特開2024-150903真空処理装置、真空処理装置の制御方法、プログラムおよび空気調和機の製造方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024150903
(43)【公開日】2024-10-24
(54)【発明の名称】真空処理装置、真空処理装置の制御方法、プログラムおよび空気調和機の製造方法
(51)【国際特許分類】
F04B 51/00 20060101AFI20241017BHJP
G01M 3/26 20060101ALI20241017BHJP
F25B 45/00 20060101ALI20241017BHJP
【ＦＩ】
F04B51/00
G01M3/26 N
F25B45/00 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】13
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023063936
(22)【出願日】2023-04-11
(71)【出願人】
【識別番号】000006013
【氏名又は名称】三菱電機株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100095407
【弁理士】
【氏名又は名称】木村 満
(74)【代理人】
【識別番号】100131152
【弁理士】
【氏名又は名称】八島 耕司
(74)【代理人】
【識別番号】100147924
【弁理士】
【氏名又は名称】美恵 英樹
(74)【代理人】
【識別番号】100148149
【弁理士】
【氏名又は名称】渡邉 幸男
(74)【代理人】
【識別番号】100181618
【弁理士】
【氏名又は名称】宮脇 良平
(74)【代理人】
【識別番号】100174388
【弁理士】
【氏名又は名称】龍竹 史朗
(72)【発明者】
【氏名】山田 剛広
【テーマコード（参考）】
2G067
3H145
【Ｆターム（参考）】
2G067AA34
2G067BB02
2G067BB03
2G067BB30
2G067CC04
2G067DD02
2G067EE12
2G067EE13
3H145AA02
3H145AA06
3H145AA12
3H145AA27
3H145AA42
3H145BA20
3H145BA33
3H145CA03
3H145DA02
3H145DA49
3H145EA13
3H145FA03
3H145FA16
(57)【要約】
【課題】対象物の圧力異常の有無を短時間で検査することができ、真空処理効率が高い真空処理装置、真空処理装置の制御方法、プログラムおよび空気調和機の製造方法を提供する。
【解決手段】真空処理装置１Ａは、対象物の内部空間を真空引きする真空ポンプ４０と、対象物の内部空間の圧力を測定する圧力センサ２０と、真空ポンプ４０が対象物の内部空間を真空引きする間に測定した圧力センサ２０の圧力のデータに基づいて、真空ポンプ４０の真空引きによって対象物の内部空間が目標真空度まで到達するか否かを予測し、目標真空度まで到達しないと予測した場合に、対象物に異常があると判定して、真空ポンプ４０に真空引きを中止させる予測部６２Ａを有する制御装置６０Ａと、を備える。
【選択図】図５
【解決手段】真空処理装置１Ａは、対象物の内部空間を真空引きする真空ポンプ４０と、対象物の内部空間の圧力を測定する圧力センサ２０と、真空ポンプ４０が対象物の内部空間を真空引きする間に測定した圧力センサ２０の圧力のデータに基づいて、真空ポンプ４０の真空引きによって対象物の内部空間が目標真空度まで到達するか否かを予測し、目標真空度まで到達しないと予測した場合に、対象物に異常があると判定して、真空ポンプ４０に真空引きを中止させる予測部６２Ａを有する制御装置６０Ａと、を備える。
【選択図】図５
【特許請求の範囲】
【請求項1】
対象物の内部空間を真空引きする真空ポンプと、
前記対象物の内部空間の圧力を測定する圧力センサと、
前記真空ポンプが前記対象物の内部空間を真空引きする間に測定した前記圧力センサの圧力のデータに基づいて、前記真空ポンプの真空引きによって前記対象物の内部空間が目標真空度まで到達するか否かを予測し、前記目標真空度まで到達しないと予測した場合に、前記対象物に異常があると判定して、前記真空ポンプに真空引きを中止させる予測部を有する制御装置と、
を備える真空処理装置。
前記対象物の内部空間の圧力を測定する圧力センサと、
前記真空ポンプが前記対象物の内部空間を真空引きする間に測定した前記圧力センサの圧力のデータに基づいて、前記真空ポンプの真空引きによって前記対象物の内部空間が目標真空度まで到達するか否かを予測し、前記目標真空度まで到達しないと予測した場合に、前記対象物に異常があると判定して、前記真空ポンプに真空引きを中止させる予測部を有する制御装置と、
を備える真空処理装置。
【請求項2】
前記圧力センサは、前記真空ポンプが前記対象物の内部空間の真空引きを終了する前の、真空引きを開始してから第１時間が経過したときに、前記対象物の内部空間の圧力を測定し、
前記予測部は、前記圧力センサが測定した前記第１時間だけ経過した時の圧力値の第１基準値に対する第１差圧を算出し、算出した前記第１差圧の値が第１閾値よりも大きい場合に、前記目標真空度まで到達しないと予測する、
請求項１に記載の真空処理装置。
前記予測部は、前記圧力センサが測定した前記第１時間だけ経過した時の圧力値の第１基準値に対する第１差圧を算出し、算出した前記第１差圧の値が第１閾値よりも大きい場合に、前記目標真空度まで到達しないと予測する、
請求項１に記載の真空処理装置。
【請求項3】
前記圧力センサは、前記第１時間だけ経過する直前に前記対象物の内部空間の圧力を測定し、
前記予測部は、前記圧力センサが測定した前記第１時間だけ経過した時の圧力値と前記第１時間だけ経過する直前時の圧力値から第１圧力変化率を算出し、算出した前記第１圧力変化率が第１変化率閾値よりも大きい場合に、前記目標真空度まで到達しないと予測する、
請求項２に記載の真空処理装置。
前記予測部は、前記圧力センサが測定した前記第１時間だけ経過した時の圧力値と前記第１時間だけ経過する直前時の圧力値から第１圧力変化率を算出し、算出した前記第１圧力変化率が第１変化率閾値よりも大きい場合に、前記目標真空度まで到達しないと予測する、
請求項２に記載の真空処理装置。
【請求項4】
前記圧力センサは、前記真空ポンプが前記対象物の内部空間の真空引きを終了した後の、前記対象物の内部空間の圧力を定期的に測定し、
前記制御装置は、前記圧力センサが定期的に測定した圧力の推移データに基づいて、前記対象物の内部空間の圧力異常を判定する圧力異常判定部をさらに有する、
請求項１に記載の真空処理装置。
前記制御装置は、前記圧力センサが定期的に測定した圧力の推移データに基づいて、前記対象物の内部空間の圧力異常を判定する圧力異常判定部をさらに有する、
請求項１に記載の真空処理装置。
【請求項5】
前記圧力異常判定部は、前記圧力センサが測定した圧力の推移データを用いて、前記真空ポンプの真空引きの終了から第２時間だけ経過したときの前記対象物の内部空間の圧力値の第２基準値に対する第２差圧を算出し、算出した前記第２差圧が第２閾値よりも大きい場合に、前記対象物の内部空間に圧力異常があると判定する、
請求項４に記載の真空処理装置。
請求項４に記載の真空処理装置。
【請求項6】
前記圧力異常判定部は、前記圧力センサが測定した圧力の推移データを用いて、前記真空ポンプの真空引きの終了から前記第２時間だけ経過したときの、前記第２差圧の一定の時間当たりの圧力変化である第２差圧変化率を算出し、算出した前記第２差圧変化率が第２変化率閾値よりも大きい場合に、前記対象物の内部空間に圧力異常があると判定する、
請求項５に記載の真空処理装置。
請求項５に記載の真空処理装置。
【請求項7】
前記圧力異常判定部は、前記圧力センサが測定した圧力の推移データを用いて、前記真空ポンプの真空引きの終了直後の、前記対象物の内部空間の圧力値の第３基準値に対する第３差圧の一定の時間当たりの圧力変化である第３差圧変化率を算出し、算出した前記第３差圧変化率を前記第２差圧変化率から減算して得た変化率の差が第３閾値よりも大きい場合に、前記対象物の内部空間に圧力異常があると判定する、
請求項６に記載の真空処理装置。
請求項６に記載の真空処理装置。
【請求項8】
前記予測部は、前記真空ポンプが前記対象物の内部空間の真空引きを終了する前の、真空引きを開始してから第１時間が経過したときの、前記対象物の内部空間の圧力と、前記対象物に目標真空度まで到達しない異常があるか否かとの関係が対応付けられた第１データを学習した第１学習済みモデルを用いて、前記目標真空度まで到達するか否かを予測する、
請求項１に記載の真空処理装置。
請求項１に記載の真空処理装置。
【請求項9】
前記予測部は、前記真空ポンプが前記対象物の内部空間の真空引きを終了する前の、真空引きを開始してから第１時間が経過したときの前記対象物の内部空間の圧力および、前記第１時間だけ経過する直前時の前記対象物の内部空間の圧力を含む圧力推移と、前記対象物に目標真空度まで到達しない異常があるか否かとの関係が対応付けられた第２データを学習した第２学習済みモデルを用いて、前記目標真空度まで到達するか否かを予測する、
請求項１に記載の真空処理装置。
請求項１に記載の真空処理装置。
【請求項10】
前記対象物は、冷凍サイクル機器が冷媒管により接続された空気調和機の冷媒回路である、
請求項１に記載の真空処理装置。
請求項１に記載の真空処理装置。
【請求項11】
対象物の内部空間を真空引きする真空ポンプと、前記対象物の内部空間の圧力を測定する圧力センサと、を備える真空処理装置の制御方法であって、
前記真空ポンプが前記対象物の内部空間を真空引きする間に測定した前記圧力センサの圧力のデータに基づいて、前記真空ポンプの真空引きによって前記対象物の内部空間が目標真空度まで到達するか否かを予測するステップと、
前記目標真空度まで到達するか否かを予測するステップで、前記目標真空度まで到達しないと予測した場合に、前記対象物に異常があると判定して、前記真空ポンプに真空引きを中止させるステップと、
を備える真空処理装置の制御方法。
前記真空ポンプが前記対象物の内部空間を真空引きする間に測定した前記圧力センサの圧力のデータに基づいて、前記真空ポンプの真空引きによって前記対象物の内部空間が目標真空度まで到達するか否かを予測するステップと、
前記目標真空度まで到達するか否かを予測するステップで、前記目標真空度まで到達しないと予測した場合に、前記対象物に異常があると判定して、前記真空ポンプに真空引きを中止させるステップと、
を備える真空処理装置の制御方法。
【請求項12】
対象物の内部空間を真空引きする真空ポンプと、前記対象物の内部空間の圧力を測定する圧力センサと、を備える真空処理装置を制御するコンピュータに、
前記真空ポンプが前記対象物の内部空間を真空引きする間に測定した前記圧力センサの圧力のデータに基づいて、前記真空ポンプの真空引きによって前記対象物の内部空間が目標真空度まで到達するか否かを予測するステップと、
前記目標真空度まで到達するか否かを予測するステップで、前記目標真空度まで到達しないと予測した場合に、前記対象物に異常があると判定して、前記真空ポンプに真空引きを中止させるステップと、
を実行させるためのプログラム。
前記真空ポンプが前記対象物の内部空間を真空引きする間に測定した前記圧力センサの圧力のデータに基づいて、前記真空ポンプの真空引きによって前記対象物の内部空間が目標真空度まで到達するか否かを予測するステップと、
前記目標真空度まで到達するか否かを予測するステップで、前記目標真空度まで到達しないと予測した場合に、前記対象物に異常があると判定して、前記真空ポンプに真空引きを中止させるステップと、
を実行させるためのプログラム。
【請求項13】
冷凍サイクル機器に冷媒管が接続された冷媒回路を備える空気調和機の製造方法であって、
前記冷凍サイクル機器に前記冷媒管を接続して冷媒回路を組み立てる工程と、
組み立てた前記冷媒回路を真空引きする工程と、
真空引き後に前記冷媒回路に冷媒を充填する工程と、
を備え、
前記真空引きする工程では、
真空引きの間に、前記冷媒回路の内部空間の圧力を測定し、測定した圧力のデータに基づいて、前記真空引きによって前記冷媒回路の内部空間が目標真空度まで到達するか否かを予測し、前記目標真空度まで到達しないと予測した場合に、前記冷媒回路に異常があると判定して真空引きを中止させる、
空気調和機の製造方法。
前記冷凍サイクル機器に前記冷媒管を接続して冷媒回路を組み立てる工程と、
組み立てた前記冷媒回路を真空引きする工程と、
真空引き後に前記冷媒回路に冷媒を充填する工程と、
を備え、
前記真空引きする工程では、
真空引きの間に、前記冷媒回路の内部空間の圧力を測定し、測定した圧力のデータに基づいて、前記真空引きによって前記冷媒回路の内部空間が目標真空度まで到達するか否かを予測し、前記目標真空度まで到達しないと予測した場合に、前記冷媒回路に異常があると判定して真空引きを中止させる、
空気調和機の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は真空処理装置、真空処理装置の制御方法、プログラムおよび空気調和機の製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
真空処理装置には、真空引きの対象物にリーク、アウトガスの発生等に起因する圧力異常がないか検査するものがある。
【0003】
例えば、特許文献１には、真空引きする対象物の内部空間の圧力を測定する圧力センサと、真空ポンプで真空引きをした後、圧力センサに真空引きした対象物の内部空間の圧力変化を測定させ、その圧力変化の波形データから対象物に圧力異常の有無を検査する検査部とを備える真空処理装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２００８－２１７３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献１に記載の真空処理装置では、真空ポンプで真空引きをした後の圧力変化の波形データから圧力異常の有無を検査するため、対象物を目標圧力まで、または目標時間だけ真空引きする必要がある。その結果、検査結果を得るまでに時間がかかってしまう。
【0006】
また、検査で圧力異常があると判定された対象物まで真空引きをすることになり、真空処理の効率が低い。
【0007】
本開示は上記の課題を解決するためになされたもので、対象物の圧力異常の有無を短時間で検査することができ、真空処理効率が高い真空処理装置、真空処理装置の制御方法、プログラムおよび空気調和機の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記の目的を達成するため、本開示に係る真空処理装置は、真空ポンプと、圧力センサと、制御装置とを備える。真空ポンプは、対象物の内部空間を真空引きする。圧力センサは、対象物の内部空間の圧力を測定する。制御装置は、真空ポンプが対象物の内部空間を真空引きする間に測定した圧力センサの圧力のデータに基づいて、真空ポンプの真空引きによって対象物の内部空間が目標真空度まで到達するか否かを予測し、目標真空度まで到達しないと予測した場合に、対象物に異常があると判定して、真空ポンプに真空引きを中止させる予測部を有する。
【発明の効果】
【0009】
本開示の構成によれば、予測部は、真空ポンプが対象物の内部空間を真空引きする間に測定した圧力センサの圧力のデータに基づいて、真空ポンプの真空引きによって対象物の内部空間が目標真空度まで到達するか否かを予測し、目標真空度まで到達しないと予測した場合に、対象物に異常があると判定する。このため、対象物を目標真空度まで、または目標時間だけ真空引きしなくても異常の有無が判定できる。その結果、対象物の圧力異常の有無を短時間で検査することができる。
【0010】
また、予測部は、目標真空度まで到達しないと予測した場合に、対象物に異常があると判定して、真空ポンプに真空引きを中止させるので、異常がある対象物の真空引きを行う時間を短くできる。その結果、真空処理の効率が高い。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】本開示の実施の形態１に係る真空処理装置とその真空処理装置に接続された空気調和機の室外機の構成を示す概略図
【図2】本開示の実施の形態１に係る真空処理装置の処理対象である空気調和機の室外機の製造方法を示すフローチャート
【図3】本開示の実施の形態１に係る真空処理装置が備える制御装置のハードウエア構成図
【図4】本開示の実施の形態１に係る真空処理装置の処理対象である空気調和機の冷媒回路の内部空間を真空引きしたときの圧力の推移の一例を示すグラフ
【図5】本開示の実施の形態１に係る真空処理装置が備える制御装置のブロック図
【図6】本開示の実施の形態１に係る真空処理装置が備える制御装置の基準ＤＢ記憶部に記憶された基準ＤＢの一例を示す図
【図7】本開示の実施の形態１に係る真空処理装置が備える制御装置の予測部が受信した圧力データから得られる圧力推移の波形と基準データの波形を示すグラフ
【図8A】本開示の実施の形態１に係る真空処理装置が備える制御装置の圧力異常検出部が受信した圧力データから得られる圧力推移の波形がリークの異常がある場合の、その波形を示すグラフ
【図9A】本開示の実施の形態１に係る真空処理装置が備える制御装置の圧力異常検出部が受信した圧力データから得られる圧力推移の波形がアウトガスの発生の異常がある場合の、その波形を示すグラフ
【図10】本開示の実施の形態１に係る真空処理装置が備える制御装置が行う検査処理のフローチャート
【図11】本開示の実施の形態１に係る真空処理装置が備える制御装置が行う検査処理で行われる基準データ生成処理のフローチャート
【図12】本開示の実施の形態１に係る真空処理装置が備える制御装置が行う検査処理で行われる予測処理のフローチャート
【図13】本開示の実施の形態１に係る真空処理装置が備える制御装置が行う検査処理で行われる圧力異常検出処理のフローチャート
【図14】本開示の実施の形態２に係る真空処理装置が備える学習装置のハードウエア構成図
【図15】本開示の実施の形態２に係る真空処理装置が備える制御装置と学習装置のブロック図
【図16】本開示の実施の形態２に係る真空処理装置が備える学習装置のニューラルネットワーク部の一例を示す図
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、本開示の実施の形態に係る真空処理装置、真空処理装置の制御方法、プログラムおよび空気調和機の製造方法について図面を参照して詳細に説明する。なお、図中、同一又は同等の部分には同一の符号を付す。
【0013】
（実施の形態１）
実施の形態１に係る真空処理装置は、真空処理の効率を高めるため、真空引きの途中で真空処理の対象物に圧力異常があるか否かを判定する制御装置を備える装置である。以下、真空処理の対象物が空気調和機の室外機である例に、真空処理装置の構成について説明する。まず、図１および図２を参照して、対象物の空気調和機の室外機の構成について説明する。なお、真空処理装置が室外機の製造で使用されることから、室外機の製造方法も併せて説明する。
実施の形態１に係る真空処理装置は、真空処理の効率を高めるため、真空引きの途中で真空処理の対象物に圧力異常があるか否かを判定する制御装置を備える装置である。以下、真空処理の対象物が空気調和機の室外機である例に、真空処理装置の構成について説明する。まず、図１および図２を参照して、対象物の空気調和機の室外機の構成について説明する。なお、真空処理装置が室外機の製造で使用されることから、室外機の製造方法も併せて説明する。
【0014】
【0015】
図１に示すように、空気調和機の室外機１００は、冷媒を圧縮する圧縮機１１０と、冷媒と空気調和機が設置される部屋の室外の外気と冷媒を熱交換させる室外熱交換器１２０と、冷媒を膨張させる膨張弁１３０と、これらを接続する冷媒管１４０とを備える。
【0016】
圧縮機１１０、室外熱交換器１２０および膨張弁１３０は、図示しない室内機が備える室内熱交換器と接続された場合に、冷媒が循環して冷熱サイクルを行う冷媒回路を形成する。室外機１００は、その冷媒回路の冷媒の流れる方向を切り替えることにより、室内機の運転を冷房運転または暖房運転に切り替える四方弁１５０をさらに備える。そして、室外機１００には、室内機と接続するため、四方弁１５０のポートのうちの一つに接続された接続管１４１と、膨張弁１３０に接続された接続管１４２とが設けられている。
【0017】
このような室外機１００は、図２に示すように、
（１）まず、圧縮機１１０、室外熱交換器１２０、膨張弁１３０、冷媒管１４０、四方弁１５０および接続管１４１、１４２を互いに組み付けて、上述した冷媒回路を組み立て（ステップＳ１１０）、
（２）続いて、水分、空気を除去するため、冷媒回路の内部空間を真空引きし（ステップＳ１２０）、
（３）真空引き後、冷媒回路に冷媒を充填する（ステップＳ１３０）、
ことにより製造されている。
実施の形態１に係る真空処理装置１Ａは、ステップＳ１２０で用いられ、冷媒回路の内部空間を真空引きする。すなわち、冷媒回路の内部空間を真空状態にする。
（１）まず、圧縮機１１０、室外熱交換器１２０、膨張弁１３０、冷媒管１４０、四方弁１５０および接続管１４１、１４２を互いに組み付けて、上述した冷媒回路を組み立て（ステップＳ１１０）、
（２）続いて、水分、空気を除去するため、冷媒回路の内部空間を真空引きし（ステップＳ１２０）、
（３）真空引き後、冷媒回路に冷媒を充填する（ステップＳ１３０）、
ことにより製造されている。
実施の形態１に係る真空処理装置１Ａは、ステップＳ１２０で用いられ、冷媒回路の内部空間を真空引きする。すなわち、冷媒回路の内部空間を真空状態にする。
【0018】
図１に戻って、真空処理装置１Ａは、室外機１００の接続管１４１、１４２に弁１１、１２を介して接続可能な配管１３に設けられた圧力センサ２０と、圧力センサ２０から延びる配管１４に設けられた排気弁３０と、配管１４の端部に接続された真空ポンプ４０と、これら機器を支える搬送装置５０とを備える。
【0019】
圧力センサ２０は、配管１３内の圧力を定期的に測定する。圧力センサ２０は、弁１１、１２を介して、室外機１００の接続管１４１、１４２が配管１３に接続された場合に、弁１１、１２が開けられて配管１３の内部空間と室外機１００の接続管１４１、１４２の内部空間がつなげられると、室外機１００の冷媒回路の内部空間の圧力を測定する。
【0020】
一方、排気弁３０は、例えば、電磁弁、電動弁により構成されている。排気弁３０は、弁体の開閉により、配管１３、弁１１、１２を介して、真空ポンプ４０の吸気口と室外機１００の冷媒回路の内部空間とを接続、または切断する。その結果、排気弁３０は、真空ポンプ４０によって冷媒回路の内部空間を排気して真空引きをする状態と、真空ポンプ４０による排気が停止して真空引きが停止した状態とに切り替える。
【0021】
真空ポンプ４０は、図示しないが、吸気口が配管１４の端部に接続されている。そして、真空ポンプ４０は、運転時に排気弁３０と弁１１、１２が開けられることにより、室外機１００の冷媒回路を真空引きする。これにより、真空ポンプ４０は、冷媒回路の内部空間の空気、水分を排出する。その結果、真空ポンプ４０は、上述した室外機１００の製造方法のステップＳ１２０を実行する。
【0022】
室外機１００の製造方法では、図２に示すステップＳ１１０－Ｓ１３０の工程毎に作業場所を変更することがある。図１に示す搬送装置５０は、ステップＳ１１０で組み立てられた室外機１００をそれら作業場所へ運ぶために設けられている。搬送装置５０は、車輪５１、５２を有し、室外機１００を搭載して、室外機１００を搬送する。
【0023】
真空処理装置１Ａは、このような構成を備え、上述した室外機１００の製造方法の工程のうち、ステップＳ１１０の冷媒回路の真空引きに使用される。その冷媒回路の真空引きでは、その処理が適正に行われたか否かを知るため、冷媒回路にリーク、アウトガスの発生等の圧力異常があるかどうかを検査できることが望ましい。特許文献１に記載の真空処理装置では、上述したように真空ポンプ４０で真空引きをした後の圧力変化の波形データから圧力異常の有無を検査する。そこで、特許文献１に記載の真空処理装置を室外機１００の製造方法のステップＳ１１０に使用することが考えられる。
【0024】
しかしながら、特許文献１に記載の真空処理装置を室外機１００の製造方法のステップＳ１１０で使用したとすると、室外機１００の冷媒回路の真空引きが完了してから測定した、冷媒回路の内部空間の圧力変化の波形データを用いて圧力異常の有無を検査する。このため、真空引き開始から検査完了までに時間がかかってしまう。また、検査した結果、圧力異常があると判定された室外機１００の冷媒回路も、結果として真空引きをするので、真空処理の効率が低下してしまう。
【0025】
そこで、真空処理装置１Ａは、真空処理の効率を高めるため、真空引きの途中で室外機１００の冷媒回路に圧力異常がないか検査することができる制御装置６０Ａを備える。次に、図３－図７、図８Ａ、図８Ｂ、図９Ａおよび図９Ｂを参照して制御装置６０Ａの構成について説明する。
【0026】
【0027】
制御装置６０Ａは、図３に示すように、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）６０１、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ－Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）６０２およびＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）６０３を含むコンピュータと、記憶装置６０４と、計時部６０５とを備える。これらＣＰＵ６０１、ＲＯＭ６０２、ＲＡＭ６０３、記憶装置６０４および計時部６０５は、バスライン６０６によって接続されている。そして、記憶装置６０４は、後述する図５に示す基準ＤＢ（Ｄａｔａｂａｓｅ）記憶部６０７、閾値データ記憶部６０８を有する。また、計時部６０５は、例えば、リアルタイムクロックであり、時刻情報を出力する。制御装置６０Ａは、ＣＰＵ６０１がＲＯＭ６０２に記憶された各種プログラムをＲＡＭ６０３に読み出して実行することにより、真空処理装置１Ａの各部品を制御する各種処理を行う。例えば、制御装置６０Ａは、ＣＰＵ６０１が検査プログラムを実行することにより、真空引きした室外機１００の冷媒回路に圧力異常がないか検査する検査処理を行う。
【0028】
制御装置６０Ａは、図３に示すように、Ｉ／Ｏポート（Ｉｎｐｕｔ／Ｏｕｔｐｕｔ Ｐｏｒｔ）６０９を備える。そのＩ／Ｏポート６０９には、真空ポンプ４０の排気開始、排気終了等の排気状態の情報を得るため、真空ポンプ４０が備えるコントローラ４１が電気的に接続されている。また、Ｉ／Ｏポート６０９には、真空引きでの圧力情報を得るため、圧力センサ２０が電気的に接続されている。
【0029】
また、Ｉ／Ｏポート６０９には、上述した検査処理の検査結果に基づいて真空引きを制御するため、排気弁３０に電気的に接続されている。さらに、Ｉ／Ｏポート６０９には、上記の検査結果に基づいて動作させるため、搬送装置５０が電気的に接続されている。また、上記の検査結果を表示してオペレータに報知するため、液晶ディスプレイ、ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ）等である表示装置７０が電気的に接続されている。
【0030】
制御装置６０Ａは、このような装置、機器と電気的に接続され、それら装置、機器から得た情報を用いて上述した検査処理を行う。または、上述した検査処理の検査結果をそれら装置、機器に出力して制御する。
【0031】
この検査処理は、上述したように、真空引きした室外機１００の冷媒回路に圧力異常がないか検査する処理である。この検査処理は、室外機１００の冷媒回路の真空引きを開始してから真空引きを終了後一定の時間が経過するまでの間の冷媒回路の内部空間の圧力変化の特徴に基づいて検査する。その冷媒回路の内部空間の圧力変化を図４に示す。
【0032】
図４は、室外機１００の冷媒回路の内部空間を真空引きしたときの圧力の推移の一例を示すグラフである。なお、図４では、グラフの横軸が真空ポンプ４０で室外機１００の冷媒回路の内部空間を真空引き、すなわち排気してからの経過した時間Ｔを示している。グラフの縦軸は、そのときに圧力センサ２０が測定したセンサ圧力Ｐを示している。また、グラフの折れ線グラフＧ１は、良品の冷媒回路を真空引きしたときの圧力センサ２０の測定圧力の推移を示している。折れ線グラフＧ２は、アウトガスの発生がある不良品の冷媒回路を真空引きしたときの圧力センサ２０の測定圧力の推移を示している。折れ線グラフＧ３は、リークがある不良品の冷媒回路を真空引きしたときの圧力センサ２０の測定圧力の推移を示している。
【0033】
図４の折れ線グラフＧ１－Ｇ３に示すように、室外機１００の冷媒回路の内部空間を真空ポンプ４０で排気すると、大気圧Ｐ０から時間Ｔが経過するに従いセンサ圧力Ｐが低下していく。そして、決められた排気時間Ｔｅが経過した後、排気弁３０が閉じられるとその直後にセンサ圧力Ｐが急に上昇する。これは、圧力センサ２０の測定箇所は、真空ポンプ４０に近く圧力が下がりやすいのに対し、室外機１００の冷媒回路の内部空間は、真空ポンプ４０から離れて配管抵抗が大きく圧力が下がりにくいからである。これにより、測定箇所と冷媒回路の内部空間に差圧が生じているからである。その結果、排気弁３０が閉じられると、圧力を均一化する圧力平準化作用が働き、測定箇所の圧力が上昇するからである。
【0034】
排気弁３０を閉じた後、圧力平準化作用により圧力が均一化されると、折れ線グラフＧ１に示すようにセンサ圧力Ｐが一定の圧力に落ち着く。そして、良品の場合、排気時間Ｔｅから一定の時間経過した時間Ｔｄ１でセンサ圧力Ｐが目標圧力Ｐｔ以下を保つ。
【0035】
これに対して、室外機１００の冷媒回路の内部空間で気化した残留水分、非凝縮性ガス等のアウトガスが発生している場合、折れ線グラフＧ２に示すように、排気開始から排気時間Ｔｅが経過するまでの間にセンサ圧力Ｐが低下しにくい。さらに、排気時間Ｔｅが経過した後、圧力平準化作用に加えてアウトガスの影響があるため、折れ線グラフＧ１の場合よりも急激にセンサ圧力Ｐが上昇する。そして、アウトガスの発生が時間の経過と共に落ち着く結果、センサ圧力Ｐは、目標圧力Ｐｔよりも高いものの、一定の圧力となる。
【0036】
なお、例えば、室外機１００の冷媒管１４０の変形により、室外機１００の冷媒回路の内部空間に詰まりがある場合、配管抵抗が大きくなるため、排気開始から排気時間Ｔｅが経過するまでの間にセンサ圧力Ｐが低下しにくい。さらに、配管抵抗が大きいため測定箇所と冷媒回路の内部空間との差圧が大きく、排気時間Ｔｅが経過した後、圧力平準化作用が大きくなる。その結果、センサ圧力Ｐの推移波形は、折れ線グラフＧ２に類似した波形となる。
【0037】
また、室外機１００の冷媒回路にリークがある場合、折れ線グラフＧ３に示すように、排気開始から排気時間Ｔｅが経過するまでの間にセンサ圧力Ｐがさらに低下しにくい。排気時間Ｔｅが経過した後、圧力平準化作用に加えてリークの影響を受けるため、さらに急激にセンサ圧力Ｐが上昇していき、折れ線グラフＧ２のように一定の圧力とならない。
【0038】
このように、室外機１００の冷媒回路の良品、アウトガスが発生する不良品、リークがある不良品のそれぞれで、内部空間を真空引きしたときの圧力の推移の波形に特徴がある。制御装置６０Ａが行う、上述した検査処理は、このような特徴を利用して検査する処理である。
【0039】
制御装置６０Ａは、この検査処理を行うため、ソフトウェアとして構成される各種ブロックを備える。図５にそれらブロックを示す。
【0040】
【0041】
制御装置６０Ａは、図５に示すように、基準データ生成部６１、予測部６２Ａ、圧力異常検出部６３およびデータ更新部６４を備える。
【0042】
基準データ生成部６１は、圧力センサ２０が測定した圧力データから室外機１００の冷媒回路に圧力異常がないか検査するための基準となる基準データを作成するために設けられている。
【0043】
その基準データについて説明すると、基準データには（１）室外機１００の冷媒回路の良品を実際に真空引きしたときの圧力の推移のデータから作成される場合と、（２）室外機１００の冷媒回路の内部空間の圧力を求める理論式を用いて作成される場合とがある。
【0044】
基準データ生成部６１は、（１）の場合、制御装置６０Ａが備える基準ＤＢ記憶部６０７に記憶された基準ＤＢを用いる。図６に基準ＤＢ６１０を示す。
【0045】
図６は、制御装置６０Ａの基準ＤＢ記憶部６０７に記憶された基準ＤＢ６１０のデータ構成図である。
【0046】
図６に示すように、基準ＤＢ６１０には、機種１～ｌ毎に、ｎ個（ｎ＝１，２，３…ｎ）の冷媒回路を真空引きしたときの、各冷媒回路の真空引き開始、すなわち排気開始から経過時間ｔ１、ｔ２、ｔ３・・・ｔｍまでの圧力の推移のデータが格納されている。
【0047】
ここで、機種とは、真空処理装置１Ａでは複数の種類の室外機１００の冷媒回路が真空処理されるが、その複数の種類のことである。また、ここでいう冷媒回路は、上述した不良品の回路ではなく、リーク、アウトガスの発生、配管抵抗の異常等の不具合のない良品の回路のことである。
【0048】
図５に示す基準データ生成部６１は、基準ＤＢ記憶部６０７から上述した基準ＤＢ６１０を読み出す。また、真空処理装置１Ａには、図示しないが、キーボード、タッチパネル等の入力装置が接続されており、その入力装置から、真空処理装置１Ａが処理する室外機１００の冷媒回路の機種情報が入力される。基準データ生成部６１は、読み出した基準ＤＢ６１０のうち、入力された機種に該当する部分のｎ個の冷媒回路データを用いて、その機種の排気開始から経過時間ｔ１、ｔ２、ｔ３・・・ｔｍの各時間での圧力値の平均値ｐｌｉを以下に示す数式１を適用して求める。これにより、基準データ生成部６１は、良品の真空引きでの平均的な圧力推移の波形データを求め、求めた波形データを基準データとする。
【0049】
【数1】
【0050】
なお、基準データ生成部６１は、基準ＤＢ６１０が更新されて、図６に示す基準ＤＢ６１０にｎ＋１個目の冷媒回路データが追加された場合、２個目からｎ＋１個目までの冷媒回路データを用いて、上述した平均値ｐｌｉを求める。要するに移動平均を求める。
【0051】
これに対して、基準ＤＢ６１０に上述した入力装置から入力された機種のデータが存在しない場合、基準データ生成部６１は、上記の（２）の理論式を用いて基準データを得る。
【0052】
詳細には、真空排気系の回路は、圧力Ｐ［Ｐａ］、流量Ｑ［Ｐａ・ｍ３・ｓ―１］、抵抗１／Ｃ［ｓ・ｍ－３］を用いることで電気回路と同様に考えることができる結果、真空排気系の回路には、電気回路で成立するキルヒホッフの法則を適用できる。したがって、ｎ個の点と隣り合う任意の点ｘで成り立つ流入・流出する流量の保存式は以下の数式２で表すことができる。
【0053】
【数2】
【0054】
なお、ここでいう任意の点ｘとは、例えば圧力センサ２０の位置である。また、Ｐｘ［Ｐａ］は任意の点ｘの圧力であり、Ｐｘ‘［Ｐａ］は任意の点ｘの時間Δｔ前の圧力である。Ｐｙ［Ｐａ］は任意の点ｘと抵抗１／Ｃｘｙ［ｓ・ｍ－３］を挟んで流量が出入りする点ｙの圧力である。Ｑｘ［Ｐａ・ｍ３・ｓ―１］は任意の点ｘで発生する流量である。Ｖｘ［ｍ３］は任意の点ｘが持つ容積である。
【0055】
任意の点数だけ数式２を用い、Ｖｘ、１／Ｃｘｙを入力装置から入力し、さらに、真空ポンプ４０の排気速度を境界条件として与えて連立することにより、任意の点での圧力応答データが算出される。
【0056】
基準データ生成部６１は、このような理論式を用いて、室外機１００の理想的な冷媒回路を真空引きしたときの圧力推移の波形データを求める。そして、求めた波形データを基準データとする。
【0057】
基準データ生成部６１は、上記（１）または（２）で基準データを求めると、その基準データを予測部６２Ａに送信する。また、基準データ生成部６１は、（２）で基準データを求めた場合、その基準データを基準ＤＢ６１０に格納する。これにより、求めた基準データを次回の基準データの生成に活用する。
【0058】
図５に戻って、予測部６２Ａは、室外機１００の冷媒回路の内部空間の真空引き中に目標真空度、すなわち、図４に示す目標圧力Ｐｔまで到達するか否かを予め判定して、目標圧力Ｐｔまで到達しない室外機１００の冷媒回路の真空引きを中断することにより、作業効率を高めるために設けられている。
【0059】
詳細には、予測部６２Ａは、真空ポンプ４０の動作開始後、上述した図示しない入力装置から機種情報、起動信号等を受信した場合に、排気弁３０を開くと共に、図３に示す計時部６０５を用いて排気開始から経過した時間を計時する。また、予測部６２Ａは、圧力センサ２０が定期的に出力する圧力データを受信していく。
【0060】
一方、図５に示す閾値データ記憶部６０８には、予測に用いる各種パラメータ、詳細には、予測検討時間、第１閾値および、第１変化率閾値が予め記憶されている。予測部６２Ａは、閾値データ記憶部６０８からこれらパラメータを読み出す。なお、これらパラメータは、機種別であることが望ましいが、以下、理解を容易にするため、機種に共通のパラメータであるものとする。予測部６２Ａは、経過時間が読み出した予測検討時間に達すると、それまでに受信した圧力センサ２０の複数の圧力データからその予測検討時間での圧力の値を特定し、特定した圧力の値と、基準データ生成部６１から受信した基準データの予測検討時間での圧力の値とを比較して、予測検討時間での圧力推移の波形が目標の波形か否かを判定する。このときの圧力推移の波形を図７に示す。
【0061】
図７は、予測部６２Ａが受信した圧力データから得られる圧力推移の波形と基準データの波形を示すグラフである。なお、図７では、グラフの横軸が真空ポンプ４０で室外機１００の冷媒回路の内部空間の真空引きをしてから経過した時間Ｔを示している。グラフの縦軸は、そのときのセンサ圧力Ｐを示している。また、折れ線グラフＧ４は、センサ圧力Ｐの推移を示している。折れ線グラフＧ５は、基準データの圧力値の推移を示している。
【0062】
予測部６２Ａは、図７に示す予測検討時間Ｔｐでのセンサ圧力Ｐの値から基準データの予測検討時間Ｔｐでの圧力の値を減算することにより差圧δＰ１を求める。予測部６２Ａは、圧力推移の波形が目標の波形に近接するか検査するため、求めた差圧δＰ１が閾値データ記憶部６０８から読み出した第１閾値よりも大きいか否かを判定する。
【0063】
予測部６２Ａは、差圧δＰ１が第１閾値よりも大きいと判定した場合、目標圧力Ｐｔまで到達せず、また圧力推移が目標の波形にならないと予測し、真空引きされている室外機１００の冷媒回路に異常がある不良品であると判定する。また、排気弁３０を閉じて、室外機１００の冷媒回路の真空引きを中止する。これにより、予測部６２Ａは、真空処理装置１Ａの真空処理の作業効率を高める。
【0064】
一方、予測部６２Ａは、差圧δＰ１が第１閾値以下であると判定した場合、室外機１００の冷媒回路に他の異常がないかを判定するため、続いて、図７に示す予測検討時間Ｔｐでのセンサ圧力Ｐの圧力変化率、すなわち、一定の時間当たりの圧力変化ΔＰ１／ΔＴ１の値を算出する。予測部６２Ａは、圧力推移の波形が目標の波形に似た波形変化であるかを検査するため、算出した圧力変化率が閾値データ記憶部６０８から読み出した第１変化率閾値よりも大きいか否かを判定する。
【0065】
予測部６２Ａは、圧力変化率が第１変化率閾値よりも大きいと判定した場合、この場合も目標圧力Ｐｔまで到達せず、圧力推移が目標の波形にならないと予測して不良品であると判定する。そして、予測部６２Ａは、真空処理の作業効率を高めるため、排気弁３０を閉じて室外機１００の冷媒回路の真空引きを中止する。
【0066】
一方、予測部６２Ａは、圧力変化率が第１変化率閾値以下であると判定した場合、目標圧力Ｐｔまで到達するものと扱い、排気開始から決められた排気時間Ｔｅを経過するまで、室外機１００の冷媒回路の真空引きを継続させる。そして、予測部６２Ａは、決められた排気時間Ｔｅを経過すると、排気弁３０へ閉信号を出力して排気弁３０を閉鎖させる。
【0067】
図５に戻って、圧力異常検出部６３は、室外機１００の冷媒回路の内部空間の真空引きが完了した後に冷媒回路に圧力異常がある不良がないかを検出するために設けられている。
【0068】
詳細には、圧力異常検出部６３は、予測部６２Ａが排気弁３０へ閉信号を出力すると、図３に示す計時部６０５を用いて排気時間Ｔｅから経過した時間、すなわち、排気終了から経過した時間を計時する。また、圧力異常検出部６３は、圧力センサ２０が定期的に出力する圧力データを受信していく。
【0069】
一方、圧力異常検出部６３は、上述した理論式を用いて排気弁３０が閉じられた場合の室外機１００の冷媒回路の内部空間の圧力推移を算出する。以下、理論式を用いて算出された、理想的な圧力推移のデータのことを、理論データと呼ぶものとする。
なお、予め算出しておいた理論データを図５に示す閾値データ記憶部６０８に判定用データとして記憶させておき、圧力異常検出部６３がその理論データを読み出してもよい。
なお、予め算出しておいた理論データを図５に示す閾値データ記憶部６０８に判定用データとして記憶させておき、圧力異常検出部６３がその理論データを読み出してもよい。
【0070】
また、図５に示す閾値データ記憶部６０８には、圧力異常の検出に用いる各種パラメータ、詳細には、検出開始時間、第２閾値、第２変化率閾値および第３変化率閾値が予め記憶されている。圧力異常検出部６３は、閾値データ記憶部６０８からこれら検出開始時間、第２閾値、第２変化率閾値および第３変化率閾値を読み出す。圧力異常検出部６３は、排気時間Ｔｅから経過した時間が読み出した検出開始時間である場合に、それまでに圧力センサ２０から受信した圧力データの、経過時間それぞれに対応付けられた圧力値それぞれから、上述した理論データの経過時間それぞれに対応付けられた圧力値それぞれを差し引いて、経過時間それぞれでの差圧を求める。そして、圧力異常検出部６３は、求めた差圧データを用いてリークの異常がある場合の波形であるか否かを判定する。以下に図８Ａ、図８Ｂにリークの異常がある場合の波形を示し、図８Ａ、図８Ｂを参照してその判定方法を詳細に説明する。
【0071】
図８Ａは、圧力異常検出部６３が受信した圧力データから得られる圧力推移の波形がリークの異常がある場合の、その波形を示すグラフである。図８Ｂは、図８Ａに示すリークの異常がある場合の圧力推移の波形の各時間での圧力値から理論データの圧力推移の波形の各時間での圧力値を差し引いて得た差圧のグラフである。
【0072】
なお、図８Ａと図８Ｂでは、グラフの横軸は、排気弁３０を閉じてから経過した時間ＴＶを示している。図８Ａでは、グラフの縦軸はセンサ圧力Ｐを示し、図８Ｂでは、グラフの縦軸は差圧δＰを示している。また、図８Ａに示す折れ線グラフＧ６は、圧力異常検出部６３が受信した、リークの異常がある場合の圧力データの圧力推移を示している。また、折れ線グラフＧ７は、理論データの圧力推移を示している。図８Ｂに示す折れ線グラフＧ８は、図８Ａに示す折れ線グラフＧ６の各時間での圧力から折れ線グラフＧ７の各時間での圧力を差し引いて得た差圧を示している。
【0073】
リークの異常がある場合、図８Ａに示すように、圧力は、時間が経過する程、高くなる。そこで、圧力異常検出部６３は、排気弁３０の閉鎖直後ではなく、排気弁３０の閉鎖から一定の時間が経過した上述した検出開始時間Ｔｄでの圧力の値を用いてリークの異常がある場合の波形であるか否かを判定する。より具体的には、圧力異常検出部６３は、求めた差圧データのうち、図８Ｂに示す検出開始時間Ｔｄでの差圧δＰ３が、閾値データ記憶部６０８から読み出した第２閾値よりも大きいか否かを判定する。
【0074】
【0075】
圧力異常検出部６３は、差圧δＰ３が第２閾値以下であると判定した場合、圧力変化が理論値に近い冷媒回路であると認定し、その冷媒回路を良品と判定する。
【0076】
一方、圧力異常検出部６３は、差圧δＰ３が第２閾値よりも大きいと判定した場合、リーク異常がある可能性があると判定する。圧力異常検出部６３は、リーク、アウトガスの発生等の要因を明らかにするため、続けて、図８Ｂに示す検出開始時間Ｔｄでの差圧δＰ３の一定の時間当たりの圧力変化であるΔＰ３／ΔＴ３の値、すなわち、差圧δＰ３の変化率を算出する。そして、圧力異常検出部６３は、算出した差圧δＰ３の変化率が閾値データ記憶部６０８から読み出した第２変化率閾値よりも大きいか否かを判定する。圧力異常検出部６３は、差圧δＰ３の変化率が第２変化率閾値よりも大きいと判定した場合、室外機１００の冷媒回路の圧力変化が大きく、リークがあるものと判定する。そして、その室外機１００の冷媒回路を不良と判定する。圧力異常検出部６３は、差圧δＰ３の変化率が第２変化率閾値以下であると判定した場合、室外機１００の冷媒回路の圧力変化が小さく、室外機１００の冷媒回路をリークがない良品と判定する。
【0077】
また、圧力異常検出部６３は、差圧データを用いて、アウトガスの発生による異常がある場合の波形であるか否か、または配管抵抗の異常がある場合の波形であるか否かを判定する。以下に図９Ａ、図９Ｂにリークの異常がある場合の波形を示し、図９Ａ、図９Ｂを参照してその判定方法を詳細に説明する。
【0078】
図９Ａは、圧力異常検出部６３が受信した圧力データから得られる圧力推移の波形がアウトガスの発生の異常がある場合の、その波形を示すグラフである。図９Ｂは、図９Ａに示すアウトガスの発生の異常がある場合の圧力推移の波形の各時間での圧力値から理論データの圧力推移の波形の各時間での圧力値を差し引いて得た差圧のグラフである。
【0079】
なお、図９Ａと図９Ｂのグラフの横軸と縦軸が示すものは、図８Ａと図８Ｂの場合と同じである。また、図９Ａに示す折れ線グラフＧ９は、圧力異常検出部６３が受信した、アウトガスの発生の異常がある場合の圧力データの圧力推移を示している。また、折れ線グラフＧ１０は、理論データの圧力推移を示している。図９Ｂに示す折れ線グラフＧ１１は、図９Ａに示す折れ線グラフＧ９の各時間での圧力から折れ線グラフＧ１０の各時間での圧力を差し引いて得た差圧を示している。
【0080】
アウトガスの発生の異常がある場合、図９Ａおよび図９Ｂに示すように、排気弁３０の閉鎖直後と、排気弁３０の閉鎖から一定の時間が経過した検出開始時間Ｔｄとの両タイミングで圧力推移の波形が特徴的である。この圧力推移の波形の特徴は、配管抵抗の異常がある場合も同様である。そこで、圧力異常検出部６３は、排気弁３０の閉鎖直後と検出開始時間Ｔｄの両タイミングでの圧力からアウトガスの発生の異常または配管抵抗の異常がある場合の波形であるか否かを判定する。
【0081】
詳細には、圧力異常検出部６３は、図９Ｂに示す排気弁３０閉鎖直後の時間Ｔ０での差圧δＰ２の変化率、すなわち、差圧δＰ２の一定の時間当たりの圧力変化であるΔＰ２／ΔＴ２の値を算出する。ここで、排気弁３０閉鎖直後とは、排気弁３０閉鎖から数秒、数十秒経過しただけの短い時間を含む。そして、圧力異常検出部６３は、算出した差圧δＰ２の変化率から、上記のリークの異常の検査で算出した差圧δＰ３の変化率を減算して（ΔＰ２／ΔＴ２）－（ΔＰ３／ΔＴ３）の値、すなわち、変化率の差を求める。圧力異常検出部６３は、求めた変化率の差が、閾値データ記憶部６０８から読み出した第３変化率閾値よりも大きいか否かを判定する。
【0082】
圧力異常検出部６３は、差圧δＰ２の変化率と差圧δＰ３の変化率との変化率の差が第３変化率閾値よりも大きいと判定した場合、排気弁３０の閉鎖直後と一定の時間が経過した検出開始時間Ｔｄとの間で圧力の変化が大きい冷媒回路であると認定し、その冷媒回路にアウトガスの発生または配管抵抗の異常があると判定する。これにより、圧力異常検出部６３は、室外機１００の冷媒回路の不良を検出する。一方、圧力異常検出部６３は、差圧δＰ２の変化率と差圧δＰ３の変化率との変化率の差が第３変化率閾値以下であると判定した場合、圧力変化が小さい冷媒回路であると認定し、その冷媒回路を良品と判定する。
【0083】
図５に戻って、データ更新部６４は、圧力異常検出部６３が室外機１００の冷媒回路を良品と判定した場合に、その良品と判定された冷媒回路の、排気開始から予測検討時間Ｔｐに達するまでに圧力センサ２０から受信した圧力データを、予測部６２Ａから取得する。そして、データ更新部６４は、取得した圧力データを基準ＤＢ記憶部６０７に記憶された基準ＤＢ６１０に格納する。これにより、データ更新部６４は、基準ＤＢ６１０を更新する。
【0084】
【0085】
以下の説明では、真空ポンプ４０に例えば、キーボード、タッチパネルの入力装置があり、その入力装置に起動ボタンと機種設定ボタンがあるものとする。そして、オペレータが、真空処理対象の室外機１００の接続管１４１、１４２に、弁１１、１２を介して真空処理装置１Ａの配管１３を接続して真空処理のセッティングを行うものとする。そして、オペレータが機種設定ボタンで室外機１００の機種設定を行って機種情報が入力されるものとする。その後、真空処理を施すため、起動ボタンが押されるものとする。
【0086】
図１０は、制御装置６０Ａが行う検査処理のフローチャートである。図１１は、検査処理で行われる基準データ生成処理のフローチャートである。図１２は、検査処理で行われる予測処理のフローチャートである。図１３は、検査処理で行われる圧力異常検出処理のフローチャートである。
【0087】
まず、オペレータが真空処理対象の室外機１００のセッティングを行い、機種設定ボタンで室外機１００の機種設定を行った後、起動ボタンを押す。オペレータが起動ボタン押すと、その起動信号により、ＣＰＵ６０１がＲＯＭ６０２に記憶された検査プログラムを読み出して実行する。これにより、図１０に示す検査処理のフローが開始される。
【0088】
検査処理のフローが開始されると、まず、図１０に示すように、制御装置６０Ａは基準データ生成処理を行う（ステップＳ１）。
【0089】
その基準データ生成処理では、図１１に示すように、制御装置６０Ａは、基準ＤＢ６１０に現在機種データがあるか否か判定する（ステップＳ１１）。詳細には、オペレータによって上述した機種設定ボタンから真空処理対象の室外機１００の機種設定が行われるが、制御装置６０Ａは、その機種設定で設定された現在機種情報を真空ポンプ４０のコントローラ４１から取得する。そして、制御装置６０Ａは、基準ＤＢ記憶部６０７に記憶された基準ＤＢ６１０を読み出し、その基準ＤＢ６１０に現在機種に関するデータがあるか否かを判定する。
【0090】
制御装置６０Ａは、現在機種データがあると判定した場合（ステップＳ１１のＹｅｓ）、基準ＤＢ６１０から基準データを生成する（ステップＳ１２）。詳細には、制御装置６０Ａは、基準ＤＢ６１０に格納された現在機種の該当する部分の冷媒回路データを用いて、圧力推移の波形データを求め、求めた波形データを基準データとする。
【0091】
一方、制御装置６０Ａは、現在機種データがないと判定した場合（ステップＳ１１のＮｏ）、理論式から基準データを生成する（ステップＳ１３）。詳細には、制御装置６０Ａは、上述した理論式を用いて、室外機１００の理想的な冷媒回路を真空引きしたときの圧力推移の波形データを求め、求めた波形データを基準データとする。そして、基準データを生成すると、その基準データを基準ＤＢ６１０に格納する（ステップＳ１４）。
【0092】
制御装置６０Ａは、ステップＳ１２またはステップＳ１４を行うと、基準データ生成処理を終了させて図１０に示す検査処理に戻る。
【0093】
図１０に戻って、ステップＳ１の基準データ生成処理に続いて、制御装置６０Ａは予測処理を行う（ステップＳ２）。
【0094】
そのステップＳ２では、制御装置６０Ａは、図１２に示すように、閾値データ記憶部６０８から各種パラメータを読み出す（ステップＳ２０１）。詳細には、制御装置６０Ａは、閾値データ記憶部６０８から予測検討時間Ｔｐ、第１閾値および、第１変化率閾値を読み出す。図示しないが、ステップＳ２０１を行うときに、基準データ生成処理という準備が終わっているため、制御装置６０Ａは、開信号を送信して、排気弁３０を開いて真空引きを開始すると共に、真空引きを開始してからの時間を計時する。
【0095】
続いて、制御装置６０Ａは、計時した時間が閾値データ記憶部６０８から読み出した予測検討時間Ｔｐか否かを判定する（ステップＳ２０２）。制御装置６０Ａは、計時した時間が予測検討時間Ｔｐでないと判定した場合（ステップＳ２０２のＮｏ）、ステップＳ２０２の前に戻る。これにより、計時した時間が予測検討時間Ｔｐでなるまでステップを繰り返す。
【0096】
一方、制御装置６０Ａは、計時した時間が予測検討時間Ｔｐであると判定した場合（ステップＳ２０２のＹｅｓ）、予測検討時間Ｔｐでのセンサ圧力Ｐと基準データの差圧δＰ１を算出する（ステップＳ２０３）。詳細には、圧力センサ２０が定期的に圧力データを送信するが、制御装置６０Ａは、その圧力データを受信している。制御装置６０Ａは、予測検討時間Ｔｐに受信したセンサ圧力Ｐの値からステップＳ１２またはＳ１３で生成した基準データのうちの予測検討時間Ｔｐでの圧力の値を減算することにより差圧δＰ１を算出する。
【0097】
続いて、制御装置６０Ａは、算出した差圧δＰ１が第１閾値以下であるか否かを判定する（ステップＳ２０４）。ここで、第１閾値は、ステップＳ２０１で読み出したパラメータである。制御装置６０Ａは、差圧δＰ１が第１閾値よりも大きいと判定した場合（ステップＳ２０４のＮｏ）、ステップＳ２０８へ進む。そのステップＳ２０８については後述する。
【0098】
一方、制御装置６０Ａは、差圧δＰ１が第１閾値以下であると判定した場合（ステップＳ２０４のＹｅｓ）、圧力変化率ΔＰ１／ΔＴ１を算出する（ステップＳ２０５）。詳細には、制御装置６０Ａは、予測検討時間Ｔｐでのセンサ圧力Ｐの圧力変化率、すなわちΔＰ１／ΔＴ１の値を算出する。
【0099】
続いて、制御装置６０Ａは、算出した圧力変化率が第１変化率閾値以下であるか否かを判定する（ステップＳ２０６）。ここで、第１変化率閾値は、ステップＳ２０１で読み出したパラメータである。そして、制御装置６０Ａは、圧力変化率が第１変化率閾値以下であると判定した場合（ステップＳ２０６のＹｅｓ）、真空処理対象の室外機１００の冷媒回路を、目標圧力Ｐｔまで到達すると予測される良品と判定する（ステップＳ２０７）。制御装置６０Ａは、真空処理対象の室外機１００の冷媒回路が良品と予測される旨を図３に示す表示装置７０に表示する。
【0100】
制御装置６０Ａは、このステップＳ２０７の後、図示しないが、決められた排気時間Ｔｅまで排気弁３０を開けたままにして、真空引きを続ける。そして、制御装置６０Ａは、計時していた時間が排気時間Ｔｅになると、閉信号を送信して、排気弁３０を閉じる。また、上述した計時を終了させる。その後、制御装置６０Ａは予測処理を終了させて図１０に示す検査処理に戻る。
【0101】
一方、制御装置６０Ａは、圧力変化率が第１変化率閾値よりも大きい判定した場合（ステップＳ２０６のＮｏ）、真空処理対象の室外機１００の冷媒回路を、目標圧力Ｐｔまで到達しないと予測される不良品と判定する（ステップＳ２０８）。そして、制御装置６０Ａは、真空処理対象の室外機１００の冷媒回路が不良品と予測されることを表示装置７０に表示し、これより真空処理を中止することをオペレータに報知する。
【0102】
続いて、制御装置６０Ａは、排気弁３０を閉鎖する（ステップＳ２０９）。詳細には、制御装置６０Ａは、排気弁３０へ閉信号を送信して排気弁３０を閉じさせる。これにより、制御装置６０Ａは、不良品への真空処理を中止して真空処理の効率を高める。また、上述した計時を終了させる。制御装置６０Ａは、ステップＳ２０９を行うと、予測処理を終了させて図１０に示す検査処理に戻る。
【0103】
図１０に戻って、ステップＳ２の予測処理に続いて、制御装置６０Ａは圧力異常検出処理を行う（ステップＳ３）。
【0104】
そのステップＳ３では、図示しないが、制御装置６０Ａは、排気弁３０への閉信号の送信後に続いて、排気弁３０の閉鎖後から経過した時間を計るため、新たな計時を開始する。そして、図１３に示すように、制御装置６０Ａは、理想的な圧力推移である理論データを算出する（ステップＳ３０１）。詳細には、制御装置６０Ａは、上述した理論式を用いて、排気弁３０が閉じられた場合の室外機１００の冷媒回路の内部空間の圧力の理想的な推移のデータ、すなわち理論データを算出する。
【0105】
次に、制御装置６０Ａは、閾値データ記憶部６０８から各種パラメータを読み出す（ステップＳ３０２）。詳細には、制御装置６０Ａは、閾値データ記憶部６０８から検出開始時間Ｔｄ、第２閾値、第２変化率閾値および第３変化率閾値を読み出す。
【0106】
続いて、制御装置６０Ａは、計時した時間が閾値データ記憶部６０８から読み出した検出開始時間Ｔｄか否かを判定する（ステップＳ３０３）。制御装置６０Ａは、計時した時間が検出開始時間Ｔｄでないと判定した場合（ステップＳ３０３のＮｏ）、ステップＳ３０３の前に戻る。これにより、計時した時間が検出開始時間Ｔｄでなるまでステップを繰り返す。
【0107】
一方、制御装置６０Ａは、計時した時間が検出開始時間Ｔｄであると判定した場合（ステップＳ３０３のＹｅｓ）、センサ圧力Ｐと理論データの差圧の推移を算出する（ステップＳ３０４）。詳細には、制御装置６０Ａは、圧力センサ２０が定期的に送信する圧力データＰを受信しているが、検出開始時間Ｔｄでなるまでの間に受信した圧力データＰの経過時間それぞれに対応付けられた圧力値それぞれから、上述した理論データの経過時間それぞれに対応付けられた圧力値それぞれを差し引いて、経過時間それぞれでの差圧を求める。
【0108】
続いて、制御装置６０Ａは、検出開始時間Ｔｄでの差圧δＰ３が第２閾値より大きいか否かを判定する（ステップＳ３０５）。詳細には、制御装置６０Ａは、ステップＳ３０４で求めた差圧の推移から検出開始時間Ｔｄでの差圧δＰ３を求める。そして、求めた差圧δＰ３がステップＳ３０２で読み出した第２閾値より大きいか否かを判定する。
【0109】
制御装置６０Ａは、検出開始時間Ｔｄでの差圧δＰ３が第２閾値以下であると判定した場合（ステップＳ３０５のＮｏ）、真空処理対象の室外機１００の冷媒回路を異常なしと判定する（ステップＳ３０６）。換言すると、その室外機１００の冷媒回路を良品と判定する。制御装置６０Ａは、その判定結果を表示装置７０に表示する。
【0110】
一方、制御装置６０Ａは、検出開始時間Ｔｄでの差圧δＰ３が第２閾値よりも大きいと判定した場合（ステップＳ３０５のＹｅｓ）、リーク異常の可能性があるものとして、次の検査のため、検出開始時間Ｔｄでの差圧δＰ３の変化率ΔＰ３／ΔＴ３を算出する（ステップＳ３０７）。続いて、制御装置６０Ａは、算出した差圧δＰ３の変化率が第２変化率閾値よりも大きいか否かを判定する（ステップＳ３０８）。
【0111】
制御装置６０Ａは、差圧δＰ３の変化率が第２変化率閾値以下であると判定した場合（ステップＳ３０８のＮｏ）、真空処理対象の室外機１００の冷媒回路の圧力変化が小さく、リーク異常なしと判定する（ステップＳ３０９）。すなわち、真空処理対象の室外機１００の冷媒回路を良品と判定する。制御装置６０Ａは、その冷媒回路にリーク異常がなく、冷媒回路が良品であることを表示装置７０に表示する。制御装置６０Ａは、ステップＳ３０９の後、後述するステップＳ３１１へ進む。
【0112】
一方、制御装置６０Ａは、差圧δＰ３の変化率が第２変化率閾値よりも大きいと判定した場合（ステップＳ３０８のＹｅｓ）、真空処理対象の室外機１００の冷媒回路の圧力変化が大きく、リーク異常ありと判定する（ステップＳ３１０）。すなわち、その室外機１００の冷媒回路を不良品と判定する。制御装置６０Ａは、真空処理対象の室外機１００の冷媒回路にリーク異常があり、その冷媒回路が不良品であることを表示装置７０に表示する。そして、制御装置６０Ａは、次のステップＳ３１１へ進む。
【0113】
続いて、アウトガスの発生または、配管抵抗異常の検査を行うため、排気弁３０閉鎖直後の時間Ｔ０での差圧δＰ２の変化率ΔＰ２／ΔＴ２を算出する（ステップＳ３１１）。そして、算出した差圧δＰ２の変化率ΔＰ２／ΔＴ２からステップＳ３０７で算出した差圧δＰ３の変化率ΔＰ３／ΔＴ３を減算して得た値が、ステップＳ３０２で読み出した第３変化率閾値よりも大きいか否かを判定する（ステップＳ３１２）。これにより、排気弁３０閉鎖直後の時間Ｔ０と検出開始時間Ｔｄで圧力変化がどの程度あるかを判定する。
【0114】
制御装置６０Ａは、差圧δＰ２の変化率ΔＰ２／ΔＴ２から差圧δＰ３の変化率ΔＰ３／ΔＴ３を減算して得た値が第３変化率閾値以下であると判定した場合（ステップＳ３１２のＮｏ）、アウトガス異常なしと判定する（ステップＳ３１３）。すなわち、真空処理対象の室外機１００の冷媒回路にアウトガスの発生または配管抵抗異常がなく、その冷媒回路が良品であると判定する。制御装置６０Ａは、その判定結果を表示装置７０に表示する。続いて、制御装置６０Ａは、圧力異常検出処理を終了させ、図１０の検査処理に戻る。
【0115】
一方、制御装置６０Ａは、差圧δＰ２の変化率ΔＰ２／ΔＴ２から差圧δＰ３の変化率ΔＰ３／ΔＴ３を減算して得た値が第３変化率閾値よりも大きいと判定した場合（ステップＳ３１２のＹｅｓ）、アウトガス異常ありと判定する（ステップＳ３１４）。すなわち、真空処理対象の室外機１００の冷媒回路にアウトガスの発生または配管抵抗異常があり、その冷媒回路が不良品であると判定する。制御装置６０Ａは、判定結果を表示装置７０に表示する。そして、制御装置６０Ａは、圧力異常検出処理を終了させ、図１０の検査処理に戻る。
【0116】
図１０に戻って、制御装置６０Ａは、ステップＳ３の圧力異常検出処理に続いて、基準ＤＢの更新を行う（ステップＳ４）。詳細には、制御装置６０Ａは、予測処理のステップＳ２０７で目標圧力Ｐｔまで到達すると予測された圧力データであって、良品とされた室外機１００の冷媒回路の処理で圧力センサ２０から受信した圧力データを、基準ＤＢ記憶部６０７に記憶させることにより、基準ＤＢ６１０に格納する。これにより、データ更新部６４は、基準ＤＢ６１０を更新する。そして、検査処理を終了させる。これにより、真空処理装置１Ａの真空処理を終了する。
【0117】
このように、制御装置６０Ａは、検査処理で行う予測処理において、目標圧力Ｐｔまで到達しない室外機１００の冷媒回路を検出して、不良品であることを表示装置７０に表示すると共に、真空処理を中止する。これにより、制御装置６０Ａは、不要な真空処理を削減する。その結果、制御装置６０Ａは、真空処理装置１Ａの真空処理の効率を高める。
【0118】
なお、上述した圧縮機１１０、室外熱交換器１２０、膨張弁１３０および四方弁１５０は、本開示でいうところの冷凍サイクル機器の一例である。予測検討時間Ｔｐは、本開示でいうところの第１時間の一例である。基準データのうちの予測検討時間Ｔｐでの圧力の値は、本開示でいうところの第１基準値の一例である。差圧δＰ１は、本開示でいうところの第１差圧の一例である。
【0119】
検出開始時間Ｔｄは、本開示でいうところの第２時間の一例である。理論データの経過時間それぞれに対応付けられた圧力値のうち、検出開始時間Ｔｄでの圧力値は、本開示でいうところの第２基準値の一例である。検出開始時間Ｔｄでの差圧δＰ３は、本開示でいうところの第２差圧の一例である。
【0120】
以上のように、実施の形態１に係る真空処理装置１Ａでは、制御装置６０Ａの予測部６２Ａが、真空ポンプ４０が真空処理対象である室外機１００の冷媒回路の内部空間を真空引きする間に測定した圧力センサ２０の圧力のデータに基づいて、真空ポンプ４０の真空引きによって冷媒回路の内部空間が目標圧力Ｐｔ、すなわち、目標真空度まで到達するか否かを予測し、目標真空度まで到達しないと予測した場合に、冷媒回路に異常があると判定する。これにより、室外機１００の冷媒回路の内部空間を目標真空度まで、または目標時間だけ真空引きしなくても冷媒回路の異常の有無が判定できる。その結果、冷媒回路の圧力異常の有無を短時間で検査することができる。
【0121】
また、制御装置６０Ａに設けられた圧力異常検出部６３が、真空引きを終了した後、圧力センサ２０が定期的に測定した圧力の推移データに基づいて、室外機１００の冷媒回路の内部空間の圧力異常を判定するので、その判定が正確である。
【0122】
（実施の形態２）
実施の形態１では、予測部６２Ａが、予測検討時間Ｔｐでのセンサ圧力Ｐの値から基準データの予測検討時間Ｔｐでの圧力の値を減算することにより差圧δＰ１を求め、求めた差圧δＰ１が閾値データ記憶部６０８から読み出した第１閾値よりも大きいか否かを判定する。これにより、予測部６２Ａは、真空引きされている室外機１００の冷媒回路に異常がある不良品か否かを判定する。
実施の形態１では、予測部６２Ａが、予測検討時間Ｔｐでのセンサ圧力Ｐの値から基準データの予測検討時間Ｔｐでの圧力の値を減算することにより差圧δＰ１を求め、求めた差圧δＰ１が閾値データ記憶部６０８から読み出した第１閾値よりも大きいか否かを判定する。これにより、予測部６２Ａは、真空引きされている室外機１００の冷媒回路に異常がある不良品か否かを判定する。
【0123】
しかし、予測部６２Ａはこれに限定されない。予測部６２Ａは、真空ポンプ４０が真空処理対象である室外機１００の冷媒回路の内部空間を真空引きする間に測定した圧力センサ２０の圧力のデータに基づいて、真空ポンプ４０の真空引きによって冷媒回路の内部空間が目標圧力Ｐｔまで到達するか否かを予測し、目標圧力Ｐｔまで到達しないと予測した場合に、冷媒回路に異常があると判定するものであればよい。従って、予測部６２Ａが行う演算手段は、これを満たす限りにおいて任意である。例えば、予測部６２Ａは、学習済みモデルを用いて、冷媒回路の内部空間が目標圧力Ｐｔまで到達するか否かを予測してもよい。
【0124】
実施の形態２に係る真空処理装置１Ｂは、学習装置８０を備え、学習装置８０が学習させた学習済みモデルを用いて、制御装置６０Ｂの予測部６２Ｂが、真空引き時に室外機１００の冷媒回路の内部空間が目標圧力Ｐｔまで到達するか否かを予測する。
【0125】
【0126】
図１４は、実施の形態２に係る真空処理装置１Ｂが備える学習装置８０のハードウエア構成図である。図１５は、制御装置６０Ｂと学習装置８０のブロック図である。図１６は、学習装置８０が備えるニューラルネットワーク部８４の一例を示す図である。なお、図１５では、理解を容易にするため、制御装置６０Ｂの接続先も示している。
【0127】
学習装置８０は、図１４に示すように、ＣＰＵ８０１、ＲＯＭ８０２およびＲＡＭ８０３を含むコンピュータと、記憶装置８０４を備える。ＣＰＵ８０１、ＲＯＭ８０２、ＲＡＭ８０３および記憶装置８０４は、バスライン８０６によって接続されている。そして、記憶装置８０４は、図１５に示す学習用ＤＢ記憶部８２および学習済みデータ記憶部８３を有する。
【0128】
また、学習装置８０と図１５に示す制御装置６０Ｂは、図示しないがバスライン８０６、６０６に接続されたネットワークインターフェースを備える。その図示しないネットワークインターフェースは、例えば、インターネットを介して、学習装置８０と制御装置６０Ｂとの通信を可能にする。
【0129】
学習装置８０では、図１４に示すＲＯＭ８０２に記憶された学習プログラムがＲＡＭ８０３に読み出されて実行されることにより、冷媒回路の内部空間の圧力の推移から冷媒回路に目標圧力Ｐｔまで到達しない異常があるか否かを予測する予測モデルを生成するための学習処理を行う。その学習処理を行うため、図１５に示すソフトウェアとして構成される機能ブロックである学習部８１を備える。
【0130】
学習部８１は、図示しない入力装置、例えば、キーボード、タッチパネルから学習指令が入力されると、学習用ＤＢ記憶部８２に格納された学習用データベースに基づいた学習を行い、上述した予測モデルを生成する。
【0131】
詳細に説明すると、学習用ＤＢ記憶部８２には、真空ポンプ４０が真空引きを開始して実施の形態１で説明した予測検討時間Ｔｐまで経過したときの、真空処理対象物の室外機１００の冷媒回路の内部空間の圧力データと、その室外機１００の冷媒回路の内部空間が目標圧力Ｐｔまで到達しない異常があるか否かの異常データとが関係付けられた学習用データベースが予め記憶されている。
【0132】
学習部８１は、学習用ＤＢ記憶部８２から上記の学習用データベースを読み出し、読み出した学習用データベースの各データを、学習部８１が有する、図１６に示すニューラルネットワーク部８４に学習させる。
【0133】
ニューラルネットワーク部８４は、ニューロンと呼ばれるノード８５を複数個有する。そして、それらノード８５同士が結合して入力層８６、隠れ層８７および出力層８８を形成している。ニューラルネットワーク部８４は、その入力層８６に、学習用データベースの真空処理対象物の室外機１００の冷媒回路の内部空間の圧力データが入力された場合に、出力層８８から、それらに関係付けられた室外機１００の冷媒回路の内部空間が目標圧力Ｐｔまで到達しない異常があるか否かの異常データが出力される状態に、ノード８５同士の結合の重みｗ１１－ｗ１６、ｗ２１－ｗ２６を調整する。これにより、ニューラルネットワーク部８４は、学習済みモデルを生成する。換言すると、ニューラルネットワーク部８４は、上述した予測モデルを生成する学習を行う。
【0134】
学習部８１は、ニューラルネットワーク部８４の学習が終了すると、そのノード８５同士の結合の重みｗ１１－ｗ１６、ｗ２１－ｗ２６を図１５に示す学習済みデータ記憶部８３に記憶させる。これにより、予測モデルのパラメータを保存する。
【0135】
これに対して、制御装置６０Ｂでは、予測部６２Ｂが、上記の予測モデルを用いて、真空引き時に室外機１００の冷媒回路の内部空間が目標圧力Ｐｔまで到達するか否かを予測する。
【0136】
詳細には、予測部６２Ｂは、学習済みデータ記憶部８３からニューラルネットワーク部８４のノード８５の結合の重みｗ１１－ｗ１６、ｗ２１－ｗ２６を読み出す。また、学習済みデータ記憶部８３には、ニューラルネットワーク部８４のノード８５、入力層８６、隠れ層８７および出力層８８を構築するための各種パラメータが記憶されている。予測部６２Ｂは、学習済みデータ記憶部８３からこれらパラメータを読み出し、これらパラメータと読み出した重みｗ１１－ｗ１６、ｗ２１－ｗ２６とを用いて、ニューラルネットワーク部８４と同じ、図示しないニューラルネットワーク部を再構築して、学習済みモデル、すなわち、上述した予測モデルを構築する。
【0137】
予測部６２Ｂは、構築した予測モデルの図示しないニューラルネットワーク部の入力層８６に真空処理対象物の室外機１００の冷媒回路の内部空間の圧力データを入力することにより、出力層から、室外機１００の冷媒回路の内部空間が目標圧力Ｐｔまで到達しない異常があるか否かの異常データを得る。これにより、予測部６２Ｂは、室外機１００の冷媒回路の内部空間が目標圧力Ｐｔまで到達するか否かを予測する。
【0138】
なお、上述した学習用データベースは、本開示でいうところの第１データの一例である。また、学習済みモデルは、本開示でいうところの第１学習済みモデルの一例である。
【0139】
また、上述した学習用データベースは、真空ポンプ４０が真空引きを開始してから実施の形態１で説明した予測検討時間Ｔｐに至るまでの、真空処理対象物の室外機１００の冷媒回路の内部空間の圧力推移のデータと、その室外機１００の冷媒回路の内部空間が目標圧力Ｐｔまで到達しない異常があるか否かの異常データとが関係付けられたものであってもよい。その場合、この学習用データベースのことを第２データであってもよい。なお、その場合の第２データで生成した学習済みモデルは、本開示でいうところの第２学習済みモデルの一例である。
【0140】
以上のように、実施の形態２に係る真空処理装置１Ｂでは、真空引き時に室外機１００の冷媒回路の内部空間が目標圧力Ｐｔまで到達するか否かを予測する学習済みモデルを学習装置８０が生成する。そして、制御装置６０Ｂの予測部６２Ｂが、その学習済みモデルを用いて、真空引き時に室外機１００の冷媒回路の内部空間が目標圧力Ｐｔまで到達するか否かを予測する。学習装置８０が学習済みモデルを生成すればよいので、真空処理装置１Ｂでの室外機１００の機種の変更が容易である。
【0141】
以上、本開示の実施の形態に係る真空処理装置１Ａ、１Ｂ、真空処理装置１Ａ、１Ｂの制御方法、プログラムおよび空気調和機の製造方法について説明したが、真空処理装置１Ａ、１Ｂ、真空処理装置１Ａ、１Ｂの制御方法、プログラムおよび空気調和機の製造方法は、これに限定されない。
【0142】
例えば、実施の形態１、２では、真空処理装置１Ａ、１Ｂが表示装置７０を備え、表示装置７０に、制御装置６０Ａ、６０Ｂが備える予測部６２Ａ、６２Ｂの予測結果と圧力異常検出部６３の圧力異常検出結果を表示させている。しかし、表示装置７０は任意の構成である。真空処理装置１Ａ、１Ｂは、表示装置７０の代わりに、ブザー、警告灯等の警報装置を備えてもよいし、表示装置７０に加えて警報装置を備えてもよい。また、なお、表示装置７０は、室外機１００の冷媒回路の異常または真空引きの異常をオペレータに報知することから報知装置と呼ばれてもよい。
【0143】
また、実施の形態２では、学習装置８０が制御装置６０Ｂとネットワークを介して接続されているが、学習装置８０と制御装置６０Ｂの接続形態、すなわち、通信形態は任意である。また、学習装置８０と制御装置６０Ｂが別々の装置であるか、一体の装置であるかも任意である。例えば、学習装置８０が制御装置６０Ｂに内蔵されていてもよい。
【0144】
実施の形態１、２では、真空処理装置１Ａ、１Ｂの真空処理対象が、空気調和機の室外機１００であるが、真空処理対象はこれに限定されない。真空処理対象は、真空引き可能な内部空間を有するものであればよい。真空処理対象は、例えば、空気調和機全般であってもよい。
【0145】
以上のように、真空処理装置１Ａ、１Ｂ、真空処理装置１Ａ、１Ｂの制御方法、プログラムおよび空気調和機の製造方法は、上記の実施の形態に限定されず、様々な変形および置換を加えることができる。
【0146】
以下、本開示の諸態様を付記としてまとめて記載する。
【0147】
（付記１）
対象物の内部空間を真空引きする真空ポンプと、
前記対象物の内部空間の圧力を測定する圧力センサと、
前記真空ポンプが前記対象物の内部空間を真空引きする間に測定した前記圧力センサの圧力のデータに基づいて、前記真空ポンプの真空引きによって前記対象物の内部空間が目標真空度まで到達するか否かを予測し、前記目標真空度まで到達しないと予測した場合に、前記対象物に異常があると判定して、前記真空ポンプに真空引きを中止させる予測部を有する制御装置と、
を備える真空処理装置。
（付記２）
前記圧力センサは、前記真空ポンプが前記対象物の内部空間の真空引きを終了する前の、真空引きを開始してから第１時間が経過したときに、前記対象物の内部空間の圧力を測定し、
前記予測部は、前記圧力センサが測定した前記第１時間だけ経過した時の圧力値の第１基準値に対する第１差圧を算出し、算出した前記第１差圧の値が第１閾値よりも大きい場合に、前記目標真空度まで到達しないと予測する、
付記１に記載の真空処理装置。
（付記３）
前記圧力センサは、前記第１時間だけ経過する直前に前記対象物の内部空間の圧力を測定し、
前記予測部は、前記圧力センサが測定した前記第１時間だけ経過した時の圧力値と前記第１時間だけ経過する直前時の圧力値から第１圧力変化率を算出し、算出した前記第１圧力変化率が第１変化率閾値よりも大きい場合に、前記目標真空度まで到達しないと予測する、
付記２に記載の真空処理装置。
（付記４）
前記圧力センサは、前記真空ポンプが前記対象物の内部空間の真空引きを終了した後の、前記対象物の内部空間の圧力を定期的に測定し、
前記制御装置は、前記圧力センサが定期的に測定した圧力の推移データに基づいて、前記対象物の内部空間の圧力異常を判定する圧力異常判定部をさらに有する、
付記１から３のいずれか１つに記載の真空処理装置。
（付記５）
前記圧力異常判定部は、前記圧力センサが測定した圧力の推移データを用いて、前記真空ポンプの真空引きの終了から第２時間だけ経過したときの前記対象物の内部空間の圧力値の第２基準値に対する第２差圧を算出し、算出した前記第２差圧が第２閾値よりも大きい場合に、前記対象物の内部空間に圧力異常があると判定する、
付記４に記載の真空処理装置。
（付記６）
前記圧力異常判定部は、前記圧力センサが測定した圧力の推移データを用いて、前記真空ポンプの真空引きの終了から前記第２時間だけ経過したときの、前記第２差圧の一定の時間当たりの圧力変化である第２差圧変化率を算出し、算出した前記第２差圧変化率が第２変化率閾値よりも大きい場合に、前記対象物の内部空間に圧力異常があると判定する、
付記５に記載の真空処理装置。
（付記７）
前記圧力異常判定部は、前記圧力センサが測定した圧力の推移データを用いて、前記真空ポンプの真空引きの終了直後の、前記対象物の内部空間の圧力値の第３基準値に対する第３差圧の一定の時間当たりの圧力変化である第３差圧変化率を算出し、算出した前記第３差圧変化率を前記第２差圧変化率から減算して得た変化率の差が第３閾値よりも大きい場合に、前記対象物の内部空間に圧力異常があると判定する、
付記６に記載の真空処理装置。
（付記８）
前記予測部は、前記真空ポンプが前記対象物の内部空間の真空引きを終了する前の、真空引きを開始してから第１時間が経過したときの、前記対象物の内部空間の圧力と、前記対象物に目標真空度まで到達しない異常があるか否かとの関係が対応付けられた第１データを学習した第１学習済みモデルを用いて、前記目標真空度まで到達するか否かを予測する、
付記１から７のいずれか１つに記載の真空処理装置。
（付記９）
前記予測部は、前記真空ポンプが前記対象物の内部空間の真空引きを終了する前の、真空引きを開始してから第１時間が経過したときの前記対象物の内部空間の圧力および、前記第１時間だけ経過する直前時の前記対象物の内部空間の圧力を含む圧力推移と、前記対象物に目標真空度まで到達しない異常があるか否かとの関係が対応付けられた第２データを学習した第２学習済みモデルを用いて、前記目標真空度まで到達するか否かを予測する、
付記１から８のいずれか１つに記載の真空処理装置。
（付記１０）
前記対象物は、冷凍サイクル機器が冷媒管により接続された空気調和機の冷媒回路である、
付記１から９のいずれか１つに記載の真空処理装置。
（付記１１）
対象物の内部空間を真空引きする真空ポンプと、前記対象物の内部空間の圧力を測定する圧力センサと、を備える真空処理装置の制御方法であって、
前記真空ポンプが前記対象物の内部空間を真空引きする間に測定した前記圧力センサの圧力のデータに基づいて、前記真空ポンプの真空引きによって前記対象物の内部空間が目標真空度まで到達するか否かを予測するステップと、
前記目標真空度まで到達するか否かを予測するステップで、前記目標真空度まで到達しないと予測した場合に、前記対象物に異常があると判定して、前記真空ポンプに真空引きを中止させるステップと、
を備える真空処理装置の制御方法。
（付記１２）
対象物の内部空間を真空引きする真空ポンプと、前記対象物の内部空間の圧力を測定する圧力センサと、を備える真空処理装置を制御するコンピュータに、
前記真空ポンプが前記対象物の内部空間を真空引きする間に測定した前記圧力センサの圧力のデータに基づいて、前記真空ポンプの真空引きによって前記対象物の内部空間が目標真空度まで到達するか否かを予測するステップと、
前記目標真空度まで到達するか否かを予測するステップで、前記目標真空度まで到達しないと予測した場合に、前記対象物に異常があると判定して、前記真空ポンプに真空引きを中止させるステップと、
を実行させるためのプログラム。
（付記１３）
冷凍サイクル機器に冷媒管が接続された冷媒回路を備える空気調和機の製造方法であって、
前記冷凍サイクル機器に前記冷媒管を接続して冷媒回路を組み立てる工程と、
組み立てた前記冷媒回路を真空引きする工程と、
真空引き後に前記冷媒回路に冷媒を充填する工程と、
を備え、
前記真空引きする工程では、
真空引きの間に、前記冷媒回路の内部空間の圧力を測定し、測定した圧力のデータに基づいて、前記真空引きによって前記冷媒回路の内部空間が目標真空度まで到達するか否かを予測し、前記目標真空度まで到達しないと予測した場合に、前記冷媒回路に異常があると判定して真空引きを中止させる、
空気調和機の製造方法。
対象物の内部空間を真空引きする真空ポンプと、
前記対象物の内部空間の圧力を測定する圧力センサと、
前記真空ポンプが前記対象物の内部空間を真空引きする間に測定した前記圧力センサの圧力のデータに基づいて、前記真空ポンプの真空引きによって前記対象物の内部空間が目標真空度まで到達するか否かを予測し、前記目標真空度まで到達しないと予測した場合に、前記対象物に異常があると判定して、前記真空ポンプに真空引きを中止させる予測部を有する制御装置と、
を備える真空処理装置。
（付記２）
前記圧力センサは、前記真空ポンプが前記対象物の内部空間の真空引きを終了する前の、真空引きを開始してから第１時間が経過したときに、前記対象物の内部空間の圧力を測定し、
前記予測部は、前記圧力センサが測定した前記第１時間だけ経過した時の圧力値の第１基準値に対する第１差圧を算出し、算出した前記第１差圧の値が第１閾値よりも大きい場合に、前記目標真空度まで到達しないと予測する、
付記１に記載の真空処理装置。
（付記３）
前記圧力センサは、前記第１時間だけ経過する直前に前記対象物の内部空間の圧力を測定し、
前記予測部は、前記圧力センサが測定した前記第１時間だけ経過した時の圧力値と前記第１時間だけ経過する直前時の圧力値から第１圧力変化率を算出し、算出した前記第１圧力変化率が第１変化率閾値よりも大きい場合に、前記目標真空度まで到達しないと予測する、
付記２に記載の真空処理装置。
（付記４）
前記圧力センサは、前記真空ポンプが前記対象物の内部空間の真空引きを終了した後の、前記対象物の内部空間の圧力を定期的に測定し、
前記制御装置は、前記圧力センサが定期的に測定した圧力の推移データに基づいて、前記対象物の内部空間の圧力異常を判定する圧力異常判定部をさらに有する、
付記１から３のいずれか１つに記載の真空処理装置。
（付記５）
前記圧力異常判定部は、前記圧力センサが測定した圧力の推移データを用いて、前記真空ポンプの真空引きの終了から第２時間だけ経過したときの前記対象物の内部空間の圧力値の第２基準値に対する第２差圧を算出し、算出した前記第２差圧が第２閾値よりも大きい場合に、前記対象物の内部空間に圧力異常があると判定する、
付記４に記載の真空処理装置。
（付記６）
前記圧力異常判定部は、前記圧力センサが測定した圧力の推移データを用いて、前記真空ポンプの真空引きの終了から前記第２時間だけ経過したときの、前記第２差圧の一定の時間当たりの圧力変化である第２差圧変化率を算出し、算出した前記第２差圧変化率が第２変化率閾値よりも大きい場合に、前記対象物の内部空間に圧力異常があると判定する、
付記５に記載の真空処理装置。
（付記７）
前記圧力異常判定部は、前記圧力センサが測定した圧力の推移データを用いて、前記真空ポンプの真空引きの終了直後の、前記対象物の内部空間の圧力値の第３基準値に対する第３差圧の一定の時間当たりの圧力変化である第３差圧変化率を算出し、算出した前記第３差圧変化率を前記第２差圧変化率から減算して得た変化率の差が第３閾値よりも大きい場合に、前記対象物の内部空間に圧力異常があると判定する、
付記６に記載の真空処理装置。
（付記８）
前記予測部は、前記真空ポンプが前記対象物の内部空間の真空引きを終了する前の、真空引きを開始してから第１時間が経過したときの、前記対象物の内部空間の圧力と、前記対象物に目標真空度まで到達しない異常があるか否かとの関係が対応付けられた第１データを学習した第１学習済みモデルを用いて、前記目標真空度まで到達するか否かを予測する、
付記１から７のいずれか１つに記載の真空処理装置。
（付記９）
前記予測部は、前記真空ポンプが前記対象物の内部空間の真空引きを終了する前の、真空引きを開始してから第１時間が経過したときの前記対象物の内部空間の圧力および、前記第１時間だけ経過する直前時の前記対象物の内部空間の圧力を含む圧力推移と、前記対象物に目標真空度まで到達しない異常があるか否かとの関係が対応付けられた第２データを学習した第２学習済みモデルを用いて、前記目標真空度まで到達するか否かを予測する、
付記１から８のいずれか１つに記載の真空処理装置。
（付記１０）
前記対象物は、冷凍サイクル機器が冷媒管により接続された空気調和機の冷媒回路である、
付記１から９のいずれか１つに記載の真空処理装置。
（付記１１）
対象物の内部空間を真空引きする真空ポンプと、前記対象物の内部空間の圧力を測定する圧力センサと、を備える真空処理装置の制御方法であって、
前記真空ポンプが前記対象物の内部空間を真空引きする間に測定した前記圧力センサの圧力のデータに基づいて、前記真空ポンプの真空引きによって前記対象物の内部空間が目標真空度まで到達するか否かを予測するステップと、
前記目標真空度まで到達するか否かを予測するステップで、前記目標真空度まで到達しないと予測した場合に、前記対象物に異常があると判定して、前記真空ポンプに真空引きを中止させるステップと、
を備える真空処理装置の制御方法。
（付記１２）
対象物の内部空間を真空引きする真空ポンプと、前記対象物の内部空間の圧力を測定する圧力センサと、を備える真空処理装置を制御するコンピュータに、
前記真空ポンプが前記対象物の内部空間を真空引きする間に測定した前記圧力センサの圧力のデータに基づいて、前記真空ポンプの真空引きによって前記対象物の内部空間が目標真空度まで到達するか否かを予測するステップと、
前記目標真空度まで到達するか否かを予測するステップで、前記目標真空度まで到達しないと予測した場合に、前記対象物に異常があると判定して、前記真空ポンプに真空引きを中止させるステップと、
を実行させるためのプログラム。
（付記１３）
冷凍サイクル機器に冷媒管が接続された冷媒回路を備える空気調和機の製造方法であって、
前記冷凍サイクル機器に前記冷媒管を接続して冷媒回路を組み立てる工程と、
組み立てた前記冷媒回路を真空引きする工程と、
真空引き後に前記冷媒回路に冷媒を充填する工程と、
を備え、
前記真空引きする工程では、
真空引きの間に、前記冷媒回路の内部空間の圧力を測定し、測定した圧力のデータに基づいて、前記真空引きによって前記冷媒回路の内部空間が目標真空度まで到達するか否かを予測し、前記目標真空度まで到達しないと予測した場合に、前記冷媒回路に異常があると判定して真空引きを中止させる、
空気調和機の製造方法。
【符号の説明】
【0148】
１Ａ，１Ｂ 真空処理装置、１１，１２ 弁、１３，１４ 配管、２０ 圧力センサ、３０ 排気弁、４０ 真空ポンプ、４１ コントローラ、５０ 搬送装置、５１、５２ 車輪、６０Ａ，６０Ｂ 制御装置、６１ 基準データ生成部、６２Ａ，６２Ｂ 予測部、６３ 圧力異常検出部、６４ データ更新部、７０ 表示装置、８０ 学習装置、８１ 学習部、８２ 学習用ＤＢ記憶部、８３ 学習済みデータ記憶部、８４ ニューラルネットワーク部、８５ ノード、８６ 入力層、８７ 隠れ層、８８ 出力層、１００ 室外機、１１０ 圧縮機、１２０ 室外熱交換器、１３０ 膨張弁、１４０ 冷媒管、１４１，１４２ 接続管、１５０ 四方弁、６０１ ＣＰＵ、６０２ ＲＯＭ、６０３ ＲＡＭ、６０４ 記憶装置、６０５ 計時部、６０６ バスライン、６０７ 基準ＤＢ記憶部、６０８ 閾値データ記憶部、６０９ Ｉ／Ｏポート、６１０ 基準ＤＢ、８０１ ＣＰＵ、８０２ ＲＯＭ、８０３ ＲＡＭ、８０４ 記憶装置、８０６ バスライン。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8A】
【図8B】
【図9A】
【図9B】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】