特開 2024-152350 インダクタ部品

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024152350

(43)【公開日】2024-10-25

(54)【発明の名称】インダクタ部品

(51)【国際特許分類】

   H01F 17/00 20060101AFI20241018BHJP

   H01F 17/02 20060101ALI20241018BHJP

   H01F 27/29 20060101ALI20241018BHJP

【ＦＩ】

H01F17/00 D

H01F17/02

H01F27/29 123

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023066495

(22)【出願日】2023-04-14

(71)【出願人】

【識別番号】000006231

【氏名又は名称】株式会社村田製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100145403

【弁理士】

【氏名又は名称】山尾 憲人

(74)【代理人】

【識別番号】100132252

【弁理士】

【氏名又は名称】吉田 環

(74)【代理人】

【識別番号】100189555

【弁理士】

【氏名又は名称】徳山 英浩

(72)【発明者】

【氏名】安念 一規

(72)【発明者】

【氏名】谷 健一

【テーマコード（参考）】

5E070

【Ｆターム（参考）】

5E070AB03

5E070CB13

(57)【要約】      （修正有）

【課題】コイルの直流抵抗を低減できるインダクタ部品を提供する。
【解決手段】インダクタ部品１は、素体１０と、素体内に設けられ軸ＡＸに沿って螺旋状に巻き回されるコイル２０と、第１外部電極３０及び第２外部電極４０を備える。素体は、第１端面１５と第２端面１６、第１側面１３と第２側面、第１端面と第２端面との間及び第１側面と第２側面との間に接続された底面１７と天面１８を含み、第１外部電極及び第２外部電極は、少なくとも底面に設けられ、軸は底面に平行で第１側面と第２側面とに交差し、コイルは軸に沿って積層される複数のコイル配線層と、隣り合うコイル配線層を接続するビア配線層６０１～６０７と、を有する。複数のビア配線層は、軸方向からみてコイルの螺旋方向に沿って延在する少なくとも一つの長手形状の長手ビア配線層を含み、少なくとも一つの長手ビア配線層は、軸方向からみて曲率半径が１５μｍ以上の第１長手ビア配線層である。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

素体と、
前記素体内に設けられ、軸に沿って螺旋状に巻き回されるコイルと、
前記素体に設けられ、前記コイルに電気的に接続される第１外部電極および第２外部電極と
を備え、
前記素体は、互いに対向する第１端面および第２端面と、互いに対向する第１側面と第２側面と、前記第１端面と前記第２端面との間および前記第１側面と前記第２側面との間に接続された底面と、前記底面と対向する天面とを含み、
前記第１外部電極および前記第２外部電極は、少なくとも前記底面に設けられ、
前記軸は、前記底面に平行でかつ前記第１側面および前記第２側面に交差し、
前記コイルは、前記軸に沿って積層される複数のコイル配線層と、前記軸方向に隣り合うコイル配線層を接続するビア配線層とを有し、
前記ビア配線層は、前記軸方向からみて、前記コイルの螺旋方向に沿って延在する少なくとも一つの長手形状の長手ビア配線層を含み、前記少なくとも一つの長手ビア配線層は、前記軸方向からみて、曲率半径が１５μｍ以上である第１長手ビア配線層を含む、インダクタ部品。

【請求項2】

前記素体は、前記軸に沿って積層される複数の絶縁層を有し、
前記複数の絶縁層は、前記第１長手ビア配線層と同一層の第１絶縁層を含み、
前記第１絶縁層に対する前記第１長手ビア配線層の体積の割合は、９．２％以上である、請求項１に記載のインダクタ部品。

【請求項3】

前記インダクタ部品の長さ寸法は、２６５μｍ以下であり、
前記インダクタ部品の高さ寸法は、２１５μｍ以下であり、
前記インダクタ部品の幅寸法は、１４０μｍ以下である、請求項１または２に記載のインダクタ部品。

【請求項4】

全ての前記ビア配線層は、前記第１長手ビア配線層である、請求項１または２に記載のインダクタ部品。

【請求項5】

少なくとも一つの前記第１長手ビア配線層は、前記軸方向からみて、直線状である、請求項１または２に記載のインダクタ部品。

【請求項6】

全ての前記第１長手ビア配線層は、前記軸方向からみて、直線状である、請求項１または２に記載のインダクタ部品。

【請求項7】

全ての前記第１長手ビア配線層は、前記軸方向からみて、直線状であり、
前記全ての第１長手ビア配線層は、前記軸方向からみて、前記コイルの角部から離隔している、請求項１または２に記載のインダクタ部品。

【請求項8】

前記少なくとも一つの第１長手ビア配線層は、前記軸方向からみて、前記天面または前記第１端面のいずれかと平行である、請求項５に記載のインダクタ部品。

【請求項9】

前記全ての第１長手ビア配線層は、前記軸方向からみて、前記天面または前記第１端面のいずれかと平行である、請求項６に記載のインダクタ部品。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、インダクタ部品に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、インダクタ部品としては、特開２０１９－１９２８２９号公報（特許文献１）に記載されたものがある。このインダクタ部品は、素体と、素体内に設けられ、軸に沿って螺旋状に巻き回されるコイルと、素体に設けられ、コイルに電気的に接続される第１外部電極および第２外部電極とを有する。コイルは、軸に沿って積層される複数のコイル配線層と、軸方向に隣り合うコイル配線層を接続するビア配線層とを有する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１９－１９２８２９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、前記従来のようなインダクタ部品では、ビア配線層は、角柱形状であり、コイル配線層とビア配線層との接触面積は小さく、コイルの直流抵抗が増大するおそれがある。

【0005】

そこで、本開示の目的は、コイルの直流抵抗を低減できるインダクタ部品を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記課題を解決するため、本開示の一態様であるインダクタ部品は、
素体と、
前記素体内に設けられ、軸に沿って螺旋状に巻き回されるコイルと、
前記素体に設けられ、前記コイルに電気的に接続される第１外部電極および第２外部電極と
を備え、
前記素体は、互いに対向する第１端面および第２端面と、互いに対向する第１側面と第２側面と、前記第１端面と前記第２端面との間および前記第１側面と前記第２側面との間に接続された底面と、前記底面と対向する天面とを含み、
前記第１外部電極および前記第２外部電極は、少なくとも前記底面に設けられ、
前記軸は、前記底面に平行でかつ前記第１側面および前記第２側面に交差し、
前記コイルは、前記軸に沿って積層される複数のコイル配線層と、前記軸方向に隣り合うコイル配線層を接続するビア配線層とを有し、
前記ビア配線層は、前記軸方向からみて、前記コイルの螺旋方向に沿って延在する少なくとも一つの長手形状の長手ビア配線層を含み、前記少なくとも一つの長手ビア配線層は、前記軸方向からみて、曲率半径が１５μｍ以上である第１長手ビア配線層を含む。

【0007】

ここで、長手ビア配線層とは、軸方向からみてビア配線層が延在する方向に沿った中心線の長さが、ビア配線層が延在する方向に沿った中心線に直交する方向の幅よりも大きいビア配線層をさす。第１長手ビア配線層が、複数の曲率半径を有する場合、最も小さい曲率半径が、１５μｍ以上であればよい。

【0008】

前記態様によれば、ビア配線層は、軸方向からみて、コイルの螺旋方向に沿って延在する少なくとも一つの長手形状の長手ビア配線層を含むので、コイル配線層と長手ビア配線層との接触面積を大きくできて、コイルの直流抵抗を低減できる。

【0009】

また、少なくとも一つの長手ビア配線層は、軸方向からみて、曲率半径が１５μｍ以上である第１長手ビア配線層を含むので、第１長手ビア配線層の曲率半径は大きい。これにより、第１長手ビア配線層の線膨張係数と素体の線膨張係数の差による応力が発生しても、第１長手ビア配線層に対して応力が集中し難くなる。特に、インダクタ部品の小型化により、第１長手ビア配線層の素体に対する体積比率が大きくなっても、第１長手ビア配線層に対する応力を緩和できる。したがって、第１長手ビア配線層に対するクラックの発生を低減でき、インダクタ部品の歩留まりを向上できる。

【発明の効果】

【0010】

本開示の一態様であるインダクタ部品によれば、コイルの直流抵抗を低減できる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】インダクタ部品の第１実施形態を示す斜視図である。

【図2】インダクタ部品の第１側面側からみた透視正面図である。

【図3A】インダクタ部品の分解平面図である。

【図3B】インダクタ部品の分解平面図である。

【図3C】インダクタ部品の分解平面図である。

【図4】インダクタ部品の第２実施形態を示すインダクタ部品の第１側面側からみた透視正面図である。

【図5A】インダクタ部品の分解平面図である。

【図5B】インダクタ部品の分解平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本開示の一態様であるインダクタ部品を図示の実施の形態により詳細に説明する。なお、図面は一部模式的なものを含み、実際の寸法や比率を反映していない場合がある。

【0013】

（第１実施形態）
図１は、インダクタ部品の第１実施形態を示す斜視図である。図２は、インダクタ部品の第１側面側からみた透視正面図である。図３Ａと図３Ｂと図３Ｃは、インダクタ部品の分解平面図である。図１と図２と図３Ａと図３Ｂと図３Ｃに示すように、インダクタ部品１は、素体１０と、素体１０内に設けられ軸ＡＸに沿って螺旋状に巻き回されたコイル２０と、素体１０に設けられコイル２０に電気的に接続された第１外部電極３０および第２外部電極４０とを有する。なお、便宜上、図２では、構造を容易に理解できるよう、素体およびコイルを透明に描いているが、半透明や不透明であってもよい。

【0014】

インダクタ部品１は、第１、第２外部電極３０，４０を介して、図示しない回路基板の配線に電気的に接続される。インダクタ部品１は、例えば、高周波回路のインピーダンス整合用コイル（マッチングコイル）として用いられ、パソコン、ＤＶＤプレーヤー、デジカメ、ＴＶ、携帯電話、カーエレクトロニクス、医療用・産業用機械などの電子機器に用いられる。ただし、インダクタ部品１の用途はこれに限られず、例えば、同調回路、フィルタ回路や整流平滑回路などにも用いることもできる。

【0015】

素体１０は、略直方体状に形成されている。素体１０の表面は、互いに対向する第１端面１５および第２端面１６と、互いに対向する第１側面１３と第２側面１４と、第１端面１５と第２端面１６との間および第１側面１３と第２側面１４との間に接続された底面１７と、底面１７と対向する天面１８とを含む。底面１７は、インダクタ部品１を図示しない実装基板に実装した際に、実装基板側を向く面である。

【0016】

図示するように、Ｘ方向は、第１端面１５および第２端面１６に直交し、第１端面１５から第２端面１６に向かう方向である。Ｙ方向は、第１側面１３および第２側面１４に直交し、第２側面１４から第１側面１３に向かう方向である。Ｚ方向は、底面１７および天面１８に直交し、底面１７から天面１８に向かう方向である。Ｘ方向は、素体１０の長さ方向ともいい、Ｙ方向は、素体１０の幅方向ともいい、Ｚ方向は、素体１０の高さ方向ともいう。Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向は、互いに直交する方向であって、Ｘ，Ｙ，Ｚの順に並べたとき、左手系を構成する。

【0017】

素体１０は、複数の絶縁層１１を積層して構成される。絶縁層１１は、例えば、硼珪酸ガラスを主成分とする材料や、フェライト、樹脂などの材料からなる。絶縁層１１の積層方向は、素体１０の第１、第２端面１５，１６および底面１７に、平行な方向（Ｙ方向）である。すなわち、絶縁層１１は、ＸＺ平面に広がった層状である。本願における「平行」とは、厳密な平行関係に限定されず、現実的なばらつきの範囲を考慮し、実質的な平行関係も含む。なお、素体１０は、焼成などによって、複数の絶縁層１１同士の界面が明確となっていない場合がある。なお、図３Ａと図３Ｂと図３Ｃでは、上から下に向かう方向を積層方向（Ｙ方向）とする。

【0018】

第１外部電極３０および第２外部電極４０は、例えば、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｕやこれらを主成分とする合金などの導電性材料から構成される。第１外部電極３０は、第１端面１５から底面１７にかけて形成されたＬ字形状である。第１外部電極３０は、第１端面１５および底面１７から露出するように素体１０に埋め込まれている。第１外部電極３０は、第１端面１５に沿って延在する第１端面部３１と、第１端面部３１に接続され底面１７に沿って延在する第１底面部３２とを有する。なお、第１外部電極３０および第２外部電極４０は、素体１０から露出する表面がＮｉやＳｎなどのめっきにより覆われていてもよい。

【0019】

第２外部電極４０は、第２端面１６から底面１７にかけて形成されたＬ字形状である。第２外部電極４０は、第２端面１６および底面１７から露出するように素体１０に埋め込まれている。第２外部電極４０は、第２端面１６に沿って延在する第２端面部４１と、第２端面部４１に接続され底面１７に沿って延在する第２底面部４２とを有する。

【0020】

第１外部電極３０は、素体１０（絶縁層１１）に埋め込まれた複数の第１外部電極導体層３３が積層された構成を有している。第２外部電極４０は、素体１０（絶縁層１１）に埋め込まれた複数の第２外部電極導体層４３が積層された構成を有している。第１外部電極導体層３３は、第１端面１５および底面１７に沿って延在しており、第２外部電極導体層４３は、第２端面１６および底面１７に沿って延在している。

【0021】

これにより、素体１０内に第１、第２外部電極３０，４０を埋め込むことができるため、素体１０に外部電極を外付けする構成に比べて、インダクタ部品の小型化を図ることができる。また、コイル２０と外部電極３０，４０を同一工程で形成することができ、コイル２０と外部電極３０，４０との間の位置関係のばらつきを低減することで、インダクタ部品１の電気的特性のばらつきを低減することができる。

【0022】

なお、第１外部電極３０は、第１端面部３１を有さないで、第１底面部３２から構成されていてもよく、同様に、第２外部電極４０は、第２端面部４１を有さないで、第２底面部４２から構成されていてもよい。つまり、第１外部電極３０および第２外部電極４０は、少なくとも素体１０の底面１７に設けられていればよい。

【0023】

コイル２０は、例えば、第１、第２外部電極３０，４０と同様の導電性材料から構成される。コイル２０は、絶縁層１１の積層方向に沿って、螺旋状に巻き回されている。コイル２０の第１端は、第１外部電極３０に接続され、コイル２０の第２端は、第２外部電極４０に接続されている。なお、本実施形態では、コイル２０と第１、第２外部電極３０，４０とは一体化されており、明確な境界は存在しないが、これに限られず、コイルと外部電極とが異種材料や異種工法で形成されることにより、境界が存在していても良い。

【0024】

コイル２０は、軸ＡＸが底面１７と平行であり、かつ、軸ＡＸが第１側面１３と第２側面１４とを交差するように、軸ＡＸに沿って巻回されている。コイル２０の軸ＡＸは、絶縁層１１の積層方向（Ｙ方向）と一致する。言い換えると、複数の絶縁層１１は、軸ＡＸに沿って積層される。コイル２０の軸ＡＸは、コイル２０の螺旋形状の中心軸を意味する。具体的に述べると、軸ＡＸは、コイル２０の最内周の中心を意味する。

【0025】

コイル２０は、巻回部２０ａと、巻回部２０ａの第１端と第１外部電極３０の間に接続された第１引出部２０ｂと、巻回部２０ａの第２端と第２外部電極４０の間に接続された第２引出部２０ｃとを有する。本実施形態では、巻回部２０ａと第１、第２引出部２０ｂ，２０ｃとは一体化されており、明確な境界は存在しないが、これに限られず、巻回部と引出部とが異種材料や異種工法で形成されることにより、境界が存在していても良い。

【0026】

巻回部２０ａは、軸ＡＸに沿って螺旋状に巻回されている。つまり、巻回部２０ａとは、軸ＡＸに平行な方向からみたときにコイル２０同士が互いに重なり合う螺旋状に巻回された部分を指す。第１、第２引出部２０ｂ，２０ｃとは、重なり合う部分から外れた部分を指す。

【0027】

コイル２０の軸ＡＸ方向からみて、コイル２０の形状は、コイル２０の軸ＡＸを通過しＺ方向に平行な直線に対して、左右対称な形状となる。これにより、インダクタ部品１の特性のばらつきを抑制できる。

【0028】

図３Ａと図３Ｂと図３Ｃに示すように、コイル２０は、軸ＡＸに沿って積層された複数のコイル配線層５０１～５０８と、軸ＡＸ方向に隣り合うコイル配線層の間に位置し軸ＡＸ方向に隣り合うコイル配線層を接続する複数のビア配線層６０１～６０７とを有する。複数のコイル配線層５０１～５０８は、それぞれ、絶縁層１１に設けられ、複数のビア配線層６０１～６０７は、それぞれ、絶縁層１１に設けられている。

【0029】

複数のコイル配線層５０１～５０８は、それぞれが平面に沿って巻回され、電気的に直列に接続されながら螺旋を構成している。複数のコイル配線層５０１～５０８は、それぞれ、軸ＡＸ方向（Ｙ方向）に直交するＸＺ平面（絶縁層１１の主面）に沿って巻回されて形成される。各コイル配線層５０１～５０８は、延在方向に沿って一定の幅を有する。各コイル配線層５０１～５０８の巻回数は、１周未満であるが、１周以上であってもよい。

【0030】

複数のビア配線層６０１～６０７は、絶縁層１１を厚み方向（Ｙ方向）に貫通する。そして、積層方向に隣り合うコイル配線層は、ビア配線層を介して、電気的に直列に接続される。このように、複数のコイル配線層５０１～５０８は、複数のビア配線層６０１～６０７を介して、互いに電気的に直列に接続されながら、コイル２０は、螺旋を構成している。

【0031】

具体的に述べると、第１コイル配線層５０１、第２コイル配線層５０２、第３コイル配線層５０３、第４コイル配線層５０４、第５コイル配線層５０５、第６コイル配線層５０６、第７コイル配線層５０７、第８コイル配線層５０８は、Ｙ方向に沿って順に積層されている。第１コイル配線層５０１の端部は、第１外部電極３０の第１外部電極導体層３３に接続されている。第８コイル配線層５０８の端部は、第２外部電極４０の第２外部電極導体層４３に接続されている。

【0032】

第１ビア配線層６０１、第２ビア配線層６０２、第３ビア配線層６０３、第４ビア配線層６０４、第５ビア配線層６０５、第６ビア配線層６０６、第７ビア配線層６０７は、Ｙ方向に沿って順に積層されている。第１ビア配線層６０１および第６ビア配線層６０６は、軸ＡＸ方向からみて、重なる。第２ビア配線層６０２および第７ビア配線層６０７は、軸ＡＸ方向からみて、重なる。

【0033】

第１ビア配線層６０１は、第１コイル配線層５０１と第２コイル配線層５０２の間に位置し、第１コイル配線層５０１の端部と第２コイル配線層５０２の端部を接続する。第２ビア配線層６０２は、第２コイル配線層５０２と第３コイル配線層５０３の間に位置し、第２コイル配線層５０２の端部と第３コイル配線層５０３の端部を接続する。第３ビア配線層６０３は、第３コイル配線層５０３と第４コイル配線層５０４の間に位置し、第３コイル配線層５０３の端部と第４コイル配線層５０４の端部を接続する。第４ビア配線層６０４は、第４コイル配線層５０４と第５コイル配線層５０５の間に位置し、第４コイル配線層５０４の端部と第５コイル配線層５０５の端部を接続する。

【0034】

第５ビア配線層６０５は、第５コイル配線層５０５と第６コイル配線層５０６の間に位置し、第５コイル配線層５０５の端部と第６コイル配線層５０６の端部を接続する。第６ビア配線層６０６は、第６コイル配線層５０６と第７コイル配線層５０７の間に位置し、第６コイル配線層５０６の端部と第７コイル配線層５０７の端部を接続する。第７ビア配線層６０７は、第７コイル配線層５０７と第８コイル配線層５０８の間に位置し、第７コイル配線層５０７の端部と第８コイル配線層５０８の端部を接続する。

【0035】

複数のビア配線層６０１～６０７は、軸ＡＸ方向からみて、コイル２０の螺旋方向に沿って延在する少なくとも一つの長手形状の長手ビア配線層を含む。この実施形態では、全てのビア配線層６０１～６０７が、長手ビア配線層である。全てのビア配線層６０１～６０７は、それぞれ、延在方向に沿って一定の幅を有する。なお、一部のビア配線層は、延在方向に沿って異なる幅を有していてもよい。

【0036】

長手ビア配線層の長さは、例えば、１８μｍ以上である。長手ビア配線層の長さは、長手ビア配線層の幅よりも大きく、長手ビア配線層の長さと幅の比（長さ／幅）は、例えば、１．３以上である。長手ビア配線層の長さとは、軸ＡＸ方向からみて、長手ビア配線層の延在方向に沿った中心線の長さである。長手ビア配線層の幅とは、軸ＡＸ方向からみて、長手ビア配線層の延在方向に沿った中心線に直交する方向の長さである。図３Ａから図３Ｃでは、中心線を一点鎖線にて示す。長手ビア配線層の長さと幅の測定方法は、例えば、ＸＺ平面に沿ってインダクタ部品１を研磨して、レーザー顕微鏡で長手ビア配線層の長さと幅を測定する。

【0037】

なお、全てのビア配線層６０１～６０７のうちの少なくとも一つのビア配線層が、長手ビア配線層であればよく、その他のビア配線層が、軸ＡＸ方向からみて、円形（または四角形）のビア配線層であってもよい。このとき、円形のビア配線層に接続されるコイル配線層の端部は、軸方向からみて、円形のパッド部を構成し、円形のパッド部の径は、コイル配線層の中間部の線幅よりも大きい。

【0038】

上記構成によれば、複数のビア配線層６０１～６０７は、少なくとも一つの長手ビア配線層を含むので、コイル配線層と長手ビア配線層との接触面積を大きくできて、コイル２０の直流抵抗を低減できる。また、インダクタ部品１の製造の際、コイル配線層と長手ビア配線層との積層ずれが発生しても、長手ビア配線層のコイル配線層に対向する面の面積が大きいので、コイル配線層と長手ビア配線層の接触確率が大きくなり、コイル配線層と長手ビア配線層との導通不良がおきる可能性を低減できる。この実施形態では、全てのビア配線層６０１～６０７が、長手ビア配線層であるので、コイル２０の直流抵抗をより低減でき、また、コイル２０の導通不良がおきる可能性をより低減できる。

【0039】

少なくとも一つの長手ビア配線層は、軸方向からみて、曲率半径が１５μｍ以上である第１長手ビア配線層を含む。この実施形態では、全ての長手ビア配線層が、第１長手ビア配線層である。つまり、全てのビア配線層６０１～６０７は、第１長手ビア配線層である。なお、全てのビア配線層６０１～６０７のうちの少なくとも一つのビア配線層が、長手ビア配線層であり、かつ、少なくとも一つの長手ビア配線層が、第１長手ビア配線層であればよい。

【0040】

第１長手ビア配線層（この実施形態では、第１から第７ビア配線層６０１～６０７）の曲率半径は、軸ＡＸ方向からみて、第１長手ビア配線層の延在方向に沿った中心線における曲率半径である。第１長手ビア配線層が、複数の曲率半径を有する場合、最も小さい曲率半径が、１５μｍ以上であればよい。

【0041】

具体的に述べると、第１ビア配線層６０１は、第１曲線部６０１ａと第２曲線部６０１ｂと第３曲線部６０１ｃとを有する。第１曲線部６０１ａの曲率半径と第２曲線部６０１ｂの曲率半径と第３曲線部６０１ｃの曲率半径のうちの最も小さい曲率半径が、１５μｍ以上である。

【0042】

第１ビア配線層６０１と同様に、第２ビア配線層６０２、第３ビア配線層６０３、第５ビア配線層６０５、第６ビア配線層６０６および第７ビア配線層６０７のそれぞれについて、少なくとも一つの曲線部を有し、少なくとも一つの曲線部のうちの最も小さい曲率半径が、１５μｍ以上である。具体的には、第２ビア配線層６０２、第６ビア配線層６０６および第７ビア配線層６０７は、それぞれ、３つの曲線部を有し、第３ビア配線層６０３および第５ビア配線層６０５は、それぞれ、１つの曲線部を有する。

【0043】

第４ビア配線層６０４は、軸ＡＸ方向からみて、直線状である。つまり、第４ビア配線層６０４には、曲線部がない。第４ビア配線層６０４の曲率半径は、無限大となり、１５μｍ以上である。第４ビア配線層６０４は、軸ＡＸ方向からみて、コイル２０の角部から離隔している、なお、その他の第１長手ビア配線層（この実施形態では、第１、第２、第３、第５、第６、第７ビア配線層６０１、６０２、６０３、６０５、６０６、６０７）が、軸ＡＸ方向からみて、直線状であってもよい。

【0044】

各ビア配線層の曲率半径の測定方法は、例えば、ＸＺ平面に沿ってインダクタ部品１を研磨して、レーザー顕微鏡で各ビア配線層の曲率半径を測定する。

【0045】

上記構成によれば、少なくとも一つの長手ビア配線層は、軸ＡＸ方向からみて、曲率半径が１５μｍ以上である第１長手ビア配線層を含むので、第１長手ビア配線層の曲率半径は大きい。これにより、第１長手ビア配線層の線膨張係数と素体１０の線膨張係数の差による応力が発生しても、第１長手ビア配線層に対して応力が集中し難くなる。特に、インダクタ部品１の小型化により、第１長手ビア配線層の素体１０に対する体積比率が大きくなっても、第１長手ビア配線層に対する応力を緩和できる。したがって、第１長手ビア配線層に対するクラックの発生を低減でき、インダクタ部品１の歩留まりを向上できる。

【0046】

これに対して、ビア配線層の曲線部の曲率半径が１５μｍよりも小さいと、曲線部に応力が集中し易くなる。特に、インダクタ部品の小型化により、ビア配線層の素体に対する体積比率が大きくなると、ビア配線層に対する応力集中が過大となる。これにより、ビア配線層の曲線部にクラックが発生して、電気的接続性が低下し、インダクタ部品の特性選別工程で不良となる可能性がある。したがって、インダクタ部品の歩留まりが低下するおそれがある。

【0047】

上記構成によれば、全てのビア配線層６０１～６０７は、第１長手ビア配線層であるので、全てのビア配線層６０１～６０７に対して応力が集中し難くなる。

【0048】

上記構成によれば、少なくとも一つの第１長手ビア配線層（第４ビア配線層６０４）は、軸ＡＸ方向からみて、直線状であるので、少なくとも一つの第１長手ビア配線層（第４ビア配線層６０４）は、曲線部を有さない。したがって、少なくとも一つの第１長手ビア配線層（第４ビア配線層６０４）に対して応力がより一層集中し難くなる。

【0049】

上記構成によれば、軸ＡＸ方向からみてコイル２０の角部には応力が掛かりやすくなるが、コイル２０の角部に直線状の第１長手ビア配線層（第４ビア配線層６０４）を配置していないので、直線状の第１長手ビア配線層（第４ビア配線層６０４）に対して応力がより一層集中し難くなる。

【0050】

上記構成によれば、第１外部電極３０は、第１端面１５および底面１７から露出するように素体１０に埋め込まれており、第２外部電極４０は、第２端面１６および底面１７から露出するように素体１０に埋め込まれているため、第１外部電極３０及び第２外部電極４０の熱膨張係数と素体１０の熱膨張係数の差によって、素体１０及びビア配線層に対して、特に底面１７側に片寄った不均一な応力がかかりやすくなる。さらに、複数のコイル配線層５０１～５０８は、それぞれ、軸ＡＸ方向（Ｙ方向）に直交するＸＺ平面（絶縁層１１の主面）に沿って巻回されて形成されているため、ビア配線層の底面１７側に近い部分に対して応力が集中しやすくなる。この場合においても、少なくとも一つの長手ビア配線層は、軸ＡＸ方向からみて、曲率半径が１５μｍ以上である第１長手ビア配線層を含むので、第１長手ビア配線層に対して応力が集中し難くなる。したがって、第１長手ビア配線層に対するクラックの発生を低減でき、インダクタ部品１の歩留まりを向上できる。

【0051】

好ましくは、少なくとも一つの第１長手ビア配線層は、軸ＡＸ方向からみて、直線状であり、かつ、天面１８または第１端面１５のいずれかと平行である。具体的に述べると、第４ビア配線層６０４は、軸ＡＸ方向からみて、天面１８と平行である。これによれば、コイル２０の内径を大きくすることができ、インダクタンス値を高めることができる。なお、ビア配線層は、軸ＡＸ方向からみて、第１端面１５と平行な直線状の第１長手ビア配線層を含んでいてもよい。

【0052】

好ましくは、素体１０の複数の絶縁層１１は、第１長手ビア配線層と同一層の第１絶縁層を含む。第１絶縁層に対する第１長手ビア配線層の体積の割合は、９．２％以上である。なお、第１長手ビア配線層が複数ある場合、複数組の第１長手ビア配線層および第１絶縁層のうちの少なくとも一組の体積の割合が９．２％以上であればよい。

【0053】

具体的に述べると、第１ビア配線層６０１（第１長手ビア配線層）と、第１ビア配線層６０１と同一層の絶縁層１１（第１絶縁層）とにおいて、絶縁層１１に対する第１ビア配線層６０１の体積の割合は、９．２％以上である。第２から第７ビア配線層６０２～６０７のそれぞれにおいても第１ビア配線層６０１と同様であり、各ビア配線層と同一層の絶縁層に対する各ビア配線層の体積の割合は、９．２％以上である。

【0054】

第１絶縁層に対する第１長手ビア配線層の体積の割合の測定方法について説明する。まず、ＸＺ平面に沿ってインダクタ部品１を研磨して、レーザー顕微鏡で第１長手ビア配線層の長さ（Ｌ）、および、第１長手ビア配線層と同一層の第１絶縁層の断面積（Ｓ１）を測定する。第１長手ビア配線層の長さは、軸方向からみて、第１長手ビア配線層の延在方向に沿った中心線の長さである。続いて、ＸＺ平面に直交しかつ第１長手ビア配線層の中心線に直交する方向にインダクタ部品１を研磨して、第１長手ビア配線層の断面を露出させ、レーザー顕微鏡で第１長手ビア配線層の断面の面積（Ｓ）、および、第１長手ビア配線層のＹ方向の最大厚み（Ｔ）を測定する。そして、長さ（Ｌ）と面積（Ｓ）を乗じて第１長手ビア配線層の体積を算出する。また、第１絶縁層の断面積（Ｓ１）に厚み（Ｔ）を乗じて、第１絶縁層の体積を算出する。そして、第１長手ビア配線層の体積と第１絶縁層の体積から、第１絶縁層に対する第１長手ビア配線層の体積の割合を算出する。

【0055】

上記構成によれば、第１絶縁層に対する第１長手ビア配線層の体積の割合は、９．２％以上であるので、第１長手ビア配線層の素体に対する体積比率が大きくなる。これにより部品が小型化された場合においても、直流抵抗を低減できる。この状態であっても、第１長手ビア配線層の曲率半径は１５μｍ以上であるので、第１長手ビア配線層に対する応力を緩和できる。

【0056】

好ましくは、インダクタ部品１の長さ寸法（Ｘ方向寸法）は、２６５μｍ以下であり、インダクタ部品１の高さ寸法（Ｚ方向寸法）は、２１５μｍ以下であり、インダクタ部品１の幅寸法（Ｙ方向寸法）は、１４０μｍ以下である。上記構成によれば、インダクタ部品１は小型になる。この状態であっても、第１長手ビア配線層の曲率半径は１５μｍ以上であるので、第１長手ビア配線層に対する応力を緩和できる。

【0057】

次に、インダクタ部品１の製造方法について説明する。

【0058】

図３Ａと図３Ｂと図３Ｃに示すように、図中上から下に向かって、第１から第８コイル配線層５０１～５０８と第１から第７ビア配線層６０１～６０７とを絶縁層１１と共に交互に積層することで、インダクタ部品１を製造する。また、コイル配線層５０１～５０８は、例えばスクリーン印刷により絶縁層１１に設けられる。ビア配線層６０１～６０７は、例えばフォトリソグラフィ工法またはレーザー工法により絶縁層１１に開口部を設けて、例えばスクリーン印刷により開口部に設けられる。

【0059】

（第２実施形態）
図４は、インダクタ部品の第２実施形態を示すインダクタ部品の第１側面側からみた透視正面図である。図５Ａと図５Ｂは、インダクタ部品の分解平面図である。第２実施形態は、第１実施形態とは、コイルの構成が相違する。この相違する構成を以下に説明する。その他の構成は、第１実施形態と同じ構成であり、第１実施形態と同一の符号を付してその説明を省略する。

【0060】

図４と図５Ａと図５Ｂに示すように、第２実施形態のインダクタ部品１Ａでは、コイル２０Ａは、軸ＡＸに沿って積層された複数のコイル配線層５０１～５１０と、軸ＡＸ方向に隣り合うコイル配線層の間に位置し軸ＡＸ方向に隣り合うコイル配線層を接続する複数のビア配線層６０１～６０９とを有する。複数のコイル配線層５０１～５１０は、それぞれ、絶縁層１１に設けられ、複数のビア配線層６０１～６０９は、それぞれ、絶縁層１１に設けられている。なお、図５Ａと図５Ｂでは、各ビア配線層６０１～６０９と同一層の絶縁層１１を省略して描いている。

【0061】

複数のコイル配線層５０１～５１０は、それぞれが平面に沿って巻回され、電気的に直列に接続されながら螺旋を構成している。複数のコイル配線層５０１～５１０は、それぞれ、軸ＡＸ方向（Ｙ方向）に直交するＸＺ平面（絶縁層１１の主面）に沿って巻回されて形成される。全てのコイル配線層５０１～５１０は、それぞれ、延在方向に沿って一定の幅を有する。

【0062】

複数のビア配線層６０１～６０９は、絶縁層１１を厚み方向（Ｙ方向）に貫通する。軸ＡＸ方向からみて、複数のビア配線層６０１～６０９は、コイル２０Ａの螺旋方向に沿って延在している。そして、積層方向に隣り合うコイル配線層は、ビア配線層を介して、電気的に直列に接続される。

【0063】

具体的に述べると、第１コイル配線層５０１、第２コイル配線層５０２、第３コイル配線層５０３、第４コイル配線層５０４、第５コイル配線層５０５、第６コイル配線層５０６、第７コイル配線層５０７、第８コイル配線層５０８、第９コイル配線層５０９および第１０コイル配線層５１０は、Ｙ方向に沿って順に積層されている。第１コイル配線層５０１の端部は、第１外部電極３０の第１外部電極導体層３３に接続されている。第１０コイル配線層５１０の端部は、第２外部電極４０の第２外部電極導体層４３に接続されている。

【0064】

第５コイル配線層５０５および第６コイル配線層５０６のそれぞれの巻回数は、１周未満である。第１から第４コイル配線層５０１～５０４および第７から第１０コイル配線層５０７～５１０のそれぞれの巻回数は、１周以上である。これにより、コイル２０Ａの軸ＡＸ方向の大きさを抑えつつコイル２０Ａの巻回数を増加できるので、小型化を図りつつインダクタンス値を向上できる。全てのコイル配線層のうちの少なくとも１つのコイル配線層の巻回数は、１周以上であればよく、小型化を図りつつインダクタンス値を向上できる。なお、全てのコイル配線層の巻回数は、１周未満であってもよい。

【0065】

第１ビア配線層６０１、第２ビア配線層６０２、第３ビア配線層６０３、第４ビア配線層６０４、第５ビア配線層６０５、第６ビア配線層６０６、第７ビア配線層６０７、第８ビア配線層６０８、第９ビア配線層６０９は、Ｙ方向に沿って順に積層されている。第１ビア配線層６０１、第３ビア配線層６０３、第７ビア配線層６０７および第９ビア配線層６０９は、軸ＡＸ方向からみて、重なる。第２ビア配線層６０２、第５ビア配線層６０５および第８ビア配線層６０８は、軸ＡＸ方向からみて、重なる。全てのビア配線層６０１～６０９は、それぞれ、延在方向に沿って一定の幅を有する。なお、一部のビア配線層は、延在方向に沿って異なる幅を有していてもよい。

【0066】

第１ビア配線層６０１は、第１コイル配線層５０１と第２コイル配線層５０２の間に位置し、第１コイル配線層５０１の端部と第２コイル配線層５０２の端部を接続する。第２ビア配線層６０２は、第２コイル配線層５０２と第３コイル配線層５０３の間に位置し、第２コイル配線層５０２の端部と第３コイル配線層５０３の端部を接続する。第３ビア配線層６０３は、第３コイル配線層５０３と第４コイル配線層５０４の間に位置し、第３コイル配線層５０３の端部と第４コイル配線層５０４の端部を接続する。第４ビア配線層６０４は、第４コイル配線層５０４と第５コイル配線層５０５の間に位置し、第４コイル配線層５０４の端部と第５コイル配線層５０５の端部を接続する。第５ビア配線層６０５は、第５コイル配線層５０５と第６コイル配線層５０６の間に位置し、第５コイル配線層５０５の端部と第６コイル配線層５０６の端部を接続する。

【0067】

第６ビア配線層６０６は、第６コイル配線層５０６と第７コイル配線層５０７の間に位置し、第６コイル配線層５０６の端部と第７コイル配線層５０７の端部を接続する。第７ビア配線層６０７は、第７コイル配線層５０７と第８コイル配線層５０８の間に位置し、第７コイル配線層５０７の端部と第８コイル配線層５０８の端部を接続する。第８ビア配線層６０８は、第８コイル配線層５０８と第９コイル配線層５０９の間に位置し、第８コイル配線層５０８の端部と第９コイル配線層５０９の端部を接続する。第９ビア配線層６０９は、第９コイル配線層５０９と第１０コイル配線層５１０の間に位置し、第９コイル配線層５０９の端部と第１０コイル配線層５１０の端部を接続する。

【0068】

全てのビア配線層６０１～６０９は、第１長手ビア配線層であり、全ての第１長手ビア配線層は、軸ＡＸ方向からみて、直線状である。つまり、全てのビア配線層６０１～６０９は、軸ＡＸ方向からみて、直線状である。上記構成によれば、全ての第１長手ビア配線層（ビア配線層６０１～６０９）は、曲線部を有さない。したがって、全ての第１長手ビア配線層（ビア配線層６０１～６０９）に対して応力がより一層集中し難くなる。

【0069】

全ての直線状の第１長手ビア配線層（ビア配線層６０１～６０９）は、軸ＡＸ方向からみて、コイル２０Ａの角部から離隔している。上記構成によれば、軸ＡＸ方向からみてコイル２０Ａの角部には応力が掛かりやすくなるが、コイル２０Ａの角部に全ての第１長手ビア配線層を配置していないので、全ての第１長手ビア配線層に対して応力がより一層集中し難くなる。

【0070】

好ましくは、全ての第１長手ビア配線層は、軸ＡＸ方向からみて、直線状であり、かつ、天面１８または第１端面１５のいずれかと平行である。具体的に述べると、第１、第２、第３、第５、第７、第８、第９ビア配線層６０１，６０２，６０３，６０５，６０７，６０８，６０９は、軸ＡＸ方向からみて、天面１８と平行である。第４、第６ビア配線層６０４，６０６は、軸ＡＸ方向からみて、第１端面１５と平行である。これによれば、コイル２０の内径を大きくすることができ、インダクタンス値を高めることができる。

【0071】

なお、本開示は上述の実施形態に限定されず、本開示の要旨を逸脱しない範囲で設計変更可能である。例えば、第１と第２実施形態のそれぞれの特徴点を様々に組み合わせてもよい。また、コイル配線層の層数を増減してもよく、また、ビア配線層の層数を増減してもよく、例えば、ビア配線層の層数が１層以上であればよい。

【0072】

本開示は以下の態様を含む。
＜１＞
素体と、
前記素体内に設けられ、軸に沿って螺旋状に巻き回されるコイルと、
前記素体に設けられ、前記コイルに電気的に接続される第１外部電極および第２外部電極と
を備え、
前記素体は、互いに対向する第１端面および第２端面と、互いに対向する第１側面と第２側面と、前記第１端面と前記第２端面との間および前記第１側面と前記第２側面との間に接続された底面と、前記底面と対向する天面とを含み、
前記第１外部電極および前記第２外部電極は、少なくとも前記底面に設けられ、
前記軸は、前記底面に平行でかつ前記第１側面および前記第２側面に交差し、
前記コイルは、前記軸に沿って積層される複数のコイル配線層と、前記軸方向に隣り合うコイル配線層を接続するビア配線層とを有し、
前記ビア配線層は、前記軸方向からみて、前記コイルの螺旋方向に沿って延在する少なくとも一つの長手形状の長手ビア配線層を含み、前記少なくとも一つの長手ビア配線層は、前記軸方向からみて、曲率半径が１５μｍ以上である第１長手ビア配線層を含む、インダクタ部品。
＜２＞
前記素体は、前記軸に沿って積層される複数の絶縁層を有し、
前記複数の絶縁層は、前記第１長手ビア配線層と同一層の第１絶縁層を含み、
前記第１絶縁層に対する前記第１長手ビア配線層の体積の割合は、９．２％以上である、＜１＞に記載のインダクタ部品。
＜３＞
前記インダクタ部品の長さ寸法は、２６５μｍ以下であり、
前記インダクタ部品の高さ寸法は、２１５μｍ以下であり、
前記インダクタ部品の幅寸法は、１４０μｍ以下である、＜１＞または＜２＞に記載のインダクタ部品。
＜４＞
全ての前記ビア配線層は、前記第１長手ビア配線層である、＜１＞から＜３＞の何れか一つに記載のインダクタ部品。
＜５＞
少なくとも一つの前記第１長手ビア配線層は、前記軸方向からみて、直線状である、＜１＞から＜４＞の何れか一つに記載のインダクタ部品。
＜６＞
全ての前記第１長手ビア配線層は、前記軸方向からみて、直線状である、＜１＞から＜５＞の何れか一つに記載のインダクタ部品。
＜７＞
全ての前記第１長手ビア配線層は、前記軸方向からみて、直線状であり、
前記全ての第１長手ビア配線層は、前記軸方向からみて、前記コイルの角部から離隔している、＜１＞から＜６＞の何れか一つに記載のインダクタ部品。
＜８＞
前記少なくとも一つの第１長手ビア配線層は、前記軸方向からみて、前記天面または前記第１端面のいずれかと平行である、＜５＞に記載のインダクタ部品。
＜９＞
前記全ての第１長手ビア配線層は、前記軸方向からみて、前記天面または前記第１端面のいずれかと平行である、＜６＞に記載のインダクタ部品。

【符号の説明】

【0073】

１、１Ａ インダクタ部品
１０ 素体
１１ 絶縁層
１３ 第１側面
１４ 第２側面
１５ 第１端面
１６ 第２端面
１７ 底面
１８ 天面
２０、２０Ａ コイル
２０ａ 巻回部
２０ｂ 第１引出部
２０ｃ 第２引出部
３０ 第１外部電極
３１ 第１端面部
３２ 第１底面部
３３ 第１外部電極導体層
４０ 第２外部電極
４１ 第２端面部
４２ 第２底面部
４３ 第２外部電極導体層
５０１～５１０ 第１～第１０コイル配線層
６０１～６０９ 第１～第９ビア配線層
ＡＸ 軸

【図1】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図3C】

【図4】

【図5A】

【図5B】