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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024156792
(43)【公開日】2024-11-06
(54)【発明の名称】液体吐出ヘッド及び記録装置
(51)【国際特許分類】
B41J 2/14 20060101AFI20241029BHJP
【ＦＩ】
B41J2/14 301
B41J2/14 611
【審査請求】有
【請求項の数】25
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2024124106
(22)【出願日】2024-07-31
(62)【分割の表示】P 2022512109の分割
【原出願日】2021-03-26
(31)【優先権主張番号】P 2020059483
(32)【優先日】2020-03-30
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(31)【優先権主張番号】P 2020059484
(32)【優先日】2020-03-30
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(31)【優先権主張番号】P 2020059485
(32)【優先日】2020-03-30
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(71)【出願人】
【識別番号】000006633
【氏名又は名称】京セラ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100135828
【弁理士】
【氏名又は名称】飯島 康弘
(72)【発明者】
【氏名】田畑 周平
(72)【発明者】
【氏名】東別府 誠
(72)【発明者】
【氏名】平山 武
(72)【発明者】
【氏名】志村 元
(72)【発明者】
【氏名】長谷川 幸弘
(57)【要約】 （修正有）
【課題】圧電素子に生じる応力を低減することでヘッドの耐久性を向上させる。
【解決手段】圧電アクチュエータ１３は、第１活性領域５３Ａ及び第２活性領域５３Ｂを有している。第１活性領域は、圧力室２１の中央部に重なっている。第２活性領域は、第１活性領域よりも加圧面側に位置しており、圧力室の周縁部及び圧力室の外側の領域に重なっている。第１活性領域だけでなく、第２活性領域を駆動することによって、圧電素子全体としての変位を大きくすることができる。第２活性領域は、圧力室の外縁付近において応力が大きくなりやすいが、第１活性領域に印加される電界の強度を第２活性領域に印加される電界の強度よりも大きくすることによって、第２活性領域に加えられる応力を低減し、ヘッドの耐久性を向上することができる。
【選択図】図１１
【解決手段】圧電アクチュエータ１３は、第１活性領域５３Ａ及び第２活性領域５３Ｂを有している。第１活性領域は、圧力室２１の中央部に重なっている。第２活性領域は、第１活性領域よりも加圧面側に位置しており、圧力室の周縁部及び圧力室の外側の領域に重なっている。第１活性領域だけでなく、第２活性領域を駆動することによって、圧電素子全体としての変位を大きくすることができる。第２活性領域は、圧力室の外縁付近において応力が大きくなりやすいが、第１活性領域に印加される電界の強度を第２活性領域に印加される電界の強度よりも大きくすることによって、第２活性領域に加えられる応力を低減し、ヘッドの耐久性を向上することができる。
【選択図】図１１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
加圧面と、当該加圧面に開口している圧力室とを有している流路部材と、
前記加圧面に重なっている圧電アクチュエータと、
前記圧電アクチュエータを駆動するドライバと、
を有しており、
前記圧電アクチュエータは、前記加圧面に垂直な方向を厚み方向と呼称するとき、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の中央部に重なっている第１活性領域と、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記第１活性領域よりも前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の周縁部及び前記圧力室の外側の領域に重なっている第２活性領域と、を有しており、
前記ドライバは、液体を吐出するための液体吐出制御において、前記第１活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の一方を生じる期間の少なくとも一部において前記第２活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の前記一方を生じるように、前記第１活性領域に対して前記厚み方向に印加される第１電界の強度と、前記第２活性領域に対して前記厚み方向に印加される第２電界の強度とを制御し、
前記液体吐出制御において、前記第１電界の強度の最大値が前記第２電界の強度の最大値よりも大きい
液体吐出ヘッド。
前記加圧面に重なっている圧電アクチュエータと、
前記圧電アクチュエータを駆動するドライバと、
を有しており、
前記圧電アクチュエータは、前記加圧面に垂直な方向を厚み方向と呼称するとき、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の中央部に重なっている第１活性領域と、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記第１活性領域よりも前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の周縁部及び前記圧力室の外側の領域に重なっている第２活性領域と、を有しており、
前記ドライバは、液体を吐出するための液体吐出制御において、前記第１活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の一方を生じる期間の少なくとも一部において前記第２活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の前記一方を生じるように、前記第１活性領域に対して前記厚み方向に印加される第１電界の強度と、前記第２活性領域に対して前記厚み方向に印加される第２電界の強度とを制御し、
前記液体吐出制御において、前記第１電界の強度の最大値が前記第２電界の強度の最大値よりも大きい
液体吐出ヘッド。
【請求項2】
前記厚み方向の位置が互いに異なり、それぞれ前記第１電界の印加及び前記第２電界の印加の少なくとも一方を行う３つ以上の電極を有しており、
前記３つ以上の電極の前記厚み方向における３つ以上の位置のうち互いに隣り合う位置にあり、前記第１電界を印加する２つの電極の、前記厚み方向における距離が、前記３つ以上の位置のうち互いに隣り合う位置にあり、前記第２電界を印加する２つの電極の、前記厚み方向における距離よりも短い
請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
前記３つ以上の電極の前記厚み方向における３つ以上の位置のうち互いに隣り合う位置にあり、前記第１電界を印加する２つの電極の、前記厚み方向における距離が、前記３つ以上の位置のうち互いに隣り合う位置にあり、前記第２電界を印加する２つの電極の、前記厚み方向における距離よりも短い
請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項3】
前記液体吐出制御において、前記第１電界を印加する２つの電極の電位差の最大値と、前記第２電界を印加する２つの電極の電位差の最大値とが同じである
請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項4】
前記圧電アクチュエータは、前記圧電アクチュエータの前記流路部材とは反対側を第１側と呼称し、前記圧電アクチュエータの前記流路部材側を第２側と呼称するとき、
前記第１側から前記第２側へ順に積層されている、第１圧電体層、第２圧電体層、第３圧電体層及び第４圧電体層と、
前記第１圧電体層の前記第１側の面に重なっており、平面透視において前記中央部に重なっている第１電極と、
前記第１圧電体層の前記第２側の面に重なっており、平面透視において前記中央部に重なっている第２電極と、
前記第２圧電体層の前記第２側の面に重なっており、平面透視において前記中央部、前記周縁部及び前記外側の領域に重なっている第３電極と、
前記第４圧電体層の前記第２側の面に重なっており、平面透視において前記周縁部及び前記外側の領域に重なっている第４電極と、を有しており、
前記第１活性領域は、
前記第１圧電体層における前記第１電極と前記第２電極とに挟まれた領域と、
前記第２圧電体層における前記第２電極と前記第３電極の前記中央部に重なっている部分とに挟まれた領域と、を有し、
前記第２活性領域は、
前記第３及び前記第４圧電体層における、前記第３電極の前記周縁部及び前記外側の領域に重なっている部分と前記第４電極とに挟まれた領域を有している
請求項１～３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記第１側から前記第２側へ順に積層されている、第１圧電体層、第２圧電体層、第３圧電体層及び第４圧電体層と、
前記第１圧電体層の前記第１側の面に重なっており、平面透視において前記中央部に重なっている第１電極と、
前記第１圧電体層の前記第２側の面に重なっており、平面透視において前記中央部に重なっている第２電極と、
前記第２圧電体層の前記第２側の面に重なっており、平面透視において前記中央部、前記周縁部及び前記外側の領域に重なっている第３電極と、
前記第４圧電体層の前記第２側の面に重なっており、平面透視において前記周縁部及び前記外側の領域に重なっている第４電極と、を有しており、
前記第１活性領域は、
前記第１圧電体層における前記第１電極と前記第２電極とに挟まれた領域と、
前記第２圧電体層における前記第２電極と前記第３電極の前記中央部に重なっている部分とに挟まれた領域と、を有し、
前記第２活性領域は、
前記第３及び前記第４圧電体層における、前記第３電極の前記周縁部及び前記外側の領域に重なっている部分と前記第４電極とに挟まれた領域を有している
請求項１～３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項5】
前記第１圧電体層のうちの前記第１活性領域を構成する部分と、前記第２圧電体層のうちの前記第１活性領域を構成する部分とは互いに逆向きに分極されており、
前記第３及び前記第４圧電体層のうちの前記第２活性領域を構成する部分は、前記第１圧電体層のうちの前記第１活性領域を構成する部分の分極の向きと同一の向きに分極されており、
前記液体吐出制御において、前記第１電極及び前記第３電極は同電位とされ、前記第２電極及び前記第４電極は同電位とされ、前記第１電極及び前記第３電極の電位と、前記第２電極及び前記第４電極の電位との電位差によって前記第１電界及び前記第２電界が印加される
請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
前記第３及び前記第４圧電体層のうちの前記第２活性領域を構成する部分は、前記第１圧電体層のうちの前記第１活性領域を構成する部分の分極の向きと同一の向きに分極されており、
前記液体吐出制御において、前記第１電極及び前記第３電極は同電位とされ、前記第２電極及び前記第４電極は同電位とされ、前記第１電極及び前記第３電極の電位と、前記第２電極及び前記第４電極の電位との電位差によって前記第１電界及び前記第２電界が印加される
請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項6】
前記第３圧電体層の厚さ及び前記第４圧電体層の厚さの合計が、前記第１圧電体層の厚さ及び前記第２圧電体層の厚さそれぞれよりも厚い
請求項４又は５に記載の液体吐出ヘッド。
請求項４又は５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項7】
前記圧電アクチュエータは、前記第３圧電体層の前記第２側の面に重なり、平面透視において前記第２活性領域の外側に位置する導体パターンを有している
請求項４～６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
請求項４～６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項8】
前記加圧面の平面透視において、前記第２活性領域のうち前記圧力室の外側に位置する第２部分の面積が、前記第２活性領域のうち前記圧力室に重なっている第１部分の面積よりも大きい
請求項１～７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
請求項１～７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項9】
前記加圧面の平面視において、前記圧力室の外縁のうち、圧力室の中心回りの角度で１８０°以上に相当する部分が円弧によって構成されている
請求項１～８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
請求項１～８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項10】
前記圧力室の中心を通り、前記加圧面に直交する断面において、前記第２活性領域のうち前記圧力室の外側に位置する第２部分の幅が、前記第２活性領域のうち前記圧力室に重なっている第１部分の幅よりも大きい
請求項１～９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
請求項１～９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項11】
前記第２活性領域と前記流路部材との間に絶縁層を有している
請求項１～１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
請求項１～１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項12】
前記圧電アクチュエータは、圧電体からなり、前記第１活性領域の外周につながっている非活性領域を有しており、
前記ドライバは、前記液体吐出制御が行われていないときに前記非活性領域に対して前記厚み方向に電界を印加する再配向制御を実行する
請求項１～１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記ドライバは、前記液体吐出制御が行われていないときに前記非活性領域に対して前記厚み方向に電界を印加する再配向制御を実行する
請求項１～１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項13】
前記圧電アクチュエータは、
前記非活性領域に対して前記加圧面とは反対側に重なっている再配向電極と、
前記非活性領域と前記第２活性領域との間に位置している中間電極と、
前記第２活性領域に対して前記加圧面側に重なっている下部電極と、を有しており、
前記ドライバは、
前記液体吐出制御では、前記中間電極及び前記下部電極に電圧を印加することによって前記第２活性領域に電界を印加し、
前記再配向制御では、前記再配向電極及び前記下部電極に電圧を印加することによって、又は前記再配向電極及び前記中間電極に電圧を印加することによって、前記非活性領域に電界を印加する
請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
前記非活性領域に対して前記加圧面とは反対側に重なっている再配向電極と、
前記非活性領域と前記第２活性領域との間に位置している中間電極と、
前記第２活性領域に対して前記加圧面側に重なっている下部電極と、を有しており、
前記ドライバは、
前記液体吐出制御では、前記中間電極及び前記下部電極に電圧を印加することによって前記第２活性領域に電界を印加し、
前記再配向制御では、前記再配向電極及び前記下部電極に電圧を印加することによって、又は前記再配向電極及び前記中間電極に電圧を印加することによって、前記非活性領域に電界を印加する
請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項14】
前記圧電アクチュエータは、前記中間電極よりも前記加圧面とは反対側に位置しており、前記第１活性領域の少なくとも一部を挟んで前記中間電極と対向している上部電極を有しており、
前記ドライバは、
前記液体吐出制御では、前記上部電極及び前記中間電極に電圧を印加することによって前記第１活性領域に電界を印加し、
前記再配向制御では、前記中間電極に電位を付与せずに、前記再配向電極及び前記下部電極に電圧を印加することによって、前記非活性領域に電界を印加する
請求項１３に記載の液体吐出ヘッド。
前記ドライバは、
前記液体吐出制御では、前記上部電極及び前記中間電極に電圧を印加することによって前記第１活性領域に電界を印加し、
前記再配向制御では、前記中間電極に電位を付与せずに、前記再配向電極及び前記下部電極に電圧を印加することによって、前記非活性領域に電界を印加する
請求項１３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項15】
前記圧電アクチュエータは、圧電体からなり、前記第１活性領域の外周につながっている非活性領域を有しており、
前記ドライバは、前記液体吐出制御が行われていないときに前記非活性領域に対して前記厚み方向に電界を印加する再配向制御を実行し、
前記非活性領域は、前記第１及び前記第２圧電体層における、前記再配向電極と前記第４電極とに挟まれた領域を有している
請求項４～７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記ドライバは、前記液体吐出制御が行われていないときに前記非活性領域に対して前記厚み方向に電界を印加する再配向制御を実行し、
前記非活性領域は、前記第１及び前記第２圧電体層における、前記再配向電極と前記第４電極とに挟まれた領域を有している
請求項４～７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項16】
加圧面と、当該加圧面に開口している圧力室とを有している流路部材と、
前記加圧面に重なっている圧電アクチュエータと、
前記圧電アクチュエータを駆動するドライバと、
を有しており、
前記圧電アクチュエータは、前記加圧面に垂直な方向を厚み方向と呼称するとき、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の中央部に重なっている第１活性領域と、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記第１活性領域よりも前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の周縁部及び前記圧力室の外側の領域に重なっている第２活性領域と、を有しており、
前記ドライバは、液滴を吐出する制御において、前記第１活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の一方を生じる期間の少なくとも一部において前記第２活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の前記一方を生じるように、前記第１活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度と、前記第２活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度とを制御し、
前記加圧面の平面透視において、前記第２活性領域のうち前記圧力室の外側に位置する第２部分の面積が、前記第２活性領域のうち前記圧力室に重なっている第１部分の面積よりも大きい
液体吐出ヘッド。
前記加圧面に重なっている圧電アクチュエータと、
前記圧電アクチュエータを駆動するドライバと、
を有しており、
前記圧電アクチュエータは、前記加圧面に垂直な方向を厚み方向と呼称するとき、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の中央部に重なっている第１活性領域と、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記第１活性領域よりも前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の周縁部及び前記圧力室の外側の領域に重なっている第２活性領域と、を有しており、
前記ドライバは、液滴を吐出する制御において、前記第１活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の一方を生じる期間の少なくとも一部において前記第２活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の前記一方を生じるように、前記第１活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度と、前記第２活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度とを制御し、
前記加圧面の平面透視において、前記第２活性領域のうち前記圧力室の外側に位置する第２部分の面積が、前記第２活性領域のうち前記圧力室に重なっている第１部分の面積よりも大きい
液体吐出ヘッド。
【請求項17】
加圧面と、当該加圧面に開口している圧力室とを有している流路部材と、
前記加圧面に重なっている圧電アクチュエータと、
前記圧電アクチュエータを駆動するドライバと、
を有しており、
前記圧電アクチュエータは、前記加圧面に垂直な方向を厚み方向と呼称するとき、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の中央部に重なっている第１活性領域と、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記第１活性領域よりも前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の周縁部及び前記圧力室の外側の領域に重なっている第２活性領域と、
圧電体からなり、前記第１活性領域の外周につながっている非活性領域と、を有しており、
前記ドライバは、
前記第１活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の一方を生じる期間の少なくとも一部において前記第２活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の前記一方を生じるように、前記第１活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度と、前記第２活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度とを制御する液体吐出制御と、
前記液体吐出制御が行われていないときに前記非活性領域に対して前記厚み方向に電界を印加する再配向制御と、を実行する
液体吐出ヘッド。
前記加圧面に重なっている圧電アクチュエータと、
前記圧電アクチュエータを駆動するドライバと、
を有しており、
前記圧電アクチュエータは、前記加圧面に垂直な方向を厚み方向と呼称するとき、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の中央部に重なっている第１活性領域と、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記第１活性領域よりも前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の周縁部及び前記圧力室の外側の領域に重なっている第２活性領域と、
圧電体からなり、前記第１活性領域の外周につながっている非活性領域と、を有しており、
前記ドライバは、
前記第１活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の一方を生じる期間の少なくとも一部において前記第２活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の前記一方を生じるように、前記第１活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度と、前記第２活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度とを制御する液体吐出制御と、
前記液体吐出制御が行われていないときに前記非活性領域に対して前記厚み方向に電界を印加する再配向制御と、を実行する
液体吐出ヘッド。
【請求項18】
液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、
を有しており、
前記液体吐出ヘッドは、
加圧面と、当該加圧面に開口している圧力室とを有している流路部材と、
前記加圧面に重なっている圧電アクチュエータと、を有しており、
前記圧電アクチュエータは、前記加圧面に垂直な方向を厚み方向と呼称するとき、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の中央部に重なっている第１活性領域と、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記第１活性領域よりも前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の周縁部及び前記圧力室の外側の領域に重なっている第２活性領域と、を有しており、
前記制御部は、液体を吐出するための液体吐出制御において、前記第１活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の一方を生じる期間の少なくとも一部において前記第２活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の前記一方を生じるように、前記第１活性領域に対して前記厚み方向に印加される第１電界の強度と、前記第２活性領域に対して前記厚み方向に印加される第２電界の強度とを制御し、
前記液体吐出制御において、前記第１電界の強度の最大値が前記第２電界の強度の最大値よりも大きい
記録装置。
前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、
を有しており、
前記液体吐出ヘッドは、
加圧面と、当該加圧面に開口している圧力室とを有している流路部材と、
前記加圧面に重なっている圧電アクチュエータと、を有しており、
前記圧電アクチュエータは、前記加圧面に垂直な方向を厚み方向と呼称するとき、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の中央部に重なっている第１活性領域と、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記第１活性領域よりも前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の周縁部及び前記圧力室の外側の領域に重なっている第２活性領域と、を有しており、
前記制御部は、液体を吐出するための液体吐出制御において、前記第１活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の一方を生じる期間の少なくとも一部において前記第２活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の前記一方を生じるように、前記第１活性領域に対して前記厚み方向に印加される第１電界の強度と、前記第２活性領域に対して前記厚み方向に印加される第２電界の強度とを制御し、
前記液体吐出制御において、前記第１電界の強度の最大値が前記第２電界の強度の最大値よりも大きい
記録装置。
【請求項19】
液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、
を有しており、
前記液体吐出ヘッドは、
加圧面と、当該加圧面に開口している圧力室とを有している流路部材と、
前記加圧面に重なっている圧電アクチュエータと、を有しており、
前記圧電アクチュエータは、前記加圧面に垂直な方向を厚み方向と呼称するとき、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の中央部に重なっている第１活性領域と、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記第１活性領域よりも前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の周縁部及び前記圧力室の外側の領域に重なっている第２活性領域と、を有しており、
前記制御部は、液滴を吐出する制御において、前記第１活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の一方を生じる期間の少なくとも一部において前記第２活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の前記一方を生じるように、前記第１活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度と、前記第２活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度とを制御し、
前記加圧面の平面透視において、前記第２活性領域の前記外側の領域に重なっている面積が、前記第２活性領域の前記圧力室に重なっている面積よりも大きい
記録装置。
前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、
を有しており、
前記液体吐出ヘッドは、
加圧面と、当該加圧面に開口している圧力室とを有している流路部材と、
前記加圧面に重なっている圧電アクチュエータと、を有しており、
前記圧電アクチュエータは、前記加圧面に垂直な方向を厚み方向と呼称するとき、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の中央部に重なっている第１活性領域と、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記第１活性領域よりも前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の周縁部及び前記圧力室の外側の領域に重なっている第２活性領域と、を有しており、
前記制御部は、液滴を吐出する制御において、前記第１活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の一方を生じる期間の少なくとも一部において前記第２活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の前記一方を生じるように、前記第１活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度と、前記第２活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度とを制御し、
前記加圧面の平面透視において、前記第２活性領域の前記外側の領域に重なっている面積が、前記第２活性領域の前記圧力室に重なっている面積よりも大きい
記録装置。
【請求項20】
液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、
を有しており、
前記液体吐出ヘッドは、
加圧面と、当該加圧面に開口している圧力室とを有している流路部材と、
前記加圧面に重なっている圧電アクチュエータと、を有しており、
前記圧電アクチュエータは、前記加圧面に垂直な方向を厚み方向と呼称するとき、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の中央部に重なっている第１活性領域と、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記第１活性領域よりも前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の周縁部及び前記圧力室の外側の領域に重なっている第２活性領域と、を有しており、
前記制御部は、
前記第１活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の一方を生じる期間の少なくとも一部において前記第２活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の前記一方を生じるように、前記第１活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度と、前記第２活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度とを制御する液体吐出制御と、
前記液体吐出制御が行われていないときに前記非活性領域に前記厚み方向に沿う電界を印加する再配向制御と、を実行する
記録装置。
前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、
を有しており、
前記液体吐出ヘッドは、
加圧面と、当該加圧面に開口している圧力室とを有している流路部材と、
前記加圧面に重なっている圧電アクチュエータと、を有しており、
前記圧電アクチュエータは、前記加圧面に垂直な方向を厚み方向と呼称するとき、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の中央部に重なっている第１活性領域と、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記第１活性領域よりも前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の周縁部及び前記圧力室の外側の領域に重なっている第２活性領域と、を有しており、
前記制御部は、
前記第１活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の一方を生じる期間の少なくとも一部において前記第２活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の前記一方を生じるように、前記第１活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度と、前記第２活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度とを制御する液体吐出制御と、
前記液体吐出制御が行われていないときに前記非活性領域に前記厚み方向に沿う電界を印加する再配向制御と、を実行する
記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、液体吐出ヘッド、及び当該液体吐出ヘッドを有する記録装置に関する。
【背景技術】
【0002】
インクジェットヘッド等に用いられる圧電アクチュエータが知られている（例えば特許文献１及び２）。例えば、ユニモルフ型の圧電アクチュエータは、液体（インク）が満たされている圧力室の上方開口を覆う振動板と、振動板に重なる圧電体層とを有している。圧電体層が面に沿う方向に伸長又は収縮することによって、圧電アクチュエータはバイメタルのように撓み変形を生じる。これにより、圧力室に圧力が付与され、液体が吐出される。圧電体層は、例えば、平面視において圧力室の中央部に重なる領域において電圧が印加されて面に沿う方向に伸長又は収縮する。特許文献１及び２では、圧電体からなる振動板のうち平面視において圧力室の外縁側に位置する部分にも電圧が印加される構成が開示されている。特許文献３及び４では、圧電体に電界を印加して分極処理を行う技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１５－１８２４４８号公報
【特許文献2】特開２０１０－１５５３８６号公報
【特許文献3】特開２００６－１５８１２７号公報
【特許文献4】特開２０１０－２２８１４４号公報
【発明の概要】
【0004】
本開示の一態様に係る液体吐出ヘッドは、流路部材と、圧電アクチュエータと、ドライバと、を有している。前記流路部材は、加圧面と、当該加圧面に開口している圧力室とを有している。前記圧電アクチュエータは、前記加圧面に重なっている。前記ドライバは、前記圧電アクチュエータを駆動する。前記圧電アクチュエータは、第１活性領域と、第２活性領域と、を有している。前記加圧面に垂直な方向を厚み方向と呼称する。このとき、前記第１活性領域は、前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の中央部に重なっている。前記第２活性領域は、前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記第１活性領域よりも前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の周縁部及び前記圧力室の外側の領域に重なっている。前記ドライバは、液体を吐出するための液体吐出制御において、前記第１活性領域に対して前記厚み方向に印加される第１電界の強度と、前記第２活性領域に対して前記厚み方向に印加される第２電界の強度とを制御する。この制御により、前記第１活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の一方を生じる期間の少なくとも一部において前記第２活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の前記一方を生じる。前記液体吐出制御において、前記第１電界の強度の最大値が前記第２電界の強度の最大値よりも大きい。
【0005】
本開示の一態様に係る液体吐出ヘッドは、流路部材と、圧電アクチュエータと、ドライバと、を有している。前記流路部材は、加圧面と、当該加圧面に開口している圧力室とを有している。前記圧電アクチュエータは、前記加圧面に重なっている。前記ドライバは、前記圧電アクチュエータを駆動する。前記圧電アクチュエータは、第１活性領域と、第２活性領域と、を有している。前記加圧面に垂直な方向を厚み方向と呼称する。このとき、前記第１活性領域は、前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の中央部に重なっている。前記第２活性領域は、前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記第１活性領域よりも前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の周縁部及び前記圧力室の外側の領域に重なっている。前記ドライバは、液滴を吐出する制御において、前記第１活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度と、前記第２活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度とを制御する。これにより、前記第１活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の一方を生じる期間の少なくとも一部において前記第２活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の前記一方を生じる。前記加圧面の平面透視において、前記第２活性領域のうち前記圧力室の外側に位置する第２部分の面積が、前記第２活性領域のうち前記圧力室に重なっている第１部分の面積よりも大きい。
【0006】
本開示の一態様に係る液体吐出ヘッドは、流路部材と、圧電アクチュエータと、ドライバと、を有している。前記流路部材は、加圧面と、当該加圧面に開口している圧力室とを有している。前記圧電アクチュエータは、前記加圧面に重なっている。前記ドライバは、前記圧電アクチュエータを駆動する。前記圧電アクチュエータは、第１活性領域と、第２活性領域と、非活性領域と、を有している。前記加圧面に垂直な方向を厚み方向と呼称する。このとき、前記第１活性領域は、前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の中央部に重なっている。前記第２活性領域は、前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記第１活性領域よりも前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の周縁部及び前記圧力室の外側の領域に重なっている。前記非活性領域は、圧電体からなり、前記第１活性領域の外周につながっている。前記ドライバは、液体吐出制御と、再配向制御と、を実行する。前記液体吐出制御では、前記ドライバは、前記第１活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度と、前記第２活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度とを制御する。これにより、前記第１活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の一方を生じる期間の少なくとも一部において前記第２活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の前記一方を生じる。前記再配向制御では、前記ドライバは、前記液体吐出制御が行われていないときに前記非活性領域に対して前記厚み方向に電界を印加する。
【0007】
本開示の一態様に係る記録装置は、液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、を有している。前記液体吐出ヘッドは、流路部材と、圧電アクチュエータと、を有している。前記流路部材は、加圧面と、当該加圧面に開口している圧力室とを有している。前記圧電アクチュエータは、前記加圧面に重なっている。また、前記圧電アクチュエータは、第１活性領域と、第２活性領域と、を有している。前記加圧面に垂直な方向を厚み方向と呼称する。このとき、前記第１活性領域は、前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の中央部に重なっている。前記第２活性領域は、前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記第１活性領域よりも前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の周縁部及び前記圧力室の外側の領域に重なっている。前記制御部は、液体を吐出するための液体吐出制御において、前記第１活性領域に対して前記厚み方向に印加される第１電界の強度と、前記第２活性領域に対して前記厚み方向に印加される第２電界の強度とを制御する。これにより、前記第１活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の一方を生じる期間の少なくとも一部において前記第２活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の前記一方を生じる。前記液体吐出制御において、前記第１電界の強度の最大値が前記第２電界の強度の最大値よりも大きい。
【0008】
本開示の一態様に係る記録装置は、液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、を有している。前記液体吐出ヘッドは、流路部材と、圧電アクチュエータと、を有している。前記流路部材は、加圧面と、当該加圧面に開口している圧力室とを有している。前記圧電アクチュエータは、前記加圧面に重なっている。また、前記圧電アクチュエータは、第１活性領域と、第２活性領域と、を有している。前記加圧面に垂直な方向を厚み方向と呼称する。このとき、前記第１活性領域は、前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の中央部に重なっている。前記第２活性領域は、前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記第１活性領域よりも前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の周縁部及び前記圧力室の外側の領域に重なっている。前記制御部は、液滴を吐出する制御において、前記第１活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度と、前記第２活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度とを制御する。これにより、前記第１活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の一方を生じる期間の少なくとも一部において前記第２活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の前記一方を生じる。前記加圧面の平面透視において、前記第２活性領域の前記外側の領域に重なっている面積が、前記第２活性領域の前記圧力室に重なっている面積よりも大きい。
【0009】
本開示の一態様に係る記録装置は、液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、を有している。前記液体吐出ヘッドは、流路部材と、圧電アクチュエータと、を有している。前記流路部材は、加圧面と、当該加圧面に開口している圧力室とを有している。前記圧電アクチュエータは、前記加圧面に重なっている。また、前記圧電アクチュエータは、第１活性領域と、第２活性領域と、非活性領域と、を有している。前記加圧面に垂直な方向を厚み方向と呼称する。このとき、前記第１活性領域は、前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の中央部に重なっている。前記第２活性領域は、前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記第１活性領域よりも前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の周縁部及び前記圧力室の外側の領域に重なっている。前記非活性領域は、圧電体からなり、前記第１活性領域の外周につながっている。前記制御部は、液体吐出制御と、再配向制御と、を実行する。前記液体吐出制御では、前記制御部は、前記第１活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度と、前記第２活性領域に対して前記厚み方向に印加される電界の強度とを制御する。これにより、前記第１活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の一方を生じる期間の少なくとも一部において前記第２活性領域が前記加圧面に沿う方向において伸長及び収縮の前記一方を生じる。前記再配向制御では、前記制御部は、前記液体吐出制御が行われていないときに前記非活性領域に前記厚み方向に沿う電界を印加する。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【図1A】第１実施形態に係る記録装置の側面図である。
【図1B】第１実施形態に係る記録装置の平面図である。
【図2】第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの一部の平面図である。
【図4】第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの圧力室の平面図である。
【図5】第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの圧電アクチュエータ及び流路部材の上部を模式的に示す断面図である。
【図6】第１実施形態に係る圧電アクチュエータにおける圧電体層の分極方向を示す模式的な断面図である。
【図7】第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの一部の分解斜視図である。
【図9】第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの導体層の一部を簡略化して示す平面図である。
【図11】第１実施形態に係る液体吐出ヘッドにおける液体を吐出するときの電位を示す模式的な断面図である。
【図12】第１実施形態に係る液体吐出ヘッドにおける分極処理のときの電位を示す模式的な断面図である。
【図13】第２実施形態に係る液体吐出ヘッドの模式的な断面図である。
【図14】第３実施形態に係る液体吐出ヘッドの模式的な断面図である。
【図15】第４実施形態に係る液体吐出ヘッドの模式的な断面図である。
【図16】第５実施形態に係る液体吐出ヘッドの模式的な断面図である。
【図17A】変形例に係る圧電体層の構成を示す断面図である。
【図17B】他の変形例に係る圧電体層の構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0011】
以下、本開示の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の図面は、模式的なものである。従って、細部は省略されることがある。また、寸法比率は現実のものと必ずしも一致しない。複数の図面相互の寸法比率も必ずしも一致しない。特定の寸法が実際よりも大きく示され、特定の形状が誇張されることもある。
【0012】
第２実施形態以降の説明においては、基本的に、先に説明された実施形態との相違部分について述べる。特に言及が無い事項については、先に説明された実施形態と同様とされたり、先に説明された実施形態から類推されたりしてよい。また、複数の実施形態間においては、互いに対応する構成については、細部が異なっていても、互いに同一の符号を付すことがある。
【0013】
本開示における「相似」は、数学でいう相似を含むが、これに限定されない。数学でいう相似は、一の形状を拡大若しくは縮小したときに（又はそのようなスケール変換をしないときに）、他の形状と合同になることをいう。しかし、技術常識等に照らして合理的に考えて、この数学の相似に近い関係が成り立てば、相似であるとみなされてよい。例えば、楕円形と、当該楕円形の外縁から一定距離で内側又は外側に位置する外縁を有する楕円形とは、長径と短径との比が両者の間で異なるから、数学でいう相似ではない。しかし、このような関係も本開示における相似に含まれてよい。
【0014】
また、本開示における種々の形状を示す用語（例えば、「円」、「楕円」又は「長方形」）は、これらの用語が数学において示す形状を含むが、これに限定されない。例えば、楕円は、外側に凸となる曲線のみによって構成されており、互いに概ね直交する長手方向と短手方向とを特定できる形状であればよい。また、例えば、長方形は、角部が面取りされていてもよい。
【0015】
＜第１実施形態＞
（プリンタの全体構成）
図１（ａ）は、本開示の一実施形態に係る液体吐出ヘッド２（以下で単にヘッドということがある。）を含むカラーインクジェットプリンタ１（記録装置の一例。以下で単にプリンタということがある）の概略の側面図である。図１（ｂ）は、プリンタ１の概略の平面図である。
（プリンタの全体構成）
図１（ａ）は、本開示の一実施形態に係る液体吐出ヘッド２（以下で単にヘッドということがある。）を含むカラーインクジェットプリンタ１（記録装置の一例。以下で単にプリンタということがある）の概略の側面図である。図１（ｂ）は、プリンタ１の概略の平面図である。
【0016】
なお、ヘッド２又はプリンタ１は、任意の方向を鉛直方向とすることが可能であるが、便宜上、図１（ａ）の紙面上下方向を鉛直方向として、上面又は下面等の語を用いることがある。また、平面視又は平面透視の語は、特に断りがない限り、図１（ａ）の紙面上下方向に見ることをいうものとする。
【0017】
プリンタ１は、印刷用紙Ｐ（記録媒体の一例）を給紙ローラ８０Ａから回収ローラ８０Ｂへと搬送することにより、印刷用紙Ｐをヘッド２に対して相対的に移動させる。なお、給紙ローラ８０Ａ及び回収ローラ８０Ｂ並びに後述する各種のローラは、印刷用紙Ｐとヘッド２とを相対移動させる移動部８５を構成している。制御部８８は、画像や文字等のデータである印刷データ等に基づいて、ヘッド２を制御して、印刷用紙Ｐに向けて液体を吐出させ、印刷用紙Ｐに液滴を着弾させて、印刷用紙Ｐに印刷などの記録を行なう。
【0018】
本実施形態では、ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっている。記録装置の他の実施形態としては、ヘッド２を印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向（例えば略直交する方向）に移動させつつ液滴を吐出する動作と、印刷用紙Ｐの搬送とを交互に行なう、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。
【0019】
プリンタ１には、印刷用紙Ｐと略平行となるように、４つの平板状のヘッド搭載フレーム７０（以下で単にフレームと言うことがある）が固定されている。各フレーム７０には図示しない５個の孔が設けられており、５個のヘッド２がそれぞれの孔の部分に搭載されている。１つのフレーム７０に搭載されている５つのヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成している。プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有しており、合計２０個のヘッド２が搭載されている。
【0020】
フレーム７０に搭載されたヘッド２は、液体を吐出する部位が印刷用紙Ｐに面するようになっている。ヘッド２と印刷用紙Ｐとの間の距離は、例えば０．５～２０ｍｍ程度とされる。
【0021】
２０個のヘッド２は、制御部８８と直接接続されていてもよいし、印刷データを分配する分配部を介して制御部８８と接続されていてもよい。例えば、制御部８８が印刷データを１つの分配部へ送信し、１つの分配部が印刷データを２０個のヘッド２に分配してもよい。また、例えば、４つのヘッド群７２に対応する４つの分配部へ制御部８８が印刷データを分配し、各分配部は、対応するヘッド群７２内の５つのヘッド２に印刷データを分配してもよい。
【0022】
ヘッド２は、図１（ａ）の手前から奥へ向かう方向、図１（ｂ）の上下方向に細長い長尺形状を有している。１つのヘッド群７２内において、３つのヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向（例えば略直交する方向）に沿って並んでおり、他の２つのヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つのヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。別の表現をすれば、１つのヘッド群７２において、ヘッド２は、千鳥状に配置されている。ヘッド２は、各ヘッド２で印刷可能な範囲が、印刷用紙Ｐの幅方向、すなわち、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向に繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、印刷用紙Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。
【0023】
４つのヘッド群７２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各ヘッド２には、図示しない液体供給タンクから液体（例えばインク）が供給される。１つのヘッド群７２に属するヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群７２で４色のインクが印刷できる。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）及びブラック（Ｋ）である。このようなインクを印刷用紙Ｐに着弾させることにより、カラー画像を印刷できる。
【0024】
プリンタ１に搭載されているヘッド２の個数は、単色で、１つのヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのであれば、１つでもよい。ヘッド群７２に含まれるヘッド２の個数や、ヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷すれば、同じ性能のヘッド２を使用しても搬送速度を速くできる。これにより、時間当たりの印刷面積を大きくすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、印刷用紙Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。
【0025】
さらに、色のあるインクを印刷する以外に、印刷用紙Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を、ヘッド２で、一様に、あるいはパターンニングして印刷してもよい。コーティング剤としては、例えば、記録媒体として液体が浸み込み難いものを用いる場合において、液体が定着し易いように、液体受容層を形成するものを使用できる。他に、コーティング剤としては、記録媒体として液体が浸み込み易いものを用いる場合において、液体のにじみが大きくなり過ぎたり、隣に着弾した別の液体とあまり混じり合わないように、液体浸透抑制層を形成するものを使用できる。コーティング剤は、ヘッド２で印刷する以外に、制御部８８が制御する塗布機７６で一様に塗布してもよい。
【0026】
プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐに印刷を行なう。印刷用紙Ｐは、給紙ローラ８０Ａに巻き取られた状態になっており、給紙ローラ８０Ａから送り出された印刷用紙Ｐは、フレーム７０に搭載されているヘッド２の下側を通り、その後２つの搬送ローラ８２Ｃの間を通り、最終的に回収ローラ８０Ｂに回収される。印刷する際には、搬送ローラ８２Ｃを回転させることで印刷用紙Ｐは、一定速度で搬送され、ヘッド２によって印刷される。
【0027】
続いて、プリンタ１の詳細について、印刷用紙Ｐが搬送される順に説明する。給紙ローラ８０Ａから送り出された印刷用紙Ｐは、２つのガイドローラ８２Ａの間を通った後、塗布機７６の下を通る。塗布機７６は、印刷用紙Ｐに、上述のコーティング剤を塗布する。
【0028】
印刷用紙Ｐは、続いて、ヘッド２が搭載されたフレーム７０を収納した、ヘッド室７４に入る。ヘッド室７４は、印刷用紙Ｐが出入りする部分などの一部において外部と繋がっているが、概略、外部と隔離された空間である。ヘッド室７４は、必要に応じて、制御部８８等によって、温度、湿度、及び気圧等の制御因子が制御される。ヘッド室７４では、プリンタ１が設置されている外部と比較して、外乱の影響を少なくできるので、上述の制御因子の変動範囲を外部よりも狭くできる。
【0029】
ヘッド室７４には、５個のガイドローラ８２Ｂが配置されており、印刷用紙Ｐは、ガイドローラ８２Ｂの上を搬送される。５個のガイドローラ８２Ｂは、側面から見て、フレーム７０が配置されている方向に向けて、中央が凸になるように配置されている。これにより、５個のガイドローラ８２Ｂの上を搬送される印刷用紙Ｐは、側面から見て円弧状になっており、印刷用紙Ｐに張力を加えることで、各ガイドローラ８２Ｂ間の印刷用紙Ｐが平面状になるように張られる。２つのガイドローラ８２Ｂの間には、１つのフレーム７０が配置されている。フレーム７０は、その下を搬送される印刷用紙Ｐと平行になるように、設置される角度が少しずつ変えられている。
【0030】
ヘッド室７４から外に出た印刷用紙Ｐは、２つの搬送ローラ８２Ｃの間を通り、乾燥機７８の中を通り、２つのガイドローラ８２Ｄの間を通り、回収ローラ８０Ｂに回収される。印刷用紙Ｐの搬送速度は、例えば、１００ｍ／分とされる。各ローラは、制御部８８によって制御されてもよいし、人によって手動で操作されてもよい。
【0031】
乾燥機７８で乾燥することにより、回収ローラ８０Ｂにおいて、重なって巻き取られる印刷用紙Ｐ同士が接着したり、未乾燥の液体が擦れることが起き難くなる。高速で印刷するためには、乾燥も速く行なう必要がある。乾燥を速くするため、乾燥機７８では、複数の乾燥方式により順番に乾燥してもよいし、複数の乾燥方式を併用して乾燥してもよい。そのような際に用いられる乾燥方式としては、例えば、温風の吹き付け、赤外線の照射、加熱したローラへの接触などがある。赤外線を照射する場合は、印刷用紙Ｐへのダメージを少なくしつつ乾燥を速くできるように、特定の周波数範囲の赤外線を当ててもよい。印刷用紙Ｐを加熱したローラに接触させる場合は、印刷用紙Ｐをローラの円筒面に沿って搬送させることで、熱が伝わる時間を長くしてもよい。ローラの円筒面に沿って搬送させる範囲は、ローラの円筒面の１／４周以上がよく、さらにローラの円筒面の１／２周以上にするのがよい。ＵＶ硬化インク等を印刷する場合には、乾燥機７８の代わりに、あるいは乾燥機７８に追加してＵＶ照射光源を配置してもよい。ＵＶ照射光源は、各フレーム７０の間に配置してもよい。
【0032】
プリンタ１は、ヘッド２をクリーニングするクリーニング部を備えていてもよい。クリーニング部は、例えば、ワイピング及び／又はキャッピングによって洗浄を行なう。ワイピングは、例えば、柔軟性のあるワイパーで、液体が吐出される部位の面、例えば吐出面１１ａ（後述）を擦ることで、その面に付着していた液体を取り除く。キャッピングしての洗浄は、例えば、次のように行なう。まず、液体を吐出される部位、例えば吐出面１１ａを覆うようにキャップを被せる（これをキャッピングと言う）ことで、吐出面１１ａとキャップとで、略密閉されて空間が作られる。そのような状態で、液体の吐出を繰り返すことで、吐出孔３（後述）に詰まっていた、標準状態よりも粘度が高くなっていた液体や、異物等を取り除く。キャッピングしてあることで、洗浄中の液体がプリンタ１に飛散し難く、液体が、印刷用紙Ｐやローラ等の搬送機構に付着し難くなる。洗浄を終えた吐出面１１ａを、さらにワイピングしてもよい。ワイピング及び／又はキャッピングによる洗浄は、プリンタ１に取り付けられているワイパー及び／又はキャップを人が手動で操作して行なってもよいし、制御部８８によって自動で行なってもよい。
【0033】
記録媒体は、印刷用紙Ｐ以外に、ロール状の布などでもよい。また、プリンタ１は、印刷用紙Ｐを直接搬送する代わりに、搬送ベルトを搬送して、記録媒体を搬送ベルトに置いて搬送してもよい。そのようにすれば、枚葉紙、裁断された布、木材又はタイルなどを記録媒体にできる。さらに、ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤又は化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。
【0034】
また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ及び／又は温度センサなどを取り付けて、制御部８８が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。例えば、ヘッド２の温度、ヘッド２に液体を供給する液体供給タンクの液体の温度、及び／又は液体供給タンクの液体がヘッド２に加えている圧力などが、吐出される液体の吐出特性（例えば吐出量及び／又は吐出速度）に影響を与えている場合などに、それらの情報に応じて、液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。
【0035】
（吐出面）
図２は、ヘッド２の印刷用紙Ｐに対向する面（吐出面１１ａ）の一部を示す平面図である。この図では、便宜上、Ｄ１軸、Ｄ２軸及びＤ３軸からなる直交座標系を付している。Ｄ１軸は、ヘッド２と印刷用紙Ｐとの相対移動の方向に平行に定義されている。Ｄ１軸の正負と、ヘッド２に対する印刷用紙Ｐの進行方向との関係は、本実施形態の説明では特に問わない。Ｄ２軸は、吐出面１１ａ及び印刷用紙Ｐに平行で、かつＤ１軸に直交するように定義されている。Ｄ２軸の正負も特に問わない。Ｄ３軸は、吐出面１１ａ及び印刷用紙Ｐに直交するように定義されている。－Ｄ３側（図２の紙面手前側）は、ヘッド２から印刷用紙Ｐへの方向である。なお、単にＤ３方向という場合、＋Ｄ３側に向かう＋Ｄ３方向と、－Ｄ３側に向かう－Ｄ３方向とのいずれでもよいものとする。既述のように、ヘッド２は、Ｄ２方向を長手方向とする形状であり、ここでは、その長手方向の一端側部分が示されている。
図２は、ヘッド２の印刷用紙Ｐに対向する面（吐出面１１ａ）の一部を示す平面図である。この図では、便宜上、Ｄ１軸、Ｄ２軸及びＤ３軸からなる直交座標系を付している。Ｄ１軸は、ヘッド２と印刷用紙Ｐとの相対移動の方向に平行に定義されている。Ｄ１軸の正負と、ヘッド２に対する印刷用紙Ｐの進行方向との関係は、本実施形態の説明では特に問わない。Ｄ２軸は、吐出面１１ａ及び印刷用紙Ｐに平行で、かつＤ１軸に直交するように定義されている。Ｄ２軸の正負も特に問わない。Ｄ３軸は、吐出面１１ａ及び印刷用紙Ｐに直交するように定義されている。－Ｄ３側（図２の紙面手前側）は、ヘッド２から印刷用紙Ｐへの方向である。なお、単にＤ３方向という場合、＋Ｄ３側に向かう＋Ｄ３方向と、－Ｄ３側に向かう－Ｄ３方向とのいずれでもよいものとする。既述のように、ヘッド２は、Ｄ２方向を長手方向とする形状であり、ここでは、その長手方向の一端側部分が示されている。
【0036】
吐出面１１ａは、例えば、ヘッド２の印刷用紙Ｐに対向する面の大部分を構成している平面である。また、吐出面１１ａは、例えば、Ｄ２方向を長手方向とする概略矩形状とされている。吐出面１１ａには、インク滴を吐出する複数の吐出孔３が開口している。複数の吐出孔３は、ヘッド２と印刷用紙Ｐとの相対移動の方向（Ｄ１方向）に直交する方向（Ｄ２方向）の位置を互いに異ならせて配置されている。従って、移動部８５によってヘッド２と印刷用紙Ｐとを相対移動させつつ、複数の吐出孔３からインク滴を吐出することにより、任意の２次元画像が形成される。
【0037】
より具体的には、複数の吐出孔３は、複数行（図示の例では１６行）で配列されている。すなわち、複数の吐出孔３によって、複数の吐出孔行５が構成されている。複数の吐出孔行５同士において、複数の吐出孔３のＤ２方向における位置は互いに異なっている。これにより、各吐出孔行５における吐出孔３のピッチよりも狭いピッチでＤ２方向に並ぶ複数のドットを印刷用紙Ｐに形成することが可能となっている。ただし、ヘッド２は、１行のみ吐出孔行５を有する構成であっても構わない。
【0038】
複数の吐出孔行５は、例えば、概略、互いに平行であり、また、互いに同等の長さを有している。図示の例では、吐出孔行５は、ヘッド２と印刷用紙Ｐとの相対移動の方向に直交する方向（Ｄ２方向）に平行になっている。ただし、吐出孔行５は、Ｄ２方向に対して傾斜していてもよい。また、図示の例では、複数の吐出孔行５間の隙間の大きさ（Ｄ１方向の間隔）は均等ではない。これは、例えば、ヘッド２内部の流路の配置の都合に起因する。もちろん、吐出孔行５間の隙間の大きさは均等とされてもよい。
【0039】
（ヘッド本体）
図３は、図２のIII－IIIにおける断面図である。図３の紙面下方は、印刷用紙Ｐ側である。ここでは、主として、１つの吐出孔３に係る構成が示されている。また、ここでは、ヘッド２のうち、吐出面１１ａを含むヘッド本体７（すなわち吐出面１１ａ側の一部のみ）が示されている。なお、ヘッド本体７が液体吐出ヘッドと捉えられてもよい。
図３は、図２のIII－IIIにおける断面図である。図３の紙面下方は、印刷用紙Ｐ側である。ここでは、主として、１つの吐出孔３に係る構成が示されている。また、ここでは、ヘッド２のうち、吐出面１１ａを含むヘッド本体７（すなわち吐出面１１ａ側の一部のみ）が示されている。なお、ヘッド本体７が液体吐出ヘッドと捉えられてもよい。
【0040】
ヘッド本体７は概略板状の部材であり、板状の表裏の一方は既述の吐出面１１ａとなっている。ヘッド本体７の厚さは、例えば、０．５ｍｍ以上２ｍｍ以下である。ヘッド本体７は、圧電素子の機械的歪により液体に圧力を付与して液滴を吐出するピエゾ式のヘッドである。ヘッド本体７は、それぞれ吐出孔３を含む複数の吐出素子９を有している。複数の吐出素子９及び複数の吐出素子９に関わる構成（例えば複数の吐出素子９に接続される配線）は、基本的に、互いに同様の構成とされてよい。複数の吐出素子９は、吐出面１１ａに沿って２次元的に配列されている。
【0041】
また、別の観点では、ヘッド本体７は、液体（インク）が流れる流路が形成されている概略板状の流路部材１１と、流路部材１１内の液体に圧力を付与するための圧電アクチュエータ１３とを有している。複数の吐出素子９は、流路部材１１及び圧電アクチュエータ１３により構成されている。吐出面１１ａは、流路部材１１によって構成されている。流路部材１１の吐出面１１ａとは反対側の面を加圧面１１ｂというものとする。
【0042】
流路部材１１は、共通流路１５と、共通流路１５にそれぞれ接続されている複数の個別流路１７（図３では１つを図示）とを有している。各個別流路１７は、既述の吐出孔３を有しており、また、共通流路１５から吐出孔３へ順に、接続流路１９、圧力室２１及び部分流路２３を有している。
【0043】
複数の個別流路１７及び共通流路１５には液体が満たされている。複数の圧力室２１の容積が変化して液体に圧力が付与されることにより、複数の圧力室２１から複数の部分流路２３へ液体が送出され、複数の吐出孔３から複数の液滴が吐出される。また、複数の圧力室２１へは複数の接続流路１９を介して共通流路１５から液体が補充される。圧電アクチュエータ１３（圧電素子２７）は、例えば、圧力室２１側へ撓み変形を生じることによって、及び／又は圧力室２１側とは反対側へ撓んだ状態から平らな状態に復帰することによって、圧力室２１内の液体に圧力を付与する。
【0044】
流路部材１１は、例えば、複数のプレート２５Ａ～２５Ｊ（以下、Ａ～Ｊを省略することがある。）が積層されることにより構成されている。プレート２５には、複数の個別流路１７及び共通流路１５を構成する複数の穴（主として貫通孔。凹部にすることも可）が形成されている。複数のプレート２５の厚み及び積層数は、複数の個別流路１７及び共通流路１５の形状等に応じて適宜に設定されてよい。複数のプレート２５は、適宜な材料により形成されてよい。例えば、複数のプレート２５は、金属又は樹脂によって形成されている。プレート２５の厚さは、例えば、１０μｍ以上３００μｍ以下である。プレート２５同士は、例えば、プレート２５間に介在する不図示の接着剤によって互いに固定されている。
【0045】
（流路形状）
流路部材１１内の各流路の具体的な形状及び寸法等は適宜に設定されてよい。図示の例では、以下のとおりである。
流路部材１１内の各流路の具体的な形状及び寸法等は適宜に設定されてよい。図示の例では、以下のとおりである。
【0046】
共通流路１５は、ヘッド２の長手方向（図３では紙面貫通方向）に延びている。共通流路１５は、１本のみ設けられてもよいが、例えば、互いに並列に複数本で設けられている。共通流路１５の横断面の形状は、矩形状とされている。
【0047】
複数の個別流路１７（別の観点では吐出素子９）は、各共通流路１５の長さ方向に配列されている。ひいては、複数の個別流路１７に個別に含まれている複数の吐出孔３も共通流路１５に沿って配列されている。図２に示したような吐出孔３の配列においては、例えば、１本の共通流路１５の両側それぞれに２行ずつ吐出孔３が配列されてよい。そして、４本の共通流路１５に合計で１６行の吐出孔３が配列されてよい。
【0048】
圧力室２１は、例えば、加圧面１１ｂに開口しており、圧電アクチュエータ１３によって塞がれている。なお、圧力室２１は、プレート２５によって塞がれていてもよい。ただし、これは、圧力室２１を塞ぐプレート２５を流路部材１１の一部として捉えるか、圧電アクチュエータ１３の一部として捉えるかの問題と考えることもできる。本開示の説明では、圧力室２１よりも上方側の層（プレート）は、圧電アクチュエータ１３の一部として捉えるものとする。
【0049】
複数の圧力室２１の形状は、例えば、互いに同一である。各圧力室２１の形状は適宜に設定されてよい。例えば、圧力室２１は、加圧面１１ｂに沿って一定の厚さで広がる薄型形状に形成されている。ただし、圧力室２１は、厚さが異なる部位を有していてもよい。薄型形状は、例えば、平面視のいずれの径よりも厚さが小さい形状である。
【0050】
なお、径は、例えば、平面図形の中心を通って平面図形を横断する直線の、平面図形内に位置する部分の長さである。平面視において中心（あるいは中央等）という場合（平面図形について中心という場合）、特に断りが無い限り、中心は、例えば、図心とされてよい。図心は、平面図形の重心であり、その点を通る任意の軸に対する断面一次モーメントが０になる点である。
【0051】
圧力室２１の平面形状は、例えば、互いに直交する長手方向及び短手方向を有する形状（例えば菱形又は楕円形）であってもよいし、そのような方向を概念できない形状（例えば円形）であってもよい。また、長手方向及び短手方向と複数の圧力室２１の配列態様との関係も任意である。本実施形態の説明では、後述するように、円形と楕円形とを足し合わせた形状を例に取る。別の観点では、長手方向と短手方向とを概念できる形状を例に取る。図示の例では、図３の紙面左右方向が圧力室２１の長手方向である。当該方向は、例えば、共通流路１５が延びる方向に交差（例えば直交）する方向であり、また、別の観点では、ヘッド本体７の短手方向である。
【0052】
なお、圧力室２１の加圧面１１ｂに平行な断面の形状が上下方向において一定でない態様においては、本開示における圧力室２１の平面形状の説明は、例えば、加圧面１１ｂ（圧力室２１の開口面）における平面形状に適用されてよい。圧力室２１において、圧電アクチュエータ１３から受ける圧力に及ぼす影響が大きい形状は、加圧面１１ｂにおける形状だからである。
【0053】
部分流路２３は、圧力室２１から吐出面１１ａに向かって延びている。部分流路２３の形状は、概略、円柱状である。なお、部分流路２３は、圧力室２１から吐出面１１ａに向かって上下方向に傾斜して延びていてもよいし（図示の例）、傾斜せずに延びていてもよい。また、部分流路２３は、その横断面の面積が上下の位置によって異なっていてもよい。平面視において、部分流路２３は、例えば、圧力室２１の所定方向（例えば平面視における圧力室２１の長手方向）の端部に繋がっている。
【0054】
吐出孔３は、部分流路２３の底面（圧力室２１とは反対側の面）の一部に開口している。吐出孔３は、例えば、部分流路２３の底面の概ね中央に位置している。ただし、吐出孔３は、部分流路２３の底面の中央に対して偏心して設けられていてもよい。吐出孔３の縦断面の形状は、吐出面１１ａ側ほど径が小さくなるテーパ状とされている。ただし、吐出孔３は、一部又は全部が逆テーパであってもよい。
【0055】
接続流路１９は、例えば、共通流路１５の上面から上方へ延びる部位と、当該部位からプレート２５に沿う方向に延びる部位と、当該部位から上方に延びて圧力室２１の下面に接続されている部位とを有している。プレート２５に沿う部位は、流れ方向に直交する断面積が小さくされており、いわゆるしぼりとして機能する。平面視において、接続流路１９の圧力室２１に対する接続位置は、例えば、圧力室２１の下面のうちの当該下面の中央に対して部分流路２３とは反対側の端部とされている。
【0056】
複数の圧力室２１の配列の態様については、概略、図２を参照して説明した複数の吐出孔３の配列の態様の説明が援用されてよい。ただし、複数の圧力室２１の配列の態様と、複数の吐出孔３の配列の態様とは異なっていても構わない。例えば、複数の部分流路２３の形状を互いに異ならせることなどによって、複数の圧力室２１の配列の態様と、複数の吐出孔３の配列の態様とが異なっていてもよい。そして、例えば、複数の圧力室２１は、図２に示した複数の吐出孔３とは異なり、Ｄ１方向及びＤ２方向の双方において一様に分布したり（圧力室２１の行間のピッチが一定とされたり）、吐出孔行５の数よりも少ない行数で配列されたりしてよい。
【0057】
（圧力室の平面形状）
図４は、圧力室２１の平面図である。この図において、圧力室２１は、実線で示されている。
図４は、圧力室２１の平面図である。この図において、圧力室２１は、実線で示されている。
【0058】
圧力室２１の平面形状は、例えば、円形Ｃ１の領域と、円形Ｃ１の領域から所定方向（紙面上下方向）の両側に突出した領域Ｒ２（一方の領域Ｒ２にハッチングを付す。）とを足し合わせた形状である。領域Ｒ２の円形Ｃ１とは反対側の外縁（実線で示されている外縁）は、外側に膨らむ曲線である。この曲線の曲率（一定でない場合は平均値）は、例えば、円形Ｃ１の曲率よりも大きい。
【0059】
上記の圧力室２１の平面形状は、円形Ｃ１と、楕円形Ｃ２との、互いに重なる領域（点線で囲まれた領域）及び互いに重ならない領域（実線と点線とで囲まれた領域）を足し合わせた形状と捉えることができる。すなわち、円形Ｃ１及び楕円形Ｃ２それぞれをベン図における閉曲線とみなしたときに、圧力室２１の平面形状は、和集合（別の観点では論理和）に相当している。
【0060】
より詳細には、円形Ｃ１の中心と、楕円形Ｃ２の中心とは一致している（中心Ｏ１参照）。楕円形Ｃ２の長径ｒＬは、円形Ｃ１の半径ｒ１よりも長く、かつ楕円形Ｃ２の短径ｒＳは、円形Ｃ１の半径ｒ１よりも短い。そして、楕円形Ｃ２の長手方向の両端側の領域Ｒ２は、円形Ｃ１の外側に位置している。
【0061】
ただし、領域Ｒ２の円形Ｃ１とは反対側の外縁（実線で示されている外縁）は、曲率が一定であってもよい。すなわち、領域Ｒ２は、楕円の両端として概念される形状ではなく、円形Ｃ１の半径よりも半径が小さい円形の一部として概念される形状であってもよい。
【0062】
このような形状の各種の寸法（例えば半径ｒ１、長径ｒＬ及び短径ｒＳの相対長さ）は適宜に設定されてよい。一例を以下に挙げる。長径ｒＬは、半径ｒ１の１．２倍以上１．８倍以下とされてよい。領域Ｒ２の円形Ｃ１とは反対側の外縁の曲率の平均から求めた曲率半径は、半径ｒ１の０．３倍以上０．６倍以下とされてよい。
【0063】
以上に説明した圧力室２１の形状は、換言すれば、その外縁の大部分（全部であってもよいものとする。）が円弧によって構成されている形状である。例えば、圧力室２１の外縁は、圧力室２１の中心回りの角度で１８０°以上に相当する部分が円弧によって構成されている。
【0064】
以下の説明では、圧力室２１の「中央部」及び「周縁部」の語を用いることがある。中央部２１ａは、図４において、その外縁が２点鎖線Ｌｎ１によって示されている。中央部２１ａは、例えば、平面視において、圧力室２１の中心Ｏ１を含み、圧力室２１の外縁から中心Ｏ１側に離れている領域である。周縁部２１ｂは、図４において、その内縁が２点鎖線Ｌｎ１によって示されているとともに、その外縁が圧力室２１の外縁を示す実線によって示されている。周縁部２１ｂは、例えば、平面視において、圧力室２１の外縁（基本的にその全周）に接しており、圧力室２１の中心から離れている領域である。
【0065】
中央部２１ａと周縁部２１ｂとは、中央部２１ａの外縁と周縁部２１ｂの内縁とが互いに離れている態様で定義可能であるし、中央部２１ａの外縁と周縁部２１ｂの内縁とが一致している態様で定義可能であるし、中央部２１ａの外縁側部分と周縁部２１ｂの内縁側部分とが互いに重複している態様で定義可能である。実施形態の説明では、便宜上、中央部２１ａの外縁と周縁部２１ｂの内縁とが互いに一致している態様で中央部２１ａ及び周縁部２１ｂを定義する。
【0066】
平面視において、中央部２１ａ及び周縁部２１ｂの形状及び寸法は適宜に設定されてよい。以下の説明では、便宜上、後述する種々の部位又は部材（例えば後述する各種の電極）の位置及び寸法を中央部２１ａ及び周縁部２１ｂの位置及び寸法との比較において説明することがある。ただし、実際の製品においては、逆に、各種の部位又は部材の位置及び寸法から中央部２１ａ及び周縁部２１ｂの位置及び寸法が特定されてよい。従って、中央部２１ａ及び周縁部２１ｂの形状及び寸法については、後述する各種の部位又は部材の位置及び寸法が参照されてよい。
【0067】
また、以下の説明では、圧力室２１の外縁によって内縁が規定され、図４の２点鎖線Ｌｎ２によって外縁が規定される領域を圧力室２１の外側の領域１１ｅということがある。すなわち、圧力室２１の非配置領域（広義の圧力室２１の外側の領域）のうち、圧力室２１の周囲の領域を外側の領域１１ｅということがある。この領域１１ｅの形状及び寸法についても、後述する各種の部位又は部材の位置及び寸法が参照されてよい。
【0068】
（圧電アクチュエータ）
図３に戻って、圧電アクチュエータ１３は、例えば、複数の圧力室２１に亘る広さを有する概略板状である。圧電アクチュエータ１３は、板形状の表面及び裏面として第１面１３ａ及び第２面１３ｂを有している。本実施形態では、第１面１３ａは、流路部材１１とは反対側の面であり、第２面１３ｂは、流路部材１１側の面である。圧電アクチュエータ１３は、吐出素子９毎に（圧力室２１毎に）圧力室２１に圧力を付与する圧電素子２７を有している。すなわち、圧電アクチュエータ１３は、第１面１３ａに沿う方向の複数の位置に複数の圧電素子２７を有している。
図３に戻って、圧電アクチュエータ１３は、例えば、複数の圧力室２１に亘る広さを有する概略板状である。圧電アクチュエータ１３は、板形状の表面及び裏面として第１面１３ａ及び第２面１３ｂを有している。本実施形態では、第１面１３ａは、流路部材１１とは反対側の面であり、第２面１３ｂは、流路部材１１側の面である。圧電アクチュエータ１３は、吐出素子９毎に（圧力室２１毎に）圧力室２１に圧力を付与する圧電素子２７を有している。すなわち、圧電アクチュエータ１３は、第１面１３ａに沿う方向の複数の位置に複数の圧電素子２７を有している。
【0069】
圧電アクチュエータ１３は、第２面１３ｂに沿って広がる複数の層状部材が積層されて構成されている。具体的には、例えば、圧電アクチュエータ１３は、第１面１３ａ側から第２面１３ｂ側へ順に、第１圧電体層２９Ａ～第４圧電体層２９Ｄ（以下、単に圧電体層２９ということがある。）を有している。また、圧電アクチュエータ１３は、上記の圧電体層２９の表面又は間の位置において、第１面１３ａ側から第２面１３ｂ側へ順に、第１導体層３１Ａ～第５導体層３１Ｅ（以下、単に導体層３１ということがある。）を有している。特に図示しないが、圧電アクチュエータ１３は、第１導体層３１Ａを覆う絶縁層（例えばソルダーレジスト）を有していてもよい。
【0070】
各圧電体層２９は、複数の圧力室２１（別の観点では複数の圧電素子２７）に亘って実質的に隙間無く広がっている。「実質的に」としているのは、例えば、導体層同士を接続するための貫通導体（後述）が絶縁層を貫通していてもよいことなどからである（以下、同様。）。各導体層３１は、例えば、後に詳述するように、複数の圧力室２１に対応して設けられた複数の電極を含むなど、適宜な平面形状を有している。
【0071】
（圧電アクチュエータの動作原理の概要）
図５は、圧電アクチュエータ１３及び流路部材１１の上部（プレート２５Ｊ）を模式的に示す断面図である。この図は、例えば、図３とは異なる方向（図２のIII－III線とは異なる方向）の断面を示しており、例えば、図４のＶ－Ｖ線に対応している。この図において、断面であることを示すハッチングは省略されている。また、この図は、後述するように、第１活性領域５３Ａおよび第２活性領域５３Ｂに電界を印加して圧電アクチュエータ１３が屈曲した状態を示しており、電界を印加していないときの圧電アクチュエータ１３は、ほぼフラットな形状を有している。
図５は、圧電アクチュエータ１３及び流路部材１１の上部（プレート２５Ｊ）を模式的に示す断面図である。この図は、例えば、図３とは異なる方向（図２のIII－III線とは異なる方向）の断面を示しており、例えば、図４のＶ－Ｖ線に対応している。この図において、断面であることを示すハッチングは省略されている。また、この図は、後述するように、第１活性領域５３Ａおよび第２活性領域５３Ｂに電界を印加して圧電アクチュエータ１３が屈曲した状態を示しており、電界を印加していないときの圧電アクチュエータ１３は、ほぼフラットな形状を有している。
【0072】
図５では、図３に示した第１圧電体層２９Ａ及び第２圧電体層２９Ｂは、主圧電体層５１Ａとして概念されている（図示されている。）。同様に、図５では、図３に示した第３圧電体層２９Ｃ及び第４圧電体層２９Ｄは、副圧電体層５１Ｂとして概念されている（図示されている。）。以下、主圧電体層５１Ａ及び副圧電体層５１Ｂを単に圧電体層５１といい、両者を区別しないことがある。
【0073】
圧電体層５１は、液滴を吐出するときに駆動される活性領域５３（５３Ａ及び５３Ｂ）と、駆動されない非活性領域５５（５５Ａ～５５Ｃ。５５Ｃは図６参照。）と、を有している。活性領域５３は、分極されており、かつ液滴の吐出時に分極方向又はその反対方向の電界が印加される領域である。非活性領域５５は、分極されていない領域、並びに／又は、液滴の吐出時に分極方向及びその反対方向のいずれの方向の電界も印加されない領域である。なお、分極された領域とは、例えば、分極処理により自発分極の向きがある程度揃えられた領域である。
【0074】
より具体的には、主圧電体層５１Ａは、平面透視において圧力室２１の中央部２１ａに重なっている第１活性領域５３Ａと、その外側に隣接している第１非活性領域５５Ａとを有している。副圧電体層５１Ｂは、平面透視において圧力室２１の中央部２１ａに重なっている第２非活性領域５５Ｂと、その外側に隣接している第２活性領域５３Ｂとを有している。第１非活性領域５５Ａ及び第２活性領域５３Ｂは、別の観点では、平面透視において、圧力室２１の周縁部２１ｂ及び圧力室２１の外側の領域１１ｅに重なっている。
【0075】
第１活性領域５３Ａは、分極方向が厚み方向（Ｄ３方向）とされている。そして、第１活性領域５３Ａに対して分極方向と同じ方向に電界（別の観点では電圧。以下、同様。）が印加されると、第１活性領域５３Ａは、図５において矢印で示されているように、面に沿う方向において収縮する。一方、第２非活性領域５５Ｂは収縮しない。その結果、第１活性領域５３Ａ及び第２非活性領域５５Ｂ全体は、これらの両端に描かれた矢印でも示されているように、バイメタルのように圧力室２１側に凸となる撓み変形を生じる。
【0076】
第２活性領域５３Ｂは、分極方向が厚み方向（Ｄ３方向）とされている。そして、第２活性領域５３Ｂに対して分極方向と同じ方向に電界が印加されると、第２活性領域５３Ｂは、図５において矢印で示されているように、面に沿う方向において収縮する。一方、第１非活性領域５５Ａは収縮しない。その結果、図５に示すように、第２活性領域５３Ｂ及び第１非活性領域５５Ａ全体は、バイメタルのように圧力室２１側に凹となる撓み変形を生じる。
【0077】
ここで、第２活性領域５３Ｂ及び第１非活性領域５５Ａのうち、圧力室２１の外側に位置する部分（第２活性領域５３Ｂについては第２部分５３Ｂｂということがある。）は、プレート２５Ｊに接合されることによって、その撓み変形が拘束されている。従って、図５に示すように、第２活性領域５３Ｂ及び第１非活性領域５５Ａが圧力室２１側に凹となる撓み変形を生じると、第２活性領域５３Ｂ及び第１非活性領域５５Ａのうち圧力室２１に重なる部分（第２活性領域５３Ｂについては第１部分５３Ｂａということがある。）は、片持ち梁のように圧力室２１側に撓むことになる。ひいては、第１活性領域５３Ａ及び第２非活性領域５５Ｂは、圧力室２１側に変位する。
【0078】
従って、第１活性領域５３Ａに対して分極方向に電界を印加するとともに、第２活性領域５３Ｂに対して分極方向に電界を印加することによって、第１活性領域５３Ａに対してのみ分極方向に電界を印加した場合よりも、第１活性領域５３Ａの中心位置の、圧力室２１側への変位を大きくできる。これにより圧力室２１の体積を減少させるときの体積変化量を大きくすることができる。なお、同様に、圧力室２１の体積を増加させるときに、第１活性領域５３Ａに対して分極方向とは逆方向に電界を印加するとともに、第２活性領域５３Ｂに対して分極方向とは逆方向に電界を印加して、第１活性領域５３Ａおよび第２活性領域５３Ｂを、面に沿う方向に伸長させるようにしてもよい。それにより第１活性領域５３Ａの中心位置の変位を大きくして、圧力室の体積の増加量を大きくすることができる。
【0079】
圧電アクチュエータ１３の曲げ剛性に関して、中立面は、厚み方向の適宜な位置とされてよい。例えば、中立面は、概略、主圧電体層５１Ａと副圧電体層５１Ｂとの境界に位置している。当該境界と中立面とのずれは、例えば、主圧電体層５１Ａの厚さ及び副圧電体層５１Ｂの厚さのうちの薄い方の厚さの１／４未満である。
【0080】
（活性領域及び非活性領域の平面形状）
圧電アクチュエータの構造によって、活性領域５３の平面形状は、厚み方向（Ｄ３方向）において異なることがある。例えば、後述する説明から理解されるように、本実施形態では、第１活性領域５３Ａにおいて、第１圧電体層２９Ａによって構成される部分と、第２圧電体層２９Ｂによって構成される部分とは、互いに平面形状を異ならせることが可能である。以下の説明では、活性領域５３（又は非活性領域５５）の平面形状は、厚み方向において概ね一定である態様を例にとる。活性領域５３（又は非活性領域５５）の平面形状が厚み方向において一定でない態様においては、以下の平面形状に関する説明は、厚み方向のいずれの位置の平面形状に適用されてもよく、例えば、平面透視において最も面積が小さい平面形状に適用されてよい。
圧電アクチュエータの構造によって、活性領域５３の平面形状は、厚み方向（Ｄ３方向）において異なることがある。例えば、後述する説明から理解されるように、本実施形態では、第１活性領域５３Ａにおいて、第１圧電体層２９Ａによって構成される部分と、第２圧電体層２９Ｂによって構成される部分とは、互いに平面形状を異ならせることが可能である。以下の説明では、活性領域５３（又は非活性領域５５）の平面形状は、厚み方向において概ね一定である態様を例にとる。活性領域５３（又は非活性領域５５）の平面形状が厚み方向において一定でない態様においては、以下の平面形状に関する説明は、厚み方向のいずれの位置の平面形状に適用されてもよく、例えば、平面透視において最も面積が小さい平面形状に適用されてよい。
【0081】
第１非活性領域５５Ａ及び／又は第２活性領域５３Ｂは、例えば、平面透視において第１活性領域５３Ａ及び／又は第２非活性領域５５Ｂを囲んでいる。より詳細には、例えば、前者は後者を全周に亘って囲んでいる。ただし、前者は、後者を全周に亘って囲んでいなくてもよい。例えば、前者は、後者をその中心回りに２７０°以上３６０°未満の範囲で囲んでいてもよい。
【0082】
平面透視において、第１活性領域５３Ａ（その外縁側部分）と第２活性領域５３Ｂ（その内縁側部分）とは、互いに離れていてもよいし、互いに隣接していてもよいし（図示の例）、互いに重複していてもよい。別の観点では、第１活性領域５３Ａと、第２活性領域５３Ｂの内側に隣接する第２非活性領域５５Ｂとは互いに同一の形状及び寸法であってもよいし（図示の例）、そうでなくてもよい。同様に、第１活性領域５３Ａの外側に隣接する第１非活性領域５５Ａと、第２活性領域５３Ｂとは互いに同一の形状及び大きさであってもよいし（図示の例）、そうでなくてもよい。
【0083】
本実施形態の説明では、便宜上、第１活性領域５３Ａの外縁と、圧力室２１の中央部２１ａの外縁とが一致するように、圧力室２１の中央部２１ａを定義するものとする。また、既述のように、本実施形態の説明では、便宜上、中央部２１ａ及び周縁部２１ｂは、互いに隣接するように定義される。従って、第１活性領域５３Ａは、圧力室２１の周縁部２１ｂとは重なっていない。第２活性領域５３Ｂは、周縁部２１ｂの少なくとも外縁側に重なっており、また、中央部２１ａの少なくとも中心に重なっていない。上記のように、第１活性領域５３Ａの外縁側部分と第２活性領域５３Ｂの内縁側部分との重複の有無は任意である。従って、第２活性領域５３Ｂは、周縁部２１ｂの内縁側部分に重なっていなくてもよいし、周縁部２１ｂの全体に過不足なく重なっていてもよいし（図示の例）、周縁部２１ｂに加えて、中央部２１ａの外縁側部分に重なっていてもよい。
【0084】
第１活性領域５３Ａの平面形状及びその寸法（図４に示す中央部２１ａの形状及び寸法を参照）は適宜に設定されてよい。第１活性領域５３Ａの平面形状は、圧力室２１の平面形状と相似であってもよいし（図示の例）、相似でなくてもよい。いずれにせよ、圧力室２１の平面形状に関する説明は、第１活性領域５３Ａの平面形状に援用されてよい。また、平面透視において、第１活性領域５３Ａの中心と、圧力室２１の中心とは、概ね一致していてもよいし（図示の例）、ずれていてもよい。
【0085】
平面視における第１活性領域５３Ａの大きさは、適宜に設定されてよい。例えば、平面透視において、第１活性領域５３Ａの面積が圧力室２１の面積に占める割合は、４０％以上又は５０％以上とされてよく、また、７０％以下又は８０％以下とされてよく、上記の下限と上限とは適宜に組み合わされてよい。一例として、５０％以上及び７０％以下を挙げることができる。また、例えば、第１活性領域５３Ａと圧力室２１とで同一方向の径同士又は円相当径同士を比較したとき、第１活性領域５３Ａの径は、圧力室２１の径に対して、０．６倍以上又は０．７倍以上とされてよく、また、０．９倍以下とされてよく、上記の下限と上限とは適宜に組み合わされてよい。
【0086】
第２活性領域５３Ｂの平面形状及びその寸法（図４に示す２点鎖線Ｌｎ１と２点鎖線Ｌｎ２との間の環状の領域の形状及びその寸法を参照）は適宜に設定されてよい。例えば、第２活性領域５３Ｂの平面形状は、第１活性領域５３Ａを囲む環状の領域である。ここでいう環状は、円形状又は楕円状のものに限定されない。例えば、環状の内縁及び／又は外縁は、凹凸を有していてもよいし、多角形（例えば矩形）であってもよい。
【0087】
第２活性領域５３Ｂの内縁及び／又は外縁の形状は、例えば、圧力室２１の平面形状及び／又は第１活性領域５３Ａの平面形状と相似であってもよいし（図示の例）、相似でなくてもよい。いずれにせよ、圧力室２１の平面形状に関する説明は、第２活性領域５３Ｂの内縁及び外縁の形状に援用されてよい。また、平面透視において、第２活性領域５３Ｂの外縁がなす形状の中心と、圧力室２１の中心及び／又は第１活性領域５３Ａの中心とは、概ね一致していてもよいし（図示の例）、ずれていてもよい。
【0088】
平面透視したときに第１活性領域５３Ａの外縁と第２活性領域５３Ｂの内縁とがずれている態様において、両者の距離は適宜に設定されてよい。例えば、両者の距離は、第１活性領域５３Ａの径（例えば最小径、最大径又は円相当径）の１０％以下又は５％以下とされてよい。この上限値は、第１活性領域５３Ａの外縁が第２活性領域５３Ｂの内縁よりも内側に位置している態様、前者が後者よりも外側に位置している態様のいずれに適用されてもよい。
【0089】
第２活性領域５３Ｂの外縁の、圧力室２１の外縁からの距離は、適宜に設定されてよい。例えば、当該距離は、圧力室２１の径（例えば最小径、最大径又は円相当径）の１／２０以上、１／１０以上又は１／５以上とされてよく、また、１倍以下、１／２以下、１／３以下又は１／５以下とされてよく、前記の下限と上限とは、矛盾しない限り、適宜に組み合わされてよい。一例を挙げると、圧力室２１の径は、２００μｍ以上４００μｍ以下であり、このときの圧力室２１の外縁から第２活性領域５３Ｂの外縁までの距離は５０μｍ以上２００μｍ以下である。
【0090】
圧力室２１の外縁から第２活性領域５３Ｂの内縁までの距離ｗ１（符号は図４参照）、圧力室２１の外縁から第２活性領域５３Ｂの外縁までの距離ｗ２（符号は図４参照）とは、いずれが他方よりも大きくてもよい。距離ｗ１は、換言すれば、第２活性領域５３Ｂのうち圧力室２１に重なる第１部分５３Ｂａの幅である。距離ｗ２は、換言すれば、第２活性領域５３Ｂのうち圧力室２１の外側に位置する第２部分５３Ｂｂの幅である。ここでは、距離ｗ１及びｗ２を平面視で示しているが、距離ｗ１及びｗ２は、図３のように圧力室２１の中心を通り、加圧面１１ｂに直交する断面（縦断面）において比較されてもよい。
【0091】
本実施形態では、距離ｗ１が距離ｗ２よりも短い態様を例に取る。距離ｗ１が距離ｗ２よりも短いという場合、例えば、第２活性領域５３Ｂの全周に亘って距離ｗ１が距離ｗ２よりも短い態様だけでなく、第２活性領域５３Ｂの周方向の大部分において距離ｗ１が距離ｗ２よりも短い態様を含んでよい。圧力室２１の形状に起因して、又は電極へ電位を付与するための配線の形状に起因して、第２活性領域５３Ｂには、特異的な部分が設けられることがあることからである。例えば、上記の周方向の大部分は、圧力室２１の中心回りの角度で２７０°以上、３００°以上又は３３０°以上の範囲とされてよい。距離ｗ１が距離ｗ２よりも短い態様において、距離ｗ１と距離ｗ２との比率は適宜に設定されてよい。例えば、距離ｗ１は、距離ｗ２の０．９倍以下、０．８倍以下又は０．７倍以下とされてよい。
【0092】
平面透視において、第２活性領域５３Ｂのうち圧力室２１に重なる第１部分５３Ｂａの面積と、第２活性領域５３Ｂのうち圧力室２１の外側に位置する第２部分５３Ｂｂの面積とはいずれが他方よりも大きくてもよい。本実施形態の説明では、第１部分５３Ｂａの面積が第２部分５３Ｂｂの面積よりも小さい態様を例に取る。当該態様において、両者の面積の比は適宜に設定されてよい。例えば、第１部分５３Ｂａの面積は、第２部分５３Ｂｂの面積の０．９倍以下、０．８倍以下又は０．７倍以下とされてよい。
【0093】
なお、例えば、第１部分５３Ｂａと第２部分５３Ｂｂとが相似形の場合においては、後者が前者に対して外側に位置するから、後者の方が前者よりも周方向の長さが長い。従って、例えば、距離ｗ１と距離ｗ２とが等しくても、第１部分５３Ｂａの面積の方が第２部分５３Ｂｂの面積よりも小さい。このことから理解されるように、特に図示しないが、距離ｗ１が距離ｗ２よりも長く、第１部分５３Ｂａの面積の方が第２部分５３Ｂｂの面積よりも小さいという態様も可能である。
【0094】
流通されている製品において、第１部分５３Ｂａ及び第２部分５３Ｂｂの面積の相違、並びに距離ｗ１及び距離ｗ２の相違等は、適宜に測定されてよい。例えば、Ｘ線ＣＴ（Computed Tomography）を用いて、ヘッド本体７を分解することなく、電極面積、及び電極と圧力室２１とのずれ等が測定され、ひいては、第１部分５３Ｂａ及び第２部分５３Ｂｂの面積、並びに距離ｗ１及び距離ｗ２が測定されてよい。また、例えば、ヘッド本体７を複数の位置で分断し、電子顕微鏡を用いて断面を観察することによって、電極面積、及び電極と圧力室２１とのずれ等が測定され、ひいては、第１部分５３Ｂａ及び第２部分５３Ｂｂの面積、並びに距離ｗ１及び距離ｗ２が測定されてよい。
【0095】
第１非活性領域５５Ａは、例えば、主圧電体層５１Ａのうちの第１活性領域５３Ａ以外の領域のうち、平面透視において第２活性領域５３Ｂと重なる領域であると定義されてよい。従って、第１非活性領域５５Ａの内縁は、第１活性領域５３Ａの外縁に一致し、第１非活性領域５５Ａの外縁は、第２活性領域５３Ｂの外縁に一致する。本実施形態では、平面透視において、第１活性領域５３Ａの外縁と、第２活性領域５３Ｂの内縁とは、概ね一致するから、第１非活性領域５５Ａの平面形状及びその寸法は、第２活性領域５３Ｂの平面形状及びその寸法と概ね同じである。
【0096】
第２非活性領域５５Ｂは、例えば、副圧電体層５１Ｂのうちの圧力室２１に重なる領域であって、かつ第２活性領域５３Ｂ以外の領域であると定義されてよい。第２活性領域５３Ｂが環状の場合においては、第２非活性領域５５Ｂは、第２活性領域５３Ｂに囲まれた領域であり、その外縁は、第２活性領域５３Ｂの内縁に一致する。
【0097】
（圧電体層）
図３に戻り、圧電体層２９の材料は、例えば、強誘電性を有するセラミックス材料とされてよい。セラミック材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系、ＮａＮｂＯ３系、ＢａＴｉＯ３系、（ＢｉＮａ）ＴｉＯ３系、ＢｉＮａＮｂ５Ｏ１５系のものを挙げることができる。ただし、圧電体層２９の材料は、セラミック材料以外とされても構わない。圧電体層２９の材料は、単結晶であってもよいし、多結晶であってもよいし、無機材料であってもよいし、有機材料であってもよいし、強誘電体であってもなくてもよいし、焦電体であってもなくてもよい。複数の圧電体層２９の材料は、互いに同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。
図３に戻り、圧電体層２９の材料は、例えば、強誘電性を有するセラミックス材料とされてよい。セラミック材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系、ＮａＮｂＯ３系、ＢａＴｉＯ３系、（ＢｉＮａ）ＴｉＯ３系、ＢｉＮａＮｂ５Ｏ１５系のものを挙げることができる。ただし、圧電体層２９の材料は、セラミック材料以外とされても構わない。圧電体層２９の材料は、単結晶であってもよいし、多結晶であってもよいし、無機材料であってもよいし、有機材料であってもよいし、強誘電体であってもなくてもよいし、焦電体であってもなくてもよい。複数の圧電体層２９の材料は、互いに同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。
【0098】
圧電体層２９は、概略、一定の厚さで平面状に広がっており、換言すれば、概略、平板状である。その広さは、概略、圧電アクチュエータ１３の広さと同等である。圧電体層２９の厚さは、適宜に設定されてよい。複数の圧電体層２９の厚さは、互いに同一であってもよいし（図示の例）、互いに異なっていてもよい。圧電体層２９の厚さの一例を挙げると、１０μｍ以上４０μｍ以下である。
【0099】
図示の例では、複数の圧電体層２９の厚さは、互いに同一である。別の観点では、第３圧電体層２９Ｃの厚さ及び第４圧電体層２９Ｄの厚さの合計は、第１圧電体層２９Ａの厚さ及び第２圧電体層２９Ｂの厚さのそれぞれよりも厚い。この厚さの関係が成り立つ範囲内で、複数の圧電体層２９の厚さは、互いに異なっていてもよい。なお、互いに比較される２以上の圧電体層２９の厚さが同一といっても、誤差が存在してもよいことはもちろんであり、また、導体層３１の厚さで差異が存在してもよい。
【0100】
図６は、圧電体層２９の分極方向を示す模式的な断面図である。この図は、例えば、図５と同様に、図４のＶ－Ｖ線に対応している。この図において、白抜きの矢印は、分極方向を示している。この図において、断面であることを示すハッチングは省略されている。
【0101】
点線で示されているように、圧電アクチュエータ１３は、既述の第１活性領域５３Ａ、第２活性領域５３Ｂ、第１非活性領域５５Ａ及び第２非活性領域５５Ｂを有している。また、第１圧電体層２９Ａ～第４圧電体層２９Ｄにおいて、第１非活性領域５５Ａ及び第２活性領域５３Ｂの外側の領域を第３非活性領域５５Ｃというものとする。
【0102】
第１活性領域５３Ａにおいて、第１圧電体層２９Ａの分極方向と、第２圧電体層２９Ｂの分極方向とは互いに逆向きとされている。従って、第１活性領域５３Ａにおいては、第１圧電体層２９Ａ及び第２圧電体層２９Ｂに対して互いに逆向きの電界を印加することによって、これらの圧電体層（２９Ａ及び２９Ｂ）を共に収縮させ（図５）、又はこれらの圧電体層（２９Ａ及び２９Ｂ）を共に伸長させることができる。
【0103】
第１活性領域５３Ａにおいて、第１圧電体層２９Ａ及び第２圧電体層２９Ｂの分極方向は、いずれが＋Ｄ３方向又は－Ｄ３方向とされてもよい。本実施形態の説明では、第１圧電体層２９Ａの分極方向が－Ｄ３方向とされ、第２圧電体層２９Ｂの分極方向が＋Ｄ３方向とされている態様を例に取る。
【0104】
第２活性領域５３Ｂにおいて、第３圧電体層２９Ｃの分極方向と、第４圧電体層２９Ｄの分極方向とは互いに同一とされている。従って、例えば、第２活性領域５３Ｂにおいては、第３圧電体層２９Ｃ及び第４圧電体層２９Ｄに対して共に同一の電界を印加することによって、これらの圧電体層（２９Ｃ及び２９Ｄ）を共に収縮させ（図５）、又は共に伸長させることができる。
【0105】
第２活性領域５３Ｂの分極方向は、＋Ｄ３方向及び－Ｄ３方向のいずれであってもよい。また、第２活性領域５３Ｂの分極方向は、第１活性領域５３Ａにおける第１圧電体層２９Ａ及び第２圧電体層２９Ｂのいずれの分極方向と同一であってもよい。本実施形態の説明では、第２活性領域５３Ｂの分極方向が第１活性領域５３Ａにおける第１圧電体層２９Ａの分極方向と同一である態様を例に取る。
【0106】
非活性領域５５（５５Ａ～５５Ｃ）は、分極されていてもよいし、分極されていなくてもよい。図示の例では、第１非活性領域５５Ａは分極されており、第２非活性領域５５Ｂ及び第３非活性領域５５Ｃは分極されていない。
【0107】
第１非活性領域５５Ａの分極方向は、厚み方向（Ｄ３方向）とされている。第１非活性領域５５Ａの分極方向は、＋Ｄ３方向及び－Ｄ３方向のいずれであってもよいし、また、第１活性領域５３Ａ及び第２活性領域５３Ｂの分極方向との関係も任意である。例えば、第１非活性領域５５Ａの分極方向は、第２活性領域５３Ｂの分極方向と同一であってもよいし、逆であってもよい。本実施形態の説明では、第１非活性領域５５Ａの分極方向が第２活性領域５３Ｂの分極方向と同一である態様を例に取る。
【0108】
（導体層）
図３に戻って、第１導体層３１Ａは、第１圧電体層２９Ａの上面に位置している。第２導体層３１Ｂは、第１圧電体層２９Ａと第２圧電体層２９Ｂとの間に位置している。第３導体層３１Ｃは、第２圧電体層２９Ｂと第３圧電体層２９Ｃとの間に位置している。第４導体層３１Ｄは、第３圧電体層２９Ｃと第４圧電体層２９Ｄとの間に位置している。第５導体層３１Ｅは、第４圧電体層２９Ｄと流路部材１１（プレート２５Ｊ）との間に位置している。
図３に戻って、第１導体層３１Ａは、第１圧電体層２９Ａの上面に位置している。第２導体層３１Ｂは、第１圧電体層２９Ａと第２圧電体層２９Ｂとの間に位置している。第３導体層３１Ｃは、第２圧電体層２９Ｂと第３圧電体層２９Ｃとの間に位置している。第４導体層３１Ｄは、第３圧電体層２９Ｃと第４圧電体層２９Ｄとの間に位置している。第５導体層３１Ｅは、第４圧電体層２９Ｄと流路部材１１（プレート２５Ｊ）との間に位置している。
【0109】
導体層３１の材料は、例えば、適宜な金属材料とされてよい。金属材料としては、例えば、Ａｇ－Ｐｄ系の合金及びＡｕ系の合金が用いられてよい。複数の導体層３１の材料は、互いに同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。一の導体層３１は、１種類の材料によって一体的に構成されていてもよいし、互いに異なる材料が積層されて構成されていてもよい。一の導体層３１の材料は、平面方向の互いに異なる位置同士で同一である。ただし、一部の領域の材料が他の領域の材料と異なっていてもよい。
【0110】
導体層３１は、概略、一定の厚さで平面状に広がっている。導体層３１の厚さは、適宜に設定されてよい。また、複数の導体層３１の厚さは、互いに同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。各層の厚さは、例えば、圧電体層２９の厚さよりも薄くされている。導体層３１の厚さの一例を挙げると、０．５μｍ以上３μｍ以下とされてよい。
【0111】
（導体層の形状）
図７及び図８は、圧電アクチュエータ１３及び流路部材１１の上部（プレート２５Ｊ）の分解斜視図である。図７では、平面視におけるヘッド本体７の一部の領域であって、複数の圧電素子２７が含まれる領域が示されている。図８では、１つの圧電素子２７が含まれる領域が示されている。これらの図では、便宜上、導体層３１の表面にハッチングを付している。
図７及び図８は、圧電アクチュエータ１３及び流路部材１１の上部（プレート２５Ｊ）の分解斜視図である。図７では、平面視におけるヘッド本体７の一部の領域であって、複数の圧電素子２７が含まれる領域が示されている。図８では、１つの圧電素子２７が含まれる領域が示されている。これらの図では、便宜上、導体層３１の表面にハッチングを付している。
【0112】
これらの図では、圧電アクチュエータ１３は、第５導体層３１Ｅを除いて、各圧電体層２９と、その上面（＋Ｄ３側の面）に重なる導体層３１との２層を組み合わせた板状部材に分解されて示されている。これは、図示の便宜上のものであり、製造過程において、このような４つの板状部材がそれぞれ作製されることを意味していない。例えば、製造過程において、各導体層３１は、圧電体層２９の下面（－Ｄ３側の面）に設けられてもよい。
【0113】
（第１導体層）
第１導体層３１Ａは、例えば、圧力室２１（圧電素子２７）毎に、第１電極３３と、再配向電極３５とを有している。第１電極３３は、液滴を吐出するときに第１活性領域５３Ａ（より詳細にはそのうちの第１圧電体層２９Ａによって構成されている部分）に電圧を印加することに寄与する。再配向電極３５は、液滴を吐出していないときに、第２非活性領域５５Ｂ（その一部又は大部分）に対して分極処理を施して、圧電アクチュエータ１３の特性劣化を低減することに寄与する。
第１導体層３１Ａは、例えば、圧力室２１（圧電素子２７）毎に、第１電極３３と、再配向電極３５とを有している。第１電極３３は、液滴を吐出するときに第１活性領域５３Ａ（より詳細にはそのうちの第１圧電体層２９Ａによって構成されている部分）に電圧を印加することに寄与する。再配向電極３５は、液滴を吐出していないときに、第２非活性領域５５Ｂ（その一部又は大部分）に対して分極処理を施して、圧電アクチュエータ１３の特性劣化を低減することに寄与する。
【0114】
各圧電素子２７において、第１電極３３と再配向電極３５とは互いに分離されており、互いに別個に電位が付与される。第１電極３３と再配向電極３５との距離は適宜に設定されてよい。例えば、両者の距離は、短絡が生じない範囲で極力短くされてよい。
【0115】
（第１電極）
第１電極３３は、いわゆる個別電極である。すなわち、複数の第１電極３３は、その形状の観点において、また、電気的観点において、互いに分離されている。そして、複数の第１電極３３は、互いに異なる電位が付与されることが可能となっている。
第１電極３３は、いわゆる個別電極である。すなわち、複数の第１電極３３は、その形状の観点において、また、電気的観点において、互いに分離されている。そして、複数の第１電極３３は、互いに異なる電位が付与されることが可能となっている。
【0116】
第１電極３３は、例えば、第１活性領域５３Ａに電圧を印加することに寄与する電極本体３３ａと、電極本体３３ａと圧電アクチュエータ１３の外部の信号線とを接続するための引出部３３ｂとを有している。外部の信号線は、例えば、特に図示しないが、圧電アクチュエータ１３の第１面１３ａに対向するＦＰＣ（フレキシブル配線板）が有している配線パターンである。なお、電極本体３３ａのみが第１電極と捉えられ、引出部３３ｂは、配線と捉えられてもよい。
【0117】
電極本体３３ａの平面形状及びその寸法は、例えば、第１活性領域５３Ａの平面形状及びその寸法と概ね同じである。従って、第１活性領域５３Ａの平面形状及びその寸法についての既述の説明は、電極本体３３ａの平面形状及びその寸法に援用されてよい。既述のように、活性領域５３は分極されており、かつ液滴の吐出時に電圧が印加される領域である。従って、第１活性領域５３Ａのうち第１圧電体層２９Ａによって構成されている部分の外縁は、電極本体３３ａの外縁と一致するか、これよりも内側に位置する。
【0118】
引出部３３ｂは、例えば、平面透視において、電極本体３３ａから圧力室２１の外部まで延び出ている。そして、引出部３３ｂのうち圧力室２１の外部に位置する部分（例えば電極本体３３ａとは反対側の端部）が外部の信号線に接合される。これにより、当該接合が圧電素子２７による圧力室２１への圧力付与に及ぼす影響が低減される。
【0119】
引出部３３ｂの具体的な形状、寸法及び位置等は適宜に設定されてよい。例えば、引出部３３ｂは、電極本体３３ａの所定方向（図示の例ではＤ１方向）の一方側の端部から前記所定方向の前記一方側へ直線状に延びている。当該所定方向は、任意の方向とされてよい。図示の例では、電極本体３３ａの長手方向である。また、引出部３３ｂの幅は、例えば、概略一定であり、また、電極本体３３ａの径（例えば最小径）よりも小さい。図示の例とは異なり、引出部３３ｂは、屈曲又は湾曲する部分を有していてもよい。また、引出部３３ｂの電極本体３３ａとは反対側の端部は、他の部分に比較して拡幅されていてもよい。また、引出部３３ｂは、平面透視したとき、第２活性領域５３Ｂの外縁がなす形状内に収まっていてもよいし（図示の例）、収まっていなくてもよい。
【0120】
（再配向電極）
複数の再配向電極３５は、その形状の観点において、また、電気的観点において、互いに分離されている。すなわち、再配向電極３５は、個別電極となっている。ただし、後述する説明から理解されるように、複数の再配向電極３５は、互いに同一の電位が付与されてよい。従って、図示の例とは異なり、第１導体層３１Ａは、例えば、互いに隣り合う再配向電極３５同士を接続する配線を有していてもよい。また、例えば、第１導体層３１Ａは、第１電極３３の配置領域を除いて隙間無く第１圧電体層２９Ａに広がる電極（第４導体層３１Ｄを参照）を再配向電極として有していてもよい。
複数の再配向電極３５は、その形状の観点において、また、電気的観点において、互いに分離されている。すなわち、再配向電極３５は、個別電極となっている。ただし、後述する説明から理解されるように、複数の再配向電極３５は、互いに同一の電位が付与されてよい。従って、図示の例とは異なり、第１導体層３１Ａは、例えば、互いに隣り合う再配向電極３５同士を接続する配線を有していてもよい。また、例えば、第１導体層３１Ａは、第１電極３３の配置領域を除いて隙間無く第１圧電体層２９Ａに広がる電極（第４導体層３１Ｄを参照）を再配向電極として有していてもよい。
【0121】
再配向電極３５は、例えば、平面視において、第２非活性領域５５Ｂの概ね全体に電圧を印加可能であってもよいし、一部（内縁側、中央側又は外縁側）に対してのみ電圧を印加可能であってもよいし、第２非活性領域５５Ｂだけでなく、第３非活性領域５５Ｃに対しても電圧を印加可能であってもよい。
【0122】
図示の例では、再配向電極３５は、第１非活性領域５５Ａの概ね全体に電圧を印加可能で、第３非活性領域５５Ｃには電圧を印加しないように構成されている。すなわち、再配向電極３５は、平面透視において、第１非活性領域５５Ａに対して、概ね、過不足無く重なる形状とされている。従って、第１非活性領域５５Ａの平面形状及びその寸法に関する既述の説明は、再配向電極３５の平面形状及びその寸法に援用されてよい。
【0123】
ただし、再配向電極３５は、第１非活性領域５５Ａとは異なり、第１電極３３の引出部３３ｂの位置において途切れており、Ｃ字状に形成されている。なお、ここでいうＣ字状も、環状と同様に、内縁及び／又は外縁が円形状又は楕円状のものに限定されない。
【0124】
また、第１圧電体層２９Ａのうち平面視において電極本体３３ａの外側に位置する部分は、液滴の吐出時に電圧が印加されないから、第１非活性領域５５Ａを構成する。一方、再配向電極３５の内縁は、第１電極３３と短絡しないように電極本体３３ａの外縁から外側に離れている。従って、再配向電極３５が第１非活性領域５５Ａの全体に概ね重なるといっても、再配向電極３５の内縁は、第１非活性領域５５Ａのうち第１圧電体層２９Ａによって構成されている部分の内縁よりも外縁側に位置している。
【0125】
再配向電極３５の平面形状（途切れている部分を除く）が第１活性領域５３Ａの平面形状と相似形である態様において、再配向電極３５の外縁は、図示の例とは異なり、第１非活性領域５５Ａの外縁（既述のように第２活性領域５３Ｂの外縁によって定義される。）に対して、内側に位置してもよいし、外側に位置してもよい。すなわち、第１非活性領域５５Ａのうち外縁側の一部に分極処理が施されなかったり、第１非活性領域５５Ａに加えて第３非活性領域５５Ｃにも分極処理が施されたりしてもよい。
【0126】
（第２導体層）
第２導体層３１Ｂは、例えば、圧力室２１（圧電素子２７）毎に設けられている第２電極３７と、複数の第２電極３７を互いに接続している複数の配線３９とを有している。第２電極３７は、圧力室２１に圧力を付与して液滴を吐出するときに第１活性領域５３Ａ（より詳細には第１圧電体層２９Ａ及び第２圧電体層２９Ｂの双方）に電圧を印加することに寄与する。複数の配線３９は、第２電極３７に電位を付与することに寄与する。
第２導体層３１Ｂは、例えば、圧力室２１（圧電素子２７）毎に設けられている第２電極３７と、複数の第２電極３７を互いに接続している複数の配線３９とを有している。第２電極３７は、圧力室２１に圧力を付与して液滴を吐出するときに第１活性領域５３Ａ（より詳細には第１圧電体層２９Ａ及び第２圧電体層２９Ｂの双方）に電圧を印加することに寄与する。複数の配線３９は、第２電極３７に電位を付与することに寄与する。
【0127】
（第２電極）
複数の第２電極３７は、その形状の観点において、互いに分離されている。別の観点では、隣り合う第２電極３７の間には導体の非配置領域が位置している。すなわち、形状の観点において、第２電極３７は、個別電極である。ただし、既述のように、複数の第２電極３７は、複数の第１電極３３とは異なり、複数の配線３９によって互いに接続されて互いに同一の電位とされる。
複数の第２電極３７は、その形状の観点において、互いに分離されている。別の観点では、隣り合う第２電極３７の間には導体の非配置領域が位置している。すなわち、形状の観点において、第２電極３７は、個別電極である。ただし、既述のように、複数の第２電極３７は、複数の第１電極３３とは異なり、複数の配線３９によって互いに接続されて互いに同一の電位とされる。
【0128】
第２電極３７の形状及び寸法は、例えば、第１電極３３の電極本体３３ａの形状及び寸法と概ね同様とされている。そして、平面透視したとき、第２電極３７及び電極本体３３ａは、概ね互いに過不足無く重なる。換言すれば、平面透視したとき、第２電極３７の外縁は、電極本体３３ａの外縁と概ね一致する。別の観点では、平面透視したとき、第２電極３７は、再配向電極３５と重ならない。電極本体３３ａ（第１活性領域５３Ａ）の平面形状及びその寸法に関する説明は、第２電極３７の形状及び寸法に適宜に援用されてよい。
【0129】
ただし、より厳密に見たときに、平面透視において、第２電極３７の外縁は、その一部又は全部が、電極本体３３ａの外縁に位置してもよいし、電極本体３３ａの外縁と再配向電極３５の内縁との間に位置してもよいし、再配向電極３５の内縁に位置してもよい。本開示の説明において、第２電極３７の外縁が電極本体３３ａの外縁に一致する（又は両電極が過不足無く重なる）というとき、上記の全ての態様を含むことがある。厳密に見て一致するという場合であっても、両者の間に誤差が存在してもよいことはもちろんである（他の電極等についても同様。）。
【0130】
なお、図示の例とは異なり、第２電極３７の外縁は、電極本体３３ａの外縁に対して、内側又は外側に若干ずれていてもよい。別の観点では、後述する説明から理解されるように、第１圧電体層２９Ａにおいて電圧が印加される領域と、第２圧電体層２９Ｂにおいて電圧が印加される領域とは異なっていてもよい。さらに別の観点では、電圧が印加される領域が分極されていることが前提となるが、第１活性領域５３Ａは、第１圧電体層２９Ａによって構成される部分と、第２圧電体層２９Ｂによって構成される部分とで広さが異なっていてもよい。
【0131】
（第２導体層の配線）
複数の配線３９の数、位置、形状及び寸法等は適宜に設定されてよい。例えば、配線３９は、Ｄ２方向に隣り合う第２電極３７同士を接続していてもよいし（図示の例）、Ｄ２方向以外の方向（Ｄ１方向又はＤ１方向に傾斜する方向）に隣り合う第２電極３７同士を接続していてもよいし、これらの接続の２以上を組み合わせた接続を実現していてもよい。図示の例では、配線３９は、第１電極３３の引出部３３ｂが延びる方向に対して交差（より詳細には直交）する方向に延びている。ひいては、配線３９と引出部３３ｂとは重なっていない。
複数の配線３９の数、位置、形状及び寸法等は適宜に設定されてよい。例えば、配線３９は、Ｄ２方向に隣り合う第２電極３７同士を接続していてもよいし（図示の例）、Ｄ２方向以外の方向（Ｄ１方向又はＤ１方向に傾斜する方向）に隣り合う第２電極３７同士を接続していてもよいし、これらの接続の２以上を組み合わせた接続を実現していてもよい。図示の例では、配線３９は、第１電極３３の引出部３３ｂが延びる方向に対して交差（より詳細には直交）する方向に延びている。ひいては、配線３９と引出部３３ｂとは重なっていない。
【0132】
また、例えば、配線３９は、直線状に延びていてもよいし（図示の例）、屈曲又は湾曲していてもよい。また、例えば、配線３９は、その長さ方向に亘って概略一定の幅であってもよいし（図示の例）、長さ方向の位置によって幅が異なっていてもよい。配線３９の幅は、第２電極３７の間に隙間が形成されるように（第２電極３７が形状に関して個別電極となるように）、配線３７の幅方向における第２電極３７の径よりも小さい。例えば、前者は、後者の１／２以下、１／３以下又は１／４以下とされてよい。
【0133】
（第３導体層）
第３導体層３１Ｃは、例えば、圧力室２１（圧電素子２７）毎に設けられている第３電極４１を有している。第３電極４１は、例えば、圧力室２１に圧力を付与して液滴を吐出するときに、第１活性領域５３Ａ（より詳細にはそのうちの第２圧電体層２９Ｂによって構成されている部分）に電圧を印加することに寄与するとともに、第２活性領域５３Ｂ（より詳細には第３圧電体層２９Ｃ及び第４圧電体層２９Ｄの双方）に電圧を印加することに寄与する。第３電極４１は、第１電極３３と同様に、いわゆる個別電極である。すなわち、複数の第３電極４１は、その形状の観点において、また、電気的観点において、互いに分離されている。
第３導体層３１Ｃは、例えば、圧力室２１（圧電素子２７）毎に設けられている第３電極４１を有している。第３電極４１は、例えば、圧力室２１に圧力を付与して液滴を吐出するときに、第１活性領域５３Ａ（より詳細にはそのうちの第２圧電体層２９Ｂによって構成されている部分）に電圧を印加することに寄与するとともに、第２活性領域５３Ｂ（より詳細には第３圧電体層２９Ｃ及び第４圧電体層２９Ｄの双方）に電圧を印加することに寄与する。第３電極４１は、第１電極３３と同様に、いわゆる個別電極である。すなわち、複数の第３電極４１は、その形状の観点において、また、電気的観点において、互いに分離されている。
【0134】
第３電極４１の平面形状及びその寸法は、例えば、概略、第１電極３３と再配向電極３５とを足し合わせたもの（別の観点では第１活性領域５３Ａ及び第２活性領域５３Ｂを足し合わせたもの）の平面形状及びその寸法と同様とされている。そして、平面透視したとき、第３電極４１は、第１電極３３、再配向電極３５、及びこれらの電極（３３及び３５）の隙間に対して（第１活性領域５３Ａ及び第２活性領域５３Ｂに対して）、概ね過不足無く重なる。第２活性領域５３Ｂの外縁の形状及びその寸法に係る説明は、第３電極４１の平面形状及びその寸法に援用されてよい。
【0135】
第３電極４１の平面形状及びその寸法と、再配向電極３５の外縁がなす形状及びその寸法とは互いに異なっていてもよい。例えば、平面透視したときに、再配向電極３５の外縁は、第３電極４１の外縁に対して、内側に位置していてもよいし、外側に位置していてもよい。また、例えば、第３電極４１は、平面透視したときに、電極本体３３ａと再配向電極３５との間にて電極本体３３ａの外縁に沿って延びるスリットを有していてもよい。
【0136】
（第４導体層）
第４導体層３１Ｄは、例えば、圧電アクチュエータ１３において、第１面１３ａ側の部分と第２面１３ｂ側の部分との構造的な特性を均等化することに寄与している。従って、後述する動作の説明からも理解されるように、本実施形態では、第４導体層３１Ｄは、圧電体層２９に対して電圧を印加することには寄与していない。第４導体層３１Ｄは、省略されても構わない。
第４導体層３１Ｄは、例えば、圧電アクチュエータ１３において、第１面１３ａ側の部分と第２面１３ｂ側の部分との構造的な特性を均等化することに寄与している。従って、後述する動作の説明からも理解されるように、本実施形態では、第４導体層３１Ｄは、圧電体層２９に対して電圧を印加することには寄与していない。第４導体層３１Ｄは、省略されても構わない。
【0137】
第４導体層３１Ｄの形状、寸法及び位置は、例えば、平面透視において、圧電体層２９に電圧を印加する電極に重ならないように設定されている。電圧を印加する電極は、本実施形態では、既述の第１電極３３、再配向電極３５、第２電極３７及び第３電極４１、並びに後述する第４電極４５である。これにより、第４導体層３１Ｄは、上記の電極によって圧電体層２９に対して電圧を印加する妨げになる蓋然性が低減されている。
【0138】
ただし、第４導体層３１Ｄは、上記電極の一部と重なる領域を含んでいてもよい。例えば、再配向電極３５が第３電極４１の外縁及び第４電極４５の外縁よりも外側に位置する領域（第３非活性領域５５Ｃに重なる領域）を有している場合において、第４導体層３１Ｄは、上記の外側に位置する領域と重なる領域を含んでいてもよい。この場合、第４導体層３１Ｄは、第３非活性領域５５Ｃのうち第１圧電体層２９Ａ～第３圧電体層２９Ｃによって構成されている部分の再配向に寄与し得る。
【0139】
第４導体層３１Ｄの形状及び寸法は適宜に設定されてよい。図示の例では、第４導体層３１Ｄは、圧力室２１（圧電素子２７）毎に開口４３が形成された形状とされている。換言すれば、第４導体層３１Ｄは、開口４３を除けば、第４圧電体層２９Ｄ上に隙間無く広がるベタ状である。
【0140】
開口４３の平面形状及びその寸法は、例えば、第３電極４１（別の観点では第１活性領域５３Ａ及び第２活性領域５３Ｂの論理和）の平面形状及びその寸法と概ね同様とされている。そして、平面透視したとき、開口４３は、第３電極４１に対して概ね過不足無く重なる。第２活性領域５３Ｂの外縁の形状及びその寸法の説明は、開口４３の平面形状及びその寸法に援用されてよい。
【0141】
ただし、開口４３は、第３電極４１よりも大きくされていてもよい。これにより、例えば、第３電極４１（及び他の電極）と第４導体層３１Ｄとが重複する蓋然性を低減できる。また、開口４３を大きくした方が、第１面１３ａ側の部分と第２面１３ｂ側の部分との構造的な特性を均等化するという目的に合致する場合もある。第３電極４１よりも大きい開口４３の形状は、第３電極４１（別の観点では圧力室２１）の形状と相似形であってもよいし、相似形でなくてもよい。
【0142】
第４導体層３１Ｄの平面形状（パターン）は、開口４３が形成された形状以外に種々可能である。例えば、第４導体層３１Ｄの平面形状は、適宜な方向に延びる複数の線状パターンを含んで構成されていてもよいし、開口４３以外にも開口を有するメッシュ状であってもよい。
【0143】
（第５導体層）
第５導体層３１Ｅは、例えば、圧力室２１（圧電素子２７）毎に設けられている第４電極４５を有している。第４電極４５は、例えば、圧力室２１に圧力を付与して液滴を吐出するときに第２活性領域５３Ｂ（より詳細には第３圧電体層２９Ｃ及び第４圧電体層２９Ｄの双方）に電圧を印加することに寄与する。また、第４電極４５は、例えば、液滴を吐出していないときに、第２非活性領域５５Ｂ（その一部又は大部分）に対して分極処理を施して、圧電アクチュエータ１３の特性劣化を低減することに寄与する。
第５導体層３１Ｅは、例えば、圧力室２１（圧電素子２７）毎に設けられている第４電極４５を有している。第４電極４５は、例えば、圧力室２１に圧力を付与して液滴を吐出するときに第２活性領域５３Ｂ（より詳細には第３圧電体層２９Ｃ及び第４圧電体層２９Ｄの双方）に電圧を印加することに寄与する。また、第４電極４５は、例えば、液滴を吐出していないときに、第２非活性領域５５Ｂ（その一部又は大部分）に対して分極処理を施して、圧電アクチュエータ１３の特性劣化を低減することに寄与する。
【0144】
複数の第４電極４５は、その形状の観点において、互いに分離されている。従って、形状の観点においては、複数の第４電極４５は、個別電極である。ただし、複数の第４電極４５は、複数の第１電極３３とは異なり、互いに同一の電位が付与される。具体的には、図示の例では、複数の第４電極４５は、金属からなるプレート２５Ｊによって互いに電気的に接続される。なお、本実施形態とは異なり、プレート２５Ｊを樹脂プレートにすることなどによって加圧面１１ｂを絶縁性にし、流路部材１１を介した複数の第４電極４５の電気的接続をしないようにしてもよい。
【0145】
第４電極４５の平面形状及びその寸法は、例えば、概略、再配向電極３５の平面形状及びその寸法と概ね同様とされている。別の観点では、第４電極４５の平面形状及びその寸法は、第３電極４１のうち、第１電極３３の電極本体３３ａと重ならない領域（外周側の領域）の平面形状及びその寸法と概ね同様とされている。さらに別の観点では、第４電極４５の平面形状及びその寸法は、第２活性領域５３Ｂの平面形状及びその寸法と概ね同様とされている。第２活性領域５３Ｂの平面形状及びその寸法に係る説明は、第４電極４５の平面形状及びその寸法に援用されてよい。
【0146】
平面透視において、第４電極４５の内縁は、電極本体３３ａの外縁（再配向電極３５の内縁）及び第２電極３７の外縁に概ね一致する。第４電極４５の内縁は、第２電極３７の外縁と同様に、より厳密に見たときに、平面透視において、その一部又は全部が、電極本体３３ａの外縁に位置してもよいし、電極本体３３ａの外縁と再配向電極３５の内縁との間に位置してもよいし、再配向電極３５の内縁に位置してもよい。本開示の説明において、第４電極４５の内縁が電極本体３３ａの外縁に一致するというとき、上記の全ての態様を含むことがある。なお、第４電極４５の内縁は、電極本体３３ａの外縁及び／又は第２電極３７の外縁に対して内側又は外側に若干ずれていてもよい。
【0147】
平面透視において、第４電極４５の外縁は、例えば、再配向電極３５の外縁、第３電極４１の外縁及び開口４３の縁部に概ね一致する。ただし、再配向電極３５と第３電極４１との関係と同様に、再配向電極３５の外縁は、第４電極４５の外縁に対して、内側又は外側に位置していてもよい。また、開口４３と第３電極４１との関係と同様に、開口４３は、第４電極４５よりも大きくされたりしてよい。また、なお、第４電極４５の外縁は、第３電極４１の外縁に対して内側又は外側にずれていてもよい。
【0148】
（導体層の電気的接続）
第１電極３３は、既に述べたように、圧電素子２７毎に個別に電位（駆動信号）が付与される電極であり、また、圧電アクチュエータ１３の第１面１３ａに対向する不図示のＦＰＣから引出部３３ｂに電位が付与される。例えば、引出部３３ｂの電極本体３３ａとは反対側の端部は、ＦＰＣの配線パターンと不図示のバンプによって接合される。バンプは、例えば、はんだ（鉛フリーはんだを含む）によって構成されている。
第１電極３３は、既に述べたように、圧電素子２７毎に個別に電位（駆動信号）が付与される電極であり、また、圧電アクチュエータ１３の第１面１３ａに対向する不図示のＦＰＣから引出部３３ｂに電位が付与される。例えば、引出部３３ｂの電極本体３３ａとは反対側の端部は、ＦＰＣの配線パターンと不図示のバンプによって接合される。バンプは、例えば、はんだ（鉛フリーはんだを含む）によって構成されている。
【0149】
第３電極４１も、既に述べたように、圧電素子２７毎に個別に電位（駆動信号）が付与される電極である。ただし、本実施形態では、第３電極４１は、自己が属する圧電素子２７の第１電極３３と同一の電位が付与される。同一の電位の付与は、例えば、圧電アクチュエータ１３内において第１電極３３と第３電極４１とが電気的に接続されることによって実現されてよい。
【0150】
上記の第１電極３３と第３電極４１との接続は、適宜な導体によって実現されてよい。例えば、図３に示すように、第１圧電体層２９Ａ及び第２圧電体層２９Ｂを貫通する貫通導体４７によって第１電極３３と第３電極４１とが接続されてよい。図８では、第１電極３３及び第３電極４１のうち、貫通導体４７によって接続される位置を点線で結んでいる。貫通導体４７の第１電極３３に対する接続位置は、例えば、引出部３３ｂのうちの平面透視において圧力室２１の外部に位置する部分（より詳細には、例えば、外側の領域１１ｅに位置する部分）とされてよい。また、貫通導体４７の第３電極４１に対する接続位置は、上記の貫通導体４７の引出部３３ｂに対する接続位置の直下の位置とされてよい。
【0151】
この他、特に図示しないが、例えば、第１圧電体層２９Ａを貫通し、第１電極３３に接続される貫通導体と、第２圧電体層２９Ｂを貫通し、第３電極４１に接続される貫通導体と、第１圧電体層２９Ａと第２圧電体層２９Ｂとの間に位置し、上記２つの貫通導体を接続する層状配線とが設けられてもよい。また、第３電極４１の電位が第１電極３３の電位とは異なる電位とされる態様においては、例えば、平面透視において再配向電極３５と重ならない位置まで延びる引出部を第３電極４１に設け、当該引出部に接続されるとともに圧電アクチュエータ１３の第１面１３ａに露出する貫通導体を設けてよい。そして、当該貫通導体又はその上に重なるパッドと不図示のＦＰＣの配線パターンとを接合してもよい。
【0152】
再配向電極３５は、例えば、第１電極３３と同様に、不図示のＦＰＣとバンプを介して接合されることによって電位が付与されてよい。このときの再配向電極３５の接合位置は、適宜な位置とされてよい。例えば、再配向電極３５のうち、電極本体３３ａを挟んで引出部３３ｂとは反対側に位置する部分が接合位置とされてよい。及び／又は、例えば、接合位置は、平面透視において圧力室２１に重ならない位置とされてよい。これにより、引出部３３ｂに対する接合と同様に、接合が圧力室２１の圧力に及ぼす影響が低減される。
【0153】
この他、特に図示しないが、例えば、再配向電極３５に圧力室２１から離れる方向へ延びる引出部を設け、当該引出部にＦＰＣを接合してもよい。また、複数の再配向電極３５は、互いに別個に電位が付与される必要は無い。従って、複数の再配向電極３５を互いに接続する配線と、複数の再配向電極３５に共通に接続されたパッドとを設け、当該パッドにＦＰＣを接合してもよい。
【0154】
複数の第４電極４５は、既述のように、本実施形態では、金属からなるプレート２５Ｊによって互いに電気的に接続されており、同一の電位が付与される。プレート２５Ｊは、例えば、基準電位が付与されてよい。このとき、プレート２５Ｊは、フレームグランド及びシグナルグランド（例えば圧電アクチュエータ１３に接続される不図示のＦＰＣの基準電位部）の一方のみに接続されてもよいし、双方に接続されてもよく、後者の場合において、双方に直接に接続されてもよいし、一方を介して他方に接続されてもよい。接続のための構成は任意である。
【0155】
複数の第２電極３７は、既述のように、複数の配線３９によって接続されており、互いに同一の電位が付与される。また、第４導体層３１Ｄは、複数の開口４３が形成されているものの、基本的に一つの導体パターンであるから、当然にその全体に同一の電位が付与される。また、本実施形態では、複数の第２電極３７と第４導体層３１Ｄとは互いに同一の電位が付与される。複数の第２電極３７及び第４導体層３１Ｄは、例えば、圧電体層２９を貫通する貫通導体を設けることなどによって、圧電アクチュエータ１３の第１面１３ａに対向する不図示のＦＰＣに電気的に接続されてよい。貫通導体の構成は適宜に設定されてよい。以下に、一例を示す。
【0156】
図９は、第２導体層３１Ｂの一部の拡大平面図である。この図では、複数の第２電極３７がＤ２方向に並ぶことによって構成されている行が２つだけ示されている。また、この図では、説明の便宜上、１行が含む複数の第２電極３７の数が４つであるものと仮定している。
【0157】
各行において、複数の第２電極３７は、既述のように、複数の配線３９によって接続されている。さらに、各行の両端には、行の外側（－Ｄ２側又は＋Ｄ２側）へ延びる配線３９が設けられている。この両端の配線３９は、複数の行に交差する方向（Ｄ１方向）に延びる共通配線４９に接続されている。これにより、複数の行は、互いに接続されている。共通配線４９は、第２導体層３１Ｂの一部である。
【0158】
【0159】
図９及び図１０に示すように、平面透視において共通配線４９と重なる位置には、圧電体層２９を貫通する貫通導体５７が設けられている。具体的には、図１０に示すように、第２圧電体層２９Ｂ及び第３圧電体層２９Ｃを貫通する貫通導体５７が設けられている。これにより、共通配線４９と第４導体層３１Ｄとが接続されている。ひいては、複数の第２電極３７と第４導体層３１Ｄとは同一の電位とされている。
【0160】
また、第１圧電体層２９Ａを貫通する貫通導体５７も設けられている。これにより、圧電アクチュエータ１３の第１面１３ａに対向する不図示のＦＰＣと、複数の第２電極３７及び第４導体層３１Ｄとを電気的に接続可能となっている。具体的には、例えば、第１圧電体層２９Ａを貫通する貫通導体５７の上には、パッド５９が設けられており、このパッド５９とＦＰＣの不図示の信号線とが不図示のバンプによって接合される。
【0161】
図９において点線で示すように、貫通導体５７は、例えば、共通配線４９に沿って複数設けられてよい。これにより、同電位とされる電極の電位が安定する。もちろん、貫通導体５７は、１カ所のみに設けられても構わない。共通配線４９の上方に位置する貫通導体５７と、共通配線４９の下方に位置する貫通導体５７とは、平面透視において互いに重なっていてもよいし、互いに重なっていなくてもよい。
【0162】
特に図示しないが、第４圧電体層２９Ｄを貫通する貫通導体５７が設けられてもよい。この貫通導体５７によって、プレート２５Ｊ（別の観点では第４電極４５）と、第２電極３７及び第４導体層３１Ｄとが電気的に接続されてもよい。
【0163】
（導体層に付与される電位）
図１１は、液滴を吐出するときに導体層３１に付与される電位を示す模式的な断面図である。また、図１２は、第１非活性領域５５Ａに対して分極処理を行うときに導体層３１に付与される電位を示す模式的な断面図である。これらの図は、例えば、図５と同様に、図４のＶ－Ｖ線に対応している。これらの図において、断面であることを示すハッチングは省略されている。圧電体層２９の断面内に示されている矢印は、液滴を吐出するサイクル内の所定の時点における電圧（電界）の方向を示している。
図１１は、液滴を吐出するときに導体層３１に付与される電位を示す模式的な断面図である。また、図１２は、第１非活性領域５５Ａに対して分極処理を行うときに導体層３１に付与される電位を示す模式的な断面図である。これらの図は、例えば、図５と同様に、図４のＶ－Ｖ線に対応している。これらの図において、断面であることを示すハッチングは省略されている。圧電体層２９の断面内に示されている矢印は、液滴を吐出するサイクル内の所定の時点における電圧（電界）の方向を示している。
【0164】
これらの図では、圧電アクチュエータ１３に電力を供給して圧電アクチュエータ１３を駆動するドライバ６１が示されている。ただし、ここで示されているドライバ６１の構成は、導体層３１に付与される電位を分かりやすく図示するための便宜上のものである。従って、実際のドライバ６１の構成は、図示の構成と異なっていてよい。
【0165】
ドライバ６１は、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）によって構成されている。ドライバ６１は、例えば、圧電アクチュエータ１３の第１面１３ａに対向する不図示のＦＰＣに実装されることなどによって、ヘッド２に搭載されていてよい。ただし、ドライバ６１は、ヘッド２に搭載されていなくてもよい。ドライバ６１と制御部８８との間の役割分担は適宜に設定されてよい。例えば、以下に説明するドライバ６１の動作の一部又は全部は、制御部８８によって実行されてもよい。ドライバ６１は、制御部８８と別個に概念することが困難なハードウェア構成で設けられていても構わない。ドライバ６１及び制御部８８の全体を制御部として捉えてもよい。
【0166】
ドライバ６１は、例えば、液滴を吐出するための電力を出力可能な第１信号源６３と、分極処理のための電力を出力可能な第２信号源６５と、これらの信号源と圧電アクチュエータ１３との接続を制御するスイッチ部６７とを有している。なお、スイッチ部６７は、液滴を吐出するための電力と、分極処理のための電力とのいずれが圧電アクチュエータ１３に付与されるかを分かりやすく図示するためのものである。実際には、スイッチ部６７が設けられず、第１信号源６３及び第２信号源６５の動作によって、液滴を吐出するための電力及び分極処理のための電力が選択的に出力されてよい。また、第１信号源６３及び第２信号源６５は、一部が共通化されていてもよい。
【0167】
図１１及び図１２では、シグナルグランド及び／又はフレームグランドとしての基準電位部６９が示されている。基準電位が付与される導体層３１と、基準電位部６９との接続は、ドライバ６１を介したものであってもよいし、ドライバ６１を介していなくてもよい。基準電位部６９の接続に係る図示の構成は、導体層３１間の電位差等を分かりやすく示すための便宜上のものに過ぎない。
【0168】
（液体吐出制御）
図５を参照して説明したように、液滴を吐出するときは、第１信号源６３は、第１活性領域５３Ａ及び第２活性領域５３Ｂに対して、分極方向と同一方向（又は逆方向）に電圧（電界）を印加する。図６を参照して説明したように、本実施形態では、第１活性領域５３Ａにおいて、第１圧電体層２９Ａの分極方向と、第２圧電体層２９Ｂの分極方向とは互いに逆向きであり、また、第２活性領域５３Ｂの分極方向は、第１活性領域５３Ａのうち第１圧電体層２９Ａによって構成されている部分の分極方向と同じである。従って、図１１において矢印ｙ１及びｙ２で示されているように、ドライバ６１（第１信号源６３）は、第１活性領域５３Ａにおいて、第１圧電体層２９Ａに印加される電圧と、第２圧電体層２９Ｂに印加される電圧とが逆向きになり、かつ第２活性領域５３Ｂに印加される電圧が、第１活性領域５３Ａのうち第１圧電体層２９Ａによって構成されている部分に印加される電圧と同じ向きになるように、導体層３１に電位を付与する。
図５を参照して説明したように、液滴を吐出するときは、第１信号源６３は、第１活性領域５３Ａ及び第２活性領域５３Ｂに対して、分極方向と同一方向（又は逆方向）に電圧（電界）を印加する。図６を参照して説明したように、本実施形態では、第１活性領域５３Ａにおいて、第１圧電体層２９Ａの分極方向と、第２圧電体層２９Ｂの分極方向とは互いに逆向きであり、また、第２活性領域５３Ｂの分極方向は、第１活性領域５３Ａのうち第１圧電体層２９Ａによって構成されている部分の分極方向と同じである。従って、図１１において矢印ｙ１及びｙ２で示されているように、ドライバ６１（第１信号源６３）は、第１活性領域５３Ａにおいて、第１圧電体層２９Ａに印加される電圧と、第２圧電体層２９Ｂに印加される電圧とが逆向きになり、かつ第２活性領域５３Ｂに印加される電圧が、第１活性領域５３Ａのうち第１圧電体層２９Ａによって構成されている部分に印加される電圧と同じ向きになるように、導体層３１に電位を付与する。
【0169】
より詳細には、図示の例では、第２電極３７及び第４電極４５には基準電位が付与されている。第１電極３３及び第３電極４１には基準電位よりも高い電位（別の観点では極性が正の電位）が付与されている。これにより、第１電極３３と第２電極３７との間（第１活性領域５３Ａのうち第１圧電体層２９Ａによって構成されている部分）には、前者から後者への向きに電圧が印加される。第２電極３７と第３電極４１の第２電極３７と重複する領域との間（第１活性領域５３Ａのうち第２圧電体層２９Ｂによって構成されている部分）には、後者から前者への向きに電圧が印加される。第３電極４１の第４電極４５と重なる領域と第４電極４５との間には、前者から後者への向きの電圧が印加される。
【0170】
上記では、分極方向と同一方向に電圧が印加される場合について説明したが、第１電極３３及び第３電極４１に基準電位よりも低い電位（別の観点では極性が負の電位）を付与することによって、分極方向に対して逆方向に電圧を印加することができる。また、上記の説明では、図６に図示した分極方向を前提としたが、分極方向が図６とは逆向きである場合においては、上記の電位の高低（正負）は、逆となる。
【0171】
上記の説明では、第２電極３７及び第４電極４５に基準電位が付与されるものとして説明した。ただし、第４電極４５を金属製のプレート２５Ｊに電気的に接続しないようにしつつ（例えば後述する実施形態参照）、第２電極３７及び第４電極４５に基準電位以外の電位を付与してもよい。例えば、第２電極３７及び第４電極４５に対して、第１電極３３及び第３電極４１の電位とは異なり、かつ基準電位よりも高い又は低い電位を付与してもよい。また、第２電極３７及び第４電極４５に対して個別に電位を付与可能に導体層３１の構成及び貫通導体の配置を変更する必要があるが、上記とは逆に、第１電極３３及び第３電極４１に対して基準電位を付与し、第２電極３７及び第４電極４５に対して基準電位よりも高い又は低い電位を付与してもよい。従って、本実施形態を上位概念化すると、第１電極３３及び第３電極４１に対して同一の電位（第１電位）を付与し、第２電極３７及び第４電極４５に対して同一の電位（第２電位）を付与し、両電位の差によって第１活性領域５３Ａに印加される電界（第１電界）及び第２活性領域５３Ｂに印加される電界（第２電界）を形成しているということができる。
【0172】
上記以外の態様によって、第１活性領域５３Ａ及び第２活性領域５３Ｂに対して分極方向と同一方向に電圧が印加されても構わない。例えば、第１電極３３と第３電極４１とを互いに接続しないようにし、第１電極３３の電位及び第３電極４１の電位が、互いに異なっているとともに、いずれも第２電極３７の電位よりも高く（又は低く）されてよい。また、例えば、第２電極３７の電位及び第４電極４５の電位が、互いに異なっているとともに、いずれも第３電極４１の電位よりも低く（又は高く）されてよい。
【0173】
液滴の吐出のための電圧を印加するとき、再配向電極３５及び第４導体層３１Ｄは、例えば、基準電位が付与されていてもよいし、電気的に浮遊状態（積極的に電位が付与されていない状態）とされていてもよい。図１１の例では、再配向電極３５は、電気的に浮遊状態とされている。また、第４導体層３１Ｄは、本実施形態では、既述のように、第２電極３７と接続されていることから、基準電位が付与されている。
【0174】
圧力室２１に圧力を付与するときの圧電素子２７の駆動方式としては、公知の種々の方式、又は公知の種々の方式を応用したものが採用されてよい。代表的な駆動方式としては、いわゆる引き打ち式を挙げることができる。引き打ち式を採用した場合におけるドライバ６１の動作は、例えば、以下のとおりである。
【0175】
ドライバ６１は、液滴の吐出前に予め第１電極３３及び第３電極４１に基準電位（別の観点では第２電極３７及び第４電極４５の電位と同じ電位。以下、同様。）よりも高い電位を付与している。これにより、圧電素子２７は、圧力室２１側に撓み変形を生じた状態とされている。液滴を吐出するタイミングが到来すると、ドライバ６１は、第１電極３３及び第３電極４１に基準電位を付与する。これにより、圧電素子２７は平らな状態に戻り始め、ひいては、圧力室２１の容積は増加し始める。別の観点では、圧電素子２７は、固有振動数での振動を開始する。その後、圧力室２１の容積は最大となり、再び減少していく。容積の減少に伴って圧力室２１の圧力は高くなっていく。そして、圧力が略最大となるタイミングで、第１電極３３及び第３電極４１に対して基準電位よりも高い電位を付与する。これにより、最初に加えた振動と、次に加えた振動とが重なり、より大きい圧力が圧力室２１内に付与される。このように、ドライバ６１は、第２電極３７及び第４電極４５の電位よりも高い電位を基準として、一定期間低電位となるパルス状の駆動信号を第１電極３３及び第３電極４１に入力する。
【0176】
ドライバ６１は、例えば、記録媒体に形成すべきドットの大きさに応じて、パルス状の駆動信号の振幅を変えたり、及び／又は駆動信号の数を変えたりする。これにより、吐出される液滴が大きくされたり、１つのドットに対して２以上の液滴が吐出されたりする。
【0177】
これまでの説明から理解されるように、液滴を吐出するとき、第１活性領域５３Ａに印加される電圧の変化と、第２活性領域５３Ｂに印加される電圧の変化とは同一である。従って、第１活性領域５３Ａが伸長する期間と第２活性領域５３Ｂが伸長する期間とは互いに同一であり、また、第１活性領域５３Ａが収縮する期間と第２活性領域５３Ｂが収縮する期間とは互いに同一である。換言すれば、第１活性領域５３Ａが収縮及び伸長の一方を生じる期間と、第２活性領域５３Ｂが収縮及び伸長の前記一方を生じる期間とは同一である。上位概念化して言えば、第１活性領域５３Ａが伸長及び収縮の一方を生じる期間と、第２活性領域５３Ｂが伸長及び収縮の前記一方を生じる期間とは、少なくとも一部同士が重複する。
【0178】
引き打ち式の説明から理解されるように、ここでいう収縮及び伸長の前記一方を生じる期間は、第１活性領域５３Ａ及び第２活性領域５３Ｂに積極的に電圧を印加する期間に限定されない。例えば、収縮及び伸長の前記一方を生じる期間は、液滴を吐出するタイミングが到来したときに第１電極３３及び第３電極４１の電位を基準電位にした期間であってもよい。この期間は、第１活性領域５３Ａ及び第２活性領域５３Ｂに電圧が印加されない期間と捉えることができる。ただし、いずれにせよ、ドライバ６１は、液体吐出制御において、第１活性領域５３Ａが伸長及び収縮の一方を生じる期間の少なくとも一部において第２活性領域５３Ｂが伸長及び収縮の前記一方を生じるように、第１活性領域５３Ａに印加される電界の強度と、第２活性領域５３Ｂに対して印加される電界の強度とを制御しているといえる。
【0179】
第１活性領域５３Ａ及び第２活性領域５３Ｂの間で電圧が印加される期間を互いにずらすことも可能である。例えば、複数の第４電極４５に対して個別に電位を付与可能に、圧電アクチュエータを構成する。そして、例えば、上記の引き打ち式の例において、液滴の吐出前においては、第４電極４５に対して第３電極４１の電位と同じ電位を付与して第２活性領域５３Ｂの収縮は利用せず、第３電極４１の電位を基準電位よりも高い電位に戻すときに、第４電極に対して基準電位を付与して第２活性領域５３Ｂの収縮を利用してもよい。その逆に、液滴の吐出前に第２活性領域５３Ｂの収縮を利用してもよい。液滴の吐出量（画像データに応じて記録媒体上に形成されるドットの大きさ）に応じて、第２活性領域５３Ｂの収縮の利用の有無が変更されてもよい。なお、これらのいずれの態様も、第１活性領域５３Ａが伸長及び収縮の一方を生じる期間と、第２活性領域５３Ｂが伸長及び収縮の前記一方を生じる期間とは、少なくとも一部同士が重複しているといえる。
【0180】
第２電極３７及び第４電極４５は同一の電位（基準電位）が付与されている。従って、第３電極４１と第２電極３７との間の電位差と、第３電極４１と第４電極４５との間の電位差は同一である。換言すれば、第１活性領域５３Ａのうち第２圧電体層２９Ｂによって構成されている部分に印加される電圧と、第２活性領域５３Ｂに印加される電圧とは同一である。一方、前者の電圧は、１層の圧電体２９（２９Ｂ）の厚みに対して印加されるのに対して、後者の電圧は、２層の圧電体層（２９Ｃ及び２９Ｄ）の厚みに対して印加される。従って、前者の電圧が形成する電界の強度は、後者の電圧が形成する電界の強度よりも強い。同様のことは、第１活性領域５３Ａのうち第１圧電体層２９Ａによって構成される部分と、第２活性領域５３Ｂとについても言える。別の観点では、液体を吐出するとき、第１活性領域５３Ａにおける電界の強度（別の観点ではその変化量）は、第２活性領域５３Ｂにおける電界の強度よりも大きくなっている。
【0181】
本実施形態においては、液体吐出制御において、第１活性領域５３Ａに印加される電界及び第２活性領域５３Ｂに印加される電界は、共に上昇又は下降する。本実施形態とは異なり、両電界が共に同様に変化しない態様においては、第１活性領域５３Ａに印加される電界の強度と、第２活性領域５３Ｂに印加される電界の強度とは、例えば、最大値同士が比較されてよい。また、例えば、引き打ち式においては、その具体的な駆動波形にもよるが、吐出タイミングが到来する直前の、圧電素子２７を圧力室２１側に撓ませた状態に維持する電界は、吐出中の電界ではないが、液体吐出制御において活性領域５３に印加される電界の最大値として参照されてよい。第１活性領域５３Ａに印加される電界と、第２活性領域５３Ｂに印加される電界とが別個に制御される態様においては、互いに比較される電界の強度の最大値は、互いに異なる時点のものであってよい。
【0182】
（再配向制御）
第１非活性領域５５Ａは、圧電素子２７の撓み変形に伴って面に沿う方向の応力を繰り返し受けると、ドメインウォールの移動（ドメインスイッチング）を生じる。その結果、圧電素子２７の変位が低下する。そこで、第１非活性領域５５Ａに対して分極処理を施し、第１非活性領域５５Ａの分極を一定に保つことによって、変位の低下を低減できる。
第１非活性領域５５Ａは、圧電素子２７の撓み変形に伴って面に沿う方向の応力を繰り返し受けると、ドメインウォールの移動（ドメインスイッチング）を生じる。その結果、圧電素子２７の変位が低下する。そこで、第１非活性領域５５Ａに対して分極処理を施し、第１非活性領域５５Ａの分極を一定に保つことによって、変位の低下を低減できる。
【0183】
再配向電極３５による分極処理は、液滴が吐出されていない適宜な時期に行われてよい。例えば、分極処理は、印刷が行われていないときに、プリンタ１に対するユーザの操作をトリガとして行われてよい。すなわち、分極処理は、任意の時期に行われてよい。また、例えば、制御部８８は、印刷回数をカウントし、所定回数の印刷が完了したときに分極処理を行ってもよい。プリンタ１が出荷されたとき、第１非活性領域５５Ａは、分極処理がなされていない状態であってもよいし、再配向電極３５による分極処理によって実現される分極と同様の分極が生じた状態であってもよい。
【0184】
図６を参照して説明したように、本実施形態では、第１非活性領域５５Ａは、厚み方向に分極されている。分極処理においては、図１２において矢印で示すように、ドライバ６１（第２信号源６５）は、第１非活性領域５５Ａの分極方向と同一方向に電圧（直流電圧）を印加する。このときの電圧は、例えば、第１非活性領域５５Ａの抗電界を超える強度の電界を形成する電圧とされ、また、分極が飽和状態となる電圧以上の電圧とされよい。
【0185】
上記のように電圧を印加するために、図示の例では、再配向電極３５は、基準電位よりも高い電位（別の観点では極性が正の電位）が付与されている。第３電極４１は、電気的に浮遊状態とされている。第４電極４５は、基準電位が付与されている。これにより、再配向電極３５と第４電極４５との間に電界が形成される。その間に介在する第３電極４１は、電気的に浮遊状態とされているので、上記電界の形成の妨げになりにくい。そして、上記電界は、第１非活性領域５５Ａ及び第２活性領域５３Ｂに印加される。
【0186】
上記では、分極方向が図６で示したように下向きである態様を前提とした。分極方向が逆方向である態様においては、基準電位よりも低い電位（別の観点では極性が負の電位）が再配向電極３５に付与されてよい。また、第４電極４５（換言すれば再配向電極３５とで電界を形成する電極）を金属製のプレート２５Ｊに電気的に接続しないようにして、当該電極に基準電位以外の電位を付与してもよい。この場合において、再配向電極３５に付与される電位は、基準電位であってよいし、基準電位以外の電位であってもよい。
【0187】
分極処理のための電圧を印加するとき、第１電極３３、第２電極３７及び第４導体層３１Ｄは、例えば、基準電位が付与されていてもよいし、電気的に浮遊状態とされていてもよい。本実施形態では、既述のように、第１電極３３は第３電極４１と電気的に接続されていることから、電気的に浮遊状態とされている。また、第２電極３７及び第４導体層３１Ｄは、基準電位が付与されている。
【0188】
ヘッド本体７の製造方法は、公知の種々の方法、又は公知の種々の方法を応用したものと同様とされてよい。例えば、圧電アクチュエータ１３は、圧電体層２９となるセラミックグリーンシートに導体層３１及び貫通導体となる導電ペーストを配置し、その後、セラミックグリーンシートを積層して焼成することによって作製されてよい。流路部材１１は、エッチング等によって流路となる貫通孔が形成された複数のプレート２５を接着剤によって接着することによって作製されてよい。そして、圧電アクチュエータ１３と流路部材１１とを接着剤によって接合することによってヘッド本体７が作製されてよい。
【0189】
活性領域５３の分極処理は、例えば、圧電アクチュエータ１３の焼成後の適宜な時期（例えば圧電アクチュエータ１３と流路部材１１との接合後）において行われてよい。分極処理では、例えば、図１１において矢印ｙ１及びｙ２で示した電界が印加されるように、第１電極３３、第２電極３７、第３電極４１及び第４電極４５に対して直流電圧を印加する。このときの電圧は、例えば、活性領域５３の抗電界を超える強度の電界を形成する電圧とされ、また、分極が飽和状態となる電圧以上の電圧とされよい。
【0190】
以上のとおり、本実施形態では、液体吐出ヘッド２は、流路部材１１と、圧電アクチュエータ１３と、ドライバ６１とを有している。流路部材１１は、加圧面１１ｂと、当該加圧面１１ｂに開口している圧力室２１とを有している。圧電アクチュエータ１３は、加圧面１１ｂに重なっている。ドライバ６１は、圧電アクチュエータ１３を駆動する。圧電アクチュエータ１３は、第１活性領域５３Ａ及び第２活性領域５３Ｂを有している。加圧面１１ｂに垂直な方向（Ｄ３方向）を厚み方向と呼称するとき、第１活性領域５３Ａは、厚み方向に分極されている圧電体からなり、加圧面１１ｂの平面透視において圧力室２１の中央部２１ａに重なっている。第２活性領域５３Ｂは、厚み方向に分極されている圧電体からなり、第１活性領域５３Ａよりも加圧面１１ｂ側に位置しており、加圧面１１ｂの平面透視において圧力室２１の周縁部２１ｂ及び圧力室２１の外側の領域１１ｅに重なっている。ドライバ６１は、液体吐出制御において、第１活性領域５３Ａが加圧面１１ｂに沿う方向において伸長及び収縮の一方を生じる期間の少なくとも一部において第２活性領域５３Ｂが加圧面１１ｂに沿う方向において伸長及び収縮の前記一方を生じるように、第１活性領域５３Ａに対して厚み方向に印加される第１電界（図１１の矢印ｙ１）の強度と、第２活性領域５３Ｂに対して厚み方向に印加される第２電界（図１１の矢印ｙ２）の強度とを制御する。液体吐出制御において、第１電界の強度の最大値が第２電界の強度の最大値よりも大きい。
【0191】
従って、例えば、第１活性領域５３Ａだけでなく、第２活性領域５３Ｂを駆動することによって、圧電素子２７全体としての変位を大きくすることができる。第２活性領域５３Ｂは、流路部材１１によって圧力室２１の外側の領域１１ｅに重なる領域の変形が規制されることから、圧力室２１の外縁付近において応力が大きくなりやすい。しかし、第１活性領域５３Ａに印加される電界の強度を第２活性領域５３Ｂに印加される電界の強度よりも大きくすることによって、圧電素子２７全体としての変位を大きくする上述の効果を維持しつつ、第２活性領域５３Ｂに加えられる応力を低減することができる。第２活性領域５３Ｂに加えられる応力を低減することによって、ヘッド２の耐久性を向上させることができる。
【0192】
また、本実施形態では、ヘッド２は、３つ以上の電極（３３、３７、４１及び４５）を有している。当該３つ以上の電極は、厚み方向の位置が互いに異なり、それぞれ第１活性領域５３Ａに対する第１電界の印加及び第２活性領域５３Ｂに対する第２電界の印加の少なくとも一方を行う。前記の３つ以上の電極の厚み方向における３つ以上の位置のうち互いに隣り合う位置にあり、第１電界を印加する２つの電極の、厚み方向における距離（３３と３７との距離及び３７と４１との距離の少なくとも一方）を第１の距離とする。前記の３つ以上の位置のうち互いに隣り合う位置にあり、第２電界を印加する２つの電極の、厚み方向における距離（４１と４５との距離）を第２の距離とする。このとき、第１の距離が第２の距離よりも短い。
【0193】
従って、例えば、第１活性領域５３Ａに印加される第１電界を形成する電圧（電位差）と、第２活性領域５３Ｂに印加される第２電界を形成する電圧（電位差）とが同一であるとしても、第１電界の強度は第２電界の強度よりも強くなる。このような理由から、第１電界の強度を第２電界の強度よりも強くすることが容易化される。
【0194】
また、本実施形態では、上記の電極間の距離の関係が成り立つことに加えて、液体吐出制御において、第１活性領域５３Ａに対して第１電界を印加する上記２つの電極の電位差（３３と３７との電位差及び／又は３７と４１との電位差）の最大値と、第２活性領域５３Ｂに対して第２電界を印加する上記２つの電極（４１及び４５）の電位差の最大値とが同じである。
【0195】
この場合、例えば、第１電界を印加する２つの電極の一方と、第２電界を印加する２つの電極の一方とを接続し（又は１つの電極に統合し）、第１電界を印加する２つの電極の他方と、第２電界を印加する２つの電極の他方とを接続することができる。その結果、簡素な構成で、第１電界の強度を第２電界の強度よりも強くすることができる。
【0196】
また、本実施形態では、圧電アクチュエータは、第１圧電体層２９Ａ～第４圧電体層２９Ｄ、並びに第１電極３３、第２電極３７、第３電極４１及び第４電極４５を有している。圧電アクチュエータ１３の流路部材１１とは反対側（＋Ｄ３側）を第１側と呼称し、圧電アクチュエータ１３の流路部材１１側（－Ｄ３側）を第２側と呼称する。このとき、第１圧電体層２９Ａ～第４圧電体層２９Ｄは、第１側から第２側へ順に積層されている。第１電極３３は、第１圧電体層２９Ａの第１側の面に重なっており、平面透視において圧力室２１の中央部２１ａに重なっている。第２電極３７は、第１圧電体層２９Ａの第２側の面に重なっており、平面透視において中央部２１ａに重なっている。第３電極４１は、第２圧電体層２９Ｂの第２側の面に重なっており、平面透視において中央部２１ａ、圧力室２１の周縁部２１ｂ及び圧力室２１の外側の領域１１ｅに重なっている。第４電極４５は、第４圧電体層２９Ｄの第２側の面に重なっており、平面透視において周縁部２１ｂ及び外側の領域１１ｅに重なっている。第１活性領域５３Ａは、第１圧電体層２９Ａにおける第１電極３３と第２電極３７とに挟まれた領域と、第２圧電体層２９Ｂにおける第２電極３７と第３電極４１の中央部２１ａに重なっている部分とに挟まれた領域と、を有している。第２活性領域５３Ｂは、第３圧電体層２９Ｃ及び第４圧電体層２９Ｄにおける、第３電極４１の周縁部２１ｂ及び外側の領域１１ｅに重なっている部分と第４電極４５とに挟まれた領域を有している。
【0197】
この場合、例えば、簡素な構成で、第１活性領域５３Ａに印加される第１電界を第２活性領域５３Ｂに印加される第２電界よりも大きくすることができる。例えば、第１活性領域５３Ａにおいては厚み方向の位置が互いに異なる３つの電極（３３、３７及び４１）によって２つの圧電体層２９（２９Ａ及び２９Ｂ）に電圧が印加され、第２活性領域５３Ｂにおいては２つの電極によって２つの圧電体層２９（２９Ｃ及び２９Ｄ）に電圧が印加される。従って、上述した第１活性領域５３Ａに電圧を印加する２つの電極の距離を第２活性領域５３Ｂに電圧を印加する２つの電極の距離を短くする構成を実現することが容易である。この距離の関係による効果によって、第１活性領域５３Ａ（２９Ａ及び２９Ｂのそれぞれ）に印加される電圧と、第２活性領域５３Ｂ（２９Ｃ及び２９Ｄの双方）に印加される電圧とを同一にすることができるから、例えば、電位の増加を抑え、構成を簡素化できる。また、第３電極４１が、第１活性領域５３Ａに対する電圧印加と、第２活性領域５３Ｂに対する電圧印加とに兼用されることから、電極の数（導体層３１の数）を低減できる。
【0198】
また、本実施形態では、第１圧電体層２９Ａのうちの第１活性領域５３Ａを構成する部分と、第２圧電体層２９Ｂのうちの第１活性領域５３Ａを構成する部分とは互いに逆向きに分極されている。第３圧電体層２９Ｃ及び第４圧電体層２９Ｄのうちの第２活性領域５３Ｂを構成する部分は、第１圧電体層２９Ａのうちの第１活性領域５３Ａを構成する部分の分極の向きと同一の向きに分極されている。液体吐出制御において、第１電極３３及び第３電極４１は同電位とされ、第２電極３７及び第４電極４５は同電位とされ、第１電極３３及び第３電極４１の電位と、第２電極３７及び第４電極４５の電位との電位差によって、第１活性領域５３Ａに対する第１電界の印加と、第２活性領域５３Ｂに対する第２電界の印加とが行われる。
【0199】
この場合、例えば、２種の電位のみで、３つの領域（第１活性領域５３Ａのうちの第１圧電体層２９Ａによって構成されている部分、第１活性領域５３Ａのうちの第２圧電体層２９Ｂによって構成されている部分、及び第２活性領域５３Ｂ）に対して、それぞれの領域の分極方向（又はその反対方向）に電界を印加することができる。従って、圧電アクチュエータ１３及びドライバ６１の構成が簡素化される。
【0200】
また、本実施形態では、第３圧電体層２９Ｃの厚さ及び第４圧電体層２９Ｄの厚さの合計が、第１圧電体層２９Ａの厚さ及び第２圧電体層２９Ｂの厚さそれぞれよりも厚い。
【0201】
この場合、別の観点では、第１電極３３と第２電極３７との距離、及び第２電極３７と第３電極４１との距離のそれぞれが、第３電極４１と第４電極４５との距離よりも短くなる。その結果、例えば、第１活性領域５３Ａのうち第１圧電体層２９Ａによって構成される部分に印加される電界、及び第１活性領域５３Ａのうち第２圧電体層２９Ｂによって構成される部分に印加される電界のそれぞれを第２活性領域５３Ｂに印加される電界よりも大きくしやすい。
【0202】
また、本実施形態では、圧電アクチュエータ１３は、第３圧電体層２９Ｃの第２側（－Ｄ３側）の面に重なり、平面透視において第２活性領域５３Ｂの外側に位置する導体パターン（第４導体層３１Ｄ）を有している。
【0203】
ここで、本実施形態では、上記のように、第１活性領域５３Ａの電圧の印加のためには３つの電極（３３、３７及び４１）が配置され、第２活性領域５３Ｂの電圧の印加のためには２つの電極（４１及び４５）が配置されている（ただし、第３電極４１は共用されている。）。従って、圧電アクチュエータ１３においては、第１側（＋Ｄ３側）における導体の体積が第２側における導体の体積よりも大きくなりやすい。しかし、第４導体層３１Ｄが設けられていることによって、導体の体積（別の観点では導体が圧電体内に占める割合）を＋Ｄ３側と－Ｄ３側とで同等にすることが容易化される。その結果、例えば、焼成時における収縮及び／又は使用中における温度変化に伴う伸縮に起因して意図されていない撓み変形が生じる蓋然性が低減される。
【0204】
また、本実施形態では、加圧面１１ｂの平面透視において、第２活性領域５３Ｂのうち圧力室の外側に位置する第２部分５３Ｂｂの面積が、第２活性領域５３Ｂのうち圧力室２１に重なっている第１部分５３Ｂａの面積よりも大きい。
【0205】
第２活性領域５３Ｂの外縁（別の観点では第２部分５３Ｂｂの外縁）が圧力室２１の外縁に近づくと、圧力室２１の外縁付近において応力集中が生じやすい。しかし、第２部分５３Ｂｂの面積が第１部分５３Ｂａの面積よりも大きいことによって、第２活性領域５３Ｂの外縁を圧力室２１の外縁から遠ざけやすくなる。ひいては、上記の応力集中を緩和できる。その結果、例えば、圧力室２１の周囲において、圧電アクチュエータ１３と流路部材１１との接合に劣化が生じる蓋然性を低減できる。加えて、既述のように、第１活性領域５３Ａに印加される第１電界の強度を第２活性領域５３Ｂに印加される第２電界の強度よりも大きくする（第２電界を相対的に小さくする）ことによって、第２活性領域５３Ｂに加えられる応力を低減することができる。その結果、例えば、上述した圧力室２１の外縁付近において応力集中を緩和する効果が向上する。
【0206】
また、本実施形態では、加圧面１１ｂの平面視において、圧力室２１の外縁のうち、圧力室２１の中心回りの角度で１８０°以上に相当する部分が円弧によって構成されている。
【0207】
この場合、平面視において応力は円弧によって均等に分散される。すなわち、応力が特異的に高くなる蓋然性が低減される。その結果、例えば、上述した応力緩和の効果が向上する。特に、圧力室２１の平面形状が円形である場合（図４の円形Ｃ１のみによって圧力室２１が構成されている場合）、上記の効果が向上する。
【0208】
また、本実施形態では、圧力室２１の中心を通り、加圧面１１ｂに直交する断面において、第２部分５３Ｂｂの幅ｗ２が、第１部分５３Ｂａの幅ｗ１よりも大きい。
【0209】
この場合、第２活性領域５３Ｂの外縁を圧力室２１の外縁から遠ざけることができる。従って、第２部分５３Ｂｂの面積が第１部分５３Ｂａの面積よりも大きいことによる効果の説明で述べた応力集中が緩和される。第２部分５３Ｂｂの面積が第１部分５３Ｂａの面積よりも大きく、かつ幅ｗ２が幅ｗ１よりも大きいと、応力集中の緩和の効果が更に向上する。
【0210】
また、本実施形態では、圧電アクチュエータ１３は非活性領域（第１非活性領域５５Ａ）を有している。第１非活性領域５５Ａは、圧電体からなり、第１活性領域５３Ａの外周につながっている。ドライバ６１は再配向制御（図１２）を実行する。再配向制御では、ドライバ６１は、液滴吐出制御が行われていないときに第１非活性領域５５Ａに対して厚み方向に電界を印加する。
【0211】
従って、例えば、既述のように、第１非活性領域５５Ａのドメインスイッチングに起因する変位の低下が生じる蓋然性を分極処理によって低減できる。第１非活性領域５５Ａは、第１活性領域５３Ａの応力と第２活性領域５３Ｂの応力との双方を受ける部分であり、ドメインスイッチングが生じやすい。このような第１非活性領域５５Ａの分極処理を行うことによって、効率的に変位の低下を低減することができる。加えて、既述のように、第１活性領域５３Ａに印加される第１電界の強度を第２活性領域５３Ｂに印加される第２電界の強度よりも大きくする（第２電界を相対的に小さくする）ことによって、第２活性領域５３Ｂに加えられる応力を低減することができる。ひいては、第２活性領域５３Ｂから第１非活性領域５５Ａに加えられる応力を低減できる。その結果、第１非活性領域５５Ａにおいてドメインスイッチングが生じる蓋然性を低減し、第１非活性領域５５Ａに分極処理を施す頻度を低減することができる。
【0212】
また、本実施形態では、圧電アクチュエータ１３は、再配向電極３５と、中間電極（第３電極４１）と、下部電極（第４電極４５）とを有している。再配向電極３５は、非活性領域（第１非活性領域５５Ａ）に対して加圧面１１ｂとは反対側（＋Ｄ３側）に重なっている。第３電極４１は、第１非活性領域５５Ａと第２活性領域５３Ｂとの間に位置している。第４電極４５は、第２活性領域５３Ｂに対して加圧面１１ｂ側（－Ｄ３側）に重なっている。ドライバ６１は、液体吐出制御では、第３電極４１及び第４電極４５に電圧を印加することによって第２活性領域５３Ｂに電界を印加する。また、ドライバ６１は、再配向制御では、再配向電極３５と、第３電極４１及び第４電極４５の一方（本実施形態では第４電極４５）とに電圧を印加することによって第１非活性領域５５Ａに電界を印加する。
【0213】
この場合、第４電極４５（又は第３電極４１）は、液滴の吐出のための電界の印加と、分極処理のための電界の印加とに共用されることになる。すなわち、圧電アクチュエータ１３の構成が簡素化される。
【0214】
また、本実施形態では、上記の構成に加えて、圧電アクチュエータ１３は、上部電極（第２電極３７）を有している。第２電極３７は、中間電極（第３電極４１）よりも加圧面１１ｂとは反対側（＋Ｄ３側）に位置しており、第１活性領域５３Ａの少なくとも一部を挟んで第３電極４１と対向している。ドライバ６１は、液体吐出制御では、第２電極３７及び第３電極４１に電圧を印加することによって第１活性領域５３Ａに電界を印加する。また、ドライバ６１は、再配向制御では、第３電極４１に電位を付与せずに、再配向電極３５及び第４電極４５に電圧を印加することによって、非活性領域（第１非活性領域５５Ａ）に電界を印加する。
【0215】
この場合、例えば、第３電極４１は、液滴を吐出する制御において、第１活性領域５３Ａ及び第２活性領域５３Ｂの双方に対する電界の印加に利用される。その結果、圧電アクチュエータ１３の構成が簡素化される。その一方で、分極処理においては、第３電極４１は、電気的に浮遊状態とされるから、再配向電極３５及び第４電極４５による電界の印加の妨げとなりにくい。再配向電極３５及び第４電極４５によって分極処理がなされることによって、第１非活性領域５５Ａだけでなく、第２活性領域５３Ｂの分極処理も行われる。その結果、第１非活性領域５５Ａにおけるドメインスイッチングに起因する特性低下だけでなく、第２活性領域５３Ｂにおけるドメインスイッチングに起因する特性低下も低減することができる。
【0216】
また、本実施形態では、圧電アクチュエータは、上述したように、第１圧電体層２９Ａ～第４圧電体層２９Ｄ、並びに第１電極３３、第２電極３７、第３電極４１及び第４電極４５を有することによって、第１活性領域５３Ａ及び第２活性領域５３Ｂが構成されている。そして、非活性領域（第１非活性領域５５Ａ）は、第１圧電体層２９Ａ及び第２圧電体層２９Ｂにおける、再配向電極３５と第４電極４５とに挟まれた領域を有している。
【0217】
この場合、例えば、既述のように、簡素な構成で、第１活性領域５３Ａに印加される電界を第２活性領域５３Ｂに印加される電界よりも大きくすることができる。ひいては、簡素な構成で、第２活性領域５３Ｂに加えられる応力を低減し、第２活性領域５３Ｂから第１非活性領域５５Ａに加えられる応力を低減できる。
【0218】
＜第２実施形態＞
図１３は、第２実施形態に係るヘッド２０７を示す模式的な断面図であり、第１実施形態の図１２に対応している。すなわち、図１３は、第１非活性領域５５Ａに対して分極処理を行うときに導体層３１に付与される電位を示している。
図１３は、第２実施形態に係るヘッド２０７を示す模式的な断面図であり、第１実施形態の図１２に対応している。すなわち、図１３は、第１非活性領域５５Ａに対して分極処理を行うときに導体層３１に付与される電位を示している。
【0219】
第１実施形態の分極処理では、再配向電極３５及び第４電極４５によって第１非活性領域５５Ａに対して電界が印加された。第２実施形態の分極処理では、再配向電極３５及び第３電極４１によって第１非活性領域５５Ａに対して電界が印加される。より詳細には、図示の例では、再配向電極３５は、基準電位よりも高い電位（別の観点では極性が正の電位）が付与されている。第３電極４１は、基準電位が付与されている。
【0220】
上記では、分極方向が図６で示したように下向きである態様を前提とした。分極方向が逆方向である態様においては、基準電位よりも低い電位（別の観点では極性が負の電位）が再配向電極３５に付与されてよい。第３電極４１に基準電位以外の電位を付与してもよい。この場合において、再配向電極３５に付与される電位は、基準電位であってよいし、基準電位以外の電位であってもよい。
【0221】
上記のように分極処理のための電圧を印加するとき、第１電極３３、第２電極３７、第４電極４５及び第４導体層３１Ｄは、例えば、基準電位が付与されていてもよいし、電気的に浮遊状態とされていてもよい。本実施形態では、既述のように、第１電極３３は第３電極４１と電気的に接続されていることから、基準電位が付与されている。第２電極３７、第４電極４５及び第４導体層３１Ｄは、基準電位が付与されている。
【0222】
【0223】
第１実施形態では、第５導体層３１Ｅ（第４電極４５）は、流路部材１１（プレート２５Ｊ）に接しており、また、圧力室２１内に露出していた。一方、本実施形態では、第５導体層３１Ｅと流路部材１１との間に絶縁層３０が介在している。別の観点では、第２活性領域５３Ｂと流路部材１１との間には絶縁層３０が介在している。絶縁層３０は、圧電アクチュエータ１３の一部として捉えられてもよいし、流路部材１１の一部として捉えられてもよいし、これらとは別個の部材として捉えられてもよい。図１４では、絶縁層３０は、圧電アクチュエータ１３及び流路部材１１とは別個の部材として符号が示されている。
【0224】
絶縁層３０は、無機材料であってもよいし、有機材料であってもよい。無機材料は、圧電材料であってもよいし、圧電材料でなくてもよい。圧電材料は、圧電体層２９の材料と同一であってもよいし、異なっていてもよく、また、圧電体層２９と共に焼成されるものであってもよいし、そうでないものであってもよい。圧電材料でない無機材料としては、例えば、ＳｉＯ２を挙げることができる。また、有機材料としては、樹脂を挙げることができる。焼成によって形成される圧電材料以外の材料からなる絶縁層３０は、例えば、ＣＶＤ（chemical vapor deposition）等の適宜な薄膜形成法によって圧電アクチュエータ１３の下面に形成されてもよいし、接着剤によって圧電アクチュエータ１３又は流路部材１１に貼り合わされてもよい。
【0225】
絶縁層３０は、例えば、圧電体層２９と同様に、一定の厚さで複数の圧力室２１が配置されている領域に亘って実質的に隙間無く広がっている。ただし、絶縁層３０が比較的薄い場合において、第２活性領域５３Ｂ（第４電極４５）の直下及びその周囲にのみ絶縁層３０を配置することも不可能ではない。絶縁層３０の厚さは適宜に設定されてよい。例えば、絶縁層３０の厚さは、圧電体層２９の厚さよりも薄くてもよいし（図示の例）、同等でもよいし、厚くてもよい。絶縁層３０の厚さは、例えば、後述する効果（強度及び／又は絶縁性）の観点、及び／又は圧電アクチュエータ１３の中立面の位置に及ぼす影響等を考慮して、適宜に設定されてよい。
【0226】
複数の第４電極４５は、複数の第２電極３７と同様に、第５導体層３１Ｅが含む配線によって互いに接続されてよい。また、実施形態とは異なり、複数の第４電極４５は、配線及び貫通導体を介して、圧電アクチュエータ１３の第１面１３ａに対向する不図示のＦＰＣの複数の信号線と個別に接続されてもよい。
【0227】
以上のとおり、ヘッド３０７は、第２活性領域５３Ｂと流路部材１１との間に絶縁層３０を有している。
【0228】
この場合、例えば、流路部材１１から第２活性領域５３Ｂに加えられる応力が絶縁層３０によって緩和される。例えば、第２活性領域５３Ｂは、圧力室２１の外側の領域１１ｅに重なっている部分の変形が流路部材１１によって拘束され、圧力室２１の外縁に重なる位置における応力が高くなりやすい。この応力が緩和される。また、絶縁層３０は、第２活性領域５３Ｂに対して厚み方向に電圧を印加する電極（第４電極４５）を覆うことになる。その結果、例えば、第４電極４５を金属製の流路部材１１から絶縁することができる。また、第４電極４５が圧力室２１内の液体に触れなくなる。その結果、例えば、液体の種類にもよるが、第４電極４５に腐食が生じる蓋然性が低減される。
【0229】
【0230】
本実施形態の圧電アクチュエータ４１３では、第１実施形態における第５導体層３１Ｅは設けられていない。そして、第４導体層３１Ｄが、第１実施形態の第４電極４５に相当する第４電極４４５を有している。第２活性領域５３Ｂは、第３圧電体層２９Ｃのうち第３電極４１と第４電極４４５とが重なる部分によって構成されており、第４圧電体層２９Ｄによっては構成されていない。本実施形態は、第３実施形態と同様に、第２活性領域５３Ｂと流路部材１１との間に絶縁層（本実施形態では第４圧電体層２９Ｄ）が介在している態様であるということもできる。
【0231】
第４電極４４５の形状は、第２活性領域５３Ｂに重なる限り、適宜な形状とされてよい。例えば、第４電極４４５の形状は、第１実施形態の第４電極４５と、第１実施形態の第４導体層３１Ｄの形状とを足し合わせた形状とされてよい。換言すれば、本実施形態の第４導体層３１Ｄは、第１実施形態の第４導体層３１Ｄにおいて、開口４３の外縁を電極本体３３ａの外縁及び／又は第２電極３７の外縁に概ね一致させた形状とされてよい。また、例えば、第４電極４４５の形状は、第１実施形態の第４電極４５の形状と同様とされてよい。この場合、例えば、複数の第４電極４４５は、第２電極３７と同様に、第４導体層３１Ｄが含む複数の配線によって互いに接続されてよい。また、複数の第４電極４４５は、個別に電位が付与されることが可能に、適宜な配線及び貫通導体と接続されていてもよい。
【0232】
液体を突出するとき、及び分極処理を行うときに第４電極４４５に付与される電位は、例えば、第１実施形態の第４電極４５と同様である。この場合、図示の例では、第１活性領域５３Ａにおける電極間の距離と、第２活性領域５３Ｂにおける電極間の距離とが概ね等しいことから、第１活性領域５３Ａに印加される電界の強度と、第２活性領域５３Ｂに印加される電界の強度とは概ね等しい。
【0233】
本実施形態においても、第１実施形態と同様に、第１活性領域５３Ａに印加される電界の強度を第２活性領域５３Ｂに印加される電界の強度よりも強くしてよい。このような電界の強度の関係を実現する方法は種々存在する。例えば、電極に付与される電位は第１実施形態と同様としつつ、第３圧電体層２９Ｃの厚さを第１圧電体層２９Ａの厚さ及び第２圧電体層２９Ｂの厚さそれぞれよりも厚くしてよい。また、例えば、第２電極３７と第４電極４４５とを非接続として両者に互いに別個の電位を付与可能とし、第３電極４１と第２電極３７との電位差を第３電極４１と第４電極４５との電位差よりも大きくしてもよい。
【0234】
以上のとおり、ヘッド４０７は、第３実施形態と同様に、第２活性領域５３Ｂと流路部材１１との間に絶縁層（第４圧電体層２９Ｄ）を有している。従って、例えば、第３実施形態で述べた効果と同様の効果が奏される。
【0235】
【0236】
第１実施形態では、第１活性領域５３Ａは２層の圧電体層２９によって構成され、第２活性領域５３Ｂは２層の圧電体層２９によって構成された。本実施形態の圧電アクチュエータ５１３では、第１活性領域５３Ａは１層の第５圧電体層２９Ｅによって構成され、第２活性領域５３Ｂは１層の第６圧電体層２９Ｆによって構成されている。
【0237】
このような構成において、図５を参照して説明した第１活性領域５３Ａ及び第２活性領域５３Ｂの動作を実現する、分極方向、電極構造及び電位の組み合わせは種々可能である。図示の例では、以下のとおりである。
【0238】
圧電アクチュエータ５１３は、第１実施形態と同様に、上面側から下面側へ順に、第１電極３３（及び再配向電極３５）と、第３電極４１と、第４電極４５とを有している。第１活性領域５３Ａは、第５圧電体層２９Ｅのうち第１電極３３と第３電極４１とに挟まれた領域を有している。第２活性領域５３Ｂは、第６圧電体層２９Ｆのうち第３電極４１と第４電極４５とに挟まれた領域を有している。第４電極４５は、絶縁層３０によって流路部材１１から絶縁されており、基準電位以外の電位を付与可能となっている。
【0239】
第１活性領域５３Ａ及び第２活性領域５３Ｂの分極方向は互いに逆方向とされている。液体吐出制御において、両者の間に位置している第３電極４１には基準電位が付与される。第１電極３３及び第４電極４５には、基準電位に対する極性が同一の電位が付与される。これにより、第１活性領域５３Ａ及び第２活性領域５３Ｂは、いずれも収縮し、又はいずれも伸長する。
【0240】
ドライバ５６１は、第１電極３３に電位を付与する信号源６３Ａと、第４電極４５に電位を付与する信号源６３Ｂとを有しており、第１電極３３及び第４電極４５に互いに異なる電位を付与可能となっている。従って、本実施形態においても、第１実施形態と同様に、第１活性領域５３Ａに印加される電界を第２活性領域５３Ｂに印加される電界よりも大きくすることができる。図示の例とは異なり、第１電極３３及び第４電極４５は、互いに接続されて同一の電位が付与されてもよい。
【0241】
【0242】
第１圧電体層２９Ａの上面には、第１電極３３と再配向電極３５との間に位置する溝２９ｖが設けられていてもよい。溝２９ｖは、例えば、第１電極３３の外縁に沿って第１電極３３を囲むように延びている。換言すれば、溝２９ｖは、環状に延びている。ただし、溝２９ｖは、一部において途切れていてもよい。例えば、引出部３３ｂに対して電極本体３３ａとは反対側となる位置においては溝２９ｖは設けられていなくてもよい。
【0243】
溝２９ｖの幅は、例えば、第１電極３３と再配向電極３５との隙間の大きさ以下の範囲で適宜に設定されてよい。溝２９ｖの幅は、溝２９ｖの長さ方向の位置によらずに一定であってもよいし、溝２９ｖの長さ方向の位置に応じて変化していてもよい。溝２９ｖの深さは、例えば、第１圧電体層２９Ａの厚さ未満の範囲で適宜に設定されてよい。例えば、溝２９ｖの深さは、第１圧電体層２９Ａの厚さの１／２未満であってもよいし、１／２以上であってもよい。なお、溝２９ｖの深さは、第１圧電体層２９Ａの厚さと同等とすることも可能である。
【0244】
溝２９ｖは、適宜な方法によって形成されてよい。例えば、第１圧電体層２９Ａとなるセラミックグリーンシートに対して、又は焼成後の第１圧電体層２９Ａに対して、レーザー加工を行うことによって形成されてよい。
【0245】
このように溝２９ｖを設けると、例えば、第１電極３３及び再配向電極３５を構成する金属材料がこれらの電極の間の領域に移動する（マイグレーションを生じる）蓋然性が低減される。その結果、第１電極３３及び再配向電極３５が短絡する蓋然性を低減することができる。別の観点では、平面視において、第１電極３３と再配向電極３５との距離を短くして、第１非活性領域５５Ａのうち第１活性領域５３Ａに隣接する部分に対して分極処理を施すことが容易化される。ひいては、分極処理による圧電アクチュエータの特性維持の効果が向上する。なお、マイグレーションは、エレクトロマイグレーション及び／又はエレクトロケミカルマイグレーションである。
【0246】
【0247】
上述した溝２９ｖには、絶縁体３２が配置されてもよい。絶縁体３２は、例えば、第１圧電体層２９Ａの材料に比較して、電極材料のマイグレーションが生じる蓋然性が低い材料によって構成されている。例えば、絶縁体３２は、樹脂によって構成されてよい。樹脂は、ＣＶＤ等の適宜な方法によって溝２９ｖ内に配置されてよい。
【0248】
絶縁体３２の配置によって、例えば、マイグレーションが生じる蓋然性を低減する効果を向上させることができる。また、例えば、マイグレーションが生じる蓋然性を低減する効果を得つつ、溝２９ｖに起因して圧電アクチュエータの強度が低下する蓋然性を低減することができる。
【0249】
なお、以上の実施形態において、第３電極４１は中間電極の一例である。第４電極４５又は４４５は下部電極の一例である。
【0250】
本開示に係る技術は、上述した実施形態に限定されず、種々の態様で実施されてよい。
【0251】
例えば、第１非活性領域は、分極処理が行われなくてもよい。すなわち、ヘッドにおいて、分極処理のための構成は設けられなくてもよい。液体吐出制御において、第１活性領域が伸長及び収縮の一方を生じる期間の少なくとも一部において第２活性領域が伸長及び収縮の前記一方を生じる制御（第１制御とする。）以外の制御が行われてもよい。例えば、第１活性領域が伸長及び収縮の一方を生じる期間の少なくとも一部において第２活性領域が伸長及び収縮の他方を生じる制御（第２の制御とする。）が行われてもよい。そして、大きな液滴を吐出するときは第１制御が行われ、小さな液滴を吐出するときは第２制御が行われてもよい。ヘッドは液体を循環させるものであってもよい。
【0252】
本開示に係る実施形態からは、種々の概念を抽出可能である。例えば、加圧面の平面透視において、第２活性領域のうち圧力室の外側に位置する第２部分の面積が、第２活性領域のうち圧力室に重なっている第１部分の面積よりも大きい液体吐出ヘッドの概念を抽出可能である。また、圧電アクチュエータが、第１活性領域の外周につながっている非活性領域（圧電体からなる）を有しており、ドライバが、液体吐出制御が行われていないときに非活性領域に対して厚み方向に電界を印加する再配向制御を実行する液体吐出ヘッドの概念を抽出可能である。これらの概念に係る液体吐出ヘッドにおいては、実施形態とは異なり、第１活性領域に印加される電界（第１電界）の強度の最大値と、第２活性領域に印加される電界（第２電界）の強度の最大値とは、互いに同等であってもよいし、後者が前者よりも大きくてもよい。
【符号の説明】
【0253】
１…プリンタ（記録装置）、２…液体吐出ヘッド、７…ヘッド本体（液体吐出ヘッド）、１１…流路部材、１１ｂ…加圧面、１１ｅ…（圧力室に対して）外側の領域、１３…圧電アクチュエータ、２１…圧力室、２１ａ…（圧力室の）中央部、２１ｂ…（圧力室の）周縁部、５３Ａ…第１活性領域、５３Ｂ…第２活性領域、５３Ｂａ…（第２活性領域の）第１部位、５３Ｂｂ…（第２活性領域の）第２部位、５５Ａ…第１非活性領域、６１…ドライバ。
【図1A】
【図1B】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17A】
【図17B】
【手続補正書】
【提出日】2024-08-28
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
加圧面と、当該加圧面に開口している圧力室とを有している流路部材と、
前記加圧面に重なっている圧電アクチュエータと、
前記圧電アクチュエータを駆動するドライバと、
を有しており、
前記圧電アクチュエータは、前記加圧面に垂直な方向を厚み方向と呼称するとき、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の中央部に重なっている第１活性領域と、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記第１活性領域よりも前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の内側の周縁部及び前記圧力室の外側の領域に重なっている第２活性領域と、
前記第２活性領域と前記流路部材との間に位置している絶縁層と、を有しており、
前記ドライバは、前記加圧面に沿う方向における伸長及び収縮の一方を第１変形、他方を第２変形と称するとき、液体を吐出するための液体吐出制御において、印加される電界が変わることによって、前記第１活性領域が前記第１変形を生じる期間の少なくとも一部において前記第２活性領域が前記第１変形を生じるように、前記第１活性領域に対して前記厚み方向に印加される第１電界の強度と、前記第２活性領域に対して前記厚み方向に印加される第２電界の強度とを制御する
液体吐出ヘッド。
前記加圧面に重なっている圧電アクチュエータと、
前記圧電アクチュエータを駆動するドライバと、
を有しており、
前記圧電アクチュエータは、前記加圧面に垂直な方向を厚み方向と呼称するとき、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の中央部に重なっている第１活性領域と、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記第１活性領域よりも前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の内側の周縁部及び前記圧力室の外側の領域に重なっている第２活性領域と、
前記第２活性領域と前記流路部材との間に位置している絶縁層と、を有しており、
前記ドライバは、前記加圧面に沿う方向における伸長及び収縮の一方を第１変形、他方を第２変形と称するとき、液体を吐出するための液体吐出制御において、印加される電界が変わることによって、前記第１活性領域が前記第１変形を生じる期間の少なくとも一部において前記第２活性領域が前記第１変形を生じるように、前記第１活性領域に対して前記厚み方向に印加される第１電界の強度と、前記第２活性領域に対して前記厚み方向に印加される第２電界の強度とを制御する
液体吐出ヘッド。
【請求項2】
前記絶縁層は、前記第１活性領域を構成している圧電体層の厚みよりも薄い
請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項3】
前記絶縁層は、前記第２活性領域を構成している圧電体層の厚みよりも薄い
請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項4】
前記圧電アクチュエータは、前記第１活性領域に電界を加える、前記厚み方向に互いに積層的な複数の第１活性領域電極と、前記第２活性領域に電界を加える、前記厚み方向に互いに積層的な複数の第２活性領域電極と、を有し、
前記第１活性領域電極のうちで最も前記加圧面側の電極と、前記第２活性領域電極のうちで最も前記加圧面とは反対側の電極とは、同じ層に位置するとともに、電気的に接続されて兼用電極を構成している
請求項１～３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記第１活性領域電極のうちで最も前記加圧面側の電極と、前記第２活性領域電極のうちで最も前記加圧面とは反対側の電極とは、同じ層に位置するとともに、電気的に接続されて兼用電極を構成している
請求項１～３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項5】
前記第１活性領域電極のうちで前記兼用電極と対向している電極と、前記第２活性領域電極のうちで前記兼用電極と対向している電極と、は電気的に接続されている
請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項6】
前記第２活性領域に対して前記加圧面とは反対側に位置し、かつ前記第１活性領域の外周に繋がっている圧電体が、前記第１活性領域の厚さに亘って非活性領域となっている
請求項１～５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
請求項１～５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項7】
前記第１活性領域に対して前記加圧面側に位置し、かつ前記第２活性領域の内側の圧電体が、前記第２活性領域の厚さに亘って非活性領域となっている
請求項１～６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
請求項１～６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項8】
前記液体吐出制御は、待機状態で待機して、吐出した後、前記待機状態に戻るものであり、
前記第２活性領域が前記液体吐出制御で生じる前記第１変形は、前記待機状態よりも伸びる伸長又は前記待機状態よりも縮む収縮である
請求項１～７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記第２活性領域が前記液体吐出制御で生じる前記第１変形は、前記待機状態よりも伸びる伸長又は前記待機状態よりも縮む収縮である
請求項１～７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項9】
前記液体吐出制御は、前記第１活性領域が前記第１変形した状態に移行するタイミングと、第２活性領域が前記第１変形した状態に移行するタイミングとが合っている、
請求項１～８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
請求項１～８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項10】
前記厚み方向の位置が互いに異なり、それぞれ前記第１電界の印加及び前記第２電界の印加の少なくとも一方を行う３つ以上の電極を有しており、
前記３つ以上の電極の前記厚み方向における３つ以上の位置のうち互いに隣り合う位置にあり、前記第１電界を印加する２つの電極の、前記厚み方向における距離が、前記３つ以上の位置のうち互いに隣り合う位置にあり、前記第２電界を印加する２つの電極の、前記厚み方向における距離よりも短い
請求項１～９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記３つ以上の電極の前記厚み方向における３つ以上の位置のうち互いに隣り合う位置にあり、前記第１電界を印加する２つの電極の、前記厚み方向における距離が、前記３つ以上の位置のうち互いに隣り合う位置にあり、前記第２電界を印加する２つの電極の、前記厚み方向における距離よりも短い
請求項１～９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項11】
前記液体吐出制御において、前記第１電界を印加する２つの電極の電位差の最大値と、前記第２電界を印加する２つの電極の電位差の最大値とが同じである
請求項１～１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
請求項１～１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項12】
前記圧電アクチュエータは、前記圧電アクチュエータの前記流路部材とは反対側を第１側と呼称し、前記圧電アクチュエータの前記流路部材側を第２側と呼称するとき、
前記第１側から前記第２側へ順に積層されている、第１圧電体層及び第２圧電体層と、
前記第１圧電体層の前記第１側の面に重なっており、平面透視において前記中央部に重なっている第１電極と、
前記第１圧電体層の前記第２側の面に重なっており、平面透視において前記中央部に重なっている第２電極と、
前記第２圧電体層の前記第２側の面に重なっており、平面透視において前記中央部、前記周縁部及び前記外側の領域に重なっている第３電極と、を有しており、
前記第１活性領域は、
前記第１圧電体層における前記第１電極と前記第２電極とに挟まれた領域と、
前記第２圧電体層における前記第２電極と前記第３電極の前記中央部に重なっている部分とに挟まれた領域と、を有し、
前記第３電極の前記周縁部及び前記外側の領域に重なっている部分の前記第２側に前記第２活性領域が配置されている
請求項１～１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記第１側から前記第２側へ順に積層されている、第１圧電体層及び第２圧電体層と、
前記第１圧電体層の前記第１側の面に重なっており、平面透視において前記中央部に重なっている第１電極と、
前記第１圧電体層の前記第２側の面に重なっており、平面透視において前記中央部に重なっている第２電極と、
前記第２圧電体層の前記第２側の面に重なっており、平面透視において前記中央部、前記周縁部及び前記外側の領域に重なっている第３電極と、を有しており、
前記第１活性領域は、
前記第１圧電体層における前記第１電極と前記第２電極とに挟まれた領域と、
前記第２圧電体層における前記第２電極と前記第３電極の前記中央部に重なっている部分とに挟まれた領域と、を有し、
前記第３電極の前記周縁部及び前記外側の領域に重なっている部分の前記第２側に前記第２活性領域が配置されている
請求項１～１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項13】
前記第２圧電体層から前記第２側へ順に積層されている、第３圧電体層及び第４圧電体層と、
前記第４圧電体層の前記第２側の面に重なっており、平面透視において前記周縁部及び前記外側の領域に重なっている第４電極と、を有しており、
前記第２活性領域は、
前記第３及び前記第４圧電体層における、前記第３電極の前記周縁部及び前記外側の領域に重なっている部分と前記第４電極とに挟まれた領域を有している
請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
前記第４圧電体層の前記第２側の面に重なっており、平面透視において前記周縁部及び前記外側の領域に重なっている第４電極と、を有しており、
前記第２活性領域は、
前記第３及び前記第４圧電体層における、前記第３電極の前記周縁部及び前記外側の領域に重なっている部分と前記第４電極とに挟まれた領域を有している
請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項14】
前記第１圧電体層のうちの前記第１活性領域を構成する部分と、前記第２圧電体層のうちの前記第１活性領域を構成する部分とは互いに逆向きに分極されており、
前記第３及び前記第４圧電体層のうちの前記第２活性領域を構成する部分は、前記第１圧電体層のうちの前記第１活性領域を構成する部分の分極の向きと同一の向きに分極されており、
前記液体吐出制御において、前記第１電極及び前記第３電極は同電位とされ、前記第２電極及び前記第４電極は同電位とされ、前記第１電極及び前記第３電極の電位と、前記第２電極及び前記第４電極の電位との電位差によって前記第１電界及び前記第２電界が印加される
請求項１３に記載の液体吐出ヘッド。
前記第３及び前記第４圧電体層のうちの前記第２活性領域を構成する部分は、前記第１圧電体層のうちの前記第１活性領域を構成する部分の分極の向きと同一の向きに分極されており、
前記液体吐出制御において、前記第１電極及び前記第３電極は同電位とされ、前記第２電極及び前記第４電極は同電位とされ、前記第１電極及び前記第３電極の電位と、前記第２電極及び前記第４電極の電位との電位差によって前記第１電界及び前記第２電界が印加される
請求項１３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項15】
前記第３圧電体層の厚さ及び前記第４圧電体層の厚さの合計が、前記第１圧電体層の厚さ及び前記第２圧電体層の厚さそれぞれよりも厚い
請求項１３又は１４に記載の液体吐出ヘッド。
請求項１３又は１４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項16】
前記圧電アクチュエータは、前記第３圧電体層の前記第２側の面に重なり、平面透視において前記第２活性領域の外側に位置する導体パターンを有している
請求項１３～１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
請求項１３～１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項17】
前記加圧面の平面透視において、前記第２活性領域のうち前記圧力室の外側に位置する第２部分の面積が、前記第２活性領域のうち前記圧力室に重なっている第１部分の面積よりも大きい
請求項１～１６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
請求項１～１６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項18】
前記加圧面の平面視において、前記圧力室の外縁のうち、圧力室の中心回りの角度で１８０°以上に相当する部分が円弧によって構成されている
請求項１～１７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
請求項１～１７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項19】
前記圧力室の中心を通り、前記加圧面に直交する断面において、前記第２活性領域のうち前記圧力室の外側に位置する第２部分の幅が、前記第２活性領域のうち前記圧力室に重なっている第１部分の幅よりも大きい
請求項１～１８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
請求項１～１８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項20】
前記圧電アクチュエータは、圧電体からなり、前記第１活性領域の外周につながっている非活性領域を有しており、
前記ドライバは、前記液体吐出制御が行われていないときに前記非活性領域に対して前記厚み方向に電界を印加する再配向制御を実行する
請求項１～１９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記ドライバは、前記液体吐出制御が行われていないときに前記非活性領域に対して前記厚み方向に電界を印加する再配向制御を実行する
請求項１～１９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項21】
前記圧電アクチュエータは、
前記非活性領域に対して前記加圧面とは反対側に重なっている再配向電極と、
前記非活性領域と前記第２活性領域との間に位置している中間電極と、
前記第２活性領域に対して前記加圧面側に重なっている下部電極と、を有しており、
前記ドライバは、
前記液体吐出制御では、前記中間電極及び前記下部電極に電圧を印加することによって前記第２活性領域に電界を印加し、
前記再配向制御では、前記再配向電極及び前記下部電極に電圧を印加することによって、又は前記再配向電極及び前記中間電極に電圧を印加することによって、前記非活性領域に電界を印加する
請求項２０に記載の液体吐出ヘッド。
前記非活性領域に対して前記加圧面とは反対側に重なっている再配向電極と、
前記非活性領域と前記第２活性領域との間に位置している中間電極と、
前記第２活性領域に対して前記加圧面側に重なっている下部電極と、を有しており、
前記ドライバは、
前記液体吐出制御では、前記中間電極及び前記下部電極に電圧を印加することによって前記第２活性領域に電界を印加し、
前記再配向制御では、前記再配向電極及び前記下部電極に電圧を印加することによって、又は前記再配向電極及び前記中間電極に電圧を印加することによって、前記非活性領域に電界を印加する
請求項２０に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項22】
前記圧電アクチュエータは、前記中間電極よりも前記加圧面とは反対側に位置しており、前記第１活性領域の少なくとも一部を挟んで前記中間電極と対向している上部電極を有しており、
前記ドライバは、
前記液体吐出制御では、前記上部電極及び前記中間電極に電圧を印加することによって前記第１活性領域に電界を印加し、
前記再配向制御では、前記中間電極に電位を付与せずに、前記再配向電極及び前記下部電極に電圧を印加することによって、前記非活性領域に電界を印加する
請求項２１に記載の液体吐出ヘッド。
前記ドライバは、
前記液体吐出制御では、前記上部電極及び前記中間電極に電圧を印加することによって前記第１活性領域に電界を印加し、
前記再配向制御では、前記中間電極に電位を付与せずに、前記再配向電極及び前記下部電極に電圧を印加することによって、前記非活性領域に電界を印加する
請求項２１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項23】
前記圧電アクチュエータは、
圧電体からなり、前記第１活性領域の外周につながっている非活性領域と、
前記第２活性領域の前記第２側の面に重なっており、平面透視において前記周縁部及び前記外側の領域に重なっている第４電極と、
前記第１圧電体層の前記第１側の面に重なっており、平面透視において前記周縁部及び前記外側の領域に重なっている再配向電極と、を有しており、
前記ドライバは、前記液体吐出制御が行われていないときに前記非活性領域に対して前記厚み方向に電界を印加する再配向制御を実行し、
前記非活性領域は、前記第１及び前記第２圧電体層における、前記再配向電極と前記第４電極とに挟まれた領域を有している
請求項１２～１６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
圧電体からなり、前記第１活性領域の外周につながっている非活性領域と、
前記第２活性領域の前記第２側の面に重なっており、平面透視において前記周縁部及び前記外側の領域に重なっている第４電極と、
前記第１圧電体層の前記第１側の面に重なっており、平面透視において前記周縁部及び前記外側の領域に重なっている再配向電極と、を有しており、
前記ドライバは、前記液体吐出制御が行われていないときに前記非活性領域に対して前記厚み方向に電界を印加する再配向制御を実行し、
前記非活性領域は、前記第１及び前記第２圧電体層における、前記再配向電極と前記第４電極とに挟まれた領域を有している
請求項１２～１６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項24】
前記液体吐出制御において、前記第１電界の強度の最大値が前記第２電界の強度の最大値よりも大きい
請求項１～２３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
請求項１～２３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項25】
液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、
を有しており、
前記液体吐出ヘッドは、
加圧面と、当該加圧面に開口している圧力室とを有している流路部材と、
前記加圧面に重なっている圧電アクチュエータと、を有しており、
前記圧電アクチュエータは、前記加圧面に垂直な方向を厚み方向と呼称するとき、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の中央部に重なっている第１活性領域と、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記第１活性領域よりも前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の内側の周縁部及び前記圧力室の外側の領域に重なっている第２活性領域と、
前記第２活性領域と前記流路部材との間に位置している絶縁層と、を有しており、
前記制御部は、前記加圧面に沿う方向における伸長及び収縮の一方を第１変形、他方を第２変形と称するとき、液体を吐出するための液体吐出制御において、印加される電界が変わることによって、前記第１活性領域が前記第１変形を生じる期間の少なくとも一部において前記第２活性領域が前記第１変形を生じるように、前記第１活性領域に対して前記厚み方向に印加される第１電界の強度と、前記第２活性領域に対して前記厚み方向に印加される第２電界の強度とを制御する
記録装置。
前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、
を有しており、
前記液体吐出ヘッドは、
加圧面と、当該加圧面に開口している圧力室とを有している流路部材と、
前記加圧面に重なっている圧電アクチュエータと、を有しており、
前記圧電アクチュエータは、前記加圧面に垂直な方向を厚み方向と呼称するとき、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の中央部に重なっている第１活性領域と、
前記厚み方向に分極されている圧電体からなり、前記第１活性領域よりも前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記圧力室の内側の周縁部及び前記圧力室の外側の領域に重なっている第２活性領域と、
前記第２活性領域と前記流路部材との間に位置している絶縁層と、を有しており、
前記制御部は、前記加圧面に沿う方向における伸長及び収縮の一方を第１変形、他方を第２変形と称するとき、液体を吐出するための液体吐出制御において、印加される電界が変わることによって、前記第１活性領域が前記第１変形を生じる期間の少なくとも一部において前記第２活性領域が前記第１変形を生じるように、前記第１活性領域に対して前記厚み方向に印加される第１電界の強度と、前記第２活性領域に対して前記厚み方向に印加される第２電界の強度とを制御する
記録装置。