特開 2024-151786 線状センサユニットおよび線状センサユニットの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024151786

(43)【公開日】2024-10-25

(54)【発明の名称】線状センサユニットおよび線状センサユニットの製造方法

(51)【国際特許分類】

   G01L 1/16 20060101AFI20241018BHJP

   G01H 11/08 20060101ALI20241018BHJP

【ＦＩ】

G01L1/16 B

G01H11/08

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023065490

(22)【出願日】2023-04-13

(71)【出願人】

【識別番号】517069066

【氏名又は名称】ロボセンサー技研株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107102

【弁理士】

【氏名又は名称】吉延 彰広

(74)【代理人】

【識別番号】100172498

【弁理士】

【氏名又は名称】八木 秀幸

(74)【代理人】

【識別番号】100164242

【弁理士】

【氏名又は名称】倉澤 直人

(72)【発明者】

【氏名】大村 昌良

(72)【発明者】

【氏名】出上 真潮

【テーマコード（参考）】

2G064

【Ｆターム（参考）】

2G064BA02

2G064BD02

2G064BD18

(57)【要約】

【課題】本発明は、製造が容易な線状センサユニットを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の線状センサユニット１は、内部導体２１および外部導体２３を有する線状センサ２と、内部導体２１および外部導体２３が接続された出力側端子部材３とを備えた線状センサユニット１であって、出力側端子部材３は、内部導体２１が接続された第１接続部３１４および外部導体２３が接続された第２接続部３１５よりも線状センサ２の延在方向と交わる交差方向における一端側の第１折曲線３ａで延在方向に沿って山折りまたは谷折りのうちの一方の折り方で折り曲げられ、第１接続部３１４および第２接続部３１５よりも交差方向における他端側の第２折曲線３ｂで延在方向に沿って山折りまたは谷折りのうちの他方の折り方で折り曲げられたフィルム状のものである。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

内部導体および外部導体を有する線状センサと、該内部導体および該外部導体が接続された端子部材とを備えた線状センサユニットであって、
前記端子部材は、前記内部導体が接続された第１接続部および前記外部導体が接続された第２接続部よりも前記線状センサの延在方向と交わる交差方向における一端側の第１位置で該延在方向に沿って山折りまたは谷折りのうちの一方の折り方で折り曲げられ、該第１接続部および該第２接続部よりも該交差方向における他端側の第２位置で該延在方向に沿って山折りまたは谷折りのうちの他方の折り方で折り曲げられたフィルム状のものであることを特徴とする線状センサユニット。

【請求項2】

前記端子部材は、前記第２位置よりも前記他端側の位置で前記延在方向に沿ってさらに折り曲げられたものであることを特徴とする請求項１記載の線状センサユニット。

【請求項3】

前記端子部材に接続された信号線を備え、
前記端子部材は、前記第２接続部から連続した導体接続パターンと該導体接続パターンよりも前記延在方向一方側に位置する一方側シールドパターンと該導体接続パターンよりも該延在方向他方側に位置する他方側シールドパターンそれぞれが、前記第１位置と前記第２位置の間のベース部位と、該第１位置で折り曲げられることで該ベース部位に対面した一端側折曲部位とに設けられたものであり、
前記線状センサは、前記一方側シールドパターンに接続されたセンサシールド被覆を有するものであり、
前記信号線は、前記他方側シールドパターンに接続された信号シールド被覆を有するものであり、
前記一端側折曲部位は、前記一方側シールドパターンと前記他方側シールドパターンとを連結した連結パターンが設けられたものであることを特徴とする請求項１または２記載の線状センサユニット。

【請求項4】

前記端子部材は、前記第２接続部から連続した導体接続パターンを有し、前記第１位置よりも一端側の特定位置で前記延在方向に沿ってさらに前記一方の折り方で折り曲げられたものであり、
前記導体接続パターンは、前記第１位置、前記特定位置および前記第２位置を跨いで延在したものであり、
前記端子部材が前記第１位置、前記第２位置および前記特定位置で折り曲げられることで、前記特定位置を跨ぐ部分にある前記導体接続パターンは、前記第２位置にある該導体接続パターンの外側を覆っていることを特徴とする請求項１記載の線状センサユニット。

【請求項5】

前記端子部材は、前記特定位置よりもさらに一端側で平面状に延在した第１平面部分と前記第２位置よりもさらに他端側で平面状に延在した第２平面部分とを有し、該第１平面部分が該第２平面部分に固定されたものであることを特徴とする請求項４記載の線状センサユニット。

【請求項6】

前記線状センサは、前記第１位置と前記第２位置の間に設けられた第３接続部に接続されたセンサシールド被覆を有するものであり、
前記端子部材は、前記第２接続部から連続した導体接続パターンと前記第３接続部から連続したシールドパターンとを有し、前記第２位置よりも他端側の第３位置、該第３位置よりも他端側の第４位置および該第４位置よりも他端側の第５位置で該延在方向に沿って前記他方の折り方で折り曲げられることで前記第１位置と前記第２位置の間のベース部位および該ベース部位よりも一端側部分を内側にして折り重なったものであり、
前記導体接続パターンは、前記第１位置および前記第２位置を跨いで延在したものであり、
前記シールドパターンは、前記第２位置、前記第３位置、前記第４位置および前記第５位置を跨いで延在したものであり、
前記端子部材が前記第１位置、前記第２位置、前記第３位置、前記第４位置および前記第５位置で折り曲げられることで前記第３位置よりも他端側にある前記シールドパターンが、前記導体接続パターンの外側を覆っていることを特徴とする請求項１記載の線状センサユニット。

【請求項7】

前記端子部材は、前記第５位置よりもさらに他端側で平面状に延在した第３平面部分と前記第３位置と前記第４位置の間で平面状に延在した第４平面部分とを有し、該第３平面部分が該第４平面部分に固定されたものであることを特徴とする請求項６記載の線状センサユニット。

【請求項8】

内部導体および外部導体を有する線状センサと、該内部導体および該外部導体が接続されたフィルム状の端子部材とを備えた線状センサユニットであって、
前記端子部材は、前記内部導体が接続された第１接続部および前記外部導体が接続された第２接続部よりも前記線状センサの延在方向と交わる交差方向における一端側の第１位置と、該第１接続部および該第２接続部よりも該交差方向における他端側の第２位置で、該第１位置よりも一端側部分と該第２位置よりも他端側部分が該延在方向から見て該線状センサを中心として同一の回転方向に向かって折り畳まれたものであることを特徴とする線状センサユニット。

【請求項9】

内部導体および外部導体を有する線状センサと、該内部導体および該外部導体が接続されたフィルム状の端子部材とを備えた線状センサユニットの製造方法であって、
前記端子部材の、前記内部導体が接続された第１接続部および前記外部導体が接続された第２接続部よりも前記線状センサの延在方向と交わる交差方向における一端側の第１位置で該延在方向に沿って山折りまたは谷折りのうちの一方の折り方で折り曲げる第１折曲工程と、
前記端子部材の、前記第１接続部および前記第２接続部よりも前記交差方向における他端側の第２位置で前記延在方向に沿って山折りまたは谷折りのうちの他方の折り方で折り曲げる第２折曲工程とを備えたことを特徴とする線状センサユニットの製造方法。

【請求項10】

前記第２位置よりも前記他端側の位置でさらに前記端子部材を折り曲げる第３折曲工程を備えたことを特徴とする請求項９記載の線状センサユニットの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、内部導体および外部導体を有する線状センサと、該内部導体および該外部導体が接続された端子部材とを備えた線状センサユニットおよび線状センサユニットの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

内部導体と、その内部導体の外周面に接触して設けられた圧電体と、その圧電体の外周面に接触して設けられた外部導体とをセンサ線として用いた線状センサが知られている（例えば、特許文献１等参照）。この線状センサは、外部から荷重が加わることで圧電体が変形し、内部導体と外部導体との間に電圧が誘起されるという特性を有している。この特性を利用して、圧力を検知するための圧力センサや振動を検知するための振動センサとして線状センサを利用することが検討されている。また、圧電体を用いたセンサ線の代わりに、導電ゴム等の抵抗線やキャパシタ線等をセンサ線として用いて線状センサを構成することも検討されている。

【0003】

また、線状センサの端部にシールドパターンを有する端子部材を配置した線状センサユニットが知られている（例えば、特許文献２等参照）。この特許文献２に記載された端子部材は、センサ線を挟み込んだフィルム状のものである。その端子部材は、折り曲げ前は長方形状をしており、内側面となる面に接着剤を塗布して数回折り曲げられたものである。端子部材は、その長手方向の一端部分に、線状センサの内部導体および外部導体それぞれが電気的に接続されている。そして、線状センサが接続された一端部分を覆うように、その一端部分よりも他端側の複数の位置で端子部材を折り曲げることで線状センサ端部の周囲を端子部材が覆っている。この端子部材によって、線状センサの端部を物理的に保護するとともに線状センサの端部から外部ノイズが侵入することを防止している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】国際公開番号ＷＯ２０１９／１１７０３７

【特許文献2】特開２０２１―１２４５１１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、フィルム状の端子部材の折り曲げ回数が増えると、端子部材が折り曲げにくくなる上に、折り曲げた端子部材が折り曲げ前の形状に復帰しようとする力が強くなるため、折り曲げ作業が煩雑になるといった問題があった。

【0006】

本発明は上記事情に鑑み、製造が容易な線状センサユニットを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を解決する本発明の線状センサユニットは、
内部導体および外部導体を有する線状センサと、該内部導体および該外部導体が接続された端子部材とを備えた線状センサユニットであって、
前記端子部材は、前記内部導体が接続された第１接続部および前記外部導体が接続された第２接続部よりも前記線状センサの延在方向と交わる交差方向における一端側の第１位置で該延在方向に沿って山折りまたは谷折りのうちの一方の折り方で折り曲げられ、該第１接続部と該第２接続部よりも該交差方向における他端側の第２位置で該延在方向に沿って山折りまたは谷折りのうちの他方の折り方で折り曲げられたフィルム状のものであることを特徴とする。

【0008】

本発明の線状センサユニットによれば、特許文献２に記載されたセンサユニットのように全て山折りまたは全て谷折りする場合と比較して折り曲げやすく、前記端子部材が折り曲げ前の形状に復帰しようとする力も減るので、この線状センサユニットを製造しやすくなる。そして、前記第１位置で前記延在方向に沿って山折りまたは谷折りのうちの一方の折り方で折り曲げ、前記第２位置では他方の折り方で折り曲げることで、前記第１接続部の両面と前記第２接続部の両面を前記端子部材で覆うことができる。

【0009】

また、本発明の線状センサユニットにおいて、
前記端子部材は、前記第２位置よりも前記他端側の位置で前記延在方向に沿ってさらに折り曲げられたものであってもよい。

【0010】

また、本発明の線状センサユニットにおいて、
前記端子部材に接続された信号線を備え、
前記端子部材は、前記第２接続部から連続した導体接続パターンと該導体接続パターンよりも前記延在方向一方側に位置する一方側シールドパターンと該導体接続パターンよりも該延在方向他方側に位置する他方側シールドパターンそれぞれが、前記第１位置と前記第２位置の間のベース部位と、該第１位置で折り曲げられることで該ベース部位に対面した一端側折曲部位とに設けられたものであり、
前記線状センサは、前記一方側シールドパターンに接続されたセンサシールド被覆を有するものであり、
前記信号線は、前記他方側シールドパターンに接続された信号シールド被覆を有するものであり、
前記一端側折曲部位は、前記一方側シールドパターンと前記他方側シールドパターンとを連結した連結パターンが設けられたものであってもよい。

【0011】

こうすることで、前記センサシールド被覆が接続された部分と前記信号シールド被覆が接続された部分との間における抵抗値を小さくすることができるのでシールド効果が低下することを抑制できる。

【0012】

ここで、前記信号線は、前記線状センサの信号を外部に伝達する信号ケーブルであってもよく、前記線状センサと同様にセンサ機能を有する線状センサであってもよい。

【0013】

また、本発明の線状センサユニットにおいて、
前記端子部材は、前記第２接続部から連続した導体接続パターンを有し、前記第１位置よりも一端側の特定位置で前記延在方向に沿ってさらに前記一方の折り方で折り曲げられたものであり、
前記導体接続パターンは、前記第１位置、前記特定位置および前記第２位置を跨いで延在したものであり、
前記端子部材が前記第１位置、前記第２位置および前記特定位置で折り曲げられることで、前記特定位置を跨ぐ部分にある前記導体接続パターンは、前記第２位置にある該導体接続パターンの外側を覆っていてもよい。

【0014】

これにより、外部ノイズが、前記第１接続部と前記第２接続部に入り込みにくくなる。

【0015】

また、本発明の線状センサユニットにおいて、
前記端子部材は、前記特定位置よりもさらに一端側で平面状に延在した第１平面部分と前記第２位置よりもさらに他端側で平面状に延在した第２平面部分とを有し、該第１平面部分が該第２平面部分に固定されたものであってもよい。

【0016】

前記第１平面部分を前記第２平面部分に接着することができるので、前記特定位置よりもさらに一端側の部分が剥がれにくい。

【0017】

また、本発明の線状センサユニットにおいて、
前記線状センサは、前記第１位置と前記第２位置の間に設けられた第３接続部に接続されたセンサシールド被覆を有するものであり、
前記端子部材は、前記第２接続部から連続した導体接続パターンと前記第３接続部から連続したシールドパターンとを有し、前記第２位置よりも他端側の第３位置、該第３位置よりも他端側の第４位置および該第４位置よりも他端側の第５位置で該延在方向に沿って前記他方の折り方で折り曲げられることで前記第１位置と前記第２位置の間のベース部位および該ベース部位よりも一端側部分を内側にして折り重なったものであり、
前記導体接続パターンは、前記第１位置および前記第２位置を跨いで延在したものであり、
前記シールドパターンは、前記第２位置、前記第３位置、前記第４位置および前記第５位置を跨いで延在したものであり、
前記端子部材が前記第１位置、前記第２位置、前記第３位置、前記第４位置および前記第５位置で折り曲げられることで前記第３位置よりも他端側にある前記シールドパターンが、前記導体接続パターンの外側を覆っていてもよい。

【0018】

これにより、外部ノイズが、前記導体接続パターンに入り込みにくくなる。

【0019】

また、本発明の線状センサユニットにおいて、
前記端子部材は、前記第５位置よりもさらに他端側で平面状に延在した第３平面部分と前記第３位置と前記第４位置の間で平面状に延在した第４平面部分とを有し、該第３平面部分が該第４平面部分に固定されたものであってもよい。

【0020】

前記第３平面部分を前記第４平面部分に接着することができるので、前記第５位置よりもさらに他端側の部分が剥がれにくい。

【0021】

上記目的を解決する本発明の線状センサユニットは、
内部導体および外部導体を有する線状センサと、該内部導体および該外部導体が接続されたフィルム状の端子部材とを備えた線状センサユニットであって、
前記端子部材は、前記内部導体が接続された第１接続部および前記外部導体が接続された第２接続部よりも前記線状センサの延在方向と交わる交差方向における一端側の第１位置と、該第１接続部および該第２接続部よりも該交差方向における他端側の第２位置で、該第１位置よりも一端側部分と該第２位置よりも他端側部分が該延在方向から見て該線状センサを中心として同一の回転方向に向かって折り畳まれたものであることを特徴とする。

【0022】

この線状センサユニットによれば、特許文献２に記載されたセンサユニットのように全て山折りまたは全て谷折りする場合と比較して折り曲げやすく、前記端子部材が折り曲げ前の形状に復帰しようとする力も減るので、この線状センサユニットを製造しやすくなる。

【0023】

本発明の線状センサユニットの製造方法は、
内部導体および外部導体を有する線状センサと、該内部導体および該外部導体が接続されたフィルム状の端子部材とを備えた線状センサユニットの製造方法であって、
前記端子部材の、前記内部導体が接続された第１接続部および前記外部導体が接続された第２接続部よりも前記線状センサの延在方向と交わる交差方向における一端側の第１位置で該延在方向に沿って山折りまたは谷折りのうちの一方の折り方で折り曲げる第１折曲工程と、
前記端子部材の、前記第１接続部および前記第２接続部よりも前記交差方向における他端側の第２位置で前記延在方向に沿って山折りまたは谷折りのうちの他方の折り方で折り曲げる第２折曲工程とを備えたことを特徴とする。

【0024】

本発明の線状センサユニットの製造方法によれば、特許文献２に記載されたセンサユニットの製造方法のように全て山折りまたは全て谷折りする場合と比較して折り曲げやすく、前記端子部材が折り曲げ前の形状に復帰しようとする力も減るので、製造しやすくなる。

【0025】

また、本発明の線状センサユニットの製造方法において、
前記第２位置よりも前記他端側の位置でさらに前記端子部材を折り曲げる第３折曲工程を備えていてもよい。

【発明の効果】

【0026】

本発明によれば、製造が容易な線状センサユニットを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】線状センサの構造を示す断面図である。

【図2】線状センサユニットを示す平面図である。

【図3】出力側端子部材を展開した様子を示す平面図である。

【図4】図３のＥ－Ｅ線で切断したＥ－Ｅ断面図である。

【図5】図２のＡ－Ａ線で切断したＡ－Ａ断面図である。

【図6】図２のＢ－Ｂ線で切断したＢ－Ｂ断面図である。

【図7】線状センサの出力側端部と信号ケーブルの先端部に出力側端子部材を取り付ける作業を示すフローチャートである。

【図8】終端側端子部材を展開した様子を示す平面図である。

【図9】図８のＦ－Ｆ線で切断したＦ－Ｆ断面図である。

【図10】図２のＣ－Ｃ線で切断したＣ－Ｃ断面図である。

【図11】図２のＤ－Ｄ線で切断したＤ－Ｄ断面図である。

【図12】線状センサの終端側端部に出力側端子部材を取り付ける作業を示すフローチャートである。

【図13】第１変形例の出力側端子部材を展開した様子を示す図３と同様の平面図である。

【図14】第２変形例の出力側端子部材を展開した様子を示す図３と同様の平面図である。

【図15】第３変形例の出力側端子部材を展開した様子を示す図３と同様の平面図である。

【図16】第２実施形態の出力側端子部材を展開した様子を示す図３と同様の平面図である。

【図17】第２実施形態の出力側端子部材のＡ－Ａ断面図である。

【図18】第２実施形態の終端側端子部材を展開した様子を示す図８と同様の平面図である。

【図19】第２実施形態の出力側端子部材のＣ－Ｃ断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0028】

以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。先ず、本実施形態の線状センサユニットに用いられる線状センサについて説明する。この線状センサは、主に被検出体の振動を検出するものであるが、圧力を検出することにも利用できる。

【0029】

図１は、本実施形態の線状センサの構造を示す断面図である。

【0030】

図１に示すように、線状センサ２は、センサ線２０と、内側シース２４と、センサセンサシールド被覆２５と、外側シース２６とを備えている。センサ線２０は、内部導体２１と圧電体２２と外部導体２３とから構成されている。内部導体２１は、線状センサ２の中心に配置されており、７本の導体線２１１で構成されている。圧電体２２は、内部導体２１の外周に設けられている。外部導体２３は、圧電体２２の外周に設けられている。

【0031】

７本の導体線２１１は、いずれも直径が５０μｍのものであって、このうち４本はステンレス製の導体線２１１Ｓであり、残りの３本は銅製の導体線２１１Ｃである。図１では、ステンレス製の導体線２１１Ｓが左下がりのハッチングで、銅製の導体線２１１Ｃが右下がりのハッチングでそれぞれ示されている。図１に示す内部導体２１では、中心に配置される導体線には、ステンレス製の導体線２１１Ｓが用いられており、外周に配置される導体線には、ステンレス製の導体線２１１Ｓと銅製の導体線２１１Ｃが交互に用いられている。銅製の導体線２１１Ｃは、ステンレス製の導体線２１１Ｓに比べて、電気抵抗が低く、かつ柔らかい。反対に、ステンレス製の導体線２１１Ｓは、銅製の導体線２１１Ｃに比べて、電気抵抗は高くなるが、機械的強度（例えば、引張強度等）および剛性は高くなる。

【0032】

７本の導体線２１１は、正六角形の各頂点およびその正六角形の中心に配置された状態になっている。これらの７本の導体線２１１は、一本に撚り合わされた状態のものである。すなわち、内部導体２１は、７本の導体線２１１をその断面において最密構造に配置した上で撚り合わせたものである。なお、この場合の内部導体２１の太さは最大１５０μｍとなる。このように複数本の導体線２１１を甘撚、あるいは中撚程度に撚っておくことで、撚りの方向とは逆方向の緩みを許容し、線状センサ２に柔軟性を与えることができる。

【0033】

なお、導体線２１１の直径は５０μｍに限られず、８μｍ以上１３０μｍ以下であってもよく、８μｍ以上１００μｍ以下にすることが好ましい。導体線２１１は、細ければ細いほど柔軟性は高められるが強度および剛性が低下し、太ければ太いほど柔軟性は低下するが強度および剛性が高められる。また、導体線２１１の太さが２０μｍ以上であれば、低コストで製造することができ、且つ製造も容易である。また、異なる太さの導体線２１１を撚り合わせて内部導体２１を構成してもよい。

【0034】

また、図１に示す内部導体２１は、７本の導体線２１１を撚り合わせたものであるが、この数については７本でなくてもよい。複数の導体線２１１を撚り合わせることにより、線状センサ２の柔軟性を高めることができる。また例えば、複数本を撚り合わせた束を複数用意し、これらをさらに撚り合わせる、といったように複数段階に分けて撚り合わせものであってもよい。例えば、７本の細い導体線２１１を撚り合わせた束を７本用意し、その束をさらに撚り合わせた構成にしてもよい。複数段階に分けて撚り合わせることで、線状センサ２の柔軟性がより高まるので、線状センサ２に加わった振動等に応じて線状センサ２が変形しやすくなる。その結果、線状センサ２における検出感度を高めることができる。なお、複数段階に分けて撚り合わせる場合のように、撚り合わせの工程が複数回ある場合には、撚り合わせる方向を異ならせてもよい。一方、複数の導体線２１１を撚り合わせずに、直線状に束にしたものを用いてもよい。また、例えば、撚り合わせない複数の導体線２１１の束と、撚り合わせた複数の導体線２１１を撚り合わせる、といったように、これらの構成を組み合わせてもよい。これらの場合であっても、圧電材料を塗布することで、複数の導体線２１１が互いに接着されて束ねられ、一本の圧電性繊維を製造することができる。

【0035】

以上説明したセンサ線２０では、内部導体２１を構成する導体線２１１として、機械的強度や電気抵抗が異なる複数種類の導体線が用いられているが、柔軟性をさらに高める場合や、電気抵抗をさらに低くする場合には、中心の導体線２１１を、銅製の導体線２１１Ｃに代えてもよく、あるいは、７本の導体線２１１の全てを銅製の導体線２１１Ｃにしてもよい。反対に、機械的強度および剛性をさらに高める場合には、７本の導体線２１１の全てをステンレス製の導体線２１１Ｓにしてもよい。また、ステンレス製の導体線２１１Ｓに代えて、タングステン製の導体線や、タングステン及びその合金等の高張力鋼材あるいは超高張力鋼からなる導体線を用いてもよいし、銅製の導体線２１１Ｃに代えて、チタン製の導体線や、チタン合金あるいはマグネシウムやマグネシウム合金等からなる導体線を用いてもよい。さらには、カーボンナノチューブを含む導体線であってもよいし、ピッチ系炭素繊維を含む導体線であってもよい。あるいは、弾性変形しやすいバネ鋼材からなる導体線を用いてもよい。

【0036】

圧電体２２は、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）等の圧電材料を内部導体２１に塗布することによって形成されたものである。ポリフッ化ビニリデンは、圧電効果が発生する軽量の高分子材料であり、これに圧力を加えると電圧が発生し、電圧を加えると歪が発生する特性を備えている。圧電体２２には分極処理が施されており、振動等によって圧電体２２に変形が生じたときに内部導体２１と外部導体２３の間に電圧が誘起される。

【0037】

図１に示す圧電体２２を構成する圧電材料としては、ポリフッ化ビニリデンの他に、トリフルオロエチレン（ＴｒＥＦ）や、ＰＶＤＦとＴｒＥＦの混晶材料や、ポリ乳酸、ポリ尿酸、ポリアミノ酸等の双極子モーメントをもつ高分子材料があげられる。また、圧電材料を塗布する方式としては、浸漬（ドブ付け）塗装であってもよいしスプレー等による吹き付け塗装であってもよいしハケ塗りであってもよいし、コーター等による塗布装置による塗布であってもよい。なお、塗布する構成に限らず、例えば、帯状のＰＶＤＦフィルムを内部導体２１に螺旋状に巻き付けた構成であってもよい。

【0038】

圧電体２２の厚みは、導体線２１１の直径以上であることが好ましい。図１に示す圧電体２２の厚さは、最も薄い箇所で７５μｍであるが、１０μｍ以上１５０μｍ以下であることが好ましい。なお、圧電体２２の厚さは、厚ければ厚いほど検出感度が良好になるが、圧電体２２の厚さの限界値は、塗布する圧電材料の粘度や塗布方法によって決まってくる。また、圧電体２２の厚さが厚すぎると線状センサ２が硬くなりすぎてしまい柔軟性に欠けてしまうといった欠点もある。

【0039】

図１に示す内部導体２１では、複数の導体線２１１を撚り合わせているため、導体線２１１同士の境目に窪みがある。この窪みの部分では、より多くの圧電材料を担持することができ、圧電材料の体積が大きく（厚く）なるため、検出感度が他の部分よりも良好になる。内部導体２１には、こうした窪みによって圧電材料が他の部分よりも厚い部分が６箇所、周方向に均等間隔で存在するため、どの方向に曲げられても高感度な圧電性繊維として機能する要因になる。

【0040】

なお、図１に示す隣り合う導体線２１１は互いにほぼ接しているが、わずかな隙間から毛細管現象によって圧電材料が浸透し、隣り合う導体線２１１同士の隙間が圧電材料によって埋められた状態になっている。ただし、圧電材料の粘度や塗布方法によっては、隣り合う導体線２１１同士の隙間に圧電材料が浸透しない場合もある。この場合でも、内部導体２１の外周に面した部分に圧電材料が担持された状態となっていればよい。なお、上述した帯状のＰＶＤＦフィルムを圧電体２２として用いた構成では、隣り合う導体線２１１同士の隙間に圧電材料が浸透していない線状センサ２になる。この線状センサ２では、隣り合う導体線２１１同士の隙間に圧電材料が浸透しているものと比較して線状センサ２の柔軟性が高まるので、線状センサ２における検出感度が高まる。

【0041】

図１に示す外部導体２３は、圧電体２２の外周に、カーボンナノチューブ等のカーボンを含む高分子導電性材料が塗布されることで形成されている。外部導体２３を形成する導電性材料としては、銀の微粒子を含む高分子導電性材料や銀ペースト等であってもよい。また、この導電性材料を塗布する方式としては、浸漬塗装であってもよいしスプレー等による吹き付け塗装であってもよいしハケ塗りであってもよいし、コーター等による塗布装置による塗布であってもよい。外部導体２３の厚さは、導体線２１１の直径以下であることが好ましく、また、圧電体２２の厚さ以下であることも好ましい。図１に示す外部導体２３の厚さは、３０μｍであるが、５μｍ以上８０μｍ以下であることが好ましい。また、外部導体２３に導電性材料を用いずに導線を用いてもよい。

【0042】

内側シース２４は、耐摩耗性、耐薬品性、防錆性を高めるために外部導体２３の外周を覆っている。この内側シース２４は、厚さが３０μｍに形成されている。内側シース２４は、外側シース２６に比べて柔らかい材料で構成されている。この内側シース２４は、ポリアミド合成樹脂を塗布することで形成されているが、ポリ塩化ビニル樹脂を塗布することで形成してもよい。

【0043】

センサシールド被覆２５は、ニッケルメッキ銅やステンレスなどの金属製の細線を編組してチューブ状にしたシールドである。なお、センサシールド被覆２５は、内部導体２１と圧電体２２と外部導体２３を内側に有する内側シース２４に、蒸着によって銅やアルミニウム等を蒸着させることで形成してもよい。また、センサシールド被覆２５は、スパッタ、ＥＢＤ（電子線ビーム蒸着）、ＣＶＤ（気相成長法）、塗布、浸漬、無電解メッキ、接着剤による接着等の他の方法を用いて内側シース２４に付着させてもよく、金属箔を巻き付けることで形成してもよい。

【0044】

外側シース２６は、内側シース２４に比べて耐摩耗性が高い材料で構成されている。この外側シース２６は、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）を塗布することで形成されている。ただし、４フッ化・６フッ化プロピレン樹脂（ＦＥＰ）、４フッ化エチレンエチレン共重合（ＥＰＦＥ）、または４フッ化エチレンパーフロロアルコキシエチレン共重合 フッ素樹脂（ＰＦＡ）を塗布することで形成してもよい。ここにいう塗布とは、浸漬（ドブ付け）塗装であってもよいし吹き付け塗装であってもよいしハケ塗りであってもよいし、コーター等による塗布装置による塗布であってもよい。また、ピンホールが発生することを考慮して複数回塗布することが好ましい。加えて、外側シース２６は、内側シース２４よりも厚くてもよい。さらに、内側シース２４は、可燃性材料で形成されていてもよいが、外側シース２６は、難燃性材料、不燃性材料、耐炎性材料で形成されていることが好ましい。

【0045】

図１に示す線状センサ２の直径は０．５ｍｍである。ただし、線状センサ２の直径はさらに太くてもよく細くてもよく、０．１～３．０ｍｍであることが好ましい。なお、本明細書において、数値範囲を示す「～」は、上限、下限を含むものとする。

【0046】

図２は、線状センサユニットを示す平面図である。

【0047】

図２に示すように、本実施形態の線状センサユニット１は、線状センサ２と出力側端子部材３と終端側端子部材４と信号ケーブル３９とを備えている。これら出力側端子部材３および終端側端子部材４は、それぞれ端子部材の一例に相当する。

【0048】

出力側端子部材３には、線状センサ２の出力側端部と信号ケーブル３９の先端部が固定されている。出力側端子部材３は、線状センサ２の出力側端部と信号ケーブル３９の先端部を物理的に保護し、かつ外部からのノイズ（以下、外部ノイズと称する）が線状センサ２で得られた信号に入り込むことを防止しつつその信号を信号ケーブル３９に伝達するためのものである。出力側端子部材３は、線状センサ２の端部を挟み込んで合計４回折り曲げられたフィルム状のものである。出力側端子部材３には、その側面を覆う絶縁性の出力側封止材３０が設けられている。出力側封止材３０は、エポキシ樹脂系の接着剤を固化させたものである。なお、出力側封止材３０は、エポキシ樹脂系以外の接着剤であってもよい。出力側封止材３０により、出力側端子部材３の側面から液体や水蒸気が出力側端子部材３内部に侵入してしまうことを防止できる。なお、出力側封止材３０の代わりに、出力側端子部材３の側面を覆うキャップを用いてもよい。要するに、出力側端子部材３の側面を水密または気密に覆う絶縁性のものを配置すればよい。

【0049】

終端側端子部材４は、線状センサ２の終端側端部に固定されている。この終端側端子部材４は、線状センサ２の終端側端部を物理的に保護し、かつ外部ノイズが線状センサ２で得られた信号に入り込むことを防止するためのものである。終端側端子部材４は、線状センサ２の端部を挟み込んで合計４回折り曲げられたフィルム状のものである。終端側端子部材４には、その側面を覆う絶縁性の終端側封止材４０が設けられている。終端側封止材４０は、エポキシ樹脂系の接着剤を固化させたものである。なお、終端側封止材４０は、エポキシ樹脂系以外の接着剤であってもよい。終端側封止材４０により、終端側端子部材４の側面から液体や水蒸気が終端側封止材４０内部に侵入してしまうことを防止できる。なお、終端側封止材４０の代わりに、終端側端子部材４の側面を水密または気密に覆う絶縁性のキャップなどを配置してもよい。

【0050】

信号ケーブル３９は、線状センサ２で得られた信号を不図示の測定装置等に伝達するためのものであり、図２に示された先端部とは反対側の後端部には、たとえばＵＳＢコネクタなどの不図示のコネクタが取り付けられている。このコネクタを測定装置等に接続することで、線状センサ２で得られた信号が測定装置等に伝達される。

【0051】

図３は、出力側端子部材を展開した様子を示す平面図である。この図３は、線状センサ２の出力側端部に出力側端子部材３を取り付ける過程の最終段階において出力側端子部材３を折り曲げる直前の状態を示す平面図とも言える。なお、図２に示した出力側封止材３０は、出力側端子部材３を折り曲げてから塗布して固化させるため図３には示されていない。

【0052】

図３に示すように、出力側端子部材３は、ベースフィルム３２（図４参照）の片面にパターン用導体層３１（図４参照）が設けられたフレキシブル基板で構成されている。出力側端子部材３は、折り曲げ前は長方形状をしている。出力側端子部材３には、折り曲げ前における短手方向に延在する姿勢で線状センサ２の端部が接続されている。以下、この出力側端子部材３の説明において、線状センサ２の端部が延在する方向を延在方向と称し、その延在方向と交わる方向を交差方向と称する場合がある。出力側端子部材３は、交差方向の一端側から順に、第１部位３Ｐ１、第２部位３Ｐ２、第３部位３Ｐ３、第４部位３Ｐ４および第５部位３Ｐ５に区分けされている。これらのうち第１部位３Ｐ１は一端側折曲部位の一例に相当し、第２部位３Ｐ２はベース部位の一例に相当し、第３部位３Ｐ３、第４部位３Ｐ４および第５部位３Ｐ５は他端側折曲部位の一例に相当する。第１部位３Ｐ１、第２部位３Ｐ２、第３部位３Ｐ３、第４部位３Ｐ４および第５部位３Ｐ５は、図３に示された状態においてはこの順に連続して並んでいる。第１部位３Ｐ１と第２部位３Ｐ２の境界には延在方向に沿って第１折曲線３ａが描かれている。第２部位３Ｐ２と第３部位３Ｐ３の境界には延在方向に沿って第２折曲線３ｂが描かれている。従って、第２部位３Ｐ２は、第１折曲線３ａと第２折曲線３ｂの間の部位ともいえる。第３部位３Ｐ３と第４部位３Ｐ４の境界には延在方向に沿って第３折曲線３ｃが描かれている。第４部位３Ｐ４と第５部位３Ｐ５の境界には延在方向に沿って第４折曲線３ｄが描かれている。すなわち、第１接続部３１４および第２接続部３１５に近い順に、第２折曲線３ｂ、第３折曲線３ｃ、第４折曲線３ｄが描かれている。また、第１折曲線３ａと第２折曲線３ｂは、第２接続部３１５から等距離になる位置に描かれている。図３では各折曲線は太い破線で示されている。なお、第１部位３Ｐ１と第３部位３Ｐ３の、折り曲げ前における交差方向の長さはほぼ同一であり、これらの長さは第２部位３Ｐ２より少しだけ長い。一方、第３部位３Ｐ３、第４部位３Ｐ４、第５部位３Ｐ５は、折り曲げたときの厚み分を考慮してこの順で折り曲げ前における交差方向の長さが長くなっている。また、第１折曲線３ａは長破線で描かれており、第２折曲線３ｂ、第３折曲線３ｃおよび第４折曲線３ｄは短破線で描かれている。長破線は、この図３における紙面手前側の面である線状センサ２の端部が接続されている面を上面（おもて面）として山折りすることを意味している。そして、短破線は、同面を上面として谷折りすることを意味している。以下、「山折り」および「谷折り」とは、線状センサ２の端部が接続されている面を上面とした場合の折り方を意味するものとする。

【0053】

出力側端子部材３には、パターン用導体層３１（図４参照）によって形成された、第１接続部３１４と、第２接続部３１５と、第３接続部３１６と、第２ケーブル接続部３１５１と、第３ケーブル接続部３１６１と、第１ベタパターン３１８と、第２ベタパターン３１９とが設けられている。この第２ベタパターン３１９は、シールドパターンの一例に相当する。第２接続部３１５および第２ケーブル接続部３１５１は、第１ベタパターン３１８の上面にあるカバーレイ３３(図４参照)を剥がすことで形成されている。従って、第２接続部３１５および第２ケーブル接続部３１５１は、第１ベタパターン３１８と連続している。この第１ベタパターン３１８は、導体接続パターンの一例に相当する。また、第３接続部３１６および第３ケーブル接続部３１６１は、第２ベタパターン３１９の上面にあるカバーレイ３３を剥がすことで形成されている。従って、第３接続部３１６および第３ケーブル接続部３１６１は第２ベタパターン３１９と連続している。一方、第１接続部３１４と第１ベタパターン３１８と第２ベタパターン３１９は、互いに面方向に隙間を空けて配置されている。図２に示した出力側端子部材３を折り曲げた状態でも、第１接続部３１４と第１ベタパターン３１８と第２ベタパターン３１９は、厚み方向にベースフィルム３２(図４参照)またはカバーレイ３３が対面して配置され、厚み方向にも互いに隙間を空けて配置されるため互いに接触することはない。第１接続部３１４、第２接続部３１５、第３接続部３１６、第２ケーブル接続部３１５１および第３ケーブル接続部３１６１は、第２部位３Ｐ２に配置されている。

【0054】

線状センサ２の出力側端部では、外側シース２６、センサシールド被覆２５、内側シース２４、外部導体２３、圧電体２２が順に階段状に剥離されている。これにより、線状センサ２の出力側端部では、内部導体２１、圧電体２２、外部導体２３、内側シース２４、センサシールド被覆２５それぞれが、延在方向に１～３ｍｍ程度づつ露出している。なお、内部導体２１と外部導体２３が短絡してしまわないように、圧電体２２の露出長は、内部導体２１または外部導体２３の露出長よりも長い方が好ましい。同様に、外部導体２３とセンサシールド被覆２５が短絡してしまわないように、内側シース２４の露出長は、外部導体２３またはセンサシールド被覆２５の露出長よりも長い方が好ましい。なお、圧電体２２、内側シース２４、および外側シース２６は、剥離する代わりにレーザで焼くことで消失させてもよい。

【0055】

信号ケーブル３９は、信号線３９１と、ケーブル内側シース３９２と、シグナルグランド線３９３と、ケーブル中間シース３９４と、信号シールド被覆３９５と、ケーブル外側シース３９６とから構成されている。信号線３９１は、信号ケーブル３９の中心に配置された銅製の導体線である。ケーブル内側シース３９２は、信号線３９１の外周を覆う、ポリアミド合成樹脂などの絶縁体である。シグナルグランド線３９３は、ケーブル内側シース３９２の外周を覆う高分子導電性材料で構成された導電体である。ケーブル中間シース３９４は、シグナルグランド線３９３の外周を覆うポリアミド合成樹脂などの絶縁体である。信号シールド被覆３９５は、ケーブル中間シース３９４の外周を覆うニッケルメッキ銅やステンレスなどの金属製の細線を編組してチューブ状にしたものである。ケーブル外側シース３９６は、信号シールド被覆３９５の外周を覆うＰＴＦＥなどの絶縁体である。なお、信号ケーブル３９を構成する部材の材質はこれらに限られず、導電体と絶縁体とが中心から順に形成されていれば、任意の材質のものを用いることができる。

【0056】

信号線３９１の一端側端部では、ケーブル外側シース３９６、信号シールド被覆３９５、ケーブル中間シース３９４、シグナルグランド線３９３、ケーブル内側シース３９２が順に階段状に剥離されている。これにより、信号線３９１の一端側端部では、信号線３９１、ケーブル内側シース３９２、シグナルグランド線３９３、ケーブル中間シース３９４、信号シールド被覆３９５それぞれが、延在方向に１～３ｍｍ程度づつ露出している。

【0057】

出力側端子部材３の、第１接続部３１４、第２接続部３１５、第３接続部３１６、第２ケーブル接続部３１５１および第３ケーブル接続部３１６１は、出力側端子部材３を折り曲げる前の状態では出力側端子部材３の上面に露出している。第１接続部３１４には、線状センサ２の出力側端部で露出した内部導体２１と信号ケーブル３９の先端側端部で露出した信号線３９１がハンダによってそれぞれ電気的に接続されるとともに固定されている。図３では、ハンダは黒色の四角で示されている。内部導体２１で得られた検出信号は、第１接続部３１４および信号線３９１を通して不図示の測定装置等に伝達される。第２接続部３１５には、線状センサ２の出力側端部で露出した外部導体２３がハンダによって電気的に接続されるとともに固定されている。第２ケーブル接続部３１５１には、信号ケーブル３９の先端側端部で露出したシグナルグランド線３９３が電気的に接続されるとともに固定されている。外部導体２３は、第２接続部３１５、第１ベタパターン３１８、第２ケーブル接続部３１５１およびシグナルグランド線３９３を通して測定装置等のシグナルグランドに接続される。第３接続部３１６には、線状センサ２の出力側端部で露出したセンサシールド被覆２５がハンダによって電気的に接続されるとともに固定されている。第３ケーブル接続部３１６１には、信号ケーブル３９の先端側端部で露出した信号シールド被覆３９５が電気的に接続されるとともに固定されている。センサシールド被覆２５は、第３接続部３１６、第２ベタパターン３１９、第３ケーブル接続部３１６１および信号シールド被覆３９５を通して測定装置等のアースに接続される。

【0058】

第１ベタパターン３１８は、第１折曲線３ａと第２折曲線３ｂを跨いで第１部位３Ｐ１と第２部位３Ｐ２と第３部位３Ｐ３に延在している。第１ベタパターン３１８のうち、第１部位３Ｐ１にある部分は、出力側端子部材３が第１折曲線３ａで折り曲げられて第１部位３Ｐ１と第２部位３Ｐ２とが厚み方向に重なったときには、第１接続部３１４、第２接続部３１５および第２ケーブル接続部３１５１を覆う大きさに形成されている。また、第１ベタパターン３１８のうち、第３部位３Ｐ３にある部分は、出力側端子部材３が第２折曲線３ｂで折り曲げられて第２部位３Ｐ２と第３部位３Ｐ３とが厚み方向に重なったときには、第１接続部３１４、第２接続部３１５および第２ケーブル接続部３１５１を覆う大きさに形成されている。

【0059】

第２ベタパターン３１９は、第１折曲線３ａ、第２折曲線３ｂ、第３折曲線３ｃおよび第４折曲線３ｄを跨いで、第１部位３Ｐ１、第２部位３Ｐ２、第３部位３Ｐ３、第４部位３Ｐ４および第５部位３Ｐ５に延在している。第１部位３Ｐ１、第２部位３Ｐ２および第３部位３Ｐ３では、第２ベタパターン３１９は、後述する連結パターン３１９ｃを除いて、第１ベタパターン３１８を挟んで線状センサ２の延在方向一方側に位置する一方側シールドパターン３１９ａと、延在方向他方側に位置する他方側シールドパターン３１９ｂとに分かれている。第３接続部３１６は、第２部位３Ｐ２における一方側シールドパターン３１９ａに形成されている。そして、第３ケーブル接続部３１６１は、第２部位３Ｐ２における他方側シールドパターン３１９ｂに形成されている。第２ベタパターン３１９のうち、第１部位３Ｐ１にある部分には、一方側シールドパターン３１９ａと他方側シールドパターン３１９ｂとを連結する連結パターン３１９ｃが形成されている。また、第２ベタパターン３１９のうち、第４部位３Ｐ４および第５部位３Ｐ５にある部分は、出力側端子部材３が全ての折り曲げ線で折り曲げられた図２に示す状態で、第１部位３Ｐ１、第２部位３Ｐ２および第３部位３Ｐ３にあるパターン用導体層３１の外側を覆う大きさに形成されている。

【0060】

図４は、図３のＥ－Ｅ線で切断したＥ－Ｅ断面図である。なお、この図４では各部の厚みを誇張して示している。また、第１接続部３１４、第２接続部３１５、第３接続部３１６、第２ケーブル接続部３１５１および第３ケーブル接続部３１６１は、露出面に金メッキが施されることでハンダとの接続性が高められるとともに嵩上げされているが、金メッキは図示省略している。また、この図４以降の図においても、金メッキは図示省略している。

【0061】

図４に示すように、出力側端子部材３は、パターン用導体層３１とベースフィルム３２と絶縁被膜であるカバーレイ３３とを有するフィルム状のものである。パターン用導体層３１は、ベースフィルム３２の上面に蒸着によって銅を付着させることで形成されている。ただし、パターン用導体層３１は、スパッタ、ＥＢＤ、ＣＶＤ、塗布、浸漬、無電解メッキ等の他の方法を用いてベースフィルム３２の上面に付着させてもよく、ベースフィルム３２の上面に導電性の箔を接着することで形成してもよい。さらに、パターン用導体層３１に銅以外の導電体を用いてもよい。パターン用導体層３１の厚みは０．０２～０．５ｍｍである。本実施形態の出力側端子部材３は、パターン用導体層３１がベースフィルム３２の片面に形成されており、ベースフィルム３２の、パターン用導体層３１が形成されている面とは反対側の面は、導体層が形成されていない。

【0062】

第１接続部３１４と第１ベタパターン３１８と第２ベタパターン３１９は、パターン用導体層３１をフォトレジスト加工することで離間して絶縁されている。上述したように、第１接続部３１４、第２接続部３１５、第３接続部３１６、第２ケーブル接続部３１５１および第３ケーブル接続部３１６１は、カバーレイ３３を剥がすことでパターン用導体層３１が上面に露出している部分である。従って、第１接続部３１４、第２接続部３１５、第３接続部３１６、第２ケーブル接続部３１５１および第３ケーブル接続部３１６１は、同一面に形成されている。ただし、これらは高さの異なる面に配置してもよい。なお、図３～６では、パターン用導体層３１によって形成された部位は、左斜め下に向かって傾斜したハッチングで示されている。

【0063】

ベースフィルム３２は、厚みが０．１～０．５ｍｍのポリイミド製のフィルムである。ベースフィルム３２は、絶縁性のものであればポリエステルなどの他の材質の樹脂フィルムであってもよい。また、基材となるフィルムを別に設け、その基材に蒸着などによって絶縁材料を付着させることで形成されたものであってもよい。

【0064】

図５は、図２のＡ－Ａ線で切断したＡ－Ａ断面図である。また、図６は、図２のＢ－Ｂ線で切断したＢ－Ｂ断面図である。図５および図６は、出力側端子部材３を各折曲線で折り曲げて線状センサ２と信号ケーブル３９を出力側端子部材３で挟み込んだ状態を示している。これらの図５および図６では各部の厚みや隙間を誇張して示している。また、図６では出力側封止材３０を図示省略している。

【0065】

図５に示すように、出力側端子部材３は、第１部位３Ｐ１と第２部位３Ｐ２の境界では山折りに折り曲げられ、第２部位３Ｐ２、第３部位３Ｐ３、第４部位３Ｐ４および第５部位３Ｐ５の境界それぞれでは谷折りに折り曲げられている。換言すれば、出力側端子部材３は、第１部位３Ｐ１と第２部位３Ｐ２の境界、第２部位３Ｐ２と第３部位３Ｐ３の境界、第３部位３Ｐ３と第４部位３Ｐ４の境界、第４部位３Ｐ４と第５部位３Ｐ５の境界において、第１部位３Ｐ１、第３部位３Ｐ３、第４部位３Ｐ４および第５部位３Ｐ５それぞれが線状センサ２の延在方向から見て線状センサ２を中心として同一の回転方向（図５では反時計回り）に向かって折り畳まれている。また、それらの部位どうしが接触している面には不図示の接着剤が塗布されている。図６に示すように、第１接続部３１４、第２接続部３１５および第２ケーブル接続部３１５１は、第１部位３Ｐ１と第３部位３Ｐ３にある第１ベタパターン３１８によって外側を覆われている。加えて、線状センサ２の出力側端部で露出した内部導体２１および外部導体２３並びに信号ケーブル３９の先端側端部で露出した信号線３９１およびシグナルグランド線３９３も、第１部位３Ｐ１と第３部位３Ｐ３にある第１ベタパターン３１８によって外側を覆われている。さらに、その第１ベタパターン３１８は、第４部位３Ｐ４と第５部位３Ｐ５にある第２ベタパターン３１９によって外側が覆われている。第２ベタパターン３１９に外部ノイズが入り込んでも、その外部ノイズは信号ケーブル３９を介して測定装置等のアースに流れるので、第１ベタパターン３１８に外部ノイズが直接入り込むことは阻止される。加えて、第２ベタパターン３１９の内側に第１部位３Ｐ１と第３部位３Ｐ３にある第１ベタパターン３１８が配置されているので、さらにその内側にある第１接続部３１４、露出した内部導体２１および露出した信号線３９１に外部ノイズの影響が及んでしまうことを確実に防止できる。

【0066】

なお、図３に示すように、出力側端子部材３の両端面（図３では左右両端）に第２ベタパターン３１９が配置されているため、この端面から、第１ベタパターン３１８、線状センサ２出力側端部の露出部分および信号ケーブル３９先端側端部の露出部分にノイズが直接入り込むことも防止されている。

【0067】

図７は、線状センサの出力側端部と信号ケーブルの先端部に出力側端子部材を取り付ける作業を示すフローチャートである。

【0068】

まず、線状センサ２と出力側端子部材３と信号ケーブル３９を用意する（ステップＳ１１）。そして、線状センサ２の出力側端部において、内部導体２１、圧電体２２、外部導体２３、内側シース２４、センサシールド被覆２５を段階的に露出させる（ステップＳ１２）。また、信号ケーブル３９の先端側端部において、信号線３９１、ケーブル内側シース３９２、シグナルグランド線３９３、ケーブル中間シース３９４、信号シールド被覆３９５を段階的に露出させる（ステップＳ１３）。そして、内部導体２１、外部導体２３、センサシールド被覆２５を、第１接続部３１４、第２接続部３１５、第３接続部３１６にそれぞれハンダ付けする（ステップＳ１４）。また、信号線３９１、シグナルグランド線３９３、信号シールド被覆３９５を、第１接続部３１４、第２ケーブル接続部３１５１、第３ケーブル接続部３１６１にそれぞれハンダ付けする（ステップＳ１５）。次いで、第１部位３Ｐ１または第２部位３Ｐ２の、図３における紙面奥側の面（線状センサ２の端部が接続されている面とは反対側の面）に接着剤を塗布する（ステップＳ１６）。このステップＳ１６は、第１塗布工程の一例に相当する。続いて、第１折曲線３ａに沿って山折りする（ステップＳ１７）。これによって、第１部位３Ｐ１が第２部位３Ｐ２に対面して貼り付けられる。このステップＳ１７は、第１折曲工程の一例に相当する。また、この第１折曲線３ａが描かれ、山折りされた位置が第１位置の一例に相当する。その後、第３部位３Ｐ３、第４部位３Ｐ４および第５部位３Ｐ５の、図３における紙面手前側の面（線状センサ２の端部が接続されている面）に接着剤を塗布する（ステップＳ１８）。このステップＳ１８は、第２塗布工程の一例に相当する。続いて、第２折曲線３ｂに沿って谷折りする（ステップＳ１９）。これによって、第３部位３Ｐ３が第２部位３Ｐ２に対面して貼り付けれる。このステップＳ１９は、第２折曲工程の一例に相当する。また、この第２折曲線３ｂが描かれ、谷折りされた位置が第２位置の一例に相当する。そして、第３折曲線３ｃ、第４折曲線３ｄの順にそれらの線に沿って谷折りする（ステップＳ２０）。これによって、第４部位３Ｐ４が第１部位３Ｐ１に、第５部位３Ｐ５が第３部位３Ｐ３にそれぞれ対面して貼り付けられる。このステップＳ２０は、第３折曲工程の一例に相当する。そして最後に、出力側封止材３０を塗布する（ステップＳ２１）ことで作業が完了する。

【0069】

次に、本実施形態の終端側端子部材４について説明する。

【0070】

図８は、終端側端子部材を展開した様子を示す平面図である。この図８は、線状センサ２の終端側端部に終端側端子部材４を取り付ける過程の最終段階において終端側端子部材４を折り曲げる直前の状態を示す平面図とも言える。なお、図２に示した終端側封止材４０は、終端側端子部材４を折り曲げてから塗布して固化させるため図８には示されていない。

【0071】

図８に示すように、終端側端子部材４は、終端ベースフィルム４２（図９参照）の片面に終端パターン用導体層４１（図９参照）が設けられたフレキシブル基板で構成されている。終端側端子部材４は、折り曲げ前は長方形状をしている。終端側端子部材４には、折り曲げ前における短手方向に延在する姿勢で線状センサ２の出力側とは反対側の端部が接続されている。以下、この終端側端子部材４の説明において、線状センサ２の接続された端部が延在する方向を延在方向と称し、その延在方向と交わる方向を交差方向と称する場合がある。終端側端子部材４は、交差方向の一端側から順に、終端第１部位４Ｐ１、終端第２部位４Ｐ２、終端第３部位４Ｐ３、終端第４部位４Ｐ４および終端第５部位４Ｐ５に区分けされている。これらのうち終端第１部位４Ｐ１は一端側折曲部位の一例に相当し、終端第２部位４Ｐ２はベース部位の一例に相当し、終端第３部位４Ｐ３、終端第４部位４Ｐ４および終端第５部位４Ｐ５は他端側折曲部位の一例に相当する。終端第１部位４Ｐ１、終端第２部位４Ｐ２、終端第３部位４Ｐ３、終端第４部位４Ｐ４および終端第５部位４Ｐ５は、図８に示された状態においてはこの順に連続して並んでいる。終端第１部位４Ｐ１と終端第２部位４Ｐ２の境界には延在方向に沿って終端第１折曲線４ａが描かれている。終端第２部位４Ｐ２と終端第３部位４Ｐ３の境界には延在方向に沿って終端第２折曲線４ｂが描かれている。従って、終端第２部位４Ｐ２は、終端第１折曲線４ａと終端第２折曲線４ｂの間の部位ともいえる。終端第３部位４Ｐ３と終端第４部位４Ｐ４の境界には延在方向に沿って終端第３折曲線４ｃが描かれている。終端第４部位４Ｐ４と終端第５部位４Ｐ５の境界には延在方向に沿って終端第４折曲線４ｄが描かれている。すなわち、終端第１接続部４１１および終端第２接続部４１２に近い順に、終端第２折曲線４ｂ、終端第３折曲線４ｃ、終端第４折曲線４ｄが描かれている。また、終端第１折曲線４ａと終端第２折曲線４ｂは、終端第２接続部４１２から等距離になる位置に描かれている。図８では各折曲線は太い破線で示されている。なお、終端第１部位４Ｐ１と終端第３部位４Ｐ３の、折り曲げ前における交差方向の長さはほぼ同一であり、これらの長さは終端第２部位４Ｐ２より少しだけ長い。一方、終端第３部位４Ｐ３、終端第４部位４Ｐ４、終端第５部位４Ｐ５は、折り曲げたときの厚み分を考慮してこの順で折り曲げ前における交差方向の長さが長くなっている。また、終端第１折曲線４ａは長破線で描かれており、終端第２折曲線４ｂ、終端第３折曲線４ｃおよび終端第４折曲線４ｄは短破線で描かれている。長破線および短破線並びに山折りおよび谷折りの意味は、先に説明した出力側端子部材３と同様である。

【0072】

終端側端子部材４には、終端パターン用導体層４１（図９参照）によって形成された、終端第１接続部４１１と、終端第２接続部４１２と、終端第３接続部４１３と、終端第１ベタパターン４１４と、終端第２ベタパターン４１５とが設けられている。この終端第２ベタパターン４１５は、シールドパターンの一例に相当する。終端第２接続部４１２は、終端第１ベタパターン４１４の上面にある終端カバーレイ４３(図９参照)を剥がすことで形成されている。従って、終端第２接続部４１２は、終端第１ベタパターン４１４と連続している。この終端第１ベタパターン４１４は、導体接続パターンの一例に相当する。また、終端第３接続部４１３は、終端第２ベタパターン４１５の上面にある終端カバーレイ４３を剥がすことで形成されている。従って、終端第３接続部４１３は、終端第２ベタパターン４１５と連続している。一方、終端第１接続部４１１と終端第１ベタパターン４１４と終端第２ベタパターン４１５は、互いに面方向に隙間を空けて配置されている。図２に示した終端側端子部材４を折り曲げた状態でも、終端第１接続部４１１と終端第１ベタパターン４１４と終端第２ベタパターン４１５は、厚み方向に終端ベースフィルム４２(図９参照)または終端カバーレイ４３が対面して配置され、厚み方向にも互いに隙間を空けて配置されるため互いに接触することはない。終端第１接続部４１１、終端第２接続部４１２および終端第３接続部４１３は、終端第２部位４Ｐ２に配置されている。

【0073】

線状センサ２の終端側端部では、外側シース２６、センサシールド被覆２５、内側シース２４、外部導体２３、圧電体２２が順に階段状に剥離されている。これにより、線状センサ２の終端側端部では、内部導体２１、圧電体２２、外部導体２３、内側シース２４、センサシールド被覆２５それぞれが、延在方向に１～３ｍｍ程度づつ露出している。

【0074】

終端側端子部材４の、終端第１接続部４１１、終端第２接続部４１２および終端第３接続部４１３は、終端側端子部材４を折り曲げる前の状態では終端側端子部材４の上面に露出している。終端第１接続部４１１には、線状センサ２の終端側端部で露出した内部導体２１がハンダによって電気的に接続されるとともに固定されている。図８では、ハンダは黒色の四角で示されている。終端第２接続部４１２には、線状センサ２の終端側端部で露出した外部導体２３がハンダによって電気的に接続されるとともに固定されている。終端第３接続部４１３には、線状センサ２の終端側端部で露出したセンサシールド被覆２５がハンダによって電気的に接続されるとともに固定されている。

【0075】

終端第１ベタパターン４１４は、終端第１折曲線４ａと終端第２折曲線４ｂを跨いで終端第１部位４Ｐ１と終端第２部位４Ｐ２と終端第３部位４Ｐ３に延在している。終端第１ベタパターン４１４のうち、終端第１部位４Ｐ１にある部分は、終端側端子部材４が終端第１折曲線４ａで折り曲げられて終端第１部位４Ｐ１と終端第２部位４Ｐ２とが厚み方向に重なったときには、終端第１接続部４１１および終端第２接続部４１２を覆う大きさに形成されている。また、終端第１ベタパターン４１４のうち、終端第３部位４Ｐ３にある部分は、終端側端子部材４が終端第２折曲線４ｂで折り曲げられて終端第２部位４Ｐ２と終端第３部位４Ｐ３とが厚み方向に重なったときには、終端第１接続部４１１および終端第２接続部４１２を覆う大きさに形成されている。

【0076】

終端第２ベタパターン４１５は、終端第１折曲線４ａ、終端第２折曲線４ｂ、終端第３折曲線４ｃおよび終端第４折曲線４ｄを跨いで、終端第１部位４Ｐ１、終端第２部位４Ｐ２、終端第３部位４Ｐ３、終端第４部位４Ｐ４および終端第５部位４Ｐ５に延在している。終端第１部位４Ｐ１、終端第２部位４Ｐ２および終端第３部位４Ｐ３では、終端第２ベタパターン４１５は、後述する終端連結パターン４１５ｃを除いて、終端第１ベタパターン４１４を挟んで線状センサ２の延在方向一方側に位置する終端一方側シールドパターン４１５ａと、延在方向他方側に位置する終端他方側シールドパターン４１５ｂとに分かれている。終端第３接続部４１３は、終端第２部位４Ｐ２における終端一方側シールドパターン４１５ａに形成されている。終端第２ベタパターン４１５のうち、終端第１部位４Ｐ１にある部分には、終端一方側シールドパターン４１５ａと終端他方側シールドパターン４１５ｂとを連結する終端連結パターン４１５ｃが形成されている。また、終端第２ベタパターン４１５のうち、終端第４部位４Ｐ４および終端第５部位４Ｐ５にある部分は、終端側端子部材４が全ての折り曲げ線で折り曲げられた図２に示す状態で、終端第１部位４Ｐ１、終端第２部位４Ｐ２および終端第３部位４Ｐ３にある終端パターン用導体層４１の外側を覆う大きさに形成されている。

【0077】

図９は、図８のＦ－Ｆ線で切断したＦ－Ｆ断面図である。なお、この図９では各部の厚みを誇張して示している。また、終端第１接続部４１１、終端第２接続部４１２および終端第３接続部４１３は、露出面に金メッキが施されることでハンダとの接続性が高められるとともに嵩上げされている。

【0078】

図９に示すように、終端側端子部材４は、終端パターン用導体層４１と終端ベースフィルム４２と絶縁被膜である終端カバーレイ４３とを有するフィルム状のものである。終端パターン用導体層４１は、終端ベースフィルム４２の上面に蒸着によって銅を付着させることで形成された、パターン用導体層３１と同様の層である。

【0079】

終端第１接続部４１１と終端第１ベタパターン４１４と終端第２ベタパターン４１５は、終端パターン用導体層４１をフォトレジスト加工することで離間して絶縁されている。また、終端第１接続部４１１、終端第２接続部４１２および終端第３接続部４１３は、終端カバーレイ４３を剥がすことで終端パターン用導体層４１が上面に露出している部分である。従って、終端第１接続部４１１、終端第２接続部４１２および終端第３接続部４１３は、同一面に形成されている。なお、図８～１１では、終端パターン用導体層４１によって形成された部位は、左斜め下に向かって傾斜したハッチングで示されている。終端ベースフィルム４２は、ベースフィルム３２と同様のフィルムである。

【0080】

図１０は、図２のＣ－Ｃ線で切断したＣ－Ｃ断面図である。また、図１１は、図２のＤ－Ｄ線で切断したＤ－Ｄ断面図である。図１０および図１１は、終端側端子部材４を各折曲線で折り曲げて線状センサ２を終端側端子部材４で挟み込んだ状態を示している。これらの図１０および図１１では各部の厚みや隙間を誇張して示している。また、図１１では終端側封止材４０を図示省略している。

【0081】

図１０に示すように、終端側端子部材４は、終端第１部位４Ｐ１と終端第２部位４Ｐ２の境界では山折りに折り曲げられ、終端第２部位４Ｐ２、終端第３部位４Ｐ３、終端第４部位４Ｐ４および終端第５部位４Ｐ５の境界それぞれでは谷折りに折り曲げられている。換言すれば、終端側端子部材４は、終端第１部位４Ｐ１と終端第２部位４Ｐ２の境界、終端第２部位４Ｐ２と終端第３部位４Ｐ３の境界、終端第３部位４Ｐ３と終端第４部位４Ｐ４の境界、終端第４部位４Ｐ４と終端第５部位４Ｐ５の境界において、終端第１部位４Ｐ１、終端第３部位４Ｐ３、終端第４部位４Ｐ４および終端第５部位４Ｐ５それぞれが線状センサ２の延在方向から見て線状センサ２を中心として同一の回転方向（図１０では反時計回り）に向かって折り畳まれている。また、それらの部位どうしが接触している面には不図示の接着剤が塗布されている。図１１に示すように、終端第１接続部４１１および終端第２接続部４１２は、終端第１部位４Ｐ１と終端第３部位４Ｐ３にある終端第１ベタパターン４１４によって外側を覆われている。加えて、線状センサ２の終端側端部で露出した内部導体２１および外部導体２３も、終端第１部位４Ｐ１と終端第３部位４Ｐ３にある終端第１ベタパターン４１４によって外側を覆われている。さらに、その終端第１ベタパターン４１４は、終端第４部位４Ｐ４と終端第５部位４Ｐ５にある終端第２ベタパターン４１５によって外側が覆われている。終端第２ベタパターン４１５に外部ノイズが入り込んでも、その外部ノイズはセンサシールド被覆２５と出力側端子部材３（図２参照）と信号ケーブル３９（図２参照）を介して測定装置等のアースに流れるので、終端第１ベタパターン４１４に外部ノイズが直接入り込むことは阻止される。加えて、終端第２ベタパターン４１５の内側に終端第１部位４Ｐ１と終端第３部位４Ｐ３にある終端第１ベタパターン４１４が配置されているので、さらにその内側にある終端第１接続部４１１および露出した内部導体２１に外部ノイズの影響が及んでしまうことを確実に防止できる。

【0082】

なお、図８に示すように、終端側端子部材４の両端面（図８では左右両端）に終端第２ベタパターン４１５が配置されているため、この端面から、終端第１ベタパターン４１４、線状センサ２終端側端部の露出部分にノイズが直接入り込むことも防止されている。

【0083】

図１２は、線状センサの終端側端部に出力側端子部材を取り付ける作業を示すフローチャートである。

【0084】

まず、線状センサ２と終端側端子部材４を用意する（ステップＳ３１）。そして、線状センサ２の終端側端部において、内部導体２１、圧電体２２、外部導体２３、内側シース２４、センサシールド被覆２５を段階的に露出させる（ステップＳ３２）。そして、内部導体２１、外部導体２３、センサシールド被覆２５を、終端第１接続部４１１、終端第２接続部４１２、終端第３接続部４１３にそれぞれハンダ付けする（ステップＳ３３）。次いで、終端第１部位４Ｐ１または終端第２部位４Ｐ２の、図８における紙面奥側の面（線状センサ２の端部が接続されている面とは反対側の面）に接着剤を塗布する（ステップＳ３４）。このステップＳ３４は、第１塗布工程の一例に相当する。続いて、終端第１折曲線４ａに沿って山折りする（ステップＳ３５）。これによって、終端第１部位４Ｐ１が終端第２部位４Ｐ２に対面して貼り付けられる。このステップＳ３５は、第１折曲工程の一例に相当する。また、この終端第１折曲線４ａが描かれ、山折りされた位置が第１位置の一例に相当する。その後、終端第３部位４Ｐ３、終端第４部位４Ｐ４および終端第５部位４Ｐ５の、図８における紙面手前側の面（線状センサ２の端部が接続されている面）に接着剤を塗布する（ステップＳ３６）。このステップＳ３６は、第２塗布工程の一例に相当する。続いて、終端第２折曲線４ｂに沿って谷折りする（ステップＳ３７）。これによって、終端第３部位４Ｐ３が終端第２部位４Ｐ２に対面して貼り付けられる。このステップＳ３７は、第２折曲工程の一例に相当する。また、この終端第２折曲線４ｂが描かれ、谷折りされた位置が第２位置の一例に相当する。そして、終端第３折曲線４ｃ、終端第４折曲線４ｄの順にそれらの線に沿って谷折りする（ステップＳ３８）。これによって、終端第４部位４Ｐ４が終端第１部位４Ｐ１に、終端第５部位４Ｐ５が終端第３部位４Ｐ３にそれぞれ対面して貼り付けられる。このステップＳ３８は、第３折曲工程の一例に相当する。そして最後に、終端側封止材４０を塗布する（ステップＳ３９）ことで作業が完了する。

【0085】

以上説明した実施形態の線状センサユニット１によれば、第１折曲線３ａが描かれた位置と第２折曲線３ｂが描かれた位置とで異なる折り方で折り曲げているので、両方の折曲線で山折りまたは谷折りする場合と比較して折り曲げやすく、出力側端子部材３が折り曲げ前の形状に復帰しようとする力も減る。同様に、終端第１折曲線４ａが描かれた位置と終端第２折曲線４ｂが描かれた位置とで異なる折り方で折り曲げているので、折り曲げやすく、終端側端子部材４が折り曲げ前の形状に復帰しようとする力も減る。これらにより線状センサユニット１を製造しやすくなる。なお、効果は半減するものの、出力側端子部材３と終端側端子部材４のうちの一方を本実施形態の様に折り曲げ、他方は全ての折曲線で山折りまたは谷折りしてもよい。また、第１折曲線３ａが描かれた位置と第２折曲線３ｂが描かれた位置においてそれぞれ異なる折り方で折り曲げることで、第１折曲線３ａと第２折曲線３ｂの間にある第１接続部３１４、第２接続部３１５、第３接続部３１６、第２ケーブル接続部３１５１および第３ケーブル接続部３１６１の上下両面を出力側端子部材３で覆うことができる。これにより、これらの接続部並びに接続された線状センサ２の出力側端部の露出した部分および信号ケーブル３９の露出した部分を物理的に保護できる。さらに、それらを覆っている第４部位３Ｐ４および第５部位３Ｐ５に第１ベタパターン３１８が形成されているので、外部ノイズからも保護できる。同様に、終端第１折曲線４ａが描かれた位置と終端第２折曲線４ｂが描かれた位置とで異なる折り方で折り曲げているので、終端第１折曲線４ａと終端第２折曲線４ｂの間にある終端第１接続部４１１、終端第２接続部４１２および終端第３接続部４１３の上下両面を終端側端子部材４で覆うことができる。これにより、これらの終端側接続部並びに接続された線状センサ２の終端側端部の露出した部分を物理的に保護できる。さらに、それらを覆っている終端第４部位４Ｐ４および終端第５部位４Ｐ５に終端第１ベタパターン４１４が形成されているので、外部ノイズからも保護できる。

【0086】

また、第１部位３Ｐ１に一方側シールドパターン３１９ａと他方側シールドパターン３１９ｂをつなぐ連結パターン３１９ｃが設けられているので、センサシールド被覆２５が接続された第３接続部３１６と信号シールド被覆３９５が接続された第３ケーブル接続部３１６１との間における第２ベタパターン３１９の抵抗値を小さくすることができるのでシールド効果が低下することを抑制できる。

【0087】

以上説明した線状センサユニット１から、以下の発明概念を抽出することができる。

【0088】

内部導体および外部導体を有する線状センサと、該内部導体および該外部導体が接続された端子部材とを備えた線状センサユニットであって、
前記端子部材は、前記外部導体が接続された接続部分よりも前記線状センサの延在方向と交わる交差方向における一端側の第１位置で該延在方向に沿って山折りまたは谷折りのうちの一方の折り方で折り曲げられ、該接続部分よりも該交差方向における他端側の複数の位置で該延在方向に沿って折り曲げられたフィルム状のものであり、該複数の位置のうち該接続部分に最も近い第２位置では山折りまたは谷折りのうちの他方の折り方で折り曲げられたものであることを特徴とする線状センサユニット。

【0089】

また、以上説明した線状センサユニット１の製造方法から、以下の発明概念を抽出することができる。

【0090】

内部導体および外部導体を有する線状センサと、該内部導体および該外部導体が接続されたフィルム状の端子部材とを備えた線状センサユニットの製造方法であって、
前記端子部材の、前記外部導体が接続された接続部分よりも前記線状センサの延在方向と交わる交差方向における一端側の第１位置で該延在方向に沿って山折りまたは谷折りのうちの一方の折り方で折り曲げる第１折曲工程と、
前記端子部材の、前記接続部分よりも前記交差方向における他端側の複数の位置で前記延在方向に沿って折り曲げる第２折曲工程とを備え、
前記第２折曲工程は、前記複数の位置のうち前記接続部分に最も近い第２位置では山折りまたは谷折りのうちの他方の折り方で折り曲げる工程であることを特徴とする線状センサユニットの製造方法。

【0091】

続いて、本実施形態の変形例について説明する。以下の説明では、これまで説明した構成要素の名称と同じ構成要素の名称には、これまで用いた符号と同じ符号を付すことがあり、重複する説明は省略することがある。

【0092】

図１３は、第１変形例の出力側端子部材を展開した様子を示す図３と同様の平面図である。

【0093】

図１３に示すように、この第１変形例の線状センサユニット１（図２参照）は、出力側端子部材３の折り方が図３に示した出力側端子部材３と異なる。出力側端子部材３は、第１折曲線３ａに沿って谷折りに折り曲げられ、第２折曲線３ｂ、第３折曲線３ｃおよび第４折曲線３ｄに沿って山折りに折り曲げられたものである。すなわち、ステップＳ１７、ステップＳ１９およびステップＳ２０における折り曲げ方向が先の実施形態の出力側端子部材３とは逆方向になる。これに伴い、ステップＳ１６で接着剤を塗布する面が図１３における紙面手前側の面になり、ステップＳ１８で接着剤を塗布する面が図１３における紙面奥側の面になる。図示は省略するが、この第１変形例の終端側端子部材４は、第１変形例の出力側端子部材３と同様に、終端第１折曲線４ａでは谷折りに折り曲げられ、終端第２折曲線４ｂ、終端第３折曲線４ｃおよび終端第４折曲線４ｄでは山折りに折り曲げられたものである。また、ステップＳ３４およびステップＳ３６における接着剤の塗布面も先の実施形態とは逆になる。

【0094】

この第１変形例も、先の実施形態と同様の効果を奏する。なお、出力側端子部材３と終端側端子部材４の一方が第１変形例のように折り曲げられたものであり、他方が先の実施形態または他の変形例のように折り曲げられたものであってもよい。

【0095】

図１４は、第２変形例の出力側端子部材を展開した様子を示す図３と同様の平面図である。

【0096】

図１４に示すように、この第２変形例の線状センサユニット１（図２参照）は、出力側端子部材３の折り方が図３に示した出力側端子部材３と異なる。出力側端子部材３は、先の実施形態と異なり、第３折曲線３ｃおよび第４折曲線３ｄに沿って山折りに折り曲げられたものである。なお、第１折曲線３ａで山折りに折り曲げられ、第２折曲線３ｂで谷折りで折り曲げられている点は、先の実施形態と同様である。すなわち、ステップＳ２０における折り曲げ方向方向が先の実施形態の出力側端子部材３とは逆方向になる。これに伴い、ステップＳ１８で接着剤を塗布する面が、第４部位３Ｐ４と第５部位３Ｐ５では先の実施形態とは逆の、図１４における紙面奥側の面になる。図示は省略するが、この第２変形例の終端側端子部材４は、第２変形例の出力側端子部材３と同様に、終端第１折曲線４ａでは山折りに折り曲げられ、終端第２折曲線４ｂでは谷折りに折り曲げられ、終端第３折曲線４ｃおよび終端第４折曲線４ｄでは、山折りに折り曲げられたものである。また、ステップＳ３６における接着剤の塗布面は、終端第４部位４Ｐ４と終端第５部位４Ｐ５では先の実施形態とは逆の面になる。

【0097】

この第２変形例も、先の実施形態と同様の効果を奏する。なお、出力側端子部材３と終端側端子部材４の一方が第２変形例のように折り曲げられたものであり、他方が先の実施形態または他の変形例のように折り曲げられたものであってもよい。

【0098】

図１５は、第３変形例の出力側端子部材を展開した様子を示す図３と同様の平面図である。

【0099】

図１５に示すように、この第３変形例の線状センサユニット１（図２参照）は、出力側端子部材３の折り方が図３に示した出力側端子部材３と異なる。出力側端子部材３は、先の実施形態と異なり、第１折曲線３ａで谷折りに折り曲げられ、第２折曲線３ｂで山折りで折り曲げられている。なお、第３折曲線３ｃおよび第４折曲線３ｄで谷折りに折り曲げられている点は、先の実施形態と同様である。すなわち、ステップＳ１７における折り曲げ方向が先の実施形態の出力側端子部材３とは逆方向になり、ステップＳ１９における折り曲げ方向も先の実施形態の出力側端子部材３とは逆方向になる。これに伴い、ステップＳ１６で接着剤を塗布する面が先の実施形態とは逆の、図１５における紙面手前側の面になり、ステップＳ１８で接着剤を塗布する面が、第２部位３Ｐ２では先の実施形態とは逆の、図１５における紙面奥側の面になる。図示は省略するが、この第３変形例の終端側端子部材４は、第３変形例の出力側端子部材３と同様に、終端第１折曲線４ａでは谷折りに折り曲げられ、終端第２折曲線４ｂでは山折りに折り曲げられ、終端第３折曲線４ｃおよび終端第４折曲線４ｄでは、谷折りに折り曲げられたものである。ステップＳ３４における接着剤の塗布面も先の実施形態とは逆になり、ステップＳ３６における接着剤の塗布面は終端第３部位４Ｐ３では先の実施形態と逆になる。

【0100】

この第３変形例も、先の実施形態と同様の効果を奏する。なお、出力側端子部材３と終端側端子部材４の一方が第３変形例のように折り曲げられたものであり、他方が先の実施形態または他の変形例のように折り曲げられたものであってもよい。

【0101】

図１６は、第２実施形態の出力側端子部材を展開した様子を示す図３と同様の平面図である。この図１６は、線状センサ２の出力側端部に出力側端子部材３を取り付ける過程の最終段階において出力側端子部材３を折り曲げる直前の状態を示す平面図とも言える。

【0102】

図１６に示すように、第２実施形態の出力側端子部材３は、第１部位３Ｐ１よりも交差方向の一端側に突出部位３ＰＰが設けられている点と、第５部位３Ｐ５よりも他端側に第６部位３Ｐ６が設けられている点と、連結パターン３１９ｃ（図３参照）が存在しない点と、折り方とが先の図３に示した実施形態と異なる。これに伴い、出力側端子部材３を展開した状態で、第１ベタパターン３１８は先の実施形態よりも交差方向の長さが長い矩形をしており、第２ベタパターン３１９は交差方向の長さが長い凹形をしている。なお、これら以外は先の実施形態と同様の構造をしており、平面図およびＥ－Ｅ断面図は先の実施形態の図２および図４と同一であるため図示省略する。

【0103】

突出部位３ＰＰの延在方向の長さは、第２部位３Ｐ２、第３部位３Ｐ３、第４部位３Ｐ４、第５部位３Ｐ５および第６部位３Ｐ６よりも短く、第１ベタパターン３１８よりもほんの少し長くなっている。また、突出部位３ＰＰの交差方向の長さは、第３部位３Ｐ３の交差方向の長さの概略７０％である。突出部位３ＰＰの交差方向の長さは、第３部位３Ｐ３の交差方向の長さの５０％以上８０％以下の長さにすることが好ましい。第１部位３Ｐ１と突出部位３ＰＰの間には、突出部折曲線３ｅが描かれている。第１ベタパターン３１８は、第１折曲線３ａと第２折曲線３ｂと突出部折曲線３ｅを跨いで第１部位３Ｐ１と第２部位３Ｐ２と第３部位３Ｐ３と突出部位３ＰＰに延在している。第１ベタパターン３１８のうち、突出部位３ＰＰにある部分は、第１部位３Ｐ１にある第１ベタパターン３１８よりも少し小さい。

【0104】

第６部位３Ｐ６の延在方向の長さは、第２部位３Ｐ２、第３部位３Ｐ３、第４部位３Ｐ４および第５部位３Ｐ５と同じである。また、第６部位３Ｐ６の交差方向の長さは、第４部位３Ｐ４の交差方向の長さの概略７０％である。第６部位３Ｐ６の交差方向の長さは、第４部位３Ｐ４の交差方向の長さの５０％以上８０％以下の長さにすることが好ましい。第５部位３Ｐ５と第６部位３Ｐ６の間には、第５折曲線３ｆが描かれている。第２ベタパターン３１９は、第１折曲線３ａ、第２折曲線３ｂ、第３折曲線３ｃ、第４折曲線３ｄおよび第５折曲線３ｆを跨いで、第１部位３Ｐ１、第２部位３Ｐ２、第３部位３Ｐ３、第４部位３Ｐ４、第５部位３Ｐ５および第６部位３Ｐ６に延在している。第１部位３Ｐ１、第２部位３Ｐ２および第３部位３Ｐ３では、第２ベタパターン３１９は、第１ベタパターン３１８を挟んで線状センサ２の延在方向一方側に位置する一方側シールドパターン３１９ａと、延在方向他方側に位置する他方側シールドパターン３１９ｂとに分かれている。この第２実施形態の出力側端子部材３は、第１折曲線３ａおよび突出部折曲線３ｅに沿って谷折りに折り曲げられ、第２折曲線３ｂ、第３折曲線３ｃ、第４折曲線３ｄおよび第５折曲線３ｆに沿って山折りに折り曲げられることで線状センサ２の端部および信号ケーブル３９の端部を内側に挟み込んでいる。突出部折曲線３ｅが描かれ、谷折りされた位置が特定位置の一例に相当する。また、第３折曲線３ｃが描かれ、山折りされた位置が第３位置の一例に相当し、第４折曲線３ｄが描かれ、山折りされた位置が第４位置の一例に相当し、第５折曲線３ｆが描かれ、山折りされた位置が第５位置の一例に相当する。織り順は、第１折曲線３ａ、第２折曲線３ｂ、突出部折曲線３ｅ、第３折曲線３ｃ、第４折曲線３ｄ、第５折曲線３ｆの順である。なお、第１折曲線３ａの折り曲げと第２折曲線３ｂの折り曲げはどちらが先であってもよく、突出部折曲線３ｅの折り曲げと第３折曲線３ｃの折り曲げはどちらが先であってもよい。

【0105】

図１７は、第２実施形態の出力側端子部材のＡ－Ａ断面図である。図１７では各部の厚みや隙間を誇張して示している。

【0106】

図１７に示すように、出力側端子部材３は、突出部位３ＰＰ、第１部位３Ｐ１および第２部位３Ｐ２の境界では谷折りに折り曲げられ、第２部位３Ｐ２、第３部位３Ｐ３、第４部位３Ｐ４、第５部位３Ｐ５および第６部位３Ｐ６の境界それぞれでは山折りに折り曲げられている。換言すれば、出力側端子部材３は、突出部位３ＰＰと第１部位３Ｐ１の境界、第１部位３Ｐ１と第２部位３Ｐ２の境界、第２部位３Ｐ２と第３部位３Ｐ３の境界、第３部位３Ｐ３と第４部位３Ｐ４の境界、第４部位３Ｐ４と第５部位３Ｐ５の境界、第５部位３Ｐ５と第６部位３Ｐ６の境界において、突出部位３ＰＰ、第１部位３Ｐ１、第３部位３Ｐ３、第４部位３Ｐ４、第５部位３Ｐ５および第６部位３Ｐ６それぞれが線状センサ２の延在方向から見て線状センサ２を中心として同一の回転方向（図１７では反時計回り）に向かって折り畳まれている。また、それらの部位どうしが接触している面には不図示の接着剤が塗布されて接着されている。

【0107】

次に、第２実施形態の終端側端子部材４について説明する。

【0108】

図１８は、第２実施形態の終端側端子部材を展開した様子を示す図８と同様の平面図である。この図１８は、線状センサ２の終端側端部に終端側端子部材４を取り付ける過程の最終段階において終端側端子部材４を折り曲げる直前の状態を示す平面図とも言える。

【0109】

図１８に示すように、第２実施形態の終端側端子部材４は、終端第１部位４Ｐ１よりも交差方向の一端側に終端突出部位４ＰＰが設けられている点と、終端第５部位４Ｐ５よりも他端側に終端第６部位４Ｐ６が設けられている点と、終端連結パターン４１５ｃ（図８参照）が存在しない点と、折り方とが先の図８に示した実施形態と異なる。これに伴い、終端側端子部材４を展開した状態で、終端第１ベタパターン４１４は先の実施形態よりも交差方向の長さが長い矩形をしており、終端第２ベタパターン４１５は交差方向の長さが長い凹形をしている。なお、これら以外は先の実施形態と同様の構造をしており、平面図およびＦ－Ｆ断面図は先の実施形態の図２および図９と同一であるため図示省略する。

【0110】

終端突出部位４ＰＰの延在方向の長さは、終端第２部位４Ｐ２、終端第３部位４Ｐ３、終端第４部位４Ｐ４、終端第５部位４Ｐ５および終端第６部位４Ｐ６よりも短く、終端第１ベタパターン４１４よりもほんの少し長くなっている。また、終端突出部位４ＰＰの交差方向の長さは、終端第３部位４Ｐ３の交差方向の長さの概略７０％である。終端突出部位４ＰＰの交差方向の長さは、終端第３部位４Ｐ３の交差方向の長さの５０％以上８０％以下の長さにすることが好ましい。終端第１部位４Ｐ１と終端突出部位４ＰＰの間には、終端突出部折曲線４ｅが描かれている。終端第１ベタパターン４１４は、終端第１折曲線４ａと終端第２折曲線４ｂと終端突出部折曲線４ｅを跨いで終端第１部位４Ｐ１と終端第２部位４Ｐ２と終端第３部位４Ｐ３と終端突出部位４ＰＰに延在している。終端第１ベタパターン４１４のうち、終端突出部位４ＰＰにある部分は、終端第１部位４Ｐ１にある終端第１ベタパターン４１４よりも少し小さい。

【0111】

終端第６部位４Ｐ６の延在方向の長さは、終端第２部位４Ｐ２、終端第３部位４Ｐ３、終端第４部位４Ｐ４および終端第５部位４Ｐ５と同じである。また、終端第６部位４Ｐ６の交差方向の長さは、終端第４部位４Ｐ４の交差方向の長さの概略７０％である。終端第６部位４Ｐ６の交差方向の長さは、終端第４部位４Ｐ４の交差方向の長さの５０％以上８０％以下の長さにすることが好ましい。終端第５部位４Ｐ５と終端第６部位４Ｐ６の間には、終端第５折曲線４ｆが描かれている。終端第２ベタパターン４１５は、終端第１折曲線４ａ、終端第２折曲線４ｂ、終端第３折曲線４ｃ、終端第４折曲線４ｄおよび終端第５折曲線４ｆを跨いで、終端第１部位４Ｐ１、終端第２部位４Ｐ２、終端第３部位４Ｐ３、終端第４部位４Ｐ４、終端第５部位４Ｐ５および終端第６部位４Ｐ６に延在している。終端第１部位４Ｐ１、終端第２部位４Ｐ２および終端第３部位４Ｐ３では、終端第２ベタパターン４１５は、終端第１ベタパターン４１４を挟んで線状センサ２の延在方向一方側に位置する終端一方側シールドパターン４１５ａと、延在方向他方側に位置する終端他方側シールドパターン４１５ｂとに分かれている。この第２実施形態の終端側端子部材４は、終端第１折曲線４ａおよび終端突出部折曲線４ｅに沿って谷折りに折り曲げられ、終端第２折曲線４ｂ、終端第３折曲線４ｃ、終端第４折曲線４ｄおよび終端第５折曲線４ｆに沿って山折りに折り曲げられることで線状センサ２の端部を内側に挟み込んでいる。終端突出部折曲線４ｅが描かれ、谷折りされた位置が特定位置の一例に相当する。また、終端第３折曲線４ｃが描かれ、山折りされた位置が第３位置の一例に相当し、終端第４折曲線４ｄが描かれ、山折りされた位置が第４位置の一例に相当し、終端第５折曲線４ｆが描かれ、山折りされた位置が第５位置の一例に相当する。織り順は、終端第１折曲線４ａ、終端第２折曲線４ｂ、終端突出部折曲線４ｅ、終端第３折曲線４ｃ、終端第４折曲線４ｄ、終端第５折曲線４ｆの順である。なお、終端第１折曲線４ａの折り曲げと終端第２折曲線４ｂの折り曲げはどちらが先であってもよく、終端突出部折曲線４ｅの折り曲げと終端第３折曲線４ｃの折り曲げはどちらが先であってもよい。

【0112】

図１９は、第２実施形態の出力側端子部材のＣ－Ｃ断面図である。図１９では各部の厚みや隙間を誇張して示している。

【0113】

図１９に示すように、終端側端子部材４は、終端突出部位４ＰＰ、終端第１部位４Ｐ１および終端第２部位４Ｐ２の境界では谷折りに折り曲げられ、終端第２部位４Ｐ２、終端第３部位４Ｐ３、終端第４部位４Ｐ４、終端第５部位４Ｐ５および終端第６部位４Ｐ６の境界それぞれでは山折りに折り曲げられている。換言すれば、終端側端子部材４は、終端突出部位４ＰＰと終端第１部位４Ｐ１の境界、終端第１部位４Ｐ１と終端第２部位４Ｐ２の境界、終端第２部位４Ｐ２と終端第３部位４Ｐ３の境界、終端第３部位４Ｐ３と終端第４部位４Ｐ４の境界、終端第４部位４Ｐ４と終端第５部位４Ｐ５の境界、終端第５部位４Ｐ５と終端第６部位４Ｐ６の境界において、終端突出部位４ＰＰ、終端第１部位４Ｐ１、終端第３部位４Ｐ３、終端第４部位４Ｐ４、終端第５部位４Ｐ５および終端第６部位４Ｐ６それぞれが線状センサ２の延在方向から見て線状センサ２を中心として同一の回転方向（図１９では反時計回り）に向かって折り畳まれている。また、それらの部位どうしが接触している面には不図示の接着剤が塗布されて接着されている。

【0114】

以上説明した第２実施形態の線状センサユニット１も、先の実施形態と同様の効果を奏する。さらに、第２実施形態の出力側端子部材３および終端側端子部材４は、以下に説明する効果も奏する。

【0115】

出力側端子部材３の、第１接続部３１４、第２接続部３１５および第２ケーブル接続部３１５１は、第１部位３Ｐ１と第３部位３Ｐ３にある第１ベタパターン３１８によって外側を覆われている。しかしながら、第１部位３Ｐ１と第２部位３Ｐ２と第３部位３Ｐ３にある第１ベタパターン３１８だけでは、線状センサ２の延在方向から出力側端子部材３を見ると、第２折曲線３ｂ付近（第２部位３Ｐ２と第３部位３Ｐ３の境界付近）に第１ベタパターン３１８で覆われていない部分ができてしまう虞がある。第１部位３Ｐ１と突出部位３ＰＰの境界部分、すなわち突出部折曲線３ｅを跨ぐ部分にある第１ベタパターン３１８が第２折曲線３ｂ付近の外側を覆うことで、第１接続部３１４、第２接続部３１５および第２ケーブル接続部３１５１は、第１部位３Ｐ１と第３部位３Ｐ３と突出部位３ＰＰにある第１ベタパターン３１８によって外側を完全に覆われる。これにより、外部ノイズが、第１接続部３１４、第２接続部３１５および第２ケーブル接続部３１５１により入り込みにくくなる。

【0116】

同様に、終端側端子部材４の、終端第１部位４Ｐ１と終端突出部位４ＰＰの境界部分、すなわち終端突出部折曲線４ｅを跨ぐ部分にある終端第１ベタパターン４１４が終端第２折曲線４ｂ付近の外側を覆うことで、終端第１接続部４１１、終端第２接続部４１２および第２ケーブル接続部３１５１は、終端第１部位４Ｐ１と終端第３部位４Ｐ３と終端突出部位４ＰＰにある終端第１ベタパターン４１４によって外側を完全に覆われる。これにより、外部ノイズが、終端第１接続部４１１、終端第２接続部４１２および第２ケーブル接続部３１５１により入り込みにくくなる。

【0117】

また、出力側端子部材３の、突出部位３ＰＰの交差方向の長さが短く、第２折曲線３ｂで折り曲げられた部分の外側またはその近傍までしか届かないと、出力側端子部材３の弾性により突出部位３ＰＰがその折り曲げられた部分で剥がれやすくなってしまう。これに対し、第２実施形態の突出部位３ＰＰの交差方向の長さを第３部位３Ｐ３の交差方向の長さの５０％以上８０％以下の長さにしているので、第２折曲線３ｂの外側から概略５０％以上８０％以下の範囲に突出部位３ＰＰの交差方向の端縁が位置している。これにより、図１７に示すように、突出部折曲線３ｅよりもさらに交差方向の一端側に突出部位３ＰＰによって平面状に延在した第１平面部分Ｆ１が形成されている。また、第２折曲線３ｂよりもさらに他端側に第３部位３Ｐ３によって平面状に延在した第２平面部分Ｆ２が形成されている。そして、第１平面部分Ｆ１が第２平面部分Ｆ２に接着されることで、突出部位３ＰＰと第３部位３Ｐ３とが平面形状をした部分で、相当程度の面積で固定されるので剥がれにくい。

【0118】

同様に、終端側端子部材４の、終端突出部位４ＰＰの交差方向の長さを終端第３部位４Ｐ３の交差方向の長さの５０％以上８０％以下の長さにしているので、終端第２折曲線４ｂの外側から概略５０％以上８０％以下の範囲に終端突出部位４ＰＰの交差方向の端縁が位置している。これにより、図１９に示すように、終端突出部折曲線４ｅよりもさらに交差方向の一端側に終端突出部位４ＰＰによって平面状に延在した終端第１平面部分ＥＦ１が形成されている。この終端第１平面部分ＥＦ１は、第１平面部分の一例に相当する。また、終端第２折曲線４ｂよりもさらに他端側に終端第３部位４Ｐ３によって平面状に延在した終端第２平面部分ＥＦ２が形成されている。この終端第２平面部分ＥＦ２は、第２平面部分の一例に相当する。そして、終端第１平面部分ＥＦ１が終端第２平面部分ＥＦ２に接着されることで、終端突出部位４ＰＰと終端第３部位４Ｐ３とが平面形状をした部分で、相当程度の面積で固定されるので剥がれにくい。

【0119】

また、出力側端子部材３の、第１ベタパターン３１８は、第４部位３Ｐ４と第５部位３Ｐ５にある第２ベタパターン３１９によって外側が覆われている。しかしながら、第４部位３Ｐ４と第５部位３Ｐ５にある第２ベタパターン３１９は、線状センサ２の延在方向から出力側端子部材３を見ると、図１７に示すようにＵ字状になるため、第３折曲線３ｃ付近（第３部位３Ｐ３と第４部位３Ｐ４の境界付近）に第２ベタパターン３１９で覆われていない部分ができてしまう虞がある。第５部位３Ｐ５と第６部位３Ｐ６の境界部分、すなわち第５折曲線３ｆを跨ぐ部分にある第２ベタパターン３１９が第３折曲線３ｃ付近の外側を覆うことで、第１ベタパターン３１８は、第４部位３Ｐ４と第５部位３Ｐ５と第６部位３Ｐ６にある第２ベタパターン３１９によって外側（外周面全面）が覆われる。これにより、外部ノイズが、第１ベタパターン３１８により入り込みにくくなる。

【0120】

同様に、終端側端子部材４の、終端第５部位４Ｐ５と終端第６部位４Ｐ６の境界部分、すなわち終端第５折曲線４ｆを跨ぐ部分にある終端第２ベタパターン４１５が終端第３折曲線４ｃ付近の外側を覆うことで、終端第１ベタパターン４１４は、終端第４部位４Ｐ４と終端第５部位４Ｐ５と終端第６部位４Ｐ６にある終端第２ベタパターン４１５によって外側（外周面全面）が覆われる。これにより、外部ノイズが、終端第１ベタパターン４１４により入り込みにくくなる。

【0121】

また、出力側端子部材３の、第６部位３Ｐ６の交差方向の長さが短く、第３折曲線３ｃで折り曲げられた部分の外側またはその近傍までしか届かないと、出力側端子部材３の弾性により第６部位３Ｐ６がその折り曲げ部分で剥がれやすくなってしまう。これに対し、第２実施形態の第６部位３Ｐ６の交差方向の長さを第４部位３Ｐ４の交差方向の長さの５０％以上８０％以下の長さにしているので、第３折曲線３ｃの外側から概略５０％以上８０％以下の範囲に第６部位３Ｐ６の端縁が位置している。これにより、図１７に示すように、第５折曲線３ｆよりもさらに他端側に第６部位３Ｐ６によって平面状に延在した第３平面部分Ｆ３が形成されている。また、第３折曲線３ｃと第４折曲線３ｄの間に第４部位３Ｐ４によって平面状に延在した第４平面部分Ｆ４が形成されている。そして、第３平面部分Ｆ３が第４平面部分Ｆ４に接着されることで、第６部位３Ｐ６と第４部位３Ｐ４とが平面形状をした部分で、相当程度の面積で固定されるので剥がれにくい。

【0122】

同様に、終端側端子部材４の、終端第６部位４Ｐ６の交差方向の長さを終端第４部位４Ｐ４の交差方向の長さの５０％以上８０％以下の長さにしているので、終端第３折曲線４ｃの外側から概略５０％以上８０％以下の範囲に終端第６部位４Ｐ６の端縁が位置している。これにより、図１９に示すように、終端第５折曲線４ｆよりもさらに他端側に終端第６部位４Ｐ６によって平面状に延在した終端第３平面部分ＥＦ３が形成されている。この終端第３平面部分ＥＦ３は、第３平面部分の一例に相当する。また、終端第３折曲線４ｃと終端第４折曲線４ｄの間に終端第４部位４Ｐ４によって平面状に延在した終端第４平面部分ＥＦ４が形成されている。この終端第４平面部分ＥＦ４は、第４平面部分の一例に相当する。そして、終端第３平面部分ＥＦ３が終端第４平面部分ＥＦ４に接着されることで、終端第６部位４Ｐ６と終端第４部位４Ｐ４とが平面形状をした部分で、相当程度の面積で固定されるので剥がれにくい。 本発明は上述の実施形態に限られることなく特許請求の範囲に記載した範囲で種々の変形を行うことが出来る。たとえば、本実施形態では、圧電体２２を用いた線状センサ２について説明したが、導電ゴム等の抵抗線やキャパシタ線等を用いた線状センサ２に変更してもよい。また、先の実施形態では、出力側端子部材３および終端側端子部材４を合計４回づつ折り曲げて作製する例で説明したが、折り曲げる回数は５回以上であってもよい。同様に、第２実施形態では、終端側端子部材４および終端側端子部材４を合計６回づつ折り曲げて作製する例で説明したが、折り曲げる回数は７回以上であってもよい。また、信号ケーブル３９に代えて、線状センサ２を出力側端子部材３に接続して線状センサ２どうしを接続してもよい。またさらに、第５部位３Ｐ５および終端第５部位４Ｐ５は省略してもよく、第４部位３Ｐ４および終端第４部位４Ｐ４も省略してもよい。これらを省略した場合、外部ノイズが入り込みやすくなるので、銅箔、導電性フィルムまたはメッキフィルムなどによって、出力側端子部材３および終端側端子部材４を覆うことが好ましい。なお、第５部位３Ｐ５および終端第５部位４Ｐ５を省略した場合、先の実施形態では出力側端子部材３および終端側端子部材４の折り曲げ回数は合計３回づつになる。また、第２実施形態では終端第６部位４Ｐ６および終端第６部位４Ｐ６も省略されるので折り曲げ回数は合計４回づつになる。第４部位３Ｐ４および終端第４部位４Ｐ４も省略した場合、出力側端子部材３および終端側端子部材４の折り曲げ回数は合計２回づつになる。また、第２実施形態では折り曲げ回数は合計３回づつになる。

【0123】

なお、以上説明した各実施形態や各変形例の記載それぞれにのみ含まれている構成要件であっても、その構成要件を、他の実施形態や他の変形例に適用してもよい。

【符号の説明】

【0124】

１ 線状センサユニット
２ 線状センサ
３ 出力側端子部材
３ａ 第１折曲線
３ｂ 第２折曲線
４ 終端側端子部材
４ａ 終端第１折曲線
４ｂ 終端第２折曲線
２１ 内部導体
２３ 外部導体
３１４ 第１接続部
３１５ 第２接続部
４１１ 終端第１接続部
４１２ 終端第２接続部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】