特開 2024-151928 樹脂パターンの製造方法及び樹脂パターンの製造装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024151928

(43)【公開日】2024-10-25

(54)【発明の名称】樹脂パターンの製造方法及び樹脂パターンの製造装置

(51)【国際特許分類】

   B41M 3/00 20060101AFI20241018BHJP

   B41F 17/10 20060101ALI20241018BHJP

【ＦＩ】

B41M3/00 Z

B41F17/10 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023065757

(22)【出願日】2023-04-13

(71)【出願人】

【識別番号】000108410

【氏名又は名称】デクセリアルズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(72)【発明者】

【氏名】齋藤 崇之

(72)【発明者】

【氏名】野田 大樹

(72)【発明者】

【氏名】町屋 千春

【テーマコード（参考）】

2H113

【Ｆターム（参考）】

2H113AA04

2H113AA05

2H113BA03

2H113BB08

2H113BC12

2H113FA32

(57)【要約】

【課題】樹脂パターンを形状の崩れを抑えつつ連続して製造できる樹脂パターンの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る樹脂パターンの製造方法は、凹部を有するパターンを形成した版に樹脂組成物を充填する工程と、支持体と粘着剤層とを有する粘着テープを用い、前記粘着テープの粘着剤層の面に前記樹脂組成物を転写する工程と、前記粘着テープの粘着剤の面に設けられた前記樹脂組成物を転写用基材に転写する工程と、を含む。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

凹部を有するパターンを形成した版に樹脂組成物を充填する工程と、
支持体と粘着剤層とを有する粘着テープを用い、前記粘着テープの粘着剤層の面に前記樹脂組成物を転写する工程と、
前記粘着テープの粘着剤の面に設けられた前記樹脂組成物を転写用基材に転写する工程と、
を含む、樹脂パターンの製造方法。

【請求項2】

前記樹脂組成物を乾燥する工程を含む請求項１記載の樹脂パターンの製造方法。

【請求項3】

前記粘着剤層に含まれる粘着剤が、シリコーン系粘着剤である請求項１に記載の樹脂パターンの製造方法。

【請求項4】

前記転写用基材は、少なくとも一方の面に剥離剤層が形成されており、
前記樹脂組成物は、前記転写用基材の前記剥離剤層側の面に転写される請求項１に記載の樹脂パターンの製造方法。

【請求項5】

前記粘着テープの前記粘着剤層の厚さは、２５μｍ～７５μｍである請求項１に記載の樹脂パターンの製造方法。

【請求項6】

前記粘着テープの前記粘着剤層のヘキサデカンとの接触角が、４０°以上である請求項１に記載の樹脂パターンの製造方法。

【請求項7】

前記版は、グラビアロールであり、
前記樹脂組成物を充填する工程は、
前記樹脂組成物を貯留する貯留部にグラビアロールの一部を浸し、前記凹部に前記樹脂組成物を充填する工程と、
前記グラビアロールの凹部以外に付着した前記樹脂組成物をドクターブレードにより除去する工程と、
を含む請求項１に記載の樹脂パターンの製造方法。

【請求項8】

前記樹脂組成物は、金属粒子を含む請求項１に記載の樹脂パターンの製造方法。

【請求項9】

樹脂組成物を貯留する貯留部と、
前記貯留部内の前記樹脂組成物が充填される凹部のパターンを有し、前記凹部に充填した前記樹脂組成物を粘着テープの粘着剤層の面に転写するグラビアロールと、
前記粘着剤層の面に転写した前記樹脂組成物を転写用基材に転写する転写部と、
前記粘着テープと、前記樹脂組成物が転写された前記転写用基材とを剥離するように前記粘着テープを搬送するガイド部と、
前記粘着テープを乾燥する第１乾燥部と、
前記樹脂組成物が転写された前記転写用基材を乾燥する第２乾燥部と、
を有する樹脂パターンの製造装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、樹脂パターンの製造方法及び樹脂パターンの製造装置に関する。

【背景技術】

【0002】

液状、ペースト状のインクを用いて、所望のパターン形状を有する樹脂パターンを製造する方法は、例えば、フィルム上に形成された電子回路、情報表示装置としての各種ディスプレイパネル、太陽電池パネル、電極等の製造において広く使用されている。

【0003】

樹脂パターンを製造する方法には、一般に、基板上に塗布した樹脂組成物の層に対して所望のパターンを有するマスクを用いる方法及びスクリーン印刷を用いる方法等があるが、オフセット印刷を用いる方法がある。

【0004】

オフセット印刷を用いた樹脂パターンの製造方法として、例えば、凹版に充填したインキをブランケットに受理させた後、インキをブランケットから被印刷基材の印刷面に形成した樹脂層に転写させ、パターンが印刷された印刷物を製造するグラビアオフセット印刷方法が開示されている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１４－０６９４０２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、特許文献１のようなオフセット印刷を用いた樹脂パターンの製造方法では、ブランケットから被印刷基材の印刷面にインキを転写した後もブランケットにインキが残っている場合がある。インキが残っているブランケットにインクを供給して被印刷基材の印刷面に再度転写させると、ブランケットに残っていたインキも被印刷基材に転写されてしまい、安定して所望の形状の樹脂パターンを連続して製造できない、という問題があった。

【0007】

本発明の一態様は、樹脂パターンを形状の崩れを抑えつつ連続して製造できる樹脂パターンの製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明に係る樹脂パターンの製造方法の一態様は、
凹部を有するパターンを形成した版に樹脂組成物を充填する工程と、
支持体と粘着剤層とを有する粘着テープを用い、前記粘着テープの粘着剤層の面に前記樹脂組成物を転写する工程と、
粘着テープの粘着剤の面に設けられた前記樹脂組成物を転写用基材に転写する工程と、
を含む。

【発明の効果】

【0009】

本発明に係る樹脂パターンの製造方法の一態様は、樹脂パターンを形状の崩れを抑えつつ連続して製造できる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の実施形態に係る樹脂パターンの製造方法の一例を示す説明図である。

【図2】本発明の実施形態に係る樹脂パターンの製造装置の一例を示す説明図である。

【図3】原盤の一例を示す図である。

【図4】インク２を用いてＰＥＴフィルム上に転写した樹脂パターンを示す図である。

【図5】ＰＥＴフィルム上に転写した樹脂パターンの他の一例を示す図である。

【図6】ＰＥＴフィルム上に転写した樹脂パターンの他の一例を示す図である。

【図7】ＰＥＴフィルム上に転写した樹脂パターンの他の一例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。なお、説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては同一の符号を付して、重複する説明は省略する。また、図面における各部材の縮尺は実際とは異なる場合がある。本明細書において数値範囲を示す「～」は、別段の断わりがない限り、その前後に記載された数値を下限値及び上限値として含むことを意味する。

【0012】

［第１の実施形態］
＜樹脂パターンの製造方法＞
本発明の第１の実施形態に係る樹脂パターンの製造方法について説明する。本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、充填工程、第１の転写工程及び第２の転写工程を含み、剥離工程等の他の工程を含んでもよい。

【0013】

本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法では、図１（ａ）に示すように、版である原盤１０の主面（転写面）１０ａに樹脂組成物１２を供給し、主面１０ａにパターン形成した凹部１１に樹脂組成物１２を充填する（充填工程）。

【0014】

凹部１１は、原盤１０の主面１０ａにパターン形成された凹みであり、主面１０ａに格子状に配置されるようにパターン形成されてよい。凹部１１の配置は、特に限定されず、適宜任意に配置してよい。凹部１１の、大きさ、数、形状、隣接する凹部１１同士の間隔等は、適宜任意に設定してよい。

【0015】

樹脂組成物１２は、樹脂を含み、顔料や染料等の色材を含んでもよい。樹脂組成物１２は、例えば、インキ、接着剤等であってもよい。

【0016】

樹脂は、特に限定されず、熱硬化性樹脂等、適宜任意の合成樹脂等を用いてよい。

【0017】

また、樹脂組成物１２は、所定量（例えば、３０ｗｔ％～５０ｗｔ％）の固形分を揮発性溶剤等の溶剤に含んだ組成物であってもよい。

【0018】

樹脂組成物１２の粘度は、凹部１１に充填された際にその状態を保持できる粘度を有していればよく、例えば、５００ｍＰａＳ～５０００ｍＰａＳであってもよい。

【0019】

樹脂組成物１２は、金属粒子と樹脂とを含む混合物でもよく、例えば、金属粒子を樹脂中に分散した状態で含む異方性導電膜（ＡＣＦ）等であってもよい。

【0020】

金属粒子は、金属を含む粒子であってもよいし、金属からなる粒子であってもよい。金属粒子の平均粒子径及び形状等は、特に限定されず、適宜任意の大きさ及び形状等であってよい。

【0021】

樹脂組成物１２は、ドクターブレード２０を用いて、原盤１０の主面１０ａに供給して凹部１１に充填してよい。なお、樹脂組成物１２の供給方法は、ドクターブレード２０に限定されず、一般に使用される樹脂の充填方法を用いてよい。

【0022】

原盤１０の凹部１１に充填されず、主面１０ａに残る樹脂組成物１２は、ドクターブレード等の一般に使用される除去部材を用いて除去してよい。

【0023】

次に、図１（ｂ）に示すように、原盤１０の主面１０ａを、粘着テープであるＳｉ粘着フィルム３０の、主面１０ａと対向する一方の主面（転写面）３０ａと貼り合わせて、凹部１１に充填した樹脂組成物１２をＳｉ粘着フィルム３０の転写面３０ａに転写する（第１転写工程）。

【0024】

凹部１１に充填した樹脂組成物１２をＳｉ粘着フィルム３０の転写面３０ａに転写する際、圧延部材であるローラ４０を用いて、Ｓｉ粘着フィルム３０を原盤１０の主面１０ａ側に押圧してよい。これにより、凹部１１に充填した樹脂組成物１２は、Ｓｉ粘着フィルム３０の転写面３０ａにより確実に転写され易くなる。

【0025】

Ｓｉ粘着フィルム３０は、フィルム状（シート状）に成形されたＳｉ粘着テープを用いてよい。Ｓｉ粘着フィルム３０は、矩形状に形成された板状部材であってもよい。Ｓｉ粘着フィルム３０は、支持体３１と粘着剤層３２とを有してよく、粘着剤層３２側の面を転写面３０ａとする。樹脂組成物１２は、Ｓｉ粘着フィルム３０の転写面３０ａに転写される。

【0026】

支持体３１は、特に限定されず、粘着テープに一般に用いられる基材を用いてよい。

【0027】

粘着剤層３２は、特に限定されず、粘着テープに一般に用いられる粘着剤を用いて形成してよい。

【0028】

粘着剤層３２の厚さは、粘着剤層３２への樹脂組成物１２の転写率が安定する点から、１０μｍ～１００μｍであることが好ましく、２５μｍ～７５μｍであることがより好ましく、３０μｍ～５０μｍであることがさらに好ましい。

【0029】

粘着剤層３２は、その表面に転写される樹脂組成物１２を剥離し易くする点から、撥水性が高いことが好ましい。撥水性の指標として、ヘキサデカン又は水との接触角の大きさを用いることができる。例えば、粘着剤層３２のヘキサデカンとの接触角は、４０°以上であることが好ましく、４５°以上であることがより好ましく、５０°以上であることがさらに好ましい。粘着剤層３２の水との接触角は、１２５°以上であることが好ましく、１３０°以上であることがより好ましく、１４０°以上であることがさらに好ましい。

【0030】

粘着剤層３２は、粘着剤を含む層であり、粘着剤からなる層であってよい。

【0031】

粘着剤層３２に含まれる粘着剤としては、溶剤を吸収しつつ粘着力を維持するバランスを図る点から、シリコーン系粘着剤が好ましく使用できる。

【0032】

粘着剤層３２の粘着力は、適宜設定可能であるが、低めであることが好ましい。粘着剤層３２の粘着力として、粘着剤層３２の剥離力が０．１０Ｎ／２０ｍｍ未満であることが好ましく、０．０６Ｎ／２０ｍｍ以下であることがより好ましく、０．０４Ｎ／２０ｍｍ以下であることがさらに好ましい。粘着剤層３２の剥離力が０．１０Ｎ／２０ｍｍ未満であれば、粘着剤層３２の粘着力は低めに抑えられるため、後述するように、樹脂組成物１２をＳｉ粘着フィルム３０からＰＥＴフィルム５０に転写する際に転写し易くなる。

【0033】

次に、図１（ｃ）に示すように、Ｓｉ粘着フィルム３０を原盤１０から剥離する（第１剥離工程）。

【0034】

Ｓｉ粘着フィルム３０を原盤１０から剥離する剥離方法は、特に限定されず、Ｓｉ粘着フィルム３０を原盤１０から分離できればよい。

【0035】

次に、図１（ｄ）に示すように、Ｓｉ粘着フィルム３０の転写面３０ａを転写用基材であるＰＥＴフィルム５０の主面（転写面）５０ａに貼り合わせて、Ｓｉ粘着フィルム３０の転写面３０ａに貼り付けられた樹脂組成物１２をＰＥＴフィルム５０の転写面５０ａに転写する（第２転写工程）。

【0036】

Ｓｉ粘着フィルム３０の転写面３０ａは、粘着剤層３２を有する面であるため、ＰＥＴフィルム５０が粘着性を有していなくても、ＰＥＴフィルム５０の転写面５０ａに貼り合わせられる。

【0037】

Ｓｉ粘着フィルム３０の転写面３０ａに貼り付けられた樹脂組成物１２をＰＥＴフィルム５０の転写面５０ａに転写する際、圧延部材であるローラ６０を用いて、ＰＥＴフィルム５０をＳｉ粘着フィルム３０の転写面３０ａ側に押圧してよい。これにより、転写面３０ａに貼り付けられた樹脂組成物１２は、ＰＥＴフィルム５０の転写面５０ａに転写され易くなる。

【0038】

ＰＥＴフィルム５０は、フィルム状（シート状）に成形されたＰＥＴを用いてよい。ＰＥＴフィルム５０は、Ｓｉ粘着フィルム３０と同様、矩形状に形成された板状部材であってもよい。

【0039】

ＰＥＴフィルム５０の大きさは、平面視において、Ｓｉ粘着フィルム３０に転写された樹脂組成物１２の樹脂パターンを覆う大きさであれば特に限定されない。ＰＥＴフィルム５０の厚さは、特に限定されず、適宜任意の厚さとしてよい。

【0040】

なお、転写用基材を形成する材料としては、ＰＥＴに代えて、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、金属を蒸着したオレフィン樹脂等を用いてもよい。

【0041】

ＰＥＴフィルム５０は、少なくとも転写面５０ａに剥離処理を施し、転写面５０ａの上に剥離剤層を有してもよく、樹脂組成物１２は、ＰＥＴフィルム５０の剥離剤層側の面に転写されてよい。

【0042】

剥離剤層は、剥離剤を含む層であり、剥離剤からなる層であってよい。

【0043】

剥離剤層に含まれる剥離剤としては、剥離剤として一般に使用される剥離剤等を用いてよい。

【0044】

次に、図１（ｅ）に示すように、樹脂組成物１２が転写されたＰＥＴフィルム５０を、Ｓｉ粘着フィルム３０から剥離する（第２剥離工程）。

【0045】

ＰＥＴフィルム５０をＳｉ粘着フィルム３０から剥離する剥離方法は、特に限定されず、ＰＥＴフィルム５０をＳｉ粘着フィルム３０から分離できればよく、Ｓｉ粘着フィルム３０を原盤１０から分離する方法と同様に行ってよい。

【0046】

ＰＥＴフィルム５０は、粘着性を略有しないが、上述の通り、粘着剤層３２の粘着力が低めであれば、樹脂組成物１２をＳｉ粘着フィルム３０からＰＥＴフィルム５０に転写する際、樹脂組成物１２はＳｉ粘着フィルム３０からＰＥＴフィルム５０に転写され易い傾向にある。また、ＰＥＴフィルム５０は、転写面５０ａに剥離剤層を有していれば、樹脂組成物１２はＳｉ粘着フィルム３０からＰＥＴフィルム５０に転写し易くなるため、好ましい。

【0047】

次に、図１（ｆ）に示すように、ＰＥＴフィルム５０の上に転写された樹脂組成物１２を乾燥する（乾燥工程）。

【0048】

樹脂組成物１２の乾燥条件は、特に限定されず、樹脂組成物１２の数、大きさ等に応じて適宜設定してよい。

【0049】

これにより、ＰＥＴフィルム５０の上に、樹脂組成物１２からなる樹脂パターンが製造される。

【0050】

また、樹脂組成物１２が除去されたＳｉ粘着フィルム３０も乾燥してよい。これにより、Ｓｉ粘着フィルム３０に残留する樹脂組成物１２は除去されるか簡易に除去できるため、Ｓｉ粘着フィルム３０は再利用できる。Ｓｉ粘着フィルム３０の乾燥条件は、特に限定されず、樹脂組成物１２の乾燥条件と同様としてもよい。

【0051】

本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、充填工程、第１転写工程及び第２転写工程を含み、充填工程で、原盤１０の凹部１１に充填した樹脂組成物１２を第１転写工程でＳｉ粘着フィルム３０の転写面３０ａに転写した後、第２転写工程でＰＥＴフィルム５０の転写面５０ａの上に転写する。Ｓｉ粘着フィルム３０の粘着力は低めにして、樹脂組成物１２のＳｉ粘着フィルム３０への密着性を抑えることで、樹脂組成物１２が転写されたＳｉ粘着フィルム３０の転写面３０ａとＰＥＴフィルム５０の転写面４０ａとを貼り合わせると、Ｓｉ粘着フィルム３０上の樹脂組成物１２は、ＰＥＴフィルム５０上に転写され易い傾向にある。本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、原盤１０にパターン塗布した樹脂組成物１２をＳｉ粘着フィルム３０を介してＰＥＴフィルム５０上に転写することで、樹脂組成物１２の形状の崩れを抑えつつ、樹脂組成物１２のパターンをＰＥＴフィルム５０上に転写できる。また、Ｓｉ粘着フィルム３０の転写面３０ａの樹脂組成物１２をＰＥＴフィルム５０上に転写した後は、樹脂組成物１２は再利用できる。

【0052】

よって、本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、樹脂組成物１２からなる樹脂パターンをその形状の崩れを抑えつつ、ＰＥＴフィルム５０上に連続して製造できる。したがって、本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法を用いれば、歩留まりに優れた樹脂パターンを安定して連続で製造できる。

【0053】

なお、樹脂パターンの製造方法として、例えば、樹脂組成物１２からなる樹脂パターンを個別に接続材料として基板に貼りつけて使用するため、ＰＥＴ基板の主面に剥離剤層を形成する等の剥離処理を施した後、剥離処理が施されたＰＥＴ基板の主面上に樹脂組成物１２をパターン塗布する方法が用いられる。この方法では、剥離処理が施されたＰＥＴ基板の主面上にパターン塗布した樹脂組成物１２からなる樹脂が濡れ広がって、平滑化することで、樹脂パターンの形状が崩れ易い。本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、樹脂組成物１２からなる樹脂パターンをＳｉ粘着フィルム３０に転写した後、ＰＥＴフィルム５０上に転写することで、樹脂パターンをその形状の崩れを抑えつつＰＥＴフィルム５０上に製造できる。

【0054】

また、本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、樹脂パターンをＳｉ粘着フィルム３０に転写した後、ＰＥＴフィルム５０上に転写することで、ＰＥＴフィルム５０上に樹脂パターンを製造できるため、よりサイズが小さい樹脂パターンを容易に製造できる。

【0055】

樹脂パターンの製造方法として、一般に、例えば、マスクの加工に用いる刃、又はマスクを用いて製造する方法がある。これらの方法は、マスクの加工に用いる刃やマスクの加工精度の点から、所定の大きさ（例えば、１００μｍ）以上のサイズでしか十分に適応できない場合がある。そのため、よりサイズが小さい樹脂パターンを製造することは困難である。μ－ＬＥＤチップを実装する際、μ－ＬＥＤのチップサイズは、例えば、１００μｍ以下であり、電極のサイズも５０μｍ以下と非常に小さなサイズである。そのため、マスクの加工に用いる刃及びマスク等を用いて樹脂パターンを製造する方法では、基板の必要な部分にのみ供給する接続材料として用いる樹脂パターンの製造は困難である。本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、原盤１０の凹部１１に充填した樹脂組成物１２をＳｉ粘着フィルム３０に転写した後、ＰＥＴフィルム５０上に再度転写し樹脂の加工等を行う必要がない。このため、本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、より樹脂パターンのサイズ（例えば、１００μｍ以下）が小さくても、樹脂パターンをその形状の崩れを抑えつつＰＥＴフィルム５０上に製造できる。

【0056】

特に、本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、サイズが１００μｍ以下の小さな樹脂パターンを製造できるため、ＬＥＤを使用したフラットパネルディスプレイ、自発光式ディスプレイ等において使用されるμ－ＬＥＤ等の実装に用いる接合部材として好適に用いることができる。μ－ＬＥＤチップの実装に用いる接合材料として、例えば、異方性導電膜（ＡＣＦ）が使用されることが多い。μ－ＬＥＤチップを実装する際、ＳＭＴ実装となり、μ－ＬＥＤチップのチップ部及び電極部にのみ接合材料を供給する必要がある。μ－ＬＥＤは、例えば、チップサイズが１００μｍ以下であり、電極サイズが５０μｍ以下であり、必要部分にのみ接合材料としてＡＣＦを供給する必要がある。しかし、ＡＣＦは、一般に、１００μｍ以下のサイズに加工し難く、レーザーにより加工する場合には、熱ダメージ等を受け易い。本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、ＡＣＦからなる樹脂パターンを１００μｍ以下の大きさで製造できるため、μ－ＬＥＤ等の接合部材として有効に用いることができる。

【0057】

本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、乾燥工程を含み、樹脂組成物１２からなる樹脂パターンをＳｉ粘着フィルム３０からＰＥＴフィルム５０に転写した後、Ｓｉ粘着フィルム３０を乾燥できる。本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、樹脂パターンの剥離後のＳｉ粘着フィルム３０を乾燥することで、Ｓｉ粘着フィルム３０の転写面３０ａに樹脂パターンに含まれていた溶剤等の成分を除去できるため、Ｓｉ粘着フィルム３０を樹脂パターンの転写前の状態に戻すことができる。樹脂組成物１２が溶剤を多く含む場合、樹脂組成物１２をＳｉ粘着フィルム３０の転写面３０ａに転写すると、樹脂組成物１２に含まれる溶剤がＳｉ粘着フィルム３０に吸収される場合がある。溶剤を含む樹脂組成物として、例えば、ＡＣＦのように、揮発性の溶剤を主成分とし、固形分の含有量が５０ｗｔ％以下である溶剤がリッチな樹脂組成物がある。

【0058】

本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、Ｓｉ粘着フィルム３０が樹脂組成物１２に含まれる溶剤を吸収しても、樹脂パターンをＳｉ粘着フィルム３０からＰＥＴフィルム５０に転写した後に加熱等により乾燥することで、Ｓｉ粘着フィルム３０に吸収された溶剤を除去できる。これにより、本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、Ｓｉ粘着フィルム３０を樹脂組成物１２の転写前の状態に戻することができるので、Ｓｉ粘着フィルムを繰り返し使用することができる。よって、本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、樹脂組成物１２が、ＡＣＦのような溶剤がリッチな樹脂組成物であっても適用できる。

【0059】

本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、Ｓｉ粘着フィルム３０の粘着剤層２１に含まれる粘着剤としてシリコーン系粘着剤を用いることができる。シリコーン系粘着剤はシリコーンゴム等のゴム組成物に比べて粘着性を持たせつつ弾性率を低くすることができるため、樹脂組成物１２からなる樹脂パターンの転写時の圧力を緩和し、形状の崩れを抑えることができる。よって、本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、Ｓｉ粘着フィルム３０の粘着剤層２１に含まれる粘着剤としてシリコーン系粘着剤を用いることで、大きさが、例えば１００μｍ以下の樹脂パターンを、その形状の崩れを抑えつつＰＥＴフィルム５０上により確実に製造できる。

【0060】

本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、ＰＥＴフィルム５０は、その転写面５０ａに剥離剤層を形成し、樹脂組成物１２をＰＥＴフィルム５０の転写面５０ａに転写できる。これにより、本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、転写面５０ａに転写した樹脂組成物１２の樹脂パターンを容易に剥離することができるため、樹脂パターンを、その形状の崩れを抑えつつＰＥＴフィルム５０から回収することができる。

【0061】

本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、Ｓｉ粘着フィルム３０の粘着剤層２１の厚さを、２５μｍ～７５μｍとすることができる。これにより、樹脂組成物１２からなる樹脂パターンの転写時の圧力を確実に緩和し、形状の崩れをより確実に抑えることができる。よって、本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、Ｓｉ粘着フィルム３０の粘着剤層２１に含まれる粘着剤層２１の厚さを、２５μｍ～７５μｍとすることで、樹脂パターンの大きさが、例えば１００μｍ以下であっても、樹脂パターンの形状の崩れを確実に抑えつつＰＥＴフィルム５０上により確実に製造できる。

【0062】

本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、Ｓｉ粘着フィルム３０の粘着剤層２１のヘキサデカンとの接触角を４０°以上とすることができる。このとき、粘着剤層２１の表面は、高い撥水性を有することができるため、Ｓｉ粘着フィルム３０の粘着剤層２１に転写された樹脂組成物１２の剥離を容易に行うことができる。

【0063】

本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、樹脂組成物１２として、金属粒子等を含む樹脂組成物の樹脂パターンの転写に用いることができる。本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、樹脂組成物１２として、ＡＣＦ等に対して有効に用いることができる。

【0064】

[第２の実施形態]
本発明の第２の実施形態に係る樹脂パターンの製造方法について説明するに当たり、本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法に用いられる樹脂パターンの製造装置について説明する。

【0065】

（樹脂パターンの製造装置）
図２に示すように、樹脂パターンの製造装置１００は、貯留部１１０、グラビアロール１２０、ドクターブレード１３０、圧胴（ニップロール）１４０、転写部１５０、ガイド部であるガイドローラ１６０、乾燥部１７０及び搬送ローラ１８０を有する。樹脂パターンの製造装置１００は、貯留部１１０内の樹脂組成物１０１をグラビアロール１２０でロール状のＳｉ粘着テープ１０２に転写した後、ロール状のＰＥＴフィルム１０３に転写し、樹脂組成物１０１からなる樹脂パターンを製造する。

【0066】

貯留部１１０は、塗布液として用いられる樹脂組成物１０１を収容する容器であり、グラビアロール１２０の下方に配置されている。貯留部１１０は、樹脂組成物１０１を貯留する液パン等であってよい。なお、貯留部１１０には、グラビアロール１２０に供給された樹脂組成物１０１、及び貯留部１１０から排出された樹脂組成物１０１等が戻されてもよい。

【0067】

グラビアロール１２０は、グラビアロール１２０の版面（外周面）１２０ａの一部分が、貯留部１１０内に貯留された樹脂組成物１０１内に浸かるように配置された、円柱状部材である。グラビアロール１２０は、その一部を貯留部１１０内に溜められた樹脂組成物１０１に浸すことにより、グラビアロール１２０の版面１２０ａに樹脂組成物１０１を供給して付着させる。グラビアロール１２０は、所定方向（図２では、反時計回り）に回転し、貯留部１１０内において、版面１２０ａに樹脂組成物１０１が付着する。グラビアロール１２０の一部の版面１２０ａが貯留部１１０に保持された樹脂組成物１０１内に浸漬された状態で、グラビアロール１２０が回転することにより、グラビアロール１２０の版面１２０ａに樹脂組成物１０１が付着した状態で供給されていく。

【0068】

グラビアロール１２０は、貯留部１１０内の樹脂組成物が充填される凹部１２１を有する。グラビアロール１２０は、その一部が貯留部１１０内に貯留されている樹脂組成物１０１に浸漬され、凹部１２１に樹脂組成物１０１が充填可能となるように、グラビアロール１２０に配置されている。グラビアロール１２０は、凹部１２１に充填した樹脂組成物１０１をＳｉ粘着テープ１０２の粘着剤層１０２Ａの面に転写する。

【0069】

Ｓｉ粘着テープ１０２は、支持体１０２１と粘着剤層１０２２とを有してよく、粘着剤層１０２２側の面を転写面１０２ａとする。樹脂組成物１０１は、Ｓｉ粘着テープ１０２の転写面１０２ａに転写される。

【0070】

Ｓｉ粘着テープ１０２は、図１に示すＳｉ粘着フィルム３０をロール状としたこと以外同様であり、Ｓｉ粘着テープ１０２の支持体１０２１及び粘着剤層１０２２は、Ｓｉ粘着フィルム３０の支持体３１及び粘着剤層３２と同様の材料を用いて形成できるため、詳細は省略する。

【0071】

ドクターブレード１３０は、貯留部１１０の上方に設けられ、グラビアロール１２０の回転軸に沿って延びる板状部材である。ドクターブレード１３０は、その先端である刃先がグラビアロール１２０の版面１２０ａに当接又は圧接するように支持される。ドクターブレード１３０は、グラビアロール１２０の版面１２０ａに供給された樹脂組成物１０１のうち、凹部１２１以外に付着している余分な樹脂組成物１０１を掻き取り、グラビアロール１２０の版面１２０ａから除去する。

【0072】

樹脂組成物１０１が付着したグラビアロール１２０が所定方向（図２では、反時計回り）に回転することで、ドクターブレード１３０で凹部１２１以外の版面１２０ａに付着している余分な樹脂組成物１０１がグラビアロール１２０で掻き取られる。

【0073】

圧胴１４０は、グラビアロール１２０の上方に設けられ、グラビアロール１２０との間にＳｉ粘着テープ１０２を押圧した状態でＳｉ粘着テープ１０２を挟み込むように配置される。

【0074】

圧胴１４０の圧力は、Ｓｉ粘着テープ１０２への樹脂組成物１０１の転写を可能とする点から、例えば、線圧が１０Ｎ／ｃｍ～１００Ｎ／ｃｍであることが好ましく、２０Ｎ／ｃｍ～６０Ｎ／ｃｍであることがより好ましい。

【0075】

なお、線圧とは、圧胴１４０に作用する総荷重を、圧胴１４０の有効軸長で除した値（圧胴１４０に作用する総荷重／圧胴１４０の有効軸長）である。

【0076】

Ｓｉ粘着テープ１０２をグラビアロール１２０及び圧胴１４０の回転動作によってグラビアロール１２０と圧胴１４０との間を移動させながらグラビアロール１２０の凹部１２１に充填した樹脂組成物１０１をＳｉ粘着テープ１０２の粘着剤層１０２２側の面に転写する。

【0077】

転写部１５０は、グラビアロール１２０及び圧胴１４０よりもＳｉ粘着テープ１０２の流れ方向の下流側に設けられ、転写部１５０は、Ｓｉ粘着テープ１０２の転写面１０２ａに転写した樹脂組成物１０１を転写用基材であるＰＥＴフィルム１０３に転写する。

【0078】

転写部１５０は、Ｓｉ粘着テープ１０２およびＰＥＴフィルム１０３を介して、対向して配置された第１貼合用ロール１５０Ａ及び第２貼合用ロール１５０Ｂを備える。第１貼合用ロール１５０Ａ及び第２貼合用ロール１５０Ｂは、樹脂組成物１０１が転写されたＳｉ粘着テープ１０２と第２操出ロール１８１Ｂから搬送されるＰＥＴフィルム１０３とを重ねて挟み込むと共に、第１貼合用ロール１５０Ａ及び第２貼合用ロール１５０Ｂの回転動作によってＳｉ粘着テープ１０２及びＰＥＴフィルム１０３を同方向に移動させながら貼り合わせる。

【0079】

第１貼合用ロール１５０Ａ及び第２貼合用ロール１５０Ｂの少なくとも一方が、Ｓｉ粘着テープ１０２及びＰＥＴフィルム１０３を押圧できるように、Ｓｉ粘着テープ１０２及びＰＥＴフィルム１０３の方向に移動できるように構成されてよい。これにより、Ｓｉ粘着テープ１０２の転写面１０２ａの樹脂パターンは、ＰＥＴフィルム１０３の主面（転写面）１０３ａに確実に転写できる。

【0080】

ＰＥＴフィルム１０３は、フィルム状に成形され、ロール状に巻かれたＰＥＴを用いてよい。ＰＥＴフィルム１０３は、図１に示すＰＥＴフィルム５０をシート状としたこと以外同様であるため、詳細は省略する。

【0081】

ガイドローラ１６０は、Ｓｉ粘着テープ１０２と、樹脂組成物１０１が転写されたＰＥＴフィルム１０３とが剥離するようにＳｉ粘着テープ１０２を搬送するローラである。ガイドローラ１６０は、Ｓｉ粘着テープ１０２の転写面１０２ａとは異なる面に接するように設けられ、樹脂組成物１０１が転写されたＰＥＴフィルム１０３の搬送方向とは異なる方向にＳｉ粘着テープ１０２を搬送することで、Ｓｉ粘着テープ１０２と、樹脂組成物１０１が転写されたＰＥＴフィルム１０３とを剥離させる。

【0082】

なお、本実施形態では、ガイド部としてローラを用いているが、ガイド部はローラに限定されず、Ｓｉ粘着テープ１０２を搬送させながら、Ｓｉ粘着テープ１０２と、樹脂組成物１０１が転写されたＰＥＴフィルム１０３とを剥離できれば、他の構成であってもよい。

【0083】

乾燥部１７０は、ガイドローラ１６０よりもＳｉ粘着テープ１０２及びＰＥＴフィルム１０３の流れ方向の下流側に設けられ、Ｓｉ粘着テープ１０２を乾燥する第１乾燥部１７０Ａと、樹脂組成物１０１が転写されたＰＥＴフィルム１０３を乾燥する第２乾燥部１７０Ｂとを有する。

【0084】

第１乾燥部１７０Ａは、乾燥ボックス１７１Ａと、乾燥ボックス１７１Ａ内に配置された一対の乾燥ヒータ１７２Ａとを有し、乾燥ボックス１７１Ａ内にＰＥＴフィルム１０３を搬送しながら一対の乾燥ヒータ１７２Ａの熱で樹脂組成物１０１を乾燥させる。

【0085】

第２乾燥部１７０Ｂは、乾燥ボックス１７１Ｂと、乾燥ボックス１７１Ｂ内に配置された一対の乾燥ヒータ１７２Ｂとを有し、乾燥ボックス１７１Ｂ内にＳｉ粘着テープ１０２を搬送しながら一対の乾燥ヒータ１７２Ｂの熱で乾燥させる。

【0086】

第１乾燥部１７０Ａ及び第２乾燥部１７０Ｂは、例えば、乾燥ボックス１７１Ａ及び１５１Ｂ内に空気又は熱風をＰＥＴフィルム１０３又はＳｉ粘着テープ１０２に向かって吐出して乾燥させてもよい。

【0087】

搬送ローラ１８０は、第１操出ロール１８１Ａと、第１巻取ロール１８２Ａと、第２操出ロール１８１Ｂと、第２巻取ロール１８２Ｂとを有する。

【0088】

第１操出ロール１８１Ａは、Ｓｉ粘着テープ１０２を連続的に繰り出すロールであり、第１巻取ロール１８２Ａは、Ｓｉ粘着テープ１０２を連続的に巻き取るロールである。

【0089】

第１操出ロール１８１Ａ又は第１巻取ロール１８２Ａの回転速度は、Ｓｉ粘着テープ１０２の搬送速度に応じて適宜設定されてよく、例えば、Ｓｉ粘着テープ１０２の搬送速度が２ｍ／ｍｉｎ～１０ｍ／ｍｉｎとなるように調整してよい。

【0090】

第２操出ロール１８１Ｂは、ＰＥＴフィルム１０３を連続的に繰り出すロールであり、第２巻取ロール１８２Ｂは、ＰＥＴフィルム１０３を連続的に巻き取るロールである。

【0091】

第２操出ロール１８１Ｂ又は第２巻取ロール１８２Ｂの回転速度は、ＰＥＴフィルム１０３の搬送速度に応じて適宜設定されてよく、第１操出ロール１８１Ａ又は第１巻取ロール１８２Ａと同様、例えば、ＰＥＴフィルム１０３の搬送速度が２ｍ／ｍｉｎ～１０ｍ／ｍｉｎとなるように調整してよい。

【0092】

樹脂パターンの製造装置１００を用いた本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法について説明する。

【0093】

本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法では、貯留部１１０内に貯留されている樹脂組成物１０１を、回転するグラビアロール１２０の版面１２０ａと凹部１２１に供給して、凹部１２１に充填する（充填工程）。

【0094】

グラビアロール１２０は、その一部が貯留部１１０内に貯留されている樹脂組成物１０１に浸漬するように配置する。グラビアロール１２０は、グラビアロール１２０の版面１２０ａと、版面１２０ａにパターン形成されている凹部１２１に樹脂組成物１０１が触れている状態で回転させる。貯留部１１０内に貯留されている樹脂組成物１０１が、回転するグラビアロール１２０の版面１２０ａに触れることで、版面１２０ａと凹部１２１に供給され、凹部１２１に充填される。

【0095】

その後、刃先がグラビアロール１２０の版面１２０ａに当接するように配置されたドクターブレード１３０により、グラビアロール１２０の版面１２０ａ上に供給された余分な樹脂組成物１０１を掻き取る（掻き取り工程）。

【0096】

グラビアロール１２０の回転に伴い、貯留部１１０内の樹脂組成物１０１の液面からあがってきたグラビアロール１２０の版面１２０ａには、樹脂組成物１０１が余分に堆積している。グラビアロール１２０の版面１２０ａに堆積している樹脂組成物１０１と、凹部１２１の版面１２０ａよりも大きく堆積している樹脂組成物１０１は、ドクターブレード１３０と接触することにより、余分な樹脂組成物１０１として掻き取られる。

【0097】

グラビアロール１２０の回転方向のドクターブレード１３０よりも後ろ側には、凹部１２１に充填されている樹脂組成物１０１のみがグラビアロール１２０に残る。

【0098】

その後、第１操出ロール１８１Ａ及び第１巻取ロール１８２Ａを駆動させて、シート状のＳｉ粘着テープ１０２を、グラビアロール１２０と圧胴１４０との間に挟み込むように搬送することで、凹部１２１に充填した樹脂組成物１０１をＳｉ粘着テープ１０２の転写面１０２ａに転写させる（第１転写工程）。

【0099】

Ｓｉ粘着テープ１０２は、その粘着剤層１０２２の主面（転写面）１０２ａがグラビアロール１２０側に向いた状態で搬送し、圧胴１４０でグラビアロール１２０側に向かって押圧することで、凹部１２１に充填されている樹脂組成物１０１は、転写面１０２ａに転写される。

【0100】

グラビアロール１２０の回転により、Ｓｉ粘着テープ１０２の搬送に合わせて、樹脂組成物１０１のＳｉ粘着テープ１０２の転写面１０２ａへの転写が連続して行われる。

【0101】

Ｓｉ粘着テープ１０２の搬送速度は、適宜設定されてよく、例えば、２ｍ／ｍｉｎ～１０ｍ／ｍｉｎとしてよい。

【0102】

転写時の圧胴１４０の圧力は、線圧が１０Ｎ／ｃｍ～１００Ｎ／ｃｍとなるように調整することが好ましい。

【0103】

その後、第２操出ロール１８１Ｂ及び、第２巻取ロール１８２Ｂを駆動させて、転写面１０２ａに樹脂組成物１０１がパターン転写されたＳｉ粘着テープ１０２と、搬送されるシート状のＰＥＴフィルム１０３とを、第１貼合用ロール１５０Ａと第２貼合用ロール１５０Ｂとで挟み込んで貼り合わせ、転写面１０２ａの樹脂組成物１０１を、ＰＥＴフィルム１０３の転写面１０３ａに転写する（第２転写工程）。

【0104】

Ｓｉ粘着テープ１０２への樹脂組成物１０１０の転写とＳｉ粘着テープ１０２からＰＥＴフィルムへの樹脂組成物１０１の転写は、同一条件でもよいし、異なる条件でもよい。

【0105】

Ｓｉ粘着テープ１０２の転写面１０２ａと、ＰＥＴフィルム１０３の転写面１０３ａとが、対向するように貼り合わせることで、転写面１０２ａの樹脂組成物１０１は、転写面１０３ａに転写させることができる。

【0106】

その後、Ｓｉ粘着テープ１０２とＰＥＴフィルム１０３とを貼り合わせた状態で搬送しながら、ガイドローラ１６０で、樹脂組成物１０１が転写されたＰＥＴフィルム１０３の搬送方向とは異なる方向にＳｉ粘着テープ１０２を搬送することで、Ｓｉ粘着テープ１０２と、樹脂組成物１０１が転写されたＰＥＴフィルム１０３とを剥離させる（ガイド工程）。

【0107】

Ｓｉ粘着テープ１０２とＰＥＴフィルム１０３とが剥離されることで、樹脂組成物１０１は、ＰＥＴフィルム１０３の転写面１０３ａに転写された状態を維持したまま、Ｓｉ粘着テープ１０２と剥離される。

【0108】

樹脂組成物１０１が転写されたＰＥＴフィルム１０３は、第１乾燥部１７０Ａで乾燥され、Ｓｉ粘着テープ１０２は、第２乾燥部１７０Ｂで乾燥される（乾燥工程）。

【0109】

ＰＥＴフィルム１０３は、第１乾燥部１７０Ａにおいて、乾燥ボックス１７１Ａ内の一対の乾燥ヒータ１７２Ａの間を、一対の乾燥ヒータ１７２Ａによる熱により加熱されながら搬送され、乾燥される。

【0110】

ＰＥＴフィルム１０３は、第１乾燥部１７０Ａにおいて、乾燥ボックス１７１Ａ内の一対の乾燥ヒータ１７２Ａの間を、一対の乾燥ヒータ１７２Ａによる熱により加熱されながら搬送され、乾燥される。ＰＥＴフィルム１０３が乾燥ボックス１７１Ａ内から出てきた段階で乾燥が略完了するように、一対の乾燥ヒータ１７２Ａによる加熱条件は設定されてよい。Ｓｉ粘着テープ１０２からＰＥＴフィルム１０３への樹脂組成物１０１の転写後のＳｉ粘着テープ１０２の乾燥条件は、樹脂組成物１０１の主溶剤の種類等に応じて、適宜設定可能であり、例えば、加熱速度は、５０℃／５分以上としてよい。

【0111】

これにより、ＰＥＴフィルム１０３の上に、樹脂組成物１２からなる樹脂パターンが製造される。

【0112】

Ｓｉ粘着テープ１０２は、第２乾燥部１７０Ｂにおいて、乾燥ボックス１７１Ｂ内の一対の乾燥ヒータ１７２Ｂの間を、一対の乾燥ヒータ１７２Ｂによる熱により加熱されながら搬送され、乾燥される。Ｓｉ粘着テープ１０２が乾燥ボックス１７１Ｂ内から出てきた段階でＳｉ粘着テープ１０２の転写面１０２ａに残留した樹脂組成物１０１に含まれていた溶剤等が蒸発して除去され、Ｓｉ粘着テープ１０２の乾燥が略完了するように、一対の乾燥ヒータ１７２Ｂによる加熱条件は設定されてよい。

【0113】

本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、樹脂パターンの製造装置１００を用い、充填工程、第１転写工程及び第２転写工程を行う。本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、充填工程で、グラビアロール１２０の凹部１２１に充填した樹脂組成物１０１を第１転写工程でロール状のＳｉ粘着テープ１０２の転写面１０２ａに転写した後、第２転写工程でＰＥＴフィルム１０３の転写面１０３ａ上に転写する。上述の通り、Ｓｉ粘着テープ１０２の粘着力は低めにして、樹脂組成物１０１のＳｉ粘着テープ１０２への密着性を抑えることで、樹脂組成物１０１が転写されたＳｉ粘着テープ１０２の転写面１０２ａとＰＥＴフィルム１０３の転写面１０３ａとを貼り合わせると、Ｓｉ粘着テープ１０２上の樹脂組成物１０１は、ＰＥＴフィルム１０３上に転写され易い。本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、グラビアロール１２０の凹部１２１に充填した樹脂組成物１０１をＳｉ粘着テープ１０２を介してＰＥＴフィルム１０３上に連続して転写することで、樹脂組成物１０１の形状の崩れを抑えつつ、樹脂組成物１０１のパターンをＰＥＴフィルム１０３上に連続して転写できる。また、本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、Ｓｉ粘着テープ１０２を連続して繰り出してグラビアロール１２０から転写した樹脂組成物１０１をＰＥＴフィルム１０３に転写させた後は巻き取っているため、Ｓｉ粘着テープ１０２を樹脂組成物１０１の転写に繰り返し使用することを抑えることができる。

【0114】

よって、本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、樹脂組成物１０１からなる樹脂パターンをその形状の崩れを抑えつつ、ＰＥＴフィルム１０３上に安定して連続で製造できる。したがって、本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法を用いれば、歩留まりに優れた樹脂パターンの量産を図ることができる。

【0115】

樹脂組成物１０１の転写に、ブランケットを用いる方法があるが、この方法では、ブランケットの表面が繰り返し使用されるため、表面には前回の使用で残った樹脂組成物１０１が汚染物として残っている場合がある。また、前回の使用で残った樹脂組成物１０１をドクターブレード１３０で除去しても、十分に除去できず、汚染物として残る場合がある。汚染されている面を繰り返し転写に用いると、安定した連続転写ができなくなる。本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、ロール状のＳｉ粘着テープ１０２を用いて連続してグラビアロール１２０から転写した樹脂組成物１０１をＰＥＴフィルム１０３に転写させ、Ｓｉ粘着テープ１０２を樹脂組成物１０１の転写に繰り返し使用することを抑えることができるため、樹脂組成物１０１からなる樹脂パターンをその形状の崩れを抑えつつ、ＰＥＴフィルム１０３上に安定して連続で製造できる。

【0116】

また、本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法でも、樹脂パターンをＳｉ粘着テープ１０２に転写した後、ＰＥＴフィルム１０３上に転写することで、ＰＥＴフィルム１０３上に樹脂パターンを製造できるため、上述の第１の実施形態に係る樹脂パターンの製造方法と同様、よりサイズが小さい樹脂パターンを容易に製造できる。

【0117】

特に、本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法でも、サイズが小さい（例えば、１００μｍ以下）樹脂パターンを製造できるため、例えば、μ－ＬＥＤ等の実装に用いる実装用部材として使用されるＡＣＦからなる樹脂パターンを小さいサイズ（例えば、１００μｍ以下）で製造できる。

【0118】

本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、乾燥工程を含み、樹脂組成物１０１からなる樹脂パターンをＳｉ粘着テープ１０２からＰＥＴフィルム１０３に転写した後、Ｓｉ粘着テープ１０２を乾燥できる。本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、樹脂パターンの剥離後のＳｉ粘着フィルム３０を加熱等により乾燥することで、Ｓｉ粘着テープ１０２の転写面１０２ａに樹脂パターンに含まれていた溶剤等の成分が残っていてもこれらを除去でき、Ｓｉ粘着テープ１０２を樹脂パターンの転写前の状態に戻すことができる。よって、本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法は、巻き取ったＳｉ粘着テープ１０２を繰り返し使用することができ、樹脂組成物１０１が、ＡＣＦのような溶剤がリッチな樹脂組成物であっても、ＡＣＦからなる樹脂パターンの製造に用いることができる。

【0119】

以上の通り、実施形態を説明したが、上記実施形態は、例として提示したものであり、上記実施形態により本発明が限定されるものではない。上記実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の組み合わせ、省略、置き換え、変更などを行うことが可能である。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

【実施例0120】

以下、実施例を示して実施形態を更に具体的に説明するが、実施形態は実施例により限定されるものではない。

【0121】

＜インク配合＞
樹脂パターンの製造に用いるインク１～５を準備した。インク１～５は、表１に示す材料を用いて、表１に示す、組成、固形分の含有量、粘度となるように作製した。各インクの組成（材料の種類、各材料の配合量）と、固形分の含有量と、粘度を下記表１に示す。なお、表１中の固形分の含有量とは、インクの乾燥後に残る固体として残る成分の含有量である。粘度は、ＨＡＡＫＥ ＲｈｅｏＳｔｒｅｓｓ６００（Ｔｈｅｒｍｏ ＥＬＥＣＴＲＯＮ ＣＯＲＰＯＲＡＴＩＯＮ 社）を用いて、３５ｍｍφプレートで３０ｒｐｍの回転数で測定した。

【0122】

【表1】

【0123】

＜インクのＰＥＴフィルムへの転写量の測定及び評価＞
図１に示す樹脂パターンの製造方法を用いて、Ｓｉ粘着剤層の厚さが異なるＳｉ粘着フィルムを介してＰＥＴフィルムに転写した時の各インクの転写量を測定した。
［インクのＳｉ粘着フィルムへの転写］
まず、図３に示すような凹部（１００μｍ□×深さ２０μｍ）がパターン形成された原盤にインクを充填した。その後、原盤の上面にＳｉ粘着フィルムを貼り付けて、ローラーでＳｉ粘着フィルムを原盤側に下記転写条件で押圧した後、Ｓｉ粘着フィルムを原盤から剥離した。
（転写条件）
・Ｓｉ粘着フィルムの搬送速度：１ｍ／ｍｉｎ～５ｍ／ｍｉｎ
・Ｓｉ粘着フィルムへのインクの転写圧：線圧３５Ｎ／ｃｍ
［インクのＳｉ粘着フィルムからＰＥＴフィルムへの転写］
次に、インクが転写されたＳｉ粘着フィルム上にＰＥＴフィルムを貼り合わせ、ローラーでＳｉ粘着フィルムを原盤側に上記と同様の転写条件で押圧した後、ＰＥＴフィルムをＳｉ粘着フィルムから剥離した。白色干渉顕微鏡を用いて、ＰＥＴフィルム上のインクの大きさと厚さを測定し、乾燥前のインクの体積を算出した。
［インクの乾燥］
次に、ＰＥＴフィルム上に転写されたインクを、５０℃、５分、乾燥した。乾燥後、上記と同様に、白色干渉顕微鏡を用いて、ＰＥＴフィルム上のインクを観察し、インクの大きさと厚さを測定し、乾燥後のインクの体積を算出した。
［インクの転写量の測定］
ＰＥＴフィルム上に転写されたインクの転写量を、下記式（１）に基づいて測定し、下記評価基準に基づいて、評価した。Ｓｉ粘着剤層の厚さが異なるＳｉ粘着フィルムを介してＰＥＴフィルムに転写した時の各インクの転写量を表２に示す。
転写量［％］＝乾燥後のインクの体積［ｃｍ^３］／乾燥後のインクの体積［ｃｍ^３］ ・・・（１）
（評価条件）
・Ａ：転写量が１０％以上であり、樹脂パターンの形状が崩れていない。
・Ｂ：転写量が１０％未満であるが、形状が崩れていない。
・Ｃ：転写量が１０％以上であるが、形状が崩れている。
・Ｄ：転写量が１０％未満であり、樹脂パターンの形状が崩れている。

【0124】

【表2】

【0125】

表２より、インク２～５を用いれば、Ｓｉ粘着フィルムのＳｉ粘着剤層の厚さが２５μｍ～７５μｍで、１００μｍ×１００μｍの矩形状のインクからなる樹脂パターンをＰＥＴフィルム上に矩形の形状が崩れることなく転写できることが確認された。よって、転写量が１０％以上であれば、樹脂パターンをＰＥＴフィルム上に形状が崩れることなく転写できるといえる。

【0126】

＜転写圧、転写サイズによるインクのＳｉ粘着フィルムへの転写量への影響＞
上記の＜インクのＳｉ粘着フィルムへの転写量の測定＞において、インク３を用いて、線圧と、インクの転写サイズとを、下記転写条件としたこと以外、上記の＜転写圧、インクの転写サイズによるインクのＰＥＴフィルムへの転写量への影響＞と同様にして行った。線圧と、インクの転写サイズとを変更した時のＰＥＴフィルムへのインク２の転写量を表３に示す。なお、線圧は、圧胴（ニップロール）に作用する総荷重を、圧胴の有効軸長で除した値（圧胴に作用する総荷重／圧胴の有効軸長）である
（転写条件）
・線圧：１０．０Ｎ／ｃｍ、３５．０Ｎ／ｃｍ、４５．０Ｎ／ｃｍ、６０．０Ｎ／ｃｍ、１０９．０Ｎ／ｃｍ、
・インクの転写サイズ：６５μｍ×６５μｍ、８０μｍ×８０μｍ、１０５μｍ×１０５μｍ

【0127】

【表3】

【0128】

表３より、線圧が１０．０Ｎ／ｃｍ～６０．０Ｎ／ｃｍとすれば、インクは、６５μｍ四方～１０５μｍ四方のサイズの矩形状のインクからなる樹脂パターンをＰＥＴフィルム上に転写できることが確認された。よって、線圧が１０．０Ｎ／ｃｍ以上であれば、樹脂パターンをＰＥＴフィルム上に形状が崩れることなく転写できるといえる。

【0129】

＜矩形以外の形状の樹脂パターンの製造＞
上記の＜インクのＳｉ粘着フィルムへの転写量の測定＞において、インク２を用いて、形成される樹脂の形状を、Ｌ字型（長辺の１辺の長さ：５００μｍ）、円形（直径：約２００μｍ）、長方形（長辺：約６００μｍ、短辺：約１００μｍ）とした。これらの各形状の樹脂パターンの結果を図５～図７に示す。図５～図７に示すように、本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法を用いれば、四角形状以外の形状を有する樹脂パターンをＰＥＴフィルム上に転写できることが確認された。よって、本実施形態に係る樹脂パターンの製造方法を用いれば、種々の形状を有する樹脂パターンをＰＥＴフィルム上に形状が崩れることなく転写できるといえる。

【0130】

なお、本発明の実施形態の態様は、例えば、以下の通りである。
＜１＞ 凹部を有するパターンを形成した版に樹脂組成物を充填する工程と、
支持体と粘着剤層とを有する粘着テープを用い、前記粘着テープの粘着剤層の面に前記樹脂組成物を転写する工程と、
前記粘着テープの粘着剤の面に設けられた前記樹脂組成物を転写用基材に転写する工程と、
を含む、樹脂パターンの製造方法。
＜２＞ 前記樹脂組成物を乾燥する工程を含む＜１＞に記載の樹脂パターンの製造方法。
＜３＞ 前記粘着剤層に含まれる粘着剤が、シリコーン系粘着剤である＜１＞又は＜２＞に記載の樹脂パターンの製造方法。
＜４＞ 前記転写用基材は、少なくとも一方の面に剥離剤層が形成されており、
前記樹脂組成物は、前記転写用基材の前記剥離剤層側の面に転写される＜１＞～＜３＞の何れか一つに記載の樹脂パターンの製造方法。
＜５＞ 前記粘着テープの前記粘着剤層の厚さは、２５μｍ～７５μｍである＜１＞～＜４＞の何れか一つに記載の樹脂パターンの製造方法。
＜６＞ 前記粘着テープの前記粘着剤層のヘキサデカンとの接触角が、４０°以上である＜１＞～＜５＞の何れか一つに記載の樹脂パターンの製造方法。
＜７＞ 前記版は、グラビアロールであり、
前記樹脂組成物を充填する工程は、
前記樹脂組成物を貯留する貯留部にグラビアロールの一部を浸し、前記凹部に前記樹脂組成物を充填する工程と、
前記グラビアロールの凹部以外に付着した前記樹脂組成物をドクターブレードにより除去する工程と、
を含む＜１＞～＜６＞の何れか一つに記載の樹脂パターンの製造方法。
＜８＞ 前記樹脂組成物は、金属粒子を含む＜１＞～＜７＞の何れか一つに記載の樹脂パターンの製造方法。
＜９＞ 樹脂組成物を貯留する貯留部と、
前記貯留部内の前記樹脂組成物が充填される凹部のパターンを有し、前記凹部に充填した前記樹脂組成物を粘着テープの粘着剤層の面に転写するグラビアロールと、
前記粘着剤層の面に転写した前記樹脂組成物を転写用基材に転写する転写部と、
前記粘着テープと、前記樹脂組成物が転写された前記転写用基材とを剥離するように前記粘着テープを搬送するガイド部と、
前記粘着テープを乾燥する第１乾燥部と、
前記樹脂組成物が転写された前記転写用基材を乾燥する第２乾燥部と、
を有する樹脂パターンの製造装置。

【符号の説明】

【0131】

１０ 原盤
１０ａ、３０ａ、５０ａ、１０２ａ、１０３ａ 主面（転写面）
１１、１２１ 凹部
１２、１０１ 樹脂組成物
２０、１３０ ドクターブレード
３０ Ｓｉ粘着フィルム
３２、１０２２ 粘着剤層
５０、１０３ ＰＥＴフィルム
１００ 樹脂パターンの製造装置
１０２ Ｓｉ粘着テープ
１１０ 貯留部
１２０ グラビアロール
１４０ 圧胴
１５０ 転写部
１５０Ａ 第１貼合用ロール
１５０Ｂ 第２貼合用ロール
１６０ ガイドローラ
１７０ 乾燥部
１７１Ａ、１７１Ｂ 乾燥ボックス
１７２Ａ、１７２Ｂ 乾燥ヒータ
１８０ 搬送ローラ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】