特開 2024-157270 支持装置および支持方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024157270

(43)【公開日】2024-11-07

(54)【発明の名称】支持装置および支持方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20241030BHJP

   B65C 9/40 20060101ALI20241030BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

B65C9/40

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023071528

(22)【出願日】2023-04-25

(71)【出願人】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】弁理士法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】木村 浩二

【テーマコード（参考）】

3E095

5F131

【Ｆターム（参考）】

3E095AA01

3E095BA03

3E095CA01

3E095DA03

3E095DA22

3E095DA35

3E095DA48

3E095DA82

3E095EA24

3E095EA40

3E095FA25

5F131AA02

5F131AA03

5F131AA32

5F131AA33

5F131BA53

5F131CA12

5F131EC32

5F131EC62

5F131EC63

5F131EC64

(57)【要約】

【課題】処理対象物に対する処理に支障をきたすことを極力防止することができる支持装置および支持方法を提供する。
【解決手段】支持装置ＥＡは、処理対象物ＷＫに所定の処理を施す際に当該処理対象物ＷＫを支持する支持手段１０と、支持手段１０で支持した処理対象物ＷＫに施した所定の処理の処理回数積算値ＥｎＴおよび、所定の処理を施す間に費やした処理時間積算値ＥｈＴの少なくとも一方を記憶する記憶手段２０とを備えている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

処理対象物に所定の処理を施す際に当該処理対象物を支持する支持手段と、
前記支持手段で支持した前記処理対象物に施した前記所定の処理の処理回数積算値および、前記所定の処理を施す間に費やした処理時間積算値の少なくとも一方を記憶する記憶手段とを備えていることを特徴とする支持装置。

【請求項2】

前記所定の処理を施した処理回数および処理時間の少なくとも一方を前記記憶手段に送信する通信手段を備え、
前記通信手段は、前記所定の処理に応じた所定の係数を前記処理回数および前記処理時間の少なくとも一方に乗じる演算を行い、演算後の前記処理回数および前記処理時間の少なくとも一方を前記記憶手段に送信することを特徴とする請求項１に記載の支持装置。

【請求項3】

処理対象物に所定の処理を施す際に当該処理対象物を支持する支持工程と、
前記支持工程で支持した前記処理対象物に施した前記所定の処理の処理回数積算値および、前記所定の処理を施す間に費やした処理時間積算値の少なくとも一方を記憶する記憶工程とを実施することを特徴とする支持方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、支持装置および支持方法に関する。

【背景技術】

【0002】

処理対象物に所定の処理を施す際に当該処理対象物を支持する支持装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００１－６３９０８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載された粘着テープ貼付け剥離装置で使用される基板支持テーブル６（支持装置の支持手段）は、長期に亘って粘着テープＴ（接着シート）の貼付け（所定の処理）が行われると、支持手段の支持面に接着シートの接着剤が付着したり、支持面に凹凸等が形成されたりする劣化が起こり、基板Ｗ（処理対象物）に対する処理に支障をきたすという不都合を発生する。

【0005】

本発明の目的は、処理対象物に対する処理に支障をきたすことを極力防止することができる支持装置および支持方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、支持手段で支持した処理対象物に施した所定の処理の処理回数積算値および、所定の処理を施す間に費やした処理時間積算値の少なくとも一方を記憶するため、支持手段が長期に亘って使用されることが抑制され、処理対象物に対する処理に支障をきたすことを極力防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の一実施形態に係る支持装置を備えた処理装置の説明図。（Ｃ）は、支持装置を備えた処理装置の他の例の説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。

【0010】

支持装置ＥＡは、処理対象物ＷＫに所定の処理を施す際に当該処理対象物ＷＫを支持する支持工程を実施する支持手段１０と、支持手段１０で支持した処理対象物ＷＫに施した所定の処理の処理回数積算値ＥｎＴおよび、所定の処理を施す間に費やした処理時間積算値ＥｈＴの両方を記憶する記憶工程を実施する記憶手段２０と、所定の処理を施した処理回数Ｅｎおよび処理時間Ｅｈの両方を記憶手段２０に送信する通信工程を実施する通信手段３０とを備えている。
本実施形態の場合、支持装置ＥＡは、処理対象物ＷＫに所定の処理を施す処理装置としてのシート貼付装置４０に組み込まれて使用されるようになっており、所定の処理は、処理対象物ＷＫに接着シートＡＳを貼付するシート貼付処理のことである。
また、本実施形態でいう処理回数Ｅｎは、処理対象物ＷＫに１枚の接着シートＡＳを貼付したシート貼付回数のことであり、この処理回数Ｅｎを積算した値が処理回数積算値ＥｎＴである。
さらに、本実施形態でいう処理時間Ｅｈは、処理対象物ＷＫに１枚の接着シートＡＳを貼付する際に費やしたシート貼付時間のことであり、この処理時間Ｅｈを積算した値が処理時間積算値ＥｈＴである。

【0011】

支持手段１０は、処理対象物ＷＫを支持可能な支持面１１Ａを有する支持部材としての支持テーブル１１を備えている。
支持テーブル１１は、例えば、支持面１１Ａにフッ素樹脂コーティングやシリコンコーティング等のコーティング処理や、ブラスト加工やエッチング加工等による粗面処理等の接着シートＡＳが接着し難くなる表面処理や、樹脂やゴム等による処理対象物ＷＫの接地面を保護するライニング処理等が施されており、それら表面処理やライニング処理は、長期に亘って使用されると、例えば、接着シートＡＳの接着剤が付着したり、部分的に欠落して凹凸等が形成されたりする劣化が起こり、処理対象物ＷＫに対するシート貼付処理に悪影響を及ぼす場合があるものとなっている。

【0012】

記憶手段２０は、支持テーブル１１に支持されたＲＦＩＤ（Radio Frequency Identification）タグや集積回路等の記憶機器２１によって構成されている。

【0013】

通信手段３０は、図１（Ｂ）に示すように、シート貼付装置４０から処理回数Ｅｎおよび処理時間Ｅｈを受信可能とされ、シート貼付処理に応じた所定の係数を処理回数Ｅｎおよび処理時間Ｅｈの両方に乗じる演算を行い、演算後の処理回数Ｅｎおよび処理時間Ｅｈの両方を記憶手段２０に送信するようになっている。すなわち、通信手段３０は、シート貼付装置４０から送信された処理回数Ｅｎおよび処理時間Ｅｈに対して所定の係数（シート貼付処理の場合、所定の係数は１．０）を乗じて演算値を求めるコンピュータやシーケンサ等の演算機器３１と、当該演算機器３１によって求められた演算後の処理回数Ｅｎおよび処理時間Ｅｈを記憶手段２０に送信する電波信号通信機器や電気信号通信機器等の送受信機器３２とを備えている。
なお、通信手段３０は、処理回数積算値ＥｎＴおよび処理時間積算値ＥｈＴを記憶手段２０から受信可能に設けられ、それら処理回数積算値ＥｎＴおよび処理時間積算値ＥｈＴの少なくとも一方が所定値を超過しているか否かを演算機器３１で対比し、超過していると判断すると、スピーカや表示器等の図示しない警告手段や、シート貼付装置４０等の処理装置に異常信号ＥＳを送信するようになっている。

【0014】

シート貼付装置４０は、当該シート貼付装置４０を構成する構成物を直接的または間接的に支持するベースプレート４１と、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ４２と、原反ＲＳを案内するガイドローラ４３と、剥離縁４４Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板４４と、処理対象物ＷＫに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ４５と、駆動機器としての回動モータ４６Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ４６Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ４６と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置４０の自動運転が行われている間、ピンチローラ４６Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ４７と、駆動機器としてのリニアモータ４８Ａのスライダ４８Ｂに支持され、支持手段１０を保持して移動可能な移動テーブル４８と、当該シート貼付装置４０の各種動作を制御するコンピュータやシーケンサ等の貼付装置制御手段４９とを備えている。
貼付装置制御手段４９は、処理対象物ＷＫに１枚の接着シートＡＳを貼付することを１単位とした処理の回数を処理回数Ｅｎとするとともに、処理対象物ＷＫに１枚の接着シートＡＳを貼付する間に費やされた時間を計測して処理時間Ｅｈとし、処理対象物ＷＫに１枚の接着シートＡＳを貼付する度に、処理回数Ｅｎおよび処理時間Ｅｈを通信手段３０に送信するようになっている。
移動テーブル４８は、支持手段１０を着脱可能に設けられ、保持した支持手段１０の支持面１１Ａに吸着保持力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）が接続されている。

【0015】

以上のシート貼付装置４０に組み込まれた支持装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置４０に対し、当該シート貼付装置４０の使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように支持テーブル１１および原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、シート貼付装置４０が回動モータ４６Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出し、図１（Ａ）に示すように、剥離板４４の剥離縁４４Ａによって折り返された剥離シートＲＬの折返し部で、先頭の接着シートＡＳの繰出方向先端部が当該剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、回動モータ４６Ａの駆動を停止する。次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、支持面１１Ａ上に処理対象物ＷＫを載置すると、シート貼付装置４０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面１１Ａでの処理対象物ＷＫの吸着保持を開始するとともに、貼付装置制御手段４９を介して処理時間Ｅｈの計測を開始する。その後、シート貼付装置４０がリニアモータ４８Ａを駆動し、支持テーブル１１を左方へ移動させ、処理対象物ＷＫが所定の位置に到達すると、当該シート貼付装置４０が回動モータ４６Ａを駆動し、処理対象物ＷＫの移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳは、剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから剥離され、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ４５によって処理対象物ＷＫに押圧されて貼付される。次に、先頭の接着シートＡＳ全体が処理対象物ＷＫに貼付されて一体物ＵＰが形成され、当該先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの繰出方向先端部が、剥離シートＲＬの折返し部で当該剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、シート貼付装置４０が回動モータ４６Ａの駆動を停止する。そして、一体物ＵＰが押圧ローラ４５の左方所定位置に到達すると、シート貼付装置４０がリニアモータ４８Ａの駆動を停止するとともに、貼付装置制御手段４９を介して処理時間Ｅｈの計測を停止する。次いで、シート貼付装置４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面１１Ａでの処理対象物ＷＫの吸着保持を解除した後、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを次工程に搬送すると、シート貼付装置４０がリニアモータ４８Ａを駆動し、支持テーブル１１を初期位置に復帰させる。その後、シート貼付装置４０が貼付装置制御手段４９を介して処理回数Ｅｎおよび処理時間Ｅｈを通信手段３０に送信する。

【0016】

次に、通信手段３０が処理回数Ｅｎおよび処理時間Ｅｈを受信すると、当該通信手段３０が演算機器３１を駆動し、処理回数Ｅｎに所定の係数１．０を乗じる演算を行うとともに、処理時間Ｅｈに所定の係数１．０を乗じる演算を行い、演算後の処理回数Ｅｎおよび処理時間Ｅｈを、送受信機器３２を介して記憶手段２０に送信する。そして、送受信機器３２から送信された演算後の処理回数Ｅｎおよび処理時間Ｅｈを記憶手段２０が受信すると、当該記憶手段２０は、既に記憶している処理回数積算値ＥｎＴに今回受信した演算後の処理回数Ｅｎを積算し、新たな処理回数積算値ＥｎＴとして記憶するとともに、既に記憶している処理時間積算値ＥｈＴに今回受信した演算後の処理時間Ｅｈを積算し、新たな処理時間積算値ＥｈＴとして記憶する。次いで、記憶手段２０は、新たな処理回数積算値ＥｎＴおよび新たな処理時間積算値ＥｈＴを記憶すると、それら新たな処理回数積算値ＥｎＴおよび新たな処理時間積算値ＥｈＴを通信手段３０に送信する。その後、通信手段３０が新たな処理回数積算値ＥｎＴおよび新たな処理時間積算値ＥｈＴを受信し、それら新たな処理回数積算値ＥｎＴおよび新たな処理時間積算値ＥｈＴの両方が所定の値を超過していないことを当該通信手段３０が認識すると、以降上記同様の動作が繰り返される。一方、新たな処理回数積算値ＥｎＴおよび新たな処理時間積算値ＥｈＴの少なくとも一方が所定の値を超過していることを通信手段３０が認識すると、当該通信手段３０が図示しない警告手段やシート貼付装置４０に異常信号ＥＳを送信する。次に、図示しない警告手段やシート貼付装置４０が、異常信号ＥＳを受信すると、警告手段が音や光等の警告シグナルを発したり、シート貼付装置４０が動作停止を行ったりすることで、支持手段１０の交換が必要であることを使用者に知らせる。このようにして支持手段１０の交換が必要であることを使用者が認識すると、当該使用者は、新たな支持手段１０を移動テーブル４８にセットし、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0017】

以上のような実施形態によれば、支持手段１０で支持した処理対象物ＷＫに所定の処理を施した処理回数積算値ＥｎＴおよび、所定の処理を施す間に費やした処理時間積算値ＥｈＴの両方を記憶するため、支持手段１０が長期に亘って使用されることが抑制され、処理対象物ＷＫに対する処理に支障をきたすことを極力防止することができる。

【0018】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
また、本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、支持手段は、処理対象物に所定の処理を施す際に当該処理対象物を支持可能ものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0019】

例えば、支持装置ＥＡは、所定の処理を施す処理装置としてシート貼付装置４０と同じ構成であって、押圧ローラ４５の押圧力がシート貼付装置４０の押圧ローラ４５の押圧力よりも大きい別のシート貼付装置に採用された場合、別のシート貼付装置に組み込まれた支持手段１０の劣化速度は、シート貼付装置４０に組み込まれた場合の支持手段１０の劣化速度よりも早くなることから、通信手段３０にて演算値を求める際の所定の係数を１．０以上の例えば１．３や２．０等に設定することができる。逆に、別のシート貼付装置の押圧ローラ４５の押圧力がシート貼付装置４０の押圧ローラ４５の押圧力よりも小さい場合、別のシート貼付装置に組み込まれた支持手段１０の劣化速度は、シート貼付装置４０に組み込まれた場合の支持手段１０の劣化速度よりも遅くなることから、所定の係数を１．０以下の例えば０．５や０．１等に設定することができる。
また、支持装置ＥＡは、上記実施形態で示したシート貼付装置４０と異なる他の処理装置として、例えば、所定の処理として処理対象物ＷＫを研削する図１（Ｃ）に示すような研削装置５０に組み込まれて使用されてもよい。
このような研削装置５０は、駆動機器としての回動モータ５１と、その出力軸５１Ａに支持された砥石やブレード等の研削部材５２と、駆動機器としてのＸＹテーブル５３Ａのスライダ５３Ｂに支持され、支持手段１０を保持してＸ軸方向とＹ軸方向との２方向へ移動可能な移動テーブル５３と、当該研削装置５０の各種動作を制御するコンピュータやシーケンサ等の研削装置制御手段５４とを備えている。
研削装置制御手段５４は、１つの処理対象物ＷＫを所定の厚みにまで研削することを１単位とした処理の回数を処理回数Ｅｎとするとともに、１つの処理対象物ＷＫを所定の厚みにまで研削する間に費やされた時間を計測して処理時間Ｅｈとし、１つの処理対象物ＷＫを所定の厚みにまで研削する度に、処理回数Ｅｎおよび処理時間Ｅｈを通信手段３０に送信するようになっている。なお、この場合の所定の処理は、処理対象物ＷＫを所定の厚みにまで研削する研削処理のことである。
そして、このような研削装置５０に組み込まれて使用される支持装置ＥＡは、当該研削装置５０に組み込まれた支持手段１０の劣化速度が、シート貼付装置４０に組み込まれた支持手段１０の劣化速度よりも早くなる場合は、所定の係数を１．０以上の例えば１．１や３．０に設定することができるし、逆に、研削装置５０に組み込まれた支持手段１０の劣化速度が、シート貼付装置４０に組み込まれた支持手段１０の劣化速度より遅くなる場合は、所定の係数を１．０以下の例えば０．３や２．６に設定することができる。

【0020】

支持手段１０は、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で処理対象物ＷＫを保持する支持テーブル１１が採用されてもよいし、処理対象物ＷＫの保持ができない支持テーブル１１が採用されてもよいし、支持面１１Ａで処理対象物ＷＫのみを支持したり、処理対象物ＷＫおよび接着シートＡＳを支持したり、その他のものを支持したりしてもよいし、複数の支持部材で構成されてもよく、この場合、記憶手段２０は、複数の支持部材のうち少なくとも１つに設けられればよい。
支持テーブル１１は、支持面１１Ａに、例えば、非粘着処理、めっき処理、塗装、積層、粗面処理、ブラスト処理、鏡面処理等、どのような処理が施されていてもよいし、何の処理も施されていなくてもよいし、処理対象物ＷＫの種類、大きさ、形状またはや接着シートＡＳの種類、処理装置の種類等に応じて複数種のものが用意され、それら複数種の中から適格なものが選択的に使用されてもよい。

【0021】

記憶手段２０は、支持手段１０で支持した処理対象物ＷＫに所定の処理を施した処理回数積算値ＥｎＴのみを記憶する記憶工程を実施するものでもよいし、支持手段１０で支持した処理対象物ＷＫに所定の処理を施す間に費やした処理時間積算値ＥｈＴのみを記憶する記憶工程を実施するものでもよいし、記憶機器２１として、例えば、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ハードディスク、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）メモリ等どのようなものが採用されてもよいし、特定の処理装置での処理回数Ｅｎおよび処理時間Ｅｈの少なくとも一方のみを記憶する１体の記憶機器２１が１つだけまたは複数備わっていてもよいし、例えば、シート貼付装置４０での処理回数Ｅｎおよび処理時間Ｅｈの少なくとも一方を記憶する第１記憶部と、他の装置での処理回数Ｅｎおよび処理時間Ｅｈの少なくとも一方をさらに記憶する第２記憶部とを備えた１体の記憶機器２１が１つだけまたは複数備わっていてもよいし、処理回数Ｅｎのみを通信手段３０から受信してもよいし、処理時間Ｅｈのみを通信手段３０から受信してもよいし、処理回数積算値ＥｎＴのみを通信手段３０に送信してもよいし、処理時間積算値ＥｈＴのみを通信手段３０に送信してもよいし、処理回数Ｅｎおよび処理時間Ｅｈの両方を通信手段３０から受信しなくてもよいし、処理回数積算値ＥｎＴおよび処理時間積算値ＥｈＴの両方を通信手段３０に送信しなくてもよいし、通信手段３０に対して送信または受信を行う媒体は、電波、音波、電気、磁力等どのような媒体でもよいし、支持テーブル１１の上面や下面等、どこに設けられていてもよいし、支持テーブル１１に着脱自在に設けられていてもよいし、演算機器３１が行う演算と同等の演算が可能な演算機能が備わっていてもよく、この場合、通信手段３０に演算機器３１が備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0022】

通信手段３０は、例えば、接着シートＡＳの種類に応じて所定の係数を設定してもよいし、支持面１１Ａに施されている表面処理に応じて所定の係数を設定してもよいし、支持装置ＥＡが使用される処理装置の特性条件や、処理装置の支持手段１０に対する攻撃性の条件や、支持装置ＥＡが使用される環境の温度や圧力等の雰囲気条件や、処理対象物ＷＫの形状や硬さ等の処理対象物ＷＫの条件等の諸条件によって、所定の係数の値を適宜変更したり、使用者の経験値によって、所定の係数の値を適宜変更したりしてもよいし、シート貼付装置４０以外のものを所定の係数の基準としてもよいし、所定の係数の基準となるものを設けなくてもよいし、処理装置によって支持手段１０の劣化速度が異なっていても、同じ値の所定の係数を乗じたり、所定の定数を乗じなくしたりしてもよいし、１つまたは同種の処理装置における処理回数Ｅｎに乗じる係数と処理時間Ｅｈに乗じる係数とを同じ値に設定したりし、異なる値に設定したりしてもよいし、演算機器３１で演算を行うことなく処理回数Ｅｎおよび処理時間Ｅｈの少なくとも一方を記憶手段２０に送信してもよいし、演算機器３１が備わっていなくてもよいし、処理装置から送信された信号を所定期間蓄積しておき、所定のタイミングで処理回数Ｅｎおよび処理時間Ｅｈの少なくとも一方を記憶手段２０に送信してもよいし、記憶手段２０、処理装置および図示しない警告装置に対して送信または受信を行う媒体は、電波、音波、電気、磁力等どのような媒体でもよいし、記憶手段２０から受信した際に処理回数積算値ＥｎＴや処理時間積算値ＥｈＴと対比する所定の値は、予め通信手段３０が記憶していてもよいし、使用者が任意の値を通信手段３０に記憶させてもよいし、処理回数Ｅｎのみを処理装置から受信したり、処理回数Ｅｎのみを記憶手段２０に送信したりしてもよいし、処理時間Ｅｈのみを処理装置から受信したり、処理時間Ｅｈのみを記憶手段２０に送信したりしてもよいし、処理回数Ｅｎのみを記憶手段２０に送信してもよいし、処理時間Ｅｈのみを記憶手段２０に送信してもよいし、処理回数Ｅｎおよび処理時間Ｅｈの両方を記憶手段２０に送信しなくてもよいし、処理回数積算値ＥｎＴのみを記憶手段２０から受信してもよいし、処理時間積算値ＥｈＴのみを記憶手段２０から受信してもよいし、処理回数積算値ＥｎＴおよび処理時間積算値ＥｈＴの両方を記憶手段２０から受信しなくてもよいし、警告手段や処理装置等に異常信号ＥＳを送信しなくてもよいし、本発明の支持装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、支持装置ＥＡに備わっていない場合、例えば、処理装置やその他の装置に備わっていてもよい。

【0023】

シート貼付装置４０は、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して貼付してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材が仮着された帯状接着シート原反を採用し、当該帯状接着シート原反を繰り出す途中で、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して貼付してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳから当該帯状の接着シートＡＳを剥離して貼付してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して貼付してもよいし、押圧ローラ４５に代えて駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で接着シートＡＳを保持し、当該保持部材で保持した接着シートＡＳを処理対象物ＷＫに押圧して貼付する構成の押圧手段を採用してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを繰り出して貼付してもよい。
シート貼付装置４０や研削装置５０は、支持テーブル１１を移動させずにまたは移動させつつ、剥離板４４、押圧ローラ４５、駆動ローラ４６等を移動させて処理対象物ＷＫに接着シートＡＳを貼付したり、回動モータ５１および研削部材５２を移動させて処理対象物ＷＫを研削したりしてもよいし、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で支持テーブル１１を保持する移動テーブル４８、５３が採用されてもよいし、天地反転して配置したり横置きに配置したりして、処理対象物ＷＫの下面や側面等に接着シートＡＳを貼付したり、処理対象物ＷＫの下面や側面を研削したりするように構成してもよいし、支持テーブル１１の種類や型式、接着シートＡＳまたは処理対象物ＷＫの種類、および押圧ローラ４５による接着シートＡＳの押圧力または研削部材５２による処理対象物ＷＫの押圧力等の情報を入力する入力手段が備わっていてもよいし、例えば、リニアモータ４８ＡまたはＸＹテーブル５３Ａに代えて多関節ロボットを採用し、当該多関節ロボットの先端アームで支持テーブル１１を保持して移動可能な構成としてもよいし、処理時間Ｅｈの計測を開始するタイミングを、支持面１１Ａでの処理対象物ＷＫの吸着保持を開始するタイミングよりも早いタイミング（例えば、図示しない搬送手段が、支持面１１Ａ上に処理対象物ＷＫを載置したタイミング）としたり、遅いタイミング（例えば、処理対象物ＷＫが所定の位置に到達し、シート貼付装置４０が回動モータ４６Ａを駆動または研削装置５０が回動モータ５１を駆動したタイミング）としたりしてもよいし、処理時間Ｅｈの計測を停止するタイミングを、支持テーブル１１が初期位置に復帰するタイミングよりも早いタイミング（例えば、接着シートＡＳ全体が処理対象物ＷＫに貼付されて一体物ＵＰが形成されたタイミングや、処理対象物ＷＫの研削が完了したタイミング）としたり、遅いタイミング（例えば、一体物ＵＰまたは研削された処理対象物ＷＫが次工程に搬送されて支持テーブル１１が初期位置に復帰したタイミング）としたりしてもよいし、移動テーブル４８、５３に支持手段１０が保持された時点から、当該移動テーブル４８、５３から取り外されるまでの間、常に処理時間Ｅｈの計測を行っていてもよく、所定の処理を施す間に費やした処理時間Ｅｈの計測期間は、使用者が任意に決定することができる。

【0024】

処理装置は、上記のシート貼付装置４０や研削装置５０の他、例えば、研磨装置、エネルギー線照射装置、サンドブラスト装置、印刷装置、塗装装置、切断装置等、どのような装置でもよく、所定の処理も研磨処理、エネルギー線照射処理、サンドブラスト処理、印刷処理、塗装処理、切断処理等、どのような処理でもよいし、例えば、自動運転が開始されてから当該自動運転が停止されるまでの自動運転期間に行った処理回数Ｅｎおよび自動運転期間に行った処理時間Ｅｈの少なくとも一方を記憶しておき、当該自動運転期間が完了した時点で、記憶している処理回数Ｅｎおよび処理時間Ｅｈの少なくとも一方を３０に送信してもよいし、処理回数Ｅｎのみを通信手段３０に送信してもよいし、処理時間Ｅｈのみを通信手段３０に送信してもよいし、処理回数Ｅｎおよび処理時間Ｅｈの両方を通信手段３０に送信しなくてもよいし、通信手段３０から異常信号ＥＳを受信しなくてもよいし、通信手段３０に対して送信または受信を行う媒体は、電波、音波、電気、磁力等どのような媒体でもよいし、処理回数Ｅｎや処理時間Ｅｈの通信手段３０への送信や処理時間Ｅｈの計測を行わなくてもよく、処理装置以外の他の装置が処理回数Ｅｎや処理時間Ｅｈの通信手段３０への送信や処理時間Ｅｈの計測を行ってもよいし、本発明の支持装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0025】

支持装置ＥＡは、支持手段１０の交換が必要となった場合、支持手段１０のみを交換したり、支持手段１０と記憶手段２０とを交換したり、支持手段１０と記憶手段２０と通信手段３０とを交換したり、支持手段１０と通信手段３０とを交換したりしてもよい。

【0026】

本発明における接着シートＡＳおよび処理対象物ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳおよび処理対象物ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、処理対象物ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0027】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた所謂多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等が単体で採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等が直接的又は間接的に組み合わされたものが採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等の出力部に対するトルク制御や速度制御等が可能なものや不能なものが採用されてもよい。

【0028】

前記実施形態において、何らかの物体（以下「物体Ａ」という）および当該物体Ａに対して移動する物体（以下「物体Ｂ」という）すなわち、相対移動する物体Ａおよび物体Ｂは、移動することのない物体Ａに対して物体Ｂが移動してもよいし、移動することのない物体Ｂに対して物体Ａが移動してもよいし、物体Ａおよび物体Ｂの両方が移動してもよいく、移動によって達成される結果が同じであれば、物体Ａおよび物体Ｂの何れが移動してもよいし、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や硝子等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

【符号の説明】

【0029】

ＥＡ…支持装置
１０…支持手段
２０…記憶手段
３０…通信手段
Ｅｈ…処理時間
ＥｈＴ…処理時間積算値
Ｅｎ…処理回数
ＥｎＴ…処理回数積算値
ＷＫ…処理対象物

【図1】