいう。

【0048】

頂面５１ａ～５３ａ上には、窓部材６が配置されている。窓部材６は、例えば、ガラス等の透光性材料により矩形平板状に形成されている。ミラー装置１では、ミラーデバイス１０のミラー面１５ａへ向かう光が窓部材６を透過すると共に、ミラー面１５ａで反射した光が窓部材６を透過する。窓部材６は、頂面５１ａ～５３ａ上に配置されることにより、第１壁部５１に近づくにつれてベース部３の配置面３ａに近づくように、配置面３ａ（ミラー面１５ａ）に対して傾斜している。換言すれば、各頂面５１ａ～５３ａは、窓部材６の傾斜に応じた角度で傾斜している。なお、後述するとおり、この例では、頂面５１ａ，５２ａと窓部材６との間には、通気用の隙間Ｇが形成されている。すなわち、窓部材６は、隙間Ｇを介して頂面５１ａ，５２ａ上に配置されていてもよい。
［突起部］

【0049】

枠部材５の第２表面５ｂには、一対の突起部７が形成されている。一対の突起部７は、Ｙ方向に垂直な平面に関して互いに対称な形状を有している。各突起部７は、第１壁部５１の底面５１ｂに形成された第１部分７１と、第２壁部５２の底面５２ｂに形成された第２部分７２と、第３壁部５３の底面５３ｂ及び立壁部５４の底面５４ｂに形成された第３部分７３と、を有している。底面５１ｂ～５４ｂは、壁部５１～５４におけるベース部３側の表面である。図６には、枠部材５及び磁石部４を底面５１ｂ～５４ｂ側から見た図が示されている。図６には、図２のIII－III線、IV－IV線、V－V線にそれぞれ対応するIII－III線、IV－IV線、V－V線が示されている。

【0050】

第１部分７１は、Ｙ方向に沿って真っ直ぐに延在している。この例では、第１部分７１は、Ｚ方向から見た場合に、Ｙ方向と平行な長辺を有する長方形状に形成されている。第１部分７１は、Ｙ方向に垂直な断面において略矩形状に形成されており、Ｙ方向に関して一様な断面形状を有している。第１部分７１は、第１壁部５１の底面５１ｂのうちＸ方向における内側の領域に形成されている。この例では、第１部分７１は、底面５１ｂの内縁に沿って延在するように形成されている。

【0051】

第２部分７２は、Ｙ方向に沿って真っ直ぐに延在している。この例では、第２部分７２は、Ｘ方向に垂直な平面に関して第１部分７１と対称な形状を有しており、第１部分７１と平行に延在している。第２部分７２は、Ｚ方向から見た場合に、Ｙ方向と平行な長辺を有する長方形状に形成されている。第２部分７２は、Ｙ方向に垂直な断面において略矩形状に形成されており、Ｙ方向に関して一様な断面形状を有している。第２部分７２は、第２壁部５２の底面５２ｂのうちＸ方向における内側の領域に形成されている。この例では、第２部分７２は、底面５２ｂの内縁に沿って延在するように形成されている。

【0052】

第３部分７３は、Ｘ方向に沿って真っ直ぐに延在している。すなわち、この例では、第３部分７３は、第１部分７１及び第２部分と垂直に延在している。第３部分７３は、Ｚ方向から見た場合に、Ｘ方向と平行な長辺を有する長方形状に形成されている。第３部分７３は、Ｘ方向に垂直な断面において略矩形状に形成されており、Ｘ方向に関して一様な断面形状を有している。第３部分７３は、Ｘ方向における一端において第１部分７１に接続され、Ｘ方向における他端において第２部分７２に接続されている。すなわち、各突起部７における第１部分７１、第２部分７２及び第３部分７３は一体に形成されている。各突起部７における第１部分７１、第２部分７２及び第３部分７３は、Ｚ方向から見た場合に略Ｃ字状（コ字状）を呈している。

【0053】

各突起部７は、Ｚ方向から見た場合に、磁石部４と凹部３３の開口縁３３ａとの間に配置されている（図６参照）。この例では、各突起部７は、Ｚ方向に垂直な方向において、磁石部４と凹部３３の側面３３ｂとの間に配置されている。すなわち、各突起部７は、凹部３３内に位置する部分（ベース部３の配置面３ａに対して窓部材６とは反対側に位置する部分）を有している。より具体的には、第１部分７１及び第２部分７２は、Ｘ方向及びＹ方向の両方に対して傾斜した方向において、磁石部４と側面３３ｂ（開口縁３３ａ）との間に位置している。第３部分７３は、Ｙ方向において、磁石部４と側面３３ｂ（開口縁３３ａ）との間に位置している。Ｙ方向において、第３部分７３と側面３３ｂとの間の距離は、第３部分７３と磁石部４との間の距離よりも短い。

【0054】

各突起部７において、第１部分７１と第３部分７３との間の接続部分７４、及び第２部分７２と第３部分７３との間の接続部分７５は、Ｚ方向から見た場合に凹部３３の隅部３３ｄに対応する箇所に配置されている。この例では、接続部分７４，７５は、隅部３３ｄと向かい合うように配置されている。接続部分７４，７５は、磁石部４の角部に対応する箇所に配置されているとみなすこともできる。

【0055】

枠部材５の第１表面５ａのうち、Ｚ方向において（Ｚ方向から見た場合に）突起部７と重なる部分は、ミラー面１５ａ（配置面３ａ）に対して傾斜した傾斜面となっている。上述したとおり、この例では、第１表面５ａの全体が、ミラー面１５ａに対して傾斜した傾斜面となっている。このように傾斜した第１表面５ａ上に、窓部材６が配置されている。窓部材６は、Ｚ方向において突起部７の少なくとも一部と重なっている。この例では、窓部材６は、Ｚ方向において第１部分７１及び第２部分７２と重なっており、第３部分７３とは重なっていない。
［立壁部］

【0056】

図５では、二点鎖線により立壁部５４が示されている。一対の立壁部５４は、互いに平行に延在し、Ｙ方向において互いに向かい合っている。一対の立壁部５４は、Ｚ方向から見た場合に、Ｙ方向における一対の第３壁部５３の外側に配置されている（Ｙ方向において一対の第３壁部５３を挟むように配置されている）。この例では、一対の立壁部５４は、一対の第３壁部５３とそれぞれ一体に形成されている。各立壁部５４は、Ｙ方向から見た場合に、第１壁部５１と第２壁部５２との間にわたって連続して延在するように設けられている。

【0057】

立壁部５４の頂面５４ａ（ベース部３とは反対側の表面）は、平坦部を有している。この例では、立壁部５４の頂面５４ａの全体が、Ｚ方向に垂直な平坦面となっている。頂面５４ａ（平坦部）は、ベース部３の底面３ｂ（配置面３ａとは反対側の表面）と平行に延在している。頂面５４ａは、Ｚ方向から見た場合に、例えばＸ方向と平行な長辺を有する長方形状を呈している。立壁部５４の底面５４ｂ（ベース部３側の表面）の全体は、Ｚ方向に垂直な平坦面となっている。底面５４ｂは、Ｚ方向から見た場合に、例えばＸ方向と平行な長辺を有する長方形状を呈している。立壁部５４は、枠部材５のうち、頂面５４ａからＺ方向に沿って延在する部分であり、底面５４ｂは、当該延在する部分における頂面５４ａとは反対側の端面である。この例では、立壁部５４は、Ｚ方向に関して一様な断面形状を有している。頂面５４ａ及び底面５４ｂは、互いに同じ形状を有している。

【0058】

Ｙ方向における立壁部５４の頂面５４ａの幅Ｗ３及び底面５４ｂの幅Ｗ４の各々は、Ｘ方向における第１壁部５１の幅Ｗ１及び第２壁部５２の幅Ｗ２の各々よりも広い。第１壁部５１の幅Ｗ１とは、ミラー１５の中心を通るＹ方向に垂直な断面（図４）でのＸ方向における第１壁部５１の最大幅である。この点は第２壁部５２及び立壁部５４についても同様である。この例では、頂面５４ａの幅Ｗ３は底面５４ｂの幅Ｗ４と等しい。立壁部５４の高さＨ４は、第１壁部５１の高さＨ１及び第２壁部５２の高さＨ２よりも高く、且つ、第３壁部の高さＨ３よりも高い。第３壁部５３の高さＨ３は、ベース部３の配置面３ａから第３壁部５３の頂面５３ａまでの距離の最大値である。立壁部５４の高さＨ４は、ベース部３の配置面３ａから立壁部５４の頂面５４ａまでの距離の最大値である。

【0059】

枠部材５は、立壁部５４の底面５４ｂがベース部３の配置面３ａに接触するように、配置面３ａ上に配置されている。なお、後述するように、この例では底面５４ｂと配置面３ａとの間に第１接着材８１が配置されている。底面５４ｂが配置面３ａに接触していることには、底面５４ｂが配置面３ａに直接に接触している場合だけでなく、この例のように底面５４ｂと配置面３ａとの間に第１接着材８１が配置されている場合が含まれる。Ｚ方向から見た場合に、立壁部５４の外縁は、ベース部３の外縁よりも外側に位置していない。この例では、Ｚ方向から見た場合に、立壁部５４の外縁は、ベース部３の外縁よりも内側に位置している。Ｘ方向から見た場合に、立壁部５４の底面５４ｂにおいて、配置面３ａと接触している部分の幅は、配置面３ａと接触していない部分の幅よりも広い。

【0060】

図１～図６を参照しつつミラー装置１の各部の構成について更に説明する。第２壁部５２は、第２壁部５２における他の部分と比べて頂面５２ａ側の幅が狭くなっている部分５２１を有している（図４参照）。部分５２１においては、頂面５２ａの幅Ｗａが底面５２ｂの幅Ｗｂよりも狭くなっている。部分５２１は、Ｙ方向における第２壁部５２の中間部に設けられている。

【0061】

枠部材５は、第１接着材８１によりベース部３に固定されている。第１接着材８１は、例えばエポキシ系、アクリル系、シリコーン系の材料からなる接着材である。この例では、第１接着材８１は、枠部材５の第２表面５ｂ（壁部５１～５４の底面５１ｂ～５４ｂ）とベース部３の配置面３ａとの間に配置されて第２表面５ｂ及び配置面３ａに接触すると共に、突起部７と凹部３３の側面３３ｂとの間に配置されて突起部７及び側面３３ｂに接触している（突起部７と凹部３３の側面３３ｂとの間に入り込んでいる）。また、第１接着材８１は、全周にわたって（Ｚ方向から見た場合に凹部３３を囲むように）枠部材５とベース部３との間に配置されている。第１接着材８１は、突起部７の第１部分７１、第２部分７２及び第３部分７３に接触している。

【0062】

窓部材６は、第２接着材８２により一対の第３壁部５３の頂面５３ａに固定されている。第２接着材８２は、例えばエポキシ系、アクリル系、シリコーン系の材料からなる接着材である。窓部材６と頂面５３ａとの間は、第２接着材８２により気密に封止されている。一方、窓部材６と第１壁部５１の頂面５１ａとの間、及び窓部材６と第２壁部５２の頂面５２ａとの間には第２接着材８２が配置されておらず、隙間Ｇが形成されている。すなわち、窓部材６は、第１壁部５１の頂面５１ａ及び第２壁部５２の頂面５２ａに固定されていない。隙間Ｇは、ミラー装置１の内部と外部とを接続する通気口として機能する。

【0063】

Ｚ方向において、窓部材６の全体は、各立壁部５４の頂面５４ａに対してベース部３の側に位置している。すなわち、Ｚ方向において、窓部材６の全体は、各立壁部５４の頂面５４ａからベース部３とは反対側に突出していない。Ｙ方向における窓部材６の長さＬ６は、Ｙ方向における各立壁部５４の幅Ｗ５よりも長い。立壁部５４の幅Ｗ５とは、Ｙ方向における立壁部５４の最大幅であり、例えば立壁部５４の頂面５４ａの幅Ｗ３及び底面５４ｂの幅Ｗ４の広いほうである。この例では幅Ｗ３が幅Ｗ４と等しいため、立壁部５４の幅Ｗ５は、頂面５４ａの幅Ｗ３であり、底面５４ｂの幅Ｗ４でもある。また、この例では、Ｙ方向における窓部材６の長さＬ６は、Ｙ方向における一対の立壁部５４の幅Ｗ５の和よりも長い。

【0064】

図６には窓部材６が破線により示されている。図６に示されるように、Ｚ方向から見た場合に、窓部材６の外縁６ａは、枠部材５の光通過開口５ｃの外側に位置している。すなわち、窓部材６は、光通過開口５ｃの全体を覆うように配置されている。Ｘ方向において、突起部７の第１部分７１及び第２部分７２は、窓部材６の外縁６ａに対して内側（ミラーデバイス１０側）に位置している。Ｘ方向において、枠部材５の光通過開口５ｃの縁は、窓部材６の外縁６ａに対して内側（ミラーデバイス１０側）に位置している。Ｙ方向から見た場合に、Ｘ方向における枠部材５の光通過開口５ｃの縁の位置は、Ｘ方向における第１壁部５１及び第２壁部５２の位置と重なっている。この例では、Ｙ方向から見た場合に、Ｘ方向における枠部材５の光通過開口５ｃの縁の位置は、Ｘ方向における突起部７の第１部分７１及び第２部分７２の位置と重なっている。Ｙ方向において、枠部材５の光通過開口５ｃの縁は、窓部材６の外縁６ａに対して内側（ミラーデバイス１０側）に位置している。Ｙ方向において、枠部材５の光通過開口５ｃの縁及び窓部材６の外縁６ａは、突起部７の第３部分７３に対して内側に位置している。第３壁部５３の頂面５３ａは、Ｚ方向において突起部７の第３部分７３と重なる部分を有している。
［作用及び効果］

【0065】

ミラー装置１では、第１壁部５１の高さＨ１が第２壁部５２の高さＨ２よりも低く、窓部材６が、第１壁部５１の頂面５１ａ上及び第２壁部５２の頂面５２ａ上に配置され、ミラー面１５ａに対して傾斜している。これにより、窓部材６で反射した光が進む方向をミラー面１５ａで反射した光が進む方向とは異ならせることができ、窓部材６で反射した光がノイズ光となることを抑制することができる。また、枠部材５の第２表面５ｂに突起部７が形成されており、突起部７が、Ｚ方向（第１方向）から見た場合に磁石部４と凹部３３の開口縁３３ａとの間に配置されている。これにより、例えば枠部材５をベース部３上に配置する際に、突起部７がＺ方向から見た場合に磁石部４と凹部３３の開口縁３３ａとの間に位置するように枠部材５を配置することで、枠部材５を狙いの位置に配置する（位置決めする）ことができる。また、例えば枠部材５をベース部３上に配置した後に枠部材５がベース部３に対してＺ方向と垂直な方向に移動してしまった場合でも、突起部７が凹部３３の側面３３ｂに接触することで、枠部材５の位置ずれを所定量以下に（許容範囲内に）抑えることができる。このような枠部材５の移動は、例えば、枠部材５をベース部３上に配置した後、第１接着材８１が硬化する前に起こり得る。異なる見方をすれば、ミラー装置１では、磁石部４と凹部３３の開口縁３３ａ（側面３３ｂ）との間に、枠部材５（突起部７）を位置決めするための空間が確保されている。これらの理由により、ミラー装置１では、枠部材５のベース部３に対する配置精度が向上されている。また、ミラー装置１では、枠部材５の第１表面５ａのうちＺ方向において突起部７と重なる部分が、ミラー面１５ａに対して傾斜した傾斜面となっており、当該傾斜面上に窓部材６が配置されている。これにより、窓部材６の面積を広くすることができ、ミラー面１５ａにより光を走査可能な範囲を広く確保することができる。このように、ミラー装置１においては、枠部材５のベース部３に対する配置精度が向上されていると共に、走査可能範囲が広く確保されている。

【0066】

突起部７が、Ｚ方向に垂直な一の方向において、磁石部４と凹部３３の側面３３ｂとの間に配置されている。上述した例では、第１部分７１及び第２部分７２が、Ｘ方向及びＹ方向の両方に対して傾斜した方向において、磁石部４と側面３３ｂとの間に位置しており、第３部分７３が、Ｙ方向において、磁石部４と側面３３ｂとの間に位置している。これにより、例えば枠部材５をベース部３上に配置した後に枠部材５がベース部３に対してＺ方向に垂直な方向に移動してしまった場合でも、突起部７が凹部３３の側面３３ｂ又は磁石部４に接触することで、枠部材５の位置ずれを所定量以下に抑えることができる。

【0067】

突起部７が、第１壁部５１の底面５１ｂに形成された第１部分７１を有している。これにより、第２壁部５２がミラー面１５ａに近づくように移動することを抑制することができ、第１壁部５１よりも高い第２壁部５２によってミラー面１５ａへ向かう光又はミラー面１５ａで反射した光が遮られることを抑制することができる。

【0068】

第１部分７１が、Ｙ方向（第１方向及び第２方向に垂直な第３方向）に沿って延在している。これにより、枠部材５をベース部３に対して一層精度良く配置することができる。また、第１壁部５１の強度を高めることができる。

【0069】

突起部７が、第２壁部５２の底面５２ｂに形成された第２部分７２を有している。これにより、Ｘ方向（第１方向に垂直な第２方向）において枠部材５をベース部３に対して一層精度良く配置することができる。

【0070】

第２部分７２が、Ｙ方向に沿って延在している。これにより、Ｘ方向において枠部材５をベース部３に対して一層精度良く配置することができる。また、第２壁部５２の強度を高めることができる。

【0071】

突起部７が、一対の第３壁部５３の底面５３ｂにそれぞれ形成された一対の第３部分７３を有している。これにより、Ｙ方向において枠部材５をベース部３に対して精度良く配置することができる。

【0072】

第３部分７３が、Ｘ方向（第１方向に垂直な第２方向）に沿って延在している。これにより、Ｙ方向において枠部材５をベース部３に対して一層精度良く配置することができる。また、第３壁部５３の強度を高めることができる。

【0073】

第３部分７３が、Ｘ方向に沿って延在しており、Ｘ方向における一端において第１部分７１に接続され、Ｘ方向における他端において第２部分７２に接続されている。これにより、Ｘ方向及びＹ方向の両方において枠部材５をベース部３に対して精度良く配置することができる。また、枠部材５の強度を高めることができる。

【0074】

突起部７が、Ｚ方向から見た場合に凹部３３の隅部３３ｄに対応する箇所に配置された接続部分７４，７５を有している。これにより、枠部材５をベース部３に対して一層精度良く配置することができる。

【0075】

第２壁部５２が、Ｘ方向における頂面５３ａの幅ＷａがＸ方向における底面５２ｂの幅Ｗｂよりも狭い部分５２１を有している。これにより、第１壁部５１よりも高い第２壁部５２によってミラー面１５ａへ向かう光又はミラー面１５ａで反射した光が遮られることを抑制することができる。

【0076】

枠部材５が、第１接着材８１によりベース部３に固定されており、第１接着材８１が、突起部７と凹部３３の側面３３ｂとの間に配置されている。これにより、枠部材５をベース部３に強固に固定することができる。

【0077】

第１接着材８１が、全周にわたって枠部材５とベース部３との間に配置されている。これにより、枠部材５をベース部３に強固に固定することができる。

【0078】

Ｘ方向において、第１部分７１が、窓部材６の外縁６ａに対して内側（ミラーユニット２側）に位置している。Ｘ方向において、枠部材５の光通過開口５ｃの縁が、窓部材６の外縁６ａに対して内側に位置している。Ｙ方向から見た場合に、Ｘ方向における枠部材５の光通過開口５ｃの縁の位置が、Ｘ方向における第１壁部５１の位置と重なっている。これにより、窓部材６の面積を広くすることができ、ミラー面１５ａにより光を走査可能な範囲を広く確保することができる。また、光通過開口５ｃを広くすることができ、枠部材５によって光が遮られることを抑制することができる。

【0079】

窓部材６が、第２接着材８２により一対の第３壁部５３の頂面５３ａに固定されている。これにより、例えば高さが低く撓みやすい第１壁部５１の頂面５１ａに窓部材６が固定される場合と比べて、固定時に枠部材５が撓むことを抑制することができる。

【0080】

窓部材６と第１壁部５１の頂面５１ａとの間、及び窓部材６と第２壁部５２の頂面５２ａとの間に、隙間Ｇが形成されている。これにより、ミラー装置１内における結露の発生を抑制することができる。

【0081】

Ｚ方向から見た場合に、ミラーデバイス１０（ミラーユニット２）の外縁１０ａが、磁石部４の外縁４ｂの内側に位置している。これにより、例えば枠部材５をベース部３上に配置する際に、枠部材５（壁部５１～壁部５３及び突起部７）がミラーデバイス１０に接触してミラーデバイス１０が破損してしまうことを抑制することができる。

【0082】

ミラーデバイス１０の軸線Ａが、Ｙ方向と平行である。このようなミラー装置１においても、枠部材５のベース部３に対する配置精度が向上されると共に、走査可能範囲が広く確保される。
［変形例］

【0083】

本発明は、上記実施形態及び変形例に限られない。各構成の材料及び形状には、上述した材料及び形状に限らず、様々な材料及び形状を採用することができる。Ｙ方向における第１壁部５１の長さＬ１及び第２壁部５２の長さＬ２は、Ｘ方向における各第３壁部５３の長さＬ３よりも短くてもよいし、長さＬ３と等しくてもよい。

【0084】

突起部７は、Ｚ方向から見た場合に磁石部４を囲むように環状に形成されていてもよい。例えば、突起部７は、Ｚ方向から見た場合に矩形環状を呈する１つの部分により構成されていてもよい。この場合、例えば、第１部分７１及び第２部分７２がＸ方向において向かい合う一対の辺部を構成し、一対の第３部分７３がＹ方向において向かい合う一対の辺部を構成する。このような変形例によっても、上記実施形態と同様に、枠部材５のベース部３に対する配置精度が向上されると共に、走査可能範囲が広く確保される。また、突起部７がＺ方向から見た場合に磁石部４を囲むように環状に形成されているため、枠部材５をベース部３に対して一層精度良く配置することができる。

【0085】

突起部７は、第１部分７１、第２部分７２及び第３部分７３のいずれか１つのみを有していてもよいし、いずれか２つのみを有していてもよい。第１部分７１及び第２部分７２は、任意の形状に形成されてよく、Ｙ方向に沿って延在していなくてもよい。第３部分７３は、任意の形状に形成されてよく、Ｘ方向に沿って延在していなくてもよい。第３部分７３は、第１部分７１及び第２部分７２のいずれか１つ又は両方に接続されていなくてもよい。突起部７は、Ｚ方向から見た場合に凹部３３の隅部３３ｄに対応する箇所に配置された部分を有していなくてもよい。

【0086】

突起部７は、磁石部４と凹部３３の開口縁３３ａ（側面３３ｂ）との間に配置されていればよく、磁石部４に接触していてもよいし、磁石部４から離間していてもよい。突起部７は、開口縁３３ａ（側面３３ｂ）に接触していてもよいし、開口縁３３ａから離間していてもよい。突起部７は形成されていなくてもよい。この場合、各立壁部５４の底面５４ｂの全体が、ベース部３に接触していてもよい。これにより、枠部材５をベース部３に一層強固に固定することができる。

【0087】

上記実施形態では、枠部材５の第１表面５ａの全体がミラー面１５ａに対して傾斜した傾斜面となっていたが、窓部材６が配置される領域が傾斜面となっていればよく、第１表面５ａの全体が傾斜面となっていなくてもよい。すなわち、第１表面５ａのうちＺ方向において突起部７と重なる部分の少なくとも一部が傾斜面となっていればよく、第１表面５ａのうちＺ方向において突起部７と重なる部分は、ミラー面１５ａと平行に延在する領域を含んでいてもよい。例えば、上記実施形態において、第１表面５ａのうちＺ方向において第３部分７３と重なる領域がミラー面１５ａと平行な平坦面となっていてもよい。上記実施形態では、窓部材６が、Ｚ方向において第１部分７１及び第２部分７２と重なっており、第３部分７３とは重なっていなかったが、窓部材６は、Ｚ方向において突起部７の全体と重なっていてもよい。

【0088】

上記実施形態では立壁部５４が第３壁部５３と一体に形成されていたが、立壁部５４は第３壁部５３とは別体に形成されていてもよい。例えば、立壁部５４は、第３壁部５３からＹ方向に離れて設けられていてもよい。上記実施形態では立壁部５４が第３壁部５３とは別の部分であるとみなして説明したが、上記実施形態のように立壁部５４が第３壁部５３と一体に形成されている場合、立壁部５４は第３壁部５３の一部であるとみなすこともできる。立壁部５４は省略されてもよい。

【0089】

第２壁部５２は、Ｘ方向における頂面５３ａの幅ＷａがＸ方向における底面５２ｂの幅Ｗｂよりも狭い部分５２１を有していなくてもよく、Ｚ方向に関して一様な幅を有していてもよい。突起部７の第１部分７１及び第２部分７２は、Ｘ方向において窓部材６の外縁６ａに対して外側（ミラーユニット２とは反対側）に位置していてもよい。Ｘ方向において、枠部材５の光通過開口５ｃの縁は、第１壁部５１及び第２壁部５２の内側に位置していてもよいし、第１壁部５１及び第２壁部５２の外側に位置していてもよい。すなわち、Ｙ方向から見た場合に、Ｘ方向における枠部材５の光通過開口５ｃの縁の位置は、Ｘ方向における第１壁部５１及び第２壁部５２の位置と重なっていなくてもよい。

【0090】

枠部材５とベース部３との間の固定方法は接着に限定されず、任意の方法であってよく、第１接着材８１は省略されてもよい。第１接着材８１は、突起部７と凹部３３の側面３３ｂとの間に配置されていなくてもよく、例えば枠部材５の第２表面５ｂとベース部３の配置面３ａとの間のみに配置されていてもよい。第１接着材８１は、必ずしも全周にわたって枠部材５とベース部３との間に配置されていなくてもよく、例えば周方向における一部のみに配置されていてもよい。

【0091】

窓部材６と枠部材５との間の固定方法は接着に限定されず、任意の方法であってよく、第２接着材８２は省略されてもよい。第２接着材８２は、全周にわたって窓部材６と枠部材５の第１表面５ａとの間に配置されていてもよい。すなわち、上記実施形態において、窓部材６と第１壁部５１の頂面５１ａとの間、及び窓部材６と第２壁部５２の頂面５２ａとの間にも第２接着材８２が配置されていてもよい。この場合、窓部材６と頂面５１ａ，５２ａとの間には隙間Ｇが形成されない。上記実施形態では窓部材６と頂面５１ａとの間、及び窓部材６と頂面５２ａとの間の両方に隙間Ｇが形成されていたが、隙間Ｇは、窓部材６と頂面５１ａとの間、及び窓部材６と頂面５２ａとの間の一方のみに形成されていてもよい。

【0092】

Ｚ方向から見た場合に、ミラーデバイス１０（ミラーユニット２）の外縁１０ａは、磁石部４の外縁４ｂの外側に位置していてもよく、磁石部４の外縁４ｂと重なっていてもよい（一致していてもよい）。ミラーデバイス１０の軸線Ａは、必ずしもＹ方向と平行となっていなくてもよい。

【0093】

上記実施形態では突起部７がＺ方向に垂直な方向において磁石部４と凹部３３の側面３３ｂとの間に配置されていたが、突起部７は、Ｚ方向から見た場合に磁石部４と凹部３３の開口縁３３ａとの間に配置されていればよく、必ずしもＺ方向に垂直な方向において磁石部４と凹部３３の側面３３ｂとの間に配置されていなくてもよい。例えば、磁石部４の頂面４ａがベース部３の配置面３ａよりも低い（Ｚ方向において窓部材６とは反対側に位置する）場合、突起部７は、Ｚ方向に垂直な方向において凹部３３の側面３３ｂと向かい合う一方で磁石部４とは向かい合っていなくてもよい。立壁部５４の底面５４ｂとベース部３との間に第１接着材８１が配置されていなくてもよい。

【0094】

窓部材６の長さＬ６は、一対の立壁部５４の幅Ｗ５の和よりも短くてもよいし、各立壁部５４の幅Ｗ５よりも短くてもよい。立壁部５４の高さＨ４は、第２壁部５２の高さＨ２よりも低くてもよい。窓部材６の少なくとも一部が、各立壁部５４の頂面５４ａに対してベース部３とは反対側に位置していてもよい。すなわち、Ｚ方向において、窓部材６の少なくとも一部が、各立壁部５４の頂面５４ａからベース部３とは反対側に突出していてもよい。磁石部４は、必ずしもベース部３に形成された凹部３３内に配置されていなくてもよく、例えばベース部３の表面（例えば配置面３ａ）上に配置されていてもよい。

【0095】

立壁部５４は、Ｙ方向から見た場合に第１壁部５１と第２壁部５２との間にわたって連続して延在するように設けられていなくてもよい。立壁部５４は、分離された２つ以上の部分を含んで構成されてもよく、例えば、第１壁部５１側に配置された第１部分と、第１部分から離間して第２壁部５２側に配置された第２部分と、を含んで構成されていてもよい。立壁部５４は、Ｚ方向から見た場合に、第１壁部５１及び第２壁部５２の延在方向と交差する方向に沿って延在していればよく、必ずしも上記実施形態のように第１壁部５１及び第２壁部５２の延在方向と直交する方向に沿って延在していなくてもよい。上記実施形態では立壁部５４の頂面５４ａの全体が平坦面となっていたが、頂面５４ａの少なくとも一部が平坦部となっていればよく、頂面５４ａは平坦でない部分を有していてもよい。また、立壁部５４は、Ｚ方向に関して一様な断面形状を有していなくてもよい。例えば、立壁部５４は、Ｚ方向における中間部において、頂面５４ａ及び底面５４ｂとは異なる断面形状を有していてもよい。

【符号の説明】

【0096】

１…ミラー装置、２…ミラーユニット、１０ａ…外縁、１３…可動部、１５ａ…ミラー面、１６…コイル、３…ベース部、３ａ…配置面、３３…凹部、３３ａ…開口縁、３３ｂ…側面、３３ｄ…隅部、４…磁石部、４ｂ…外縁、５…枠部材、５ａ…第１表面、５ｂ…第２表面、５ｃ…光通過開口、５１…第１壁部、５１ａ…頂面、５１ｂ…底面、５２…第２壁部、５２ａ…頂面、５２ｂ…底面、５２１…部分、５３…第３壁部、５３ａ…頂面、５３ｂ…底面、６…窓部材、６ａ…外縁、７…突起部、７１…第１部分、７２…第２部分、７３…第３部分、７４，７５…接続部分、８１…第１接着材、８２…第２接着材、Ａ…軸線、Ｇ…隙間、Ｗａ，Ｗｂ…幅、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３…長さ。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】