要約特許出願時に添付された[要約書]

【解決手段】基板と、多層反射膜と、ルテニウムを含有する材料で形成された保護膜と、保護膜に接する吸収体膜と、吸収体膜に接し、クロムを含有する材料で形成されたハードマスク膜とを有し、吸収体膜が、タンタルを含有する材料で形成され、基板側から第１の層及び第２の層、又は第１の層、第２の層及び第３の層からなり、第１の層が、タンタルを含有し、窒素を含有しない組成を有し、かつ厚さが０．５ｎｍ以上２ｎｍ以下であり、第２の層が、タンタル及び窒素を含有し、窒素の含有率が１０原子％以上、酸素の含有率が５原子％以下である組成を有し、第３の層が、タンタル、窒素及び酸素を含有し、酸素の含有率が３０原子％以上７０原子％以下である組成を有し、かつ厚さが２０ｎｍ以下である反射型マスクブランク。
【効果】吸収体膜の反射防止膜側に形成されている、ルテニウム（Ｒｕ）を含有する材料で形成された保護膜のダメージが軽減される。
【選択図】図１

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

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