特開 2024-154493 光変調器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024154493

(43)【公開日】2024-10-31

(54)【発明の名称】光変調器

(51)【国際特許分類】

   G02F 1/025 20060101AFI20241024BHJP

【ＦＩ】

G02F1/025

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023068313

(22)【出願日】2023-04-19

(71)【出願人】

【識別番号】000002130

【氏名又は名称】住友電気工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100136722

【弁理士】

【氏名又は名称】▲高▼木 邦夫

(74)【代理人】

【識別番号】100174399

【弁理士】

【氏名又は名称】寺澤 正太郎

(74)【代理人】

【識別番号】100182006

【弁理士】

【氏名又は名称】湯本 譲司

(72)【発明者】

【氏名】三澤 太一

(72)【発明者】

【氏名】田中 啓二

【テーマコード（参考）】

2K102

【Ｆターム（参考）】

2K102BA02

2K102BB01

2K102BB04

2K102BC04

2K102CA05

2K102DA05

2K102DA08

2K102DB04

2K102DB08

2K102DD03

2K102EA03

2K102EA12

2K102EA17

(57)【要約】

【課題】屈曲部において光信号と電気信号との間の位相整合が可能な光変調器を提供する。
【解決手段】一実施形態に係る光変調器は、第１導波路部と、第２導波路部と、第１導波路部を第２導波路部に光学的に結合するように屈曲する第３導波路部と、を含む光導波路と、光導波路を駆動するための第１信号線および第２信号線を含む差動信号路と、を備える。差動信号路は、第３導波路部を含む屈曲部において、それぞれ第１方向に延在する第１信号線および第２信号線によって構成される第１伝送路と、それぞれ第１方向および第２方向の双方に交差する方向である第３方向に延在する第１信号線および第２信号線によって構成される第２伝送路と、第１伝送路および第２伝送路を互いに接続する交差導体部と、を含む。第１伝送路および第２伝送路の少なくともいずれかは、スローウェーブ線路を含む。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１方向に延在する第１導波路部と、前記第１方向とは異なる方向である第２方向に延在する第２導波路部と、前記第１導波路部を前記第２導波路部に光学的に結合するように屈曲する第３導波路部と、を含む光導波路と、
前記光導波路を駆動するための第１信号線および第２信号線を含む差動信号路と、
を備え、
前記差動信号路は、前記第３導波路部を含む屈曲部において、それぞれ前記第１方向に延在する前記第１信号線および前記第２信号線によって構成される第１伝送路と、それぞれ前記第１方向および前記第２方向の双方に交差する方向である第３方向に延在する前記第１信号線および前記第２信号線によって構成される第２伝送路と、前記第１伝送路および前記第２伝送路を互いに接続する交差導体部と、を含み、
前記第１伝送路および前記第２伝送路の少なくともいずれかは、スローウェーブ線路を含む、
光変調器。

【請求項2】

前記第１伝送路は、前記第１方向に延在する前記第１信号線および前記第２信号線と、前記第３方向に延在するとともに平面視において前記第１信号線および前記第２信号線と重複する部分を有する第１交差配線と、を有する、
請求項１に記載の光変調器。

【請求項3】

前記第１伝送路は、複数の前記第１交差配線を有し、
複数の前記第１交差配線は、前記第１方向に沿って一定間隔で配置されており、それぞれ電気的にフローティングとされている、
請求項２に記載の光変調器。

【請求項4】

前記第１伝送路を構成する前記第１信号線および前記第２信号線は、平面視において前記第１導波路部を間に挟むように配置されている、
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の光変調器。

【請求項5】

前記第２伝送路は、前記第３方向に延在する前記第１信号線および前記第２信号線と、前記第１方向に延在するとともに平面視において前記第１信号線および前記第２信号線と重複する部分を有する第２交差配線と、を有する、
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の光変調器。

【請求項6】

前記第２伝送路は、複数の前記第２交差配線を有し、
複数の前記第２交差配線は、前記第３方向に沿って一定間隔で配置されており、それぞれ電気的にフローティングされている、
請求項５に記載の光変調器。

【請求項7】

前記第２伝送路を構成する前記第１信号線および前記第２信号線は、平面視において前記第３導波路部を間に挟むように配置されている、
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の光変調器。

【請求項8】

前記第１伝送路の前記第１信号線は、前記第１伝送路の前記第２信号線に向かって延びる櫛歯状の第１櫛歯部を有し、
前記第１伝送路の前記第２信号線は、前記第１伝送路の前記第１信号線に向かって延びる櫛歯状の第２櫛歯部を有し、
前記第１伝送路は、前記第１櫛歯部と前記第２櫛歯部との間にキャパシタンスを有する、
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の光変調器。

【請求項9】

前記第１櫛歯部の前記第３方向の長さと前記第２櫛歯部の前記第３方向の長さとの和は、前記第１伝送路における前記第１信号線と前記第２信号線との間隔よりも大きい、
請求項８に記載の光変調器。

【請求項10】

前記第２伝送路の前記第１信号線は、前記第２伝送路の前記第２信号線に向かって延びる櫛歯状の第３櫛歯部を有し、
前記第２伝送路の前記第２信号線は、前記第２伝送路の前記第１信号線に向かって延びる櫛歯状の第４櫛歯部を有し、
前記第２伝送路は、前記第３櫛歯部と前記第４櫛歯部との間にキャパシタンスを有する、
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の光変調器。

【請求項11】

前記第３櫛歯部の前記第２方向の長さと前記第４櫛歯部の前記第２方向の長さとの和は、
前記第２伝送路における前記第１信号線と前記第２信号線との間隔よりも大きい、
請求項１０に記載の光変調器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、光変調器に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、マッハツェンダ変調器が記載されている。マッハツェンダ変調器は、第１アーム導波路と、第２アーム導波路と、差動信号路とを備える。第１アーム導波路および第２アーム導波路のそれぞれは、第１軸の方向に延在する第１導波路部、第２軸の方向に延在する第２導波路部、および第１導波路部を第２導波路部に光学的に結合するように屈曲する第３導波路部を含む。差動信号路は、第１信号線、第２信号線および基準電位線を含む。第１信号線の第１交差導体部、および第２信号線の第２交差導体部は上側導体層および下側導体層を含む。上側導体層は、下側導体層から離隔している。上側導体層および下側導体層において第１信号線および第２信号線は互いに交差している。

【0003】

特許文献２には、半導体マッハツェンダ光変調器が記載されている。半導体マッハツェンダ光変調器は、入力導波路と、入力導波路と光学的に結合された複数光導波路と、出力導波路と、光導波路上に形成された複数の進行波型電極とを有する。各進行波型電極は、各光導波路に対してそれぞれ逆相の電圧を印加する。各進行波型電極は、インピーダンス整合、および、光変調器内の光波と電気波との速度整合を行うコプレーナストリップ線路を形成するように構成されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１９－５６８８１号公報

【特許文献2】特開２０１５－１４８７１１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

光変調器において、電気線路および光導波路を屈曲させる部分である屈曲部を有する場合、屈曲部の入力部と出力部とで電気と光の位相を揃えることが必要となりうる。屈曲部において、光信号の伝搬時間が電気信号の伝搬時間より長い場合、屈曲部の出力部において光信号と電気信号との間で位相のずれが生じることがある。したがって、屈曲部の出力部において位相のずれが生じないようにする位相整合が求められうる。

【0006】

本開示は、屈曲部において光信号と電気信号との間の位相整合が可能な光変調器を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本開示に係る光変調器は、第１方向に延在する第１導波路部と、第１方向とは異なる方向である第２方向に延在する第２導波路部と、第１導波路部を第２導波路部に光学的に結合するように屈曲する第３導波路部と、を含む光導波路と、光導波路を駆動するための第１信号線および第２信号線を含む差動信号路と、を備える。差動信号路は、第３導波路部を含む屈曲部において、それぞれ第１方向に延在する第１信号線および第２信号線によって構成される第１伝送路と、それぞれ第１方向および第２方向の双方に交差する方向である第３方向に延在する第１信号線および第２信号線によって構成される第２伝送路と、第１伝送路および第２伝送路を互いに接続する交差導体部と、を含む。第１伝送路および第２伝送路の少なくともいずれかは、スローウェーブ線路を含む。

【発明の効果】

【0008】

本開示によれば、屈曲部において光信号と電気信号との間の位相整合が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】図１は、実施形態に係る光変調器の光導波路および差動信号路を示す平面図である。

【図2】図２は、図１のＡ－Ａ線断面図である。

【図3】図３は、図１の差動信号路を示す平面図である。

【図4】図４は、スローウェーブ線路の例を示す平面図である。

【図5】図５は、図４のＢ－Ｂ線断面図である。

【図6】図６は、変形例に係る光変調器の光導波路および差動信号路を示す平面図である。

【図7】図７は、図６の差動信号路を示す平面図である。

【図8】図８は、図６の差動信号路を構成する櫛歯部を示す平面図である。

【図9】図９は、図７のＣ－Ｃ線断面およびＤ－Ｄ線断面を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

［本開示の実施形態の説明］
最初に、本開示に係る光変調器の実施形態を列記して説明する。一実施形態に係る光変調器は、（１）第１方向に延在する第１導波路部と、第１方向とは異なる方向である第２方向に延在する第２導波路部と、第１導波路部を第２導波路部に光学的に結合するように屈曲する第３導波路部と、を含む光導波路と、光導波路を駆動するための第１信号線および第２信号線を含む差動信号路と、を備える。差動信号路は、第３導波路部を含む屈曲部において、それぞれ第１方向に延在する第１信号線および第２信号線によって構成される第１伝送路と、それぞれ第１方向および第２方向の双方に交差する方向である第３方向に延在する第１信号線および第２信号線によって構成される第２伝送路と、第１伝送路および第２伝送路を互いに接続する交差導体部と、を含む。第１伝送路および第２伝送路の少なくともいずれかは、スローウェーブ線路を含む。

【0011】

この光変調器は光導波路と差動信号路とを備え、光導波路は、第１方向に延在する第１導波路部と、第２方向に延在する第２導波路部と、第１導波路部および第２導波路部を互いに光学的に結合する第３導波路部とを含む。差動信号路は、第１伝送路と、第２伝送路と、交差導体部とを含む。差動信号路は、屈曲部において第１方向に延在する第１信号線および第２信号線によって構成される第１伝送路と、第３方向に延在する第１信号線および第２信号線によって構成される第２伝送路と、第１伝送路および第２伝送路を互いに接続する交差導体部とを含む。第１伝送路および第２伝送路の少なくともいずれかは、スローウェーブ線路を含む。第１伝送路および第２伝送路の少なくともいずれかがスローウェーブ線路を含むことにより、スローウェーブ線路において電気信号の速度を低下させることができる。屈曲部に設けられたスローウェーブ線路によって、屈曲部において光信号と電気信号との間の位相整合を行うことができる。その結果、屈曲部の出力部において位相のずれが生じないようにすることができる。

【0012】

（２）上記（１）において、第１伝送路は、第１方向に延在する第１信号線および第２信号線と、第３方向に延在するとともに平面視において第１信号線および第２信号線と重複する部分を有する第１交差配線と、を有してもよい。この場合、第１伝送路がスローウェーブ線路を有し、このスローウェーブ線路は第１交差配線によって構成される。したがって、屈曲部の入力部に相当する第１伝送路において電気信号の速度を低下させることができる。

【0013】

（３）上記（２）において、第１伝送路は、複数の第１交差配線を有してもよい。複数の第１交差配線は、第１方向に沿って一定間隔で配置されており、それぞれ電気的にフローティングとされていてもよい。この場合、第１伝送路のスローウェーブ線路において電気的にフローティングとされた複数の第１交差配線が設けられている。したがって、第１伝送路において電気信号の速度をより確実に低下させることができる。

【0014】

（４）上記（１）から（３）のいずれかにおいて、第１伝送路を構成する第１信号線および第２信号線は、平面視において第１導波路部を間に挟むように配置されていてもよい。

【0015】

（５）上記（１）から（４）のいずれかにおいて、第２伝送路は、第３方向に延在する第１信号線および第２信号線と、第１方向に延在するとともに平面視において第１信号線および第２信号線と重複する部分を有する第２交差配線と、を有してもよい。この場合、第２伝送路がスローウェーブ線路を有し、このスローウェーブ線路は第２交差配線によって構成される。したがって、屈曲部に位置する第２伝送路において電気信号の速度を低下させることができる。

【0016】

（６）上記（５）において、第２伝送路は、複数の第２交差配線を有してもよい。複数の第２交差配線は、第３方向に沿って一定間隔で配置されており、それぞれ電気的にフローティングされていてもよい。この場合、第２伝送路のスローウェーブ線路において電気的にフローティングとされた複数の第２交差配線が設けられている。したがって、第２伝送路において電気信号の速度をより確実に低下させることができる。

【0017】

（７）上記（１）から（６）のいずれかにおいて、第２伝送路を構成する第１信号線および第２信号線は、平面視において第３導波路部を間に挟むように配置されていてもよい。

【0018】

（８）上記（１）から（７）のいずれかにおいて、第１伝送路の第１信号線は、第１伝送路の第２信号線に向かって延びる櫛歯状の第１櫛歯部を有してもよい。第１伝送路の第２信号線は、第１伝送路の第１信号線に向かって延びる櫛歯状の第２櫛歯部を有してもよい。第１伝送路は、第１櫛歯部と第２櫛歯部との間にキャパシタンスを有してもよい。この場合、第１伝送路において、第１信号線は第１櫛歯部を有し、第２信号線は第２櫛歯部を有する。第１櫛歯部と第２櫛歯部との間にキャパシタンスが形成されているので、第１伝送路において電気信号の速度を低下させることができる。

【0019】

（９）上記（８）において、第１櫛歯部の第３方向の長さと第２櫛歯部の第３方向の長さとの和は、第１伝送路における第１信号線と第２信号線との間隔よりも大きくてもよい。

【0020】

（１０）上記（１）から（９）のいずれかにおいて、第２伝送路の第１信号線は、第２伝送路の第２信号線に向かって延びる櫛歯状の第３櫛歯部を有してもよい。第２伝送路の第２信号線は、第２伝送路の第１信号線に向かって延びる櫛歯状の第４櫛歯部を有してもよい。第２伝送路は、第３櫛歯部と第４櫛歯部との間にキャパシタンスを有してもよい。この場合、第２伝送路において、第１信号線は第３櫛歯部を有し、第２信号線は第４櫛歯部を有する。第３櫛歯部と第４櫛歯部との間にキャパシタンスが形成されているので、第２伝送路において電気信号の速度を低下させることができる。

【0021】

（１１）上記（１０）において、第３櫛歯部の第２方向の長さと第４櫛歯部の第２方向の長さとの和は、第２伝送路における第１信号線と第２信号線との間隔よりも大きくてもよい。

【0022】

［本開示の実施形態の詳細］
実施形態に係る光変調器の例を以下で図面を参照しながら説明する。なお、本発明は、以下の例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲に示され、特許請求の範囲と均等の範囲における全ての変更が含まれることが意図される。図面の説明において、同一または相当する要素には同一の符号を付し、重複する説明を適宜省略する。図面は、理解の容易化のため、一部を簡略化または誇張して描いている場合があり、寸法比率等は図面に記載のものに限定されない。

【0023】

図１は、実施形態に係る光変調器１を示す平面図である。光変調器１は、マッハツェンダ変調器である。光変調器１は、光導波路１０と、差動信号路２０とを備える。光導波路１０は、第１方向Ｄ１に延在する第１導波路部１１と、第１方向Ｄ１とは異なる方向である第２方向Ｄ２に延在する第２導波路部１２と、第１導波路部１１を第２導波路部１２に光学的に結合するように屈曲する第３導波路部１３とを含む。第３導波路部１３は、Ｕ字状を呈する。光変調器１は、第３導波路部１３を含む領域に形成された屈曲部Ｐと変調器部Ｍとを有する。

【0024】

第１導波路部１１は第１方向Ｄ１に沿って直線状に延在しており、第２導波路部１２は第２方向Ｄ２に沿って直線状に延在している。第２方向Ｄ２は、例えば、第１方向Ｄ１の反対方向である。すなわち、本実施形態では、第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２との成す角度は１８０度である。しかしながら、第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２との成す角度は、１８０度以下の角度、例えば、４５度、９０度、１２０度または１５０度であってもよく、特に限定されない。屈曲部Ｐは、第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２との成す角度に応じて構成される。例えば、当該角度が９０度の場合、第３導波路部１３は、Ｕ字状ではなく、９０度曲げられた形状を呈する。

【0025】

第３導波路部１３は、第１導波路部１１および第２導波路部１２を互いに光学的に結合する部位である。第３導波路部１３は、例えば、第１方向Ｄ１および第２方向Ｄ２の双方に交差する第３方向Ｄ３に延在する第１部分１３ｂと、第１導波路部１１から第１部分１３ｂまで延びる第２部分１３ｃと、第１部分１３ｂから第２導波路部１２まで延びる第３部分１３ｄとを有する。第１部分１３ｂは直線状に延在しており、第２部分１３ｃおよび第３部分１３ｄのそれぞれは曲線状に延在している。例えば、第２部分１３ｃおよび第３部分１３ｄのそれぞれは円弧状を呈する。第２部分１３ｃおよび第３部分１３ｄのそれぞれは、単調に曲がる形状を呈していてもよい。なお、第１部分１３ｂは、省略されてもよい。例えば、第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２との成す角度が９０度以下である場合、第２部分１３ｃと第３部分１３ｄとは互いに直接接続されていてもよい。

【0026】

例えば、光導波路１０は第１アーム導波路１０Ａおよび第２アーム導波路１０Ｂを含む。第１アーム導波路１０Ａおよび第２アーム導波路１０Ｂのそれぞれが第１導波路部１１、第２導波路部１２および第３導波路部１３を有する。第１アーム導波路１０Ａは、第２アーム導波路１０Ｂの外側を延在している。より具体的には、第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２および第３方向Ｄ３に交差する第４方向Ｄ４に沿って見た場合（例えば平面視）において、第１アーム導波路１０Ａの第３導波路部１３は、第２アーム導波路１０Ｂの第３導波路部１３の外側において屈曲している。

【0027】

光変調器１は、第１光カプラ１４および第２光カプラ１５を有する。第１光カプラ１４および第２光カプラ１５は、例えば、マルチモード干渉器である。第１光カプラ１４には、第１アーム導波路１０Ａの第１導波路部１１、および第２アーム導波路１０Ｂの第１導波路部１１のそれぞれが接続されている。第２光カプラ１５には、第１アーム導波路１０Ａの第２導波路部１２、および第２アーム導波路１０Ｂの第２導波路部１２のそれぞれが接続されている。第１光カプラ１４は光変調器１の外部から入力光ビームを受ける。第１光カプラ１４から第１導波路部１１に伝搬する光ビームは、屈曲する第３導波路部１３において伝搬方向を変えられる。第３導波路部１３において伝搬方向を変えられた光ビームは、第２導波路部１２および第２光カプラ１５に伝搬する。第２光カプラ１５に伝搬した光ビームは出力光ビームとして光変調器１の外部に出力される。

【0028】

光変調器１は、例えば、進行波型の差動信号路２０を有する。差動信号路２０は、第１信号線２１、第２信号線２２および基準電位線２３を備える。第１信号線２１および第２信号線２２のそれぞれは、第１アーム導波路１０Ａおよび第２アーム導波路１０Ｂに印加される電気信号（光変調器の駆動信号ともいう）を伝送する。基準電位線２３は、差動信号路２０の基準電気面を提供する。第１信号線２１は、例えば、第１導体部２１ｂ、第２導体部２１ｃおよび第１交差導体部２１ｄ（交差導体部）を含む。第１導体部２１ｂは第１方向Ｄ１に延在するとともに第１アーム導波路１０Ａの第１導波路部１１に接続される。第２導体部２１ｃは第２方向Ｄ２に延在するとともに第１アーム導波路１０Ａの第２導波路部１２に接続される。第１交差導体部２１ｄは、第１導体部２１ｂに第２導体部２１ｃを接続する。

【0029】

第２信号線２２は、第１導体部２２ｂ、第２導体部２２ｃおよび第２交差導体部２２ｄ（交差導体部）を含む。第１導体部２２ｂは、第２アーム導波路１０Ｂの第１導波路部１１に沿って第１方向Ｄ１に延在するとともに第２アーム導波路１０Ｂの第１導波路部１１に接続される。第２導体部２２ｃは、第２アーム導波路１０Ｂの第２導波路部１２に沿って第２方向Ｄ２に延在するとともに第２アーム導波路１０Ｂの第２導波路部１２に接続される。第２交差導体部２２ｄは、第１導体部２２ｂに第２導体部２２ｃを接続する。第１信号線２１の第１交差導体部２１ｄ、および第２信号線２２の第２交差導体部２２ｄは、第４方向Ｄ４に互いに離隔する部分を有し、当該部分において第１信号線２１および第２信号線２２は互いに立体的に交差する。

【0030】

光変調器１において、第１アーム導波路１０Ａおよび第２アーム導波路１０Ｂは、第１アーム導波路１０Ａの第１導波路部１１、および第２アーム導波路１０Ｂの第１導波路部１１のそれぞれを、第１アーム導波路１０Ａの第２導波路部１２、および第２アーム導波路１０Ｂの第２導波路部１２のそれぞれに光学的に結合するように屈曲している。第１アーム導波路１０Ａの第１導波路部１１、および第２アーム導波路１０Ｂの第１導波路部１１のそれぞれに接続される第１信号線２１および第２信号線２２は、第１交差導体部２１ｄおよび第２交差導体部２２ｄにおいて互いに立体的に交差する。第１信号線２１および第２信号線２２の交差により、第１アーム導波路１０Ａおよび第２アーム導波路１０Ｂのルーティングにおける外回りおよび内回りの配置から独立して第１信号線２１および第２信号線２２をルーティングできる。この独立したルーティングにより、第１アーム導波路１０Ａおよび第２アーム導波路１０Ｂの外回りおよび内回りに起因して第１信号線２１を伝搬する電気信号、および第２信号線２２を伝搬する電気信号の間に生じるスキューを低減できる。

【0031】

基準電位線２３は、第１導体部２３ｂ、第２導体部２３ｃおよび交差導体部２３ｄを含む。第１導体部２３ｂは、第３方向Ｄ３において、第１信号線２１の第１導体部２１ｂと、第２信号線２２の第１導体部２２ｂとの間に位置する。交差導体部２３ｄは、第１信号線２１の第１交差導体部２１ｄ、および第２信号線２２の第２交差導体部２２ｄのそれぞれと立体的に交差している。

【0032】

第１信号線２１において、第２導体部２１ｃは、第１アーム導波路１０Ａの第２導波路部１２に接続される。第２導体部２１ｃは、第１アーム導波路１０Ａの第２導波路部１２に沿って第２方向Ｄ２に延在する。第２信号線２２において、第２導体部２２ｃは、第２アーム導波路１０Ｂの第２導波路部１２に接続される。第２導体部２２ｃは、第２アーム導波路１０Ｂの第２導波路部１２に沿って第２方向Ｄ２に延在する。

【0033】

図２は、図１のＡ－Ａ線断面図である。図２に示されるように、光変調器１では、半導体メサ３１が絶縁体に埋め込まれており、この絶縁体は樹脂体３２およびシリコン系無機絶縁膜３３，３４，３５を含む。絶縁体によって埋め込まれた半導体メサ３１上を下側導体層３６が延在している。下側導体層３６は、半導体メサ３１の上面に接触している。下側導体層３６とは別に絶縁体上を上側導体層３７が延在している。半導体メサ３１は、第３方向Ｄ３に沿って並ぶ第１半導体メサ３１ｂおよび第２半導体メサ３１ｃを含む。第１半導体メサ３１ｂの上方に位置する下側導体層３６および上側導体層３７が第１信号線２１を構成する。第２半導体メサ３１ｃの上方に位置する下側導体層３６および上側導体層３７が第２信号線２２を構成する。第１信号線２１と第２信号線２２との間には、上側導体層３７からなる基準電位線２３が形成されている。光変調器１は、基板ＳＵＢの上に形成されている。

【0034】

図３は、光変調器１の差動信号路２０を示す平面図である。図３に示されるように、差動信号路２０は、屈曲部Ｐにおいて、それぞれ第１方向Ｄ１に延在する第１信号線２１および第２信号線２２によって構成される第１伝送路２０Ａと、それぞれ第３方向Ｄ３に延在する第１信号線２１および第２信号線２２によって構成される第２伝送路２０Ｂとを含む。第２伝送路２０Ｂは、変調器部Ｍの差動信号路２０の特性インピーダンスと同一の特性インピーダンスを有するとともに、変調器部Ｍの差動信号路２０の伝搬速度より大きい伝搬速度を有する。さらに、差動信号路２０は、それぞれ第２方向Ｄ２に延在する第１信号線２１および第２信号線２２によって構成される第３伝送路２０Ｃを含む。第１交差導体部２１ｄおよび第２交差導体部２２ｄのそれぞれは、第１伝送路２０Ａおよび第２伝送路２０Ｂを互いに接続するとともに、第２伝送路２０Ｂおよび第３伝送路２０Ｃを互いに接続する。

【0035】

差動信号路２０は、スローウェーブ線路４０を有する。「スローウェーブ線路」とは、差動信号路を構成する伝送線路のうち、インダクタおよびキャパシタ（容量）の分布定数回路で表したときに容量が増加する構成とされた伝送線路である。例えば、差動信号路２０は複数のスローウェーブ線路４０を有する。複数のスローウェーブ線路４０は、第１伝送路２０Ａに形成された第１スローウェーブ線路４０Ａと、第２伝送路２０Ｂに形成された第２スローウェーブ線路４０Ｂと、第３伝送路２０Ｃに形成された第３スローウェーブ線路４０Ｃとを含む。

【0036】

第１伝送路２０Ａは、それぞれ第１方向Ｄ１に延在する第１信号線２１および第２信号線２２と、第３方向Ｄ３に延在するとともに平面視において第１信号線２１および第２信号線２２と重複する部分４１ｂ，４１ｃを有する第１下層導体４１とを有する。第１伝送路２０Ａを構成する第１信号線２１および第２信号線２２は、平面視において光導波路１０の第１導波路部１１を間に挟むように配置される。第１下層導体４１によって第１スローウェーブ線路４０Ａが構成されている。第１下層導体４１は電気的にフローティングとされている。第１下層導体４１は、例えば、下側導体層３６によって構成されてもよい。

【0037】

平面視において第１信号線２１と重なる第１下層導体４１の部分４１ｂは、第１下層導体４１の第３方向Ｄ３とは反対方向（あるいは外側）の端に位置する。平面視において第２信号線２２と重なる第１下層導体４１の部分４１ｃは、第１下層導体４１の第３方向Ｄ３（あるいは内側）の端に位置する。第１下層導体４１の幅（第１方向Ｄ１の長さ）は、例えば、第１信号線２１の幅（第３方向Ｄ３の長さ）より狭く、かつ第２信号線２２の幅（第３方向Ｄ３の長さ）よりも狭い。第１伝送路２０Ａは複数の第１下層導体４１を有し、複数の第１下層導体４１は第１方向Ｄ１に沿って一定間隔で配置されている。一例として、第１下層導体４１の数は２本である。しかしながら、第１下層導体４１の数は特に限定されない。

【0038】

第２伝送路２０Ｂは、それぞれ第３方向Ｄ３に延在する第１信号線２１および第２信号線２２と、第１方向Ｄ１に延在するとともに平面視において第１信号線２１および第２信号線２２と重複する部分４２ｂ，４２ｃを有する第２下層導体４２とを有する。第２伝送路２０Ｂを構成する第１信号線２１および第２信号線２２は、平面視において光導波路１０の第３導波路部１３を間に挟むように配置される。第２下層導体４２によって第２スローウェーブ線路４０Ｂが構成されている。第２下層導体４２は電気的にフローティングとされている。第２下層導体４２は、例えば、下側導体層３６によって構成されてもよい。なお、第２伝送路２０Ｂは、第３導波路部１３に接続されないため、第３導波路部１３を挟むように配置されていなくてもよい。例えば、第３導波路部１３は、第２伝送路２０Ｂと変調器部Ｍとの間に配置されていてもよい。あるいは、第２伝送路２０Ｂは、第３導波路部１３と変調器部Ｍとの間に配置されていてもよい。このように、第１方向Ｄ１（あるいは第２方向Ｄ２）における第３導波路部１３と第２伝送路２０Ｂとの位置関係を調整することにより、屈曲部Ｐにおける電気信号と光信号との間の位相差を調整することができる。

【0039】

平面視において第１信号線２１と重なる第２下層導体４２の部分４２ｂは、第２下層導体４２の第１方向Ｄ１とは反対方向（あるいは内側）の端に位置する。平面視において第２信号線２２と重なる第２下層導体４２の部分４２ｃは、第２下層導体４２の第１方向Ｄ１（あるいは外側）の端に位置する。第２下層導体４２の幅（第３方向Ｄ３の長さ）は、例えば、第１信号線２１の幅（第１方向Ｄ１の長さ）より狭く、かつ第２信号線２２の幅（第１方向Ｄ１の長さ）よりも狭い。第２下層導体４２の幅は、例えば、第１下層導体４１の幅よりも狭い。第２伝送路２０Ｂは複数の第２下層導体４２を有し、複数の第２下層導体４２は第３方向Ｄ３に沿って一定間隔で配置されている。一例として、第２下層導体４２の数は３本である。しかしながら、第２下層導体４２の数は特に限定されない。

【0040】

第３伝送路２０Ｃは、それぞれ第２方向Ｄ２に延在する第１信号線２１および第２信号線２２と、第３方向Ｄ３に延在するとともに平面視において第１信号線２１および第２信号線２２と重複する部分４３ｂ，４３ｃを有する第３下層導体４３とを有する。第３伝送路２０Ｃを構成する第１信号線２１および第２信号線２２は、平面視において光導波路１０の第２導波路部１２を間に挟むように配置される。第３下層導体４３によって第３スローウェーブ線路４０Ｃが構成されている。第３下層導体４３は電気的にフローティングとされている。第３下層導体４３は、例えば、下側導体層３６によって構成されてもよい。

【0041】

平面視において第１信号線２１と重なる第３下層導体４３の部分４３ｂは、第３下層導体４３の第３方向Ｄ３（あるいは外側）の端に位置する。平面視において第２信号線２２と重なる第３下層導体４３の部分４３ｃは、第３下層導体４３の第３方向Ｄ３とは反対方向（あるいは内側）の端に位置する。第３下層導体４３の幅（第２方向Ｄ２の長さ）は、例えば、第１信号線２１の幅（第３方向Ｄ３の長さ）より狭く、かつ第２信号線２２の幅（第３方向Ｄ３の長さ）よりも狭い。例えば、第３下層導体４３の幅は、第１下層導体４１の幅と同一である。第３伝送路２０Ｃは複数の第３下層導体４３を有し、複数の第３下層導体４３は第２方向Ｄ２に沿って一定間隔で配置されている。一例として、第３下層導体４３の数は２本である。しかしながら、第３下層導体４３の数は特に限定されない。

【0042】

図４は、変形例に係るスローウェーブ線路５０を示す平面図である。図５は、図４のＢ－Ｂ線断面図である。スローウェーブ線路５０は、第１伝送路２０Ａにおいて第１スローウェーブ線路４０Ａに代えて設けられる。ただし、スローウェーブ線路５０は、第２伝送路２０Ｂにおいて第２スローウェーブ線路４０Ｂに代えて設けられてもよいし、第３伝送路２０Ｃにおいて第３スローウェーブ線路４０Ｃに代えて設けられてもよい。スローウェーブ線路５０は、第１信号線２１から第２信号線２２まで延びる５本の下層導体５１を有する。下層導体５１は、第１信号線２１および第２信号線２２から第４方向Ｄ４に離隔している。より具体的には、下層導体５１は、第１信号線２１および第２信号線２２が延在する方向（例えば第１方向Ｄ１）に直交する平面に沿った断面において、第１信号線２１および第２信号線２２よりも下方に位置する。したがって、下層導体５１は、第１信号線２１および第２信号線２２と基板ＳＵＢとの間に位置する。下層導体５１は、前述した第１下層導体４１等と同様、電気的にフローティングとされている。下層導体５１は、例えば、下側導体層３６によって構成されてもよい。

【0043】

スローウェーブ線路５０における特性インピーダンスＺ_０と電気信号の速度である伝搬速度ｖ_ｐとの関係について説明する。まず、特性インピーダンスＺ_０は以下の式（１）によって求められる。

【数1】

Ｒは伝送線路の単位長さ当たりの抵抗、Ｌはインダクタンス、Ｇはコンダクタンス、Ｃはキャパシタンスである。そして、伝搬定数γが以下の式（２）によって求められる。

【数2】

αは減衰定数、βは位相定数である。伝搬速度ｖ_ｐは以下の式（３）によって求められる。

【数3】

ここで、ＲとＧが十分に小さい（Ｒ＜＜ｊωＬおよびＧ＜＜ｊωＣである）場合、特性インピーダンスＺ_０および伝搬速度ｖ_ｐは以下の式（４）および式（５）によって求められる。例えば、電気信号の周波数ｆが１０ＧＨｚ以上になると、角周波数ω＝２πｆが十分に大きくなり、式（４）および式（５）によって扱うことができる。

【数4】

【数5】

【0044】

式（４）および式（５）に示されるように、特性インピーダンスＺ_０および伝搬速度ｖ_ｐのいずれも、インダクタンスＬおよびキャパシタンスＣに依存し、伝送線路の形状によって決まる。スローウェーブ線路５０は、下層に短冊状の下層導体５１を有する構造を備える。これにより、特性インピーダンスＺ_０および伝搬速度ｖ_ｐのそれぞれを独立に制御できる。例えば、下層導体５１の間隔を狭めて配線密度を密にしたり、第１信号線２１の信号線幅Ｗを太くすることによってキャパシタンスＣを増加できる。また、第１信号線２１と第２信号線２２の間隔ｄを大きくすることによってＬを増加できる。式（４）および式（５）によれば、Ｌ／Ｃ（ＬとＣの比）を一定にしつつ、ＬおよびＣの双方を増加させることにより、特性インピーダンスＺ_０を一定にするとともに伝搬速度ｖ_ｐを低下させることができる。スローウェーブ線路５０が設けられることにより、特性インピーダンスＺ_０および伝搬速度ｖ_ｐのそれぞれを独立に制御できるので、特性インピーダンスＺ_０の整合と伝搬速度ｖ_ｐの整合との両立を実現できる。

【0045】

スローウェーブ線路５０では、下層導体５１が配置されることにより、下層導体５１を介して第１信号線２１と第２信号線２２との間の容量が付加され、第１信号線２１と第２信号線２２との間のキャパシタンスを増加させることができる。以下では、スローウェーブ線路５０を有する第１信号線２１および第２信号線２２（以下では、実施例と称する）、ならびにスローウェーブ線路５０を有しない第１信号線２１および第２信号線２２（以下では比較例と称する）における特性インピーダンスＺ_０と伝搬速度ｖ_ｐとの関係のシミュレーションについて説明する。このシミュレーションでは、第１信号線２１の長さ、および第２信号線２２の長さを２００μｍ、第１信号線２１と第２信号線２２との間隔ｄを１００μｍ、信号線幅Ｗを４０μｍ、下層導体５１の幅ｗｆを５μｍ、互いに隣接する２本の下層導体５１の間隔ｄｆを２９μｍとした。このシミュレーションの結果を以下の表１に示す。

【表1】

スローウェーブ線路５０を有する実施例の場合、第１信号線２１と第２信号線２２との間隔ｄを広げることによってインダクタンスＬとキャパシタンスＣを同じ割合で増加できる。よって、インピーダンスＺ_０を１００Ω程度に維持しつつ、遅延時間を１．３８ｐｓから２．１４ｐｓと約１．５倍増加できることが分かる。そして、伝搬速度ｖｐを１／１．５倍に低下できることが分かる。

【0046】

次に、本実施形態に係る光変調器１から得られる作用効果について説明する。光変調器１は光導波路１０と差動信号路２０とを備え、光導波路１０は、第１方向Ｄ１に延在する第１導波路部１１と、第２方向Ｄ２に延在する第２導波路部１２と、第１導波路部１１および第２導波路部１２を互いに光学的に結合する第３導波路部１３とを含む。差動信号路２０は、第１伝送路２０Ａと、第２伝送路２０Ｂと、交差導体部（第１交差導体部２１ｄおよび第２交差導体部２２ｄ）とを含む。差動信号路２０は、屈曲部Ｐにおいて第１方向Ｄ１に延在する第１信号線２１および第２信号線２２によって構成される第１伝送路２０Ａと、第３方向Ｄ３に延在する第１信号線２１および第２信号線２２によって構成される第２伝送路２０Ｂと、第１伝送路２０Ａおよび第２伝送路２０Ｂを互いに接続する上記の交差導体部とを含む。第１伝送路２０Ａおよび第２伝送路２０Ｂは、スローウェーブ線路４０を含む。第１伝送路２０Ａおよび第２伝送路２０Ｂがスローウェーブ線路４０を含むことにより、スローウェーブ線路４０において電気信号の速度を低下させることができる。屈曲部Ｐに設けられたスローウェーブ線路４０によって、屈曲部Ｐにおいて光信号と電気信号との間の位相整合を行うことができる。その結果、屈曲部Ｐの出力部において位相のずれが生じないようにすることができる。

【0047】

本実施形態において、第１伝送路２０Ａは、第１方向Ｄ１に延在する第１信号線２１および第２信号線２２と、第３方向Ｄ３に延在するとともに平面視において第１信号線２１および第２信号線２２と重複する部分４１ｂ，４１ｃを有する第１下層導体４１と、を有してもよい。この場合、第１伝送路２０Ａが第１スローウェーブ線路４０Ａを有し、第１スローウェーブ線路４０Ａは第１下層導体４１によって構成される。したがって、屈曲部Ｐの入力部に相当する第１伝送路２０Ａにおいて電気信号の速度を低下させることができる。

【0048】

上記の入力部は、屈曲部Ｐに光信号および電気信号が入る部分を示している。一方、出力部は、屈曲部Ｐから光信号および電気信号が出る部分を示している。入力部から出力部に伝搬する時間を伝搬時間とすると、電気信号の伝搬時間ｔｅは光信号の伝搬時間ｔｏと等しくなるように設定されている。すなわち、光信号の伝搬時間ｔｏと等しくなるように、第１伝送路２０Ａにおける電気信号の伝搬速度ｖｐ１、第２伝送路２０Ｂにおける電気信号の伝搬速度ｖｐ２、および第３伝送路２０Ｃにおける電気信号の伝搬速度ｖｐ３が設定されている。より具体的には、第１伝送路２０Ａの長さをＬｅ１、第２伝送路２０Ｂの長さをＬｅ２、第３伝送路２０Ｃの長さをＬｅ３、とすると、
ｔｅ＝（Ｌｅ１／ｖｐ１）＋（Ｌｅ２／ｖｐ２）＋（Ｌｅ３／ｖｐ３）＝ｔｏ
の関係を満たすように、伝搬速度ｖｐ１，ｖｐ２，ｖｐ３が設定されている。ここで「等しい」とは、実用上許容できる範囲内で値が異なっていてもよい。許容できる範囲は、例えば、相対誤差で５％以内である。

【0049】

本実施形態において、第１伝送路２０Ａは、複数の第１下層導体４１を有してもよい。複数の第１下層導体４１は、第１方向Ｄ１に沿って一定間隔で配置されており、それぞれ電気的にフローティングとされていてもよい。この場合、第１伝送路２０Ａの第１スローウェーブ線路４０Ａにおいて電気的にフローティングとされた複数の第１下層導体４１が設けられている。したがって、第１伝送路２０Ａにおいて電気信号の速度をより確実に低下させることができる。

【0050】

本実施形態において、第２伝送路２０Ｂは、第３方向Ｄ３に延在する第１信号線２１および第２信号線２２と、第１方向Ｄ１に延在するとともに平面視において第１信号線２１および第２信号線２２と重複する部分４２ｂ，４２ｃを有する第２下層導体４２と、を有してもよい。この場合、第２伝送路２０Ｂが第２スローウェーブ線路４０Ｂを有し、第２スローウェーブ線路４０Ｂは第２下層導体４２によって構成される。したがって、屈曲部Ｐに位置する第２伝送路２０Ｂにおいて電気信号の速度を低下させることができる。

【0051】

本実施形態において、第２伝送路２０Ｂは、複数の第２下層導体４２を有してもよい。複数の第２下層導体４２は、第３方向Ｄ３に沿って一定間隔で配置されており、それぞれ電気的にフローティングされていてもよい。この場合、第２伝送路２０Ｂの第２スローウェーブ線路４０Ｂにおいて電気的にフローティングとされた複数の第２下層導体４２が設けられている。したがって、第２伝送路２０Ｂにおいて電気信号の速度をより確実に低下させることができる。

【0052】

次に、変形例に係る光変調器６１について図６を参照しながら説明する。光変調器６１の一部の構成は、前述した光変調器１の一部の構成と同一である。よって、以下では、既出の説明と同一の説明については同一の符号を付して適宜省略する。光変調器６１は、前述したスローウェーブ線路４０およびスローウェーブ線路５０とは異なるスローウェーブ線路７０を有する。例えば、差動信号路２０は、複数のスローウェーブ線路７０を有する。複数のスローウェーブ線路７０は、第１伝送路２０Ａに形成された第１スローウェーブ線路７０Ａと、第２伝送路２０Ｂに形成された第２スローウェーブ線路７０Ｂと、第３伝送路２０Ｃに形成された第３スローウェーブ線路７０Ｃとを含む。

【0053】

図７は、光変調器６１の差動信号路２０を示す平面図である。第１伝送路２０Ａの第１信号線２１は、第１伝送路２０Ａの第２信号線２２に向かって延びる櫛歯状の第１櫛歯部７１を有する。第１スローウェーブ線路７０Ａは複数の第１櫛歯部７１を有し、複数の第１櫛歯部７１は第１方向Ｄ１に沿って並んでいる。第１櫛歯部７１の幅（第１方向Ｄ１の長さ）は、例えば、第１信号線２１の幅（第３方向Ｄ３の長さ）、および第２信号線２２の幅（第３方向Ｄ３の長さ）よりも狭い。一例として、第１櫛歯部７１の数は２本である。しかしながら、第１櫛歯部７１の数は特に限定されない。

【0054】

第１伝送路２０Ａの第２信号線２２は、第１伝送路２０Ａの第１信号線２１に向かって延びる櫛歯状の第２櫛歯部７２を有する。第１伝送路２０Ａは、第１櫛歯部７１と第２櫛歯部７２との間にキャパシタンスを有する。第１櫛歯部７１および第２櫛歯部７２は第１スローウェーブ線路７０Ａを構成する。第１櫛歯部７１の第３方向Ｄ３の長さＬ１と、第２櫛歯部７２の第３方向Ｄ３の長さＬ２との和は、第１伝送路２０Ａにおける第１信号線２１と第２信号線２２との間隔ｄ１よりも大きい。第２櫛歯部７２の第３方向Ｄ３の長さＬ２は、第１櫛歯部７１の第３方向Ｄ３の長さＬ１と同一であってもよい。

【0055】

第１スローウェーブ線路７０Ａは複数の第２櫛歯部７２を有し、複数の第２櫛歯部７２は第１方向Ｄ１に沿って並んでいる。第１櫛歯部７１および第２櫛歯部７２は第１方向Ｄ１に沿って交互に並んでいる。第２櫛歯部７２の幅（第１方向Ｄ１の長さ）は、例えば、第１信号線２１の幅、および第２信号線２２の幅よりも狭い。一例として、第２櫛歯部７２の数は３本である。しかしながら、第２櫛歯部７２の数は特に限定されない。第１スローウェーブ線路４０Ａは、例えば、第１下層導体４１を構成するために下側導体層３６を使用する。それに対して、第１スローウェーブ線路７０Ａは、第１櫛歯部７１および第２櫛歯部７２が第１信号線２１および第２信号線と同じ上側導体層３７によって構成されるため、第１スローウェーブ線路４０Ａよりも容易に構成することができる。同様に、第２スローウェーブ線路７０Ｂおよび第３スローウェーブ線路７０Ｃも上側導体層３７のみで構成することができる。

【0056】

図８は、第２スローウェーブ線路７０Ｂを拡大した平面図である。図７および図８に示されるように、第２伝送路２０Ｂの第１信号線２１は、第２伝送路２０Ｂの第２信号線２２に向かって延びる櫛歯状の第３櫛歯部７３を有する。第２伝送路２０Ｂの第２信号線２２は、第２伝送路２０Ｂの第１信号線２１に向かって延びる櫛歯状の第４櫛歯部７４を有する。第２スローウェーブ線路７０Ｂは複数の第３櫛歯部７３を有し、複数の第３櫛歯部７３は第３方向Ｄ３に沿って並んでいる。第３櫛歯部７３の幅（第３方向Ｄ３の長さ）は、例えば、第１信号線２１の幅（第１方向Ｄ１の長さ）、および第２信号線２２の幅（第１方向Ｄ１の長さ）よりも狭い。一例として、第３櫛歯部７３の数は２本である。しかしながら、第３櫛歯部７３の数は特に限定されない。

【0057】

第２伝送路２０Ｂの第２信号線２２は、第２伝送路２０Ｂの第１信号線２１に向かって延びる櫛歯状の第４櫛歯部７４を有する。第２伝送路２０Ｂは、第３櫛歯部７３と第４櫛歯部７４との間にキャパシタンスを有する。図９は、図７のＣ－Ｃ線断面図、および図７のＤ－Ｄ線断面図を示している。図９に示されるように、第３櫛歯部７３および第４櫛歯部７４はともに基準電位線２３から離隔している。例えば、第３櫛歯部７３および第４櫛歯部７４は基準電位線２３の上方に位置する。第３櫛歯部７３および第４櫛歯部７４では、櫛歯幅Ｅまたは長さＬ３，Ｌ４を大きくすることによってキャパシタンスＣを増加させることができる。そして、第１信号線２１と第２信号線２２との間隔ｄ２を長くすることによってインダクタンスＬを増加させることができる。したがって、前述した実施形態と同様、特性インピーダンスＺ_０および伝搬速度ｖ_ｐのそれぞれを独立に制御できる。ただし、長さＬ３，Ｌ４は、スタブとしての悪影響を避けるため、高周波信号の波長λの１／４以下であることが望ましい。第１櫛歯部７１および第２櫛歯部７２、ならびに後述する第５櫛歯部７５および第６櫛歯部７６も同様である。

【0058】

図７および図８に示されるように、第３櫛歯部７３および第４櫛歯部７４は第２スローウェーブ線路７０Ｂを構成する。第３櫛歯部７３の第２方向Ｄ２の長さＬ３と、第４櫛歯部７４の第２方向Ｄ２の長さＬ４との和は、第２伝送路２０Ｂにおける第１信号線２１と第２信号線２２との間隔ｄ２よりも大きい。第４櫛歯部７４の第２方向Ｄ２の長さＬ４は、第３櫛歯部７３の第２方向Ｄ２の長さＬ３と同一であってもよい。第２スローウェーブ線路７０Ｂは複数の第４櫛歯部７４を有し、複数の第４櫛歯部７４は第３方向Ｄ３に沿って並んでいる。第３櫛歯部７３および第４櫛歯部７４は第３方向Ｄ３に沿って交互に並んでいる。第４櫛歯部７４の幅（第３方向Ｄ３の長さ）は、例えば、第１信号線２１の幅、および第２信号線２２の幅よりも狭い。一例として、第４櫛歯部７４の数は３本である。しかしながら、第４櫛歯部７４の数は特に限定されない。

【0059】

第３伝送路２０Ｃの第１信号線２１は、第３伝送路２０Ｃの第２信号線２２に向かって延びる櫛歯状の第５櫛歯部７５を有する。第３スローウェーブ線路７０Ｃは複数の第５櫛歯部７５を有し、複数の第５櫛歯部７５は第２方向Ｄ２に沿って並んでいる。第５櫛歯部７５の幅（第２方向Ｄ２の長さ）は、例えば、第１信号線２１の幅（第３方向Ｄ３の長さ）、および第２信号線２２の幅（第２方向Ｄ２の長さ）よりも狭い。一例として、第５櫛歯部７５の数は２本である。しかしながら、第５櫛歯部７５の数は特に限定されない。

【0060】

第３伝送路２０Ｃの第２信号線２２は、第３伝送路２０Ｃの第１信号線２１に向かって延びる櫛歯状の第６櫛歯部７６を有する。第３伝送路２０Ｃは、第５櫛歯部７５と第６櫛歯部７６との間にキャパシタンスを有する。第５櫛歯部７５および第６櫛歯部７６は第３スローウェーブ線路７０Ｃを構成する。第５櫛歯部７５の第３方向Ｄ３の長さＬ５と、第６櫛歯部７６の第３方向Ｄ３の長さＬ６との和は、第３伝送路２０Ｃにおける第１信号線２１と第２信号線２２との間隔ｄ３よりも大きい。第６櫛歯部７６の第３方向Ｄ３の長さＬ６は、第５櫛歯部７５の第３方向Ｄ３の長さＬ５と同一であってもよい。

【0061】

第３スローウェーブ線路７０Ｃは複数の第６櫛歯部７６を有し、複数の第６櫛歯部７６は第２方向Ｄ２に沿って並んでいる。第５櫛歯部７５および第６櫛歯部７６は第２方向Ｄ２に沿って交互に並んでいる。第６櫛歯部７６の幅（第２方向Ｄ２の長さ）は、例えば、第１信号線２１の幅、および第２信号線２２の幅よりも狭い。一例として、第６櫛歯部７６の数は３本である。しかしながら、第６櫛歯部７６の数は特に限定されない。

【0062】

以上、変形例に係る光変調器６１において、第１伝送路２０Ａの第１信号線２１は、第１伝送路２０Ａの第２信号線２２に向かって延びる櫛歯状の第１櫛歯部７１を有し、第１伝送路２０Ａの第２信号線２２は、第１伝送路２０Ａの第１信号線２１に向かって延びる櫛歯状の第２櫛歯部７２を有する。第１伝送路２０Ａは、第１櫛歯部７１と第２櫛歯部７２との間にキャパシタンスを有する。この場合、第１伝送路２０Ａにおいて、第１信号線２１は第１櫛歯部７１を有し、第２信号線２２は第２櫛歯部７２を有する。第１櫛歯部７１と第２櫛歯部７２との間にキャパシタンスが形成されているので、第１信号線２１において電気信号の速度を低下させることができる。第１櫛歯部７１と第２櫛歯部７２との間のキャパシタンスは、例えば、第１信号線２１および第２信号線２２と同じ上側導体層３７で構成することができる。

【0063】

光変調器６１において、第２伝送路２０Ｂの第１信号線２１は、第２伝送路２０Ｂの第２信号線２２に向かって延びる櫛歯状の第３櫛歯部７３を有し、第２伝送路２０Ｂの第２信号線２２は、第２伝送路２０Ｂの第１信号線２１に向かって延びる櫛歯状の第４櫛歯部７４を有する。第２伝送路２０Ｂは、第３櫛歯部７３と第４櫛歯部７４との間にキャパシタンスを有する。この場合、第２伝送路２０Ｂにおいて、第１信号線２１は第３櫛歯部７３を有し、第２信号線２２は第４櫛歯部７４を有する。第３櫛歯部７３と第４櫛歯部７４との間にキャパシタンスが形成されているので、第２伝送路２０Ｂにおいて電気信号の速度を低下させることができる。第３櫛歯部７３と第４櫛歯部７４との間のキャパシタンスは、例えば、第１信号線２１および第２信号線２２と同じ上側導体層３７で構成することができる。

【0064】

以上、本開示に係る実施形態および変形例について説明した。しかしながら、本発明は、前述の実施形態または変形例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した要旨の範囲内において適宜変更可能である。また、本開示に係る光変調器は、前述の実施形態および変形例のうちの複数の例が組み合われたものであってもよい。例えば、本開示に係る光変調器の各部の構成、形状、大きさ、材料、数および配置態様は、前述した実施形態または変形例に限られず適宜変更可能である。

【0065】

例えば、前述の実施形態では、第１伝送路２０Ａが第１スローウェーブ線路４０Ａを有し、第２伝送路２０Ｂが第２スローウェーブ線路４０Ｂを有し、さらに第３伝送路２０Ｃが第３スローウェーブ線路４０Ｃを有する例について説明した。しかしながら、第１伝送路２０Ａ、第２伝送路２０Ｂおよび第３伝送路２０Ｃの一部のみがスローウェーブ線路を有していてもよい。前述の実施形態では、第１信号線２１、第２信号線２２および基準電位線２３を有する差動信号路２０について説明した。しかしながら、差動信号路２０によって一対の相補信号を有する差動信号を伝送する場合、基準電位線２３は省略することが可能であり、第１信号線および第２信号線のみを有する差動信号路であってもよい。例えば、差動信号は、正相成分（正相信号）および逆相成分（逆相信号）を有し、逆相信号は、正相信号の位相と１８０°異なる位相を有する。差動信号路２０は、伝送線路を構成し、差動信号の伝送に関して特性インピーダンスを有する。

【符号の説明】

【0066】

１…光変調器
１０…光導波路
１０Ａ…第１アーム導波路
１０Ｂ…第２アーム導波路
１１…第１導波路部
１２…第２導波路部
１３…第３導波路部
１３ｂ…第１部分
１３ｃ…第２部分
１３ｄ…第３部分
１４…第１光カプラ
１５…第２光カプラ
２０…差動信号路
２０Ａ…第１伝送路
２０Ｂ…第２伝送路
２０Ｃ…第３伝送路
２１…第１信号線
２１ｂ…第１導体部
２１ｃ…第２導体部
２１ｄ…第１交差導体部（交差導体部）
２２…第２信号線
２２ｂ…第１導体部
２２ｃ…第２導体部
２２ｄ…第２交差導体部（交差導体部）
２３…基準電位線
２３ｂ…第１導体部
２３ｃ…第２導体部
２３ｄ…交差導体部
３１…半導体メサ
３１ｂ…第１半導体メサ
３１ｃ…第２半導体メサ
３２…樹脂体
３３，３４，３５…シリコン系無機絶縁膜
３６…下側導体層
３７…上側導体層
４０…スローウェーブ線路
４０Ａ…第１スローウェーブ線路
４０Ｂ…第２スローウェーブ線路
４０Ｃ…第３スローウェーブ線路
４１…第１下層導体（第１交差配線）
４１ｂ，４１ｃ…部分
４２…第２下層導体（第２交差配線）
４２ｂ，４２ｃ…部分
４３…第３下層導体
４３ｂ，４３ｃ…部分
５０…スローウェーブ線路
５１…下層導体
６１…光変調器
７０…スローウェーブ線路
７０Ａ…第１スローウェーブ線路
７０Ｂ…第２スローウェーブ線路
７０Ｃ…第３スローウェーブ線路
７１…第１櫛歯部
７２…第２櫛歯部
７３…第３櫛歯部
７４…第４櫛歯部
７５…第５櫛歯部
７６…第６櫛歯部
Ｍ…変調器部
Ｐ…屈曲部
ＳＵＢ…基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】