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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024155398
(43)【公開日】2024-10-31
(54)【発明の名称】弾性波装置
(51)【国際特許分類】
H03H 9/145 20060101AFI20241024BHJP
【ＦＩ】
H03H9/145 Z
H03H9/145 C
H03H9/145 D
【審査請求】未請求
【請求項の数】14
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023070077
(22)【出願日】2023-04-21
(71)【出願人】
【識別番号】000006231
【氏名又は名称】株式会社村田製作所
(74)【代理人】
【識別番号】110001232
【氏名又は名称】弁理士法人大阪フロント特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】瀧川 和大
【テーマコード（参考）】
5J097
【Ｆターム（参考）】
5J097AA01
5J097AA14
5J097BB02
5J097BB11
5J097DD04
5J097DD15
5J097DD22
5J097DD29
5J097FF04
5J097FF05
5J097HA02
5J097HA03
5J097KK03
5J097KK09
(57)【要約】 （修正有）
【課題】リターンロスを小さくすることができる弾性波装置を提供する。
【解決手段】弾性波装置１は、圧電性基板２と該基板上に設けらた１対のバスバー４、５、ＩＤＴ電極３、反射器１３Ａを含む１対の反射器と、ＩＤＴ電極の電極指６、７が重なり合っている交叉領域Ａと、を備える。交叉領域は、中央領域Ｃと１対のエッジ領域Ｅａ、Ｅｂと、を有する。ＩＤＴ電極の１対のバスバー及び各反射器の１対のバスバーにそれぞれ、反射器間方向ｘに沿ってそれぞれ複数の開口部Ｏａ～Ｏｄが設けられている。ＩＤＴ電極の中央領域Ｃにおける音速をＶａ、開口部形成領域Ｏａにおける音速をＶｂとしたときＶａ≠Ｖｂであり、各反射器の延長中央領域における音速をＶｃ、開口部形成領域Ｏｃ、Ｏｄにおける音速をＶｄとしたときＶｃ≠Ｖｄであり、ＩＤＴ電極と、少なくとも一方の反射器が設けられている部分とにおいて、（Ｖｂ／Ｖａ）≠（Ｖｄ／Ｖｃ）である。
【選択図】図２
【解決手段】弾性波装置１は、圧電性基板２と該基板上に設けらた１対のバスバー４、５、ＩＤＴ電極３、反射器１３Ａを含む１対の反射器と、ＩＤＴ電極の電極指６、７が重なり合っている交叉領域Ａと、を備える。交叉領域は、中央領域Ｃと１対のエッジ領域Ｅａ、Ｅｂと、を有する。ＩＤＴ電極の１対のバスバー及び各反射器の１対のバスバーにそれぞれ、反射器間方向ｘに沿ってそれぞれ複数の開口部Ｏａ～Ｏｄが設けられている。ＩＤＴ電極の中央領域Ｃにおける音速をＶａ、開口部形成領域Ｏａにおける音速をＶｂとしたときＶａ≠Ｖｂであり、各反射器の延長中央領域における音速をＶｃ、開口部形成領域Ｏｃ、Ｏｄにおける音速をＶｄとしたときＶｃ≠Ｖｄであり、ＩＤＴ電極と、少なくとも一方の反射器が設けられている部分とにおいて、（Ｖｂ／Ｖａ）≠（Ｖｄ／Ｖｃ）である。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
圧電性基板と、
前記圧電性基板上に設けられており、互いに対向している１対のバスバー、並びに互いに間挿し合っている複数の第１の電極指及び複数の第２の電極指を有するＩＤＴ電極と、
前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指が延びる方向を第１の方向、前記第１の方向と直交する方向を第２の方向としたときに、前記第２の方向において、前記ＩＤＴ電極を挟み互いに対向するように前記圧電性基板上に設けられている、１対の反射器と、
を備え、
各前記反射器が、互いに対向している１対の反射器バスバーと、前記１対の反射器バスバーに電気的に接続されている複数の反射器電極指と、を有し、
前記第２の方向から前記ＩＤＴ電極を見たときに、隣り合う前記第１の電極指及び前記第２の電極指が重なり合っている領域が交叉領域であり、前記交叉領域が、中央領域と、前記第１の方向において前記中央領域を挟み互いに対向している１対のエッジ領域と、を有し、
前記中央領域を前記第２の方向において延長した領域が延長中央領域であり、
前記ＩＤＴ電極の前記１対のバスバー、及び各前記反射器の前記１対の反射器バスバーにそれぞれ、前記第２の方向に沿って複数の開口部が設けられており、前記１対のバスバー、及び前記１対の反射器バスバーのそれぞれにおける、前記複数の開口部が設けられている領域が開口部形成領域であり、
前記ＩＤＴ電極が設けられている部分において、前記中央領域における音速をＶａ、前記開口部形成領域における音速をＶｂとしたときに、Ｖａ≠Ｖｂであり、各前記反射器が設けられている部分において、前記延長中央領域における音速をＶｃ、前記開口部形成領域における音速をＶｄとしたときに、Ｖｃ≠Ｖｄであり、
前記ＩＤＴ電極が設けられている部分と、少なくとも一方の前記反射器が設けられている部分とにおいて、（Ｖｂ／Ｖａ）≠（Ｖｄ／Ｖｃ）である、弾性波装置。
前記圧電性基板上に設けられており、互いに対向している１対のバスバー、並びに互いに間挿し合っている複数の第１の電極指及び複数の第２の電極指を有するＩＤＴ電極と、
前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指が延びる方向を第１の方向、前記第１の方向と直交する方向を第２の方向としたときに、前記第２の方向において、前記ＩＤＴ電極を挟み互いに対向するように前記圧電性基板上に設けられている、１対の反射器と、
を備え、
各前記反射器が、互いに対向している１対の反射器バスバーと、前記１対の反射器バスバーに電気的に接続されている複数の反射器電極指と、を有し、
前記第２の方向から前記ＩＤＴ電極を見たときに、隣り合う前記第１の電極指及び前記第２の電極指が重なり合っている領域が交叉領域であり、前記交叉領域が、中央領域と、前記第１の方向において前記中央領域を挟み互いに対向している１対のエッジ領域と、を有し、
前記中央領域を前記第２の方向において延長した領域が延長中央領域であり、
前記ＩＤＴ電極の前記１対のバスバー、及び各前記反射器の前記１対の反射器バスバーにそれぞれ、前記第２の方向に沿って複数の開口部が設けられており、前記１対のバスバー、及び前記１対の反射器バスバーのそれぞれにおける、前記複数の開口部が設けられている領域が開口部形成領域であり、
前記ＩＤＴ電極が設けられている部分において、前記中央領域における音速をＶａ、前記開口部形成領域における音速をＶｂとしたときに、Ｖａ≠Ｖｂであり、各前記反射器が設けられている部分において、前記延長中央領域における音速をＶｃ、前記開口部形成領域における音速をＶｄとしたときに、Ｖｃ≠Ｖｄであり、
前記ＩＤＴ電極が設けられている部分と、少なくとも一方の前記反射器が設けられている部分とにおいて、（Ｖｂ／Ｖａ）≠（Ｖｄ／Ｖｃ）である、弾性波装置。
【請求項2】
圧電性基板と、
前記圧電性基板上に設けられており、互いに対向している１対のバスバー、並びに互いに間挿し合っている複数の第１の電極指及び複数の第２の電極指を有するＩＤＴ電極と、
前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指が延びる方向を第１の方向、前記第１の方向と直交する方向を第２の方向としたときに、前記第２の方向において、前記ＩＤＴ電極を挟み互いに対向するように前記圧電性基板上に設けられている、１対の反射器と、
を備え、
前記反射器が、互いに対向している１対の反射器バスバーと、前記１対の反射器バスバーに電気的に接続されている複数の反射器電極指と、を有し、
前記第２の方向から前記ＩＤＴ電極を見たときに、隣り合う前記第１の電極指及び前記第２の電極指が重なり合っている領域が交叉領域であり、前記交叉領域が、中央領域と、前記第１の方向において前記中央領域を挟み互いに対向している１対のエッジ領域と、を有し、
前記中央領域を前記第２の方向において延長した領域が延長中央領域であり、
前記ＩＤＴ電極の前記１対のバスバー、及び前記反射器の前記１対の反射器バスバーにそれぞれ、前記第２の方向に沿って複数の開口部が設けられており、前記１対のバスバー、及び前記１対の反射器バスバーのそれぞれにおける、前記複数の開口部が設けられている領域が開口部形成領域であり、
前記第２の方向において、金属により前記圧電性基板が被覆されている部分の割合いを、メタライゼーション比とし、前記ＩＤＴ電極が設けられている部分において、前記中央領域における前記メタライゼーション比をＭａ、前記開口部形成領域における前記メタライゼーション比をＭｂとしたときに、Ｍａ≠Ｍｂであり、各前記反射器が設けられている部分において、前記延長中央領域における前記メタライゼーション比をＭｃ、前記開口部形成領域における前記メタライゼーション比をＭｄとしたときに、Ｍｃ≠Ｍｄであり、
前記ＩＤＴ電極が設けられている部分と、少なくとも一方の前記反射器が設けられている部分とにおいて、（Ｍｂ／Ｍａ）≠（Ｍｄ／Ｍｃ）である、弾性波装置。
前記圧電性基板上に設けられており、互いに対向している１対のバスバー、並びに互いに間挿し合っている複数の第１の電極指及び複数の第２の電極指を有するＩＤＴ電極と、
前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指が延びる方向を第１の方向、前記第１の方向と直交する方向を第２の方向としたときに、前記第２の方向において、前記ＩＤＴ電極を挟み互いに対向するように前記圧電性基板上に設けられている、１対の反射器と、
を備え、
前記反射器が、互いに対向している１対の反射器バスバーと、前記１対の反射器バスバーに電気的に接続されている複数の反射器電極指と、を有し、
前記第２の方向から前記ＩＤＴ電極を見たときに、隣り合う前記第１の電極指及び前記第２の電極指が重なり合っている領域が交叉領域であり、前記交叉領域が、中央領域と、前記第１の方向において前記中央領域を挟み互いに対向している１対のエッジ領域と、を有し、
前記中央領域を前記第２の方向において延長した領域が延長中央領域であり、
前記ＩＤＴ電極の前記１対のバスバー、及び前記反射器の前記１対の反射器バスバーにそれぞれ、前記第２の方向に沿って複数の開口部が設けられており、前記１対のバスバー、及び前記１対の反射器バスバーのそれぞれにおける、前記複数の開口部が設けられている領域が開口部形成領域であり、
前記第２の方向において、金属により前記圧電性基板が被覆されている部分の割合いを、メタライゼーション比とし、前記ＩＤＴ電極が設けられている部分において、前記中央領域における前記メタライゼーション比をＭａ、前記開口部形成領域における前記メタライゼーション比をＭｂとしたときに、Ｍａ≠Ｍｂであり、各前記反射器が設けられている部分において、前記延長中央領域における前記メタライゼーション比をＭｃ、前記開口部形成領域における前記メタライゼーション比をＭｄとしたときに、Ｍｃ≠Ｍｄであり、
前記ＩＤＴ電極が設けられている部分と、少なくとも一方の前記反射器が設けられている部分とにおいて、（Ｍｂ／Ｍａ）≠（Ｍｄ／Ｍｃ）である、弾性波装置。
【請求項3】
前記ＩＤＴ電極が設けられている部分と、双方の前記反射器が設けられている部分との間において、（Ｍｂ／Ｍａ）≠（Ｍｄ／Ｍｃ）である、請求項２に記載の弾性波装置。
【請求項4】
各前記反射器の前記１対の反射器バスバーがそれぞれ、前記第１の方向に沿って並んでいる内側バスバー部及び外側バスバー部と、前記内側バスバー部及び前記外側バスバー部を接続しており、前記第２の方向に沿って並んでいる複数の接続電極と、を有し、
少なくとも一方の前記反射器において、隣り合う前記反射器電極指同士の中心間距離と、隣り合う前記接続電極同士の中心間距離とが互いに異なる、請求項１または２に記載の弾性波装置。
少なくとも一方の前記反射器において、隣り合う前記反射器電極指同士の中心間距離と、隣り合う前記接続電極同士の中心間距離とが互いに異なる、請求項１または２に記載の弾性波装置。
【請求項5】
前記ＩＤＴ電極の前記１対のバスバー及び各前記反射器の前記１対の反射器バスバーがそれぞれ、前記第１の方向に沿って並んでいる内側バスバー部及び外側バスバー部と、前記内側バスバー部及び前記外側バスバー部を接続しており、前記第２の方向に沿って並んでいる複数の接続電極と、を有し、
前記ＩＤＴ電極の前記１対のバスバー及び各前記反射器の前記１対の反射器バスバーのそれぞれにおいて、前記内側バスバー部及び前記外側バスバー部の間の領域が前記開口部形成領域であり、
前記ＩＤＴ電極の前記バスバーにおける隣り合う前記接続電極のうち少なくとも一方に接続されており、前記第２の方向に延びている複数の第１の電極パターン部と、
各前記反射器の前記反射器バスバーにおける隣り合う前記接続電極のうち少なくとも一方に接続されており、前記第２の方向に延びている複数の第２の電極パターン部と、
をさらに備え、
前記ＩＤＴ電極の前記開口部形成領域における、前記複数の第１の電極パターン部の面積占有率と、少なくとも一方の前記反射器の前記開口部形成領域における、前記複数の第２の電極パターン部の面積占有率とが互いに異なる、請求項１または２に記載の弾性波装置。
前記ＩＤＴ電極の前記１対のバスバー及び各前記反射器の前記１対の反射器バスバーのそれぞれにおいて、前記内側バスバー部及び前記外側バスバー部の間の領域が前記開口部形成領域であり、
前記ＩＤＴ電極の前記バスバーにおける隣り合う前記接続電極のうち少なくとも一方に接続されており、前記第２の方向に延びている複数の第１の電極パターン部と、
各前記反射器の前記反射器バスバーにおける隣り合う前記接続電極のうち少なくとも一方に接続されており、前記第２の方向に延びている複数の第２の電極パターン部と、
をさらに備え、
前記ＩＤＴ電極の前記開口部形成領域における、前記複数の第１の電極パターン部の面積占有率と、少なくとも一方の前記反射器の前記開口部形成領域における、前記複数の第２の電極パターン部の面積占有率とが互いに異なる、請求項１または２に記載の弾性波装置。
【請求項6】
前記第１の電極パターン部の前記第１の方向に沿う寸法と、前記第２の電極パターン部の前記第１の方向に沿う寸法とが互いに異なる、請求項５に記載の弾性波装置。
【請求項7】
前記第１の電極パターン部の前記第２の方向に沿う寸法と、前記第２の電極パターン部の前記第２の方向に沿う寸法とが互いに異なる、請求項５に記載の弾性波装置。
【請求項8】
前記ＩＤＴ電極の前記バスバーにおける隣り合う前記接続電極の間にそれぞれ、１本の前記第１の電極パターン部、または前記第１の方向に沿って並んでいる２本以上の前記第１の電極パターン部が設けられており、
前記反射器の前記反射器バスバーにおける隣り合う前記接続電極の間にそれぞれ、１本の前記第２の電極パターン部、または前記第１の方向に沿って並んでいる２本以上の前記第２の電極パターン部が設けられており、
前記ＩＤＴ電極の前記バスバーにおける隣り合う前記接続電極の間に設けられている前記第１の電極パターン部の本数と、少なくとも一方の前記反射器の前記反射器バスバーにおける隣り合う前記接続電極の間に設けられている前記第２の電極パターン部の本数とが互いに異なる、請求項５に記載の弾性波装置。
前記反射器の前記反射器バスバーにおける隣り合う前記接続電極の間にそれぞれ、１本の前記第２の電極パターン部、または前記第１の方向に沿って並んでいる２本以上の前記第２の電極パターン部が設けられており、
前記ＩＤＴ電極の前記バスバーにおける隣り合う前記接続電極の間に設けられている前記第１の電極パターン部の本数と、少なくとも一方の前記反射器の前記反射器バスバーにおける隣り合う前記接続電極の間に設けられている前記第２の電極パターン部の本数とが互いに異なる、請求項５に記載の弾性波装置。
【請求項9】
前記圧電性基板上に、前記ＩＤＴ電極及び各前記反射器を覆うように設けられている誘電体膜をさらに備え、
前記誘電体膜の、少なくとも一方の前記反射器を覆っている部分における、前記延長中央領域と平面視において重なっている部分の厚みと、前記開口部形成領域と平面視において重なっている部分の厚みとが互いに異なる、請求項１または２に記載の弾性波装置。
前記誘電体膜の、少なくとも一方の前記反射器を覆っている部分における、前記延長中央領域と平面視において重なっている部分の厚みと、前記開口部形成領域と平面視において重なっている部分の厚みとが互いに異なる、請求項１または２に記載の弾性波装置。
【請求項10】
前記圧電性基板と、前記ＩＤＴ電極及び各前記反射器との間に設けられている誘電体層をさらに備え、
前記誘電体層の、少なくとも一方の前記反射器が設けられている部分における前記延長中央領域に位置している部分の厚みと、前記開口部形成領域に位置している部分の厚みとが互いに異なる、請求項１または２に記載の弾性波装置。
前記誘電体層の、少なくとも一方の前記反射器が設けられている部分における前記延長中央領域に位置している部分の厚みと、前記開口部形成領域に位置している部分の厚みとが互いに異なる、請求項１または２に記載の弾性波装置。
【請求項11】
前記ＩＤＴ電極が設けられている部分において、前記中央領域における音速をＶａ、前記開口部形成領域における音速をＶｂとしたときに、Ｖａ≠Ｖｂであり、各前記反射器が設けられている部分において、前記延長中央領域における音速をＶｃ、前記開口部形成領域における音速をＶｄとしたときに、Ｖｃ≠Ｖｄであり、
前記ＩＤＴ電極が設けられている部分と、双方の前記反射器が設けられている部分との間において、（Ｖｂ／Ｖａ）≠（Ｖｄ／Ｖｃ）である、請求項１または２に記載の弾性波装置。
前記ＩＤＴ電極が設けられている部分と、双方の前記反射器が設けられている部分との間において、（Ｖｂ／Ｖａ）≠（Ｖｄ／Ｖｃ）である、請求項１または２に記載の弾性波装置。
【請求項12】
前記１対のエッジ領域において、音速が前記中央領域における音速よりも低い、低音速領域が構成されている、請求項１または２に記載の弾性波装置。
【請求項13】
前記１対のエッジ領域において、前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指のうち少なくとも１本の電極指が、前記中央領域における幅よりも幅が広い幅広部を有することにより、前記低音速領域が構成されている、請求項１２に記載の弾性波装置。
【請求項14】
前記１対のエッジ領域において、平面視したときに、前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指のうち少なくとも１本の電極指と重なるように質量付加膜が設けられていることにより、前記低音速領域が構成されている、請求項１２に記載の弾性波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、弾性波装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、弾性波装置は、携帯電話機のフィルタなどとして広く用いられている。下記の特許文献１には、弾性波装置の一例が開示されている。この弾性波装置においては、圧電基板上にＩＤＴ（Ｉｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）が設けられている。ＩＤＴにおいては、複数の電極指が延びる方向における内側から外側にかけて、中央領域、低音速領域及び高音速領域がこの順序で配置されている。複数の電極指が延びる方向において、音速が互いに異なる領域が配置されていることにより、横モードの抑制が図られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】国際公開第２０１５／１８２５２２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、特許文献１の弾性波装置においては、リターンロスが大きくなることを十分に抑制できないおそれがある。
【0005】
本発明の目的は、リターンロスを小さくすることができる、弾性波装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明に係る弾性波装置のある広い局面では、圧電性基板と、前記圧電性基板上に設けられており、互いに対向している１対のバスバー、並びに互いに間挿し合っている複数の第１の電極指及び複数の第２の電極指を有するＩＤＴ電極と、前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指が延びる方向を第１の方向、前記第１の方向と直交する方向を第２の方向としたときに、前記第２の方向において、前記ＩＤＴ電極を挟み互いに対向するように前記圧電性基板上に設けられている、１対の反射器とを備え、各前記反射器が、互いに対向している１対の反射器バスバーと、前記１対の反射器バスバーに電気的に接続されている複数の反射器電極指とを有し、前記第２の方向から前記ＩＤＴ電極を見たときに、隣り合う前記第１の電極指及び前記第２の電極指が重なり合っている領域が交叉領域であり、前記交叉領域が、中央領域と、前記第１の方向において前記中央領域を挟み互いに対向している１対のエッジ領域とを有し、前記中央領域を前記第２の方向において延長した領域が延長中央領域であり、前記ＩＤＴ電極の前記１対のバスバー、及び各前記反射器の前記１対の反射器バスバーにそれぞれ、前記第２の方向に沿って複数の開口部が設けられており、前記１対のバスバー、及び前記１対の反射器バスバーのそれぞれにおける、前記複数の開口部が設けられている領域が開口部形成領域であり、前記ＩＤＴ電極が設けられている部分において、前記中央領域における音速をＶａ、前記開口部形成領域における音速をＶｂとしたときに、Ｖａ≠Ｖｂであり、各前記反射器が設けられている部分において、前記延長中央領域における音速をＶｃ、前記開口部形成領域における音速をＶｄとしたときに、Ｖｃ≠Ｖｄであり、前記ＩＤＴ電極が設けられている部分と、少なくとも一方の前記反射器が設けられている部分とにおいて、（Ｖｂ／Ｖａ）≠（Ｖｄ／Ｖｃ）である。
【0007】
本発明に係る弾性波装置の他の広い局面では、圧電性基板と、前記圧電性基板上に設けられており、互いに対向している１対のバスバー、並びに互いに間挿し合っている複数の第１の電極指及び複数の第２の電極指を有するＩＤＴ電極と、前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指が延びる方向を第１の方向、前記第１の方向と直交する方向を第２の方向としたときに、前記第２の方向において、前記ＩＤＴ電極を挟み互いに対向するように前記圧電性基板上に設けられている、１対の反射器とを備え、前記反射器が、互いに対向している１対の反射器バスバーと、前記１対の反射器バスバーに電気的に接続されている複数の反射器電極指とを有し、前記第２の方向から前記ＩＤＴ電極を見たときに、隣り合う前記第１の電極指及び前記第２の電極指が重なり合っている領域が交叉領域であり、前記交叉領域が、中央領域と、前記第１の方向において前記中央領域を挟み互いに対向している１対のエッジ領域とを有し、前記中央領域を前記第２の方向において延長した領域が延長中央領域であり、前記ＩＤＴ電極の前記１対のバスバー、及び前記反射器の前記１対の反射器バスバーにそれぞれ、前記第２の方向に沿って複数の開口部が設けられており、前記１対のバスバー、及び前記１対の反射器バスバーのそれぞれにおける、前記複数の開口部が設けられている領域が開口部形成領域であり、前記第２の方向において、金属により前記圧電性基板が被覆されている部分の割合いを、メタライゼーション比とし、前記ＩＤＴ電極が設けられている部分において、前記中央領域における前記メタライゼーション比をＭａ、前記開口部形成領域における前記メタライゼーション比をＭｂとしたときに、Ｍａ≠Ｍｂであり、各前記反射器が設けられている部分において、前記延長中央領域における前記メタライゼーション比をＭｃ、前記開口部形成領域における前記メタライゼーション比をＭｄとしたときに、Ｍｃ≠Ｍｄであり、前記ＩＤＴ電極が設けられている部分と、少なくとも一方の前記反射器が設けられている部分とにおいて、（Ｍｂ／Ｍａ）≠（Ｍｄ／Ｍｃ）である。
【発明の効果】
【0008】
本発明の弾性波装置によれば、リターンロスを小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。
【図2】本発明の第１の実施形態のＩＤＴ電極における、第１のバスバー付近及び第２のバスバー付近の一部を拡大して示す模式的平面図である。
【図3】比較例の弾性波装置の模式的平面図である。
【図4】本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置のインピーダンス周波数特性を示す図である。
【図5】本発明の第１の実施形態、第１の実施形態の変形例及び比較例の弾性波装置の、共振周波数付近におけるリターンロスを示す図である。
【図6】本発明の第１の実施形態、第１の実施形態の変形例及び比較例の弾性波装置の、反共振周波数付近におけるリターンロスを示す図である。
【図7】本発明の第１の実施形態、第１の実施形態の変形例及び比較例の弾性波装置の、ストップバンドの上端付近におけるリターンロスを示す図である。
【図8】本発明の第２の実施形態のＩＤＴ電極における、第１のバスバー付近及び第２のバスバー付近の一部を拡大して示す模式的平面図である。
【図9】本発明の第３の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。
【図10】本発明の第３の実施形態、第３の実施形態の変形例及び比較例の弾性波装置の、共振周波数付近におけるリターンロスを示す図である。
【図11】本発明の第３の実施形態、第３の実施形態の変形例及び比較例の弾性波装置の、反共振周波数付近におけるリターンロスを示す図である。
【図12】本発明の第３の実施形態、第３の実施形態の変形例及び比較例の弾性波装置の、ストップバンドの上端付近におけるリターンロスを示す図である。
【図13】本発明の第４の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。
【図14】本発明の第５の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。
【図15】本発明の第６の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。
【図16】本発明の第７の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。
【図17】本発明の第８の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。
【図18】本発明の第９の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。
【図20】本発明の第１０の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【0011】
なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
【0012】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。
【0013】
弾性波装置１は圧電性基板２を有する。圧電性基板２は、圧電性を有する基板である。本実施形態においては、圧電性基板２は圧電材料のみからなる基板である。もっとも、圧電性基板２は、圧電体層を含む積層基板であってもよい。本実施形態においては、圧電性基板２の圧電材料として、ニオブ酸リチウムが用いられている。なお、圧電材料は上記に限定されず、例えば、タンタル酸リチウム、酸化亜鉛、窒化アルミニウム、水晶、またはＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）などを用いることもできる。
【0014】
圧電性基板２は第１の主面２ａ及び第２の主面２ｂを有する。第１の主面２ａ及び第２の主面２ｂは互いに対向している。圧電性基板２の第１の主面２ａにはＩＤＴ電極３が設けられている。ＩＤＴ電極３に交流電圧を印加することにより、弾性波が励振される。
【0015】
ＩＤＴ電極３は、第１のバスバー４及び第２のバスバー５と、複数の第１の電極指６及び複数の第２の電極指７とを有する。第１のバスバー４及び第２のバスバー５は互いに対向している。第１のバスバー４に、複数の第１の電極指６の一端がそれぞれ接続されている。第２のバスバー５に、複数の第２の電極指７の一端がそれぞれ接続されている。複数の第１の電極指６及び複数の第２の電極指７は互いに間挿し合っている。以下においては、第１の電極指６及び第２の電極指７を、単に電極指と記載することがある。第１のバスバー４及び第２のバスバー５を、単にバスバーと記載することがある。
【0016】
さらに、以下においては、複数の第１の電極指６及び複数の第２の電極指７が延びる方向を第１の方向ｙとし、第１の方向ｙと直交する方向を第２の方向ｘとする。本実施形態においては、第２の方向ｘは、弾性波伝搬方向と平行である。
【0017】
図２は、第１の実施形態のＩＤＴ電極における、第１のバスバー付近及び第２のバスバー付近の一部を拡大して示す模式的平面図である。
【0018】
第２の方向ｘからＩＤＴ電極３を見たときに、隣り合う第１の電極指６及び第２の電極指７が重なり合っている領域が、交叉領域Ａである。交叉領域Ａは、中央領域Ｃと、１対のエッジ領域とを有する。１対のエッジ領域は、具体的には、第１のエッジ領域Ｅａ及び第２のエッジ領域Ｅｂである。第１のエッジ領域Ｅａ及び第２のエッジ領域Ｅｂは、第１の方向ｙにおいて、中央領域Ｃを挟み互いに対向するように配置されている。第１のエッジ領域Ｅａは第１のバスバー４側に位置している。第２のエッジ領域Ｅｂは第２のバスバー５側に位置している。
【0019】
図１に戻り、第１のバスバー４には、第２の方向ｘに沿って複数の開口部４ｄが設けられている。具体的には、第１のバスバー４は、内側バスバー部４ａと、外側バスバー部４ｂと、複数の接続電極４ｃとを有する。内側バスバー部４ａ及び外側バスバー部４ｂは、第１の方向ｙに沿って並んでいる。内側バスバー部４ａは、開口部４ｄ及び外側バスバー部４ｂよりも第１の方向ｙにおいて内側に位置している。より具体的には、内側バスバー部４ａは、開口部４ｄ及び外側バスバー部４ｂよりも上記交叉領域Ａ側に位置している。
【0020】
複数の接続電極４ｃは第２の方向ｘに沿って並んでいる。本実施形態では、各接続電極４ｃは第１の方向ｙと平行に延びている。内側バスバー部４ａ及び外側バスバー部４ｂは、複数の接続電極４ｃにより接続されている。各開口部４ｄは、内側バスバー部４ａ、２本の接続電極４ｃ及び外側バスバー部４ｂにより囲まれた開口部である。なお、各接続電極４ｃは、各第１の電極指６の延長線上に設けられており、かつ各第２の電極指７の延長線上には設けられていない。もっとも、各接続電極４ｃの配置は上記に限定されない。
【0021】
第２のバスバー５も、第１のバスバー４と同様に構成されている。第２のバスバー５には、第２の方向ｘに沿って複数の開口部５ｄが設けられている。第２のバスバー５は、内側バスバー部５ａと、外側バスバー部５ｂと、複数の接続電極４ｃとを有する。
【0022】
圧電性基板２上には、１対の反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂが設けられている。反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂは、第２の方向ｘにおいて、ＩＤＴ電極３を挟み互いに対向するように配置されている。
【0023】
弾性波装置１は延長中央領域Ｃｘを有する。延長中央領域Ｃｘは、中央領域Ｃを第２の方向ｘに延長した領域である。延長中央領域Ｃｘは、ＩＤＴ電極３が設けられている部分にだけではなく、１対の反射器が設けられている部分にも含まれる領域である。なお、図１においては、反射器１３Ａが設けられている部分に位置する延長中央領域Ｃｘのみを示している。
【0024】
反射器１３Ａは、１対の反射器バスバーと、複数の反射器電極指１６とを有する。１対の反射器バスバーは、具体的には、第１の反射器バスバー１４Ａ及び第２の反射器バスバー１５Ａである。第１の反射器バスバー１４Ａ及び第２の反射器バスバー１５Ａは互いに対向している。第１の反射器バスバー１４Ａ及び第２の反射器バスバー１５Ａに、複数の反射器電極指１６が接続されている。
【0025】
第１の反射器バスバー１４Ａには、ＩＤＴ電極３の第１のバスバー４と同様に、第２の方向ｘに沿って複数の開口部１４ｄが設けられている。具体的には、第１の反射器バスバー１４Ａは、内側バスバー部１４ａと、外側バスバー部１４ｂと、複数の接続電極１４ｃとを有する。内側バスバー部１４ａ及び外側バスバー部１４ｂは、第１の方向ｙに沿って並んでいる。より具体的には、内側バスバー部１４ａは、開口部１４ｄ及び外側バスバー部１４ｂよりも、複数の反射器電極指１６側に位置している。
【0026】
複数の接続電極１４ｃは第２の方向ｘに沿って並んでいる。本実施形態では、各接続電極１４ｃは第１の方向ｙと平行に延びている。内側バスバー部１４ａ及び外側バスバー部１４ｂは、複数の接続電極１４ｃにより接続されている。各開口部１４ｄは、内側バスバー部１４ａ、２本の接続電極１４ｃ及び外側バスバー部１４ｂにより囲まれた開口部である。２本以上おきの反射器電極指１６の延長線上に、それぞれ接続電極１４ｃが設けられている。もっとも、各接続電極１４ｃの配置は上記に限定されない。
【0027】
同様に、第２の反射器バスバー１５Ａにも、第２の方向ｘに沿って複数の開口部１５ｄが設けられている。第２の反射器バスバー１５Ａは、内側バスバー部１５ａと、外側バスバー部１５ｂと、複数の接続電極１５ｃとを有する。
【0028】
本実施形態では、反射器１３Ｂは、反射器１３Ａと同様に構成されている。よって、反射器１３Ｂは、１対の反射器バスバーとしての、第１の反射器バスバー１４Ｂ及び第２の反射器バスバー１５Ｂと、複数の反射器電極指１６とを有する。第１の反射器バスバー１４Ｂ及び第２の反射器バスバー１５Ｂにはそれぞれ、第２の方向ｘに沿って複数の開口部が設けられている。第１の反射器バスバー１４Ｂ及び第２の反射器バスバー１５Ｂはそれぞれ、内側バスバー部と、外側バスバー部と、複数の接続電極とを有する。以下においては、反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂにおけるそれぞれの第１の反射器バスバー及び第２の反射器バスバーを、単に反射器バスバーと記載することがある。
【0029】
ＩＤＴ電極３における各バスバー、並びに反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂの各反射器バスバーにおける、複数の開口部が設けられている領域は、開口部形成領域である。具体的には、ＩＤＴ電極３における第１のバスバー４における、複数の開口部４ｄが設けられている領域が、開口部形成領域Ｏａである。開口部形成領域Ｏａは、内側バスバー部４ａ及び外側バスバー部４ｂの間の領域である。第２のバスバー５における、複数の開口部５ｄが設けられている領域が、開口部形成領域Ｏｂである。開口部形成領域Ｏｂは、内側バスバー部５ａ及び外側バスバー部５ｂの間の領域である。
【0030】
反射器１３Ａの第１の反射器バスバー１４Ａにおける、複数の開口部１４ｄが設けられている領域は、開口部形成領域Ｏｃである。開口部形成領域Ｏｃは、内側バスバー部１４ａ及び外側バスバー部１４ｂの間の領域である。第２の反射器バスバー１５Ａにおける、複数の開口部１５ｄが設けられている領域は、開口部形成領域Ｏｄである。開口部形成領域Ｏｄは、内側バスバー部１５ａ及び外側バスバー部１５ｂの間の領域である。同様に、反射器１３Ｂの１対の反射器バスバーにおける、複数の開口部が設けられている領域もそれぞれ、開口部形成領域である。
【0031】
以下においては、ＩＤＴ電極３が設けられている部分において、中央領域Ｃにおける音速をＶａ、各開口部形成領域における音速をＶｂとする。反射器１３Ａが設けられている部分において、延長中央領域Ｃｘにおける音速をＶｃ、各開口部形成領域における音速をＶｄとする。なお、反射器１３Ｂが設けられている部分においても、延長中央領域Ｃｘにおける音速をＶｃ、各開口部形成領域における音速をＶｄとする。
【0032】
反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂにおいて、音速Ｖｃ同士または音速Ｖｄ同士が異なることもあることを指摘しておく。もっとも、弾性波装置１の反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂにおいては、音速Ｖｃ同士は同じであり、音速Ｖｄ同士は同じである。ＩＤＴ電極３においては、Ｖａ≠Ｖｂである。反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂのそれぞれにおいては、Ｖｃ≠Ｖｄである。
【0033】
本実施形態の特徴は、ＩＤＴ電極３が設けられている部分と、反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂが設けられている部分のそれぞれとにおいて、（Ｖｂ／Ｖａ）≠（Ｖｄ／Ｖｃ）であることにある。なお、ＩＤＴ電極３が設けられている部分と、少なくとも一方の反射器が設けられている部分とにおいて、（Ｖｂ／Ｖａ）≠（Ｖｄ／Ｖｃ）であればよい。それによって、リターンロスを小さくすることができる。従って、弾性波装置１をフィルタ装置に用いた場合において、挿入損失が大きくなることを抑制できる。
【0034】
なお、本実施形態においては、ＩＤＴ電極３における各開口部形成領域と、各反射器における各開口部形成領域とにおいて、メタライゼーション比が互いに異なる。これにより、（Ｖｂ／Ｖａ）≠（Ｖｄ／Ｖｃ）とされている。この詳細を示すと共に、本実施形態における上記の効果の詳細を示す。
【0035】
本明細書において、メタライゼーション比とは、第２の方向ｘにおいて、金属により圧電性基板２が被覆されている部分の割合いである。具体的には、例えば、ＩＤＴ電極３が設けられている部分における中央領域Ｃにおいては、電極指が設けられている部分と、設けられていない部分とが含まれる。言い換えれば、中央領域Ｃにおいては、電極指を構成している金属により圧電性基板２が被覆されている部分と、被覆されていない部分とが含まれる。中央領域Ｃのメタライゼーション比は、中央領域Ｃにおいて占める、金属により圧電性基板２が被覆されている部分の割合いである。
【0036】
より具体的には、中央領域Ｃにおける金属の第２の方向ｘに沿う寸法の合計を、中央領域Ｃの第２の方向ｘに沿う寸法により割った値が、中央領域Ｃにおけるメタライゼーション比である。延長中央領域Ｃｘ及び各開口部形成領域においても同様である。
【0037】
なお、ＩＤＴ電極３が設けられている部分の、中央領域Ｃの第２の方向ｘにおける一方端部は、複数の電極指のうち第２の方向ｘにおける最も一方端部側に位置する電極指の第２の方向ｘにおける中心である。中央領域Ｃの第２の方向ｘにおける他方端部は、複数の電極指のうち第２の方向ｘにおける最も他方端部側に位置する電極指の第２の方向ｘにおける中心である。開口部形成領域Ｏａ及び開口部形成領域Ｏｂのそれぞれにおいては、第２の方向ｘにおける一方端部は、第１の方向ｙから見たときに、中央領域Ｃの第２の方向ｘにおける一方端部と重なっている部分である。開口部形成領域Ｏａ及び開口部形成領域Ｏｂのそれぞれにおいて、第２の方向ｘにおける他方端部は、第１の方向ｙから見たときに、中央領域Ｃの第２の方向ｘにおける他方端部と重なっている部分である。
【0038】
反射器１３Ａが設けられている部分における延長中央領域Ｃｘの第２の方向ｘにおける一方端部は、複数の反射器電極指１６のうち第２の方向ｘにおける最も一方端部側に位置する反射器電極指１６の第２の方向ｘにおける中心である。反射器１３Ａが設けられている部分における延長中央領域Ｃｘの第２の方向ｘにおける他方端部は、複数の反射器電極指１６のうち第２の方向ｘにおける最も他方端部側に位置する反射器電極指１６の第２の方向ｘにおける中心である。
【0039】
反射器１３Ａが設けられている部分の、開口部形成領域Ｏｃ及び開口部形成領域Ｏｄのそれぞれにおいては、第２の方向ｘにおける一方端部は、第１の方向ｙから見たときに、延長中央領域Ｃｘの第２の方向ｘにおける一方端部と重なっている部分である。開口部形成領域Ｏｃ及び開口部形成領域Ｏｄのそれぞれにおいて、第２の方向ｘにおける他方端部は、第１の方向ｙから見たときに、延長中央領域Ｃｘの第２の方向ｘにおける他方端部と重なっている部分である。反射器１３Ｂが設けられている部分における各領域の、第２の方向ｘにおける端部も同様である。
【0040】
以下においては、ＩＤＴ電極３が設けられている部分において、中央領域Ｃにおけるメタライゼーション比をＭａ、各開口部形成領域におけるメタライゼーション比をＭｂとする。反射器１３Ａが設けられている部分において、延長中央領域Ｃｘにおけるメタライゼーション比をＭｃ、各開口部形成領域におけるメタライゼーション比をＭｄとする。なお、反射器１３Ｂが設けられている部分においても、延長中央領域Ｃｘにおけるメタライゼーション比をＭｃ、各開口部形成領域におけるメタライゼーション比をＭｄとする。
【0041】
反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂにおいて、メタライゼーション比Ｍｃ同士またはメタライゼーション比Ｍｄ同士が異なることもあることを指摘しておく。もっとも、弾性波装置１の反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂにおいては、メタライゼーション比Ｍｃ同士は同じであり、メタライゼーション比Ｍｄ同士は同じである。ＩＤＴ電極３においては、Ｍａ≠Ｍｂである。反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂのそれぞれにおいては、Ｍｃ≠Ｍｄである。
【0042】
ここで、ＩＤＴ電極３の各バスバー、及び各反射器の各反射器バスバーにおいてそれぞれ、隣り合う接続電極同士の第２の方向ｘにおける中心間距離を、接続電極ピッチとする。例えば、開口部形成領域における接続電極ピッチが狭い場合には、該開口部形成領域におけるメタライゼーション比は大きい。あるいは、開口部形成領域における各接続電極の幅が広い場合には、該開口部形成領域におけるメタライゼーション比は大きい。そして、開口部形成領域におけるメタライゼーション比が大きい場合には、該開口部形成領域における音速は低い。なお、接続電極の幅は、接続電極の第２の方向ｘに沿う寸法である。
【0043】
本実施形態では、ＩＤＴ電極３が設けられている部分と、反射器１３Ａが設けられている部分とにおいて、（Ｍｂ／Ｍａ）≠（Ｍｄ／Ｍｃ）である。同様に、ＩＤＴ電極３が設けられている部分と、反射器１３Ｂが設けられている部分とにおいて、（Ｍｂ／Ｍａ）≠（Ｍｄ／Ｍｃ）である。
【0044】
具体的には、ＩＤＴ電極３における接続電極ピッチと、各反射器における接続電極ピッチとが互いに異なる。より具体的には、ＩＤＴ電極３における接続電極ピッチは、各反射器における接続電極ピッチよりも狭い。そして、ＩＤＴ電極３の各接続電極の幅と、各反射器の各接続電極の幅とは同じである。よって、Ｍｂ＞Ｍｄである。なお、ＩＤＴ電極３における接続電極ピッチは、各反射器における接続電極ピッチよりも広くてもよい。
【0045】
ここで、ＩＤＴ電極３の電極指ピッチとは、隣り合う第１の電極指６及び第２の電極指７の第２の方向ｘにおける中心間距離である。これと同様に、各反射器において、隣り合う反射器電極指１６同士の第２の方向ｘにおける中心間距離を、反射器電極指ピッチとする。ＩＤＴ電極３の電極指ピッチと、各反射器の反射器電極指ピッチは同じである。そして、ＩＤＴ電極３の各電極指の幅と、各反射器電極指１６の幅とは同じである。よって、Ｍａ＝Ｍｃである。なお、電極指の幅は、電極指の第２の方向ｘに沿う寸法である。反射器電極指１６の幅は、反射器電極指１６の第２の方向ｘに沿う寸法である。
【0046】
本実施形態では、ＩＤＴ電極３が設けられている部分と、各反射器が設けられている部分との間において、（Ｍｂ／Ｍａ）＞（Ｍｄ／Ｍｃ）である。もっとも、（Ｍｂ／Ｍａ）＜（Ｍｄ／Ｍｃ）であってもよい。弾性波装置１においては、（Ｍｂ／Ｍａ）≠（Ｍｄ／Ｍｃ）が成立する構成とされていることにより、（Ｖｂ／Ｖａ）≠（Ｖｄ／Ｖｃ）とされている。なお、ＩＤＴ電極３が設けられている部分と、少なくとも一方の反射器が設けられている部分との間において、（Ｍｂ／Ｍａ）≠（Ｍｄ／Ｍｃ）であればよく、（Ｖｂ／Ｖａ）≠（Ｖｄ／Ｖｃ）であればよい。
【0047】
上記のように、第１の実施形態では、リターンロスを小さくすることができる。なお、ＩＤＴ電極３における接続電極ピッチが、各反射器における接続電極ピッチよりも広い場合においても同様である。この点のみにおいて第１の実施形態と異なる例を、第１の実施形態の変形例とする。上記の効果を、第１の実施形態、変形例及び比較例を比較することにより、以下において示す。
【0048】
比較例は、図３に示すように、ＩＤＴ電極３が設けられている部分と、反射器４３Ａ及び反射器４３Ｂが設けられている部分とにおいて、（Ｍｂ／Ｍａ）＝（Ｍｄ／Ｍｃ）である点で、第１の実施形態と異なる。言い換えれば、比較例では、ＩＤＴ電極３が設けられている部分と、各反射器が設けられている部分のそれぞれとにおいて、（Ｖｂ／Ｖａ）＝（Ｖｄ／Ｖｃ）である点で、第１の実施形態と異なる。
【0049】
第１の実施形態の弾性波装置１としては、各反射器における接続電極ピッチが、ＩＤＴ電極３における接続電極ピッチの１０３％である弾性波装置を用意した。第１の実施形態の変形例の弾性波装置としては、各反射器における接続電極ピッチが、ＩＤＴ電極３における接続電極ピッチの９７％である弾性波装置を用意した。他方、比較例においては、各反射器における接続電極ピッチは、ＩＤＴ電極３における接続電極ピッチの１００％である。これらの第１の実施形態の弾性波装置１、及び比較例の弾性波装置において、リターンロスを比較した。この結果を、以下において示す。なお、第１の実施形態の弾性波装置１のインピーダンス周波数特性も併せて示す。
【0050】
図４は、第１の実施形態に係る弾性波装置のインピーダンス周波数特性を示す図である。図５は、第１の実施形態、第１の実施形態の変形例及び比較例の弾性波装置の、共振周波数付近におけるリターンロスを示す図である。図６は、第１の実施形態、第１の実施形態の変形例及び比較例の弾性波装置の、反共振周波数付近におけるリターンロスを示す図である。図７は、第１の実施形態、第１の実施形態の変形例及び比較例の弾性波装置の、ストップバンドの上端付近におけるリターンロスを示す図である。図５～図７では、接続電極ピッチを、単にピッチと記載している。なお、ストップバンドとは、弾性波が周期構造の金属グレーティングに閉じ込められることにより、弾性波の波長が一定となる領域である。ストップバンドの上端とは、ストップバンドの高域側の端部である。
【0051】
図４に示すように、第１の実施形態の弾性波装置１の共振周波数は、約１９９０ＭＨｚ付近である。弾性波装置１の反共振周波数は、約２０６０ＭＨｚ付近である。弾性波装置１のストップバンドの上端の周波数は、約２１９０ＭＨｚ付近である。第１の実施形態の変形例及び比較例における共振周波数、反共振周波数及びストップバンドの上端の周波数は、第１の実施形態とほぼ同じである。なお、図５においては、矢印Ｆ１により共振周波数を示す。図６においては、矢印Ｆ２により反共振周波数を示す。図７においては、矢印Ｆ３によりストップバンドの上端の周波数を示す。
【0052】
図５～図７に示すように、共振周波数付近、反共振周波数よりも低域側、及びストップバンドの上端付近において、第１の実施形態及び変形例のリターンロスの絶対値は、比較例のリターンロスの絶対値よりも小さい。従って、第１の実施形態の弾性波装置１をフィルタ装置に用いた場合、及び変形例の弾性波装置をフィルタ装置に用いた場合において、挿入損失を小さくすることができる。
【0053】
第１の実施形態においては、ＩＤＴ電極３が設けられている部分と、各反射器が設けられている部分とにおいて、（Ｖｂ／Ｖａ）≠（Ｖｄ／Ｖｃ）である。これにより、ＩＤＴ電極３においての開口部形成領域におけるモードと、該開口部形成領域と隣接する、各反射器においての開口部形成領域におけるモードとが結合し難い。具体的には、例えば、図１に示すＩＤＴ電極３においての開口部形成領域Ｏａにおけるモードと、反射器１３Ａにおいての開口部形成領域Ｏｃにおけるモードとが結合し難い。それによって、弾性波のエネルギーを、中央領域Ｃに効果的に閉じ込めることができる。従って、リターンロスの絶対値を小さくすることができる。
【0054】
以下において、第１の実施形態のさらなる詳細を説明する。
【0055】
図２に示すように、交叉領域Ａと、ＩＤＴ電極３の１対のバスバーとの間に、１対のギャップ領域が配置されている。１対のギャップ領域は、具体的には第１のギャップ領域Ｇａ及び第２のギャップ領域Ｇｂである。第１のギャップ領域Ｇａは第１のバスバー４側に位置している。第２のギャップ領域Ｇｂは第２のバスバー５側に位置している。
【0056】
第１のエッジ領域Ｅａ及び第２のエッジ領域Ｅｂにおいて、各電極指は幅広部を有する。幅広部における電極指の幅は、中央領域Ｃにおける該電極指の幅よりも広い。より具体的には、第１の電極指６は、第１のエッジ領域Ｅａにおいて幅広部６ａを有する。第１の電極指６は、第２のエッジ領域Ｅｂにおいて幅広部６ｂを有する。同様に、第２の電極指７は、第１のエッジ領域Ｅａにおいて幅広部７ａを有する。第２の電極指７は、第２のエッジ領域Ｅｂにおいて幅広部７ｂを有する。これにより、第１のエッジ領域Ｅａ及び第２のエッジ領域Ｅｂにおける音速は、中央領域Ｃにおける音速よりも低い。
【0057】
そして、第１のエッジ領域Ｅａにおいて、複数の電極指がそれぞれ幅広部を有することにより、第１のエッジ領域Ｅａから第１のバスバー４の内側バスバー部４ａにかけての平均の音速が低くなっている。これにより、第１のエッジ領域Ｅａから第１のバスバー４の内側バスバー部４ａを含む領域において、低音速領域が構成されている。同様に、第２のエッジ領域Ｅｂから第２のバスバー５の内側バスバー部５ａを含む領域において、低音速領域が構成されている。なお、低音速領域とは、音速、あるいは平均の音速が、中央領域Ｃにおける音速Ｖａよりも低い領域である。
【0058】
さらに、開口部形成領域Ｏａ及び開口部形成領域Ｏｂのそれぞれにおけるメタライゼーション比Ｍｃは、中央領域Ｃにおけるメタライゼーション比Ｍａよりも小さい。これにより、開口部形成領域Ｏａ及び開口部形成領域Ｏｂのそれぞれにおいて、高音速領域が構成されている。なお、高音速領域とは、音速、あるいは平均の音速が、中央領域Ｃにおける音速Ｖａよりも高い領域である。
【0059】
第１の方向ｙにおいて内側から外側に、中央領域Ｃ、１対の低音速領域及び１対の高音速領域がこの順序で配置されている。それによって、ピストンモードが成立し、横モードを抑制することができる。
【0060】
なお、第１のエッジ領域Ｅａ及び第２のエッジ領域Ｅｂにおいて、少なくとも１本の電極指が幅広部を有していればよい。もっとも、第１のエッジ領域Ｅａ及び第２のエッジ領域Ｅｂにおいて、複数の電極指が幅広部を有していることが好ましい。全ての電極指が幅広部を有していることがさらに好ましい。それによって、ピストンモードがより確実に成立し、横モードをより確実に抑制することができる。
【0061】
本発明においては、各電極指は必ずしも幅広部を有していなくともよい。もっとも、弾性波装置において、ピストンモードを成立させることができる構成とすることが好ましい。第１の実施形態とは別の、ピストンモードを成立させることができる構成の例を、第２の実施形態により示す。
【0062】
図８は、第２の実施形態のＩＤＴ電極における、第１のバスバー付近及び第２のバスバー付近の一部を拡大して示す模式的平面図である。
【0063】
本実施形態は、ＩＤＴ電極２３の各電極指が幅広部を有しない点、及びＩＤＴ電極２３の１対のエッジ領域に１対の質量付加膜２９が設けられている点において、第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１と同様の構成を有する。
【0064】
１対の質量付加膜２９のうち一方の質量付加膜２９が、第１のエッジ領域Ｅａに設けられている。他方の質量付加膜２９が、第２のエッジ領域Ｅｂに設けられている。各質量付加膜２９は帯状の形状を有する。より具体的には、各質量付加膜２９は、平面視において、複数の電極指及び電極指間の領域と重なるように連続的に設けられている。本明細書において平面視とは、第１の方向ｙ及び第２の方向ｘと垂直な方向における上方から、弾性波装置を見ることをいう。より詳細には、例えば、圧電性基板２の第１の主面２ａ側及び第２の主面２ｂ側のうち第１の主面２ａ側が、第１の方向ｙ及び第２の方向ｘと垂直な方向における上方である。
【0065】
図８に示すように、各エッジ領域に質量付加膜２９が設けられていることによって、各エッジ領域の音速が中央領域Ｃの音速Ｖａよりも低くなっている。これにより、第１の実施形態と同様に、低音速領域が構成されている。それによって、ピストンモードが成立し、横モードを抑制することができる。質量付加膜２９の材料としては、例えば、酸化タンタルなどの誘電体を用いることができる。
【0066】
本実施形態においては、質量付加膜２９は、複数の電極指を覆うように、圧電性基板２上に設けられている。よって、平面視したときに、質量付加膜２９及び電極指が重なっている部分においては、圧電性基板２、電極指及び質量付加膜２９の順序で積層されている。もっとも、例えば、圧電性基板２、質量付加膜２９及び電極指の順序において積層されていてもよい。すなわち、圧電性基板２及び電極指の間に、質量付加膜２９が設けられていてもよい。
【0067】
なお、各エッジ領域に、複数の質量付加膜２９が設けられていてもよい。この場合、例えば、各質量付加膜２９が、平面視において１本の電極指と重なるように設けられていればよい。質量付加膜２９は、第１の電極指２６上及び第２の電極指２７上に、接触して設けられてもよく、誘電体膜などを介して設けられていてもよい。１つの質量付加膜２９が、第１の電極指２６及び第２の電極指２７の双方に接触していない場合には、質量付加膜２９の材料として、金属が用いられていてもよい。
【0068】
質量付加膜２９は、第１のエッジ領域Ｅａ及び第２のエッジ領域Ｅｂにおいて、平面視したときに、少なくとも１本の電極指と重なるように設けられている。もっとも、平面視したときに、第１のエッジ領域Ｅａ及び第２のエッジ領域Ｅｂにおいて、複数の電極指と重なるように質量付加膜２９が設けられていることが好ましく、全ての電極指と重なるように質量付加膜２９が設けられていることがより好ましい。それによって、ピストンモードがより確実に成立し、横モードをより確実に抑制することができる。
【0069】
なお、例えば、第１の実施形態と同様に、各電極指が幅広部を有していてもよい。この場合において、質量付加膜２９が設けられていることによって、低音速領域が構成されていてもよい。
【0070】
本実施形態においても、ＩＤＴ電極２３の各エッジ領域以外の領域におけるメタライゼーション比は、第１の実施形態と同様とされている。そして、各反射器は、第１の実施形態と同様に構成されている。そのため、ＩＤＴ電極２３が設けられている部分と、各反射器が設けられている部分とにおいて、（Ｍｂ／Ｍａ）≠（Ｍｄ／Ｍｃ）が成立している。これにより、（Ｖｂ／Ｖａ）≠（Ｖｄ／Ｖｃ）が成立している。従って、リターンロスを小さくすることができる。
【0071】
図９は、第３の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。
【0072】
本実施形態は、ＩＤＴ電極３の各バスバーにおける各接続電極４ｃの幅と、反射器３３Ａの各反射器バスバーにおける各接続電極の幅とが互いに異なる点において、第１の実施形態と異なる。本実施形態は、ＩＤＴ電極３の各バスバーにおける接続電極４ｃの幅と、反射器３３Ｂの各反射器バスバーにおける各接続電極の幅とが互いに異なる点においても、第１の実施形態と異なる。さらに、本実施形態は、ＩＤＴ電極３の接続電極ピッチと、各反射器の接続電極ピッチとが同じである点においても、第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１と同様の構成を有する。
【0073】
ＩＤＴ電極３における各接続電極４ｃの幅は、反射器３３Ａの第１の反射器バスバー３４Ａにおける各接続電極３４ｃの幅よりも狭い。ＩＤＴ電極３における各接続電極５ｃの幅は、第２の反射器バスバー３５Ａにおける各接続電極３５ｃの幅よりも狭い。そして、ＩＤＴ電極３の接続電極ピッチと反射器３３Ａの接続電極ピッチとは同じである。よって、ＩＤＴ電極３が設けられている部分においての、各開口部形成領域におけるメタライゼーション比Ｍｂは、反射器３３Ａが設けられている部分においての、各開口部形成領域におけるメタライゼーション比Ｍｄよりも小さい。すなわち、Ｍｂ＜Ｍｄである。なお、ＩＤＴ電極３における各接続電極の幅は、反射器３３Ａにおける各接続電極の幅よりも広くてもよい。
【0074】
他方、ＩＤＴ電極３が設けられている部分においての、中央領域Ｃにおけるメタライゼーション比Ｍａは、反射器３３Ａが設けられている部分においての、延長中央領域Ｃｘにおけるメタライゼーション比Ｍｃと同じである。すなわち、Ｍａ＝Ｍｃである。よって、ＩＤＴ電極３が設けられている部分と、反射器３３Ａが設けられている部分とにおいて、（Ｍｂ／Ｍａ）＜（Ｍｄ／Ｍｃ）である。ＩＤＴ電極３が設けられている部分と、反射器３３Ｂが設けられている部分とにおいても同様である。
【0075】
第３の実施形態では、ＩＤＴ電極３が設けられている部分と、各反射器が設けられている部分とにおいて、（Ｍｂ／Ｍａ）≠（Ｍｄ／Ｍｃ）が成立している。これにより、（Ｖｂ／Ｖａ）≠（Ｖｄ／Ｖｃ）が成立している。従って、第１の実施形態と同様に、リターンロスを小さくすることができる。なお、ＩＤＴ電極３における各接続電極の幅が、各反射器における各接続電極の幅よりも広い場合においても同様である。この点のみにおいて第３の実施形態と異なる例を、第３の実施形態の変形例とする。上記の効果を、第３の実施形態、第３の実施形態の変形例及び比較例を比較することにより、以下において示す。
【0076】
比較例は、図３に示した比較例である。比較例では、ＩＤＴ電極３が設けられている部分と、反射器４３Ａ及び反射器４３Ｂが設けられている部分とにおいて、（Ｍｂ／Ｍａ）＝（Ｍｄ／Ｍｃ）であり、（Ｖｂ／Ｖａ）＝（Ｖｄ／Ｖｃ）である。
【0077】
本明細書においては、デューティ比を、ＩＤＴ電極及び反射器が設けられている部分の、各開口部形成領域におけるパラメータとして扱う。デューティ比は、第２の方向ｘにおいて、接続電極により圧電性基板２が被覆されている部分の割合いである。ここで、接続電極ピッチをｐとする。そして、開口部形成領域において、第２の方向ｘに延びており、寸法が２ｐである仮想線Ｂを定義する。仮想線Ｂの一例を、図９中の開口部形成領域Ｏｃにおいて示す。デューティ比は、具体的には、仮想線Ｂ上においての、接続電極により圧電性基板２が被覆された部分の割合いである。
【0078】
第３の実施形態の弾性波装置としては、各反射器の各開口部形成領域におけるデューティ比が０．５５であり、ＩＤＴ電極３の各開口部形成領域におけるデューティ比が０．５である弾性波装置を用意した。第３の実施形態の変形例の弾性波装置としては、各反射器の各開口部形成領域におけるデューティ比が０．４５であり、ＩＤＴ電極３の各開口部形成領域におけるデューティ比が０．５である弾性波装置を用意した。他方、比較例においては、各反射器の各開口部形成領域におけるデューティ比、及びＩＤＴ電極３の各開口部形成領域におけるデューティ比は０．５である。これらの第３の実施形態の弾性波装置、及び比較例の弾性波装置において、リターンロスを比較した。この結果を以下において示す。なお、第３の実施形態及び変形例の弾性波装置のインピーダンス周波数特性は、図４に示した第１の実施形態におけるインピーダンス周波数特性とほぼ同じである。
【0079】
図１０は、第３の実施形態、第３の実施形態の変形例及び比較例の弾性波装置の、共振周波数付近におけるリターンロスを示す図である。図１１は、第３の実施形態、第３の実施形態の変形例及び比較例の弾性波装置の、反共振周波数付近におけるリターンロスを示す図である。図１２は、第３の実施形態、第３の実施形態の変形例及び比較例の弾性波装置の、ストップバンドの上端付近におけるリターンロスを示す図である。
【0080】
図１０～図１２に示すように、共振周波数付近、反共振周波数付近、及びストップバンドの上端付近において、第３の実施形態及び変形例のリターンロスの絶対値は、比較例のリターンロスの絶対値よりも小さい。従って、第３の実施形態の弾性波装置をフィルタ装置に用いた場合、及び変形例の弾性波装置をフィルタ装置に用いた場合において、挿入損失を小さくすることができる。
【0081】
図９に戻り、第３の実施形態では、ＩＤＴ電極３及び各反射器において、接続電極ピッチは同じである。なお、ＩＤＴ電極３及び反射器３３Ａにおいて、接続電極の幅及び接続電極ピッチの双方が互いに異なっていてもよい。ＩＤＴ電極３及び反射器３３Ｂにおいて、接続電極の幅及び接続電極ピッチの双方が互いに異なっていてもよい。
【0082】
第１～第３の実施形態においては、ＩＤＴ電極の各開口部形成領域の全ての部分と、各反射器の各開口部形成領域の全ての部分とにおいて、（Ｍｂ／Ｍａ）≠（Ｍｄ／Ｍｃ）が成立している。もっとも、これに限定されるものではない。
【0083】
以下において、第４～第８の実施形態を示す。第４～第８の実施形態は、ＩＤＴ電極の各バスバー及び各反射器の各反射器バスバーにおける接続電極ピッチ及びデューティ比が同じである点において、第１の実施形態と異なる。なお、本明細書では、デューティ比は、接続電極に関するパラメータであることを指摘しておく。第４～第８の実施形態は、後述する第１の電極パターン部及び第２の電極パターン部を有する点においても、第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、第４～第８の実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１と同様に構成されている。
【0084】
第４～第８の実施形態においては、（Ｖｂ／Ｖａ）≠（Ｖｄ／Ｖｃ）が成立している。これにより、第１の実施形態と同様に、リターンロスを小さくすることができる。よって、各実施形態の弾性波装置がフィルタ装置に用いられた場合においても、挿入損失が大きくなることを抑制できる。
【0085】
図１３は、第４の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。
【0086】
本実施形態においては、ＩＤＴ電極３の第１のバスバー４が設けられている部分における開口部形成領域Ｏａに、複数の第１の電極パターン部４６が設けられている。より具体的には、各第１の電極パターン部４６は、第２の方向ｘに延びている。各第１の電極パターン部４６は、第１のバスバー４における隣り合う接続電極４ｃの双方に接続されている。全ての第１の電極パターン部４６のうち、一部の複数の第１の電極パターン部４６は、第２の方向ｘから見たときに重なっている。該複数の第１の電極パターン部４６を１列の第１の電極パターン部４６としたときに、本実施形態では、２列の第１の電極パターン部４６が設けられている。２列の第１の電極パターン部４６は、第１の方向ｙに沿って並んでいる。
【0087】
上述したように、第１のバスバー４の開口部４ｄは、内側バスバー部４ａ、２本の接続電極４ｃ及び外側バスバー部４ｂにより囲まれた開口部である。本実施形態においては、各開口部４ｄ内には、２本の第１の電極パターン部４６が設けられている。具体的には、各開口部４ｄ内において、２本の第１の電極パターン部４６が、第１の方向ｙに沿って並んでいる。これにより、各開口部４ｄが、第１の方向ｙにおいて分割されている。
【0088】
同様に、第２のバスバー５が設けられている部分における開口部形成領域Ｏｂにおいても、複数の第１の電極パターン部４７が設けられている。具体的には、２列の第１の電極パターン部４７が設けられている。
【0089】
反射器４３Ａの第１の反射器バスバー４４Ａが設けられている部分における開口部形成領域Ｏｃには、複数の第２の電極パターン部４８が設けられている。より具体的には、各第２の電極パターン部４８は、第２の方向ｘに延びている。各第２の電極パターン部４８は、第１の反射器バスバー４４Ａにおける隣り合う接続電極１４ｃの双方に接続されている。全ての第２の電極パターン部４８のうち、一部の複数の第２の電極パターン部４８は、第２の方向ｘから見たときに重なっている。該複数の第２の電極パターン部４８を１列の第２の電極パターン部４８としたときに、本実施形態では、２列の第２の電極パターン部４８が設けられている。２列の第２の電極パターン部４８は、第１の方向ｙに沿って並んでいる。
【0090】
第１の反射器バスバー４４Ａの開口部１４ｄは、内側バスバー部１４ａ、２本の接続電極１４ｃ及び外側バスバー部１４ｂにより囲まれた開口部である。本実施形態では、各開口部１４ｄ内には、２本の第２の電極パターン部４８が設けられている。具体的には、各開口部１４ｄ内において、２本の第２の電極パターン部４８が、第１の方向ｙに沿って並んでいる。これにより、各開口部１４ｄが、第１の方向ｙにおいて分割されている。
【0091】
同様に、第２の反射器バスバー４５Ａが設けられている部分における開口部形成領域Ｏｄにおいても、複数の第２の電極パターン部４９が設けられている。具体的には、２列の第２の電極パターン部４９が設けられている。さらに、反射器４３Ｂの各反射器バスバーが設けられている部分における各開口部形成領域においても同様に、複数の第２の電極パターン部が設けられている。
【0092】
ＩＤＴ電極３や各反射器が設けられている領域における音速は、該領域において付加されている質量などに依存する。例えば、ＩＤＴ電極３の第１のバスバー４が設けられている部分における開口部形成領域Ｏａにおいての音速Ｖｂは、開口部形成領域Ｏａにおける、金属により圧電性基板２が被覆されている部分の面積占有率に依存する。よって、本実施形態では、音速Ｖｂは、開口部形成領域Ｏａにおける、複数の第１の電極パターン部４６の面積占有率に依存する。開口部形成領域Ｏｂにおいても同様である。
【0093】
反射器４３Ａの第１の反射器バスバー４４Ａが設けられている部分における開口部形成領域Ｏｃにおいての音速Ｖｄも、開口部形成領域Ｏｃにおける、金属により圧電性基板２が被覆されている部分の面積占有率に依存する。よって、本実施形態では、音速Ｖｄは、開口部形成領域Ｏｃにおける、複数の第２の電極パターン部４８の面積占有率に依存する。開口部形成領域Ｏｄにおいても同様である。さらに、反射器４３Ｂの各反射器バスバーが設けられている部分における各開口部形成領域においても同様である。
【0094】
弾性波装置４１では、第１の電極パターン部４６の第１の方向ｙに沿う寸法と、第２の電極パターン部４８の第１の方向ｙに沿う寸法とが互いに異なる。そのため、開口部形成領域Ｏａにおける、複数の第１の電極パターン部４６の面積占有率と、開口部形成領域Ｏｃにおける、複数の第２の電極パターン部４８の面積占有率とが互いに異なる。そして、第１の電極パターン部４７の第１の方向ｙに沿う寸法と、第２の電極パターン部４９の第１の方向ｙに沿う寸法とが互いに異なる。そのため、開口部形成領域Ｏｂにおける、複数の第１の電極パターン部４７の面積占有率と、開口部形成領域Ｏｄにおける、複数の第２の電極パターン部４９の面積占有率とが互いに異なる。よって、Ｖｂ≠Ｖｄである。
【0095】
一方で、ＩＤＴ電極３が設けられている部分における中央領域Ｃ、及び各反射器が設けられている部分における延長中央領域Ｃｘの構成は、第１の実施形態における構成と同様である。そのため、Ｍａ＝Ｍｃであり、Ｖａ＝Ｖｃである。よって、本実施形態においては、Ｖｂ／Ｖａ≠Ｖｄ／Ｖｃが成立している。
【0096】
本実施形態においては、第１の電極パターン部４６の第１の方向ｙに沿う寸法は、第２の電極パターン部４８の第１の方向ｙに沿う寸法よりも小さい。もっとも、第１の電極パターン部４６の第１の方向ｙに沿う寸法は、第２の電極パターン部４８の第１の方向ｙに沿う寸法よりも大きくてもよい。
【0097】
ＩＤＴ電極３の第１のバスバー４及び複数の第１の電極パターン部４６は、同じ金属により一体として構成されている。第２のバスバー５及び複数の第１の電極パターン部４７は、同じ金属により一体として構成されている。もっとも、各バスバー及び各第１の電極パターン部は、互いに異なる金属により構成されていてもよい。
【0098】
同様に、各反射器の各反射器バスバー、及び複数の第２の電極パターン部は、同じ金属により一体として構成されている。もっとも、各反射器バスバー及び各第２の電極パターン部は、互いに異なる金属により構成されていてもよい。
【0099】
図１３に示すように、各第１の電極パターン部４６は、第１のバスバー４における隣り合う接続電極４ｃの双方に接続されている。隣り合う第１の電極パターン部４６同士は、接続電極４ｃを介して接続されている。なお、第１の電極パターン部４６は、隣り合う接続電極４ｃのうち少なくとも一方に接続されていればよい。第１の電極パターン部４７も、第２のバスバー５における隣り合う接続電極５ｃのうち少なくとも一方に接続されていればよい。同様に、各第２の電極パターン部も、各反射器バスバーにおける隣り合う接続電極のうち少なくとも一方に接続されていればよい。
【0100】
本実施形態においては、ＩＤＴ電極３及び各反射器において、接続電極ピッチは同じである。よって、第１の電極パターン部の第２の方向ｘに沿う寸法と、第２の電極パターン部の第２の方向ｘに沿う寸法は同じである。なお、第１の電極パターン部の第２の方向ｘに沿う寸法と、第２の電極パターン部の第２の方向ｘに沿う寸法とは互いに異なっていてもよい。
【0101】
第１の電極パターン部４６、第１の電極パターン部４７、第２の電極パターン部４８及び第２の電極パターン部４９の、第１の方向ｙにおける本数は２本に限定されない。ＩＤＴ電極３の各バスバーにおける隣り合う接続電極の間にそれぞれ、１本の第１の電極パターン部、または第１の方向ｙに沿って並んでいる２本以上の第１の電極パターン部が設けられていればよい。各反射器の各反射器バスバーにおける隣り合う接続電極の間にそれぞれ、１本の第２の電極パターン部、または第１の方向ｙに沿って並んでいる２本以上の第２の電極パターン部が設けられていればよい。
【0102】
第５～第８の実施形態においても、開口部形成領域Ｏａに設けられた複数の第１の電極パターン部、及び開口部形成領域Ｏｂに設けられた複数の第１の電極パターン部は同様に構成されている。各反射器の各反射器バスバーが設けられている部分における各開口部形成領域に設けられた複数の第２の電極パターン部は同様に構成されている。よって、以下においては、第５～第８の実施形態における、開口部形成領域Ｏａに設けられた複数の第１の電極パターン部、及び開口部形成領域Ｏｃに設けられた複数の第２の電極パターン部の構成を説明することとする。
【0103】
図１４は、第５の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。
【0104】
本実施形態においては、開口部形成領域Ｏａに設けられた各第１の電極パターン部４６Ａは、第１のバスバー４における隣り合う接続電極４ｃのうち一方のみに接続されている。開口部形成領域Ｏａにおいては、１列の第１の電極パターン部４６Ａが設けられている。隣り合う第１の電極パターン部４６Ａ同士は、接続されていない。そして、第１のバスバー４の開口部４ｄは、第１の方向ｙにおいて分割されていない。
【0105】
開口部形成領域Ｏｃに設けられた各第２の電極パターン部４８Ａは、第１の反射器バスバー４４Ａにおける隣り合う接続電極１４ｃのうち一方のみに接続されている。開口部形成領域Ｏｃにおいては、１列の第２の電極パターン部４８Ａが設けられている。
【0106】
弾性波装置４１Ａでは、第１の電極パターン部４６Ａの第１の方向ｙに沿う寸法と、第２の電極パターン部４８Ａの第１の方向ｙに沿う寸法とが互いに異なる。なお、第１の電極パターン部４６Ａの第２の方向ｘに沿う寸法と、第２の電極パターン部４８Ａの第２の方向ｘに沿う寸法とは同じである。そのため、開口部形成領域Ｏａにおいての、複数の第１の電極パターン部４６Ａの面積占有率と、開口部形成領域Ｏｃにおいての、複数の第２の電極パターン部４８Ａの面積占有率とが互いに異なる。よって、Ｖｂ≠Ｖｄである。
【0107】
一方で、ＩＤＴ電極３が設けられている部分における中央領域Ｃ、及び反射器４３Ａが設けられている部分における延長中央領域Ｃｘにおいては、Ｖａ＝Ｖｃである。従って、Ｖｂ／Ｖａ≠Ｖｄ／Ｖｃが成立している。
【0108】
本実施形態においては、第１の電極パターン部４６Ａの第１の方向ｙに沿う寸法は、第２の電極パターン部４８Ａの第１の方向ｙに沿う寸法よりも小さい。もっとも、第１の電極パターン部４６Ａの第１の方向ｙに沿う寸法は、第２の電極パターン部４８Ａの第１の方向ｙに沿う寸法よりも大きくてもよい。
【0109】
図１５は、第６の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。
【0110】
本実施形態では、開口部形成領域Ｏａにおいて、複数の第１の電極パターン部４６Ａは、第５の実施形態と同様に設けられている。具体的には、開口部形成領域Ｏａに設けられた各第１の電極パターン部４６Ａは、第１のバスバー４における隣り合う接続電極４ｃのうち一方のみに接続されている。開口部形成領域Ｏａにおいては、１列の第１の電極パターン部４６Ａが設けられている。
【0111】
開口部形成領域Ｏｃに設けられた各第２の電極パターン部４８Ａは、第１の反射器バスバー４４Ａにおける隣り合う接続電極１４ｃのうち一方のみに接続されている。開口部形成領域Ｏｃにおいては、１列の第２の電極パターン部４８Ａが設けられている。
【0112】
弾性波装置４１Ｂでは、第１の電極パターン部４６Ａの第２の方向ｘに沿う寸法と、第２の電極パターン部４８Ａの第２の方向ｘに沿う寸法とが互いに異なる。なお、第１の電極パターン部４６Ａの第１の方向ｙに沿う寸法と、第２の電極パターン部４８Ａの第１の方向ｙに沿う寸法とは同じである。そのため、開口部形成領域Ｏａにおいての、複数の第１の電極パターン部４６Ａの面積占有率と、開口部形成領域Ｏｃにおいての、複数の第２の電極パターン部４８Ａの面積占有率とが互いに異なる。よって、Ｖｂ≠Ｖｄである。
【0113】
一方で、ＩＤＴ電極３が設けられている部分における中央領域Ｃ、及び反射器４３Ａが設けられている部分における延長中央領域Ｃｘにおいては、Ｖａ＝Ｖｃである。従って、Ｖｂ／Ｖａ≠Ｖｄ／Ｖｃが成立している。
【0114】
本実施形態においては、第１の電極パターン部４６Ａの第２の方向ｘに沿う寸法は、第２の電極パターン部４８Ａの第２の方向ｘに沿う寸法よりも大きい。もっとも、第１の電極パターン部４６Ａの第２の方向ｘに沿う寸法は、第２の電極パターン部４８Ａの第２の方向ｘに沿う寸法よりも小さくてもよい。
【0115】
図１６は、第７の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。
【0116】
本実施形態では、開口部形成領域Ｏａにおいて、複数の第１の電極パターン部４６は、図１３に示す第４の実施形態と同様に設けられている。具体的には、各第１の電極パターン部４６は、第１のバスバー４における隣り合う接続電極４ｃの双方に接続されている。開口部形成領域Ｏａにおいては、２列の第１の電極パターン部４６が設けられている。
【0117】
開口部形成領域Ｏｃにおいては、各第２の電極パターン部４８は、第１の反射器バスバー４４Ａにおける隣り合う接続電極１４ｃの双方に接続されている。開口部形成領域Ｏｃにおいては、３列の第２の電極パターン部４８が設けられている。すなわち、各開口部１４ｄにおいて、第１の方向ｙに沿って３本の第２の電極パターン部４８が並んでいる。
【0118】
本実施形態においては、ＩＤＴ電極３の第１のバスバー４における隣り合う接続電極４ｃの間に設けられている第１の電極パターン部４６の本数は２本である。他方、反射器４３Ａの第１の反射器バスバー４４Ａにおける隣り合う接続電極１４ｃの間に設けられている第２の電極パターン部４８の本数は３本である。よって、第１の電極パターン部４６が隣り合う接続電極４ｃの間に設けられている本数と、第２の電極パターン部４８が隣り合う接続電極１４ｃの間に設けられている本数とが互いに異なる。なお、第１の電極パターン部４６の第１の方向ｙに沿う寸法と、第２の電極パターン部４８の第１の方向ｙに沿う寸法とは同じである。そのため、開口部形成領域Ｏａにおいての、複数の第１の電極パターン部４６の面積占有率と、開口部形成領域Ｏｃにおいての、複数の第２の電極パターン部４８の面積占有率とが互いに異なる。よって、Ｖｂ≠Ｖｄである。
【0119】
一方で、ＩＤＴ電極３が設けられている部分における中央領域Ｃ、及び反射器４３Ａが設けられている部分における延長中央領域Ｃｘにおいては、Ｖａ＝Ｖｃである。従って、Ｖｂ／Ｖａ≠Ｖｄ／Ｖｃが成立している。
【0120】
本実施形態では、第１の電極パターン部４６が隣り合う接続電極４ｃの間に設けられている本数は、第２の電極パターン部４８が隣り合う接続電極１４ｃの間に設けられている本数よりも少ない。もっとも、第１の電極パターン部４６が隣り合う接続電極４ｃの間に設けられている本数は、第２の電極パターン部４８が隣り合う接続電極１４ｃの間に設けられている本数よりも多くてもよい。
【0121】
図１７は、第８の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。
【0122】
本実施形態では、開口部形成領域Ｏａにおいて、複数の第１の電極パターン部４６Ａは、図１４に示す第５の実施形態と同様に設けられている。具体的には、開口部形成領域Ｏａに設けられた各第１の電極パターン部４６Ａは、第１のバスバー４における隣り合う接続電極４ｃのうち一方のみに接続されている。開口部形成領域Ｏａにおいては、１列の第１の電極パターン部４６Ａが設けられている。
【0123】
開口部形成領域Ｏｃにおいては、各第２の電極パターン部４８Ａは、第１の反射器バスバー４４Ａにおける隣り合う接続電極１４ｃのうち一方のみに接続されている。開口部形成領域Ｏｃにおいては、２列の第２の電極パターン部４８Ａが設けられている。
【0124】
本実施形態においては、ＩＤＴ電極３の第１のバスバー４における隣り合う接続電極４ｃの間に設けられている第１の電極パターン部４６Ａの本数は１本である。他方、反射器４３Ａの第１の反射器バスバー４４Ａにおける隣り合う接続電極１４ｃの間に設けられている第２の電極パターン部４８Ａの本数は２本である。よって、第１の電極パターン部４６Ａが隣り合う接続電極４ｃの間に設けられている本数と、第２の電極パターン部４８Ａが隣り合う接続電極１４ｃの間に設けられている本数とが互いに異なる。なお、第１の電極パターン部４６Ａの第１の方向ｙに沿う寸法と、第２の電極パターン部４８Ａの第１の方向ｙに沿う寸法とは同じである。第１の電極パターン部４６Ａの第２の方向ｘに沿う寸法と、第２の電極パターン部４８Ａの第２の方向ｘに沿う寸法とは同じである。そのため、開口部形成領域Ｏａにおいての、複数の第１の電極パターン部４６Ａの面積占有率と、開口部形成領域Ｏｃにおいての、複数の第２の電極パターン部４８Ａの面積占有率とが互いに異なる。よって、Ｖｂ≠Ｖｄである。
【0125】
一方で、ＩＤＴ電極３が設けられている部分における中央領域Ｃ、及び反射器４３Ａが設けられている部分における延長中央領域Ｃｘにおいては、Ｖａ＝Ｖｃである。従って、Ｖｂ／Ｖａ≠Ｖｄ／Ｖｃが成立している。
【0126】
第４～第８の実施形態においては、第１の電極パターン部及び第２の電極パターン部において、第１の方向ｙに沿う寸法、第２の方向ｘに沿う寸法、及び隣り合う接続電極の間に設けられた本数のうち、いずれか１つを異ならせた例を示した。もっとも、第１の電極パターン部及び第２の電極パターン部において、第１の方向ｙに沿う寸法、第２の方向ｘに沿う寸法、及び隣り合う接続電極の間に設けられた本数のうち、いずれか２つまたは全てを異ならせてもよい。それによって、Ｖｂ／Ｖａ≠Ｖｄ／Ｖｃを成立させてもよい。
【0127】
なお、ＩＤＴ電極３の開口部形成領域における、複数の第１の電極パターン部の面積占有率と、少なくとも一方の反射器の開口部形成領域における、複数の第２の電極パターン部の面積占有率とが互いに異なっていればよい。
【0128】
ところで、圧電性基板２上には、ＩＤＴ電極３及び各反射器を覆うように、誘電体膜が設けられていてもよい。この例を、第９の実施形態により示す。
【0129】
【0130】
図１８に示すように、本実施形態は、誘電体膜５５が設けられている点において、第１の実施形態と異なる。具体的には、誘電体膜５５は、圧電性基板２上に、ＩＤＴ電極３、反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂを覆うように設けられいる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１と同様の構成を有する。
【0131】
誘電体膜５５によって、ＩＤＴ電極３、反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂが保護される。それによって、ＩＤＴ電極３、反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂが破損し難い。誘電体膜５５の材料としては、例えば、酸化ケイ素、窒化ケイ素または酸窒化ケイ素などを用いることができる。
【0132】
本実施形態においては、ＩＤＴ電極３及び各反射器は、第１の実施形態と同様に構成されている。そのため、ＩＤＴ電極３が設けられている部分と、各反射器が設けられている部分とにおいて、（Ｍｂ／Ｍａ）≠（Ｍｄ／Ｍｃ）が成立している。それによって、（Ｖｂ／Ｖａ）≠（Ｖｄ／Ｖｃ）が成立している。従って、リターンロスを小さくすることができる。
【0133】
図１９に示すように、誘電体膜５５の、反射器１３Ａを覆っている部分における、延長中央領域Ｃｘと平面視において重なっている部分の厚みが、開口部形成領域Ｏｃ及び開口部形成領域Ｏｄと平面視において重なっている部分の厚みよりも厚い。なお、誘電体膜５５の、反射器１３Ａを覆っている部分における、延長中央領域Ｃｘと平面視において重なっている部分の厚みは、開口部形成領域Ｏｃ及び開口部形成領域Ｏｄと平面視において重なっている部分の厚みよりも薄くてもよい。
【0134】
図１８に戻り、誘電体膜５５の、反射器１３Ｂを覆っている部分における、延長中央領域と平面視において重なっている部分の厚みは、各開口部形成領域と平面視において重なっている部分の厚みよりも厚くてもよく、薄くてもよい。あるいは、誘電体膜５５の少なくとも一方の反射器を覆っている部分における、延長中央領域Ｃｘと平面視において重なっている部分の厚みと、開口部形成領域と平面視において重なっている部分の厚みとが互いに異なっていればよい。
【0135】
誘電体膜５５のＩＤＴ電極３を覆っている部分における、中央領域Ｃと平面視において重なっている部分の厚みが、開口部形成領域Ｏａ及び開口部形成領域Ｏｂと平面視において重なっている部分の厚みよりも厚い。もっとも、誘電体膜５５のＩＤＴ電極３を覆っている部分における、中央領域Ｃと平面視において重なっている部分の厚みは、開口部形成領域Ｏａ及び開口部形成領域Ｏｂと平面視において重なっている部分の厚みよりも薄くてもよい。
【0136】
上述したように、ＩＤＴ電極３や各反射器が設けられている領域における音速は、該領域において付加されている質量などに依存する。例えば、該領域における音速は、該領域と平面視において重なっている誘電体膜５５の厚みに依存する。本実施形態では、反射器１３Ａが設けられている部分における、延長中央領域Ｃｘと、開口部形成領域Ｏｃ及び開口部形成領域Ｏｄとにおいて、メタライゼーション比及び誘電体膜５５の厚みが互いに異なることによって、音速Ｖｃと音速Ｖｄとが互いに異なる。反射器１３Ｂが設けられている部分においても同様である。
【0137】
さらに、ＩＤＴ電極３が設けられている部分における、中央領域Ｃと、開口部形成領域Ｏａ及び開口部形成領域Ｏｂとにおいて、メタライゼーション比及び誘電体膜５５の厚みが互いに異なることによって、音速Ｖａと音速Ｖｂとが互いに異なる。
【0138】
本発明においては、反射器１３Ａが設けられている部分における、延長中央領域Ｃｘと、開口部形成領域Ｏｃ及び開口部形成領域Ｏｄとにおいて、メタライゼーション比が同じであり、かつ誘電体膜５５の厚みが互いに異なっていてもよい。この場合にも、Ｖｃ≠Ｖｄとすることができる。反射器１３Ｂが設けられている部分においても同様である。さらに、ＩＤＴ電極３が設けられている部分における、中央領域Ｃと、開口部形成領域Ｏａ及び開口部形成領域Ｏｂとにおいて、メタライゼーション比が同じであり、かつ誘電体膜５５の厚みが互いに異なっていてもよい。この場合にも、Ｖａ≠Ｖｂとすることができる。そして、（Ｖｂ／Ｖａ）≠（Ｖｄ／Ｖｃ）が成立していればよい。
【0139】
本実施形態における誘電体膜５５が設けられている構成は、本実施形態以外の本発明の形態にも適用することができる。
【0140】
【0141】
図２０に示すように、本実施形態は、圧電性基板２と、ＩＤＴ電極３及び各反射器との間に、誘電体層６５が設けられている点において、第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１と同様の構成を有する。
【0142】
誘電体層６５の厚みを調整することによって、弾性波装置の比帯域を容易に調整することができる。具体的には、図２を援用して示す交叉領域Ａにおいて、誘電体層６５の厚みを調整すればよい。誘電体層６５の材料としては、例えば、酸化ケイ素または窒化ケイ素などを用いることができる。
【0143】
本実施形態においては、ＩＤＴ電極３及び各反射器は、第１の実施形態と同様に構成されている。そのため、ＩＤＴ電極３が設けられている部分と、各反射器が設けられている部分とにおいて、（Ｍｂ／Ｍａ）≠（Ｍｄ／Ｍｃ）が成立している。それによって、（Ｖｂ／Ｖａ）≠（Ｖｄ／Ｖｃ）が成立している。従って、リターンロスを小さくすることができる。
【0144】
図２１に示すように、誘電体層６５の、反射器１３Ａが設けられた部分における延長中央領域Ｃｘに位置している部分の厚みが、開口部形成領域Ｏｃ及び開口部形成領域Ｏｄに位置している部分の厚みよりも厚い。なお、誘電体層６５の、反射器１３Ａが設けられた部分における延長中央領域Ｃｘに位置している部分の厚みは、開口部形成領域Ｏｃ及び開口部形成領域Ｏｄに位置している部分の厚みよりも薄くてもよい。
【0145】
図２０に戻り、誘電体層６５の、反射器１３Ｂが設けられた部分における、延長中央領域Ｃｘに位置している部分の厚みは、各開口部形成領域に位置している部分よりも厚くてもよく、薄くてもよい。あるいは、誘電体層６５の、少なくとも一方の反射器が設けられた部分における延長中央領域Ｃｘに位置している部分の厚みと、開口部形成領域に位置している部分の厚みとが互いに異なっていればよい。
【0146】
誘電体層６５の、ＩＤＴ電極３が設けられた部分における中央領域Ｃに位置している部分の厚みが、開口部形成領域Ｏａ及び開口部形成領域Ｏｂに位置している部分の厚みよりも厚い。もっとも、誘電体層６５の、ＩＤＴ電極３が設けられた部分における中央領域Ｃに位置している部分の厚みは、開口部形成領域Ｏａ及び開口部形成領域Ｏｂに位置している部分の厚みよりも薄くてもよい。
【0147】
本実施形態では、反射器１３Ａが設けられている部分における、延長中央領域Ｃｘと、開口部形成領域Ｏｃ及び開口部形成領域Ｏｄとにおいて、メタライゼーション比及び誘電体層６５の厚みが互いに異なることによって、音速Ｖｃと音速Ｖｄとが互いに異なる。反射器１３Ｂが設けられている部分においても同様である。
【0148】
さらに、ＩＤＴ電極３が設けられている部分における、中央領域Ｃと、開口部形成領域Ｏａ及び開口部形成領域Ｏｂとにおいて、メタライゼーション比及び誘電体層６５の厚みが互いに異なることによって、音速Ｖａと音速Ｖｂとが互いに異なる。
【0149】
本発明においては、反射器１３Ａが設けられている部分における、延長中央領域Ｃｘと、開口部形成領域Ｏｃ及び開口部形成領域Ｏｄとにおいて、メタライゼーション比が同じであり、かつ誘電体層６５の厚みが互いに異なっていてもよい。この場合にも、Ｖｃ≠Ｖｄとすることができる。反射器１３Ｂが設けられている部分においても同様である。さらに、ＩＤＴ電極３が設けられている部分における、中央領域Ｃと、開口部形成領域Ｏａ及び開口部形成領域Ｏｂとにおいて、メタライゼーション比が同じであり、かつ誘電体層６５の厚みが互いに異なっていてもよい。この場合にも、Ｖａ≠Ｖｂとすることができる。そして、（Ｖｂ／Ｖａ）≠（Ｖｄ／Ｖｃ）が成立していればよい。
【0150】
本実施形態における誘電体層６５が設けられている構成は、本実施形態以外の本発明の形態にも適用することができる。
【0151】
ところで、任意の領域に誘電体層６５を設け、他の領域に誘電体層６５を設けないことにより、領域間における誘電体層６５の厚みを互いに異ならせてもよい。例えば、図２２に示す第１０の実施形態の変形例においては、反射器１３Ａが設けられている部分における、開口部形成領域Ｏｃ及び開口部形成領域Ｏｄには、誘電体層６５が設けられていない。すなわち、これらの領域においては、誘電体層６５の厚みは０である。他方、延長中央領域Ｃｘには誘電体層６５が設けられている。よって、延長中央領域Ｃｘにおいては、誘電体層６５の厚みは０よりも厚い。これにより、延長中央領域Ｃｘと、開口部形成領域Ｏｃ及び開口部形成領域Ｏｄとにおいて、誘電体層６５の厚みが互いに異なる。図示しないが、他方の反射器が設けられている部分においても同様である。
【0152】
さらに、本変形例では、ＩＤＴ電極が設けられている部分において、図２０を援用して示す開口部形成領域Ｏａ及び開口部形成領域Ｏｂには、誘電体層６５が設けられていない。他方、中央領域Ｃには、誘電体層６５が設けられている。これにより、中央領域Ｃと、開口部形成領域Ｏａ及び開口部形成領域Ｏｂとにおいて、誘電体層６５の厚みが互いに異なる。本変形例においても、第１０の実施形態と同様に、（Ｖｂ／Ｖａ）≠（Ｖｄ／Ｖｃ）が成立している。従って、リターンロスを小さくすることができる。
【0153】
第３～第１０の実施形態では、ＩＤＴ電極の各電極指が、第１の実施形態と同様に、幅広部を有する例を示した。もっとも、第３～第１０の実施形態におけるＩＤＴ電極の構成として、第２の実施形態と同様の構成が採用されていてもよい。すなわち、ＩＤＴ電極の各電極指は幅広部を有していなくともよい。この場合には、第２の実施形態と同様の質量付加膜が設けられていることが好ましい。あるいは、第２の実施形態の説明において例として挙げた質量付加膜が設けられていることが好ましい。ＩＤＴ電極の各電極指が幅広部を有し、かつ質量付加膜が設けられていてもよい。それによって、横モードを抑制することができる。
【0154】
以下において、本発明に係る弾性波装置の形態の例をまとめて記載する。
【0155】
＜１＞圧電性基板と、前記圧電性基板上に設けられており、互いに対向している１対のバスバー、並びに互いに間挿し合っている複数の第１の電極指及び複数の第２の電極指を有するＩＤＴ電極と、前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指が延びる方向を第１の方向、前記第１の方向と直交する方向を第２の方向としたときに、前記第２の方向において、前記ＩＤＴ電極を挟み互いに対向するように前記圧電性基板上に設けられている、１対の反射器と、を備え、各前記反射器が、互いに対向している１対の反射器バスバーと、前記１対の反射器バスバーに電気的に接続されている複数の反射器電極指と、を有し、前記第２の方向から前記ＩＤＴ電極を見たときに、隣り合う前記第１の電極指及び前記第２の電極指が重なり合っている領域が交叉領域であり、前記交叉領域が、中央領域と、前記第１の方向において前記中央領域を挟み互いに対向している１対のエッジ領域と、を有し、前記中央領域を前記第２の方向において延長した領域が延長中央領域であり、前記ＩＤＴ電極の前記１対のバスバー、及び各前記反射器の前記１対の反射器バスバーにそれぞれ、前記第２の方向に沿って複数の開口部が設けられており、前記１対のバスバー、及び前記１対の反射器バスバーのそれぞれにおける、前記複数の開口部が設けられている領域が開口部形成領域であり、前記ＩＤＴ電極が設けられている部分において、前記中央領域における音速をＶａ、前記開口部形成領域における音速をＶｂとしたときに、Ｖａ≠Ｖｂであり、各前記反射器が設けられている部分において、前記延長中央領域における音速をＶｃ、前記開口部形成領域における音速をＶｄとしたときに、Ｖｃ≠Ｖｄであり、前記ＩＤＴ電極が設けられている部分と、少なくとも一方の前記反射器が設けられている部分との間において、（Ｖｂ／Ｖａ）≠（Ｖｄ／Ｖｃ）である、弾性波装置。
【0156】
＜２＞圧電性基板と、前記圧電性基板上に設けられており、互いに対向している１対のバスバー、並びに互いに間挿し合っている複数の第１の電極指及び複数の第２の電極指を有するＩＤＴ電極と、前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指が延びる方向を第１の方向、前記第１の方向と直交する方向を第２の方向としたときに、前記第２の方向において、前記ＩＤＴ電極を挟み互いに対向するように前記圧電性基板上に設けられている、１対の反射器と、を備え、前記反射器が、互いに対向している１対の反射器バスバーと、前記１対の反射器バスバーに電気的に接続されている複数の反射器電極指と、を有し、前記第２の方向から前記ＩＤＴ電極を見たときに、隣り合う前記第１の電極指及び前記第２の電極指が重なり合っている領域が交叉領域であり、前記交叉領域が、中央領域と、前記第１の方向において前記中央領域を挟み互いに対向している１対のエッジ領域と、を有し、前記中央領域を前記第２の方向において延長した領域が延長中央領域であり、前記ＩＤＴ電極の前記１対のバスバー、及び前記反射器の前記１対の反射器バスバーにそれぞれ、前記第２の方向に沿って複数の開口部が設けられており、前記１対のバスバー、及び前記１対の反射器バスバーのそれぞれにおける、前記複数の開口部が設けられている領域が開口部形成領域であり、前記第２の方向において、金属により前記圧電性基板が被覆されている部分の割合いを、メタライゼーション比とし、前記ＩＤＴ電極が設けられている部分において、前記中央領域における前記メタライゼーション比をＭａ、前記開口部形成領域における前記メタライゼーション比をＭｂとしたときに、Ｍａ≠Ｍｂであり、各前記反射器が設けられている部分において、前記延長中央領域における前記メタライゼーション比をＭｃ、前記開口部形成領域における前記メタライゼーション比をＭｄとしたときに、Ｍｃ≠Ｍｄであり、前記ＩＤＴ電極が設けられている部分と、少なくとも一方の前記反射器が設けられている部分との間において、（Ｍｂ／Ｍａ）≠（Ｍｄ／Ｍｃ）である、弾性波装置。
【0157】
＜３＞前記ＩＤＴ電極が設けられている部分と、双方の前記反射器が設けられている部分との間において、（Ｍｂ／Ｍａ）≠（Ｍｄ／Ｍｃ）である、＜２＞に記載の弾性波装置。
【0158】
＜４＞各前記反射器の前記１対の反射器バスバーがそれぞれ、前記第１の方向に沿って並んでいる内側バスバー部及び外側バスバー部と、前記内側バスバー部及び前記外側バスバー部を接続しており、前記第２の方向に沿って並んでいる複数の接続電極と、を有し、少なくとも一方の前記反射器において、隣り合う前記反射器電極指同士の中心間距離と、隣り合う前記接続電極同士の中心間距離とが互いに異なる、＜１＞～＜３＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。
【0159】
＜５＞前記ＩＤＴ電極の前記１対のバスバー及び各前記反射器の前記１対の反射器バスバーがそれぞれ、前記第１の方向に沿って並んでいる内側バスバー部及び外側バスバー部と、前記内側バスバー部及び前記外側バスバー部を接続しており、前記第２の方向に沿って並んでいる複数の接続電極と、を有し、前記ＩＤＴ電極の前記１対のバスバー及び各前記反射器の前記１対の反射器バスバーのそれぞれにおいて、前記内側バスバー部及び前記外側バスバー部の間の領域が前記開口部形成領域であり、前記ＩＤＴ電極の前記バスバーにおける隣り合う前記接続電極のうち少なくとも一方に接続されており、前記第２の方向に延びている複数の第１の電極パターン部と、各前記反射器の前記反射器バスバーにおける隣り合う前記接続電極のうち少なくとも一方に接続されており、前記第２の方向に延びている複数の第２の電極パターン部と、をさらに備え、前記ＩＤＴ電極の前記開口部形成領域における、前記複数の第１の電極パターン部の面積占有率と、少なくとも一方の前記反射器の前記開口部形成領域における、前記複数の第２の電極パターン部の面積占有率とが互いに異なる、＜１＞～＜４＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。
【0160】
＜６＞前記第１の電極パターン部の前記第１の方向に沿う寸法と、前記第２の電極パターン部の前記第１の方向に沿う寸法とが互いに異なる、＜５＞に記載の弾性波装置。
【0161】
＜７＞前記第１の電極パターン部の前記第２の方向に沿う寸法と、前記第２の電極パターン部の前記第２の方向に沿う寸法とが互いに異なる、＜５＞または＜６＞に記載の弾性波装置。
【0162】
＜８＞前記ＩＤＴ電極の前記バスバーにおける隣り合う前記接続電極の間にそれぞれ、１本の前記第１の電極パターン部、または前記第１の方向に沿って並んでいる２本以上の前記第１の電極パターン部が設けられており、前記反射器の前記反射器バスバーにおける隣り合う前記接続電極の間にそれぞれ、１本の前記第２の電極パターン部、または前記第１の方向に沿って並んでいる２本以上の前記第２の電極パターン部が設けられており、前記ＩＤＴ電極の前記バスバーにおける隣り合う前記接続電極の間に設けられている前記第１の電極パターン部の本数と、少なくとも一方の前記反射器の前記反射器バスバーにおける隣り合う前記接続電極の間に設けられている前記第２の電極パターン部の本数とが互いに異なる、＜５＞～＜７＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。
【0163】
＜９＞前記圧電性基板上に、前記ＩＤＴ電極及び各前記反射器を覆うように設けられている誘電体膜をさらに備え、前記誘電体膜の、少なくとも一方の前記反射器を覆っている部分における、前記延長中央領域と平面視において重なっている部分の厚みと、前記開口部形成領域と平面視において重なっている部分の厚みとが互いに異なる、＜１＞～＜８＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。
【0164】
＜１０＞前記圧電性基板と、前記ＩＤＴ電極及び各前記反射器との間に設けられている誘電体層をさらに備え、前記誘電体層の、少なくとも一方の前記反射器が設けられている部分における前記延長中央領域に位置している部分の厚みと、前記開口部形成領域に位置している部分の厚みとが互いに異なる、＜１＞～＜９＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。
【0165】
＜１１＞前記ＩＤＴ電極が設けられている部分において、前記中央領域における音速をＶａ、前記開口部形成領域における音速をＶｂとしたときに、Ｖａ≠Ｖｂであり、各前記反射器が設けられている部分において、前記延長中央領域における音速をＶｃ、前記開口部形成領域における音速をＶｄとしたときに、Ｖｃ≠Ｖｄであり、前記ＩＤＴ電極が設けられている部分と、双方の前記反射器が設けられている部分との間において、（Ｖｂ／Ｖａ）≠（Ｖｄ／Ｖｃ）である、＜１＞～＜１０＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。
【0166】
＜１２＞前記１対のエッジ領域において、音速が前記中央領域における音速よりも低い、低音速領域が構成されている、＜１＞～＜１１＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。
【0167】
＜１３＞前記１対のエッジ領域において、前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指のうち少なくとも１本の電極指が、前記中央領域における幅よりも幅が広い幅広部を有することにより、前記低音速領域が構成されている、＜１２＞に記載の弾性波装置。
【0168】
＜１４＞前記１対のエッジ領域において、平面視したときに、前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指のうち少なくとも１本の電極指と重なるように質量付加膜が設けられていることにより、前記低音速領域が構成されている、＜１２＞または＜１３＞に記載の弾性波装置。
【符号の説明】
【0169】
１…弾性波装置
２…圧電性基板
２ａ，２ｂ…第１，第２の主面
３…ＩＤＴ電極
４，５…第１，第２のバスバー
４ａ，５ａ…内側バスバー部
４ｂ，５ｂ…外側バスバー部
４ｃ，５ｃ…接続電極
４ｄ，５ｄ…開口部
６，７…第１，第２の電極指
６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂ…幅広部
１３Ａ，１３Ｂ…反射器
１４Ａ，１５Ａ…第１，第２の反射器バスバー
１４Ｂ，１５Ｂ…第１，第２の反射器バスバー
１４ａ，１５ａ…内側バスバー部
１４ｂ，１５ｂ…外側バスバー部
１４ｃ，１５ｃ…接続電極
１４ｄ，１５ｄ…開口部
１６…反射器電極指
２３…ＩＤＴ電極
２６，２７…第１，第２の電極指
２９…質量付加膜
３３Ａ，３３Ｂ…反射器
３４Ａ，３５Ａ…第１，第２の反射器バスバー
３４ｃ，３５ｃ…接続電極
４１，４１Ａ，４１Ｂ…弾性波装置
４３Ａ，４３Ｂ…反射器
４４Ａ，４５Ａ…第１，第２の反射器バスバー
４６，４６Ａ，４７…第１の電極パターン部
４８，４８Ａ，４９…第２の電極パターン部
５５…誘電体膜
６５…誘電体層
Ａ…交叉領域
Ｃ…中央領域
Ｃｘ…延長中央領域
Ｅａ，Ｅｂ…第１，第２のエッジ領域
Ｇａ，Ｇｂ…第１，第２のギャップ領域
Ｏａ～Ｏｄ…開口部形成領域
２…圧電性基板
２ａ，２ｂ…第１，第２の主面
３…ＩＤＴ電極
４，５…第１，第２のバスバー
４ａ，５ａ…内側バスバー部
４ｂ，５ｂ…外側バスバー部
４ｃ，５ｃ…接続電極
４ｄ，５ｄ…開口部
６，７…第１，第２の電極指
６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂ…幅広部
１３Ａ，１３Ｂ…反射器
１４Ａ，１５Ａ…第１，第２の反射器バスバー
１４Ｂ，１５Ｂ…第１，第２の反射器バスバー
１４ａ，１５ａ…内側バスバー部
１４ｂ，１５ｂ…外側バスバー部
１４ｃ，１５ｃ…接続電極
１４ｄ，１５ｄ…開口部
１６…反射器電極指
２３…ＩＤＴ電極
２６，２７…第１，第２の電極指
２９…質量付加膜
３３Ａ，３３Ｂ…反射器
３４Ａ，３５Ａ…第１，第２の反射器バスバー
３４ｃ，３５ｃ…接続電極
４１，４１Ａ，４１Ｂ…弾性波装置
４３Ａ，４３Ｂ…反射器
４４Ａ，４５Ａ…第１，第２の反射器バスバー
４６，４６Ａ，４７…第１の電極パターン部
４８，４８Ａ，４９…第２の電極パターン部
５５…誘電体膜
６５…誘電体層
Ａ…交叉領域
Ｃ…中央領域
Ｃｘ…延長中央領域
Ｅａ，Ｅｂ…第１，第２のエッジ領域
Ｇａ，Ｇｂ…第１，第２のギャップ領域
Ｏａ～Ｏｄ…開口部形成領域
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】