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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024158219
(43)【公開日】2024-11-08
(54)【発明の名称】アクチュエータ
(51)【国際特許分類】
H02K 33/16 20060101AFI20241031BHJP
【ＦＩ】
H02K33/16 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023073233
(22)【出願日】2023-04-27
(71)【出願人】
【識別番号】000002233
【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100142619
【弁理士】
【氏名又は名称】河合 徹
(74)【代理人】
【識別番号】100153316
【弁理士】
【氏名又は名称】河口 伸子
(74)【代理人】
【識別番号】100196140
【弁理士】
【氏名又は名称】岩垂 裕司
(72)【発明者】
【氏名】佐々木 駿
(72)【発明者】
【氏名】森 亮
【テーマコード（参考）】
5H633
【Ｆターム（参考）】
5H633BB08
5H633BB10
5H633GG02
5H633GG04
5H633GG09
5H633GG26
5H633HH03
5H633HH07
5H633JA03
(57)【要約】
【課題】接続部材の検査に適した材料からなる内枠部を備えたアクチュエータを提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、筒状のケース２０を備える支持体２と、ケース２０の中心に配置される支軸３０を備える可動体３と、支持体２および可動体３を接続する接続部材１０と、磁気駆動機構６と、を有する。接続部材１０は、支軸３０が嵌合する貫通孔１４を備える環状の内枠部１１と、ケース２０の内側に保持される環状の外枠部１２と、外枠部１２および内枠部１１に接続された接続体１３と、を備える。内枠部１１は、真鍮製である。内枠部１１の外周面１１２の算術表面粗さＲａは、１．０μｍ以上である。
【選択図】図３
【解決手段】アクチュエータ１は、筒状のケース２０を備える支持体２と、ケース２０の中心に配置される支軸３０を備える可動体３と、支持体２および可動体３を接続する接続部材１０と、磁気駆動機構６と、を有する。接続部材１０は、支軸３０が嵌合する貫通孔１４を備える環状の内枠部１１と、ケース２０の内側に保持される環状の外枠部１２と、外枠部１２および内枠部１１に接続された接続体１３と、を備える。内枠部１１は、真鍮製である。内枠部１１の外周面１１２の算術表面粗さＲａは、１．０μｍ以上である。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
筒状のケースを備える支持体と、
前記ケースの中心に配置される支軸を備える可動体と、
前記支持体および前記可動体を接続する接続部材と、
磁石およびコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して前記支軸の軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、
前記接続部材は、前記支軸が嵌合する貫通孔を備える環状の内枠部と、前記ケースの内側に保持されるとともに前記内枠部の外周側に配置される環状の外枠部と、前記外枠部および前記内枠部に接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、を備え、
前記内枠部は、真鍮製であり、
前記内枠部の外周面の算術表面粗さは、１．０μｍ以上であることを特徴とするアクチュエータ。
前記ケースの中心に配置される支軸を備える可動体と、
前記支持体および前記可動体を接続する接続部材と、
磁石およびコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して前記支軸の軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、
前記接続部材は、前記支軸が嵌合する貫通孔を備える環状の内枠部と、前記ケースの内側に保持されるとともに前記内枠部の外周側に配置される環状の外枠部と、前記外枠部および前記内枠部に接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、を備え、
前記内枠部は、真鍮製であり、
前記内枠部の外周面の算術表面粗さは、１．０μｍ以上であることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項2】
筒状のケースを備える支持体と、
前記ケースの中心に配置される支軸を備える可動体と、
前記支持体および前記可動体を接続する接続部材と、
磁石およびコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して前記支軸の軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、
前記接続部材は、前記支軸が嵌合する貫通孔を備える環状の内枠部と、前記ケースの内側に保持されるとともに前記内枠部の外周側に配置される環状の外枠部と、前記外枠部および前記内枠部に接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、を備え、
前記内枠部は、ステンレス製であり、
前記内枠部の外周面の算術表面粗さは、０．１μｍ以上であることを特徴とするアクチュエータ。
前記ケースの中心に配置される支軸を備える可動体と、
前記支持体および前記可動体を接続する接続部材と、
磁石およびコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して前記支軸の軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、
前記接続部材は、前記支軸が嵌合する貫通孔を備える環状の内枠部と、前記ケースの内側に保持されるとともに前記内枠部の外周側に配置される環状の外枠部と、前記外枠部および前記内枠部に接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、を備え、
前記内枠部は、ステンレス製であり、
前記内枠部の外周面の算術表面粗さは、０．１μｍ以上であることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項3】
筒状のケースを備える支持体と、
前記ケースの中心に配置される支軸を備える可動体と、
前記支持体および前記可動体を接続する接続部材と、
磁石およびコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して前記支軸の軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、
前記接続部材は、前記支軸が嵌合する貫通孔を備える環状の内枠部と、前記ケースの内側に保持されるとともに前記内枠部の外周側に配置される環状の外枠部と、前記外枠部および前記内枠部に接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、を備え、
前記内枠部は、少なくとも外周面を含む外周部分が樹脂製であることを特徴とするアクチュエータ。
前記ケースの中心に配置される支軸を備える可動体と、
前記支持体および前記可動体を接続する接続部材と、
磁石およびコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して前記支軸の軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、
前記接続部材は、前記支軸が嵌合する貫通孔を備える環状の内枠部と、前記ケースの内側に保持されるとともに前記内枠部の外周側に配置される環状の外枠部と、前記外枠部および前記内枠部に接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、を備え、
前記内枠部は、少なくとも外周面を含む外周部分が樹脂製であることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項4】
前記内枠部の外周面の算術表面粗さは、３．２μｍ以下であることを特徴とする請求項１または２に記載のアクチュエータ。
【請求項5】
前記内枠部は、前記外周部分である第１部材と、前記第１部材の内側に嵌合するとともに前記貫通孔を備える金属製の第２部材と、を備え、
前記貫通孔に前記支軸が圧入されることにより、前記第２部材を介して前記第１部材に支軸が固定されることを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ。
前記貫通孔に前記支軸が圧入されることにより、前記第２部材を介して前記第１部材に支軸が固定されることを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ。
【請求項6】
前記支持体は、前記外枠部が嵌合する凹部を備え、
前記凹部は、前記外枠部が前記凹部に嵌合した際に、前記支軸の軸線方向で前記外枠部
に当接する段部を備えることを特徴とする請求項１から３のうち何れか一項に記載のアクチュエータ。
前記凹部は、前記外枠部が前記凹部に嵌合した際に、前記支軸の軸線方向で前記外枠部
に当接する段部を備えることを特徴とする請求項１から３のうち何れか一項に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、可動体を支持体に対して相対移動させるアクチュエータに関する。
【背景技術】
【0002】
アクチュエータとして、可動体および支持体に接続された接続部材と、支持体に対して可動体を移動させる磁気駆動機構とを備えた構成が提案されている。特許文献１には、接続部材を用いたアクチュエータが記載される。特許文献１のアクチュエータでは、支持体は、円筒形のケースを備える。可動体は、磁石およびヨークと、磁石およびヨークの中心を貫通する支軸を備えており、支軸の軸線方向の両端が円筒状の接続部材を介してケースに接続される。
【0003】
接続部材は、環状の内枠部と、ケースの内側に保持される環状の外枠部と、外枠部および記内枠部に接続される接続体と、を備える。接続体は、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えたゲル状部材である。内枠部は、可動体側の部品である支軸に固定される。外枠部は、支持体側の部品であるコイルホルダを介してケースに固定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０２２－０８３５１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献１の接続体は、ゲル材料を型に充填して硬化させる方法により製造される。接続体を成形するときは、治具によって外枠部および内枠部を同軸に位置決めして外枠部と内枠部との間に環状の隙間を形成し、この隙間にゲル材料を充填して熱硬化させる。これにより、ゲル状部材自身の粘着性によって、接続体が外枠部の内周面と内枠部の外周面とに接合される。
【0006】
製造された接続部材は、接続体が外枠部の内周面と内枠部の外周面とに密着しているか検査される。検査方法としては、接続部材の接続体に光を照射し、接続部材をカメラで撮影することにより、接続体に生じる影を観察して判断する。接続体が、外枠部の内周面または内枠部の外周面に密着していない場合には、接続体の外周側または内周側に、接続体が密着しないことに起因する影が観察される。影が観察された接続部材は、不良品として処理される。
【0007】
ここで、内枠部は様々な材料が用いられるが、材料によっては、検査を行う際に、内枠部の外周面で反射される光が多くなることによって、内枠部の外周面で反射される光が干渉し合う場合がある。この場合、接続体が、内枠部の外周面に密着したとしても、反射される光が干渉し合うことにより、接続体の内周側に影が生じることがある。この結果、接続部材が良品であっても、接続部材が不良品であると判断されてしまう可能性がある。このため、内枠部の材料によっては、接続部材の検査が正確に行えないという問題がある。
【0008】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、接続部材の検査に適した材料からな内枠部を備えたアクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0009】
上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータは、筒状のケースを備える支
持体と、前記ケースの中心に配置される支軸を備える可動体と、前記支持体および前記可動体を接続する接続部材と、磁石およびコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して前記支軸の軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、前記接続部材は、前記支軸が嵌合する貫通孔を備える環状の内枠部と、前記ケースの内側に保持されるとともに前記内枠部の外周側に配置される環状の外枠部と、前記外枠部および前記内枠部に接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、を備え、前記内枠部は、真鍮製であり、前記内枠部の外周面の算術表面粗さは、１．０μｍ以上であることを特徴とする。
持体と、前記ケースの中心に配置される支軸を備える可動体と、前記支持体および前記可動体を接続する接続部材と、磁石およびコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して前記支軸の軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、前記接続部材は、前記支軸が嵌合する貫通孔を備える環状の内枠部と、前記ケースの内側に保持されるとともに前記内枠部の外周側に配置される環状の外枠部と、前記外枠部および前記内枠部に接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、を備え、前記内枠部は、真鍮製であり、前記内枠部の外周面の算術表面粗さは、１．０μｍ以上であることを特徴とする。
【0010】
本発明によれば、内枠部が安価に加工できる真鍮製であるので、部品コストを低減することができる。また、光の反射率が高い真鍮を用いた場合であっても、内枠部の外周面の算術表面粗さが１．０μｍ以上とすれば、外周面の凹凸が大きくなって外周面で反射する光の反射率が低減するので、接続部材の検査を行う際に、内枠部の外周面で反射される光を抑制することができる。これにより、接続部材の検査を行う際に、接続部材の検査を正確に行うことができる。
【0011】
本発明に係るアクチュエータは、筒状のケースを備える支持体と、前記ケースの中心に配置される支軸を備える可動体と、前記支持体および前記可動体を接続する接続部材と、磁石およびコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して前記支軸の軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、前記接続部材は、前記支軸が嵌合する貫通孔を備える環状の内枠部と、前記ケースの内側に保持されるとともに前記内枠部の外周側に配置される環状の外枠部と、前記外枠部および前記内枠部に接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、を備え、前記内枠部は、ステンレス製であり、前記内枠部の外周面の算術表面粗さは、０．１μｍ以上であることを特徴とする。
【0012】
本発明によれば、内枠部が安価な材料であるステンレス製であるので、部品コストを低減することができる。また、ステンレスを用いた場合には、内枠部の外周面の算術表面粗さが０．１μｍ以上とすれば、外周面の凹凸が大きくなって外周面で反射する光の反射率が低減するので、接続部材の検査を行う際に、内枠部の外周面で反射される光を抑制することができる。これにより、接続部材の検査を行う際に、接続部材の検査を正確に行うことができる。
【0013】
本発明に係るアクチュエータは、筒状のケースを備える支持体と、前記ケースの中心に配置される支軸を備える可動体と、前記支持体および前記可動体を接続する接続部材と、
磁石およびコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して前記支軸の軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、前記接続部材は、前記支軸が嵌合する貫通孔を備える環状の内枠部と、前記ケースの内側に保持されるとともに前記内枠部の外周側に配置される環状の外枠部と、前記外枠部および前記内枠部に接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、を備え、前記内枠部は、少なくとも外周面を含む外周部分が樹脂製であることを特徴とする。
磁石およびコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して前記支軸の軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、前記接続部材は、前記支軸が嵌合する貫通孔を備える環状の内枠部と、前記ケースの内側に保持されるとともに前記内枠部の外周側に配置される環状の外枠部と、前記外枠部および前記内枠部に接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、を備え、前記内枠部は、少なくとも外周面を含む外周部分が樹脂製であることを特徴とする。
【0014】
本発明によれば、内枠部が安価な材料である樹脂製であるので、部品コストを低減することができる。また、樹脂製であれば、接続部材の検査を行う際に、内枠部の外周面で反射される光を抑制することができる。これにより、接続部材の検査を行う際に、接続部材の検査を正確に行うことができる。
【0015】
本発明において、前記内枠部の外周面の算術表面粗さは、３．２μｍ以下であることが好ましい。これにより、接続体が内枠部の外周面に密着しやすい。ここで、内枠部の外周面の算術表面粗さが３．２μｍより大きい場合には、表面の凹凸が大きくなるので、接続体を成形した際に、内枠部の外周面と接続体との間に隙間が生じやすく、接続体が内枠部
の外周面に密着しにくい。
の外周面に密着しにくい。
【0016】
本発明において、前記内枠部は、前記外周部分である第１部材と、前記第１部材の内側に嵌合するとともに前記貫通孔を備える金属製の第２部材と、を備え、前記貫通孔に前記支軸が圧入されることにより、前記第２部材を介して前記第１部材に支軸が固定されることが好ましい。このようにすれば、可動体に設けられた内枠部と支持体に設けられた外枠部とを接続体により接続する。内枠部は、接続体が接続される樹脂製の第１部材と、支軸が圧入される金属製の第２部材が別部材とされ、２部材を組み立てて構成する。このようにすると、支軸に対する固定強度を確保するための金属製の第２部材を小型化できるので、部品コストを下げることができる。また、支軸を圧入して固定する第２部材は、接続体を接続した第１部材から分離可能であるため、圧入時の部品の取り扱いが容易であり、接続体が傷つくおそれが少ない。よって、内枠部の部品コストの低減を図るとともに、内枠部の支軸への固定強度を確保し、かつ、アクチュエータの組立容易性を高めることができる。
【0017】
本発明において、前記支持体は、前記外枠部が嵌合する凹部を備え、前記凹部は、前記外枠部が前記凹部に嵌合した際に、前記支軸の軸線方向で前記外枠部に当接する段部を備えることが好ましい。このようにすれば、軸線方向において、接続部材をケースに位置決めすることができる。
【発明の効果】
【0018】
本発明によれば、内枠部は、接続部材の検査に適した材料からなるので、接続部材の検査を行う際に、内枠部の外周面で反射される光を抑制することができる。これにより、接続部材の検査を行う際に、接続部材の検査を正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【0019】
【図1】実施形態１に係るアクチュエータの斜視図である。
【図5】接続部材の検査方法を示す説明図である。
【図6】検査工程において、接続部材を撮像した際の撮像結果を示す説明図である。
【図8】実施形態４に係るアクチュエータの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0020】
（全体構成）
以下に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。図１は、本発明の実施形態に係るアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータ１の分解斜視図である。図３、図４は、図１に示すアクチュエータ１の断面図である。図３は、図１のＡ－Ａ位置で切断した断面図である。図４は、図１のＢ－Ｂ位置で切断した断面図であり、図３と直交する方向で切断した断面図である。以下の説明において、可動体３の中心軸線Ｌが延在する方向を軸線方向とし、軸線方向の一方側をＬ１とし、軸線方向の他方側をＬ２とする。
以下に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。図１は、本発明の実施形態に係るアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータ１の分解斜視図である。図３、図４は、図１に示すアクチュエータ１の断面図である。図３は、図１のＡ－Ａ位置で切断した断面図である。図４は、図１のＢ－Ｂ位置で切断した断面図であり、図３と直交する方向で切断した断面図である。以下の説明において、可動体３の中心軸線Ｌが延在する方向を軸線方向とし、軸線方向の一方側をＬ１とし、軸線方向の他方側をＬ２とする。
【0021】
図１～図４に示すように、アクチュエータ１は、支持体２と、支軸３０を備える可動体３と、支持体２および可動体３に接続された接続部材１０と、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動機構６と、を備える。接続部材１０は、弾性および粘弾性のうちの少なくとも一方を備える。磁気駆動機構６は、可動体３に配置される磁石６１と、支持体２に配置されるコイル６２とを備えており、支持体２に対して可動体３を支軸３０の
軸線方向に相対移動させる。図３、図４に示すように、可動体３は、軸線方向の一方側Ｌ１の端部、および軸線方向の他方側Ｌ２の端部の各位置において、接続部材１０を介して支持体２と接続される。
軸線方向に相対移動させる。図３、図４に示すように、可動体３は、軸線方向の一方側Ｌ１の端部、および軸線方向の他方側Ｌ２の端部の各位置において、接続部材１０を介して支持体２と接続される。
【0022】
（支持体）
図２～図４に示すように、支持体２は、筒状のケース２０と、ケース２０の軸線方向の一方側Ｌ１の開口を塞ぐ第１蓋部材２１と、ケース２０の軸線方向の他方側Ｌ２の開口を塞ぐ第２蓋部材２２と、ケース２０の内周側で第１蓋部材２１と第２蓋部材２２との間に配置されるコイルホルダ４と、を有する。本形態では、ケース２０、第１蓋部材２１、第２蓋部材２２、およびコイルホルダ４は樹脂製である。
図２～図４に示すように、支持体２は、筒状のケース２０と、ケース２０の軸線方向の一方側Ｌ１の開口を塞ぐ第１蓋部材２１と、ケース２０の軸線方向の他方側Ｌ２の開口を塞ぐ第２蓋部材２２と、ケース２０の内周側で第１蓋部材２１と第２蓋部材２２との間に配置されるコイルホルダ４と、を有する。本形態では、ケース２０、第１蓋部材２１、第２蓋部材２２、およびコイルホルダ４は樹脂製である。
【0023】
（ケース）
ケース２０は、円筒状のケース本体２４と、ケース本体２４の内周側に配置される第２固定部２５と、を備える。第２固定部２５は、コイルホルダ４に対して軸線方向の他方側Ｌ２に離れた位置に配置される。図２、図４に示すように、第２固定部２５は、ケース本体２４の内周面から内周側に突出しており、ケース本体２４と一体に成形される。第２固定部２５の内周面には、軸線方向の一方側Ｌ１に凹む第２凹部４６が設けられる。第２凹部４６は、径方向内側に突出した段部４６１を備える。
ケース２０は、円筒状のケース本体２４と、ケース本体２４の内周側に配置される第２固定部２５と、を備える。第２固定部２５は、コイルホルダ４に対して軸線方向の他方側Ｌ２に離れた位置に配置される。図２、図４に示すように、第２固定部２５は、ケース本体２４の内周面から内周側に突出しており、ケース本体２４と一体に成形される。第２固定部２５の内周面には、軸線方向の一方側Ｌ１に凹む第２凹部４６が設けられる。第２凹部４６は、径方向内側に突出した段部４６１を備える。
【0024】
図１、図４に示すように、コイルホルダ４が嵌まるケース本体２４の内周面には、軸線方向に延びる複数の溝部２９が形成されている。図２に示すように、コイルホルダ４は、第１固定部４１の外周面から突出する複数の凸部４９を備える。支持体２を組み立てる際、コイルホルダ４の各凸部４９は、ケース本体２４の各溝部２９に軸線方向の一方側Ｌ１から嵌め込まれる。これにより、コイルホルダ４がケース本体２４に圧入されて固定される。
【0025】
（コイルホルダ）
図２に示すように、コイルホルダ４は、環状の第１固定部４１と、第１固定部４１から軸線方向の他方側Ｌ２へ突出する胴部４２と、を備える。胴部４２の周りには、コイル６２が配置される。コイル６２から引き出されたコイル線６３の端部は、コイルホルダ４の第１固定部４１から径方向外側へ突出する２本の端子ピン６４に絡げられている。図１に示すように、端子ピン６４はケース２０の外部へ突出しており、配線基板７に接続される。
図２に示すように、コイルホルダ４は、環状の第１固定部４１と、第１固定部４１から軸線方向の他方側Ｌ２へ突出する胴部４２と、を備える。胴部４２の周りには、コイル６２が配置される。コイル６２から引き出されたコイル線６３の端部は、コイルホルダ４の第１固定部４１から径方向外側へ突出する２本の端子ピン６４に絡げられている。図１に示すように、端子ピン６４はケース２０の外部へ突出しており、配線基板７に接続される。
【0026】
図４に示すように、第１固定部４１の内周面には、軸線方向の他方側Ｌ２に凹む第１凹部４３が設けられる。第１凹部４３は、径方向内側に突出した段部４３１を備える。
【0027】
（蓋部材）
図３、図４に示すように、第１蓋部材２１は、コイルホルダ４に設けられた第１固定部４１の軸線方向の一方側Ｌ１からケース本体２４に固定される。また、第２蓋部材２２は、第２固定部２５の軸線方向の他方側Ｌ２からケース本体２４に固定される。図２に示すように、第１蓋部材２１および第２蓋部材２２は、それぞれ、軸線方向から見て円形の蓋部２６と、蓋部２６の外周縁に周方向で等間隔に配置された複数の係止部２７を備える。本形態では、第１蓋部材２１および第２蓋部材２２は、それぞれ、３個所の係止部２７を備える。係止部２７は、蓋部２６から外周側へ拡がる方向に傾斜して延びる爪部である。
図３、図４に示すように、第１蓋部材２１は、コイルホルダ４に設けられた第１固定部４１の軸線方向の一方側Ｌ１からケース本体２４に固定される。また、第２蓋部材２２は、第２固定部２５の軸線方向の他方側Ｌ２からケース本体２４に固定される。図２に示すように、第１蓋部材２１および第２蓋部材２２は、それぞれ、軸線方向から見て円形の蓋部２６と、蓋部２６の外周縁に周方向で等間隔に配置された複数の係止部２７を備える。本形態では、第１蓋部材２１および第２蓋部材２２は、それぞれ、３個所の係止部２７を備える。係止部２７は、蓋部２６から外周側へ拡がる方向に傾斜して延びる爪部である。
【0028】
係止部２７は、径方向に弾性変形して蓋部２６と共にケース本体２４の内周側に押し込まれる。ケース２０は、係止部２７がケース２０の内側から外れることを規制する規制部２８を備える。規制部２８は、ケース本体２４の端部から内周側に突出する凸部である。図１、図２に示すように、規制部２８は、ケース本体２４の軸線方向の一方側Ｌ１および
他方側Ｌ２の端部に、それぞれ、３個所ずつ等間隔に配置される。規制部２８は、係止部２７の先端に対して軸線方向に当接する。第１蓋部材２１および第２蓋部材２２は、係止部２７および規制部２８による係止構造と、接着剤による固定と併用してケース２０に固定される。第１固定部４１は、ケース本体２４に設けられた３個所の規制部２８と軸線方向で重なる部分が切り欠かれている。よって、コイルホルダ４をケース本体２４の内部に挿入する際に、第１固定部４１と規制部２８とが干渉することが回避される。
他方側Ｌ２の端部に、それぞれ、３個所ずつ等間隔に配置される。規制部２８は、係止部２７の先端に対して軸線方向に当接する。第１蓋部材２１および第２蓋部材２２は、係止部２７および規制部２８による係止構造と、接着剤による固定と併用してケース２０に固定される。第１固定部４１は、ケース本体２４に設けられた３個所の規制部２８と軸線方向で重なる部分が切り欠かれている。よって、コイルホルダ４をケース本体２４の内部に挿入する際に、第１固定部４１と規制部２８とが干渉することが回避される。
【0029】
（配線基板）
図２に示すように、ケース２０は、軸線方向の一方側Ｌ１の縁を軸線方向の他方側Ｌ２に切り欠いた切欠き部６５と、切欠き部６５の他方側Ｌ２に形成された基板固定部６９と、を備える。図１に示すように、配線基板７は、基板固定部６９の軸線方向の一方側Ｌ１の端部に設けられた爪部６９１、および、基板固定部６９の軸線方向の他方側Ｌ２の端部に設けられた係止溝６９２による係止構造と、接着剤による固定とを併用して基板固定部６９に固定される。配線基板７には、コイル６２に対する給電用のリード線８が接続される。基板固定部６９には、配線基板７に対して周方向に隣接する位置でリード線８を保持するリード線保持部８０が設けられている。
図２に示すように、ケース２０は、軸線方向の一方側Ｌ１の縁を軸線方向の他方側Ｌ２に切り欠いた切欠き部６５と、切欠き部６５の他方側Ｌ２に形成された基板固定部６９と、を備える。図１に示すように、配線基板７は、基板固定部６９の軸線方向の一方側Ｌ１の端部に設けられた爪部６９１、および、基板固定部６９の軸線方向の他方側Ｌ２の端部に設けられた係止溝６９２による係止構造と、接着剤による固定とを併用して基板固定部６９に固定される。配線基板７には、コイル６２に対する給電用のリード線８が接続される。基板固定部６９には、配線基板７に対して周方向に隣接する位置でリード線８を保持するリード線保持部８０が設けられている。
【0030】
切欠き部６５の内周側には、コイルホルダ４の第１固定部４１が配置される。図２に示すように、第１固定部４１から突出する２本の端子ピン６４の根本には、コイル６２から引き出されたコイル線６３が絡げられている。２本の端子ピン６４は、第１蓋部材２１の外周縁の周方向の一部から軸線方向の他方側Ｌ２に延びるカバー６６と、ケース２０の切欠き部６５との隙間からケース２０の外周側に突出し、配線基板７に設けられた２箇所の穴７１に通されて、穴７１の縁に設けられたランドと電気的に接続される。
【0031】
（可動体）
図２、図３、図４に示すように、可動体３は、支持体２の径方向の中心において軸線方向に延びる支軸３０を有する。支軸３０には、接続部材１０によって、磁石６１およびヨーク３５が固定される。支軸３０は金属製の丸棒である。
図２、図３、図４に示すように、可動体３は、支持体２の径方向の中心において軸線方向に延びる支軸３０を有する。支軸３０には、接続部材１０によって、磁石６１およびヨーク３５が固定される。支軸３０は金属製の丸棒である。
【0032】
磁石６１は、軸線方向から見て円形である。磁石６１の径方向の中央には、支軸３０が貫通する軸穴６１０が設けられており、支軸３０の軸線方向の略中央に磁石６１が固定される。ヨーク３５は、磁石６１に軸線方向の一方側Ｌ１から当接する第１ヨーク３１と、磁石６１に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する第２ヨーク３２を備える。
【0033】
第１ヨーク３１の中央には、支軸３０が貫通する軸穴３１０が設けられている。第１ヨーク３１は、外径寸法が磁石６１の外径寸法よりわずかに大きい磁性板であり、第１ヨーク３１の外周面は、磁石６１の外周面より径方向外側に張り出している。第１ヨーク３１は、磁石６１の一方側Ｌ１の端面に接着等の方法で固定される。
【0034】
第２ヨーク３２は、磁石６１に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する円板状の第１磁性部材３３と、第１磁性部材３３を収容するカップ状の第２磁性部材３４と、第２磁性部材３４に軸線方向の他方側Ｌ２から当接する円板状の第３磁性部材３８と、を備える。図３、図４に示すように、第１磁性部材３３の板厚、第２磁性部材３４の板厚、および第３磁性部材３８の板厚は、いずれも第１ヨーク３１の板厚よりも薄い。
【0035】
第１磁性部材３３は、支軸３０が貫通する軸穴３３０が設けられており、磁石６１の他方側Ｌ２の端面に固定される。第２磁性部材３４は、支軸３０が貫通する軸穴３４０が設けられた円板部３４１と、円板部３４１の外縁に設けられた屈曲部３４２と、屈曲部３４２から軸線方向の一方側Ｌ１へ延びる円筒部３４３と、を備える。円板部３４１には、支軸３０が貫通する軸穴３４０が設けられている。
【0036】
第３磁性部材３８には、支軸３０が貫通する軸穴３８０が設けられており、第２磁性部材３４の円板部３４１に対して軸線方向の他方側Ｌ２から固定される。第３磁性部材３８は、可動体３の重量を調整する重量調整部材として機能する。第３磁性部材３８は、重量調整部３９を備える。本形態では、重量調整部３９は円形の貫通孔である。重量調整部３９の数やサイズは、第３磁性部材３８の外形を変更することなく、第３磁性部材３８の重量を設計値に一致させるように設定されている。本形態では、図２に示すように、４箇所の重量調整部３９が９０度の角度間隔で周方向に並んでいる。４箇所の重量調整部３９は、可動体３の重心を中心として周方向に均等配置される。
【0037】
第１磁性部材３３は、外径寸法が磁石６１の外径寸法と略同一であり、円板部３４１よりも小さい。第２磁性部材３４は、円筒部３４３の内径が磁石６１および第１ヨーク３１の外径より大きい。よって、磁石６１および第１ヨーク３１を第１磁性部材３３に対して軸線方向の一方側Ｌ１から積層すると、円筒部３４３は、磁石６１の外周面および第１ヨーク３１の外周面から径方向外側に離れた位置で磁石６１の外周面および第１ヨーク３１の外周面に対向する。
【0038】
図３、図４に示すように、コイルホルダ４の胴部４２は、第２ヨーク３２の円筒部３４３と、第１ヨーク３１および磁石６１との径方向の隙間に挿入される。よって、胴部４２に巻かれたコイル６２は、円筒部３４３と磁石６１の外周面との間、および、円筒部３４３と第１ヨーク３１の外周面との間に配置される。
【0039】
（接続体）
接続部材１０は、軸線方向の一方側Ｌ１に配置された第１接続部材１０Ａと、軸線方向の他方側Ｌ２に配置された第２接続部材１０Ｂと、を備える。第１接続部材１０Ａおよび第２接続部材１０Ｂは、同一形状である。第１接続部材１０Ａおよび第２接続部材１０Ｂは、支軸３０が嵌合する貫通孔１４を備える環状の内枠部１１と、ケース２０の内側に保持されるとともに内枠部１１の外周側に配置される環状の外枠部１２と、外枠部１２および内枠部１１に接続される接続体１３と、を備える。接続体１３は、ゲル材料を成形したゲル状部材である。
接続部材１０は、軸線方向の一方側Ｌ１に配置された第１接続部材１０Ａと、軸線方向の他方側Ｌ２に配置された第２接続部材１０Ｂと、を備える。第１接続部材１０Ａおよび第２接続部材１０Ｂは、同一形状である。第１接続部材１０Ａおよび第２接続部材１０Ｂは、支軸３０が嵌合する貫通孔１４を備える環状の内枠部１１と、ケース２０の内側に保持されるとともに内枠部１１の外周側に配置される環状の外枠部１２と、外枠部１２および内枠部１１に接続される接続体１３と、を備える。接続体１３は、ゲル材料を成形したゲル状部材である。
【0040】
内枠部１１は、金属製である。本形態では、内枠部１１は、真鍮製である。内枠部１１は、筒状であり、環状の外周面１１２を備える。内枠部１１の外周面１１２の算術表面粗さＲａは、１．０μｍ以上であって、３．２μｍ以下である。ここで、真鍮は、材料が柔らかく、加工が容易であるので、内枠部１１を安価に加工することができる。これにより、内枠部１１の部品コストを低減することができる。
【0041】
内枠部１１の内周面には、径方向内側に突出した環状突部１１１が形成されている。環状突部１１１が形成された端部は、軸線方向において外枠部１２よりヨーク３５に向かって突出している。環状突部１１１の径方向内側に貫通孔１４が設けられている。内枠部１１は、貫通孔１４が支軸３０に圧入されることにより、支軸３０に固定される。ここで、磁石６１およびヨーク３５は、第１接続部材１０Ａおよび第２接続部材１０Ｂの内枠部１１が、それぞれ、支軸３０に固定されることにより、支軸３０の軸線方向の中央に保持される。
【0042】
外枠部１２は、樹脂製である。第１接続部材１０Ａの外枠部１２は、コイルホルダ４の内周側に嵌まる。より具体的には、第１接続部材１０Ａの外枠部１２は、コイルホルダ４の第２凹部４６に圧入される。ここで、第１接続部材１０Ａの外枠部１２が第２凹部４６に嵌合した際に、第１接続部材１０Ａの外枠部１２の外周面に形成された環状段部１２２が、段部４６１に対して軸線方向に当接する。
【0043】
第２接続部材１０Ｂの外枠部１２は、ケース２０の内周側に嵌まる。より具体的には、第２接続部材１０Ｂの外枠部１２は、第１凹部４３に圧入される。ここで、第２接続部材１０Ｂの外枠部１２が第１凹部４３に嵌合した際に、第２接続部材１０Ｂの外枠部１２の外周面に形成された環状段部１２２が、段部４３１に対して軸線方向に当接する。
【0044】
（アクチュエータの動作）
アクチュエータ１は、コイル６２に通電することにより、磁気駆動機構６が、可動体３を軸線方向に駆動する駆動力を発生させる。コイル６２への通電を切ると、可動体３は、接続体１３の復帰力によって原点位置へ戻る。よって、コイル６２への通電を断続的に行うことにより、可動体３は、軸線方向で振動する。また、コイル６２に印加する交流波形を調整することで、可動体３が軸線方向の一方側Ｌ１に移動する加速度と、可動体３が軸線方向の他方側Ｌ２に移動する加速度を異なるものとすることができる。これにより、アクチュエータ１を触覚デバイスとして取り付けた機器を手にした者は、軸線方向において方向性を有する振動を体感することができる。また、アクチュエータ１を利用してスピーカを構成することもできる。
アクチュエータ１は、コイル６２に通電することにより、磁気駆動機構６が、可動体３を軸線方向に駆動する駆動力を発生させる。コイル６２への通電を切ると、可動体３は、接続体１３の復帰力によって原点位置へ戻る。よって、コイル６２への通電を断続的に行うことにより、可動体３は、軸線方向で振動する。また、コイル６２に印加する交流波形を調整することで、可動体３が軸線方向の一方側Ｌ１に移動する加速度と、可動体３が軸線方向の他方側Ｌ２に移動する加速度を異なるものとすることができる。これにより、アクチュエータ１を触覚デバイスとして取り付けた機器を手にした者は、軸線方向において方向性を有する振動を体感することができる。また、アクチュエータ１を利用してスピーカを構成することもできる。
【0045】
本形態では、接続部材１０は、支持体２と可動体３が第１方向（径方向）で対向する位置に配置され、可動体３は第１方向（径方向）に対して交差する第２方向（軸線方向）に振動する。可動体３が支持体２に対して第２方向（軸線方向）に振動する際、接続体１３は、可動体３の振動に追従してせん断方向に変形する。シリコーンゲル等のゲル状部材は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。ゲル状部材がせん断方向に変形する際は、非線形の成分よりも線形の成分が大きい変形特性を持つ。よって、可動体３が支持体２に対して軸線方向に振動する際、接続体１３は、線形性が高い範囲で変形するので、リニアリティが良好な振動特性を得ることができる。
【0046】
なお、可動体３が径方向に移動する場合には、接続体１３が潰れる方向に変形する。ここで、ゲル状部材が潰れる方向に変形する場合のバネ定数は、ゲル状部材がせん断方向に変形する場合のバネ定数の３倍程度である。このため、可動体３が振動方向（軸線方向）とは異なる方向に移動することを抑制でき、可動体３と支持体２との衝突を抑制できる。
【0047】
（接続部材の製造方法）
接続体１３は粘弾性体からなる。例えば、接続体１３として、シリコーンゲル等からなるゲル状部材、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いることができる。また、接続体１３として用いることが可能な粘弾性体は、ゲル状部材、ゴム、あるいはその変性材料と、バネなどの弾性体とを組み合わせた複合部材であってもよい。
接続体１３は粘弾性体からなる。例えば、接続体１３として、シリコーンゲル等からなるゲル状部材、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いることができる。また、接続体１３として用いることが可能な粘弾性体は、ゲル状部材、ゴム、あるいはその変性材料と、バネなどの弾性体とを組み合わせた複合部材であってもよい。
【0048】
本形態では、接続体１３は、針入度が９０度から１１０度のシリコーンゲルからなる。接続体１３は、ゲル材料を型に充填して硬化させる方法により製造される。接続体１３を成形するときは、治具によって外枠部１２および内枠部１１を同軸に位置決めして外枠部１２と内枠部１１との間に環状の隙間を形成し、この隙間にゲル材料を充填して熱硬化させる。これにより、ゲル状部材自身の粘着性によって、接続体１３が外枠部１２の内周面１２１、および、内枠部１１の外周面１１２に接合される。
【0049】
なお、ゲル材料を充填する前に、外枠部１２の内周面１２１、および内枠部１１の外周面１１２にプライマー等の接合促進剤を塗布することによって接合強度を高めることがで
きる。
きる。
【0050】
（接続部材の検査方法）
次に、接続部材１０の検査方法について説明する。図５は、接続部材１０の検査装置を示す説明図である。図６は、検査工程において、接続部材１０を撮像した際の撮像結果を示す説明図である。図７は、図６に示す画像を得た際に、接続部材１０が不良品であった場合の説明図である。
次に、接続部材１０の検査方法について説明する。図５は、接続部材１０の検査装置を示す説明図である。図６は、検査工程において、接続部材１０を撮像した際の撮像結果を示す説明図である。図７は、図６に示す画像を得た際に、接続部材１０が不良品であった場合の説明図である。
【0051】
図５に示すように、接続部材１０を検査する工程では、接続部材１０に光を照射する光源９１と、光が照射された接続部材１０を撮像するカメラ９２と、接続部材１０の良否を判断する判断部９３と、を備える検査装置９０が用いられる。光源９１は、接続部材１０の下方から、接続部材１０に向かって光を照射する。カメラ９２は、接続部材１０の上方から、光で照らされた接続体１３を撮像する。なお、光源９１は、接続部材１０の上方から、接続部材１０に向かって光を照射し、接続体１３を照らしてもよい。
【0052】
判断部９３は、撮像された画像を基に接続部材１０の良否を判断する。ここで、接続体１３は透過性を有しているので、接続部材１０に不具合が生じている場合には、画像の接続体１３の部分に影が観察される。具体的には、図６に示すように、接続体１３が、外枠部１２の内周面１２１、および、内枠部１１の外周面１１２に密着している場合には、接続体１３の外周部分および内周部分には、接続体１３が密着しないことに起因する影は観察されない。
【0053】
一方、図７に示すように、接続体１３が、外枠部１２の内周面１２１に密着していない場合には、接続体１３の外周側に、接続体１３が密着しないことに起因する円弧状の影Ｐ１が観察される。また、接続体１３が、内枠部１１の外周面１１２に密着していない場合には、接続体１３の内周側に、接続体１３が密着しないことに起因する円弧状の影Ｐ２が観察される。なお、接続体１３が密着していない部分には、空気層が存在し、この空気層が影Ｐ１，Ｐ２として観察される。
【0054】
ここで、内枠部１１が真鍮製であって、内枠部１１の外周面１１２の算術表面粗さＲａが、１．０μｍより小さい場合には、外周面１１２の凹凸が小さくなり、外周面１１２で反射される光の反射率が大きくなる。これにより、接続部材１０の検査を行う際に、外周面１１２で反射される光が多くなるので、外周面１１２で反射される光が干渉し合う場合がある。この場合、接続体１３が、内枠部１１の外周面１１２に密着したとしても、反射される光が干渉し合うことにより、接続体１３の内周側に影Ｐ２が生じることがある。この結果、判断部９３は、接続部材１０が良品であっても、接続部材１０が不良品であると判断してしまう可能性がある。このため、本形態では、内枠部１１の外周面１１２の算術表面粗さＲａが、１．０μｍ以上であるので、外周面１１２の凹凸が大きくなって外周面１１２で反射する光の反射率が低減する。これにより、外周面１１２で反射される光を低減することができるので、外周面１１２で反射される光が干渉し合うことが抑制される。この結果、接続体１３が、内枠部１１の外周面１１２に密着した場合に、影Ｐ２が誤って生じることを抑制することができる。なお、外枠部１２は樹脂製であるので、内周面１２１で反射される光の反射率が小さいので、内周面１２１で反射される光が干渉し合うことが抑制されている。
【0055】
（作用効果）
本形態によれば、内枠部１１を安価に加工することができるので、部品コストを低減することができる。また、光の反射率が高い真鍮を用いた場合であっても、内枠部１１の外周面１１２の算術表面粗さＲａが１．０μｍ以上とすれば、外周面１１２の凹凸が大きくなって外周面１１２で反射する光の反射率が低減するので、接続部材１０の検査を行う際
に、内枠部１１の外周面１１２で反射される光を抑制することができる。これにより、接続部材１０の検査を行う際に、接続部材の検査を正確に行うことができる。
本形態によれば、内枠部１１を安価に加工することができるので、部品コストを低減することができる。また、光の反射率が高い真鍮を用いた場合であっても、内枠部１１の外周面１１２の算術表面粗さＲａが１．０μｍ以上とすれば、外周面１１２の凹凸が大きくなって外周面１１２で反射する光の反射率が低減するので、接続部材１０の検査を行う際
に、内枠部１１の外周面１１２で反射される光を抑制することができる。これにより、接続部材１０の検査を行う際に、接続部材の検査を正確に行うことができる。
【0056】
本形態において、内枠部１１の外周面１１２の算術表面粗さは、３．２μｍ以下である。これにより、接続体１３が内枠部１１の外周面１１２に密着しやすい。ここで、内枠部１１の外周面１１２の算術表面粗さＲａが３．２μｍより大きい場合には、表面の凹凸が大きくなるので、接続体１３を成形した際に、内枠部１１の外周面１１２と接続体１３との間に隙間が生じやすく、接続体１３が内枠部１１の外周面１１２に密着しにくい。
【0057】
本形態において、支持体２は、外枠部１２が嵌合する第１凹部４３および第２凹部４６を備える。第１凹部４３は、外枠部１２が第１凹部４３に嵌合した際に、軸線方向で外枠部１２に当接する段部４３１を備える。また、第２凹部４６は、外枠部１２が第２凹部４６に嵌合した際に、軸線方向で外枠部１２に当接する段部４６１を備える。これにより、軸線方向において、接続部材１０をケース２０に位置決めすることができる。
【0058】
（実施形態２）
内枠部１１は、ステンレス製であってもよい。この場合、内枠部１１の外周面１１２の算術表面粗さＲａは、０．１μｍ以上であって、３．２μｍ以下である。ここで、内枠部１１の外周面１１２の算術表面粗さＲａが、０．１μｍより小さい場合には、外周面１１２の凹凸が小さくなり、外周面１１２で反射される光の反射率が大きくなる。内枠部１１の外周面１１２の算術表面粗さＲａが３．２μｍより大きい場合には、表面の凹凸が大きくなるので、接続体１３を成形した際に、内枠部１１の外周面１１２と接続体１３との間に隙間が生じやすく、接続体１３が内枠部１１の外周面１１２に密着しにくい。よって、実施形態２では、内枠部１１の外周面１１２の算術表面粗さＲａは、０．１μｍ以上であって、３．２μｍ以下であるので、実施形態１と同様の作用効果を得ることができる。また、内枠部１１が安価な材料であるステンレス製であるので、部品コストを低減することができる。なお、ステンレスは、真鍮より光の反射率が低いので、内枠部１１の外周面１１２の算術表面粗さＲａを０．１μｍまで小さくすることができる。
内枠部１１は、ステンレス製であってもよい。この場合、内枠部１１の外周面１１２の算術表面粗さＲａは、０．１μｍ以上であって、３．２μｍ以下である。ここで、内枠部１１の外周面１１２の算術表面粗さＲａが、０．１μｍより小さい場合には、外周面１１２の凹凸が小さくなり、外周面１１２で反射される光の反射率が大きくなる。内枠部１１の外周面１１２の算術表面粗さＲａが３．２μｍより大きい場合には、表面の凹凸が大きくなるので、接続体１３を成形した際に、内枠部１１の外周面１１２と接続体１３との間に隙間が生じやすく、接続体１３が内枠部１１の外周面１１２に密着しにくい。よって、実施形態２では、内枠部１１の外周面１１２の算術表面粗さＲａは、０．１μｍ以上であって、３．２μｍ以下であるので、実施形態１と同様の作用効果を得ることができる。また、内枠部１１が安価な材料であるステンレス製であるので、部品コストを低減することができる。なお、ステンレスは、真鍮より光の反射率が低いので、内枠部１１の外周面１１２の算術表面粗さＲａを０．１μｍまで小さくすることができる。
【0059】
（実施形態３）
内枠部１１は、樹脂製であってもよい。この場合、外周面１１２で反射される光の反射率が小さいので、接続部材１０の検査を行う際に、内枠部１１の外周面１１２で反射される光を抑制することができる。これにより、接続部材１０の検査を行う際に、接続部材の検査を正確に行うことができる。また、内枠部１１が安価な材料である樹脂製であるので、部品コストを低減することができる。なお、内枠部１１で用いられる樹脂は、透光性を有さない樹脂であることが好ましい。
内枠部１１は、樹脂製であってもよい。この場合、外周面１１２で反射される光の反射率が小さいので、接続部材１０の検査を行う際に、内枠部１１の外周面１１２で反射される光を抑制することができる。これにより、接続部材１０の検査を行う際に、接続部材の検査を正確に行うことができる。また、内枠部１１が安価な材料である樹脂製であるので、部品コストを低減することができる。なお、内枠部１１で用いられる樹脂は、透光性を有さない樹脂であることが好ましい。
【0060】
（実施形態４）
実施形態４のアクチュエータは、接続部材１０の構成が異なる点を除き、実施形態１のアクチュエータと同じである。よって、実施形態４では、実施形態１と同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する場合がある。図８は、実施形態４の接続部材１０の断面図である。
実施形態４のアクチュエータは、接続部材１０の構成が異なる点を除き、実施形態１のアクチュエータと同じである。よって、実施形態４では、実施形態１と同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する場合がある。図８は、実施形態４の接続部材１０の断面図である。
【0061】
接続部材１０は、支軸３０が嵌合する貫通孔１４を備える環状の内枠部１１と、ケース２０の内側に保持されるとともに内枠部１１の外周側に配置される環状の外枠部１２と、外枠部１２および内枠部１１に接続される接続体１３と、を備える。外枠部１２は、樹脂製である。接続体１３は、ゲル材料を成形したゲル状部材である。
【0062】
内枠部１１は、外周部分である第１部材１６と、第１部材１６の内側に配置された第２部材１７と、を備える。第１部材１６は、樹脂製である。第２部材１７は、金属製である
。なお、第１部材１６で用いられる樹脂は、透光性を有さない樹脂であることが好ましい。
。なお、第１部材１６で用いられる樹脂は、透光性を有さない樹脂であることが好ましい。
【0063】
第２部材１７は、例えば、ＳＥＣＣ（電気亜鉛めっき鋼板）からなる。なお、第２部材１７は、ＳＥＣＣとは異なる金属で形成されていてもよい。図８に示すように、第２部材１７は、円形の板部１７１と、板部１７１の中心を貫通する貫通孔１４の縁から軸線方向に立ち上がる凸部１７３と、を備える。第２部材１７は、プレス加工品であり、凸部１７３は、バーリング加工により形成される。これにより、第２部材１７は、プレス加工品であるので、製造工ストを低減することができる。また、凸部１７３を設けることにより、支軸３０を圧入固定する際の圧入しろを確保できる。よって、第２部材１７に対する支軸３０の固定強度を確保できる。
【0064】
第１部材１６は、外側筒部１６１と、外側筒部１６１の内周に配置される内側筒部１６２と、外側筒部１６１と内側筒部１６２とを接続する接続部１６３と、を備える。外側筒部１６１および内側筒部１６２は円筒形であり、同軸に配置される。内側筒部１６２は、軸線方向の長さが外側筒部１６１よりも短く、外側筒部１６１の軸線方向の一方側Ｌ１または他方側Ｌ２の端部に配置される。第２部材１７は、軸線方向の外側から外側筒部１６１の内側に嵌め込まれている。
【0065】
内側筒部１６２は、外側筒部１６１の軸線方向の端部に配置される。接続部１６３は、外側筒部１６１の軸線方向の略中央に配置され、内側筒部１６２の軸線方向の端部に接続される。
【0066】
内枠部１１の外周面１１２は、接続体１３に接合される。本形態では、内枠部１１の外周面１１２は、第１部材１６の外側筒部１６１の外周面である。
【0067】
支軸３０の端部に内枠部１１を取り付ける際は、第１部材１６と第２部材１７を分離した状態で、第１部材１６の中心に設けられた軸穴１６４に支軸３０の端部を通す。ここで、接続体１３を製造する際、接続体１３が外枠部１２の内周面１２１、および、第１部材１６の外周面１１２に接合される。よって、外側筒部１６１の外周面に接続体１３が接合された状態の第１部材１６の軸穴１６４に支軸３０の端部を通す作業を行う。第１部材１６の軸穴１６４は、内側筒部１６２を貫通する貫通穴である。軸穴１６４の内径は、支軸３０が中間ばめの状態で嵌合する寸法である。
【0068】
次に、第２部材１７を第１部材１６の外側筒部１６１の内側に嵌め込み、第２部材１７の貫通孔１４に支軸３０の端部を圧入して、第２部材１７の板部１７１を第１部材１６の接続部１６３に当接させる。これにより、第２部材１７を介して第１部材１６に支軸３０が固定される。
【0069】
（作用効果）
本形態によれば、第１部材１６が樹脂製であるので、接続部材１０の検査を行う際に、内枠部１１の外周面１１２で反射される光を抑制することができる。これにより、実施形態４は、実施形態３と同様の作用効果を得ることができる。
本形態によれば、第１部材１６が樹脂製であるので、接続部材１０の検査を行う際に、内枠部１１の外周面１１２で反射される光を抑制することができる。これにより、実施形態４は、実施形態３と同様の作用効果を得ることができる。
【0070】
また、本形態によれば、可動体３に設けられた内枠部１１は、接続体１３が接続される第１部材１６と、支軸３０が圧入される第２部材１７が別部材であり、２部材を組み立てて構成する。これにより、支軸３０に対する固定強度を確保するための金属整の第２部材１７を小型化できるので、内枠部１１の全体を金属製とするよりも、部品コストを下げることができる。また、支軸３０を圧入固定する第２部材１７は、ゲル状部材である接続体１３を接続した第１部材１６から分離可能である。よって、圧入工程では、ゲル状部材が
接合されていない第２部材１７を治具に保持させて圧入工程を行うので、部品の取り扱いが容易であるとともに、ゲル状部材（接続体１３）が傷つくおそれが少ない。よって、内枠部１１の部品コストの低減を図るとともに、内枠部１１の支軸３０への固定強度を確保し、かつ、アクチュエータ１の組立容易性を高めることができる。
接合されていない第２部材１７を治具に保持させて圧入工程を行うので、部品の取り扱いが容易であるとともに、ゲル状部材（接続体１３）が傷つくおそれが少ない。よって、内枠部１１の部品コストの低減を図るとともに、内枠部１１の支軸３０への固定強度を確保し、かつ、アクチュエータ１の組立容易性を高めることができる。
【0071】
また、支軸３０は、軸穴１６４に中間ばめの状態で篏合する。これにより、支軸３０と第１部材１６とを容易に組み立てることができるので、第１部材１６にゲル状部材が接合された状態であっても、ゲル状部材が傷つくおそれが少ない。
【0072】
なお、本技術は以下のような構成をとることが可能である。
【0073】
（１）
筒状のケースを備える支持体と、
前記ケースの中心に配置される支軸を備える可動体と、
前記支持体および前記可動体を接続する接続部材と、
磁石およびコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して前記支軸の軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、
前記接続部材は、前記支軸が嵌合する貫通孔を備える環状の内枠部と、前記ケースの内側に保持されるとともに前記内枠部の外周側に配置される環状の外枠部と、前記外枠部および前記内枠部に接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、を備え、
前記内枠部は、真鍮製であり、
前記内枠部の外周面の算術表面粗さは、１．０μｍ以上であることを特徴とするアクチュエータ。
筒状のケースを備える支持体と、
前記ケースの中心に配置される支軸を備える可動体と、
前記支持体および前記可動体を接続する接続部材と、
磁石およびコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して前記支軸の軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、
前記接続部材は、前記支軸が嵌合する貫通孔を備える環状の内枠部と、前記ケースの内側に保持されるとともに前記内枠部の外周側に配置される環状の外枠部と、前記外枠部および前記内枠部に接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、を備え、
前記内枠部は、真鍮製であり、
前記内枠部の外周面の算術表面粗さは、１．０μｍ以上であることを特徴とするアクチュエータ。
【0074】
（２）
筒状のケースを備える支持体と、
前記ケースの中心に配置される支軸を備える可動体と、
前記支持体および前記可動体を接続する接続部材と、
磁石およびコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して前記支軸の軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、
前記接続部材は、前記支軸が嵌合する貫通孔を備える環状の内枠部と、前記ケースの内側に保持されるとともに前記内枠部の外周側に配置される環状の外枠部と、前記外枠部および前記内枠部に接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、を備え、
前記内枠部は、ステンレス製であり、
前記内枠部の外周面の算術表面粗さは、０．１μｍ以上であることを特徴とするアクチュエータ。
筒状のケースを備える支持体と、
前記ケースの中心に配置される支軸を備える可動体と、
前記支持体および前記可動体を接続する接続部材と、
磁石およびコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して前記支軸の軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、
前記接続部材は、前記支軸が嵌合する貫通孔を備える環状の内枠部と、前記ケースの内側に保持されるとともに前記内枠部の外周側に配置される環状の外枠部と、前記外枠部および前記内枠部に接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、を備え、
前記内枠部は、ステンレス製であり、
前記内枠部の外周面の算術表面粗さは、０．１μｍ以上であることを特徴とするアクチュエータ。
【0075】
（３）
筒状のケースを備える支持体と、
前記ケースの中心に配置される支軸を備える可動体と、
前記支持体および前記可動体を接続する接続部材と、
磁石およびコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して前記支軸の軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、
前記接続部材は、前記支軸が嵌合する貫通孔を備える環状の内枠部と、前記ケースの内側に保持されるとともに前記内枠部の外周側に配置される環状の外枠部と、前記外枠部および前記内枠部に接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、を備え、
前記内枠部は、少なくとも外周面を含む外周部分が樹脂製であることを特徴とするアク
チュエータ。
筒状のケースを備える支持体と、
前記ケースの中心に配置される支軸を備える可動体と、
前記支持体および前記可動体を接続する接続部材と、
磁石およびコイルを備え、前記可動体を前記支持体に対して前記支軸の軸線方向に相対移動させる磁気駆動機構と、を有し、
前記接続部材は、前記支軸が嵌合する貫通孔を備える環状の内枠部と、前記ケースの内側に保持されるとともに前記内枠部の外周側に配置される環状の外枠部と、前記外枠部および前記内枠部に接続され、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えた接続体と、を備え、
前記内枠部は、少なくとも外周面を含む外周部分が樹脂製であることを特徴とするアク
チュエータ。
【0076】
（４）
前記内枠部の外周面の算術表面粗さは、３．２μｍ以下であることを特徴とする（１）または（２）に記載のアクチュエータ。
前記内枠部の外周面の算術表面粗さは、３．２μｍ以下であることを特徴とする（１）または（２）に記載のアクチュエータ。
【0077】
（５）
前記内枠部は、前記外周部分である第１部材と、前記第１部材の内側に嵌合するとともに前記貫通孔を備える金属製の第２部材と、を備え、
前記貫通孔に前記支軸が圧入されることにより、前記第２部材を介して前記第１部材に支軸が固定されることを特徴とする（３）に記載のアクチュエータ。
前記内枠部は、前記外周部分である第１部材と、前記第１部材の内側に嵌合するとともに前記貫通孔を備える金属製の第２部材と、を備え、
前記貫通孔に前記支軸が圧入されることにより、前記第２部材を介して前記第１部材に支軸が固定されることを特徴とする（３）に記載のアクチュエータ。
【0078】
（６）
前記支持体は、前記外枠部が嵌合する凹部を備え、
前記凹部は、前記外枠部が前記凹部に嵌合した際に、前記支軸の軸線方向で前記外枠部に当接する段部を備えることを特徴とする（１）から（５）のうち何れか一項に記載のアクチュエータ。
前記支持体は、前記外枠部が嵌合する凹部を備え、
前記凹部は、前記外枠部が前記凹部に嵌合した際に、前記支軸の軸線方向で前記外枠部に当接する段部を備えることを特徴とする（１）から（５）のうち何れか一項に記載のアクチュエータ。
【符号の説明】
【0079】
１…アクチュエータ、２…支持体、３…可動体、４…コイルホルダ、６…磁気駆動機構、７…配線基板、８…リード線、１０・１０Ａ・１０Ｂ…接続部材、１１…内枠部、１２…外枠部、１３…接続体、１４…貫通孔、１６…第１部材、１７…第２部材、１７…部分、２０…ケース、２１…第１蓋部材、２２…第２蓋部材、２４…ケース本体、２５…第２固定部、２６…蓋部、２７…係止部、２８…規制部、２９…溝部、３０…支軸、３１…第１ヨーク、３２…第２ヨーク、３３…第１磁性部材、３４…第２磁性部材、３５…ヨーク、３８…第３磁性部材、３９…重量調整部、４１…第１固定部、４２…胴部、４３…第１凹部、４６…第２凹部、４９…凸部、６１…磁石、６２…コイル、６３…コイル線、６４…端子ピン、６５…切欠き部、６６…カバー、６９…基板固定部、７１…穴、８０…リード線保持部、９０…検査装置、９１…光源、９２…カメラ、９３…判断部、１１１…環状突部、１１２…外周面、１２１…内周面、１２２…環状段部、１６１…外側筒部、１６２…内側筒部、１６３…接続部、１６４…軸穴、１７１…板部、１７３…凸部、３１０…軸穴、３３０…軸穴、３４０…軸穴、３４１…円板部、３４２…屈曲部、３４３…円筒部、３８０…軸穴、４３１…段部、４６１…段部、６１０…軸穴、６９１…爪部、６９２…係止溝、Ｐ１・Ｐ２…影
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】