特開 2024-157920 液体の貯蔵タンク

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024157920

(43)【公開日】2024-11-08

(54)【発明の名称】液体の貯蔵タンク

(51)【国際特許分類】

   F17C 13/00 20060101AFI20241031BHJP

   F17C 9/00 20060101ALI20241031BHJP

【ＦＩ】

F17C13/00 302A

F17C9/00

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023072590

(22)【出願日】2023-04-26

(71)【出願人】

【識別番号】000003078

【氏名又は名称】株式会社東芝

(71)【出願人】

【識別番号】317015294

【氏名又は名称】東芝エネルギーシステムズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001380

【氏名又は名称】弁理士法人東京国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】稲冨 誉也

(72)【発明者】

【氏名】下之園 勉

(72)【発明者】

【氏名】根塚 隼人

(72)【発明者】

【氏名】中村 英之

(72)【発明者】

【氏名】柳 寛

(72)【発明者】

【氏名】水牧 祥一

【テーマコード（参考）】

3E172

【Ｆターム（参考）】

3E172AA03

3E172AA06

3E172AB01

3E172AB04

3E172BA04

3E172BB05

3E172BB12

3E172BB17

3E172CA10

3E172DA04

3E172EA03

(57)【要約】

【課題】貫通部品を削減しタンクへの入熱を低減して液化ガスの気化損失を低減させるとともに、省スペース性にも優れ、極低温液体の貯蔵に適したタンクを提供する。
【解決手段】貯蔵タンク１０は、移送システム２０において、液体１５の収容槽１６に設けられた第１開口１１に挿入される輸送管２１と、収容槽１６の内部において輸送管２１の先端に設けられ収容槽１６の外部に向かう流動圧を液体１５に付与するポンプ３０と、を備えている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体の収容槽に設けられた第１開口に挿入される輸送管と、
前記収容槽の内部において前記輸送管の先端に設けられ、その外部に向かう流動圧を前記液体に付与するポンプと、を備える液体の貯蔵タンク。

【請求項2】

請求項１に記載の液体の貯蔵タンクにおいて、
前記ポンプは、
励磁した電磁石の作用により往復運動し前記流動圧を発生させるピストンと、
前記電磁石の近傍を通過させてから前記輸送管に前記液体を案内する流路と、を有する液体の貯蔵タンク。

【請求項3】

請求項２に記載の液体の貯蔵タンクにおいて、
前記電磁石は、前記ピストンの往復運動対し同軸で多重の円筒構造を持ち、
前記流路として、前記円筒構造の隙間が機能する液体の貯蔵タンク。

【請求項4】

請求項２に記載の液体の貯蔵タンクにおいて、
前記流路は、前記電磁石の外周に螺旋状に形成される液体の貯蔵タンク。

【請求項5】

請求項２に記載の液体の貯蔵タンクにおいて、
前記液体は液化ガスであり、前記電磁石は超電導電磁石である液体の貯蔵タンク。

【請求項6】

請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の液体の貯蔵タンクにおいて、
前記第１開口に対し挿抜自在に構成され、
前記ポンプに駆動電力を供給するケーブルと前記輸送管とを内側に這わせ、
前記ポンプを先端で固定する、スリーブを有する液体の貯蔵タンク。

【請求項7】

請求項６に記載の液体の貯蔵タンクにおいて、
前記収容槽を内部保持し断熱する真空容器と、
前記真空容器に設けられた第２開口を閉止するとともに、前記輸送管を支持する閉止プレートと、を備える液体の貯蔵タンク。

【請求項8】

請求項７に記載の液体の貯蔵タンクにおいて、
前記収容槽の外側及び前記真空容器の内側に設けられ、冷却機に接続するシールドを備える液体の貯蔵タンク。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、液化ガス等の極低温液体の貯蔵に適したタンクに関する。

【背景技術】

【0002】

近年、地球温暖化を助長するＣＯ２ガス等の温室効果ガスの発生を抑制するため、発電、航空機、船舶等の燃料として、水素の活用が推進されている。発電用途として、高圧水素ガスのタンクを搭載した水素ガスタービンが知られている。この高圧水素ガスの貯蔵タンクは、圧縮ガスに対する耐圧性を持つよう高強度化するため、炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ）が巻かれている。このため一般的な圧縮ガスの貯蔵タンクは、大型化が困難で貯蔵容量が少なく、一度の充填による稼働時間が短く、経済性の観点から不利である。

【0003】

そこで、水素ガスを液化した液化水素の貯蔵タンクの開発が検討されている。－２５３℃の極低温まで冷却し液化させた液化水素は、標準状態で水素ガスの約８００分の１の体積になる。このため、液化ガスの貯蔵タンクは、小型でも貯蔵容量が大きくなる。そして、このような液化ガスの貯蔵タンクは、二重構造の容器であり、その間を真空に保持することで、貯蔵される液化ガスの断熱が図られている。

【0004】

発電用途の水素燃料は、例えば２０気圧まで加圧してガスタービンの燃焼器に供給される。このため液体水素は、所定圧力で加圧するポンプにより、貯蔵タンクから吸い上げられ移送される。そして、液化ガスの貯蔵タンクに設置するのに適当な小型のポンプとして、往復動式のピストンポンプが採用されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００７－２２５２２９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

液化ガスの貯蔵タンクに設置された従来のピストンポンプは、ピストンの駆動手段が常温部に、ピストン部はタンク内に設置されている。このため、二重構造のタンクを駆動軸が貫通する構造をとるため、ピストンポンプの稼働／停止に関わらず、タンク外部から内部への熱侵入の増加が避けられない。このような侵入熱を低減するために、スリーブや駆動軸の一部に低熱伝導率の非金属材料を使用する対策がとられているが、その効果は限定的である。

【0007】

ところで、常時稼働している等、稼働率の高い設備では、タンクへの入熱により液化ガスが気化するボイル・オフ・ガス（ＢＯＧ）が発生しても、そのまま燃料に使用されるため問題とならない。一方において、例えば１週間以上停止する等、稼働率の低い設備では、停止中もタンクへの入熱が継続し、多量のＢＯＧが発生する。

【0008】

その結果、タンクの圧力限界に到達するまで発生したＢＯＧは、安全弁からタンク外に放出されてしまい、燃料損失の原因になる。特に、液体水素は、ＬＮＧに比べて蒸発潜熱が約７分の１と蒸発しやすい為、タンクの貫通部の一部を低熱伝導率の材料に置き換えたとしても、ＢＯＧの抑制には不十分である。それでは、タンクの貯蔵量を増加させるため液化水素を用いた意味が失われてしまう。

【0009】

本発明の実施形態はこのような事情を考慮してなされたもので、貫通部品を削減しタンクへの入熱を低減して、液化ガスの気化損失を低減させるとともに、省スペース性にも優れ極低温液体の貯蔵に適したタンクを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

実施形態に係る液体の貯蔵タンクにおいて、液体の収容槽に設けられた第１開口に挿入される輸送管と、前記収容槽の内部において前記輸送管の先端に設けられ、その外部に向かう流動圧を前記液体に付与するポンプと、を備える。

【発明の効果】

【0011】

本発明の実施形態により、貫通部品を削減しタンクへの入熱を低減して、液化ガスの気化損失を低減させるとともに、省スペース性にも優れ極低温液体の貯蔵に適したタンクが提供される。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の第１実施形態に係る液体の貯蔵タンクを示す縦断面図。

【図2】液体の移送システムを取り外した貯蔵タンクの実施形態を示す縦断面図。

【図3】第１実施形態において貯蔵タンクに装着された移送システムを示す縦断面図。

【図4】（Ａ）図３に示す移送システムのＡ－Ａ横断面図、（Ｂ）同・Ｂ－Ｂ横断面図。

【図5】（Ａ）（Ｂ）貯蔵タンクに装着された移送システムの動作説明図。

【図6】（Ａ）第２実施形態において貯蔵タンクに装着された移送システムの部分縦断面図、（Ｂ）その横断面図、（Ｃ）横断面の部分拡大図。

【図7】第３実施形態において貯蔵タンクに装着された移送システムの部分縦断面図。

【発明を実施するための形態】

【0013】

（第１実施形態）
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。図１は本発明の第１実施形態に係る液体１５の貯蔵タンク１０を示す縦断面図である。図２は液体１５の移送システム２０を取り外した貯蔵タンク１０の実施形態を示す縦断面図である。

【0014】

貯蔵タンク１０の移送システム２０は、液体１５の収容槽１６に設けられた第１開口１１に挿入される輸送管２１と、収容槽１６の内部において輸送管２１の先端に設けられ収容槽１６の外部に向かう流動圧を液体１５に付与するポンプ３０と、を備えている。このように移送システム２０が構成されることで、ポンプ３０の駆動軸３７（図３参照）が貯蔵タンク１０を貫通していないため、外部から内部への熱侵入が抑制される。

【0015】

液体１５が、液体水素やＬＮＧのような液化ガスである場合、貯蔵タンク１０の外部に設置された気化器（図示略）で加熱気化した後、燃焼器等に供給される。稼働するポンプ３０の発熱を吸熱するので、液化ガスのエンタルピーは上昇している。この上昇分だけ気化器（図示略）の加熱量を低減することができ、気化器の小型化やシステムの効率向上にも貢献する。

【0016】

さらに移送システム２０は、第１開口１１に対し挿抜自在に構成され、ポンプ３０を先端で固定するスリーブ２６が設けられている。このスリーブ２６は、ポンプ３０に駆動電力を供給するケーブル２５と輸送管２１とを内側に這わせている。

【0017】

このように移送システム２０がスリーブ２６を構成に持つことで、液体１５による輸送管２１やケーブル２５の浸食を回避できる。さらに、ポンプ３０を含め輸送管２１及びケーブル２５の熱が収容槽１６に内部伝播することを抑制し、収容されている液体１５の気化による内圧上昇を防止できる。

【0018】

そして貯蔵タンク１０は、収容槽１６を内部保持し断熱する真空容器１７と、真空容器１７に設けられた第２開口１２を閉止するとともに輸送管２１を支持する閉止プレート２２と、を備えている。そして、真空容器１７は、垂直サポート４８及び水平サポート４９により、収容槽１６を少なくとも二方向から支持している。これにより収容槽１６は、使用中に経験するあらゆる方向の加速度に対して十分な強度を有し、損傷による液体１５の漏出を防止する。

【0019】

このように貯蔵タンク１０が真空容器１７を構成に持つことで、収容槽１６を真空環境で保持でき、外部から液体１５への熱侵入を抑制できる。さらにスリーブ２６の内側も真空にすることができるため、ポンプ３０を含め輸送管２１及びケーブル２５の熱が収容槽１６に内部伝播することの抑制効果が向上する。そして、収容されている液体１５の気化による内圧の上昇防止を強化できる。

【0020】

さらに貯蔵タンク１０には、純アルミニウム等の高熱伝導体で形成されたシールド１８が、収容槽１６の外側及び真空容器１７の内側に設けられ、冷却機４０のコールドヘッド４１がシールド１８に接続されている。また冷却機４０の本体部４５は、収容槽１６の冷却時の熱収縮を吸収する伸縮継手４２を介して真空容器１７に固定されている。

【0021】

このように貯蔵タンク１０がシールド１８を構成に持つことで、常温の真空容器１７から内部に放出される輻射熱を遮断し、冷却機４０から伝導される冷熱を収容槽１６に供給することができる。なお、垂直サポート４８及び水平サポート４９の材質は、真空容器１７からの入熱を防ぐため、熱伝導率が低く強度が高い材料として、例えば一般にＧＦＲＰと呼ばれるガラス繊維・炭素繊維強化プラスチックが使用される。

【0022】

このように貯蔵タンク１０が真空容器１７、シールド１８及び収容槽１６の三層構造を持つことで、収容槽１６への入熱を制限し常温の真空容器１７との温度差を大きく維持できる。これにより、液化ガスの液体１５を低圧で安定して収容できる。液体１５が例えば液体水素（沸点：－２５３℃）である場合は、冷却機４０によりシールド１８を－１７３℃（１００Ｋ）程度に冷却・保持することで、安定的に収容できる。一方において、液体１５が例えばＬＮＧのように液化温度が比較的高く、蒸発潜熱が大きい液化ガスである場合には、シールド１８および冷却機４０を除いても安定的に収容できる。

【0023】

さらに貯蔵タンク１０は、図示を省略するが、収容槽１６とシールド１８の間、及びシールド１８と真空容器１７の間に断熱層が設けられている。この断熱層は、例えばアルミ蒸着ポリイミドフィルム等を多層に重ねたもので、極低温や宇宙用途に真空中で一般的に使用されるものである。また、輸送管２１及びシールド１８並びに輸送管２１及びケーブル２５を熱アンカー１９で接続することもできる。その場合、輸送管２１を通過する液体１５の昇温とシールド１８の冷却を同時に実行できる。

【0024】

図３は第１実施形態において貯蔵タンク１０に装着された移送システム２０Ａ（２０）を示す縦断面図である。図４（Ａ）は図３に示す移送システム２０のＡ－Ａ横断面図である。図４（Ｂ）は図３に示す移送システム２０のＢ－Ｂ横断面図である。

【0025】

ポンプ３０は、励磁した電磁石３１（３１ａ，３１ｂ）の作用により往復運動し液体１５に流動圧を発生させるピストン３２と、電磁石３１の近傍を通過させてから輸送管２１の先端に液体１５を案内する流路５６と、を有している。

【0026】

永久磁石３６は、図４（Ｂ）に示すように、駆動軸３７の周囲に放射状に配置されている。図４（Ｂ）では一例として３個の場合を示しているが、磁場に対する要求仕様に応じた個数が配置される。そして永久磁石３６は、チャンバ３５の内部を上下方向に変位し往復するように収容されている。また電磁石３１（３１ａ，３１ｂ）は、チャンバ３５の外周に同心筒状に形成されたケーシング５９に収容されている。さらに電磁石３１を収容するケーシング５９は、液体１５の流路５６としても機能し、輸送管２１に連通するとともに、後記する出口室５２とも連通している。

【0027】

ここで電磁石３１（３１ａ，３１ｂ）は、それぞれ背反的に励磁されるコイルで、電磁石３１ａが励磁すると永久磁石３６はピストン３２を伴って上方に変位し、電磁石３１ｂが励磁すると永久磁石３６はピストン３２を伴って下方に変位する。なお、図示される電磁石３１及び永久磁石３６の態様は、一例であって、往復変位する公知のリニア駆動機器を適宜採用できる。

【0028】

そしてピストン３２は、永久磁石３６に同期して上下方向に変位するようシリンダ３８の内部に収容されている。またシリンダ３８の外側には入口室５１及び出口室５２が形成されている。この入口室５１は、ノズル５７を介して収容槽１６の内部に連通し、さらに逆止弁３９ａ，３９ｃを介してシリンダ３８の内部に連通している。そして出口室５２は、逆止弁３９ｂ，３９ｄを介してシリンダ３８の内部に連通し、さらに孔部５５を介してケーシング５９に連通している。このように入口室５１、シリンダ３８の内部及び出口室５２は、液体１５の流路５６として機能する。

【0029】

駆動軸３７は、ピストン３２と永久磁石３６を直列に固定している。この駆動軸３７の主要部はステンレス鋼で形成され、チャンバ３５に設けられた２箇所の軸受け２３（２３ａ，２３ｂ）で支持されている。ピストン３２側の軸受け２３ａの近傍にはシール部２４が設けられ、シリンダ３８の内部の液体１５が永久磁石３６側に漏出することを防止している。

【0030】

また駆動軸３７の一部は、中空構造又は同じ長さで構造が同等のステンレス鋼よりも熱伝導率が低い非金属部分を含むように構成される。これにより、永久磁石３６側からピストン３２側への熱移動を防止し、シリンダ３８内の液体１５の温度上昇が抑制される。このような低熱伝導率の非金属部分として、例えば一般にＧＦＲＰと呼ばれる、ガラス繊維・炭素繊維強化プラスチックの棒材を使用できる。このＧＦＲＰは、ステンレス鋼には及ばないが、極低温において十分な機械的強度を有する。またＧＦＲＰは、強度を上げるため中実とした場合でも、中空で断面積を減らしたステンレス鋼よりも熱伝導率を下げることが可能である。

【0031】

発熱した電磁石３１（３１ａ，３１ｂ）をすり抜けた液体１５は、顕熱により温度上昇し潜熱により気化する。また液体１５が沸騰し二相流状態になったとしても冷却は可能である。このため、液体１５の流量、圧力、温度、電磁石３１のコイル抵抗、発熱量、温度などの条件を適切に調整することで、ボイル・オフ・ガス（ＢＯＧ）を所定の要求値に充足できる。

【0032】

スリーブ２６の下端にはポンプ３０が固定され、その上端は、収容槽１６の第１開口１１に締結されている。真空容器１７の第２開口１２を閉止する閉止プレート２２には、気密状態を保つ機能を持つ、ケーブル２５のコネクタ２７ａと輸送管２１を貫通させる軸封シール２８とが設けられている。そしてケーブル２５は、上端において閉止プレート２２のコネクタ２７ａに接続し、下端において高温超電導材料を用いた電流リード３４を介してチャンバ３５のコネクタ２７ｂに接続する。電流リード３４に酸化物系の高温超電導材料（熱伝導率は銅の１００分の１程度）を用いることによって外部からの熱侵入を大幅に低減できる。またケーブル２５は、熱収縮時に張力が作用しないよう、撓みをもたせて接続されている。

【0033】

そして輸送管２１は、上端において外部配管の継手２９と接続し、下端においてチャンバ３５の流路５６に接続する。また熱アンカー１９がシールド１８に接続されていることで、輸送管２１及びケーブル２５を媒介した、閉止プレート２２からポンプ３０への入熱が、抑制される。なお、ポンプ３０として、リニア駆動式により作動する複動式往復ポンプを例示したが、単動式往復ポンプや回転式ポンプなど他の公知手段を用いてもよい。

【0034】

図５（Ａ）（Ｂ）は移送システム２０の動作説明図である。図５（Ａ）に示すように、ピストン３２が上昇すると、入口逆止弁３９ａが開いて液体１５が入口室５１からシリンダ３８の内部下側に流入する。そしてこれと同時に、シリンダ３８の内部上側の液体１５がピストン３２で圧縮され、出口逆止弁３９ｂが開いて出口室５２に流出しさらにケーシング５９の内部に流入する。このとき、入口逆止弁３９ｃ及び出口逆止弁３９ｄは、閉止した状態となる。

【0035】

次に図５（Ｂ）に示すように、ピストン３２が下降すると、入口逆止弁３９ｃが開いて液体１５が入口室５１からシリンダ３８の内部上側に流入する。そしてこれと同時に、シリンダ３８の内部下側の液体１５がピストン３２で圧縮され、出口逆止弁３９ｄが開いて出口室５２に流出しさらにケーシング５９の内部に流入する。このとき、入口逆止弁３９ａ及び出口逆止弁３９ｂは、閉止した状態となる。

【0036】

ケーシング５９の内部に流入した液体１５は、電磁石３１の内径側と外径側の流路５６を通過し、ケーシング５９に接続された輸送管２１に流出する。輸送管２１を流動する液体１５は、閉止プレート２２（図３）を通過してタンク１０の外に供給される。このとき、電磁石３１が一般的な銅やアルミニウムを主成分とした線材から構成される常電導コイルの場合、コイル巻線の電気抵抗による損失（銅損）、磁界とその変化による損失（鉄損）、電磁石３１内の摩擦や空気抵抗などによる損失（機械損）で、発熱が生じる。ケーシング５９を流れる液体１５は、対流熱伝達により発熱した電磁石３１のコイルを除熱する。加温された液体１５は輸送管２１に導かれ、タンク１０の外に運ばれる。

【0037】

（第２実施形態）
次に図６を参照して本発明における第２実施形態について説明する。図６（Ａ）は第２実施形態における移送システム２０Ｂ（２０）の部分縦断面図である。図６（Ｂ）はその横断面図である。図６（Ｃ）は横断面の部分拡大図である。第２実施形態では、上述した第１実施形態の構成と対比して、次のように異なる構成を持つ。すなわち、電磁石３１が、ピストン３２の往復運動に対し同軸で多重（図示は、二重）の円筒構造を持ち、流路５６として、この円筒構造の隙間が機能している。なお、図６において図３と共通の構成又は機能を有する部分は、同一符号で示し、重複する説明を省略する。

【0038】

図６（Ｃ）に示すように第２実施形態の移送システム２０Ｂでは、電磁石３１の厚さ方向の一部にも、流路５６が設けられている。ここで一例としてコイル間の流路５６が１つの場合の構成を示しているが、複数設けてもよい。このコイル間の流路５６は、スペーサ３３が設けられている。スペーサ３３は、絶縁性を持つＧＦＲＰなどを、円周方向のコイル巻線方向に沿って流路５６が形成されるように設けてもよい。

【0039】

このように流路５６が構成されることにより、電磁石３１の発熱量が大きい場合であってもコイル冷却を効率良くできる。特に後述するように電磁石３１が超電導コイルの場合は、コイル内部の温度が臨界温度以上に高くなると超電導状態を維持できなくなるため、このような冷却が有効となる。

【0040】

（第３実施形態）
次に図７を参照して本発明における第３実施形態について説明する。図７は第３実施形態における移送システム２０Ｃ（２０）の部分縦断面図である。第３実施形態では、上述した第１実施形態の構成と対比して、次のように異なる構成を持つ。すなわち、流路５６は、電磁石３１の外周に螺旋状に形成されている。なお、図７において図１と共通の構成又は機能を有する部分は、同一符号で示し、重複する説明を省略する。

【0041】

図７に示すように第３実施形態の移送システム２０Ｃでは、電磁石３１の周囲にヒートシンク５４を介して伝熱管５８が螺旋状に設置されている。ピストン３２により押し出された液体１５は出口室５２に接続された伝熱管５８に流入し、熱交換しながら電磁石３１を冷却し、輸送管２１を通ってタンク外に供給される。なお伝熱管５８およびヒートシンク５４には、アルミニウム合金や銅合金など高熱伝導の材料を使用することが望ましい。
このような冷却構成にすることにより、電磁石３１のコイルを液体１５で濡らすことがなくなり、電流ショートのリスクを低減し、構造も簡素化できる。

【0042】

（第４実施形態）
次に図３、図６及び図７を参照して本発明における第４実施形態について説明する。第４実施形態では、上述した第１実施形態から第３実施形態の構成と対比して、電磁石３１が超電導電磁石である点で異なる構成を持つ。種類によって液体１５の沸点が異なるため、超電導状態であってもコイル線材に流せる最大電流（臨界電流）は温度によって変化する。このため、液体１５の種類によって適切な超電導コイル線材の種類も変化する。

【0043】

２０Ｋ未満の温度域では、例えば、二ホウ化マグネシウム（ＭｇＢ₂）やニオブチタン（ＮｂＴｉ）のような金属系の低温超電導線材が使用される。一方、２０Ｋ以上では、一般的にＲＥＢＣＯと呼ばれる銅酸化物系の高温超電導線材が使用される。超電導電磁石を使用した場合、上述した常電導電磁石と比較して、電流密度を１０倍以上高くできるため、電磁石３１の体積を１０分の１以下にすることができる。このため、小型の収容槽１６に設置するポンプ３０の電磁石３１の小型化・軽量化が図れ、超電導状態で電気抵抗がゼロになるため銅損なしで作動させることができる。

【0044】

以上述べた少なくともひとつの実施形態の液体の貯蔵タンクによれば、液体に流動圧を付与するポンプを、収容槽の内部において輸送管の先端に設けることにより、貫通部品を削減しタンクへの入熱を低減して、液体の気化損失を低減させることができる。これにより、省スペース性にも優れ、極低温液体の貯蔵に適したタンクの提供が可能となる。

【0045】

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更、組み合わせを行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

【符号の説明】

【0046】

１０…貯蔵タンク、１１…第１開口、１２…第２開口、１５…液体、１６…収容槽、１７…真空容器、１８…シールド、１９…熱アンカー、２０（２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ）…移送システム、２１…輸送管、２２…閉止プレート、２４…シール部、２５…ケーブル、２６…スリーブ、２７（２７ａ，２７ｂ）…コネクタ、２８…軸封シール、２９…継手、３０…ポンプ、３１（３１ａ，３１ｂ）…電磁石、３２…ピストン、３３…スペーサ、３４…電流リード、３５…チャンバ、３６…永久磁石、３７…駆動軸、３８…シリンダ、３９（３９ａ，３９ｂ，３９ｃ，３９ｄ）…逆止弁、４０…冷却機、４１…コールドヘッド、４２…伸縮継手、４５…本体部、４８…垂直サポート、４９…水平サポート、５１…入口室、５２…出口室、５４…ヒートシンク、５５…孔部、５６…流路、５７…ノズル、５８…伝熱管、５９…ケーシング。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】