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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024155507
(43)【公開日】2024-10-31
(54)【発明の名称】ロボット
(51)【国際特許分類】
B25J 13/08 20060101AFI20241024BHJP
【ＦＩ】
B25J13/08 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】13
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023070277
(22)【出願日】2023-04-21
(71)【出願人】
【識別番号】000000974
【氏名又は名称】川崎重工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100104433
【弁理士】
【氏名又は名称】宮園 博一
(74)【代理人】
【識別番号】100202728
【弁理士】
【氏名又は名称】三森 智裕
(72)【発明者】
【氏名】浦上 朋久
(72)【発明者】
【氏名】坪井 信高
【テーマコード（参考）】
3C707
【Ｆターム（参考）】
3C707BS12
3C707KS23
3C707KS24
3C707KX07
3C707LV18
3C707MT05
(57)【要約】
【課題】補償の精度を向上させて、振動を精度よく抑制することが可能なロボットを提供する。
【解決手段】このロボット１００は、複数のリンク１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅおよび１１ｆを有するアーム１１と、複数のリンク１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅおよび１１ｆを駆動する複数の駆動軸１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆと、アーム１１に配置された慣性センサ１３と、を含む、ロボット本体１０と、補償対象の駆動軸に対する慣性センサ１３の傾きを補正すること、および、慣性センサ１３の検出結果に含まれる重力加速度成分を除去することの少なくとも一方を行って得られた慣性センサ１３の検出結果に基づいて、振動に関する補償量を取得する制御装置２０と、を備える。
【選択図】図１
【解決手段】このロボット１００は、複数のリンク１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅおよび１１ｆを有するアーム１１と、複数のリンク１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅおよび１１ｆを駆動する複数の駆動軸１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆと、アーム１１に配置された慣性センサ１３と、を含む、ロボット本体１０と、補償対象の駆動軸に対する慣性センサ１３の傾きを補正すること、および、慣性センサ１３の検出結果に含まれる重力加速度成分を除去することの少なくとも一方を行って得られた慣性センサ１３の検出結果に基づいて、振動に関する補償量を取得する制御装置２０と、を備える。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数のリンクを有するアームと、前記複数のリンクを駆動する複数の駆動軸と、前記アームに配置された慣性センサと、を含む、ロボット本体と、
補償対象の前記駆動軸に対する前記慣性センサの傾きを補正すること、および、前記慣性センサの検出結果に含まれる重力加速度成分を除去することの少なくとも一方を行って得られた前記慣性センサの検出結果に基づいて、振動に関する補償量を取得する制御装置と、を備える、ロボット。
補償対象の前記駆動軸に対する前記慣性センサの傾きを補正すること、および、前記慣性センサの検出結果に含まれる重力加速度成分を除去することの少なくとも一方を行って得られた前記慣性センサの検出結果に基づいて、振動に関する補償量を取得する制御装置と、を備える、ロボット。
【請求項2】
前記制御装置は、前記慣性センサと補償対象の前記駆動軸との間に存在する補償対象以外の前記駆動軸の傾きに基づいて前記慣性センサの検出結果を補正する、請求項１に記載のロボット。
【請求項3】
前記制御装置は、前記慣性センサの検出結果に対して補償対象以外の前記駆動軸の座標変換を行う、請求項２に記載のロボット。
【請求項4】
前記制御装置は、前記複数の駆動軸の座標変換行列に基づく回転行列に基づいて重力加速度成分を取得するとともに、取得した重力加速度成分を前記慣性センサの検出結果から差分する、請求項１に記載のロボット。
【請求項5】
前記慣性センサは、角速度センサと、加速度センサと、を含み、
前記制御装置は、前記角速度センサの検出結果に基づいて、前記補償量として位置補償量を取得し、前記加速度センサの検出結果に基づいて、前記補償量として速度補償量を取得する、請求項１に記載のロボット。
前記制御装置は、前記角速度センサの検出結果に基づいて、前記補償量として位置補償量を取得し、前記加速度センサの検出結果に基づいて、前記補償量として速度補償量を取得する、請求項１に記載のロボット。
【請求項6】
前記制御装置は、補償対象の前記駆動軸に対する前記角速度センサの傾きを補正すること、および、前記角速度センサと補償対象の前記駆動軸との間に存在する補償対象以外の前記駆動軸の角速度成分を補正することを行った前記角速度センサの検出結果と、補償対象の前記駆動軸の角速度指令とに基づいて、前記位置補償量を取得する、請求項５に記載のロボット。
【請求項7】
前記制御装置は、補償対象の前記駆動軸に対する前記加速度センサの傾きを補正すること、および、前記加速度センサの検出結果に含まれる重力加速度成分を除去することを行った前記加速度センサの検出結果と、補償対象の前記駆動軸の加速度指令とに基づいて、前記速度補償量を取得する、請求項５に記載のロボット。
【請求項8】
前記複数の駆動軸は、基端側からこの順に配置された第１駆動軸、第２駆動軸および第３駆動軸を含み、
前記制御装置は、前記第１駆動軸、前記第２駆動軸および前記第３駆動軸の３つの駆動軸について、前記補償量を取得する、請求項１に記載のロボット。
前記制御装置は、前記第１駆動軸、前記第２駆動軸および前記第３駆動軸の３つの駆動軸について、前記補償量を取得する、請求項１に記載のロボット。
【請求項9】
前記第２駆動軸の回転軸線と、前記第３駆動軸の回転軸線とは、互いに平行であり、
前記制御装置は、前記第２駆動軸および前記第３駆動軸の慣性の干渉に基づいて、前記第２駆動軸および前記第３駆動軸の各々の前記補償量を取得する、請求項８に記載のロボット。
前記制御装置は、前記第２駆動軸および前記第３駆動軸の慣性の干渉に基づいて、前記第２駆動軸および前記第３駆動軸の各々の前記補償量を取得する、請求項８に記載のロボット。
【請求項10】
前記慣性センサは、補償対象の前記駆動軸よりも前記アームの先端側に配置されている、請求項１に記載のロボット。
【請求項11】
前記慣性センサは、前記アームの先端に配置されている、請求項１０に記載のロボット。
【請求項12】
前記ロボット本体は、６軸の垂直多関節型である、請求項１に記載のロボット。
【請求項13】
複数のリンクを有するアームと、前記複数のリンクを駆動する複数の駆動軸と、前記アームに配置された慣性センサと、を含む、ロボット本体と、
前記慣性センサの検出結果に対して振動の補償に関する補正を行い、補正した前記慣性センサの検出結果に基づいて、振動に関する補償量を取得する制御装置と、を備える、ロボット。
前記慣性センサの検出結果に対して振動の補償に関する補正を行い、補正した前記慣性センサの検出結果に基づいて、振動に関する補償量を取得する制御装置と、を備える、ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
この開示は、ロボットに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【0003】
上記特許文献１には、ロボットが開示されている。このロボットは、第１アームと、第２アームと、第３アームと、第４アームと、第５アームと、第６アームとを備えている。各アームは、駆動源を有する関節を介して連結されている。また、第３アームには、角速度センサが設置されている。このロボットでは、角速度センサにより検出を行い、その検出結果に基づいて、各関節の駆動源が制御される。これにより、ロボットの振動が抑制される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特許第６１５５７８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、上記特許文献１に記載されたロボットでは、角速度センサにより検出を行い、その検出結果に基づいて、各関節の駆動源が制御される一方、たとえば補償対象の関節に対する角速度センサの傾きが考慮されていないため、振動に関する補償を精度よく行うことが困難であるという不都合がある。また、振動に関する補償を精度よく行うことが困難なため、振動を精度よく抑制することが困難であるという問題点がある。
【0006】
この開示は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、補償の精度を向上させて、振動を精度よく抑制することが可能なロボットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
この開示の第１の局面によるロボットは、複数のリンクを有するアームと、複数のリンクを駆動する複数の駆動軸と、アームに配置された慣性センサと、を含む、ロボット本体と、補償対象の駆動軸に対する慣性センサの傾きを補正すること、および、慣性センサの検出結果に含まれる重力加速度成分を除去することの少なくとも一方を行って得られた慣性センサの検出結果に基づいて、振動に関する補償量を取得する。
【0008】
この開示の第１の局面によるロボットでは、上記のように、補償対象の駆動軸に対する慣性センサの傾きを補正すること、および、慣性センサの検出結果に含まれる重力加速度成分を除去することの少なくとも一方を行って得られた慣性センサの検出結果に基づいて、振動に関する補償量を取得する制御装置を設ける。これにより、補償対象の駆動軸に対する慣性センサの傾きを補正する場合、ロボット本体の姿勢に応じて変化する慣性センサの傾きを補正することができるので、補償量を精度よく取得することができる。また、慣性センサの検出結果に含まれる重力加速度成分を除去する場合、慣性センサの検出結果に不可避的に含まれる重力加速度成分を除去することができるので、補償量を精度よく取得することができる。その結果、補償の精度を向上させることができるので、振動を精度よく抑制することができる。
【0009】
また、この開示の第２の局面によるロボットは、複数のリンクを有するアームと、複数のリンクを駆動する複数の駆動軸と、アームに配置された慣性センサと、を含む、ロボット本体と、慣性センサの検出結果に対して振動の補償に関する補正を行い、補正した慣性センサの検出結果に基づいて、振動に関する補償量を取得する制御装置と、を備える。
【0010】
この開示の第２の局面によるロボットでは、上記のように、慣性センサの検出結果に対して振動の補償に関する補正を行い、補正した慣性センサの検出結果に基づいて、振動に関する補償量を取得する制御装置を設ける。これにより、補正した慣性センサの検出結果に基づいて、補償量を精度よく取得することができる。その結果、補償の精度を向上させることができるので、振動を精度よく抑制することができる。
【発明の効果】
【0011】
本開示によれば、上記のように、補償の精度を向上させて、振動を精度よく抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【図1】一実施形態によるロボットを示した模式図である。
【図2】一実施形態によるロボットの制御的な構成を示したブロック図である。
【図3】一実施形態による角速度センサの検出結果の補正を説明するための図である。
【図4】一実施形態による加速度センサの検出結果の補正を説明するための図である。
【図5】一実施形態による第１駆動軸の位置補償量の取得を説明するための図である。
【図6】一実施形態による第１駆動軸の速度補償量の取得を説明するための図である。
【図7】一実施形態による第２、第３駆動軸の位置補償量の取得を説明するための図である。
【図8】一実施形態による第２駆動軸の速度補償量の取得を説明するための図である。
【図9】一実施形態による第３駆動軸の速度補償量の取得を説明するための図である。
【図10】一実施形態による位置補償量の取得に関する制御処理を説明するためのフローチャートである。
【図11】一実施形態による速度補償量の取得に関する制御処理を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0013】
以下、本開示を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。
【0014】
【0015】
（ロボットの構成）
図１に示すように、ロボット１００は、ロボット本体１０と、制御装置２０と、を備えている。ロボット１００は、たとえば、産業用のロボットである。ロボット本体１０は、６軸の垂直多関節型である。制御装置２０は、ロボット本体１０の動作を制御する。
図１に示すように、ロボット１００は、ロボット本体１０と、制御装置２０と、を備えている。ロボット１００は、たとえば、産業用のロボットである。ロボット本体１０は、６軸の垂直多関節型である。制御装置２０は、ロボット本体１０の動作を制御する。
【0016】
ロボット本体１０は、複数のリンク１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅおよび１１ｆを有するアーム１１と、複数のリンク１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅおよび１１ｆを駆動する複数の駆動軸１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆと、アーム１１に配置された慣性センサ１３とを含んでいる。
【0017】
複数のリンク１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅおよび１１ｆは、第１リンク１１ａと、第２リンク１１ｂと、第３リンク１１ｃと、第４リンク１１ｄと、第５リンク１１ｅと、第６リンク１１ｆとを有している。第１リンク１１ａと、第２リンク１１ｂと、第３リンク１１ｃと、第４リンク１１ｄと、第５リンク１１ｅと、第６リンク１１ｆとは、基端側からこの順に配置されている。また、アーム１１は、先端部に、エンドエフェクタ３０が取り付けられている。エンドエフェクタ３０は、ワークを把持するハンドや、ワークを吸着する吸着部などを含む。また、アーム１１は、基端部に設けられ、床、壁、柱などに取り付けられる基台１１ｇを含んでいる。
【0018】
複数の駆動軸１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆは、第１駆動軸１２ａと、第２駆動軸１２ｂと、第３駆動軸１２ｃと、第４駆動軸１２ｄと、第５駆動軸１２ｅと、第６駆動軸１２ｆとを有している。第１駆動軸１２ａと、第２駆動軸１２ｂと、第３駆動軸１２ｃと、第４駆動軸１２ｄと、第５駆動軸１２ｅと、第６駆動軸１２ｆとは、基端側からこの順に配置されている。
【0019】
図２に示すように、第１駆動軸１２ａには、モータ４１ａと、エンコーダ４２ａとが設けられている。また、第２駆動軸１２ｂには、モータ４１ｂと、エンコーダ４１ｂとが設けられている。また、第３駆動軸１２ｃには、モータ４１ｃと、エンコーダ４１ｃとが設けられている。また、第４駆動軸１２ｄには、モータ４１ｄと、エンコーダ４１ｄとが設けられている。また、第５駆動軸１２ｅには、モータ４１ｅと、エンコーダ４１ｅとが設けられている。また、第６駆動軸１２ｆには、モータ４１ｆと、エンコーダ４１ｆとが設けられている。
【0020】
複数の駆動軸１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆは、各々、モータの駆動により、対応するリンクを回転させる。
【0021】
図１に示すように、第１駆動軸１２ａは、基台１１に接続されている。第１駆動軸１２ａは、基台１１に対してリンク１１ａを回転軸線Ａ１周りに回転させる。第２駆動軸１２ｂは、リンク１１ａに対してリンク１１ｂを、回転軸線Ａ１と直交する方向の回転軸線Ａ２周りに回転させる。
【0022】
第３駆動軸１２ｃは、リンク１１ｂに対してリンク１１ｃを、回転軸線Ａ２と平行な回転軸線Ａ３周りに回転させる。第４駆動軸１２ｄは、リンク１１ｃに対してリンク１１ｄを、回転軸線Ａ３と直交する方向の回転軸線Ａ４周りに回転させる。
【0023】
第５駆動軸１２ｅは、リンク１１ｄに対してリンク１１ｅを、回転軸線Ａ４と直交する方向の回転軸線Ａ５周りに回転させる。第６駆動軸１２ｆは、リンク１１ｅに対してリンク１１ｆを、回転軸線Ａ５と直交する方向の回転軸線Ａ６周りに回転させる。
【0024】
慣性センサ１３は、アーム１１の先端に配置されている。すなわち、慣性センサ１３は、後述する補償対象の駆動軸１２ａ、１２ｂまたは１２ｃよりもアーム１１の先端側に配置されている。また、慣性センサ１３は、図２に示すように、角速度センサ１３ａと、加速度センサ１３ｂとを含んでいる。角速度センサ１３ａは、アーム１１の先端における角速度を検出する。加速度センサ１３ｂは、アーム１１の先端における加速度を検出する。慣性センサ１３は、角速度センサ１３ａと加速度センサ１３ｂとが一体の６軸センサであってもよいし、３軸の角速度センサ１３ａと３軸の加速度センサ１３ｂとが別々に設けられたセンサであってもよい。
【0025】
制御装置２０は、アーム１１の各駆動軸に設けられたモータに供給する電力を制御することにより、ロボット本体１０の動作を制御する。また、制御装置２０は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）と、メモリと、を含んでいる。制御装置２０は、所定のプログラムを実行することにより、ロボット本体１０を動作させる制御を行う。また、制御装置２０は、振動に関する補償を行うことにより、ロボット本体１０における振動を抑制する制御を行う。
【0026】
（振動補償に関する制御）
ここで、本実施形態では、制御装置２０は、慣性センサ１３の検出結果に対して振動の補償に関する補正を行い、補正した慣性センサ１３の検出結果に基づいて、振動に関する補償量を取得する。具体的には、制御装置２０は、振動の補償に関する補正として、補償対象の駆動軸に対する慣性センサ１３の傾きを補正すること、および、慣性センサ１３の検出結果に含まれる重力加速度成分を除去することの少なくとも一方を行って得られた慣性センサ１３の検出結果に基づいて、振動に関する補償量を取得する。
ここで、本実施形態では、制御装置２０は、慣性センサ１３の検出結果に対して振動の補償に関する補正を行い、補正した慣性センサ１３の検出結果に基づいて、振動に関する補償量を取得する。具体的には、制御装置２０は、振動の補償に関する補正として、補償対象の駆動軸に対する慣性センサ１３の傾きを補正すること、および、慣性センサ１３の検出結果に含まれる重力加速度成分を除去することの少なくとも一方を行って得られた慣性センサ１３の検出結果に基づいて、振動に関する補償量を取得する。
【0027】
具体的には、制御装置２０は、慣性センサ１３と補償対象の駆動軸との間に存在する補償対象以外の駆動軸の傾きに基づいて慣性センサ１３の検出結果を補正する。これにより、制御装置２０は、補償対象の駆動軸に対する慣性センサ１３の傾きを補正する。より具体的には、制御装置２０は、慣性センサ１３の検出結果に対して補償対象以外の駆動軸の座標変換を行う。これにより、制御装置２０は、補償対象の駆動軸に対する慣性センサ１３の傾きを補正する。
【0028】
また、制御装置２０は、複数の駆動軸１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆの座標変換行列に基づく回転行列に基づいて重力加速度成分を取得するとともに、取得した重力加速度成分を慣性センサ１３の検出結果から差分する。これにより、制御装置２０は、慣性センサ１３の検出結果に含まれる重力加速度成分を除去する。
【0029】
また、本実施形態では、制御装置２０は、角速度センサ１３ａの検出結果に基づいて、補償量として位置補償量を取得し、加速度センサ１３ｂの検出結果に基づいて、補償量として速度補償量を取得する。
【0030】
具体的には、制御装置２０は、補償対象の駆動軸に対する角速度センサ１３ａの傾きを補正すること、および、角速度センサ１３ａと補償対象の駆動軸との間に存在する補償対象以外の駆動軸の角速度成分を補正することを行って得られた角速度センサ１３ａの検出結果と、補償対象の駆動軸の角速度指令とに基づいて、位置補償量を取得する。
【0031】
また、制御装置２０は、補償対象の駆動軸に対する加速度センサ１３ｂの傾きを補正すること、および、加速度センサ１３ｂの検出結果に含まれる重力加速度成分を除去することを行って得られた加速度センサ１３ｂの検出結果と、補償対象の駆動軸の加速度指令とに基づいて、速度補償量を取得する。
【0032】
また、本実施形態では、制御装置２０は、第１駆動軸１２ａ、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの３つの駆動軸について、補償量を取得する。補償対象の駆動軸とは、第１駆動軸１２ａ、第２駆動軸１２ｂまたは第３駆動軸１２ｃを意味している。また、慣性センサ１３と補償対象の駆動軸との間に存在する補償対象以外の駆動軸とは、補償対象の駆動軸が第１駆動軸１２ａである場合、第２駆動軸１２ｂ、第３駆動軸１２ｃ、第４駆動軸１２ｄ、第５駆動軸１２ｅおよび第６駆動軸１２ｆを意味している。また、慣性センサ１３と補償対象の駆動軸との間に存在する補償対象以外の駆動軸とは、補償対象の駆動軸が第２駆動軸１２ｂまたは第３駆動軸１２ｃである場合、第４駆動軸１２ｄ、第５駆動軸１２ｅおよび第６駆動軸１２ｆを意味している。以下、制御装置２０による補償量の取得について詳細に説明する。
【0033】
〈補償量取得の理論〉
まず、補償量の取得の理論について説明する。
まず、補償量の取得の理論について説明する。
【0034】
振動の運動方程式は、以下の式（１）により表される。
ここで、
Ｍ：アーム質量
Ｗ：振動による指令の位置と実際の位置とのずれ量
Ｚ：補償量
ｋ：ばね定数
である。
【数1】
Ｍ：アーム質量
Ｗ：振動による指令の位置と実際の位置とのずれ量
Ｚ：補償量
ｋ：ばね定数
である。
【0035】
ずれ量Ｗが非ゼロである場合、ずれ量Ｗをゼロに収束させる。この場合、Ｆを係数として補償量Ｚを以下の式（２）により表すと、ずれ量Ｗの２階微分の項は、以下の式（３）により表される。
【数2】
【0036】
式（３）では、ずれ量Ｗの２階微分の項に対して１階微分の項の係数が－Ｆである。このため、ずれ量Ｗは、時定数１／Ｆで収束することになる。したがって、位置補償量は、以下の式（４）により表される。また、速度補償量は、以下の式（５）により表される。
ここで、
Ｚｐ：位置補償量
Ｚｖ：速度補償量
である。
【数3】
Ｚｐ：位置補償量
Ｚｖ：速度補償量
である。
【0037】
また、ずれ量Ｗの１階微分の項は、アーム１１の実速度と、速度指令とを用いて、以下の式（６）により表される。また、ずれ量Ｗの２階微分の項は、アーム１１の実加速度と、加速度指令とを用いて、以下の式（７）により表される。
ここで、
ＶＦＢ：アーム１１の実速度
ＶＦＦ：速度指令
ＡＦＢ：アーム１１の実加速度
ＡＦＦ：加速度指令
である。
【数4】
ＶＦＢ：アーム１１の実速度
ＶＦＦ：速度指令
ＡＦＢ：アーム１１の実加速度
ＡＦＦ：加速度指令
である。
【0038】
このため、位置補償量および速度補償量は、それぞれ、以下の式（８）および（９）により表される。
【数5】
【0039】
アーム１１の実速度に、補償対象の駆動軸に対する角速度センサ１３ａの傾きを補正すること、および、角速度センサ１３ａと補償対象の駆動軸との間に存在する補償対象以外の駆動軸の角速度成分を補正することを行った角速度センサ１３ａの検出結果を用いる。また、アーム１１の実加速度に、補償対象の駆動軸に対する加速度センサ１３ｂの傾きを補正すること、および、加速度センサ１３ｂの検出結果に含まれる重力加速度成分を除去することを行った加速度センサ１３ｂの検出結果を用いる。
【0040】
〈角速度センサの検出結果の補正〉
角速度センサ１３ａの検出結果の補正について説明する。
角速度センサ１３ａの検出結果の補正について説明する。
【0041】
補償対象の駆動軸に対する角速度センサ１３ａの傾きが、ロボット本体１０の姿勢に応じて変化するため、補償対象の駆動軸に対する角速度センサ１３ａの傾きが補正される。具体的には、補償対象の駆動軸に対する角速度センサ１３ａの傾きを補正することを行った角速度センサ１３ａの検出結果は、補償対象の駆動軸が第１駆動軸１２ａである場合、以下の式（１０）により表される。また、補償対象の駆動軸に対する角速度センサ１３ａの傾きを補正することを行った角速度センサ１３ａの検出結果は、補償対象の駆動軸が第２駆動軸１２ｂまたは第３駆動軸１２ｃである場合、以下の式（１１）により表される。なお、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの各々の回転軸線が平行であり、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの動作方向が同じであるため、第２駆動軸１２ｂにおいて第３駆動軸１２ｃの傾きを補正する必要がない。
ここで、
Ｖｓｅｎｓｏｒ：角速度センサ１３ａの検出結果
Ｖｆｉｘ：補正後の角速度センサ１３ａの検出結果
Ｔ＿ＬＸ＿ＪＹ：第Ｘリンクから第Ｙ駆動軸への座標変換行列
Ｔ＿ＪＸ＿ＬＹ：第Ｘ駆動軸から第Ｙリンクへの座標変換行列
である。
【数6】
Ｖｓｅｎｓｏｒ：角速度センサ１３ａの検出結果
Ｖｆｉｘ：補正後の角速度センサ１３ａの検出結果
Ｔ＿ＬＸ＿ＪＹ：第Ｘリンクから第Ｙ駆動軸への座標変換行列
Ｔ＿ＪＸ＿ＬＹ：第Ｘ駆動軸から第Ｙリンクへの座標変換行列
である。
【0042】
式（１０）では、角速度センサ１３ａと補償対象の駆動軸１２ａとの間に存在する補償対象以外の駆動軸１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆの傾きに基づいて角速度センサ１３ａの検出結果が補正されることにより、補償対象の駆動軸１２ａに対する角速度センサ１３ａの傾きが補正されている。また、式（１１）では、角速度センサ１３ａと補償対象の駆動軸１２ｂまたは１２ｃとの間に存在する補償対象以外の駆動軸１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆの傾きに基づいて角速度センサ１３ａの検出結果が補正されることにより、補償対象の駆動軸１２ｂまたは１２ｃに対する角速度センサ１３ａの傾きが補正されている。また、式（１０）および（１１）のいずれにおいても、角速度センサ１３ａの検出結果に対して補償対象以外の駆動軸の座標変換が行われることにより、補償対象の駆動軸に対する角速度センサ１３ａの傾きが補正されている。
【0043】
また、角速度センサ１３ａの検出結果には、補償対象以外の駆動軸の角速度成分が含まれているため、角速度センサ１３ａの検出結果に対して補償対象以外の駆動軸の角速度成分が補正される。具体的には、補償対象以外の駆動軸のエンコーダの情報に基づいて、補償対象以外の駆動軸の角速度成分が取得される。そして、取得された補償対象以外の駆動軸の角速度成分が角速度センサ１３ａの検出結果から差分されることにより、角速度センサ１３ａの検出結果に対して補償対象以外の駆動軸の角速度成分が補正される。
【0044】
補償対象の駆動軸が第１駆動軸１２ａである場合、補償対象以外の駆動軸１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆの角速度成分が角速度センサ１３ａの検出結果から差分されることにより、角速度センサ１３ａの検出結果に対して補償対象以外の駆動軸１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆの角速度成分が補正される。また、補償対象の駆動軸が第２駆動軸１２ｂまたは第３駆動軸１２ｃである場合、補償対象以外の駆動軸１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆの角速度成分が角速度センサ１３ａの検出結果から差分されることにより、角速度センサ１３ａの検出結果に対して補償対象以外の駆動軸１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆの角速度成分が補正される。なお、補償対象の駆動軸が第１駆動軸１２ａである場合、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの角速度成分は影響しないため、必ずしも差分する必要はない。
【0045】
図３は、角速度センサ１３ａの検出結果の補正を例示している。図３に示すように、座標変換行列Ｔ＿Ｌ５＿Ｊ６が取得される。また、第６駆動軸１２ｆの位置指令Ｐｏｓｆｆ＿ＪＴ６に基づいて、座標変換行列Ｔ＿Ｊ６＿Ｌ６が取得される。また、角速度センサ１３ａから検出結果Ｖｓｅｎｓｏｒが取得される。そして、座標変換行列Ｔ＿Ｊ６＿Ｌ６と、座標変換行列Ｔ＿Ｌ５＿Ｊ６と、検出結果Ｖｓｅｎｓｏｒとが乗算されることにより、第６駆動軸１２ｆの傾きを補正することを行った検出結果Ｖ＿ＪＴ６＿１が取得される。
【0046】
また、第６駆動軸１２ｆのエンコーダ４２ｆの情報に基づいて、第６駆動軸１２ｆの角速度成分ｍｏｔ＿ＦＢ６が取得される。そして、第６駆動軸１２ｆの角速度成分ｍｏｔ＿ＦＢ６が検出結果Ｖ＿ＪＴ６＿１から差分されることにより、第６駆動軸１２ｆの傾きを補正すること、および、第６駆動軸１２ｆの角速度成分を補正することを行った検出結果Ｖ＿ＪＴ６＿２が取得される。
【0047】
そして、座標変換行列Ｔ＿Ｌ４＿Ｊ５が取得される。また、第５駆動軸１２ｅの位置指令Ｐｏｓｆｆ＿ＪＴ５に基づいて、座標変換行列Ｔ＿Ｊ５＿Ｌ５が取得される。そして、座標変換行列Ｔ＿Ｊ５＿Ｌ５と、座標変換行列Ｔ＿Ｌ４＿Ｊ５と、検出結果Ｖ＿ＪＴ６＿２とが乗算されることにより、第６駆動軸１２ｆの傾きを補正すること、第６駆動軸１２ｆの角速度成分を補正すること、および、第５駆動軸１２ｅの傾きを補正することを行った検出結果Ｖ＿ＪＴ５＿１が取得される。
【0048】
また、第５駆動軸１２ｅのエンコーダ４２ｅの情報に基づいて、第５駆動軸１２ｅの角速度成分ｍｏｔ＿ＦＢ５が取得される。そして、第５駆動軸１２ｅの角速度成分ｍｏｔ＿ＦＢ５が検出結果Ｖ＿ＪＴ５＿１から差分されることにより、第６駆動軸１２ｆの傾きを補正すること、第６駆動軸１２ｆの角速度成分を補正すること、第５駆動軸１２ｅの傾きを補正すること、および、第５駆動軸１２ｅの角速度成分を補正することを行った検出結果Ｖ＿ＪＴ５＿２が取得される。なお、図３では、図示の都合上、第５駆動軸１２ｅおよび第６駆動軸１２ｆの補正のみを図示しているが、補償対象の駆動軸が第１駆動軸１２ａである場合、第４駆動軸１２ｄ、第３駆動軸１２ｃおよび第２駆動軸１２ｂまで補正が同様に行われる。また、補償対象の駆動軸が第２駆動軸１２ｂまたは第３駆動軸１２ｃである場合、第４駆動軸１２ｄまで補正が同様に行われる。そして、最終的に得られた値が、Ｖｆｉｘとなり、位置補償量の取得のために用いられる。
【0049】
〈加速度センサの検出結果の補正〉
加速度センサ１３ｂの検出結果の補正について説明する。
加速度センサ１３ｂの検出結果の補正について説明する。
【0050】
加速度センサ１３ｂの検出結果には、重力加速度成分が不可避的に含まれるため、加速度センサ１３ｂの検出結果に含まれる重力加速度成分が除去される。具体的には、複数の駆動軸１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆの座標変換行列に基づいて、回転行列は、以下の式（１２）により表される。また、重力加速度成分は、以下の式（１３）により表される。そして、加速度センサ１３ｂの検出結果に含まれる重力加速度成分を除去することを行った加速度センサ１３ｂの検出結果は、以下の式（１４）により表される。
ここで、
Ｒ：回転行列
Ｇ：重力加速度成分
ｇ：重力加速度
Ａｓｅｎｓｏｒ：加速度センサ１３ｂの検出結果
Ａｇｒａｖ：重力加速度成分の除去後の加速度センサ１３ｂの検出結果
Ｔ＿Ｌ０＿Ｊ１：基台１１ｇから第１駆動軸１２ａへの座標変換行列
である。
【数7】
Ｒ：回転行列
Ｇ：重力加速度成分
ｇ：重力加速度
Ａｓｅｎｓｏｒ：加速度センサ１３ｂの検出結果
Ａｇｒａｖ：重力加速度成分の除去後の加速度センサ１３ｂの検出結果
Ｔ＿Ｌ０＿Ｊ１：基台１１ｇから第１駆動軸１２ａへの座標変換行列
である。
【0051】
式（１２）および（１３）では、複数の駆動軸１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆの座標変換行列に基づく回転行列に基づいて重力加速度成分が取得されている。また、式（１４）では、重力加速度成分が慣性センサ１３の検出結果から差分されることにより、慣性センサ１３の検出結果に含まれる重力加速度成分が除去されている。
【0052】
また、補償対象の駆動軸に対する加速度センサ１３ｂの傾きが、ロボット本体１０の姿勢に応じて変化するため、補償対象の駆動軸に対する加速度センサ１３ｂの傾きが補正される。補償対象の駆動軸に対する加速度センサ１３ｂの傾きを補正することを行った加速度センサ１３ｂの検出結果は、補償対象の駆動軸が第１駆動軸１２ａである場合、以下の式（１５）により表される。また、補償対象の駆動軸に対する加速度センサ１３ｂの傾きを補正することを行った加速度センサ１３ｂの検出結果は、補償対象の駆動軸が第２駆動軸１２ｂまたは第３駆動軸１２ｃである場合、以下の式（１６）により表される。なお、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの各々の回転軸線が平行であり、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの動作方向が同じであるため、第２駆動軸１２ｂにおいて第３駆動軸１２ｃの傾きを補正する必要がない。
ここで、
Ａｇｒａｖ：重力加速度成分の除去後の加速度センサ１３ｂの検出結果
Ａｆｉｘ：補正後の加速度センサ１３ｂの検出結果
である。
【数8】
Ａｇｒａｖ：重力加速度成分の除去後の加速度センサ１３ｂの検出結果
Ａｆｉｘ：補正後の加速度センサ１３ｂの検出結果
である。
【0053】
式（１５）では、加速度センサ１３ｂと補償対象の駆動軸１２ａとの間に存在する補償対象以外の駆動軸１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆの傾きに基づいて加速度センサ１３ｂの検出結果が補正されることにより、補償対象の駆動軸１２ａに対する加速度センサ１３ｂの傾きが補正されている。また、式（１６）では、加速度センサ１３ｂと補償対象の駆動軸１２ｂまたは１２ｃとの間に存在する補償対象以外の駆動軸１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆの傾きに基づいて加速度センサ１３ｂの検出結果が補正されることにより、補償対象の駆動軸１２ｂまたは１２ｃに対する加速度センサ１３ｂの傾きが補正されている。また、式（１５）および（１６）のいずれにおいても、加速度センサ１３ｂの検出結果に対して補償対象以外の駆動軸の座標変換が行われることにより、補償対象の駆動軸に対する加速度センサ１３ｂの傾きが補正されている。
【0054】
図４は、加速度センサ１３ｂの検出結果の補正を例示している。図４に示すように、回転行列Ｒに基づく重力加速度成分Ｇが取得される。また、加速度センサ１３ｂから検出結果Ａｓｅｎｓｏｒが取得される。そして、重力加速度成分Ｇが検出結果Ａｓｅｎｓｏｒから差分されることにより、重力加速度成分Ｇを除去することを行った検出結果Ａｇｒａｖが取得される。
【0055】
また、座標変換行列Ｔ＿Ｌ５＿Ｊ６が取得される。また、第６駆動軸１２ｆの位置指令Ｐｏｓｆｆ＿ＪＴ６に基づいて、座標変換行列Ｔ＿Ｊ６＿Ｌ６が取得される。そして、座標変換行列Ｔ＿Ｊ６＿Ｌ６と、座標変換行列Ｔ＿Ｌ５＿Ｊ６と、検出結果Ａｇｒａｖとが乗算されることにより、重力加速度成分Ｇを除去すること、および、第６駆動軸１２ｆの傾きを補正することを行った検出結果Ａ＿ＪＴ６が取得される。
【0056】
そして、座標変換行列Ｔ＿Ｌ４＿Ｊ５が取得される。また、第５駆動軸１２ｅの位置指令Ｐｏｓｆｆ＿ＪＴ５に基づいて、座標変換行列Ｔ＿Ｊ５＿Ｌ５が取得される。そして、座標変換行列Ｔ＿Ｊ５＿Ｌ５と、座標変換行列Ｔ＿Ｌ４＿Ｊ５と、検出結果Ａ＿ＪＴ６とが乗算されることにより、重力加速度成分Ｇを除去すること、第６駆動軸１２ｆの傾きを補正すること、および、第５駆動軸１２ｅの傾きを補正することを行った検出結果Ｖ＿ＪＴ５が取得される。
【0057】
なお、図４では、図示の都合上、第５駆動軸１２ｅおよび第６駆動軸１２ｆの補正のみを図示しているが、補償対象の駆動軸が第１駆動軸１２ａである場合、第４駆動軸１２ｄ、第３駆動軸１２ｃおよび第２駆動軸１２ｂまで補正が同様に行われる。また、補償対象の駆動軸が第２駆動軸１２ｂまたは第３駆動軸１２ｃである場合、第４駆動軸１２ｄまで補正が同様に行われる。そして、最終的に得られた値が、Ａｆｉｘとなり、速度補償量の取得のために用いられる。
【0058】
〈第１駆動軸の位置補償量の取得〉
第１駆動軸１２ａの位置補償量の取得について説明する。
第１駆動軸１２ａの位置補償量の取得について説明する。
【0059】
図５は、上記式（８）に基づく第１駆動軸１２ａの位置補償量の取得を例示している。図５に示すように、補償対象の駆動軸１２ａに対する角速度センサ１３ａの傾きを補正すること、および、角速度センサ１３ａと補償対象の駆動軸１２ａとの間に存在する補償対象以外の駆動軸１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆの角速度成分を補正することを行った角速度センサ１３ａの検出結果Ｖｆｉｘ＿ＪＴ１が取得される。また、第１駆動軸１２ａの角速度指令ＶＦＦ＿ＪＴ１が取得される。そして、検出結果Ｖｆｉｘ＿ＪＴ１が角速度指令ＶＦＦ＿ＪＴ１から差分されることにより、（ＶＦＦ＿ＪＴ１－Ｖｆｉｘ＿ＪＴ１）が取得される。また、第１駆動軸１２ａ周りのイナーシャＨ００が取得される。また、アーム１１のばね定数Ｋｓ１が取得される。そして、（ＶＦＦ＿ＪＴ１－Ｖｆｉｘ＿ＪＴ１）と、イナーシャＨ００とが乗算されるとともに、ばね定数Ｋｓ１が除算されることにより、第１駆動軸１２ａの位置補償量Ｚｐ＿ＪＴ１が取得される。位置補償量Ｚｐ＿ＪＴ１は、所定のゲインが乗算されるとともに、電流指令に変換されて、モータ４１ａの電流指令にフィードバックされる。なお、モータ４１ａの電流指令にフィードバックされる際には、位置補償量Ｚｐ＿ＪＴ１から、ハイパスフィルタにより、ノイズやオフセットなどの低周波数成分が除去される。
【0060】
〈第１駆動軸の速度補償量の取得〉
第１駆動軸１２ａの速度補償量の取得について説明する。
第１駆動軸１２ａの速度補償量の取得について説明する。
【0061】
図６は、上記式（９）に基づく第１駆動軸１２ａの速度補償量の取得を例示している。図６に示すように、補償対象の駆動軸１２ａに対する加速度センサ１３ｂの傾きを補正すること、および、加速度センサ１３ｂの検出結果に含まれる重力加速度成分を除去することを行った加速度センサ１３ｂの検出結果Ａｆｉｘ＿ＪＴ１が取得される。また、第１駆動軸１２ａの加速度指令ＡＦＦ＿ＪＴ１が取得される。具体的には、加速度センサ１３ｂの傾きの補正と同様に、アーム１１の先端の加速度指令に対して、補償対象の駆動軸１２ａ以外の駆動軸１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆの座標変換を行うことにより、第１駆動軸１２ａの加速度指令ＡＦＦ＿ＪＴ１が取得される。
【0062】
そして、検出結果Ａｆｉｘ＿ＪＴ１が角速度指令ＡＦＦ＿ＪＴ１から差分されることにより、（ＡＦＦ＿ＪＴ１－Ａｆｉｘ＿ＪＴ１）が取得される。また、第１駆動軸１２ａ周りのイナーシャＨ００が取得される。また、アーム１１のばね定数Ｋｓ１が取得される。そして、（ＡＦＦ＿ＪＴ１－Ａｆｉｘ＿ＪＴ１）と、イナーシャＨ００とが乗算されるとともに、ばね定数Ｋｓ１が除算されることにより、第１駆動軸１２ａの速度補償量Ｚｖ＿ＪＴ１が取得される。速度補償量Ｚｖ＿ＪＴ１は、所定のゲインが乗算されるとともに、電流指令に変換されて、モータ４１ａの電流指令にフィードバックされる。なお、モータ４１ａの電流指令にフィードバックされる際には、電流補償量Ｚｖ＿ＪＴ１から、ハイパスフィルタにより、ノイズやオフセットなどの低周波数成分が除去される。
【0063】
〈第２、３駆動軸の位置補償量の取得〉
第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの位置補償量の取得について説明する。第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの各々の回転軸線が平行であり、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの動作方向が同じであるため、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの慣性の干渉に基づいて、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｄの各々の位置補償量が取得される。
第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの位置補償量の取得について説明する。第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの各々の回転軸線が平行であり、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの動作方向が同じであるため、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの慣性の干渉に基づいて、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｄの各々の位置補償量が取得される。
【0064】
図７は、上記式（８）に基づく第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの位置補償量の取得を例示している。図７に示すように、補償対象の駆動軸１２ｂまたは１２ｃに対する角速度センサ１３ａの傾きを補正すること、および、角速度センサ１３ａと補償対象の駆動軸１２ｂまたは１２ｃとの間に存在する補償対象以外の駆動軸１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆの角速度成分を補正することを行った角速度センサ１３ａの検出結果Ｖｆｉｘ＿ＪＴ２，３が取得される。また、第２駆動軸１２ｂの角速度指令ＶＦＦ＿ＪＴ２が取得される。また、第３駆動軸１２ｃの角速度指令ＶＦＦ＿ＪＴ３が取得される。そして、角速度指令ＶＦＦ＿ＪＴ２と角速度指令ＶＦＦ＿ＪＴ２とが加算されるとともに、検出結果Ｖｆｉｘ＿ＪＴ２，３が差分されることにより、（ＶＦＦ＿ＪＴ２＋ＶＦＦ＿ＪＴ３－Ｖｆｉｘ＿ＪＴ２，３）が取得される。
【0065】
また、第２駆動軸１２ｂ周りのイナーシャＨ１１が取得される。また、第２駆動軸１２ｂのばね定数Ｋｓ２が取得される。そして、イナーシャＨ１１からばね定数Ｋｓ２が除算されることにより、Ｈ１１／Ｋｓ２が取得される。また、Ｈ１１／Ｋｓ２とアームばね定数Ｋａとが加算されることにより、（Ｈ１１／Ｋｓ２＋Ｋａ）が取得される。そして、（Ｈ１１／Ｋｓ２＋Ｋａ）と（ＶＦＦ＿ＪＴ２＋ＶＦＦ＿ＪＴ３－Ｖｆｉｘ＿ＪＴ２，３）とが乗算されることにより、（Ｈ１１／Ｋｓ２＋Ｋａ）×（ＶＦＦ＿ＪＴ２＋ＶＦＦ＿ＪＴ３－Ｖｆｉｘ＿ＪＴ２，３）が取得される。
【0066】
また、第２駆動軸１２ｂと第３駆動軸１２ｃとの間の干渉イナーシャＨ１２が取得される。また、第２駆動軸１２ｂのばね定数Ｋｓ２が取得される。そして、干渉イナーシャＨ１２からばね定数Ｋｓ２が除算されることにより、Ｈ１２／Ｋｓ２が取得される。また、Ｈ１２／Ｋｓ２とアームばね定数Ｋｂとが加算されることにより、（Ｈ１２／Ｋｓ２＋Ｋｂ）が取得される。そして、（Ｈ１２／Ｋｓ２＋Ｋｂ）と（ＶＦＦ＿ＪＴ２＋ＶＦＦ＿ＪＴ３－Ｖｆｉｘ＿ＪＴ２，３）とが乗算されることにより、（Ｈ１２／Ｋｓ２＋Ｋｂ）×（ＶＦＦ＿ＪＴ２＋ＶＦＦ＿ＪＴ３－Ｖｆｉｘ＿ＪＴ２，３）が取得される。
【0067】
そして、（Ｈ１１／Ｋｓ２＋Ｋａ）×（ＶＦＦ＿ＪＴ２＋ＶＦＦ＿ＪＴ３－Ｖｆｉｘ＿ＪＴ２，３）と、（Ｈ１２／Ｋｓ２＋Ｋｂ）×（ＶＦＦ＿ＪＴ２＋ＶＦＦ＿ＪＴ３－Ｖｆｉｘ＿ＪＴ２，３）とが加算されることにより、第２駆動軸１２ｂの位置補償量Ｚｐ＿ＪＴ２が取得される。
【0068】
また、第３駆動軸１２ｃ周りのイナーシャＨ２２が取得される。また、第３駆動軸１２ｃのばね定数Ｋｓ３が取得される。そして、イナーシャＨ２２からばね定数Ｋｓ３が除算されることにより、Ｈ２２／Ｋｓ３が取得される。また、Ｈ２２／Ｋｓ３とアームばね定数Ｋｄとが加算されることにより、（Ｈ２２／Ｋｓ３＋Ｋｄ）が取得される。そして、（Ｈ２２／Ｋｓ３＋Ｋｄ）と（ＶＦＦ＿ＪＴ２＋ＶＦＦ＿ＪＴ３－Ｖｆｉｘ＿ＪＴ２，３）とが乗算されることにより、（Ｈ２２／Ｋｓ３＋Ｋｄ）×（ＶＦＦ＿ＪＴ２＋ＶＦＦ＿ＪＴ３－Ｖｆｉｘ＿ＪＴ２，３）が取得される。
【0069】
また、第２駆動軸１２ｂと第３駆動軸１２ｃとの間の干渉イナーシャＨ１２が取得される。また、第３駆動軸１２ｂのばね定数Ｋｓ３が取得される。そして、干渉イナーシャＨ１２からばね定数Ｋｓ３が除算されることにより、Ｈ１２／Ｋｓ３が取得される。また、Ｈ１２／Ｋｓ３とアームばね定数Ｋｃとが加算されることにより、（Ｈ１２／Ｋｓ３＋Ｋｃ）が取得される。そして、（Ｈ１２／Ｋｓ３＋Ｋｃ）と（ＶＦＦ＿ＪＴ２＋ＶＦＦ＿ＪＴ３－Ｖｆｉｘ＿ＪＴ２，３）とが乗算されることにより、（Ｈ１２／Ｋｓ３＋Ｋｃ）×（ＶＦＦ＿ＪＴ２＋ＶＦＦ＿ＪＴ３－Ｖｆｉｘ＿ＪＴ２，３）が取得される。
【0070】
そして、（Ｈ２２／Ｋｓ３＋Ｋｄ）×（ＶＦＦ＿ＪＴ２＋ＶＦＦ＿ＪＴ３－Ｖｆｉｘ＿ＪＴ２，３）と、（Ｈ１２／Ｋｓ３＋Ｋｃ）×（ＶＦＦ＿ＪＴ２＋ＶＦＦ＿ＪＴ３－Ｖｆｉｘ＿ＪＴ２，３）とが加算されることにより、第３駆動軸１２ｃの位置補償量Ｚｐ＿ＪＴ３が取得される。
【0071】
位置補償量Ｚｐ＿ＪＴ２および位置補償量Ｚｐ＿ＪＴ３の各々は、所定のゲインが乗算されるとともに、電流指令に変換されて、モータ４１ｂおよびモータ４１ｃの各々の電流指令にフィードバックされる。また、モータ４１ｂおよびモータ４１ｃの各々の電流指令にフィードバックされる際には、位置補償量Ｚｐ＿ＪＴ２および位置補償量Ｚｐ＿ＪＴ３から、ハイパスフィルタにより、ノイズやオフセットなどの低周波数成分が除去される。
【0072】
〈第２駆動軸の速度補償量の取得〉
第２駆動軸１２ｂの位置補償量の取得について説明する。第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの各々の回転軸線が平行であり、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの動作方向が同じであるため、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの慣性の干渉に基づいて、第２駆動軸１２ｂの速度補償量が取得される。
第２駆動軸１２ｂの位置補償量の取得について説明する。第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの各々の回転軸線が平行であり、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの動作方向が同じであるため、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの慣性の干渉に基づいて、第２駆動軸１２ｂの速度補償量が取得される。
【0073】
図８は、上記式（９）に基づく第２駆動軸１２ｂの速度補償量の取得を例示している。図８に示すように、補償対象の駆動軸１２ｂに対する加速度センサ１３ｂの傾きを補正すること、および、加速度センサ１３ｂの検出結果に含まれる重力加速度成分を除去することを行った加速度センサ１３ｂの検出結果Ａｆｉｘ＿ＪＴ２，３が取得される。また、第２駆動軸１２ｂの加速度指令ＡＦＦ＿ＪＴ２が取得される。具体的には、加速度センサ１３ｂの傾きの補正と同様に、アーム１１の先端の加速度指令に対して、補償対象の駆動軸１２ｂ以外の駆動軸１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆの座標変換を行うことにより、第２駆動軸１２ｂの加速度指令ＡＦＦ＿ＪＴ２が取得される。そして、加速度指令ＡＦＦ＿ＪＴ２から検出結果Ａｆｉｘ＿ＪＴ２，３が差分されることにより、（ＡＦＦ＿ＪＴ２－Ａｆｉｘ＿ＪＴ２，３）が取得される。
【0074】
また、第２駆動軸１２ｂ周りのイナーシャＨ１１が取得される。また、第２駆動軸１２ｂのばね定数Ｋｓ２が取得される。そして、イナーシャＨ１１からばね定数Ｋｓ２が除算されることにより、Ｈ１１／Ｋｓ２が取得される。また、Ｈ１１／Ｋｓ２とアームばね定数Ｋａとが加算されることにより、（Ｈ１１／Ｋｓ２＋Ｋａ）が取得される。そして、（Ｈ１１／Ｋｓ２＋Ｋａ）と（ＡＦＦ＿ＪＴ２－Ａｆｉｘ＿ＪＴ２，３）とが乗算されることにより、（Ｈ１１／Ｋｓ２＋Ｋａ）×（ＡＦＦ＿ＪＴ２－Ａｆｉｘ＿ＪＴ２，３）が取得される。
【0075】
また、第２駆動軸１２ｂと第３駆動軸１２ｃとの間の干渉イナーシャＨ１２が取得される。また、第２駆動軸１２ｂのばね定数Ｋｓ２が取得される。そして、干渉イナーシャＨ１２からばね定数Ｋｓ２が除算されることにより、Ｈ１２／Ｋｓ２が取得される。また、Ｈ１２／Ｋｓ２とアームばね定数Ｋｂとが加算されることにより、（Ｈ１２／Ｋｓ２＋Ｋｂ）が取得される。そして、（Ｈ１２／Ｋｓ２＋Ｋｂ）と（ＡＦＦ＿ＪＴ２－Ａｆｉｘ＿ＪＴ２，３）とが乗算されることにより、（Ｈ１２／Ｋｓ２＋Ｋｂ）×（ＡＦＦ＿ＪＴ２－Ａｆｉｘ＿ＪＴ２，３）が取得される。
【0076】
そして、（Ｈ１１／Ｋｓ２＋Ｋａ）×（ＡＦＦ＿ＪＴ２－Ａｆｉｘ＿ＪＴ２，３）と、（Ｈ１２／Ｋｓ２＋Ｋｂ）×（Ｈ１２／Ｋｓ２＋Ｋｂ）×（ＡＦＦ＿ＪＴ２－Ａｆｉｘ＿ＪＴ２，３）とが加算されることにより、第２駆動軸１２ｂの速度補償量Ｚｖ＿ＪＴ２が取得される。速度補償量Ｚｖ＿ＪＴ２は、所定のゲインが乗算されるとともに、電流指令に変換されて、モータ４１ｂの電流指令にフィードバックされる。また、モータ４１ｂの電流指令にフィードバックされる際には、速度補償量Ｚｖ＿ＪＴ２から、ハイパスフィルタにより、ノイズやオフセットなどの低周波数成分が除去される。
【0077】
〈第３駆動軸の速度補償量の取得〉
第３駆動軸１２ｃの位置補償量の取得について説明する。第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの各々の回転軸線が平行であり、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの動作方向が同じであるため、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの慣性の干渉に基づいて、第３駆動軸１２ｃの速度補償量が取得される。
第３駆動軸１２ｃの位置補償量の取得について説明する。第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの各々の回転軸線が平行であり、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの動作方向が同じであるため、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの慣性の干渉に基づいて、第３駆動軸１２ｃの速度補償量が取得される。
【0078】
図９は、上記式（９）に基づく第３駆動軸１２ｃの速度補償量の取得を例示している。図９に示すように、補償対象の駆動軸１２ｂに対する加速度センサ１３ｂの傾きを補正すること、および、加速度センサ１３ｂの検出結果に含まれる重力加速度成分を除去することを行った加速度センサ１３ｂの検出結果Ａｆｉｘ＿ＪＴ２，３が取得される。また、第３駆動軸１２ｃの加速度指令ＡＦＦ＿ＪＴ３が取得される。具体的には、加速度センサ１３ｂの傾きの補正と同様に、アーム１１の先端の加速度指令に対して、補償対象の駆動軸１２ｃ以外の駆動軸１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆの座標変換を行うことにより、第３駆動軸１２ｃの加速度指令ＡＦＦ＿ＪＴ３が取得される。そして、加速度指令ＡＦＦ＿ＪＴ３から検出結果Ａｆｉｘ＿ＪＴ２，３が差分されることにより、（ＡＦＦ＿ＪＴ３－Ａｆｉｘ＿ＪＴ２，３）が取得される。
【0079】
また、第３駆動軸１２ｃ周りのイナーシャＨ２２が取得される。また、第３駆動軸１２ｃのばね定数Ｋｓ３が取得される。そして、イナーシャＨ２２からばね定数Ｋｓ３が除算されることにより、Ｈ２２／Ｋｓ３が取得される。また、Ｈ２２／Ｋｓ３とアームばね定数Ｋｄとが加算されることにより、（Ｈ２２／Ｋｓ３＋Ｋｄ）が取得される。そして、（Ｈ２２／Ｋｓ３＋Ｋｄ）と（ＡＦＦ＿ＪＴ３－Ａｆｉｘ＿ＪＴ２，３）とが乗算されることにより、（Ｈ２２／Ｋｓ３＋Ｋｄ）×（ＡＦＦ＿ＪＴ３－Ａｆｉｘ＿ＪＴ２，３）が取得される。
【0080】
また、第２駆動軸１２ｂと第３駆動軸１２ｃとの間の干渉イナーシャＨ１２が取得される。また、第３駆動軸１２ｂのばね定数Ｋｓ３が取得される。そして、干渉イナーシャＨ１２からばね定数Ｋｓ３が除算されることにより、Ｈ１２／Ｋｓ３が取得される。また、Ｈ１２／Ｋｓ３とアームばね定数Ｋｃとが加算されることにより、（Ｈ１２／Ｋｓ３＋Ｋｃ）が取得される。そして、（Ｈ１２／Ｋｓ３＋Ｋｃ）と（ＡＦＦ＿ＪＴ３－Ａｆｉｘ＿ＪＴ２，３）とが乗算されることにより、（Ｈ１２／Ｋｓ３＋Ｋｃ）×（ＡＦＦ＿ＪＴ３－Ａｆｉｘ＿ＪＴ２，３）が取得される。
【0081】
そして、（Ｈ２２／Ｋｓ３＋Ｋｄ）×（ＡＦＦ＿ＪＴ３－Ａｆｉｘ＿ＪＴ２，３）と、（Ｈ１２／Ｋｓ３＋Ｋｃ）×（ＡＦＦ＿ＪＴ３－Ａｆｉｘ＿ＪＴ２，３）とが加算されることにより、第３駆動軸１２ｃの速度補償量Ｚｖ＿ＪＴ３が取得される。速度補償量Ｚｖ＿ＪＴ３は、所定のゲインが乗算されるとともに、電流指令に変換されて、モータ４１ｂの電流指令にフィードバックされる。また、モータ４１ｂの電流指令にフィードバックされる際には、速度補償量Ｚｖ＿ＪＴ３から、ハイパスフィルタにより、ノイズやオフセットなどの低周波数成分が除去される。
【0082】
（位置補償量の取得に関する制御処理）
図１０を参照して、本実施形態のロボット１００による位置補償量の取得に関する制御処理をフローチャートに基づいて説明する。なお、フローチャートの各処理は、制御装置２０により行われる。
図１０を参照して、本実施形態のロボット１００による位置補償量の取得に関する制御処理をフローチャートに基づいて説明する。なお、フローチャートの各処理は、制御装置２０により行われる。
【0083】
図１０に示すように、ステップＳ１において、角速度センサ１３ａの検出結果が取得される。そして、ステップＳ２において、角速度センサ１３ａの検出結果が補正される。すなわち、補償対象の駆動軸に対する角速度センサ１３ａの傾きが補正される。また、補償対象以外の駆動軸の角速度成分が補正される。この際、補償対象の駆動軸が第１駆動軸１２ａである場合、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの角速度成分は影響しないため、必ずしも差分する必要はない。そして、ステップＳ３において、補正後の角速度センサ１３ａの検出結果と、補償対象の駆動軸の角速度指令とに基づいて、位置補償量が取得される。そして、ステップＳ４において、位置補償量が補償対象の駆動軸のモータの電流指令にフィードバックされる。
【0084】
（速度補償量の取得に関する制御処理）
図１１を参照して、本実施形態のロボット１００による速度補償量の取得に関する制御処理をフローチャートに基づいて説明する。なお、フローチャートの各処理は、制御装置２０により行われる。
図１１を参照して、本実施形態のロボット１００による速度補償量の取得に関する制御処理をフローチャートに基づいて説明する。なお、フローチャートの各処理は、制御装置２０により行われる。
【0085】
図１１に示すように、ステップＳ１１において、加速度センサ１３ｂの検出結果が取得される。そして、ステップＳ１２において、加速度センサ１３ｂの検出結果が補正される。すなわち、補償対象の駆動軸に対する加速度センサ１３ｂの傾きが補正される。また、加速度センサ１３ｂの検出結果に含まれる重力加速度成分が除去される。そして、ステップＳ１３において、補正後の加速度センサ１３ｂの検出結果と、補償対象の駆動軸の加速度指令とに基づいて、速度補償量が取得される。そして、ステップＳ１４において、速度補償量が補償対象の駆動軸のモータの電流指令にフィードバックされる。
【0086】
（本実施形態の効果）
本実施形態では、上記のように、慣性センサ１３の検出結果に対して振動の補償に関する補正を行い、補正した慣性センサ１３の検出結果に基づいて、振動に関する補償量を取得する制御装置２０を設ける。これにより、補正した慣性センサ１３の検出結果に基づいて、補償量を精度よく取得することができる。その結果、補償の精度を向上させることができるので、振動を精度よく抑制することができる。
本実施形態では、上記のように、慣性センサ１３の検出結果に対して振動の補償に関する補正を行い、補正した慣性センサ１３の検出結果に基づいて、振動に関する補償量を取得する制御装置２０を設ける。これにより、補正した慣性センサ１３の検出結果に基づいて、補償量を精度よく取得することができる。その結果、補償の精度を向上させることができるので、振動を精度よく抑制することができる。
【0087】
また、本実施形態では、上記のように、補償対象の駆動軸に対する慣性センサ１３の傾きを補正すること、および、慣性センサ１３の検出結果に含まれる重力加速度成分を除去することの少なくとも一方を行った慣性センサ１３の検出結果に基づいて、振動に関する補償量を取得する制御装置２０を設ける。これにより、補償対象の駆動軸に対する慣性センサ１３の傾きを補正する場合、ロボット本体１０の姿勢に応じて変化する慣性センサ１３の傾きを補正することができるので、補償量を精度よく取得することができる。また、慣性センサ１３の検出結果に含まれる重力加速度成分を除去する場合、慣性センサ１３の検出結果に不可避的に含まれる重力加速度成分を除去することができるので、補償量を精度よく取得することができる。その結果、補償の精度を向上させることができるので、振動を精度よく抑制することができる。
【0088】
また、本実施形態では、上記のように、制御装置２０は、慣性センサ１３と補償対象の駆動軸との間に存在する補償対象以外の駆動軸の傾きに基づいて慣性センサ１３の検出結果を補正する。これにより、補償対象の駆動軸に対する慣性センサ１３の傾きが、慣性センサ１３と補償対象の駆動軸との間に存在する補償対象以外の駆動軸の傾きに対応していることを利用して、補償対象の駆動軸に対する慣性センサ１３の傾きを容易にかつ精度よく補正することができるので、補償の精度を容易に向上させることができる。
【0089】
また、本実施形態では、上記のように、制御装置２０は、慣性センサ１３の検出結果に対して補償対象以外の駆動軸の座標変換を行う。これにより、座標変換を行うことにより、補償対象以外の駆動軸の傾きを補正できることを利用して、補償対象の駆動軸に対する慣性センサ１３の傾きをより容易にかつ精度よく補正することができるので、補償の精度をより容易に向上させることができる。
【0090】
また、本実施形態では、上記のように、制御装置２０は、複数の駆動軸１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆの座標変換行列に基づく回転行列に基づいて重力加速度成分を取得するとともに、取得した重力加速度成分を慣性センサ１３の検出結果から差分する。これにより、慣性センサ１３の検出結果に含まれる重力加速度成分を容易にかつ確実に除去することができるので、補償の精度を容易に向上させることができる。
【0091】
また、本実施形態では、上記のように、慣性センサ１３は、角速度センサ１３ａと、加速度センサ１３ｂと、を含み、制御装置２０は、角速度センサ１３ａの検出結果に基づいて、補償量として位置補償量を取得し、加速度センサ１３ｂの検出結果に基づいて、補償量として速度補償量を取得する。これにより、位置補償量および速度補償量の両方を考慮して、補償を行うことができるので、位置補償量および速度補償量のいずれか一方のみを考慮して、補償を行う場合に比べて、補償の精度を効果的に向上させることができる。
【0092】
また、本実施形態では、上記のように、制御装置２０は、補償対象の駆動軸に対する角速度センサ１３ａの傾きを補正すること、および、角速度センサ１３ａと補償対象の駆動軸との間に存在する補償対象以外の駆動軸の角速度成分を補正することを行った角速度センサ１３ａの検出結果と、補償対象の駆動軸の角速度指令とに基づいて、位置補償量を取得する。これにより、位置補償量を容易にかつ精度よく取得することができるので、位置補償量による補償の精度を容易に向上させることができる。
【0093】
また、本実施形態では、上記のように、制御装置２０は、補償対象の駆動軸に対する加速度センサ１３ｂの傾きを補正すること、および、加速度センサ１３ｂの検出結果に含まれる重力加速度成分を除去することを行った加速度センサ１３ｂの検出結果と、補償対象の駆動軸の加速度指令とに基づいて、速度補償量を取得する。これにより、速度補償量を容易にかつ精度よく取得することができるので、速度補償量による補償の精度を容易に向上させることができる。
【0094】
また、本実施形態では、上記のように、複数の駆動軸１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅおよび１２ｆは、基端側からこの順に配置された第１駆動軸１２ａ、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃを含み、制御装置２０は、第１駆動軸１２ａ、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの３つの駆動軸について、補償量を取得する。これにより、振動を抑制する効果が大きい基端側の第１駆動軸１２ａ、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃについて、補償量を取得して補償することができるので、振動を効果的に抑制することができる。
【0095】
また、本実施形態では、上記のように、第２駆動軸１２ｂの回転軸線Ａ２と、第３駆動軸１２ｃの回転軸線Ａ３とは、互いに平行であり、制御装置２０は、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの慣性の干渉に基づいて、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの各々の補償量を取得する。これにより、第２駆動軸１２ｂの回転軸線と第３駆動軸１２ｃの回転軸線とが互いに平行であるために、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの慣性の干渉が発生する場合にも、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの慣性の干渉を考慮して、第２駆動軸１２ｂおよび第３駆動軸１２ｃの各々の補償量を精度よく取得することができる。
【0096】
また、本実施形態では、上記のように、慣性センサ１３は、補償対象の駆動軸よりもアーム１１の先端側に配置されている。これにより、ワークを移動させることから振動が問題となるアーム１１の先端により近い位置において、慣性センサ１３による振動の検出を行うことができるので、慣性センサ１３の検出結果に基づいて、振動に関する補償を容易に行うことができる。
【0097】
また、本実施形態では、上記のように、慣性センサ１３は、アーム１１の先端に配置されている。これにより、アーム１１の先端により一層近い位置において、慣性センサ１３による振動の検出を行うことができるので、慣性センサ１３の検出結果に基づいて、振動に関する補償をより容易に行うことができる。
【0098】
また、本実施形態では、上記のように、ロボット本体１０は、６軸の垂直多関節型である。これにより、６軸の垂直多関節型のロボット本体１０において、補償の精度を向上させて、振動を精度よく抑制することができる。
【0099】
（変形例）
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本開示の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本開示の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。
【0100】
たとえば、上記実施形態では、補償対象の駆動軸に対する慣性センサの傾きを補正すること、および、慣性センサの検出結果に含まれる重力加速度成分を除去することの両方を行う例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、補償対象の駆動軸に対する慣性センサの傾きを補正すること、および、慣性センサの検出結果に含まれる重力加速度成分を除去することのいずれか一方のみを行ってもよい。また、補償対象の駆動軸に対する慣性センサの傾きを補正すること、および、慣性センサの検出結果に含まれる重力加速度成分を除去すること以外の振動の補償に関する補正を、慣性センサの検出結果に対して行ってもよい。
【0101】
また、上記実施形態では、慣性センサが、角速度センサと、加速度センサとを含む例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、慣性センサが、角速度センサと、加速度センサとのいずれか一方のみを含んでいてもよい。
【0102】
また、上記実施形態では、慣性センサが、アームの先端に配置されている例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、慣性センサが、アームの先端以外に配置されていてもよい。
【0103】
また、上記実施形態では、第１駆動軸、第２駆動軸および第３駆動軸について、補償量を取得する例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示は、第１駆動軸、第２駆動軸および第３駆動軸のいずれか１つまたは２について、補償量を取得してもよい。また、第１駆動軸、第２駆動軸および第３駆動軸以外の駆動軸について、補償量を取得してもよい。
【0104】
また、上記実施形態では、ロボット本体が、６軸の垂直多関節型である例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、ロボット本体が、６軸の垂直多関節型以外であってもよい。
【0105】
本明細書で開示する要素の機能は、開示された機能を実行するよう構成またはプログラムされた汎用プロセッサ、専用プロセッサ、集積回路、ＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔｓ）、従来の回路、および／または、それらの組み合わせ、を含む回路または処理回路を使用して実行できる。プロセッサは、トランジスタやその他の回路を含むため、処理回路または回路と見なされる。本開示において、回路、ユニット、または手段は、列挙された機能を実行するハードウェアであるか、または、列挙された機能を実行するようにプログラムされたハードウェアである。ハードウェアは、本明細書に開示されているハードウェアであってもよいし、あるいは、列挙された機能を実行するようにプログラムまたは構成されているその他の既知のハードウェアであってもよい。ハードウェアが回路の一種と考えられるプロセッサである場合、回路、手段、またはユニットはハードウェアとソフトウェアの組み合わせであり、ソフトウェアはハードウェアおよび／またはプロセッサの構成に用いられる。
【0106】
［態様］
上記した例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
上記した例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
【0107】
（項目１）
複数のリンクを有するアームと、前記複数のリンクを駆動する複数の駆動軸と、前記アームに配置された慣性センサと、を含む、ロボット本体と、補償対象の前記駆動軸に対する前記慣性センサの傾きを補正すること、および、前記慣性センサの検出結果に含まれる重力加速度成分を除去することの少なくとも一方を行って得られた前記慣性センサの検出結果に基づいて、振動に関する補償量を取得する制御装置と、を備える、ロボット。
複数のリンクを有するアームと、前記複数のリンクを駆動する複数の駆動軸と、前記アームに配置された慣性センサと、を含む、ロボット本体と、補償対象の前記駆動軸に対する前記慣性センサの傾きを補正すること、および、前記慣性センサの検出結果に含まれる重力加速度成分を除去することの少なくとも一方を行って得られた前記慣性センサの検出結果に基づいて、振動に関する補償量を取得する制御装置と、を備える、ロボット。
【0108】
（項目２）
前記制御装置は、前記慣性センサと補償対象の前記駆動軸との間に存在する補償対象以外の前記駆動軸の傾きに基づいて前記慣性センサの検出結果を補正する、項目１に記載のロボット。
前記制御装置は、前記慣性センサと補償対象の前記駆動軸との間に存在する補償対象以外の前記駆動軸の傾きに基づいて前記慣性センサの検出結果を補正する、項目１に記載のロボット。
【0109】
（項目３）
前記制御装置は、前記慣性センサの検出結果に対して補償対象以外の前記駆動軸の座標変換を行う、項目２に記載のロボット。
前記制御装置は、前記慣性センサの検出結果に対して補償対象以外の前記駆動軸の座標変換を行う、項目２に記載のロボット。
【0110】
（項目４）
前記制御装置は、前記複数の駆動軸の座標変換行列に基づく回転行列に基づいて重力加速度成分を取得するとともに、取得した重力加速度成分を前記慣性センサの検出結果から差分する、項目１から３のいずれか１項に記載のロボット。
前記制御装置は、前記複数の駆動軸の座標変換行列に基づく回転行列に基づいて重力加速度成分を取得するとともに、取得した重力加速度成分を前記慣性センサの検出結果から差分する、項目１から３のいずれか１項に記載のロボット。
【0111】
（項目５）
前記慣性センサは、角速度センサと、加速度センサと、を含み、
前記制御装置は、前記角速度センサの検出結果に基づいて、前記補償量として位置補償量を取得し、前記加速度センサの検出結果に基づいて、前記補償量として速度補償量を取得する、項目１から４のいずれか１項に記載のロボット。
前記慣性センサは、角速度センサと、加速度センサと、を含み、
前記制御装置は、前記角速度センサの検出結果に基づいて、前記補償量として位置補償量を取得し、前記加速度センサの検出結果に基づいて、前記補償量として速度補償量を取得する、項目１から４のいずれか１項に記載のロボット。
【0112】
（項目６）
前記制御装置は、補償対象の前記駆動軸に対する前記角速度センサの傾きを補正すること、および、前記角速度センサと補償対象の前記駆動軸との間に存在する補償対象以外の前記駆動軸の角速度成分を補正することを行った前記角速度センサの検出結果と、補償対象の前記駆動軸の角速度指令とに基づいて、前記位置補償量を取得する、項目５に記載のロボット。
前記制御装置は、補償対象の前記駆動軸に対する前記角速度センサの傾きを補正すること、および、前記角速度センサと補償対象の前記駆動軸との間に存在する補償対象以外の前記駆動軸の角速度成分を補正することを行った前記角速度センサの検出結果と、補償対象の前記駆動軸の角速度指令とに基づいて、前記位置補償量を取得する、項目５に記載のロボット。
【0113】
（項目７）
前記制御装置は、補償対象の前記駆動軸に対する前記加速度センサの傾きを補正すること、および、前記加速度センサの検出結果に含まれる重力加速度成分を除去することを行った前記加速度センサの検出結果と、補償対象の前記駆動軸の加速度指令とに基づいて、前記速度補償量を取得する、項目５または６に記載のロボット。
前記制御装置は、補償対象の前記駆動軸に対する前記加速度センサの傾きを補正すること、および、前記加速度センサの検出結果に含まれる重力加速度成分を除去することを行った前記加速度センサの検出結果と、補償対象の前記駆動軸の加速度指令とに基づいて、前記速度補償量を取得する、項目５または６に記載のロボット。
【0114】
（項目８）
前記複数の駆動軸は、基端側からこの順に配置された第１駆動軸、第２駆動軸および第３駆動軸を含み、
前記制御装置は、前記第１駆動軸、前記第２駆動軸および前記第３駆動軸の３つの駆動軸について、前記補償量を取得する、項目１から７のいずれか１項に記載のロボット。
前記複数の駆動軸は、基端側からこの順に配置された第１駆動軸、第２駆動軸および第３駆動軸を含み、
前記制御装置は、前記第１駆動軸、前記第２駆動軸および前記第３駆動軸の３つの駆動軸について、前記補償量を取得する、項目１から７のいずれか１項に記載のロボット。
【0115】
（項目９）
前記第２駆動軸の回転軸線と、前記第３駆動軸の回転軸線とは、互いに平行であり、
前記制御装置は、前記第２駆動軸および前記第３駆動軸の慣性の干渉に基づいて、前記第２駆動軸および前記第３駆動軸の各々の前記補償量を取得する、項目８に記載のロボット。
前記第２駆動軸の回転軸線と、前記第３駆動軸の回転軸線とは、互いに平行であり、
前記制御装置は、前記第２駆動軸および前記第３駆動軸の慣性の干渉に基づいて、前記第２駆動軸および前記第３駆動軸の各々の前記補償量を取得する、項目８に記載のロボット。
【0116】
（項目１０）
前記慣性センサは、補償対象の前記駆動軸よりも前記アームの先端側に配置されている、項目１から９のいずれか１項に記載のロボット。
前記慣性センサは、補償対象の前記駆動軸よりも前記アームの先端側に配置されている、項目１から９のいずれか１項に記載のロボット。
【0117】
（項目１１）
前記慣性センサは、前記アームの先端に配置されている、項目１０に記載のロボット。
前記慣性センサは、前記アームの先端に配置されている、項目１０に記載のロボット。
【0118】
（項目１２）
前記ロボット本体は、６軸の垂直多関節型である、項目１から１１のいずれか１項に記載のロボット。
前記ロボット本体は、６軸の垂直多関節型である、項目１から１１のいずれか１項に記載のロボット。
【0119】
（項目１３）
複数のリンクを有するアームと、前記複数のリンクを駆動する複数の駆動軸と、前記アームに配置された慣性センサと、を含む、ロボット本体と、
前記慣性センサの検出結果に対して振動の補償に関する補正を行い、補正した前記慣性センサの検出結果に基づいて、振動に関する補償量を取得する制御装置と、を備える、ロボット。
複数のリンクを有するアームと、前記複数のリンクを駆動する複数の駆動軸と、前記アームに配置された慣性センサと、を含む、ロボット本体と、
前記慣性センサの検出結果に対して振動の補償に関する補正を行い、補正した前記慣性センサの検出結果に基づいて、振動に関する補償量を取得する制御装置と、を備える、ロボット。
【符号の説明】
【0120】
１０ ロボット本体
１１ アーム
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅ、１１ｆ リンク
１２ａ 第１駆動軸（駆動軸）
１２ｂ 第２駆動軸（駆動軸）
１２ｃ 第３駆動軸（駆動軸）
１２ｄ 第４駆動軸（駆動軸）
１２ｅ 第５駆動軸（駆動軸）
１２ｆ 第６駆動軸（駆動軸）
１３ 慣性センサ
１３ａ 角速度センサ
１３ｂ 加速度センサ
２０ 制御装置
１００ ロボット
Ａ２ 第２駆動軸の回転軸線
Ａ３ 第３駆動軸の回転軸線
１１ アーム
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅ、１１ｆ リンク
１２ａ 第１駆動軸（駆動軸）
１２ｂ 第２駆動軸（駆動軸）
１２ｃ 第３駆動軸（駆動軸）
１２ｄ 第４駆動軸（駆動軸）
１２ｅ 第５駆動軸（駆動軸）
１２ｆ 第６駆動軸（駆動軸）
１３ 慣性センサ
１３ａ 角速度センサ
１３ｂ 加速度センサ
２０ 制御装置
１００ ロボット
Ａ２ 第２駆動軸の回転軸線
Ａ３ 第３駆動軸の回転軸線
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】