特開 2024-156415 出力装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024156415

(43)【公開日】2024-11-06

(54)【発明の名称】出力装置

(51)【国際特許分類】

   G01S 7/282 20060101AFI20241029BHJP

【ＦＩ】

G01S7/282 200

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023070856

(22)【出願日】2023-04-24

(71)【出願人】

【識別番号】500302552

【氏名又は名称】株式会社ＩＨＩエアロスペース

(74)【代理人】

【識別番号】100124811

【弁理士】

【氏名又は名称】馬場 資博

(74)【代理人】

【識別番号】100187724

【弁理士】

【氏名又は名称】唐鎌 睦

(72)【発明者】

【氏名】小澤 雄一郎

(72)【発明者】

【氏名】小川 誠仁

【テーマコード（参考）】

5J070

【Ｆターム（参考）】

5J070AB01

5J070AD03

5J070AD10

(57)【要約】

【課題】ＮＬＴＬ（Non-linear Transmission Line）を用いる場合に適切な位相制御を行うことが難しい場合がある。
【解決手段】出力装置は、パルス信号が入力され、入力に応じた出力を行う非線形回路と、非線形回路と非接触な状態で電界測定を行うことで、非線形回路の出力波形情報を取得する検出部と、出力波形情報に基づいて、非線形回路からの出力位相を制御するための指示を、パルス信号を出力する電源または前記非線形回路のうちの少なくとも一方に対して行う制御部と、を有する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

パルス信号が入力され、入力に応じた出力を行う非線形回路と、
前記非線形回路と非接触な状態で電界測定を行うことで、前記非線形回路の出力波形情報を取得する検出部と、
前記出力波形情報に基づいて、前記非線形回路からの出力位相を制御するための指示を、前記パルス信号を出力する電源または前記非線形回路のうちの少なくとも一方に対して行う制御部と、
を有する
出力装置。

【請求項2】

前記検出部は、前記非線形回路近傍に設置されており、電気光学効果を利用して非接触で電界測定を行うことで前記出力波形情報を取得する
請求項１に記載の出力装置。

【請求項3】

前記検出部の周囲には、測定対象外で生じる電界の影響を低減させるシールドが設けられている
請求項２に記載の出力装置。

【請求項4】

前記制御部は、前記出力波形情報に基づく指示の補正を行って補正した指示を行う
請求項１に記載の出力装置。

【請求項5】

前記非線形回路を有する出力器を複数有し、
前記制御部は、前記非線形回路からの出力位相を制御するための指示を前記出力波形情報に基づいて補正することで、複数の出力器のうち任意の出力器を基準とした際に他の出力器に対して与える位相差を補正する
請求項１に記載の出力装置。

【請求項6】

前記制御部からの指示に応じてパルス信号を生成するパルス電源を有し、
前記制御部は、前記パルス電源に対して、生成するパルス信号の立ち上がり時間を指示し、
前記制御部からの指示に応じた立ち上がり時間のパルス信号が前記非線形回路に入力される
請求項１に記載の出力装置。

【請求項7】

前記制御部は、前記出力波形情報に基づいて、前記パルス電源に対して指示する立ち上がり時間を補正する
請求項６に記載の出力装置。

【請求項8】

出力装置が、
パルス信号が入力され、入力に応じた出力を行う非線形回路と非接触な状態で電界測定を行うことで、前記非線形回路の出力波形情報を取得し、
前記出力波形情報に基づいて、前記非線形回路からの出力位相を制御するための指示を、前記パルス信号を出力する電源または前記非線形回路のうちの少なくとも一方に対して行う
出力方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、出力装置、出力方法に関する。

【背景技術】

【0002】

アンテナ素子をアレイ状に配置したフェーズドアレイシステムなど、電波を出力する際に用いられる技術が知られている。

【0003】

例えば、特許文献１には、発振器と、複数のアンテナ素子と、移相器と、分配手段と、移相器や分配手段を制御する制御手段と、アンテナ素子から放射される電波の電力を検出する受信手段から出力される受信信号を入力する信号入力部と、を備えるフェーズドアレイアンテナの位相校正方法が開示されている。また、特許文献１には、発振器としてクライストロンやマグネトロンなどを用いることが開示されている。

【0004】

また、発振器としてクライストロンなどを用いる代わりに、特許文献２に記載されているような非線形伝送線路（ＮＬＴＬ：Non-linear Transmission Line）を用いることがある。上記のようなＮＬＴＬを用いる場合においては、非特許文献１や非特許文献２に記載されている技術を用いることで、出力パルスの位相を制御可能であることが知られている。例えば、非特許文献１には、ＮＬＴＬに入力する入力パルスの立ち上がりタイミングを変化させることで、ＮＬＴＬから出力される出力パルスの位相を制御可能である旨が開示されている。また、非特許文献２には、ＮＬＴＬに対してＤＣ（Direct Current）バイアスを印加することで非線形特性を変化させることにより、出力パルスの位相を制御可能である旨が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１２－１２２８７４号公報

【特許文献2】特開２０１２－１５１７４６号公報

【非特許文献】

【0006】

【非特許文献1】Ｉ.Ｖ.Ｒｏｍａｎｃｈｅｎｋｏ ｅｔ ａｌ. “Ｈｉｇｈ ｐｏｗｅｒ ｍｉｃｒｏｗａｖｅ ｂｅａｍ ｓｔｅｅｒｉｎｇ ｂａｓｅｄ ｏｎ ｇｙｒｏｍａｇｎｅｔｉｃ ｎｏｎｌｉｎｅａｒ ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ ｌｉｎｅｓ” ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ ＡＰＰＬＩＥＤ ＰＨＹＳＩＣＳ １１７, ２１４９０７ （２０１５）

【非特許文献2】Ｎ Ｓｅｄｄｏｎ ｅｔ ａｌ.“ＲＦ ＰＵＬＳＥ ＦＯＲＭＡＴＩＯＮ ＩＮ ＮＯＮＬＩＮＥＡＲ ＴＲＡＮＳＭＩＳＳＩＯＮ ＬＩＮＥＳ” ＩＥＥＥ ３４ｔｈ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ ｏｎ Ｐｌａｓｍａ Ｓｃｉｅｎｃｅ ・Ｊｕｌｙ ２００７

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

ＮＬＴＬを用いる場合、ＮＬＴＬを有する回路のバラツキや温度環境の影響を受けて、出力位相が変化することがある。このような出力位相の変化に対して、非特許文献１や非特許文献２に記載されているような位相指示を行う技術では対応することが難しい。その結果、適切な位相制御を行うことが難しい場合がある、という課題が生じていた。

【0008】

そこで、本発明は、上述した課題を解決することが可能な出力装置、出力方法、制御装置を提供することを目的の一つとする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

かかる目的を達成するため本開示の一形態である出力装置は、
パルス信号が入力され、入力に応じた出力を行う非線形回路と、
前記非線形回路と非接触な状態で電界測定を行うことで、前記非線形回路の出力波形情報を取得する検出部と、
前記出力波形情報に基づいて、前記非線形回路からの出力位相を制御するための指示を、前記パルス信号を出力する電源または前記非線形回路のうちの少なくとも一方に対して行う制御部と、
を有する
という構成をとる。

【0010】

また、本開示の他の形態である出力方法は、
出力装置が、
パルス信号が入力され、入力に応じた出力を行う非線形回路と非接触な状態で電界測定を行うことで、前記非線形回路の出力波形情報を取得し、
前記出力波形情報に基づいて、前記非線形回路からの出力位相を制御するための指示を、前記パルス信号を出力する電源または前記非線形回路のうちの少なくとも一方に対して行う
という構成をとる。

【発明の効果】

【0011】

上述したような各構成によると、上述したような課題を解決することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本開示の第１の実施形態における出力システムの構成例を示す図である。

【図2】制御ユニットの構成例を示すブロック図である。

【図3】制御ユニットの動作例を示すフローチャートである。

【図4】出力システムの他の構成例を示す図である。

【図5】出力システムの他の構成例を示す図である。

【図6】立ち上がり時間に応じた位相変化の一例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

［第１の実施形態］
本開示の第１の実施形態について、図１から図６までを参照して説明する。図１は、出力システム１００の構成例を示す図である。図２は、制御ユニット３００の構成例を示すブロック図である。図３は、制御ユニット３００の動作例を示すフローチャートである。図４、図５は、出力システム１００の他の構成例を示す図である。図６は、立ち上がり時間に応じた位相変化の一例を示す図である。

【0014】

本開示の第１の実施形態では、非線形伝送線路（ＮＬＴＬ：Non-linear Transmission Line）を有する非線形回路２１０を用いて出力位相を制御する出力装置である出力システム１００について説明する。後述するように、出力システム１００は、非線形回路２１０周辺において、非線形回路２１０と非接触な状態で電界測定を行って、測定した結果をフィードバックする。これにより、出力システム１００は、フィードバックに応じた位相制御を行うことができる。

【0015】

図１は、出力システム１００の構成例を示している。図１を参照すると、出力システム１００は、１つまたは複数の出力器２００と、制御ユニット３００と、を有している。また、出力システム１００は、出力器２００の内部または外部にパルス信号を生成して出力するパルス電源を有することができる。一例として、出力システム１００は、複数の出力器２００にそれぞれ含まれるアンテナ素子２２０を規則的に設置したフェーズドアレイ方式の出力装置である。出力システム１００は、出力位相を制御可能な上記例示した以外の出力装置であってもよい。

【0016】

出力器２００は、制御ユニット３００からの指示に応じてマイクロ波などの電波を出力する。この際、出力器２００は、制御ユニット３００からの指示に応じた出力位相の出力を行うことができる。

【0017】

図１で例示するように、出力器２００は、非線形回路２１０と、アンテナ素子２２０と、検出部２３０と、を有している。なお、出力器２００の構成は図１で例示した場合に限定されない。例えば、出力器２００は、非線形回路２１０に対してＤＣバイアスを印加可能なようにバイアス回路を有していてもよいし、パルス電源や増幅器など図１で例示した以外の構成を有してもよい。

【0018】

非線形回路２１０は、伝送線路に可変容量ダイオードなどの非線形素子を複数備えたＮＬＴＬを有している。ＮＬＴＬは、非線形特性を有するコンデンサやインダクタなどを備えてもよい。図１で例示する場合、非線形回路２１０には、出力器２００内部または外部で生成された高電圧パルス信号が入力される。これに応じて、非線形回路２１０は、入力した高電圧パルス信号を高周波の高電圧パルス信号に変換して出力する。

【0019】

また、非線形回路２１０が出力する高周波の高電圧パルス信号の位相は、制御ユニット３００からの指示に応じた任意の方法で制御することができる。例えば、非線形回路２１０が出力する高電圧パルス信号の位相は、非特許文献１や非特許文献２に記載されている技術を用いて制御してよい。換言すると、出力パルスの位相制御は、制御ユニット３００からの指示に応じて入力パルスである高電圧パルス信号の立ち上がりタイミングを制御することで行うことができる。立ち上がりタイミングの制御は、上述したパルス電源などで行われてよい。また、出力パルスの位相制御は、制御ユニット３００からの指示に応じて非線形回路２１０に印加するＤＣバイアスを制御することで行うことができる。出力パルスの位相制御は、上記例示した方法のうちのいずれか、または、その組み合わせにより行ってよい。出力パルスの位相制御は、上記例示した以外の任意の方法で行ってもよい。

【0020】

アンテナ素子２２０は、非線形回路２１０が出力する高周波の高電圧パルス信号に応じて、マイクロ波などの電波を出力する。本開示においては、アンテナ素子２２０については特に限定しない。

【0021】

検出部２３０は、非線形回路２１０の出力波形情報を取得する。また、検出部２３０は、取得した出力波形情報を制御ユニット３００に対して送信する。

【0022】

本開示の場合、検出部２３０は、非線形回路２１０やアンテナ素子２２０と非接触な状態で電界測定を行うことにより出力波形情報を取得する。例えば、検出部２３０は、非線形回路２１０近傍の所定箇所に予め設置されており、非線形回路２１０やアンテナ素子２２０と非接触な状態で電界測定を行う。なお、電界測定は、金属のアンテナなどを用いて行ってもよいが、ポッケルス効果などの電気光学効果を利用して行う方がより望ましい。ここで、ポッケルス効果とは、結晶に印加する電界に応じて複屈折率が変化する現象のことをいう。検出部２３０は、偏光変化に応じた光強度変化の検出などにより電界に応じた複屈折率の変化を検出することで、結晶などに印加された電界波形を測定することができる。

【0023】

制御ユニット３００は、出力器２００の出力位相を指示する位相制御回路（制御部）である。例えば、制御ユニット３００は、パルス信号を出力するパルス電源や非線形回路２１０などに対して出力位相を制御するための指示を行うことで、出力器２００の出力位相を制御することができる。なお、上述したように、出力位相の制御は、高電圧パルス信号の立ち上がりタイミングや非線形回路２１０に印加するＤＣバイアスなどを制御することで実現してよい。換言すると、制御ユニット３００は、高電圧パルス信号の立ち上がりタイミングを制御するための指示を電源に対して送信したり、非線形回路２１０に印加するＤＣバイアスを制御するための指示を電源や非線形回路２１０に対して送信したりしてよい。高電圧パルス信号の立ち上がりタイミングを制御するための指示は、例えば、動作トリガ信号を電源に対して送信することなどにより行われてもよい。なお、出力システム１００に複数の出力器２００が含まれる場合、制御ユニット３００は、各出力器２００の出力位相をそれぞれ指示することができる。

【0024】

例えば、出力システム１００がフェーズドアレイ方式の出力装置である場合、制御ユニット３００が各出力器２００の出力位相を指示することで、出力する電波の方向を制御する。具体的に、制御ユニット３００は、ある出力器２００を基準として、他の出力器２００に対して位相差を与えることで、出力する電波の方向を制御する。この際、制御ユニット３００は、立ち上がりタイミングや印加するＤＣバイアスを制御するための指示を出力器２００ごとに行うことで、各出力器２００に対して位相差を与えることができる。

【0025】

また、制御ユニット３００は、検出部２３０からのフィードバックに応じた指示を行うことで、出力器２００に与える位相差を補正することができる。つまり、制御ユニット３００は、出力波形情報に基づいて、立ち上がりタイミングや印加するＤＣバイアスを制御するための指示を補正することができる。例えば、非線形回路２１０のバラツキや温度環境の影響によって出力位相が変化することがある。制御ユニット３００は、出力波形情報に基づいて各出力器２００に与える位相差を補正することで、非線形回路２１０のバラツキや温度環境の影響などを反映したより的確な指示を行うことができる。

【0026】

図２は、上述した出力波形情報に基づく指示を行う際に用いる制御ユニット３００の構成例を示している。図２を参照すると、制御ユニット３００は、受信部３１０と比較部３２０と指示部３３０とを有することができる。例えば、制御ユニット３００は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などの演算装置と記憶装置とを有しており、記憶装置に格納されたプログラムを演算装置が実行することで、各処理部を実現することができる。

【0027】

受信部３１０は、検出部２３０から出力波形情報を受信する。

【0028】

比較部３２０は、指示した位相と実際の出力位相とを比較することで、指示に補正が必要であるか否か判断する。比較部３２０は、出力システム１００に含まれる各出力器２００に対して上記比較を行うことで、上記判断を出力器２００ごとに行ってよい。

【0029】

例えば、比較部３２０は、出力器２００に与える位相差を特定することなどにより、指示した位相を特定する。また、比較部３２０は、出力波形情報に基づいて実際の出力位相を特定する。この際、比較部３２０は、検出部２３０の設置位置などに応じた修正を行ったうえで、出力波形情報に基づく出力位相の特定を行ってよい。その後、比較部３２０は、指示した位相と、出力波形情報から判断される実際の出力位相と、を比較する。

【0030】

例えば、基準となる信号に対して変化させるべく指示した位相と実際の出力位相との間に差異がないと判断される場合、比較部３２０は、指示に変更はないと判断する。一方、指示した位相と実際の出力位相との間に差異があると判断される場合、比較部３２０は、当該差異を埋めるように、出力器２００に対して与える位相差を補正する旨を判断する。これに応じて、出力器２００に対して与える位相差が補正される。つまり、立ち上がりタイミングや非線形回路２１０に印加するＤＣバイアスが補正される。

【0031】

指示部３３０は、比較部３２０による判断の結果に応じた指示を電源や非線形回路２１０などに対して行う。

【0032】

例えば、比較部３２０が位相差の補正を行う旨を判断した場合、指示部３３０は、補正した位相差を与えるための指示を電源などに対して送信する。一方、比較部３２０が位相差の補正を行わない旨を判断した場合、指示部３３０は、新たな補正を行わずに位相差を与えるための指示を電源などに対して送信する。なお、具体的な補正量などは任意の方法により決定されてよい。

【0033】

以上が、出力システム１００の構成例である。続いて、図３を参照して、制御ユニット３００の動作例について説明する。

【0034】

図３は、制御ユニット３００の動作例を示すフローチャートである。図３を参照すると、受信部３１０は、検出部２３０から出力波形情報を受信する（ステップＳ１０１）。

【0035】

比較部３２０は、基準となる信号に対して変化させるべく指示した位相と実際の出力位相とを比較することで、指示に補正が必要であるか否か判断する（ステップＳ１０２）。例えば、指示した位相と実際の出力位相との間に差異がないと判断される場合、比較部３２０は、指示に変更はないと判断する。一方、指示した位相と実際の出力位相との間に差異があると判断される場合、比較部３２０は、当該差異を埋めるように、出力器２００に対して与える位相差を補正する旨を判断する。

【0036】

指示部３３０は、比較部３２０による判断の結果に応じた指示を電源などに対して行う（ステップＳ１０３）。例えば、比較部３２０が位相差の補正を行う旨を判断した場合、指示部３３０は、補正した位相差を与えるための指示を電源などに対して送信する。一方、比較部３２０が位相差の補正を行わない旨を判断した場合、上記補正は行われない。

【0037】

以上が、制御ユニット３００の動作例である。

【0038】

このように、出力システム１００は、検出部２３０と、制御ユニット３００と、を有している。このような構成によると、制御ユニット３００は、検出部２３０から受信した出力波形情報に基づいて、出力器２００に対して与える位相差を補正することができる。例えば、ＮＬＴＬを有する非線形回路２１０のバラツキや温度環境の影響を受けて、非線形回路２１０からの出力位相が変化することがある。そのような場合でも、出力波形情報に基づく指示を行うことで、出力システム１００は適切に位相制御することができる。

【0039】

また、検出部２３０は、ポッケルス効果などの電気光学効果を利用して出力波形情報を取得するよう構成することができる。電気光学効果を利用することで、出力波形情報を取得する際に電界に影響を与えるおそれを低減させることができ、より適切な制御を実現することができる。例えば、ＮＬＴＬは、印加電圧によって出力インピーダンスが時間変化するという特性を持つ。そのため、ＮＬＴＬを有する非線形回路２１０に対して、一般的な５０オームの高周波計測回路を使うことは難しい。一方、上述した場合では、電気光学効果を利用することで、出力波形情報を取得することができる。その結果、出力波形情報を取得する際にNLTLの動作に影響を与えるおそれを排除し、より適切な制御を実現することができる。

【0040】

なお、出力システム１００の構成は、例示した以外であってもよい。例えば、図４で例示するように、出力器２００が有する検出部２３０周辺には、他の出力器２００など測定対象外で生じる電界の影響を低減させるためのシールド２３１などを設けてもよい。例えば、シールド２３１は、検出部２３０から見た際に非線形回路２１０が形成されている側を除いた検出部２３０の周囲を覆っており、他の出力器２００で生じる電界の影響を低減させることができる。シールド２３１の素材などは任意に決定されてよい。また、出力システム１００は、そのほかの変形例を採用してもよい。例えば、出力システム１００が有する複数の出力器２００のうち、一部の出力器２００のみが検出部２３０を有していてもよい。

【0041】

また、非線形回路２１０からの出力位相は、上述した方法以外の方法で制御してもよい。例えば、出力システム１００は、立ち上がりタイミングや非線形回路２１０に印加するＤＣバイアスの制御とともに、またはその代わりに、非線形回路２１０に対して入力する入力パルスの立ち上がり時間を制御することで、非線形回路２１０からの出力位相を制御することができる。なお、立ち上がり時間とは、パルスの瞬時値が下限値に到達した後上限値に到達するまでの時間のことをいう。例えば、下限値が１０％であり、上限値が９０％である。下限値や上限値は上記例示した以外であってもよい。

【0042】

図５は、立ち上がり時間を制御する場合における出力システム１００の構成例を示している。図５を参照すると、出力器２００は、図１で例示した構成に加えて、高電圧パルス電源２４０を有することができる。

【0043】

高電圧パルス電源２４０は、制御ユニット３００からの指示に応じて高電圧パルス信号を出力する。この際、高電圧パルス電源２４０は、制御ユニット３００からの指示に応じて、指示に応じた立ち上がり時間の高電圧パルス信号を生成することができる。図５を参照すると、例えば高電圧パルス電源２４０は、小信号部２４１と、高電圧生成部２４２とを有することができる。

【0044】

小信号部２４１は、制御ユニット３００から受信した動作トリガ信号に応じて、高電圧パルス信号の生成を指示する小信号を高電圧生成部２４２に対して送信する。また、高電圧生成部２４２は、小信号部２４１からの指示に応じて高電圧パルス信号を生成する。例えば、高電圧生成部２４２は、複数のパルス電圧を生成して生成したパルス電圧の重ね合わせを行うことで高電圧パルス信号を生成するなど、既知の方法を用いて高電圧パルス信号の生成を行うことができる。

【0045】

また、小信号部２４１や高電圧生成部２４２は、立ち上がり時間を制御するための制御信号を制御ユニット３００から受信する。小信号部２４１や高電圧生成部２４２は、受信した制御信号に応じて生成する高電圧パルス信号の立ち上がり時間を制御することができる。換言すると、小信号部２４１や高電圧生成部２４２は、受信した制御信号に応じた立ち上がり時間の高電圧パルス信号を生成することができる。例えば、小信号部２４１や高電圧生成部２４２は、制御信号に応じて重ね合わせ前のパルス電圧に対する立ち上がりタイミングの制御を行うことなどにより、重ね合わせ後の高電圧パルス信号の立ち上がり時間を制御することができる。例えば、小信号部２４１や高電圧生成部２４２は、制御信号に応じて一部のパルス電圧の立ち上がりタイミングを遅くすることにより、重ね合わせ後の高電圧パルス信号の立ち上がり時間を長くすることができる。なお、小信号部２４１や高電圧生成部２４２は、立ち上がりタイミングを遅らせるパルス電圧の数や遅らせる時間の長さなどを制御することで、重ね合わせ後の高電圧パルス信号の立ち上がり時間を制御してもよい。また、小信号部２４１や高電圧生成部２４２は、制御信号に応じてパルス生成時に用いる磁性体物質に対してＤＣ電圧を印加することで、高電圧パルス信号の立ち上がり時間を制御することができる。小信号部２４１や高電圧生成部２４２は、上記例示した方法のいずれか、または、その組み合わせを用いて立ち上がり時間を制御することができる。小信号部２４１や高電圧生成部２４２は、上記例示した以外の方法を用いて立ち上がり時間を制御してもよい。なお、制御信号の入力先は、高電圧パルス信号の生成方法などに応じて適宜設定してよい。

【0046】

例えば、以上のような構成により、高電圧パルス電源２４０は、制御ユニット３００からの指示に応じて、指示に応じた立ち上がり時間の高電圧パルス信号を出力することができる。

【0047】

また、図５で例示する構成の場合、非線形回路２１０には、上述した高電圧パルス電源２４０が出力する高電圧パルス信号が入力される。図６は、非線形回路２１０における入力パルスの立ち上がり時間と出力パルスの位相変化例を示している。図６を参照すると、入力パルスの立ち上がり時間が変化することで、出力パルスの位相が変化していることが分かる。例えば、図６で例示する場合、実線で示す例から破線で示す例へと立ち上がり時間を長くすることで、出力パルスのピークが少し遅れていることが分かる。上述したように、図５で例示する構成の場合、非線形回路２１０に入力する高電圧パルス信号の立ち上がり時間は、制御ユニット３００が送信する制御信号に応じて変化する。その結果、図６で例示したように、非線形回路２１０に入力する高電圧パルス信号の立ち上がり時間に応じて、非線形回路２１０から出力する高周波の高電圧パルス信号の位相も変化する。つまり、出力位相が変化することとなる。

【0048】

なお、立ち上がり時間の制御を行う場合、制御ユニット３００は、出力器２００に対して、立ち上がり時間を指示するための制御信号の送信などを行うよう構成してよい。また、制御ユニット３００は、出力波形情報に基づいて、立ち上がりタイミングや印加するＤＣバイアスなどとともに、入力パルスの立ち上がり時間を補正するよう構成してよい。

【0049】

＜付記＞
上記実施形態の一部又は全部は、以下の付記のようにも記載されうる。以下、本発明における出力装置などの概略を説明する。但し、本発明は、以下の構成に限定されない。

【0050】

（付記１）
パルス信号が入力され、入力に応じた高周波出力を行う非線形回路と、
前記非線形回路と非接触な状態で電界測定を行うことで、前記非線形回路の出力波形情報を取得する検出部と、
前記出力波形情報に基づいて、前記非線形回路からの出力波形の位相を制御するための指示を、前記パルス信号を出力する電源または前記非線形回路のうちの少なくとも一方に対して行う制御部と、
を有する
出力装置。
（付記２）
前記検出部は、前記非線形回路近傍に設置されており、電気光学効果を利用して非接触で電界測定を行うことで前記出力波形情報を取得する
付記１に記載の出力装置。
（付記３）
前記検出部の周囲には、測定対象外で生じる電界の影響を低減させるシールドが設けられている
付記１または付記２に記載の出力装置。
（付記４）
前記制御部は、前記出力波形情報に基づく指示の補正を行って補正した指示を行う
付記１から付記３までのうちのいずれか１項に記載の出力装置。
（付記５）
前記非線形回路を有する出力器を複数有し、
前記制御部は、前記非線形回路からの出力位相を制御するための指示を前記出力波形情報に基づいて補正することで、複数の出力器のうち任意の出力器を基準とした際に他の出力器に対して与える位相差を補正する
付記１から付記４までのうちのいずれか１項に記載の出力装置。
（付記６）
前記制御部からの指示に応じてパルス信号を生成するパルス電源を有し、
前記制御部は、前記パルス電源に対して、生成するパルス信号の立ち上がり時間を指示し、
前記制御部からの指示に応じた立ち上がり時間のパルス信号が前記非線形回路に入力される
付記１から付記５までのうちのいずれか１項に記載の出力装置。
（付記７）
前記制御部は、前記出力波形情報に基づいて、前記パルス電源に対して指示する立ち上がり時間を補正する
付記６に記載の出力装置。
（付記８）
出力装置が、
パルス信号が入力され、入力に応じた出力を行う非線形回路と非接触な状態で電界測定を行うことで、前記非線形回路の出力波形情報を取得し、
前記出力波形情報に基づいて、前記非線形回路からの出力位相を制御するための指示を、前記パルス信号を出力する電源または前記非線形回路のうちの少なくとも一方に対して行う
出力方法。

【0051】

なお、本開示において記載したプログラムは、記憶装置に記憶されていたり、コンピュータが読み取り可能な記録媒体に記録されていたりする。例えば、記録媒体は、フレキシブルディスク、光ディスク、光磁気ディスク、及び、半導体メモリ等の可搬性を有する媒体である。

【0052】

以上、上記各実施形態を参照して本願発明を説明したが、本願発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。本願発明の構成や詳細には、本願発明の範囲内で当業者が理解しうる様々な変更をすることが出来る。

【符号の説明】

【0053】

１００ 出力システム（出力装置）
２００ 出力器
２１０ 非線形回路
２２０ アンテナ素子
２３０ 検出部
２３１ シールド
２４０ 高電圧パルス電源
２４１ 小信号部
２４２ 高電圧生成部
３００ 制御ユニット（制御部）
３１０ 受信部
３２０ 比較部
３３０ 指示部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】