特開 2024-155136 載置台

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024155136

(43)【公開日】2024-10-31

(54)【発明の名称】載置台

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20241024BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

H01L21/68 V

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023069579

(22)【出願日】2023-04-20

(71)【出願人】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】110000338

【氏名又は名称】弁理士法人 ＨＡＲＡＫＥＮＺＯ ＷＯＲＬＤ ＰＡＴＥＮＴ ＆ ＴＲＡＤＥＭＡＲＫ

(72)【発明者】

【氏名】董 浙广

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131CA12

5F131DA05

5F131DA22

5F131DA42

5F131FA02

5F131FA14

5F131GA14

5F131GA33

5F131GB02

5F131GB22

5F131GB29

(57)【要約】

【課題】収納容器の荷重が増大した場合であっても、位置決めの際のパーティクルの発生を抑制することができる載置台を実現する。
【解決手段】載置台（１０）は、収納容器（１００）が載置される載置台上面（１０ａ）から上方に突出する複数の位置決めピン（２０）と、複数の緩衝体（３０）と、を備え、複数の位置決めピン（２０）のそれぞれは、複数の位置決め溝（１１２）のそれぞれに係合するように載置台上面（１０ａ）に配置されており、複数の位置決めピン（２０）のそれぞれについて、緩衝体（３０）が設けられており、緩衝体（３０）は、上端が下方に押し込まれ得るとともに、押し込まれた場合に上方向に付勢されるように構成されており、上端が下方に押し込まれていない状態で、載置される収納容器（１００）の底面（１０１）に位置決めピン（２０）よりも先に接触する高さに位置している。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

底面に複数の位置決め溝が設けられた収納容器を載置するための載置台であって、
前記収納容器が載置される載置台上面から上方に突出する複数の位置決めピンと、
前記載置台上面から上方に突出する複数の緩衝体と、を備え、
前記複数の位置決めピンのそれぞれは、前記複数の位置決め溝のそれぞれに係合するように前記載置台上面に配置されており、
前記複数の位置決めピンのそれぞれについて、前記緩衝体が設けられており、
前記緩衝体は、
上端が下方に押し込まれ得るとともに、押し込まれた場合に上方向に付勢されるように構成されており、更に、
上端が下方に押し込まれていない状態で、載置される前記収納容器の前記底面に前記位置決めピンよりも先に接触する高さに位置している、載置台。

【請求項2】

前記緩衝体は、弾性材料からなる弾性部を有しており、
前記収納容器の前記底面の、前記位置決め溝以外の位置に対応するように、前記載置台上面に配置されている、請求項１に記載の載置台。

【請求項3】

前記弾性部が前記緩衝体の上端部を含み、
前記緩衝体の前記上端部は、中央部が最上端となる球面状に形成されている、請求項２に記載の載置台。

【請求項4】

前記緩衝体は、前記位置決めピンよりも径が大きい柱状である、請求項２に記載の載置台。

【請求項5】

前記載置台上面において、
第１の三角形の各頂点の位置に前記位置決めピンが配置され、
前記第１の三角形を内包する、前記第１の三角形を拡大した第２の三角形の各頂点の位置に前記緩衝体が配置される、請求項２に記載の載置台。

【請求項6】

前記載置台は、
上面が前記載置台上面の一部を構成するプレートを備え、
前記位置決めピンは、前記プレートに固定されており、
前記緩衝体は、前記プレート以外の前記載置台の部分に固定されている、請求項２から５のいずれか１項に記載の載置台。

【請求項7】

前記緩衝体は、ばねにより上方向に付勢された可動部を有し、
前記収納容器の前記底面の前記位置決め溝の内側であって幅方向の中央に位置するように、前記載置台上面に配置されている、請求項１に記載の載置台。

【請求項8】

前記位置決め溝の幅方向の中央部は、前記収納容器の前記底面の主面に平行な平坦部を成しており、
前記緩衝体において少なくとも前記収納容器の前記底面と接触する部分は、前記平坦部の幅よりも径が小さい、請求項７に記載の載置台。

【請求項9】

前記載置台は、
上面が前記載置台上面の一部を構成するプレートを備え、
前記位置決めピン及び前記緩衝体は、前記プレートに固定されている、請求項７または８に記載の載置台。

【請求項10】

前記緩衝体は、前記緩衝体が前記載置台上面から上方に突出する長さを調整する長さ調整機構を備えている、請求項１に記載の載置台。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、収納容器を載置するための載置台に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、搬送された半導体ウエハ等の収納容器を正確に載置するために、位置決め機構を設ける技術が用いられている。例えば、特許文献１には、容器本体部の底面に設けられた底面凹部と、支持体に備えられている上下方向に弾性変形自在な位置決め部材とが係合することで、容器が水平方向における適正な位置に載置される技術が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１６－９４２６４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、上述のような従来技術では、容器の荷重が増大した場合、短期間で位置決め部材と容器との間に摩耗が生じ、パーティクルが発生する場合がある。パーティクルの発生は、高い清浄度を必要とする製品を取り扱う際に問題となる。

【0005】

本発明の一態様は、収納容器の荷重が増大した場合であっても、位置決めの際のパーティクルの発生を抑制することができる載置台を実現することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る載置台は、底面に複数の位置決め溝が設けられた収納容器を載置するための載置台であって、前記収納容器が載置される載置台上面から上方に突出する複数の位置決めピンと、前記載置台上面から上方に突出する複数の緩衝体と、を備え、前記複数の位置決めピンのそれぞれは、前記複数の位置決め溝のそれぞれに係合するように前記載置台上面に配置されており、前記複数の位置決めピンのそれぞれについて、前記緩衝体が設けられており、前記緩衝体は、上端が下方に押し込まれ得るとともに、押し込まれた場合に上方向に付勢されるように構成されており、更に、上端が下方に押し込まれていない状態で、載置される前記収納容器の前記底面に前記位置決めピンよりも先に接触する高さに位置している。

【発明の効果】

【0007】

本発明の一態様によれば、収納容器の荷重が増大した場合であっても、位置決めの際のパーティクルの発生を抑制することができる載置台を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の実施形態１に係る載置台及び収納容器を示す断面図である。

【図2】上記収納容器の底面を示す図である。

【図3】上記載置台に収納容器を載置する際の緩衝体及び位置決めピンを示す図である。

【図4】本発明の実施形態２に係る載置台及び収納容器を示す断面図である。

【図5】上記収納容器の底面を示す図である。

【図6】上記載置台に収納容器を載置する際の緩衝体及び位置決めピンを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

〔実施形態１〕
以下、本発明の一実施形態について、詳細に説明する。ただし、以下の説明は本発明に係る載置台１０の一例であり、本発明の技術的範囲は図示例に限定されるものではない。なお、説明を簡単にするために、以下において、図１の容器本体１２０に対して、把持部１２１側を上方向とし、底面１０１側を下方向として説明する。

【0010】

〔載置台の概略〕
搬送された収納容器１００を正確に載置するために、収納容器１００及び載置台１０には位置決め機構が配設されている。位置決め機構は、収納容器１００の底面１０１に配設された位置決め溝１１２と、載置台１０に配置された位置決めピン２０とで機能する。

【0011】

図１は本発明の実施形態１に係る載置台１０及び収納容器１００を示す断面図である。位置決め機構においては、収納容器１００を載置台１０に向けて下方に降下させることにより、位置決め溝１１２の傾斜部１１４と位置決めピン２０の先端とが接触する。その状態で更に収納容器１００を降下させることにより、位置決めピン２０が位置決め溝１１２の平坦部１１３に案内され、収納容器１００が載置位置に案内される。

【0012】

本実施形態では、図１に示すように、載置台１０は、位置決めピン２０のそれぞれについて、緩衝体３０が設けられている。緩衝体３０は、上端が下方に押し込まれ得るとともに、押し込まれた場合に上方向に付勢されるように構成されており、更に、上端が下方に押し込まれていない状態で、載置される収納容器１００の底面１０１に位置決めピン２０よりも先に接触する高さに位置している。

【0013】

これにより、収納容器１００が載置台１０に載置される際の、収納容器１００の荷重または振幅を緩衝体３０に負担または吸収させることができる。そのため、収納容器１００の荷重が大きい場合であっても位置決めピン２０と収納容器１００との間に摩耗が生じることを抑制することができるので、収納容器１００の荷重が増大した場合であっても、位置決めの際のパーティクルの発生を抑制することができる。

【0014】

（収納容器）
収納容器１００は、製品を搬送する際に用いられる搬送容器であり、例えば、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）またはＦＯＳＢ（Front Open Shipping Box）である。収納容器１００は、容器本体１２０と、把持部１２１と、を備えている。容器本体１２０は、略直方体の筐体であり、図示は無いが内部に高い清浄度を必要とする製品、例えば、半導体ウエハ等が収納されている。収納容器１００は、任意の位置から把持部１２１を把持されて載置台１０の上方に搬送された後、降下されて載置台１０に載置される。

【0015】

収納容器１００の底面１０１には底面１０１の一部として複数の位置決め溝１１２が設けられている。図２は、収納容器１００の底面１０１を示す図である。なお、図２では、位置決めピン２０及び緩衝体３０が、底面１０１に当接する位置も実線で図示している。図２に示すように、位置決め溝１１２は、底面１０１の略中心部から外周部に向かって、放射線状に３つ設けられている。位置決め溝１１２は、上方に凹となる形状であり、上方向に向かうほど細くなる先細り形状に形成されるため、傾斜部１１４を有している。

【0016】

また、位置決め溝１１２の幅方向Ｄ１の中央部は、収納容器１００の底面１０１の主面に平行な平坦部１１３を成している。ここで、底面１０１の主面とは、底面１０１全体を一面であるとみなした際の面を示す。すなわち、底面１０１の主面に平行とは、底面１０１全体を一面であるとみなした際の面の方向に平行であることを示す。位置決め溝１１２は、収納容器１００が載置台１０に載置される際に、載置台１０に備えられている位置決めピン２０が下方から係合するように備えられている。

【0017】

（載置台）
載置台１０には収納容器１００が載置される。載置台１０は、位置決めピン２０と、緩衝体３０と、を備えている。

【0018】

載置台１０において、載置台上面１０ａの一部はプレート１１の上面１１ａで構成されている。プレート１１は、載置台１０の一部に支持されていてもよく、上下方向に高さ及び水平方向の位置が調整できるものであってもよい。

【0019】

（位置決めピン）
位置決めピン２０は、複数あり、収納容器１００が載置される載置台上面１０ａから上方に突出する。複数の位置決めピン２０のそれぞれは、複数の位置決め溝１１２のそれぞれに係合するように載置台上面１０ａに配置されている。また、図２に示すように、位置決めピン２０は、収納容器１００が載置台１０に載置された際に、位置決め溝１１２の平坦部１１３において、底面１０１の外縁側の端部に位置するように、載置台上面１０ａに配置されている。

【0020】

位置決めピン２０は略円柱であり、位置決めピン２０の上端部は、水平方向に略平行となる平坦部２１が形成されている。収納容器１００が載置台１０に載置される際に、収納容器１００が載置位置に対して水平方向にずれている場合は、位置決めピン２０が位置決め溝１１２の平坦部１１３に案内されることで、適正な載置位置に収納容器１００が案内される。

【0021】

位置決めピン２０は、プレート１１に固定されている。例えば、先端がネジ切りされた位置決めピン２０のベースとなる部分が載置台１０に固定されており、当該ベースに位置決めピン２０を螺合することで、位置決めピン２０を載置台１０に固定する。

【0022】

（緩衝体）
緩衝体３０は、複数あり、載置台上面１０ａから上方に突出する。また、緩衝体３０は、複数の位置決めピン２０のそれぞれについて設けられている。本実施形態では、１つの位置決めピン２０に対して、１つの緩衝体３０が設けられている。上記に限らず、１つの位置決めピン２０に対して、複数の緩衝体３０が設けられていてもよい。

【0023】

緩衝体３０は、上端が下方に押し込まれ得るとともに、押し込まれた場合に上方向に付勢されるように構成されている。また、緩衝体３０は、上端が下方に押し込まれていない状態で、載置される収納容器１００の底面１０１に位置決めピン２０よりも先に接触する高さに位置している。

【0024】

これにより、収納容器１００を載置台１０に載置する際、位置決めピン２０が収納容器１００の底面１０１に接触するよりも先に、緩衝体３０と収納容器１００の底面１０１とが接触する。そのため、収納容器１００が載置台１０に載置される際の、収納容器１００の荷重を緩衝体３０が負担することができるので、収納容器１００の荷重が大きい場合であっても位置決めピン２０と収納容器１００との間に摩耗が生じることを抑制することができる。その結果、収納容器１００の荷重が増大した場合であっても、位置決めの際のパーティクルの発生を抑制することができる。

【0025】

図３は、載置台１０に収納容器１００を載置する際の緩衝体３０及び位置決めピン２０を示す図である。図３の３００１は、緩衝体３０が収納容器１００の底面１０１に接触し始める時点での緩衝体３０及び位置決めピン２０を示し、図３の３００２は、収納容器１００が載置台１０に載置されている状態での緩衝体３０及び位置決めピン２０を示す。図３に示すように、緩衝体３０は、弾性材料からなる弾性部３１を有しており、弾性部３１は緩衝体３０の上端部３３を含む。弾性材料は、例えば、ゴムである。

【0026】

図３の３００１に示すように、収納容器１００が載置台１０の上方から降下して緩衝体３０が収納容器１００の底面１０１に接触しても、位置決めピン２０は底面１０１（位置決め溝１１２）には接触しない。そこから更に収納容器１００が降下すると、図３の３００２に示すように、緩衝体３０の上端部３３が下方に押し込まれ、位置決めピン２０が平坦部１１３に接触して静止し、収納容器１００が載置台１０に載置される。

【0027】

このように、緩衝体３０の上端部３３が弾性部３１となるため、収納容器１００が載置台１０に載置される際に弾性部３１が変形する。これにより、緩衝体３０により収納容器１００の荷重を負担しつつ、位置決めピン２０により収納容器１００を載置台１０に載置することができる。

【0028】

緩衝体３０は、収納容器１００が載置台１０に載置された際に、収納容器１００の底面１０１の、位置決め溝１１２以外の位置に対応するように、載置台上面１０ａに配置されている。

【0029】

このように、緩衝体３０が位置決め溝１１２以外の位置に対応するように載置台上面１０ａに配置されるので、収納容器１００の位置決め機能に影響を及ぼさない。また、緩衝体３０の大きさを位置決め溝１１２の大きさに関係なく設けることができる。例えば、収納容器１００が載置台１０に載置された際の、底面１０１と緩衝体３０との接触面積を大きくすることで、緩衝体３０が負担する収納容器１００の荷重を大きくすることができ、より荷重が大きい収納容器１００にも対応することができる。

【0030】

緩衝体３０において、緩衝体３０の上端部３３は、中央部３４が最上端となる球面状に形成されている。収納容器１００を載置台１０に向かって降下させる際は、完全に水平な状態で収納容器１００を降下できない場合がある。そのため、緩衝体３０の上端部３３が水平方向に略平行に平坦だと緩衝体３０に角部が形成され、該角部が摩耗する。そのため、緩衝体３０の最上端を球面上とすることで、バランスよく緩衝体３０に収納容器１００の荷重がかかり、緩衝体３０の片減り等を防止することができる。

【0031】

また、緩衝体３０は、上端部３３の下部に、緩衝体３０が載置台上面１０ａから上方に突出する長さを調整する長さ調整機構３２を備えている。これにより、緩衝体３０の上下方向の長さを調整することができるので、緩衝体３０が負担する収納容器１００の荷重の大きさの調整を行うことができる。更に、緩衝体３０の使用により弾性部３１が変形した場合であっても緩衝体３０の長さを調整することで、長期間の使用が可能になる。長さ調整機構３２は、例えば、ネジにより構成されていてもよい。

【0032】

緩衝体３０は、位置決めピン２０よりも径が大きい柱状である。具体的には、緩衝体３０は略円柱状であり、図３の３００２に示すように、収納容器１００が載置台１０に載置されている状態では、位置決めピン２０の上端の平坦部２１は位置決め溝１１２の平坦部１１３と接触し、緩衝体３０の上端部３３は変形して収納容器１００の底面１０１に接触する。この位置決めピン２０の上端の平坦部２１の径をＲ１とし、変形した緩衝体３０と収納容器１００の底面１０１との接触部の径をＲ２とした場合、Ｒ１＜Ｒ２となる。

【0033】

これにより、緩衝体３０が負担する収納容器１００の荷重を位置決めピン２０よりも大きくすることができるので、より位置決めピン２０と収納容器１００との間に摩耗が生じることを抑制することができる。

【0034】

また、載置台上面１０ａにおいて、収納容器１００が載置台１０に載置された際に、第１の三角形Ｔ１（図２参照）の各頂点に対応する位置に位置決めピン２０が配置され、第１の三角形Ｔ１を内包する、第１の三角形Ｔ１を拡大した第２の三角形Ｔ２（図２参照）の各頂点に対応する位置に緩衝体３０が配置される。

【0035】

言い換えると、緩衝体３０は、底面１０１の略中心から各位置決め溝１１２を通る放射線上において、位置決め溝１１２の底面１０１の外周部側に設けられている。緩衝体３０は、位置決めピン２０に隣接していることが望ましい。これにより、収納容器１００の底面１０１に対して緩衝体３０をバランスよく配置することができるので、より位置決めピン２０と収納容器１００との間に摩耗が生じることを抑制することができる。

【0036】

載置台上面１０ａにおける緩衝体３０の配置位置は上記に限らない。例えば、バランスよく収納容器１００の荷重が位置決めピン２０と分担できるのであれば、載置台上面１０ａにおいて、第１の三角形Ｔ１の略中心に対応する位置に１つの緩衝体３０が配置されるものであってもよい。

【0037】

緩衝体３０は、プレート１１以外の載置台１０の部分に固定されている。緩衝体３０をプレート１１以外の載置台１０に設置することで、緩衝体３０の支持を強固にすることができるため、より大きな荷重に耐えることが可能となる。

【0038】

〔実施形態２〕
本発明の他の実施形態について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、上記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。

【0039】

図４は、本発明の実施形態２に係る載置台１０Ｘ及び収納容器１００を示す断面図である。図４に示すように、載置台１０Ｘは載置台１０と比較して、緩衝体３０にかえて緩衝体３０Ｘを備えている点が異なり、その他の構成は同じである。

【0040】

（緩衝体）
図５は、収納容器１００の底面１０１を示す図である。図５では、位置決めピン２０及び緩衝体３０Ｘが底面１０１に当接する位置も実線で図示している。図６は、載置台１０Ｘに収納容器１００を載置する際の緩衝体３０Ｘ及び位置決めピン２０を示す図であり、緩衝体３０Ｘが収納容器１００の底面１０１に接触し始める時点での緩衝体３０Ｘ及び位置決めピン２０を示す。

【0041】

図５に示すように、緩衝体３０Ｘは、収納容器１００が載置台１０Ｘに載置される際に、収納容器１００の底面１０１の位置決め溝１１２の内側であって幅方向Ｄ１の略中央に位置するように、載置台上面１０Ｘａに配置されている。また、緩衝体３０Ｘは、収納容器１００が載置台１０Ｘに載置される際に、収納容器１００の底面１０１の位置決め溝１１２の内側であって長さ方向Ｄ２の略中央に位置するように、載置台上面１０Ｘａに配置されている。収納容器１００が載置台１０Ｘに載置されている状態では、緩衝体３０Ｘの上端の平坦部３７は、平坦部１１３に当接する。

【0042】

緩衝体３０Ｘは、上端が下方に押し込まれていない状態で、載置される収納容器１００の底面１０１に位置決めピン２０よりも先に接触する高さに設けられている。そのため、図６に示すように、収納容器１００が載置台１０Ｘの上方から降下して緩衝体３０Ｘが収納容器１００の底面１０１に接触しても、位置決めピン２０は底面１０１（位置決め溝１１２）には接触しない。そこから更に収納容器１００が降下すると、緩衝体３０Ｘの上端部が下方に押し込まれ、位置決めピン２０が平坦部１１３に接触して静止し、収納容器１００が載置台１０Ｘに載置される。

【0043】

緩衝体３０Ｘにおいて少なくとも収納容器１００の底面１０１と接触する部分（平坦部３７）は、平坦部１１３の幅Ｂ１よりも径が小さい柱状である。具体的には、収納容器１００が載置台１０Ｘに載置されている状態では、緩衝体３０Ｘは上端の平坦部３７のみが位置決め溝１１２（底面）と接触し、緩衝体３０Ｘの上端の平坦部３７の径をＲ３とした場合、Ｂ１＞Ｒ３となる（図５及び図６参照）。これにより、収納容器１００の位置決め機能に影響を及ぼさないように、収納容器１００を載置台１０Ｘに載置する際の収納容器１００の振幅を抑制することができる。

【0044】

緩衝体３０Ｘは、ばねにより上方向に付勢された可動部３５を有し、可動部３５は支持部３６を介してプレート１１に固定されている。緩衝体３０Ｘは、例えば、バネを利用したショックアブソーバである。

【0045】

これにより、収納容器１００が載置台１０Ｘに載置される際の、収納容器１００の衝撃を緩衝体３０Ｘが位置決め溝１１２内で吸収することができる。そのため、収納容器１００が載置台１０Ｘに載置される際の、収納容器１００と位置決めピン２０との相対移動の振幅を抑制することができ、位置決めピン２０と収納容器１００との間に摩耗が生じることを抑制することができる。

【0046】

また、緩衝体３０Ｘは弾性が緩衝体３０と比較して弱く、収納容器１００を載置台１０Ｘに載置した状態において、収納容器１００の荷重をほぼ負担しない。そのため、緩衝体３０Ｘが位置決め溝１１２内で収納容器１００に接触しても、収納容器１００の載置台１０Ｘに対する位置決めに影響を与えない。

【0047】

位置決めピン２０及び緩衝体３０Ｘは、プレート１１に固定されている。また、図示にはないが、緩衝体３０Ｘは、可動部３５の下部に、緩衝体３０Ｘが載置台上面１０Ｘａから上方に突出する長さを調整するネジ等の長さ調整機構を備えていてもよい。

【0048】

〔まとめ〕
本発明の態様１に係る載置台（１０・１０Ｘ）は、底面（１０１）に複数の位置決め溝（１１２）が設けられた収納容器（１００）を載置するための載置台であって、前記収納容器（１００）が載置される載置台上面（１０ａ・１０Ｘａ）から上方に突出する複数の位置決めピン（２０）と、前記載置台上面（１０ａ・１０Ｘａ）から上方に突出する複数の緩衝体（３０・３０Ｘ）と、を備え、前記複数の位置決めピン（２０）のそれぞれは、前記複数の位置決め溝（１１２）のそれぞれに係合するように前記載置台上面（１０ａ・１０Ｘａ）に配置されており、前記複数の位置決めピン（２０）のそれぞれについて、前記緩衝体（３０・３０Ｘ）が設けられており、前記緩衝体（３０・３０Ｘ）は、上端が下方に押し込まれ得るとともに、押し込まれた場合に上方向に付勢されるように構成されており、更に、上端が下方に押し込まれていない状態で、載置される前記収納容器（１００）の前記底面（１０１）に前記位置決めピン（２０）よりも先に接触する高さに位置している。

【0049】

上記の構成によれば、位置決めピンが収納容器の底面に接触するよりも先に、緩衝体が収納容器の底面に接触する。そのため、収納容器が載置台に載置される際の、収納容器の荷重または衝撃を緩衝体に負担または吸収させることができるので、収納容器の荷重が大きい場合であっても位置決めピンと収納容器との間に摩耗が生じることを抑制することができる。その結果、収納容器の荷重が増大した場合であっても、位置決めの際のパーティクルの発生を抑制することができる。

【0050】

本発明の態様２に係る載置台（１０）では、上記態様１において、前記緩衝体（３０）は、弾性材料からなる弾性部（３１）を有しており、前記収納容器（１００）の前記底面（１０１）の、前記位置決め溝（１１２）以外の位置に対応するように、前記載置台上面（１０ａ）に配置されていてもよい。

【0051】

上記の構成によれば、緩衝体が位置決め溝以外の位置に対応するように、載置台上面に配置されるので、収納容器の位置決め機能に影響を及ぼさないように緩衝体を配置することができる。また、緩衝体の大きさを位置決め溝の大きさに関係なく設けることができるので、例えば、収納容器が載置台に載置される際の、緩衝体と底面との接触面積を大きくすることで、緩衝体が負担する収納容器の荷重を大きくすることができ、より荷重が大きい収納容器にも対応することができる。

【0052】

本発明の態様３に係る載置台（１０）では、上記態様２において、前記弾性部（３１）が前記緩衝体（３０）の上端部（３３）を含み、前記緩衝体（３０）の前記上端部（３３）は、中央部（３４）が最上端となる球面状に形成されていてもよい。

【0053】

上記の構成によれば、緩衝体の上端部が弾性部となるため、収納容器が載置台に載置される際に弾性部が変形する。これにより、緩衝体により収納容器の荷重を吸収しつつ、位置決めピンにより収納容器を載置台に載置することができる。

【0054】

さらに、緩衝体の最上端を球面上とすることで、バランスよく緩衝体に収納容器の荷重がかかり、緩衝体の片減りを防止することができる。

【0055】

本発明の態様４に係る載置台（１０）では、上記態様２または３において、前記緩衝体（３０）は、前記位置決めピン（２０）よりも径が大きい柱状であってもよい。

【0056】

上記の構成によれば、位置決めピンよりも緩衝体の径が大きいことにより、緩衝体が負担する収納容器の荷重を位置決めピンよりも大きくすることができるので、より位置決めピンと収納容器との間に摩耗が生じることを抑制することができる。

【0057】

本発明の態様５に係る載置台（１０）では、上記態様２から４のいずれかにおいて、前記載置台上面（１０ａ）において、第１の三角形（Ｔ１）の各頂点の位置に前記位置決めピン（２０）が配置され、前記第１の三角形（Ｔ１）を内包する、前記第１の三角形（Ｔ１）を拡大した第２の三角形（Ｔ２）の各頂点の位置に前記緩衝体（３０）が配置されてもよい。

【0058】

上記の構成によれば、収納容器の底面に対して緩衝体をバランスよく配置することができるので、より位置決めピンと収納容器との間に摩耗が生じることを抑制することができる。

【0059】

本発明の態様６に係る載置台（１０）では、上記態様２から５のいずれかにおいて、上面（１１ａ）が前記載置台上面（１０ａ）の一部を構成するプレートを（１１）備え、前記位置決めピン（２０）は、前記プレート（１１）に固定されており、前記緩衝体（３０）は、前記プレート（１１）以外の前記載置台の部分に固定されていてもよい。

【0060】

上記の構成によれば、位置決めピン間の配置を正確にすることができる。また、緩衝体をプレート以外の載置台に設置することで、緩衝体の支持を強固にすることができるため、より大きな荷重に耐えることが可能となる。

【0061】

本発明の態様７に係る載置台（１０Ｘ）では、上記態様１において、前記緩衝体（３０Ｘ）は、ばねにより上方向に付勢された可動部（３５）を有し、前記収納容器（１００）の前記底面（１０１）の前記位置決め溝（１１２）の内側であって幅方向（Ｄ１）の中央に位置するように、前記載置台上面（１０Ｘａ）に配置されていてもよい。

【0062】

上記の構成によれば、位置決め溝内で、収納容器が載置台に載置される際の、収納容器の衝撃を緩衝体が吸収することができるため、収納容器が載置台に載置される際の、収納容器と位置決めピンとの相対移動の振幅を抑制することができる。

【0063】

本発明の態様８に係る載置台（１０Ｘ）では、上記態様７において、前記位置決め溝（１１２）の幅方向（Ｄ１）の中央部は、前記収納容器（１００）の前記底面の主面に平行な平坦部（１１３）を成しており、前記緩衝体（３０）において少なくとも前記収納容器（１００）の前記底面（１０１）と接触する部分は、前記平坦部（１１３）の幅（Ｂ１）よりも径が小さくてもよい。

【0064】

上記の構成によれば、緩衝体において少なくとも収納容器の底面と接触する部分は位置決め溝の平坦部の幅よりも径が小さいため、収納容器の位置決め機能に影響を及ぼさないように、収納容器を載置台に載置する際の振幅を抑制することができる。

【0065】

本発明の態様９に係る載置台（１０Ｘ）では、上記態様７または８において、上面（１１ａ）が前記載置台上面（１０Ｘａ）の一部を構成するプレート（１１）を備え、前記位置決めピン（２０）及び前記緩衝体（３０）は、前記プレート（１１）に固定されていてもよい。

【0066】

上記の構成によれば、位置決めピン及び緩衝体間の配置を正確にすることができる。

【0067】

本発明の態様１０に係る載置台（１０Ｘ）では、上記態様１から９のいずれかにおいて、前記緩衝体（３０・３０Ｘ）は、前記緩衝体（３０・３０Ｘ）が前記載置台上面（１０ａ・１０Ｘａ）から上方に突出する長さを調整する長さ調整機構（３２）を備えていてもよい。

【0068】

上記の構成によれば、緩衝体の上下方向の長さを調整することができるので、例えば、緩衝体が負担する収納容器の荷重の大きさの調整を行うことができる。更に、緩衝体の使用により弾性部が変形した場合であっても緩衝体の長さを調整することで、長期間の使用が可能になる。

【0069】

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0070】

１０、１０Ｘ 載置台
１０ａ、１０Ｘａ 載置台上面
１１ プレート
２０ 位置決めピン
１１３ 位置決め溝の平坦部
３０、３０Ｘ 緩衝体
３１ 弾性部
３２ 長さ調整機構
３３ 緩衝体の上端部
３４ 緩衝体の中央部
３５ 可動部
１００ 収納容器
１０１ 底面
１１２ 位置決め溝
Ｂ１ 位置決め溝の平坦部の幅
Ｄ１ 位置決め溝の幅方向
Ｔ１ 第１の三角形
Ｔ２ 第２の三角形

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】