特開 2024-158251 光モジュール

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024158251

(43)【公開日】2024-11-08

(54)【発明の名称】光モジュール

(51)【国際特許分類】

   H01S 5/02253 20210101AFI20241031BHJP

   H01S 5/024 20060101ALI20241031BHJP

   H01S 5/02325 20210101ALI20241031BHJP

【ＦＩ】

H01S5/02253

H01S5/024

H01S5/02325

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023073292

(22)【出願日】2023-04-27

(71)【出願人】

【識別番号】000002130

【氏名又は名称】住友電気工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100136722

【弁理士】

【氏名又は名称】▲高▼木 邦夫

(74)【代理人】

【識別番号】100176658

【弁理士】

【氏名又は名称】和田 謙一郎

(72)【発明者】

【氏名】中村 勇貴

(72)【発明者】

【氏名】中西 裕美

(72)【発明者】

【氏名】京野 孝史

【テーマコード（参考）】

5F173

【Ｆターム（参考）】

5F173MA10

5F173MB01

5F173MB03

5F173MC01

5F173ME22

5F173ME44

5F173MF03

5F173MF12

5F173MF28

5F173MF39

5F173MF40

(57)【要約】

【課題】大型化を防ぎながら、より大きなレンズをパッケージ内に配置できる光モジュールを提供する。
【解決手段】光モジュールは、主面を有する光源搭載部と、主面上に配置されるレーザ光源と、レーザ光源から出力されたレーザ光を集光するレンズと、光源搭載部、レーザ光源およびレンズを収容するパッケージと、を備え、パッケージは、パッケージ基板と、パッケージ基板に固定されるとともに、光源搭載部、レーザ光源およびレンズを覆うカバーと、を有し、光源搭載部は、パッケージ基板に固定されており、レンズは、レンズの側周面の一部がレンズ支持部材に固定されることによって光源搭載部から離間した状態で空中に配置されている。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

主面を有する光源搭載部と、
前記主面上に配置されるレーザ光源と、
前記レーザ光源から出力されたレーザ光を集光するレンズと、
前記光源搭載部、前記レーザ光源および前記レンズを収容するパッケージと、
を備え、
前記パッケージは、
パッケージ基板と、
前記パッケージ基板に固定されるとともに、前記光源搭載部、前記レーザ光源および前記レンズを覆うカバーと、
を有し、
前記光源搭載部は、前記パッケージ基板に固定されており、
前記レンズは、前記レンズの側周面の一部がレンズ支持部材に固定されることによって前記光源搭載部から離間した状態で空中に配置されている、
光モジュール。

【請求項2】

前記側周面は、前記レンズ支持部材と接触している第１領域と、前記レンズ支持部材と接触していない第２領域とを有する、
請求項１に記載の光モジュール。

【請求項3】

前記レンズは、前記主面の法線方向からみて、前記レンズ支持部材を介して前記光源搭載部と離間している、
請求項１に記載の光モジュール。

【請求項4】

前記レンズ支持部材は、前記主面の法線方向と前記レンズからの前記レーザ光の出力方向とに垂直な方向から見て前記レンズと重なる第１部分と、前記主面の法線方向から見て前記主面と重なる第２部分とを有する、
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の光モジュール。

【請求項5】

前記光源搭載部は、温度調整面および放熱面を有するとともに、前記放熱面が前記パッケージ基板に固定されている温度調整器を有し、
前記温度調整面が前記主面である、
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の光モジュール。

【請求項6】

前記側周面は、前記レンズ支持部材と接触している第１領域と、前記レンズ支持部材と接触していない第２領域とを有し、
前記主面の法線方向において、前記第２領域の一部は、前記主面の法線方向と前記レンズからの前記レーザ光の出力方向とに垂直な方向から見て前記第２領域は、前記主面の法線方向において、前記温度調整面と前記放熱面との間に位置している、
請求項５に記載の光モジュール。

【請求項7】

前記主面の法線方向における前記主面と前記パッケージの天部との間の最小の長さより、前記法線方向における前記レンズの最大の長さの方が長い、
請求項５に記載の光モジュール。

【請求項8】

前記光源搭載部は、前記主面を有するとともに、前記主面が前記パッケージ基板と交差するように前記パッケージ基板に固定されている支持台である、
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の光モジュール。

【請求項9】

前記主面上に配置されているとともに、前記レンズから出力された前記レーザ光を走査する走査部を更に備え、
前記レンズは、前記走査部の一部上に前記走査部から離間した状態で配置されている、
請求項１または請求項２に記載の光モジュール。

【請求項10】

前記レーザ光源が搭載される台部を更に備え、
前記光源搭載部は、温度調整面および放熱面を有するとともに、前記放熱面が前記パッケージ基板に固定されている温度調整器を有し、
前記台部は、前記温度調整面に固定されており、
前記レンズ支持部材は、前記主面の法線方向と前記レンズからの前記レーザ光の出力方向とに垂直な方向から見て前記レンズと重なる第１部分と、前記主面の法線方向から見て前記台部と重なる第２部分とを有する、
請求項９に記載の光モジュール。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光モジュールに関する。

【背景技術】

【0002】

レーザ光を走査して映像を描画する映像表示装置、レーザ光を検知範囲内で走査し、物体からの反射光を検出することによって物体を検知する検知装置（更に、物体までの距離を測定する測距装置）では、レーザ光を出力する光モジュールが使用される。このような光モジュールは、パッケージ内に収容されたレーザ光源と、レーザ光源が搭載される光源搭載部およびレーザ光源からのレーザ光を集光するレンズを有する。レーザ光源、光源搭載部およびレンズの配置関係としては、特許文献１および特許文献２に開示された配置が知られている。具体的には、レーザ光源が搭載されるキャリア（光源搭載部）上にレンズが固定されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】国際公開第２０２０／１５７８５３号

【特許文献2】特表２０１８－５１６４５２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

レンズを備える光モジュールでは、より大きなレンズを使用することが望まれている場合がある。特許文献１および特許文献２に開示されているように、レンズが光源搭載部上に固定されている場合、より大きなレンズを使用すると、光モジュールが大きくなりやすい。

【0005】

本開示は、大型化を防ぎながら、より大きなレンズをパッケージ内に配置できる光モジュールを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

一実施形態に係る光モジュールは、主面を有する光源搭載部と、前記主面上に配置されるレーザ光源と、前記レーザ光源から出力されたレーザ光を集光するレンズと、前記光源搭載部、前記レーザ光源および前記レンズを収容するパッケージと、を備え、前記パッケージは、パッケージ基板と、前記パッケージ基板に固定されるとともに、前記光源搭載部、前記レーザ光源および前記レンズを覆うカバーと、を有し、前記光源搭載部は、前記パッケージ基板に固定されており、前記レンズは、前記レンズの側周面の一部がレンズ支持部材に固定されることによって前記光源搭載部から離間した状態で空中に配置されている。

【発明の効果】

【0007】

本開示によれば、大型化を防ぎながら、より大きなレンズをパッケージ内に配置できる光モジュールを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、第１実施形態に係る光モジュールの斜視図である。

【図2】図２は、図１に示したカバーが取り外された状態の光モジュールの斜視図である。

【図3】図３は、図２に示した光モジュールの平面図である。

【図4】図４は、図３に示した光モジュールのＡ－Ａ線に沿った断面図である。

【図5】図５は、レンズの大きさの一例を説明するための模式図である。

【図6】図６は、第２実施形態に係る光モジュールの斜視図である。

【図7】図７は、図６に示したカバーが取り外された状態の光モジュールの斜視図である。

【図8】図８は、図８は、第３実施形態に係る光モジュールの斜視図である。

【図9】図９は、図８に示したカバーが取り外された状態の光モジュールの斜視図である。

【図10】図１０は、図９に示した光モジュールの平面図である。

【図11】図１１は、図１０に示した光モジュールのＢ―Ｂ線に沿った断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

［本開示の実施形態の説明］
最初に、本開示の実施形態の内容を列記して説明する。

【0010】

［１］一実施形態に係る光モジュールは、主面を有する光源搭載部と、前記主面上に配置されるレーザ光源と、前記レーザ光源から出力されたレーザ光を集光するレンズと、前記光源搭載部、前記レーザ光源および前記レンズを収容するパッケージと、を備え、前記パッケージは、パッケージ基板と、前記パッケージ基板に固定されるとともに、前記光源搭載部、前記レーザ光源および前記レンズを覆うカバーと、を有し、前記光源搭載部は、前記パッケージ基板に固定されており、前記レンズは、前記レンズの側周面の一部がレンズ支持部材に固定されることによって前記光源搭載部から離間した状態で空中に配置されている。

【0011】

上記［１］に記載の光モジュールでは、レンズは光源搭載部から離間して空中に配置されている。そのため、レンズが光源搭載部の主面に固定されている場合より、レンズの大きさを選択できる自由度が大きく、より大きなレンズを採用できる。光源搭載部から離間して空中にレンズが配置されているから、パッケージ内の収容空間を有効に利用できていることから、光モジュールの大型化を防げる。したがって、上記光モジュールでは、大型化を防ぎながら、より大きなレンズをパッケージ内に配置できる。

【0012】

［２］上記［１］に記載の光モジュールにおいて、前記側周面は、前記レンズ支持部材と接触している第１領域と、前記レンズ支持部材と接触していない第２領域とを有してよい。側周面すべてにレンズ支持部材が接触する構成と比べ、レンズとレンズ支持部材の接着面を小さくでき、環境温度の変化によるレンズの変形、屈折率の変動などを抑制できるので、レーザ光に対するレンズの光軸のズレ、集光位置のズレ等を抑えることができる。

【0013】

［３］上記［１］または［２］に記載の光モジュールにおいて、前記レンズは、前記主面の法線方向からみて、前記レンズ支持部材を介して前記光源搭載部と離間していてよい。このようにすることで、レンズが光源搭載部と干渉することを防止できることから、より大きなレンズをパッケージ内に配置できる。

【0014】

［４］上記［１］から［３］のいずれかに記載の光モジュールにおいて、前記レンズ支持部材は、前記主面の法線方向と前記レンズからの前記レーザ光の出力方向とに垂直な方向から見て前記レンズと重なる第１部分と、前記主面の法線方向から見て前記主面と重なる第２部分とを有してよい。レンズ支持部材を主面に設置してからレンズを設置できるため、レンズを設置する際の光軸のズレ、集光位置のズレ等を抑えることができる。

【0015】

［５］上記［１］から［４］のいずれかに記載の光モジュールにおいて、前記光源搭載部は、温度調整面および放熱面を有するとともに、前記放熱面が前記パッケージ基板に固定されている温度調整器を有し、前記温度調整面が前記主面であってよい。この場合、レンズを温度調整器による環境温度の調整範囲内に配置しやすい。そのため、温度変化によるレンズの変形、屈折率の変動等を抑制できるので、レーザ光に対するレンズの光軸のズレ、集光位置のズレ等が生じにくい。

【0016】

［６］上記［５］に記載の光モジュールにおいて、前記側周面は、前記レンズ支持部材と接触している第１領域と、前記レンズ支持部材と接触していない第２領域とを有し、前記主面の法線方向において、前記第２領域の一部は、前記主面の法線方向と前記レンズからの前記レーザ光の出力方向とに垂直な方向から見て前記第２領域は、前記主面の法線方向において、前記温度調整面と前記放熱面との間に位置してよい。このような構成では、大型化を防ぎながら、より大きなレンズをパッケージ内に配置できる。

【0017】

［７］上記［５］または［６］に記載の光モジュールにおいて、前記主面の法線方向における前記主面と前記パッケージの天部との間の最小の長さより、前記法線方向における前記レンズの最大の長さが長くてもよい。このようなサイズのレンズを採用することで、たとえば、レンズによってレーザ光をコリメートした場合、コリメート光の広がり角を抑制し易い。

【0018】

［８］上記［１］から［６］のいずれかに記載の光モジュールにおいて、前記光源搭載部は、前記主面が前記パッケージ基板と交差するように前記パッケージ基板に固定されている支持台であってよい。ＣＡＮ型の光モジュールにおいて、大型化を防ぎながら、より大きなレンズをパッケージ内に配置できる。

【0019】

［９］上記［１］または［２］に記載の光モジュールは、前記主面上に配置されているとともに、前記レンズから出力された前記レーザ光を走査する走査部を更に備え、前記レンズは、前記走査部の一部上に前記走査部から離間した状態で配置されていてもよい。この場合、走査されたレーザ光を光モジュールから出力可能である、レンズは、走査部の一部上に走査部から離間した状態で配置されていていることから、走査部上に空間を有効に利用できている。その結果、光モジュールの大型化をより防ぎやすい。

【0020】

［１０］上記［９］に記載の光モジューは、前記レーザ光源が搭載される台部を更に備え、 前記光源搭載部は、温度調整面および放熱面を有するとともに、前記放熱面が前記パッケージ基板に固定されている温度調整器を有し、前記台部は、前記温度調整面に固定されており、前記レンズ支持部材は、前記主面の法線方向と前記レンズからの前記レーザ光の出力方向とに垂直な方向から見て前記レンズと重なる第１部分と、前記主面の法線方向から見て前記台部と重なる第２部分とを有してよい。この場合、レンズを温度調整器による環境温度の調整範囲内に配置しやすい。そのため、温度変化によるレンズの変形、屈折率の変動等を抑制できるので、レーザ光に対するレンズの光軸のズレ、集光位置のズレ等が生じにくい。

【0021】

［本開示の実施形態の詳細］
本開示の実施形態の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。図面の説明においては同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

【0022】

（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る光モジュールの斜視図である。図２は、図１に示したカバー５２が取り外された状態の光モジュール１の斜視図である。図３は、図２に示した光モジュール１の平面図である。図４は、図３に示した光モジュールのＡ－Ａ線に沿った断面図である。

【0023】

光モジュール１は、検知対象範囲内の任意の物体を検知するリモートセンサ（たとえば検知装置、測距装置など）の光源として使用できる。たとえば、光モジュール１は、ＬｉＤＡＲ（Ｌｉｇｈｔ Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ ａｎｄ Ｒａｎｇｉｎｇ、あるいはＬａｓｅｒ Ｉｍａｇｉｎｇ Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ ａｎｄ Ｒａｎｇｉｎｇ）の光源である。検知すべき物体の例は、人、自動車、標識などである。光モジュール１は、自動車、ドローンなどに搭載される。光モジュール１は、レーザ光を用いて映像を描画する映像表示装置の光源としても使用できる。

【0024】

光モジュール１は、光出力部１０、光源搭載部２０、レンズ３０およびパッケージ５０を備える。

【0025】

光出力部１０は、光源搭載部２０の主面２０ａに搭載されている。光出力部１０は、少なくとも１つのレーザ光源を有する。したがって、主面２０ａは、上記レーザ光源の実装面として機能する。第１実施形態では、図２に示したように、光出力部１０が、第１レーザ光源１１ａ、第２レーザ光源１１ｂおよび第３レーザ光源１１ｃを有する形態を説明する。説明の便宜のため、図２に示したＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向を用いる場合もある。Ｚ軸方向は、主面２０ａの法線ｎの方向（以下、単に「法線方向」と称す）である。Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向は互いに直交する。図２において法線ｎを破線で示している。

【0026】

図３に示したように、第１レーザ光源１１ａは、第１レーザ光Ｌ１を出力する半導体レーザ素子である。第２レーザ光源１１ｂは、第２レーザ光Ｌ２を出力する半導体レーザ素子である。第２レーザ光源１１ｂは、第３レーザ光源１１ｃは、第３レーザ光Ｌ３を出力する半導体レーザ素子である。第１レーザ光源１１ａ、第２レーザ光源１１ｂおよび第３レーザ光源１１ｃの例は、レーザダイオード（ＬＤ：Ｌａｓｅｒ Ｄｉｏｄｅ）である。第１レーザ光源１１ａ、第２レーザ光源１１ｂおよび第３レーザ光源１１ｃは、ＬＤチップでもよい。

【0027】

第１レーザ光Ｌ１、第２レーザ光Ｌ２および第３レーザ光Ｌ３の波長は、光モジュール１の用途に応じて設定される。第１レーザ光Ｌ１、第２レーザ光Ｌ２および第３レーザ光Ｌ３の波長は、同じでもよいし、異なっていてもよい。第１レーザ光Ｌ１、第２レーザ光Ｌ２および第３レーザ光Ｌ３の波長が異なって場合は、第１レーザ光Ｌ１、第２レーザ光Ｌ２および第３レーザ光Ｌ３の波長は、３０ｎｍ以上異なっていてよい。

【0028】

光モジュール１がＬｉＤＡＲなどのリモートセンサの光源として使用される場合、第１レーザ光Ｌ１、第２レーザ光Ｌ２および第３レーザ光Ｌ３の波長はたとえば赤外線領域（より具体的には近赤外線領域）の波長でよい。また、走査領域を目視するため、第１レーザ光Ｌ１、第２レーザ光Ｌ２および第３レーザ光Ｌ３の波長のいずれかを可視光としてもよい。

【0029】

光モジュール１が映像表示装置の光源に使用される場合、第１レーザ光Ｌ１、第２レーザ光Ｌ２および第３レーザ光Ｌ３は、赤色レーザ光、緑色レーザ光および青色レーザ光のうちから選択されるレーザ光でよい。一実施形態において、第１レーザ光Ｌ１は赤色レーザ光であり、第２レーザ光Ｌ２が緑色レーザ光であり、第３レーザ光Ｌ３が青色レーザ光であってもよい。

【0030】

以下では、断らない限り、第１レーザ光Ｌ１、第２レーザ光Ｌ２および第３レーザ光Ｌ３の波長が異なっている形態を説明する。

【0031】

図２に示した形態において、第１レーザ光源１１ａからの第１レーザ光Ｌ１の出力方向方がＸ軸方向である。第１レーザ光源１１ａは、第１台部６１ａに搭載されていてよい。第１台部６１ａは主面２０ａに固定されている。第１台部６１ａの材料には、後述する温度調整板２１の材料と線膨張係数の近い材料を用いることができる。第１台部６１ａの材料の例は、アルミナ、窒化アルミニウム、コバール等である。

【0032】

第２レーザ光源１１ｂおよび第３レーザ光源１１ｃは、第２レーザ光Ｌ２および第３レーザ光Ｌ３の出力方向が、第１レーザ光Ｌ１と交差するように配置されている。第１実施形態では、第２レーザ光源１１ｂおよび第３レーザ光源１１ｃは、図３に示したように、第２レーザ光Ｌ２および第３レーザ光Ｌ３の出力方向が第１レーザ光Ｌ１と直交するように配置されている。第２レーザ光源１１ｂは、第２台部６１ｂに搭載されていてよい。第３レーザ光源１１ｃは、第３台部６１ｃに搭載されていてよい。第２台部６１ｂおよび第３台部６１ｃは主面２０ａに固定されている。第２台部６１ｂおよび第３台部６１ｃの材料の例は、第１台部６１ａの場合と同じである。第１台部６１ａ、第２台部６１ｂおよび第３台部６１は、光源搭載部２０の構成要素であってもよい。

【0033】

光出力部１０は、第１レーザ光Ｌ１、第２レーザ光Ｌ２および第３レーザ光Ｌ３を合波する合波部１２を有する。図２および図３に示した形態に基づいて、合波部１２の一例を説明する。合波部１２は、第１フィルタ１２ａと第２フィルタ１２ｂを有する。

【0034】

第１フィルタ１２ａは、第１レーザ光Ｌ１と第２レーザ光Ｌ２を合波する。具体的には、第１フィルタ１２ａは、第１レーザ光Ｌ１を透過するとともに、第２レーザ光Ｌ２を第１レーザ光Ｌ１の透過方向に反射する。

【0035】

第２フィルタ１２ｂは、第１レーザ光Ｌ１および第２レーザ光Ｌ２の合波光と、第３レーザ光Ｌ３を合波する。具体的には、第２フィルタ１２ｂは、第１レーザ光Ｌ１および第２レーザ光Ｌ２を透過するとともに、第３レーザ光Ｌ３を第１レーザ光Ｌ１（または第２レーザ光Ｌ２）の透過方向に反射する。第２フィルタ１２ｂから出力される合波光がレーザ光Ｌである。

【0036】

波長の異なる第１レーザ光Ｌ１、第２レーザ光Ｌ２および第３レーザ光Ｌ３を合波するための第１フィルタ１２ａおよび第２フィルタ１２ｂは、波長選択性フィルタでよい。

【0037】

第１実施形態において、光源搭載部２０は、温度調整器の一例であるペルチェ素子（熱電冷却素子）である。ペルチェ素子はＴＥＣ（Ｔｈｅｒｍ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｃｏｏｌｅｒ）とも称される。光源搭載部２０は、温度調整板（吸熱板）２１と、放熱板２２と、複数の半導体柱２３を有する。複数の半導体柱２３は、温度調整板２１と放熱板２２を連結している。複数の半導体柱２３は、互いに離間して配置されている。温度調整板２１において放熱板２２と反対の温度調整面２１ａが光源搭載部２０の主面２０ａである。

【0038】

レンズ３０は、レーザ光Ｌの光路上に配置されている。レンズ３０は、レーザ光Ｌを集光する。以下、断らない限り、レンズ３０は、レーザ光Ｌをコリメートする。この場合、レンズ３０から出力されるレーザ光Ｌはコリメート光である。レーザ光Ｌは、第１レーザ光Ｌ１、第２レーザ光Ｌ２および第３レーザ光Ｌ３を含む。よって、レンズ３０によって、第１レーザ光Ｌ１、第２レーザ光Ｌ２および第３レーザ光Ｌ３がコリメートされている。第１レーザ光源１１ａ、第２レーザ光源１１ｂおよび第３レーザ光源１１ｃそれぞれとレンズ３０との光学的な距離は、レンズ３０の焦点距離に実質的に一致する。レンズ３０の焦点距離の例は、１ｍｍ以上且つ３ｍｍ以下である。

【0039】

レンズ３０は、レンズ３０の側周面３１の一部がレンズ支持部材４０に固定されることによって、光源搭載部２０から離間した状態で空中に配置されている。第１実施形態では、レンズ３０は、図３に示したように、Ｚ軸方向（主面２０ａの法線方向）からみて、レンズ支持部材４０を介して光源搭載部２０から離間されている。レンズ３０は、たとえば紫外線硬化樹脂によってレンズ支持部材４０に固定されている。

【0040】

側周面３１は、レンズ支持部材４０に接触する第１領域３１１と、レンズ支持部材４０に接触していない第２領域３１２とを有する。本実施形態では、図４に示したように、Ｙ軸方向から見て、第２領域３１２の一部は、Ｚ軸方向において温度調整面２１ａと放熱面２２ａとの間に位置する。放熱面２２ａは、放熱板２２において主面２０ａに固定されている面である。

【0041】

Ｘ軸方向からみた場合、レンズ３０が正方形または矩形である形態では、側周面３１は、第１側面３１ａ、第２側面３１ｂ、第３側面３１ｃおよび第４側面３１ｄを有する。第１側面３１ａと第２側面３１ｂはＺ軸方向において対向している。第３側面３１ｃおよび第４側面３１ｄは、第１側面３１ａと第２側面３１ｂを繋いでいる。第３側面３１ｃおよび第４側面３１ｄは、Ｙ軸方向において対向している。

【0042】

一実施形態において、第３側面３１ｃにレンズ支持部材４０が固定されている。この場合、上記第３側面３１ｃの一部が第１領域３１１である。第３側面３１ｃ全体を第１領域３１１と称してもよい。Ｚ軸方向において、第２側面３１ｂが第１側面３１ａより放熱板２２に近い側面である。図４に示した形態では、第２側面３１ｂが主面２０ａのＺ軸方向において光出力部１０と反対に位置している。レンズ３０は空中に配置されていることから、第２側面３１ｂと、主面２０ａとは離間している。なお、側周面３１がレンズ支持部材４０に接触する第１領域３１１と、レンズ支持部材４０に接触していない第２領域３１２とを有する、とは以下の意味も含む。図４に示すように、第１側面３１ａは、レンズ支持部材４０に接触する領域と、レンズ支持部材４０に接触しない領域とを有する。

【0043】

レンズ支持部材４０は、一方向に延在した棒状または柱状の部材である。レンズ支持部材４０は、図２に示したように、四角柱部材でよい。

【0044】

図３および図４に示したように、レンズ支持部材４０は、主面２０ａの法線方向とレンズ３０からのレーザ光Ｌの出力方向とに垂直な方向から見てレンズ３０と重なる第１部分４１と、主面２０ａの法線方向から見て主面２０ａと重なる第２部分４２とを有することができる。主面２０ａの法線方向とレンズ３０からのレーザ光Ｌの出力方向とに垂直な方向は、図３に示したＹ軸方向に相当する。図３では、第１部分４１を示すために、第１部分４１における第２部分４２寄りの境界を一点鎖線で模式的に示している。図４では、第２部分４２を示すために、第２部分４２のうち第１部分４１寄りの境界を一点鎖線で模式的に示している。レンズ支持部材４０は、金錫（ＡｕＳｎ）合金ペーストで主面２０ａに固定されてもよいし、接着剤で主面２０ａに固定されてもよい。レンズ支持部材４０の材料は、温度調整板２１の材料と同じでよい。レンズ支持部材４０の材料には、温度調整板２１の材料と線膨張係数の近い材料を用いることができる。レンズ支持部材４０の材料の例は、アルミナ、窒化アルミニウム、コバール等である。

【0045】

上記のように、レンズ３０がレンズ支持部材４０に支持されることによって、光出力部１０からのレーザ光Ｌの出力方向において光源搭載部２０の前方にレンズ３０が配置されている。

【0046】

パッケージ５０は、光出力部１０、光源搭載部２０およびレンズ３０を収容する収容部である。図１に示したように、パッケージ５０は、パッケージ基板５１と、カバー５２とを有する。カバー５２は、パッケージ基板５１に固定されている。これにより、パッケージ基板５１とカバー５２とによって、光出力部１０、光源搭載部２０およびレンズ３０が収容される収容空間が形成されている。上記収容空間は、パッケージ基板５１とカバー５２とによって気密封止（ハーメチックシール）されてよい。

【0047】

図２から図３に示したように、パッケージ基板５１は、光源搭載部２０が固定される板状部材である。具体的には、光源搭載部２０が有する放熱板２２の放熱面２２ａ（図４参照）がパッケージ基板５１に固定されている。放熱面２２ａは、放熱板２２において温度調整板２１と反対の面である。パッケージ基板５１は、例えばステムである。第１実施形態において、パッケージ基板５１の平面視形状は矩形である。パッケージ基板５１の平面視形状は正方形でもよいし、四角形以外の多角形、または、円形でもよい。

【0048】

パッケージ基板５１には複数の導電部材５６が設けられている。導電部材５６は、例えば棒状部材である。導電部材５６の一例はリードピンである。各導電部材５６は、パッケージ基板５１を貫通している。複数の導電部材５６は、パッケージ５０内の電子部品を制御装置（または制御回路）に電気的に接続するための端子として機能する。上記電子部品は、たとえば、第１レーザ光源１１ａ、第２レーザ光源１１ｂ、第３レーザ光源１１ｃ、温度調整器としての光源搭載部２０などである。

【0049】

カバー５２は、胴部５３および天部５４を有する。カバー５２の例はキャップである。胴部５３は中空体である。胴部５３は、例えば溶接によってパッケージ基板５１に固定されている。天部５４は、胴部５３においてパッケージ基板５１と反対に位置する開口を塞いでいる。天部５４は、パッケージ基板５１と対向している壁部である。胴部５３と天部５４は一体化している。

【0050】

パッケージ５０は、窓部５５を有する。窓部５５は、レーザ光Ｌをパッケージ５０の外部に出力するための部分である。窓部５５は、胴部５３に形成された開口５３ａに取り付けられている。

【0051】

図５は、光モジュール１におけるレンズ３０の大きさの一例を説明するための模式図である。図５では、パッケージ基板５１、光源搭載部２０、レンズ支持部材４０、レンズ３０および天部５４を抜粋して図示している。

【0052】

図５に示したようにＺ軸方向において温度調整面２１Ａ（主面２０ａ）と天部５４との間においても最小の長さをＴ［ｍｍ］とし、Ｚ軸方向におけるレンズ３０の最大の長さをＳ［ｍｍ］とする。この場合、一実施形態において長さＳは長さＴより大きい。すなわち、レンズ３０の大きさの例は、Ｓ＞Ｔという条件を満たす大きさである。Ｚ軸方向におけるレンズ３０の最大の長さＳ［ｍｍ］は、レンズ３０のうち天部５４に最も近い部分と、天部５４から最も遠い部分またはＺ軸方向において放熱面２２ａに最も近い部分との間の長さである。前述したようにレンズ３０が第１側面３１ａと第２側面３１ｂを有する場合、レンズ３０の長さＳ［ｍｍ］は第１側面３１ａと第２側面３１ｂ間の長さである。

【0053】

光モジュール１は、第１レーザ光源１１ａ、第２レーザ光源１１ｂおよび第３レーザ光源１１ｃなどの周囲の温度を測定するための温度計測器（例えばサーミスタ）を少なくとも１つ備えてよい。このよう温度計測器は、パッケージ５０内に配置される。

【0054】

上記光モジュール１では、光出力部１０から出力されたレーザ光Ｌは、レンズ３０によってコリメートされた後、窓部５５からパッケージ５０の外部に出力される。光モジュール１をＬｉＤＡＲなどのリモートセンサ、映像表示装置などに使用する場合、光モジュール１から出力されたレーザ光Ｌを走査すればよい。

【0055】

上記のように光出力部１０から出力されたレーザ光Ｌは、レンズ３０によってコリメートされる。理想的には、レンズ３０から出力されたレーザ光Ｌは、伝播してもレーザ光Ｌの径（ビーム径）は一定であるが、実際にはわずかな広がりが生じている。

【0056】

コリメート光の広がり角が大きいと、レーザ光Ｌのスポット径が大きくなり、映像を描画する際、リモートセンサにおいて物体を検知する際などにおける分解能が低下する。このようなコリメート光の広がり角を低減するためには、原理的には焦点距離の長いレンズ３０を使用すればよい。この場合、レンズ３０に伝播してきたレーザ光Ｌをロス無く有効に利用するためには、より大きなレンズ３０（具体的には、有効径の大きなレンズ３０）を用いる必要がある。しかしながら、光源搭載部２０の主面２０ａ上に大きなレンズ３０を直接又は台部を利用して固定する場合、光モジュールのサイズが大きくなりやすい。

【0057】

光モジュール１では、レンズ３０は光源搭載部２０から離間して空中に配置されている。つまり、Ｚ軸方向から見てレンズ３０は光源搭載部２０と重ならない。そのため、レンズ３０が光源搭載部２０の主面２０ａに固定されている場合より、レンズ３０の大きさを選択できる自由度が大きく、より大きなレンズ３０を採用できる。たとえば、図４に例示した形態のように、Ｙ軸方向から見て、第２領域３１２の一部が、Ｚ軸方向において温度調整面２１ａと放熱面２２ａとの間に位置するレンズ３０を使用できる。この場合、このような構成では、大型化を防ぎながら、より大きなレンズをパッケージ内に配置できる。レンズ３０は光源搭載部２０から離間して空中に配置されていることから、図５に例示したように、長さＴ［ｍｍ］より長さＳ［ｍｍ］が大きいレンズ３０を採用することも可能である。したがって、レンズ３０は光源搭載部２０から離間して空中に配置されている場合、大型化を防ぎながら、より大きなレンズをパッケージ内に配置できる。

【0058】

Ｚ軸方向からみて、レンズ３０が、レンズ支持部材４０を介して光源搭載部２０と離間している形態では、上記のように、レンズ３０は光源搭載部２０から離間して空中に配置できる。この場合、レンズ３０と光源搭載部２０の干渉を防止できることから、より大きなレンズ３０をパッケージ５０内に配置できる。

【0059】

レンズ３０は、光源搭載部２０から離間して空中に配置されていることから、パッケージ５０内の収容空間を有効に利用できている。そのため、光モジュール１では、大型化を防ぎながら、より大きなレンズをパッケージ５０内に配置できる。

【0060】

より大きなレンズ３０を用いることによって、コリメート光であるレーザ光Ｌの広がり角を低減できるので、映像を描画する際、物体を検知する際などにおける分解能を向上できる。

【0061】

光モジュール１を映像表示装置に使用した場合、光モジュール１が小型であれば、映像表示装置の小型化も図ることが可能である。この場合、映像表示装置または光モジュール１を、狭い空間に設置できる。その結果、映像表示装置または光モジュール１が搭載されるべき搭載対象物の意匠性を確保しやすい。

【0062】

光モジュール１をＬｉＤＡＲなどのリモートセンサ（検知装置、測距装置などを含む）に使用する場合においても同様である。たとえば、光モジュール１を備えるリモートセンサを無人搬送機（たとえばドローン）に搭載した場合でもあって、光モジュール１およびそれを備えたリモートセンサが小型である場合、周囲の物体との干渉が生じにくい。

【0063】

レンズ３０は、パッケージ５０内に配置されている。そのため、たとえば窓部５５の代わりにレンズ３０が配置される場合より、光モジュール１の外部の温度の影響を受けにくい。その結果、レンズ３０の変形、、屈折率の変動等が抑制されるので、レーザ光Ｌに対するレンズ３０の光軸のズレ、集光位置のズレ等が生じにくい。

【0064】

光源搭載部２０が温度調整器（たとえばペルチェ素子）であり、レンズ３０を支持するレンズ支持部材４０が温度調整面２１ａ（主面２０ａ）に固定されている形態では、レンズ３０は、熱的に温度調整面２１ａに接続されている。そのため、温度調整器による環境温度の調整範囲内にレンズ３０を配置できる。この場合、温度変化によるレンズ３０の変形、屈折率の変動等を抑制できるので、上述したレーザ光Ｌに対するレンズ３０の光軸のズレ、集光位置のズレ等が生じにくい。

【0065】

レンズ３０の側周面３１が、第１領域３１１と第２領域３１２とを有する形態では、側周面３１すべてにレンズ支持部材４０が接触する構成と比べ、レンズ３０とレンズ支持部材４０の接着面を小さくでき、環境温度の変化によるレンズ３０の光軸のズレを抑えることができる。レンズ３０は側周面３１のうち一カ所（たとえば第３側面３１ｃ）でレンズ支持部材４０に接触している形態では、側周面３１すべてにレンズ支持部材４０が接触する構成と比べ、レンズ３０とレンズ支持部材４０の接着面を小さくでき、環境温度の変化によるレンズ３０の光軸のズレを抑えることができる。側周面３１のうち一カ所でレンズ３０をレンズ支持部材４０に固定する場合、側周面３１のうち二カ所以上でレンズ３０をレンズ支持部材４０に固定する場合より、光モジュール１の製造時間を短縮可能である。

【0066】

レンズ支持部材４０が、Ｙ軸方向から見てレンズ３０と重なる第１部分４１と、Ｚ軸方向から見て主面２０ａと重なる第２部分４２とを有する形態では、レンズ支持部材４０を主面２０ａに設置してからレンズ３０を設置できる。この場合、レンズ３０を設置する場合の光軸ズレ、集光位置のズレ等を抑えることができる。

【0067】

光モジュール１の構成では、レンズ支持部材４０の光源搭載部２０への固定位置、レンズ支持部材４０へのレンズ３０の固定位置などを調整することによって、レンズ３０の位置を調整可能である。そのため、たとえば、第１レーザ光源１１ａ、第２レーザ光源１１ｂおよび第３レーザ光源１１ｃから第１レーザ光Ｌ１、第２レーザ光Ｌ２および第３レーザ光Ｌ３を出力しながら、レンズ３０の光軸調整が可能である。

【0068】

（第２実施形態）
図６は、第２実施形態に係る光モジュール１Ａの斜視図である。図７は、図６に示したカバー５２が取り外された状態の光モジュール１Ａの斜視図である。光モジュール１Ａは、ＣＡＮ型の光モジュールである。第２実施形態においても、図６および図７に示したＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向を使用して光モジュール１Ａを説明する。Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向は互いに直交する。図７においても、レンズ支持部材４０において、第１部分４１および第２部分４２を示すために、第１部分４１のうち第２部分４２寄りの境界および第２部分４２のうち第１部分４１寄りの境界を一点鎖線で示している。

【0069】

光モジュール１Ａは、パッケージ５０の代わりにパッケージ５０Ａを備える点および光源搭載部２０の代わりに光源搭載部７０を備える点で、主に光モジュール１と相違する。上記相違点を中心にして光モジュール１Ａを説明する。

【0070】

パッケージ５０Ａは、窓部５５が天部５４に形成されている点でパッケージ５０と相違する。窓部５５は、天部５４に形成された開口５４ａに取り付けられている。図６に示した形態ではパッケージ５０が有するパッケージ基板５１は、図６においてＸ軸方向からみた場合の形状が円形の板状部材である。図６に示した形態ではパッケージ５０が有するカバー５２の胴部５３は円筒であり、天部５４の平面視形状も円形である。第２実施形態においてもパッケージ基板５１には複数の導電部材５６が設けられている。

【0071】

第２実施形態における光源搭載部７０は、光出力部１０が固定される主面７０ａを有する支持台である。主面７０ａの法線ｎの方向がＺ軸方向である。図７では、法線ｎを破線で示している。光源搭載部７０は、パッケージ基板５１に固定されている。具体的には、光源搭載部７０は、パッケージ基板５１の表面と主面７０ａが交差するようにパッケージ基板５１に固定されている。パッケージ基板５１の表面と主面７０ａは直交してよい。

【0072】

主面７０ａに搭載された光出力部１０は、第１実施形態の光出力部１０と同じであるため、光出力部１０の説明を省略する。光出力部１０が有する第１フィルタ１２ａは、図７に示したように台部６２に搭載されていてもよい。

【0073】

レンズ３０がレンズ支持部材４０によって光源搭載部７０から離間した状態で空中に配置されている点も第１実施形態の場合と同じである。したがって、光モジュール１Ａにおいても、大型化を防ぎながら、より大きなレンズ３０をパッケージ５０Ａ内に配置できる。光モジュール１Ａは、ＣＡＮ型の光モジュールである。よって、ＣＡＮ型の光モジュール１Ａにおいても、大型化を防ぎながら、より大きなレンズ３０をパッケージ５０Ａ内に配置できる。

【0074】

レンズ３０がパッケージ５０Ａ内に配置されていることにより、光モジュール１において述べたように、レンズ３０は、光モジュール１Ａの外部温度の影響を受けにくい。その結果、レンズ３０の変形が抑制されるので、レーザ光Ｌに対するレンズ３０の光軸のズレが生じにくい。

【0075】

光モジュール１Ａにおいても、レンズ支持部材４０へのレンズ３０の固定位置、レンズ支持部材４０の光源搭載部２０への固定位置などを調整することによって、レンズ３０の位置を調整可能である。そのため、たとえば、第１レーザ光源１１ａ、第２レーザ光源１１ｂおよび第３レーザ光源１１ｃから第１レーザ光Ｌ１、第２レーザ光Ｌ２および第３レーザ光Ｌ３を出力しながら、レンズ３０の光軸調整が可能である。

【0076】

（第３実施形態）
図８は、第３実施形態に係る光モジュール１Ｂの斜視図である。図９は、図８に示したカバー５２が取り外された状態の光モジュール１Ｂの斜視図である。図１０は、図９に示した光モジュール１Ｂの平面図である。図１１は、図１０に示した光モジュール１ＢのＢ―Ｂ線に沿った断面図である。第２実施形態においても、図８から図１１に示したＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向を使用して光モジュール１Ｂを説明する。Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向は互いに直交する。

【0077】

光モジュール１Ｂは、レーザ光Ｌを走査しながら出力する。第３実施形態では、２本のレーザ光Ｌを出力する光モジュール１Ｂを説明する。光モジュール１Ｂは、リモートセンサの光源として使用される。

【0078】

光モジュール１Ｂは、パッケージ５０Ｂ、一対のレーザ光源１１ｄ、光源搭載部２０、一対のレンズ３０およびＭＥＭＳ（走査部）８０を備える。

【0079】

パッケージ５０Ｂは、窓部５５が天部５４に形成されている点でパッケージ５０と相違する。窓部５５は、天部５４に形成された開口５４ａに取り付けられている。窓部５５は、走査された２本のレーザ光Ｌを出力可能な大きさを有する。第３実施形態においてもパッケージ基板５１には複数の導電部材５６が設けられている。

【0080】

光モジュール１Ｂが備える光源搭載部２０は、第１実施形態において説明した光源搭載部２０と同じであることから説明を省略する。

【0081】

一対のレーザ光源１１ｄはレーザ光Ｌを出力する半導体レーザ素子である。上記半導体レーザ素子の例は、第１実施形態の場合と同じである。レーザ光源１１ｄが出力するレーザ光Ｌの波長、赤外線領域（例えば近赤外線領域）の波長でよい。一対のレーザ光源１１ｄは、主面２０ａに固定された台部６４に固定されている。台部６４は、第１面６４ａと第２面６４ｂとを有する。第１面６４ａは主面２０ａに固定されている。第２面６４ｂは、第１面６４ａと反対の面である。一対のレーザ光源１１ｄは、第２面６４ｂに固定されている。台部６４の材料の例は、第１台部６１ａの場合と同じである。台部６４は光源搭載部２０の構成要素であってもよい。一対のレーザ光源１１ｄは、Ｙ軸方向において離間して配置されている。一対のレーザ光源１１ｄは、主面２０ａに垂直な仮想平面Ｐ（図１０参照）に対して対称に配置されている。仮想平面Ｐは、Ｙ軸方向に直交する平面である。一対のレーザ光源１１ｄは、各レーザ光源１１ｄから出力されたレーザ光Ｌの出力方向がＸ軸方向（または仮想平面Ｐ）と交差するように配置されている。

【0082】

一対のレンズ３０は、一対のレーザ光源１１ｄに対応している。具体的には、各レーザ光源１１ｄから出力されたレーザ光Ｌの光路上に対応するレンズ３０が配置されている。レンズ３０は、レーザ光源１１ｄから出力されたレーザ光Ｌを集光する。第３実施形態においても、レンズ３０は、レーザ光Ｌをコリメートする。各レンズ３０は、レンズ支持部材４０に支持されることによって、光源搭載部２０から離間した状態で空中に配置されている。

【0083】

レンズ３０およびレンズ支持部材４０は、第１実施形態で説明したレンズ３０およびレンズ支持部材４０と同じである。レンズ支持部材４０は、主面２０ａの法線方向とレンズ３０からのレーザ光Ｌの出力方向とに垂直な方向から見てレンズ３０と重なる第１部分４１と、主面２０ａの法線方向から見て台部６４と重なる第２部分４２とを有する。第２部分４２は台部６４に固定されている。図１０においても、レンズ支持部材４０が有する第１部分４１を示すために、第１部分４１のうち第２部分４２寄りの境界を一点鎖線で示している。第３実施形態において、レンズ３０からのレーザ光Ｌの出力方向は、レンズ３０の光軸方向に対応している。第３実施形態において、レンズ３０からのレーザ光Ｌの出力方向は、レーザ光源１１ｄからのレーザ光Ｌの出力方向に対応している。第３実施形態においても、レンズ３０の側周面３１のうちの一部がレンズ支持部材４０に固定されている。従って、レンズ３０の側周面３１は、レンズ支持部材４０と接する第１領域３１１と、レンズ支持部材４０と接していない第２領域３１２を有する。図９および図１０に示した形態では、レンズ３０の第３側面３１ｃにレンズ支持部材４０が固定されている。

【0084】

ＭＥＭＳ８０は、走査ミラー８１を有する。走査ミラー８１は枠体８２に支持されている。図９から図１１ではＭＥＭＳ８０を模式的に示している。ＭＥＭＳ８０は、走査ミラー８１を振ることによって（または揺動することによって）、レーザ光源１１ｄから出力されたレーザ光Ｌを走査する。ＭＥＭＳ８０はＭＥＭＳチップでよい。走査ミラー８１は、可動軸が１つの１次元タイプの走査ミラーでもよいし、可動軸が２つの２次元タイプの走査ミラーでもよい。

【0085】

ＭＥＭＳ８０は、レーザ光源１１ｄより主面２０ａに近い位置に配置されている。上記仮想平面Ｐは、走査ミラー８１の中心と通るように設定された面である。ＭＥＭＳ８０は、走査ミラー８１が停止された状態で、走査ミラー８１の反射面が主面２０ａに平行になるように配置されていてよい。ＭＥＭＳ８０は、後述するミラー９０を支持する支持板６５に取り付けられていてよい。

【0086】

光モジュール１Ｂは、レーザ光源１１ｄから出力されたレーザ光Ｌを走査ミラー８１に向けて反射するミラー９０を有する。ミラー９０は、支持板６５によって支持されている。

【0087】

光モジュール１Ｂでは、レーザ光源１０ｄから出力されたレーザ光Ｌは、ミラー９０によって反射された後、走査ミラー８１に入射する。レーザ光Ｌは走査ミラー８１によって走査され、窓部５５を通して光モジュール１Ｂの外部に出力される。

【0088】

光モジュール１Ｂでは、レンズ３０は光源搭載部２０から離間して空中に配置されている。したがって、光モジュール１Ｂにおいても、大型化を防ぎながら、より大きなレンズ３０をパッケージ５０Ｂ内に配置できる。

【0089】

レンズ３０は、レーザ光源１１ｄから出力されたレーザ光Ｌの光路においてレーザ光源１１ｄとミラー９０の間で且つＭＥＭＳ８０の一部（具体的には枠体８２）の上方に配置されている。そのため、ＭＥＭＳ８０を備える光モジュール１Ｂにおいて、ＭＥＭＳ８０の上方の空間を有効に利用できている。特に、光モジュール１Ｂでは、ＭＥＭＳ８０は、レーザ光源１１ｄより光源搭載部２０の近くに配置されている。よって、Ｚ軸方向においてレーザ光源１１ｄとＭＥＭＳ８０の位置は異なることから、ＭＥＭＳ８０の上方には空きスペースが存在する。光モジュール１Ｂでは、ＭＥＭＳ８０の上方の上記空きスペースにレンズ３０が配置できる。その結果、より大きなレンズ３０を採用しても光モジュール１Ｂの大型化を抑制しやすい。

【0090】

レンズ３０がパッケージ５０Ｂ内に配置されていることにより、光モジュール１において述べたように、レンズ３０は光モジュール１Ｂｎｏ外部温度の影響を受けにくい。その結果、レンズ３０の変形、屈折率の変動等が抑制されるので、レーザ光Ｌに対するレンズ３０の光軸のズレ、集光位置のズレ等が生じにくい。

【0091】

図８から図１１を利用して説明した光モジュール１Ｂの一実施形態では、光源搭載部２０は温度調整器（たとえばペルチェ素子）である。レンズ３０を支持するレンズ支持部材４０は第１部分４１および第２部分４２を有し、第２部分４２は台部６４に固定されている。台部６４は、温度調整面２１ａに固定されている。このような形態では、レンズ３０は温度調整面２１ａと熱的に接続される。この場合、レンズ３０を温度調整器による環境温度の調整範囲内に配置できる。そのため、温度変化によるレンズ３０の変形、屈折率の変動等を抑制できるので、上述したレーザ光Ｌに対するレンズ３０の光軸のズレ、集光位置のズレ等が更に生じにくい。

【0092】

光モジュール１Ｂにおいても、レンズ支持部材４０へのレンズ３０の固定位置、レンズ支持部材４０の台部６４への固定位置などを調整することによって、レンズ３０の位置を調整可能である。そのため、たとえば、レーザ光源１１ｄからレーザ光Ｌを出力しながら、レンズ３０の光軸調整が可能である。

【0093】

以上、本開示に係る種々の実施形態および変形例を説明したが、本開示は、例示した実施形態に限定されない。

【0094】

レンズ支持部材の固定位置は、レーザ光源から出力されるレーザ光を集光するレンズがパッケージ内において、光源搭載部から離間され且つ空中に配置されていれば、例示した固定位置に限定されない。例えば、第３実施形態において、レンズ支持部材４０の第２部分４２は、主面２０ａに固定されていてもよい。レンズ支持部材の形状も一方向に延在した棒状または柱状部材に限定されず、屈曲した形状を有してもよい。

【0095】

上記において、光モジュールが備えるレーザ光源の数が３つである場合を説明したが、レーザ光源の数は１つでもよいし、４つ以上でもよい。第３実施形態で説明したように、光モジュールがレーザ光を走査する走査部を備える場合、走査部はＭＥＭＳに限定されない。

【0096】

以上説明した種々の実施形態および変形例は、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で適宜組み合わされてもよい。

【符号の説明】

【0097】

１，１Ａ，１Ｂ…光モジュール
１０…光出力部
１１ａ…第１レーザ光源
１１ｂ…第２レーザ光源
１１ｃ…第３レーザ光源
１１ｄ…レーザ光源
１２…合波部
１２ａ…第１フィルタ
１２ｂ…第２フィルタ
２０…光源搭載部（温度調整器）
２０ａ…主面
２１…温度調整板
２１ａ…温度調整面
２２…放熱板
２２ａ…放熱面
２３…半導体柱
３０…レンズ
３１…側周面
３１ａ…第１側面
３１ｂ…第２側面
３１ｃ…第３側面
３１ｄ…第４側面
３１１…第１領域
３１２…第２領域
４０…レンズ支持部材
５０，５０Ａ，５０Ｂ…パッケージ
４１…第１部分
４２…第２部分
５１…パッケージ基板
５２…カバー
５３…胴部
５３ａ…開口
５４…天部
５４ａ…開口
５５…窓部
５６…導電部材
６１ａ…第１台部
６１ｂ…第２台部
６１ｃ…第３台部
６２…台部
６４…台部
６５…支持板
７０…光源搭載部（支持台）
７０ａ…主面
８０…ＭＥＭＳ（走査部）
８１…走査ミラー
８２…枠体
９０…ミラー
Ｌ…レーザ光
Ｌ１…第１レーザ光
Ｌ２…第２レーザ光
Ｌ３…第３レーザ光
ｎ…法線
Ｐ…仮想平面

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】