発明の名称 EFEM装置
出願人 シンフォニアテクノロジー株式会社 (識別番号 2059)
特許公開件数ランキング 520 位(51件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 545 位(40件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2024-152871
公報発行日 2024年10月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-152871
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