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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024151602
(43)【公開日】2024-10-25
(54)【発明の名称】弾性波フィルタ装置
(51)【国際特許分類】
H03H 9/145 20060101AFI20241018BHJP
【ＦＩ】
H03H9/145 Z
H03H9/145 C
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023065070
(22)【出願日】2023-04-12
(71)【出願人】
【識別番号】000006231
【氏名又は名称】株式会社村田製作所
(74)【代理人】
【識別番号】110002527
【氏名又は名称】弁理士法人北斗特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】野口 明
【テーマコード（参考）】
5J097
【Ｆターム（参考）】
5J097AA15
5J097AA29
5J097BB14
5J097BB15
5J097CC05
5J097DD01
5J097DD12
5J097EE08
5J097FF04
5J097FF05
5J097GG03
5J097KK01
(57)【要約】
【課題】特性と小型化とを両立する。
【解決手段】複数の弾性波共振子１４の各々は、圧電性基板２の厚さ方向からの平面視で、中央領域と、中央領域よりも弾性波の音速が遅い第１領域と、中央領域よりも弾性波の音速が遅い第２領域と、を有する。複数の弾性波共振子１４は、第１弾性波共振子１１と、第２弾性波共振子１２と、を有する。第１弾性波共振子１１は、所定方向において第１領域の外側に所定方向の長さが０．３λ以上のギャップ５０を有し、中央領域よりも弾性波の音速が速い第３領域と、所定方向において第２領域の外側に所定方向の長さが０．３λ以上のギャップ４０を有し、中央領域よりも弾性波の音速が速い第４領域と、を更に含む。第２弾性波共振子１２は、第３領域及び第４領域を含まない。
【選択図】図２
【解決手段】複数の弾性波共振子１４の各々は、圧電性基板２の厚さ方向からの平面視で、中央領域と、中央領域よりも弾性波の音速が遅い第１領域と、中央領域よりも弾性波の音速が遅い第２領域と、を有する。複数の弾性波共振子１４は、第１弾性波共振子１１と、第２弾性波共振子１２と、を有する。第１弾性波共振子１１は、所定方向において第１領域の外側に所定方向の長さが０．３λ以上のギャップ５０を有し、中央領域よりも弾性波の音速が速い第３領域と、所定方向において第２領域の外側に所定方向の長さが０．３λ以上のギャップ４０を有し、中央領域よりも弾性波の音速が速い第４領域と、を更に含む。第２弾性波共振子１２は、第３領域及び第４領域を含まない。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数の弾性波共振子を備え、
前記複数の弾性波共振子の各々は、
圧電性基板と、
前記圧電性基板上に設けられているＩＤＴ電極と、を含み、
前記ＩＤＴ電極は、
第１バスバーと、
所定方向において前記第１バスバーに対向している第２バスバーと、
前記所定方向において前記第１バスバーから前記第２バスバーに向かって延びている複数の第１電極指と、
前記所定方向において前記第２バスバーから前記第１バスバーに向かって延びている複数の第２電極指と、を有し、
前記複数の第１電極指の先端縁の包絡線と前記複数の第２電極指の先端縁の包絡線との間の領域を交差領域とし、
前記ＩＤＴ電極の電極指ピッチで定まる弾性波の波長をλとし、
前記複数の弾性波共振子の各々は、前記圧電性基板の厚さ方向からの平面視で、
前記所定方向における前記ＩＤＴ電極の前記交差領域の中央部を含む中央領域と、
前記複数の第１電極指の先端部を含み、前記中央領域よりも弾性波の音速が遅い第１領域と、
前記複数の第２電極指の先端部を含み、前記中央領域よりも弾性波の音速が遅い第２領域と、を有し、
前記複数の弾性波共振子は、
第１弾性波共振子と、
第２弾性波共振子と、を有し、
前記第１弾性波共振子の前記圧電性基板と前記第２弾性波共振子の前記圧電性基板とが共通であり、
前記第１弾性波共振子は、
前記所定方向において前記第１領域の外側に前記所定方向の長さが０．３λ以上のギャップを有し、前記中央領域よりも弾性波の音速が速い第３領域と、
前記所定方向において前記第２領域の外側に前記所定方向の長さが０．３λ以上のギャップを有し、前記中央領域よりも弾性波の音速が速い第４領域と、を更に含み、
前記第２弾性波共振子は、
前記第３領域及び前記第４領域を含まない、
弾性波フィルタ装置。
前記複数の弾性波共振子の各々は、
圧電性基板と、
前記圧電性基板上に設けられているＩＤＴ電極と、を含み、
前記ＩＤＴ電極は、
第１バスバーと、
所定方向において前記第１バスバーに対向している第２バスバーと、
前記所定方向において前記第１バスバーから前記第２バスバーに向かって延びている複数の第１電極指と、
前記所定方向において前記第２バスバーから前記第１バスバーに向かって延びている複数の第２電極指と、を有し、
前記複数の第１電極指の先端縁の包絡線と前記複数の第２電極指の先端縁の包絡線との間の領域を交差領域とし、
前記ＩＤＴ電極の電極指ピッチで定まる弾性波の波長をλとし、
前記複数の弾性波共振子の各々は、前記圧電性基板の厚さ方向からの平面視で、
前記所定方向における前記ＩＤＴ電極の前記交差領域の中央部を含む中央領域と、
前記複数の第１電極指の先端部を含み、前記中央領域よりも弾性波の音速が遅い第１領域と、
前記複数の第２電極指の先端部を含み、前記中央領域よりも弾性波の音速が遅い第２領域と、を有し、
前記複数の弾性波共振子は、
第１弾性波共振子と、
第２弾性波共振子と、を有し、
前記第１弾性波共振子の前記圧電性基板と前記第２弾性波共振子の前記圧電性基板とが共通であり、
前記第１弾性波共振子は、
前記所定方向において前記第１領域の外側に前記所定方向の長さが０．３λ以上のギャップを有し、前記中央領域よりも弾性波の音速が速い第３領域と、
前記所定方向において前記第２領域の外側に前記所定方向の長さが０．３λ以上のギャップを有し、前記中央領域よりも弾性波の音速が速い第４領域と、を更に含み、
前記第２弾性波共振子は、
前記第３領域及び前記第４領域を含まない、
弾性波フィルタ装置。
【請求項2】
複数の弾性波共振子を備え、
前記複数の弾性波共振子の各々は、
圧電性基板と、
前記圧電性基板上に設けられているＩＤＴ電極と、を含み、
前記ＩＤＴ電極は、
第１バスバーと、
所定方向において前記第１バスバーに対向している第２バスバーと、
前記所定方向において前記第１バスバーから前記第２バスバーに向かって延びている複数の第１電極指と、
前記所定方向において前記第２バスバーから前記第１バスバーに向かって延びている複数の第２電極指と、を有し、
前記複数の第１電極指の先端縁の包絡線と前記複数の第２電極指の先端縁の包絡線との間の領域を交差領域とし、
前記ＩＤＴ電極の電極指ピッチで定まる弾性波の波長をλとし、
前記複数の弾性波共振子の各々は、前記圧電性基板の厚さ方向からの平面視で、
前記所定方向における前記ＩＤＴ電極の前記交差領域の中央部を含む中央領域と、
前記複数の第１電極指の先端部を含み、前記複数の第１電極指のうち少なくとも１つの第１電極指の前記先端部の少なくとも一部に重なる第１質量付加膜を含む第１領域と、
前記複数の第２電極指の先端部を含み、前記複数の第２電極指のうち少なくとも１つの第２電極指の前記先端部の少なくとも一部に重なる第２質量付加膜を含む第２領域と、を有し、
前記複数の第１電極指の前記先端部は、前記第１電極指の前記先端縁を含む部分であり、
前記複数の第２電極指の前記先端部は、前記第２電極指の前記先端縁を含む部分であり、
前記複数の弾性波共振子は、
第１弾性波共振子と、
第２弾性波共振子と、を有し、
前記第１弾性波共振子の前記圧電性基板と前記第２弾性波共振子の前記圧電性基板とが共通であり、
前記第１弾性波共振子は、
前記所定方向において前記第１領域の外側に前記所定方向の長さが０．３λ以上のギャップを有する第３領域と、
前記所定方向において前記第２領域の外側に前記所定方向の長さが０．３λ以上のギャップを有する第４領域と、を更に含み、
前記第２弾性波共振子は、
前記第３領域及び前記第４領域を含まない、
弾性波フィルタ装置。
前記複数の弾性波共振子の各々は、
圧電性基板と、
前記圧電性基板上に設けられているＩＤＴ電極と、を含み、
前記ＩＤＴ電極は、
第１バスバーと、
所定方向において前記第１バスバーに対向している第２バスバーと、
前記所定方向において前記第１バスバーから前記第２バスバーに向かって延びている複数の第１電極指と、
前記所定方向において前記第２バスバーから前記第１バスバーに向かって延びている複数の第２電極指と、を有し、
前記複数の第１電極指の先端縁の包絡線と前記複数の第２電極指の先端縁の包絡線との間の領域を交差領域とし、
前記ＩＤＴ電極の電極指ピッチで定まる弾性波の波長をλとし、
前記複数の弾性波共振子の各々は、前記圧電性基板の厚さ方向からの平面視で、
前記所定方向における前記ＩＤＴ電極の前記交差領域の中央部を含む中央領域と、
前記複数の第１電極指の先端部を含み、前記複数の第１電極指のうち少なくとも１つの第１電極指の前記先端部の少なくとも一部に重なる第１質量付加膜を含む第１領域と、
前記複数の第２電極指の先端部を含み、前記複数の第２電極指のうち少なくとも１つの第２電極指の前記先端部の少なくとも一部に重なる第２質量付加膜を含む第２領域と、を有し、
前記複数の第１電極指の前記先端部は、前記第１電極指の前記先端縁を含む部分であり、
前記複数の第２電極指の前記先端部は、前記第２電極指の前記先端縁を含む部分であり、
前記複数の弾性波共振子は、
第１弾性波共振子と、
第２弾性波共振子と、を有し、
前記第１弾性波共振子の前記圧電性基板と前記第２弾性波共振子の前記圧電性基板とが共通であり、
前記第１弾性波共振子は、
前記所定方向において前記第１領域の外側に前記所定方向の長さが０．３λ以上のギャップを有する第３領域と、
前記所定方向において前記第２領域の外側に前記所定方向の長さが０．３λ以上のギャップを有する第４領域と、を更に含み、
前記第２弾性波共振子は、
前記第３領域及び前記第４領域を含まない、
弾性波フィルタ装置。
【請求項3】
複数の弾性波共振子を備え、
前記複数の弾性波共振子の各々は、
圧電性基板と、
前記圧電性基板上に設けられているＩＤＴ電極と、を含み、
前記ＩＤＴ電極は、
第１バスバーと、
所定方向において前記第１バスバーに対向している第２バスバーと、
前記所定方向において前記第１バスバーから前記第２バスバーに向かって延びている複数の第１電極指と、
前記所定方向において前記第２バスバーから前記第１バスバーに向かって延びている複数の第２電極指と、を有し、
前記複数の第１電極指の先端縁の包絡線と前記複数の第２電極指の先端縁の包絡線との間の領域を交差領域とし、
前記ＩＤＴ電極の電極指ピッチで定まる弾性波の波長をλとし、
前記複数の弾性波共振子の各々は、前記圧電性基板の厚さ方向からの平面視で、
前記所定方向における前記ＩＤＴ電極の前記交差領域の中央部を含む中央領域と、
前記複数の第１電極指の先端部を含み、前記複数の第１電極指のうち少なくとも１つの第１電極指の前記先端部が第１太幅部を含む第１領域と、
前記複数の第２電極指の先端部を含み、前記複数の第２電極指のうち少なくとも１つの第２電極指の前記先端部が第２太幅部を含む第２領域と、を有し、
前記第１太幅部の幅は、前記少なくとも１つの第１電極指の中央部の幅よりも広く、
前記第２太幅部の幅は、前記少なくとも１つの第２電極指の中央部の幅よりも広く、
前記複数の弾性波共振子は、
第１弾性波共振子と、
第２弾性波共振子と、を有し、
前記第１弾性波共振子の前記圧電性基板と前記第２弾性波共振子の前記圧電性基板とが共通であり、
前記第１弾性波共振子は、
前記所定方向において前記第１領域の外側に前記所定方向の長さが０．３λ以上のギャップを有する第３領域と、
前記所定方向において前記第２領域の外側に前記所定方向の長さが０．３λ以上のギャップを有する第４領域と、を更に含み、
前記第２弾性波共振子は、
前記第３領域及び前記第４領域を含まない、
弾性波フィルタ装置。
前記複数の弾性波共振子の各々は、
圧電性基板と、
前記圧電性基板上に設けられているＩＤＴ電極と、を含み、
前記ＩＤＴ電極は、
第１バスバーと、
所定方向において前記第１バスバーに対向している第２バスバーと、
前記所定方向において前記第１バスバーから前記第２バスバーに向かって延びている複数の第１電極指と、
前記所定方向において前記第２バスバーから前記第１バスバーに向かって延びている複数の第２電極指と、を有し、
前記複数の第１電極指の先端縁の包絡線と前記複数の第２電極指の先端縁の包絡線との間の領域を交差領域とし、
前記ＩＤＴ電極の電極指ピッチで定まる弾性波の波長をλとし、
前記複数の弾性波共振子の各々は、前記圧電性基板の厚さ方向からの平面視で、
前記所定方向における前記ＩＤＴ電極の前記交差領域の中央部を含む中央領域と、
前記複数の第１電極指の先端部を含み、前記複数の第１電極指のうち少なくとも１つの第１電極指の前記先端部が第１太幅部を含む第１領域と、
前記複数の第２電極指の先端部を含み、前記複数の第２電極指のうち少なくとも１つの第２電極指の前記先端部が第２太幅部を含む第２領域と、を有し、
前記第１太幅部の幅は、前記少なくとも１つの第１電極指の中央部の幅よりも広く、
前記第２太幅部の幅は、前記少なくとも１つの第２電極指の中央部の幅よりも広く、
前記複数の弾性波共振子は、
第１弾性波共振子と、
第２弾性波共振子と、を有し、
前記第１弾性波共振子の前記圧電性基板と前記第２弾性波共振子の前記圧電性基板とが共通であり、
前記第１弾性波共振子は、
前記所定方向において前記第１領域の外側に前記所定方向の長さが０．３λ以上のギャップを有する第３領域と、
前記所定方向において前記第２領域の外側に前記所定方向の長さが０．３λ以上のギャップを有する第４領域と、を更に含み、
前記第２弾性波共振子は、
前記第３領域及び前記第４領域を含まない、
弾性波フィルタ装置。
【請求項4】
第１入出力電極及び第２入出力電極を更に備え、
前記複数の弾性波共振子は、
前記第１入出力電極と前記第２入出力電極との間の信号経路に設けられている２以上の弾性波共振子と、
前記信号経路とグランドとの間に接続されている２以上の弾性波共振子と、を含み、
前記複数の弾性波共振子は
前記第１弾性波共振子を少なくとも２つ有し、
前記少なくとも２つの第１弾性波共振子は、
前記信号経路に設けられている前記２以上の弾性波共振子のうち前記電極指ピッチが最も大きい弾性波共振子と、
前記信号経路とグランドとの間に接続されている前記２以上の弾性波共振子のうち前記電極指ピッチが最も小さい弾性波共振子と、を含む、
請求項１～３のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ装置。
前記複数の弾性波共振子は、
前記第１入出力電極と前記第２入出力電極との間の信号経路に設けられている２以上の弾性波共振子と、
前記信号経路とグランドとの間に接続されている２以上の弾性波共振子と、を含み、
前記複数の弾性波共振子は
前記第１弾性波共振子を少なくとも２つ有し、
前記少なくとも２つの第１弾性波共振子は、
前記信号経路に設けられている前記２以上の弾性波共振子のうち前記電極指ピッチが最も大きい弾性波共振子と、
前記信号経路とグランドとの間に接続されている前記２以上の弾性波共振子のうち前記電極指ピッチが最も小さい弾性波共振子と、を含む、
請求項１～３のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項5】
第１入出力電極及び第２入出力電極を更に備え、
前記複数の弾性波共振子は、
前記第１入出力電極と前記第２入出力電極との間の信号経路に設けられている２以上の弾性波共振子と、
前記信号経路とグランドとの間に接続されている２以上の弾性波共振子と、を含み、
前記複数の弾性波共振子は、
前記第２弾性波共振子を少なくとも２つ有し、
前記少なくとも２つの第２弾性波共振子は、
前記信号経路に設けられている前記２以上の弾性波共振子のうち前記電極指ピッチが最も大きい弾性波共振子と、
前記信号経路とグランドとの間に接続されている前記２以上の弾性波共振子のうち前記電極指ピッチが最も小さい弾性波共振子と、を含む、
請求項１～３のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ装置。
前記複数の弾性波共振子は、
前記第１入出力電極と前記第２入出力電極との間の信号経路に設けられている２以上の弾性波共振子と、
前記信号経路とグランドとの間に接続されている２以上の弾性波共振子と、を含み、
前記複数の弾性波共振子は、
前記第２弾性波共振子を少なくとも２つ有し、
前記少なくとも２つの第２弾性波共振子は、
前記信号経路に設けられている前記２以上の弾性波共振子のうち前記電極指ピッチが最も大きい弾性波共振子と、
前記信号経路とグランドとの間に接続されている前記２以上の弾性波共振子のうち前記電極指ピッチが最も小さい弾性波共振子と、を含む、
請求項１～３のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項6】
前記少なくとも２つの第１弾性波共振子の共振周波数と反共振周波数との間の周波数帯の少なくとも一部は、前記弾性波フィルタ装置の有する通過帯域に含まれる、
請求項４に記載の弾性波フィルタ装置。
請求項４に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項7】
前記第１領域は、
前記複数の第１電極指のうち少なくとも１つの第１電極指の前記先端部の少なくとも一部に重なる第１質量付加膜を含み、
前記第２領域は、
前記複数の第２電極指のうち少なくとも１つの第２電極指の前記先端部の少なくとも一部に重なる第２質量付加膜を含み、
前記複数の第１電極指の前記先端部は、前記第１電極指の前記先端縁を含む部分であり、
前記複数の第２電極指の前記先端部は、前記第２電極指の前記先端縁を含む部分である、
請求項１に記載の弾性波フィルタ装置。
前記複数の第１電極指のうち少なくとも１つの第１電極指の前記先端部の少なくとも一部に重なる第１質量付加膜を含み、
前記第２領域は、
前記複数の第２電極指のうち少なくとも１つの第２電極指の前記先端部の少なくとも一部に重なる第２質量付加膜を含み、
前記複数の第１電極指の前記先端部は、前記第１電極指の前記先端縁を含む部分であり、
前記複数の第２電極指の前記先端部は、前記第２電極指の前記先端縁を含む部分である、
請求項１に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項8】
前記第１領域では、
前記複数の第１電極指のうち少なくとも１つの第１電極指の前記先端部が、第１太幅部を含み、
前記第１太幅部の幅は、前記少なくとも１つの第１電極指の中央部の幅よりも広く、
前記第２領域では、
前記複数の第２電極指のうち少なくとも１つの第２電極指の前記先端部が、第２太幅部を含み、
前記第２太幅部の幅は、前記少なくとも１つの第２電極指の中央部の幅よりも広い、
請求項１に記載の弾性波フィルタ装置。
前記複数の第１電極指のうち少なくとも１つの第１電極指の前記先端部が、第１太幅部を含み、
前記第１太幅部の幅は、前記少なくとも１つの第１電極指の中央部の幅よりも広く、
前記第２領域では、
前記複数の第２電極指のうち少なくとも１つの第２電極指の前記先端部が、第２太幅部を含み、
前記第２太幅部の幅は、前記少なくとも１つの第２電極指の中央部の幅よりも広い、
請求項１に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項9】
前記圧電性基板は、
支持基板と、
前記支持基板上に設けられている高音速膜と、
前記高音速膜に設けられている低音速膜と、
前記低音速膜上に設けられている圧電体層と、を含み、
前記高音速膜は、前記圧電体層を伝搬するバルク波の音速よりも、前記高音速膜を伝搬するバルク波の音速が高速となる膜であり、
前記低音速膜は、前記圧電体層を伝搬するバルク波の音速よりも、前記低音速膜を伝搬するバルク波の音速が低速となる膜である、
請求項１～３のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ装置。
支持基板と、
前記支持基板上に設けられている高音速膜と、
前記高音速膜に設けられている低音速膜と、
前記低音速膜上に設けられている圧電体層と、を含み、
前記高音速膜は、前記圧電体層を伝搬するバルク波の音速よりも、前記高音速膜を伝搬するバルク波の音速が高速となる膜であり、
前記低音速膜は、前記圧電体層を伝搬するバルク波の音速よりも、前記低音速膜を伝搬するバルク波の音速が低速となる膜である、
請求項１～３のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項10】
前記圧電性基板は、
シリコン基板と、
前記シリコン基板上に設けられている窒化ケイ素膜と、
前記窒化ケイ素膜上に設けられている酸化ケイ素膜と、
前記酸化ケイ素膜上に設けられている圧電体層と、を含み、
前記圧電体層の材料は、リチウムタンタレート又はリチウムニオベイトを含む、
請求項１～３のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ装置。
シリコン基板と、
前記シリコン基板上に設けられている窒化ケイ素膜と、
前記窒化ケイ素膜上に設けられている酸化ケイ素膜と、
前記酸化ケイ素膜上に設けられている圧電体層と、を含み、
前記圧電体層の材料は、リチウムタンタレート又はリチウムニオベイトを含む、
請求項１～３のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、一般に弾性波フィルタ装置に関し、より詳細には、複数の弾性波共振子を備える弾性波フィルタ装置に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１は、複数の弾性波共振子を備える弾性波フィルタ装置を開示している。
【0003】
特許文献１に開示された弾性波フィルタ装置では、各弾性波共振子が、圧電基板と、圧電基板上に形成されたＩＤＴ電極とを有する。ＩＤＴ電極は、第１のバスバーと、第１のバスバーと隔てられて配置された第２のバスバーと、第１のバスバーに基端が電気的に接続されており、第２のバスバーに向かって延びる複数本の第１の電極指と、第２のバスバーに基端が接続されており、第１のバスバーに向かって延びる複数本の第２の電極指と、を有する。
【0004】
ＩＤＴ電極が、ＩＤＴ電極の第１，第２の電極指の延びる方向をＩＤＴ電極における幅方向としたときに、幅方向中央に中央領域、その外側に低音速領域、さらに外側に高音速領域を有するように構成されている。
【0005】
特許文献１に開示された弾性波フィルタ装置は、横モードリップルを抑制することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】国際公開第２０１４／１９２７５５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
弾性波フィルタ装置では、小型化が望まれる場合がある。
【0008】
本発明の目的は、特性と小型化とを両立することが可能な弾性波フィルタ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明の一態様に係る弾性波フィルタ装置は、複数の弾性波共振子を備える。前記複数の弾性波共振子の各々は、圧電性基板と、ＩＤＴ電極と、を含む。前記ＩＤＴ電極は、前記圧電性基板上に設けられている。前記ＩＤＴ電極は、第１バスバーと、第２バスバーと、複数の第１電極指と、複数の第２電極指と、を有する。前記第２バスバーは、所定方向において前記第１バスバーに対向している。前記複数の第１電極指は、前記所定方向において前記第１バスバーから前記第２バスバーに向かって延びている。前記複数の第２電極指は、前記所定方向において前記第２バスバーから前記第１バスバーに向かって延びている。前記複数の第１電極指の先端縁の包絡線と前記複数の第２電極指の先端縁の包絡線との間の領域を交差領域とし、前記ＩＤＴ電極の電極指ピッチで定まる弾性波の波長をλとし、前記複数の弾性波共振子の各々は、前記圧電性基板の厚さ方向からの平面視で、中央領域と、第１領域と、第２領域と、を有する。前記中央領域は、前記所定方向における前記ＩＤＴ電極の前記交差領域の中央部を含む。前記第１領域は、前記複数の第１電極指の先端部を含み、前記中央領域よりも弾性波の音速が遅い。前記第２領域は、前記複数の第２電極指の先端部を含み、前記中央領域よりも弾性波の音速が遅い。前記複数の弾性波共振子は、第１弾性波共振子と、第２弾性波共振子と、を有する。前記第１弾性波共振子の前記圧電性基板と前記第２弾性波共振子の前記圧電性基板とが共通である。前記第１弾性波共振子は、第３領域と、第４領域と、を更に含む。前記第３領域は、前記所定方向において前記第１領域の外側に前記所定方向の長さが０．３λ以上のギャップを有し、前記中央領域よりも弾性波の音速が速い。前記第４領域は、前記所定方向において前記第２領域の外側に前記所定方向の長さが０．３λ以上のギャップを有し、前記中央領域よりも弾性波の音速が速い。前記第２弾性波共振子は、前記第３領域及び前記第４領域を含まない。
【0010】
本発明の別の一態様に係る弾性波フィルタ装置は、複数の弾性波共振子を備える。前記複数の弾性波共振子の各々は、圧電性基板と、ＩＤＴ電極と、を含む。前記ＩＤＴ電極は、前記圧電性基板上に設けられている。前記ＩＤＴ電極は、第１バスバーと、第２バスバーと、複数の第１電極指と、複数の第２電極指と、を有する。前記第２バスバーは、所定方向において前記第１バスバーに対向している。前記複数の第１電極指は、前記所定方向において前記第１バスバーから前記第２バスバーに向かって延びている。前記複数の第２電極指は、前記所定方向において前記第２バスバーから前記第１バスバーに向かって延びている。前記複数の第１電極指の先端縁の包絡線と前記複数の第２電極指の先端縁の包絡線との間の領域を交差領域とし、前記ＩＤＴ電極の電極指ピッチで定まる弾性波の波長をλとし、前記複数の弾性波共振子の各々は、前記圧電性基板の厚さ方向からの平面視で、中央領域と、第１領域と、第２領域と、を有する。前記中央領域は、前記所定方向における前記ＩＤＴ電極の前記交差領域の中央部を含む。前記中央領域は、前記所定方向における前記ＩＤＴ電極の前記交差領域の中央部を含む。前記第１領域は、前記複数の第１電極指の先端部を含み、前記複数の第１電極指のうち少なくとも１つの第１電極指の前記先端部の少なくとも一部に重なる第１質量付加膜を含む。前記第２領域は、前記複数の第２電極指の先端部を含み、前記複数の第２電極指のうち少なくとも１つの第２電極指の前記先端部の少なくとも一部に重なる第２質量付加膜を含む。前記複数の第１電極指の前記先端部は、前記第１電極指の先端縁を含む部分である。前記複数の第２電極指の前記先端部は、前記第２電極指の先端縁を含む部分である。前記複数の弾性波共振子は、第１弾性波共振子と、第２弾性波共振子と、を有する。前記第１弾性波共振子の前記圧電性基板と前記第２弾性波共振子の前記圧電性基板とが共通である。前記第１弾性波共振子は、第３領域と、第４領域と、を更に含む。前記第３領域は、前記所定方向において前記第１領域の外側に前記所定方向の長さが０．３λ以上のギャップを有する。前記第４領域は、前記所定方向において前記第２領域の外側に前記所定方向の長さが０．３λ以上のギャップを有する。前記第２弾性波共振子は、前記第３領域及び前記第４領域を含まない。
【0011】
本発明の更に別の一態様に係る弾性波フィルタ装置は、複数の弾性波共振子を備える。前記複数の弾性波共振子の各々は、圧電性基板と、ＩＤＴ電極と、を含む。前記ＩＤＴ電極は、前記圧電性基板上に設けられている。前記ＩＤＴ電極は、第１バスバーと、第２バスバーと、複数の第１電極指と、複数の第２電極指と、を有する。前記第２バスバーは、所定方向において前記第１バスバーに対向している。前記複数の第１電極指は、前記所定方向において前記第１バスバーから前記第２バスバーに向かって延びている。前記複数の第２電極指は、前記所定方向において前記第２バスバーから前記第１バスバーに向かって延びている。前記複数の第１電極指の先端縁の包絡線と前記複数の第２電極指の先端縁の包絡線との間の領域を交差領域とし、前記ＩＤＴ電極の電極指ピッチで定まる弾性波の波長をλとし、前記複数の弾性波共振子の各々は、前記圧電性基板の厚さ方向からの平面視で、中央領域と、第１領域と、第２領域と、を有する。前記中央領域は、前記所定方向における前記ＩＤＴ電極の前記交差領域の中央部を含む。前記第１領域は、前記複数の第１電極指の先端部を含み、前記複数の第１電極指のうち少なくとも１つの第１電極指の前記先端部が第１太幅部を含む。前記第２領域は、前記複数の第２電極指の先端部を含み、前記複数の第２電極指のうち少なくとも１つの第２電極指の前記先端部が第２太幅部を含む。前記第１太幅部の幅は、前記少なくとも１つの第１電極指の中央部の幅よりも広い。前記第２太幅部の幅は、前記少なくとも１つの第２電極指の中央部の幅よりも広い。前記複数の弾性波共振子は、第１弾性波共振子と、第２弾性波共振子と、を有する。前記第１弾性波共振子の前記圧電性基板と前記第２弾性波共振子の前記圧電性基板とが共通である。前記第１弾性波共振子は、第３領域と、第４領域と、を更に含む。前記第３領域は、前記所定方向において前記第１領域の外側に前記所定方向の長さが０．３λ以上のギャップを有する。前記第４領域は、前記所定方向において前記第２領域の外側に前記所定方向の長さが０．３λ以上のギャップを有する。前記第２弾性波共振子は、前記第３領域及び前記第４領域を含まない。
【発明の効果】
【0012】
本発明の上記態様に係る弾性波フィルタ装置は、特性と小型化とを両立することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【図2】図２Ａは、同上の弾性波フィルタ装置の第１弾性波共振子において弾性波伝搬方向に伝搬する弾性波の音速の、所定方向における速度分布の模式的な説明図である。図２Ｂは、同上の弾性波装置の第２弾性波共振子において弾性波伝搬方向に伝搬する弾性波の音速の、所定方向における速度分布の模式的な説明図である。
【図6】図６Ａは、同上の弾性波フィルタ装置である第１弾性波フィルタ装置とは異なる第２弾性波フィルタ装置の第１弾性波共振子において弾性波伝搬方向に伝搬する弾性波の音速の、所定方向における速度分布の模式的な説明図である。図６Ｂは、同上の第２弾性波フィルタ装置の第２弾性波共振子において弾性波伝搬方向に伝搬する弾性波の音速の、所定方向における速度分布の模式的な説明図である。
【図7】図７Ａは、同上の第２弾性波フィルタ装置の第１弾性波共振子に関し、図６ＡのＸ１－Ｘ１線断面図である。図７Ｂは、同上の第２弾性波フィルタ装置の第２弾性波共振子に関し、図６ＢのＸ２－Ｘ２線断面図である。
【図10】図１０Ａは、実施形態２に係る弾性波フィルタ装置の第１弾性波共振子において弾性波伝搬方向に伝搬する弾性波の音速の、所定方向における速度分布の模式的な説明図である。図１０Ｂは、同上の弾性波装置の第２弾性波共振子において弾性波伝搬方向に伝搬する弾性波の音速の、所定方向における速度分布の模式的な説明図である。
【図11】図１１Ａは、実施形態３に係る弾性波フィルタ装置の第１弾性波共振子において弾性波伝搬方向に伝搬する弾性波の音速の、所定方向における速度分布の模式的な説明図である。図１１Ｂは、同上の弾性波装置の第２弾性波共振子において弾性波伝搬方向に伝搬する弾性波の音速の、所定方向における速度分布の模式的な説明図である。
【図12】図１２Ａは、実施形態４に係る弾性波フィルタ装置の第１弾性波共振子において弾性波伝搬方向に伝搬する弾性波の音速の、所定方向における速度分布の模式的な説明図である。図１２Ｂは、同上の弾性波装置の第２弾性波共振子において弾性波伝搬方向に伝搬する弾性波の音速の、所定方向における速度分布の模式的な説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0014】
以下、実施形態１～５について、図面を参照して説明する。以下の実施形態等において参照する図は、模式的な図であり、図中の構成要素の大きさ及び厚さは必ずしも実際の寸法を反映しているとは限らず、構成要素間における大きさの比及び厚さの比も、必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。
【0015】
（実施形態１）
（１）弾性波フィルタ装置及び高周波モジュール
実施形態１に係る弾性波フィルタ装置１００及び高周波モジュール５００について、図面を参照して説明する。
（１）弾性波フィルタ装置及び高周波モジュール
実施形態１に係る弾性波フィルタ装置１００及び高周波モジュール５００について、図面を参照して説明する。
【0016】
高周波モジュール５００は、例えば、通信装置に用いられる。通信装置は、例えば、携帯電話（例えば、スマートフォン）であるが、これに限らず、例えば、ウェアラブル端末（例えば、スマートウォッチ）等であってもよい。高周波モジュール５００は、例えば、４Ｇ（第４世代移動通信）規格、５Ｇ（第５世代移動通信）規格等に対応可能なモジュールである。４Ｇ規格は、例えば、３ＧＰＰ（登録商標、Third Generation Partnership Project） ＬＴＥ（登録商標、Long Term Evolution）規格である。５Ｇ規格は、例えば、５Ｇ ＮＲ（New Radio）である。
【0017】
実施形態１に係る高周波モジュール５００は、図１に示すように、第１信号端子Ｔ１、第２信号端子Ｔ２と、弾性波フィルタ装置１００と、を備える。弾性波フィルタ装置１００は、複数（図１の例では９つ）の弾性波共振子１４を備える。また、弾性波フィルタ装置１００は、複数（図１の例では２つ）のキャパシタＣ１２，Ｃ１３と、複数（図１の例では３つ）のインダクタＬ１１～Ｌ１３と、を更に備える。
【0018】
高周波モジュール５００では、弾性波フィルタ装置１００は、第１信号端子Ｔ１と第２信号端子Ｔ２との間に接続されている。第１弾性波フィルタ装置１００は、送信フィルタである。第１信号端子Ｔ１は、例えば、高周波モジュール５００を備える通信装置のアンテナに接続される。第２信号端子Ｔ２は、例えば、通信装置の備えるパワーアンプに接続される。
【0019】
また、高周波モジュール５００は、第３信号端子Ｔ３と、弾性波フィルタ装置１００（以下、第１弾性波フィルタ装置１００ともいう）とは異なる弾性波フィルタ装置２００（以下、第２弾性波フィルタ装置２００ともいう）と、を更に備える。第２弾性波フィルタ装置２００は、複数（図１の例では７つ）の弾性波共振子２４を備える。また、第２弾性波フィルタ装置２００は、複数（図１の例では３つ）のキャパシタＣ２１～Ｃ２３と、１つのインダクタＬ２１と、を更に備える。
【0020】
高周波モジュール５００では、第２弾性波フィルタ装置２００は、第１信号端子Ｔ１と第３信号端子Ｔ３との間に接続されている。第３信号端子Ｔ３は、例えば、通信装置の備えるローノイズアンプに接続される。第２弾性波フィルタ装置２００は、受信フィルタである。
【0021】
また、高周波モジュール５００は、第１信号端子Ｔ１と第１弾性波フィルタ装置１００及び第２弾性波フィルタ装置２００との間の共通経路とグランドとの間に接続されているインダクタＬ３１を更に備える。インダクタＬ３１は、第１弾性波フィルタ装置１００及び第２弾性波フィルタ装置２００と第１信号端子Ｔ１との間のインピーダンス整合をとる機能を有する。
【0022】
（２）第１弾性波フィルタ装置及び第２弾性波フィルタ装置の回路構成
以下、実施形態１に係る第１弾性波フィルタ装置１００及び第２弾性波フィルタ装置２００の回路構成について、図面を参照して説明する。
以下、実施形態１に係る第１弾性波フィルタ装置１００及び第２弾性波フィルタ装置２００の回路構成について、図面を参照して説明する。
【0023】
（２．１）第１弾性波フィルタ装置の回路構成
第１弾性波フィルタ装置１００は、図１に示すように、ラダー型フィルタであり、複数（図１の例では９つ）の弾性波共振子１４と、複数（図１の例では２つ）のキャパシタＣ１２，Ｃ１３と、複数（図１の例では３つ）のインダクタＬ１１～Ｌ１３と、を備える。第１弾性波フィルタ装置１００は、第１通信バンドの送信帯域を含む通過帯域を有する。第１通信バンドは、例えば、３ＧＰＰ ＬＴＥ規格のＢａｎｄ８であるが、Ｂａｎｄ８以外であってもよい。
第１弾性波フィルタ装置１００は、図１に示すように、ラダー型フィルタであり、複数（図１の例では９つ）の弾性波共振子１４と、複数（図１の例では２つ）のキャパシタＣ１２，Ｃ１３と、複数（図１の例では３つ）のインダクタＬ１１～Ｌ１３と、を備える。第１弾性波フィルタ装置１００は、第１通信バンドの送信帯域を含む通過帯域を有する。第１通信バンドは、例えば、３ＧＰＰ ＬＴＥ規格のＢａｎｄ８であるが、Ｂａｎｄ８以外であってもよい。
【0024】
複数の弾性波共振子１４は、５つの直列腕共振子Ｓ１～Ｓ５と、４つの並列腕共振子Ｐ１～Ｐ４と、を含む。５つの直列腕共振子Ｓ１～Ｓ５は、信号経路（直列腕経路）１５６上に設けられている。信号経路１５６は、第１信号端子Ｔ１と第２信号端子Ｔ２との間の経路の一部である。５つの直列腕共振子Ｓ１～Ｓ５は、信号経路１５６上において、直列に接続されている。第１弾性波フィルタ装置１００では、信号経路１５６上において、直列腕共振子Ｓ１、直列腕共振子Ｓ２、直列腕共振子Ｓ３、直列腕共振子Ｓ４及び直列腕共振子Ｓ５が、第２信号端子Ｔ２側から、直列腕共振子Ｓ１、直列腕共振子Ｓ２、直列腕共振子Ｓ３、直列腕共振子Ｓ４及び直列腕共振子Ｓ５の順に並んでいる。並列腕共振子Ｐ１は、信号経路１５６における直列腕共振子Ｓ１及び直列腕共振子Ｓ２間の経路と、グランドと、の間の経路（並列腕経路）１５７上に設けられている。並列腕共振子Ｐ２は、信号経路１５６における直列腕共振子Ｓ２及び直列腕共振子Ｓ３間の経路と、グランドと、の間の経路（並列腕経路）１５８上に設けられている。並列腕共振子Ｐ３は、信号経路１５６における直列腕共振子Ｓ３及び直列腕共振子Ｓ４間の経路と、グランドと、の間の経路（並列腕経路）１５９上に設けられている。並列腕共振子Ｐ４は、信号経路１５６における直列腕共振子Ｓ４及び直列腕共振子Ｓ５間の経路と、グランドと、の間の経路（並列腕経路）１６０上に設けられている。
【0025】
キャパシタＣ１２は、直列腕共振子Ｓ２に並列接続されている。キャパシタＣ１３は、直列腕共振子Ｓ３に並列接続されている。
【0026】
インダクタＬ１１は、直列腕共振子Ｓ１と第２信号端子Ｔ２との間に接続されている。より具体的には、インダクタＬ１１の一端が直列腕共振子Ｓ１に接続され、インダクタＬ１１の他端が第２信号端子Ｔ２に接続されている。インダクタＬ１２は、２つの並列腕共振子Ｐ１、Ｐ２同士の接続点とグランドとの間に接続されている。より具体的には、インダクタＬ１２の一端が２つの並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２同士の接続点に接続され、インダクタＬ１２の他端がグランド（高周波モジュール５００の有する第１グランド端子）に接続されている。インダクタＬ１３は、２つの並列腕共振子Ｐ３、Ｐ４同士の接続点とグランドとの間に接続されている。より具体的には、インダクタＬ１３の一端が２つの並列腕共振子Ｐ３、Ｐ４同士の接続点に接続され、インダクタＬ１３の他端がグランド（高周波モジュール５００の有する第２グランド端子）に接続されている。
【0027】
（２．２）第２弾性波フィルタ装置の回路構成
第２弾性波フィルタ装置２００は、図１に示すように、ラダー型フィルタであり、複数（図１の例では７つ）の弾性波共振子２４と、複数（図１の例では３つ）のキャパシタＣ２１～Ｃ２３と、インダクタＬ２１と、を備える。第２弾性波フィルタ装置２００は、第２通信バンドの受信帯域を含む通過帯域を有する。第２通信バンドは、例えば、３ＧＰＰ ＬＴＥ規格のＢａｎｄ８であるが、Ｂａｎｄ８以外であってもよい。
第２弾性波フィルタ装置２００は、図１に示すように、ラダー型フィルタであり、複数（図１の例では７つ）の弾性波共振子２４と、複数（図１の例では３つ）のキャパシタＣ２１～Ｃ２３と、インダクタＬ２１と、を備える。第２弾性波フィルタ装置２００は、第２通信バンドの受信帯域を含む通過帯域を有する。第２通信バンドは、例えば、３ＧＰＰ ＬＴＥ規格のＢａｎｄ８であるが、Ｂａｎｄ８以外であってもよい。
【0028】
複数の弾性波共振子２４は、３つの直列腕共振子Ｓ１１～Ｓ１３と、縦結合共振子ＤＭＳ１と、３つの並列腕共振子Ｐ１１～Ｐ１３と、を含む。３つの直列腕共振子Ｓ１１～Ｓ１３及び縦結合共振子ＤＭＳ１は、信号経路（直列腕経路）２５６上に設けられている。信号経路２５６は、第１信号端子Ｔ１と第３信号端子Ｔ３との間の経路の一部である。３つの直列腕共振子Ｓ１１～Ｓ１３及び縦結合共振子ＤＭＳ１は、信号経路２５６上において、直列に接続されている。第２弾性波フィルタ装置２００では、信号経路２５６上において、直列腕共振子Ｓ１１、直列腕共振子Ｓ１２、縦結合共振子ＤＭＳ１及び直列腕共振子Ｓ１３が、第１信号端子Ｔ１側から、直列腕共振子Ｓ１１、直列腕共振子Ｓ１２、縦結合共振子ＤＭＳ１及び直列腕共振子Ｓ１３の順に並んでいる。並列腕共振子Ｐ１１は、信号経路２５６における直列腕共振子Ｓ１１及び直列腕共振子Ｓ１２間の経路と、グランドと、の間の経路（並列腕経路）２５７上に設けられている。並列腕共振子Ｐ１２は、信号経路２５６における直列腕共振子Ｓ１２及び縦結合共振子ＤＭＳ１間の経路と、グランドと、の間の経路（並列腕経路）２５８上に設けられている。並列腕共振子Ｐ１３は、信号経路２５６における直列腕共振子Ｓ１３及びインダクタＬ２１間の経路と、グランドと、の間の経路（並列腕経路）２５９上に設けられている。
【0029】
キャパシタＣ２１は、直列腕共振子Ｓ２２に並列接続されている。キャパシタＣ２２は、並列腕共振子Ｐ１１に並列接続されている。キャパシタＣ２３は、並列腕共振子Ｐ１２に並列接続されている。
【0030】
インダクタＬ２１は、直列腕共振子１３及び並列腕共振子Ｐ１３と第３信号端子Ｔ３との間に接続されている。より具体的には、インダクタＬ２１の一端が直列腕共振子Ｓ１３及び並列腕共振子Ｐ１３に接続され、インダクタＬ２１の他端が第３信号端子Ｔ３に接続されている。
【0031】
（３）第１弾性波フィルタ装置の構造
第１弾性波フィルタ装置１００は、複数の弾性波共振子１４（図１参照）を備える。複数の弾性波共振子１４の各々は、ＳＡＷ（Surface Acoustic Wave）共振子である。複数の弾性波共振子１４の各々は、図２Ａ、図２Ｂ、図３Ａ及び図３Ｂに示すように、圧電性基板２と、ＩＤＴ（Interdigital Transducer）電極３と、を含む。ＩＤＴ電極３は、圧電性基板２上に設けられている。「圧電性基板２上に設けられている」とは、圧電性基板２上に直接的に設けられている場合と、圧電性基板２上に間接的に設けられている場合と、を含む。弾性波フィルタ装置１００は、複数のＩＤＴ電極３の各々に対してＩＤＴ電極３に隣り合うように配置されている２つの反射器を含む。各反射器は、例えば、短絡グレーティングである。なお、図２Ａ及び図２Ｂでは、ＩＤＴ電極３にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、断面を表すものではなく、ＩＤＴ電極３と圧電性基板２との関係を分かりやすくするために付してあるにすぎない。
第１弾性波フィルタ装置１００は、複数の弾性波共振子１４（図１参照）を備える。複数の弾性波共振子１４の各々は、ＳＡＷ（Surface Acoustic Wave）共振子である。複数の弾性波共振子１４の各々は、図２Ａ、図２Ｂ、図３Ａ及び図３Ｂに示すように、圧電性基板２と、ＩＤＴ（Interdigital Transducer）電極３と、を含む。ＩＤＴ電極３は、圧電性基板２上に設けられている。「圧電性基板２上に設けられている」とは、圧電性基板２上に直接的に設けられている場合と、圧電性基板２上に間接的に設けられている場合と、を含む。弾性波フィルタ装置１００は、複数のＩＤＴ電極３の各々に対してＩＤＴ電極３に隣り合うように配置されている２つの反射器を含む。各反射器は、例えば、短絡グレーティングである。なお、図２Ａ及び図２Ｂでは、ＩＤＴ電極３にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、断面を表すものではなく、ＩＤＴ電極３と圧電性基板２との関係を分かりやすくするために付してあるにすぎない。
【0032】
（３．１）圧電性基板
図３Ａ及び図３Ｂに示すように、圧電性基板２は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０において互いに対向する第１主面２０１及び第２主面２０２を有する。ここにおいて、「対向する」とは物理的ではなく幾何学的に対向することを意味する。圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０からの平面視で、圧電性基板２の外縁は、例えば、矩形状である。
図３Ａ及び図３Ｂに示すように、圧電性基板２は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０において互いに対向する第１主面２０１及び第２主面２０２を有する。ここにおいて、「対向する」とは物理的ではなく幾何学的に対向することを意味する。圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０からの平面視で、圧電性基板２の外縁は、例えば、矩形状である。
【0033】
圧電性基板２は、圧電性を有する。実施形態１に係る第１弾性波フィルタ装置１００では、圧電性基板２は、支持基板２１１と、高音速膜２１２と、低音速膜２１３と、圧電体層２１４と、を含む。圧電性基板２では、圧電体層２１４が圧電性を有する。高音速膜２１２は、支持基板２１１上に設けられている。低音速膜２１３は、高音速膜２１２上に設けられている。圧電体層２１４は、低音速膜２１３上に設けられている。高音速膜２１２は、圧電体層２１４を伝搬するバルク波の音速よりも、高音速膜２１２を伝搬するバルク波の音速が高速となる膜である。低音速膜２１３は、圧電体層２１４を伝搬するバルク波の音速よりも、低音速膜２１３を伝搬するバルク波の音速が低速となる膜である。
【0034】
圧電体層２１４は、例えば、３５°ＹカットＸ伝搬リチウムタンタレート単結晶である。ＩＤＴ電極３の電極指ピッチで定まる弾性波の波長をλとすると、圧電体層２１４の厚さは、弾性波共振子１４のＱ値を向上させる観点から、３．５λ以下であるのが好ましい。この場合、支持基板２１１では、圧電体層２１４を伝搬する弾性波の音速よりも、支持基板２１１を伝搬するバルク波の音速が高速である。ここにおいて、支持基板２１１を伝搬するバルク波は、支持基板２１１を伝搬する複数のバルク波のうち最も低音速なバルク波である。圧電体層２１４の厚さは、例えば、９００ｎｍであるが、９００ｎｍに限定されない。圧電体層２１４がＹカットＸ伝搬リチウムタンタレート結晶の場合、弾性波共振子１４は、ＳＨ波を弾性波として利用することにより、ＳＨ波を主成分とするモードをメインモードとして使用することができる。弾性波の波長は、例えば、５．３μｍである。カット角は、３５°に限定されない。圧電体層２１４の材料は、リチウムタンタレートに限らず、例えば、リチウムニオベイトでもよい。また、圧電体層２１４は、圧電単結晶に限らず、圧電セラミックスでもよい。
【0035】
支持基板２１１は、例えば、シリコン基板である。シリコン基板の厚さは、例えば、１０λ以上１８０μｍ以下が好適である。シリコン基板の有する主面の面方位は、例えば、（１１１）面であるが、これに限らず、例えば、（１１０）面、（１１１）面であってもよい。シリコン基板の抵抗率は、例えば１ｋΩｃｍ以上であり、２ｋΩｃｍ以上であるのが好ましく、４ｋΩｃｍ以上であるのが更に好ましい。支持基板２１１の厚さは、例えば、１２０μｍである。支持基板２１１の材料としては、例えば、窒化アルミニウム、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、水晶などの圧電体、アルミナ、サファイア、マグネシア、窒化ケイ素、炭化ケイ素、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト等のセラミック、ダイヤモンド、ガラス等の誘電体、シリコン、窒化ガリウム等の半導体、もしくは樹脂、又は上記材料を主成分とする材料を用いることができる。
【0036】
高音速膜２１２は、例えば、窒化ケイ素膜である。高音速膜２１２の厚さに関しては、弾性波を圧電体層２１４及び低音速膜２１３に閉じ込める機能を高音速膜２１２が有するため、高音速膜２１２の厚さは厚いほど望ましい。高音速膜２１２の厚さは、０．５λ以上であるのが好ましく、１．５λ以上であるのが更に好ましい。高音速膜２１２の厚さは、例えば、３００ｎｍであるが、３００ｎｍに限定されない。高音速膜２１２の材料は、窒化ケイ素に限定されない。高音速膜２１２の材料としては、例えば、窒化アルミニウム、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、水晶等の圧電体、アルミナ、サファイア、マグネシア、窒化ケイ素、炭化ケイ素、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト、スピネル、サイアロン等のセラミック、酸化アルミニウム、酸窒化ケイ素、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）、ダイヤモンド等の誘電体、もしくはシリコン等の半導体、又は上記材料を主成分とする材料を用いることもできる。なお、上記スピネルには、Ｍｇ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｍｎなどから選ばれる１以上の元素と酸素とを含有するアルミニウム化合物が含まれる。上記スピネルの例としては、ＭｇＡｌ２Ｏ４、ＦｅＡｌ２Ｏ４、ＺｎＡｌ２Ｏ４、ＭｎＡｌ２Ｏ４を挙げることができる。
【0037】
低音速膜２１３は、例えば、酸化ケイ素膜である。低音速膜２１３の厚さは、弾性波共振子１４のＱ値を向上させる観点から３．５λ以下であるのが好ましく、周波数温度係数の絶対値を小さくする観点から２．０λ以下であるのが更に好ましい。低音速膜２１３の厚さは、例えば、６７３ｎｍであるが、６７３ｎｍに限定されない。低音速膜２１３の材料は、酸化ケイ素に限定されない。低音速膜２１３の材料としては、例えば、ガラス、酸窒化ケイ素、酸化リチウム、酸化タンタル、酸化ケイ素にフッ素、炭素、若しくはホウ素を加えた化合物等の誘電体、又は、上記材料を主成分とする材料を用いることもできる。
【0038】
（３．２）ＩＤＴ電極
ＩＤＴ電極３は、導電性を有する。ＩＤＴ電極３の材料は、例えば、アルミニウム、銅、白金、金、銀、チタン、ニッケル、クロム、モリブデン、タングステン、タンタル、マグネシウム、鉄又はこれらの金属のいずれかを主体とする合金等である。また、ＩＤＴ電極３は、これらの金属又は合金からなる複数の金属膜を積層した構造を有していてもよい。
ＩＤＴ電極３は、導電性を有する。ＩＤＴ電極３の材料は、例えば、アルミニウム、銅、白金、金、銀、チタン、ニッケル、クロム、モリブデン、タングステン、タンタル、マグネシウム、鉄又はこれらの金属のいずれかを主体とする合金等である。また、ＩＤＴ電極３は、これらの金属又は合金からなる複数の金属膜を積層した構造を有していてもよい。
【0039】
【0040】
ＩＤＴ電極３では、第１バスバー４と第２バスバー５とは、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０に直交する第１方向Ｄ１（以下、所定方向Ｄ１ともいう）において対向し合っている。つまり、第２バスバー５は、所定方向Ｄ１において第１バスバー４に対向している。
【0041】
第１バスバー４及び第２バスバー５は、所定方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２を長手方向とする長尺状である。第２方向Ｄ２は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０にも直交する。
【0042】
複数の第１電極指６は、第１バスバー４に接続されており、所定方向Ｄ１において第１バスバー４から第２バスバー５側に延びている。より詳細には、複数の第１電極指６は、第１バスバー４から第１バスバー４の長手方向に直交する方向に沿って延びている。図２Ａ及び図２Ｂの例では、複数の第１電極指６は、互いの長さが同じである。ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６と第２バスバー５とは離れており、所定方向Ｄ１において対向する第１電極指６と第２バスバー５との間にギャップ３１が形成されている。上述のメインモードの弾性波の波長をλとしたときに、本実施形態の弾性波共振子１４では、所定方向Ｄ１におけるギャップ３１の長さは、例えば、０．３λ未満である。
【0043】
複数の第２電極指７は、第２バスバー５に接続されており、第１方向Ｄ１において第２バスバー５から第１バスバー４側に延びている。より詳細には、複数の第２電極指７は、第２バスバー５から第２バスバー５の長手方向に直交する方向に沿って延びている。図２Ａ及び図２Ｂの例では、複数の第２電極指７は、互いの長さが同じである。ＩＤＴ電極３では、複数の第２電極指７と第１バスバー４とは離れており、所定方向Ｄ１において対向する第２電極指７と第１バスバー４との間にギャップ３２が形成されている。本実施形態の弾性波共振子１４では、所定方向Ｄ１におけるギャップ３２の長さは、例えば、０．３λ未満である。
【0044】
ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第２方向Ｄ２において、１本ずつ交互に互いに離隔して並んでいる。したがって、第２方向Ｄ２において隣り合う第１電極指６と第２電極指７とは離れている。ＩＤＴ電極３では、第１電極指６と第２電極指７との対数は、一例として８８対である。つまり、ＩＤＴ電極３は、一例として、８８本の第１電極指６と、８８本の第２電極指７と、を有している。ＩＤＴ電極３は、交差領域３０（図４及び図５参照）において、弾性波を励振する。交差領域３０は、複数の第１電極指６の先端縁の包絡線３６と複数の第２電極指７の先端縁の包絡線３７との間の領域である。弾性波の伝搬方向は、第２方向Ｄ２に沿った方向である。
【0045】
弾性波共振子１４の特性は、例えば、ＩＤＴ電極３の電極指ピッチ、所定方向Ｄ１におけるＩＤＴ電極３の交差領域３０の幅Ｗ３０（以下、交差幅Ｗ３０ともいう）、圧電性基板２の材料等を適宜変えることによって変えることができる。交差幅Ｗ３０は、例えば、１２λである。
【0046】
ＩＤＴ電極３の電極指ピッチは、平均電極指ピッチであり、図５に示すように、第２方向Ｄ２における一端の第１電極指６の中心線と、他端の第２電極指７の中心線と、の間の距離をＷ３とし、第２方向Ｄ２において隣り合う電極指間のギャップの数をＮとすると、（Ｗ３／Ｎ）×２の演算によって求められる値である。これにより、ＩＤＴ電極３の電極指ピッチは、複数の第１電極指６のうち隣り合う２つの第１電極指６の中心線間の距離の平均値、又は、複数の第２電極指７のうち隣り合う２つの第２電極指７の中心線間の距離の平均値となる。
【0047】
実施形態１に係る第１弾性波フィルタ装置１００では、複数の弾性波共振子１４の各々は、第１質量付加膜８と、第２質量付加膜９と、を含む。
【0048】
第１質量付加膜８は、複数の第１電極指６の各々の先端部６１に重なっている。複数の第１電極指６の各々の先端部６１は、第１電極指６の先端縁を含む部分である。第１質量付加膜８は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０からの平面視で、第２方向Ｄ２を長手方向とする長尺状である。第１質量付加膜８は、圧電性基板２の第１主面２０１の一部と複数の第１電極指６の各々の先端部６１の一部と複数の第２電極指７の各々の一部とを覆っている。第１質量付加膜８は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０からの平面視で、複数の第１電極指６の先端縁と重ならずに複数の第１電極指６の先端縁よりも第１バスバー４側に位置しているが、複数の第１電極指６の先端縁を含む先端部６１の全部を覆っていてもよい。第１質量付加膜８は、誘電体膜である。第１質量付加膜８の材料は、例えば、５酸化タンタルを含む。第１質量付加膜８の厚さは、例えば、３５ｎｍである。
【0049】
第２質量付加膜９は、複数の第２電極指７の各々の先端部７１に重なっている。複数の第２電極指７の各々の先端部７１は、第２電極指７の先端縁を含む部分である。第２質量付加膜９は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０からの平面視で、第２方向Ｄ２を長手方向とする長尺状である。第２質量付加膜９は、圧電性基板２の第１主面２０１の一部と複数の第２電極指７の各々の先端部７１の一部と複数の第２電極指７の各々の一部とを覆っている。第２質量付加膜９は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０からの平面視で、複数の第２電極指７の先端縁と重ならずに複数の第２電極指７の先端縁よりも第２バスバー５側に位置しているが、複数の第２電極指７の先端縁を含む先端部７１の全部を覆っていてもよい。第２質量付加膜９は、誘電体膜である。第２質量付加膜９の材料は、例えば、５酸化タンタルを含む。第２質量付加膜９の厚さは、例えば、３５ｎｍである。
【0050】
図４に示すように、所定方向Ｄ１における交差領域３０の中央部３００は、複数の第１電極指６の先端部６１を含む第１端部３０１と、複数の第２電極指７の先端部７１を含む第２端部３０２との間の部分である。本実施形態では、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０からの平面視で、交差領域３０の第１端部３０１は、第１質量付加膜８と同じ範囲である。本実施形態では、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０からの平面視で、交差領域３０の第２端部３０２は、第２質量付加膜９と同じ範囲である。
【0051】
複数の第１電極指６の各々は、基端部６６、中央部６０及び先端部６１を有する。本実施形態では、複数の第１電極指６の各々の先端部６１は、第１質量付加膜８が重なっている部分である。所定方向Ｄ１における第１質量付加膜８の幅は、例えば、０．８λである。複数の第１電極指６の各々では、基端部６６、中央部６０及び先端部６１が、所定方向Ｄ１において、第１バスバー４側から、基端部６６、中央部６０及び先端部６１の順に並んでいる。本実施形態では、複数の第１電極指６の各々の中央部６０は、所定方向Ｄ１において交差領域３０の中央部３００に存在する部分である。複数の第１電極指６の各々の基端部６６は、所定方向Ｄ１において中央部６０と第１バスバー４との間の部分である。
【0052】
複数の第１電極指６は、互いの基端部６６の幅Ｗ６６が同じである。また、複数の第１電極指６は、互いの中央部６０の幅Ｗ６０が同じである。また、複数の第１電極指６は、互いの先端部６１の幅Ｗ６１が同じである。本実施形態では、幅Ｗ６６と幅Ｗ６０と幅Ｗ６１とは同じである。
【0053】
複数の第２電極指７の各々は、基端部７６、中央部７０及び先端部７１を有する。本実施形態では、複数の第２電極指７の各々の先端部７１は、第２質量付加膜９が重なっている部分である。所定方向Ｄ１における第２質量付加膜９の幅は、例えば、０．８λである。複数の第２電極指７の各々では、基端部７６、中央部７０及び先端部７１が、所定方向Ｄ１において、第２バスバー５側から、基端部７６、中央部７０及び先端部７１の順に並んでいる。本実施形態では、複数の第２電極指７の各々の中央部７０は、所定方向Ｄ１において交差領域３０の中央部３００に存在する部分である。複数の第２電極指７の各々の基端部７６は、所定方向Ｄ１において中央部７０と第２バスバー５との間の部分である。
【0054】
複数の第２電極指７は、互いの基端部７６の幅Ｗ７６が同じである。また、複数の第２電極指７は、互いの中央部７０の幅Ｗ７０が同じである。また、複数の第２電極指７は、互いの先端部７１の幅Ｗ７１が同じである。本実施形態では、幅Ｗ７６と幅Ｗ７０と幅Ｗ７１とは同じである。
【0055】
複数の弾性波共振子１４は、第１弾性波共振子１１と、第２弾性波共振子１２と、を有する。以下では、第１弾性波共振子１１について図２Ａを参照して説明し、第２弾性波共振子１２について図２Ｂを参照して説明する。
【0056】
図２Ａに示すように、第１弾性波共振子１１では、第１バスバー４は、内側バスバー部４１と、外側バスバー部４２と、内側バスバー部４１と外側バスバー部４２との間の複数のギャップ４０と、複数の繋ぎ部４３と、含む。複数のギャップ４０は、例えば、第２方向Ｄ２において等間隔で並んでいる。内側バスバー部４１は、所定方向Ｄ１において複数のギャップ４０よりも交差領域３０側に位置している。外側バスバー部４２は、所定方向Ｄ１において複数のギャップ４０から見て内側バスバー部４１とは反対側に位置している。複数の繋ぎ部４３は、所定方向Ｄ１において内側バスバー部４１と外側バスバー部４２とを繋いでいる。複数の繋ぎ部４３は、例えば、第２方向Ｄ２において等間隔で並んでいる。複数の繋ぎ部４３のうち第２方向Ｄ２において隣り合う２つの繋ぎ部４３の間には、複数のギャップ４０のうち１つのギャップ４０が位置している。要するに、第１バスバー４では、第２方向Ｄ２において複数の繋ぎ部４３と複数のギャップ４０とが１つずつ交互に並んでいる。図２Ａの例では、複数の繋ぎ部４３は、複数の第１電極指６に一対一に対応し、対応する第１電極指６と所定方向Ｄ１において並んでいるが、これに限らない。つまり、繋ぎ部４３の数及び複数の繋ぎ部４３の位置は、図２Ａの例に限らない。
【0057】
また、複数のギャップ４０の各々の開口形状は、矩形状であるが、これに限らない。上述の弾性波の波長をλとしたときに、所定方向Ｄ１における内側バスバー部４１の幅は、例えば、０．５λ以下である。また、所定方向Ｄ１におけるギャップ４０の長さは、０．３λ以上であり、一例として、１．０λである。
【0058】
また、第１弾性波共振子１１では、第２バスバー５は、内側バスバー部５１と、外側バスバー部５２と、内側バスバー部５１と外側バスバー部５２との間の複数のギャップ５０と、複数の繋ぎ部５３と、含む。複数のギャップ５０は、例えば、第２方向Ｄ２において等間隔で並んでいる。内側バスバー部５１は、所定方向Ｄ１において複数のギャップ５０よりも交差領域３０側に位置している。外側バスバー部５２は、所定方向Ｄ１において複数のギャップ５０から見て内側バスバー部５１とは反対側に位置している。複数の繋ぎ部５３は、所定方向Ｄ１において内側バスバー部５１と外側バスバー部５２とを繋いでいる。複数の繋ぎ部５３は、例えば、第２方向Ｄ２において等間隔で並んでいる。複数の繋ぎ部５３のうち第２方向Ｄ２において隣り合う２つの繋ぎ部５３の間には、複数のギャップ５０のうち１つのギャップ５０が位置している。要するに、第２バスバー５では、第２方向Ｄ２において複数の繋ぎ部５３と複数のギャップ５０とが１つずつ交互に並んでいる。図２Ａの例では、複数の繋ぎ部５３は、複数の第２電極指７に一対一に対応し、対応する第２電極指７と所定方向Ｄ１において並んでいるが、これに限らない。つまり、繋ぎ部５３の数及び複数の繋ぎ部５３の位置は、図２Ａの例に限らない。
【0059】
また、複数のギャップ５０の各々の開口形状は、矩形状であるが、これに限らない。所定方向Ｄ１における内側バスバー部５１の幅は、例えば、０．５λ以下である。また、所定方向Ｄ１におけるギャップ５０の長さは、０．３λ以上であり、一例として、１．０λである。
【0060】
実施形態１に係る弾性波フィルタ装置１００における第１弾性波共振子１１は、ＩＤＴ電極３において、ピストンモードを形成することにより横モードリップルを抑制する構造を有する。この点については、図２Ａを参照して説明する。
【0061】
第１弾性波共振子１１は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０からの平面視で、図２Ａの左側に示すように、所定方向Ｄ１に並んでいる複数（１１個）の領域Ａ０～Ａ１０を含んでいる。１１個の領域Ａ０～Ａ１０は、圧電性基板２及びＩＤＴ電極３それぞれにおいて互いに異なる部分を含んでいる。１１個の領域Ａ０～Ａ１０は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０からの平面視で第２方向Ｄ２に長い帯状の領域である。図２Ａの右側には、１１個の領域Ａ０～Ａ１０を伝搬する弾性波の速度（音速）を模式的に示してある。
【0062】
各領域Ａ０～Ａ１０それぞれの音速は、圧電性基板２のパラメータ（材料、オイラー角及び厚さ等）、ＩＤＴ電極３のパラメータ（材料、厚さ及び電極指ピッチ等）を用いて、有限要素法によるシミュレーションを行うことにより、求めることができる。
【0063】
第１弾性波共振子１１では、上述の１１個の領域Ａ０～Ａ１１の領域Ａ０が、所定方向Ｄ１におけるＩＤＴ電極３の交差領域３０の中央部３００を含む中央領域を構成している。領域Ａ０は、複数の第１電極指６の第１中央部６０と複数の第２電極指７の第２中央部７０とを含む。中央領域（領域Ａ０）は、複数の第１電極指６の中央部６０と複数の第２電極指７の中央部７０とが第２方向Ｄ２において重なる領域である。領域Ａ０では、電極指幅（第１電極指６の中央部６０の幅Ｗ６０又は第２電極指の中央部７０の幅Ｗ７０）を上記電極指ピッチの２分の１の値で除した値（デューティ比）は、例えば、０．６である。
【0064】
領域Ａ１は、複数の第１電極指６の各々の先端部６１及び複数の第２電極指７の各々の基端部７６の一部を含む。本実施形態では、領域Ａ１は、第１質量付加膜８を含む。領域Ａ２は、複数の第２電極指７の各々の先端部７１及び複数の第１電極指６の各々の基端部６６の一部を含む。本実施形態では、領域Ａ２は、第２質量付加膜９を含む。領域Ａ３は、複数のギャップ３１を含む。領域Ａ４は、複数のギャップ３２を含む。領域Ａ５は、第２バスバー５の内側バスバー部５１を含む。領域Ａ６は、第１バスバー４の内側バスバー部４１を含む。領域Ａ７は、複数のギャップ５０及び複数の繋ぎ部５３を含む。領域Ａ８は、複数のギャップ４０及び複数の繋ぎ部４３を含む。領域Ａ９は、第２バスバー５の外側バスバー部５２を含む。領域Ａ１０は、第１バスバー４の外側バスバー部４２を含む。本実施形態では、領域Ａ１が、複数の第１電極指６の先端部６１を含む第１領域を構成している。また、本実施形態では、領域Ａ２が、複数の第２電極指７の先端部７１を含む第２領域を構成している。また、本実施形態では、領域Ａ７が、所定方向Ｄ１において第１領域の外側に所定方向Ｄ１の長さが０．３λ以上のギャップ５０を有する第３領域を構成している。また、本実施形態では、領域Ａ８が、所定方向Ｄ１において第２領域の外側に所定方向Ｄ１の長さが０．３λ以上のギャップ４０を有する第４領域を構成している。本実施形態では、第１弾性波共振子１１は、中央領域、第１領域、第２領域、第３領域及び第４領域を有することにより、ピストンモードを形成することが可能となる。
【0065】
領域Ａ１及び領域Ａ２の各々では、領域Ａ０よりも弾性波の音速が遅い。領域Ａ３及び領域Ａ４では、領域Ａ０よりも弾性波の音速が速い。領域Ａ５及び領域Ａ６では、領域Ａ０よりも弾性波の音速が遅い。領域Ａ７及び領域Ａ８では、領域Ａ０よりも弾性波の音速が速い。領域Ａ９及び領域Ａ１０では、領域Ａ０よりも弾性波の音速が遅い。
【0066】
図２Ｂに示すように、第２弾性波共振子１２は、第１弾性波共振子１１と同様、領域Ａ０～Ａ６を含む。ただし、第２弾性波共振子１２は、領域Ａ７及び領域Ａ８を含まない。すなわち、第２弾性波共振子１２は、第３領域及び第４領域を含まない。また、第２弾性波共振子１２は、領域Ａ９及び領域Ａ１０を含まない。
【0067】
本実施形態では、第１弾性波フィルタ装置１００では、複数の弾性波共振子１４の圧電性基板２が共通である。したがって、第１弾性波共振子１１の圧電性基板２と第２弾性波共振子１２の圧電性基板２とが共通である。第１弾性波フィルタ装置１００は、複数の弾性波共振子１４を含む１チップの弾性波装置１０を備えている。弾性波装置１０は、複数の外部接続電極を有する。複数の外部接続電極は、図１に示すように、第２信号端子Ｔ２に接続される第１入出力電極１５と、第１信号端子Ｔ１に接続される第２入出力電極１６と、第１グランド電極１７と、第２グランド電極１８と、を含む。
【0068】
本実施形態では、図１に示すように、９つの弾性波共振子１４が、８つの第１弾性波共振子１１と、１つの第２弾性波共振子１２と、を有する。８つの第１弾性波共振子１１は、信号経路１５６に設けられている５つの直列腕共振子Ｓ１～Ｓ５のうち電極指ピッチが最も大きい直列腕共振子Ｓ４と、信号経路１５６とグランドとの間に接続されている４つの並列腕共振子Ｐ１～Ｐ４のうち電極指ピッチが最も小さい並列腕共振子Ｐ２と、を含む。第１弾性波共振子１１の共振周波数と反共振周波数との間の周波数帯の少なくとも一部は、弾性波フィルタ装置１００の有する通過帯域に含まれる。
【0069】
本実施形態では、図１に示すように、直列腕共振子Ｓ１が第２弾性波共振子１２である。複数の弾性波共振子１４は、直列腕共振子Ｓ４及び並列腕共振子Ｐ２の各々が第１弾性波共振子１１であれば、直列腕共振子Ｓ１に限らず、直列腕共振子Ｓ２，Ｓ３，Ｓ５及び並列腕共振子Ｐ１，Ｐ３，Ｐ４のうち少なくとも１つが第２弾性波共振子１２であってもよい。
【0070】
（３．３）反射器
各反射器は、隣り合うＩＤＴ電極３側からの弾性波を反射する。各反射器は、導電性を有する。各反射器の材料は、例えば、アルミニウム、銅、白金、金、銀、チタン、ニッケル、クロム、モリブデン、タングステン、タンタル、マグネシウム、鉄又はこれらの金属のいずれかを主体とする合金等である。また、各反射器は、これらの金属又は合金からなる複数の金属膜を積層した構造を有していてもよい。各反射器の厚さは、例えば、３００ｎｍである。
各反射器は、隣り合うＩＤＴ電極３側からの弾性波を反射する。各反射器は、導電性を有する。各反射器の材料は、例えば、アルミニウム、銅、白金、金、銀、チタン、ニッケル、クロム、モリブデン、タングステン、タンタル、マグネシウム、鉄又はこれらの金属のいずれかを主体とする合金等である。また、各反射器は、これらの金属又は合金からなる複数の金属膜を積層した構造を有していてもよい。各反射器の厚さは、例えば、３００ｎｍである。
【0071】
（４）第２弾性波フィルタ装置の構造
第２弾性波フィルタ装置２００は、複数の弾性波共振子２４（図１参照）を備える。複数の弾性波共振子２４の各々は、ＳＡＷ共振子である。複数の弾性波共振子２４の各々は、図６Ａ、図６Ｂ、図７Ａ及び図７Ｂに示すように、圧電性基板２と、ＩＤＴ電極３と、を含む。第２弾性波フィルタ装置２００は、複数のＩＤＴ電極３の各々に対してＩＤＴ電極３に隣り合うように配置されている２つの反射器を含む。複数の弾性波共振子２４に関し、第１弾性波フィルタ装置１００の複数の弾性波共振子１４と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。なお、図６Ａ及び図６Ｂでは、ＩＤＴ電極３にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、断面を表すものではなく、ＩＤＴ電極３と圧電性基板２との関係を分かりやすくするために付してあるにすぎない。
第２弾性波フィルタ装置２００は、複数の弾性波共振子２４（図１参照）を備える。複数の弾性波共振子２４の各々は、ＳＡＷ共振子である。複数の弾性波共振子２４の各々は、図６Ａ、図６Ｂ、図７Ａ及び図７Ｂに示すように、圧電性基板２と、ＩＤＴ電極３と、を含む。第２弾性波フィルタ装置２００は、複数のＩＤＴ電極３の各々に対してＩＤＴ電極３に隣り合うように配置されている２つの反射器を含む。複数の弾性波共振子２４に関し、第１弾性波フィルタ装置１００の複数の弾性波共振子１４と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。なお、図６Ａ及び図６Ｂでは、ＩＤＴ電極３にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、断面を表すものではなく、ＩＤＴ電極３と圧電性基板２との関係を分かりやすくするために付してあるにすぎない。
【0072】
複数の弾性波共振子２４は、第１弾性波共振子２１と、第２弾性波共振子２２と、を有する。第１弾性波共振子２１に関し、第１弾性波フィルタ装置１００の第１弾性波共振子１１と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【0073】
第１弾性波共振子２１は、領域Ａ０～Ａ１０を含む。第２弾性波共振子２２は、領域Ａ０～Ａ６を含み、領域Ａ７～Ａ１０を含まない。
【0074】
本実施形態では、図１に示すように、９つの弾性波共振子２４が、５つの第１弾性波共振子２１と、１つの第２弾性波共振子１２と、１つの縦結合共振子ＤＭＳ１と、を有する。５つの第１弾性波共振子２１は、信号経路２５６に設けられている３つの直列腕共振子Ｓ１１～Ｓ１３のうち電極指ピッチが最も大きい直列腕共振子Ｓ１２と、信号経路２５６とグランドとの間に接続されている３つの並列腕共振子Ｐ１１～Ｐ１３のうち電極指ピッチが最も小さい並列腕共振子Ｐ１２と、を含む。
【0075】
本実施形態では、図１に示すように、直列腕共振子Ｓ１３が第２弾性波共振子２２である。複数の弾性波共振子２４は、直列腕共振子Ｓ１２及び並列腕共振子Ｐ１２の各々が第１弾性波共振子２１であれば、直列腕共振子Ｓ１３に限らず、直列腕共振子Ｓ１１及び並列腕共振子Ｐ１１，Ｐ１３のうち少なくとも１つが第２弾性波共振子２２であってもよい。
【0076】
縦結合共振子ＤＭＳ１は、図８に示すように、弾性波の伝搬方向に７つのＩＤＴ電極３を配置した７ＩＤＴ型の縦結合共振子である。縦結合共振子ＤＭＳ１は、７つのＩＤＴ電極３ごとに、領域Ａ０～Ａ１０を有する。なお、７つのＩＤＴ電極３の各々の形状は、第１弾性波共振子２１と同様である。また、図８では、第１質量付加膜８及び第２質量付加膜９の図示を省略してある。
【0077】
なお、縦結合共振子ＤＭＳ１の有するＩＤＴ電極３の数は、７つに限らず、例えば、３つでもよいし、５つでもよい。
【0078】
（５）第１弾性波フィルタ装置の特性
第１弾性波共振子１１及び第２弾性波共振子１２の各々のインピーダンスの周波数特性において、共振点と反共振点との間に発生する不要波のリップル（横モードリップル）を抑制できる。
第１弾性波共振子１１及び第２弾性波共振子１２の各々のインピーダンスの周波数特性において、共振点と反共振点との間に発生する不要波のリップル（横モードリップル）を抑制できる。
【0079】
第１弾性波共振子１１のＱ値は、第２弾性波共振子１２のＱ値よりも大きい。
【0080】
第１弾性波フィルタ装置１００は、複数の弾性波共振子１４の全てを第１弾性波共振子１１とする場合と比べて、フィルタ特性（アッテネーション特性）のロスを抑制することができる。
【0081】
（６）第２弾性波フィルタ装置の特性
第１弾性波共振子２１及び第２弾性波共振子２２の各々のインピーダンスの周波数特性において、共振点と反共振点との間に発生する不要波のリップル（横モードリップル）を抑制できる。
第１弾性波共振子２１及び第２弾性波共振子２２の各々のインピーダンスの周波数特性において、共振点と反共振点との間に発生する不要波のリップル（横モードリップル）を抑制できる。
【0082】
第１弾性波共振子２１のＱ値は、第２弾性波共振子２２のＱ値よりも大きい。
【0083】
第２弾性波フィルタ装置２００は、複数の弾性波共振子２４の全てを第１弾性波共振子２１とする場合と比べて、フィルタ特性（アッテネーション特性）のロスを抑制することができる。
【0084】
（７）効果
実施形態１に係る第１弾性波フィルタ装置１００は、複数の弾性波共振子１４を備える。複数の弾性波共振子１４の各々は、圧電性基板２と、ＩＤＴ電極３と、を含む。ＩＤＴ電極３は、圧電性基板２上に設けられている。ＩＤＴ電極３は、第１バスバー４と、第２バスバー５と、複数の第１電極指６と、複数の第２電極指７と、を有する。第２バスバー５は、所定方向Ｄ１において第１バスバー４に対向している。複数の第１電極指６は、第１方向Ｄ１において第１バスバー４から第２バスバー５に向かって延びている。複数の第２電極指７は、所定方向において第２バスバー５から第１バスバー４に向かって延びている。複数の第１電極指６の先端縁の包絡線３６と複数の第２電極指７の先端縁の包絡線３７との間の領域を交差領域３０とし、ＩＤＴ電極３の電極指ピッチで定まる弾性波の波長をλとし、複数の弾性波共振子１４の各々は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０からの平面視で、中央領域（領域Ａ０）と、第１領域（領域Ａ１）と、第２領域（領域Ａ２）と、を有する。中央領域（領域Ａ０）は、所定方向におけるＩＤＴ電極３の交差領域３０の中央部３００を含む。第１領域（領域Ａ１）は、複数の第１電極指６の先端部６１を含み、中央領域（領域Ａ０）よりも弾性波の音速が遅い。第２領域（領域Ａ２）は、複数の第２電極指７の先端部７１を含み、中央領域（領域Ａ０）よりも弾性波の音速が遅い。複数の弾性波共振子１４は、第１弾性波共振子１１と、第２弾性波共振子１２と、を有する。第１弾性波共振子１１の圧電性基板２と第２弾性波共振子１２の圧電性基板２とが共通である。第１弾性波共振子１１は、第３領域（領域Ａ７）と、第４領域（領域Ａ８）と、を更に含む。第３領域（領域Ａ７）は、所定方向において第１領域（領域Ａ１）の外側に所定方向の長さが０．３λ以上のギャップ５０を有し、中央領域（領域Ａ０）よりも弾性波の音速が速い。第４領域（領域Ａ８）は、所定方向Ｄ１において第２領域（領域Ａ２）の外側に所定方向Ｄ１の長さが０．３λ以上のギャップ４０を有し、中央領域（領域Ａ０）よりも弾性波の音速が速い。第２弾性波共振子１２は、第３領域（領域Ａ７）及び第４領域（領域Ａ８）を含まない。
実施形態１に係る第１弾性波フィルタ装置１００は、複数の弾性波共振子１４を備える。複数の弾性波共振子１４の各々は、圧電性基板２と、ＩＤＴ電極３と、を含む。ＩＤＴ電極３は、圧電性基板２上に設けられている。ＩＤＴ電極３は、第１バスバー４と、第２バスバー５と、複数の第１電極指６と、複数の第２電極指７と、を有する。第２バスバー５は、所定方向Ｄ１において第１バスバー４に対向している。複数の第１電極指６は、第１方向Ｄ１において第１バスバー４から第２バスバー５に向かって延びている。複数の第２電極指７は、所定方向において第２バスバー５から第１バスバー４に向かって延びている。複数の第１電極指６の先端縁の包絡線３６と複数の第２電極指７の先端縁の包絡線３７との間の領域を交差領域３０とし、ＩＤＴ電極３の電極指ピッチで定まる弾性波の波長をλとし、複数の弾性波共振子１４の各々は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０からの平面視で、中央領域（領域Ａ０）と、第１領域（領域Ａ１）と、第２領域（領域Ａ２）と、を有する。中央領域（領域Ａ０）は、所定方向におけるＩＤＴ電極３の交差領域３０の中央部３００を含む。第１領域（領域Ａ１）は、複数の第１電極指６の先端部６１を含み、中央領域（領域Ａ０）よりも弾性波の音速が遅い。第２領域（領域Ａ２）は、複数の第２電極指７の先端部７１を含み、中央領域（領域Ａ０）よりも弾性波の音速が遅い。複数の弾性波共振子１４は、第１弾性波共振子１１と、第２弾性波共振子１２と、を有する。第１弾性波共振子１１の圧電性基板２と第２弾性波共振子１２の圧電性基板２とが共通である。第１弾性波共振子１１は、第３領域（領域Ａ７）と、第４領域（領域Ａ８）と、を更に含む。第３領域（領域Ａ７）は、所定方向において第１領域（領域Ａ１）の外側に所定方向の長さが０．３λ以上のギャップ５０を有し、中央領域（領域Ａ０）よりも弾性波の音速が速い。第４領域（領域Ａ８）は、所定方向Ｄ１において第２領域（領域Ａ２）の外側に所定方向Ｄ１の長さが０．３λ以上のギャップ４０を有し、中央領域（領域Ａ０）よりも弾性波の音速が速い。第２弾性波共振子１２は、第３領域（領域Ａ７）及び第４領域（領域Ａ８）を含まない。
【0085】
上記の構成によれば、特性と小型化の両立を図ることが可能となる。
【0086】
また、実施形態１に係る弾性波フィルタ装置１００は、第１入出力電極１５及び第２入出力電極１６を更に備える。複数の弾性波共振子１４は、第１入出力電極１５と第２入出力電極１６との間の信号経路１５６に設けられている２以上の弾性波共振子１４（直列腕共振子Ｓ１～Ｓ５）と、信号経路１５６とグランドとの間に接続されている２以上の弾性波共振子１４（並列腕共振子Ｐ１～Ｐ４）と、を含む。複数の弾性波共振子１４は、第１弾性波共振子１１を少なくとも２つ有する。少なくとも２つの第１弾性波共振子１１は、信号経路１５６に設けられている２以上の弾性波共振子１４（直列腕共振子Ｓ１～Ｓ５）のうち電極指ピッチが最も大きい弾性波共振子１４（直列腕共振子Ｓ４）と、信号経路１５６とグランドとの間に接続されている２以上の弾性波共振子１４（並列腕共振子Ｐ１～Ｐ４）のうち電極指ピッチが最も小さい弾性波共振子１４（並列腕共振子Ｐ２）と、を含む。
【0087】
上記の構成によれば、フィルタ特性のロスを抑制しつつ小型化を図ることが可能となる。
【0088】
実施形態１に係る第２弾性波フィルタ装置２００は、複数の弾性波共振子２４を備える。複数の弾性波共振子２４の各々は、圧電性基板２と、ＩＤＴ電極３と、を含む。ＩＤＴ電極３は、圧電性基板２上に設けられている。ＩＤＴ電極３は、第１バスバー４と、第２バスバー５と、複数の第１電極指６と、複数の第２電極指７と、を有する。第２バスバー５は、所定方向Ｄ１において第１バスバー４に対向している。複数の第１電極指６は、第１方向Ｄ１において第１バスバー４から第２バスバー５に向かって延びている。複数の第２電極指７は、所定方向において第２バスバー５から第１バスバー４に向かって延びている。複数の第１電極指６の先端縁の包絡線３６と複数の第２電極指７の先端縁の包絡線３７との間の領域を交差領域３０とし、ＩＤＴ電極３の電極指ピッチで定まる弾性波の波長をλとし、複数の弾性波共振子２４の各々は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０からの平面視で、中央領域（領域Ａ０）と、第１領域（領域Ａ１）と、第２領域（領域Ａ２）と、を有する。中央領域（領域Ａ０）は、所定方向Ｄ１におけるＩＤＴ電極３の交差領域３０の中央部３００を含む。第１領域（領域Ａ１）は、複数の第１電極指６の先端部６１を含み、中央領域（領域Ａ０）よりも弾性波の音速が遅い。第２領域（領域Ａ２）は、複数の第２電極指７の先端部７１を含み、中央領域（領域Ａ０）よりも弾性波の音速が遅い。複数の弾性波共振子２４は、第１弾性波共振子２１と、第２弾性波共振子２２と、を有する。第１弾性波共振子２１の圧電性基板２と第２弾性波共振子２２の圧電性基板２とが共通である。第１弾性波共振子２１は、第３領域（領域Ａ７）と、第４領域（領域Ａ８）と、を更に含む。第３領域（領域Ａ７）は、所定方向Ｄ１において第１領域（領域Ａ１）の外側に所定方向Ｄ１の長さが０．３λ以上のギャップ５０を有し、中央領域（領域Ａ０）よりも弾性波の音速が速い。第４領域（領域Ａ８）は、所定方向Ｄ１において第２領域（領域Ａ２）の外側に所定方向Ｄ１の長さが０．３λ以上のギャップ４０を有し、中央領域（領域Ａ０）よりも弾性波の音速が速い。第２弾性波共振子２２は、第３領域（領域Ａ７）及び第４領域（領域Ａ８）を含まない。
【0089】
上記の構成によれば、特性と小型化の両立を図ることが可能となる。
【0090】
また、実施形態１に係る第２弾性波フィルタ装置２００は、第１入出力電極２５及び第２入出力電極２６を更に備える。複数の弾性波共振子２４は、第１入出力電極２５と第２入出力電極２６との間の信号経路２５６に設けられている２以上の弾性波共振子２４（直列腕共振子Ｓ１１～Ｓ１３）と、信号経路２５６とグランドとの間に接続されている２以上の弾性波共振子１４（並列腕共振子Ｐ１１～Ｐ１３）と、を含む。複数の弾性波共振子２４は、第１弾性波共振子２１を少なくとも２つ有する。少なくとも２つの第１弾性波共振子２１は、信号経路２５６に設けられている２以上の弾性波共振子２４（直列腕共振子Ｓ１１～Ｓ１３）のうち電極指ピッチが最も大きい弾性波共振子２４（直列腕共振子Ｓ１２）と、信号経路２５６とグランドとの間に接続されている２以上の弾性波共振子２４（並列腕共振子Ｐ１１～Ｐ１３）のうち電極指ピッチが最も小さい弾性波共振子２４（並列腕共振子Ｐ１２）と、を含む。
【0091】
上記の構成によれば、フィルタ特性のロスを抑制しつつ小型化を図ることが可能となる。
【0092】
（８）変形例
変形例における縦結合共振子ＤＭＳ１では、図９に示すように、７つのＩＤＴ電極３の各々の形状が、第２弾性波共振子２２と同様である。なお、図９では、第１質量付加膜８及び第２質量付加膜９の図示を省略してある。
変形例における縦結合共振子ＤＭＳ１では、図９に示すように、７つのＩＤＴ電極３の各々の形状が、第２弾性波共振子２２と同様である。なお、図９では、第１質量付加膜８及び第２質量付加膜９の図示を省略してある。
【0093】
（実施形態２）
実施形態２に係る第１弾性波フィルタ装置１００、第２弾性波フィルタ装置２００及び高周波モジュール５００それぞれの回路構成は、図１に示した実施形態１に係る第１弾性波フィルタ装置１００、第２弾性波フィルタ装置２００及び高周波モジュール５００それぞれの回路構成と同じなので、図示及び説明を省略する。
実施形態２に係る第１弾性波フィルタ装置１００、第２弾性波フィルタ装置２００及び高周波モジュール５００それぞれの回路構成は、図１に示した実施形態１に係る第１弾性波フィルタ装置１００、第２弾性波フィルタ装置２００及び高周波モジュール５００それぞれの回路構成と同じなので、図示及び説明を省略する。
【0094】
（１）第１弾性波フィルタ装置の構造
実施形態２に係る弾性波フィルタ装置１００では、図１０Ａに示す第１弾性波共振子１１の構造が、実施形態１に係る弾性波フィルタ装置１００における第１弾性波共振子１１の構造と相違する。
実施形態２に係る弾性波フィルタ装置１００では、図１０Ａに示す第１弾性波共振子１１の構造が、実施形態１に係る弾性波フィルタ装置１００における第１弾性波共振子１１の構造と相違する。
【0095】
本実施形態の第１弾性波共振子１１は、内側バスバー部４１が第２方向Ｄ２において離隔した複数の分離内側バスバー部４１ａを含んでいる点で、実施形態１の第１弾性波共振子１１と相違する。本実施形態では、内側バスバー部４１は、ギャップ３２とギャップ４０とを連通させるスリットを有しており、第２方向Ｄ２において不連続である。
【0096】
本実施形態の第１弾性波共振子１１は、内側バスバー部５１が第２方向Ｄ２において離隔した複数の分離内側バスバー部５１ａを含んでいる点で、実施形態１の第１弾性波共振子１１と相違する。本実施形態では、内側バスバー部５１は、ギャップ３２とギャップ５０とを連通させるスリットを有しており、第２方向Ｄ２において不連続である。
【0097】
図１０Ｂに示す第２弾性波共振子１２の構造は、実施形態１の第２弾性波共振子１２と同じなので、説明を省略する。
【0098】
（２）効果
実施形態２に係る第１弾性波フィルタ装置１００は、実施形態１に係る第１弾性波フィルタ装置１００と同様の効果を奏する。
実施形態２に係る第１弾性波フィルタ装置１００は、実施形態１に係る第１弾性波フィルタ装置１００と同様の効果を奏する。
【0099】
（実施形態３）
実施形態３に係る第１弾性波フィルタ装置１００、第２弾性波フィルタ装置２００及び高周波モジュール５００それぞれの回路構成は、図１に示した実施形態１に係る第１弾性波フィルタ装置１００、第２弾性波フィルタ装置２００及び高周波モジュール５００それぞれの回路構成と同じなので、図示及び説明を省略する。
実施形態３に係る第１弾性波フィルタ装置１００、第２弾性波フィルタ装置２００及び高周波モジュール５００それぞれの回路構成は、図１に示した実施形態１に係る第１弾性波フィルタ装置１００、第２弾性波フィルタ装置２００及び高周波モジュール５００それぞれの回路構成と同じなので、図示及び説明を省略する。
【0100】
（１）第１弾性波フィルタ装置の構造
実施形態３に係る弾性波フィルタ装置１００では、図１１Ａに示す第１弾性波共振子１１の構造が、実施形態１に係る弾性波フィルタ装置１００における第１弾性波共振子１１の構造と相違する。
実施形態３に係る弾性波フィルタ装置１００では、図１１Ａに示す第１弾性波共振子１１の構造が、実施形態１に係る弾性波フィルタ装置１００における第１弾性波共振子１１の構造と相違する。
【0101】
本実施形態の第１弾性波共振子１１は、実施形態１の第１弾性波共振子１１のように第２バスバー５が内側バスバー部５１及び外側バスバー部５２に分かれた構造を採用せずに、所定方向Ｄ１において第１領域（領域Ａ１）の外側に所定方向の長さが０．３λ以上のギャップ５０を有する第３領域（領域Ａ７）を含む点で、実施形態１の第１弾性波共振子１１と相違する。本実施形態では、ギャップ４０は、第１方向Ｄ１における第１電極指６と第２バスバー５との間のギャップである。
【0102】
また、本実施形態の第１弾性波共振子１１は、実施形態１の第１弾性波共振子１１のように第１バスバー４が内側バスバー部４１及び外側バスバー部４２に分かれた構造を採用せずに、所定方向Ｄ１において第２領域（領域Ａ２）の外側に所定方向の長さが０．３λ以上のギャップ４０を有する第４領域（領域Ａ８）を含む点で、実施形態１の第１弾性波共振子１１と相違する。本実施形態では、ギャップ５０は、第１方向Ｄ１における第２電極指７と第１バスバー４との間のギャップである。
【0103】
図１１Ｂに示す第２弾性波共振子１２の構造は、実施形態１の第２弾性波共振子１２と同じなので、説明を省略する。
【0104】
（２）効果
実施形態３に係る第１弾性波フィルタ装置１００は、実施形態１に係る第１弾性波フィルタ装置１００と同様の効果を奏する。
実施形態３に係る第１弾性波フィルタ装置１００は、実施形態１に係る第１弾性波フィルタ装置１００と同様の効果を奏する。
【0105】
（実施形態４）
実施形態４に係る第１弾性波フィルタ装置１００、第２弾性波フィルタ装置２００及び高周波モジュール５００それぞれの回路構成は、図１に示した実施形態１に係る第１弾性波フィルタ装置１００、第２弾性波フィルタ装置２００及び高周波モジュール５００それぞれの回路構成と同じなので、図示及び説明を省略する。
実施形態４に係る第１弾性波フィルタ装置１００、第２弾性波フィルタ装置２００及び高周波モジュール５００それぞれの回路構成は、図１に示した実施形態１に係る第１弾性波フィルタ装置１００、第２弾性波フィルタ装置２００及び高周波モジュール５００それぞれの回路構成と同じなので、図示及び説明を省略する。
【0106】
（１）第１弾性波フィルタ装置の構造
実施形態４に係る第１弾性波フィルタ装置１００では、複数の弾性波共振子１４の代わりに、複数の弾性波共振子１４Ａを備える。弾性波共振子１４Ａに関し、弾性波共振子１４と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。実施形態４に係る第１弾性波フィルタ装置１００では、図１２Ａ及び図１３Ａに示すように第１弾性波共振子１１Ａの構造が、実施形態１に係る弾性波フィルタ装置１００における第１弾性波共振子１１の構造と相違する。また、実施形態４に係る第１弾性波フィルタ装置１００では、図１２Ｂ及び図１３Ｂに示すように第２弾性波共振子１２Ａの構造が、実施形態１に係る弾性波フィルタ装置１００における第２弾性波共振子１２の構造と相違する。
実施形態４に係る第１弾性波フィルタ装置１００では、複数の弾性波共振子１４の代わりに、複数の弾性波共振子１４Ａを備える。弾性波共振子１４Ａに関し、弾性波共振子１４と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。実施形態４に係る第１弾性波フィルタ装置１００では、図１２Ａ及び図１３Ａに示すように第１弾性波共振子１１Ａの構造が、実施形態１に係る弾性波フィルタ装置１００における第１弾性波共振子１１の構造と相違する。また、実施形態４に係る第１弾性波フィルタ装置１００では、図１２Ｂ及び図１３Ｂに示すように第２弾性波共振子１２Ａの構造が、実施形態１に係る弾性波フィルタ装置１００における第２弾性波共振子１２の構造と相違する。
【0107】
本実施形態の第１弾性波共振子１１Ａは、実施形態１の第１弾性波共振子１１における第１質量付加膜８を設ける代わりに、複数の第１電極指６の先端部６１が太幅部６２（第１太幅部６２）を含んでいる。また、本実施形態の第１弾性波共振子１１Ａは、実施形態１の第１弾性波共振子１１における第２質量付加膜９を設ける代わりに、複数の第２電極指７の先端部７１が太幅部７２（第２太幅部）を含んでいる。複数の第１電極指６において、第２方向Ｄ２における太幅部６２の幅は、第２方向Ｄ２における中央部６０の幅Ｗ６０よりも広い。所定方向Ｄ１において太幅部６２の長さは、１．５λ未満であるのが好ましい。複数の第２電極指７において、第２方向Ｄ２における太幅部７２の幅は、第２方向Ｄ２における中央部７０の幅Ｗ７０よりも広い。所定方向Ｄ１において太幅部７２の長さは、１．５λ未満であるのが好ましい。
【0108】
本実施形態の第１弾性波共振子１１Ａは、実施形態１の第１弾性波共振子１１における第１質量付加膜８を設けることなく、複数の第１電極指６の先端部６１を含む第１領域（領域Ａ１）を含んでいる。また、本実施形態の第１弾性波共振子１１Ａは、実施形態１の第１弾性波共振子１１における第２質量付加膜９を設けることなく、複数の第２電極指７の先端部７１を含む第２領域（領域Ａ２）を含んでいる。
【0109】
本実施形態の第２弾性波共振子１２Ａは、実施形態１の第２弾性波共振子１２における第１質量付加膜８を設けることなく、複数の第１電極指６の先端部６１を含む第１領域（領域Ａ１）を含んでいる。また、本実施形態の第２弾性波共振子１２Ａは、実施形態１の第２弾性波共振子１２における第２質量付加膜９を設けることなく、複数の第２電極指７の先端部７１を含む第２領域（領域Ａ２）を含んでいる。
【0110】
（２）効果
実施形態４に係る第１弾性波フィルタ装置１００は、実施形態１に係る第１弾性波フィルタ装置１００と同様の効果を奏する。
実施形態４に係る第１弾性波フィルタ装置１００は、実施形態１に係る第１弾性波フィルタ装置１００と同様の効果を奏する。
【0111】
（実施形態５）
実施形態５に係る第１弾性波フィルタ装置１００Ｂ、第２弾性波フィルタ装置２００Ｂ及び高周波モジュール５００Ｂについて、図１４を参照して説明する。実施形態５に係る第１弾性波フィルタ装置１００Ｂ、第２弾性波フィルタ装置２００Ｂ及び高周波モジュール５００Ｂに関し、図１に示した実施形態１に係る第１弾性波フィルタ装置１００、第２弾性波フィルタ装置２００及び高周波モジュール５００と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
実施形態５に係る第１弾性波フィルタ装置１００Ｂ、第２弾性波フィルタ装置２００Ｂ及び高周波モジュール５００Ｂについて、図１４を参照して説明する。実施形態５に係る第１弾性波フィルタ装置１００Ｂ、第２弾性波フィルタ装置２００Ｂ及び高周波モジュール５００Ｂに関し、図１に示した実施形態１に係る第１弾性波フィルタ装置１００、第２弾性波フィルタ装置２００及び高周波モジュール５００と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
【0112】
（１）構成
第１弾性波フィルタ装置１００Ｂは、直列腕共振子Ｓ４が、第２弾性波共振子１２により構成され、直列腕共振子Ｓ１が第１弾性波共振子１１により構成されている点で、第１弾性波フィルタ装置１００と相違する。
第１弾性波フィルタ装置１００Ｂは、直列腕共振子Ｓ４が、第２弾性波共振子１２により構成され、直列腕共振子Ｓ１が第１弾性波共振子１１により構成されている点で、第１弾性波フィルタ装置１００と相違する。
【0113】
第２弾性波フィルタ装置２００Ｂは、直列腕共振子Ｓ１３が、第２弾性波共振子２２により構成され、直列腕共振子Ｓ１２が第１弾性波共振子２１により構成されている点で、第２弾性波フィルタ装置２００と相違する。
【0114】
高周波モジュール５００Ｂは、実施形態１に係る高周波モジュール５００の第１弾性波フィルタ装置１００及び第２弾性波フィルタ装置２００の代わりに、第１弾性波フィルタ装置１００Ｂ及び第２弾性波フィルタ装置２００Ｂを備える点で、高周波モジュール５００と相違する。
【0115】
（２）効果
実施形態５に係る第１弾性波フィルタ装置１００Ｂは、第１入出力電極１５及び第２入出力電極１６を更に備える。複数の弾性波共振子１４は、第１入出力電極１５と第２入出力電極１６との間の信号経路１５６に設けられている２以上の弾性波共振子１４（直列腕共振子Ｓ１～Ｓ５）と、信号経路１５６とグランドとの間に接続されている２以上の弾性波共振子１４（並列腕共振子Ｐ１～Ｐ４）と、を含む。複数の弾性波共振子１４は、第２弾性波共振子１２は、信号経路１５６に設けられている２以上の弾性波共振子１４（直列腕共振子Ｓ１～Ｓ５）のうち電極指ピッチが最も大きい弾性波共振子１４（直列腕共振子Ｓ４）、又は、信号経路１５６とグランドとの間に接続されている２以上の弾性波共振子１４（並列腕共振子Ｐ１～Ｐ４）のうち電極指ピッチが最も小さい弾性波共振子１４（並列腕共振子Ｐ２）を含む。
実施形態５に係る第１弾性波フィルタ装置１００Ｂは、第１入出力電極１５及び第２入出力電極１６を更に備える。複数の弾性波共振子１４は、第１入出力電極１５と第２入出力電極１６との間の信号経路１５６に設けられている２以上の弾性波共振子１４（直列腕共振子Ｓ１～Ｓ５）と、信号経路１５６とグランドとの間に接続されている２以上の弾性波共振子１４（並列腕共振子Ｐ１～Ｐ４）と、を含む。複数の弾性波共振子１４は、第２弾性波共振子１２は、信号経路１５６に設けられている２以上の弾性波共振子１４（直列腕共振子Ｓ１～Ｓ５）のうち電極指ピッチが最も大きい弾性波共振子１４（直列腕共振子Ｓ４）、又は、信号経路１５６とグランドとの間に接続されている２以上の弾性波共振子１４（並列腕共振子Ｐ１～Ｐ４）のうち電極指ピッチが最も小さい弾性波共振子１４（並列腕共振子Ｐ２）を含む。
【0116】
上記構成によれば、耐電力性を向上させつつ小型化を図ることが可能となる。
【0117】
上記の実施形態１～５等は、本発明の様々な実施形態の一つに過ぎない。上記の実施形態１～５等は、本発明の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。
【0118】
例えば、弾性波フィルタ装置１００における複数の弾性波共振子１４の各々では、第１質量付加膜８は、複数の第１電極指６のうち少なくとも１つの第１電極指６の先端部６１の少なくとも一部に重なっていればよい。第２質量付加膜９は、複数の第２電極指７のうち少なくとも１つの第２電極指７の先端部７１の少なくとも一部に重なっていればよい。
【0119】
また、弾性波共振子１４Ａの各々では、複数の第１電極指６のうち少なくとも１つの第１電極指６が、太幅部６２を有していればよく、複数の第１電極指６の全部が太幅部６２を有することは必須ではない。また、弾性波フィルタ装置１００Ｂにおける複数の弾性波共振子１４Ａの各々では、複数の第２電極指７のうち少なくとも１つの第２電極指７が、太幅部７２を有していればよく、複数の第２電極指７の全部が太幅部７２を有することは必須ではない。
【0120】
また、弾性波フィルタ装置１００Ｂでは、第１電極指６の先端部６１に含まれる太幅部６２は、第１電極指６の長手方向において第１電極指６の先端部６１の少なくとも一部に形成されていればよい。第２電極指７の先端部７１に含まれる太幅部７２は、第２電極指７の長手方向において第２電極指７の先端部７１の少なくとも一部に形成されていればよい。
【0121】
また、弾性波フィルタ装置１００、１００Ａ、１００Ｂでは、複数の弾性波共振子１４の各々におけるＩＤＴ電極３は、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが第２方向Ｄ２において離隔して並んでいる構成であればよく、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが交互に互いに離隔して並んでいない構成であってもよい。例えば、ＩＤＴ電極３は、第１電極指６と第２電極指７とが１本ずつ離隔して並んでいる領域と、第１電極指６又は第２電極指７が第２方向Ｄ２において２つ並んでいる領域と、が混在してもよい。
【0122】
また、ＩＤＴ電極３は、正規型のＩＤＴ電極であるが、これに限らず、例えば、傾斜ＩＤＴ電極であってもよい。したがって、第２方向Ｄ２は、第１方向Ｄ１に交差する方向であればよい。
【0123】
また、各反射器は、短絡グレーティングに限らず、例えば、開放グレーティング、正負反射型グレーティング等であってもよい。また、弾性波フィルタ装置１００、１００Ａ、１００Ｂにおいて、反射器は、必須の構成要素ではない。
【0124】
また、複数の弾性波共振子１４の各々では、ＩＤＴ電極３が、圧電性基板２上に直接的に設けられているが、これに限らず、ＩＤＴ電極３が、圧電性基板２上に間接的に設けられていてもよい。例えば、複数の弾性波共振子１４の各々では、ＩＤＴ電極３が圧電性基板２上に誘電体膜を介して設けられていてもよい。
【0125】
圧電性基板２は、高音速膜２１２、低音速膜２１３及び圧電体層２１４以外の他の膜として密着層、誘電体膜等を有していてもよい。
【0126】
また、圧電性基板２は、圧電基板であってもよい。圧電基板の材料は、例えば、リチウムタンタレートであるが、これに限らず、例えば、リチウムニオベイト、酸化亜鉛又は窒化アルミニウムであってもよい。
【0127】
（態様）
本明細書には、以下の態様が開示されている。
本明細書には、以下の態様が開示されている。
【0128】
第１の態様に係る弾性波フィルタ装置（１００；１００Ｂ）は、複数の弾性波共振子（１４）を備える。複数の弾性波共振子（１４）の各々は、圧電性基板（２）と、ＩＤＴ電極（３）と、を含む。ＩＤＴ電極（３）は、圧電性基板（２）上に設けられている。ＩＤＴ電極（３）は、第１バスバー（４）と、第２バスバー（５）と、複数の第１電極指（６）と、複数の第２電極指（７）と、を有する。第２バスバー（５）は、所定方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）に対向している。複数の第１電極指（６）は、所定方向において第１バスバー（４）から第２バスバー（５）に向かって延びている。複数の第２電極指（７）は、所定方向において第２バスバー（５）から第１バスバー（４）に向かって延びている。複数の第１電極指（６）の先端縁の包絡線（３６）と複数の第２電極指（７）の先端縁の包絡線（３７）との間の領域を交差領域（３０）とし、ＩＤＴ電極（３）の電極指ピッチで定まる弾性波の波長をλとし、複数の弾性波共振子（１４）の各々は、圧電性基板（２）の厚さ方向（Ｄ０）からの平面視で、中央領域（領域Ａ０）と、第１領域（領域Ａ１）と、第２領域（領域Ａ２）と、を有する。中央領域（領域Ａ０）は、所定方向におけるＩＤＴ電極（３）の交差領域（３０）の中央部（３００）を含む。第１領域（領域Ａ１）は、複数の第１電極指（６）の先端部（６１）を含み、中央領域（領域Ａ０）よりも弾性波の音速が遅い。第２領域（領域Ａ２）は、複数の第２電極指（７）の先端部（７１）を含み、中央領域（領域Ａ０）よりも弾性波の音速が遅い。複数の弾性波共振子（１４）は、第１弾性波共振子（１１）と、第２弾性波共振子（１２）と、を有する。第１弾性波共振子（１１）の圧電性基板（２）と第２弾性波共振子（１２）の圧電性基板（２）とが共通である。第１弾性波共振子（１１）は、第３領域（領域Ａ７）と、第４領域（領域Ａ８）と、を更に含む。第３領域（領域Ａ７）は、所定方向（Ｄ１）において第１領域（領域Ａ１）の外側に所定方向（Ｄ１）の長さが０．３λ以上のギャップ（５０）を有し、中央領域（領域Ａ０）よりも弾性波の音速が速い。第４領域（領域Ａ８）は、所定方向（Ｄ１）において第２領域（領域Ａ２）の外側に所定方向（Ｄ１）の長さが０．３λ以上のギャップ（４０）を有し、中央領域（領域Ａ０）よりも弾性波の音速が速い。第２弾性波共振子（１２）は、第３領域（領域Ａ７）及び第４領域（領域Ａ８）を含まない。
【0129】
この態様によれば、特性と小型化とを両立することが可能となる。
【0130】
第２の態様に係る弾性波フィルタ装置（１００）は、複数の弾性波共振子（１４）を備える。複数の弾性波共振子（１４）の各々は、圧電性基板（２）と、ＩＤＴ電極（３）と、を含む。ＩＤＴ電極（３）は、圧電性基板上に設けられている。ＩＤＴ電極（３）は、第１バスバー（４）と、第２バスバー（５）と、複数の第１電極指（６）と、複数の第２電極指（７）と、を有する。第２バスバー（５）は、所定方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）に対向している。複数の第１電極指（６）は、所定方向において第１バスバー（４）から第２バスバー（５）に向かって延びている。複数の第２電極指（７）は、所定方向において第２バスバー（５）から第１バスバー（４）に向かって延びている。複数の第１電極指（６）の先端縁の包絡線（３６）と複数の第２電極指（７）の先端縁の包絡線（３７）との間の領域を交差領域（３０）とし、ＩＤＴ電極（３）の電極指ピッチで定まる弾性波の波長をλとし、複数の弾性波共振子（１４）の各々は、圧電性基板（２）の厚さ方向（Ｄ０）からの平面視で、中央領域（領域Ａ０）と、第１領域（領域Ａ１）と、第２領域（領域Ａ２）と、を有する。中央領域（領域Ａ０）は、所定方向（Ｄ１）におけるＩＤＴ電極（３）の交差領域（３０）の中央部（３００）を含む。第１領域（領域Ａ１）は、複数の第１電極指（６）の先端部（６１）を含み、複数の第１電極指（６）のうち少なくとも１つの第１電極指（６）の先端部（６１）の少なくとも一部に重なる第１質量付加膜（８）を含む。第２領域（領域Ａ２）は、複数の第２電極指（７）の先端部（７１）を含み、複数の第２電極指（７）のうち少なくとも１つの第２電極指（７）の先端部（７１）の少なくとも一部に重なる第１質量付加膜（８）を含む。複数の第１電極指（６）の先端部（６１）は、第１電極指（６）の先端縁を含む部分である。複数の第２電極指（７）の先端部（７１）は、第２電極指（７）の先端縁を含む部分である。複数の弾性波共振子（１４）は、第１弾性波共振子（１１）と、第２弾性波共振子（１２）と、を有する。第１弾性波共振子（１１）の圧電性基板（２）と第２弾性波共振子（１２）の圧電性基板（２）とが共通である。第１弾性波共振子（１１）は、第３領域（領域Ａ７）と、第４領域（領域Ａ８）と、を更に含む。第３領域（領域Ａ７）は、所定方向（Ｄ１）において第１領域（領域Ａ１）の外側に所定方向（Ｄ１）の長さが０．３λ以上のギャップ（５０）を有する。第４領域（領域Ａ８）は、所定方向（Ｄ１）において第２領域（領域Ａ２）の外側に所定方向（Ｄ１）の長さが０．３λ以上のギャップ（４０）を有する。第２弾性波共振子（１２）は、第３領域（領域Ａ７）及び第４領域（領域Ａ８）を含まない。
【0131】
この態様によれば、特性と小型化とを両立することが可能となる。
【0132】
第３の態様に係る弾性波フィルタ装置（１００Ｂ）は、複数の弾性波共振子（１４Ａ）を備える。複数の弾性波共振子（１４Ａ）の各々は、圧電性基板（２）と、ＩＤＴ電極（３）と、を含む。ＩＤＴ電極（３）は、圧電性基板（２）上に設けられている。ＩＤＴ電極（３）は、第１バスバー（４）と、第２バスバー（５）と、複数の第１電極指（６）と、複数の第２電極指（７）と、を有する。第２バスバー（５）は、所定方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）に対向している。複数の第１電極指（６）は、所定方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）から第２バスバー（５）に向かって延びている。複数の第２電極指（７）は、所定方向（Ｄ１）において第２バスバー（５）から第１バスバー（４）に向かって延びている。複数の第１電極指（６）の先端縁の包絡線（３６）と複数の第２電極指（７）の先端縁の包絡線（３７）との間の領域を交差領域（３０）とし、ＩＤＴ電極（３）の電極指ピッチで定まる弾性波の波長をλとし、複数の弾性波共振子（１４Ａ）の各々は、圧電性基板（２）の厚さ方向（Ｄ０）からの平面視で、中央領域（領域Ａ０）と、第１領域（領域Ａ１）と、第２領域（領域Ａ２）と、を有する。中央領域（領域Ａ０）は、所定方向（Ｄ１）におけるＩＤＴ電極（３）の交差領域（３０）の中央部（３００）を含む。第１領域（領域Ａ１）は、複数の第１電極指（６）の先端部（６１）を含み、複数の第１電極指（６）のうち少なくとも１つの第１電極指（６）の先端部（６１）が第１太幅部（６２）を含む。第２領域（領域Ａ２）は、複数の第２電極指（７）の先端部（７１）を含み、複数の第２電極指（７）のうち少なくとも１つの第２電極指（７）の先端部（７１）が第２太幅部（７２）を含む。第１太幅部（６２）の幅は、少なくとも１つの第１電極指（６）の中央部（６０）の幅（Ｗ６０）よりも広い。第２太幅部（７２）の幅は、少なくとも１つの第２電極指（７）の中央部（７０）の幅よりも広い。複数の弾性波共振子（１４Ａ）は、第１弾性波共振子（１１Ａ）と、第２弾性波共振子（１２Ａ）と、を有する。第１弾性波共振子（１１Ａ）の圧電性基板（２）と第２弾性波共振子（１２Ａ）の圧電性基板（２）とが共通である。第１弾性波共振子（１１Ａ）は、第３領域（領域Ａ７）と、第４領域（領域Ａ８）と、を更に含む。第３領域（領域Ａ３）は、所定方向（Ｄ１）において第１領域（領域Ａ１）の外側に所定方向（Ｄ１）の長さが０．３λ以上のギャップ（５０）を有する。第４領域（領域Ａ８）は、所定方向（Ｄ１）において第２領域（領域Ａ２）の外側に所定方向（Ｄ１）の長さが０．３λ以上のギャップ（４０）を有する。第２弾性波共振子（１２Ａ）は、第３領域（領域Ａ７）及び第４領域（領域Ａ８）を含まない。
【0133】
この態様によれば、特性と小型化とを両立することが可能となる。
【0134】
第４の態様に係る弾性波フィルタ装置（１００）は、第１～３の態様のいずれか一つにおいて、第１入出力電極（１５）及び第２入出力電極（１６）を更に備える。複数の弾性波共振子（１４；１４Ａ）は、第１入出力電極（１５）と第２入出力電極（１６）との間の信号経路（１５６）に設けられている２以上の弾性波共振子（１４；１４Ａ、直列腕共振子Ｓ１～Ｓ５）と、信号経路（１５６）とグランドとの間に接続されている２以上の弾性波共振子（１４；１４Ａ、並列腕共振子Ｐ１～Ｐ４）と、を含む。複数の弾性波共振子（１４；１４Ａ）は、第１弾性波共振子（１１；１１Ａ）を少なくとも２つ有する。少なくとも２つの第１弾性波共振子（１１；１１Ａ）は、信号経路（１５６）に設けられている２以上の弾性波共振子（１４；１４Ａ、直列腕共振子Ｓ１～Ｓ５）のうち電極指ピッチが最も大きい弾性波共振子（１４；１４Ａ、直列腕共振子Ｓ４）と、信号経路（１５６）とグランドとの間に接続されている２以上の弾性波共振子（１４；１４Ａ、並列腕共振子Ｐ１～Ｐ４）のうち電極指ピッチが最も小さい弾性波共振子（１４；１４Ａ、並列腕共振子Ｐ２）と、を含む。
【0135】
この態様によれば、フィルタ特性のロスを抑制ししつ小型化を図ることが可能となる。
【0136】
第５の態様に係る弾性波フィルタ装置（１００Ｂ）は、第１～３の態様のいずれか一つにおいて、第１入出力電極（１５）及び第２入出力電極（１６）を更に備える。複数の弾性波共振子（１４；１４Ａ）は、第１入出力電極（１５）と第２入出力電極（１６）との間の信号経路（１５６）に設けられている２以上の弾性波共振子（１４；１４Ａ、直列腕共振子Ｓ１～Ｓ５）と、信号経路（１５６）とグランドとの間に接続されている２以上の弾性波共振子（１４；１４Ａ、並列腕共振子Ｐ１～Ｐ４）と、を含む。複数の弾性波共振子（１４；１４Ａ）は、第２弾性波共振子（１２；１２Ａ）を少なくとも２つ有する。第２弾性波共振子（１２；１２Ａ）は、信号経路（１５６）に設けられている２以上の弾性波共振子（１４；１４Ａ、直列腕共振子Ｓ１～Ｓ５）のうち電極指ピッチが最も大きい弾性波共振子（１４；１４Ａ、直列腕共振子Ｓ４）と、信号経路（１５６）とグランドとの間に接続されている２以上の弾性波共振子（１４；１４Ａ、並列腕共振子Ｐ１～Ｐ４）のうち電極指ピッチが最も小さい弾性波共振子（１４；１４Ａ、並列腕共振子Ｐ２）と、を含む。
【0137】
この態様によれば、耐電力性を向上させつつ小型化を図ることが可能となる。
【0138】
第６の態様に係る弾性波フィルタ装置（１００Ｂ）は、第４又は５の態様において、少なくとも２つの第１弾性波共振子（１１；１１Ａ）の共振周波数と反共振周波数との間の周波数帯の少なくとも一部は、弾性波フィルタ装置（１００Ｂ）の有する通過帯域に含まれる。
【0139】
第７の態様に係る弾性波フィルタ装置（１００）では、第１の態様において、第１領域（領域Ａ１）は、複数の第１電極指（６）のうち少なくとも１つの第１電極指（６）の先端部（６１）の少なくとも一部に重なる第１質量付加膜（８）を含む。第２領域（領域Ａ２）は、複数の第２電極指（７）のうち少なくとも１つの第２電極指（７）の先端部（７１）の少なくとも一部に重なる第２質量付加膜（９）を含む。複数の第１電極指（６）の先端部（６１）は、第１電極指（６）の先端縁を含む部分である。複数の第２電極指（７）の先端部（７１）は、第２電極指（７）の先端縁を含む部分である。
【0140】
この態様によれば、第１領域（領域Ａ１）が第１質量付加膜（８）を含むことにより、第１領域（領域Ａ１）の音速を中央領域（領域Ａ０）の音速よりも遅くできる。また、この態様によれば、第２領域（領域Ａ２）が第２質量付加膜（９）を含むことにより、第２領域（領域Ａ２）の音速を中央領域（領域Ａ０）の音速よりも遅くできる。
【0141】
この態様によれば、不要波のリップルを、抑制することが可能となる。
【0142】
第８の態様に係る弾性波フィルタ装置（１００）は、第１の態様において、第１領域（領域Ａ１）では、複数の第１電極指（６）のうち少なくとも１つの第１電極指（６）の先端部（６１）が、第１太幅部（６２）を含む。第１太幅部（６２）の幅は、少なくとも１つの第１電極指（６）の中央部（６０）の幅（Ｗ６０）よりも広い。第２領域（領域Ａ２）では、複数の第２電極指（７）のうち少なくとも１つの第２電極指（７）の先端部（７１）が、第２太幅部（７２）を含む。第２太幅部（７２）の幅は、少なくとも１つの第２電極指（７）の中央部（７０）の幅（Ｗ７０）よりも広い。
【0143】
この態様によれば、複数の第１電極指（６）のうち少なくとも１つの第１電極指（６）の先端部（６１）が第１太幅部（６２）を含むことにより、第１領域（領域Ａ１）の音速を中央領域（領域Ａ０）の音速よりも遅くできる。また、この態様によれば、複数の第２電極指（７）のうち少なくとも１つの第２電極指（７）の先端部（７１）が第２太幅部（７２）を含むことにより、第２領域（領域Ａ２）の音速を中央領域（領域Ａ０）の音速よりも遅くできる。
【0144】
第９の態様に係る弾性波フィルタ装置（１００；１００Ｂ）では、第１～８の態様のいずれか一つにおいて、圧電性基板（２）は、支持基板（２１１）と、高音速膜（２１２）と、低音速膜（２１３）と、圧電体層（２１４）と、を含む。高音速膜（２１２）は、支持基板（２１１）上に設けられている。低音速膜（２１３）は、高音速膜（２１２）に設けられている。圧電体層（２１４）は、低音速膜（２１３）上に設けられている。高音速膜（２１２）は、圧電体層（２１４）を伝搬するバルク波の音速よりも、高音速膜（２１２）を伝搬するバルク波の音速が高速となる膜である。低音速膜（２１３）は、圧電体層（２１４）を伝搬するバルク波の音速よりも、低音速膜（２１３）を伝搬するバルク波の音速が低速となる膜である。
【0145】
この態様によれば、良好なメインモードの特性が得られ、横モードに起因したリップルのレベルが相対的に小さくなる。
【0146】
第１０の態様に係る弾性波フィルタ装置（１００；１００Ｂ）では、第１～８の態様のいずれか一つにおいて、圧電性基板（２）は、シリコン基板と、窒化ケイ素膜と、酸化ケイ素膜と、圧電体層（２１４）と、を含む。窒化ケイ素膜は、シリコン基板上に設けられている。酸化ケイ素膜は、窒化ケイ素膜上に設けられている。圧電体層（２１４）は、酸化ケイ素膜上に設けられている。圧電体層（２１４）の材料は、リチウムタンタレート又はリチウムニオベイトを含む。
【0147】
この態様によれば、良好なメインモードの特性が得られ、横モードに起因したリップルのレベルが相対的に小さくなる。
【符号の説明】
【0148】
１００、１００Ｂ 弾性波フィルタ装置
１０、１０Ａ、１０Ｂ 弾性波装置
２ 圧電性基板
２０１ 第１主面
２０２ 第２主面
２１１ 支持基板
２１２ 高音速膜
２１３ 低音速膜
２１４ 圧電体層
３ ＩＤＴ電極
３０ 交差領域
３００ 中央部
３０１ 第１端部
３０２ 第２端部
３１ ギャップ
３２ ギャップ
３６ 包絡線
３７ 包絡線
４ 第１バスバー
４０ ギャップ
４１ 内側バスバー部
４２ 外側バスバー部
５ 第２バスバー
５０ ギャップ
５１ 内側バスバー部
５２ 外側バスバー部
６ 第１電極指
６０ 中央部
６１ 先端部
６２ 太幅部（第１太幅部）
６６ 基端部
７ 第２電極指
７０ 中央部
７１ 先端部
７２ 太幅部（第２太幅部）
７３ 中間部（第２中間部）
７６ 基端部（第２基端部）
８ 第１質量付加膜
９ 第２質量付加膜
１０ 弾性波装置
１１、１１Ａ 第１弾性波共振子
１２、１２Ａ 第２弾性波共振子
１４、１４Ａ 弾性波共振子
１５ 第１入出力電極
１６ 第２入出力電極
１７ 第１グランド電極
１８ 第２グランド電極
１５６ 信号経路
１５７ 経路（並列腕経路）
１５８ 経路（並列腕経路）
１５９ 経路（並列腕経路）
１６０ 経路（並列腕経路）
２０ 弾性波装置
２１ 第１弾性波共振子
２２ 第２弾性波共振子
２４ 弾性波共振子
２５ 第１入出力電極
２６ 第２入出力電極
２５６ 信号経路
２５７ 経路（並列腕経路）
２５８ 経路（並列腕経路）
２５９ 経路（並列腕経路）
５００、５００Ｂ 高周波モジュール
Ａ０ 領域（中央領域）
Ａ１ 領域（第１領域）
Ａ２ 領域（第２領域）
Ａ３ 領域
Ａ４ 領域
Ａ５ 領域
Ａ６ 領域
Ａ７ 領域（第３領域）
Ａ８ 領域（第４領域）
Ａ９ 領域
Ａ１０ 領域
Ｃ１２、Ｃ１３ キャパシタ
Ｃ２１、Ｃ２２、Ｃ２３ キャパシタ
Ｄ０ 厚さ方向
Ｄ１ 第１方向（所定方向）
Ｄ２ 第２方向
ＤＭＳ１ 縦結合共振子
Ｌ１１～Ｌ１３ インダクタ
Ｌ２１ インダクタ
Ｐ１～Ｐ４ 並列腕共振子
Ｐ１１～Ｐ１３ 並列腕共振子
Ｓ１～Ｓ５ 直列腕共振子
Ｓ１１～Ｓ１３ 直列腕共振子
Ｔ１ 第１信号端子
Ｔ２ 第２信号端子
Ｔ３ 第３信号端子
Ｗ３ 長さ
Ｗ３０ 交差幅
Ｗ６０ 幅
Ｗ６２ 幅
Ｗ７０ 幅
Ｗ７２ 幅
１０、１０Ａ、１０Ｂ 弾性波装置
２ 圧電性基板
２０１ 第１主面
２０２ 第２主面
２１１ 支持基板
２１２ 高音速膜
２１３ 低音速膜
２１４ 圧電体層
３ ＩＤＴ電極
３０ 交差領域
３００ 中央部
３０１ 第１端部
３０２ 第２端部
３１ ギャップ
３２ ギャップ
３６ 包絡線
３７ 包絡線
４ 第１バスバー
４０ ギャップ
４１ 内側バスバー部
４２ 外側バスバー部
５ 第２バスバー
５０ ギャップ
５１ 内側バスバー部
５２ 外側バスバー部
６ 第１電極指
６０ 中央部
６１ 先端部
６２ 太幅部（第１太幅部）
６６ 基端部
７ 第２電極指
７０ 中央部
７１ 先端部
７２ 太幅部（第２太幅部）
７３ 中間部（第２中間部）
７６ 基端部（第２基端部）
８ 第１質量付加膜
９ 第２質量付加膜
１０ 弾性波装置
１１、１１Ａ 第１弾性波共振子
１２、１２Ａ 第２弾性波共振子
１４、１４Ａ 弾性波共振子
１５ 第１入出力電極
１６ 第２入出力電極
１７ 第１グランド電極
１８ 第２グランド電極
１５６ 信号経路
１５７ 経路（並列腕経路）
１５８ 経路（並列腕経路）
１５９ 経路（並列腕経路）
１６０ 経路（並列腕経路）
２０ 弾性波装置
２１ 第１弾性波共振子
２２ 第２弾性波共振子
２４ 弾性波共振子
２５ 第１入出力電極
２６ 第２入出力電極
２５６ 信号経路
２５７ 経路（並列腕経路）
２５８ 経路（並列腕経路）
２５９ 経路（並列腕経路）
５００、５００Ｂ 高周波モジュール
Ａ０ 領域（中央領域）
Ａ１ 領域（第１領域）
Ａ２ 領域（第２領域）
Ａ３ 領域
Ａ４ 領域
Ａ５ 領域
Ａ６ 領域
Ａ７ 領域（第３領域）
Ａ８ 領域（第４領域）
Ａ９ 領域
Ａ１０ 領域
Ｃ１２、Ｃ１３ キャパシタ
Ｃ２１、Ｃ２２、Ｃ２３ キャパシタ
Ｄ０ 厚さ方向
Ｄ１ 第１方向（所定方向）
Ｄ２ 第２方向
ＤＭＳ１ 縦結合共振子
Ｌ１１～Ｌ１３ インダクタ
Ｌ２１ インダクタ
Ｐ１～Ｐ４ 並列腕共振子
Ｐ１１～Ｐ１３ 並列腕共振子
Ｓ１～Ｓ５ 直列腕共振子
Ｓ１１～Ｓ１３ 直列腕共振子
Ｔ１ 第１信号端子
Ｔ２ 第２信号端子
Ｔ３ 第３信号端子
Ｗ３ 長さ
Ｗ３０ 交差幅
Ｗ６０ 幅
Ｗ６２ 幅
Ｗ７０ 幅
Ｗ７２ 幅
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】