特開 2024-148459 延伸機および延伸機用のレール

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024148459

(43)【公開日】2024-10-18

(54)【発明の名称】延伸機および延伸機用のレール

(51)【国際特許分類】

   B29C 55/16 20060101AFI20241010BHJP

【ＦＩ】

B29C55/16

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023061623

(22)【出願日】2023-04-05

(71)【出願人】

【識別番号】000004215

【氏名又は名称】株式会社日本製鋼所

(74)【代理人】

【識別番号】110002066

【氏名又は名称】弁理士法人筒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】加藤 柾紀

(72)【発明者】

【氏名】中嶋 一郎

【テーマコード（参考）】

4F210

【Ｆターム（参考）】

4F210AJ08

4F210AJ14

4F210QA02

4F210QC07

4F210QD25

4F210QL04

4F210QL05

4F210QL06

4F210QL16

(57)【要約】

【課題】リンク機構の移動時に振動が発生することを抑制する。
【解決手段】延伸機は、無端チェーンを構成するように連結された複数のリンク機構と、リンク機構が走行するレール１４とを備える。レール１４は、レール１４が延びる延伸方向に沿って複数の部分レール１４１が連結されて構成される。レール１４の２つの側面１４２の少なくとも一方に板部材１４７が取り付けられる。板部材１４７の延伸方向に沿った長さは、部分レール１４１の延伸方向に沿った長さよりも長い。
【選択図】図９Ｂ

【特許請求の範囲】

【請求項1】

以下を含む延伸機：
無端チェーンを構成するように連結された複数のリンク機構；及び
前記リンク機構が走行するレール、
ここで、前記レールは、前記レールが延びる延伸方向に沿って複数の部分レールが連結されて構成され、
前記レールの２つの側面の少なくとも一方に板部材が取り付けられ、
前記板部材の前記延伸方向に沿った長さは、前記部分レールの前記延伸方向に沿った長さよりも長い。

【請求項2】

請求項１に記載の延伸機において、
前記レールが配置される支持台を備え、
前記支持台には、前記レールが配置される配置面と交差する面を有する取付側面が形成され、
前記板部材は、前記取付側面と前記レールの前記側面との間に挟み込まれている、延伸機。

【請求項3】

請求項２に記載の延伸機において、
前記板部材は、前記レールの前記側面に接着されている、延伸機。

【請求項4】

請求項２または３に記載の延伸機において、
前記レールの２つの前記側面と接続する上面に設けられる固定板、を備え、
前記板部材は、前記支持台の前記配置面と前記固定板との間に挟み込まれている、延伸機。

【請求項5】

以下を含む、延伸機が有するリンク機構が走行する延伸機用のレール：
前記レールが延びる延伸方向に沿って連結される複数の部分レール；及び
前記レールの２つの側面の少なくとも一方に取り付けられる板部材、
ここで、前記板部材の前記延伸方向に沿った長さは、前記部分レールの前記延伸方向に沿った長さよりも長い。

【請求項6】

請求項５に記載の延伸機用のレールにおいて、
前記レールが配置される支持台を備え、
前記支持台には、前記レールが配置される配置面と交差する面を有する取付側面が形成され、
前記板部材は、前記取付側面と前記レールの前記側面との間に挟み込まれている、延伸機用のレール。

【請求項7】

請求項６に記載の延伸機用のレールにおいて、
前記板部材は、前記レールの前記側面に接着されている、延伸機用のレール。

【請求項8】

請求項６または７に記載の延伸機用のレールにおいて、
前記レールの２つの前記側面と接続する上面に設けられる固定板、を備え、
前記板部材は、前記支持台の前記配置面と前記固定板との間に挟み込まれている、延伸機用のレール。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、延伸機および延伸機用のレールに関する。

【背景技術】

【0002】

薄膜（例えば、樹脂シート又は樹脂フィルム）を搬送しながら縦方向や横方向に引き延ばす延伸機が知られている。特許文献１には、シート状物の縦延伸と横延伸とを行う同時二軸延伸機が記載されている。特許文献１に記載されている同時二軸延伸機は、無端リンク装置を有している。無端リンク装置は、レール及びレールに沿って移動する複数の等長リンク装置から構成されており、それぞれの等長リンク装置は、レール上を転がりながら移動するローラを備えている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第４３７９３０６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

レールは、複数の部分レールを連結することで構成される。このようなレール上をリンク装置が移動する場合には、ローラが部分レール同士の連結部を通過する時に振動が発生する。

【0005】

その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。

【課題を解決するための手段】

【0006】

一実施の形態の延伸機が有するレールは、複数の部分レールが連結されて構成される。レールの２つの側面の少なくとも一方には、板部材が取り付けられる。板部材の延伸方向に沿った長さは、部分レールの延伸方向に沿った長さよりも長い。

【発明の効果】

【0007】

一実施の形態によれば、リンク装置の移動時に振動が発生することが抑制される。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】実施の形態に係る薄膜製造システムを示す模式図である。

【図2】実施の形態に係る延伸機の構造を模式的に示す平面図である。

【図3】実施の形態に係る延伸機の構造を模式的に示す他の平面図である。

【図4A】実施の形態に係るリンク機構及びレールを模式的に示す平面図である。

【図4B】実施の形態に係るリンク機構及びレールを模式的に示す他の平面図である。

【図5】実施の形態に係る複数のリンク機構の１つを拡大して示す平面図である。

【図6】実施の形態に係るリンク機構の断面図である。

【図7】実施の形態に係るガイドローラ及びその周辺の構造を示す部分拡大断面図である。

【図8】実施の形態に係るレールの一部の外観斜視図である。

【図9A】図８に示されるＡ－Ａ線での実施の形態に係るレールの断面図である。

【図9B】図８に示されるＢ－Ｂ線での実施の形態に係るレールの断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図にて、同一または実質的に同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。

【0010】

＜製造システムの構成＞
図１は、実施の形態に係る延伸機を含む薄膜製造システムを示す模式図である。図１に示される薄膜製造システム１は、押出装置（押出機，混練押出機）２，Ｔダイ３，原反冷却装置４，延伸機５，引き取り装置６および巻き取り装置７を有する。

【0011】

薄膜製造システム１では、次のようなプロセスによって樹脂膜が製造される。まず、押出装置２に原料が供給される。より特定的には、押出装置２の原料供給部（原料投入口，ホッパ）２ａに、樹脂材料（例えば、ペレット状の熱可塑性樹脂材料）が供給される。

【0012】

押出装置２に供給された原料は、混練（混合）されながら搬送される。より特定的には、押出装置２に供給された原料は、押出装置２が備えるスクリューの回転によって前方へ送られながら溶融され、かつ、混練される。

【0013】

押出装置２によって混練された原料（混練物）は、Ｔダイ３に送り込まれる。Ｔダイ３に送り込まれた混練物は、Ｔダイ３を通過し、Ｔダイ３のスリットから原反冷却装置４に向けて押し出される。混練物は、Ｔダイ３を通過することにより、所望の形状（ここでは、フィルム形状）に成形される。

【0014】

混練物は、Ｔダイ３から原反冷却装置４によって連続的に押し出される。Ｔダイ３から押し出された混練物は、原反冷却装置４によって冷却されて樹脂膜８になる。その後、樹脂膜８は延伸機５に供給される。

【0015】

延伸機５に供給された樹脂膜８は、延伸機５によってＭＤ方向およびＴＤ方向に延伸される。延伸機５によって延伸処理（引き伸ばし処理）が施された樹脂膜８は、引き取り装置６を介して巻き取り装置７に搬送され、巻き取り装置７に巻き取られる。巻き取り装置７に巻き取られた樹脂膜８は、必要に応じて切断される。

【0016】

図１に示される薄膜製造システム１は、上記のようなプロセスによって薄膜を製造する。もっとも、薄膜製造システム１は、製造する薄膜の特性などに応じて種々の変更が可能である。例えば、図１に示される引き取り装置６の近傍に抽出槽が設置され、樹脂膜８に含まれる可塑剤（例えば、パラフィン）が除去される場合もある。

【0017】

薄膜製造システム１を構成している延伸機５は、樹脂膜８をＭＤ方向に搬送しながら、その樹脂膜８をＭＤ方向およびＴＤ方向に引き延ばす。言い換えれば、ＭＤ（Ｍａｃｈｉｎｅ Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ）方向は、樹脂膜８の搬送方向である。また、ＴＤ（Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ）方向は、樹脂膜８の搬送方向と交差する方向である。そこで、以下の説明では、ＭＤ方向を“搬送方向”または“縦方向”と呼び、ＴＤ方向を“横方向”と呼ぶ場合がある。ＭＤ方向（搬送方向，縦方向）とＴＤ方向（横方向）とは、互いに交差する方向であり、より特定的には、互いに直交する方向である。つまり、図１に示される延伸機５は、樹脂膜８を搬送しながら、その樹脂膜８を互いに交差する二方向に同時に延伸させることが可能な延伸機であり、一般的に“同時二軸延伸機”と呼ばれる。

【0018】

＜延伸機＞
図２及び図３は、実施の形態に係る延伸機の構造を模式的に示す平面図である。延伸機５は、一対のリンク装置１０を有している。一対のリンク装置１０は、平面視にて互いに離間している。以下の説明では、一対のリンク装置１０の一方を“リンク装置１０Ｒ”と呼び、一対のリンク装置１０の他方を“リンク装置１０Ｌ”と呼ぶ場合がある。

【0019】

図２及び図３では、リンク装置１０Ｒは、搬送方向（ＭＤ方向）に対して右側（Ｒ側）に配置されおり、リンク装置１０Ｌは、搬送方向（ＭＤ方向）に対して左側（Ｌ側）に配置されている。リンク装置１０Ｒとリンク装置１０Ｌとは、ＴＤ方向に離間しており、樹脂膜８を挟んでＴＤ方向に対向している。樹脂膜８は、リンク装置１０Ｒとリンク装置１０Ｌとの間のスペース内でＭＤ方向に搬送される。言い換えれば、対向するリンク装置１０Ｒとリンク装置１０Ｌとの間のスペースは、樹脂膜８を搬送するための搬送路として機能する。

【0020】

図３を参照する。延伸機５は、搬送方向（ＭＤ方向）に沿って３つの領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃに分けられる。領域２０Ａは、予熱領域（プレヒート領域）であり、領域２０Ｂは、延伸領域であり、領域２０Ｃは、熱固定領域である。領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃは、この順で搬送方向（ＭＤ方向）に並んでいる。

【0021】

延伸機５の樹脂膜８の入口（図２及び図３中に「ＩＮ」と示されている部分）は、領域２０Ａに存在している。また、延伸機５の樹脂膜８の出口（図２及び図３中に「ＯＵＴ」と示されている部分）は、領域２０Ｃに存在している。そして、樹脂膜８の入口がある領域２０Ａと樹脂膜８の出口がある領域２０Ｃとの間に、延伸処理が行われる領域２０Ｂが存在している。

【0022】

熱処理部９は、領域２０Ａの一部，領域２０Ｂの全部および領域２０Ｃの一部を覆っている。また、熱処理部９は、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌの中央部を覆っており、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌによって搬送される樹脂膜８を加熱する。本実施形態の熱処理部９は、樹脂膜８を所望の温度に加熱可能なオーブンによって形成されている。樹脂膜８は、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌに把持された状態で、熱処理部９としてのオーブンの庫内を通過する。

【0023】

＜リンク装置＞
リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれは、無端チェーンを構成するように連結された複数のリンク機構１１を有している。それぞれのリンク機構１１は、樹脂膜８を把持する治具であるクリップ２１を備えている。樹脂膜８は、リンク装置１０Ｒを構成しているリンク機構１１が備えるクリップ２１と、リンク装置１０Ｌを構成しているリンク機構１１が備えるクリップ２１と、によって保持される。すなわち、樹脂膜８の一側（Ｒ側／右側）は、リンク装置１０Ｒが備える複数のクリップ２１によって把持され、樹脂膜８の他側（Ｌ側／左側）は、リンク装置１０Ｌが備える複数のクリップ２１によって把持される。

【0024】

リンク装置１０Ｒ，１０Ｌが備えるリンク機構１１は、支持台（ベッド）１４０（図８、図９Ａ及び図９Ｂ参照）の上に配置された一対の延伸機用レールであるレール１３，１４上を走行する。レール１４は、レール１３の外側に配置され、レール１３を取り囲んでいる。別の見方をすると、レール１３は、レール１４の内側に配置され、レール１４に取り囲まれている。

【0025】

レール１３，１４は、領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃに亘って環状に配置されている。より特定的には、レール１３，１４は、樹脂膜８の入口がある領域２０Ａで折り返されるとともに、樹脂膜８の出口がある領域２０Ｃで折り返されて、領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃに亘って環状に配置されている。

【0026】

リンク装置１０Ｒは、レール１３の内側に配置された３つのスプロケット１５，１６，１７を有する。同様に、リンク装置１０Ｌは、レール１３の内側に配置された３つのスプロケット１５，１６，１７を有する。それぞれのリンク装置１０Ｒ，１０Ｌが有するスプロケット１５，１６は、領域２０Ａに配置されており、それぞれのリンク装置１０Ｒ，１０Ｌが有するスプロケット１７は、領域２０Ｃに配置されている。もっとも、スプロケット１５，１６は、領域２０Ａの一部を覆っている熱処理部９の外に配置されている。また、スプロケット１７は、領域２０Ｃの一部を覆っている熱処理部９の外に配置されている。つまり、それぞれのリンク装置１０Ｒ，１０Ｌのスプロケット１５，１６，１７は、熱処理部９としてのオーブンの庫外に配置されている。

【0027】

リンク装置１０Ｒ，１０Ｌが備える複数のリンク機構１１は、レール１３，１４に沿って移動可能な状態で、レール１３，１４上に配置されている。リンク装置１０Ｒのスプロケット１５，１６，１７は、リンク装置１０Ｒの複数のリンク機構１１と噛み合う。よって、スプロケット１５，１６，１７が回転すると、リンク装置１０Ｒの複数のリンク機構１１に駆動力が働き、それらリンク機構１１がレール１３，１４に沿って移動（走行）する。

【0028】

リンク装置１０Ｌのスプロケット１５，１６，１７は、リンク装置１０Ｌの複数のリンク機構１１と噛み合う。よって、スプロケット１５，１６，１７が回転すると、リンク装置１０Ｌの複数のリンク機構１１に駆動力が働き、それらリンク機構１１がレール１３，１４に沿って移動（走行）する。

【0029】

つまり、レール１３，１４は、複数のリンク機構１１を所定方向に移動（走行）させるためのガイドレールである。レール１３，１４のそれぞれは、詳細を後述する複数の部分レールが連結されて構成される。

【0030】

以下の説明では、図３に示されるリンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれについて、樹脂膜８と対向する側を“膜側”と呼び、膜側と反対側を“リターン側”と呼ぶ場合がある。つまり、クリップ２１が樹脂膜８を把持した状態で、複数のリンク機構１１が入口（ＩＮ）から出口（ＯＵＴ）に向かって移動する側（サイド）が膜側である。また、膜側の反対に位置し、クリップ２１が樹脂膜８を把持しない状態で、複数のリンク機構１１が出口（ＯＵＴ）から入口（ＩＮ）に向かって移動する側（サイド）がリターン側である。

【0031】

複数のリンク機構１１のうち、隣り合うリンク機構１１間の間隔（“リンクピッチ”と呼ばれることもある。）は、レール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）に応じて変化する。言い換えれば、レール１３とレール１４との離間距離が調節されることにより、隣り合うリンク機構１１間の間隔が調節可能である。

【0032】

図４Ａ及び図４Ｂは、図３に示される実施の形態に係るリンク機構およびレールを模式的に示す平面図である。図４Ａ及び図４Ｂに示されるように、レール１３，１４の離間距離Ｌ１が小さくなるほど、隣り合うリンク機構１１が成す角度が大きくなり、隣り合うリンク機構１１間のピッチＰ１が大きくなる。一方、レール１３，１４の離間距離Ｌ１が大きくなるほど、隣り合うリンク機構１１が成す角度が小さくなり、隣り合うリンク機構１１間のピッチＰ１が小さくなる。

【0033】

既述のとおり、それぞれのリンク機構１１は、樹脂膜８を把持するクリップ２１を有している。よって、隣り合うリンク機構１１間のピッチＰ１の増減に応じて、隣り合うクリップ２１間のピッチＰ２も増減する。具体的には、レール１３，１４の離間距離Ｌ１が減少すると、リンク機構１１間のピッチＰ１が増大する。リンク機構１１間のピッチＰ１が増大すると、クリップ２１間のピッチＰ２も増大する。すなわち、図４Ａに示される状態から図４Ｂに示される状態に移行する。一方、レール１３，１４の離間距離Ｌ１が増大すると、リンク機構１１間のピッチＰ１が減少する。リンク機構１１間のピッチＰ１が減少すると、クリップ２１間のピッチＰ２も減少する。すなわち、図４Ｂに示される状態から図４Ａに示される状態に移行する。

【0034】

尚、複数のリンク機構１１のそれぞれがクリップ２１を備えているので、隣り合う２つのリンク機構１１間のピッチＰ１と、それらリンク機構１１が備える２つのクリップ２１間のピッチＰ２とは、同一である。すなわち、図４Ａ及び図４Ｂのそれぞれにて、Ｐ１＝Ｐ２が成り立つ。

【0035】

＜延伸機（同時二軸延伸機）の動作＞
原反冷却装置４から延伸機５に供給された樹脂膜８は、延伸機５の入口でリンク装置１０Ｒ，１０Ｌにより把持される。具体的には、樹脂膜８は、図２及び図３に示されるリンク装置１０Ｒ，１０Ｌのリンク機構１１が備えるクリップ２１によって把持される。より具体的には、樹脂膜８の幅方向一側がリンク装置１０Ｒのリンク機構１１が備えるクリップ２１によって把持され、樹脂膜８の幅方向他側がリンク装置１０Ｌのリンク機構１１が備えるクリップ２１によって把持される。

【0036】

幅方向両側がクリップ２１によって把持された樹脂膜８は、クリップ２１を含むリンク機構１１の移動に伴って、延伸機５の入口から出口に向かって搬送され、領域２０Ａ（予熱領域），領域２０Ｂ（延伸領域），領域２０Ｃ（熱固定領域）をこの順で通過する。樹脂膜８は、領域２０Ｂ（延伸領域）を通過する過程でＭＤ方向およびＴＤ方向に引き伸ばされる。その後、樹脂膜８は、領域２０Ｃ（熱固定領域）を経て出口に到達し、クリップ２１から外される。クリップ２１から外された樹脂膜８は、引き取り装置６に搬送され、引き取り装置６から巻き取り装置７に搬送される。

【0037】

図３に示されるように、領域２０Ａ（予熱領域）では、リンク装置１０Ｒのレール１３，１４とリンク装置１０Ｌのレール１３，１４との間の間隔（ＴＤ方向の離間距離）Ｌ２は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ａでは、樹脂膜８に対するＴＤ方向の延伸処理は行われない。従って、領域２０Ａでは、搬送される樹脂膜８の幅（ＴＤ方向の寸法）は変化せず、一定のままである。

【0038】

また、領域２０Ａでは、リンク装置１０Ｒの膜側でのレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ａでは、リンク装置１０Ｒの膜側でのリンク機構１１のピッチＰ１はほぼ一定であり、従って、リンク装置１０Ｒの膜側でのクリップ２１のピッチＰ２もほぼ一定である。また、領域２０Ａでは、リンク装置１０Ｌの膜側でのレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ａでは、リンク装置１０Ｌの膜側でのリンク機構１１のピッチＰ１はほぼ一定であり、従って、リンク装置１０Ｌの膜側でのクリップ２１のピッチＰ２もほぼ一定である。この結果、領域２０Ａでは、樹脂膜８に対するＭＤ方向の延伸処理は行われない。つまり、領域２０Ａでは、ＴＤ方向にもＭＤ方向にも、樹脂膜８に対する延伸処理は行われない。

【0039】

次に、領域２０Ｂでの延伸機５の動作について説明する。領域２０Ｂでは、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、リンク装置１０Ｒのレール１３，１４とリンク装置１０Ｌのレール１３，１４との間の間隔（ＴＤ方向の離間距離）Ｌ２が徐々に大きくなっている。このため、領域２０Ｂでは、樹脂膜８は、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従ってＴＤ方向に引っ張られて引き伸ばされる。言い換えれば、領域２０Ｂでは、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、樹脂膜８の幅（ＴＤ方向の寸法）が徐々に大きくなる。

【0040】

また、領域２０Ｂでは、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、リンク装置１０Ｒの膜側でのレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１は、徐々に小さくなっている。そして、領域２０Ｂでは、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、リンク装置１０Ｌの膜側でのレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１も、徐々に小さくなっている。このため、領域２０Ｂでは、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、リンク装置１０Ｒの膜側でのリンク機構１１のピッチＰ１が徐々に大きくなり、それに従ってリンク装置１０Ｒの膜側でのクリップ２１のピッチＰ２も徐々に大きくなる。また、領域２０Ｂでは、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、リンク装置１０Ｌの膜側でのリンク機構１１のピッチＰ１が徐々に大きくなり、それに従ってリンク装置１０Ｒの膜側でのクリップ２１のピッチＰ２も徐々に大きくなる。この結果、領域２０Ｂでは、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、樹脂膜８は、ＭＤ方向に引っ張られて引き伸ばされる。

【0041】

従って、領域２０Ｂでは、搬送方向（ＭＤ方向）に進むに従って、樹脂膜８は、ＴＤ方向およびＭＤ方向に引き伸ばされる（延伸される）。すなわち、領域２０Ｂでは、ＴＤ方向およびＭＤ方向の延伸処理が、樹脂膜８に対して施される。

【0042】

次に、領域２０Ｃでの延伸機５の動作について説明する。領域２０Ｃでは、リンク装置１０Ｒの膜側でのレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ｃでは、リンク装置１０Ｒの膜側でのリンク機構１１のピッチＰ１はほぼ一定であり、従って、リンク装置１０Ｒの膜側でのクリップ２１のピッチＰ２もほぼ一定である。また、領域２０Ｃでは、リンク装置１０Ｌの膜側でのレール１３とレール１４との間の間隔（離間距離）Ｌ１は、ほぼ一定である。このため、領域２０Ｃでは、リンク装置１０Ｌの膜側でのリンク機構１１のピッチＰ１はほぼ一定であり、従って、リンク装置１０Ｌの膜側でのクリップ２１のピッチＰ２もほぼ一定である。この結果、領域２０Ｃでは、樹脂膜８に対するＭＤ方向の延伸処理は行われない。

【0043】

上述のように、領域２０Ａでは、リンク装置１０Ｒの膜側でのリンク機構１１のピッチＰ１は一定に維持され、かつ、リンク装置１０Ｌの膜側でのリンク機構１１のピッチＰ１も一定に維持される。その後、領域２０Ｂでは、リンク装置１０Ｒの膜側でのリンク機構１１のピッチＰ１およびリンク装置１０Ｌの膜側でのリンク機構１１のピッチＰ１が徐々に拡大される。そして、領域２０Ｃでは、リンク装置１０Ｒの膜側でのリンク機構１１のピッチＰ１は、再び一定に維持され、リンク装置１０Ｌの膜側でのリンク機構１１のピッチＰ１も再び一定に維持される。このため、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれの膜側では、領域２０Ｃでのリンク機構１１のピッチＰ１は、領域２０Ａでのリンク機構１１のピッチＰ１よりも大きい。別の見方をすると、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれの膜側では、領域２０Ｃでのクリップ２１のピッチＰ２は、領域２０Ａでのクリップ２１のピッチＰ２よりも大きい。さらに別の見方をすると、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌのそれぞれの膜側では、領域２０Ｃでのレール１３，１４の離間距離Ｌ１は、領域２０Ａでのレール１３，１４の離間距離Ｌ１よりも小さい。

【0044】

＜リンク機構の構成＞
図５は、図３に示される実施の形態に係る複数のリンク機構の１つを拡大して示す斜視図である。図６は、図５に示される実施の形態に係るリンク機構の断面図である。

【0045】

図５及び図６に示されるように、リンク装置１０Ｒ，１０Ｌが備えるリンク機構１１のそれぞれは、クリップ２１に加えて、上段側リンクプレート２２と、下段側リンクプレート２３と、一対のレールホルダ２４ａ，２４ｂと、一対のレールホルダ２４ａ，２４ｂに跨るベース部材２５と、を有している。一方のレールホルダ２４ａは、レール１４上に配置され、他方のレールホルダ２４ｂは、レール１３上に配置される。

【0046】

上段側リンクプレート２２および下段側リンクプレート２３は、平面視で直線的に延びる板状の部材である。ベース部材２５は、平面視で直線的に延びている点で上段側リンクプレート２２および下段側リンクプレート２３と共通しているが、これらよりも厚みが厚い。なお、以下の説明では、レールホルダ２４ａ，２４ｂを特に区別しない場合、これらを“レールホルダ２４”と総称する。

【0047】

＜レールホルダ＞
レールホルダ２４ａは、ローラ保持部３１ａと、ローラ保持部３１ａの長手方向中央に設けられたシャフト３２ａと、を有する。ローラ保持部３１ａは、レール１４上に、当該レール１４を横断するように配置される。よって、レール１４上に配置されたローラ保持部３１ａの長手方向一端側は、レール１４の内側（レール１３と対向する側）に突出し、ローラ保持部３１ａの長手方向他端側は、レール１４の外側（レール１３と対向する側と反対側）に突出する。また、ローラ保持部３１ａがレール１４上に配置されると、シャフト３２ａは、レール１４の直上に位置する。

【0048】

図６に示されるように、レールホルダ２４ａのシャフト３２ａは、上段側リンクプレート２２，下段側リンクプレート２３およびベース部材２５の長手方向一端側を貫通している。ベース部材２５の基端側，上段側リンクプレート２２の基端および下段側リンクプレート２３の基端は、シャフト３２ａに串刺しにされており、シャフト３２ａを介して互いに回転可能に連結されている。言い換えれば、シャフト３２ａは、上段側リンクプレート２２，下段側リンクプレート２３およびベース部材２５の基端側の回転軸である。

【0049】

レールホルダ２４ｂは、ローラ保持部３１ｂと、ローラ保持部３１ｂの長手方向中央に設けられたシャフト３２ｂと、を有する。ローラ保持部３１ｂは、レール１３上に、当該レール１３を横断するように配置される。よって、レール１３上に配置されたローラ保持部３１ｂの長手方向一端側は、レール１３の内側（レール１４と対向する側）に突出し、ローラ保持部３１ｂの長手方向他端側は、レール１３の外側（レール１４と対向する側と反対側）に突出する。また、ローラ保持部３１ｂがレール１３上に配置されると、シャフト３２ｂは、レール１３の直上に位置する。

【0050】

レールホルダ２４ｂのシャフト３２ｂは、ベース部材２５の長手方向一端（先端）を貫通して当該ベース部材２５から突出している。つまり、当該リンク機構１１のベース部材２５の先端，隣接する他のリンク機構１１の上段側リンクプレート２２および下段側リンクプレート２３の先端は、当該リンク機構１１のシャフト３２ｂを介して互いに回転可能に連結される。別の見方をすると、シャフト３２ｂは、上段側リンクプレート２２，下段側リンクプレート２３およびベース部材２５の先端側の回転軸である。

【0051】

＜クリップ＞
クリップ２１は、ベース部材２５の基端に設けられている。クリップ２１は、本体部４１，把持部４２，バネ部４３などを有している。本体部４１は、ベース部材２５の基端に固定されている。把持部４２は、本体部４１に上下に動作可能に取り付けられている。バネ部４３は、把持部４２が下方に向かって動作するように、把持部４２に力を付与する。バネ部４３から受ける力によって把持部４２が下方に向かって動作することにより、本体部４１と把持部４２との間に樹脂膜８が挟まれる。つまり、クリップ２１によって樹脂膜８が把持される。一方、バネ部４３から受ける力に抗して把持部４２を上方に向かって動作させると、樹脂膜８の把持が解除される。

【0052】

＜ガイドローラ＞
レールホルダ２４ａの下部には、レール１４を挟んで対向する一対のガイドローラ５１ａ，５１ｂが設けられており、レールホルダ２４ｂの下部には、レール１３を挟んで対向する一対のガイドローラ５２ａ，５２ｂが設けられている。ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂは、金属製である。それぞれのガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂは、軸方向両端が開口した筒形の形状を有しており、軸方向一端側（上部）には、径方向外側に突出するフランジ５３が一体成形されている。

【0053】

レールホルダ２４ａの下部に設けられているガイドローラ５１ａ，５１ｂのフランジ５３は、レール１４上に配置され、レールホルダ２４ｂの下部に設けられているガイドローラ５２ａ，５２ｂのフランジ５３は、レール１３上に配置されている。より具体的には、ガイドローラ５１ａのフランジ５３は、レール１４の上面の外側（レール１３と対向する側と反対側）の縁に重ねられ、ガイドローラ５１ｂのフランジ５３は、レール１４の上面の内側（レール１３と対向する側）の縁に重ねられている。また、ガイドローラ５２ａのフランジ５３は、レール１３の上面の外側（レール１４と対向する側と反対側）の縁に重ねられ、ガイドローラ５２ｂのフランジ５３は、レール１３の上面の内側（レール１４と対向する側）の縁に重ねられている。これにより、レールホルダ２４ａのガイドローラ５１ａ，５１ｂおよびレールホルダ２４ｂのガイドローラ５２ａ，５２ｂを介して、リンク機構１１の全体がレール１３，１４によって支持されている。

【0054】

言い換えれば、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂは、リンク機構１１を支持する支持ローラである。より特定的には、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂは、軸方向一端側（上部）に設けられたフランジ５３によってリンク機構１１を支持する片持ち支持ローラである。別の見方をすると、ガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂは、一体成形されたフランジ５３を有する鍔付きローラである。

【0055】

４つのガイドローラ５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂの形状，構造，寸法などは共通である。そこで、レールホルダ２４ａに設けられているガイドローラ５１ａ，５１ｂの形状や構造などについてさらに詳細に説明することにより、レールホルダ２４ｂに設けられているガイドローラ５２ａ，５２ｂの形状や構造などについても明らかにする。

【0056】

図６に示されるように、レールホルダ２４ａのローラ保持部３１ａは、ベース部材２５の下方に突出しているシャフト３２ａの下端に、シャフト３２ａを回転軸として回転可能な状態で取り付けられている。具体的には、ローラ保持部３１ａは、シャフト３２ａの下端に軸受を介して取り付けられている。

【0057】

図７は、図６に示される実施の形態に係るガイドローラ５１ａ，５１ｂおよびその周辺の構造を示す部分拡大断面図である。図７に示されるように、レール１４の外側に突出しているローラ保持部３１ａの一端側には、シャフト（中空シャフト５４及びフランジ付きシャフト５８）が設けられており、レール１４の内側に突出しているローラ保持部３１ａの他端側には、他のシャフト（中空シャフト５５及びフランジ付きシャフト５９）が設けられている。尚、以下の説明では、ローラ保持部３１ａに対してレール１４側を下方側、ローラ保持部３１ａに対してレール１４とは反対側を上方側とも呼ぶ場合がある。

【0058】

＜中空シャフト＞
中空シャフト５４は、上下方向に沿って延びる中空の筒状部材である。中空シャフト５４の一方側（上部）は、ローラ保持部３１ａの一端側に設けられている取付け孔に圧入され、中空シャフト５４の他方側（下部）は、ローラ保持部３１ａの下方側に突出している。同様に、中空シャフト５５の一方側（上部）は、ローラ保持部３１ａの他端側に設けられている取付け孔に圧入され、中空シャフト５５の他方側（下部）は、ローラ保持部３１ａの下方側に突出している。これにより、中空シャフト５４，５５はローラ保持部３１ａに対して固定された状態で取り付けられるので、レールホルダ２４に加わる振動に起因する中空シャフト５４，５５の脱落等の発生が抑制される。すなわち、中空シャフト５４，５５の耐振性が向上される。

【0059】

尚、中空シャフト５４，５５がローラ保持部３１ａに圧入されるものに限定されない。中空シャフト５４，５５のローラ保持部３１ａへの取り付けには、耐振性を有して中空シャフト５４，５５を固定可能なあらゆる取り付け方法が適用される。

【0060】

ローラ保持部３１ａの下方側にはカバー２７が設けられる。カバー２７には開口が形成され、その開口に中空シャフト５４，５５のうちローラ保持部３１ａの下方側に突出した突出部が挿入されることによりカバー２７が装着される。カバー２７は、例えば金属や樹脂を材料として作成され、リンク機構１１がレール１３，１４を移動（走行）する際にはねた油等が後述する軸受５６ａ，５６ｂ，５７ａ，５７ｂ内に侵入することを防ぐ。

【0061】

＜軸受＞
中空シャフト５４のうちローラ保持部３１ａの下方側に突出した突出部には、カバー２７の下方側でガイドローラ５１ａが回転可能な状態で取り付けられている。具体的には、中空シャフト５４の他方側（下部）は、ガイドローラ５１ａに挿入されており、ガイドローラ５１ａと中空シャフト５４の下部との間に、軸受５６ａおよび軸受５６ｂが介在している。軸受５６ａおよび軸受５６ｂは中空シャフト５４の軸方向に重なって設けられる。つまり、ガイドローラ５１ａは、２つの軸受５６ａ，５６ｂにより、中空シャフト５４に対して回転可能に支持されている。尚、軸受５６ａ，５６ｂは上下二段に重なっていることから、以下の説明では、軸受５６ａを“下側軸受５６ａ”と呼び、軸受５６ｂを“上側軸受５６ｂ”を呼ぶ場合がある。

【0062】

また、中空シャフト５５のうちローラ保持部３１ａの下方側に突出した突出部には、カバー２７の下方側でガイドローラ５１ｂが回転可能な状態で取り付けられている。中空シャフト５５の他方側（下部）は、ガイドローラ５１ｂに挿入されており、ガイドローラ５１ｂと中空シャフト５５の下部との間に、軸受５７ａおよび軸受５７ｂが介在している。軸受５７ａおよび軸受５７ｂは中空シャフト５５の軸方向に重なって設けられる。つまり、ガイドローラ５１ｂは、２つの軸受５７ａ，５７ｂにより、中空シャフト５５に対して回転可能に支持されている。尚、軸受５７ａ，５７ｂは上下二段に重なっていることから、以下の説明では、軸受５７ａを“下側軸受５７ａ”と呼び、軸受５７ｂを“上側軸受５７ｂ”を呼ぶ場合がある。

【0063】

軸受５６ａ，５６ｂのそれぞれは、内輪６１と、内輪６１を取り囲む外輪６２と、内輪６１と外輪６２との間に配置された複数の転動体（ボール）６３と、を有する転がり軸受（ボールベアリング）である。内輪６１と外輪６２との間の隙間には、グリースなどの潤滑剤が封入されている。尚、ガイドローラ５１ｂを支持している軸受５７ａ及び軸受５７ｂは、上述の軸受５６ａ及び軸受５６ｂと同一の非接触式のシールベアリングである。すなわち、軸受５７ａ及び軸受５７ｂは、内輪６１，外輪６２及び転動体（ボール）６３を有し、内輪６１と外輪６２との間には、グリースなどの潤滑剤が封入されている。

【0064】

＜フランジ付きシャフト＞
フランジ付きシャフト５８は、シャフト部５８ａと、フランジ部５８ｂとを有する。シャフト部５８ａは中空シャフト５４の軸方向（上下方向）に沿って延び、下方側から中空シャフト５４に挿入される。シャフト部５８ａの一部（上部）は中空シャフト５４の上方側に突出する。フランジ付きシャフト５８は、シャフト部５８ａの突出した上部にてワッシャー等の緩み止めを介してナット等の抜け止部材６０により中空シャフト５４に固定される。

【0065】

フランジ付きシャフト５９は、シャフト部５９ａと、フランジ部５９ｂとを有する。シャフト部５９ａは中空シャフト５５の軸方向（上下方向）に沿って延び、下方側から中空シャフト５５に挿入される。シャフト部５９ａの一部（上部）は中空シャフト５５の上方側に突出する。フランジ付きシャフト５９は、シャフト部５９ａの突出した上部にてワッシャー等の緩み止めを介してナット等の抜け止部材６０により中空シャフト５５に固定される。

【0066】

上述したように中空シャフト５４，５５は耐振性が向上された状態でローラ保持部３１ａに取り付けられている。このため、この中空シャフト５４，５５に固定されたフランジ付きシャフト５８，５９の耐振性も同様に向上される。

【0067】

フランジ部５８ｂは、シャフト部５８ａの下方側に形成される。フランジ部５８ｂは、中空シャフト５４とガイドローラ５１ａとの間に介在する下側軸受５６ａを下方側から支持する支持部である。具体的には、フランジ部５８ｂは、下側軸受５６ａの内輪６１の下方側に接触して、下方側から支持する。フランジ付きシャフト５９のフランジ部５９ｂは、シャフト部５９ａの下方側に形成される。フランジ部５９ｂは、フランジ部５８ｂと同様に、中空シャフト５５とガイドローラ５１ｂとの間に介在する下側軸受５７ａを下方側から支持する支持部である。具体的には、フランジ部５９ｂは、下側軸受５７ａの内輪６１の下方側に接触して、下方側から支持する。

【0068】

これにより、フランジ付きシャフト５８，５９は、ガイドローラ５１ａ，５１ｂの回転を妨害することなく、ガイドローラ５１ａ，５１ｂを支持することができる。

【0069】

レールホルダ２４がレール１４上を移動する際、ガイドローラ５１ａは回転しながらレール１４の外側面に沿って移動する。レールホルダ２４がレール１４上を移動する際、ガイドローラ５１ｂは回転しながらレール１４の内側面に沿って移動する。同様に、レールホルダ２４がレール１３上を移動する際、ガイドローラ５２ａは回転しながらレール１３の外側面に沿って移動する。レールホルダ２４がレール１３上を移動する際、ガイドローラ５１ｂは回転しながらレール１３の内側面に沿って移動する。
＜延伸機用のレール＞
上述したリンク機構１１が移動（走行）する延伸機用のレール１３，１４について詳細な説明を行う。図８は実施の形態に係るレール１４の一部の外観斜視図である。図９Ａは図８のＡ－Ａ線での実施の形態に係るレール１４の断面図であり、図９Ｂは図８のＢ－Ｂ線での実施の形態に係るレール１４の断面図である。以下、延伸機用レールとしてレール１４を用いて説明を行う。しかし、レール１３もレール１４と同様の構造を有しているため、レール１４に対して行った説明はレール１３に対しても適用される。

【0070】

レール１４は複数の部分レール１４１が連結されて構成される。部分レール１４１は、側面１４２ａ，１４２ｂ（総称する場合と側面１４２と呼ぶ）と、上面１４３と、端面１４４ａ，１４４ｂとを有する。上面１４３は、リンク機構１１と対向し、２つの側面１４２ａ，１４２ｂと接続する面である。側面１４２ａ，１４２ｂは、上面１４３と直交する面に平行な面である。上面１４３及び側面１４２ａ、１４２ｂは部分レール１４１が延びる方向、すなわちレール１４が延びる方向（延伸方向）を長手方向とする面である。

【0071】

端面１４４ａ，１４４ｂは、部分レール１４１が延びる方向の両端に形成され、上面１４３及び側面１４２ａ，１４２ｂと直交する面である。複数の部分レール１４１のうち、部分レール１４１Ａの端面１４４ａと、部分レール１４１Ｂの端面１４４ｂとが互いに対向する。すなわち、部分レール１４１が支持台（ベッド）１４０に固定されると、部分レール１４１Ａの端面１４４ａと、部分レール１４１Ｂの端面１４４ｂとが部分レール１４１同士が連結される連結面となる。

【0072】

各部分レール１４１は、上面１４３側から挿入された複数のボルト１４５により支持台（ベッド）１４０に固定される。具体的には、支持台１４０の上面には、レール１４が延びる方向に沿って溝が形成され、この溝の底面１４０ａ上に各部分レール１４１が配置され、固定される。すなわち、底面１４０ａは、レール１４が配置される配置面である。

【0073】

部分レール１４１は、支持台１４０上に配置される位置に応じて、レール１４が延びる方向に沿う長さが異なる。本実施の形態では、部分レール１４１がレール１４の延びる方向に沿う長さは、最大で２ｍ程度である。

【0074】

レール１４は、板部材１４７ａ，１４７ｂ（総称する場合は、板部材１４７と呼ぶ）と、固定板１４８とを有する。板部材１４７は、例えばＳＫ材（炭素工具鋼鋼材）等の薄板であり、レール１４が延びる方向に沿って延びる。１枚の板部材１４７ａは、レール１４を構成する全ての部分レール１４１の側面１４２ａに亘って取り付けられる。同様に、１枚の板部材１４７ｂは、レール１４を構成する全ての部分レール１４１の側面１４２ｂに亘って取り付けられる。

【0075】

尚、レール１４に１枚の板部材１４７ａと１枚の板部材１４７ｂとが取り付けられるものに限定されず、複数の部分レール１４１に亘って１枚の板部材１４７ａ，１４７ｂが取り付けられてもよい。例えば、領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃごとに、１枚ずつの板部材１４７ａ，１４７ｂが側面１４２ａ，１４２ｂに取り付けられてもよい。あるいは、領域２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃごとに、複数枚ずつの板部材１４７ａ，１４７ｂが側面１４２ａ，１４２ｂに取り付けられてもよい。すなわち、板部材１４７が延びる方向の長さは、部分レール１４１が延びる方向の長さより長ければよい。

【0076】

図９Ｂに示されるように、板部材１４７ａの下端側面は底面１４０ａ上に配置される。板部材１４７ａの下部は、底面１４０ａに配置された部分レール１４１の側面１４２ａと、底面１４０ａと交差する面である支持台１４０の取付側面１４０ｂとの間の空間に挿入される。すなわち、板部材１４７ａは、レール１４の側面１４２ａと、支持台１４０の取付側面１４０ｂとの間に挟み込まれて取り付けられる。

【0077】

同様に、板部材１４７ｂの下端側面は底面１４０ａ上に配置される。板部材１４７ｂの下部は、底面１４０ａに配置された部分レール１４１の側面１４２ｂと、底面１４０ａと交差する支持台１４０の取付側面１４０ｃとの間の空間に挿入される。すなわち、板部材１４７ｂは、レール１４の側面１４２ｂと、支持台１４０の取付側面１４０ｃとの間に挟み込まれて取り付けられる。これにより、板部材１４７は、側面１４２ａ，１４２ｂと直交する方向にて、支持台１４０の取付側面１４０ｂ，１４０ｃとレール１４の側面１４２ａ，１４２ｂとによって挟み込まれて固定される。これにより、板部材１４７が側面１４２から外れることが抑制される。

【0078】

尚、板部材１４７は、更に接着剤を用いてレール１４の側面１４２ａ，１４２ｂに接着されることにより固定されてもよい。これにより、取付側面１４０ｂ，１４０ｃとレール１４の側面１４２ａ，１４２ｂとによって挟み込まれた板部材１４７が側面１４２から外れることが抑制される。

【0079】

固定板１４８は、レール１４が延びる方向に沿って延びる。レール１４が延びる方向及び上下方向と交差するレール１４の幅方向では、固定板１４８の長さ（幅）はレール１４の長さ（幅）よりも大きい。固定板１４８は、部分レール１４１の上面１４３上に、取付ボルト１４９によって取り付けられる。尚、固定板１４８は、取付ボルト１４９により上面１４３に取り付けられるものに限定されない。例えば、固定板１４８には、部分レール１４１を支持台１４０に固定するボルト１４５が挿入される穴が形成され、この穴に挿入されたボルト１４５によって共締めされて固定板１４８が上面１４３に固定されてもよい。

【0080】

固定板１４８の下面１５０には、レール１４が延びる方向に沿って延びる取付溝１５１ａ，１５１ｂが形成される。具体的には、レール１４よりも幅が大きい固定板１４８では、下面１５０のうちレール１４の幅方向の両端から突出する領域が存在する。この下面１５０がレール１４から突出する幅方向の一方側の領域に取付溝１５１ａが形成され、レール１４から突出する幅方向の他方側の領域に取付溝１５１ｂが形成される。

【0081】

取付溝１５１ａには板部材１４７ａの上部が挿入され、取付溝１５１ｂには板部材１４７ｂの上部が挿入される。これにより、板部材１４７は、固定板１４８と支持台１４０の溝の底面１４０ａとによって上下方向から挟み込まれて固定される。この結果、取付側面１４０ｂ，１４０ｃとレール１４の側面１４２ａ，１４２ｂとによって挟み込まれた板部材１４７がさらに上下方向から挟み込まれるため、板部材１４７が側面１４２から外れることが抑制される。

【0082】

レール１４の側面１４２ａ，１４２ｂに上記のように板部材１４７が取り付けられることにより、部分レール１４１同士の連結部分が、ガイドローラ５１ａ，５１ｂのレール１４上の走行面に露出することが低減される。すなわち、部分レール１４１Ａの端面１４４ａと部分レール１４１Ｂの端面１４４ｂとの連結部分に生じる段差等をガイドローラ５１ａ，５１ｂが走行することを抑制できる。

【0083】

部分レール１４１Ａ上を部分レール１４１Ｂに向けて走行するガイドローラ５１ａ，５１ｂによって、部分レール１４Ａにはレール１４が延びる方向と交差する方向に力が作用する。実施の形態とは異なり板部材１４７が設けられていない場合には、ガイドローラ５１ａ、５１ｂの走行によって、部分レール１４１Ａの端面１４４ａは、部分レール１４１Ｂの端面１４４ｂに対してレール１４が延びる方向と交差する方向に変形し、段差が生じる。さらに、ガイドローラ５１ａ，５１ｂが部分レール１４１Ｂに向けて走行すると、部分レール１４１Ｂの端面１４４ｂに衝突し、この端面１４４ｂを乗り越えて走行する。すなわち、ガイドローラ５１ａ，５１ｂは、部分レール１４１Ａと部分レール１４１Ｂとの連結部分に生じた段差を乗り越えるため振動が発生する。上述したように、部分レール１４１は、最大で２ｍ程度の長さを有する。このため、ガイドローラ５１ａ，５１ｂの走行により、２ｍ毎あるいはそれよりも短い間隔で振動が発生することとなる。

【0084】

これに対して本実施の形態では、レール１４の側面１４２に板部材１４７が取り付けられている。このため、ガイドローラ５１ａ，５１ｂは、板部材１４７を走行するので、部分レール１４１Ａと部分レール１４１Ｂとの連結部分に生じる段差を乗り越えることなく走行できる。ガイドローラ５１ａ，５１ｂが段差を乗り越えることなく走行できるので、段差を乗り越える際に生じる振動の発生が抑制される。

【0085】

尚、上述した実施の形態のレール１４は固定板１４８を有するものとして説明したが、レール１４が固定板１４８を有していなくてもよい。すなわち、板部材１４７が、部分レール１４１の側面１４２と取付側面１４０ｂ，１４０ｃとの間に挟まれて固定されていればよい。この場合、板部材１４７と部分レール１４１の側面１４２とは接着により固定されるとよい。

【0086】

また、支持台１４０に溝を形成することによって、支持台１４０に底面１４０ａと底面１４０ａと交差する取付側面１４０ｂとが形成されるものに限定されない。例えば、支持台１４０に溝を形成することなく、底面１４０ａと取付側面１４０ｂとが支持台１４０に形成されてもよい。例えば、支持台１４０の上面をレール１４が配置される配置面とし、この配置面から上方に突出し、レール１４が延びる方向に沿って延びる突起部が形成されればよい。この突起部の側面を取付側面とて、突起部の側面と部分レール１４１の側面１４２との間に板部材１４７が挟み込まれて取り付けられればよい。

【0087】

また、実施の形態の部分レール１４１には、側面１４２ａ及び側面１４２ｂの両面に板部材１４７が取り付けられていた。しかし、板部材１４７は、部分レール１４１の側面１４２ａ及び側面１４２ｂの何れか一方の面に取り付けられてもよい。この場合、例えば、領域２０Ｂに配置される部分レール１４１では、レール１３と対向する側と反対側、すなわち膜側の側面１４２のみに板部材１４７が取り付けられてよい。また、領域２０Ｃに配置される部分レール１４１では、レール１３と対向する側、すなわちリターン側の側面１４２のみに板部材１４７が取り付けられてよい。

【0088】

本実施の形態では、複数の部分レールが連結されて構成されるレール１４の２つの側面１４２の少なくとも一方に板部材１４７が取り付けられる。板部材１４７のレール１４の延伸方向に沿った長さは、部分レール１４１の延伸方向に沿った長さよりも長い。これにより、部分レール１４１同士の連結部分が、ガイドローラ５１ａ，５１ｂの走行面に露出することが抑制される。すなわち、部分レール１４１Ａと部分レール１４１Ｂとの間の連結部分に生じる段差をガイドローラ５１ａ，５１ｂが走行する機会が低減するので、ガイドローラ５１ａ，５１ｂの走行に伴う振動の発生が抑制される。

【0089】

これにより、ガイドローラ５１ａ，５１ｂの周辺に配置される構成（周辺機械）への振動による影響が抑制され、例えば軸受５６ａ，５６ｂ，５７ａ，５７ｂからグリースが漏出することが抑制されたり、周辺機械の寿命を延ばすことが可能となる。このように、ガイドローラ５１ａ，５１ｂの走行による振動の発生と、振動に伴う周辺機械への影響とが抑制されることから、リンク機構１１の走行の高速化を実現できる。そして、リンク機構１１の高速移動が可能となることにより、樹脂膜８の生成に要する時間が短縮可能となり、樹脂膜８の生産性向上に寄与することができる。

【0090】

以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施の形態または実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。例えば、それぞれのリンク機構１１が有するガイドローラは、鍔付きローラに限られない。また、ガイドローラを支持する軸受は、非接触式のボールベアリングに限られず、例えば、接触式のシールベアリングであってもよい。

【符号の説明】

【0091】

５ 延伸機
１１ リンク機構
１３，１４ レール
１４０ 支持台（ベッド）
１４１，１４１Ａ，１４１Ｂ 部分レール
１４２，１４２ａ，１４２ｂ 側面
１４７，１４７ａ，１４７ｂ 板部材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4A】

【図4B】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9A】

【図9B】