特開 2024-154708 ワークのクリーニング装置と、クリーニング方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024154708

(43)【公開日】2024-10-31

(54)【発明の名称】ワークのクリーニング装置と、クリーニング方法

(51)【国際特許分類】

   G11B 5/60 20060101AFI20241024BHJP

   B08B 5/00 20060101ALI20241024BHJP

   G11B 21/21 20060101ALI20241024BHJP

【ＦＩ】

G11B5/60 Z

B08B5/00 A

G11B21/21 Z

G11B5/60 C

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023068683

(22)【出願日】2023-04-19

(71)【出願人】

【識別番号】000004640

【氏名又は名称】日本発條株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001737

【氏名又は名称】弁理士法人スズエ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】古田 英次郎

【テーマコード（参考）】

3B116

【Ｆターム（参考）】

3B116AA46

3B116AB03

3B116AB32

3B116AB42

3B116BB22

3B116BB72

3B116BB88

3B116BB89

(57)【要約】

【課題】ワークを気体中で効果的に洗浄することができるクリーニング装置を提供する。
【解決手段】クリーニング装置１は、ワークとしてのディスク装置用のサスペンション１０を支持する支持部材７０と、サスペンション１０のアクチュエータ搭載部に設けられた圧電素子と、加振信号発生器８０と、吹付け吸引ユニット７２とを備えている。加振信号発生器８０は、前記圧電素子に加振信号を印加する。加振信号によって前記圧電素子を振動させた状態のもとで、吹付け吸引ユニット７２によってサスペンション１０に空気等の気体を吹き付けるとともに、サスペンション１０の周囲の気体を吸入する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークを洗浄するクリーニング装置であって、
前記ワークに搭載された圧電素子と、
前記ワークに設けられ前記圧電素子と導通する配線部と、
前記ワークを支持する支持部材と、
前記圧電素子に前記配線部を介して加振信号を出力する加振信号発生器と、
前記加振信号発生器と前記配線部とを電気的に接続する給電接続部と、
前記圧電素子が前記加振信号によって振動している状態において前記ワークに気体を吹き付ける気体噴射機構と、
を具備したことを特徴とするワークのクリーニング装置。

【請求項2】

請求項１に記載のクリーニング装置において、
前記加振信号が前記圧電素子に超音波振動を生じさせる振動周波数であるクリーニング装置。

【請求項3】

請求項１に記載のクリーニング装置において、
前記気体噴射機構が前記気体をイオン化する静電気除去装置を備えたクリーニング装置。

【請求項4】

請求項１に記載のクリーニング装置において、
前記ワークの周囲の気体を吸い込む吸引機構を有したクリーニング装置。

【請求項5】

請求項１に記載のクリーニング装置において、
前記ワークがディスク装置用のサスペンションであり、
前記サスペンションのアクチュエータ搭載部に前記圧電素子が配置されたクリーニング装置。

【請求項6】

ワークを気体中で洗浄するクリーニング方法であって、
前記ワークに圧電素子を取付け、
前記圧電素子が取付けられた前記ワークを支持し、
前記圧電素子に加振信号を印加することにより前記圧電素子を振動させるとともに前記ワークを振動させ、
前記ワークが振動している状態において前記ワークに気体を吹き付けることを特徴とするワークのクリーニング方法。

【請求項7】

請求項６に記載のクリーニング方法において、イオン化された気体を前記ワークに吹き付けるクリーニング方法。

【請求項8】

請求項６に記載のクリーニング方法において、
前記ワークがディスク装置用のサスペンションであり、
前記サスペンションのアクチュエータ搭載部に前記圧電素子を固定し、
前記アクチュエータ搭載部に固定された前記圧電素子に超音波振動のための前記加振信号を印加し、
前記圧電素子に超音波振動を生じさせるとともに前記ワークを振動させるクリーニング方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、清浄であることが求められるディスク装置用のサスペンション等のワークを洗浄するクリーニング装置と、クリーニング方法に関する。

【背景技術】

【0002】

パーソナルコンピュータ等の情報処理装置にディスク装置が使用されている。ディスク装置は、スピンドルを中心に回転する磁気ディスクと、ピボット軸を中心に旋回するキャリッジなどを含んでいる。キャリッジのアームに、ディスク装置用のサスペンション（これ以降、単にサスペンションと称すことがある）が設けられている。

【0003】

前記サスペンションは、ベースプレートと、ロードビーム(load beam)と、フレキシャ(flexure)などを備えている。前記フレキシャの先端付近に形成されたジンバ部に、スライダが設けられている。スライダには、ディスクに記録されたデータの読取りや書込み等のアクセスを行なうための素子が設けられている。圧電素子からなるアクチュエータ素子を搭載したサスペンションも知られている。

【0004】

万一、前記サスペンションにパーティクル等の汚染物質が付着していると、ディスク装置に重大な不具合が生じる原因となる。例えばサスペンションの表面に付着したパーティクルが剥がれ落ち、ディスクとスライダとの間に入り込むと、ディスク装置が故障する原因となる。このためディスク装置の製造プロセスにおいて前記サスペンションを十分に洗浄（cleaning）し、サスペンションを清浄な状態に保つ必要がある。洗浄に使用される流体は一般に液体であるが、気体が使用されることもある。

【0005】

特許文献１に記載された洗浄装置は、液体を用いてディスク装置の洗浄を行なうようにしている。特許文献２に記載された洗浄装置は、液中に配置された超音波振動子を有している。この超音波振動子によって液体を振動させ、被洗浄物を振動させると説明されている。特許文献３に記載された洗浄装置は、流体（気体または液体）を被洗浄物に吹き付けることにより被洗浄物を洗浄する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００９－１５８００４号公報

【特許文献2】特開２００６－１１６４０３号公報

【特許文献3】特許第５０１０８７５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

特許文献１や特許文献２のように液体を用いて洗浄を行なう洗浄装置は、液体を収容する洗浄槽が必要である。しかも被洗浄物に付着した液体を乾燥させる工程が必要である。このため洗浄のための設備が大掛かりとなり、しかも乾燥に時間がかかるという問題がある。特許文献２に記載された洗浄装置は、洗浄のための専用の超音波振動子を洗浄槽の内部に配置する必要がある。また被洗浄物の特に洗浄した部位に超音波振動を有効に作用させることができるとは限らない。

【0008】

特許文献３のように流体を被洗浄物に吹き付ける洗浄装置では、流体の吹付けにより被洗浄物が変形する可能性がある。このため被洗浄物が微小で薄く、形状が複雑な場合、被洗浄物に付着したパーティクルを効果的に洗浄することが難しいことがある。特に圧電素子が搭載されたディスク装置用のサスペンションでは、圧電素子の搭載部などにパーティクルが付着している可能性があり、高い清浄度が要求されている。

【0009】

本発明の目的は、ディスク装置用のサスペンションのように高い清浄度が要求されるワークを空気等の気体中で効果的に洗浄することが可能なクリーニング装置と、クリーニング方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0010】

１つの実施形態は、ワークを洗浄するクリーニング装置であって、前記ワークに搭載された圧電素子と、前記ワークに設けられ前記圧電素子と導通する配線部とを有している。さらにこのクリーニング装置は、前記ワークを支持する支持部材と、加振信号発生器と、給電接続部と、気体噴射機構とを具備している。前記加振信号発生器は、前記圧電素子に前記配線部を介して加振信号を出力する。前記給電接続部は、前記加振信号発生器と前記配線部とを電気的に接続する。前記気体噴射機構は、前記圧電素子が前記加振信号によって振動している状態において前記ワークに空気等の気体を吹き付ける。

【0011】

この実施形態のクリーニング装置において、前記加振信号が前記圧電素子に超音波振動を生じさせる振動周波数であってもよい。また前記気体噴射機構が前記気体をイオン化する静電気除去装置を備えてもよい。前記ワークの周囲の気体を吸い込む吸引機構を有してもよい。前記ワークの一例がディスク装置用のサスペンションであり、このサスペンションのアクチュエータ搭載部に前記圧電素子が配置されてもよい。

【0012】

１つの実施形態に係るクリーニング方法は、前記ワークに圧電素子を取付け、前記圧電素子が取付けられた前記ワークを支持し、前記圧電素子に加振信号を出力することにより前記圧電素子を振動させるとともに前記ワークを振動させ、前記ワークが振動している状態において前記ワークに気体を吹き付ける。

【0013】

この実施形態のクリーニング方法において、イオン化された気体を前記ワークに吹き付けてもよい。前記ワークがディスク装置用のサスペンションであり、前記サスペンションのアクチュエータ搭載部に前記圧電素子を固定してもよい。そして前記圧電素子に超音波振動のための前記加振信号を印加し、前記圧電素子に超音波振動を生じさせるとともに前記ワークを振動させてもよい。

【発明の効果】

【0014】

本発明によれば、ディスク装置用のサスペンション等のように高い清浄度が求められるワークを、空気等の気体中で効果的に洗浄することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】１つの実施形態に係るクリーニング装置とワークを模式的に表わした斜視図。

【図2】図１に示されたクリーニング装置の一部とワークの一部の断面図。

【図3】ワークの一例としてのディスク装置用のサスペンションの平面図。

【図4】図３に示されたサスペンションのアクチュエータ搭載部の断面図。

【図5】図１に示されたクリーニング装置のプローブユニットの一部とサスペンションの一部とを模式的に示す斜視図。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下に１つの実施形態に係るクリーニング浄置と、クリーニング方法とについて、図１から図５を参照して説明する。本実施形態のクリーニング浄置は、ワークの一例としてのディスク装置用のサスペンションを空気中で洗浄する工程で使用される。この明細書では、ディスク装置用のサスペンションを単にサスペンションと称すことがある。ただし、ワークがサスペンション以外であってもよい。

【0017】

図１は、クリーニング装置１とワークＷを模式的に表わした斜視図である。図２は、クリーニング装置１の一部と、ワークＷの一部を示す断面図である。図３は、ワークＷの一例としてのディスク装置用のサスペンション１０の平面図である。図３中の両方向矢印Ｘ１はサスペンション１０の長さ方向を示している。図３中の両方向矢印Ｙ１はサスペンション１０の幅方向である。図４はサスペンション１０の一部の断面図である。サスペンション１０には様々な種類があり、図３と図４はほんの一例を示したに過ぎない。

【0018】

サスペンション１０は、ベースプレート１１と、ロードビーム１２と、フレキシャ１３とを含んでいる。フレキシャ１３は、ベースプレート１１の後方に延びるフレキシャテール１３ａを有している。フレキシャテール１３ａの端部に形成されたテールパッド部１３ｂ（図１に示す）に、ディスク装置のアンプ等に接続されるテール電極１４（図５に模式的に示す）が設けられている。

【0019】

図３に示されたようにフレキシャ１３は、メタルベース２０と、メタルベース２０に沿って配置された配線部２１とを有している。配線部２１はテール電極１４と電気的に導通している。メタルベース２０はステンレス鋼の板からなる。配線部２１は、メタルベース２０の上に形成された絶縁層２２（図４に一部を示す）と、絶縁層２２の上に形成された複数の導体２３，２４（図４に一部を示す）とを含んでいる。

【0020】

ロードビーム１２の基部側に第１のアクチュエータ搭載部３０が形成されている。第１のアクチュエータ搭載部３０に、一対の第１の圧電素子３１，３２からなる第１の圧電ユニット３３が配置されている。第１の圧電素子３１，３２は、それぞれ、電気絶縁性の接着剤によって、第１のアクチュエータ搭載部３０に固定されている。一対の第１の圧電素子３１，３２は互いに共通の構成である。

【0021】

第１の圧電素子３１，３２は、それぞれ、ＰＺＴ（ジルコン酸チタン酸鉛）等の圧電体と、第１の電極と、第２の電極とを有している。第１の圧電素子３１，３２は、それぞれ配線部２１の端子２１ａ，２１ｂを介して、電圧を印加することができるようになっている。

【0022】

ディスク装置が完成し製品として使用される際には、第１の圧電素子３１，３２に駆動電圧が印加される。第１の圧電素子３１，３２に駆動電圧が印加されると、電圧の大きさと極性とに応じて、第１の圧電素子３１，３２が伸縮する。これにより、ロードビーム１２を幅方向（図３に両方向矢印Ｙ１で示す方向）に移動させることができる。

【0023】

フレキシャ１３の先端側に第２のアクチュエータ搭載部４０が形成されている。第２のアクチュエータ搭載部４０に、一対の第２の圧電素子４１，４２からなる第２の圧電ユニット４３が配置されている。これら第２の圧電素子４１，４２は互いに共通の構成であるため、これ以降は一方の圧電素子４１を代表して説明する。図４は第２の圧電素子４１を含む第２のアクチュエータ搭載部４０の断面図である。

【0024】

図４に示されたように、第２の圧電素子４１の両端部がそれぞれ電気絶縁性の接着剤４５，４６によって、フレキシャ１３のメタルベース２０に固定されている。第２の圧電素子４１は、ＰＺＴ等からなる圧電体５０と、第１電極５１と、第２電極５２とを有している。第１電極５１は、一方の導電部材５５と導体２３とを介してメタルベース２０に電気的に接続されている。第２電極５２は、他方の導電部材５７を介して導体２４に接続されている。導体２３，２４は配線部２１の一部である。

【0025】

ディスク装置が完成し製品として使用される際には、第２の圧電素子４１，４２に駆動電圧が印加される。第２の圧電素子４１，４２に駆動電圧が印加されると、電圧の大きさと極性とに応じて、第２の圧電素子４１，４２が伸縮する。図４中の両方向矢印Ｘ２は、第２の圧電素子４１が伸縮する方向を示している。第２の圧電素子４１，４２が伸縮することにより、サスペンション１０の先端側をスウェイ方向（図３に両方向矢印Ｙ２で示す）に微小量移動させることができる。

【0026】

本実施形態のサスペンション１０は、第１の圧電ユニット３３と、第２の圧電ユニット４３とを有している。しかしサスペンションの仕様によっては、第１の圧電ユニット３３と第２の圧電ユニット４３とのいずれか一方を有していてもよい。さらに第３の圧電ユニットを有していてもよい。

【0027】

サスペンション１０を製造する工程において、サスペンション１０がクリーニングされる。以下に、サスペンション１０を洗浄するためのクリーニング装置１について、図１から図５を参照して説明する。本実施形態のクリーニング装置１は、サスペンション１０に搭載された第１の圧電素子３１，３２と第２の圧電素子４１，４２とを含んでいる。

【0028】

図１に示されたクリーニング装置１は、サスペンション１０を所定位置に保持する支持部材７０と、支持部材７０を移動させる搬送機構７１と、吹付け吸引ユニット７２とを有している。吹付け吸引ユニット７２は、移動機構７３によってサスペンション１０の長さ方向に移動させることができる。移動機構７３は、駆動源としてのサーボモータ７４を含んでいる。

【0029】

さらに本実施形態のクリーニング装置１は、加振信号発生器８０と、給電接続部８１と、制御部８２などを含んでいる。給電接続部８１は、テール電極１４（図５に示す）と加振信号発生器８０との電気的接続がなす機能を有している。制御部８２は、クリーニング装置１の制御をつかさどる電気的な回路構成とメモリ等を含んでいる。

【0030】

図１に示されたように、支持部材７０の上面に、サスペンション１０を載置するための平坦なワーク載置面７０ａが形成されている。ワーク載置面７０ａに複数のサスペンション１０が所定ピッチＰ１で配置される。これらサスペンション１０は、枠部１０ａによって互いにつながれている。枠部１０ａによってつながれた状態の複数のサスペンション１０と枠部１０ａとによって、シート状のサスペンション連鎖品が構成されている。

【0031】

搬送機構７１は、サスペンション１０が載置された支持部材７０を、図１に矢印Ｍ１で示す方向に、所定ピッチＰ１ずつ、間欠的に移動させる。搬送機構７１の一例は、ガイド部材９０と、駆動源９１とを含んでいる。ガイド部材９０は、サスペンション１０が移動する方向、すなわちサスペンション１０が並んでいる方向（矢印Ｍ１で示す方向）に延びている。

【0032】

駆動源９１の一例は、制御部８２によって制御されるサーボモータである。駆動源９１として機能するサーボモータは、ボールねじ等の力伝達機構９２を介して、支持部材７０を図１に矢印Ｍ１で示す方向に、ピッチＰ１ずつ、間欠的に移動させる。

【0033】

図２に示されたように、支持部材７０のワーク載置面７０ａに、複数の吸引孔１００が形成されている。吸引孔１００は、吸引管１０１を介して排気ポンプ等の負圧発生源１０２に接続されている。負圧発生源１０２が生じた負圧によって吸引孔１００から空気が吸い込まれることにより、サスペンション１０がワーク載置面７０ａに吸着される。

【0034】

給電接続部８１の一例は、支持構体１１０と、支持構体１１０の下部に設けられたテールパッド支持部１１１と、支持構体１１０の上方に設けられたプローブユニット１１２と、駆動機構１１３とを含んでいる。駆動機構１１３は、プローブユニット１１２を上下方向に移動させる。プローブユニット１１２の下面に複数のプローブ１２０，１２１，１２２（図５に一部を示す）が設けられている。プローブ１２０，１２１，１２２は、電線１２５を介して加振信号発生器８０に接続されている。

【0035】

図１に示されたように、テールパッド支持部１１１にテールパッド部１３ｂが載置される。この状態のもとで、プローブユニット１１２が駆動機構１１３によってテールパッド部１３ｂに向かって移動する。プローブユニット１１２が下降端まで移動すると、図５に示されたようにプローブ１２０，１２１がそれぞれ特定のテール電極１４ａ，１４ｂと接触する。これにより、第１の圧電素子３１，３２あるいは第２の圧電素子４１，４２と加振信号発生器８０との電気的接続がなされる。

【0036】

加振信号発生器８０は、第１の圧電素子３１，３２と第２の圧電素子４１，４２とに、超音波振動を生じさせるための加振信号を出力する。すなわち加振信号発生器８０は、給電接続部８１を介してサスペンション１０のテール電極１４に加振信号を出力する。

【0037】

テール電極１４に入力した加振信号は、サスペンション１０の配線部２１を介して、第１の圧電素子３１，３２と第２の圧電素子４１，４２とに印加される。この加振信号により、第１の圧電素子３１，３２と第２の圧電素子４１，４２とを振動させることができる。加振信号が超音波の振動周波数の場合には、圧電素子３１，３２，４１，４２に超音波振動を生じさせることができる。

【0038】

加振信号発生器８０が出力する加振信号は、例えばサイン波、矩形波、鋸波などであり、これらの振動波形を組み合わせて使用してもよい。例えば振動波形を正弦波掃引（sine wave sweep）に基づいて変更してもよい。また振動波形をランダムに変更してもよい。第１の圧電素子３１，３２に印加する振動周波数と、第２の圧電素子４１，４２に印加する振動周波数とを互いに異ならせてもよい。振動周波数は、例えば数ｋＨｚから数百ｋＨｚであるが、それ以外の振動周波数でもよい。洗浄の目的によっては、超音波振動のための振動周波数以外の加振信号が使用されてもよい。

【0039】

パーティクルの大きさや汚れの性状に応じて、振動周波数を変化させてもよい。例えば比較的大きなパーティクルに対して低い振動周波数を用い、細かなパーティクルに対して高い振動周波数を用いてもよい。ワークがサスペンション１０の場合、サスペンション１０にダメージを与えないように考慮された振動周波数が望ましい。

【0040】

図２に示されたように吹付け吸引ユニット７２は、気体噴射機構１３０と、吸引機構１３１とを備えている。気体噴射機構１３０は、例えば空気などの気体を噴出するノズル１４０と、ノズル１４０に気体を供給する気体供給源１４１と、供給管１４２と、フィルタ１４３と、静電気除去装置（イオナイザ）１４４とを含んでいる。気体供給源１４１は、空気あるいは不活性ガス等の圧縮された気体を、静電気除去装置１４４を介してノズル１４０に供給する。

【0041】

静電気除去装置１４４の一例は、放電針に高電圧を印加しイオンを放出することにより、イオン化された気体（例えば空気）をノズル１４０に供給する。気体供給源１４１から供給された気体（例えば空気）が静電気除去装置１４４によってイオン化される。こうしてイオン化された気体がノズル１４０からサスペンション１０に向けて噴射される。ノズル１４０から噴出した気体（例えば空気）は、図２に矢印Ａで示すようにサスペンション１０やワーク載置面７０ａに衝突し反射する。なお、サスペンション１０の静電気帯電が問題のない程度であれば、静電気除去装置１４４を用いなくてもよい。

【0042】

吸引機構１３１は、ノズル１４０の周囲に形成された吸入口１５０と、吸入口１５０に連通する吸入チャンバ１５１と、吸入チャンバ１５１に接続された吸入管１５２とを有している。吸入管１５２は負圧発生源１０２に接続されている。吸入口１５０から吸入チャンバ１５１を経て負圧発生源１０２に吸い込まれた気体（例えば空気）は、フィルタ１５３を通って排出される。

【0043】

静電気除去装置１４４によってイオン化された気体がノズル１４０からサスペンション１０に向けて噴射される。この状態において、吹付け吸引ユニット７２がサスペンション１０の長さ方向（図２と図３とに両方向矢印Ｙ３で示す方向）に移動する。このときサスペンション１０は、ワーク載置面７０ａの吸引孔１００から吸い込まれる空気によって、ワーク載置面７０ａに吸着されている。

【0044】

サスペンション１０がワーク載置面７０ａに吸着された状態のもとで、イオン化された気体（例えば空気）がノズル１４０からサスペンション１０に向けて噴出する。これと同時に、吹付け吸引ユニット７２がサスペンション１０の長さ方向に移動する。このためイオン化された気体（例えば空気）がサスペンション１０の長さ方向に連続して吹き付けられる。

【0045】

イオン化された気体（例えば空気）がサスペンション１０に吹き付けられるため、サスペンション１０に帯電している可能性のある静電気が除去される。このため薄く撓みやすいサスペンション１０の長さ方向の一部がワーク載置面７０ａから離れたり、反ったりすることが抑制される。

【0046】

以下に本実施形態のクリーニング装置１の作用について説明する。ここではディスク装置用のサスペンション１０をクリーニングする場合について述べるが、被洗浄物としてのワークは、サスペンション以外の電子部品であってもよい。要するに清浄であることが求められるワークである。

【0047】

図１に示されたように、ワーク載置面７０ａの上にサスペンション１０が載置される。給電接続部８１のテールパッド支持部１１１に、テールパッド部１３ｂが載置される。この状態のもとで、プローブユニット１１２がテールパッド部１３ｂに向かって移動する。図５に示されたように、プローブ１２０，１２１が特定のテール電極１４ａ，１４ｂに接触する。これらテール電極１４ａ，１４ｂは、配線部２１を介して例えば第１の圧電素子３１，３２と導通している。さらに別のプローブ１２２がアース側のメタルベース２０と接触する。

【0048】

超音波振動を生じさせるための加振信号が加振信号発生器８０からプローブ１２０，１２１に出力される。加振信号は、特定のテール電極１４ａ，１４ｂを介して、例えば第１の圧電素子３１，３２に印加される。加振信号は、例えばサイン波、矩形波、鋸波などであり、これらの振動波形を組み合わせてもよい。また振動波形を正弦波掃引（sine wave sweep）に基づいて変更してもよい。振動波形をランダムに変更してもよい。

【0049】

予想されるパーティクルや汚れに応じて、様々な振動波形を用いることにより、パーティクルや汚れを効果的に落とすことが可能である。例えば比較的大きなパーティクルに対して低い振動周波数を用い、細かなパーティクルに対して高い振動周波数を用いてもよい。サスペンションに与えるダメージを小さくできるような振動周波数を用いてもよい。

【0050】

サスペンション１０を加振することによりクリーニングを行なう場合、小さい振動周波数を用いた方が大きい振動周波数を用いるよりも大きな洗浄効果が得られることがある。このため予想されるパーティクルに応じて、第１の圧電素子３１，３２に印加する振動周波数と、第２の圧電素子４１，４２に印加する振動周波数とを互いに異ならせてもよい。第１の圧電素子３１，３２と、第２の圧電素子４１，４２とのいずれか一方を振動させてもよい。

【0051】

以上説明したように、本実施形態のクリーニング方法は、下記の工程を含んでいる。
（１）サスペンション１０の第１のアクチュエータ搭載部３０に第１の圧電素子３１，３２を取付け、
（２）サスペンション１０の第２のアクチュエータ搭載部４０に第２の圧電素子４１，４２を取付け、
（３）サスペンション１０を支持部材７０のワーク載置面７０ａに載置し、
（４）加振信号発生器８０によって第１の圧電素子３１，３２および、または第２の圧電素子４１，４２に超音波振動を生じさせるとともに、サスペンション１０を振動させ、
（５）サスペンション１０が振動している状態において、気体噴射機構１３０によってサスペンション１０に気体を吹き付けるとともに、
（６）吸引機構１３１によってサスペンション１０の周囲の空気を吸引する。

【0052】

本実施形態のクリーニング装置１は、高い清浄度が望まれるディスク装置用のサスペンションをクリーニングする際に、サスペンション自身のアクチュエータ搭載部に配置された圧電素子を加振する。このため、特にパーティクルの付着が懸念されるアクチュエータ搭載部や、圧電素子の表面なども効果的にクリーニングすることができる。

【0053】

本実施形態の吹付け吸引ユニット７２は、気体を噴出するノズル１４０と気体を吸入する吸入口１５０とを有している。ノズル１４０からワークに向けて吹付けた気体によってパーティクルがワークから剥がれると、そのパーティクルが気体と共に吸入口１５０に吸入される。このためワークから脱落したパーティクルがワークに再付着することを防止できる。

【0054】

本発明を実施するに当たり、クリーニング装置を構成する各要素を種々に変更して実施できることは言うまでもない。被洗浄物としてのワークは、第１の圧電素子と第２の圧電素子の一方のみを有するサスペンションであってもよい。またワークがサスペンション以外の電子部品でもよく、要するに清浄であることが望まれるワークに適用するとよい。

【符号の説明】

【0055】

１…クリーニング装置、Ｗ…ワーク、１０…ディスク装置用のサスペンション、１２…ロードビーム、１３…フレキシャ、１３ａ…フレキシャテール、１３ｂ…テールパッド部、１４…テール電極、２０…メタルベース、２１…配線部、３０…第１のアクチュエータ搭載部、３１，３２…第１の圧電素子、３３…第１の圧電ユニット、４０…第２のアクチュエータ搭載部、４１，４２…第２の圧電素子、４３…第２の圧電ユニット、７０…支持部材、７０ａ…ワーク載置面、７１…搬送機構、７２…吹付け吸引ユニット、８０…加振信号発生器、８１…給電接続部、８２…制御部、１００…吸引孔、１０２…負圧発生源、１１１…テールパッド支持部、１１２…プローブユニット、１２０，１２１，１２２…プローブ、１３０…気体噴射機構、１３１…吸引機構、１４０…ノズル、１４１…気体供給源、１４４…静電気除去装置、１５０…吸入口。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】