特開 2024-157746 拡張装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024157746

(43)【公開日】2024-11-08

(54)【発明の名称】拡張装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20241031BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20241031BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

H01L21/78 W

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023072288

(22)【出願日】2023-04-26

【新規性喪失の例外の表示】特許法第３０条第２項適用申請有り 掲載アドレス ｈｔｔｐｓ：／／ｈｕｇｌｅ．ｃｏ．ｊｐ／ｐｒｏｄｕｃｔｓ／ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ－ａｓｓｅｍｂｌｉｎｇ／ｐｒｏ－ｗａｆｅｒ－ｅｎ／ｈｓ－１８４０ａｃ．ｈｔｍｌ （掲載日 令和４年９月１日） 株式会社ウノン技研に、ウェハ拡張装置（ＨＳ－１８４０－ＡＣ）を納品した。 （納品日 令和５年３月３日）

(71)【出願人】

【識別番号】511254284

【氏名又は名称】ヒューグル開発株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100092598

【弁理士】

【氏名又は名称】松井 伸一

(72)【発明者】

【氏名】西川 泰久

【テーマコード（参考）】

5F063

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F063AA01

5F063AA31

5F063AA41

5F063DD69

5F063DD72

5F063DD73

5F063DD75

5F063DD85

5F131AA02

5F131AA04

5F131CA52

5F131EC44

5F131EC62

5F131EC68

(57)【要約】

【課題】 簡単な構成でフィルムを安全にカットする拡張装置を提供する。
【構成】 ダイシングテープを押し上げて拡張する昇降ステージ１６は、周壁部４１の上方を覆う上板部４２を有し、上板部と周壁部の間に所定の隙間４５を形成する。内蔵する内歯車部材６４の対角にカッター５９を備える第１カッターホルダー６１と第２カッターホルダー６２を取り付け、周壁部の内周面の所定位置に第１カッターホルダーを内方に付勢する第１突起物７２と、第２カッターホルダーを内方に付勢する第２突起物７４を設ける。各カッターホルダーはコイルスプリング７０，７３により外に向けて付勢され、対応する突起物が存在ない区間では周壁部の内周面に接触してカッターの刃部６０が外部に突出し、円周方向に回転してダイシングテープをカットする。各カッターホルダーが対応する突起物に対向するとカッターは昇降ステージに収納され、その状態で昇降する。
【選択図】 図８

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ダイシング済みのウェハが貼着されたフィルムを押し上げて拡張し、前記ウェハを複数のチップに分割させる、昇降可能な昇降ステージと、
前記昇降ステージの上端側に着脱可能に装着し得るインナーリングと、
前記昇降ステージの上昇により所定位置に到達した前記インナーリングの外周に、前記フィルムを間にして嵌合するアウターリングを備え、
前記昇降ステージは、上方が開口した円筒状の本体と、その本体の上方に所定距離を離して配置される上板部を備え、
前記本体の上端縁と前記上板部との間に形成される隙間から、カッターの少なくとも刃部を外部に突出した状態で前記カッターを水平面内で前記本体の側面に沿って円周方向に回転移動させるカッター機構を備え、
少なくとも前記フィルムをカットしない区域では前記カッターを前記本体内に収納可能に構成する拡張装置。

【請求項2】

前記カッターは、２個有し、
その２個の前記カッターは、前記回転移動する円の径方向反対側に配置される請求項１に記載の拡張装置。

【請求項3】

前記本体の内周面の径方向反対側に第１突起部と第２突起部を設け、
前記第１突起部と前記第２突起部は高さを異ならせて配置し、
前記第１突起部と前記第２突起部のない区間を移動する際には前記カッターの前記刃部が前記本体の外部に突出し、
一方の前記カッターを備えるカッターユニットは、前記第１突起部には接触して前記カッターが前記本体内に収納され、前記第２突起部には非接触で外部に突出するように構成し、
他方の前記カッターを備えるカッターユニットは、前記第２突起部には接触して前記カッターが前記本体内に収納され、前記第１突起部には非接触で外部に突出するように構成する請求項２に記載の拡張装置。

【請求項4】

前記本体内で自転可能に構成する内歯車部材と、
前記内歯車部材を回転させる駆動機構と、
前記内歯車部材の上面に、径方向に沿って移動可能に取り付けるカッターホルダーと、を備え、
前記内歯車部材の回転に伴い、前記カッターホルダーが回転し、前記カッターが前記回転移動して前記フィルムをカットし得るようにした請求項１に記載の拡張装置。

【請求項5】

前記カッターホルダーは、前記内歯車部材に対し、径方向に沿って前後進移動可能に取り付け、
前記内歯車部材は、前記カッターホルダーを前方に向けて付勢する弾性体を備え、
前記カッターホルダーは、前記本体の内周面に設けた突起部に接触すると前記弾性体を弾性変形させながら後退移動して前記カッターが前記本体内に収納され、前記突起部のない区間を移動する際には前記弾性体の弾性復元力により前方に付勢されて前記カッターの前記刃部が前記本体の外部に突出し得るように構成する請求項４に記載の拡張装置。

【請求項6】

下降位置にある前記昇降ステージの上方所定位置にカッター保護リングを配置し、
前記昇降ステージが上昇して前記フィルムを拡張した位置に到った際に、前記隙間の外側に前記カッター保護リングが位置し、前記カッター保護リングにより前記カッターの前記刃部を隠し得るように構成する請求項１から５のいずれか１項に記載の拡張装置。

【請求項7】

前記カッター保護リングの上側に、前記アウターリングを保持するリングホルダーを配置し、
前記インナーリングを備えた前記昇降ステージが上昇し、前記インナーリングが前記リングホルダーで保持される前記アウターリングに入り込み、前記インナーリングと前記アウターリングとで前記フィルムを挟み込むとともに、前記隙間が前記リングホルダーに対向するように構成する請求項６に記載の拡張装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ダイシング済みのウェハが貼着されたフィルムを拡張することでウェハを複数のチップに分割させる拡張装置に関する。

【背景技術】

【0002】

成膜工程を経て所定の電気回路が形成された半導体ウェハは、ダイシング工程において個々のチップにカットされた後、チップ間同士の干渉による破損を防止するとともにピックアップを円滑に行うため、ウェハを載置するダイシングテープをＸ－Ｙ方向（平面方向）に均一に拡張し（エキスパンド）、所定間隔を設けて各チップに分割される。

【0003】

このフィルム拡張は、例えば、環状枠体であるダイシングフレームにより外周部位が固定された粘着性及びエキスパンド性を有するダイシングテープ上にダイシング済みのウェハを貼り付けたものを用意し、そのダイシングフレームを昇降ステージの上に固定するとともに、昇降ステージを上昇させることで行う。ダイシングフレームを所定位置に固定した状態では、ダイシングフレームと昇降ステージの上面の高さ位置はほぼ同じにし、ダイシングテープに貼り付けられたウェハが、昇降ステージの上面に対向するように構成する。これにより、昇降ステージが上昇すると、昇降ステージの上面がダイシングテープの接触部位を持ち上げ、外周部位がダイシングフレームで固定されているダイシングテープは、引き延ばされて拡張され、それに伴い、ダイシングテープに貼り付けられている個々のチップの間隔も拡大する。

【0004】

このフィルム拡張にともない、昇降ステージの上面に非接触のフィルム部位は、その上面の外周囲から下方のダイシングフレームに向けてスカート状に伸び、不要な部分となるため、拡張後の適宜のタイミングでカットする。この不要なダイシングテープをカットするカット機能を備えた拡張装置としは、例えば特許文献１に開示された装置がある。

【0005】

この特許文献１に開示された装置は、昇降ステージの下方に斜め上方外側に向けて延びる１つのアームの先端にカッターを設け、そのアームを回転させることで斜め上方に延びるカッターでダイシングテープの所定位置をカットするようにしている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】実用新案登録第３１６８３２９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

カッターが昇降ステージの外に配置されているため、誤って手指等が触れると怪我をするおそれがある。特に、カッターが回転中に手指を入れると切れることがあるので危険である。また、斜め上に延びる１つのアームを回転させてダイシングテープをカットするため、カット時にダイシングテープに加わる力に偏りがあり、また、一周を綺麗にカットすることができないおそれがある。また、エアーシリンダーの駆動によりカッターの向きを変え待機位置からカット位置に変位させるため、シリンダーの動作不良等でカットできなかったり、不用意にカット位置に変位してしまったりするおそれがある。

【0008】

上述した課題はそれぞれ独立したものとして記載しているものであり、本発明は、必ずしも記載した課題の全てを解決できる必要はなく、少なくとも一つの課題が解決できればよい。またこの課題を解決するための構成についても単独で分割出願・補正等により権利取得する意思を有する。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上述した課題を解決するために、本発明の拡張装置は、（１）ダイシング済みのウェハが貼着されたフィルムを押し上げて拡張し、前記ウェハを複数のチップに分割させる、昇降可能な昇降ステージと、前記昇降ステージの上端側に着脱可能に装着し得るインナーリングと、前記昇降ステージの上昇により所定位置に到達した前記インナーリングの外周に、前記フィルムを間にして嵌合するアウターリングを備え、前記昇降ステージは、上方が開口した円筒状の本体と、その本体の上方に所定距離を離して配置される上板部を備え、前記本体の上端縁と前記上板部との間に形成される隙間から、カッターの少なくとも刃部を外部に突出した状態で前記カッターを水平面内で前記本体の側面に沿って円周方向に回転移動させるカッター機構を備え、少なくとも前記フィルムをカットしない区域では前記カッターを前記本体内に収納可能に構成する。

【0010】

昇降ステージで拡張されたフィルムは、昇降ステージの上端側でインナーリングとアウターリングで挟み込まれて保持され、その挟み込まれた部分より外側は不要なフィルム部位となり、本体の周面に沿って下方に延びた状態となる。本発明では、上板部と本体の上端円との間に形成される隙間から突出し、水平面内で回転するカッターにより、インナーリングとアウターリングで保持された部位付近をきれいにカットすることができる。上板部の下面とアウターリングの下面の高さ位置を近づけることで不要な部分をより多くカットすることができる。さらに、少なくとも前記フィルムをカットしない区域ではカッターは本体内に収納可能であり、例えば昇降ステージの昇降移動時や、カット処理をしない下降位置では作業員が誤ってカッターに触れることが抑止される。本体は、実施形態では、周壁部４１と下板部４３の２つの部材で構成したが、１つの部材で構成したり３つ以上を組み合わせて構成したりしてもよい。

【0011】

（２）前記カッターは、２個有し、その２個の前記カッターは、前記回転移動する円の径方向反対側に配置されるとよい。このようにすると、カッターを対角に２枚使うことでフィルムをカットしていく段階で、フィルムへの負担が対角上に掛かるようになり、カット処理が安定し、フィルムが綺麗にカットされる。

【0012】

（３）前記本体の内周面の径方向反対側に第１突起部と第２突起部を設け、前記第１突起部と前記第２突起部は高さを異ならせて配置し、前記第１突起部と前記第２突起部のない区間を移動する際には前記カッターの前記刃部が前記本体の外部に突出し、一方の前記カッターを備えるカッターユニットは、前記第１突起部には接触して前記カッターが前記本体内に収納され、前記第２突起部には非接触で外部に突出するように構成し、他方の前記カッターを備えるカッターユニットは、前記第２突起部には接触して前記カッターが前記本体内に収納され、前記第１突起部には非接触で外部に突出するように構成するとよい。このようにすると、２個のカッターを簡単な構成でそれぞれが円周方向の異なる位置で本体内に収納されるようにでき、２つのカッターで確実にフィルムを円周にカットすることができる。第１突起部と第２突起部は、実施形態では、第１突起物７２と第２突起物７４にそれぞれ対応するが、実施形態のように本体と別部材で構成した物を取り付けるものに限ることはなく、本体と一体に形成してもよい。

【0013】

（４）前記本体内で自転可能に構成する内歯車部材と、前記内歯車部材を回転させる駆動機構と、前記内歯車部材の上面に、径方向に沿って移動可能に取り付けるカッターホルダーと、を備え、前記内歯車部材の回転に伴い、前記カッターホルダーが回転し、前記カッターが前記回転移動して前記フィルムをカットし得るようにするとよい。このようにすると、簡単な構成で、水平平面内でカッターを回転させることができ、昇降ステージ内にコンパクトに収めることができる。

【0014】

（５）前記カッターホルダーは、前記内歯車部材に対し、径方向に沿って前後進移動可能に取り付け、前記内歯車部材は、前記カッターホルダーを前方に向けて付勢する弾性体を備え、前記カッターホルダーは、前記本体の内周面に設けた突起部に接触すると前記弾性体を弾性変形させながら後退移動して前記カッターが前記本体内に収納され、前記突起部のない区間を移動する際には前記弾性体の弾性復元力により前方に付勢されて前記カッターの前記刃部が前記本体の外部に突出し得るように構成するとよい。このようにすると、簡単な構成で、水平平面内でカッターを回転させ、また、昇降ステージの外部に出し入れすることができ、昇降ステージ内にコンパクトに収めることができる。

【0015】

（６）下降位置にある前記昇降ステージの上方所定位置にカッター保護リングを配置し、前記昇降ステージが上昇して前記フィルムを拡張した位置に到った際に、前記隙間の外側に前記カッター保護リングが位置し、前記カッター保護リングにより前記カッターの前記刃部を隠し得るように構成するとよい。このようにすると、フィルムのカット処理中であってもカッターの刃部がカッター保護リングで隠れるので、誤って手指等がカッターに触れてしまうことを可及的に抑制できる。カッターが収納時も駆動時もむき出しにならずに安全性が向上する。

【0016】

（７）前記カッター保護リングの上側に、前記アウターリングを保持するリングホルダーを配置し、前記インナーリングを備えた前記昇降ステージが上昇し、前記インナーリングが前記リングホルダーで保持される前記アウターリングに入り込み、前記インナーリングと前記アウターリングとで前記フィルムを挟み込むとともに、前記隙間が前記リングホルダーに対向するように構成するとよい。このようにすると、昇降ステージの上昇に伴いアウターリングを自動的に装着することができるとともに、係るアウターリングを装着する機構にカッター保護リングを保持させることで構成が簡略化される。

【0017】

また、上述した（１）から（７）に示す構成は、適宜組み合わせて構成することができ、そのように組み合わせた構成を前提として、実施形態や図面に記載の構成要素を組み合わせるとよい。

【発明の効果】

【0018】

本発明によれば、例えばカッターの刃部が手指等に触れることを抑制し、安全性の高い拡張装置となる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本発明に係る拡張装置の好適な一実施形態を示す図である。

【図2】その一部を示す斜視図である。

【図3】その正面図である。

【図4】その平面図である。

【図5】操作部を省略しつつ一部断面で示した正面図である。

【図6】操作部を省略した平面図である。

【図7】昇降ステージ・昇降機構及びカッター機構を示す図である。

【図8】（ａ）は図７における昇降ステージの上板部を外した状態を示す平面図であり、（ｂ）はそのａ－ａ′断面図に上板部を加えた図である。

【図9】（ａ）は図８（ａ）に示す状態から反時計回りに２７０度回転したカッターが待機位置にある状態を示す図で、（ｂ）はそのｂ－ｂ′断面図に上板部を加えた図である。

【図10】（ａ）は図８（ａ）に示す状態から反時計回りに９０度回転したカッターが動作位置にある状態を示す図で、（ｂ）はそのｃ－ｃ′断面図に上板部を加えた図である。

【図11】（ａ）はリングホルダーとカッター保護リングを示す断面図であり、（ｂ）はクランププレートを開いた状態のアウターリング保持機構を示す正面図であり、（ｃ）はその左側面図ある。

【図12】拡張装置の機能を説明する図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、本発明の好適な実施形態について図面に基づき、詳細に説明する。なお、本発明は、これに限定されて解釈されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づいて、種々の変更、修正、改良を加え得るものである。

【0021】

図１２に模式的に示すように、本実施形態の拡張装置１１は、昇降ステージ１６の上面外周囲にインナーリング１を装着するとともに、その昇降ステージ１６上にダイシングフレーム２に貼り付けられたダイシングテープ３をセットする（図１２（ａ）参照）。ダイシングフレーム２は、所定の抑え機構により固定されており、昇降ステージ１６が上昇すると、昇降ステージ１６の上面に接触するダイシングテープ３が上方に付勢されて外周囲に向けて均等に拡張する（図１２（ｂ）参照）。ダイシングテープ３には、ダイシングされたウェハ４が貼り付けられており、ダイシングテープ３が拡張することに伴いダイシングされたウェハ４を均一な間隔で各チップ４ａに分割することができる。また、拡張されたダイシングテープ３は、昇降ステージ１６の上面及び側面を覆うようになり、そのダイシングテープ３の外側から昇降ステージ１６の上面外周にアウターリング５を嵌め込むことで、拡張したダイシングテープ３はインナーリング１とアウターリング５により挟み込まれて固定される。

【0022】

インナーリング１とアウターリング５との嵌合が比較的強固なものとなるように、インナーリング１の外周の直径（外径）とアウターリング５の内周の直径（内径）とが略同一に近いものをもちい、インナーリング１及びアウターリング５は、伸縮性を有する合成樹脂等から形成されている。なお、ダイシングテープ３は、半導体ウェハのダイシング工程時にウェハを保護・固定し、ピックアップ工程まで保持するための拡張性を有するテープである。

【0023】

そして本実施形態の拡張装置１１は、後述するようにインナーリング１とアウターリング５で挟み込まれたダイシングテープ３の不要な部分を切断するカッター機構を備える。このカッター機構により、ダイシングテープ３のインナーリング１とアウターリング５で保持された部位の外側の直近をカットすることができ、それにより、図１２（ｃ）に示すように、不要なフィルム部位が切除されたダイシングテープ３の周囲がインナーリング１とアウターリング５で保持された状態となる。このダイシングテープ３は、この保持された状態で昇降ステージ１６から取り外し、移動可能となる。

【0024】

図１以降に示すように、本実施形態の拡張装置１１は、本体ケース１２と、本体ケース１２の上面に開閉可能に連結されたダイシングフレーム押さえ部材１３と、ダイシングフレーム押さえ部材１３に開閉可能に連結されたアウターリング保持機構１５と、本体ケース１２に収納される昇降ステージ１６及びその昇降ステージ１６を昇降させる昇降機構１４と、装置に対して各種の指令を与えるための操作部１７等を有する。

【0025】

本体ケース１２は、概略矩形状の箱体からなり、その上面は、前後に２分割され多くの面積を占める水平な天面部１２ａと、その天面部１２ａの前端縁から前方に向けて下方に傾斜する傾斜面部１２ｂを有する。傾斜面部１２ｂには、操作部１７が配置される。操作部１７は、本実施形態では、各種の設定や運転中の各種指示を与えるタッチパネル１７ａ、電源スイッチ１７ｂ、一時停止スイッチ１７ｃ、非常停止スイッチ１７ｄを備える。

【0026】

天面部１２ａには円形状の開口部１９が形成され、その開口部１９に上下開口する円筒状の側壁部２１を配置する。側壁部２１の外径は開口部１９の内径とほぼ等しくし、側壁部２１の下端側は開口部１９内に挿入され、上方側が本体ケース１２の外部に突出するように設置される。これにより、側壁部２１は、本体ケース１２の天面部１２ａの開口部１９の内周縁に沿って上方に延びるように配置される。

【0027】

この側壁部２１の上端に、ダイシングフレーム２の下面を支えるロアクランプ２２を配置する。ロアクランプ２２は、円盤状からなり、中央部位に上下に貫通する開口部２３を備える。ロアクランプ２２の外径は、側壁部２１の外径に略等しくする。ロアクランプ２２の上面２２ａの内周縁側には、円周方向に延びる無端の凹溝２２ｂが形成され、その凹溝２２ｂ内にＯリング２４が装着される。凹溝２２ｂ内にセットされた状態におけるＯリング２４の上端は、ロアクランプ２２の上面２２ａよりも上方に突出する。また、この凹溝２２ｂひいてはＯリング２４の設置位置は、ロアクランプ２２上にダイシングフレーム２をセットした状態では、そのダイシングフレーム２がＯリング２４を覆うようにしている。

【0028】

ロアクランプ２２の開口部２３から昇降ステージ１６が露出可能に設置する。昇降機構１４により昇降移動する昇降ステージ１６の上面１６ａは、下降位置ではロアクランプ２２の上面２２ａと同一高さにあり、上昇位置では上面２２ａよりも上方に位置するように構成する。

【0029】

また、天面部１２ａの後端側の左右の２カ所に、ダイシングフレーム押さえ部材１３を回転自在に支持する第１軸受け部２６を備え、天面部１２ａの前端側にダイシングフレーム押さえ部材１３の固定する固定部材２７を備える。固定部材２７は、略円筒形の本体を有し、その本体の天面に左右方向に延びる細長なスリットを設ける。

【0030】

ダイシングフレーム押さえ部材１３は、平面略コ字状のフレーム２８と、そのフレーム２８の内側に取り付けられるアッパークランプ３０等を備える。平面略コ字状のフレーム２８の両端部位２８ａは、それぞれ第１軸受け部２６に所定角度範囲内で正逆回転可能に軸受け支持され、フレーム２８の中間付近、すなわち、第１軸受け部２６に連結される両端部位２８ａと反対側の前側部位２８ｂの外面（前面）には、固定部材２７に挿入し、ダイシングフレーム押さえ部材１３をロックする係止部材３１を備える。係止部材３１は、略直方体状のブロック３１ａと、ブロック３１ａを上下に貫通して昇降並びに回転可能に取り付けられるロッド３１ｂと、ロッド３１ｂの下端に取り付けられた平板状のストッパー部材３１ｃと、ロッド３１ｂの上端に取り付けられるクランプレバー３１ｄ等を備える。クランプレバー３１ｄの操作に応じて、ロッド３１ｂひいてはストッパー部材３１ｃがブロック３１ａに対して昇降したり、ロッド３１ｂの軸周りにロッド３１ｂひいてはストッパー部材３１ｃが回転したりするように構成する。

【0031】

ストッパー部材３１ｃは、その水平断面形状の長辺の長さが固定部材２７の天面に設けたスリットの長辺の長さより短いとともにそのスリットの短辺の長さより長くし、ストッパー部材３１ｃの水平断面形状の短辺の長さが固定部材２７の天面に設けたスリットの長辺の長さより短く形成する。

【0032】

上述したように、ダイシングフレーム押さえ部材１３は、第１軸受け部２６を回転中心として正逆回転し、図３中、二点鎖線で示す前側部位２８ｂが持ち上がった傾斜状の開いた第１姿勢と、第１姿勢から前側部位２８ｂが下降するように回転させて実線で示す本体ケース１２の天面部１２ａを覆うように閉じた第２姿勢との間を遷移可能に構成する。そして少なくとも第１姿勢から第２姿勢に遷移する際には、ストッパー部材３１ｃの長辺と、固定部材２７に設けたスリットの長辺が略平行の状態でストッパー部材３１ｃが下降移動し、第２姿勢になるとストッパー部材３１ｃはスリット内を進入し固定部材２７内に至るように構成し、第２姿勢の状態でクランプレバー３１ｄに対する操作によりストッパー部材３１ｃを略９０度回転させることでストッパー部材３１ｃとスリットの長辺の方向が直交し、ストッパー部材３１ｃの固定部材２７からの離脱が抑止され、ダイシングフレーム押さえ部材１３が第２姿勢の状態でロックされるように構成する。

【0033】

アッパークランプ３０は、中央に円形状の開口部３０ａを有し、外形状が略八角形の平板からなり、下面３０ｂの内周縁側には、平板からなるリング状の受け部材３２が装着される。この受け部材３２は、ロアクランプ２２に取り付けたＯリング２４に対向する位置にあり、ダイシングフレーム押さえ部材１３を第２姿勢にした状態では、受け部材３２がＯリング２４に接触して下方に向けて付勢する。これによりＯリング２４は弾性変形して圧縮される。よって、ロアクランプ２２上にダイシングフレーム２をセットした状態でダイシングフレーム押さえ部材１３を第２姿勢にすると、ダイシングフレーム２は、その上下から受け部材３２とＯリング２４により所定圧力で挟み込まれ、保持される。

【0034】

アウターリング保持機構１５は、アッパークランプ３０の上面３０ｃに、高さ調整機構３３を介して取り付けられるベースプレート３４と、そのベースプレート３４の後端側でヒンジプレート３５を介して開閉可能に取り付けられるクランププレート３６と、そのクランププレート３６の下面側に取り付けられるリングホルダー３７等を備える。ベースプレート３４は、中央に円形の開口部３４ａを有する板状部材であり、開口部３４ａの内径は、昇降ステージ１６の外径より大きくする。昇降ステージ１６が上昇した際には、昇降ステージ１６の上方部位はベースプレート３４の開口部３４ａ内を通過し、上面１６ａはベースプレート３４より上方に位置する。

【0035】

クランププレート３６は、矩形状の平板の前側両端が切除された形状からなり、ヒンジプレート３５が連結される後端縁を中心に所定角度範囲内で正逆回転し、前側が起立した傾斜状の第１姿勢と、倒れた水平状の第２姿勢をとる。クランププレート３６の中央には円形の開口部３６ｂを有する。

【0036】

リングホルダー３７は、中央に開口部３７ａを有する略円盤状からなり、リングホルダー３７の下面３７ｂの開口部３７ａ側の内周縁に沿って延びる凹溝３７ｃを設ける。開口部３７ａの上面３７ｄ側の内径は、アウターリング５の内径とほぼ等しく、凹溝３７ｃにより一段下がった下面３７ｂ側の内径は、アウターリング５の外径とほぼ等しくする。そして、凹溝３７ｃ内にアウターリング５が着脱可能に装着し得る構成にする。さらにリングホルダー３７は、複数の連結棒３８を介してクランププレート３６の下面３６ａ側に連結されて一体化する。これにより、クランププレート３６を開閉すると、リングホルダー３７も一体に移動し、クランププレート３６が第２姿勢をとるとき、リングホルダー３７も水平になり、リングホルダー３７の開口部３７ａ内に、上昇位置に到った昇降ステージ１６の上端部位が進入するように構成する。より具体的には、昇降ステージ１６の上面１６ａが、リングホルダー３７にセットされたアウターリング５の上面とほぼ面一になり、昇降ステージ１６の上端部位がアウターリング５内に挿入し、昇降ステージ１６の上端部に装着されインナーリング１とアウターリング５が嵌まり合う。

【0037】

さらに本実施形態では、リングホルダー３７の下面に、カッター保護リング４０が取り付けられる。カッター保護リング４０は、カッター機構１０のカッターを保護するもので、詳細は後述する。

【0038】

昇降ステージ１６は、図７等に示すように、上下開口する円筒状の周壁部４１と、その周壁部４１の上方開口部位を覆うように配置される上板部４２と、周壁部４１の下端に取り付ける下板部４３を備える。本実施形態では、これら周壁部４１と下板部４３で上方が開口した円筒状の本体を構成するが、例えば一部品で構成してもよい。下板部４３は、周壁部４１の下端面に接触した状態でネジ４４を用いて固定される。また、上板部４２は、例えば下板部４３から起立する支持柱などにより支持され、周壁部４１の上端面と上板部４２の下面との間に所定の隙間４５が形成されるように構成する。上板部４２の上面が昇降ステージ１６の上面１６ａを構成する。また上板部４２の上面の外周囲はその全周が一段低くなった低段部４２ａとなり、その低段部４２ａにインナーリング１を装着可能に構成する。インナーリング１の外径は周壁部４１並びに上板部４２の下面側の外径と等しく、インナーリング１を低段部４２ａ上に装着した状態では、インナーリング１の外周面は、上板部４２並びに周壁部４１の外周面と略面一となる。さらに上板部４２の下面中央には、リング状のヒーター３９と温度センサーを備え、上板部４２を設定された温度に加熱する機能を備える。

【0039】

昇降ステージ１６を昇降させる昇降機構１４は、以下の構成を備える。ベースプレート４７の上面の外周側所定位置に複数の支柱４８を起立設置し、その支柱４８の上方側に支持プレート４９を連結する。支持プレート４９は、ベースプレート４７と平行になるように配置される。そしてベースプレート４７は、本体ケース１２の内部の底面に固定しており、これにより、本体ケース１２の底面が水平の場合、支持プレート４９も水平に固定設置される。

【0040】

ベースプレート４７の上面中央位置に、ネジ軸５０を自転可能に起立配置し、そのネジ軸５０の上端部位５０ａの支持プレート４９の上下には、ベアリング５１が取付けられ、ネジ軸５０がスムーズに回転するように構成する。これにより、ネジ軸５０は、その下端側でベースプレート４７に回転自在に支持され、ネジ軸５０は起立した姿勢のまま軸周りに自転可能に構成される。また、ネジ軸５０の上端部位５０ａの先端は支持プレート４９の上方に突出し、その先端にプーリ５３が連結される。このプーリ５３は、タイミングベルトを介して図示省略の第１駆動モータの回転出力を受けて回転する。

【0041】

また、このネジ軸５０のネジ部５０ｂには、ナット５５が装着される。このナット５５は、移動プレート５６に固定して一体化される。移動プレート５６は、複数のガイドロッド５７の下端が取り付けられ、この複数のガイドロッド５７の上端は昇降ステージ１６の下板部４３に固定される。また、それら複数のガイドロッド５７は、それぞれ支持プレート４９の所定位置に取り付けた円筒状のブッシュ５８に挿入し、ブッシュ５８に対して相対的に昇降移動可能に構成する。

【0042】

これにより、第１駆動モータの回転出力を受けてネジ軸５０が正逆回転すると、ナット５５は複数のガイドロッド５７で支持される移動プレート５６により回転が抑止されるため、当該正逆回転に追従して昇降移動する。よって、移動プレート５６ひいてはガイドロッド５７が昇降移動し、それにともない昇降ステージ１６が昇降する。

【0043】

ダイシングテープ３の不要な部分を切断するカッター機構１０は、昇降ステージ１６内に実装される。本実施形態のカッター機構１０は、図７，図８等に示すように、カッター５９の刃部６０を、周壁部４１の上端面と上板部４２の下面との間に形成する隙間４５から外部に突出させた状態でそのカッター５９を水平平面内で円周方向に一周することで、刃部６０に対向するダイシングテープ３をカットするものである。本実施形態では、カッター５９を２個用い、円周方向で１８０度異なる位置、すなわち、径方向両側に配置する。各カッター５９は、それぞれ第１カッターホルダー６１と第２カッターホルダー６２に取り付けられる。これら第１カッターホルダー６１と第２カッターホルダー６２は、偏平な内歯車部材６４の上面の所定位置に取り付けられ、内歯車部材６４と一体になって回転する。所定位置は、内歯車部材６４の径方向反対側であり、カッター５９の刃部６０が内歯車部材６４の外周縁から外側に突出可能な位置とする。

【0044】

内歯車部材６４は、昇降ステージ１６の内部で水平を維持した状態で、水平面内で自転するように配置される。内歯車部材６４の外径は、昇降ステージ１６すなわち周壁部４１の内径より一回り短くし、内歯車部材６４の中心と周壁部４１の中心を上下方向で一致するように装着する。すなわち、内歯車部材６４の下面の所定位置に、固定ネジ６５を用いて回転自在にＶベアリング６６を取り付ける。Ｖベアリング６６は、内歯車部材６４の中心から同一の半径の円周上に３個或いはそれ以上を設け、各Ｖベアリング６６は、その円周方向で当角度間隔に配置するとよい。例えば３個配置する場合、１２０度間隔で配置する。一方、周壁部４１の内周面には、円周方向に延びる無端状のガイドレール６７が一体に形成される。ガイドレール６７の縦断面は、例えば２等辺三角形とするとよい。そして、Ｖベアリング６６がガイドレール６７に噛み合うように内歯車部材６４をセットする。これにより、内歯車部材６４が自転する際、Ｖベアリング６６はガイドレール６７に案内され周壁部４１の円周方向に移動し、内歯車部材６４の安定した姿勢での自転が案内される。

【0045】

また、複数の支柱４８の１本は、上下開口した円筒状であり、その円筒状の支柱４８内に回転軸８０を挿入するとともに、その回転軸８０の上下端をそれぞれ支柱４８の上下から突出するように配置する。そして、回転軸８０の上端には内歯車部材６４の内周面に形成した歯６４ａに噛み合う平歯車８２を連結する。回転軸８０の下端には、ギア機構８３の出力端を接続し、そのギア機構８３の入力端には第２駆動モータ８５を接続する。これにより、第２駆動モータ８５が回転すると、回転軸８０ひいては平歯車８２が回転し、それに伴い内歯車部材６４が回転する。

【0046】

第１カッターホルダー６１及び第２カッターホルダー６２は、内歯車部材６４の径方向に前後進移動可能に取り付けられ、前進すなわち外側に向けて移動した動作位置と、後進すなわち内側（中心）に向けて移動した待機位置との間を遷移可能とし、動作位置ではカッター５９の刃部６０の先端が周壁部４１より外側に位置し、待機位置ではカッター５９が昇降ステージ１６内に収納された状態になる。係る動作を行うための具体的な構成は以下のようにしている。

【0047】

第１カッターホルダー６１は、平板状の本体６１ａを備える。この本体６１ａの前端縁側は、前方中央に向かって延びる傾斜辺となり、左右方向の中央位置が最も前方に突出するようにし、その本体６１ａの上面前端中央側に、ネジ６８を用いてカッター５９を取り付ける。カッター５９は、その刃部６０が本体６１ａの前端よりも前方外側に突出するようにする。

【0048】

また、本体６１ａには、厚さ方向（上下方向）に貫通するガイド孔６１ｂを２本設ける。この２本のガイド孔６１ｂは、互いに平行で前後方向に延びるように形成する。そして、このガイド孔６１ｂ内には、内歯車部材６４に締結されたガイドピン６９が挿入され、このガイドピン６９がガイド孔６１ｂに沿って相対移動し得るように構成する。これにより、本体６１ａは、ガイドピン６９により内歯車部材６４に対して離脱不能に取付けられるとともに、ガイド孔６１ｂに沿って前後進移動する。

【0049】

本体６１ａの後面には、左右方向に延びる凹溝６１ｃを設け、凹溝６１ｃの左右両端は本体６１ａの側面に開口するように構成する。そして、この凹溝６１ｃにはコイルスプリング７０を挿入し、そのコイルスプリング７０の両端７０ａを、内歯車部材６４に締結した固定ネジ７１に固定する。コイルスプリング７０は、引っ張った状態でセットし、コイルスプリング７０は、弾性復元力により第１カッターホルダー６１を前方、すなわち、内歯車部材６４の外側に向けて常時付勢するように作用する。

【0050】

さらに、第１カッターホルダー６１は、本体６１ａの前面の上方部位に、前方に向けて突出する第１突出部位６１ｄを有する。一方、周壁部４１の内周面には円周方向に延びる凹部４１ａが設けられる。この凹部４１ａの底面は、内歯車部材６４に取り付けた第１カッターホルダー６１の本体６１ａの下面と同じかそれよりも低い位置になるように構成する。

【0051】

この凹部４１ａを設けることで、周壁部４１の上端縁側は肉薄になり、図８，図１０等に示すように、第１カッターホルダー６１の第１突出部位６１ｄが凹部４１ａを設けた周壁部４１の上端縁側の内周面に接触した状態では、カッター５９の刃部６０は、昇降ステージ１６の外側に突出する。

【0052】

また、凹部４１ａを設けた周壁部４１の上端縁側の内周面の所定位置に、第１突起物７２を固定する。この第１突起物７２は、凹部４１ａの上方側であり、第１突出部位６１ｄに対向する位置に設ける。これにより、図９等に示すように、第１カッターホルダー６１が第１突起物７２の取り付け位置に至った際には、第１突出部位６１ｄが第１突起物７２に接触し、本体６１ａが後方すなわち内歯車部材６４の中心側に向けて付勢され、後退移動して待機位置に至り、カッター５９は、昇降ステージ１６内に収納される。

【0053】

第１カッターホルダー６１と同様に第２カッターホルダー６２は、平板状の本体６２ａを備える。この本体６２ａの前端縁側は、前方中央に向かって延びる傾斜辺となり、左右方向の中央位置が最も前方に突出するようにし、その本体６２ａの上面前端中央側に、ネジ６８を用いてカッター５９を取り付ける。カッター５９は、その刃部６０が本体６２ａの前端よりも前方外側に突出するようにする。

【0054】

また、本体６２ａには、厚さ方向（上下方向）に貫通するガイド孔６２ｂを２本設ける。この２本のガイド孔６２ｂは、互いに平行で前後方向に延びるように形成する。そして、このガイド孔６２ｂ内には、内歯車部材６４に締結されたガイドピン６９が挿入され、このガイドピン６９がガイド孔６２ｂに沿って相対移動し得るように構成する。これにより、本体６２ａは、ガイドピン６９により内歯車部材６４に対して離脱不能に取り付けられるとともに、ガイド孔６２ｂに沿って前後進移動する。

【0055】

本体６２ａの後面には、左右方向に延びる凹溝６２ｃを設け、凹溝６２ｃの左右両端は本体６２ａの側面に開口するように構成する。そして、この凹溝６２ｃにはコイルスプリング７３を挿入し、そのコイルスプリング７３の両端７３ａを、内歯車部材６４に締結した固定ネジ７１に固定する。コイルスプリング７３は、引っ張った状態でセットし、コイルスプリング７３は弾性復元力により第２カッターホルダー６２を前方、すなわち、内歯車部材６４の外側に向けて常時付勢するように作用する。これにより、図８，図１０等に示すように、第２カッターホルダー６２の第２突出部位６２ｄが凹部４１ａを設けた周壁部４１の上端縁側の内周面に接触した状態では、カッター５９の刃部６０は、昇降ステージ１６の外側に突出する。

【0056】

さらに、第２カッターホルダー６２は、本体６２ａの前面の下方部位に、前方に向けて突出する第２突出部位６２ｄを有する。また、凹部４１ａを設けた周壁部４１の上端縁側の内周面の所定位置に、第２突起物７４を固定する。この第２突起物７４は、凹部４１ａの下方側であり、第２突出部位６２ｄに対向する位置に設ける。これにより、図９等に示すように、第２カッターホルダー６２が第２突起物７４の取付位置に至った際には、第２突出部位６２ｄが第２突起物７４に接触し、本体６２ａが後方すなわち内歯車部材６４の中心側に向けて付勢され、後退移動して待機位置に至り、カッター５９は、昇降ステージ１６内に収納される。

【0057】

また、第１突起物７２と第２突起物７４の取り付け位置は、径方向反対側で上下方向の高さ位置は重ならないようにする。そして、第１突出部位６１ｄは、第１突起物７２には接触可能で第２突起物７４には接触しない位置に設ける。同様に第２突出部位６２ｄは、第２突起物７４には接触可能で第１突起物７２には接触しない位置に設ける（図１０等参照）。

【0058】

これにより、例えば内歯車部材６４が３６０度回転すると、第１カッターホルダー６１に取り付けられたカッター５９は、第１カッターホルダー６１が第１突起物７２の取り付け位置に至ると、上述したように第１突起物７２により第１突出部位６１ｄが付勢されカッター５９は昇降ステージ１６内に収納され（図９参照）、第１突起物７２が設けられていない区間ではコイルスプリング７０の弾性復元力による付勢により第１突出部位６１ｄは周壁部４１の内周面に接触しカッター５９の刃部６０が昇降ステージ１６の外側に突出する（図８参照）。さらに、第１カッターホルダー６１が第２突起物７４の取り付け位置に至ると、第１突出部位６１ｄは第２突起物７４と高さがズレて接触せずに周壁部４１の内周面に接触し、カッター５９の刃部６０が昇降ステージ１６の外側に突出した状態となる（図１０参照）。このように第１カッターホルダー６１に取り付けられたカッター５９の刃部６０は、１回転する都度、第１突起物７２を設けた位置で昇降ステージ１６内に入り込み、その他のほぼ全周の区間で刃部６０が外側に突出した状態となる。同様に、第２カッターホルダー６２に取り付けられたカッター５９は、１回転する都度、第２突起物７４を設けた位置で昇降ステージ１６内に入り込み、その他のほぼ全周の区間で刃部６０が外側に突出した状態となる。

【0059】

また本実施形態では、例えば第１カッターホルダー６１に装着したカッター５９に着目すると、第１突起物７２の位置に到るとカッター５９は昇降ステージ１６内に収納されダイシングテープ３をカットすることができないが、その第１突起物７２の配置領域を第２カッターホルダー６２が通過してもカッター５９の刃部６０は昇降ステージ１６の外側に突出した状態が維持され、当該配置領域にあるダイシングテープ３をカットすることができる。同様に、第２突起物７４の配置領域では、第１カッターホルダー６１のカッター５９によりカットすることができる。なお、第１カッターホルダー６１に取り付けたカッター５９と第２カッターホルダー６２に取り付けたカッター５９の高さ位置は同じにするとよいが、ずれていてもよい。

【0060】

また、昇降ステージ１６の下板部４３には、第１突起物７２と第２突起物７４の間の中間地点、すなわち、周方向で９０度回転した位置であって、平歯車８２を設けた側にマイクロフォトセンサ７６を配置する。一方、内歯車部材６４の下面の所定位置には、センサープレート７５を取り付ける。この所定位置は、本実施形態では第１カッターホルダー６１の直下としている。よって、内歯車部材６４が平面視で反時計方向に回転する場合、第１カッターホルダー６１が第１突起物７２を通過してから９０度回転すると、図７，図８に示すようにセンサープレート７５がマイクロフォトセンサ７６に対向し、マイクロフォトセンサ７６がセンサープレート７５を検知する。

【0061】

本実施形態では、第２駆動モータ８５の制御部は、マイクロフォトセンサ７６の検知信号を受けてから内歯車部材６４が２７０度回転するタイミングで第２駆動モータ８５の出力を停止するように制御する。すると、第１カッターホルダー６１は第１突起物７２の取り付け位置に至り、第２カッターホルダー６２は第２突起物７４の取り付け位置に至ったタイミングで回転が停止し、第１カッターホルダー６１及び第２カッターホルダー６２は待機位置にありカッター５９が昇降ステージ１６内に収納された状態となる。これにより、停止中のカッター５９の刃部６０が昇降ステージ１６の外に突出した状態で停止することが抑止され、例えば誤って人が刃部６０に触れてけがをすることや、カッター５９の刃部６０が外部に突出した状態で昇降ステージ１６が昇降し、カッター５９が他の機器・部材に接触してカッター５９あるいは当該機器・部材の損傷を招くことを抑止できる。

【0062】

そして、このようにカッター５９が昇降ステージ１６内に収納された状態で、昇降ステージ１６を昇降させるようにするので、その収納された状態で昇降ステージ１６が上昇し、ダイシングテープ３を拡張することができる。よって、拡張中のダイシングテープ３にはカッター５９の刃部６０が非接触となり、ダイシングテープ３が刃部６０に接触して避けたりすることがないし、その昇降中に誤って作業者等の手指等にカッター５９の刃部６０が触れて怪我することもない。

【0063】

一方、カッター５９（刃部６０）が昇降ステージ１６の外に突出してダイシングテープ３をカットする処理は、昇降ステージ１６が上昇位置にあり、昇降ステージ１６の上端部位がリングホルダー３７内に進入し、アウターリング５とインナーリング１でダイシングテープ３を挟み込んだ状態で行われる。このとき、外部に突出したカッター５９の刃部６０は、リングホルダー３７より下方に位置する。本実施形態では、リングホルダー３７の下側にカッター保護リング４０を設けたため、カット処理中のカッター５９に人や物が誤って触れるのが抑止される。

【0064】

すなわち、カッター保護リング４０は、図１１に拡大して示すように、その内径はリングホルダー３７に形成する凹溝３７ｃの外径とほぼ等しくする。また、カッター保護リング４０の内周面４０ａには、周方向に延びる無端状の凹溝４０ｂを備える。この凹溝４０ｂは、上昇位置にある昇降ステージ１６における隙間４５に対向する位置に設け、昇降ステージ１６の外部に突出するカッター５９の刃部６０が、凹溝４０ｂ内に進入可能に構成する。これにより、カッター５９の刃部６０が昇降ステージ１６の外側に突出してダイシングテープ３をカットしている際に、刃部６０はカッター保護リング４０で隠れ、仮に作業者等がアッパークランプ３０とベースプレート３４との間に形成れる空間から誤って手指を挿入するようなことがあっても、当該手指が刃部６０に触れることがなく、安全性が確保される。

【0065】

なお、上述したアッパークランプ３０とベースプレート３４との間に形成れる空間は狭く、作業者等が意図的に手指を挿入すること考えにくいため、カッター保護リング４０は必ずしも設ける必要はないが、本実施形態のように設けると安全性が高まるので好ましい。

【0066】

なお、上述した実施形態では、第１突起物７２あるいは第２突起物７４を設け、第１カッターホルダー６１あるいは第２カッターホルダー６２が対応する突起物の設置領域で機械的にカッター５９が昇降ステージ１６の内部に収納され、ダイシングテープ３がカットされない区間が生じるようにしたが、本発明はこれに限ることはなく、昇降ステージ１６内に収納されたカッター５９が同一位置（本実施形態のように回転することなく）で刃部６０が昇降ステージ１６の外部に突出するように構成したりし、刃部６０が外部に突出した状態で３６０度の全周でカッター５９が移動できるようにするとよい。このようにすると、カッターを１つ配置するだけで、余分なフィルムをカットすることができる。なお、このように１つのカッターで全周をカットすることができる構成においても、２つのカッターを径方向反対側に設ける構成とするとよい。２個のカッターを径方向反対側に配置することで、ダイシングテープ３に対して均等に付勢してカットすることができる。

【0067】

以上、本発明の様々な側面を実施形態を用いて説明してきたが、これらの実施形態や説明は、本発明の範囲を制限する目的でなされたものではなく、本発明の理解に資するために提供されたものであることを付言しておく。本発明の範囲は、明細書に明示的に説明された構成や製法に限定されるものではなく、本明細書に開示される本発明の様々な側面の組み合わせをも、その範囲に含むものである。本発明のうち、特許を受けようとする構成を、添付の特許請求の範囲に特定したが、現在の処は特許請求の範囲に特定されていない構成であっても、本明細書に開示される構成を、将来的に特許請求する可能性があることを、念のために申し述べる。

【符号の説明】

【0068】

１ ：インナーリング
２ ：ダイシングフレーム
３ ：ダイシングテープ
４ ：ウェハ
４ａ ：チップ
５ ：アウターリング
１０ ：カッター機構
１１ ：拡張装置
１２ ：本体ケース
１３ ：ダイシングフレーム押さえ部材
１４ ：昇降機構
１５ ：アウターリング保持機構
１６ ：昇降ステージ
１７ ：操作部
２２ ：ロアクランプ
３０ ：アッパークランプ
４０ ：カッター保護リング
４１ ：周壁部
４２ ：上板部
４３ ：下板部
４５ ：隙間
５９ ：カッター
６０ ：刃部
６１ ：第１カッターホルダー
６２ ：第２カッターホルダー
６４ ：内歯車部材
７０ ：コイルスプリング
７２ ：第１突起物
７３ ：コイルスプリング
７４ ：第２突起物

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】