(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024155215
(43)【公開日】2024-10-31
(54)【発明の名称】インピーダンス測定装置およびインピーダンス測定方法
(51)【国際特許分類】
G01R 27/02 20060101AFI20241024BHJP
【ＦＩ】
G01R27/02 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】13
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023069707
(22)【出願日】2023-04-21
(71)【出願人】
【識別番号】000227180
【氏名又は名称】日置電機株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100104787
【弁理士】
【氏名又は名称】酒井 伸司
(72)【発明者】
【氏名】北村 直也
(72)【発明者】
【氏名】吉原 亮平
(72)【発明者】
【氏名】羽田 一暁
【テーマコード（参考）】
2G028
【Ｆターム（参考）】
2G028AA01
2G028BB01
2G028CG02
2G028CG08
2G028DH05
2G028FK08
2G028GL03
2G028HN11
2G028HN13
(57)【要約】
【課題】四端子測定の際における測定対象に対する各ソース端子および各センス端子の接続状態を示す経路インピーダンスを個別かつ正確に算出する。
【解決手段】ソース端子Ｈｃと、測定対象ＤＵＴと、ソース端子Ｌｃとを含む第１の電流経路ＩＲ１に検出用電流Ｉtaを供給すると共に、センス端子Ｈｐと、測定対象ＤＵＴと、センス端子Ｌｐとを含む第２の電流経路ＩＲ２に検出用電流Ｉtbを供給し、検出用電流Ｉta，Ｉtbの供給時において、ソース端子Ｈｃとセンス端子Ｈｐとの間に生じる電圧、およびソース端子Ｌｃとセンス端子Ｌｐとの間に生じる電圧を検出電圧として検出し、検出した各検出電圧に基づいて、各ソース端子Ｈｃ，Ｌｃおよび各センス端子Ｈｐ，Ｌｐと測定対象ＤＵＴの一端および他端との間の各経路の各経路インピーダンスを算出する。
【選択図】図２
【解決手段】ソース端子Ｈｃと、測定対象ＤＵＴと、ソース端子Ｌｃとを含む第１の電流経路ＩＲ１に検出用電流Ｉtaを供給すると共に、センス端子Ｈｐと、測定対象ＤＵＴと、センス端子Ｌｐとを含む第２の電流経路ＩＲ２に検出用電流Ｉtbを供給し、検出用電流Ｉta，Ｉtbの供給時において、ソース端子Ｈｃとセンス端子Ｈｐとの間に生じる電圧、およびソース端子Ｌｃとセンス端子Ｌｐとの間に生じる電圧を検出電圧として検出し、検出した各検出電圧に基づいて、各ソース端子Ｈｃ，Ｌｃおよび各センス端子Ｈｐ，Ｌｐと測定対象ＤＵＴの一端および他端との間の各経路の各経路インピーダンスを算出する。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
Ｈｉ側のソース端子およびＨｉ側のセンス端子に一端が接続されると共にＬｏ側のソース端子およびＬｏ側のセンス端子に他端が接続される測定対象に当該各ソース端子を介して交流測定用電流を供給する測定用信号源と、
前記Ｈｉ側のソース端子と前記測定対象の前記一端との間の経路の経路インピーダンス、Ｌｏ側のソース端子と前記測定対象の前記他端との間の経路の経路インピーダンス、前記Ｈｉ側のセンス端子と前記測定対象の前記一端との間の経路の経路インピーダンス、およびＬｏ側のセンス端子と前記測定対象の前記他端との間の経路の経路インピーダンスを検出するための検出用電流を供給する検出用信号源と、
前記交流測定用電流の供給によって前記測定対象の前記一端および当該測定対象の前記他端間に生じる交流電圧を前記各センス端子を介して検出すると共に前記検出用電流の供給によって前記各経路に生じる各電圧を検出電圧として検出する検出部と、
前記検出部によって検出された前記交流電圧の電圧値と前記交流測定用電流の電流値とに基づいて前記測定対象のインピーダンスを算出すると共に前記検出部によって検出された前記各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する処理部とを備えているインピーダンス測定装置であって、
前記検出用信号源は、前記Ｈｉ側のソース端子と、前記測定対象と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちのいずれか一方の端子とを含む第１の電流経路に前記検出用電流としての第１の検出用電流を供給すると共に、前記Ｈｉ側のセンス端子と、前記測定対象と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちの他方の端子とを含む第２の電流経路に前記検出用電流としての第２の検出用電流を供給可能に構成され、
前記検出部は、前記第１の検出用電流および前記第２の検出用電流の供給時において、前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｈｉ側のセンス端子との間に生じる電圧、および前記Ｌｏ側のソース端子と前記Ｌｏ側のセンス端子との間に生じる電圧を前記検出電圧として検出し、
前記処理部は、前記検出部によって検出された前記各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを算出するインピーダンス測定装置。
前記Ｈｉ側のソース端子と前記測定対象の前記一端との間の経路の経路インピーダンス、Ｌｏ側のソース端子と前記測定対象の前記他端との間の経路の経路インピーダンス、前記Ｈｉ側のセンス端子と前記測定対象の前記一端との間の経路の経路インピーダンス、およびＬｏ側のセンス端子と前記測定対象の前記他端との間の経路の経路インピーダンスを検出するための検出用電流を供給する検出用信号源と、
前記交流測定用電流の供給によって前記測定対象の前記一端および当該測定対象の前記他端間に生じる交流電圧を前記各センス端子を介して検出すると共に前記検出用電流の供給によって前記各経路に生じる各電圧を検出電圧として検出する検出部と、
前記検出部によって検出された前記交流電圧の電圧値と前記交流測定用電流の電流値とに基づいて前記測定対象のインピーダンスを算出すると共に前記検出部によって検出された前記各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する処理部とを備えているインピーダンス測定装置であって、
前記検出用信号源は、前記Ｈｉ側のソース端子と、前記測定対象と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちのいずれか一方の端子とを含む第１の電流経路に前記検出用電流としての第１の検出用電流を供給すると共に、前記Ｈｉ側のセンス端子と、前記測定対象と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちの他方の端子とを含む第２の電流経路に前記検出用電流としての第２の検出用電流を供給可能に構成され、
前記検出部は、前記第１の検出用電流および前記第２の検出用電流の供給時において、前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｈｉ側のセンス端子との間に生じる電圧、および前記Ｌｏ側のソース端子と前記Ｌｏ側のセンス端子との間に生じる電圧を前記検出電圧として検出し、
前記処理部は、前記検出部によって検出された前記各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを算出するインピーダンス測定装置。
【請求項2】
Ｈｉ側のソース端子およびＨｉ側のセンス端子に一端が接続されると共にＬｏ側のソース端子およびＬｏ側のセンス端子に他端が接続される測定対象に当該各ソース端子を介して交流測定用電流を供給する測定用信号源と、
前記Ｈｉ側のソース端子と前記測定対象の前記一端との間の経路の経路インピーダンス、Ｌｏ側のソース端子と前記測定対象の前記他端との間の経路の経路インピーダンス、前記Ｈｉ側のセンス端子と前記測定対象の前記一端との間の経路の経路インピーダンス、およびＬｏ側のセンス端子と前記測定対象の前記他端との間の経路の経路インピーダンスを検出するための検出用電流を供給する検出用信号源と、
前記交流測定用電流の供給によって前記測定対象の前記一端および当該測定対象の前記他端間に生じる交流電圧を前記各センス端子を介して検出すると共に前記検出用電流の供給によって前記各経路に生じる各電圧を検出電圧として検出する検出部と、
前記検出部によって検出された前記交流電圧の電圧値と前記交流測定用電流の電流値とに基づいて前記測定対象のインピーダンスを算出すると共に前記検出部によって検出された前記各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する処理部とを備えているインピーダンス測定装置であって、
前記検出用信号源は、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｈｉ側のセンス端子を含み、前記測定対象を含まない第１の電流経路に前記検出用電流としての第１の検出用電流を供給すると共に、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子を含み、前記測定対象を含まない第２の電流経路に前記検出用電流としての第２の検出用電流を供給可能に構成され、
前記検出部は、前記第１の検出用電流および前記第２の検出用電流の供給時において、前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちのいずれか一方の端子との間に生じる電圧、並びに前記Ｈｉ側のセンス端子と前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちの他方の端子との間に生じる電圧を前記検出電圧として検出し、
前記処理部は、前記検出部によって検出された前記各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを算出するインピーダンス測定装置。
前記Ｈｉ側のソース端子と前記測定対象の前記一端との間の経路の経路インピーダンス、Ｌｏ側のソース端子と前記測定対象の前記他端との間の経路の経路インピーダンス、前記Ｈｉ側のセンス端子と前記測定対象の前記一端との間の経路の経路インピーダンス、およびＬｏ側のセンス端子と前記測定対象の前記他端との間の経路の経路インピーダンスを検出するための検出用電流を供給する検出用信号源と、
前記交流測定用電流の供給によって前記測定対象の前記一端および当該測定対象の前記他端間に生じる交流電圧を前記各センス端子を介して検出すると共に前記検出用電流の供給によって前記各経路に生じる各電圧を検出電圧として検出する検出部と、
前記検出部によって検出された前記交流電圧の電圧値と前記交流測定用電流の電流値とに基づいて前記測定対象のインピーダンスを算出すると共に前記検出部によって検出された前記各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する処理部とを備えているインピーダンス測定装置であって、
前記検出用信号源は、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｈｉ側のセンス端子を含み、前記測定対象を含まない第１の電流経路に前記検出用電流としての第１の検出用電流を供給すると共に、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子を含み、前記測定対象を含まない第２の電流経路に前記検出用電流としての第２の検出用電流を供給可能に構成され、
前記検出部は、前記第１の検出用電流および前記第２の検出用電流の供給時において、前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちのいずれか一方の端子との間に生じる電圧、並びに前記Ｈｉ側のセンス端子と前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちの他方の端子との間に生じる電圧を前記検出電圧として検出し、
前記処理部は、前記検出部によって検出された前記各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを算出するインピーダンス測定装置。
【請求項3】
前記検出用信号源は、交流電流の前記第１検出用電流および前記第２検出用電流を供給し、
前記検出部は、前記各端子間に生じる各電圧を前記各検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記各検出電圧として検出する検波部を備えて構成され、
前記処理部は、前記検波部によって検出された前記各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する請求項１記載のインピーダンス測定装置。
前記検出部は、前記各端子間に生じる各電圧を前記各検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記各検出電圧として検出する検波部を備えて構成され、
前記処理部は、前記検波部によって検出された前記各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する請求項１記載のインピーダンス測定装置。
【請求項4】
前記検出用信号源は、交流電流の前記第１検出用電流および前記第２検出用電流を供給し、
前記検出部は、前記各端子間に生じる各電圧を前記各検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記各検出電圧として検出する検波部を備えて構成され、
前記処理部は、前記検波部によって検出された前記各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する請求項２記載のインピーダンス測定装置。
前記検出部は、前記各端子間に生じる各電圧を前記各検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記各検出電圧として検出する検波部を備えて構成され、
前記処理部は、前記検波部によって検出された前記各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する請求項２記載のインピーダンス測定装置。
【請求項5】
前記検出用信号源は、前記Ｈｉ側のソース端子、前記測定対象および前記Ｌｏ側のソース端子を含む電流経路を前記第１の電流経路として前記第１の検出用電流を供給すると共に、前記Ｈｉ側のセンス端子、前記測定対象および前記Ｌｏ側のセンス端子を含む電流経路を前記第２の電流経路として前記第２の検出用電流を供給可能に構成され、
前記検波部は、前記Ｈｉ側のセンス端子およびＬｏ側のセンス端子間に生じる前記交流電圧を前記交流測定用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して第１の検波信号を生成する第１の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｈｉ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第２の検波信号を生成する第２の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｈｉ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第３の検波信号を生成する第３の同期検波回路と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第４の検波信号を生成する第４の同期検波回路と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第５の検波信号を生成する第５の同期検波回路とを備えて構成され、
前記処理部は、前記第１の検波信号の電圧値を前記検出部によって検出された交流電圧の電圧値として用いて前記測定対象のインピーダンスを算出すると共に前記第２の検波信号、前記第３の検波信号、前記第４の検波信号および前記第５の検波信号に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する請求項３記載のインピーダンス測定装置。
前記検波部は、前記Ｈｉ側のセンス端子およびＬｏ側のセンス端子間に生じる前記交流電圧を前記交流測定用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して第１の検波信号を生成する第１の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｈｉ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第２の検波信号を生成する第２の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｈｉ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第３の検波信号を生成する第３の同期検波回路と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第４の検波信号を生成する第４の同期検波回路と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第５の検波信号を生成する第５の同期検波回路とを備えて構成され、
前記処理部は、前記第１の検波信号の電圧値を前記検出部によって検出された交流電圧の電圧値として用いて前記測定対象のインピーダンスを算出すると共に前記第２の検波信号、前記第３の検波信号、前記第４の検波信号および前記第５の検波信号に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する請求項３記載のインピーダンス測定装置。
【請求項6】
前記検出用信号源は、前記Ｈｉ側のソース端子、前記測定対象および前記Ｌｏ側のセンス端子を含む電流経路を前記第１の電流経路として前記第１の検出用電流を供給すると共に、前記Ｈｉ側のセンス端子、前記測定対象および前記Ｌｏ側のソース端子を含む電流経路を前記第２の電流経路として前記第２の検出用電流を供給可能に構成され、
前記検波部は、前記Ｈｉ側のセンス端子およびＬｏ側のセンス端子間に生じる前記交流電圧を前記交流測定用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して第１の検波信号を生成する第１の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｈｉ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第２の検波信号を生成する第２の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｈｉ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第３の検波信号を生成する第３の同期検波回路と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第４の検波信号を生成する第４の同期検波回路と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第５の検波信号を生成する第５の同期検波回路とを備えて構成され、
前記処理部は、前記第１の検波信号の電圧値を前記検出部によって検出された交流電圧の電圧値として用いて前記測定対象のインピーダンスを算出すると共に前記第２の検波信号、前記第３の検波信号、前記第４の検波信号および前記第５の検波信号に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する請求項３記載のインピーダンス測定装置。
前記検波部は、前記Ｈｉ側のセンス端子およびＬｏ側のセンス端子間に生じる前記交流電圧を前記交流測定用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して第１の検波信号を生成する第１の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｈｉ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第２の検波信号を生成する第２の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｈｉ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第３の検波信号を生成する第３の同期検波回路と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第４の検波信号を生成する第４の同期検波回路と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第５の検波信号を生成する第５の同期検波回路とを備えて構成され、
前記処理部は、前記第１の検波信号の電圧値を前記検出部によって検出された交流電圧の電圧値として用いて前記測定対象のインピーダンスを算出すると共に前記第２の検波信号、前記第３の検波信号、前記第４の検波信号および前記第５の検波信号に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する請求項３記載のインピーダンス測定装置。
【請求項7】
前記検出部は、前記第１の検出用電流および前記第２の検出用電流の供給時において、前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｌｏ側のソース端子との間に生じる電圧、および前記Ｈｉ側のセンス端子と前記Ｌｏ側のセンス端子との間に生じる電圧を前記検出電圧として検出し、
前記検波部は、前記Ｈｉ側のセンス端子およびＬｏ側のセンス端子間に生じる前記交流電圧を前記交流測定用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して第１の検波信号を生成する第１の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｌｏ側のソース端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第２の検波信号を生成する第２の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のセンス端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第３の検波信号を生成する第３の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｌｏ側のソース端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第４の検波信号を生成する第４の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のセンス端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第５の検波信号を生成する第５の同期検波回路とを備えて構成され、
前記処理部は、前記第１の検波信号の電圧値を前記検出部によって検出された交流電圧の電圧値として用いて前記測定対象のインピーダンスを算出すると共に前記第２の検波信号、前記第３の検波信号、前記第４の検波信号および前記第５の検波信号に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する請求項４記載のインピーダンス測定装置。
前記検波部は、前記Ｈｉ側のセンス端子およびＬｏ側のセンス端子間に生じる前記交流電圧を前記交流測定用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して第１の検波信号を生成する第１の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｌｏ側のソース端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第２の検波信号を生成する第２の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のセンス端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第３の検波信号を生成する第３の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｌｏ側のソース端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第４の検波信号を生成する第４の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のセンス端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第５の検波信号を生成する第５の同期検波回路とを備えて構成され、
前記処理部は、前記第１の検波信号の電圧値を前記検出部によって検出された交流電圧の電圧値として用いて前記測定対象のインピーダンスを算出すると共に前記第２の検波信号、前記第３の検波信号、前記第４の検波信号および前記第５の検波信号に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する請求項４記載のインピーダンス測定装置。
【請求項8】
前記検出部は、前記第１の検出用電流および前記第２の検出用電流の供給時において、前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｌｏ側のセンス端子との間に生じる電圧、および前記Ｈｉ側のセンス端子と前記Ｌｏ側のソース端子との間に生じる電圧を前記検出電圧として検出し、
前記検波部は、前記Ｈｉ側のセンス端子およびＬｏ側のセンス端子間に生じる前記交流電圧を前記交流測定用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して第１の検波信号を生成する第１の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第２の検波信号を生成する第２の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のセンス端子および前記Ｌｏ側のソース端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第３の検波信号を生成する第３の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のセンス端子および前記Ｌｏ側のソース端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第４の検波信号を生成する第４の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第５の検波信号を生成する第５の同期検波回路とを備えて構成され、
前記処理部は、前記第１の検波信号の電圧値を前記検出部によって検出された交流電圧の電圧値として用いて前記測定対象のインピーダンスを算出すると共に前記第２の検波信号、前記第３の検波信号、前記第４の検波信号および前記第５の検波信号に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する請求項４記載のインピーダンス測定装置。
前記検波部は、前記Ｈｉ側のセンス端子およびＬｏ側のセンス端子間に生じる前記交流電圧を前記交流測定用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して第１の検波信号を生成する第１の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第２の検波信号を生成する第２の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のセンス端子および前記Ｌｏ側のソース端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第３の検波信号を生成する第３の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のセンス端子および前記Ｌｏ側のソース端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第４の検波信号を生成する第４の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第５の検波信号を生成する第５の同期検波回路とを備えて構成され、
前記処理部は、前記第１の検波信号の電圧値を前記検出部によって検出された交流電圧の電圧値として用いて前記測定対象のインピーダンスを算出すると共に前記第２の検波信号、前記第３の検波信号、前記第４の検波信号および前記第５の検波信号に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する請求項４記載のインピーダンス測定装置。
【請求項9】
前記測定用信号源は、前記検出用信号源としても作動して、前記第１の検出用電流を供給する請求項５記載のインピーダンス測定装置。
【請求項10】
前記第１の検出用電流の周波数および前記第２の検出用電流の周波数は、互いに異なる値に規定されている請求項３から９のいずれかに記載のインピーダンス測定装置。
【請求項11】
前記交流測定用電流の周波数、前記第１の検出用電流の周波数および前記第２の検出用電流の周波数は、互いに異なる値に規定されている請求項３から９のいずれかに記載のインピーダンス測定装置。
【請求項12】
Ｈｉ側のソース端子およびＨｉ側のセンス端子に一端が接続されると共にＬｏ側のソース端子およびＬｏ側のセンス端子に他端が接続される測定対象に当該各ソース端子を介して交流測定用電流を供給し、当該交流測定用電流の供給によって前記測定対象の前記一端および当該測定対象の前記他端間に生じる交流電圧を前記各センス端子を介して検出すると共に、前記Ｈｉ側のソース端子と前記測定対象の前記一端との間の経路の経路インピーダンス、Ｌｏ側のソース端子と前記測定対象の前記他端との間の経路の経路インピーダンス、前記Ｈｉ側のセンス端子と前記測定対象の前記一端との間の経路の経路インピーダンス、およびＬｏ側のセンス端子と前記測定対象の前記他端との間の経路の経路インピーダンスを検出するための検出用電流を供給し、当該検出用電流の供給によって前記各経路に生じる各電圧を検出電圧として検出し、前記検出した交流電圧の電圧値と前記交流測定用電流の電流値とに基づいて前記測定対象のインピーダンスを測定すると共に前記検出した各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを測定するインピーダンス測定方法であって、
前記Ｈｉ側のソース端子と、前記測定対象と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちのいずれか一方の端子とを含む第１の電流経路に前記検出用電流としての第１の検出用電流を供給すると共に、前記Ｈｉ側のセンス端子と、前記測定対象と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちの他方の端子とを含む第２の電流経路に前記検出用電流としての第２の検出用電流を供給し、
前記第１の検出用電流および前記第２の検出用電流の供給時において、前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｈｉ側のセンス端子との間に生じる電圧、および前記Ｌｏ側のソース端子と前記Ｌｏ側のセンス端子との間に生じる電圧を前記検出電圧として検出し、
前記検出した前記各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを測定するインピーダンス測定方法。
前記Ｈｉ側のソース端子と、前記測定対象と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちのいずれか一方の端子とを含む第１の電流経路に前記検出用電流としての第１の検出用電流を供給すると共に、前記Ｈｉ側のセンス端子と、前記測定対象と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちの他方の端子とを含む第２の電流経路に前記検出用電流としての第２の検出用電流を供給し、
前記第１の検出用電流および前記第２の検出用電流の供給時において、前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｈｉ側のセンス端子との間に生じる電圧、および前記Ｌｏ側のソース端子と前記Ｌｏ側のセンス端子との間に生じる電圧を前記検出電圧として検出し、
前記検出した前記各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを測定するインピーダンス測定方法。
【請求項13】
Ｈｉ側のソース端子およびＨｉ側のセンス端子に一端が接続されると共にＬｏ側のソース端子およびＬｏ側のセンス端子に他端が接続される測定対象に当該各ソース端子を介して交流測定用電流を供給し、当該交流測定用電流の供給によって前記測定対象の前記一端および当該測定対象の前記他端間に生じる交流電圧を前記各センス端子を介して検出すると共に、前記Ｈｉ側のソース端子と前記測定対象の前記一端との間の経路の経路インピーダンス、Ｌｏ側のソース端子と前記測定対象の前記他端との間の経路の経路インピーダンス、前記Ｈｉ側のセンス端子と前記測定対象の前記一端との間の経路の経路インピーダンス、およびＬｏ側のセンス端子と前記測定対象の前記他端との間の経路の経路インピーダンスを検出するための検出用電流を供給し、当該検出用電流の供給によって前記各経路に生じる各電圧を検出電圧として検出し、前記検出した交流電圧の電圧値と前記交流測定用電流の電流値とに基づいて前記測定対象のインピーダンスを測定すると共に前記検出した各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを測定するインピーダンス測定方法であって、
前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｈｉ側のセンス端子を含み、前記測定対象を含まない第１の電流経路に前記検出用電流としての第１の検出用電流を供給すると共に、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子を含み、前記測定対象を含まない第２の電流経路に前記検出用電流としての第２の検出用電流を供給し、
前記第１の検出用電流および前記第２の検出用電流の供給時において、前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちのいずれか一方の端子との間に生じる電圧、並びに前記Ｈｉ側のセンス端子と前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちの他方の端子との間に生じる電圧を前記検出電圧として検出し、
前記検出した前記各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを測定するインピーダンス測定方法。
前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｈｉ側のセンス端子を含み、前記測定対象を含まない第１の電流経路に前記検出用電流としての第１の検出用電流を供給すると共に、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子を含み、前記測定対象を含まない第２の電流経路に前記検出用電流としての第２の検出用電流を供給し、
前記第１の検出用電流および前記第２の検出用電流の供給時において、前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちのいずれか一方の端子との間に生じる電圧、並びに前記Ｈｉ側のセンス端子と前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちの他方の端子との間に生じる電圧を前記検出電圧として検出し、
前記検出した前記各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを測定するインピーダンス測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、測定対象に接続される一対のソース端子（電流供給端子）と一対のセンス端子（電圧検出端子）とを有する４線式の（インピーダンスを４端子法で測定する）インピーダンス測定装置およびインピーダンス測定方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
例えば、この種のインピーダンス測定装置として下記の特許文献１に開示された４つのインピーダンス測定装置が知られている。このインピーダンス測定装置のうちの１つのインピーダンス測定装置は、測定部と処理部とを備えて構成されて、測定用信号源の電源系における第１グランドと測定部の電源系における第２グランドとが電気的に分離されている。この場合、測定部は、Ｈｉ側のセンス端子と第２グランドに接続されたＬｏ側のセンス端子との間に接続される測定対象に交流検査電流を供給する検査用信号源と、Ｈｉ側のソース端子に接続されて、Ｈｉ側のソース端子からＬｏ側のソース端子を介して第１グランドに至る経路に流れる交流測定電流に基づいてＨｉ側のソース端子に生じる電圧を、第２グランドを基準として検出して第１検出電圧として出力する第１検出部と、Ｌｏ側のソース端子に接続されて、交流測定電流に基づいてＬｏ側のソース端子に生じる電圧を、第２グランドを基準として検出して第２検出電圧として出力する第２検出部と、Ｌｏ側のソース端子に接続されて、交流検査電流に基づいてＬｏ側のソース端子に生じる電圧を、第２グランドを基準として検出して第３検出電圧として出力する第３検出部と、Ｈｉ側のセンス端子に接続されて、交流測定電流に基づいてＨｉ側のセンス端子に生じる電圧を、第２グランドを基準として検出して第４検出電圧として出力する第４検出部と、Ｈｉ側のセンス端子に接続されて、交流検査電流に基づいてＨｉ側のセンス端子に生じる電圧を、第２グランドを基準として検出して第５検出電圧として出力する第５検出部とを備えて構成されている。また、処理部は、第１検出電圧、第２検出電圧、第３検出電圧、第４検出電圧、第５検出電圧、交流測定電流および交流検査電流に基づいて、Ｈｉ側のソース端子と測定対象との間の接触抵抗ＲHCの抵抗値、Ｌｏ側のソース端子と測定対象との間の接触抵抗ＲLCの抵抗値、Ｈｉ側のセンス端子と測定対象との間の接触抵抗ＲHPの抵抗値、およびＬｏ側のセンス端子と測定対象との間の接触抵抗ＲLPの抵抗値を算出している。
【0003】
この場合、ソース端子Ｈｃに生じる電圧についての第１検出電圧の電圧値は、測定対象の内部抵抗Ｒｘと接触抵抗ＲHCの直列合成抵抗（Ｒｘ＋ＲHC）の抵抗値に比例する値となっている。また、ソース端子Ｌｃに生じる電圧についての第２検出電圧の電圧値は、接触抵抗ＲLCの抵抗値に比例する値となっている。また、ソース端子Ｌｃに生じる電圧についての第３検出電圧の電圧値は、接触抵抗ＲLPの抵抗値に比例する値となっている。また、センス端子Ｈｐに生じる電圧についての第４検出電圧の電圧値は、内部抵抗Ｒｘの抵抗値に比例する値となっている。また、センス端子Ｈｐに生じる電圧についての第５検出電圧の電圧値は、接触抵抗ＲHPと内部抵抗Ｒｘと接触抵抗ＲLPの直列合成抵抗（ＲHP＋Ｒｘ＋ＲLP）の抵抗値に比例する値となっている。
【0004】
したがって、処理部は、第１検出電圧の電圧値を交流測定電流の既知の電流値で除算して直列合成抵抗（Ｒｘ＋ＲHC）の抵抗値を算出し、第２検出電圧の電圧値を交流測定電流の既知の電流値で除算して接触抵抗ＲLCの抵抗値を算出し、第３検出電圧の電圧値を交流検査電流の既知の電流値で除算して接触抵抗ＲLPの抵抗値を算出し、第４検出電圧の電圧値を交流測定電流の既知の電流値で除算して内部抵抗Ｒｘの抵抗値を算出し、第５検出電圧の電圧値を交流検査電流の既知の電流値で除算して直列合成抵抗（ＲHP＋Ｒｘ＋ＲLP）の抵抗値を算出する。
【0005】
次いで、処理部は、算出した直列合成抵抗（Ｒｘ＋ＲHC）の抵抗値から算出した内部抵抗Ｒｘの抵抗値を減算することで、接触抵抗ＲHCの抵抗値を算出する。また、処理部は、算出した直列合成抵抗（ＲHP＋Ｒｘ＋ＲLP）の抵抗値から算出した内部抵抗Ｒｘの抵抗値および接触抵抗ＲLPの抵抗値を減算することで、接触抵抗ＲHPの抵抗値を算出する。これにより、４つの経路インピーダンスとしての接触抵抗ＲHC，ＲLC，ＲHP，ＲLPの各抵抗値がすべて算出される。
【0006】
このように、このインピーダンス測定装置では、各接触抵抗の抵抗値を求めるための検査用信号源および検出部を備えたことにより、Ｈｉ側とＬｏ側の信号供給用の各ソース端子、およびＨｉ側とＬｏ側の信号検出用の各センス端子と測定対象における対応する電極との間の接触抵抗（ＲHC，ＲLC，ＲHP，ＲLP）の各抵抗値を個別に測定することが可能となっている。
【0007】
また、他の３つのインピーダンス測定装置でも、上記のインピーダンス測定装置と同様にして、５つの検出部を備えて、処理部が、その５つの検出部によって検出された第１検出電圧、第２検出電圧、第３検出電圧、第４検出電圧、第５検出電圧、交流測定電流および交流検査電流に基づいて、Ｈｉ側のソース端子、Ｌｏ側のソース端子、Ｈｉ側のセンス端子およびＬｏ側のセンス端子のそれぞれと測定対象との間の各接触抵抗の抵抗値を算出することにより、Ｈｉ側とＬｏ側の信号供給用の各ソース端子、およびＨｉ側とＬｏ側の信号検出用の各センス端子と測定対象における対応する電極との間の接触抵抗（ＲHC，ＲLC，ＲHP，ＲLP）の各抵抗値を個別に測定することが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0008】
【特許文献1】特許第７１５４９５８号公報（第８－２８頁、第１～４図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
ところが、上記のインピーダンス測定装置では、各検出電圧から最終的に接触抵抗（ＲHC，ＲLC，ＲHP，ＲLP）の各抵抗値を算出する際に、各検出電圧に基づいて検出対象の４つの接触抵抗ＲHC，ＲLC，ＲHP，ＲLPの各抵抗値を直接的に算出することはできず、少なくとも１つの接触抵抗の抵抗値を算出する際には、必ず減算処理が必要となっている。つまり、これらのインピーダンス測定装置では、その少なくとも１つの接触抵抗の抵抗値を算出する際に、測定対象の内部抵抗Ｒｘの抵抗値や算出対象以外の接触抵抗の抵抗値を先に算出して、その算出結果を利用して減算処理することにより、算出対象の接触抵抗の抵抗値を算出している。具体的には、例えば、接触抵抗ＲHPを検出対象としてその抵抗値を算出する際には、先に算出した直列合成抵抗（ＲHP＋Ｒｘ＋ＲLP）の抵抗値から、他の演算によって先に算出した内部抵抗Ｒｘの抵抗値および他の接触抵抗ＲLPの抵抗値を減算処理することにより、接触抵抗ＲHPの抵抗値を算出している。したがって、これらのインピーダンス測定装置では、各接触抵抗の抵抗値を算出するにあたり、減算処理が必ず必要となるため、他の演算結果における演算誤差が加算されて累積されている。このため、これらのインピーダンス測定装置には、各接触抵抗についての抵抗値算出の誤差が大きくなる結果、この点の改善が求められている。
【0010】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、四端子測定の際における測定対象に対するＨｉ側のソース端子、Ｈｉ側のセンス端子、Ｌｏ側のソース端子およびＬｏ側のセンス端子のそれぞれの接続状態を示す経路インピーダンス（抵抗値）を個別かつ正確に測定（算出）し得るインピーダンス測定装置およびインピーダンス測定方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0011】
上記目的を達成すべく本発明に係るインピーダンス測定装置は、Ｈｉ側のソース端子およびＨｉ側のセンス端子に一端が接続されると共にＬｏ側のソース端子およびＬｏ側のセンス端子に他端が接続される測定対象に当該各ソース端子を介して交流測定用電流を供給する測定用信号源と、前記Ｈｉ側のソース端子と前記測定対象の前記一端との間の経路の経路インピーダンス、Ｌｏ側のソース端子と前記測定対象の前記他端との間の経路の経路インピーダンス、前記Ｈｉ側のセンス端子と前記測定対象の前記一端との間の経路の経路インピーダンス、およびＬｏ側のセンス端子と前記測定対象の前記他端との間の経路の経路インピーダンスを検出するための検出用電流を供給する検出用信号源と、前記交流測定用電流の供給によって前記測定対象の前記一端および当該測定対象の前記他端間に生じる交流電圧を前記各センス端子を介して検出すると共に前記検出用電流の供給によって前記各経路に生じる各電圧を検出電圧として検出する検出部と、前記検出部によって検出された前記交流電圧の電圧値と前記交流測定用電流の電流値とに基づいて前記測定対象のインピーダンスを算出すると共に前記検出部によって検出された前記各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する処理部とを備えているインピーダンス測定装置であって、前記検出用信号源は、前記Ｈｉ側のソース端子と、前記測定対象と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちのいずれか一方の端子とを含む第１の電流経路に前記検出用電流としての第１の検出用電流を供給すると共に、前記Ｈｉ側のセンス端子と、前記測定対象と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちの他方の端子とを含む第２の電流経路に前記検出用電流としての第２の検出用電流を供給可能に構成され、前記検出部は、前記第１の検出用電流および前記第２の検出用電流の供給時において、前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｈｉ側のセンス端子との間に生じる電圧、および前記Ｌｏ側のソース端子と前記Ｌｏ側のセンス端子との間に生じる電圧を前記検出電圧として検出し、前記処理部は、前記検出部によって検出された前記各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する。
【0012】
上記目的を達成すべく本発明に係るインピーダンス測定方法は、Ｈｉ側のソース端子およびＨｉ側のセンス端子に一端が接続されると共にＬｏ側のソース端子およびＬｏ側のセンス端子に他端が接続される測定対象に当該各ソース端子を介して交流測定用電流を供給し、当該交流測定用電流の供給によって前記測定対象の前記一端および当該測定対象の前記他端間に生じる交流電圧を前記各センス端子を介して検出すると共に、前記Ｈｉ側のソース端子と前記測定対象の前記一端との間の経路の経路インピーダンス、Ｌｏ側のソース端子と前記測定対象の前記他端との間の経路の経路インピーダンス、前記Ｈｉ側のセンス端子と前記測定対象の前記一端との間の経路の経路インピーダンス、およびＬｏ側のセンス端子と前記測定対象の前記他端との間の経路の経路インピーダンスを検出するための検出用電流を供給し、当該検出用電流の供給によって前記各経路に生じる各電圧を検出電圧として検出し、前記検出した交流電圧の電圧値と前記交流測定用電流の電流値とに基づいて前記測定対象のインピーダンスを測定すると共に前記検出した各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを測定するインピーダンス測定方法であって、前記Ｈｉ側のソース端子と、前記測定対象と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちのいずれか一方の端子とを含む第１の電流経路に前記検出用電流としての第１の検出用電流を供給すると共に、前記Ｈｉ側のセンス端子と、前記測定対象と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちの他方の端子とを含む第２の電流経路に前記検出用電流としての第２の検出用電流を供給し、前記第１の検出用電流および前記第２の検出用電流の供給時において、前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｈｉ側のセンス端子との間に生じる電圧、および前記Ｌｏ側のソース端子と前記Ｌｏ側のセンス端子との間に生じる電圧を前記検出電圧として検出し、前記検出した前記各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを測定する。
【0013】
このインピーダンス測定装置およびインピーダンス測定方法によれば、Ｈｉ側のソース端子と、測定対象と、Ｌｏ側のソース端子およびＬｏ側のセンス端子のうちのいずれか一方の端子とを含む第１の電流経路Ｉに第１検出用電流を供給すると共に、Ｈｉ側のセンス端子と、測定対象と、Ｌｏ側のソース端子およびＬｏ側のセンス端子のうちの他方の端子とを含む第２の電流経路に第２の検出用電流を供給し、第１検出用電流および第２の検出用電流の供給時において、Ｈｉ側のソース端子とＨｉ側のセンス端子との間に生じる電圧、およびＬｏ側のソース端子とＬｏ側のセンス端子との間に生じる電圧を検出電圧として検出し、検出した各検出電圧に基づいて各経路インピーダンスを測定することにより、減算処理を行うことなく、各経路インピーダンスを直接的に算出することができる。したがって、このインピーダンス測定装置およびインピーダンス測定方法によれば、四端子測定の際における測定対象に対するＨｉ側のソース端子、Ｈｉ側のセンス端子、Ｌｏ側のソース端子およびＬｏ側のセンス端子のそれぞれの接続状態を示す経路インピーダンスを個別かつ正確に測定（算出）することができる。
【0014】
上記目的を達成すべく本発明に係るインピーダンス測定装置は、Ｈｉ側のソース端子およびＨｉ側のセンス端子に一端が接続されると共にＬｏ側のソース端子およびＬｏ側のセンス端子に他端が接続される測定対象に当該各ソース端子を介して交流測定用電流を供給する測定用信号源と、前記Ｈｉ側のソース端子と前記測定対象の前記一端との間の経路の経路インピーダンス、Ｌｏ側のソース端子と前記測定対象の前記他端との間の経路の経路インピーダンス、前記Ｈｉ側のセンス端子と前記測定対象の前記一端との間の経路の経路インピーダンス、およびＬｏ側のセンス端子と前記測定対象の前記他端との間の経路の経路インピーダンスを検出するための検出用電流を供給する検出用信号源と、前記交流測定用電流の供給によって前記測定対象の前記一端および当該測定対象の前記他端間に生じる交流電圧を前記各センス端子を介して検出すると共に前記検出用電流の供給によって前記各経路に生じる各電圧を検出電圧として検出する検出部と、前記検出部によって検出された前記交流電圧の電圧値と前記交流測定用電流の電流値とに基づいて前記測定対象のインピーダンスを算出すると共に前記検出部によって検出された前記各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する処理部とを備えているインピーダンス測定装置であって、前記検出用信号源は、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｈｉ側のセンス端子を含み、前記測定対象を含まない第１の電流経路に前記検出用電流としての第１の検出用電流を供給すると共に、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子を含み、前記測定対象を含まない第２の電流経路に前記検出用電流としての第２の検出用電流を供給可能に構成され、前記検出部は、前記第１の検出用電流および前記第２の検出用電流の供給時において、前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちのいずれか一方の端子との間に生じる電圧、並びに前記Ｈｉ側のセンス端子と前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちの他方の端子との間に生じる電圧を前記検出電圧として検出し、前記処理部は、前記検出部によって検出された前記各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する。
【0015】
上記目的を達成すべく本発明に係るインピーダンス測定方法は、Ｈｉ側のソース端子およびＨｉ側のセンス端子に一端が接続されると共にＬｏ側のソース端子およびＬｏ側のセンス端子に他端が接続される測定対象に当該各ソース端子を介して交流測定用電流を供給し、当該交流測定用電流の供給によって前記測定対象の前記一端および当該測定対象の前記他端間に生じる交流電圧を前記各センス端子を介して検出すると共に、前記Ｈｉ側のソース端子と前記測定対象の前記一端との間の経路の経路インピーダンス、Ｌｏ側のソース端子と前記測定対象の前記他端との間の経路の経路インピーダンス、前記Ｈｉ側のセンス端子と前記測定対象の前記一端との間の経路の経路インピーダンス、およびＬｏ側のセンス端子と前記測定対象の前記他端との間の経路の経路インピーダンスを検出するための検出用電流を供給し、当該検出用電流の供給によって前記各経路に生じる各電圧を検出電圧として検出し、前記検出した交流電圧の電圧値と前記交流測定用電流の電流値とに基づいて前記測定対象のインピーダンスを測定すると共に前記検出した各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを測定するインピーダンス測定方法であって、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｈｉ側のセンス端子を含み、前記測定対象を含まない第１の電流経路に前記検出用電流としての第１の検出用電流を供給すると共に、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子を含み、前記測定対象を含まない第２の電流経路に前記検出用電流としての第２の検出用電流を供給し、前記第１の検出用電流および前記第２の検出用電流の供給時において、前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちのいずれか一方の端子との間に生じる電圧、並びに前記Ｈｉ側のセンス端子と前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子のうちの他方の端子との間に生じる電圧を前記検出電圧として検出し、前記検出した前記各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを測定する。
【0016】
このインピーダンス測定装置およびインピーダンス測定方法によれば、Ｈｉ側のソース端子およびＨｉ側のセンス端子を含み、測定対象を含まない第１の電流経路に第１検出用電流を供給すると共に、Ｌｏ側のソース端子およびＬｏ側のセンス端子を含み、測定対象を含まない第２の電流経路に第２の検出用電流し、第１検出用電流および第２の検出用電流の供給時において、Ｈｉ側のソース端子とＬｏ側のソース端子およびＬｏ側のセンス端子のうちのいずれか一方の端子との間に生じる電圧、並びにＨｉ側のセンス端子とＬｏ側のソース端子およびＬｏ側のセンス端子のうちの他方の端子との間に生じる電圧を検出電圧として検出し、検出した各検出電圧に基づいて各経路インピーダンスを測定することにより、減算処理を行うことなく、各経路インピーダンスを直接的に算出することができる。したがって、このインピーダンス測定装置およびインピーダンス測定方法によれば、四端子測定の際における測定対象に対するＨｉ側のソース端子、Ｈｉ側のセンス端子、Ｌｏ側のソース端子およびＬｏ側のセンス端子のそれぞれの接続状態を示す経路インピーダンスを個別かつ正確に測定（算出）することができる。
【0017】
また、本発明に係るインピーダンス測定装置では、前記検出用信号源は、交流電流の前記第１検出用電流および前記第２検出用電流を供給し、前記検出部は、前記各端子間に生じる各電圧を前記各検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記各検出電圧として検出する検波部を備えて構成され、前記処理部は、前記検波部によって検出された前記各検出電圧に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する。
【0018】
このインピーダンス測定装置では、検出用信号源が、交流電流の第１検出用電流および第２の検出用電流を供給し、検出部の同期検波回路が、各端子間に生じる各電圧を第１検出用電流および第２検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して各検出電圧として検出し、処理部が、同期検波回路によって検出された各検出電圧に基づいて各経路インピーダンスを算出することにより、簡易な構成でありながら、各経路インピーダンスを確実かつ正確に算出することができる。
【0019】
また、本発明に係るインピーダンス測定装置では、前記検出用信号源は、前記Ｈｉ側のソース端子、前記測定対象および前記Ｌｏ側のソース端子を含む電流経路を前記第１の電流経路として前記第１の検出用電流を供給すると共に、前記Ｈｉ側のセンス端子、前記測定対象および前記Ｌｏ側のセンス端子を含む電流経路を前記第２の電流経路として前記第２の検出用電流を供給可能に構成され、前記検波部は、前記Ｈｉ側のセンス端子およびＬｏ側のセンス端子間に生じる前記交流電圧を前記交流測定用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して第１の検波信号を生成する第１の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｈｉ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第２の検波信号を生成する第２の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｈｉ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第３の検波信号を生成する第３の同期検波回路と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第４の検波信号を生成する第４の同期検波回路と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第５の検波信号を生成する第５の同期検波回路とを備えて構成され、前記処理部は、前記第１の検波信号の電圧値を前記検出部によって検出された交流電圧の電圧値として用いて前記測定対象のインピーダンスを算出すると共に前記第２の検波信号、前記第３の検波信号、前記第４の検波信号および前記第５の検波信号に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する。
【0020】
また、本発明に係るインピーダンス測定装置では、前記検出用信号源は、前記Ｈｉ側のソース端子、前記測定対象および前記Ｌｏ側のセンス端子を含む電流経路を前記第１の電流経路として前記第１の検出用電流を供給すると共に、前記Ｈｉ側のセンス端子、前記測定対象および前記Ｌｏ側のソース端子を含む電流経路を前記第２の電流経路として前記第２の検出用電流を供給可能に構成され、前記検波部は、前記Ｈｉ側のセンス端子およびＬｏ側のセンス端子間に生じる前記交流電圧を前記交流測定用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して第１の検波信号を生成する第１の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｈｉ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第２の検波信号を生成する第２の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｈｉ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第３の検波信号を生成する第３の同期検波回路と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第４の検波信号を生成する第４の同期検波回路と、前記Ｌｏ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第５の検波信号を生成する第５の同期検波回路とを備えて構成され、前記処理部は、前記第１の検波信号の電圧値を前記検出部によって検出された交流電圧の電圧値として用いて前記測定対象のインピーダンスを算出すると共に前記第２の検波信号、前記第３の検波信号、前記第４の検波信号および前記第５の検波信号に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する。
【0021】
また、本発明に係るインピーダンス測定装置では、前記検出部は、前記第１の検出用電流および前記第２の検出用電流の供給時において、前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｌｏ側のソース端子との間に生じる電圧、および前記Ｈｉ側のセンス端子と前記Ｌｏ側のセンス端子との間に生じる電圧を前記検出電圧として検出し、前記検波部は、前記Ｈｉ側のセンス端子およびＬｏ側のセンス端子間に生じる前記交流電圧を前記交流測定用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して第１の検波信号を生成する第１の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｌｏ側のソース端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第２の検波信号を生成する第２の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のセンス端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第３の検波信号を生成する第３の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｌｏ側のソース端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第４の検波信号を生成する第４の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のセンス端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第５の検波信号を生成する第５の同期検波回路とを備えて構成され、前記処理部は、前記第１の検波信号の電圧値を前記検出部によって検出された交流電圧の電圧値として用いて前記測定対象のインピーダンスを算出すると共に前記第２の検波信号、前記第３の検波信号、前記第４の検波信号および前記第５の検波信号に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する。
【0022】
また、本発明に係るインピーダンス測定装置では、前記検出部は、前記第１の検出用電流および前記第２の検出用電流の供給時において、前記Ｈｉ側のソース端子と前記Ｌｏ側のセンス端子との間に生じる電圧、および前記Ｈｉ側のセンス端子と前記Ｌｏ側のソース端子との間に生じる電圧を前記検出電圧として検出し、前記検波部は、前記Ｈｉ側のセンス端子およびＬｏ側のセンス端子間に生じる前記交流電圧を前記交流測定用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して第１の検波信号を生成する第１の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第２の検波信号を生成する第２の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のセンス端子および前記Ｌｏ側のソース端子間に生じる電圧を前記第１の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第３の検波信号を生成する第３の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のセンス端子および前記Ｌｏ側のソース端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第４の検波信号を生成する第４の同期検波回路と、前記Ｈｉ側のソース端子および前記Ｌｏ側のセンス端子間に生じる電圧を前記第２の検出用電流の周波数と同じ周波数の同期信号で同期検波して前記検出電圧としての第５の検波信号を生成する第５の同期検波回路とを備えて構成され、前記処理部は、前記第１の検波信号の電圧値を前記検出部によって検出された交流電圧の電圧値として用いて前記測定対象のインピーダンスを算出すると共に前記第２の検波信号、前記第３の検波信号、前記第４の検波信号および前記第５の検波信号に基づいて前記各経路インピーダンスを算出する。
【0023】
これらのインピーダンス測定装置では、第１の同期検波回路から第５の同期検波回路を備えて検出部を構成し、処理部が交流測定用電流を測定対象に供給したときに測定対象の一端および他端間に生じる交流電圧の電圧値として第１の検波信号の電圧値を用いて、その交流電圧の電圧値と交流測定用電流の電流値とに基づいて測定対象のインピーダンスを算出すると共に、第２の検波信号、第３の検波信号、第４の検波信号および第５の検波信号に基づいて各経路インピーダンスを算出することにより、各インピーダンスを並行して同時に算出することが可能となるため、測定対象のインピーダンスおよび各経路インピーダンスを短時間で算出することができる。
【0024】
また、本発明に係るインピーダンス測定装置では、前記測定用信号源は、前記検出用信号源としても作動して、前記第１の検出用電流を供給する。
【0025】
このインピーダンス測定装置では、測定用信号源が、交流測定用電流を第１の検出用電流として供給することにより、簡易な構成でありながら、減算処理を行うことなく、各経路インピーダンスを直接的に算出することができる。したがって、このインピーダンス測定装置によれば、簡易な構成でありながら、四端子測定の際における測定対象に対するＨｉ側のソース端子、Ｈｉ側のセンス端子、Ｌｏ側のソース端子およびＬｏ側のセンス端子のそれぞれの接続状態を示す経路インピーダンスを個別かつ正確に測定（算出）することができる。
【0026】
また、本発明に係るインピーダンス測定装置では、前記第１の検出用電流の周波数および前記第２の検出用電流の周波数は、互いに異なる値に規定されている。
【0027】
このインピーダンス測定装置では、第１検出用電流の周波数および第２検出用電流の周波数を互いに異なる値に規定したことにより、各ソース端子および各センス端子と、測定対象との間の各経路インピーダンスを並行して同時に算出することができる。
【0028】
また、本発明に係るインピーダンス測定装置では、前記交流測定用電流の周波数、前記第１の検出用電流の周波数および前記第２の検出用電流の周波数は、互いに異なる値に規定されている。
【0029】
このインピーダンス測定装置では、交流測定用電流の周波数、第１検出用電流の周波数および第２検出用電流の周波数を互いに異なる値に規定したことにより、測定対象のインピーダンス、並びに各ソース端子および各センス端子と、測定対象との間の各経路インピーダンスを並行して算出することができる。したがって、このインピーダンス測定装置によれば、測定対象のインピーダンスおよび各経路インピーダンスを最も短時間で算出することができる。
【発明の効果】
【0030】
本発明に係るインピーダンス測定装置およびインピーダンス測定方法によれば、四端子測定の際における測定対象に対するＨｉ側のソース端子、Ｈｉ側のセンス端子、Ｌｏ側のソース端子およびＬｏ側のセンス端子のそれぞれの接続状態を示す経路インピーダンスを個別かつ正確に測定（算出）することができる。
【図面の簡単な説明】
【0031】
【図1】インピーダンス測定装置１Ａの構成を示す構成図である。
【図2】インピーダンス測定装置１Ａａの構成を示す構成図である。
【図3】インピーダンス測定装置１Ｂの構成を示す構成図である。
【図4】インピーダンス測定装置１Ｃの構成を示す構成図である。
【図5】インピーダンス測定装置１Ｄの構成を示す構成図である。
【図6】インピーダンス測定装置１Ａｂの構成を示す構成図である。
【図7】インピーダンス測定装置１Ｄａの構成を示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【0032】
以下、インピーダンス測定装置およびインピーダンス測定方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【0033】
（実施例１）
最初に、図１を参照して、インピーダンス測定装置としてのインピーダンス測定装置１Ａの構成について説明する。
最初に、図１を参照して、インピーダンス測定装置としてのインピーダンス測定装置１Ａの構成について説明する。
【0034】
インピーダンス測定装置１Ａは、Ｈｉ（Ｈｉｇｈ）側のソース端子Ｈｃ（接続端子や接触式のプローブなどで構成されている測定信号供給用のソース端子）、Ｌｏ（Ｌｏｗ）側のソース端子Ｌｃ（接続端子や接触式のプローブなどで構成されている測定信号供給用のソース端子）、Ｈｉ側のセンス端子Ｈｐ（接続端子や接触式のプローブなどで構成されている信号検出用のセンス端子）、Ｌｏ側のセンス端子Ｌｐ（接続端子や接触式のプローブなどで構成されている信号検出用のセンス端子）、測定用信号源１１、検出用信号源１２、検出部１３Ａ、処理部１４および出力部１５を備えて構成されている。
【0035】
また、このインピーダンス測定装置１Ａは、測定対象ＤＵＴの一方の電極にＨｉ側のソース端子ＨｃおよびＨｉ側のセンス端子Ｈｐが接続され（例えば、不図示の測定ケーブルを介して接続され）、測定対象ＤＵＴの他方の電極にＬｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐが接続された状態（例えば、不図示の測定ケーブルを介して接続された状態）において、測定対象ＤＵＴのインピーダンス（実数の抵抗値のみも含む）を測定可能に構成されている。本例では一例として、インピーダンス測定装置１Ａは、バッテリを測定対象ＤＵＴとして、Ｈｉ側のソース端子ＨｃおよびＨｉ側のセンス端子Ｈｐが測定対象ＤＵＴとしてのバッテリの正極（測定対象の一端）に接続され、かつＬｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐがバッテリの負極（測定対象の他端）に接続された状態において、測定対象ＤＵＴの内部抵抗（内部インピーダンス）Ｒｘの抵抗値をインピーダンスとして算出（測定）する。
【0036】
測定用信号源１１は、Ｈｉ側のソース端子ＨｃおよびＬｏ側のソース端子Ｌｃ間に正極（測定対象の一端）および負極（測定対象の他端）が接続される測定対象ＤＵＴに交流測定用電流Ｉｍを供給する。具体的には、測定用信号源１１は、Ｈｉ側のソース端子Ｈｃ、測定対象ＤＵＴ、およびＬｏ側のソース端子Ｌｃからなる経路に交流測定用電流Ｉｍを供給する。この場合、測定用信号源１１は、交流測定用電流Ｉｍとして、一定の振幅（既知）で、かつ一定の周波数ｆ１に規定された正弦波の交流電流を生成して出力する。また、測定用信号源１１は、交流測定用電流Ｉｍに同期した周波数ｆ１の同期信号Ｓf1を出力する。
【0037】
検出用信号源１２は、第１検出用信号生成回路１２ａおよび第２検出用信号生成回路１２ｂを備えて、各ソース端子Ｈｃ，Ｌｃおよび各センス端子Ｈｐ，Ｌｐと測定対象ＤＵＴの正極および負極との間の各経路の各経路インピーダンスを検出するための検出用電流を供給する。第１検出用信号生成回路１２ａは、Ｈｉ側のソース端子ＨｃとＬｏ側のソース端子Ｌｃとの間に接続されており、Ｈｉ側のソース端子Ｈｃと、測定対象ＤＵＴと、Ｌｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐのうちのいずれか一方の端子としてのＬｏ側のソース端子Ｌｃとを含む第１の電流経路ＩＲ１における接触抵抗や配線抵抗からなる経路インピーダンス（Ｈｉ側のソース端子Ｈｃと測定対象ＤＵＴの正極（測定対象の一端）との間の経路における接触抵抗や配線抵抗からなるインピーダンス、およびＬｏ側のソース端子Ｌｃと測定対象ＤＵＴの負極（測定対象の他端）との間の経路における接触抵抗や配線抵抗からなるインピーダンス）を検出するための第１の検出用電流としての検出用電流Ｉtaを生成して第１の電流経路ＩＲ１に供給する。この場合、第１検出用信号生成回路１２ａは、検出用電流Ｉtaとして、一定の振幅（既知）で、かつ周波数ｆ１とは周波数の値が異なる一定の周波数ｆ２に規定された正弦波の交流電流を生成して出力する。また、第１検出用信号生成回路１２ａは、検出用電流Ｉtaに同期した同じ周波数ｆ２の同期信号Ｓf2を出力する。
【0038】
第２検出用信号生成回路１２ｂは、Ｈｉ側のセンス端子ＨｐとＬｏ側のセンス端子Ｌｐの間に接続されており、Ｈｉ側のセンス端子Ｈｐと、測定対象ＤＵＴと、Ｌｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐのうちの他方の端子としてのＬｏ側のセンス端子Ｌｐとを含む第２の電流経路ＩＲ２における接触抵抗や配線抵抗からなる経路インピーダンス（Ｈｉ側のセンス端子Ｈｐと測定対象ＤＵＴの正極（測定対象の一端）との間の経路における接触抵抗や配線抵抗からなるインピーダンス、およびＬｏ側のセンス端子Ｌｐと測定対象ＤＵＴの負極（測定対象の他端）との間の経路における接触抵抗や配線抵抗からなるインピーダンス）を検出するための第２の検出用電流としての検出用電流Ｉtbを生成して第２の電流経路ＩＲ２に供給する。この場合、第２検出用信号生成回路１２ｂは、検出用電流Ｉtbとして、一定の振幅（既知）で、かつ周波数ｆ１，ｆ２とは周波数の値が異なる一定の周波数ｆ３に規定された正弦波の交流電流を生成して出力する。また、第２検出用信号生成回路１２ｂは、検出用電流Ｉtbに同期した同じ周波数ｆ３の同期信号Ｓf3を出力する。
【0039】
検出部１３Ａは、増幅回路２１ａ～２１ｃ、同期検波回路２２ａ～２２ｅ、およびローパスフィルタ（以下、各図では、「ＬＰＦ」と表記する）２３ａ～２３ｅを備えて構成され、交流測定用電流Ｉｍの供給によって測定対象ＤＵＴの正極および負極間に生じる交流電圧をＨｉ側のセンス端子ＨｐおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐを介して検出すると共に検出用電流Ｉta，Ｉtbの供給によって上記の各経路に生じる各電圧を検出電圧として検出する。ここで、同期検波回路２２ａ～２２ｅおよびローパスフィルタ２３ａ～２３ｅによって検波部が構成される。
【0040】
この場合、後述するように、処理部１４が、検出部１３Ａによって検出された測定対象ＤＵＴの正極および負極間に生じる交流電圧に基づいて、測定対象ＤＵＴの内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘを算出すると共に、検出部１３Ａによって検出された上記の各経路に生じる各電圧に基づいて、Ｈｉ側のソース端子Ｈｃと測定対象ＤＵＴの正極との間の接触抵抗ＲHCの抵抗値ＶＲHC、Ｌｏ側のソース端子Ｌｃと測定対象ＤＵＴの負極との間の接触抵抗ＲLCの抵抗値ＶＲLC、Ｈｉ側のセンス端子Ｈｐと測定対象ＤＵＴの正極との間の接触抵抗ＲHPの抵抗値ＶＲHP、およびＬｏ側のセンス端子Ｌｐと測定対象ＤＵＴの負極との間の接触抵抗ＲLPの抵抗値ＶＲLPを経路インピーダンスとして算出する。ここで、各接触抵抗ＲHC，ＲLC，ＲHP，ＲLPは、上記したように、端子Ｈｃ，Ｌｃ，Ｈｐ，Ｌｐのうちの対応する端子から、測定対象ＤＵＴの正極および負極のうちの対応する電極までの間の接触抵抗や配線抵抗（測定ケーブルの抵抗）の経路インピーダンスとする概念であってもよいし、各端子Ｈｃ，Ｌｃ，Ｈｐ，Ｌｐの接触抵抗だけとする概念であってもよい。
【0041】
増幅回路２１ａ（第１の増幅回路）は、演算増幅器を用いて差動増幅回路に構成されて、非反転入力端子がＨｉ側のセンス端子Ｈｐに接続されると共に反転入力端子がＬｏ側のセンス端子Ｌｐに接続されており、センス端子Ｌｐの電圧とセンス端子Ｈｐの電圧との差分の電圧を規定の利得で増幅して出力する。したがって、増幅回路２１ａは、交流測定用電流Ｉｍが内部抵抗Ｒｘを流れる際に内部抵抗Ｒｘの両端に発生する交流電圧の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する交流信号を出力する。増幅回路２１ｂ（第２の増幅回路）は、演算増幅器を用いて差動増幅回路に構成されて、非反転入力端子がＨｉ側のソース端子Ｈｃに接続されると共に反転入力端子がＨｉ側のセンス端子Ｈｐに接続されており、センス端子Ｈｐの電圧とソース端子Ｈｃの電圧との電圧差を規定の利得で増幅して出力する。したがって、増幅回路２１ｂは、検出用電流Ｉtaが接触抵抗ＲHCを流れる際に接触抵抗ＲHCの両端に発生する電圧と、検出用電流Ｉtbが接触抵抗ＲHPを流れる際に接触抵抗ＲHPの両端に発生する電圧とを加算した電圧の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する交流信号を出力する。増幅回路２１ｃ（第３の増幅回路）は、演算増幅器を用いて差動増幅回路に構成されて、非反転入力端子がＬｏ側のソース端子Ｌｃに接続されると共に反転入力端子がＬｏ側のセンス端子Ｌｐに接続されており、センス端子Ｌｐの電圧とソース端子Ｌｃの電圧との電圧差を規定の利得で増幅して出力する。したがって、増幅回路２１ｃは、検出用電流Ｉtaが接触抵抗ＲLCを流れる際に接触抵抗ＲLCの両端に発生する電圧と、検出用電流Ｉtbが接触抵抗ＲLPを流れる際に接触抵抗ＲLPの両端に発生する電圧とを加算した電圧の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する交流信号を出力する。
【0042】
同期検波回路２２ａは、一例として乗算器を用いてローパスフィルタ２３ａと共に第１の同期検波回路として構成されて、増幅回路２１ａから出力される信号と測定用信号源１１から出力される同期信号Ｓf1とを乗算することにより（言い換えれば、増幅回路２１ａから出力される信号をこの同期信号Ｓf1で同期検波することにより）、交流測定用電流Ｉｍが測定対象ＤＵＴを流れる際に測定対象ＤＵＴの内部抵抗Ｒｘの両端に発生する交流電圧の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力する。また、ローパスフィルタ２３ａは、低域通過型フィルタとして構成されて、同期検波回路２２ａから出力される交流成分が重畳した直流信号を入力して、その交流成分を除去して平滑化することにより、第１の検波信号としての第１検出電圧Ｖd1を出力する。
【0043】
この場合、第１検出電圧Ｖd1は、交流測定用電流Ｉｍが測定対象ＤＵＴに流れることに起因してセンス端子Ｌｐおよびセンス端子Ｈｐ間に生じる電圧に基づいて得られる電圧であることから、その電圧値は、内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘに比例する値（∝ＶＲｘ）となっている。このため、後述するように、第１検出電圧Ｖd1の電圧値を交流測定用電流Ｉｍの既知の電流値で除算することにより、測定対象ＤＵＴの内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘが直接的に算出される。
【0044】
同期検波回路２２ｂは、一例として乗算器を用いてローパスフィルタ２３ｂと共に第２の同期検波回路として構成されて、増幅回路２１ｂから出力される信号と第１検出用信号生成回路１２ａから出力される同期信号Ｓf2とを乗算することにより（言い換えれば、増幅回路２１ｂから出力される信号をこの同期信号Ｓf2で同期検波することにより）、検出用電流Ｉtaが接触抵抗ＲHCを流れる際に接触抵抗ＲHCの両端に発生する交流電圧の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力する。また、ローパスフィルタ２３ｂは、低域通過型フィルタとして構成されて、同期検波回路２２ｂから出力される交流成分が重畳した直流信号を入力して、その交流成分を除去して平滑化することにより、第２の検波信号としての第２検出電圧Ｖd2を出力する。
【0045】
この場合、第２検出電圧Ｖd2は、検出用電流Ｉtaが接触抵抗ＲHCに流れることに起因してセンス端子Ｈｐおよびソース端子Ｈｃ間に生じる電圧に基づいて得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲHCの抵抗値ＶＲHCに比例する値（∝ＶＲHC）となっている。このため、後述するように、第２検出電圧Ｖd2の電圧値を検出用電流Ｉtaの既知の電流値で除算することにより、接触抵抗ＲHCの抵抗値ＶＲHCが直接的に算出される。
【0046】
同期検波回路２２ｃは、一例として乗算器を用いてローパスフィルタ２３ｃと共に第３の同期検波回路として構成されて、増幅回路２１ｂから出力される信号と第２検出用信号生成回路１２ｂから出力される同期信号Ｓf3とを乗算することにより（言い換えれば、増幅回路２１ｂから出力される信号をこの同期信号Ｓf3で同期検波することにより）、検出用電流Ｉtbが接触抵抗ＲHPを流れる際に接触抵抗ＲHPの両端に発生する交流電圧の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力する。また、ローパスフィルタ２３ｃは、低域通過型フィルタとして構成されて、同期検波回路２２ｃから出力される交流成分が重畳した直流信号を入力して、その交流成分を除去して平滑化することにより、第３の検波信号としての第３検出電圧Ｖd3を出力する。
【0047】
この場合、第３検出電圧Ｖd3は、検出用電流Ｉtbが接触抵抗ＲHPに流れることに起因してセンス端子Ｈｐおよびソース端子Ｈｃ間に生じる電圧に基づいて得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲHPの抵抗値ＶＲHPに比例する値（∝ＶＲHP）となっている。このため、後述するように、第３検出電圧Ｖd3の電圧値を検出用電流Ｉtbの既知の電流値で除算することにより、接触抵抗ＲHPの抵抗値ＶＲHPが直接的に算出される。
【0048】
同期検波回路２２ｄは、一例として乗算器を用いてローパスフィルタ２３ｄと共に第４の同期検波回路として構成されて、増幅回路２１ｃから出力される信号と第１検出用信号生成回路１２ａから出力される同期信号Ｓf2とを乗算することにより（言い換えれば、増幅回路２１ｃから出力される信号をこの同期信号Ｓf2で同期検波することにより）、検出用電流Ｉtaが接触抵抗ＲLCを流れる際に接触抵抗ＲLCの両端に発生する交流電圧の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力する。また、ローパスフィルタ２３ｄは、低域通過型フィルタとして構成されて、同期検波回路２２ｄから出力される交流成分が重畳した直流信号を入力して、その交流成分を除去して平滑化することにより、第４の検波信号としての第４検出電圧Ｖd4を出力する。
【0049】
この場合、第４検出電圧Ｖd4は、検出用電流Ｉtaが接触抵抗ＲLCに流れることに起因してセンス端子Ｌｐおよびソース端子Ｌｃ間に生じる電圧に基づいて得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲLCの抵抗値ＶＲLCに比例する値（∝ＶＲLC）となっている。このため、後述するように、第４検出電圧Ｖd4の電圧値を検出用電流Ｉtaの既知の電流値で除算することにより、接触抵抗ＲLCの抵抗値ＶＲLCが直接的に算出される。
【0050】
同期検波回路２２ｅは、一例として乗算器を用いてローパスフィルタ２３ｅと共に第５の同期検波回路として構成されて、増幅回路２１ｃから出力される信号と第２検出用信号生成回路１２ｂから出力される同期信号Ｓf3とを乗算することにより（言い換えれば、増幅回路２１ｃから出力される信号をこの同期信号Ｓf3で同期検波することにより）、検出用電流Ｉtbが接触抵抗ＲLPを流れる際に接触抵抗ＲLPの両端に発生する交流電圧の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力する。また、ローパスフィルタ２３ｅは、低域通過型フィルタとして構成されて、同期検波回路２２ｅから出力される交流成分が重畳した直流信号を入力して、その交流成分を除去して平滑化することにより、第５の検波信号としての第５検出電圧Ｖd5を出力する。
【0051】
この場合、第５検出電圧Ｖd5は、検出用電流Ｉtbが接触抵抗ＲLPに流れることに起因してセンス端子Ｌｐおよびソース端子Ｌｃ間に生じる電圧に基づいて得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲLPの抵抗値ＶＲLPに比例する値（∝ＶＲLP）となっている。このため、後述するように、第５検出電圧Ｖd5の電圧値を検出用電流Ｉtbの既知の電流値で除算することにより、接触抵抗ＲLPの抵抗値ＶＲLPが直接的に算出される。
【0052】
処理部１４は、一例として、Ａ／Ｄ変換器、ＣＰＵおよびメモリ（いずれも図示せず）を有して構成されて、測定対象ＤＵＴの内部抵抗Ｒｘのインピーダンス（本例では、抵抗値ＶＲｘ）を算出するインピーダンス算出処理および経路インピーダンス（接触抵抗ＲHC，ＲLC，ＲHP，ＲLPの各インピーダンス（本例では、各抵抗値ＶＲｘ，ＶＲHC，ＶＲLC，ＶＲHP，ＶＲLP））を算出する経路インピーダンス算出処理を実行する。このインピーダンス算出処理では、処理部１４は、第１検出電圧Ｖd1を入力してこの電圧値を算出すると共に、この電圧値と、交流測定用電流Ｉｍの既知の電流値とに基づいて、測定対象ＤＵＴの内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘを算出（測定）する。この場合、処理部１４は、内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘを複素数形式のインピーダンスとして算出することもできるし、実数形式の抵抗値を算出することもできる。以下、インピーダンスの算出とは、複素数形式のインピーダンスの算出でもよいし、実数形式の抵抗値の算出でもよいものとする。
【0053】
また、経路インピーダンス算出処理では、処理部１４は、第２検出電圧Ｖd2、第３検出電圧Ｖd3、第４検出電圧Ｖd4および第５検出電圧Ｖd5を入力して、これらの各電圧値を算出すると共に、これらの各電圧値と、検出用電流Ｉta，Ｉtbの既知の電流値とに基づいて、各接触抵抗ＲHC，ＲLC，ＲHP，ＲLPのインピーダンス（接触抵抗ＲHCの抵抗値ＶＲHC、接触抵抗ＲLCの抵抗値ＶＲLC、接触抵抗ＲHPの抵抗値ＶＲHPおよび接触抵抗ＲLPの抵抗値ＶＲLP）を算出（測定）する。また、処理部１４は、算出した内部抵抗Ｒｘおよび各接触抵抗ＲHC，ＲLC，ＲHP，ＲLPの各抵抗値ＶＲｘ，ＶＲHC，ＶＲLC，ＶＲHP，ＶＲLPが記述されたデータＤｄを出力部１５に出力させる出力処理を実行する。
【0054】
出力部１５は、一例として、表示装置で構成されて、処理部１４から出力されたデータＤｄに基づいて、内部抵抗Ｒｘおよび各接触抵抗ＲHC，ＲLC，ＲHP，ＲLPの各抵抗値ＶＲｘ，ＶＲHC，ＶＲLC，ＶＲHP，ＶＲLPを画面上に表示する（出力する）。なお、出力部１５は、表示装置に代えて種々のインターフェース回路で構成することもでき、外部インターフェース回路で構成したときには、外部インターフェース回路を介して伝送路で接続された外部装置に内部抵抗Ｒｘおよび各接触抵抗ＲHC，ＲLC，ＲHP，ＲLPの各抵抗値ＶＲｘ，ＶＲHC，ＶＲLC，ＶＲHP，ＶＲLPを出力し、また媒体用インターフェース回路で構成されたときには、この媒体用インターフェース回路に接続された記憶媒体に内部抵抗Ｒｘおよび各接触抵抗ＲHC，ＲLC，ＲHP，ＲLPの各抵抗値ＶＲｘ，ＶＲHC，ＶＲLC，ＶＲHP，ＶＲLPを記憶させる。
【0055】
次に、インピーダンス測定装置１Ａの動作について、図面を参照して説明する。なお、インピーダンス測定装置１Ａは、不図示の４本の測定ケーブルを介して各ソース端子Ｈｃ，Ｌｃおよび各センス端子Ｈｐ，Ｌｐにおいて測定対象ＤＵＴ（バッテリ）に接続されているものとする。
【0056】
インピーダンス測定装置１Ａでは、測定用信号源１１が、ソース端子Ｈｃおよびセンス端子Ｈｐと、ソース端子Ｌｃおよびセンス端子Ｌｐとの間に接続されている測定対象ＤＵＴに周波数ｆ１の交流測定用電流Ｉｍを供給する。また、第１検出用信号生成回路１２ａが、周波数ｆ２の検出用電流Ｉtaを第１の電流経路ＩＲ１に供給し、第２検出用信号生成回路１２ｂが、周波数ｆ３の検出用電流Ｉtbを第２の電流経路ＩＲ２に供給する。
【0057】
この状態において、検出部１３Ａでは、増幅回路２１ａが、センス端子Ｌｐの電圧とセンス端子Ｈｐの電圧との差分の電圧を規定の利得で増幅して同期検波回路２２ａに出力する。この際に、同期検波回路２２ａは、増幅回路２１ａから出力される交流の信号と測定用信号源１１から出力される同期信号Ｓf1とを乗算することにより、交流測定用電流Ｉｍが測定対象ＤＵＴを流れる際に測定対象ＤＵＴの内部抵抗Ｒｘの両端に発生する交流電圧の電圧値に応じて電圧値が変化すると共に交流成分が重畳している直流信号を出力する。次いで、ローパスフィルタ２３ａが、同期検波回路２２ａから出力される交流成分が重畳した直流信号を入力して、その交流成分を除去して平滑化することにより、第１検出電圧Ｖd1を生成して出力する。
【0058】
また、増幅回路２１ｂが、センス端子Ｈｐの電圧とソース端子Ｈｃの電圧との電圧差を規定の利得で増幅して同期検波回路２２ｂ，２２ｃに出力する。この際に、同期検波回路２２ｂは、増幅回路２１ｂから出力される交流の信号と第１検出用信号生成回路１２ａから出力される同期信号Ｓf2とを乗算することにより、検出用電流Ｉtaが接触抵抗ＲHCを流れる際に接触抵抗ＲHCの両端に発生する交流電圧の電圧値に応じて電圧値が変化すると共に交流成分が重畳している直流信号を出力する。次いで、ローパスフィルタ２３ｂが、同期検波回路２２ｂから出力される交流成分が重畳した直流信号を入力して、その交流成分を除去して平滑化することにより、第２検出電圧Ｖd2を生成して出力する。また、同期検波回路２２ｃは、増幅回路２１ｂから出力される交流の信号と第２検出用信号生成回路１２ｂから出力される同期信号Ｓf3とを乗算することにより、検出用電流Ｉtbが接触抵抗ＲHPを流れる際に接触抵抗ＲHPの両端に発生する交流電圧の電圧値に応じて電圧値が変化すると共に交流成分が重畳している直流信号を出力する。次いで、ローパスフィルタ２３ｃが、同期検波回路２２ｃから出力される交流成分が重畳した直流信号を入力して、その交流成分を除去して平滑化することにより、第３検出電圧Ｖd3を生成して出力する。
【0059】
また、増幅回路２１ｃが、センス端子Ｌｐの電圧とソース端子Ｌｃの電圧との電圧差を規定の利得で増幅して同期検波回路２２ｄ，２２ｅに出力する。この際に、同期検波回路２２ｄは、増幅回路２１ｃから出力される交流の信号と第１検出用信号生成回路１２ａから出力される同期信号Ｓf2とを乗算することにより、検出用電流Ｉtaが接触抵抗ＲLCを流れる際に接触抵抗ＲLCの両端に発生する交流電圧の電圧値に応じて電圧値が変化すると共に交流成分が重畳している直流信号を出力する。次いで、ローパスフィルタ２３ｄが、同期検波回路２２ｄから出力される交流成分が重畳した直流信号を入力して、その交流成分を除去して平滑化することにより、第４検出電圧Ｖd4を生成して出力する。また、同期検波回路２２ｅは、増幅回路２１ｃから出力される交流の信号と第２検出用信号生成回路１２ｂから出力される同期信号Ｓf3とを乗算することにより、検出用電流Ｉtbが接触抵抗ＲLPを流れる際に接触抵抗ＲLPの両端に発生する交流電圧の電圧値に応じて電圧値が変化すると共に交流成分が重畳している直流信号を出力する。次いで、ローパスフィルタ２３ｅが、同期検波回路２２ｅから出力される交流成分が重畳した直流信号を入力して、その交流成分を除去して平滑化することにより、第５検出電圧Ｖd5を生成して出力する。
【0060】
処理部１４は、各ローパスフィルタ２３ａ～２３ｅから出力された各検出電圧Ｖd1，Ｖd2，Ｖd3，Ｖd4，Ｖd5に基づき、インピーダンス算出処理および経路インピーダンス算出処理を実行する。これらの算出処理では、処理部１４は、まず、各検出電圧Ｖd1，Ｖd2，Ｖd3，Ｖd4，Ｖd5をＡ／Ｄ変換することにより、各検出電圧Ｖd1，Ｖd2，Ｖd3，Ｖd4，Ｖd5の電圧値を示す電圧データに変換する。次いで、処理部１４は、各検出電圧Ｖd1，Ｖd2，Ｖd3，Ｖd4，Ｖd5についてのこの電圧データに基づき、各検出電圧Ｖd1，Ｖd2，Ｖd3，Ｖd4，Ｖd5の電圧値を算出する。
【0061】
この場合、上記したように、交流測定用電流Ｉｍの供給によってセンス端子Ｌｐおよびセンス端子Ｈｐ間に生じる交流電圧についての第１検出電圧Ｖd1の電圧値は、内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘに比例する値となっている。また、検出用電流Ｉtaの供給によってセンス端子Ｈｐおよびソース端子Ｈｃ間に生じる電圧についての第２検出電圧Ｖd2の電圧値は、接触抵抗ＲHCの抵抗値ＶＲHCに比例する値となっている。また、検出用電流Ｉtbの供給によってセンス端子Ｈｐおよびソース端子Ｈｃ間に生じる電圧についての第３検出電圧Ｖd3の電圧値は、接触抵抗ＲHPの抵抗値ＶＲHPに比例する値となっている。また、検出用電流Ｉtaの供給によってセンス端子Ｌｐおよびソース端子Ｌｃ間に生じる電圧についての第４検出電圧Ｖd4の電圧値は、接触抵抗ＲLCの抵抗値ＶＲLCに比例する値となっている。また、検出用電流Ｉtbの供給によってセンス端子Ｌｐおよびソース端子Ｌｃ間に生じる電圧についての第５検出電圧Ｖd5の電圧値は、接触抵抗ＲLPの抵抗値ＶＲLPに比例する値となっている。
【0062】
次いで、処理部１４は、第１検出電圧Ｖd1の電圧値を交流測定用電流Ｉｍの既知の電流値で除算して内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘを算出し、第２検出電圧Ｖd2の電圧値を検出用電流Ｉtaの既知の電流値で除算して接触抵抗ＲHCの抵抗値ＶＲHCを算出し、第３検出電圧Ｖd3の電圧値を検出用電流Ｉtbの既知の電流値で除算して接触抵抗ＲHPの抵抗値ＶＲHPを算出し、第４検出電圧Ｖd4の電圧値を検出用電流Ｉtaの既知の電流値で除算して接触抵抗ＲLCの抵抗値ＶＲLCを算出し、第５検出電圧Ｖd5の電圧値を検出用電流Ｉtbの既知の電流値で除算して接触抵抗ＲLPの抵抗値ＶＲLPを算出する。これにより、減算処理を行うことなく、測定対象ＤＵＴの内部抵抗Ｒｘおよび各接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲｘ，ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLPが１回の演算処理によって直接的に算出される。
【0063】
続いて、処理部１４は、算出した各抵抗値ＶＲｘ，ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLPを内部メモリに記憶する。次いで、処理部１４は、出力処理を実行して、データＤｄを出力部１５に出力することにより、算出した内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘと各接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLPとを出力部１５に表示させる。これにより、インピーダンス測定装置１Ａによる測定対象ＤＵＴの内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘの算出（測定）と、各接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLPの算出（測定）とが完了する。なお、処理部１４は、算出した各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLPが規定の抵抗値を超えているときには、いずれかの経路において接触不良や測定ケーブル不良が存在するため、再測定を促す表示を出力部１５に表示させる。
【0064】
このように、このインピーダンス測定装置１Ａおよびインピーダンス測定方法によれば、Ｈｉ側のソース端子Ｈｃと、測定対象ＤＵＴと、Ｌｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐのうちのいずれか一方の端子（本例では、Ｌｏ側のソース端子Ｌｃ）とを含む第１の電流経路ＩＲ１に検出用電流Ｉtaを供給すると共に、Ｈｉ側のセンス端子Ｈｐと、測定対象ＤＵＴと、Ｌｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐのうちの他方の端子（本例では、Ｌｏ側のセンス端子Ｌｐ）とを含む第２の電流経路ＩＲ２に検出用電流Ｉtbを供給し、検出用電流Ｉtaおよび検出用電流Ｉtbの供給時において、Ｈｉ側のソース端子ＨｃとＨｉ側のセンス端子Ｈｐとの間に生じる電圧、およびＬｏ側のソース端子ＬｃとＬｏ側のセンス端子Ｌｐとの間に生じる電圧を検出電圧（本例では、各検出電圧Ｖd2～Ｖd5）として検出し、検出した各検出電圧に基づいて各経路インピーダンスを測定することにより、減算処理を行うことなく、各接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLPを直接的に算出することができる。したがって、このインピーダンス測定装置１Ａおよびインピーダンス測定方法によれば、四端子測定の際における測定対象ＤＵＴに対するＨｉ側のソース端子Ｈｃ、Ｈｉ側のセンス端子Ｈｐ、Ｌｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐのそれぞれの接続状態を示す接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLPを個別かつ正確に測定（算出）することができる。
【0065】
また、このインピーダンス測定装置１Ａによれば、検出用信号源１２が、交流電流の検出用電流Ｉtaおよび検出用電流Ｉtbを供給し、検出部１３Ａの同期検波回路２２ｂ～２２ｅが、各端子Ｈｃ，Ｈｐ，Ｌｃ，Ｌｐ間に生じる各電圧を検出用電流Ｉta，Ｉtbの周波数（ｆ１，ｆ２）と同じ周波数の同期信号Ｓf2，Ｓf3で同期検波して各検出電圧Ｖd2～Ｖd5として検出し、処理部１４が、同期検波回路２２ｂ～２２ｅおよびローパスフィルタ２３ｂ～２３ｅによって検出された各検出電圧Ｖd2～Ｖd5に基づいて各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を算出することにより、簡易な構成でありながら、各経路インピーダンスを確実かつ正確に算出することができる。
【0066】
また、このインピーダンス測定装置１Ａによれば、同期検波回路２２ａ～２２ｅを備えて検出部１３Ａを構成し、処理部１４が交流測定用電流Ｉｍを測定対象ＤＵＴに供給したときに測定対象ＤＵＴの正極および負極間に生じる交流電圧の電圧値として第１検出電圧Ｖd1の電圧値を用いて、その交流電圧の電圧値と交流測定用電流Ｉｍの電流値とに基づいて測定対象ＤＵＴの内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘを算出すると共に、第２検出電圧Ｖd2、第３検出電圧Ｖd3、第４検出電圧Ｖd4および第５検出電圧Ｖd5に基づいて各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC、接触抵抗ＲHP、接触抵抗ＲLCおよび接触抵抗ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を算出することにより、各インピーダンスを並行して同時に算出することができるため、測定対象ＤＵＴのインピーダンス（本例では、内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘ）および各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を短時間で算出することができる。
【0067】
また、このインピーダンス測定装置１Ａによれば、検出用電流Ｉtaの周波数ｆ２および検出用電流Ｉtbの周波数ｆ３を互いに異なる値に規定したことにより、各ソース端子Ｈｃ，Ｌｃおよび各センス端子Ｈｐ，Ｌｐと、測定対象ＤＵＴとの間の各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC、接触抵抗ＲHP、接触抵抗ＲLCおよび接触抵抗ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を並行して同時に算出することができる。
【0068】
また、このインピーダンス測定装置１Ａによれば、交流測定用電流Ｉｍの周波数ｆ１、検出用電流Ｉtaの周波数ｆ２および検出用電流Ｉtbの周波数ｆ３を互いに異なる値に規定したことにより、測定対象ＤＵＴのインピーダンス（本例では、内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘ）、並びに各ソース端子Ｈｃ，Ｌｃおよび各センス端子Ｈｐ，Ｌｐと、測定対象ＤＵＴとの間の各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC、接触抵抗ＲHP、接触抵抗ＲLCおよび接触抵抗ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を並行して同時に算出することができる。したがって、このインピーダンス測定装置１Ａによれば、測定対象ＤＵＴのインピーダンス（本例では、内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘ）および各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を最も短時間で算出することができる。
【0069】
（第１実施例の変形例）
上記のインピーダンス測定装置１Ａを簡易に構成することもできる。図２を参照して、インピーダンス測定装置１Ａの構成を簡易にしたインピーダンス測定装置１Ａａについて説明する。なお、以下の各種インピーダンス測定装置の説明において、インピーダンス測定装置１Ａの構成要素と機能的に同様に動作する構成要素に関しては、同一の符号を付して、重複する説明を省略して、相違する構成および動作について説明する。
上記のインピーダンス測定装置１Ａを簡易に構成することもできる。図２を参照して、インピーダンス測定装置１Ａの構成を簡易にしたインピーダンス測定装置１Ａａについて説明する。なお、以下の各種インピーダンス測定装置の説明において、インピーダンス測定装置１Ａの構成要素と機能的に同様に動作する構成要素に関しては、同一の符号を付して、重複する説明を省略して、相違する構成および動作について説明する。
【0070】
図２に示すように、インピーダンス測定装置１Ａａは、各端子Ｈｃ，Ｌｃ，Ｈｐ，Ｌｐ、測定用信号源１１、第２検出用信号生成回路１２ｂ、検出部１３Ａａ、処理部１４および出力部１５を備えて構成されている。このインピーダンス測定装置１Ａａでは、第１検出用信号生成回路１２ａの配設を省略して構成されている。この場合、測定用信号源１１は、測定用信号源として機能すると共に第２検出用信号生成回路１２ｂと相俟って検出用信号源１２としても機能して交流測定用電流Ｉｍを第１の検出用電流（検出用電流Ｉta）として第１の電流経路ＩＲ１に供給する。なお、生成する交流信号の周波数を変更可能に測定用信号源１１を構成したときには、交流測定用電流Ｉｍとして出力するときの周波数と、検出用電流Ｉtaとして出力するときの周波数とを異なる周波数とすることもできる。
【0071】
また、検出部１３Ａａでは、同期検波回路２２ｂが、増幅回路２１ｂから出力される信号と測定用信号源１１から出力される同期信号Ｓf1とを乗算することにより（言い換えれば、増幅回路２１ｂから出力される信号をこの同期信号Ｓf1で同期検波することにより）、交流測定用電流Ｉｍが接触抵抗ＲHCを流れる際に接触抵抗ＲHCの両端に発生する交流電圧の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力する。また、ローパスフィルタ２３ｂは、同期検波回路２２ｂから出力される交流成分が重畳した直流信号を入力して、その交流成分を除去して平滑化することにより、第２検出電圧Ｖd2を出力する。
【0072】
この場合、第２検出電圧Ｖd2は、交流測定用電流Ｉｍが接触抵抗ＲHCに流れることに起因してセンス端子Ｈｐおよびソース端子Ｈｃ間に生じる電圧に基づいて得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲHCの抵抗値ＶＲHCに比例する値（∝ＶＲHC）となっている。このため、第２検出電圧Ｖd2の電圧値を交流測定用電流Ｉｍの既知の電流値で除算することにより、接触抵抗ＲHCの抵抗値ＶＲHCが直接的に算出される。
【0073】
また、同期検波回路２２ｄが、増幅回路２１ｃから出力される信号と測定用信号源１１から出力される同期信号Ｓf1とを乗算することにより（言い換えれば、増幅回路２１ｃから出力される信号をこの同期信号Ｓf1で同期検波することにより）、交流測定用電流Ｉｍが接触抵抗ＲLCを流れる際に接触抵抗ＲLCの両端に発生する交流電圧の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力する。また、ローパスフィルタ２３ｄは、同期検波回路２２ｄから出力される交流成分が重畳した直流信号を入力して、その交流成分を除去して平滑化することにより、第４検出電圧Ｖd4を出力する。
【0074】
この場合、第４検出電圧Ｖd4は、交流測定用電流Ｉｍが接触抵抗ＲLCに流れることに起因してセンス端子Ｌｐおよびソース端子Ｌｃ間に生じる電圧に基づいて得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲLCの抵抗値ＶＲLCに比例する値（∝ＶＲLC）となっている。このため、第４検出電圧Ｖd4の電圧値を交流測定用電流Ｉｍの既知の電流値で除算することにより、接触抵抗ＲLCの抵抗値ＶＲLCが直接的に算出される。
【0075】
このインピーダンス測定装置１Ａａにおいても、処理部１４が、インピーダンス測定装置１Ａにおける処理部１４と同様にして、第１検出電圧Ｖd1～第５検出電圧Ｖd5に基づいて、減算処理を行うことなく、測定対象ＤＵＴの内部抵抗Ｒｘおよび各接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲｘ，ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLPを直接的に算出する。
【0076】
このように、このインピーダンス測定装置１Ａａおよびインピーダンス測定方法によれば、インピーダンス測定装置１Ａによる効果に加えて、測定用信号源１１が、交流測定用電流Ｉｍを第１の検出用電流（本例では、検出用電流Ｉt1）として供給することにより、第１検出用信号生成回路１２ａを有しない簡易な構成でありながら、インピーダンス測定装置１Ａと同様にして、減算処理を行うことなく、各接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLPを１回の演算処理によって直接的に算出することができる。したがって、このインピーダンス測定装置１Ａａおよびインピーダンス測定方法によれば、簡易な構成でありながら、四端子測定の際における測定対象ＤＵＴに対するＨｉ側のソース端子Ｈｃ、Ｈｉ側のセンス端子Ｈｐ、Ｌｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐのそれぞれの接続状態を示す接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLPを個別かつ正確に測定（算出）することができる。
【0077】
（実施例２）
次に、他のインピーダンス測定装置としてのインピーダンス測定装置１Ｂについて説明する。
次に、他のインピーダンス測定装置としてのインピーダンス測定装置１Ｂについて説明する。
【0078】
図３に示すように、インピーダンス測定装置１Ｂは、各端子Ｈｃ，Ｌｃ，Ｈｐ，Ｌｐ、測定用信号源１１、検出用信号源１２、検出部１３Ｂ、処理部１４および出力部１５を備えて構成されている。
【0079】
検出用信号源１２は、第１検出用信号生成回路１２ａおよび第２検出用信号生成回路１２ｂを備えて、各ソース端子Ｈｃ，Ｌｃおよび各センス端子Ｈｐ，Ｌｐと測定対象ＤＵＴの正極および負極との間の各経路の各経路インピーダンスを検出するための検出用電流を供給する。第１検出用信号生成回路１２ａは、Ｈｉ側のソース端子ＨｃとＬｏ側のセンス端子Ｌｐとの間に接続されており、Ｈｉ側のソース端子Ｈｃと、測定対象ＤＵＴと、Ｌｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐのうちのいずれか一方の端子としてのＬｏ側のセンス端子Ｌｐとを含む第１の電流経路ＩＲ３における接触抵抗や配線抵抗からなる経路インピーダンス（Ｈｉ側のソース端子Ｈｃと測定対象ＤＵＴの正極との間の経路における接触抵抗や配線抵抗からなるインピーダンス、およびＬｏ側のセンス端子Ｌｐと測定対象ＤＵＴの負極との間の経路における接触抵抗や配線抵抗からなるインピーダンス）を検出するための第１の検出用電流としての検出用電流Ｉtaを生成して第１の電流経路ＩＲ３に供給する。この場合、第１検出用信号生成回路１２ａは、検出用電流Ｉtaとして、一定の振幅（既知）で、かつ一定の周波数ｆ２に規定された正弦波の交流電流を生成して出力する。また、第１検出用信号生成回路１２ａは、検出用電流Ｉtaに同期した同じ周波数ｆ２の同期信号Ｓf2を出力する。
【0080】
第２検出用信号生成回路１２ｂは、Ｈｉ側のセンス端子ＨｐとＬｏ側のソース端子Ｌｃとの間に接続されており、Ｈｉ側のセンス端子Ｈｐと、測定対象ＤＵＴと、Ｌｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐのうちの他方の端子としてのＬｏ側のソース端子Ｌｃとを含む第２の電流経路ＩＲ４における接触抵抗や配線抵抗からなる経路インピーダンス（Ｈｉ側のセンス端子Ｈｐと測定対象ＤＵＴの正極との間の経路における接触抵抗や配線抵抗からなるインピーダンス、およびＬｏ側のソース端子Ｌｃと測定対象ＤＵＴの負極との間の経路における接触抵抗や配線抵抗からなるインピーダンス）を検出するための第２の検出用電流としての検出用電流Ｉtbを生成して第２の電流経路ＩＲ４に供給する。この場合、第２検出用信号生成回路１２ｂは、検出用電流Ｉtbとして、一定の振幅（既知）で、かつ一定の周波数ｆ３に規定された正弦波の交流電流を生成して出力する。また、第２検出用信号生成回路１２ｂは、検出用電流Ｉtbに同期した同じ周波数ｆ３の同期信号Ｓf3を出力する。
【0081】
また、検出部１３Ｂでは、同期検波回路２２ｄが、増幅回路２１ｃから出力される信号と第２検出用信号生成回路１２ｂから出力される同期信号Ｓf3とを乗算することにより（言い換えれば、増幅回路２１ｃから出力される信号をこの同期信号Ｓf3で同期検波することにより）、検出用電流Ｉtbが接触抵抗ＲLCを流れる際に接触抵抗ＲLCの両端に発生する交流電圧の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力する。また、ローパスフィルタ２３ｄは、同期検波回路２２ｄから出力される交流成分が重畳した直流信号を入力して、その交流成分を除去して平滑化することにより、第４検出電圧Ｖd4を出力する。
【0082】
この場合、第４検出電圧Ｖd4は、検出用電流Ｉtbが接触抵抗ＲLCに流れることに起因してセンス端子Ｌｐおよびソース端子Ｌｃ間に生じる電圧に基づいて得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲLCの抵抗値ＶＲLCに比例する値（∝ＶＲLC）となっている。このため、第４検出電圧Ｖd4の電圧値を検出用電流Ｉtbの既知の電流値で除算することにより、接触抵抗ＲLCの抵抗値ＶＲLCが直接的に算出される。
【0083】
また、同期検波回路２２ｅが、増幅回路２１ｃから出力される信号と第１検出用信号生成回路１２ａから出力される同期信号Ｓf2とを乗算することにより（言い換えれば、増幅回路２１ｃから出力される信号をこの同期信号Ｓf2で同期検波することにより）、検出用電流Ｉtbが接触抵抗ＲLPを流れる際に接触抵抗ＲLPの両端に発生する交流電圧の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力する。また、ローパスフィルタ２３ｅは、同期検波回路２２ｅから出力される交流成分が重畳した直流信号を入力して、その交流成分を除去して平滑化することにより、第５検出電圧Ｖd5を出力する。
【0084】
この場合、第５検出電圧Ｖd5は、検出用電流Ｉtaが接触抵抗ＲLPに流れることに起因してセンス端子Ｌｐおよびソース端子Ｌｃ間に生じる電圧に基づいて得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲLPの抵抗値ＶＲLPに比例する値（∝ＶＲLP）となっている。このため、第５検出電圧Ｖd5の電圧値を検出用電流Ｉtaの既知の電流値で除算することにより、接触抵抗ＲLPの抵抗値ＶＲLPが直接的に算出される。
【0085】
このインピーダンス測定装置１Ｂにおいても、処理部１４が、インピーダンス測定装置１Ａにおける処理部１４と同様にして、第１検出電圧Ｖd1～第５検出電圧Ｖd5に基づいて、減算処理を行うことなく、測定対象ＤＵＴの内部抵抗Ｒｘおよび各接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲｘ，ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLPを１回の演算処理によって直接的に算出する。
【0086】
このように、このインピーダンス測定装置１Ｂおよびインピーダンス測定方法によれば、Ｈｉ側のソース端子Ｈｃと、測定対象ＤＵＴと、Ｌｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐのうちのいずれか一方の端子（本例では、Ｌｏ側のセンス端子Ｌｐ）とを含む第１の電流経路ＩＲ３に検出用電流Ｉtaを供給すると共に、Ｈｉ側のセンス端子Ｈｐと、測定対象ＤＵＴと、Ｌｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐのうちの他方の端子（本例では、Ｌｏ側のソース端子Ｌｃ）とを含む第２の電流経路ＩＲ４に検出用電流Ｉtbを供給し、検出用電流Ｉtaおよび検出用電流Ｉtbの供給時において、Ｈｉ側のソース端子ＨｃとＨｉ側のセンス端子Ｈｐとの間に生じる電圧、およびＬｏ側のソース端子ＬｃとＬｏ側のセンス端子Ｌｐとの間に生じる電圧を検出電圧（本例では、各検出電圧Ｖd2～Ｖd5）として検出し、検出した各検出電圧に基づいて各経路インピーダンスを測定することにより、減算処理を行うことなく、各接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLPを直接的に算出することができる。したがって、このインピーダンス測定装置１Ｂおよびインピーダンス測定方法によれば、四端子測定の際における測定対象ＤＵＴに対するＨｉ側のソース端子Ｈｃ、Ｈｉ側のセンス端子Ｈｐ、Ｌｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐのそれぞれの接続状態を示す接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLPを個別かつ正確に測定（算出）することができる。
【0087】
また、このインピーダンス測定装置１Ｂによれば、検出用信号源１２が、交流電流の検出用電流Ｉtaおよび検出用電流Ｉtbを供給し、検出部１３Ｂの同期検波回路２２ｂ～２２ｅが、各端子Ｈｃ，Ｈｐ，Ｌｃ，Ｌｐ間に生じる各電圧を検出用電流Ｉta，Ｉtbの周波数（ｆ１，ｆ２）と同じ周波数の同期信号Ｓf2，Ｓf3で同期検波して各検出電圧Ｖd2～Ｖd5として検出し、処理部１４が、同期検波回路２２ｂ～２２ｅおよびローパスフィルタ２３ｂ～２３ｅによって検出された各検出電圧Ｖd2～Ｖd5に基づいて各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を算出することにより、簡易な構成でありながら、各経路インピーダンスを確実かつ正確に算出することができる。
【0088】
また、このインピーダンス測定装置１Ｂによれば、同期検波回路２２ａ～２２ｅを備えて検出部１３Ｂを構成し、処理部１４が交流測定用電流Ｉｍを測定対象ＤＵＴに供給したときに測定対象ＤＵＴの正極および負極間に生じる交流電圧の電圧値として第１検出電圧Ｖd1の電圧値を用いて、その交流電圧の電圧値と交流測定用電流Ｉｍの電流値とに基づいて測定対象ＤＵＴの内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘを算出すると共に、第２検出電圧Ｖd2、第３検出電圧Ｖd3、第４検出電圧Ｖd4および第５検出電圧Ｖd5に基づいて各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC、接触抵抗ＲHP、接触抵抗ＲLCおよび接触抵抗ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を算出することにより、各インピーダンスを並行して同時に算出することができるため、測定対象ＤＵＴのインピーダンス（本例では、内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘ）および各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を短時間で算出することができる。
【0089】
また、このインピーダンス測定装置１Ｂによれば、検出用電流Ｉtaの周波数ｆ２および検出用電流Ｉtbの周波数ｆ３を互いに異なる値に規定したことにより、各ソース端子Ｈｃ，Ｌｃおよび各センス端子Ｈｐ，Ｌｐと、測定対象ＤＵＴとの間の各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC、接触抵抗ＲHP、接触抵抗ＲLCおよび接触抵抗ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を並行して同時に算出することができる。
【0090】
また、このインピーダンス測定装置１Ｂによれば、交流測定用電流Ｉｍの周波数ｆ１、検出用電流Ｉtaの周波数ｆ２および検出用電流Ｉtbの周波数ｆ３を互いに異なる値に規定したことにより、測定対象ＤＵＴのインピーダンス（本例では、内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘ）、並びに各ソース端子Ｈｃ，Ｌｃおよび各センス端子Ｈｐ，Ｌｐと、測定対象ＤＵＴとの間の各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC、接触抵抗ＲHP、接触抵抗ＲLCおよび接触抵抗ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を並行して同時に算出することができる。したがって、このインピーダンス測定装置１Ｂによれば、測定対象ＤＵＴのインピーダンス（本例では、内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘ）および各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を最も短時間で算出することができる。
【0091】
（実施例３）
次に、他のインピーダンス測定装置としてのインピーダンス測定装置１Ｃについて説明する。
次に、他のインピーダンス測定装置としてのインピーダンス測定装置１Ｃについて説明する。
【0092】
図４に示すように、インピーダンス測定装置１Ｃは、各端子Ｈｃ，Ｌｃ，Ｈｐ，Ｌｐ、測定用信号源１１、検出用信号源１２、検出部１３Ｃ、処理部１４および出力部１５を備えて構成されている。
【0093】
検出用信号源１２は、第１検出用信号生成回路１２ａおよび第２検出用信号生成回路１２ｂを備えて、各ソース端子Ｈｃ，Ｌｃおよび各センス端子Ｈｐ，Ｌｐと測定対象ＤＵＴの正極および負極との間の各経路の各経路インピーダンスを検出するための検出用電流を供給する。第１検出用信号生成回路１２ａは、Ｈｉ側のソース端子ＨｃとＨｉ側のセンス端子Ｈｐとの間に接続されており、Ｈｉ側のソース端子ＨｃおよびＨｉ側のセンス端子Ｈｐを含み、測定対象ＤＵＴを含まない第１の電流経路ＩＲ５における接触抵抗や配線抵抗からなる経路インピーダンス（Ｈｉ側のソース端子Ｈｃと測定対象ＤＵＴの正極との間の経路における接触抵抗や配線抵抗からなるインピーダンス、およびＨｉ側のセンス端子Ｈｐと測定対象ＤＵＴの正極との間の経路における接触抵抗や配線抵抗からなるインピーダンス）を検出するための第１の検出用電流としての検出用電流Ｉtaを生成して第１の電流経路ＩＲ５に供給する。この場合、第１検出用信号生成回路１２ａは、検出用電流Ｉtaとして、一定の振幅（既知）で、かつ一定の周波数ｆ２に規定された正弦波の交流電流を生成して出力する。また、第１検出用信号生成回路１２ａは、検出用電流Ｉtaに同期した同じ周波数ｆ２の同期信号Ｓf2を出力する。
【0094】
第２検出用信号生成回路１２ｂは、Ｌｏ側のソース端子ＬｃとＬｏ側のセンス端子Ｌｐの間に接続されており、Ｌｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐを含み、測定対象ＤＵＴを含まない第２の電流経路ＩＲ６における接触抵抗や配線抵抗からなる経路インピーダンス（Ｌｏ側のソース端子Ｌｃと測定対象ＤＵＴの負極との間の経路における接触抵抗や配線抵抗からなるインピーダンス、およびＬｏ側のセンス端子Ｌｐと測定対象ＤＵＴの負極との間の経路における接触抵抗や配線抵抗からなるインピーダンス）を検出するための第２の検出用電流としての検出用電流Ｉtbを生成して第２の電流経路ＩＲ６に供給する。この場合、第２検出用信号生成回路１２ｂは、検出用電流Ｉtbとして、一定の振幅（既知）で、かつ周波数ｆ１，ｆ２とは周波数の値が異なる一定の周波数ｆ３に規定された正弦波の交流電流を生成して出力する。また、第２検出用信号生成回路１２ｂは、検出用電流Ｉtbに同期した同じ周波数ｆ３の同期信号Ｓf3を出力する。
【0095】
検出部１３Ｃは、増幅回路２１ａ～２１ｃ、同期検波回路２２ａ～２２ｅ、およびローパスフィルタ２３ａ～２３ｅを備えて構成され、交流測定用電流Ｉｍの供給によって測定対象ＤＵＴの正極および負極間に生じる交流電圧をＨｉ側のセンス端子ＨｐおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐを介して検出すると共に検出用電流Ｉta，Ｉtbの供給によって上記の各経路に生じる各電圧を検出電圧として検出する。
【0096】
増幅回路２１ｂは、非反転入力端子がＨｉ側のソース端子Ｈｃに接続されると共に反転入力端子がＬｏ側のソース端子Ｌｃに接続されており、ソース端子Ｌｃの電圧とソース端子Ｈｃの電圧との電圧差を規定の利得で増幅して出力する。したがって、増幅回路２１ｂは、検出用電流Ｉtaが接触抵抗ＲHCを流れる際に接触抵抗ＲHCの両端に発生する電圧と、検出用電流Ｉtbが接触抵抗ＲLCを流れる際に接触抵抗ＲLCの両端に発生する電圧とを加算した電圧の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する交流信号を出力する。増幅回路２１ｃは、非反転入力端子がＨｉ側のセンス端子Ｈｐに接続されると共に反転入力端子がＬｏ側のセンス端子Ｌｐに接続されており、センス端子Ｌｐの電圧とセンス端子Ｈｐの電圧との電圧差を規定の利得で増幅して出力する。したがって、増幅回路２１ｃは、検出用電流Ｉtaが接触抵抗ＲHPを流れる際に接触抵抗ＲHPの両端に発生する電圧と、検出用電流Ｉtbが接触抵抗ＲLPを流れる際に接触抵抗ＲLPの両端に発生する電圧とを加算した電圧の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する交流信号を出力する。なお、この電圧出力装置１Ｃでは、増幅回路２１ａおよび増幅回路２１ｃは、共に、センス端子Ｈｐの電圧とセンス端子Ｌｐの電圧との電圧差を規定の利得で増幅して出力する構成となっている。このため、増幅回路２１ｃの配設を省略して、増幅回路２１ａの出力部を同期検波回路２２ｄ，２２ｅの入力部に接続することで、増幅回路２１ａに対して増幅回路２１ｃの機能も兼用させる構成を採用しても良い。
【0097】
同期検波回路２２ｂは、ローパスフィルタ２３ｂと共に第２の同期検波回路として機能し、増幅回路２１ｂから出力される信号と第１検出用信号生成回路１２ａから出力される同期信号Ｓf2とを乗算することにより（言い換えれば、増幅回路２１ｂから出力される信号をこの同期信号Ｓf2で同期検波することにより）、検出用電流Ｉtaが接触抵抗ＲHCを流れる際に接触抵抗ＲHCの両端に発生する交流電圧の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力する。また、ローパスフィルタ２３ｂは、同期検波回路２２ｂから出力される交流成分が重畳した直流信号を入力して、その交流成分を除去して平滑化することにより、第２検出電圧Ｖd2を出力する。
【0098】
この場合、第２検出電圧Ｖd2は、検出用電流Ｉtaが接触抵抗ＲHCに流れることに起因してセンス端子Ｈｐおよびソース端子Ｈｃ間に生じる電圧に基づいて得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲHCの抵抗値ＶＲHCに比例する値（∝ＶＲHC）となっている。このため、第２検出電圧Ｖd2の電圧値を検出用電流Ｉtaの既知の電流値で除算することにより、接触抵抗ＲHCの抵抗値ＶＲHCが直接的に算出される。
【0099】
同期検波回路２２ｃは、ローパスフィルタ２３ｃと共に第４の同期検波回路として機能し、増幅回路２１ｂから出力される信号と第２検出用信号生成回路１２ｂから出力される同期信号Ｓf3とを乗算することにより（言い換えれば、増幅回路２１ｂから出力される信号をこの同期信号Ｓf3で同期検波することにより）、検出用電流Ｉtbが接触抵抗ＲLCを流れる際に接触抵抗ＲLCの両端に発生する交流電圧の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力する。また、ローパスフィルタ２３ｃは、同期検波回路２２ｃから出力される交流成分が重畳した直流信号を入力して、その交流成分を除去して平滑化することにより、第４検出電圧Ｖd4を出力する。
【0100】
この場合、第４検出電圧Ｖd4は、検出用電流Ｉtbが接触抵抗ＲLCに流れることに起因してソース端子Ｌｃおよびソース端子Ｈｃ間に生じる電圧に基づいて得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲLCの抵抗値ＶＲLCに比例する値（∝ＶＲLC）となっている。このため、第４検出電圧Ｖd4の電圧値を検出用電流Ｉtbの既知の電流値で除算することにより、接触抵抗ＲLCの抵抗値ＶＲLCが直接的に算出される。
【0101】
同期検波回路２２ｄは、ローパスフィルタ２３ｄと共に第３の同期検波回路として機能し、増幅回路２１ｃから出力される信号と第１検出用信号生成回路１２ａから出力される同期信号Ｓf2とを乗算することにより（言い換えれば、増幅回路２１ｃから出力される信号をこの同期信号Ｓf2で同期検波することにより）、検出用電流Ｉtaが接触抵抗ＲHPを流れる際に接触抵抗ＲHPの両端に発生する交流電圧の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力する。また、ローパスフィルタ２３ｄは、同期検波回路２２ｄから出力される交流成分が重畳した直流信号を入力して、その交流成分を除去して平滑化することにより、第３検出電圧Ｖd3を出力する。
【0102】
この場合、第３検出電圧Ｖd3は、検出用電流Ｉtaが接触抵抗ＲHPに流れることに起因してセンス端子Ｌｐおよびセンス端子Ｌｐ間に生じる電圧に基づいて得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲHPの抵抗値ＶＲHPに比例する値（∝ＶＲHP）となっている。このため、第３検出電圧Ｖd3の電圧値を検出用電流Ｉtaの既知の電流値で除算することにより、接触抵抗ＲHPの抵抗値ＶＲHPが直接的に算出される。
【0103】
同期検波回路２２ｅは、ローパスフィルタ２３ｅと共に第５の同期検波回路として機能し、増幅回路２１ｃから出力される信号と第２検出用信号生成回路１２ｂから出力される同期信号Ｓf3とを乗算することにより（言い換えれば、増幅回路２１ｃから出力される信号をこの同期信号Ｓf3で同期検波することにより）、検出用電流Ｉtbが接触抵抗ＲLPを流れる際に接触抵抗ＲLPの両端に発生する交流電圧の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力する。また、ローパスフィルタ２３ｅは、同期検波回路２２ｅから出力される交流成分が重畳した直流信号を入力して、その交流成分を除去して平滑化することにより、第５検出電圧Ｖd5を出力する。
【0104】
この場合、第５検出電圧Ｖd5は、検出用電流Ｉtbが接触抵抗ＲLPに流れることに起因してセンス端子Ｌｐおよびセンス端子Ｌｐ間に生じる電圧に基づいて得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲLPの抵抗値ＶＲLPに比例する値（∝ＶＲLP）となっている。このため、第５検出電圧Ｖd5の電圧値を検出用電流Ｉtbの既知の電流値で除算することにより、接触抵抗ＲLPの抵抗値ＶＲLPが直接的に算出される。
【0105】
このインピーダンス測定装置１Ｃにおいても、処理部１４が、インピーダンス測定装置１Ａにおける処理部１４と同様にして、第１検出電圧Ｖd1～第５検出電圧Ｖd5に基づいて、減算処理を行うことなく、測定対象ＤＵＴの内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘおよび各接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲｘ，ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLPを１回の演算処理によって直接的に算出する。
【0106】
このように、このインピーダンス測定装置１Ｃおよびインピーダンス測定方法によれば、Ｈｉ側のソース端子ＨｃおよびＨｉ側のセンス端子Ｈｐを含み、測定対象ＤＵＴを含まない第１の電流経路ＩＲ５に検出用電流Ｉtaを供給すると共に、Ｌｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐを含み、測定対象ＤＵＴを含まない第２の電流経路ＩＲ６に検出用電流Ｉtbを供給し、検出用電流Ｉtaおよび検出用電流Ｉtbの供給時において、Ｈｉ側のソース端子ＨｃとＬｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐのうちのいずれか一方の端子（本例では、Ｌｏ側のソース端子Ｌｃ）との間に生じる電圧、並びにＨｉ側のセンス端子ＨｐとＬｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐのうちの他方の端子（本例では、Ｌｏ側のセンス端子Ｌｐ）との間に生じる電圧を検出電圧（本例では、各検出電圧Ｖd2～Ｖd5）として検出し、検出した各検出電圧に基づいて各経路インピーダンスを測定することにより、減算処理を行うことなく、各接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLPを直接的に算出することができる。したがって、このインピーダンス測定装置１Ｃおよびインピーダンス測定方法によれば、四端子測定の際における測定対象ＤＵＴに対するＨｉ側のソース端子Ｈｃ、Ｈｉ側のセンス端子Ｈｐ、Ｌｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐのそれぞれの接続状態を示す接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLPを個別かつ正確に測定（算出）することができる。
【0107】
また、このインピーダンス測定装置１Ｃによれば、検出用信号源１２が、交流電流の検出用電流Ｉtaおよび検出用電流Ｉtbを供給し、検出部１３Ｃの同期検波回路２２ｂ～２２ｅが、各端子Ｈｃ，Ｈｐ，Ｌｃ，Ｌｐ間に生じる各電圧を検出用電流Ｉta，Ｉtbの周波数（ｆ１，ｆ２）と同じ周波数の同期信号Ｓf2，Ｓf3で同期検波して各検出電圧Ｖd2～Ｖd5として検出し、処理部１４が、同期検波回路２２ｂ～２２ｅおよびローパスフィルタ２３ｂ～２３ｅによって検出された各検出電圧Ｖd2～Ｖd5に基づいて各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を算出することにより、簡易な構成でありながら、各経路インピーダンスを確実かつ正確に算出することができる。
【0108】
また、このインピーダンス測定装置１Ｃによれば、同期検波回路２２ａ～２２ｅを備えて検出部１３Ｃを構成し、処理部１４が交流測定用電流Ｉｍを測定対象ＤＵＴに供給したときに測定対象ＤＵＴの正極および負極間に生じる交流電圧の電圧値として第１検出電圧Ｖd1の電圧値を用いて、その交流電圧の電圧値と交流測定用電流Ｉｍの電流値とに基づいて測定対象ＤＵＴの内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘを算出すると共に、第２検出電圧Ｖd2、第３検出電圧Ｖd3、第４検出電圧Ｖd4および第５検出電圧Ｖd5に基づいて各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC、接触抵抗ＲHP、接触抵抗ＲLCおよび接触抵抗ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を算出することにより、各インピーダンスを並行して同時に算出することができるため、測定対象ＤＵＴのインピーダンス（本例では、内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘ）および各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲｘ，ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を短時間で算出することができる。
【0109】
また、このインピーダンス測定装置１Ｃによれば、検出用電流Ｉtaの周波数ｆ２および検出用電流Ｉtbの周波数ｆ３を互いに異なる値に規定したことにより、各ソース端子Ｈｃ，Ｌｃおよび各センス端子Ｈｐ，Ｌｐと、測定対象ＤＵＴとの間の各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC、接触抵抗ＲHP、接触抵抗ＲLCおよび接触抵抗ＲLPの各抵抗値ＶＲｘ，ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を並行して同時に算出することができる。
【0110】
また、このインピーダンス測定装置１Ｃによれば、交流測定用電流Ｉｍの周波数ｆ１、検出用電流Ｉtaの周波数ｆ２および検出用電流Ｉtbの周波数ｆ３を互いに異なる値に規定したことにより、測定対象ＤＵＴのインピーダンス（本例では、内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘ）、並びに各ソース端子Ｈｃ，Ｌｃおよび各センス端子Ｈｐ，Ｌｐと、測定対象ＤＵＴとの間の各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC、接触抵抗ＲHP、接触抵抗ＲLCおよび接触抵抗ＲLPの各抵抗値ＶＲｘ，ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を並行して同時に算出することができる。したがって、このインピーダンス測定装置１Ｃによれば、測定対象ＤＵＴのインピーダンス（本例では、内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘ）および各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲｘ，ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を最も短時間で算出することができる。
【0111】
（実施例４）
次に、他のインピーダンス測定装置としてのインピーダンス測定装置１Ｄについて説明する。なお、以下、主として、インピーダンス測定装置１Ｃの構成要素と相違する構成について説明する。
次に、他のインピーダンス測定装置としてのインピーダンス測定装置１Ｄについて説明する。なお、以下、主として、インピーダンス測定装置１Ｃの構成要素と相違する構成について説明する。
【0112】
図５に示すように、インピーダンス測定装置１Ｄは、各端子Ｈｃ，Ｌｃ，Ｈｐ，Ｌｐ、測定用信号源１１、検出用信号源１２、検出部１３Ｄ、処理部１４および出力部１５を備えて構成されている。
【0113】
検出部１３Ｄは、増幅回路２１ａ～２１ｃ、同期検波回路２２ａ～２２ｅ、およびローパスフィルタ２３ａ～２３ｅを備えて構成され、交流測定用電流Ｉｍの供給によって測定対象ＤＵＴの正極および負極間に生じる交流電圧をＨｉ側のセンス端子ＨｐおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐを介して検出すると共に検出用電流Ｉta，Ｉtbの供給によって上記の各経路に生じる各電圧を検出電圧として検出する。
【0114】
増幅回路２１ｂは、非反転入力端子がＨｉ側のソース端子Ｈｃに接続されると共に反転入力端子がＬｏ側のセンス端子Ｌｐに接続されており、センス端子Ｌｐの電圧とソース端子Ｈｃの電圧との電圧差を規定の利得で増幅して出力する。したがって、増幅回路２１ｂは、検出用電流Ｉtaが接触抵抗ＲHCを流れる際に接触抵抗ＲHCの両端に発生する電圧と、検出用電流Ｉtbが接触抵抗ＲLPを流れる際に接触抵抗ＲLPの両端に発生する電圧とを加算した電圧の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する交流信号を出力する。増幅回路２１ｃは、非反転入力端子がＨｉ側のセンス端子Ｈｐに接続されると共に反転入力端子がＬｏ側のソース端子Ｌｃに接続されており、ソース端子Ｌｃの電圧とセンス端子Ｈｐの電圧との電圧差を規定の利得で増幅して出力する。したがって、増幅回路２１ｃは、検出用電流Ｉtaが接触抵抗ＲHPを流れる際に接触抵抗ＲHPの両端に発生する電圧と、検出用電流Ｉtbが接触抵抗ＲLCを流れる際に接触抵抗ＲLCの両端に発生する電圧とを加算した電圧の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する交流信号を出力する。
【0115】
同期検波回路２２ｃは、ローパスフィルタ２３ｃと共に第５の同期検波回路として機能し、増幅回路２１ｂから出力される信号と第２検出用信号生成回路１２ｂから出力される同期信号Ｓf3とを乗算することにより（言い換えれば、増幅回路２１ｂから出力される信号をこの同期信号Ｓf3で同期検波することにより）、検出用電流Ｉtbが接触抵抗ＲLPを流れる際に接触抵抗ＲLPの両端に発生する交流電圧の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力する。また、ローパスフィルタ２３ｃは、同期検波回路２２ｃから出力される交流成分が重畳した直流信号を入力して、その交流成分を除去して平滑化することにより、第５検出電圧Ｖd5を出力する。
【0116】
この場合、第５検出電圧Ｖd5は、検出用電流Ｉtbが接触抵抗ＲLPに流れることに起因してセンス端子Ｌｐおよびソース端子Ｈｃ間に生じる電圧に基づいて得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲLPの抵抗値ＶＲLPに比例する値（∝ＶＲLP）となっている。このため、第５検出電圧Ｖd5の電圧値を検出用電流Ｉtbの既知の電流値で除算することにより、接触抵抗ＲLPの抵抗値ＶＲLPが直接的に算出される。
【0117】
同期検波回路２２ｅは、ローパスフィルタ２３ｅと共に第４の同期検波回路として機能し、増幅回路２１ｃから出力される信号と第２検出用信号生成回路１２ｂから出力される同期信号Ｓf3とを乗算することにより（言い換えれば、増幅回路２１ｃから出力される信号をこの同期信号Ｓf3で同期検波することにより）、検出用電流Ｉtbが接触抵抗ＲLCを流れる際に接触抵抗ＲLCの両端に発生する交流電圧の電圧値（例えば、振幅）に応じて電圧値が変化する直流信号を出力する。また、ローパスフィルタ２３ｅは、同期検波回路２２ｅから出力される交流成分が重畳した直流信号を入力して、その交流成分を除去して平滑化することにより、第４検出電圧Ｖd4を出力する。
【0118】
この場合、第４検出電圧Ｖd4は、検出用電流Ｉtbが接触抵抗ＲLCに流れることに起因してソース端子Ｌｃおよびセンス端子Ｈｐ間に生じる電圧に基づいて得られる電圧であることから、その電圧値は、接触抵抗ＲLCの抵抗値ＶＲLCに比例する値（∝ＶＲLC）となっている。このため、第４検出電圧Ｖd4の電圧値を検出用電流Ｉtbの既知の電流値で除算することにより、接触抵抗ＲLCの抵抗値ＶＲLCが直接的に算出される。
【0119】
このインピーダンス測定装置１Ｄにおいても、処理部１４が、インピーダンス測定装置１Ａにおける処理部１４と同様にして、第１検出電圧Ｖd1～第５検出電圧Ｖd5に基づいて、減算処理を行うことなく、測定対象ＤＵＴの内部抵抗Ｒｘおよび各接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲｘ，ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLPを１回の演算処理によって直接的に算出する。
【0120】
このように、このインピーダンス測定装置１Ｄおよびインピーダンス測定方法によれば、Ｈｉ側のソース端子ＨｃおよびＨｉ側のセンス端子Ｈｐを含み、測定対象ＤＵＴを含まない第１の電流経路ＩＲ５に検出用電流Ｉtaを供給すると共に、Ｌｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐを含み、測定対象ＤＵＴを含まない第２の電流経路ＩＲ６に検出用電流Ｉtbを供給し、検出用電流Ｉtaおよび検出用電流Ｉtbの供給時において、Ｈｉ側のソース端子ＨｃとＬｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐのうちのいずれか一方の端子（本例では、Ｌｏ側のセンス端子Ｌｐ）との間に生じる電圧、並びにＨｉ側のセンス端子ＨｐとＬｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐのうちの他方の端子（本例では、Ｌｏ側のソース端子Ｌｃ）との間に生じる電圧を検出電圧（本例では、各検出電圧Ｖd2～Ｖd5）として検出し、検出した各検出電圧に基づいて各経路インピーダンスを測定することにより、減算処理を行うことなく、各接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLPを直接的に算出することができる。したがって、このインピーダンス測定装置１Ｄおよびインピーダンス測定方法によれば、四端子測定の際における測定対象ＤＵＴに対するＨｉ側のソース端子Ｈｃ、Ｈｉ側のセンス端子Ｈｐ、Ｌｏ側のソース端子ＬｃおよびＬｏ側のセンス端子Ｌｐのそれぞれの接続状態を示す接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLPを個別かつ正確に測定（算出）することができる。
【0121】
また、このインピーダンス測定装置１Ｄによれば、検出用信号源１２が、交流電流の検出用電流Ｉtaおよび検出用電流Ｉtbを供給し、検出部１３Ｄの同期検波回路２２ｂ～２２ｅが、各端子Ｈｃ，Ｈｐ，Ｌｃ，Ｌｐ間に生じる各電圧を検出用電流Ｉta，Ｉtbの周波数（ｆ１，ｆ２）と同じ周波数の同期信号Ｓf2，Ｓf3で同期検波して各検出電圧Ｖd2～Ｖd5として検出し、処理部１４が、同期検波回路２２ｂ～２２ｅおよびローパスフィルタ２３ｂ～２３ｅによって検出された各検出電圧Ｖd2～Ｖd5に基づいて各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を算出することにより、簡易な構成でありながら、各経路インピーダンスを確実かつ正確に算出することができる。
【0122】
また、このインピーダンス測定装置１Ｄによれば、同期検波回路２２ａ～２２ｅを備えて検出部１３Ｄを構成し、処理部１４が交流測定用電流Ｉｍを測定対象ＤＵＴに供給したときに測定対象ＤＵＴの正極および負極間に生じる交流電圧の電圧値として第１検出電圧Ｖd1の電圧値を用いて、その交流電圧の電圧値と交流測定用電流Ｉｍの電流値とに基づいて測定対象ＤＵＴの内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘを算出すると共に、第２検出電圧Ｖd2、第３検出電圧Ｖd3、第４検出電圧Ｖd4および第５検出電圧Ｖd5に基づいて各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC、接触抵抗ＲHP、接触抵抗ＲLCおよび接触抵抗ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を算出することにより、各インピーダンスを並行して同時に算出することができるため、測定対象ＤＵＴのインピーダンス（本例では、内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘ）および各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を短時間で算出することができる。
【0123】
また、このインピーダンス測定装置１Ｄによれば、検出用電流Ｉtaの周波数ｆ２および検出用電流Ｉtbの周波数ｆ３を互いに異なる値に規定したことにより、各ソース端子Ｈｃ，Ｌｃおよび各センス端子Ｈｐ，Ｌｐと、測定対象ＤＵＴとの間の各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC、接触抵抗ＲHP、接触抵抗ＲLCおよび接触抵抗ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を並行して同時に算出することができる。
【0124】
また、このインピーダンス測定装置１Ｄによれば、交流測定用電流Ｉｍの周波数ｆ１、検出用電流Ｉtaの周波数ｆ２および検出用電流Ｉtbの周波数ｆ３を互いに異なる値に規定したことにより、測定対象ＤＵＴのインピーダンス（本例では、内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘ）、並びに各ソース端子Ｈｃ，Ｌｃおよび各センス端子Ｈｐ，Ｌｐと、測定対象ＤＵＴとの間の各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC、接触抵抗ＲHP、接触抵抗ＲLCおよび接触抵抗ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を並行して同時に算出することができる。したがって、このインピーダンス測定装置１Ｄによれば、測定対象ＤＵＴのインピーダンス（本例では、内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘ）および各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を最も短時間で算出することができる。
【0125】
なお、本発明は、上記した各実施例の構成および動作に限定されない。例えば、上記のインピーダンス測定装置１Ａ，１Ａａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄでは、測定用信号源１１から測定対象ＤＵＴへの交流測定用電流Ｉｍの供給と、検出用電流Ｉta，Ｉtbの供給とを同時に実行することにより、第１検出電圧Ｖd1～第５検出電圧Ｖd5を同時に検出して測定時間を短縮し得るように、交流測定用電流Ｉｍの周波数、検出用電流Ｉtaの周波数および検出用電流Ｉtbの周波数を互いに異なる周波数に規定したが、これに限らない。具体的には、内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘおよび各接触抵抗ＲH，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲH，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLPの各算出タイミングを異ならせると共に、その各タイミングに合わせて、交流測定用電流Ｉｍ、検出用電流Ｉtaおよび検出用電流Ｉtbのうちの必要な電流を供給することで、すべて同じ周波数に規定することもできるし、交流測定用電流Ｉｍの周波数、検出用電流Ｉtaの周波数および検出用電流Ｉtbの周波数のうちの任意の２つを同じ周波数に規定することもできる。
【0126】
なお、交流測定用電流Ｉｍ、検出用電流Ｉtaおよび検出用電流Ｉtbの供給タイミングを異ならせる構成においては、交流測定用電流Ｉｍ、検出用電流Ｉtaおよび検出用電流Ｉtbを供給する機能を１つまたは２の信号源を用いて構成することもできる。この場合、その１つまたは２つの信号源と、その１つまたは２つの信号源と各電流の供給箇所とを切替接続するスイッチ回路とを設け、交流測定用電流Ｉｍ、検出用電流Ｉtaおよび検出用電流Ｉtbを供給するタイミングに合わせて、そのスイッチ回路を制御する構成を採用することで容易に実現することができる。
【0127】
また、上記のインピーダンス測定装置１Ａ，１Ａａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄでは、増幅回路２１ａ～２１ｃを差動増幅回路で構成したため、測定用信号源１１側のグランドと、測定用信号源１１を除くインピーダンス測定装置１Ａ，１Ａａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄの各構成要素側のグランドとを、共通にする構成および相違させる構成のいずれも採用することができている。一方、増幅回路２１ａ～２１ｃのいずれか１つまたは２つをシングルエンド型の増幅回路とする構成を採用することもできる。
【0128】
図６を参照して、例えば、インピーダンス測定装置１Ａａにおける測定用信号源１１側のグランドＧ１と、測定用信号源１１を除くインピーダンス測定装置１Ａａの各構成要素側のグランドＧ２とを相違させたインピーダンス測定装置１Ａｂについて具体的に説明する。このインピーダンス測定装置１Ａｂでは、測定用信号源１１の一部を構成する交流信号生成回路１１ａが、グランドＧ１を基準電位として作動して、交流測定用電流Ｉｍの元となる交流信号を生成する。また、測定用信号源１１の一部を構成する増幅回路１１ｂが、グランドＧ１を基準電位として作動して、交流信号生成回路１１ａから出力された交流信号を増幅して交流測定用電流Ｉｍとして出力する。
【0129】
また、測定用信号源１１を除くインピーダンス測定装置１Ａｂでは、各構成要素は、グランドＧ２を基準電位として作動する。この場合、例えば、Ｌｏ側のセンス端子ＬｐをグランドＧ２と共通電位とする構成を採用したときには、増幅回路２１ａ，２１ｃをシングルエンド型の増幅回路で構成して検出部１３Ａｂを構成することができる。この増幅回路２１ａは、非反転入力端子がＨｉ側のセンス端子Ｈｐに接続されると共に反転入力端子がグランドＧ２を介してＬｏ側のセンス端子Ｌｐに接続されており、センス端子Ｌｐの電圧とセンス端子Ｈｐの電圧との差分の電圧を規定の利得で増幅して出力する。したがって、増幅回路２１ａは、インピーダンス測定装置１Ａａにおける増幅回路２１ａと同様の動作を実行する。また、増幅回路２１ｃは、非反転入力端子がＬｏ側のソース端子Ｌｃに接続されると共に反転入力端子がグランドＧ２を介してＬｏ側のセンス端子Ｌｐに接続されており、センス端子Ｌｐの電圧とソース端子Ｌｃの電圧との電圧差を規定の利得で増幅して出力する。したがって、増幅回路２１ｃは、インピーダンス測定装置１Ａａにおける増幅回路２１ｃと同様の動作を実行する。
【0130】
次に、図７を参照して、例えば、インピーダンス測定装置１Ｄにおける測定用信号源１１側のグランドＧ１と、測定用信号源１１を除くインピーダンス測定装置１Ｄの各構成要素側のグランドＧ２とを相違させたインピーダンス測定装置１Ｄａについて説明する。このインピーダンス測定装置１Ｄａでは、測定用信号源１１が、インピーダンス測定装置１Ａｂの測定用信号源１１と同様に構成されて同じ動作を実行する。
【0131】
また、増幅回路２１ａ，２１ｂをシングルエンド型の増幅回路で構成して検出部１３Ｄａを構成することができる。この場合、増幅回路２１ａは、インピーダンス測定装置１Ａｂの増幅回路２１ａと同様に構成されて同じ動作を実行する。また、増幅回路２１ｂは、非反転入力端子がＨｉ側のソース端子Ｈｃに接続されると共に反転入力端子がグランドＧ２を介してＬｏ側のセンス端子Ｌｐに接続されており、センス端子Ｌｐの電圧とソース端子Ｈｃの電圧との電圧差を規定の利得で増幅して出力する。したがって、増幅回路２１ｂは、インピーダンス測定装置１Ｄにおける増幅回路２１ｂと同様の動作を実行する。なお、このインピーダンス測定装置１Ｄａにおいて、増幅回路２１ａについては、差動増幅回路に構成して、非反転入力端子をＨｉ側のセンス端子Ｈｐに接続すると共に反転入力端子をＬｏ側のセンス端子Ｌｐに接続する構成を採用することもできる。したがって、この構成の増幅回路２１ａも、インピーダンス測定装置１Ｄにおける増幅回路２１ａと同様の動作を実行する。
【0132】
また、検出用信号源として、交流電流の検出用電流Ｉtaを供給する第１検出用信号生成回路１２ａと、交流電流の検出用電流Ｉtbを供給する第２検出用信号生成回路１２ｂとで検出用信号源１２を構成するインピーダンス測定装置の例について説明したが、これに限らず、第１検出用信号生成回路１２ａおよび第２検出用信号生成回路１２ｂのいずれか一方が直流の検査用信号を出力する検出用信号源を採用することができる。例えば、インピーダンス測定装置１Ａ，１Ａａ，１Ｂにおいて、第２検出用信号生成回路１２ｂから出力される検出用電流Ｉtbに代えて、直流信号を検査用電流として第２の電流経路ＩＲ２，ＩＲ４に供給する構成を採用することもできる。この構成では、同期検波回路２２ｃの配設を省略して、増幅回路２１ｂの出力信号を、直接的にローパスフィルタ２３ｃを通過させて第３検出電圧Ｖd3とすることができる。また、同期検波回路２２ｅの配設を省略して、増幅回路２１ｃの出力信号を、直接的にローパスフィルタ２３ｅを通過させて第５検出電圧Ｖd5とすることができる。また、第１検出用電流および第２検出用電流の供給タイミングをずらす構成においては、第１検出用信号生成回路１２ａおよび第２検出用信号生成回路１２ｂの双方において直流の検査用信号を出力する構成とすることができる。
【0133】
また、上記の各実施例では、アナログ方式で各検出電圧Ｖd1～Ｖd5を検出し、処理部１４が検出された各検出電圧Ｖd1～Ｖd5に基づいて内部抵抗Ｒｘのインピーダンス（本例では、抵抗値ＶＲｘ）および各経路インピーダンス（本例では、接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を算出しているが、これに限らない。例えば、処理部１４の内部に備えているアナログ／デジタル変換器に増幅回路２１ａ，２１ｂ，２１ｃの出力信号を入力して、処理部１４（その内部に備えているＣＰＵやＦＰＧＡなどのプラグラム可能な集積回路）が、同期検波回路２２ａ～２２ｅおよびローパスフィルタ２３ａ～２３ｅの機能をデジタル処理によって実行する構成を採用することもできる。また、処理部１４が、増幅回路２１ａ，２１ｂ，２１ｃの機能をデジタル処理によって実行する構成を採用することもできる。
【0134】
また、バッテリを測定対象ＤＵＴとして四端子法によってバッテリの内部抵抗Ｒｘの抵抗値ＶＲｘを測定する例について説明したが、４つのプローブや接続具を接続対象部位に接続させて四端子法によって測定する測定装置や測定方法である限り、各種測定対象ＤＵＴについての電圧、電流、電力値などを測定する測定装置や測定方法に広く適用することができる。また、インピーダンス測定装置１Ａ，１Ａａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ａｂ，１Ｄａでは、内部抵抗Ｒｘのインピーダンス（上記の例では、抵抗値ＶＲｘ）および各接触抵抗ＲHC，ＲHP，ＲLC，ＲLPの各インピーダンス（上記の例では、各抵抗値ＶＲHC，ＶＲHP，ＶＲLC，ＶＲLP）を算出しているが、実部の抵抗値だけを算出する構成に適用可能なことは勿論である。
【産業上の利用可能性】
【0135】
本願発明によれば、四端子測定の際における測定対象に対するＨｉ側のソース端子、Ｈｉ側のセンス端子、Ｌｏ側のソース端子およびＬｏ側のセンス端子のそれぞれの接続状態を示す経路インピーダンスを個別かつ正確に算出することができる。これにより、本願発明は、このようなインピーダンス測定のインピーダンス測定装置およびインピーダンス測定方法に広く適用することができる。
【符号の説明】
【0136】
１Ａ，１Ａａ，１Ａｂ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｄａ インピーダンス測定装置
１１ 測定用信号源
１２ 検出用信号源
１２ａ 第１検出用信号生成回路
１２ｂ 第２検出用信号生成回路
１３Ａ，１３Ａａ，１３Ａｂ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄ，１３Ｄａ 検出部
１４ 処理部
２１ａ～２１ｃ 増幅回路
２２ａ～２２ｅ 同期検波回路
ＤＵＴ 測定対象
Ｈｃ，Ｌｃ ソース端子
Ｈｐ，Ｌｐ センス端子
Ｉｍ 交流測定用電流
Ｉta，Ｉtb 検出用電流
ＲHC，ＲLC，ＲHP，ＲLP 接触抵抗
Ｒｘ 内部抵抗
Ｖd1 第１検出電圧
Ｖd2 第２検出電圧
Ｖd3 第３検出電圧
Ｖd4 第４検出電圧
Ｖd5 第５検出電圧
ＶＲHC，ＶＲLC，ＶＲHP，ＶＲLP，ＶＲｘ 抵抗値
１１ 測定用信号源
１２ 検出用信号源
１２ａ 第１検出用信号生成回路
１２ｂ 第２検出用信号生成回路
１３Ａ，１３Ａａ，１３Ａｂ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄ，１３Ｄａ 検出部
１４ 処理部
２１ａ～２１ｃ 増幅回路
２２ａ～２２ｅ 同期検波回路
ＤＵＴ 測定対象
Ｈｃ，Ｌｃ ソース端子
Ｈｐ，Ｌｐ センス端子
Ｉｍ 交流測定用電流
Ｉta，Ｉtb 検出用電流
ＲHC，ＲLC，ＲHP，ＲLP 接触抵抗
Ｒｘ 内部抵抗
Ｖd1 第１検出電圧
Ｖd2 第２検出電圧
Ｖd3 第３検出電圧
Ｖd4 第４検出電圧
Ｖd5 第５検出電圧
ＶＲHC，ＶＲLC，ＶＲHP，ＶＲLP，ＶＲｘ 抵抗値
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】