特開 2024-155142 天井保管棚、および搬送システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024155142

(43)【公開日】2024-10-31

(54)【発明の名称】天井保管棚、および搬送システム

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/14 20060101AFI20241024BHJP

   B65G 1/06 20060101ALI20241024BHJP

   B65G 1/04 20060101ALI20241024BHJP

【ＦＩ】

B65G1/14 H

B65G1/06 511A

B65G1/04 551A

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023069586

(22)【出願日】2023-04-20

(71)【出願人】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】110000338

【氏名又は名称】弁理士法人 ＨＡＲＡＫＥＮＺＯ ＷＯＲＬＤ ＰＡＴＥＮＴ ＆ ＴＲＡＤＥＭＡＲＫ

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 将

【テーマコード（参考）】

3F022

【Ｆターム（参考）】

3F022BB09

3F022CC02

3F022EE05

3F022FF07

3F022FF26

3F022JJ08

3F022KK11

3F022MM01

3F022MM17

(57)【要約】

【課題】複数の収容物を収容できる天井保管棚を実現する。
【解決手段】収容物（Ｐ）を保管するための、天井から吊り下げられた天井保管棚（１）は、昇降可能な複数の棚段（１２）と、棚段を昇降させる昇降部（１５）と、を備え、上下に隣り合う棚段の間隔が収容物の高さよりも狭くなるまで接近できるように構成されている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送レールおよび搬送台車を備えた搬送システムにおける、所定の収容物を保管するための、天井から吊り下げられた天井保管棚であって、
昇降可能な複数の棚段と、
前記棚段を昇降させる昇降部と、を備え、
上下に隣り合う前記棚段の間隔が前記収容物の高さよりも狭くなるまで接近できるように構成されている、天井保管棚。

【請求項2】

前記昇降部は、昇降する把持部であって、前記棚段を所要の高さにセットするための前記棚段を把持する把持部を有している、請求項１に記載の天井保管棚。

【請求項3】

前記棚段を異なる複数の高さにおいて係合できる係合部材を更に備える、請求項２に記載の天井保管棚。

【請求項4】

前記昇降部は、前記収容物が前記棚段に載置された後に、前記収容物が前記棚段に載置された状態で前記棚段を昇降させて、前記係合部材に係合させる、請求項３に記載の天井保管棚。

【請求項5】

前記昇降部は、前記収容物が前記棚段に載置された後に、前記棚段直下の前記棚段に前記収容物を載置できる位置まで昇降する、請求項１に記載の天井保管棚。

【請求項6】

前記昇降部は、前記棚段に載置された前記収容物を前記搬送台車が取り出す場合に、前記搬送台車が前記収容物を取り上げできる所要の位置まで前記棚段を昇降する、請求項１に記載の天井保管棚。

【請求項7】

前記複数の棚段は、それぞれ独立して昇降できる、請求項１に記載の天井保管棚。

【請求項8】

請求項１に記載の天井保管棚を備えた搬送システムであって、
前記天井保管棚に隣接して設けられる搬送レールと、
前記搬送レールの上を走行し、前記天井保管棚に対し前記収容物を載置する搬送台車と、を備えた搬送システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は天井保管棚に関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、例えば半導体製品を製造する工場等では、天井に設けられたレールに沿って物品を搬送する天井搬送車が用いられてきた。工場には、天井搬送車が搬送している収容物を一時的に保管するために、レールに沿って天井保管棚が設けられることがある。特許文献１は、２段の天井保管棚に、収容物を載置できる天井搬送車が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】国際公開第２０２０／０９５５７０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、天井保管棚の収容量は、２段では十分ではない場合がある。また、スペースの関係で、レールに沿って複数の天井保管棚を設けられない場合もある。そのため、限られたフロア面積においてより多くの収容物を収容できる天井保管棚が求められている。

【0005】

本発明の一態様は、複数の収容物を収容できる天井保管棚を実現することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る天井保管棚は、所定の収容物を保管するための、天井から吊り下げられた天井保管棚であって、昇降可能な複数の棚段と、前記棚段を昇降させる昇降部と、を備え、上下に隣り合う前記棚段の間隔が前記収容物の高さよりも狭くなるまで接近できるように構成されている。

【発明の効果】

【0007】

本発明の一態様によれば、複数の収容物を収容できる天井保管棚を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】実施形態１に係る天井保管棚と、それを用いた搬送システムの構成を示す正面図である。

【図2】実施形態１に係る天井保管棚の棚段が昇降している場合の上面図である。

【図3】実施形態１に係る天井保管棚の棚段が昇降している場合の正面図である。

【図4】実施形態１に係る天井保管棚の棚段が昇降している場合の図２におけるＡ－Ａ断面図である。

【図5】実施形態１に係る天井保管棚の棚段が係合部に係合している場合の上面図である。

【図6】実施形態１に係る天井保管棚の棚段が係合部に係合している場合の図５におけるＢ－Ｂ断面図である。

【図7】搬送システムの要部の構成を示すブロック図である。

【図8】実施形態２に係る天井保管棚と、それを用いた搬送システムの構成を示す正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

〔実施形態１〕
以下、本発明の一側面に係る実施の形態（以下、「本実施形態」とも表記する）を、図面に基づいて説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰り返さない。

【0010】

（搬送システム１００の概要）
図１は、実施形態１に係る天井保管棚１と、それを用いた搬送システム１００の構成を示す正面図である。搬送システム１００は、天井から吊り下げられた搬送レール２と、搬送レール２上を走行する搬送台車３と、搬送レール２に隣接して設けられる天井保管棚１と、を備える。搬送台車３は、複数台あってもよい。

【0011】

搬送台車３は、走行部３１と、台車部３２と、移載部３３と、を備える。走行部３１は、搬送レール２上を走行する部分である。台車部３２は、走行部３１に吊り下げられた台車であり、収容物Ｐを収容する。移載部３３は、台車部３２に収容された収容物Ｐを、搬送台車３の側方に移載する機構である。移載部３３には、搬送台車３の側方に収容物Ｐをスライドさせる機構と、収容物Ｐを載置または取出しする機構と、が含まれる。そのため、搬送システム１００は、移載部３３によって搬送台車３から天井保管棚１に対し、収容物Ｐを移載することができる。なお、収容物Ｐはウェハ収容容器またはレチクル収容容器などがある。

【0012】

（天井保管棚１の概要）
図２は、実施形態１に係る天井保管棚１の棚段１２が昇降している場合の上面図である。図３は、実施形態１に係る天井保管棚１の棚段１２が昇降している場合の正面図である。図４は、実施形態１に係る天井保管棚１の棚段１２が昇降している場合の図２におけるＡ－Ａ断面図である。図５は、実施形態１に係る天井保管棚１の棚段１２が係合部１７に係合している場合の上面図である。図６は、実施形態１に係る天井保管棚１の棚段１２が係合部１７に係合している場合の図５におけるＢ－Ｂ断面図である。天井保管棚１は、構造部１１と、複数の棚段１２と単一の棚段１３と、リニアガイド１４と、昇降部１５と、把持部１６と、係合部１７と、を備える。

【0013】

構造部１１は、天井保管棚１全体の構造を担う部分であり、天井から吊り下げられている。棚段１２は、構造部１１に対して昇降可能に設けられている。対して、棚段１３は、構造部１１に対して固定されている。

【0014】

本実施形態では、天井保管棚１は、昇降可能な棚段１２を３段有し、さらに固定された棚段１３を最下部に有する。棚段１２は上から順に棚段１２ａ、棚段１２ｂ、および棚段１２ｃとも称する。天井から棚段１２ａまでの間隔をＤ１、棚段１２ａから棚段１２ｂまでの間隔をＤ２、棚段１２ｂから棚段１２ｃまでの間隔をＤ３、棚段１２ｃから棚段１３までの間隔をＤ４とする。また、棚段１２または棚段１３に収容する収容物Ｐの高さはＨである。

【0015】

棚段１２は、棚部１２１と、被把持部１２２と、接続部１２３と、を備える。棚部１２１は、収容物Ｐを載置する棚である。棚部１２１は、適宜収容物Ｐに合わせた形状をしていてもよい。被把持部１２２は、棚部１２１と離間した部分であり、後述する把持部１６によって把持される。接続部１２３は、棚部１２１と被把持部１２２とを接続する部分であり、Ｌ字に折れ曲がっている。被把持部１２２の両端の底面に、被係合部１２４が形成されている。被係合部１２４は、後述する係合部材１７１に当接し係合する部分である。

【0016】

接続部１２３の正面方向矢視での水平方向での幅Ｗ１は、棚部１２１および被把持部１２２より狭く、後述する２つの係合部１７が配置された間隔よりも狭い。つまり、接続部１２３は凹状に形成されている。

【0017】

棚部１２１は、接続部１２３に対して角度θ（θ≦９０°）で固定されている。角度θは、棚部１２１と接続部１２３との成す角度である。角度θが９０°よりも小さいことによって、棚部１２１に載置された収容物Ｐが落下することを防ぐことができる。また、角度θは、棚部１２１が片持ち梁であることによって、撓むこと、および構造上のガタによって棚部１２１が傾斜することを考慮した角度としてもよい。すなわち、撓む場合、ガタで傾斜した場合に、棚部１２１が水平になるように角度θを設定してもよい。

【0018】

リニアガイド１４は、リニアガイドにおける固定部（リニアガイドレール）１４１が構造部１１に固定されたリニアガイドであり、固定部１４１に対して棚段１２が支持されて、棚段１２が鉛直方向に昇降する。なお、リニアガイド１４はリニアガイドに制限されず、リニアブッシュ、スライドレール等の任意の直動支持機構であればよい。

【0019】

昇降部１５は、リニアガイド１４における可動部（リニアガイドブロック）１４２に固定されている。昇降部１５は、構造部１１に対して昇降することができ（可動できる）、後述する把持部１６で把持した棚段１２を昇降させることができる。リニアガイド１４の固定部１４１の端部に、駆動部１５１が固定されている。駆動部１５１は、一端が駆動部１５１に固定され、他端が昇降部１５に固定されたベルトを巻き取るモータである。そのため、駆動部１５１は、ベルトをドラムに巻き取ることによって、昇降部１５を昇降させることができる。また、昇降部１５は、把持部１６で把持した棚段１２を他の棚段１２から独立して昇降させることができる。

【0020】

把持部１６は昇降部１５に固定された把持機構である。つまり、昇降部１５は昇降する把持機構である。把持部１６は、棚段１２を支持する下把持部１６３と、下把持部１６３に対して棚段１２を押し付けて棚段１２を押さえる上把持部１６４と、が備わっており、下把持部１６３および上把持部１６４を合わせて把持機構とも称する。

【0021】

下把持部１６３および上把持部１６４は、基部１６２に接続されている。上把持部１６４は基部１６２に対して上下に駆動し、被把持部１２２を把持する機構であり、例えばシリンダなどを搭載している。把持部１６は、基部１６２と昇降部１５との間に、移動機構１６１を有している。移動機構１６１は、把持機構を前後にスライドできる機構であり、例えばシリンダなどである。つまり、移動機構１６１の長さが変化することによって、把持機構の位置が前後し、把持部１６によって把持されている棚段１２の位置も前後する。

【0022】

なお、昇降部１５は、昇降基部１５２と、昇降回転部１５３とによって構成されていてもよい。昇降回転部１５３は、昇降基部１５２に対して回転駆動する機構であり、昇降回転部１５３としてはロータリーシリンダなどである。つまり、把持部１６および棚段１２は、昇降回転部１５３によって回転することができる。なお、昇降回転部１５３の回転角度は所定の角度である。

【0023】

係合部１７は、構造部１１に設けられた一対の凹状の鉛直方向に延伸した部材である。一対の係合部１７の凹部は互いに対向している。係合部１７の間に、水平面内において把持部１６が位置する。また、係合部１７の間隔Ｗ２は、接続部１２３の幅Ｗ１よりも大きい。そのため、係合部１７は、棚段１２に干渉しない構造をなしている。また、係合部１７における凹部には、被把持部１２２が位置する。

【0024】

係合部１７は、所要の高さに、係合部材１７１を有している。係合部材１７１は、係合部１７から、突出した構造をしており、係合部材１７１の上に被係合部１２４が当接することによって係合しあう。係合部材１７１は棚段１２および収容物Ｐの重量を支持できる構造を成している。また、係合部材１７１には、棚段１２の傾斜を防止する任意の機構が備わっていてもよい。なお、係合部１７における係合部材１７１が位置する所要の高さは複数あってもよい。つまり、把持部１６と係合部１７とによって、把持部１６が把持した棚段１２を係合部１７の所要の高さにセットすることができる。

【0025】

なお、係合部材１７１がある平面において、係合部１７が存在しない空隙１７２がある。該空隙１７２の大きさは、被係合部１２４の大きさよりも大きい。そのため、把持部１６が昇降する場合に、被係合部１２４が空隙１７２を通過することで、棚段１２は係合部１７に干渉せずに昇降できる。

【0026】

ここで、棚部１２１は、係合部１７に向けて接続部１２３よりも突出している部分１２５がある。該突出している部分１２５は次に示すように、昇降時および係合時において常に係合部１７に当接している。

【0027】

（棚段１２の昇降）
図２および図４に示すように、棚段１２が昇降する場合に関して説明する。まず、昇降回転部１５３が回転し、棚段１２が傾斜する。その後、移動機構１６１が短くなり、棚段１２を引き込む。

【0028】

棚段１２が回転することによって、係合部材１７１が存在する鉛直方向には、棚段１２の構成部材がない状態になる。つまり、接続部１２３は、棚段１２が昇降する際に、係合部材１７１と干渉する部位に関しては切り欠かれている。そのため、棚段１２は昇降することができるようになる。

【0029】

同様に、被係合部１２４は、空隙１７２（図５参照）の位置に位置する。空隙１７２には、係合部１７が存在しないため、棚段１２の昇降を妨げることはない。すなわち、被係合部１２４が空隙１７２に位置する場合は、棚段１２が昇降可能である。

【0030】

（棚段１２の係合）
対して、図５および図６に示す棚段１２が係合部１７に係合している場合、被係合部１２４は係合部材１７１の位置に位置する。そのため、棚段１２は係合部１７に当接し係合することができる。すなわち、棚段１２は所要の高さにセットされている。

【0031】

この際、まず移動機構１６１が長くなる。その後、昇降回転部１５３が棚段１２を水平になるように回転させる。この時、突出している部分１２５は、係合部１７に当接する。これにより、棚段１２は、該突出している部分１２５によって、収容物Ｐによる荷重を保持する力が働くようになる。そのため、安定して収容物を格納できる。

【0032】

棚段１２が昇降できる場合から、棚段１２が係合される場合に移行するためには、把持部１６は、移動機構１６１によって、被把持部１２２を把持した下把持部１６３および上把持部１６４を係合部材１７１に向けて動作させ、その後で上把持部１６４を上昇させて把持を解除することで係合させることができる。

【0033】

逆に、棚段１２が係合されている場合から、棚段１２が昇降できる場合に移行するためには、把持部１６は、被把持部１２２を把持できる位置まで移動機構１６１によって下把持部１６３および上把持部１６４を移動させる。その後、把持部１６は、上把持部１６４を下降させて、把持部１６は被把持部１２２を把持し、移動機構１６１によって被係合部１２４の位置が空隙１７２の位置になるまで後退する。これにより、棚段１２を昇降可能とする。

【0034】

（動作プロセス）
次に、天井保管棚１の動作プロセスに関して説明する。天井保管棚１に収容物Ｐが一つも載置されていない状態から記載する。

【0035】

図７は、搬送システム１００の要部の構成を示すブロック図である。天井保管棚１は、制御部２０をさらに備える。制御部２０は、天井保管棚１の各部を統括的に制御する。制御部２０は、外部の上位装置３０の指令に基づき、天井保管棚１の棚段１２の位置を制御している。すなわち、制御部２０は、どの棚段１２または棚段１３に、搬送台車３に載置されている収容物Ｐを載置するか、または取り出すかを上位装置３０から指示され、そのように動作する。また、上位装置３０は、搬送台車３をも制御している。

【0036】

棚段１２ａに収容物Ｐを載置する場合は、制御部２０は、棚段１２ａおよび棚段１２ｂおよび棚段１２ｃを下降させ、特に棚段１２ａの上に収容物Ｐを載置できる所要の高さまで下降させる。すなわち、制御部２０は、間隔Ｄ２、間隔Ｄ３、および間隔Ｄ４を収容物の高さＨよりも狭くなるまで棚段１２ａ、棚段１２ｂ、棚段１２ｃおよび棚段１３を接近させる。移載部３３によって収容物Ｐが棚段１２ａに載置された後、制御部２０は、棚段１２ａを上昇させる。棚段１２ａは直下の棚段１２ｂに収容物Ｐを載置できる位置まで上昇すればよく（間隔Ｄ２が高さＨよりも高く、移載部３３と干渉しない高さになればよい）、例えば収容物Ｐが天井にあたらない限界の高さまで上昇してもよい。つまり、制御部２０は、間隔Ｄ１が収容物Ｐの高さＨよりも若干長いようにする。

【0037】

続いて、棚段１２ｂに収容物Ｐを載置する場合は、制御部２０は、棚段１２ｂの上に収容物Ｐを載置できる所要の高さまで昇降させる。すなわち、制御部２０は、間隔Ｄ３、および間隔Ｄ４を収容物の高さＨよりも狭くなるまで棚段１２ｂ、棚段１２ｃ、および棚段１３を接近させる。移載部３３によって収容物Ｐが棚段１２ｂに載置された後、制御部２０は、棚段１２ｂを上昇させる。棚段１２ｂは直下の棚段１２ｃに収容物Ｐを載置できる位置まで上昇すればよく（間隔Ｄ３が高さＨよりも高く、移載部３３と干渉しない高さになればよい）、例えば収容物Ｐが棚段１２ａにあたらない限界の高さまで上昇してもよい。つまり、制御部２０は、間隔Ｄ２が収容物Ｐの高さＨよりも若干長いようにする。

【0038】

続いて、棚段１２ｃに収容物Ｐを載置する場合は、制御部２０は、棚段１２ｃの上に収容物Ｐを載置できる所要の高さまで昇降させる。すなわち、制御部２０は、間隔Ｄ４を収容物の高さＨよりも狭くなるまで棚段１２ｃおよび棚段１３を接近させる。移載部３３によって収容物Ｐが棚段１２ｃに載置された後、制御部２０は、棚段１２ｃを上昇させる。棚段１２ｃは直下の棚段１３に収容物を載置できる位置まで上昇すればよく（間隔Ｄ４が高さＨよりも高く、移載部３３と干渉しない高さになればよい）、例えば収容物Ｐが棚段１２ｂにあたらない限界の高さまで上昇してもよい。つまり、制御部２０は、間隔Ｄ３が収容物Ｐの高さＨよりも若干長いようにする。

【0039】

続いて、棚段１３に収容物Ｐを載置する場合は、移載部３３によって収容物Ｐを棚段１３に載置する。これによって、天井保管棚１の全ての棚段１２および１３には収容物Ｐが載置された。

【0040】

ここまでは天井保管棚１に収容物Ｐを収容する場合に関して説明したが、これ以降は天井保管棚１から収容物Ｐを取り出す場合に関して説明する。まず初めに、制御部２０は、棚段１２ｃと移載部３３が干渉しない位置まで、棚段１２ｃを上昇させる。つまり、制御部２０は、間隔Ｄ４を大きくすることで、移載部３３が棚段１２ｃに干渉しないようにする。なお、制御部２０は、棚段１２ａおよび１２ｂも、該棚段１２直下の棚段１２の収容物Ｐに干渉しない位置まで該棚段１２を上昇させる。移載部３３によって棚段１３の上の収容物Ｐを取り出す。

【0041】

続いて、棚段１２ｃに載置された収容物Ｐを取り出す場合に、制御部２０は、収容物Ｐを取り上げできる所要の高さまで棚段１２ｃを下降させる。つまり、制御部２０は、間隔Ｄ４を収容物Ｐの高さＨよりも狭くする。移載部３３によって、棚段１２ｃに載置されている収容物Ｐが移載された後、制御部２０は、棚段１２ｃが棚段１３に干渉しない位置までさらに下降させてもよい。

【0042】

続いて、棚段１２ｂに載置された収容物Ｐを取り出す場合に、制御部２０は、収容物Ｐを取り上げできる所要の高さまで棚段１２ｂを下降させる。つまり、制御部２０は、間隔Ｄ３を収容物Ｐの高さＨよりも狭くする。移載部３３によって棚段１２ｂに載置されている収容物Ｐが移載された後、制御部２０は、棚段１２ｂが棚段１２ｃに干渉しない位置までさらに下降させてもよい。

【0043】

続いて、棚段１２ａに載置された収容物Ｐを取り出す場合に、制御部２０は、収容物Ｐを取り上げできる所要の高さまで棚段１２ａを下降させる。つまり、制御部２０は、間隔Ｄ２を収容物Ｐの高さＨよりも狭くする。移載部３３によって棚段１２ａに載置されている収容物Ｐが移載された後、制御部２０は、棚段１２ａが棚段１２ｂに干渉しない位置までさらに下降させてもよい。

【0044】

したがって、制御部２０は、上下に隣り合う棚段１２の間隔が収容物の高さＨよりも狭くなるまで接近させる。制御部２０は、棚段１２に収容物Ｐが載置された後に、収容物Ｐが棚段１２に載置された状態で棚段を昇降させて、係合部材１７１に係合させる。つまり、昇降部１５は、収容物Ｐが棚段１２に載置された後に、収容物Ｐが棚段１２に載置された状態で棚段を昇降させて、係合部材１７１に係合させる。この結果、係合部材１７１に棚段１２を係合させることができる。

【0045】

制御部２０は、棚段１２に収容物Ｐが載置された後に、該棚段１２直下の棚段１２に収容物を載置できる位置まで該棚段を昇降させる。つまり、昇降部１５は、収容物Ｐが棚段１２に載置された後に、該棚段１２直下の棚段に収容物Ｐを載置できる位置まで昇降する。制御部２０は、棚段１２に載置された収容物Ｐを取り出す場合に、収容物Ｐを取り上げできる所要の高さまで昇降させる。つまり、昇降部１５は、棚段１２に載置された収容物Ｐを搬送台車３が取り出す場合に、搬送台車３が収容物Ｐを取り上げできる所要の位置まで該棚段１２を昇降する。

【0046】

各複数の棚段はそれぞれ独立して昇降できる。また、制御部２０は、最上段の棚段（棚段１２ａ）は、棚段に設置された収容物Ｐが天井近傍になるまで上昇させる。

【0047】

なお、各棚段１２の収容物Ｐを載置または取り上げできる所要の高さと、収容物Ｐを収容した後に天井保管棚１の上方で収容物Ｐを保管する所要の高さと、に係合部材１７１は設けられている。そのため、複数の棚段１２を把持部１６で常に保持している必要がなく、省エネルギーである。また、収容物Ｐを載置する所要の高さと、収容物Ｐを取り上げる所要の高さとは、同一の高さであってもよい。

【0048】

（作用効果）
上述したように、天井保管棚１は、複数の収容物Ｐを限られたフロア面積に収容することができる。また、天井付近までの空間を利用し、搬送レール２下の空間をそこまで大きく占有しない。このため、搬送レール２下に設けられる設備空間を十分に担保することができる。

【0049】

また、天井保管棚１の下は一般的に設備が占有する空間となっている。そのため、天井保管棚１を下方に伸ばすことが難しい。搬送レール２と設備高さの間は限られるため、棚段１２の間隔が収容物Ｐの高さよりも狭くなることができない場合、多くの収容物Ｐを収容するための棚段１２を待機させることができない。

【0050】

ここで、本実施形態では、各棚段１２が独立して昇降し、待機状態にある棚段１２間の間隔が収容物Ｐの高さよりも狭くなるまで接近できる。これにより、天井から、設備までの高さの間に、より多くの棚段１２を配置することができるようになる。したがって、限られた少ないフロア面積により多くの収容物Ｐを収容することができる。

【0051】

また、最上段の棚段（棚段１２ａ）を天井近傍になるまで上昇させることができるため、従来利用されていなかった搬送レール２横の空間を有効活用することができる。

【0052】

〔実施形態２〕
本発明の他の実施形態について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、上記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。

【0053】

（搬送システム１０１の概要）
図８は、実施形態２に係る天井保管棚１と、それを用いた搬送システム１０１の構成を示す正面図である。搬送システム１０１は、天井から吊り下げられ、異なる高さに設けられた第１搬送レール２ａおよび第２搬送レール２ｂと、第１搬送レール２ａ上を走行する第１搬送台車３ａと、第２搬送レール２ｂ上を走行する第２搬送台車３ｂと、第１搬送レール２ａおよび第２搬送レール２ｂに隣接して設けられる天井保管棚１と、を備える。実施形態２における天井保管棚１は、実施形態１における天井保管棚１と同一である。

【0054】

つまり、実施形態２では、実施形態１における搬送レール２および搬送台車３の組み合わせが、異なる高さにおいて、複数天井保管棚１に隣接している。

【0055】

（収容物Ｐの高さ方向での移載）
次に、搬送システム１０１の動作プロセスに関して説明する。天井保管棚１に収容物Ｐが一つも載置されていない状態から記載する。ここでは、最上段の棚段１２ａを用いて、第１搬送レール２ａを走行する第１搬送台車３ａから、第２搬送レール２ｂを走行する第２搬送台車３ｂへと、収容物Ｐを移載する場合に関して示すがこれに限定されない。また、搬送レール２のレール数も制限されない。つまり、異なる高さを走行する搬送台車３間で、収容物Ｐを移載すればよい。

【0056】

まず、第１搬送台車３ａは、収容物Ｐを収容している。該収容物Ｐを移載部３３によって、天井保管棚１に移載する。制御部２０は、開いている棚段１２ａを第１搬送台車３ａから収容物Ｐを載置できる位置まで昇降させる。第１搬送台車３ａの移載部３３は、収容物Ｐを棚段１２ａに移載する。

【0057】

その後、制御部２０は、棚段１２ａを、第２搬送台車３ｂが収容物Ｐを取り上げ出来る所要の高さまで昇降させる。その後、第２搬送台車３ｂの移載部３３は、収容物Ｐを棚段１２ａから取り上げる。

【0058】

これにより、異なる高さを走行する第１搬送台車３ａおよび第２搬送台車３ｂ間で収容物Ｐを移載することができる。したがって、専用の収容物Ｐのための昇降機を用いずに異なる高さの第１搬送レール２ａおよび第２搬送レール２ｂ間に収容物を移送することができ、工場全体の設計自由度が向上し、効率的にすることができる。

【0059】

〔変形例〕
（昇降部１５）
実施形態１および２では、昇降部１５はドラムによってベルトを巻き上げる機構によって昇降したが、これに限定されない。例えば、昇降部１５はボールネジなどの送りねじで昇降してもよいし、タイミングベルトで昇降してもよい。また、昇降部１５にピニオンギアが設けられたモータが配置されており、リニアガイド１４に代えて、ラックがあってもよく、この場合ラックとピニオンとの噛み合いによって昇降する。他の任意の昇降方式を採用してもよい。例えば、シリンダ等が挙げられる。

【0060】

（把持部１６）
実施形態１および２では、把持部１６は下把持部１６３と上把持部１６４との間に被把持部１２２を把持する機構としたが、これに限定されない。例えば、棚段１２の下にフォークを突っ込み持ち上げるような構造であってもよい。

【0061】

（棚段１３）
実施形態１および２では、棚段１３が構造部１１に固定されていたが、これに限定されず、棚段１３も昇降できてもよい。

【0062】

（棚段１２）
また、棚段１２の段数は、複数段であればよく、段数は特に制限されない。なお、搬送レール２から天井までの距離があればあるほど、複数の棚段を設けることができる。

【0063】

（複数の昇降部１５）
昇降部１５は、１つに限定されず、棚段１２毎にあってもよく、昇降部１５に棚段１２が固定されていてもよい。この場合、係合部材１７１が存在しなくてもよい。

【0064】

（係合部材１７１および被係合部１２４）
係合部材１７１は上部が開口となり、内部に空洞を有したポケット状に形成されていてもよく、また被係合部１２４は被把持部１２２から下方に突出していてもよい。この場合、被係合部１２４が係合部材１７１のポケットに入り込むことによって、棚段１２は係合部１７に係合する。

【0065】

なお、被係合部１２４は、先細りするようにテーパ形状をなしていてもよい。この場合、被係合部１２４の先端が細いために、容易に係合部材１７１に挿入することができ、また、被係合部１２４の根本が太いために、係合部材１７１とのクリアランスが狭くなり、ガタが少ないことから、棚段１２が傾斜し辛くなる。なお、この場合、突出している部分１２５はなくてもよい。

【0066】

〔まとめ〕
上記の課題を解決するために、本発明の態様１に係る天井保管棚は、搬送レールおよび搬送台車を備えた搬送システムにおける天井保管棚であって、所定の収容物を保管するための、天井から吊り下げられた天井保管棚であって、昇降可能な複数の棚段と、前記棚段を昇降させる昇降部と、を備え、上下に隣り合う前記棚段の間隔が前記収容物の高さよりも狭くなるまで接近できるように構成されている。

【0067】

上記の構成によれば、複数の棚段に収容物を収容することができ、少ないフロア面積に多くの収容物を収容することができる。また、天井保管棚に収容物を搬入出する搬送台車と収容物を用いる設備との間の限られた高さにおいて、棚段の間隔を収容物の高さよりも狭くすることで、より多くの空いた棚段を配置することができるようになる。

【0068】

本発明の態様２に係る天井保管棚は、上記態様１において、前記昇降部は、昇降する把持部であって、前記棚段を所要の高さにセットするための前記棚段を把持する把持部を有してもよい。

【0069】

上記の構成によれば、棚段ごとに昇降部を有する必要がなく、昇降部で昇降する把持部によって棚段を一時的に把持すればよい。そのため、把持部によって棚段を所要の高さにセットすることで、昇降部および把持部はエネルギー消費がない状態を作り出すことができ、省エネルギーである。

【0070】

本発明の態様３に係る天井保管棚は、上記態様２において、前記棚段を異なる複数の高さにおいて係合できる係合部材を更に備えてもよい。

【0071】

上記の構成によれば、把持部によって係合部材に対し棚段を係合させることができる。これによって、棚段を所要の高さで保持する必要がなく、省エネルギーである。

【0072】

本発明の態様４に係る天井保管棚は、上記態様３において、前記昇降部は、前記収容物が前記棚段に載置された後に、前記収容物が前記棚段に載置された状態で前記棚段を昇降させて、前記係合部材に係合させてもよい。

【0073】

上記の構成によれば、物を載置した状態で係合部材に係合することによって、棚段は昇降部が保持される必要がなく、省エネルギーである。

【0074】

本発明の態様５に係る天井保管棚は、上記態様１から４において、前記昇降部は、前記収容物が前記棚段に載置された後に、前記棚段直下の前記棚段に前記収容物を載置できる位置まで昇降してもよい。

【0075】

上記の構成によれば、効率的に連続して収容物を棚段に載置することができる。

【0076】

本発明の態様６に係る天井保管棚は、上記態様１から５において、前記昇降部は、前記棚段に載置された前記収容物を前記搬送台車が取り出す場合に、前記搬送台車が前記収容物を取り上げできる所要の位置まで前記棚段を昇降してもよい。

【0077】

上記の構成によれば、保管していた収容物を天井保管棚から取り出すことができる。

【0078】

本発明の態様７に係る天井保管棚は、上記態様１から６において、前記複数の棚段は、それぞれ独立して昇降できてもよい。

【0079】

上記の構成によれば、各棚段が独立して昇降できることで、効率的に収容物を収容することができる。

【0080】

本発明の態様８に係る天井保管棚は、上記態様１から７において、前記複数の棚段における最上部の棚段は、前記棚段に載置された前記収容物が天井近傍になるまで上昇できてもよい。

【0081】

上記の構成によれば、最上部の棚段は天井近傍になるまで上昇することができ、鉛直方向のスペースを最大限に活用することができる。

【0082】

本発明の態様９に係る天井保管棚は、上記態様１から８において、前記収容物は、ウェハ収容容器またはレチクル収容容器であってもよい。

【0083】

上記の構成によれば、天井保管棚にウェハ収容容器またはレチクル収容容器を保管することで、各装置の近傍に複数のワークを収容し管理できるようになり、効率的な半導体の製造を可能にする。

【0084】

本発明の態様１０に係る搬送システムは、上記態様１から９における天井保管棚を備えた搬送システムであって、前記天井保管棚に隣接して設けられる搬送レールと、前記搬送レールの上を走行し、前記天井保管棚に対し前記収容物を載置する搬送台車と、を備える。

【0085】

上記の構成によれば、搬送システムの一部として天井保管棚を用いることができ、搬送システムにおける収容物の管理を容易にする。

【0086】

本発明の態様１１に係る搬送システムは、上記態様１０において、前記搬送レールは、第１搬送レールと、前記第１搬送レールと異なる高さにおける第２搬送レールとを備え、前記棚段は、前記第１搬送レール上を走行する第１搬送台車と、前記第２搬送レール上を走行する第２搬送台車と、の間での前記収容物の移載に用いられてもよい。

【0087】

上記の構成によれば、二つの異なる高さにおける搬送レール間において、天井保管棚を介して収容物の移載を可能とする。

【0088】

〔付記事項〕
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0089】

１ 天井保管棚
２ 搬送レール
２ａ 第１搬送レール
２ｂ 第２搬送レール
３ 搬送台車
３ａ 第１搬送台車
３ｂ 第２搬送台車
１１ 構造部
１２、１２ａ～１２ｃ、１３ 棚段
１４ リニアガイド
１５ 昇降部
１６ 把持部
１７ 係合部
２０ 制御部
３０ 上位装置
１００、１０１ 搬送システム
１２１ 棚部
１２２ 被把持部
１２３ 接続部
１２４ 被係合部
１５１ 駆動部
１５２ 昇降基部
１５３ 昇降回転部
１６１ 移動機構
１６２ 基部
１６３ 下把持部
１６４ 上把持部
１７１ 係合部材
１７２ 空隙
Ｐ 収容物

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】