(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024157196
(43)【公開日】2024-11-07
(54)【発明の名称】部品吸着ユニットおよび部品搭載ヘッド
(51)【国際特許分類】
H05K 13/04 20060101AFI20241030BHJP
【ＦＩ】
H05K13/04 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】19
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023071389
(22)【出願日】2023-04-25
(71)【出願人】
【識別番号】314012076
【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100132241
【弁理士】
【氏名又は名称】岡部 博史
(74)【代理人】
【識別番号】100183276
【弁理士】
【氏名又は名称】山田 裕三
(72)【発明者】
【氏名】佐川 光康
(72)【発明者】
【氏名】ワタリ，エイリ
(72)【発明者】
【氏名】田原 充
【テーマコード（参考）】
5E353
【Ｆターム（参考）】
5E353GG01
5E353HH11
5E353JJ25
5E353JJ44
5E353JJ48
5E353KK01
5E353QQ11
(57)【要約】 （修正有）
【課題】位置ずれを抑制することができる部品吸着ユニットおよびそれを備える部品搭載ヘッドを提供する。
【解決手段】部品吸着ユニットは、ノズルと、第１ベアリング（２２）と、第２ベアリング（２３）と、ベアリングをそれぞれ回転可能に保持するブロック（２０）と、ノズル及びブロックを一体的に昇降させる昇降手段と、昇降方向（Ｚ）に直交する第１方向において、第１ベアリングの第１外周面（２２ｂ）を受ける第１ガイド面（１５）、第２ベアリングの第２外周面（２３ｂ）を受ける第２ガイド面（１６）を有し、第１方向に直交する第２方向に間隔を空けてベアリングが配置された、ガイド部材（１３）と、第１ベアリングを第１ガイド面に向けて付勢する付勢部材（２６）と、を備え、第１ガイド面と第２ガイド面のうちの少なくとも一方は、第１方向に対して、ブロックから離れる方向に向かって外側に広がるように傾斜している。
【選択図】図８
【解決手段】部品吸着ユニットは、ノズルと、第１ベアリング（２２）と、第２ベアリング（２３）と、ベアリングをそれぞれ回転可能に保持するブロック（２０）と、ノズル及びブロックを一体的に昇降させる昇降手段と、昇降方向（Ｚ）に直交する第１方向において、第１ベアリングの第１外周面（２２ｂ）を受ける第１ガイド面（１５）、第２ベアリングの第２外周面（２３ｂ）を受ける第２ガイド面（１６）を有し、第１方向に直交する第２方向に間隔を空けてベアリングが配置された、ガイド部材（１３）と、第１ベアリングを第１ガイド面に向けて付勢する付勢部材（２６）と、を備え、第１ガイド面と第２ガイド面のうちの少なくとも一方は、第１方向に対して、ブロックから離れる方向に向かって外側に広がるように傾斜している。
【選択図】図８
【特許請求の範囲】
【請求項1】
部品を吸着して基板に搭載するノズルと、
第１ベアリングと、
第２ベアリングと、
前記第１ベアリングおよび前記第２ベアリングをそれぞれ回転可能に保持するブロックと、
前記ノズルおよび前記ブロックを一体的に昇降させる昇降手段と、
前記ノズルの昇降方向に直交する第１方向において前記ブロック、前記第１ベアリングおよび前記第２ベアリングに対向し、前記第１ベアリングの第１外周面を受ける第１ガイド面および前記第２ベアリングの第２外周面を受ける第２ガイド面を有し、前記第１方向に直交する第２方向に間隔を空けて前記第１ベアリングおよび前記第２ベアリングが配置された、ガイド部材と、
前記第１ベアリングを前記第１ガイド面に向けて付勢する付勢部材と、を備え、
前記昇降方向に直交する断面で見たときに、前記第１ガイド面と前記第２ガイド面のうちの少なくとも一方は、前記第１方向に対して、前記ブロックから離れる方向に向かって外側に広がるように傾斜している、
部品吸着ユニット。
第１ベアリングと、
第２ベアリングと、
前記第１ベアリングおよび前記第２ベアリングをそれぞれ回転可能に保持するブロックと、
前記ノズルおよび前記ブロックを一体的に昇降させる昇降手段と、
前記ノズルの昇降方向に直交する第１方向において前記ブロック、前記第１ベアリングおよび前記第２ベアリングに対向し、前記第１ベアリングの第１外周面を受ける第１ガイド面および前記第２ベアリングの第２外周面を受ける第２ガイド面を有し、前記第１方向に直交する第２方向に間隔を空けて前記第１ベアリングおよび前記第２ベアリングが配置された、ガイド部材と、
前記第１ベアリングを前記第１ガイド面に向けて付勢する付勢部材と、を備え、
前記昇降方向に直交する断面で見たときに、前記第１ガイド面と前記第２ガイド面のうちの少なくとも一方は、前記第１方向に対して、前記ブロックから離れる方向に向かって外側に広がるように傾斜している、
部品吸着ユニット。
【請求項2】
前記第１ガイド面は、前記第１方向に対して、前記ブロックから離れる方向に向かって外側に広がるように傾斜している、請求項１に記載の部品吸着ユニット。
【請求項3】
前記昇降方向に直交する断面で見たときに、前記第１ベアリングの前記第１外周面は、前記第１ガイド面に対向する位置において、前記第１方向に対して、前記ブロックから離れる方向に向かって外側に広がるように傾斜している、請求項２に記載の部品吸着ユニット。
【請求項4】
前記昇降方向に直交する断面で見たときに、前記第１ガイド面と、前記第１ガイド面に対向する位置での前記第１外周面は、互いに平行である、請求項３に記載の部品吸着ユニット。
【請求項5】
前記第１ベアリングは、第１回転軸を中心として回転可能であり、
前記昇降方向に直交する断面で見たときに、前記第１回転軸は、前記第１方向に対して、前記ブロックから離れる方向に向かって外側に広がるように傾斜している、請求項３に記載の部品吸着ユニット。
前記昇降方向に直交する断面で見たときに、前記第１回転軸は、前記第１方向に対して、前記ブロックから離れる方向に向かって外側に広がるように傾斜している、請求項３に記載の部品吸着ユニット。
【請求項6】
前記昇降方向に直交する断面で見たときに、前記第２ガイド面と、前記第２ガイド面に対向する位置での前記第２外周面は、前記第１方向に対して、前記第１ガイド面とは逆向きに傾斜している、請求項２に記載の部品吸着ユニット。
【請求項7】
前記昇降方向に直交する断面で見たときに、前記第１ガイド面と前記第２方向が成す角度は、７０度以上８０度以下である、請求項２に記載の部品吸着ユニット。
【請求項8】
前記昇降方向に直交する断面で見たときに、前記第１ベアリングは、前記昇降手段の中心軸に対して前記第２方向の一方側に配置され、前記第２ベアリングは、前記中心軸に対して前記第２方向の他方側に配置される、請求項１に記載の部品吸着ユニット。
【請求項9】
前記ブロックに対して可動に設けられたレバーをさらに備え、
前記第１ベアリングは、前記レバーを介して前記ブロックに取り付けられる、請求項１に記載の部品吸着ユニット。
前記第１ベアリングは、前記レバーを介して前記ブロックに取り付けられる、請求項１に記載の部品吸着ユニット。
【請求項10】
前記レバーを前記ブロックに回動可能に取り付けるピンをさらに備える、請求項９に記載の部品吸着ユニット。
【請求項11】
前記付勢部材は、前記レバーを付勢することで、前記レバーに取り付けられた前記第１ベアリングを前記第１ガイド面に向けて付勢する、請求項９に記載の部品吸着ユニット。
【請求項12】
前記第１ベアリングは、前記ブロックに対して可動的な第１回転軸を中心として回転可能であり、前記第２ベアリングは、前記ブロックに対して固定的な第２回転軸を中心として回転可能である、請求項１に記載の部品吸着ユニット。
【請求項13】
前記付勢部材は、前記第１ベアリングを前記第２方向に沿って付勢する、請求項１に記載の部品吸着ユニット。
【請求項14】
前記ブロックは、前記ノズルの吸着孔に連通するエア経路と、前記エア経路を封止するキャップ部材とを備え、
前記付勢部材は、前記キャップ部材に取り付けられる、請求項１に記載の部品吸着ユニット。
前記付勢部材は、前記キャップ部材に取り付けられる、請求項１に記載の部品吸着ユニット。
【請求項15】
前記第２ガイド面は、前記第１方向に対して、前記ブロックから離れる方向に向かって外側に広がるように傾斜している、請求項１に記載の部品吸着ユニット。
【請求項16】
前記第１ガイド面および前記第２ガイド面は、前記第１方向に対して、前記ブロックから離れる方向に向かって外側に広がるように傾斜している、請求項１に記載の部品吸着ユニット。
【請求項17】
請求項１～１６のいずれかに記載の複数の前記部品吸着ユニットを備え、
前記ガイド部材を共用した、部品搭載ヘッド。
前記ガイド部材を共用した、部品搭載ヘッド。
【請求項18】
前記複数の部品吸着ユニットは、第１部品吸着ユニットと、第２部品吸着ユニットを備え、
前記ガイド部材は、前記第１方向の一方側に面する第１面と、前記第１方向の他方側に面する第２面とを有し、
前記ガイド部材の前記第１面に前記第１部品吸着ユニットの前記ブロックが対向し、
前記ガイド部材の前記第２面に前記第２部品吸着ユニットの前記ブロックが対向し、
前記第１部品吸着ユニットと前記第２部品吸着ユニットのそれぞれにおいて、前記第１ベアリングおよび前記第１ガイド面は、前記第２ベアリングおよび前記第２ガイド面に対して、前記第２方向の一方側に配置される、請求項１７に記載の部品搭載ヘッド。
前記ガイド部材は、前記第１方向の一方側に面する第１面と、前記第１方向の他方側に面する第２面とを有し、
前記ガイド部材の前記第１面に前記第１部品吸着ユニットの前記ブロックが対向し、
前記ガイド部材の前記第２面に前記第２部品吸着ユニットの前記ブロックが対向し、
前記第１部品吸着ユニットと前記第２部品吸着ユニットのそれぞれにおいて、前記第１ベアリングおよび前記第１ガイド面は、前記第２ベアリングおよび前記第２ガイド面に対して、前記第２方向の一方側に配置される、請求項１７に記載の部品搭載ヘッド。
【請求項19】
前記複数の部品吸着ユニットは、第１部品吸着ユニットと、第３部品吸着ユニットを備え、
前記ガイド部材は、前記第１方向の一方側に面する第１面を有し、
前記ガイド部材の前記第１面に前記第１部品吸着ユニットおよび前記第３部品吸着ユニットのそれぞれの前記ブロックが対向し、
前記第１部品吸着ユニットおよび前記第３部品吸着ユニットは、前記第２方向に並べて配置されており、
前記第１部品吸着ユニットと前記第３部品吸着ユニットのそれぞれにおいて、前記第１ベアリングおよび前記第１ガイド面は、前記第２ベアリングおよび前記第２ガイド面に対して、前記第２方向の一方側に配置される、請求項１７に記載の部品搭載ヘッド。
前記ガイド部材は、前記第１方向の一方側に面する第１面を有し、
前記ガイド部材の前記第１面に前記第１部品吸着ユニットおよび前記第３部品吸着ユニットのそれぞれの前記ブロックが対向し、
前記第１部品吸着ユニットおよび前記第３部品吸着ユニットは、前記第２方向に並べて配置されており、
前記第１部品吸着ユニットと前記第３部品吸着ユニットのそれぞれにおいて、前記第１ベアリングおよび前記第１ガイド面は、前記第２ベアリングおよび前記第２ガイド面に対して、前記第２方向の一方側に配置される、請求項１７に記載の部品搭載ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、部品吸着ユニットおよび部品搭載ヘッドに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、ノズルで部品を吸着して基板に搭載する部品吸着ユニットおよびそれを備えた部品搭載ヘッドが知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特許第３９２８４０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、部品吸着ユニットを昇降させる際に、昇降方向に直交する平面内の方向に沿って位置ずれが生じて振動等が問題となる場合がある。
【0005】
従って、本開示の目的は、前記課題を解決することにあって、部品吸着ユニットの位置ずれを抑制することができる部品吸着ユニットおよびそれを備える部品搭載ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
前記目的を達成するために、本開示の部品吸着ユニットは、部品を吸着して基板に搭載するノズルと、第１ベアリングと、第２ベアリングと、前記第１ベアリングおよび前記第２ベアリングをそれぞれ回転可能に保持するブロックと、前記ノズルおよび前記ブロックを一体的に昇降させる昇降手段と、前記ノズルの昇降方向に直交する第１方向において前記ブロック、前記第１ベアリングおよび前記第２ベアリングに対向し、前記第１ベアリングの第１外周面を受ける第１ガイド面および前記第２ベアリングの第２外周面を受ける第２ガイド面を有し、前記第１方向に直交する第２方向に間隔を空けて前記第１ベアリングおよび前記第２ベアリングが配置されたガイド部材と、前記第１ベアリングを前記第１ガイド面に向けて付勢する付勢部材と、を備え、前記昇降方向に直交する断面で見たときに、前記第１ガイド面と前記第２ガイド面のうちの少なくとも一方は、前記第１方向に対して、前記ブロックから離れる方向に向かって外側に広がるように傾斜している。
【0007】
また、本開示の部品装着ヘッドは、前記複数の部品吸着ユニットを備え、前記ガイド部材を共用する。
【発明の効果】
【0008】
本開示によれば、部品吸着ユニットの位置ずれを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】実施形態の部品装着装置の主要な構成を概略的に示す平面図
【図2A】実施形態の部品搭載ヘッドを概略的に示す平面図
【図2B】実施形態の部品搭載ヘッドを概略的に示す側面図
【図3A】実施形態の部品搭載ヘッドのＸＹ断面を概略的に示す図
【図3B】実施形態の部品搭載ヘッドを概略的に示す側面図
【図4A】実施形態の部品吸着ユニットとガイド部材が接触する箇所のＸＹ断面を概略的に示す図
【図4B】実施形態の部品吸着ユニットとガイド部材が接触する箇所を概略的に示す側面図
【図5A】実施形態のガイド部材を概略的に示す斜視図
【図5B】実施形態のガイド部材を概略的に示す平面図
【図5C】実施形態のガイド部材を概略的に示す正面図
【図6】実施形態の部品吸着ユニットを概略的に示す斜視図
【図8】実施形態の部品吸着ユニットのＸＹ断面を概略的に示す図
【図9】実施形態の部品搭載ヘッドにおける一部の部品吸着ユニットのＸＹ断面を概略的に示す図
【発明を実施するための形態】
【0010】
本開示の第１態様によれば、部品を吸着して基板に搭載するノズルと、第１ベアリングと、第２ベアリングと、前記第１ベアリングおよび前記第２ベアリングをそれぞれ回転可能に保持するブロックと、前記ノズルおよび前記ブロックを一体的に昇降させる昇降手段と、前記ノズルの昇降方向に直交する第１方向において前記ブロック、前記第１ベアリングおよび前記第２ベアリングに対向し、前記第１ベアリングの第１外周面を受ける第１ガイド面および前記第２ベアリングの第２外周面を受ける第２ガイド面を有し、前記第１方向に直交する第２方向に間隔を空けて前記第１ベアリングおよび前記第２ベアリングが配置された、ガイド部材と、前記第１ベアリングを前記第１ガイド面に向けて付勢する付勢部材と、を備え、前記昇降方向に直交する断面で見たときに、前記第１ガイド面と前記第２ガイド面のうちの少なくとも一方は、前記第１方向に対して、前記ブロックから離れる方向に向かって外側に広がるように傾斜している、部品吸着ユニットを提供する。
【0011】
本開示の第２態様によれば、前記第１ガイド面は、前記第１方向に対して、前記ブロックから離れる方向に向かって外側に広がるように傾斜している、第１態様に記載の部品吸着ユニットを提供する。
【0012】
本開示の第３態様によれば、前記昇降方向に直交する断面で見たときに、前記第１ベアリングの前記第１外周面は、前記第１ガイド面に対向する位置において、前記第１方向に対して、前記ブロックから離れる方向に向かって外側に広がるように傾斜している、第２態様に記載の部品吸着ユニットを提供する。
【0013】
本開示の第４態様によれば、前記昇降方向に直交する断面で見たときに、前記第１ガイド面と、前記第１ガイド面に対向する位置での前記第１外周面は、互いに平行である、第３態様に記載の部品吸着ユニットを提供する。
【0014】
本開示の第５態様によれば、前記第１ベアリングは、第１回転軸を中心として回転可能であり、前記昇降方向に直交する断面で見たときに、前記第１回転軸は、前記第１方向に対して、前記ブロックから離れる方向に向かって外側に広がるように傾斜している、第３態様又は第４態様に記載の部品吸着ユニットを提供する。
【0015】
本開示の第６態様によれば、前記昇降方向に直交する断面で見たときに、前記第２ガイド面と、前記第２ガイド面に対向する位置での前記第２外周面は、前記第１方向に対して、前記第１ガイド面とは逆向きに傾斜している、第２態様から第５態様のいずれか１つに記載の部品吸着ユニットを提供する。
【0016】
本開示の第７態様によれば、前記昇降方向に直交する断面で見たときに、前記第１ガイド面と前記第２方向が成す角度は、７０度以上８０度以下である、第２態様から第６態様のいずれか１つに記載の部品吸着ユニットを提供する。
【0017】
本開示の第８態様によれば、前記昇降方向に直交する断面で見たときに、前記第１ベアリングは、前記昇降手段の中心軸に対して前記第２方向の一方側に配置され、前記第２ベアリングは、前記中心軸に対して前記第２方向の他方側に配置される、第１態様から第７態様のいずれか１つに記載の部品吸着ユニットを提供する。
【0018】
本開示の第９態様によれば、前記ブロックに対して可動に設けられたレバーをさらに備え、前記第１ベアリングは、前記レバーを介して前記ブロックに取り付けられる、第１態様から第８態様のいずれか１つに記載の部品吸着ユニットを提供する。
【0019】
本開示の第１０態様によれば、前記レバーを前記ブロックに回動可能に取り付けるピンをさらに備える、第９態様に記載の部品吸着ユニットを提供する。
【0020】
本開示の第１１態様によれば、前記付勢部材は、前記レバーを付勢することで、前記レバーに取り付けられた前記第１ベアリングを前記第１ガイド面に向けて付勢する、第９態様又は第１０態様に記載の部品吸着ユニットを提供する。
【0021】
本開示の第１２態様によれば、前記第１ベアリングは、前記ブロックに対して可動的な第１回転軸を中心として回転可能であり、前記第２ベアリングは、前記ブロックに対して固定的な第２回転軸を中心として回転可能である、第１態様から第１１態様のいずれか１つに記載の部品吸着ユニットを提供する。
【0022】
本開示の第１３態様によれば、前記付勢部材は、前記第１ベアリングを前記第２方向に沿って付勢する、第１態様から第１２態様のいずれか１つに記載の部品吸着ユニットを提供する。
【0023】
本開示の第１４態様によれば、前記ブロックは、前記ノズルの吸着孔に連通するエア経路と、前記エア経路を封止するキャップ部材とを備え、前記付勢部材は、前記キャップ部材に取り付けられる、第１態様から第１３態様のいずれか１つに記載の部品吸着ユニットを提供する。
【0024】
本開示の第１５態様によれば、前記第２ガイド面は、前記第１方向に対して、前記ブロックから離れる方向に向かって外側に広がるように傾斜している、第１態様から第１４態様のいずれか１つに記載の部品吸着ユニットを提供する。
【0025】
本開示の第１６態様によれば、前記第１ガイド面および前記第２ガイド面は、前記第１方向に対して、前記ブロックから離れる方向に向かって外側に広がるように傾斜している、第１態様から第１５態様のいずれか１つに記載の部品吸着ユニットを提供する。
【0026】
本開示の第１７態様によれば、第１態様から第１６態様のいずれか１つに記載の前記複数の部品吸着ユニットを備え、前記ガイド部材を共用した、部品搭載ヘッドを提供する。
【0027】
本開示の第１８態様によれば、前記複数の部品吸着ユニットは、第１部品吸着ユニットと、第２部品吸着ユニットを備え、前記ガイド部材は、前記第１方向の一方側に面する第１面と、前記第１方向の他方側に面する第２面とを有し、前記ガイド部材の前記第１面に前記第１部品吸着ユニットの前記ブロックが対向し、前記ガイド部材の前記第２面に前記第２部品吸着ユニットの前記ブロックが対向し、前記第１部品吸着ユニットと前記第２部品吸着ユニットのそれぞれにおいて、前記第１ベアリングおよび前記第１ガイド面は、前記第２ベアリングおよび前記第２ガイド面に対して、前記第２方向の一方側に配置される、第１７態様に記載の部品搭載ヘッドを提供する。
【0028】
本開示の第１９態様によれば、前記複数の部品吸着ユニットは、第１部品吸着ユニットと、第３部品吸着ユニットを備え、前記ガイド部材は、前記第１方向の一方側に面する第１面を有し、前記ガイド部材の前記第１面に前記第１部品吸着ユニットおよび前記第３部品吸着ユニットのそれぞれの前記ブロックが対向し、前記第１部品吸着ユニットおよび前記第３部品吸着ユニットは、前記第２方向に並べて配置されており、前記第１部品吸着ユニットと前記第３部品吸着ユニットのそれぞれにおいて、前記第１ベアリングおよび前記第１ガイド面は、前記第２ベアリングおよび前記第２ガイド面に対して、前記第２方向の一方側に配置される、第１７態様又は第１８態様に記載の部品搭載ヘッドを提供する。
【0029】
以下、本開示に係る部品吸着ユニットおよび部品搭載ヘッドの例示的な実施形態について、添付の図面を参照しながら説明する。本開示は、以下の実施形態の具体的な構成に限定されるものではなく、同様の技術的思想に基づく構成が本開示に含まれる。
【0030】
（実施形態）
以下に図面を用いて、本発明の一実施の形態を詳細に説明する。以下で述べる構成、形状等は説明のための例示であって、部品搭載装置、部品搭載ヘッド、部品吸着ユニットの仕様に応じて、適宜変更が可能である。
以下に図面を用いて、本発明の一実施の形態を詳細に説明する。以下で述べる構成、形状等は説明のための例示であって、部品搭載装置、部品搭載ヘッド、部品吸着ユニットの仕様に応じて、適宜変更が可能である。
【0031】
以下では、各図面において対応する要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。また以下では、水平面内で互いに直交する２軸を、基板搬送方向のＸ軸（図１における左右方向）、基板搬送方向に直交するＹ軸（図１における上下方向）とし、水平面と直交する高さ方向をＺ軸（図２Ｂにおける上下方向）とする。
【0032】
まず図１を参照して、部品搭載装置１の構成を説明する。
【0033】
図１に示す部品搭載装置１は、部品供給部４から供給された部品を基板Ｐに搭載する部品搭載作業を実行する機能を有する。基台２の中央には、基板搬送機構３がＸ軸に沿って配置されている。基板搬送機構３は、上流から搬送された基板Ｐを、搭載作業位置に搬入して位置決めして保持する。また、基板搬送機構３は、部品搭載作業が完了した基板Ｐを下流に搬出する。
【0034】
基板搬送機構３の両側（Ｙ軸の前後方向）には、部品供給部４が配置されている。それぞれの部品供給部４には、複数のテープフィーダ５がＸ軸に沿って配列されている。テープフィーダ５は、部品を格納するポケットが形成された部品テープを部品供給部４の外側から基板搬送機構３に向かう方向（テープ送り方向）にピッチ送りすることにより、以下に説明する部品搭載ヘッド８によって部品が取り出される部品供給位置に部品を供給する。
【0035】
図１において、基台２の上面においてＸ軸における両端部には、リニア駆動機構を備えたＹ軸テーブル６がＹ軸に沿って配置されている。Ｙ軸テーブル６には、同様にリニア駆動機構を備えたビーム７が、Ｙ軸に沿って移動自在に結合されている。ビーム７はＸ軸に沿って配置されている。ビーム７には、プレート７ａを介して部品搭載ヘッド８がＸ軸に沿って移動自在に装着されている。部品搭載ヘッド８は、プレート７ａに着脱可能である。
【0036】
図２Ａ、図２Ｂにおいて、部品搭載ヘッド８は、複数の部品吸着ユニット９を備えている。部品吸着ユニット９のそれぞれの下端部には、部品を吸着保持するノズル１０が装着されている。各部品吸着ユニット９は、ノズル１０をＺ軸に沿って昇降させる昇降モータ３０を備えている。
【0037】
図１において、Ｙ軸テーブル６およびビーム７は、部品搭載ヘッド８をＸ軸およびＹ軸に沿って移動させるヘッド移動機構を構成する。ヘッド移動機構および部品搭載ヘッド８は、部品供給部４に配置されたテープフィーダ５から部品吸着ユニット９に装着されたノズル１０によって部品を吸着して取り出して、基板搬送機構３に位置決めされた基板Ｐの搭載位置に搭載する搭載ターンを実行する。このように、ノズル１０は、部品供給部４からピックアップした部品を基板Ｐに搭載する。
【0038】
次に図２Ａ、図２Ｂを参照して、部品搭載ヘッド８の構成を説明する。プレート７ａに着脱可能な部品搭載ヘッド８は、複数の部品吸着ユニット９Ａ～９Ｈを備えている。この例では、部品搭載ヘッド８は、Ｘ軸に沿った４つの部品吸着ユニット９をＹ軸に沿って２列備えている。すなわち、部品搭載ヘッド８は、１列目に４つの部品吸着ユニット９Ａ～９Ｄを備えており、２列目に４つの部品吸着ユニット９Ｅ～９Ｈを備えている。以下では、部品吸着ユニット９Ａ～９Ｈを総称して、部品吸着ユニット９と称する場合がある。
【0039】
図２Ｂにおいて、各部品吸着ユニット９Ａ～９Ｈは、Ｚ軸に沿って下方に延びるシャフト１１をそれぞれ備えている。シャフト１１は、ブロック２０を上下に貫通する貫通孔２０ａ（図４Ａ）を通過してブロック２０の下方に突出する。ブロック２０の下方に突出するシャフト１１の下端には、ノズルホルダ１２が配置されている。ノズルホルダ１２には、ノズル１０が着脱可能に装着されている。
【0040】
ブロック２０は、部品吸着ユニット９Ａ～９Ｈの下方に配置されたガイド部材１３に形成された上下に延びる溝１３ａ（図５Ａ～図５Ｃ参照）に沿って上下に移動する。昇降モータ３０を駆動することにより、各部品吸着ユニット９Ａ～９Ｈは下端部に装着されたノズル１０を昇降方向Ｚ１に昇降させる。昇降方向Ｚ１はＺ軸に平行である。このように、昇降モータ３０、シャフト１１、ノズルホルダ１２は、ノズル１０を昇降させる昇降手段１４を構成する。また、部品搭載ヘッド８は、シャフト１１をＺ軸回りに回転させ、ノズル１０を回転させるノズル回転機構（図示省略）を備えている。本実施形態のシャフト１１の一例は、ボールスプラインである。
【0041】
次に、図３Ａ～図５Ｃを参照して、ガイド部材１３とブロック２０の概略構成について説明する。図４Ａは、図３Ａにおいて円Ａで示す部品吸着ユニット９Ｈに接続されたブロック２０付近を概略的に示す拡大図である。図４Ｂは、部品吸着ユニット９Ｈに接続されたブロック２０付近をガイド部材１３側から見た状態を概略的に示す図である。
【0042】
図５Ａにおいて、ガイド部材１３には、複数の部品吸着ユニット９Ａ～９Ｈのブロック２０の位置に対応して、上下に延びる複数の溝１３ａが側面４０に形成されている。この例では、ガイド部材１３の一方の側面４０（第１面）にそれぞれ４本の溝１３ａが形成され、他方の側面４０（第２面）にそれぞれ４本の溝１３ａが形成されている。それぞれの溝１３ａは、溝１３ａの底面１３ｂからガイド部材１３の側面４０に延出する一対のガイド面１５、１６を備えている。
【0043】
以下、一方のガイド面１５を第１ガイド面１５、他方のガイド面１６を第２ガイド面１６と称する。第１ガイド面１５と第２ガイド面１６はそれぞれ、ノズル１０が昇降する昇降方向Ｚ１に沿って設けられたガイド部材１３の壁面であって、Ｘ軸方向に沿って互いに間隔を空けて設けられる。
【0044】
図４Ａに示すように、ブロック２０には、貫通孔２０ａを貫通してシャフト１１が配置されている。ブロック２０には、Ｚ軸回りに回転するシャフト１１を軸受けする回転軸受け２１が配置されている。ブロック２０においてガイド部材１３に対向する背面２０ｂには、第１ベアリング２２と第２ベアリング２３がガイド部材１３の溝１３ａが並ぶ方向（Ｘ軸方向）に沿って配置されている。すなわち、ガイド部材１３は、Ｙ軸方向（第１方向）において、ブロック２０、第１ベアリング２２、および、第２ベアリング２３に対向している。
【0045】
第１ベアリング２２と第２ベアリング２３は、第１ガイド面１５と第２ガイド面１６の間に配置されている。第１ベアリング２２は第１ガイド面１５側に配置され、第２ベアリング２３は第２ガイド面１６側に配置されている。
【0046】
図４Ａにおいて、第１ベアリング２２は、第１回転軸２２ａを中心として回転可能な状態でブロック２０の背面２０ｂに取付けられている。第２ベアリング２３は、第２回転軸２３ａを中心として回転可能な状態でブロック２０の背面２０ｂに取付けられている。
【0047】
図４Ｂにおいて、レバー２４は、Ｙ軸方向に延びる支点ピン２５によってブロック２０の背面２０ｂに取付けられている。レバー２４は、支点ピン２５を軸として回動する回動部材であり、第１ベアリング２２を取り付けている。第１ベアリング２２は、レバー２４の回動によって、支点ピン２５を軸としてＸ軸方向に位置が可動である。
【0048】
レバー２４にはさらに、付勢部材２６が接続されている。付勢部材２６は、レバー２４に係合してレバー２４を付勢することで、レバー２４に取付けられた第１ベアリング２２を第１ガイド面１５側に移動（回動）させる。第１ベアリング２２が第１ガイド面１５に向けて付勢されることで、第１ガイド面１５に対して付勢力Ｆ１が作用する。これにより、第１ベアリング２２は第１ガイド面１５に隙間（あそび）なく接触し、第２ベアリング２３は第２ガイド面１６に隙間なく接触する。
【0049】
このようにして、第１ベアリング２２はブロック２０に対して位置が可動に設けられ、第２ベアリング２３はブロック２０に対して位置が固定されている。ノズル１０が昇降する際は、第１ベアリング２２は第１ガイド面１５に隙間なく接触し、第２ベアリング２３は第２ガイド面１６に隙間なく接触する状態でブロック２０が昇降する。
【0050】
第１ベアリング２２は第１ガイド面１５に隙間なく接触し、第２ベアリング２３は第２ガイド面１６に隙間なく接触することで、ブロック２０の溝１３ａが並ぶ方向（Ｘ軸方向）の位置がガイド部材１３に対して規制される。これにより、移動する部品搭載ヘッド８が停止した後に、溝１３ａが並ぶ方向（Ｘ軸方向）にノズル１０が回動して振動する振動の幅が規制され、ノズル１０の振動が速やかに収束する。
【0051】
すなわち、第１ガイド面１５と第２ガイド面１６（一対のガイド面）、ブロック２０、第１ベアリング２２、第２ベアリング２３、レバー２４、支点ピン２５、付勢部材２６は、ノズル１０の振動を抑制する振動抑制部を構成する。
【0052】
図４Ａ、図４Ｂにおいて、ブロック２０は、背面２０ｂからガイド部材１３の側面４０側に突出する一対の接触面２０ｃ１、２０ｃ２を有している。第１ベアリング２２と第２ベアリング２３は、接触面２０ｃ１、２０ｃ２からガイド部材１３側に突出し、ガイド部材１３の溝１３ａの中に配置される。ブロック２０は、ガイド部材１３の側面４０と接触面２０ｃ１、２０ｃ２が接触する状態で、ガイド部材１３に対して昇降する。図４Ａでは、ブロック２０の接触面２０ｃ１、２０ｃ２とガイド部材１３の側面４０の間を空けて図示しているが、実際には接触している。
【0053】
ガイド部材１３の側面４０の一部には、空圧発生源（図示省略）によって発生した空圧をブロック２０の接触面２０ｃに設けられた導入口（図示省略）に導く導出口（図示省略）が設けられている。導入口と導出口は、ブロック２０がガイド部材１３に対して昇降する範囲において空圧を導くことができるように形成されている。
【0054】
【0055】
図６は、部品吸着ユニット９におけるブロック２０の周辺構成を示す斜視図であり、図７は、図６に示す部品吸着ユニット９の一部の構成要素を分解して示す一部分解斜視図である。図８は、部品吸着ユニット９におけるブロック２０の周辺構成のＸＹ断面を概略的に示す図である。図９は、複数の部品吸着ユニット９を備える部品搭載ヘッド８において、一部の部品吸着ユニット９Ａ、９Ｂ、９Ｅ、９Ｄにおけるブロック２０の周辺構成のＸＹ断面を概略的に示す図である。
【0056】
図６、図７に示すように、ブロック２０に取り付けられたレバー２４は、ピン２５によって回動可能に支持されており、付勢部材２６によって外側に開く方向（第２ベアリング２３から離れる方向）に付勢されている。付勢部材２６がレバー２４および第１ベアリング２２を外側に付勢することで、第１ベアリング２２に接触する第１ガイド面１５が付勢力Ｆ１を受ける。
【0057】
図７に示すように、ブロック２０の背面２０ｂには、レバー２４を配置するための凹部３０が形成される。凹部３０は、Ｙ軸方向に凹んだ形状であるとともに、レバー２４を所定の角度範囲にて回動可能な状態で収容する大きさを有する。凹部３０には、ピン２５の先端を取り付けるための取付孔３２が設けられる。ピン２５は、付勢部材２６の孔部２６ａおよびレバー２４の孔部２４ａを介して、ブロック２０の背面２０ｂに設けられた取付孔３２に挿通される。これにより、レバー２４が回動可能な状態で軸支される。
【0058】
図７に示す付勢部材２６はねじりコイルばね（トーションばね）であり、一端がレバー２４に当接し、他端がキャップ部材３４に取り付けられる。キャップ部材３４は、前述したエア経路を封止するための部材であって、エア経路に連通する貫通孔を塞いでいる。当該貫通孔は、ブロック２０の内部にエア経路を形成するための加工上の都合で生じる孔である。キャップ部材３４は、エア経路を封止する機能と、付勢部材２６を取り付けて支持する機能を兼ねたものである。
【0059】
図８に示すように、ブロック２０に取り付けられた２つのベアリング２２、２３は、昇降方向Ｚ１に対して直交する断面（ＸＹ断面）で見たときに、Ｘ軸方向（第２方向）とＹ軸方向（第１方向）の両方に対して傾斜している。
【0060】
第１ベアリング２２の第１回転軸２２ａは、Ｙ軸方向に対して、ブロック２０から離れる方向（矢印Ｙ１）に向かって外側（矢印Ｘ１）に広がるように傾斜している。同様に、第１ベアリング２２の第１外周面２２ｂは、第１ガイド面１５に対向する位置において、Ｙ軸方向に対して、ブロック２０から離れる方向（矢印Ｙ１）に向かって外側（矢印Ｘ１）に広がるように傾斜している。第１ガイド面１５に対向する位置での第１外周面２２ｂおよび第１回転軸２２ａは、Ｙ軸方向に対して同じ向きに傾斜しており、本実施形態では互いに平行である。
【0061】
第２ベアリング２３の第２回転軸２３ａは、Ｙ軸方向に対して、ブロック２０から離れる方向（矢印Ｙ１）に向かって外側（矢印Ｘ２）に広がるように傾斜している。同様に、第２ベアリング２３の第２外周面２３ｂは、第２ガイド面１６に対向する位置において、Ｙ軸方向に対して、ブロック２０から離れる方向（矢印Ｙ１）に向かって外側（矢印Ｘ２）に広がるように傾斜している。第２ガイド面１６に対向する位置での第２外周面２３ｂおよび第２回転軸２３ａは、Ｙ軸方向に対して同じ向きに傾斜しており、本実施形態では互いに平行である。
【0062】
第１回転軸２２ａおよび第１外周面２２ｂがＹ軸方向に対して傾斜する向き（矢印Ｘ１）と、第２回転軸２３ａおよび第２外周面２３ｂがＹ軸方向に対して傾斜する向き（矢印Ｘ２））は、互いに逆向きである。
【0063】
同様に、ベアリング２２、２３を受けるガイド面１５、１６も同じ方向に傾斜している。第１ガイド面１５は、Ｙ軸方向に対して、ブロック２０から離れる方向（矢印Ｙ１）に向かって外側（矢印Ｘ１）に広がるように傾斜し、第２ガイド面１６は、Ｙ軸方向に対して、ブロック２０から離れる方向（矢印Ｙ１）に向かって外側（矢印Ｘ２）に広がるように傾斜している。第１ガイド面１５が傾斜する向き（矢印Ｘ１）と、第２ガイド面１６が傾斜する向き（矢印Ｘ２）は、互いに逆向きである。
【0064】
ガイド面１５、１６およびベアリング２２、２３をＹ軸方向に対して傾斜させることで、ブロック２０をガイド部材１３に対してＸ軸方向に位置決めするだけでなく、Ｙ軸方向にも位置決めすることができる。具体的には、第１ベアリング２２が第１ガイド面１５に向けて押圧されることで、第１ガイド面１５から第１ベアリング２２に対して反力が作用する。当該反力は、Ｘ軸方向の成分（矢印Ｘ２）とＹ軸方向（矢印Ｙ１）の成分を含む。特に、Ｙ軸方向の成分が、ブロック２０をガイド部材１３に近付ける方向の分力となる。第２ベアリング２３においても同様に、第２ベアリング２３が第２ガイド面１６に接触すると、第２ガイド面１６から第２ベアリング２３に対して反力が生じ、当該反力は、Ｘ軸方向の成分（矢印Ｘ１）とＹ軸方向（矢印Ｙ１）の成分を含む。特に、Ｙ軸方向の成分が、ブロック２０をガイド部材１３に近付ける方向の分力となる。
【0065】
このような分力が生じることで、ブロック２０をガイド部材１３に対して押し付けて、接触面２０ｃ１、２０ｃ２がガイド部材１３の側面４０に接触する状態を維持することができる。これにより、ガイド部材１３に対するブロック２０のＹ軸方向の相対的な位置を一定に保つことができ、ブロック２０をＹ軸方向にも位置決めすることができる。このようにして、ブロック２０およびノズル１０をＸ軸方向とＹ軸方向の両方に位置決めすることで、部品吸着ユニット９における昇降方向Ｚ１に直交する平面内の方向の位置決め精度を向上させることができる。
【0066】
図８に示す例では、第１ガイド面１５は、第１ベアリング２２の第１回転軸２２ａおよび第１外周面２２ｂと平行であり、第２ガイド面１６は、第２ベアリング２３の第２回転軸２３ａおよび第２外周面２３ｂと略平行である。このような平行配置によって、ガイド面１５、１６とベアリング２２、２３の外周面２２ｂ、２３ｂの接触面積を広く確保することができ、位置決め精度をさらに向上させることができる。
【0067】
また、接触面積を広く確保することができるので、付勢部材２６の付勢力を効率よくガイド面１５、１６に伝えることができる。そのため、ブロック２０を効率よくガイド部材１３に押し付けることができるので、位置決め精度をさらに向上させることができる。また、ベアリング１５、１６の外周面２２ｂ、２３ｂがガイド面１５、１６に対して点ではなく面で接触するので、ベアリング１５、１６の外周面２２ｂ、２３ｂの変形を抑えることができる。
【0068】
また本実施形態では、第１ベアリング２２の第１回転軸２２ａがブロック２０に対して可動的であるのに対して、第２ベアリング２３の第２回転軸２３ａはブロック２０に対して固定的である。より詳細には、第１ベアリング２２の内輪は、ブロック２０に対して可動であるレバー２４に固定されている。第２ベアリング２３の内輪は、ブロック２０に直接固定されている。これにより、２つの回転軸２２ａ、２３ａがともに可動な構成に対して、位置再現性を向上させることができる。
【0069】
図８に示すように、シャフト１１は、中心軸１１ａを有する。２つのベアリング２２、２３は、中心軸１１ａを含むＹＺ平面に対して対称に配置されている。第１ベアリング２２は、中心軸１１ａを含むＹＺ平面に対して一方側（矢印Ｘ１）に配置され、第２ベアリング２３は、中心軸１１ａを含むＹＺ平面に対して他方側（矢印Ｘ２）に配置されている。
【0070】
２つのベアリング２２、２３をシャフト１１に対して対称に配置することで、ベアリング２２、２３がガイド面１５、１６から受ける反力によって、ブロック２０をバランス良く位置決めすることができる。
【0071】
図８の拡大図に示すように、昇降方向Ｚ１に直交するＸＹ断面で見たときに、第１ガイド面１５と側面４０が成す角度はα１であり、第２ガイド面１６と側面４０が成す角度はα２である。本実施形態では、７０度≦α１、α２≦８０度に設定される。このような角度設定によれば、部品吸着ユニット９のＸ軸方向の寸法が過剰に大きくなることを抑制しながら、ブロック２０をガイド部材１３に向けてＹ軸方向に近付ける分力を適度に作用させることができる。
【0072】
図８に示す付勢部材２６は、レバー２４および第１ベアリング２２をＸ軸方向に平行な方向（矢印Ｘ１）に付勢する。Ｙ軸方向に直交する方向の付勢力Ｆ１を、Ｙ軸方向に対して鋭角に傾斜した第１ガイド面１５に対して作用させることで、簡単な構成を用いてブロック２０をガイド部材１３に向けてＹ軸方向に近付ける分力を作用させやすくなり、位置決め精度を向上できる。付勢部材２６はまた、レバー２４を介して第１ベアリング２２を第１ガイド面１５に向けて付勢することで、付勢力Ｆ１を伝える方向（本実施形態ではＸ軸方向）を一定に保ちやすく、位置決め精度を向上できる。
【0073】
図６に戻ると、ブロック２０はさらに、突出部３６を有する。突出部３６は、ガイド部材１３に向かう方向（Ｙ軸方向）に突出する部分であり、ベアリング２２、２３とはＺ軸方向に異なる位置（下方）に設けられる。突出部３６は、ノズル１０が保持する部品を実装機１が備える部品カメラ（図示せず）で下方から撮像する際に照明用の光が反射することを防止するためのカバーである。突出部３６は、ブロック２０と同様に表面が黒色で着色されており、着色処理できない金属製のベアリング２２、２３からの光の反射を防止する機能を有する。
【0074】
図９に示すように、部品搭載ヘッド８においては、ガイド部材１３の側面４０のうちの第１面４０Ａに係合する部品吸着ユニット９Ａ、９Ｂが、Ｘ軸方向に沿って間隔を空けて配置されており、ガイド部材１３の側面４０のうちの第２面４０Ｂに係合する別の部品吸着ユニット９Ｅ、９Ｆが、Ｘ軸方向に沿って間隔を空けて配置されている。
【0075】
第１面４０Ａは、Ｙ軸方向の一方側（矢印Ｙ１）に面し、第２面４０Ｂは、Ｙ軸方向の他方側（矢印Ｙ２）に面する。
【0076】
図９に示す部品搭載ヘッド８では、いずれの部品吸着ヘッド９Ａ、９Ｂ、９Ｅ、９Ｆにおいても、第１ベアリング２２および第１ガイド面１５が、第２ベアリング２３および第２ガイド面１６に対して、Ｘ軸方向の一方側（矢印Ｘ１）に配置されている。図９では、可動側の第１ベアリング２２をハッチング表示し、固定側の第２ベアリング２３を白抜き表示する。
【0077】
このような配置によれば、複数の部品吸着ヘッド９のブロック２０およびベアリング２２、２３に対してガイド部材１３を位置調整する際に、ガイド部材１３をＸ軸方向に沿って移動させて位置調整することが可能となる。
【0078】
仮に、いずれか１つの部品吸着ヘッド９の第１ベアリング２２と第１ガイド面１５が、第２ベアリング２３および第２ガイド面１６に対してＸ軸方向の他方側（矢印Ｘ２）に配置された場合、ガイド部材１３をＸ軸方向の一方側にずらすも他方側にずらす場合も、固定側のいずれかの第２ベアリング２３に接触するため、可動位置が規制されてしまう。これに対して、可動側の第１ベアリング２２を全てＸ軸方向の一方側（矢印Ｘ１）に寄せて、固定側の第２ベアリング２３を全てＸ軸方向の他方側（矢印Ｘ２）に寄せることで、ガイド部材１３をＸ軸方向の一方側（矢印Ｘ１）に寄せる場合は固定側の第２ベアリング２３によって可動位置が規制されるものの、ガイド部材１３をＸ軸方向の他方側（矢印Ｘ２）に寄せる場合は固定側の第２ベアリング２３によって可動位置が規制されないため、ガイド部材１３をＸ軸方向に移動させて位置調整することが可能となる。
【0079】
（作用・効果）
上述したように、本実施形態の部品吸着ユニット９は、部品を吸着して基板Ｐに搭載するノズル１０と、第１ベアリング２２と、第２ベアリング２３と、第１ベアリング２２および第２ベアリング２３をそれぞれ回転可能に保持するブロック２０と、ノズル１０およびブロック２０を一体的に昇降させる昇降手段１４と、ノズル１０の昇降方向Ｚ１に直交するＹ軸方向（第１方向）においてブロック２０およびベアリング２２、２３に対向し、第１ベアリング２２の第１外周面２２ｂを受ける第１ガイド面１５および第２ベアリング２３の第２外周面２３ｂを受ける第２ガイド面１６を有し、Ｙ軸方向に直交するＸ軸方向（第２方向）に間隔を空けてベアリング２２、２３が配置された、ガイド部材１３と、第１ベアリング２２を第１ガイド面１５に向けて付勢する付勢部材２６と、を備え、昇降方向Ｚ１に直交する断面で見たときに、第１ガイド面１５は、Ｙ軸方向に対して、ブロック２０から離れる方向に向かって外側に広がるように傾斜している。
上述したように、本実施形態の部品吸着ユニット９は、部品を吸着して基板Ｐに搭載するノズル１０と、第１ベアリング２２と、第２ベアリング２３と、第１ベアリング２２および第２ベアリング２３をそれぞれ回転可能に保持するブロック２０と、ノズル１０およびブロック２０を一体的に昇降させる昇降手段１４と、ノズル１０の昇降方向Ｚ１に直交するＹ軸方向（第１方向）においてブロック２０およびベアリング２２、２３に対向し、第１ベアリング２２の第１外周面２２ｂを受ける第１ガイド面１５および第２ベアリング２３の第２外周面２３ｂを受ける第２ガイド面１６を有し、Ｙ軸方向に直交するＸ軸方向（第２方向）に間隔を空けてベアリング２２、２３が配置された、ガイド部材１３と、第１ベアリング２２を第１ガイド面１５に向けて付勢する付勢部材２６と、を備え、昇降方向Ｚ１に直交する断面で見たときに、第１ガイド面１５は、Ｙ軸方向に対して、ブロック２０から離れる方向に向かって外側に広がるように傾斜している。
【0080】
このような構成によれば、一対のベアリング２２、２３を一対のガイド面１５、１６で受ける構成において、Ｙ軸方向（第１方向）に対して傾斜した第１ガイド面１５に第１ベアリング２２を付勢することで、ブロック２０およびノズル１０をガイド部材１３に対してＹ軸方向とＸ軸方向（第２方向）の両方に位置決めすることができる。これにより、部品吸着ユニット９の位置決め精度を向上させることができる。
【0081】
また、実施形態の部品吸着ユニット９では、昇降方向Ｚ１に直交する断面で見たときに、第１ベアリング２２の第１外周面２２ｂは、第１ガイド面１５に対向する位置において、Ｙ軸方向（第１方向）に対して、ブロック２０から離れる方向に向かって外側に広がるように傾斜している。このような構成によれば、第１ベアリング２２と第１ガイド面１５の接触面積を増やして、位置決め精度を向上させることができる。
【0082】
また、実施形態の部品吸着ユニット９では、昇降方向Ｚ１に直交する断面で見たときに、第１ガイド面１５と、第１ガイド面１５に対向する位置での第１外周面２２ｂは、互いに平行である。このような構成によれば、第１ベアリング２２と第１ガイド面１５の接触面積を増やして、位置決め精度を向上させることができる。
【0083】
また、実施形態の部品吸着ユニット９では、第１ベアリング２２は、第１回転軸２２ａを中心として回転可能であり、昇降方向Ｚ１に直交する断面で見たときに、第１回転軸２２ａは、Ｙ軸方向（第１方向）に対して、ブロック２０から離れる方向に向かって外側に広がるように傾斜している。このような構成によれば、第１回転軸２２ａの方向を基準として第１ベアリング２２をＹ軸方向に対して傾斜させることができる。
【0084】
また、実施形態の部品吸着ユニット９では、昇降方向Ｚ１に直交する断面で見たときに、第２ガイド面１６と、第２ガイド面１６に対向する位置での第２外周面２３ｂは、Ｙ軸方向（第１方向）に対して、第１ガイド面１５とは逆向きに傾斜している。このような構成によれば、第１ベアリング２２と第２ベアリング２３の両方でブロック２０をバランス良く位置決めすることができる。
【0085】
また、実施形態の部品吸着ユニット９では、昇降方向Ｚ１に直交する断面で見たときに、第１ガイド面１５とＸ軸方向（第２方向）が成す角度は、７０度以上８０度以下である。このような構成によれば、Ｘ軸方向の寸法が過剰に大きくなることを抑制しながら、ブロック２０とガイド部材１３をＹ軸方向（第１方向）に互いに近付ける方向の力を適度に作用させることができる。
【0086】
また、実施形態の部品吸着ユニット９では、昇降方向Ｚ１に直交する断面で見たときに、第１ベアリング２２は、昇降手段１４の中心軸１１ａに対してＸ軸方向（第２方向）の一方側に配置され、第２ベアリング２３は、中心軸に対してＸ軸方向の他方側に配置される。このような構成によれば、ブロック２０をバランス良く位置決めすることができる。
【0087】
また、実施形態の部品吸着ユニット９では、ブロック２０に対して可動に設けられたレバー２４をさらに備え、第１ベアリング２２は、レバー２４を介してブロック２０に取り付けられている。このような構成によれば、レバー２４を用いて第１ベアリング２２を可動的に設けることができる。
【0088】
また、実施形態の部品吸着ユニット９では、レバー２４をブロック２０に回動可能に取り付けるピン２５をさらに備える。このような構成によれば、簡単な構成でレバー２４および第１ベアリング２２を可動的に設けることができる。
【0089】
また、実施形態の部品吸着ユニット９では、付勢部材２６は、レバー２４を付勢することで、レバー２４に取り付けられた第１ベアリング２２を第１ガイド面１５に向けて付勢する。このような構成によれば、付勢力Ｆ１を伝える方向を一定に保ちやすくなる。
【0090】
また、実施形態の部品吸着ユニット９では、第１ベアリング２２は、ブロック２０に対して可動的な第１回転軸２２ａを中心として回転可能であり、第２ベアリング２３は、ブロック２０に対して固定的な第２回転軸２３ａを中心として回転可能である。このような構成によれば、第１回転軸２２ａと第２回転軸２３ａの両方が可動に設けられる場合に比べて、位置再現性を向上させることができる。
【0091】
また、実施形態の部品吸着ユニット９では、付勢部材２６は、第１ベアリング２２をＸ軸方向（第２方向）に沿って付勢する。このような構成によれば、ブロック２０とガイド部材１３をＹ軸方向（第１方向）に互いに近付ける方向の力を作用させやすくなる。
【0092】
また、実施形態の部品吸着ユニット９では、ブロック２０は、ノズル１０の吸着孔１０ａに連通するエア経路と、エア経路を封止するキャップ部材３４とを備え、付勢部材２６は、キャップ部材３４に取り付けられる。このような構成によれば、エア経路のキャップ部材３４が付勢部材２６を支持する支持部の機能を兼ねることで、小型化およびコスト低減を図ることができる。
【0093】
また、実施形態の部品吸着ユニット９では、第２ガイド面１６は、Ｙ軸方向（第１方向）に対して、ブロック２０から離れる方向に向かって外側に広がるように傾斜している。このような構成によれば、第１ガイド面１５と第２ガイド面１６を傾斜させることで、位置決め精度を向上させることができる。
【0094】
上述したように、本実施形態の部品搭載ヘッド９は、複数の部品吸着ユニット９を備え、ガイド部材１３を共用する。このような構成によれば、複数の部品吸着ユニット９において、ガイド部材１３に対するブロック２０およびノズル１０の位置決め精度を向上させることができる。
【0095】
また、実施形態の部品搭載ヘッド８では、複数の部品吸着ユニット９は、部品吸着ユニット９Ａ（第１部品吸着ユニット）と、部品吸着ユニット９Ｅ（第２部品吸着ユニット）を備え、ガイド部材１３は、Ｙ軸方向（第１方向）の一方側に面する第１面４０Ａと、Ｙ軸方向の他方側に面する第２面４０Ｂとを有し、ガイド部材１３の第１面４０Ａに部品吸着ユニット９Ａのブロック２０が対向し、ガイド部材１３の第２面４０Ｂに部品吸着ユニット９Ｅのブロック２０が対向し、部品吸着ユニット９Ａ、９Ｅのそれぞれにおいて、第１ベアリング２２および第１ガイド面１５は、第２ベアリング２３および第２ガイド面１６に対して、Ｘ軸方向（第２方向）の一方側（矢印Ｘ１）に配置される。このような構成によれば、ブロック２０とガイド部材１３の相対位置を調整する際に、ガイド部材１３をＸ軸方向に沿って移動させることで位置調整を行うことができる。
【0096】
また、実施形態の部品搭載ヘッド８では、複数の部品吸着ユニット９は、部品吸着ユニット９Ａ（第１部品吸着ユニット）と、部品吸着ユニット９Ｂ（第３部品吸着ユニット）を備え、ガイド部材１３は、Ｙ軸方向（第１方向）の一方側に面する第１面４０Ａを有し、ガイド部材１３の第１面４０Ａに部品吸着ユニット９Ａ、９Ｂのそれぞれのブロック２０が対向し、部品吸着ユニット９Ａ、９Ｂは、Ｘ軸方向（第２方向）に並べて配置されており、部品吸着ユニット９Ａ、９Ｂのそれぞれにおいて、第１ベアリング２２および第１ガイド面１５は、第２ベアリング２３および第２ガイド面１６に対して、Ｘ軸方向の一方側（矢印Ｘ１）に配置される。このような構成によれば、ブロック２０とガイド部材１３の相対位置を調整する際に、ガイド部材１３をＸ軸方向に沿って移動させることで位置調整を行うことができる。
【0097】
以上、上述の実施形態を挙げて本開示を説明したが、本開示は上述の実施形態に限定されない。例えば、本実施形態では、２つのガイド面１５、１６がともにＹ軸方向に対して傾斜する場合について説明したが、このような場合に限らず、可動側の第１ベアリング２２を受ける第１ガイド面１５および固定側の第２ベアリング２３を受ける第２ガイド面１６のうちの少なくとも一方がＹ軸方向に対して傾斜していればよい。すなわち、昇降方向Ｚ１に直交する断面で見たときに、第１ガイド面１５と第２ガイド面１６のうちの少なくとも一方が、Ｙ軸方向（第１方向）に対して、ブロック２０から離れる方向に向かって外側に広がるように傾斜していればよい。
【0098】
上記実施形態では、第１ガイド面１５および第１ガイド面１５に接触する第１ベアリング２２の両方を同方向に傾斜させて接触面積を大きくする場合について説明したが、このような場合に限らない。例えば、第１ガイド面１５はＹ軸方向に対して傾斜させる一方で、第１ベアリング２２（の第１回転軸２２ａおよび第１外周面２２ｂ）はＹ軸方向に平行に配置してもよい。第２ガイド面１６および第２ガイド面１６に接触する第２ベアリング２３についても同様である。
【0099】
上記実施形態では、「平行」という用語を使用したが、完全な平行状態に限らず、製造上の誤差等を含む略平行な状態を含み、例えば±１度以内の角度ずれを許容してもよい。
【0100】
本開示は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した特許請求の範囲による本開示の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。また、各実施形態における要素の組合せや順序の変化は、本開示の範囲および思想を逸脱することなく実現し得るものである。
【産業上の利用可能性】
【0101】
本開示は、ノズルで部品を吸着して基板に搭載する部品吸着ユニットおよびそれを備える部品搭載ヘッドであれば適用可能である。
【符号の説明】
【0102】
Ｐ 基板
８ 部品搭載ヘッド
９ 部品吸着ユニット
１０ ノズル
１１ シャフト
１２ ノズルホルダ
１３ ガイド部材
１４ 昇降手段
１５ 第１ガイド面
１６ 第２ガイド面
２０ ブロック
２２ 第１ベアリング
２２ａ 第１回転軸
２２ｂ 第１外周面
２３ 第２ベアリング
２３ａ 第２回転軸
２３ｂ 第２外周面
２４ レバー
２６ 付勢部材
３０ 昇降モータ
Ｚ１ 昇降方向
８ 部品搭載ヘッド
９ 部品吸着ユニット
１０ ノズル
１１ シャフト
１２ ノズルホルダ
１３ ガイド部材
１４ 昇降手段
１５ 第１ガイド面
１６ 第２ガイド面
２０ ブロック
２２ 第１ベアリング
２２ａ 第１回転軸
２２ｂ 第１外周面
２３ 第２ベアリング
２３ａ 第２回転軸
２３ｂ 第２外周面
２４ レバー
２６ 付勢部材
３０ 昇降モータ
Ｚ１ 昇降方向
【図1】
【図2A】
【図2B】
【図3A】
【図3B】
【図4A】
【図4B】
【図5A】
【図5B】
【図5C】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】