特開 2024-156539 ＥＦＥＭ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024156539

(43)【公開日】2024-11-06

(54)【発明の名称】ＥＦＥＭ

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20241029BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023071090

(22)【出願日】2023-04-24

(71)【出願人】

【識別番号】000002059

【氏名又は名称】シンフォニアテクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001841

【氏名又は名称】弁理士法人ＡＴＥＮ

(72)【発明者】

【氏名】小倉 源五郎

(72)【発明者】

【氏名】河合 俊宏

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131CA37

5F131CA42

5F131DA32

5F131DA42

5F131DB02

5F131DB62

5F131DB76

5F131GA14

5F131GA33

5F131HA02

5F131HA09

5F131HA12

5F131HA13

5F131HA23

5F131HA28

5F131JA08

5F131JA14

5F131JA15

5F131JA27

(57)【要約】

【課題】ＥＦＥＭにおいて、シンプルな構造で接続モジュールを位置調整可能にする。
【解決手段】ＥＦＥＭ１は、筐体２に設けられた搬送室２１とロードロック室７とを接続するように構成された接続モジュール７０を備える。筐体２は、ウェハＷが通過可能な開口５６ｂが形成された背面壁４６を有する。接続モジュール７０は、背面壁４６に取り付けられた第１接続部材７１と、ロードロック室７に取り付けられた第２接続部材７２とを有する。前記第１接続部材７１は、前後方向に延びた第１筒部７４を有する。第２接続部材７２は、前後方向に延びた第２筒部７６を有する。第２筒部７６は、前後方向において第１筒部７４と少なくとも部分的に重なるように配置され、且つ、第１筒部７４に沿って前後方向に位置調整されることが可能に構成されている。
【選択図】図１１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

処理対象品が搬送される搬送室が形成された筐体と、
前記搬送室と、前記処理対象品に所定の処理を施す処理装置に設けられた前室との間に設けられ、前記搬送室と前記前室とを接続するように構成された接続モジュールと、を備えるＥＦＥＭであって、
前記筐体は、前記処理対象品が通過可能な筐体側開口が形成された背面部材、を有し、
前記接続モジュールは、
前記筐体と前記前室とが並べられる奥行方向から見たときに、前記筐体側開口の周りに配置され、前記背面部材に取り付けられた第１接続部材と、
前記奥行方向から見たときに、前記処理対象品を通過させるように前記前室に設けられた前室側開口の周りに配置され、前記前室に取り付けられた第２接続部材と、を有し、
前記第１接続部材は、前記奥行方向に延びた第１筒部を有し、
前記第２接続部材は、
前記奥行方向に延び、前記奥行方向において前記第１筒部と少なくとも部分的に重なるように配置され、且つ、前記第１筒部に沿って前記奥行方向に位置調整されることが可能に構成された第２筒部を有することを特徴とするＥＦＥＭ。

【請求項2】

前記第１接続部材は、
前記背面部材に取り付けられ、且つ、前記背面部材の延びる方向において前記背面部材に対して位置調整されることが可能に構成されたフランジ部を有することを特徴とする請求項１に記載のＥＦＥＭ。

【請求項3】

前記背面部材は、
前記筐体に対して位置が固定された第１背面部材と、前記第１背面部材に取り付けられており且つ前記第１接続部材が取り付けられた第２背面部材とを有し、
前記第２背面部材は、
前記第１背面部材の延びる方向において前記第１背面部材に対して位置調整されることが可能に構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のＥＦＥＭ。

【請求項4】

前記第１接続部材及び前記第２接続部材のうち少なくとも一方は、前記第１筒部及び前記第２筒部の周方向において、４つ以上の連結可能な連結片に分割されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のＥＦＥＭ。

【請求項5】

前記第１筒部と前記第２筒部とが直接接触していることを特徴とする請求項４に記載のＥＦＥＭ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ＥＦＥＭに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、機器フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）と、電子デバイス処理システムに設けられたロードロックアセンブリ（以下、前室）とを接続するためのインターフェース（以下、接続モジュール）が開示されている。より具体的には、ＥＦＥＭと前室は、所定の奥行方向に並べて配置されている。また、当該接続モジュールは、板状の取付部材と、蛇腹状の可撓性密封材とを含む。取付部材は、前室に連結されている。可撓性密封材は、取付部材に連結されており、取付部材の周りに配置されている。可撓性密封材は、ＥＦＥＭ内の開口部の周りを密封するように構成された密封フランジを含む。密封フランジは、枠状のクランプによってＥＦＥＭの外壁に固定されている。

【0003】

上記の接続モジュールにおいては、可撓性密封材によって、取付部材と密封フランジとの奥行方向における位置関係が調整されることが可能である。このため、設計誤差に起因してＥＦＥＭと前室との奥行方向における位置ずれが大きい場合でも、当該位置ずれがある程度許容される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特許第６８８２４６７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上述した接続モジュールは、取付部材の周りに可撓性密封材が設けられ、さらに可撓性密封材の密封フランジがクランプによってＥＦＥＭに固定されているという複雑且つ大がかりな構造となっている。このため、種々の問題が生じうる。例えば、取付部材が可撓性密封材にぶら下がるように設けられているため、前室を構成する部材によって取付部材を支持する必要が生じる。このため、取付部材の重量によって、前室を構成する部材への負荷が大きくなるので、前室を構成する部材にある程度以上の強度が必要となる。その結果、前室の設計の自由度を低下させてしまう。

【0006】

本発明の目的は、ＥＦＥＭにおいて、シンプルな構造で接続モジュールを位置調整可能にすることである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

第１の発明のＥＦＥＭは、処理対象品が搬送される搬送室が形成された筐体と、前記搬送室と、前記処理対象品に所定の処理を施す処理装置に設けられた前室との間に設けられ、前記搬送室と前記前室とを接続するように構成された接続モジュールと、を備えるＥＦＥＭであって、前記筐体は、前記処理対象品が通過可能な筐体側開口が形成された背面部材、を有し、前記接続モジュールは、前記筐体と前記前室とが並べられる奥行方向から見たときに、前記筐体側開口の周りに配置され、前記背面部材に取り付けられた第１接続部材と、前記奥行方向から見たときに、前記処理対象品を通過させるように前記前室に設けられた前室側開口の周りに配置され、前記前室に取り付けられた第２接続部材と、を有し、前記第１接続部材は、前記奥行方向に延びた第１筒部を有し、前記第２接続部材は、前記奥行方向に延び、前記奥行方向において前記第１筒部と少なくとも部分的に重なるように配置され、且つ、前記第１筒部に沿って前記奥行方向に位置調整されることが可能に構成された第２筒部を有することを特徴とする。

【0008】

本発明では、第２筒部を第１筒部に沿って奥行方向に動かすだけで、奥行方向において第１接続部材と第２接続部材との相対位置を調整できる。つまり、接続モジュールを奥行方向に伸縮させることができる。したがって、ＥＦＥＭにおいて、シンプルな構造で接続モジュールを位置調整できる。なお、本発明では、第２筒部は第１筒部に支持されるため、前室を構成する部材に対して第２接続部材の重量による負荷がかかることが効果的に抑制される。

【0009】

第２の発明のＥＦＥＭは、前記第１の発明において、前記第１接続部材は、前記背面部材に取り付けられ、且つ、前記背面部材の延びる方向において前記背面部材に対して位置調整されることが可能に構成されたフランジ部を有することを特徴とする。

【0010】

本発明では、シンプルな構造で、背面部材の延びる方向においても接続モジュールの位置を調整できる。

【0011】

第３の発明のＥＦＥＭは、前記第１又は第２の発明において、前記背面部材は、前記筐体に対して位置が固定された第１背面部材と、前記第１背面部材に取り付けられており且つ前記第１接続部材が取り付けられた第２背面部材とを有し、前記第２背面部材は、前記第１背面部材の延びる方向において前記第１背面部材に対して位置調整されることが可能に構成されていることを特徴とする。

【0012】

本発明では、第２背面部材の第１背面部材に対する位置調整を行うことによって、背面部材の設計誤差を吸収できる。

【0013】

第４の発明のＥＦＥＭは、前記第１又は第２の発明において、前記第１接続部材及び前記第２接続部材のうち少なくとも一方は、前記第１筒部及び前記第２筒部の周方向において、４つ以上の連結可能な連結片に分割されていることを特徴とする。

【0014】

第１筒部及び第２筒部の両方が全周に亘って連続的に形成されている場合、第１筒部と第２筒部とを奥行方向において少なくとも部分的に重ねるために、第１筒部及び第２筒部の一方を他方に挿通させる必要がある。このため、第１筒部及び第２筒部の一方の外周面と他方の内周面との隙間が非常に狭い場合等に、挿通の作業に手間取る等の問題が生じる。本発明では、第１接続部材及び第２接続部材の少なくともいずれかが周方向において４つ以上に分割されているので、分割されている部品をある程度自由に動かせる。これにより、第１筒部と第２筒部とを奥行方向において予め容易に重ね合わせることができる。

【0015】

第５の発明のＥＦＥＭは、前記第４の発明において、前記第１筒部と前記第２筒部とが直接接触していることを特徴とする。

【0016】

第１筒部と第２筒部との間に例えばパッキンが挟まれるように配置された構成では、ＥＦＥＭにおいて高い密閉性を確保できる。一方で、筐体の内部が例えば大気で満たされるＥＦＥＭは、一般的に、密閉性が多少低くても問題無く稼働させることができる。本発明では、接続モジュールの第１筒部と第２筒部とを直接接触させることにより、第１筒部と第２筒部との間にパッキンを挟ませなくてもある程度の密閉性を確保できる。したがって、このようなＥＦＥＭにおいて部材コストを削減できる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本実施形態に係るＥＦＥＭ及びその周辺の概略的な平面図である。

【図2】ＥＦＥＭの電気的構成を示す図である。

【図3】筐体の正面図である。

【図4】筐体の背面図である。

【図5】図４の一部の拡大図である。

【図6】（ａ）は、図５のVI(a)-VI(a)線断面図であり、（ｂ）は、（ａ）の一部の拡大図である。

【図7】（ａ）は、接続モジュールの斜視図であり、（ｂ）は、接続モジュールの正面図である。

【図8】（ａ）、（ｂ）は、接続モジュールの各部の正面図であり、（ｃ）は、第２接続部材のVIII(c)- VIII(c)線断面図であり、（ｄ）は、（ｃ）と同様の断面図である。

【図9】（ａ）、（ｂ）は、背面壁を筐体に取り付ける手順を示す説明図である。

【図10】（ａ）、（ｂ）は、接続モジュールを背面壁に取り付ける手順を示す説明図である。

【図11】（ａ）、（ｂ）は、第２接続部材の位置調整方法を示す説明図である。

【図12】（ａ）、（ｂ）は、接続モジュールをロードロック室に取り付ける手順を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

次に、本発明の実施の形態について説明する。説明の便宜上、図１に示す方向を前後左右方向と定義する。すなわち、ＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）１と処理装置６とが並べられている方向を前後方向（本発明の奥行方向）と定義する。前後方向において、ＥＦＥＭ１側を前側（搬送室側）と定義する。前後方向において、処理装置６側を後側（前室側）と定義する。前後方向と直交する、複数のロードポート４が並べられる方向を左右方向と定義する。また、前後方向及び左右方向の両方と直交する方向を上下方向と定義する。

【0019】

（ＥＦＥＭ及び周辺の概略構成）
ＥＦＥＭ１及びその周辺の概略構成について、図１及び図２を参照しつつ説明する。図１は、本実施形態に係るＥＦＥＭ１及びその周辺の概略的な平面図である。図２は、ＥＦＥＭ１の電気的構成を示す図である。ＥＦＥＭ１は、筐体２と、搬送ロボット３と、複数のロードポート４と、制御装置５（図２参照）とを備える。ＥＦＥＭ１の後側には、処理装置６が配置されている。処理装置６は、半導体基板であるウェハＷ（本発明の処理対象品）に所定の処理を施す装置である。所定の処理とは、例えば真空チャンバー内で行われる処理（スパッタリング、ドライエッチングなど）であっても良く、或いは他の処理であっても良い。ＥＦＥＭ１は、筐体２内に配置された搬送ロボット３によって、ロードポート４に載置されているＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）１００と処理装置６との間でウェハＷの受渡しを行う。ＦＯＵＰ１００は、複数のウェハＷを上下方向に並べて収容可能な容器である。ＦＯＵＰ１００の後端部（前後方向における筐体２側の端部）には蓋１０１が取り付けられている。ＦＯＵＰ１００は、例えば不図示の搬送装置によって搬送される。搬送装置とロードポート４との間で、ＦＯＵＰ１００の受渡しが行われる。

【0020】

筐体２は、複数のロードポート４と処理装置６とを接続するためのものである。図１に示すように、筐体２の内部には、ウェハＷが搬送される搬送室２１が形成されている。搬送室２１は、筐体２の外側の空間（以下、外部空間９）に対して概ね密閉されている。本実施形態では、ＥＦＥＭ１が稼動しているときの搬送室２１は、例えば清浄な空気で満たされている。筐体２は、搬送室２１を含む内部空間２０内を空気が循環するように構成されている。搬送室２１は、公知のゲートバルブ１０及び後述の接続モジュール７０を介して、処理装置６のロードロック室７（本発明の前室）と接続されている。ゲートバルブ１０は、例えば、筐体２の後端部よりも後側に配置されている。ゲートバルブ１０は、ロードロック室７に属する。本実施形態では、２つのゲートバルブ１０が左右方向に並べて配置されている。ウェハＷは、いずれかのゲートバルブ１０を通って搬送室２１とロードロック室７との間で搬送される。なお、ゲートバルブ１０の数はこれに限られない。ゲートバルブ１０の構成の詳細な説明は省略する。

【0021】

搬送ロボット３は、搬送室２１内においてウェハＷの搬送を行うように構成されている。搬送ロボット３は、例えば、基台部３ａ（図３参照）と、アーム機構３ｂ（図３参照）と、ロボット制御部１１（図２参照）とを有する。基台部３ａは、搬送室２１内における位置が固定された部分である。アーム機構３ｂは、基台部３ａに取り付けられ、ウェハＷを保持して搬送するように構成されている。搬送ロボット３は、主に、ＦＯＵＰ１００内のウェハＷを取り出して処理装置６に渡す動作、及び処理装置６によって処理されたウェハＷを受け取ってＦＯＵＰ１００に戻す動作を行う。

【0022】

複数のロードポート４（図１参照）の各々は、ＦＯＵＰ１００が載置されるように構成されている。複数のロードポート４は、左右方向に並べて配置されている。各ロードポート４の後端部は、筐体２の前側の隔壁（後述する前面壁４２）に沿うように配置されている。ロードポート４は、ＦＯＵＰ１００内のガスを別のガスに置換可能に構成されていても良い。ロードポート４の後端部には、ドア４ａが設けられている。ドア４ａは、不図示のドア開閉機構によって開閉される。ドア４ａは、ＦＯＵＰ１００の蓋１０１のロックを解除可能、且つ、蓋１０１を保持可能に構成されている。ロックが解除された蓋１０１をドア４ａが保持している状態で、ドア移動機構がドア４ａを開けることで、蓋１０１が開けられる。これにより、ＦＯＵＰ１００内のウェハＷが、搬送ロボット３によって取り出されることが可能になる。

【0023】

制御装置５（図２参照）は、搬送ロボット３のロボット制御部１１、ロードポート４の制御部（不図示）、処理装置６の制御部（不図示）と電気的に接続されており、これらの制御部との通信を行う。制御装置５は、例えば、筐体２内に設置された圧力計１１１等の計測機器と電気的に接続されている。制御装置５は、例えば供給バルブ１１２及び排出バルブ１１３と電気的に接続されている。供給バルブ１１２は、例えば外部空間９の空気を筐体２内に供給するための供給管（不図示）に設けられ、供給管を開閉可能に構成されている。排出バルブ１１３は、例えば筐体２内の空気を外部空間９に排出するための排出管（不図示）に設けられ、排出管を開閉可能に構成されている。制御装置５は、これらのバルブの開度を調節することにより、筐体２内の雰囲気（例えば内部空間２０の気圧）を適宜調節する。内部空間２０の気圧は、外部空間９の気圧よりもわずかに高い（すなわち、微陽圧である）と好ましい。

【0024】

処理装置６（図１参照）は、例えば、ロードロック室７と、処理室８とを有する。ロードロック室７は、ウェハＷを一時的に待機させるための部屋である。ロードロック室７内の気圧は、例えば、真空に近い気圧（搬送室２１の気圧よりも非常に低い気圧）に維持される。ロードロック室７は、例えばゲートバルブ１０を介して搬送室２１と接続されている。処理室８は、例えば不図示のドアを介してロードロック室７と接続されている。処理室８では、不図示の処理機構によって、ウェハＷに対して所定の処理が施される。

【0025】

（筐体の構成）
次に、筐体２の構成について、図１、図３～図５を参照しつつ説明する。図３は、筐体２の正面図である。図４は、筐体２の背面図である。図５は、図４の一部の拡大図である。図３においては、図面の煩雑化を抑制するため、後述する複数の壁のうち一部の図示を省略している。図３及び図４においては、図面の煩雑化を抑制するため、複数の壁のうち一部を二点鎖線で示している。図４における左右方向は、図３における左右方向と逆であることに留意されたい。

【0026】

筐体２は、全体として略直方体状である。図１、図３及び図４に示すように、筐体２は、例えば、柱３１～３６と、梁３７～４１と、前面壁４２～４４と、背面壁４５～４８と、側壁４９～５０と、底板５１と、天板５２と、支持板５３とを有する。柱３１～３６及び梁３７～４１は、筐体２の外枠（フレーム２Ｆ）を構成するための部材である。フレーム２Ｆに取り付けられた前面壁４２～４４、背面壁４５～４８、側壁４９～５０、底板５１及び天板５２によって、筐体２の内部空間２０が外部空間９に対して概ね密閉されている。支持板５３は、搬送室２１と、後述する上部空間２３（図３及び図４参照）とを上下方向において隔てている。これらの部材は、例えば、一般的な板金（圧延された厚さ６ｍｍ以下の金属板）で形成されている。或いは、これらの部材の少なくとも一部が、厚さ６ｍｍよりも大きい厚板などで形成されていても良い。

【0027】

柱３１～３６は、上下方向に延びるように配置された部材である。図１に示すように、柱３１は、筐体２の左端部且つ前端部に配置されている。柱３２は、筐体２の右端部且つ前端部に配置されている。柱３３は、筐体２の右端部且つ後端部に配置されている。柱３４は、筐体２の左端部且つ後端部に配置されている。柱３１～３４は、筐体２の上下方向における略全域に亘って延びている（図３及び図４参照）。図１に示すように、柱３５は、左右方向において柱３１と柱３２との間に配置され、且つ、筐体２の前端部に配置されている。柱３６は、左右方向において柱３３と柱３４との間に配置され、且つ、筐体２の後端部に配置されている。柱３５、３６は、筐体２の下端部から上側の途中部まで延びている（図３及び図４参照）。

【0028】

梁３７～４０は、水平方向に延びるように配置された部材である。梁３７は、左右方向に沿って延び、柱３３及び柱３６に固定されている（図４参照）。梁３７の左端部は、柱３６の上下方向における途中部に取り付けられている。梁３７の右端部は、柱３３の上下方向における途中部に取り付けられている。

【0029】

梁３８は、左右方向に沿って延び、柱３１、３２及び３５に固定されている（図３参照）。梁３８の左端部は、柱３１の上下方向における途中部に取り付けられている。梁３８の右端部は、柱３２の上下方向における途中部に取り付けられている。梁３８の左右方向における途中部は、柱３５の上端部に取り付けられている。梁３９は、左右方向に沿って延び、柱３３、３４及び３６に固定されている（図３参照）。梁３９の左端部は、柱３４の上下方向における途中部に取り付けられている。梁３９の右端部は、柱３３の上下方向における途中部に取り付けられている。梁３９の左右方向における途中部は、柱３６の上端部に取り付けられている。

【0030】

梁４０は、左右方向に沿って延び、柱３１及び３２に固定されている（図３参照）。梁４０の左端部は、柱３１の上端部に取り付けられている。梁４０の右端部は、柱３２の上端部に取り付けられている。梁４１は、左右方向に沿って延び、柱３３及び３４に固定されている（図４参照）。梁４１の左端部は、柱３４の上端部に取り付けられている。梁４１の右端部は、柱３３の上端部に取り付けられている。

【0031】

前面壁４２～４４は、筐体２の前端部に配置されている。前面壁４２（図１参照。図３においては図示省略）は、柱３２、３５、梁３８及び底板５１に囲まれて形成された開口を塞ぐための部材である。前面壁４２は、ロードポートが固定される部材である。前面壁４３（図１及び図３参照）は、柱３１、３５、梁３８及び底板５１に囲まれて形成された開口を塞ぐための部材である。前面壁４４（図１及び図３参照）は、柱３１、３２、梁３８及び４０に囲まれて形成された開口を塞ぐための部材である。

【0032】

背面壁４５～４８は、筐体２の後端部に配置されている。背面壁４５（図１及び図４参照）は、柱３３、３６、梁３７及び底板５１に囲まれて形成された開口を塞ぐための部材である。背面壁４６（図１、図４及び図５参照。本発明の背面部材）は、柱３３、３６、梁３７及び３９に囲まれて形成された開口を塞ぐための部材である。背面壁４６は、上下方向及び左右方向に延びている。背面壁４６のより詳細については後述する。背面壁４７（図１及び図４参照）は、柱３４、３６、梁３９及び底板５１に囲まれて形成された開口を塞ぐための部材である。背面壁４８（図１及び図４参照）は、柱３３、３４、梁３９及び４１に囲まれて形成された開口を塞ぐための部材である。

【0033】

側壁４９は、筐体２の左端部に配置されている。側壁５０は、筐体２の右端部に配置されている。底板５１は、筐体２の底部に配置されている（図３及び図４参照）。天板５２は、筐体２の天井部に配置されている（図３及び図４参照）。支持板５３は、水平方向に延びている。支持板５３は、例えば、梁３８及び３９のうち左右方向において柱３２と柱３５との間に配置された部分の上に設けられている。

【0034】

以上のようにして形成された筐体２の内部空間２０は、例えば搬送室２１と、機器設置室２２と、上部空間２３とを含む。搬送室２１は、上述したように、搬送ロボット３がウェハＷを搬送する空間である。機器設置室２２は、例えば搬送室２１の側方に隣接配置され、搬送室２１とつながっている。機器設置室２２には、公知のアライナ及び／又はウェハ反転装置などの機器（不図示）が設置されている。上部空間２３は、例えば搬送室２１及び機器設置室２２の上側に配置されている。上部空間２３は、支持板５３によって、搬送室２１及び機器設置室２２と隔てられている。上部空間２３に配置された支持板５３の前後方向における中央部には、搬送室２１及び機器設置室２２と、上部空間２３とを接続する開口（不図示）が形成されている。上部空間２３には、例えば、公知の複数のファンフィルタユニット５４が左右方向に並べて配置されている。複数のファンフィルタユニット５４は、例えば支持板５３の上に設置されている。各ファンフィルタユニット５４は、上部空間２３の空気を清浄化して搬送室２１及び機器設置室２２へ送るように構成されている。上部空間２３には、例えば上述の供給管（不図示）を通って空気が供給される。

【0035】

ファンフィルタユニット５４によって清浄化された空気は、上部空間２３から下方へ送り出され、搬送室２１及び機器設置室２２において層流を形成して下方へ流れる（図３の二点鎖線の矢印参照）。搬送室２１及び機器設置室２２の下端部まで到達した空気は、例えば上述の排出管（不図示）を通って排出される。

【0036】

ＥＦＥＭ１は、内部空間２０内の空気の一部を循環可能に構成されていても良い。より具体的には、例えば、搬送室２１及び機器設置室２２内の空気を上部空間２３に戻すための循環ダクト２４（図３参照）が設けられていても良い。搬送室２１及び機器設置室２２の下端部まで到達した空気の一部は、循環ダクト２４を通って上昇し、上部空間２３に戻っても良い。循環ダクト２４の途中部には、搬送室２１及び機器設置室２２内の空気を上部空間２３へ強制的に送るファン２５が設けられていても良い。循環ダクト２４の途中部には、循環ダクト２４を開閉するバルブ２６が設けられていても良い。バルブ２６が開いているとき、内部空間２０内の空気の一部が循環する。バルブ２６が閉じているとき、内部空間２０内の空気は循環しない。なお、本実施形態において、循環ダクト２４は設けられていなくても良い。つまり、内部空間２０内の空気は、専ら上述の供給管を通って供給され、排出管を通って排出されても良い。

【0037】

さらに、ＥＦＥＭ１は、２つの接続モジュール７０（図１、図３及び図４参照）を備える。接続モジュール７０は、搬送室２１及びロードロック室７の密閉性をある程度確保しつつ、搬送室２１とロードロック室７とを接続するように構成されている。２つの接続モジュール７０は、背面壁４６に取り付けられている。

【0038】

（ロードロック室の前端部）
次に、ロードロック室７の前端部について、図６（ａ）及び図６（ｂ）を参照しつつ説明する。図６（ａ）は、図５のＶＩ（ａ）－ＶＩ（ａ）線断面図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）の一部の拡大図である。

【0039】

図６（ａ）に示すように、ロードロック室７の前端部は、例えば、フレーム部材６１によって形成されている。フレーム部材６１の前端には、例えばフランジ部材６２が取り付けられている。フランジ部材６２は、その内部の空間をウェハＷが前後方向に通過可能に構成されている。フランジ部材６２は、筒状の筒部６３と、略平板状のフランジ部６４とを有する。筒部６３は前後方向に延びている。筒部６３はフレーム部材６１に固定されている。筒部６３の内側の空間にはゲートバルブ１０が収容されている。筒部６３の内側の空間は、ゲートバルブ１０を介してロードロック室７と接続されている。フランジ部６４は、筒部６３の前端部に形成されている。図６（ｂ）に示すように、フランジ部６４には、前後方向に貫通した開口６４ａが形成されている。開口６４ａは、ウェハＷが前後方向に通過可能な大きさを有する。フランジ部６４の前端には、例えば枠状の介在部材６５がボルト６６によって固定されている。介在部材６５には、前後方向に貫通した開口６５ａ（本発明の前室側開口）が形成されている。開口６５ａは、ウェハＷが前後方向に通過可能な大きさを有する。介在部材６５は、フランジ部６４と接続モジュール７０の後端部とを連結させるための部材である。すなわち、接続モジュール７０の後端部が介在部材６５に固定される。より具体的には、介在部材６５の前端には、後述する第２接続部材７２の後端面７５ｂと接触する前端面６５ｂが形成されている。前端面６５ｂには、後述のボルトＢ４が螺合されるねじ孔６５ｃが形成されている。

【0040】

ここで、ＥＦＥＭ１を設置する際に、接続モジュール７０をロードロック室７に対して容易に位置合わせするための手段が求められている。筐体２の設計誤差及びロードロック室７の設計誤差を吸収するために筐体２全体を位置調整するのでは、膨大な手間がかかるためである。このような手段の検討は従来から行われているが、さらなる取り扱い性の向上及び部材の軽量化等が求められる。そこで、本実施形態のＥＦＥＭ１においては、シンプルな構造で接続モジュール７０を位置調整可能にするため、筐体２及び接続モジュール７０が以下の構成を有する。

【0041】

（筐体及び接続モジュールのより詳細な構成）
筐体２及び接続モジュール７０のより詳細な構成について、図５～図８（ｄ）を参照しつつ説明する。図７（ａ）は、接続モジュール７０の斜視図である。図７（ｂ）は、接続モジュール７０の正面図である。図８（ａ）は、後述する第１接続部材７１の正面図である。図８（ｂ）は、後述する第２接続部材７２の正面図である。図８（ｂ）において、第２接続部材７２は４つに分割されている。図８（ｃ）は、第２接続部材のＶＩＩＩ（ｃ）－ ＶＩＩＩ（ｃ）線断面図である。図８（ｄ）は、図８（ｃ）と同様の断面図である。

【0042】

まず、筐体２のより詳細な構成について説明する。図５に示すように、筐体２の背面壁４６は、例えば、第１背面部材５５と、２つの第２背面部材５６とを有する。第１背面部材５５は、例えば略長方形状の板部材である。第１背面部材５５は、例えば複数の（本実施形態では８個の）ボルトＢ１によって、筐体２の外側から柱３３、３６、梁３７及び３９に固定されている。第１背面部材５５の筐体２に対する位置（より厳密には、フレーム２Ｆに対する位置）は固定されている。第１背面部材５５は、それぞれ前後方向に貫通した２つの開口５５ａ（図６（ａ）及び図９（ａ）参照）を有する。各開口５５ａの周りには、後述のボルトＢ２をそれぞれ螺合させるための複数のねじ孔５５ｂ（図９（ａ）参照）が形成されている。

【0043】

２つの第２背面部材５６の各々は、例えば略長方形状の板部材である。図５に示すように、各第２背面部材５６は、複数のボルトＢ２によって、筐体２の外側から第１背面部材５５に取り付けられている。より具体的には、第２背面部材５６は、第１背面部材５５の開口５５ａを塞ぐ大きさを有する。第２背面部材５６の外縁の近傍には、ボルトＢ２を挿通させるための複数の挿通孔５６ａ（図５参照）が形成されている。各挿通孔５６ａは、ボルトＢ２のねじ部の外径（例えば４ｍｍφ）よりも大きい内径（例えば１４ｍｍφ）を有する。これにより、第２背面部材５６の第１背面部材５５に対する上下方向及び左右方向の位置を調整できる。前後方向において、第２背面部材５６と各ボルトＢ２の頭部との間には、例えばワッシャーＷ２が介在している。ワッシャーＷ２の外径は、例えば、挿通孔５６ａの内径よりも大きい。第２背面部材５６には、前後方向に貫通する略長方形状の開口５６ｂ（図５及び図９（ｂ）参照。本発明の筐体側開口）が形成されている。開口５６ｂは、後述の第１接続部材７１の第１筒部７４を筐体２の内側から外側へ向かって通過させるための孔である。開口５６ｂは、第１背面部材５５の開口５５ａよりも小さい。開口５６ｂの近傍には、後述のボルトＢ３をそれぞれ螺合させるための複数のねじ孔５６ｃ（図５参照）が形成されている。

【0044】

次に、接続モジュール７０のより詳細な構成について説明する。図６（ａ）～図８（ｄ）に示すように、接続モジュール７０は、第１接続部材７１と、第２接続部材７２とを有する。第１接続部材７１は、例えば第２背面部材５６に取り付けられている。第２接続部材７２は、例えば介在部材６５に取り付けられている。第１接続部材７１と第２接続部材７２は互いに接触している。第２接続部材７２は、第１接続部材７１に対して前後方向において位置調整可能に構成されている。

【0045】

第１接続部材７１は、前後方向から見たときに略長方形状の部材である（図７（ａ）～図８（ａ）参照）。第１接続部材７１は、例えば板金又は厚板で形成されている。第１接続部材７１は、例えば複数のボルトＢ３（図６（ｂ）、図７（ｂ）参照）によって、第２背面部材５６の開口５６ｂの近傍部分にねじ止めされている。各ボルトＢ３は、ねじ孔５６ｃ（図５、図８（ａ）参照）に螺合されている。図６（ａ）～図８（ａ）に示すように、第１接続部材７１は、略長方形の枠状の第１フランジ部７３（本発明のフランジ部）と、略直方体の筒状の第１筒部７４とを有する。

【0046】

図７（ａ）に示すように、第１フランジ部７３は、第１接続部材７１の後端部に設けられている。第１フランジ部７３は、複数のボルトＢ３のねじ部をそれぞれ挿通させるための複数の挿通孔７３ａを有する。各挿通孔７３ａは、ボルトＢ３のねじ部の外径（例えば４ｍｍφ）よりも大きい内径（例えば１４ｍｍφ）を有する。これにより、第１フランジ部７３を第２背面部材５６に対して上下方向及び左右方向に位置調整できる。前後方向において、第１フランジ部７３と各ボルトＢ３の頭部との間には、例えばワッシャーＷ３（図６（ｂ）参照）が介在している。ワッシャーＷ３の外径は、例えば、挿通孔７３ａの内径よりも大きい。第１フランジ部７３は、前後方向に貫通した略長方形状の開口７３ｂを有する。開口７３ｂの近傍（すなわち、第１フランジ部７３の内縁の近傍）から後方に第１筒部７４が突出している。

【0047】

第１筒部７４は、略直方体の筒状の部分である。第１筒部７４は、第１フランジ部７３の内縁の近傍から後方へ延びている。第１筒部７４には、内周面７４ａ（本発明の周面。図６（ａ）、図６（ｂ）及び図８（ａ）参照）が形成されている。前後方向から見たときに、内周面７４ａの大きさは、開口７３ｂの大きさと略同じである。内周面７４ａには、後述するように、第２接続部材７２が接触している。内周面７４ａには、第１筒部７４の厚み方向に延びる複数のねじ孔７４ｂ（図６（ａ）参照）が形成されている。

【0048】

第２接続部材７２は、前後方向から見たときに略長方形状の部材である（図７（ａ）、図７（ｂ）参照）。第２接続部材７２は、例えば板金又は厚板で形成されている。第２接続部材７２は、例えば複数のボルトＢ４（図６（ｂ）、図７（ｂ）参照）によって、介在部材６５にねじ止めされている。複数のボルトＢ４は、介在部材６５に形成された複数のねじ孔６５ｃに螺合されている。図６（ａ）～図７（ｂ）に示すように、第２接続部材７２は、略長方形の枠状の第２フランジ部７５と、略直方体の筒状の第２筒部７６とを有する。

【0049】

第２フランジ部７５は、第２接続部材７２の前端部に設けられている。第２フランジ部７５は、複数のボルトＢ４（図７（ｂ）参照）のねじ部をそれぞれ挿通させるための複数の挿通孔７５ａ（図７（ａ）参照）を有する。各挿通孔７５ａは、例えば、ボルトＢ４のねじ部の外径（例えば４ｍｍφ）よりもわずかに大きい内径を有する。第２フランジ部７５の後端には、介在部材６５の前端面６５ｂと接触する後端面７５ｂが形成されている（図６（ｂ）参照）。第２フランジ部７５は、前後方向に貫通した略長方形状の開口７７を有する。

【0050】

第２筒部７６は、略直方体の筒状の部分である。第２筒部７６は、第２フランジ部７５の外縁の近傍から前方へ延びている。第２筒部７６には、外周面７６ａ（図６（ａ）及び図６（ｂ）参照）が形成されている。外周面７６ａは、第１接続部材７１の第１筒部７４の内周面７４ａと略全周に亘って直接接触している。第２筒部７６は、前後方向において第１筒部７４と部分的に重なるように配置されている（図６（ａ）及び図６（ｂ）参照）。

【0051】

前後方向から見たときに、第１筒部７４及び第２筒部７６が略全周に亘って延びる方向を、説明の便宜上、周方向と呼ぶ（方向に関する図示は省略する）。第２接続部材７２は、第１筒部７４及び第２筒部７６の周方向において、４つの連結可能な部品に分割されている（図７（ａ）及び図８（ｂ）参照）。当該４つの部品を、説明の便宜上、４つの連結片８１（連結片８２、８３、８４及び８５）と呼ぶ。例えば、左上側に配置された連結片８１が連結片８２である。右上側に配置された連結片８１が連結片８３である。右下側に配置された連結片８１が連結片８４である。左下側に配置された連結片８１が連結片８５である。

【0052】

４つの連結片８１の各々は、例えば、前後方向から見たときに略Ｌ字状の部品である（図７（ｂ）及び図８（ｂ）参照）。４つの連結片８１の各々は、第２フランジ部７５を構成するフランジ片８１ａと、第２筒部７６を構成する筒片８１ｂとを有する。つまり、連結片８２、８３、８４及び８５は、フランジ片８２ａ、８３ａ、８４ａ及び８５ａ、並びに筒片８２ｂ、８３ｂ、８４ｂ及び８５ｂをそれぞれ有する。４つの連結片８１の各々は、周方向において隣接する他の２つの連結片８１と連結されている（図７（ｂ）参照）。これにより、４つのフランジ片８１ａによって第２フランジ部７５が形成されている。また、４つの筒片８１ｂによって第２筒部７６が形成されている。

【0053】

図７（ｂ）に示すように、フランジ片８２ａ及び筒片８２ｂの右端には、右端面８２ｃが形成されている。フランジ片８２ａ及び筒片８２ｂの下端には、下端面８２ｄが形成されている。フランジ片８３ａ及び筒片８３ｂの左端には、左端面８３ｃが形成されている。フランジ片８３ａ及び筒片８３ｂの下端には、下端面８３ｄが形成されている。フランジ片８４ａ及び筒片８４ｂの左端には、左端面８４ｃが形成されている。フランジ片８４ａ及び筒片８４ｂの上端には、上端面８４ｄが形成されている。フランジ片８５ａ及び筒片８５ｂの左端には、右端面８５ｃが形成されている。フランジ片８５ａ及び筒片８５ｂの上端には、上端面８５ｄが形成されている。右端面８２ｃと左端面８３ｃとが互いに対向する。下端面８３ｄと上端面８４ｄとが互いに対向する。左端面８４ｃと右端面８５ｃとが互いに対向する。上端面８５ｄと下端面８２ｄとが互いに対向する。

【0054】

第２筒部７６の外周面７６ａが第１筒部７４の内周面７４ａと略全周に亘って接触している状態で、右端面８２ｃと左端面８３ｃとの間にはわずかに隙間が形成されている。同様に、下端面８３ｄと上端面８４ｄとの間、左端面８４ｃと右端面８５ｃとの間、上端面８５ｄと下端面８２ｄとの間にもわずかに隙間が形成されている。

【0055】

４つの連結片８１の各々は、他の連結片８１と接続されるための接続部８１ｅを有する。つまり、連結片８２、８３、８４及び８５は、接続部８２ｅ、８３ｅ、８４ｅ及び８５ｅをそれぞれ有する（図７（ｂ）及び図８（ｂ）参照）。接続部８１ｅは、例えば略板状の部分である。例えば、接続部８２ｅは、フランジ片８２ａ及び筒片８２ｂの右端部から延び、右端面８２ｃよりも右方へ突出するように設けられている。接続部８２ｅは、左右方向において連結片８３と部分的に重なるように配置されている。接続部８３ｅは、フランジ片８３ａ及び筒片８３ｂの下端部から延び、下端面８３ｄよりも下方へ突出するように設けられている。接続部８３ｅは、上下方向において連結片８４と部分的に重なるように配置されている。接続部８４ｅは、フランジ片８４ａ及び筒片８４ｂの左端部から延び、左端面８４ｃよりも左方へ突出するように設けられている。接続部８４ｅは、左右方向において連結片８５と部分的に重なるように配置されている。接続部８５ｅは、フランジ片８５ａ及び筒片８５ｂの上端部から延び、上端面８５ｄよりも上方へ突出するように設けられている。接続部８５ｅは、上下方向において連結片８２と部分的に重なるように配置されている。４つの接続部８１ｅの各々は、例えばフランジ片８１ａ及び筒片８１ｂに沿うように伸びている（図８（ｂ）～図８（ｄ）参照）。

【0056】

ある連結片８１と別の連結片８１とを接続するための構成について、図８（ｃ）及び図８（ｄ）を参照しつつ説明する。図８（ｃ）及び図８（ｄ）においては、連結片８２と連結片８５とを接続するための部分が例示されている。例えば、連結片８２の筒片８２ｂには、筒片８２ｂの厚み方向に延びた２つのねじ孔８２ｆが形成されている。連結片８５の接続部８５ｅには、ねじ孔８２ｆの延びる方向（以下、延在方向と呼ぶ）と略同じ方向に貫通する２つの位置調整孔８５ｇが形成されている。各位置調整孔８５ｇは、連結片８２と連結片８５とが隣接する方向（上下方向）に延びるように形成されている。２つのねじ孔８２ｆは、連結片８２と連結片８５とが接続される際に、延在方向から見たときに２つの位置調整孔８５ｇの内側にそれぞれ収まることが可能な位置に配置されている（図８（ｄ）参照）。各連結片８１の他の部分も（方向を除いて）同様の構成を有するため、説明を省略する。

【0057】

連結片８２と連結片８５は、後述するように、例えば各ねじ孔８２ｆに螺合されたボルトＢ５（図１１（ａ）参照）によって連結される。より詳細には、接続部８５ｅが筒片８２ｂとボルトＢ５の頭部との間に挟持されることにより、連結片８５が連結片８２に固定される。なお、ねじ孔８２ｆ及び位置調整孔８５ｇの数はこれに限られない。各連結片８１の他の部分も（方向を除いて）同様の構成を有するため、説明を省略する。

【0058】

また、接続モジュール７０は、前後方向に伸縮可能な構造（いわゆるテレスコピック）を有する。すなわち、接続モジュール７０は、前後方向において第２筒部７６を第１筒部７４に対して位置調整可能に構成されている。例えば図８（ｃ）及び図８（ｄ）に示すように、連結片８１の筒片８１ｂには、筒片８１ｂの厚み方向に貫通し且つ前後方向に延びた複数の位置調整孔８１ｈが形成されている（位置調整孔８２ｈ、８５ｈを参照）。上述した複数のねじ孔７４ｂ（図６（ａ）参照）の各々は、当該厚み方向から見たときに、複数の位置調整孔８１ｈのいずれかの内側に収まるように配置されている。各ねじ孔７４ｂには、対応する位置調整孔８１ｈに挿通されたボルトＢ６（図１２（ａ）参照）が螺合されている。

【0059】

（ＥＦＥＭの設置方法）
次に、上述した構成を有するＥＦＥＭ１の設置方法について、図９（ａ）～図１２（ｂ）を参照しつつ説明する。図９（ａ）及び図９（ｂ）は、背面壁４６を筐体２に取り付ける手順を示す説明図である。図１０（ａ）及び図１０（ｂ）は、接続モジュール７０を背面壁４６に取り付ける手順を示す説明図である。図１１（ａ）及び図１１（ｂ）は、第２接続部材７２の位置調整方法を示す説明図である。図１２（ａ）及び図１２（ｂ）は、接続モジュール７０をロードロック室７に取り付ける手順を示す説明図である。図１１（ａ）及び図１２（ａ）における方向は、例えば図６（ａ）における方向と同じである。図１１（ｂ）及び図１２（ｂ）における方向は、例えば図７（ｂ）における方向と同じである。

【0060】

まず、ＥＦＥＭ１は、複数の部品に分けられた状態で、処理装置６が設置される（又は、既に設置された）工場へ運ばれる。複数の部品には背面壁４６が含まれる。背面壁４６は、２つの第２背面部材５６が第１背面部材５５に予め位置合わせされた状態で出荷される。より具体的には、まず第１背面部材５５が柱３３、３６、梁３７及び３９にねじ止めされる（図９（ａ）参照）。次に、２つの第２背面部材５６が、第１背面部材５５に対して位置合わせされた上で、第１背面部材５５にねじ止めされる（図９（ｂ）参照）。

【0061】

その後、例えば工場内の所定のクリーンルームにおいて、処理装置６及び筐体２が設置される。処理装置６が設置された後で、筐体２が処理装置６に位置合わせされる。筐体２の設計誤差及び処理装置６の設計誤差に起因して、第２背面部材５６と介在部材６５（図６（ａ）参照）との間に多少の位置ずれが生じていても良い。

【0062】

作業者は、筐体２の内部空間２０（より具体的には、搬送室２１）に入って、接続モジュール７０を筐体２及びロードロック室７に取り付ける。すなわち、本実施形態においては、外部空間９において接続モジュール７０の取付作業を行う必要はない。

【0063】

まず、作業者は、複数のボルトＢ３（図１０（ａ）参照）によって第１接続部材７１を第２背面部材５６にねじ止めする。その際、作業者は、複数のボルトＢ３で第１接続部材７１を仮止めし、複数のボルトＢ３のねじ部を複数の挿通孔７３ａにそれぞれ遊嵌させる。この状態で、作業者は、第１接続部材７１を上下方向及び左右方向において位置調整する。その後、作業者は、複数のボルトＢ３を本締めする。これにより、上下方向及び左右方向において、第１接続部材７１と介在部材６５（図６（ａ）参照）との位置ずれを実質的に解消できる。すなわち、筐体２の設計誤差及び処理装置６の設計誤差を吸収できる。

【0064】

次に、作業者は、複数の連結片８２～８５を互いに連結させて、第２接続部材７２を仮に組み立てる。より具体的には、作業者は、各連結片８１の接続部８１ｅを、対応する別の連結片８１と上下方向又は左右方向において重ね合わせる（例えば図８（ｄ）、図１０（ｂ）等参照）。作業者は、複数のボルトＢ５（図１１（ａ）参照）を用いて、各接続部８１ｅを当該別の連結片８１に仮止めする。この状態で、作業者は、右端面８２ｃと左端面８３ｃを互いに接触させる程度に近づける（図１０（ｂ）参照）。同様に、作業者は、下端面８３ｄと上端面８４ｄ、左端面８４ｃと右端面８５ｃ、上端面８５ｄと下端面８２ｄを、互いに接触させる程度にそれぞれ近づける。これにより、第２接続部材７２が仮に組み立てられた状態において、第２筒部７６の外周面７６ａは、第１筒部７４の内周面７４ａに接触しているときと比べて一回り小さい。このため、前後方向において第２接続部材７２を第１筒部７４の内部空間に容易に挿通できる。

【0065】

次に、作業者は、第１接続部材７１の後側から第２接続部材７２を第１筒部７４の内部空間に挿通させる（図１０（ｂ）及び図１１（ａ）参照）。作業者は、例えば第２フランジ部７５の後端面７５ｂ（図６（ｂ）参照）が介在部材６５の前端面６５ｂ（図６（ｂ）参照）に接触するまで第２接続部材７２を後方へ移動させる。このとき、図１１（ａ）に示すように、第１筒部７４の厚み方向から見たときに、第２接続部材７２のねじ孔７４ｂが位置調整孔８１ｈの内側に収まる範囲内で、第２筒部７６を前後方向に移動させることができる。このようにして、第２筒部７６は、第１筒部７４に沿って前後方向に位置調整されることが可能である。その後、作業者は、複数のボルトＢ４及びＢ６を所定のねじ孔にそれぞれ仮締めしても良い。

【0066】

次に、作業者は、第２筒部７６の外周面７６ａを第１筒部７４の内周面７４ａに接触させるように、各連結片８１の筒片８１ｂを前後方向から見たときに外側へ移動させる（図１１（ｂ）参照）。次に、作業者は、複数のボルトＢ５（図１１（ａ）参照）を本締めして第２筒部７６の組み立てを完了させる。また、作業者は、複数のボルトＢ６によって第２筒部７６を第１筒部７４に固定する（図１２（ａ）参照）。また、作業者は、複数のボルトＢ４（図１２（ｂ）参照）によって第２フランジ部７５をロードロック室７（より具体的には、介在部材６５）に固定する。以上のようにして、接続モジュール７０の組立、及び接続モジュール７０の筐体２及びロードロック室７への取付が完了する。

【0067】

接続モジュール７０は、主に第１接続部材７１及び第２接続部材７２で構成されている。第１接続部材７１は第２背面部材５６によって支持されている。また、第２接続部材７２は第１接続部材７１によって支持されている。したがって、接続モジュール７０の重みによるロードロック室７への負荷は小さい。

【0068】

以上のように、第２筒部７６を第１筒部７４に沿って前後方向に動かすだけで、前後方向において第１接続部材７１と第２接続部材７２との相対位置を調整できる。つまり、接続モジュール７０を前後方向に伸縮させることができる。したがって、ＥＦＥＭ１において、シンプルな構造で接続モジュール７０を位置調整できる。なお、第２筒部７６は第１筒部７４に支持されるため、ロードロック室７を構成する部材に対して第２接続部材７２の重量による負荷がかかることが効果的に抑制される。

【0069】

また、第１接続部材７１は、背面壁４６の第２背面部材５６に対して位置調整されることが可能な第１フランジ部７３を有する。これにより、シンプルな構造で、背面壁４６の延びる方向においても接続モジュール７０の位置を調整できる。

【0070】

また、第２背面部材５６は、上下方向及び左右方向（すなわち、第１背面部材５５の延びる方向）において、第１背面部材５５に対して位置調整されることが可能である。したがって、第２背面部材５６の第１背面部材５５に対する位置調整を行うことによって、背面壁４６の設計誤差を吸収できる。

【0071】

また、第２接続部材７２が周方向において４つに分割されているので、分割されている部品をある程度自由に動かせる。これにより、第１筒部７４と第２筒部７６とを前後方向において予め容易に重ね合わせることができる。

【0072】

また、接続モジュール７０の第１筒部７４と第２筒部７６とを直接接触させることにより、第１筒部７４と第２筒部７６との間にパッキン（不図示）を挟ませなくてもある程度の密閉性を確保できる。したがって、大気で満たされるＥＦＥＭ１において部材コストを削減できる。

【0073】

次に、前記実施形態に変更を加えた変形例について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。

【0074】

（１）前記実施形態において、第１接続部材７１が第２背面部材５６に取り付けられた後で、第２接続部材７２が第１接続部材７１に取り付けられるものとした。しかしながら、これには限られない。例えば、以下のような手順で接続モジュール７０が第２背面部材５６に取り付けられても良い。作業者は、まず、第２接続部材７２の複数の連結片８１を複数のボルトＢ５によって互いに仮止めし、且つ、第２接続部材７２を複数のボルトＢ６によって第１接続部材７１に仮止めする。このように、第２接続部材７２の第１接続部材７１に対する位置を微調整することができる状態で、接続モジュール７０が予め緩く組み立てられても良い。その後、作業者は、接続モジュール７０全体を第２背面部材５６に仮止めし、第１接続部材７１及び第２接続部材７２の位置調整を行う。最後に、作業者は、仮締めされていた各ボルトを本締めする。以上のようにして、接続モジュール７０の取付作業を完了させても良い。

【0075】

（２）前記までの実施形態において、第２接続部材７２が周方向において４つに分割されているものとした。しかしながら、これには限られない。第２接続部材７２は、周方向において５つ以上の部品に分割されていても良い。

【0076】

（３）前記までの実施形態において、第２背面部材５６が第１背面部材５５に対して上下方向及び左右方向において位置調整可能であるものとした。しかしながら、これには限られない。例えば、背面壁４６全体がフレーム２Ｆに対して位置調整可能であっても良い。或いは、背面壁４６はフレーム２Ｆに対して位置調整可能に構成されていなくても良い。

【0077】

（４）前記までの実施形態において、第１フランジ部７３が背面壁４６に対して上下方向及び左右方向において位置調整可能であるものとした。しかしながら、これには限られない。例えば、第１フランジ部７３は背面壁４６に対して位置調整可能に構成されていなくても良い。

【0078】

（５）前記までの実施形態において、第１筒部７４の内周面７４ａと第２筒部７６の外周面７６ａとが接触しているものとした。しかしながら、これには限られない。例えば、接続モジュール７０は、第１筒部７４の外周面と第２筒部７６の内周面とが接触するように構成されていても良い。なお、この場合、第２筒部７６が第１筒部７４よりも外側に配置されるように構成される必要がある。このため、第２筒部７６の取付作業は、例えば外部空間９において行われる必要がある。

【0079】

（６）前記までの実施形態において、第２接続部材７２が周方向に分割されているものとした。それに加え、或いはその代わりに、第１接続部材７１が分割されていても良い。

【0080】

或いは、第１接続部材７１及び第２接続部材７２のいずれもが、分割されていなくても良い。この場合、例えば第１筒部７４の内側に第２筒部７６を挿通させるためには、第１筒部７４の内周面７４ａと第２筒部７６の外周面７６ａとの隙間をやや大きくする必要が生じる。このような構成においては、内周面７４ａと外周面７６ａとの間に不図示のパッキンを設けることにより、部材コストが増大する代わりにＥＦＥＭ１の高い密閉性を確保できる。この場合、ＥＦＥＭ１の内部空間２０は、空気の代わりに例えば窒素などの不活性ガスで満たされていても良い。この場合、不活性ガスのコストを低減するため、上述した循環ダクト２４が設けられていると好ましい。

【0081】

（７）前記までの実施形態において、第２筒部７６は、前後方向において第１筒部７４と部分的に重なっているものとした。しかしながら、これには限られない。例えば、第１筒部７４の前後方向における全体が、前後方向において第２筒部７６の延びる範囲内に収まるように、第１筒部７４及び第２筒部７６が構成されていても良い。すなわち、前後方向において、第１筒部７４及び第２筒部７６の一方が他方に対して完全に重なっていても良い。

【0082】

（８）前記までの実施形態において、第１接続部材７１及び第２接続部材７２が他の部材にねじ止めされているものとした。しかしながら、これには限られない。第１接続部材７１及び第２接続部材７２の少なくとも一方が、例えば不図示のクランプによって他の部材に固定されていても良い。この場合、第１接続部材７１及び第２接続部材７２の当該少なくとも一方は、板金又は厚板に代えて、金属以外の材料からなる部材で形成されていても良い。

【0083】

（９）前記までの実施形態において、真空に近い気圧に維持されるロードロック室７が本発明の前室に相当するものとした。しかしながら、これには限られない。接続モジュール７０は、例えば搬送室２１の気圧と略同じ気圧に維持される部屋（不図示）に接続されても良い。この場合、当該部屋が本発明の前室に相当する。

【0084】

（１０）前記までの実施形態において、搬送室２１内でウェハＷが搬送されるものとした。しかしながら、これには限られない。ウェハＷ以外の物体（処理対象物）が搬送室２１内で搬送されても良い。

【符号の説明】

【0085】

１ ＥＦＥＭ
２ 筐体
２Ｆ フレーム
６ 処理装置
７ ロードロック室（前室）
４６ 背面壁（背面部材）
５５ 第１背面部材
５６ 第２背面部材
５６ｂ 開口（筐体側開口）
６５ａ 開口（前室側開口）
７０ 接続モジュール
７１ 第１接続部材
７２ 第２接続部材
７３ 第１フランジ部（フランジ部）
７４ 第１筒部
７６ 第２筒部
８１ 連結片
Ｗ ウェハ（処理対象品）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】