特開 2024-157313 熱処理炉

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024157313

(43)【公開日】2024-11-07

(54)【発明の名称】熱処理炉

(51)【国際特許分類】

   F27B 9/36 20060101AFI20241030BHJP

   F27B 9/22 20060101ALI20241030BHJP

   F27D 3/12 20060101ALI20241030BHJP

【ＦＩ】

F27B9/36

F27B9/22

F27D3/12 S

【審査請求】未請求

【請求項の数】13

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023071607

(22)【出願日】2023-04-25

(71)【出願人】

【識別番号】000004064

【氏名又は名称】日本碍子株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】591076109

【氏名又は名称】エヌジーケイ・キルンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000110

【氏名又は名称】弁理士法人 快友国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】岩田 晃和

(72)【発明者】

【氏名】小牧 毅史

(72)【発明者】

【氏名】山口 実

(72)【発明者】

【氏名】成宮 一哉

【テーマコード（参考）】

4K050

4K055

【Ｆターム（参考）】

4K050AA02

4K050AA04

4K050BA16

4K050CD06

4K050CD25

4K050CG02

4K050CG04

4K050CG29

4K055AA06

4K055HA02

4K055HA12

4K055HA18

(57)【要約】

【課題】上下方向に積み重ねられた複数の被処理物内で上下方向の加熱ムラが発生することを抑制する。
【解決手段】熱処理炉は、搬入口と、搬出口と、被処理物を熱処理する昇温空間および保持空間を有する熱処理空間と、を備える炉体と、複数の前記被処理物が上下方向に積み重ねられた状態で載置可能である搬送板と、前記炉体の前記搬入口から前記搬出口に向かって、前方向に前記搬送板を押圧するプッシャと、前記上下方向に延びており、前記熱処理空間内に前記前方向に並んで配置されている複数のヒータと、を備えている。前記複数のヒータのそれぞれは、発熱する発熱部を備えている。前記複数のヒータの前記発熱部の前記上下方向における位置は、最も前記搬入口側に位置する前記ヒータから最も前記搬出口側に位置する前記ヒータに向かって変化する。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬入口と、搬出口と、被処理物を熱処理する昇温空間および保持空間を有する熱処理空間と、を備える炉体と、
複数の前記被処理物が上下方向に積み重ねられた状態で載置可能である搬送板と、
前記炉体の前記搬入口から前記搬出口に向かって、前方向に前記搬送板を押圧するプッシャと、
前記上下方向に延びており、前記熱処理空間内に前記前方向に並んで配置されている複数のヒータと、を備えており、
前記複数のヒータのそれぞれは、発熱する発熱部を備えており、
前記複数のヒータの前記発熱部の前記上下方向における位置は、最も前記搬入口側に位置する前記ヒータから最も前記搬出口側に位置する前記ヒータに向かって変化する、熱処理炉。

【請求項2】

前記前方向は、前記上下方向に直交しており、
前記搬送板は、前記上下方向と前記前方向に直交する左右方向に並んで配置された状態で、前記プッシャに押圧されることにより前記搬入口から前記搬出口まで搬送され、
前記複数のヒータは、
前記左右方向において、隣接する前記搬送板の間に配置されている複数の第１ヒータと、
前記左右方向において、前記左右方向に並んで配置される複数の前記搬送板の右端と前記炉体との間に配置されているとともに、前記前方向に並んで配置されている複数の第２ヒータと、
前記左右方向において、前記左右方向に並んで配置される複数の前記搬送板の左端と前記炉体との間に配置されているとともに、前記前方向に並んで配置されている複数の第３ヒータと、を備えており、
前記昇温空間において、前記第１ヒータの発熱量は、前記第２ヒータの発熱量と前記第３ヒータの発熱量のそれぞれよりも大きい、請求項１に記載の熱処理炉。

【請求項3】

前記第１ヒータの前記発熱量は、前記第２ヒータの前記発熱量の１．３倍以上、かつ２．７倍以下であり、
前記第２ヒータの前記発熱量は、前記第３ヒータの前記発熱量と略同一である、請求項２に記載の熱処理炉。

【請求項4】

前記前方向は、前記上下方向に直交しており、
前記炉体は、
前記ヒータが前記上下方向に挿入される天井壁と、
前記ヒータの下端を受け入れる振れ止め部と、を備えている、請求項１に記載の熱処理炉。

【請求項5】

前記炉体は、前記搬送板を前記前方向に案内するガイドレール部をさらに備えており、
前記振れ止め部は、前記ガイドレール部の上面に形成されている、請求項４に記載の熱処理炉。

【請求項6】

前記上下方向と前記前方向に直交する左右方向において、前記振れ止め部の内幅は、前記ヒータの幅の１．１倍以上、かつ２倍以下である、請求項４に記載の熱処理炉。

【請求項7】

前記ヒータを覆う保護部材をさらに備えている、請求項１に記載の熱処理炉。

【請求項8】

前記搬送板と前記被処理物との間に配置されるスペーサをさらに備えている、請求項１に記載の熱処理炉。

【請求項9】

前記前方向は、前記上下方向に直交しており、
前記炉体は、前記上下方向と前記前方向に直交する左右方向に互いに対向する左側壁と右側壁とを備えており、
前記熱処理炉は、
前記搬送板よりも下側で前記前方向に並んで配置されており、前記右側壁を貫通して前記炉体内を前記右側壁から前記左側壁に向かって延びる複数の第４ヒータと、
前記搬送板よりも下側で前記前方向に並んで配置されており、前記左側壁を貫通して前記炉体内を前記左側壁から前記右側壁に向かって延びる複数の第５ヒータと、をさらに備えており、
前記第４ヒータの先端と前記第５ヒータの先端は、前記左右方向に対向して離れており、
前記左右方向において、前記第４ヒータの前記先端と前記第５ヒータの前記先端との間には、対向領域が画定されており、
複数の前記対向領域の前記左右方向の位置は、最も前記搬入口側に位置する前記対向領域と最も前記搬出口側に位置する前記対向領域との間で変化する、請求項１に記載の熱処理炉。

【請求項10】

前記第４ヒータは、前記左右方向に延びる発熱部と非発熱部を備えており、
前記第５ヒータは、前記左右方向に延びる発熱部と非発熱部を備えており、
前記前方向に隣接する前記第４ヒータでは、前記第４ヒータの前記非発熱部の前記左右方向における位置が異なり、
前記前方向に隣接する前記第５ヒータでは、前記第５ヒータの前記非発熱部の前記左右方向における位置が異なり、
前記前方向に隣接する前記第４ヒータと前記第５ヒータでは、
前記第４ヒータの前記非発熱部は、前記第４ヒータの前記発熱部または前記第５ヒータの前記発熱部と前記前方向に対向して配置されており、
前記第５ヒータの前記非発熱部は、前記第４ヒータの前記発熱部または前記第５ヒータの前記発熱部と前記前方向に対向して配置されている、請求項９に記載の熱処理炉。

【請求項11】

前記前方向は、前記上下方向に直交しており、
前記左右方向において、前記左右方向に並んで配置される複数の前記搬送板の間に配置されており、前記搬送板を前記前方向に案内する複数のガイドレール部をさらに備えており、
前記複数のガイドレール部のそれぞれは、前記前方向に延びており、
前記複数のガイドレール部は、前記複数の第４ヒータと前記複数の第５ヒータよりも上側で前記左右方向に離れて配置されており、
前記複数の対向領域のそれぞれは、前記ガイドレール部と前記上下方向に重なり合う位置に配置されている、請求項９に記載の熱処理炉。

【請求項12】

前記前方向に隣り合う２個の前記対向領域の前記左右方向の位置は異なる、請求項１１に記載の熱処理炉。

【請求項13】

前記第４ヒータの前記先端と前記第５ヒータの前記先端を下側から支持する支持体をさらに備えている、請求項９に記載の熱処理炉。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書に開示する技術は、熱処理炉に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、被処理物を熱処理する熱処理炉が開示されている。熱処理炉は、搬入口および搬出口を備える炉体と、炉体内で搬入口から搬出口に向かって前方向に並んで配置されている複数のヒータと、を備えている。複数のヒータのそれぞれは、上下方向に延びている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２１－１６２２４５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１のような熱処理炉では、複数の被処理物は、上下方向に積み重ねられた状態で複数のヒータにより熱処理される。このため、上下方向に積み重ねられた複数の被処理物で、上下方向の加熱ムラが発生することがある。

【0005】

本明細書は、上下方向に積み重ねられた複数の被処理物内で上下方向の加熱ムラが発生することを抑制することができる技術を開示する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本明細書に開示する技術の第１の態様では、熱処理炉は、搬入口と、搬出口と、被処理物を熱処理する昇温空間および保持空間を有する熱処理空間と、を備える炉体と、複数の前記被処理物が上下方向に積み重ねられた状態で載置可能である搬送板と、前記炉体の前記搬入口から前記搬出口に向かって、前方向に前記搬送板を押圧するプッシャと、前記上下方向に延びており、前記熱処理空間内に前記前方向に並んで配置されている複数のヒータと、を備えている。前記複数のヒータのそれぞれは、発熱する発熱部を備えている。前記複数のヒータの前記発熱部の前記上下方向における位置は、最も前記搬入口側に位置する前記ヒータから最も前記搬出口側に位置する前記ヒータに向かって変化する。

【0007】

上記の構成によれば、複数のヒータの発熱部の上下方向における位置が炉体の内部で変化する。これにより、上下方向に積み重ねられた複数の被処理物の特定の被処理物が加熱され過ぎることを抑制することができる。このため、上下方向に積み重ねられた複数の被処理物で上下方向の加熱ムラが発生することを抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】第１実施例の熱処理炉の概略断面図である。

【図2】図１のII－II線における熱処理炉の概略断面図である。

【図3】第１実施例の搬送板上に載置される複数の被処理物の側面図である。

【図4】第１実施例の縦型ヒータとガイドレール部の断面図である。

【図5】第１実施例において、熱処理空間近傍の熱処理炉の概略断面図である。

【図6】第１実施例の複数の下部ヒータの上面図である。

【図7】第１実施例において、下部ヒータ近傍の熱処理炉の概略断面図である。

【図8】第２実施例において、熱処理空間近傍の熱処理炉の概略断面図である。

【図9】第３実施例において、熱処理空間近傍の熱処理炉の概略断面図である。

【図10】第４実施例において、熱処理空間近傍の熱処理炉の概略断面図である。

【図11】第５実施例の複数の下部ヒータの上面図である。

【図12】第６実施例の下部ヒータの概略図である。

【0009】

以下に説明する実施例の主要な特徴を列記しておく。なお、以下に記載する技術要素は、それぞれ独立した技術要素であって、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。

【0010】

本明細書に開示する技術の第２の態様では、上記の第１の態様において、前記前方向は、前記上下方向に直交している。前記搬送板は、前記上下方向と前記前方向に直交する左右方向に並んで配置された状態で、前記プッシャに押圧されることにより前記搬入口から前記搬出口まで搬送される。前記複数のヒータは、前記左右方向において、隣接する前記搬送板の間に配置されている複数の第１ヒータと、前記左右方向において、前記左右方向に並んで配置される複数の前記搬送板の右端と前記炉体との間に配置されているとともに、前記前方向に並んで配置されている複数の第２ヒータと、前記左右方向において、前記左右方向に並んで配置される複数の前記搬送板の左端と前記炉体との間に配置されているとともに、前記前方向に並んで配置されている複数の第３ヒータと、を備えている。前記昇温空間において、前記第１ヒータの発熱量は、前記第２ヒータの発熱量と前記第３ヒータの発熱量のそれぞれよりも大きい。上記の構成によれば、第１ヒータは、左右方向に隣接する被処理物の間に配置される。このため、第１ヒータは、第１ヒータの右側の被処理物と第１ヒータの左側の被処理物の両方を加熱する。また、第２ヒータは、最も右側に位置する被処理物のみと隣接している。このため、第２ヒータは、最も右側に位置する被処理物のみを加熱する。さらに、第３ヒータは、最も左側に位置する被処理物のみと隣接している。このため、第３ヒータは、最も左側に位置する被処理物のみを加熱する。例えば、第１ヒータの発熱量が第２ヒータの発熱量と第３ヒータの発熱量のそれぞれよりも小さいとき、第１ヒータの右側と左側の被処理物が、最も左側と最も右側に位置する被処理物よりも加熱され難い。これにより、左右方向に並ぶ複数の被処理物内で左右方向の加熱ムラが発生する。上記の構成によれば、第１ヒータの発熱量が第２ヒータの発熱量と第３ヒータの発熱量のそれぞれよりも大きいため、左右方向に並ぶ複数の被処理物内で左右方向の加熱ムラが発生することを抑制することができる。

【0011】

本明細書に開示する技術の第３の態様では、上記の第２の態様において、前記第１ヒータの前記発熱量は、前記第２ヒータの前記発熱量の１．３倍以上、かつ２．７倍以下である。前記第２ヒータの前記発熱量は、前記第３ヒータの前記発熱量と略同一である。上記の構成によれば、左右方向に並ぶ複数の被処理物内で左右方向の加熱ムラが発生することをより抑制することができる。

【0012】

本明細書に開示する技術の第４の態様では、上記の第１から第３の態様のいずれか１つにおいて、前記前方向は、前記上下方向に直交している。前記炉体は、前記ヒータが前記上下方向に挿入される天井壁と、前記ヒータの下端を受け入れる振れ止め部と、を備えている。上記の構成によれば、ヒータの下端が振れ止め部に受け入れられているため、ヒータが長期使用により左右方向に反るように変形することを抑制することができる。これにより、ヒータが被処理物と接触することを抑制することができる。

【0013】

本明細書に開示する技術の第５の態様では、上記の第４の態様において、前記炉体は、前記搬送板を前記前方向に案内するガイドレール部をさらに備えている。前記振れ止め部は、前記ガイドレール部の上面に形成されている。上記の構成によれば、ヒータと搬送板が確実に離隔されるとともに、部品の点数が増加することを抑制することができる。

【0014】

本明細書に開示する技術の第６の態様では、上記の第４または第５の態様において、前記上下方向と前記前方向に直交する左右方向において、前記振れ止め部の内幅は、前記ヒータの幅の１．１倍以上、かつ２倍以下である。振れ止め部の内幅がヒータの幅の１．１倍よりも小さい構成では、ヒータが熱膨張したとき、ヒータが振れ止め部に押し付けられることにより、ヒータが破損することがある。また、振れ止め部の内幅がヒータの幅の２倍よりも大きい構成では、ヒータが左右方向に反るように変形したとき、ヒータの下端が振れ止め部から外れてしまうことがある。上記の構成によれば、ヒータが熱膨張したときに破損することを抑制することができるとともに、ヒータが左右方向に反るように変形したとき、ヒータの下端が振れ止め部から外れることを抑制することができる。

【0015】

本明細書に開示する技術の第７の態様では、上記の第１から第６の態様のいずれか１つにおいて、熱処理炉は、前記ヒータを覆う保護部材をさらに備えている。上記の構成によれば、被処理物の熱処理により発生する物質がヒータに触れることを抑制することができる。これにより、ヒータの寿命を長くすることができる。

【0016】

本明細書に開示する技術の第８の態様では、上記の第１から第７の態様のいずれか１つにおいて、熱処理炉は、前記搬送板と前記被処理物との間に配置されるスペーサをさらに備えている。被処理物が搬送板上に直接載置される構成では、搬送板と接触する被処理物の下面が加熱され難い。上記の構成によれば、搬送板上の被処理物の下面を加熱することができる。

【0017】

本明細書に開示する技術の第９の態様では、上記の第１から第８の態様のいずれか１つにおいて、前記前方向は、前記上下方向に直交している。前記炉体は、前記上下方向と前記前方向に直交する左右方向に互いに対向する左側壁と右側壁とを備えている。前記熱処理炉は、前記搬送板よりも下側で前記前方向に並んで配置されており、前記右側壁を貫通して前記炉体内を前記右側壁から前記左側壁に向かって延びる複数の第４ヒータと、前記搬送板よりも下側で前記前方向に並んで配置されており、前記左側壁を貫通して前記炉体内を前記左側壁から前記右側壁に向かって延びる複数の第５ヒータと、をさらに備えている。前記第４ヒータの先端と前記第５ヒータの先端は、前記左右方向に対向して離れている。前記左右方向において、前記第４ヒータの前記先端と前記第５ヒータの前記先端との間には、対向領域が画定されている。複数の前記対向領域の前記左右方向の位置は、最も前記搬入口側に位置する前記対向領域と最も前記搬出口側に位置する前記対向領域との間で変化する。複数の対向領域の左右方向の位置が最も搬入口側に位置する対向領域と最も搬出口側に位置する対向領域との間で一定である構成では、対向領域の直上の空間の左右方向における位置が常に一定となる。これにより、被処理物の加熱ムラが発生し易い。上記の構成では、対向領域の直上の空間の左右方向における位置が、最も搬入口側に位置する対向領域と最も搬出口側に位置する対向領域との間で変化する。これにより、被処理物の加熱ムラが発生することを抑制することができる。

【0018】

本明細書に開示する技術の第１０の態様では、上記の第９の態様において、前記第４ヒータは、前記左右方向に延びる発熱部と非発熱部を備えている。前記第５ヒータは、前記左右方向に延びる発熱部と非発熱部を備えている。前記前方向に隣接する前記第４ヒータでは、前記第４ヒータの前記非発熱部の前記左右方向における位置が異なる。前記前方向に隣接する前記第５ヒータでは、前記第５ヒータの前記非発熱部の前記左右方向における位置が異なる。前記前方向に隣接する前記第４ヒータと前記第５ヒータでは、前記第４ヒータの前記非発熱部は、前記第４ヒータの前記発熱部または前記第５ヒータの前記発熱部と前記前方向に対向して配置されており、前記第５ヒータの前記非発熱部は、前記第４ヒータの前記発熱部または前記第５ヒータの前記発熱部と前記前方向に対向して配置されている。上記の構成によれば、左右方向に並ぶ複数の被処理物内で左右方向の加熱ムラが発生することを抑制することができる。

【0019】

本明細書に開示する技術の第１１の態様では、上記の第９または第１０の態様において、前記前方向は、前記上下方向に直交している。前記左右方向において、前記左右方向に並んで配置される複数の前記搬送板の間に配置されており、前記搬送板を前記前方向に案内する複数のガイドレール部をさらに備えている。前記複数のガイドレール部のそれぞれは、前記前方向に延びている。前記複数のガイドレール部は、前記複数の第４ヒータと前記複数の第５ヒータよりも上側で前記左右方向に離れて配置されている。前記複数の対向領域のそれぞれは、前記ガイドレール部と前記上下方向に重なり合う位置に配置されている。上記の構成によれば、対向領域（第４ヒータの先端と第５ヒータの先端との間に画定される領域）の直上にガイドレール部が配置され、対向領域の直上には被処理物が配置されない。これにより、被処理物の加熱ムラが発生することを抑制することができる。

【0020】

本明細書に開示する技術の第１２の態様では、上記の第１１の態様において、前記前方向に隣り合う２個の前記対向領域の前記左右方向の位置は異なる。上記の構成によれば、被処理物の加熱ムラが発生することをより抑制することができる。

【0021】

本明細書に開示する技術の第１３の態様では、上記の第９から第１２の態様のいずれか１つにおいて、熱処理炉は、前記第４ヒータの前記先端と前記第５ヒータの前記先端を下側から支持する支持体をさらに備えている。上記の構成によれば、第４ヒータの先端の位置と第５ヒータの先端の位置が垂れ下がるように、第４ヒータと第５ヒータが変形することを抑制することができる。

【0022】

（第１実施例）
図１に示す第１実施例の熱処理炉１０は、被処理物２を熱処理する。被処理物２は、匣鉢４と被処理物本体（図示省略）とを含む。匣鉢４は、略直方体形状の箱形状を有する。被処理物本体は、匣鉢４に収容されている。被処理物本体は、例えば、セラミックコンデンサの原料、および、リチウムイオン電池の正極材と負極材である。以下では、熱処理炉１０の長手方向を前後方向と呼び、前後方向に直交する方向を左右方向と呼び、前後方向と左右方向に直交する方向を上下方向と呼ぶ。

【0023】

熱処理炉１０は、炉体１２と、炉床部１４と、搬送板１６と、複数のスペーサ１８と、プッシャ２０と、搬送ローラ２２と、複数の縦型ヒータ２４と、複数の上部ヒータ２６と、複数の下部ヒータ２８と、を備えている。

【0024】

炉体１２は、前後方向に延びる略直方体形状の断熱構造体である。炉体１２は、天井壁３０と、底壁３２と、炉入口壁３４と、炉出口壁３６と、右側壁３８と、左側壁４０と、を備えている。天井壁３０と、底壁３２と、炉入口壁３４と、炉出口壁３６と、右側壁３８と、左側壁４０は、炉体１２の内部空間４２を画定している。天井壁３０と底壁３２は、前後方向に延びている。天井壁３０は、底壁３２よりも上側に配置されている。炉入口壁３４は、天井壁３０の後端と底壁３２の後端に接続されている。炉入口壁３４は、炉入口壁３４を前後方向に貫通する搬入口３４ａを有する。内部空間４２は、搬入口３４ａを介して炉体１２の外部と連通している。炉出口壁３６は、天井壁３０の前端と底壁３２の前端に接続されている。炉出口壁３６は、炉出口壁３６を前後方向に貫通する搬出口３６ａを有する。内部空間４２は、搬出口３６ａを介して炉体１２の外部と連通している。搬出口３６ａは、搬入口３４ａと前後方向に対向している。図２に示すように、右側壁３８と左側壁４０は、左右方向に離れて配置されている。右側壁３８は、左側壁４０と左右方向に対向している。右側壁３８と左側壁４０は、天井壁３０と、底壁３２と、炉入口壁３４（図１参照）と、炉出口壁３６（図１参照）に接続されている。

【0025】

図１に示すように、炉体１２は、複数の隔壁４４をさらに備えている。複数の隔壁４４は、前後方向に並んでいる。複数の隔壁４４は、天井壁３０から下方向に延びている。複数の隔壁４４は、内部空間４２を複数の空間に分割している。

【0026】

内部空間４２は、熱処理空間４８と、冷却空間５０と、を備えている。熱処理空間４８は、天井壁３０と、底壁３２と、炉入口壁３４と、右側壁３８（図２参照）と、左側壁４０（図２参照）と、冷却空間５０との境界に配置される隔壁４４により画定されている。熱処理空間４８は、炉体１２の後部に配置されている。また、熱処理空間４８は、隔壁４４により複数の空間５２に分けられている。熱処理空間４８には、複数の縦型ヒータ２４と、複数の上部ヒータ２６と、複数の下部ヒータ２８が配置されている。複数の縦型ヒータ２４と、複数の上部ヒータ２６と、複数の下部ヒータ２８が発熱すると、熱処理空間４８が加熱される。これにより、熱処理空間４８内の被処理物２が加熱される。

【0027】

冷却空間５０は、炉体１２の前部に配置されている。冷却空間５０は、天井壁３０と、底壁３２と、炉出口壁３６と、右側壁３８と、左側壁４０と、熱処理空間４８との境界に配置される隔壁４４により画定されている。冷却空間５０は、隔壁４４により複数の空間に分けられている。冷却空間５０には、冷却パイプ（図示省略）が配置されている。水または空気が冷却パイプ内を通過することにより、冷却空間５０が冷却される。これにより、冷却空間５０内の被処理物２が冷却される。

【0028】

炉床部１４は、熱処理空間４８に配置されている。炉床部１４は、セラミックスならなる。炉床部１４は、複数の載置部５４と、複数のガイドレール部５６と、を備えている。

【0029】

載置部５４は、略直方体形状を有する。載置部５４は、前後方向に延びている。図２に示すように、複数の載置部５４は、左右方向に並んで配置されている。載置部５４の上面５４ａは、上下方向に直交するように、即ち、左右方向と前後方向に沿う平面上に位置するように配置されている。複数の載置部５４の上面５４ａは、同一平面上に位置している。

【0030】

ガイドレール部５６は、略直方体形状を有する。ガイドレール部５６は、前後方向に延びている。複数のガイドレール部５６は、左右方向に離れて配置されている。ガイドレール部５６の上面５６ａは、上下方向に直交するように、即ち、左右方向と前後方向に沿う平面上に位置するように配置されている。複数のガイドレール部５６の上面５６ａは、同一平面上に位置している。ガイドレール部５６の上面５６ａは、載置部５４の上面５４ａよりもわずかに上側に配置されている。ガイドレール部５６の側面は、左右方向に直交するように、即ち、前後方向と上下方向に沿う平面上に位置するように配置されている。

【0031】

搬送板１６は、平板形状を有する。搬送板１６は、セラミックスからなる。搬送板１６は、上面１６ａに複数の被処理物２を載置可能である。複数の（本実施例では６個の）被処理物２が上下方向に積み重ねられている。また、複数の被処理物２は、１個の搬送板１６上に左右方向に複数列に（本実施例では２列に）並んでいる。変形例では、複数の被処理物２は、１個の搬送板１６の上面１６ａに前後方向に複数列に並んでいてもよい。

【0032】

搬送板１６は、載置部５４の上面５４ａ上に配置されている。搬送板１６は、載置部５４により支持されている。複数の（本実施例では２個の）搬送板１６が、左右方向に隣接するガイドレール部５６の間に配置されている。また、ガイドレール部５６は、左右方向に並んで配置される２個の搬送板１６の間に配置されている。２個の搬送板１６の左右方向の幅の合計は、左右方向に隣接するガイドレール部５６の間隔よりも僅かに小さい。搬送板１６は、プッシャ２０（図１参照）に押圧されることにより、炉体１２の内部空間４２を前方向に移動する。搬送板１６が熱処理空間４８内を移動するときに、被処理物２は熱処理される。また、搬送板１６が冷却空間５０内を移動するときに、被処理物２は冷却される。搬送板１６は、ガイドレール部５６により前方向に案内されながら、載置部５４の上面５４ａ上を摺動する。

【0033】

図３に示すように、スペーサ１８は、略直方体形状を有する。複数の（本実施例では２個の）スペーサ１８が、搬送板１６と被処理物２との間に配置されている。スペーサ１８は、セラミックスからなる。スペーサ１８は、上下方向に積み重ねられている６個の被処理物２のうちの最も下側に位置する被処理物２の下面を搬送板１６から離反させる。これにより、最も下側に位置する被処理物２が、他の被処理物２よりも昇温または冷却が遅れることを抑制することができる。

【0034】

図１に示すように、プッシャ２０は、搬入口３４ａの近傍において、炉体１２の外部に配置されている。プッシャ２０は、搬送板１６を前方向に押圧するように構成されている。本実施例では、プッシャ２０は、左右方向に並ぶ６個の搬送板１６を同時に前方向に押圧する。これにより、６個の搬送板１６は、搬入口３４ａから内部空間４２内に移動し、内部空間４２内の複数の搬送板１６は、６個の搬送板１６の移動により前方向に押し出される。プッシャ２０による搬送板１６の押圧が繰り返されることにより、搬送板１６は、搬入口３４ａから内部空間４２に搬入され、熱処理空間４８と冷却空間５０を順番に通過した後、搬出口３６ａから炉体１２の外部に搬出される。変形例では、複数のプッシャ２０が、搬入口３４ａの近傍において、炉体１２の外部に配置されていてもよい。各プッシャ２０が押圧する搬送板１６の個数は、１個であってもよく複数個（例えば２個）であってもよい。なお、プッシャ２０の構成はよく知られているため、その詳細な構成の説明を省略する。

【0035】

複数の搬送ローラ２２は、冷却空間５０に配置されている。搬送ローラ２２は、例えば、金属材料またはセラミックスからなる。複数の搬送ローラ２２は、前後方向に間隔を空けて配置されている。搬送ローラ２２の両端は、回転可能に右側壁３８と左側壁４０に支持されている。複数の搬送ローラ２２は、プッシャ２０により搬送板１６が前方向に押圧されると、搬送板１６との間に作用する摩擦により回転する。搬送板１６は、冷却空間５０内で、複数の搬送ローラ２２の上を前方向に移動する。

【0036】

複数の縦型ヒータ２４は、熱処理空間４８に配置されている。図１および図２に示すように、複数の縦型ヒータ２４は、複数の第１縦型ヒータ６０と、複数の第２縦型ヒータ６２と、複数の第３縦型ヒータ６４と、を備えている。

【0037】

図１に示すように、第１縦型ヒータ６０は、上下方向に延びている。複数の第１縦型ヒータ６０は、前後方向に離れて配置されている。また、図２に示すように、複数の第１縦型ヒータ６０は、左右方向に離れて配置されている。本実施例では、２個の第１縦型ヒータ６０が、左右方向に沿って配置されている。第１縦型ヒータ６０は、左右方向に隣接する被処理物２の間に配置されている。第１縦型ヒータ６０の右側と左側の両側に、被処理物２が配置されている。また、２個の第１縦型ヒータ６０の間には、左右方向に並ぶ２列の被処理物２が配置されている。変形例では、２個の第１縦型ヒータ６０の間には、１列の被処理物２のみが配置されていてもよい。左右方向において、第１縦型ヒータ６０は、左右方向に隣接する２個の搬送板１６の間に配置されている。第１縦型ヒータ６０は、ガイドレール部５６の上側に配置されている。第１縦型ヒータ６０は、天井壁３０に上下方向に挿入されている。

【0038】

図４に示すように、ガイドレール部５６の上面５６ａには、振れ止め部６８が形成されている。振れ止め部６８は、上面５６ａから下方向に凹んでいる。振れ止め部６８は、上面５６ａを前後方向に延びている。第１縦型ヒータ６０の下端は、振れ止め部６８に受け入れられる。左右方向において、第１縦型ヒータ６０の幅Ｗ１は、振れ止め部６８の内幅Ｗ２よりも小さい。内幅Ｗ２は、例えば、幅Ｗ１の１．１倍以上、好ましくは幅Ｗ１の１．２倍以上、より好ましくは１．３倍以上である。また、Ｗ１は、例えば、内幅Ｗ２の２．０倍以下、好ましくは１．９倍以下、より好ましくは１．８倍以下である。これらの構成により、第１縦型ヒータ６０が熱膨張したときに、第１縦型ヒータ６０が振れ止め部６８内でガイドレール部５６に押し付けられることを抑制することができるとともに、第１縦型ヒータ６０が左右方向に反るように変形したときに振れ止め部６８から外れることを抑制することができる。内幅Ｗ２は、例えば、幅Ｗ１の１．１倍以上かつ２．０倍以下であり、好ましくは幅Ｗ１の１．２倍以上かつ１．９倍以下であり、より好ましくは幅Ｗ１の１．３倍以上かつ１．８倍以下である。

【0039】

熱処理炉１０は、保護部材７０をさらに備えており、第１縦型ヒータ６０の外面は、保護部材７０により覆われている。保護部材７０は、第１縦型ヒータ６０の外面にコーティングされている。保護部材７０は、例えば、アルミナまたはムライトからなる。保護部材７０は、熱処理により被処理物２から発生する物質が第１縦型ヒータ６０に触れることを抑制する。これにより、第１縦型ヒータ６０が劣化することを抑制することができるため、第１縦型ヒータ６０の寿命を長くすることができる。左右方向において、保護部材７０の幅は、第１縦型ヒータ６０の幅Ｗ１と略同一である。なお、図４では、保護部材７０の厚みが誇張して図示されている。変形例では、保護部材７０は、第１縦型ヒータ６０の外面から離れた状態で第１縦型ヒータ６０の外面を覆う保護管であってもよい。この構成では、保護部材７０の幅が幅Ｗ１と略同一であり、第１縦型ヒータ６０の幅が幅Ｗ１よりも小さい。

【0040】

図５に示すように、第１縦型ヒータ６０は、第１発熱部６０ａと、第１非発熱部６０ｂと、を備えている。図５では、第１発熱部６０ａがドットハッチで図示されており、第１非発熱部６０ｂが白色で図示されている。第１縦型ヒータ６０に電力が供給されるとき、第１発熱部６０ａが発熱する。第１非発熱部６０ｂの単位長さ当たりの抵抗値は、第１発熱部６０ａの単位長さ当たりの抵抗値よりもはるかに小さく、ゼロよりも僅かに大きい。このため、第１非発熱部６０ｂの単位長さ当たりの発熱量は、第１発熱部６０ａの単位長さ当たりの発熱量よりもはるかに小さい。よって、第１縦型ヒータ６０は、第１発熱部６０ａで発熱するように構成されている。

【0041】

第１発熱部６０ａと第１非発熱部６０ｂは、上下方向に延びている。第１縦型ヒータ６０において、第１発熱部６０ａは、第１縦型ヒータ６０の下端から所定位置まで上方向に延びており、第１非発熱部６０ｂは、第１縦型ヒータ６０の所定位置から上端まで上方向に延びている。第１非発熱部６０ｂは、第１発熱部６０ａの上側に配置されている。

【0042】

第１発熱部６０ａの上下方向の長さは、最も搬入口３４ａ側に位置する第１縦型ヒータ６０から最も搬出口３６ａに位置する第１縦型ヒータ６０に向かって長くなる。このため、第１発熱部６０ａの上端の位置（第１発熱部６０ａの上下方向における中心位置）は、最も搬入口３４ａ側に位置する第１縦型ヒータ６０から最も搬出口３６ａに位置する第１縦型ヒータ６０に向かって高くなる。また、同一の空間５２に配置される複数の第１縦型ヒータ６０では、第１発熱部６０ａの上下方向の長さは略同一である。熱処理空間４８の温度は、搬入口３４ａから前方向に向かうにつれて増加し、その後一定となる。以下では、熱処理空間４８の内、熱処理空間４８の温度が増加する空間を昇温空間７２と呼び、熱処理空間４８の温度が一定である空間を保持空間７４と呼ぶ。本実施例では、前後方向において、９個の第１縦型ヒータ６０が昇温空間７２に配置されており、他の第１縦型ヒータ６０が保持空間７４に配置されている。

【0043】

図２に示すように、第２縦型ヒータ６２は、上下方向に延びている。複数の第２縦型ヒータ６２は、前後方向に離れて配置されている。複数の第２縦型ヒータ６２の個数は、前後方向に並ぶ複数の第１縦型ヒータ６０の個数と同一である。左右方向において、第２縦型ヒータ６２は、右側壁３８と、右側壁３８に隣接する搬送板１６の右端と、の間に配置されている。第２縦型ヒータ６２の左側にのみ、被処理物２が配置されている。また、第２縦型ヒータ６２は、２個の第１縦型ヒータ６０と左右方向に一列に並んでいる。第２縦型ヒータ６２と第１縦型ヒータ６０との間には、左右方向に並ぶ２列の被処理物２が配置されている。変形例では、第２縦型ヒータ６２と第１縦型ヒータ６０との間には、１列の被処理物２のみが配置されていてもよい。第２縦型ヒータ６２は、ガイドレール部５６の上側に配置されている。第２縦型ヒータ６２は、天井壁３０に上下方向に挿入されている。

【0044】

図４に示すように、第２縦型ヒータ６２の下端は、振れ止め部６８に受け入れられる。第２縦型ヒータ６２の左右方向の幅Ｗ３は、第１縦型ヒータ６０の左右方向の幅Ｗ１と略同一である。また、第２縦型ヒータ６２の外面は、保護部材７０により覆われている。

【0045】

図５に示すように、第２縦型ヒータ６２は、第２発熱部６２ａと、第２非発熱部６２ｂと、を備えている。第２縦型ヒータ６２に電力が供給されるとき、第２発熱部６２ａが発熱する。第２非発熱部６２ｂの単位長さ当たりの抵抗値は、第２発熱部６２ａの単位長さ当たりの抵抗値よりもはるかに小さく、ゼロよりも僅かに大きい。このため、第２非発熱部６２ｂの単位長さ当たりの発熱量は、第２発熱部６２ａの単位長さ当たりの発熱量よりもはるかに小さい。よって、第２縦型ヒータ６２は、第２発熱部６２ａで発熱するように構成されている。

【0046】

左右方向に並ぶ第１縦型ヒータ６０と第２縦型ヒータ６２では、第２発熱部６２ａの上下方向の長さは、第１発熱部６０ａの上下方向の長さと略同一であり、第２発熱部６２ａの下端と上端の位置のそれぞれは、第１発熱部６０ａの下端と上端の位置のそれぞれと略同一である。また、第１発熱部６０ａの単位長さ当たりの抵抗値は、第２発熱部６２ａの単位長さ当たりの抵抗値よりも大きい。このため、第１発熱部６０ａの単位長さ当たりの発熱量は、第２発熱部６２ａの単位長さ当たりの発熱量よりも大きい。第１発熱部６０ａの上下方向の長さが第２発熱部６２ａの上下方向の長さと略同一であることから、第１縦型ヒータ６０の発熱量は、第２縦型ヒータ６２の発熱量よりも大きい。例えば、第１縦型ヒータ６０の発熱量は、第２縦型ヒータ６２の発熱量の１．３倍以上であり、好ましくは１．５倍以上であり、より好ましくは１．７倍以上である。また、例えば、第１縦型ヒータ６０の発熱量は、第２縦型ヒータ６２の発熱量の２．７倍以下であり、好ましくは２．５倍以下であり、より好ましくは２．１倍以下である。これらの構成により、左右方向に並ぶ複数の被処理物２内で左右方向の加熱ムラが発生することを抑制することができる。第１縦型ヒータ６０の発熱量は、例えば、第２縦型ヒータ６２の１．３倍以上かつ２．７倍以下であり、好ましくは１．５倍以上かつ２．５倍以下であり、より好ましくは１．７倍以上かつ２．１倍以下である。

【0047】

図２に示すように、第３縦型ヒータ６４は、上下方向に延びている。複数の第３縦型ヒータ６４は、前後方向に離れて配置されている。複数の第３縦型ヒータ６４の個数は、複数の第２縦型ヒータ６２の個数と同一である。左右方向において、第３縦型ヒータ６４は、左側壁４０と、左側壁４０に隣接する搬送板１６の左端との間に配置されている。また、第３縦型ヒータ６４は、２個の第１縦型ヒータ６０と左右方向に一列に並んでいる。２個の第１縦型ヒータ６０と、第２縦型ヒータ６２と、第３縦型ヒータ６４は、左右方向に一列に並んでいる。第３縦型ヒータ６４と第１縦型ヒータ６０との間には、左右方向に並ぶ２列の被処理物２が配置されている。変形例では、第３縦型ヒータ６４と第１縦型ヒータ６０との間には、１列の被処理物２のみが配置されていてもよい。第３縦型ヒータ６４は、ガイドレール部５６の上側に配置されている。第３縦型ヒータ６４は、炉体１２の天井壁３０に上下方向に挿入されている。

【0048】

図４に示すように、第３縦型ヒータ６４の下端は、振れ止め部６８に受け入れられる。第３縦型ヒータ６４の左右方向の幅Ｗ４は、第１縦型ヒータ６０の左右方向の幅Ｗ１と略同一である。また、第３縦型ヒータ６４の外面は、保護部材７０により覆われている。

【0049】

図５に示すように、第３縦型ヒータ６４は、第３発熱部６４ａと、第３非発熱部６４ｂと、を備えている。第３縦型ヒータ６４に電力が供給されるとき、第３発熱部６４ａが発熱する。第３非発熱部６４ｂの単位長さ当たりの抵抗値は、第３発熱部６４ａの単位長さ当たりの抵抗値よりもはるかに小さく、ゼロよりも僅かに大きい。このため、第３非発熱部６４ｂの単位長さ当たりの発熱量は、第３発熱部６４ａの単位長さ当たりの発熱量よりもはるかに小さい。よって、第３縦型ヒータ６４は、第３発熱部６４ａで発熱するように構成されている。

【0050】

左右方向に並ぶ第１縦型ヒータ６０と第３縦型ヒータ６４では、第３発熱部６４ａの上下方向の長さは、第１発熱部６０ａの上下方向の長さと略同一であり、第３発熱部６４ａの下端と上端の位置のそれぞれは、第１発熱部６０ａの下端と上端の位置のそれぞれと略同一である。また、第３発熱部６４ａの単位長さ当たりの抵抗値は、第２発熱部６２ａの単位長さ当たりの抵抗値と略同一である。このため、第３発熱部６４ａの単位長さ当たりの発熱量は、第２発熱部６２ａの単位長さ当たりの発熱量と略同一である。第３発熱部６４ａの上下方向の長さが第２発熱部６２ａの上下方向の長さと略同一であることから、第３縦型ヒータ６４の発熱量は、第２縦型ヒータ６２の発熱量と略同一である。また、第１発熱部６０ａの単位長さ当たりの発熱量は、第３発熱部６４ａの単位長さ当たりの発熱量よりも大きい。第１発熱部６０ａの上下方向の長さが第３発熱部６４ａの上下方向の長さと略同一であることから、第１縦型ヒータ６０の発熱量は、第３縦型ヒータ６４の発熱量よりも大きい。例えば、第１縦型ヒータ６０の発熱量は、第３縦型ヒータ６４の発熱量の１．３倍以上であり、好ましくは１．５倍以上であり、より好ましくは１．７倍以上である。また、例えば、第１縦型ヒータ６０の発熱量は、第３縦型ヒータ６４の発熱量の２．７倍以下であり、好ましくは２．５倍以下であり、より好ましくは２．１倍以下である。これらの構成により、左右方向に並ぶ複数の被処理物２内で左右方向の加熱ムラが発生することを抑制することができる。第１縦型ヒータ６０の発熱量は、例えば、第３縦型ヒータ６４の１．３倍以上かつ２．７倍以下であり、好ましくは１．５倍以上かつ２．５倍以下であり、より好ましくは１．７倍以上かつ２．１倍以下である。

【0051】

図２に示すように、複数の上部ヒータ２６は、熱処理空間４８に配置されている。上部ヒータ２６は、左右方向に延びている。上部ヒータ２６は、天井壁３０に左右方向に挿入されている。図５に示すように、複数の上部ヒータ２６は、前後方向に間隔を空けて配置されている。上部ヒータ２６は、上下方向に積み重ねられた複数の被処理物２のうちの最も上側に位置する被処理物２よりも上側に配置されている。上部ヒータ２６は、発熱することにより、被処理物２を上側から熱処理する。

【0052】

図２に示すように、複数の下部ヒータ２８は、熱処理空間４８に配置されている。複数の下部ヒータ２８は、搬送板１６とガイドレール部５６よりも下側に配置されている。図６に示すように、複数の下部ヒータ２８は、前後方向に間隔を空けて配置されている。下部ヒータ２８は、左右方向に延びている。複数の下部ヒータ２８は、複数の第１下部ヒータ７８と、複数の第２下部ヒータ８０と、を備えている。

【0053】

第１下部ヒータ７８は、略Ｕ字形状を有する。複数の第１下部ヒータ７８は、前後方向に並んで配置されている。第１下部ヒータ７８は、右側壁３８に左右方向に挿入されている。第１下部ヒータ７８は、熱処理空間４８内を右側壁３８から左側壁４０に向かって左方向に延びている。第１下部ヒータ７８は、１個以上の第１下部発熱部７８ａと、１個以上の第１下部非発熱部７８ｂと、を備えている。なお、図６では、第１下部発熱部７８ａがドットハッチで図示されており、第１下部非発熱部７８ｂが白色で図示されている。本実施例では、１個の第１下部ヒータ７８での第１下部発熱部７８ａの個数と第１下部非発熱部７８ｂの個数の合計は、５個または７個である。

【0054】

第１下部ヒータ７８に電力が供給されるとき、第１下部発熱部７８ａが発熱する。また、第１下部非発熱部７８bｂの単位長さ当たりの抵抗値は、第１下部発熱部７８ａの単位長さ当たりの抵抗値よりもはるかに小さく、ゼロよりも僅かに大きい。このため、第１下部非発熱部７８ｂの単位長さ当たりの発熱量は、第１下部発熱部７８ａの単位長さ当たりの発熱量よりもはるかに小さい。よって、第１下部ヒータ７８は、第１下部発熱部７８ａで発熱するように構成されている。

【0055】

１個の第１下部ヒータ７８では、第１下部発熱部７８ａと第１下部非発熱部７８ｂは、第１下部ヒータ７８の長手方向に交互に並んでいる。前後方向に隣接する第１下部ヒータ７８では、第１下部発熱部７８ａと第１下部非発熱部７８ｂは、前後方向に対向して配置されている。前後方向に隣接する２個の第１下部ヒータ７８では、第１下部発熱部７８ａの左右方向の位置が異なり、第１下部非発熱部７８ｂの左右方向の位置が異なる。

【0056】

第２下部ヒータ８０は、略Ｕ字形状を有する。複数の第２下部ヒータ８０は、前後方向に並んで配置されている。第２下部ヒータ８０は、左側壁４０に左右方向に挿入されている。第２下部ヒータ８０は、熱処理空間４８内を左側壁４０から右側壁３８に向かって右方向に延びている。第２下部ヒータ８０は、第１下部ヒータ７８と左右方向に並んで配置されている。第２下部ヒータ８０の右端（自由端）は、第１下部ヒータ７８の左端（自由端）と左右方向に対向して離れている。これにより、第２下部ヒータ８０の右端と第１下部ヒータ７８の左端との間には、対向領域８４が画定されている。対向領域８４の左右方向の幅は、全ての対向領域８４で略同一である。前後方向に隣り合う２個の対向領域８４の左右方向に位置は、異なる。

【0057】

第２下部ヒータ８０は、１個以上の第２下部発熱部８０ａと、１個以上の第２下部非発熱部８０ｂと、を備えている。本実施例では、１個の第２下部ヒータ８０での第２下部発熱部８０ａの個数と第２下部非発熱部８０ｂの個数の合計は、５個または７個である。第２下部発熱部８０ａの個数と第２下部非発熱部８０ｂの個数の合計が５個である第２下部ヒータ８０は、第１下部発熱部７８ａの個数と第１下部非発熱部７８ｂの個数の合計が７個である第１下部ヒータ７８と左右方向に並んでいる。また、第２下部発熱部８０ａの個数と第２下部非発熱部８０ｂの個数の合計が７個である第２下部ヒータ８０は、第１下部発熱部７８ａの個数と第１下部非発熱部７８ｂの個数の合計が５個である第１下部ヒータ７８と左右方向に並んでいる。

【0058】

第２下部ヒータ８０に電力が供給されるとき、第２下部発熱部８０ａが発熱する。第２下部非発熱部８０ｂの単位長さ当たりの抵抗値は、第２下部発熱部８０ａの単位長さ当たりの抵抗値よりもはるかに小さく、ゼロよりも僅かに大きい。このため、第２下部非発熱部８０ｂの単位長さ当たりの発熱量は、第２下部発熱部８０ａの単位長さ当たりの発熱量よりもはるかに小さい。よって、第２下部ヒータ８０は、第２下部発熱部８０ａで発熱するように構成されている。また、第２下部発熱部８０ａの単位長さ当たりの抵抗値は、第１下部発熱部７８ａの単位長さ当たりの抵抗値と略同一である。このため、第２下部発熱部８０ａの単位長さ当たりの発熱量は、第１下部発熱部７８ａの単位長さ当たりの発熱量と略同一である。

【0059】

１個の第２下部ヒータ８０では、第２下部発熱部８０ａと第２下部非発熱部８０ｂは、第２下部ヒータ８０の長手方向に交互に並んでいる。前後方向に隣接する第２下部ヒータ８０では、第２下部発熱部８０ａと第２下部非発熱部８０ｂは、前後方向に対向して配置されている。前後方向に隣接する２個の第２下部ヒータ８０では、第２下部発熱部８０ａの左右方向の位置が異なり、第２下部非発熱部８０ｂの左右方向の位置が異なる。

【0060】

複数の対向領域８４の左右方向の位置は、最も搬入口３４ａ側の対向領域８４と最も搬出口３６ａ側の対向領域との間で変化する。搬入口３４ａから前方向に奇数番目に位置する対向領域８４の左右方向の位置は、第１位置にあり、搬入口３４ａから前方向に偶数番目に位置する対向領域８４の左右方向の位置は、第１位置とは異なる第２位置にある。即ち、左右方向の位置が第１位置にある対向領域８４と左右方向の位置が第２位置にある対向領域８４は、最も搬入口３４ａ側の対向領域８４から最も搬出口３６ａ側の対向領域８４に向かって前方向に交互に並んでいる。

【0061】

前後方向に隣接する２個の下部ヒータ２８（即ち第１下部ヒータ７８と第２下部ヒータ８０）では、第１下部ヒータ７８の第１下部発熱部７８ａの全体は、他の第１下部ヒータ７８の第１下部非発熱部７８ｂ、第２下部ヒータ８０の第２下部非発熱部８０ｂ、または対向領域８４と前後方向に対向して配置されている。また、第２下部ヒータ８０の第２下部発熱部８０ａの全体は、他の第２下部ヒータ８０の第２下部非発熱部８０ｂ、第１下部ヒータ７８の第１下部非発熱部７８ｂ、または対向領域８４と前後方向に対向して配置されている。このため、前後方向に隣接する２個の下部ヒータ２８では、第１下部発熱部７８ａは、第２下部発熱部８０ａと前後方向に対向して配置されていない。これにより、最も搬入口３４ａ側の下部ヒータ２８と最も搬出口３６ａ側の下部ヒータ２８との間で、下部ヒータ２８による左右方向の加熱ムラが発生することを抑制することができる。

【0062】

前後方向に隣接する２個の下部ヒータ２８では、第１下部ヒータ７８の第１下部非発熱部７８ｂの全体は、他の第１下部ヒータ７８の第１下部発熱部７８ａまたは第２下部ヒータ８０の第２下部発熱部８０ａと前後方向に対向して配置されている。また、第２下部ヒータ８０の第２下部非発熱部８０ｂの全体は、他の第２下部ヒータ８０の第２下部発熱部８０ａまたは第１下部ヒータ７８の第１下部発熱部７８ａと前後方向に対向して配置されている。さらに、対向領域８４の全体は、第１下部発熱部７８ａまたは第２下部発熱部８０ａと前後方向に対向して配置されている。このため、前後方向に隣接する２個の下部ヒータ２８では、第１下部非発熱部７８ｂは、第２下部非発熱部８０ｂと対向領域８４のそれぞれと前後方向に対向して配置されておらず、第２下部非発熱部８０ｂは、対向領域８４と前後方向に対向して配置されていない。これにより、最も搬入口３４ａ側の下部ヒータ２８と最も搬出口３６ａ側の下部ヒータ２８との間で、下部ヒータ２８による左右方向の加熱ムラが発生することを抑制することができる。

【0063】

図７に示すように、熱処理炉１０は、支持体８６をさらに備えている。支持体８６は、熱処理空間４８に配置されている。支持体８６は、底壁３２に支持されている。支持体８６は、第１下部ヒータ７８と、第２下部ヒータ８０と、対向領域８４よりも下側に配置されている。支持体８６は、第１下部ヒータ７８の左端と第２下部ヒータ８０の右端に下側から当接している。支持体８６は、第１下部ヒータ７８の左端と第２下部ヒータ８０の右端を下側から支持している。これにより、第１下部ヒータ７８の左端の位置と第２下部ヒータ８０の右端の位置が垂れ下がるように、第１下部ヒータ７８と第２下部ヒータ８０が変形することを抑制することができる。

【0064】

上記の実施例では、第１縦型ヒータ６０の第１発熱部６０ａの上下方向の位置は、最も搬入口３４ａ側に位置する第１縦型ヒータ６０から最も搬出口３６ａ側に位置する第１縦型ヒータ６０に向かって変化している。上記の構成によれば、複数の第１縦型ヒータ６０の第１発熱部６０ａの上下方向における位置が炉体１２の内部で変化する。これにより、上下方向に積み重ねられた複数の被処理物２の特定の被処理物２が加熱され過ぎることを抑制することができる。このため、上下方向に積み重ねられた複数の被処理物２で上下方向の加熱ムラが発生することを抑制することができる。

【0065】

（対応関係）
第１縦型ヒータ６０が「第１ヒータ」の一例である。第２縦型ヒータ６２が「第２ヒータ」の一例である。第３縦型ヒータ６４が「第３ヒータ」の一例である。第１下部ヒータ７８が「第４ヒータ」の一例である。第２下部ヒータ８０が「第５ヒータ」の一例である。第１下部ヒータ７８の左端が「第４ヒータの先端」の一例である。第２下部ヒータ８０の右端が「第５ヒータの先端」の一例である。

【0066】

（第２実施例）
第２実施例では、第１実施例と異なる点のみを説明する。図８に示すように、同一の空間５２に配置される複数の第１縦型ヒータ６０では、第１発熱部６０ａの上下方向の長さは、搬入口３４ａから前方向に向かうにつれて増加する。同一の空間５２に配置される複数の第２縦型ヒータ６２では、第２発熱部６２ａの上下方向の長さは、搬入口３４ａから前方向に向かうにつれて増加する。同一の空間５２に配置される複数の第３縦型ヒータ６４では、第３発熱部６４ａの上下方向の長さは、搬入口３４ａから前方向に向かうにつれて増加する。

【0067】

（第３実施例）
第３実施例では、第１実施例と異なる点のみを説明する。図９に示すように、複数の第１縦型ヒータ６０では、全ての第１発熱部６０ａの上下方向の長さが略同一である。前方向に並ぶ複数の隔壁４４により分けられた同一の空間５２に配置される複数の第１縦型ヒータ６０では、第１縦型ヒータ６０内における第１発熱部６０ａの上下方向の位置は、略同一である。複数の空間５２において、第１縦型ヒータ６０内における第１発熱部６０ａの上下方向の位置は、最も搬入口３４ａ側の空間５２から最も搬出口３６ａ側の空間５２に向かうにつれて、上側に移動する。

【0068】

第２縦型ヒータ６２内における第２発熱部６２ａの上下方向の構成は、第１縦型ヒータ６０内における第１発熱部６０ａの上下方向の構成と略同一である。また、第３縦型ヒータ６４内における第３発熱部６４ａの上下方向の構成は、第１縦型ヒータ６０内における第１発熱部６０ａの上下方向の構成と略同一である。このため、第２発熱部６２ａと第３発熱部６４ａについての詳細な説明を省略する。

【0069】

（第４実施例）
第４実施例では、第３実施例と異なる点のみを説明する。図１０に示すように、複数の空間５２において、第１縦型ヒータ６０内における第１発熱部６０ａの上下方向の位置は、最も搬入口３４ａ側の空間５２から最も搬出口３６ａ側の空間５２に向かうにつれて、下側に移動する。また、複数の空間５２において、第２縦型ヒータ６２内における第２発熱部６２ａの上下方向の位置は、最も搬入口３４ａ側の空間５２から最も搬出口３６ａ側の空間５２に向かうにつれて、下側に移動する。さらに、複数の空間５２において、第３縦型ヒータ６４内における第３発熱部６４ａの上下方向の位置は、最も搬入口３４ａ側の空間５２から最も搬出口３６ａ側の空間５２に向かうにつれて、下側に移動する。

【0070】

（第５実施例）
第５実施例では、第１実施例と異なる点のみを説明する。図１１に示すように、対向領域８４は、ガイドレール部５６の直下に配置されている。このため、対向領域８４は、ガイドレール部５６と上下方向に重なり合っている。搬入口３４ａから前方向に奇数番目に位置する対向領域８４は、あるガイドレール部５６と上下方向に重なり合っており、搬入口３４ａから前方向に偶数番目に位置する対向領域８４は、別のガイドレール部５６と上下方向に重なり合っている。前後方向に隣り合う２個の対向領域８４では、一方の対向領域８４と上下方向に重なり合うガイドレール部５６は、他方の対向領域８４と上下方向に重なり合うガイドレール部５６と異なる。

【0071】

（第６実施例）
第６実施例では、第１実施例と異なる点のみを説明する。図１２に示すように、第１下部ヒータ７８と第２下部ヒータ８０は、スパイラル形状を有する。第１下部ヒータ７８の第１下部発熱部７８ａは、螺旋状に延びている。第１下部発熱部７８ａは、左右方向に延びている。第１下部ヒータ７８に電力が供給されるとき、第１下部発熱部７８ａが発熱する。第１下部ヒータ７８の第１下部非発熱部７８ｂは、左右方向に真っ直ぐに延びている。第２下部ヒータ８０の構成は、第１下部ヒータ７８の構成と略同一であるため、第２下部ヒータ８０の詳細な説明を省略する。

【0072】

（変形例）
一実施形態では、下部ヒータ２８は、右側壁３８から左側壁４０まで延びる１本のヒータであってもよい。このとき、下部ヒータ２８は、右側壁３８と左側壁４０の両方に挿入されている。

【0073】

第５実施例では、第１下部ヒータ７８は、第１下部発熱部７８ａのみを備えていてもよく、第２下部ヒータ８０は、第２下部発熱部８０ａのみを備えていてもよい。

【0074】

以上、本明細書に開示の技術の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。

【符号の説明】

【0075】

２ ：被処理物
１０ ：熱処理炉
１２ ：炉体
１４ ：炉床部
１６ ：搬送板
１８ ：スペーサ
２０ ：プッシャ
２４ ：縦型ヒータ
２８ ：下部ヒータ
３０ ：天井壁
３４ａ ：搬入口
３６ａ ：搬出口
３８ ：右側壁
４０ ：左側壁
４２ ：内部空間
４８ ：熱処理空間
５２ ：空間
５６ ：ガイドレール部
５６ａ ：上面
６０ ：第１縦型ヒータ
６０ａ ：第１発熱部
６０ｂ ：第１非発熱部
６２ ：第２縦型ヒータ
６２ａ ：第２発熱部
６２ｂ ：第２非発熱部
６４ ：第３縦型ヒータ
６４ａ ：第３発熱部
６４ｂ ：第３非発熱部
６８ ：振れ止め部
７０ ：保護部材
７２ ：昇温空間
７４ ：保持空間
７８ ：第１下部ヒータ
７８ａ ：第１下部発熱部
７８ｂ ：第１下部非発熱部
８０ ：第２下部ヒータ
８０ａ ：第２下部発熱部
８０ｂ ：第２下部非発熱部
８４ ：対向領域
８６ ：支持体
Ｗ１、Ｗ３、Ｗ４：幅
Ｗ２ ：内幅

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】