特開 2024-155583 試験方法及びダミーパネル

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024155583

(43)【公開日】2024-10-31

(54)【発明の名称】試験方法及びダミーパネル

(51)【国際特許分類】

   G01M 3/00 20060101AFI20241024BHJP

【ＦＩ】

G01M3/00 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023070422

(22)【出願日】2023-04-21

(71)【出願人】

【識別番号】000206211

【氏名又は名称】大成建設株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110003281

【氏名又は名称】弁理士法人大塚国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】高橋 一貴

(72)【発明者】

【氏名】若山 恵英

(72)【発明者】

【氏名】佃 憲哉

【テーマコード（参考）】

2G067

【Ｆターム（参考）】

2G067AA19

2G067CC01

2G067DD02

2G067DD27

(57)【要約】

【課題】建物の工程上、比較的早い段階で、より簡易にクリーンルームの気密性試験を行うこと。
【解決手段】クリーンルームの気密性を試験する試験方法であって、前記クリーンルームとその天井裏との間に、空気の連通路を仮設する仮設工程と、前記クリーンルームに設置した送風機によって、前記連通路を介してクリーンルームの空気を前記天井裏に排気し、前記クリーンルームを減圧する減圧工程と、を備え、前記仮設工程では、前記クリーンルームの天井点検口を覆う点検口パネルを、前記連通路を形成するダクトが設けられたダミーパネルに交換することにより、前記連通路を仮設する。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

クリーンルームの気密性を試験する試験方法であって、
前記クリーンルームとその天井裏との間に、空気の連通路を仮設する仮設工程と、
前記クリーンルームに設置した送風機によって、前記連通路を介してクリーンルームの空気を前記天井裏に排気し、前記クリーンルームを減圧する減圧工程と、を備え、
前記仮設工程では、
前記クリーンルームの天井点検口を覆う点検口パネルのダミーパネルであって、前記連通路を形成するダクトが設けられたダミーパネルを前記天井点検口に装着することにより、前記連通路を仮設する、
ことを特徴とする試験方法。

【請求項2】

請求項１に記載の試験方法であって、
前記減圧工程後、前記クリーンルームに設置したサーモカメラにより、前記クリーンルームの画像を撮影する撮影工程を備える、
ことを特徴とする試験方法。

【請求項3】

請求項１又は請求項２に記載の試験方法であって、
前記ダミーパネルは、
前記クリーンルームと前記天井裏との差圧によって開閉する差圧ダンパと、
前記クリーンルームに配置される差圧計のチューブが挿通する挿通部と、を備え、
前記減圧工程は、
前記差圧計により前記クリーンルームと前記天井裏との差圧を計測する計測工程を含む、
ことを特徴とする試験方法。

【請求項4】

クリーンルームの気密性の試験の際、前記クリーンルームの天井点検口に装着される、該天井点検口を覆う点検口パネルのダミーパネルであって、
前記クリーンルームとその天井裏との間に、空気の連通路を形成するダクトを備える、
ことを特徴とするダミーパネル。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明はクリーンルームの気密性試験に関する。

【背景技術】

【0002】

クリーンルームは高い気密性が要求されるため、クリーンルームの施工時には気密性試験が行われる。気密性試験の結果、意図しない漏気箇所があった場合は、その補修作業が行われる。特許文献１には、クリーンルームを対象としたものではないが、建物の気密性を計測する測定装置を窓枠に設置して試験を行う技術が開示されている。しかし、クリーンルームには窓が無い場合が多く、クリーンルームの気密性試験としては適用範囲が限られる上に、測定装置の設置に工数を要すると推測される。特許文献２には、クリーンルームに設置される設備機器について局所的に気密性試験を行う技術が開示されている。特許文献２の技術では、クリーンルーム全体の気密性を確認することは困難である。特許文献３には、建物に備えられている外調機を用いてクリーンルームを陽圧に設定し、気密性試験を行う技術が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】実用新案登録第３２２８２８８号公報

【特許文献2】特開平７－２７６５７号公報

【特許文献3】特開２００４－３０９１６０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

クリーンルーム全体の気密性試験を行う場合、クリーンルームの気圧調整が必要である。特許文献３の技術は、外調機を用いてクリーンルームの気圧調整を行っており、試験のタイミングは外調機の稼働後である。建物の工程上、建築工事に関わった大部分の作業者が既に現場に居ない場合があり、気密性に関する大規模な是正作業が生じた場合、労務の確保等において不利である。

【0005】

本発明の目的は、建物の工程上、比較的早い段階で、より簡易にクリーンルームの気密性試験を行うことができる技術を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明によれば、
クリーンルームの気密性を試験する試験方法であって、
前記クリーンルームとその天井裏との間に、空気の連通路を仮設する仮設工程と、
前記クリーンルームに設置した送風機によって、前記連通路を介してクリーンルームの空気を前記天井裏に排気し、前記クリーンルームを減圧する減圧工程と、を備え、
前記仮設工程では、
前記クリーンルームの天井点検口を覆う点検口パネルのダミーパネルであって、前記連通路を形成するダクトが設けられたダミーパネルを前記天井点検口に装着することにより、前記連通路を仮設する、
ことを特徴とする試験方法が提供される。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、建物の工程上、比較的早い段階で、より簡易にクリーンルームの気密性試験を行うことができる技術を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明が適用可能なクリーンルームの例を示す図。

【図2】（Ａ）は図１のクリーンルームの天井点検口及び点検口パネルの説明図、（Ｂ）は本発明の一実施形態に係るダミーパネルの説明図。

【図3】（Ａ）は図２（Ｂ）のＡ－Ａ線断面図、（Ｂ）は差圧ダンパの動作説明図。

【図4】（Ａ）及び（Ｂ）は本発明の一実施形態に係る試験方法の説明図。

【図5】（Ａ）及び（Ｂ）は本発明の一実施形態に係る試験方法の説明図。

【図6】サーモカメラの撮影画像の例を示す図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、また実施形態で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明に必須のものとは限らない。実施形態で説明されている複数の特徴のうち二つ以上の特徴が任意に組み合わされてもよい。また、同一若しくは同様の構成には同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。

【0010】

＜クリーンルーム＞
図１は本発明が適用可能なクリーンルームの例を示す図である。各図において矢印Ｘ、Ｙは直交する水平方向を示し、矢印Ｚは上下方向を示す。クリーンルーム１０は、床１１、壁１２～１４、不図示の手前側の壁、及び、天井１５で画定される閉じた空間であり、図１は機材や空調設備が部分的に未施工の段階を示している。天井１５は、天井板１５ａにより形成され、天井板１５ａと上層階の床スラブ２２との間には天井裏となる空間２３が形成されている。天井板１５ａには、点検口パネル１７で塞がれた天井点検口１６が形成されている。作業者は天井点検口１６から空間２３内に、今後の工程で配置される設備の点検が可能となっている。

【0011】

床１１上には、設備１８が配備されている。設備１８は、クリーンルーム１０の実際の使用において稼働が予定されている機器であり、図示の例では壁１３を貫通する配管１８ａが接続されている。奥側の壁１４には、クリーンルーム１０に隣接する別のルームと連通した配管１９～２１が貫通している。これら配管１９～２１には、クリーンルーム１０の実際の使用において稼働が予定されているが、クリーンルーム１０に未配備（今後の工程で床１１に配備される）の不図示の設備に接続される。

【0012】

＜点検口パネルとダミーパネル＞
図２（Ａ）は天井点検口１６及び点検口パネル１７の説明図である。天井点検口１６は、天上板１５ａに形成した開口部（貫通孔）を、矩形状で金属製のフレーム１６ａで縁取って形成されている。点検口パネル１７は、その外形を規定する矩形状で金属製のフレーム１７ａを備える。フレーム１７ａはフレーム１６ａの内側にすっぽり収まるサイズを有しており、フレーム１６ａは外枠、フレーム１７ａは内枠を形成している。フレーム１６ａとフレーム１７ａとの間には、クリーンルーム１０の気密性を維持するためのシール材（不図示）が設けられる。フレーム１７ａで画定される開口はパネル材１７ｂで塞がれている。

【0013】

本実施形態の点検口パネル１７は、天井点検口１６に対して二か所のヒンジ部ｈを回動中心として回動自在に設けられている。ヒンジ部ｈは、フレーム１６ａ側のヒンジ部材１６ｂと、フレーム１７ａ側のヒンジ部材１７ｂとで構成されている。ヒンジ部ｈと反対側の部位にはロック機構Ｌが設けられている。ロック機構Ｌは、フレーム１７ａに回動自在に設けられたハンドル１７ｃと、フレーム１６ａ側のストライカ１６ｃとで構成されており、ハンドル１７ｃの回動操作により、ハンドル１７ｃとストライカ１６ｃとのロック及びロック解除が可能となっている。ロック機構Ｌによって点検口パネル１７を、天井点検口１６を覆う閉状態に維持できる。また、ハンドル１７ｃの回動操作によってロックを解除し、ヒンジ部ｈを中心として点検口パネル１７を回動することで、点検口パネル１７を天井点検口１６を開放する開状態に変化させることができる。なお、図２（Ａ）は閉状態を示している。

【0014】

図２（Ｂ）は本発明の一実施形態に係るダミーパネル１の説明図である。本実施形態ではクリーンルーム１０の気密性試験の際、点検口パネル１７に代えてこのダミーパネル１を天井点検口１６に装着する。

【0015】

ダミーパネル１は、点検口パネル１７の基本的な構成部品を転用して作成されている。具体的には、ダミーパネル１は、点検口パネル１７のフレーム１７ａ、ヒンジ部材１７ｂ、及び、ハンドル１７ｃを転用している。したがって、点検口パネル１７と同様に天井点検口１６に装着可能である。

【0016】

ダミーパネル１は、点検口パネル１７のパネル部材１７ｂに代えてパネル部材２を有する。パネル部材２にはダクト３、差圧ダンパ４、挿通部５が設けられている。図２（Ｂ）に加えて図３（Ａ）及び図３（Ｂ）を参照してダミーパネル１について更に説明する。図３（Ａ）は図２（Ｂ）のＡ－Ａ線断面図であり、図３（Ｂ）は差圧ダンパ４の動作説明図である。

【0017】

ダクト３はパネル部材２を貫通する筒状の部材であり、ダクト３とパネル部材２との間は適宜方法にて気密にシールされる。ダクト３の一端はクリーンルーム１０に開口し、他端は天井裏の空間２３に開口している。ダクト３は、クリーンルーム１０と天井裏の空間２３との間を空気が流通可能な連通路３ａを形成する。

【0018】

差圧ダンパ４は、気密性試験においてクリーンルーム１０と天井裏の空間２３との気圧差を調整するダンパである。差圧ダンパ４は、パネル部材２に設けた軸受け２ｃで支持される軸２ｄを回動中心として回動自在に設けられている。本実施形態では、気密性試験の際、クリーンルーム１０の気圧を陰圧に調整する。

【0019】

差圧ダンパ４は、クリーンルーム１０と天井裏の空間２３との差圧が規定範囲の場合、差圧ダンパ４はその自重によって図３（Ａ）に示すようにパネル部材２に形成した開口部２ｂを閉鎖する閉状態となる。一方、クリーンルーム１０と天井裏の空間２３との差圧が規定範囲外の場合（クリーンルーム１０の気圧が低すぎる場合）、図３（Ｂ）に示すように差圧ダンパ４が気圧差によって回動し、開口部２ｂを開放する開状態となる。

【0020】

差圧ダンパ４によって、クリーンルーム１０と天井裏の空間２３との気圧差が自動的に調整されるため、安全で、再現性のよい気密性試験を行える。

【0021】

挿通部５は、パネル部材２を貫通する孔であり、孔の内壁面にゴム等のシール材が設けられる。挿通部５は後述する差圧計８のチューブ８ａが挿通される。差圧計８は、気密性試験中、クリーンルーム１０と天井裏の空間２３との差圧を計測する計測器である。

【0022】

＜気密性試験＞
図４（Ａ）～図５（Ｂ）を参照して本発明の一実施形態に係る試験方法について説明する。図４（Ａ）～図５（Ｂ）はその説明図である。

【0023】

まず、クリーンルーム１０とその天井裏の空間２３との間に、空気の連通路を仮設する。ここではダミーパネル１を用いて連通路を仮設する。図４（Ａ）はその一例を示している。天井点検口１６から点検口パネル１７を取り外し、ダミーパネル１を天井点検口１６に装着する。ダミーパネル１のダクト３によってクリーンルーム１０と空間２３とを連通する連通路３ａ（図３（Ａ）参照）が形成される。また、クリーンルーム１０において、外部と連通している箇所を閉鎖する作業を行う。例えば、図４（Ａ）の例では配管１９、２０がシール材６ａ、６ｂで閉鎖されている。この他、図４（Ａ）では図示されていないが配管２１も同様に閉鎖される。

【0024】

次に、クリーンルーム１０に試験機材を配備する。図４（Ｂ）はその一例を示す。クリーンルーム１０には送風機７が設置され、ダクト７ａによって送風機７とダクト３とが接続される。また、クリーンルーム１０には差圧計８が設置される。差圧計８はチューブ８ａを介して天井裏の空間２３と連通する。チューブ８ａはダミーパネル１の挿通部５を通してクリーンルーム１０から空間２３へ延設される。差圧計８は空間２３とクリーンルーム１０との気圧の差圧を計測する。クリーンルーム１０にはまた、サーモカメラ９が設置される。サーモカメラ９はクリーンルーム１０の温度分布を画像で撮影する。

【0025】

試験機材の配備が完了すると、気密性試験を開始する。送風機７を稼働し、ダクト３（連通路３ａ）を介してクリーンルーム１０の空気を天井裏の空間２３に排気する。図５（Ａ）はその一例を示している。これによりクリーンルーム１０が減圧される。減圧中、差圧計８によって空間２３とクリーンルーム１０との気圧の差圧を計測してその計測結果を監視し、送風機７の出力を調整する。これにより、クリーンルーム１０を意図する陰圧に調整することができる。

【0026】

クリーンルーム１０が所定の気圧に減圧されると、サーモカメラ９によりクリーンルーム１０を撮影する。図５（Ｂ）はその一例を示している。撮影は、クリーンルーム１０全体が撮影されるように、サーモカメラ９の向きを変えて複数回行ってもよい。撮影が終わると、送風機７の稼働を停止し、クリーンルーム１０での作業は終了する。その後、パソコン等に撮影画像を表示し、漏気箇所を検証する作業に移行する。

【0027】

隣接する別のルームよりもクリーンルーム１０が陰圧に調整された結果、クリーンルーム１０に漏気箇所が存在すると、隣接する別のルームから空気がクリーンルーム１０に流入する。クリーンルーム１０内の空気と、隣接する別のルームからの空気との温度差がサーモカメラ９の画像に現れる。撮影画像から漏気箇所を特定することができる。空気の温度差が顕著に生じるように、隣接する別のルームの空気は事前にヒータ等で加温しておいてもよい。

【0028】

図６はサーモカメラ９の撮影画像の例を模式的に示している。画像の濃淡（或いは色）によってクリーンルーム１０の温度分布が表される。指標３０は画像の濃淡と、空気温度の高低との関係を示しており、図示の例では濃い部分は空気の温度が相対的に高く、薄い部分は空気の温度が相対的に低い。

【0029】

図６の例では、クリーンルーム１０が全体的に一様な温度分布であることを示す一方、局所的に温度の高い部分３１～３３が示されている。部分３１は画像の濃度が最も濃い部分であり、隣接する別のルームから、温度の高い空気が流入していると推測される。すなわち、配管２０の周囲に漏気箇所が存在する可能性がある。部分３２、３３も比較的画像の濃度が高い部分であり、配管１９、配管２０に漏気箇所が存在する可能性を示唆している。一方、配管２１や配管１８ａの周囲の画像は比較的濃度が薄く、漏気箇所が存在する可能性は低いと評価できる。

【0030】

このようにして本実施形態では、クリーンルーム１０の全体に渡って漏気の可能性のある個所を特定し、是正作業に進むことができる。気密性試験は、ダミーパネル１や試験機材を持ち込めば行うことができ、建物の工程上、比較的早い段階で、より簡易に行える。

【0031】

ダミーパネル１は、同じ仕様の点検口パネル１７を有するクリーンルームであれば使い回すことができ、その構造も点検口パネル１７を概ね転用して作成できるから、簡単に得られる。一般にクリーンルームには天井点検口と点検口パネルが少なくとも一つはあるので、クリーンルームに広く適用できる。試験機材も、送風機７、差圧計８、サーモカメラ９程度で足りるのでその準備に手間も生じず、格別の専門性も要求されない。気密性試験及び是正作業の後の片づけ作業は、機材の撤去と、ダミーパネル１を点検口パネル１７に付け替える程度の作業で足り、後処理がほとんど必要ない。

【0032】

なお、本実施形態では、漏気箇所の検証にサーモカメラ９の撮影画像を用いたが、漏気箇所の検証はこれに限らない。例えば、クリーンルーム１０を陽圧に調整した状態で、作業者が気流の音を基準に漏気箇所を点検する手法でもよい。或いは、隣接するルームに事前に着色した空気や、着臭した空気を導入しておき、クリーンルーム１０を陽圧に調整した状態で作業者が空気の色やにおいを基準に漏気箇所を点検する手法でもよい。

【0033】

以上、発明の実施形態について説明したが、発明は上記の実施形態に制限されるものではなく、発明の要旨の範囲内で、種々の変形・変更が可能である。

【符号の説明】

【0034】

１ ダミーパネル、３ ダクト、７ 送風機、１０クリーンルーム、１６ 天井点検口、１７ 点検口パネル

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】