特開 2024-150239 基板支持装置及び支持体

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024150239

(43)【公開日】2024-10-23

(54)【発明の名称】基板支持装置及び支持体

(51)【国際特許分類】

   B41F 15/08 20060101AFI20241016BHJP

   H05K 3/34 20060101ALI20241016BHJP

   B41F 15/20 20060101ALI20241016BHJP

   B41F 15/26 20060101ALI20241016BHJP

【ＦＩ】

B41F15/08 303E

H05K3/34 505D

B41F15/20

B41F15/26 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023063555

(22)【出願日】2023-04-10

(71)【出願人】

【識別番号】300071823

【氏名又は名称】株式会社ボンマーク

(74)【代理人】

【識別番号】110003199

【氏名又は名称】弁理士法人高田・高橋国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】田嶋 秀人

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 吉紀

【テーマコード（参考）】

2C035

5E319

【Ｆターム（参考）】

2C035AA06

5E319BB05

5E319CD29

5E319GG20

(57)【要約】

【課題】基板支持装置の厚さを抑制する。
【解決手段】基板支持装置１は、プレート３、プレート４、及びゴム製の支持体５を備える。プレート３に、表面３１で開口する吸引孔３３が形成される。プレート４は、表面４１が表面３１に対向するようにプレート３に固定される。支持体５に、吸引孔５６が形成される。また、プレート４に、取付孔４５が形成される。表面３１に、吸引孔３３の縁から吸引孔５６が対向する位置まで延びる溝３４が形成される。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

平坦な第１表面を有し、前記第１表面で開口する第１吸引孔が形成された第１プレートと、
平坦な第２表面及び前記第２表面が向く方向とは反対の方向を向く第３表面を有し、前記第２表面が前記第１表面に対向するように前記第１プレートに固定された第２プレートと、
第４表面と前記第４表面が向く方向とは反対の方向を向く第５表面及び第６表面とを有し、前記第４表面から前記第６表面に通じる第２吸引孔が形成されたゴム製の支持体と、
を備え、
前記第４表面と前記第６表面との距離は、前記第４表面と前記第５表面との距離より大きく、
前記第２プレートに、前記第２表面から前記第３表面に通じる取付孔が形成され、
前記支持体は、前記第４表面が前記第１表面に対向し且つ前記第５表面が前記取付孔の内部で前記第２プレートに対向するように配置された状態で前記第１プレートと前記第２プレートとに挟まれ、前記第３表面側から見て前記第６表面が露出し、
前記第１表面に、前記第１吸引孔の縁から前記第２吸引孔が対向する位置まで延びる溝が形成された基板支持装置。

【請求項2】

前記支持体は、ニトリルゴム製である請求項１に記載の基板支持装置。

【請求項3】

前記支持体に、複数の前記第２吸引孔が形成された請求項１又は請求項２に記載の基板支持装置。

【請求項4】

前記第６表面はＬ字形状であり、前記第６表面の一方の端部、前記第６表面のもう一方の端部、及び前記第６表面の中央部のそれぞれにおいて、前記第２吸引孔が開口する請求項３に記載の基板支持装置。

【請求項5】

前記第５表面は、前記支持体を前記第６表面側から見て前記第６表面の周囲全体を囲むように形成された請求項１又は請求項２に記載の基板支持装置。

【請求項6】

ソルダーペースト印刷機において基板を吸着支持するための装置に用いられる支持体であって、
第１表面及び前記第１表面が向く方向とは反対の方向を向く第２表面を有する土台部と、
前記第２表面から突出するように前記土台部に設けられ、前記第２表面が向く方向と同じ方向を向く第３表面を有する支持部と、
を備え、
前記第１表面から前記第３表面に通じる吸引孔が形成されたゴム製の支持体。

【請求項7】

平坦な第１表面を有する第１プレートと、
平坦な第２表面及び前記第２表面が向く方向とは反対の方向を向く第３表面を有し、前記第２表面が前記第１表面に対向するように前記第１プレートに固定された第２プレートと、
第４表面と前記第４表面が向く方向とは反対の方向を向く第５表面及び第６表面とを有するニトリルゴム製の支持体と、
を備え、
前記第４表面と前記第６表面との距離は、前記第４表面と前記第５表面との距離より大きく、
前記第２プレートに、前記第２表面から前記第３表面に通じる取付孔が形成され、
前記支持体は、前記第４表面が前記第１表面に対向し且つ前記第５表面が前記取付孔の内部で前記第２プレートに対向するように配置された状態で前記第１プレートと前記第２プレートとに挟まれ、前記第３表面側から見て前記第６表面が露出する基板支持装置。

【請求項8】

平坦な第１表面を有し、前記第１表面で開口する第１吸引孔が形成された第１プレートと、
平坦な第２表面及び前記第２表面が向く方向とは反対の方向を向く第３表面を有し、前記第２表面が前記第１表面に対向するように前記第１プレートに固定された第２プレートと、
第４表面及び前記第４表面が向く方向とは反対の方向を向く第５表面を有し、前記第４表面から前記第５表面に通じる第２吸引孔が形成されたゴム製の支持体と、
を備え、
前記第２プレートに、前記第２表面から前記第３表面に通じる取付孔が形成され、
前記支持体は、前記第４表面が前記第１表面に対向するように前記取付孔に配置され、前記第３表面側から見て前記第５表面が露出し、
前記第１表面に、前記第１吸引孔の縁から前記第２吸引孔が対向する位置まで延びる溝が形成された基板支持装置。

【請求項9】

平坦な第１表面を有する第１プレートと、
平坦な第２表面及び前記第２表面が向く方向とは反対の方向を向く第３表面を有し、前記第２表面が前記第１表面に対向するように前記第１プレートに固定された第２プレートと、
平坦な第４表面及び前記第４表面が向く方向とは反対の方向を向く第５表面を有するニトリルゴム製の支持体と、
を備え、
前記第２プレートに、前記第２表面から前記第３表面に通じる取付孔が形成され、
前記支持体は、前記第４表面が前記第１表面に対向するように前記取付孔に配置され、前記第３表面側から見て前記第５表面が露出する基板支持装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、基板支持装置と基板支持装置に用いられる支持体とに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１に、ソルダーペースト印刷機において基板を固定するための装置が記載されている。特許文献１に記載された装置では、基板搭載面に形成された真空吸引孔に吸着パッドが挿入される。吸着パッドは、筒状部と、末広がり形状を持った吸着部とを備える。当該装置によって基板を固定する際に、吸着パッドは、吸着部が大きく変形して基板の表面に吸着する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平１０－５２０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載された装置では、基板を固定する際に、吸着パッドが上下に移動し、末広がり形状を持った吸着部が大きく変形する。このため、吸着パッドの可動域を確保するために装置自体の厚さが大きくなるといった問題があった。また、吸着部が変形して基板に吸着するため、変形前の吸着パッドの厚さも大きくしなければならなかった。

【0005】

本開示は、上述のような課題を解決するためになされた。本開示の目的は、ソルダーペースト印刷機において基板を支持するための装置であって、厚さを抑制することができる装置を提供することである。本開示の他の目的は、そのような装置において用いることが可能な支持体を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示に係る基板支持装置は、平坦な第１表面を有し、第１表面で開口する第１吸引孔が形成された第１プレートと、平坦な第２表面及び第２表面が向く方向とは反対の方向を向く第３表面を有し、第２表面が第１表面に対向するように第１プレートに固定された第２プレートと、第４表面と第４表面が向く方向とは反対の方向を向く第５表面及び第６表面とを有し、第４表面から第６表面に通じる第２吸引孔が形成されたゴム製の支持体と、を備える。第４表面と第６表面との距離は、第４表面と第５表面との距離より大きい。第２プレートに、第２表面から第３表面に通じる取付孔が形成される。支持体は、第４表面が第１表面に対向し且つ第５表面が取付孔の内部で第２プレートに対向するように配置された状態で第１プレートと第２プレートとに挟まれ、第３表面側から見て第６表面が露出する。第１表面に、第１吸引孔の縁から第２吸引孔が対向する位置まで延びる溝が形成される。

【0007】

本開示に係る支持体は、ソルダーペースト印刷機において基板を吸着支持するための装置に用いられる支持体である。当該支持体は、第１表面及び第１表面が向く方向とは反対の方向を向く第２表面を有する土台部と、第２表面から突出するように土台部に設けられ、第２表面が向く方向と同じ方向を向く第３表面を有する支持部と、を備える。当該支持体はゴム製であり、第１表面から第３表面に通じる吸引孔が形成される。

【0008】

また、本開示に係る基板支持装置は、
平坦な第１表面を有する第１プレートと、平坦な第２表面及び第２表面が向く方向とは反対の方向を向く第３表面を有し、第２表面が第１表面に対向するように第１プレートに固定された第２プレートと、第４表面と第４表面が向く方向とは反対の方向を向く第５表面及び第６表面とを有するニトリルゴム製の支持体と、を備える。第４表面と第６表面との距離は、第４表面と第５表面との距離より大きい。第２プレートに、第２表面から第３表面に通じる取付孔が形成される。支持体は、第４表面が第１表面に対向し且つ第５表面が取付孔の内部で第２プレートに対向するように配置された状態で第１プレートと第２プレートとに挟まれ、第３表面側から見て第６表面が露出する。

【0009】

本開示に係る基板支持装置は、平坦な第１表面を有し、第１表面で開口する第１吸引孔が形成された第１プレートと、平坦な第２表面及び第２表面が向く方向とは反対の方向を向く第３表面を有し、第２表面が第１表面に対向するように第１プレートに固定された第２プレートと、第４表面及び第４表面が向く方向とは反対の方向を向く第５表面を有し、第４表面から第５表面に通じる第２吸引孔が形成されたゴム製の支持体と、を備える。第２プレートに、第２表面から第３表面に通じる取付孔が形成される。支持体は、第４表面が第１表面に対向するように取付孔に配置され、第３表面側から見て第５表面が露出する。第１表面に、第１吸引孔の縁から第２吸引孔が対向する位置まで延びる溝が形成される。

【0010】

本開示に係る基板支持装置は、平坦な第１表面を有する第１プレートと、平坦な第２表面及び第２表面が向く方向とは反対の方向を向く第３表面を有し、第２表面が第１表面に対向するように第１プレートに固定された第２プレートと、平坦な第４表面及び第４表面が向く方向とは反対の方向を向く第５表面を有するニトリルゴム製の支持体と、を備える。第２プレートに、第２表面から第３表面に通じる取付孔が形成される。支持体は、第４表面が第１表面に対向するように取付孔に配置され、第３表面側から見て第５表面が露出する。

【発明の効果】

【0011】

本開示によれば、基板支持装置の厚さを抑制することができる。また、基板支持装置に用いられる支持体の厚さを抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】実施の形態１における基板支持装置の例を示す平面図である。

【図2】実施の形態１における基板支持装置の例を示す側面図である。

【図3】図１のＡ－Ａ断面を示す図である。

【図4】プレートの例を示す図である。

【図5】図４のＢ－Ｂ断面を示す図である。

【図6】プレートの例を示す図である。

【図7】プレートの例を示す図である。

【図8】図６に示すＣ－Ｃ断面を示す図である。

【図9】支持体の例を示す図である。

【図10】支持体の他の例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下に、図面を参照して詳細な説明を行う。重複する説明は、適宜簡略化或いは省略する。各図において、同一の符号は同一の部分又は相当する部分を示す。

【0014】

実施の形態１．
図１は、実施の形態１における基板支持装置１の例を示す平面図である。図２は、実施の形態１における基板支持装置１の例を示す側面図である。図３は、図１のＡ－Ａ断面を示す図である。

【0015】

基板支持装置１は、ソルダーペースト印刷機において、基板２を支持するための装置である。例えば、基板支持装置１は、ソルダーペースト印刷機において基板２を吸着することによって基板２を保持する。図２では、基板支持装置１に吸着支持された基板２を一点鎖線で示している。基板支持装置１は、プレート３、プレート４、支持体５、及びボルト７を備える。

【0016】

図４は、プレート３の例を示す図である。図５は、図４のＢ－Ｂ断面を示す図である。プレート３は、表面３１及び表面３２を有する。表面３１及び表面３２は、双方とも平坦であることが望ましい。表面３２は、表面３１が向く方向とは反対の方向を向く。プレート３に、表面３１から表面３２に通じる吸引孔３３が形成される。即ち、吸引孔３３は、表面３１で開口し、表面３２で開口する。

【0017】

プレート３の表面３１に、吸引孔３３の縁から延びる溝３４が形成される。図４は、吸引孔３３の縁から４本の溝３４が延びる例を示す。図４に示すように、溝３４は、吸引孔３３の縁から延びた先で分岐しても良い。また、プレート３に、表面３１から表面３２に通じる複数の貫通孔３５が形成される。プレート３は、表面３１から突出する突起３６を備える。図４は、プレート３が２つの突起３６を備える例を示す。貫通孔３５及び突起３６は、プレート３にプレート４を固定するために用いられる。

【0018】

図６及び図７は、プレート４の例を示す図である。図８は、図６に示すＣ－Ｃ断面を示す図である。プレート４は、表面４１及び表面４２を有する。表面４１及び表面４２は、双方とも平坦であることが望ましい。表面４２は、表面４１が向く方向とは反対の方向を向く。図６は、プレート４を表面４２側から見た図である。図７は、プレート４を表面４１側から見た図である。プレート４は、表面４１が表面３１に対向するようにプレート３に重ねられ、ボルト７を用いてプレート３に固定される。

【0019】

プレート４の表面４１に、複数のねじ穴４３が形成される。ねじ穴４３は、プレート３に形成された貫通孔３５の位置に合わせて形成される。また、プレート４の表面４１に、凹部４４が形成される。凹部４４は、プレート３に備えられた突起３６の位置に合わせて形成される。図７は、プレート４に２つの凹部４４が形成される例を示す。ねじ穴４３及び凹部４４は、プレート４をプレート３に固定するために用いられる。

【0020】

プレート４に、表面４１から表面４２に通じる取付孔４５が形成される。即ち、取付孔４５は、表面４１で開口し、表面４２で開口する。図６から図８は、取付孔４５によって表面４１に形成される開口が、取付孔４５によって表面４２に形成される開口よりも一回り大きい例を示す。即ち、図６から図８に示す例では、取付孔４５の内部に段差が存在し、取付孔４５の内部に表面４６が形成される。表面４６は、表面４１が向く方向と同じ方向を向く。

【0021】

図９は、支持体５の例を示す図である。図９（ａ）は支持体５の平面図を、図９（ｂ）は支持体５の側面図を、図９（ｃ）は支持体５の底面図を示す。支持体５は、基板２を実際に支持するためのゴム製の部材である。支持体５は、基板２の滑り難さの観点から、ニトリルゴム製であることが好ましい。図９に示す例では、支持体５は、土台部５１、及び支持部５２を備える。土台部５１及び支持部５２は、それぞれゴムの塊である。

【0022】

土台部５１は、支持部５２よりも一回り大きい平板形状である。土台部５１は、表面５３及び表面５４を有する。表面５４は、表面５３が向く方向とは反対の方向を向く。支持部５２は、表面５４から突出するように土台部５１に設けられる。支持部５２は、表面５４が向く方向と同じ方向を向く表面５５を有する。即ち、表面５５は、表面５３が向く方向とは反対の方向を向く。表面５３、表面５４、及び表面５５は、それぞれ平坦であることが好ましい。支持部５２が表面５４から突出するため、表面５３と表面５５との距離Ｌ１は、表面５３と表面５４との距離Ｌ２より大きい。図９は、（ａ）に具体的に示されているように、支持体５を表面５５側から見て、表面５４が表面５５の周囲全体を囲むように形成された好適な例を示す。

【0023】

支持体５に、表面５３から表面５５に通じる吸引孔５６が形成される。図９は、支持体５に複数の吸引孔５６が形成される好適な例を示す。図９に示す例では、支持部５２は、表面５５側から見てＬ字形状である。即ち、表面５５はＬ字形状である。かかる場合、支持体５に３つの吸引孔５６が形成され、表面５５の一方の端部（Ｌ字の一方の端部）、表面５５のもう一方の端部（Ｌ字のもう一方の端部）、及び表面５５の中央部（Ｌ字の折れ曲がり部）のそれぞれにおいて、吸引孔５６が開口することが好ましい。

【0024】

図１０は、支持体５の他の例を示す図である。図１０に示すように、支持部５２は、表面５５側から見てＩ字形状でも良い。即ち、表面５５はＩ字形状でも良い。かかる場合、支持体５に２つの吸引孔５６が形成され、表面５５の一方の端部、及び表面５５のもう一方の端部のそれぞれにおいて、吸引孔５６が開口することが好ましい。基板支持装置１が備える支持体５は、その全てが同じ形状でなくても良い。

【0025】

次に、基板支持装置１を組み立てる手順について説明する。基板支持装置１の組立手順は、以下に示す例に限定される訳ではない。

【0026】

先ず、図７に示すように表面４１が上向きになるようにプレート４を配置し、取付孔４５に支持体５を入れる。この時、支持体５の表面５４が表面４６に対向する、即ち表面５４が取付孔４５の内部でプレート４に対向するように、支持体５を配置する。

【0027】

次に、プレート３の表面３１が表面４１に対向するように、プレート３をプレート４の上に重ねる。この時、表面３１から突出する突起３６を、表面４１に形成された凹部４４に嵌める。これにより、プレート３とプレート４との位置決めが正確に行われる。プレート３がプレート４に重ねられることにより、支持体５の表面５３がプレート３の表面３１に対向する。

【0028】

次に、支持体５を取付孔４５に配置してプレート３をプレート４に重ねた状態で、ボルト７を表面３２側から貫通孔３５に挿入し、ボルト７をねじ穴４３に締め付ける。これにより、プレート３がプレート４に固定される。また、プレート３がプレート４に押し付けられることにより、土台部５１がプレート３とプレート４とに挟まれ、支持体５が固定される。

【0029】

上記のように支持体５が適切に固定された状態では、支持部５２の表面５５は、プレート４の表面４２側から見て取付孔４５の内側に配置される。即ち、表面５５は、プレート４の表面４２側から見て露出する（図１参照）。表面５５は、表面４２と面一であることが好ましい。支持部５２は、表面４２から僅かに突出しても良い。また、支持体５の吸引孔５６は、プレート３の表面３１に形成された溝３４に対向するように配置される。即ち、溝３４は、吸引孔３３の縁から吸引孔５６が対向する位置まで延びている。

【0030】

本実施の形態に示す例では、吸引孔３３から空気を吸引することにより、溝３４及び吸引孔５６を介して、支持体５の表面５５に基板２を吸着支持するための力を発生させることができる。なお、支持体５は、基板２を支持する際に大きく変形することはない。このため、支持体５の厚さを抑制することができる。また、支持体５は、基板２を支持する際に上下に移動することはない。このため、基板支持装置１の厚さも抑制することができる。

【0031】

本実施の形態では、支持体５に複数の吸引孔５６が形成される好適な例について説明した。支持体５に形成される吸引孔５６は１つでも良い。支持体５に吸引孔５６が１つしか形成されていなくても、基板２を吸着支持するための力を発生させることができる。但し、支持体５に複数の吸引孔５６が形成される場合は、基板２を受ける表面５５の面積を大きくすることができる。また、支持体５の取り扱いが容易になり、基板支持装置１の組み立て性を向上させることができる。

【0032】

なお、支持体５が、基板２が滑り難いニトリルゴム製である場合は、支持体５に吸引孔５６が形成されていなくても基板２を支持することが可能である。吸引孔５６が形成されていない支持体５のみを基板支持装置１が備える場合、プレート３に吸引孔３３及び溝３４は形成されなくても良い。図１は、基板支持装置１が、吸引孔５６が形成された支持体５と吸引孔５６が形成されていない支持体５との双方を備える例を示す。図１では、吸引孔５６が形成されていない支持体に対して符号５Ｎを付し、吸引孔５６が形成された支持体５と区別している。

【0033】

本実施の形態では、支持体５に段差が形成される、即ち支持体５に表面５４が形成される好適な例について説明した。支持体５に表面５４が形成されておらず、例えば支持体５が柱状の支持部５２のみによって構成されても良い。かかる場合、支持体５（支持部５２）には、表面５３に相当する表面と表面５５に相当する表面とが形成される。プレート４には、支持部５２の断面形状に合わせた断面を有する取付孔４５が形成される。支持体５は、表面５３に相当する表面が表面３１に対向するように取付孔４５に配置される。表面５５に相当する表面は、プレート４の表面４２側から見て取付孔４５の内側に配置される。即ち、表面５５に相当する表面は、プレート４の表面４２側から見て露出する。この場合も、支持体５に形成される吸引孔５６の数はいくつでも良い。支持体５がニトリルゴム製であれば、支持体５に吸引孔５６が形成されなくても良い。

【符号の説明】

【0034】

１ 基板支持装置、 ２ 基板、 ３～４ プレート、 ５ 支持体、 ７ ボルト、 ３１～３２ 表面、 ３３ 吸引孔、 ３４ 溝、 ３５ 貫通孔、 ３６ 突起、 ４１～４２ 表面、 ４３ ねじ穴、 ４４ 凹部、 ４５ 取付孔、 ４６ 表面、 ５１ 土台部、 ５２ 支持部、 ５３～５５ 表面、 ５６ 吸引孔

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】