特開 2024-158400 発光封体

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024158400

(43)【公開日】2024-11-08

(54)【発明の名称】発光封体

(51)【国際特許分類】

   H01J 65/04 20060101AFI20241031BHJP

【ＦＩ】

H01J65/04 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023073565

(22)【出願日】2023-04-27

(71)【出願人】

【識別番号】000236436

【氏名又は名称】浜松ホトニクス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100140442

【弁理士】

【氏名又は名称】柴山 健一

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 章夫

(72)【発明者】

【氏名】下牧 将

(72)【発明者】

【氏名】松代 悠

(72)【発明者】

【氏名】杉谷 光平

(57)【要約】      （修正有）

【課題】出力光の品質の向上を図ることができる発光封体を提供する。
【解決手段】発光封体１Ａは、レーザ光Ｌ１をプラズマ領域Ｒに入射させるレーザ光入射窓部１０Ａ及びプラズマ光Ｌ２をプラズマ領域Ｒから出射させるプラズマ光出射窓部１０Ｂを有する筐体２と、プラズマ領域Ｒに臨んでいる先端部を有する第１電極と、プラズマ領域Ｒに臨んでおり且つプラズマ領域Ｒを挟んで先端部３１と向かい合っている先端部４１を有する第２電極４と、第１電極３を保持しており、筐体２に固定されている絶縁性の第１保持部５と、筐体２内においてプラズマ領域Ｒ、先端部３１及び先端部４１を包囲しており、レーザ光入射窓部１０Ａに対応している光通過開口７４、及びプラズマ光出射窓部１０Ｂに対応している光通過開口７５を有する絶縁性の包囲部７と、を備え、包囲部７の第１包囲部分７１は、第１保持部５に設けられている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

プラズマを発生させるためのガスを収容している筐体であって、前記プラズマが発生したプラズマ領域において前記プラズマを維持するための第１光を前記プラズマ領域に入射させる第１窓部、及び、前記プラズマから発せられた第２光を前記プラズマ領域から出射させる第２窓部を有する前記筐体と、
前記筐体内において前記プラズマ領域に臨んでいる第１先端部を有する第１電極と、
前記筐体内において前記プラズマ領域に臨んでおり且つ前記プラズマ領域を挟んで前記第１先端部と向かい合っている第２先端部を有する第２電極と、
前記第１電極を保持しており、前記筐体に固定されている絶縁性の第１保持部と、
前記筐体内において前記プラズマ領域、前記第１先端部及び前記第２先端部を包囲しており、前記第１窓部に対応している第１開口、及び前記第２窓部に対応している第２開口を有する絶縁性の包囲部と、を備え、
前記包囲部の少なくとも一部分は、前記第１保持部に設けられている、発光封体。

【請求項2】

前記第２電極を保持しており、前記筐体に固定されている絶縁性の第２保持部を更に備え、
前記包囲部は、第１包囲部分及び第２包囲部分を有し、
前記第１包囲部分は、前記一部分として前記第１保持部に設けられており、
前記第２包囲部分は、前記第２保持部に設けられている、請求項１に記載の発光封体。

【請求項3】

前記包囲部の全体は、前記第１保持部に設けられている、請求項１に記載の発光封体。

【請求項4】

前記筐体は、前記包囲部が配置された収容空間、及び前記収容空間から所定方向における一方の側に開口している第３開口を有し、
前記第１保持部は、前記第３開口の内側において、前記所定方向に沿って延在しており、
前記第３開口の内面及び前記第１保持部の外面の一方には、前記所定方向に沿って延在している溝が形成されており、
前記第３開口の前記内面及び前記第１保持部の前記外面の他方には、前記所定方向に沿って延在しており且つ前記溝内に配置された凸部が設けられている、請求項１～３のいずれか一項に記載の発光封体。

【請求項5】

前記筐体内からの気体の排出及び前記筐体内への気体の導入の少なくとも一方を行うための導電性の封止管を更に備え、
前記第１電極の一部及び前記封止管の一部は、前記第１保持部に埋設された状態で、互いに電気的に接続されている、請求項１～３のいずれか一項に記載の発光封体。

【請求項6】

前記包囲部は、前記筐体内において前記プラズマ領域を含む包囲空間を画定しており、
前記第１窓部は、前記第１開口における前記包囲空間側の開口端に対して前記包囲空間とは反対側に位置しており、
前記第２窓部は、前記第２開口における前記包囲空間側の開口端に対して前記包囲空間とは反対側に位置しており、
前記第１開口及び前記第２開口の少なくとも一方は、前記包囲空間に対して狭められている、請求項１～３のいずれか一項に記載の発光封体。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えばレーザ励起光源に適用される発光封体に関する。

【背景技術】

【0002】

レーザ励起光源に適用される発光封体として、プラズマを発生させるためのガスを収容している筐体と、筐体内においてプラズマ領域を含む包囲空間を画定している包囲部と、包囲空間内において向かい合っている一対の先端部を有する一対の電極と、を備える発光封体であって、筐体が、プラズマを維持するためのレーザ光をプラズマ領域に入射させるレーザ光入射窓部と、プラズマから発せられたプラズマ光をプラズマ領域から出射させるプラズマ光出射窓部と、を有するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。このような発光封体では、一対の電極間に電圧が印加されることで、包囲空間内のガスにおいてアーク放電が発生し、包囲空間内においてプラズマが発生する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】米国特許第１０００８３７８号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述したような発光封体では、筐体内に包囲部が配置されていない場合に比べ、ガスが対流する空間が狭くなるため、当該空間においてガスに対流が発生しにくくなる。ガスの対流が強くなると、筐体外に出射したプラズマ光にノイズ成分が乗ってしまう等の悪影響が生じるため、ガスの対流を抑制することで、出力光の品質が低下することが抑制される。しかし、何らかの原因で発光封体が振動し、その振動が包囲部にまで伝わって包囲部が振動すると、それに起因して出力光の品質が低下するおそれがある。

【0005】

本発明は、出力光の品質の向上を図ることができる発光封体を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の発光封体は、［１］「プラズマを発生させるためのガスを収容している筐体であって、前記プラズマが発生したプラズマ領域において前記プラズマを維持するための第１光を前記プラズマ領域に入射させる第１窓部、及び、前記プラズマから発せられた第２光を前記プラズマ領域から出射させる第２窓部を有する前記筐体と、前記筐体内において前記プラズマ領域に臨んでいる第１先端部を有する第１電極と、前記筐体内において前記プラズマ領域に臨んでおり且つ前記プラズマ領域を挟んで前記第１先端部と向かい合っている第２先端部を有する第２電極と、前記第１電極を保持しており、前記筐体に固定されている絶縁性の第１保持部と、前記筐体内において前記プラズマ領域、前記第１先端部及び前記第２先端部を包囲しており、前記第１窓部に対応している第１開口、及び前記第２窓部に対応している第２開口を有する絶縁性の包囲部と、を備え、前記包囲部の少なくとも一部分は、前記第１保持部に設けられている、発光封体」である。

【0007】

上記［１］に記載の発光封体では、筐体内においてプラズマ領域、第１電極の第１先端部、及び第２電極の第２先端部が絶縁性の包囲部によって包囲されている。これにより、筐体内に包囲部が配置されていない場合に比べ、ガスが対流する空間が狭くなるため、当該空間においてガスに対流が発生するのを抑制することができる。また、包囲部の少なくとも一部が、第１電極を筐体に固定している第１保持部に設けられている。つまり、第１電極を筐体に固定する第１保持部が包囲部の少なくとも一部分を兼ねているため、包囲部の少なくとも一部分は確実に筐体に固定されることとなり、包囲部が振動するのを抑制することができる。よって、上記［１］に記載の発光封体によれば、出力光の品質の向上を図ることができる。

【0008】

本発明の発光封体は、［２］「前記第２電極を保持しており、前記筐体に固定されている絶縁性の第２保持部を更に備え、前記包囲部は、第１包囲部分及び第２包囲部分を有し、前記第１包囲部分は、前記一部分として前記第１保持部に設けられており、前記第２包囲部分は、前記第２保持部に設けられている、上記［１］に記載の発光封体」であってもよい。当該［２］に記載の発光封体によれば、対流の発生を抑制するために好ましい形状の包囲部を精度良く形成することができると共に、２つの保持部で包囲部を安定的に支持することができる。

【0009】

本発明の発光封体は、［３］「前記包囲部の全体は、前記第１保持部に設けられている、上記［１］に記載の発光封体」であってもよい。当該［３］に記載の発光封体によれば、簡素な構造で確実に包囲部を安定的に支持することができる。

【0010】

本発明の発光封体は、［４］「前記筐体は、前記包囲部が配置された収容空間、及び前記収容空間から所定方向における一方の側に開口している第３開口を有し、前記第１保持部は、前記第３開口の内側において、前記所定方向に沿って延在しており、前記第３開口の内面及び前記第１保持部の外面の一方には、前記所定方向に沿って延在している溝が形成されており、前記第３開口の前記内面及び前記第１保持部の前記外面の他方には、前記所定方向に沿って延在しており且つ前記溝内に配置された凸部が設けられている、上記［１］～［３］のいずれか一つに記載の発光封体」であってもよい。当該［４］に記載の発光封体によれば、発光封体の製造時に、筐体の第３開口を介して、筐体の収容空間内に包囲部を配置すると共に筐体の第３開口の内側に第１保持部を配置することで、筐体の第１窓部に包囲部の第１開口を対応させると共に筐体の第２窓部に包囲部の第２開口を対応させることができる。また、製造された発光封体において、筐体の第１窓部に包囲部の第１開口が対応し且つ筐体の第２窓部に包囲部の第２開口が対応した状態を確実に維持することができる。

【0011】

本発明の発光封体は、［５］「前記筐体内からの気体の排出及び前記筐体内への気体の導入の少なくとも一方を行うための導電性の封止管を更に備え、前記第１電極の一部及び前記封止管の一部は、前記第１保持部に埋設された状態で、互いに電気的に接続されている、上記［１］～［４］のいずれか一つに記載の発光封体」であってもよい。当該［５］に記載の発光封体によれば、筐体内からの気体の排出及び筐体内への気体の導入の少なくとも一方を行うことに封止管を用いることのみならず、第１電極を外部の配線に電気的に接続することにも封止管を用いることができるため、例えば封止管が第１保持部とは別に筐体に設けられている場合に比べ、発光封体をコンパクトに構成することができる。

【0012】

本発明の発光封体は、［６］「前記包囲部は、前記筐体内において前記プラズマ領域を含む包囲空間を画定しており、前記第１窓部は、前記第１開口における前記包囲空間側の開口端に対して前記包囲空間とは反対側に位置しており、前記第２窓部は、前記第２開口における前記包囲空間側の開口端に対して前記包囲空間とは反対側に位置しており、前記第１開口及び前記第２開口の少なくとも一方は、前記包囲空間に対して狭められている、上記［１］～［５］のいずれか一つに記載の発光封体」であってもよい。当該［６］に記載の発光封体によれば、第１開口及び第２開口の両方が包囲空間に対して狭められていない場合に比べ、包囲空間内のガスが筐体外の環境の影響を受けにくくなるため、筐体外の環境に起因するガスの対流の発生を抑制することができる。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、出力光の品質の向上を図ることができる発光封体を提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】第１実施形態の発光封体の断面図である。

【図2】図１に示されるII－II線に沿っての発光封体の断面図である。

【図3】図１に示されるIII－III線に沿っての発光封体の断面図である。

【図4】第２実施形態の発光封体の断面図である。

【図5】第３実施形態の発光封体の断面図である。

【図6】図５に示されるVI－VI線に沿っての発光封体の断面図である。

【図7】図５に示されるVII－VII線に沿っての発光封体の断面図である。

【図8】第４実施形態の発光封体の断面図である。

【図9】図８に示されるIX－IX線に沿っての発光封体の断面図である。

【図10】図８に示されるX－X線に沿っての発光封体の断面図である。

【図11】第５実施形態の発光封体の断面図である。

【図12】図１１に示されるXII－XII線に沿っての発光封体の断面図である。

【図13】図１１に示されるXIII－XIII線に沿っての発光封体の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
［第１実施形態］

【0016】

図１、図２及び図３に示されるように、第１実施形態の発光封体１Ａは、筐体２、第１電極３、第２電極４、第１保持部５、第２保持部６、包囲部７及び封入管８を備えている。筐体２は、プラズマを発生させるためのガスＧを収容している。ガスＧは、例えばキセノンガスである。発光封体１Ａでは、プラズマを維持するためのレーザ光（第１光）Ｌ１がプラズマ領域Ｒ（ガスＧにおいてプラズマが発生した領域）に入射し、プラズマから発せられたプラズマ光（第２光）Ｌ２がプラズマ領域Ｒから出射する。なお、プラズマから発せられたプラズマ光Ｌ２は、実際にはプラズマ領域Ｒを中心に全方位に放射的に発生するが、便宜上、出力光としてのプラズマ光Ｌ２のみ図示する。レーザ光Ｌ１の波長は、例えば８００ｎｍ～１１００ｎｍ程度であり、プラズマ光Ｌ２の波長は、例えば１２０ｎｍ～２０μｍ程度である。発光封体１Ａは、レーザ励起光源に適用される装置である。

【0017】

筐体２は、本体部２０、レーザ光入射窓部（第１窓部）１０Ａ、二つのプラズマ光出射窓部（第２窓部）１０Ｂ，１０Ｃ、及びレーザ光出射窓部１０Ｄを有している。本体部２０は、Ｙ軸方向に沿って延在している略円筒状の部材である。本体部２０には、収容空間２１、四つの窓部用開口２２，２３，２４，２５、及び二つの電極用開口（第３開口）２６，２７が形成されている。収容空間２１は、Ｙ軸方向に沿って本体部２０の中央付近に位置しており、プラズマ領域Ｒを含んでいる。本体部２０の材料は、例えばステンレス鋼等の金属材料である。

【0018】

窓部用開口２２は、収容空間２１からＺ軸方向（Ｙ軸方向に垂直な方向）における一方側に開口している。窓部用開口２２は、二つの開口２２ａ，２２ｂによって構成されている。開口２２ａは、開口２２ｂに対してＺ軸方向における一方側に位置している開口である。開口２２ａの内側の空間は、略円柱状である。開口２２ｂは、収容空間２１側の開口端２２ｃが収容空間２１とは反対側の開口端２２ｄよりも小さいテーパ状の開口である。開口端２２ｄは、開口２２ａの底面に位置している。窓部用開口２５は、収容空間２１からＺ軸方向における他方側に開口している。窓部用開口２５は、二つの開口２５ａ，２５ｂによって構成されている。開口２５ａは、開口２５ｂに対してＺ軸方向における一方側に位置している開口である。開口２５ａの内側の空間は、略円柱状である。開口２５ｂは、収容空間２１側の開口端２５ｃが収容空間２１とは反対側の開口端２５ｄよりも小さいテーパ状の開口である。開口端２５ｄは、開口２５ａの底面に位置している。

【0019】

窓部用開口２３は、収容空間２１からＸ軸方向（Ｙ軸方向及びＺ軸方向の両方向に垂直な方向）における一方側に開口している。窓部用開口２３は、二つの開口２３ａ，２３ｂによって構成されている。開口２３ａは、開口２３ｂに対してＸ軸方向における一方側に位置している開口である。開口２３ａの内側の空間は、略円柱状である。開口２３ｂは、収容空間２１側の開口端２３ｃが収容空間２１とは反対側の開口端２３ｄよりも小さいテーパ状の開口である。開口端２３ｄは、開口２３ａの底面に位置している。窓部用開口２４は、収容空間２１からＸ軸方向における他方側に開口している。窓部用開口２４は、二つの開口２４ａ，２４ｂによって構成されている。開口２４ａは、開口２４ｂに対してＸ軸方向における一方側に位置している開口である。開口２４ａの内側の空間は、略円柱状である。開口２４ｂは、収容空間２１側の開口端２４ｃが収容空間２１とは反対側の開口端２４ｄよりも小さいテーパ状の開口である。開口端２４ｄは、開口２４ａの底面に位置している。

【0020】

電極用開口２６は、収容空間２１からＹ軸方向における一方側に開口している。電極用開口２６の内面２６ａには、Ｙ軸方向に沿って延在している溝２８Ａが形成されている。溝２８Ａは、Ｚ軸方向に沿って第１保持部５とは反対側へ向かって窪んでいる。溝２８Ａは、Ｙ軸方向に沿って筐体２の外部に開口している。電極用開口２７は、収容空間２１からＹ軸方向における他方側に開口している。電極用開口２７の内面２７ａには、Ｙ軸方向に沿って延在している溝２８Ｂが形成されている。溝２８Ｂは、Ｚ軸方向に沿って第２保持部６とは反対側へ向かって窪んでいる。溝２８Ｂは、Ｙ軸方向に沿って筐体２の外部に開口している。

【0021】

レーザ光入射窓部１０Ａは、窓部用開口２２を気密に封止している。レーザ光入射窓部１０Ａは、開口２２ａに位置しており、開口２２ｂの全体を覆っている。レーザ光入射窓部１０Ａは、レーザ光Ｌ１をプラズマ領域Ｒに入射させる。発光封体１Ａでは、レーザ光入射窓部１０Ａは、Ｚ軸方向に平行な光軸Ａ１に沿ってレーザ光Ｌ１をプラズマ領域Ｒに入射させる。換言すれば、レーザ光Ｌ１の光軸はＡ１である。

【0022】

レーザ光入射窓部１０Ａは、窓部材１１を有している。窓部材１１は、光軸Ａ１を中心線とし且つＺ軸方向を厚さ方向とする板状に形成されている。窓部材１１は、レーザ光Ｌ１を透過させる。窓部材１１の材料は、少なくともレーザ光Ｌ１の波長に関して透過性を有する光透過性材料であって、例えばサファイアである。窓部材１１の側面は、例えば金属ロウ材等の接合材によって、開口２２ａの内面に気密に接合されている。

【0023】

プラズマ光出射窓部１０Ｂは、窓部用開口２３を気密に封止している。プラズマ光出射窓部１０Ｂは、開口２３ａに位置しており、開口２３ｂの全体を覆っている。プラズマ光出射窓部１０Ｂは、プラズマ光Ｌ２をプラズマ領域ＲからＸ軸方向の一方側へ出射させる。プラズマ光出射窓部１０Ｃは、窓部用開口２４を気密に封止している。プラズマ光出射窓部１０Ｃは、開口２４ａに位置しており、開口２４ｂの全体を覆っている。プラズマ光出射窓部１０Ｃは、プラズマ光Ｌ２をプラズマ領域ＲからＸ軸方向の他方側へ出射させる。発光封体１Ａでは、各プラズマ光出射窓部１０Ｂ，１０Ｃは、Ｘ軸方向に平行な光軸Ａ２に沿ってプラズマ光Ｌ２をプラズマ領域Ｒから出射させる。換言すれば、プラズマ光Ｌ２の光軸はＡ２である。なお、光軸Ａ１と光軸Ａ２とは、プラズマ領域Ｒの中心において交わっており、本実施形態においては垂直に交わっている。

【0024】

プラズマ光出射窓部１０Ｂは、窓部材１３を有している。窓部材１３は、光軸Ａ２を中心線とし且つＸ軸方向を厚さ方向とする板状に形成されている。窓部材１３は、プラズマ光Ｌ２を透過させる。窓部材１３の材料は、少なくともプラズマ光Ｌ２の波長に関して透過性を有する光透過性材料であって、例えばダイヤモンド、サファイア又はフッ化マグネシウムである。窓部材１３の側面は、例えば金属ロウ材等の接合材によって、開口２３ａの内面に気密に接合されている。

【0025】

プラズマ光出射窓部１０Ｃは、窓部材１５を有している。窓部材１５は、光軸Ａ２を中心線とし且つＸ軸方向を厚さ方向とする板状に形成されている。窓部材１５は、プラズマ光Ｌ２を透過させる。窓部材１５の材料は、少なくともプラズマ光Ｌ２の波長に関して透過性を有する光透過性材料であって、例えばダイヤモンド、サファイア又はフッ化マグネシウムである。窓部材１５の側面は、例えば金属ロウ材等の接合材によって、開口２４ａの内面に気密に接合されている。

【0026】

レーザ光出射窓部１０Ｄは、窓部用開口２５を気密に封止している。レーザ光出射窓部１０Ｄは、開口２５ａに位置しており、開口２５ｂの全体を覆っている。レーザ光出射窓部１０Ｄは、プラズマ領域Ｒを透過したレーザ光Ｌ１をプラズマ領域Ｒから出射させる。本実施形態においては、プラズマを透過したレーザ光Ｌ１に加え、プラズマ領域Ｒからレーザ光出射窓部１０Ｄ側に出射されたプラズマ光Ｌ２も出射させるが、図面の簡略化のために図示はしない。なお、レーザ光出射窓部１０Ｄから出射されるプラズマ光Ｌ２の光軸はレーザ光Ｌ１と同軸である。発光封体１Ａでは、レーザ光出射窓部１０Ｄは、光軸Ａ１に沿ってレーザ光Ｌ１をプラズマ領域Ｒから出射させる。換言すれば、レーザ光出射窓部１０Ｄからの出射光は、レーザ光Ｌ１の光軸Ａ１と同軸の光軸を有する。

【0027】

レーザ光出射窓部１０Ｄは、窓部材１７を有している。窓部材１７は、光軸Ａ１を中心とし且つＺ軸方向を厚さ方向とする板状に形成されている。窓部材１７は、レーザ光Ｌ１を透過させる。窓部材１７の材料は、少なくともレーザ光Ｌ１の波長に関して透過性を有する光透過性材料であり、より好ましくはレーザ光Ｌ１の波長に加えてプラズマ光Ｌ２の波長に関しても透過性を有する光透過性材料である。本実施形態においては、窓部材１７の材料は、レーザ光Ｌ１およびプラズマ光Ｌ２の両方の波長に関して透過性を有する材料であって、例えばサファイアである。窓部材１７の側面は、例えば金属ロウ材等の接合材によって、開口２５ａの内面に気密に接合されている。

【0028】

第１電極３は、筐体２外から、筐体２の電極用開口２６と、後述する包囲部７の電極用開口７８とを介して、包囲部７が画定する包囲空間７３内に延在している。発光封体１Ａでは、第１電極３は、Ｙ軸方向に延在している棒状の部材である。第１電極３の材料は、例えばタングステン等の高融点金属材料である。第１電極３の先端部（第１先端部）３１は、筐体２内においてプラズマ領域Ｒに臨んでいる。発光封体１Ａでは、第１電極３の先端部３１は、包囲空間７３内においてプラズマ領域Ｒに臨んでおり、包囲部７によって包囲されている。

【0029】

第１保持部５は、Ｙ軸方向に沿って延在している絶縁性の部材であり、第１電極３を保持している。第１保持部５の材料は、高温耐性を有する絶縁材料であって、例えばセラミックである。第１保持部５は、本体部５１及び筒状部５２を有している。本体部５１の一部は筐体２の内部に位置しており、本体部５１の残部は筐体２の外部に位置している。筒状部５２は、本体部５１のうち筐体２の外部に位置している部分に設けられている。筒状部５２は、本体部５１に対してプラズマ領域Ｒとは反対側に位置している。本体部５１には、Ｙ軸方向に沿って本体部５１を貫通している貫通孔５１ａが形成されている。貫通孔５１ａは、筒状部５２の内側に開口している。貫通孔５１ａ内には、第１電極３の中間部３２が配置されている。中間部３２の側面は、例えば金属ロウ材等の接合材によって、貫通孔５１ａの内面に気密に接合されている。筒状部５２の内側には、第１電極３の基端部３３が配置されている。

【0030】

第１保持部５は、筐体２に固定されている。発光封体１Ａでは、第１保持部５は、筒状の接続部材９Ａを介して筐体２に固定されている。接続部材９Ａは、筒状部９１Ａ及び内向きフランジ部９２Ａを有している。内向きフランジ部９２Ａは、筒状部９１Ａにおける筐体２とは反対側の端部に設けられている。接続部材９Ａの材料は、例えばコバール等の金属材料である。内向きフランジ部９２Ａは、例えば金属ロウ材等の接合材によって、第１保持部５の本体部５１に設けられた外向きフランジ部５３に気密に接合されている。筒状部９１Ａにおける筐体２側の端部は、例えばレーザ溶接によって、筐体２に気密に接合されている。

【0031】

第１保持部５の外面５ａには、Ｙ方向に沿って延在している凸部５４が設けられている。凸部５４は、Ｚ軸方向に沿って筐体２へ向かって突出している。凸部５４は、筐体２の溝２８Ａ内に配置されている。Ｙ軸方向を中心とした周方向に沿った凸部５４の幅は、当該周方向に沿った溝２８Ａの幅に比べ、僅かに狭くなっている。

【0032】

第２電極４は、筐体２外から、筐体２の電極用開口２７と、後述する包囲部７の電極用開口７９とを介して、包囲部７が画定する包囲空間７３内に延在している。発光封体１Ａでは、第２電極４は、Ｙ軸方向に延在している棒状の部材である。第２電極４の材料は、例えばタングステン等の高融点金属材料である。第２電極４の先端部（第２先端部）４１は、筐体２内においてプラズマ領域Ｒに臨んでおり、プラズマ領域Ｒを挟んで第１電極３の先端部３１と向かい合っている。発光封体１Ａでは、第２電極４の先端部４１は、包囲空間７３内においてプラズマ領域Ｒに臨んでおり、包囲部７によって包囲されている。

【0033】

第２保持部６は、Ｙ軸方向に沿って延在している絶縁性の部材であり、第２電極４を保持している。第２保持部６は、例えばセラミック等の高温耐性を有する絶縁材料からなる。第２保持部６は、本体部６１及び筒状部６２を有している。本体部６１の一部は筐体２の内部に位置しており、本体部６１の残部は筐体２の外部に位置している。筒状部６２は、本体部６１のうち筐体２の外部に位置している部分に設けられている。筒状部６２は、本体部６１に対してプラズマ領域Ｒとは反対側に位置している。本体部６１には、Ｙ軸方向に沿って本体部６１を貫通している貫通孔６１ａが形成されている。貫通孔６１ａは、筒状部６２の内側に開口している。貫通孔６１ａ内には、第２電極４の中間部４２が配置されている。中間部４２の側面は、例えば金属ロウ材等の接合材によって、貫通孔６１ａの内面に気密に接合されている。筒状部６２の内側には、第２電極４の基端部４３が配置されている。

【0034】

第２保持部６は、筐体２に固定されている。発光封体１Ａでは、第２保持部６は、筒状の接続部材９Ｂを介して筐体２に固定されている。接続部材９Ｂは、筒状部９１Ｂ及び内向きフランジ部９２Ｂを有している。内向きフランジ部９２Ｂは、筒状部９１Ｂにおける筐体２とは反対側の端部に設けられている。接続部材９Ｂの材料は、例えばコバール等の金属材料である。内向きフランジ部９２Ｂは、例えば金属ロウ材等の接合材によって、第２保持部６の本体部６１に設けられた外向きフランジ部６３に気密に接合されている。筒状部９１Ｂにおける筐体２側の端部は、例えばレーザ溶接によって、筐体２に気密に接合されている。

【0035】

第２保持部６の外面６ａには、Ｙ方向に沿って延在している凸部６４が設けられている。凸部６４は、Ｚ軸方向に沿って筐体２へ向かって突出している。凸部６４は、筐体２の溝２８Ｂ内に配置されている。Ｙ軸方向を中心とした周方向に沿った凸部６４の幅は、当該周方向に沿った溝２８Ｂの幅に比べ、僅かに狭くなっている。

【0036】

包囲部７は、筐体２の収容空間２１内に配置されている絶縁性の部材である。包囲部７の材料は、高温耐性を有する絶縁材料であって、例えばセラミックである。包囲部７は、第１包囲部分７１及び第２包囲部分７２を有している。第１包囲部分７１及び第２包囲部分７２にわたって、包囲空間７３、及び四つの光通過開口７４，７５，７６，７７が形成されている。第１包囲部分７１には、電極用開口７８が形成されている。第２包囲部分７２には、電極用開口７９が形成されている。第１包囲部分７１及び第２包囲部分７２は、互いに当接している。

【0037】

包囲空間７３は、プラズマ領域Ｒを含んでいる。光通過開口７４は、包囲空間７３からＺ軸方向における一方側に開口している。光通過開口７７は、包囲空間７３からＺ軸方向における他方側に開口している。光通過開口７５は、包囲空間７３からＸ軸方向における一方側に開口している。光通過開口７６は、包囲空間７３からＸ軸方向における他方側に開口している。電極用開口７８は、包囲空間７３からＹ軸方向における一方側に開口している。電極用開口７９は、包囲空間７３からＹ軸方向における他方側に開口している。

【0038】

光通過開口（第１開口）７４は、レーザ光入射窓部１０Ａに対応している。すなわち、プラズマ領域Ｒとレーザ光入射窓部１０Ａとが並んでいる方向（発光封体１Ａでは、Ｚ軸方向）から見た場合に、光通過開口７４は、レーザ光入射窓部１０Ａと重なっている。発光封体１Ａでは、光通過開口７４の中心線は、レーザ光入射窓部１０Ａの中心線に一致しており（すなわち、光軸Ａ１に一致しており）、光通過開口７４は、Ｚ軸方向から見た場合にレーザ光入射窓部１０Ａに含まれている。光通過開口７４は、包囲空間７３に対して狭められている。すなわち、プラズマ領域Ｒと光通過開口７４とが並んでいる方向（発光封体１Ａでは、Ｚ軸方向）から見た場合に、光通過開口７４における包囲空間７３側の開口端７４ａが包囲空間７３に含まれている。発光封体１Ａでは、光通過開口７４は、包囲空間７３側の開口端７４ａが包囲空間７３とは反対側の開口端７４ｂよりも小さいテーパ状の開口である。レーザ光入射窓部１０Ａは、光通過開口７４の外側に位置している。

【0039】

光通過開口（第２開口）７５は、プラズマ光出射窓部１０Ｂに対応している。すなわち、プラズマ領域Ｒとプラズマ光出射窓部１０Ｂとが並んでいる方向（発光封体１Ａでは、Ｘ軸方向）から見た場合に、光通過開口７５は、プラズマ光出射窓部１０Ｂと重なっている。発光封体１Ａでは、光通過開口７５の中心線は、プラズマ光出射窓部１０Ｂの中心線に一致しており（すなわち、光軸Ａ２に一致しており）、光通過開口７５は、Ｘ軸方向から見た場合にプラズマ光出射窓部１０Ｂに含まれている。光通過開口７５は、包囲空間７３に対して狭められている。すなわち、プラズマ領域Ｒと光通過開口７５とが並んでいる方向（発光封体１Ａでは、Ｘ軸方向）から見た場合に、光通過開口７５における包囲空間７３側の開口端７５ａが包囲空間７３に含まれている。発光封体１Ａでは、光通過開口７５は、包囲空間７３側の開口端７５ａが包囲空間７３とは反対側の開口端７５ｂよりも小さいテーパ状の開口である。プラズマ光出射窓部１０Ｂは、光通過開口７５の外側に位置している。

【0040】

光通過開口（第２開口）７６は、プラズマ光出射窓部１０Ｃに対応している。すなわち、プラズマ領域Ｒとプラズマ光出射窓部１０Ｃとが並んでいる方向（発光封体１Ａでは、Ｘ軸方向）から見た場合に、光通過開口７６は、プラズマ光出射窓部１０Ｃと重なっている。発光封体１Ａでは、光通過開口７６の中心線は、プラズマ光出射窓部１０Ｃの中心線に一致しており（すなわち、光軸Ａ２に一致しており）、光通過開口７６は、Ｘ軸方向から見た場合にプラズマ光出射窓部１０Ｃに含まれている。光通過開口７６は、包囲空間７３に対して狭められている。すなわち、プラズマ領域Ｒと光通過開口７６とが並んでいる方向（発光封体１Ａでは、Ｘ軸方向）から見た場合に、光通過開口７６における包囲空間７３側の開口端７６ａが包囲空間７３に含まれている。発光封体１Ａでは、光通過開口７６は、包囲空間７３側の開口端７６ａが包囲空間７３とは反対側の開口端７６ｂよりも小さいテーパ状の開口である。プラズマ光出射窓部１０Ｃは、光通過開口７６の外側に位置している。

【0041】

光通過開口７７は、レーザ光出射窓部１０Ｄに対応している。すなわち、プラズマ領域Ｒとレーザ光出射窓部１０Ｄとが並んでいる方向（発光封体１Ａでは、Ｚ軸方向）から見た場合に、光通過開口７７は、レーザ光出射窓部１０Ｄと重なっている。発光封体１Ａでは、光通過開口７７の中心線は、レーザ光出射窓部１０Ｄの中心線に一致しており（すなわち、光軸Ａ１に一致しており）、光通過開口７７は、Ｚ軸方向から見た場合にレーザ光出射窓部１０Ｄに含まれている。光通過開口７７は、包囲空間７３に対して狭められている。すなわち、プラズマ領域Ｒと光通過開口７７とが並んでいる方向（発光封体１Ａでは、Ｚ軸方向）から見た場合に、光通過開口７７における包囲空間７３側の開口端７７ａが包囲空間７３に含まれている。発光封体１Ａでは、光通過開口７７は、包囲空間７３側の開口端７７ａが包囲空間７３とは反対側の開口端７７ｂよりも小さいテーパ状の開口である。レーザ光出射窓部１０Ｄ、光通過開口７７の外側に位置している。

【0042】

第１包囲部分７１及び第２包囲部分７２の材料は、高温耐性を有する絶縁材料であって、例えばセラミックである。特に白色のセラミックを用いた場合、プラズマ光Ｌ２を反射することでプラズマ光出射窓部１０Ｂ及びプラズマ光出射窓部１０Ｃから取り出す光量をより大きくすることができる。第１包囲部分７１は、第１部分７１Ａ及び第２部分７１Ｂを有している。第１部分７１Ａは、電極用開口７８を画定している。第１包囲部分７１は、電極用開口７８が第１保持部５の貫通孔５１ａと連通した状態で、第１保持部５と一体で形成されている。つまり、第１包囲部分７１は第１保持部５に設けられている。第２包囲部分７２は、第３部分７２Ａ及び第４部分７２Ｂを有している。第３部分７２Ａは、電極用開口７９を画定している。第２包囲部分７２は、電極用開口７９が第２保持部６の貫通孔６１ａと連通した状態で、第２保持部６と一体で形成されている。つまり、第２包囲部分７２は第２保持部６に設けられている。

【0043】

第２部分７１Ｂは、電極用開口７８からＹ軸方向の一方側に開口している滑らかな凹面状の内面７１ａを含んでいる。第４部分７２Ｂは、電極用開口７９からＹ軸方向の他方側に開口している滑らかな凹面状の内面７２ａを含んでいる。各内面７１ａ，７２ａにおける曲率は、例えば滑らかに変化している。電極用開口７８は、内面７１ａにおいて開口している。電極用開口７９は、内面７２ａにおいて開口している。

【0044】

第２部分７１Ｂは、光通過開口７４のＹ軸方向における一方側の一部を画定しており、第４部分７２Ｂは光通過開口７４のＹ軸方向における他方側の残部を画定している。発光封体１Ａでは、第２部分７１Ｂには光通過開口７４の一部に相当する切り欠きが設けられており、第４部分７２Ｂには光通過開口７４の残部に相当する切り欠きが設けられている。第２部分７１Ｂは、光通過開口７５のＹ軸方向における一方側の一部を画定しており、第４部分７２Ｂは光通過開口７５のＹ軸方向における他方側の残部を画定している。発光封体１Ａでは、第２部分７１Ｂには光通過開口７５の一部に相当する切り欠きが設けられており、第４部分７２Ｂには光通過開口７５の残部に相当する切り欠きが設けられている。第２部分７１Ｂは、光通過開口７６のＹ軸方向における一方側の一部を画定しており、第４部分７２Ｂは光通過開口７６のＹ軸方向における他方側の残部を画定している。発光封体１Ａでは、第２部分７１Ｂには光通過開口７６の一部に相当する切り欠きが設けられており、第４部分７２Ｂには光通過開口７６の残部に相当する切り欠きが設けられている。第２部分７１Ｂは、光通過開口７７のＹ軸方向における一方側の一部を画定しており、第４部分７２Ｂは光通過開口７７のＹ軸方向における他方側の残部を画定している。発光封体１Ａでは、第２部分７１Ｂには光通過開口７７の一部に相当する切り欠きが設けられており、第４部分７２Ｂには光通過開口７７の残部に相当する切り欠きが設けられている。四つの光通過開口７４，７５，７６，７７は、各内面７１ａ，７２ａにおいて開口している。

【0045】

包囲空間７３は、収容空間２１内において、第２部分７１Ｂの内面７１ａ、第４部分７２Ｂの内面７２ａ、四つの光通過開口７４，７５，７６，７７、及び二つの電極用開口７８，７９によって包囲されている。つまり、包囲部７は、筐体２内において包囲空間７３を画定していると共に、筐体２内においてプラズマ領域Ｒを包囲している。第１電極３の先端部３１は、包囲空間７３内においてプラズマ領域Ｒに臨んでおり、包囲部７によって包囲されている。第２電極４の先端部４１は、包囲空間７３内においてプラズマ領域Ｒに臨んでおり、包囲部７によって包囲されている。

【0046】

筐体２の本体部２０には、筐体２内からの気体の排出及び筐体２内への気体の導入を行うために、本実施形態においては収容空間２１内を一度排気し、次いでガスＧを封入するための封入孔２９が形成されている。封入孔２９には、封入管（封止管）８が接続されている。封入管８の材料は導電性材料であって、例えば銅等の金属材料である。封入管８における封入孔２９とは反対側の端部は、封止されている。封入管８の外面は、例えば金属ロウ材等の接合材によって、封入孔２９の内面に気密に接合されている。発光封体１Ａでは、封入管８は、Ｘ軸方向に沿って延在している。

【0047】

以上のように構成された発光封体１Ａでは、第１電極３を接地電位とする場合、第２電極４に負の電圧パルス又は正の電圧パルスが印加される。第２電極４を接地電位とする場合、第１電極３に負の電圧パルス又は正の電圧パルスが印加される。これにより、包囲空間７３内のガスＧにおいてアーク放電が発生し、第１電極３と第２電極４との間においてプラズマが発生する。このとき、レーザ光入射窓部１０Ａからプラズマ領域Ｒにレーザ光Ｌ１が入射することで、プラズマ領域Ｒにおいてプラズマが維持される。そして、プラズマから発せられたプラズマ光Ｌ２が、出力光として二つのプラズマ光出射窓部１０Ｂ，１０Ｃから外部に出射する。プラズマ領域Ｒを透過したレーザ光Ｌ１は、レーザ光出射窓部１０Ｄから外部に出射する。

【0048】

以上説明したように、発光封体１Ａでは、筐体２内においてプラズマ領域Ｒ、第１電極３の先端部３１、及び第２電極４の先端部４１が絶縁性の包囲部７によって包囲されている。これにより、筐体２内に包囲部７が配置されていない場合に比べ、ガスＧが対流する空間が狭くなるため、当該空間においてガスＧに対流が発生するのを抑制することができる。また、包囲部７の第１包囲部分７１が、第１電極３を筐体２に固定している第１保持部５に設けられている。つまり、第１電極３を筐体２に固定する第１保持部５が包囲部７の少なくとも一部分を兼ねているため、包囲部７の少なくとも一部分は確実に筐体２に固定されることとなり、包囲部７が振動するのを抑制することができる。更に、当該空間が絶縁性の包囲部７によって包囲されているため、包囲部７がプラズマに影響を及ぼすことなく、プラズマを安定的に維持することができる。更に、包囲空間７３内のガスＧが金属製の筐体２によって冷却されるのを抑制できるため、対流を安定化することができ、対流によるプラズマへの影響を抑制し、プラズマを安定的に維持することができる。更に、包囲部７を介して第１電極３と第２電極４とが電気的に接続されてしまうことを抑制できるので、プラズマを確実に発生することができる。よって、発光封体１Ａによれば、出力光の品質の向上を図ることができる。

【0049】

発光封体１Ａは、第２電極４を保持しており、筐体２に固定されている絶縁性の第２保持部６を備え、包囲部７は、第１包囲部分７１及び第２包囲部分７２を有し、第１包囲部分７１は、第１保持部５に設けられており、第２包囲部分７２は、第２保持部６に設けられている。これにより、対流の発生を抑制するために好ましい形状の包囲部７を精度良く形成することができると共に、第１保持部５及び第２保持部６の２つの保持部で包囲部７を安定的に支持することができる。例えば包囲部７の形状は複雑であるため単一の部材で一体に形成することは困難だが、包囲部７を第１包囲部分７１及び第２包囲部分７２に分割して構成することで、包囲部７を精度良く形成することができる。

【0050】

発光封体１Ａでは、筐体２は、包囲部７が配置された収容空間２１、及び収容空間２１からＹ軸方向における一方の側に開口している電極用開口２６を有し、第１保持部５は、電極用開口２６の内側において、Ｙ軸方向に沿って延在しており、電極用開口２６の内面２６ａには、Ｙ軸方向に沿って延在している溝２８Ａが形成されており、第１保持部５の外面５ａには、Ｙ軸方向に沿って延在しており且つ溝２８Ａ内に配置された凸部５４が設けられている。また、発光封体１Ａでは、筐体２は、収容空間２１からＹ軸方向における他方の側に開口している電極用開口２７を有し、第２保持部６は、電極用開口２７の内側において、Ｙ軸方向に沿って延在しており、電極用開口２７の内面２７ａには、Ｙ軸方向に沿って延在している溝２８Ｂが形成されており、第２保持部６の外面６ａには、Ｙ軸方向に沿って延在しており且つ溝２８Ｂ内に配置された凸部６４が設けられている。これにより、発光封体１Ａの製造時に、筐体２の二つの電極用開口２６，２７を介して、筐体２の収容空間２１内に包囲部７の第１包囲部分７１及び第２包囲部分７２を配置すると共に筐体２の二つの電極用開口２６，２７の内側に第１保持部５及び第２保持部６をそれぞれ配置することで、筐体２のレーザ光入射窓部１０Ａに包囲部７の光通過開口７４を対応させると共に筐体２の二つのプラズマ光出射窓部１０Ｂ，１０Ｃに包囲部７の二つの光通過開口７５，７６をそれぞれ対応させることができる。また、製造された発光封体１Ａにおいて、筐体２のレーザ光入射窓部１０Ａに包囲部７の光通過開口７４が対応し且つ筐体２の二つのプラズマ光出射窓部１０Ｂ，１０Ｃに包囲部７の二つの光通過開口７５，７６がそれぞれ対応した状態を確実に維持することができる。

【0051】

発光封体１Ａでは、包囲部７は、筐体２内においてプラズマ領域Ｒを含む包囲空間７３を画定しており、レーザ光入射窓部１０Ａは、光通過開口７４における包囲空間７３側の開口端７４ａに対して包囲空間７３とは反対側に位置しており、プラズマ光出射窓部１０Ｂは、光通過開口７５における包囲空間７３側の開口端７５ａに対して包囲空間７３とは反対側に位置しており、プラズマ光出射窓部１０Ｃは、光通過開口７６における包囲空間７３側の開口端７６ａに対して包囲空間７３とは反対側に位置しており、三つの光通過開口７４，７５，７６は、包囲空間７３に対して狭められている。これにより、三つの光通過開口７４，７５，７６が包囲空間７３に対して狭められていない場合に比べ、包囲空間７３内のガスＧが筐体２外の環境の影響を受けにくくなるため、筐体２外の環境に起因するガスＧの対流の発生を抑制することができる。
［第２実施形態］

【0052】

図４に示されるように、第２実施形態の発光封体１Ｂは、封入管８Ａの一部が第１保持部５に埋設されている点、及び、封入管８Ｂの一部が第２保持部６に埋設されている点で第１実施形態の発光封体１Ａと主に相違している。以下、第２実施形態の発光封体１Ｂについて、第１実施形態の発光封体１Ａとの相違点を中心に説明する。

【0053】

図４に示されるように、第１電極３は電極用開口２６内から包囲部７が画定している包囲空間７３内に延在している。第１電極３は、先端部（第１先端部）３１、二つの中間部３２Ａ，３２Ｂ、及び基端部３３を有している。中間部３２Ａ及び基端部３３の外径は、同じである。中間部３２Ｂの外径は、中間部３２Ａ及び基端部３３の外径に比べ、大きくなっている。第２電極４は電極用開口２７内から包囲部７が画定している包囲空間７３内に延在している。第２電極４は、先端部（第２先端部）４１、二つの中間部４２Ａ，４２Ｂ、及び基端部４３を有している。中間部４２Ａ及び基端部４３の外径は、同じである。中間部４２Ｂの外径は、中間部４２Ａ及び基端部４３の外径に比べ、大きくなっている。

【0054】

第１保持部５は、Ｙ軸方向に沿って延在している絶縁性の部材であり、第１電極３を保持している。第１保持部５の材料は、高温耐性を有する絶縁材料であって、例えばセラミックである。第１保持部５は、本体部５１を有している。本体部５１の一部は筐体２の内部に位置しており、本体部５１の残部は筐体２の外部に位置している。本体部５１には、Ｙ軸方向に沿って本体部５１を貫通している貫通孔５１ａが形成されている。貫通孔５１ａは、二つの貫通孔５１ｂ，５１ｃから構成されている。貫通孔５１ｃの内径は、貫通孔５１ｂの内径に比べ、大きくなっている。貫通孔５１ｂ内には、第１電極３の中間部３２Ａが配置されている。中間部３２Ａの側面は、例えば金属ロウ材等の接合材によって、貫通孔５１ｂの内面に気密に接合されている。貫通孔５１ｃ内には、第１電極３の中間部３２Ｂ及び基端部３３が配置されている。中間部３２Ｂの側面は、例えば金属ロウ材等の接合材によって、貫通孔５１ｃの内面に気密に接合されている。

【0055】

発光封体１Ｂは、導電性の封入管（封止管）８Ａを備えている。封入管８Ａの材料は導電性材料であって、例えば銅等の金属材料である。封入管８Ａは、Ｙ軸方向に沿って延在している。封入管８Ａには、一対の貫通孔８ｂ，８ｃが形成されている。一対の貫通孔８ｂ，８ｃは、Ｚ軸方向に沿って封入管８Ａを貫通している。本体部５１には、貫通孔５１ｄが形成されている。貫通孔５１ｄは、Ｚ軸方向に沿って本体部５１を貫通しており、本体部５１の貫通孔５１ｃの内面において開口している。封入管８Ａの一部は、封入管８Ａの貫通孔８ｂが本体部５１の貫通孔５１ｄと連通した状態で、本体部５１の貫通孔５１ｃ内に配置されている。本体部５１の貫通孔５１ｄは、筐体２の収容空間２１と連通している。つまり、封入管８Ａの内部は、封入管８Ａの貫通孔８ｂ及び本体部５１の貫通孔５１ｄを介して、筐体２の収容空間２１と連通している。

【0056】

第１電極３の基端部３３は、封入管８Ａの内部に配置されている。基端部３３の外面は、例えば金属ロウ材等の接合材によって、封入管８Ａの内面に気密に接合されている。第１電極３及び封入管８Ａは、互いに電気的に接続されている。封入管８Ａの外面は、例えば金属ロウ材等の接合材によって、本体部５１の貫通孔５１ｃの内面に気密に接合されている。つまり、第１電極３の一部及び封入管８Ａの一部は、第１保持部５に埋設された状態で、互いに電気的に接続されている。

【0057】

第２保持部６は、Ｙ軸方向に沿って延在している絶縁性の部材であり、第２電極４を保持している。第２保持部６の材料は、高温耐性を有する絶縁材料であって、例えばセラミックである。第２保持部６は、本体部６１を有している。本体部６１の一部は筐体２の内部に位置しており、本体部６１の残部は筐体２の外部に位置している。本体部６１には、Ｙ軸方向に沿って本体部６１を貫通している貫通孔６１ａが形成されている。貫通孔６１ａは、二つの貫通孔６１ｂ，６１ｃから構成されている。貫通孔６１ｃの内径は、貫通孔６１ｂの内径に比べ、大きくなっている。貫通孔６１ｂ内には、第２電極４の中間部４２Ａが配置されている。中間部４２Ａの側面は、例えば金属ロウ材等の接合材によって、貫通孔６１ｂの内面に気密に接合されている。貫通孔６１ｃ内には、第２電極４の中間部４２Ｂ及び基端部４３が配置されている。中間部４２Ｂの側面は、例えば金属ロウ材等の接合材によって、貫通孔６１ｃの内面に気密に接合されている。

【0058】

発光封体１Ｂは、導電性の封入管（封止管）８Ｂを備えている。封入管８Ｂの材料は導電性材料であって、例えば銅等の金属材料である。封入管８Ｂは、Ｙ軸方向に沿って延在している。封入管８Ｂには、一対の貫通孔８ｄ，８ｅが形成されている。一対の貫通孔８ｄ，８ｅは、Ｚ軸方向に沿って封入管８Ｂを貫通している。本体部６１には、貫通孔６１ｄが形成されている。貫通孔６１ｄは、Ｚ軸方向に沿って本体部６１を貫通しており、本体部６１の貫通孔６１ｃの内面において開口している。封入管８Ｂの一部は、封入管８Ｂの貫通孔８ｄが本体部６１の貫通孔６１ｄと連通した状態で、本体部６１の貫通孔６１ｃ内に配置されている。本体部６１の貫通孔６１ｄは、筐体２の収容空間２１と連通している。つまり、封入管８Ｂの内部は、封入管８Ｂの貫通孔８ｄ及び本体部６１の貫通孔６１ｄを介して、筐体２の収容空間２１と連通している。

【0059】

第２電極４の基端部４３は、封入管８Ｂの内部に配置されている。基端部４３の外面は、例えば金属ロウ材等の接合材によって、封入管８Ｂの内面に気密に接合されている。第２電極４及び封入管８Ｂは、互いに電気的に接続されている。封入管８Ｂの外面は、例えば金属ロウ材等の接合材によって、本体部６１の貫通孔６１ｃの内面に気密に接合されている。つまり、第２電極４の一部及び封入管８Ｂの一部は、第２保持部６に埋設された状態で、互いに電気的に接続されている。

【0060】

第１包囲部分７１の第１部分７１Ａは、電極用開口７８を画定している。第１包囲部分７１は、電極用開口７８が第１保持部５の貫通孔５１ｂと連通した状態で、第１保持部５と一体で形成されている。つまり、第１包囲部分７１は第１保持部５に設けられている。第２包囲部分７２の第３部分７２Ａは、電極用開口７９を画定している。第２包囲部分７２は、電極用開口７９が第２保持部６の貫通孔６１ｂと連通した状態で、第２保持部６と一体で形成されている。つまり、第２包囲部分７２は第２保持部６に設けられている。

【0061】

以上説明したように、発光封体１Ｂは、筐体２内からの気体の排出及び筐体２内への気体の導入を行うために、本実施形態においては収容空間２１内を一度排気し、次いでガスＧを封入するための二つの導電性の封入管８Ａ，８Ｂを備え、第１電極３の一部及び封入管８Ａの一部は、第１保持部５に埋設された状態で、互いに電気的に接続されており、第２電極４の一部及び封入管８Ｂの一部は、第２保持部６に埋設された状態で、互いに電気的に接続されている。これにより、筐体２内からの気体の排出及び筐体２内への気体の導入を行うことに封入管８Ａを用いることのみならず、第１電極３を外部の配線に電気的に接続することにも封入管８Ａを用いることができるため、例えば封入管８Ａが第１保持部５とは別に筐体２に設けられている場合に比べ、発光封体１Ｂをコンパクトに構成することができる。また、筐体２内からの気体の排出及び筐体２内への気体の導入を行うことに封入管８Ｂを用いることのみならず、第２電極４を外部の配線に電気的に接続することにも封入管８Ｂを用いることができるため、例えば封入管８Ｂが第２保持部６とは別に筐体２に設けられている場合に比べ、発光封体１Ｂをコンパクトに構成することができる。
［第３実施形態］

【0062】

図５、図６及び図７に示されるように、第３実施形態の発光封体１Ｃは、第２電極４が筐体２に保持されている点、及び包囲部７の全体が第１保持部５に設けられている点で、第１実施形態の発光封体１Ａと主に相違している。以下、第３実施形態の発光封体１Ｃについて、第１実施形態の発光封体１Ａとの相違点を中心に説明する。

【0063】

筐体２は、本体部２０、レーザ光入射窓部１０Ａ、及び二つのプラズマ光出射窓部１０Ｂ，１０Ｃを有している。本体部２０は、略直方体状の部材である。本体部２０には、収容空間２１、三つの窓部用開口２２，２３，２４、及び二つの電極用開口２６，２７が形成されている。収容空間２１は、プラズマ領域Ｒを含んでいる。窓部用開口２２は、収容空間２１からＺ軸方向における一方側に開口している。窓部用開口２３は、収容空間２１からＸ軸方向における一方側に開口している。窓部用開口２４は、収容空間２１からＸ軸方向における他方側に開口している。電極用開口２６は、収容空間２１からＹ軸方向における一方側に開口している。電極用開口２７は、収容空間２１からＹ軸方向における他方側に開口している。本体部２０の材料は、例えばステンレス鋼等の金属材料である。

【0064】

レーザ光入射窓部１０Ａは、窓部材１１及び保持部材１２を有している。窓部材１１は、光軸Ａ１を中心線とし且つＺ軸方向を厚さ方向とする板状に形成されている。窓部材１１は、レーザ光Ｌ１を透過させる。窓部材１１の材料は、少なくともレーザ光Ｌ１の波長に関して透過性を有する光透過性材料であって、例えばサファイアである。保持部材１２は、光軸Ａ１を中心線とする筒状に形成されている。窓部材１１は、保持部材１２の内側に配置された状態で、保持部材１２によって保持されている。保持部材１２の材料は、例えばコバール等の金属材料である。窓部材１１の側面は、例えば金属ロウ材等の接合材によって、保持部材１２の内面に気密に接合されている。保持部材１２の外面は、例えばレーザ溶接によって、窓部用開口２２の内面に気密に接合されている。

【0065】

プラズマ光出射窓部１０Ｂは、窓部材１３及び保持部材１４を有している。窓部材１３は、光軸Ａ２を中心線とし且つＸ軸方向を厚さ方向とする板状に形成されている。窓部材１３は、プラズマ光Ｌ２を透過させる。窓部材１３の材料は、少なくともプラズマ光Ｌ２の波長に関して透過性を有する光透過性材料であって、例えばダイヤモンド、サファイア又はフッ化マグネシウムである。保持部材１４は、光軸Ａ２を中心線とする筒状に形成されている。窓部材１３は、保持部材１４の内側に配置された状態で、保持部材１４によって保持されている。保持部材１４の材料は、例えばコバール等の金属材料である。窓部材１３の側面は、例えば金属ロウ材等の接合材によって、保持部材１４の内面に気密に接合されている。保持部材１４の外面は、例えばレーザ溶接によって、窓部用開口２３の内面に気密に接合されている。

【0066】

プラズマ光出射窓部１０Ｃは、窓部材１５及び保持部材１６を有している。窓部材１５は、光軸Ａ２を中心線とし且つＸ軸方向を厚さ方向とする板状に形成されている。窓部材１５は、プラズマ光Ｌ２を透過させる。窓部材１５の材料は、少なくともプラズマ光Ｌ２の波長に関して透過性を有する光透過性材料であって、例えばダイヤモンド、サファイア又はフッ化マグネシウムである。保持部材１６は、光軸Ａ２を中心線とする筒状に形成されている。窓部材１５は、保持部材１６の内側に配置された状態で、保持部材１６によって保持されている。保持部材１６の材料は、例えばコバール等の金属材料である。窓部材１５の側面は、例えば金属ロウ材等の接合材によって、保持部材１６の内面に気密に接合されている。保持部材１６の外面は、例えばレーザ溶接によって、窓部用開口２４の内面に気密に接合されている。

【0067】

第１電極３は、筐体２外から、筐体２の電極用開口２６と、包囲部７の電極用開口７８とを介して、包囲部７が画定する包囲空間７３内に延在している。発光封体１Ｃでは、第１電極３は、Ｙ軸方向に延在している棒状の部材である。第１電極３の材料は、例えばタングステン等の高融点金属材料である。第１電極３の先端部３１は、筐体２内においてプラズマ領域Ｒに臨んでいる。発光封体１Ｃでは、第１電極３の先端部３１は、包囲空間７３内においてプラズマ領域Ｒに臨んでおり、包囲部７によって包囲されている。

【0068】

第１保持部５は、Ｙ軸方向に沿って延在している絶縁性の部材であり、第１電極３を保持している。第１保持部５の材料は、高温耐性を有する絶縁材料であって、例えばセラミックである。第１保持部５は、本体部５１及び筒状部５２を有している。本体部５１の一部は筐体２の内部に位置しており、本体部５１の残部は筐体２の外部に位置している。筒状部５２は、本体部５１のうち筐体２の外部に位置している部分に設けられている。筒状部５２は、本体部５１に対してプラズマ領域Ｒとは反対側に位置している。本体部５１には、Ｙ軸方向に沿って本体部５１を貫通している貫通孔５１ａが形成されている。貫通孔５１ａは、筒状部５２の内側に開口している。貫通孔５１ａ内には、第１電極３の中間部３２が配置されている。中間部３２の側面は、例えば金属ロウ材等の接合材によって、貫通孔５１ａの内面に気密に接合されている。筒状部５２の内側には、第１電極３の基端部３３が配置されている。

【0069】

第１保持部５は、筐体２に固定されている。発光封体１Ｃでは、第１保持部５は、筒状の接続部材９Ａを介して筐体２に固定されている。接続部材９Ａは、筒状部９１Ａ及び内向きフランジ部９２Ａを有している。内向きフランジ部９２Ａは、筒状部９１Ａにおける筐体２とは反対側の端部に設けられている。接続部材９Ａの材料は、例えばコバール等の金属材料である。内向きフランジ部９２Ａは、例えば金属ロウ材等の接合材によって、第１保持部５の本体部５１に設けられた外向きフランジ部５３に気密に接合されている。筒状部９１Ａにおける筐体２側の端部は、例えばレーザ溶接によって、筐体２に気密に接合されている。

【0070】

第２電極４は、筐体２の電極用開口２７内から包囲部７が画定する包囲空間７３内に延在している。発光封体１Ｃでは、第２電極４は、Ｙ軸方向に延在している棒状の部材である。第２電極４の材料は、例えばタングステン等の高融点金属材料である。第２電極４の先端部４１は、筐体２内においてプラズマ領域Ｒに臨んでおり、プラズマ領域Ｒを挟んで第１電極３の先端部３１と向かい合っている。発光封体１Ｃでは、第２電極４の先端部４１は、包囲空間７３内においてプラズマ領域Ｒに臨んでおり、包囲部７によって包囲されている。第２電極４の基端部４３の側面は、例えば金属ロウ材等の接合材によって、電極用開口２７の内面に気密に接合されている。

【0071】

包囲部７は、筐体２の収容空間２１内に配置されている絶縁性の部材である。包囲部７には、包囲空間７３、三つの光通過開口７４，７５，７６、及び電極用開口７８が形成されている。

【0072】

包囲空間７３は、プラズマ領域Ｒを含んでいる。光通過開口７４は、包囲空間７３からＺ軸方向における一方側に開口している。光通過開口７５は、包囲空間７３からＸ軸方向における一方側に開口している。光通過開口７６は、包囲空間７３からＸ軸方向における他方側に開口している。電極用開口７８は、包囲空間７３からＹ軸方向における一方側に開口している。

【0073】

光通過開口７４は、レーザ光入射窓部１０Ａに対応している。すなわち、プラズマ領域Ｒとレーザ光入射窓部１０Ａとが並んでいる方向（発光封体１Ｃでは、Ｚ軸方向）から見た場合に、光通過開口７４は、レーザ光入射窓部１０Ａと重なっている。発光封体１Ｃでは、光通過開口７４の中心線は、レーザ光入射窓部１０Ａの窓部材１１の中心線に一致しており（すなわち、光軸Ａ１に一致しており）、光通過開口７４は、Ｚ軸方向から見た場合にレーザ光入射窓部１０Ａの窓部材１１に含まれている。光通過開口７４は、包囲空間７３に対して狭められている。すなわち、プラズマ領域Ｒと光通過開口７４とが並んでいる方向（発光封体１Ｃでは、Ｚ軸方向）から見た場合に、光通過開口７４が包囲空間７３に含まれている。レーザ光入射窓部１０Ａは、光通過開口７４の外側に位置している。

【0074】

光通過開口７５は、プラズマ光出射窓部１０Ｂに対応している。すなわち、プラズマ領域Ｒとプラズマ光出射窓部１０Ｂとが並んでいる方向（発光封体１Ｃでは、Ｘ軸方向）から見た場合に、光通過開口７５は、プラズマ光出射窓部１０Ｂと重なっている。発光封体１Ｃでは、光通過開口７５の中心線は、プラズマ光出射窓部１０Ｂの中心線に一致しており（すなわち、光軸Ａ２に一致しており）、光通過開口７５は、Ｘ軸方向から見た場合にプラズマ光出射窓部１０Ｂに含まれている。光通過開口７５は、包囲空間７３に対して狭められている。すなわち、プラズマ領域Ｒと光通過開口７５とが並んでいる方向（発光封体１Ｃでは、Ｘ軸方向）から見た場合に、光通過開口７５における包囲空間７３側の開口端７５ａが包囲空間７３に含まれている。発光封体１Ｃでは、光通過開口７５の内側の空間は、円柱状である。プラズマ光出射窓部１０Ｂは、光通過開口７５の外側に位置している。

【0075】

光通過開口７６は、プラズマ光出射窓部１０Ｃに対応している。すなわち、プラズマ領域Ｒとプラズマ光出射窓部１０Ｃとが並んでいる方向（発光封体１Ｃでは、Ｘ軸方向）から見た場合に、光通過開口７６は、プラズマ光出射窓部１０Ｃと重なっている。発光封体１Ｃでは、光通過開口７６の中心線は、プラズマ光出射窓部１０Ｃの中心線に一致しており（すなわち、光軸Ａ２に一致しており）、光通過開口７６は、Ｘ軸方向から見た場合にプラズマ光出射窓部１０Ｃに含まれている。光通過開口７６は、包囲空間７３に対して狭められている。すなわち、プラズマ領域Ｒと光通過開口７６とが並んでいる方向（発光封体１Ｃでは、Ｘ軸方向）から見た場合に、光通過開口７６における包囲空間７３側の開口端７６ａが包囲空間７３に含まれている。発光封体１Ｃでは、光通過開口７６の内側の空間は、円柱状である。プラズマ光出射窓部１０Ｃは、光通過開口７６の外側に位置している。

【0076】

包囲部７の材料は、高温耐性を有する絶縁材料であって、例えばセラミックである。特に白色のセラミックを用いた場合、プラズマ光Ｌ２を反射することでプラズマ光出射窓部１０Ｂ及びプラズマ光出射窓部１０Ｃから取り出す光量をより大きくすることができる。包囲部７は、一体で形成された第１部分７Ａ及び第２部分７Ｂを有している。第１部分７Ａは、電極用開口７８を画定している。包囲部７は、電極用開口７８が第１保持部５の貫通孔５１ａと連通した状態で、第１保持部５と一体で形成されている。つまり、包囲部７の全体は第１保持部５に設けられている。

【0077】

第２部分７Ｂは、電極用開口７８からＹ軸方向の一方側に開口している滑らかな凹面状の内面７ａ、及び内面７ｂを含んでいる。内面７ｂによって囲まれている空間は、円柱状である。内面７ａにおける曲率は、例えば一定である。発光封体１Ｃでは、内面７ａは、半球面状を呈している。電極用開口７８は、内面７ａにおいて開口している。三つの光通過開口７４，７５，７６は、各内面７ａ，７ｂにおいて開口している。内面７ｂには、第２電極４が当接している。

【0078】

包囲空間７３は、収容空間２１内において、第２部分７Ｂの各内面７ａ，７ｂ、三つの光通過開口７４，７５，７６、及び電極用開口７８によって包囲されている。つまり、包囲部７は、筐体２内において包囲空間７３を画定していると共に、筐体２内においてプラズマ領域Ｒを包囲している。第１電極３の先端部３１は、包囲空間７３内においてプラズマ領域Ｒに臨んでおり、包囲部７によって包囲されている。第２電極４の先端部４１は、包囲空間７３内においてプラズマ領域Ｒに臨んでおり、包囲部７によって包囲されている。

【0079】

筐体２の本体部２０には、筐体２内からの気体の排出及び筐体２内への気体の導入を行うために、本実施形態においては収容空間２１内を一度排気し、次いでガスＧを封入するための封入孔２９が形成されている。封入孔２９には、封入管８が接続されている。封入管８の材料は導電性材料であって、例えば銅等の金属材料である。封入管８における封入孔２９とは反対側の端部は、封止されている。封入管８の外面は、例えば金属ロウ材等の接合材によって、封入孔２９の内面に気密に接合されている。発光封体１Ｃでは、封入管８は、Ｙ軸方向に沿って延在している。

【0080】

以上説明したように、発光封体１Ｃでは、包囲部７の全体は、第１保持部５に設けられている。これにより、簡素な構造で確実に包囲部７を安定的に支持することができる。
［第４実施形態］

【0081】

図８、図９及び図１０に示されるように、第４実施形態の発光封体１Ｄは、包囲部７が第１包囲部材７Ｃ及び第２包囲部材７Ｄを有している点、プラズマ光出射窓部１０Ｂの一部が光通過開口７５の内側に位置している点、及びプラズマ光出射窓部１０Ｃの一部が光通過開口７６の内側に位置している点で第３実施形態の発光封体１Ｃと主に相違している。以下、第３実施形態の発光封体１Ｄについて、第３実施形態の発光封体１Ｃとの相違点を中心に説明する。

【0082】

図８、図９及び図１０に示されるように、包囲部７には、包囲空間７３、三つの光通過開口７４，７５，７６、及び二つの電極用開口７８，７９が形成されている。包囲部７の材料は、高温耐性を有する絶縁材料であって、例えばセラミックである。特に白色のセラミックを用いた場合、プラズマ光Ｌ２を反射することでプラズマ光出射窓部１０Ｂ及びプラズマ光出射窓部１０Ｃから取り出す光量をより大きくすることができる。包囲部７は、第１包囲部材７Ｃ及び第２包囲部材７Ｄを有している。第１包囲部材７Ｃは、包囲空間７３の大部分、二つの光通過開口７４，７６、及び二つの電極用開口７８，７９を画定している。第２包囲部材７Ｄは、光通過開口７５、及び包囲空間７３の光通過開口７５側の一部を画定している。第１包囲部材７Ｃは、電極用開口７８が第１保持部５の貫通孔５１ａと連通した状態で、第１保持部５と一体で形成されている。つまり、第１包囲部材７Ｃは第１保持部５に設けられている。プラズマ光出射窓部１０Ｂの一部は、光通過開口７５の内側に位置している。プラズマ光出射窓部１０Ｃの一部は、光通過開口７６の内側に位置している。

【0083】

以上説明したように、発光封体１Ｄでは、プラズマ光出射窓部１０Ｂの一部は、光通過開口７５の内側に位置しており、プラズマ光出射窓部１０Ｃの一部は、光通過開口７６の内側に位置している。これにより、ガスＧに対流が発生するのをより確実に抑制することができる。
［第５実施形態］

【0084】

図１１、図１２及び図１３に示されるように、第５実施形態の発光封体１Ｅは、筐体２がレーザ光出射窓部１０Ｄを有している点、第２電極４が第２保持部６によって保持されている点、包囲部７の第１包囲部分７１が第１保持部５に設けられており、包囲部７の第２包囲部分７２が第２保持部６に設けられている点、包囲部７がレーザ光通過窓部１０Ｅを有している点で第３実施形態の発光封体１Ｃと主に相違している。以下、第５実施形態の発光封体１Ｅについて、第３実施形態の発光封体１Ｃとの相違点を中心に説明する。

【0085】

筐体２は、本体部２０、レーザ光入射窓部１０Ａ、プラズマ光出射窓部１０Ｃ、及びレーザ光出射窓部１０Ｄを有している。本体部２０は、略直方体状の部材である。本体部２０には、収容空間２１、三つの窓部用開口２２，２４，２５、及び二つの電極用開口２６，２７が形成されている。収容空間２１は、プラズマ領域Ｒを含んでいる。窓部用開口２２は、収容空間２１からＺ軸方向における一方側に開口している。窓部用開口２５は、収容空間２１からＺ軸方向における他方側に開口している。窓部用開口２４は、収容空間２１からＸ軸方向における一方側に開口している。電極用開口２６は、収容空間２１からＹ軸方向における一方側に開口している。電極用開口２７は、収容空間２１からＹ軸方向における他方側に開口している。本体部２０の材料は、例えばステンレス鋼等の金属材料である。

【0086】

レーザ光出射窓部１０Ｄは、窓部材１７及び保持部材１８を有している。窓部材１７は、光軸Ａ１を中心線とし且つＺ軸方向を厚さ方向とする板状に形成されている。窓部材１７は、レーザ光Ｌ１を透過させる。窓部材１７の材料は、少なくともレーザ光Ｌ１の波長に関して透過性を有する光透過性材料であり、より好ましくはレーザ光Ｌ１の波長に加えてプラズマ光Ｌ２の波長に関しても透過性を有する光透過性材料である。本実施形態においては、窓部材１７の材料は、レーザ光Ｌ１及びプラズマ光Ｌ２の両方の波長に関して透過性を有する材料であって、例えばサファイアである。保持部材１８は、光軸Ａ１を中心線とする筒状に形成されている。窓部材１７は、保持部材１８の内側に配置された状態で、保持部材１８によって保持されている。保持部材１８の材料は、例えばコバール等の金属材料である。窓部材１７の側面は、例えば金属ロウ材等の接合材によって、保持部材１８の内面に気密に接合されている。保持部材１８の外面は、例えばレーザ溶接によって、窓部用開口２５の内面に気密に接合されている。

【0087】

第２電極４は、筐体２外から、筐体２の電極用開口２７と、包囲部７の電極用開口７９とを介して、包囲部７が画定する包囲空間７３内に延在している。発光封体１Ｅでは、第２電極４は、Ｙ軸方向に延在している棒状の部材である。第２電極４の材料は、例えばタングステン等の高融点金属材料である。第２電極４の先端部４１は、筐体２内においてプラズマ領域Ｒに臨んでいる。発光封体１Ｅでは、第２電極４の先端部４１は、包囲空間７３内においてプラズマ領域Ｒに臨んでおり、包囲部７によって包囲されている。

【0088】

第２保持部６は、Ｙ軸方向に沿って延在している絶縁性の部材であり、第２電極４を保持している。第２保持部６の材料は、高温耐性を有する絶縁材料であって、例えばセラミックである。第２保持部６は、本体部６１及び筒状部６２を有している。本体部６１の一部は筐体２の内部に位置しており、本体部６１の残部は筐体２の外部に位置している。筒状部６２は、本体部６１のうち筐体２の外部に位置している部分に設けられている。筒状部６２は、本体部６１に対してプラズマ領域Ｒとは反対側に位置している。本体部６１には、Ｙ軸方向に沿って本体部６１を貫通している貫通孔６１ａが形成されている。貫通孔６１ａは、筒状部６２の内側に開口している。貫通孔６１ａ内には、第２電極４の中間部４２が配置されている。中間部４２の側面は、例えば金属ロウ材等の接合材によって、貫通孔６１ａの内面に気密に接合されている。筒状部６２の内側には、第２電極４の基端部４３が配置されている。

【0089】

第２保持部６は、筐体２に固定されている。発光封体１Ｅでは、第２保持部６は、筒状の接続部材９Ｂを介して筐体２に固定されている。接続部材９Ｂは、筒状部９１Ｂ及び内向きフランジ部９２Ｂを有している。内向きフランジ部９２Ｂは、筒状部９１Ｂにおける筐体２とは反対側の端部に設けられている。接続部材９Ｂの材料は、例えばコバール等の金属材料である。内向きフランジ部９２Ｂは、例えば金属ロウ材等の接合材によって、第２保持部６の本体部６１に設けられた外向きフランジ部６３に気密に接合されている。筒状部９１Ｂにおける筐体２側の端部は、例えばレーザ溶接によって、筐体２に気密に接合されている。

【0090】

包囲部７には、包囲空間７３、三つの光通過開口７４，７６，７７、及び二つの電極用開口７８，７９が形成されている。包囲空間７３は、プラズマ領域Ｒを含んでいる。光通過開口７４は、包囲空間７３からＺ軸方向における一方側に開口している。光通過開口７７は、包囲空間７３からＺ軸方向における他方側に開口している。光通過開口７６は、包囲空間７３からＸ軸方向における一方側に開口している。電極用開口７８は、包囲空間７３からＹ軸方向における一方側に開口している。電極用開口７９は、包囲空間７３からＹ軸方向における他方側に開口している。

【0091】

光通過開口７７は、レーザ光出射窓部１０Ｄに対応している。すなわち、プラズマ領域Ｒとレーザ光出射窓部１０Ｄとが並んでいる方向（発光封体１Ｅでは、Ｚ軸方向）から見た場合に、光通過開口７７は、レーザ光出射窓部１０Ｄと重なっている。発光封体１Ｅでは、光通過開口７７の中心線は、レーザ光出射窓部１０Ｄの中心線に一致しており（すなわち、光軸Ａ１に一致しており）、光通過開口７７は、Ｚ軸方向から見た場合にレーザ光出射窓部１０Ｄに含まれている。光通過開口７７は、包囲空間７３に対して狭められている。すなわち、プラズマ領域Ｒと光通過開口７７とが並んでいる方向（発光封体１Ｅでは、Ｚ軸方向）から見た場合に、光通過開口７７における包囲空間７３側の開口端７７ａが包囲空間７３に含まれている。レーザ光出射窓部１０Ｄ、光通過開口７７の外側に位置している。

【0092】

包囲部７は、レーザ光通過窓部１０Ｅを有している。レーザ光通過窓部１０Ｅは、光通過開口７７に配置されている。レーザ光通過窓部１０Ｅは、レーザ光出射窓部１０Ｄと向かい合っていると共に、プラズマ領域Ｒを挟んでレーザ光入射窓部１０Ａと向かい合っている。レーザ光通過窓部１０Ｅは、プラズマを透過したレーザ光Ｌ１をプラズマ領域Ｒから出射させる。本実施形態においては、プラズマを透過したレーザ光Ｌ１に加え、プラズマ領域Ｒからレーザ光通過窓部１０Ｅ側に出射されたプラズマ光Ｌ２も出射させるが、図面の簡略化のために図示はしない。なお、レーザ光通過窓部１０Ｅから出射されるプラズマ光Ｌ２の光軸はレーザ光Ｌ１と同軸である。発光封体１Ｅでは、レーザ光通過窓部１０Ｅは、光軸Ａ１に沿ってレーザ光Ｌ１をプラズマ領域Ｒから出射させる。換言すれば、レーザ光通過窓部１０Ｅからの出射光は、レーザ光Ｌ１の光軸Ａ１と同軸の光軸を有する。レーザ光通過窓部１０Ｅは、絶縁性の窓部材１９を有している。窓部材１９は、光軸Ａ１を中心線とし且つＺ軸方向を厚さ方向とする板状に形成されている。窓部材１９は、レーザ光Ｌ１を透過させる。窓部材１９の材料は、少なくともレーザ光Ｌ１の波長に関して透過性を有する光透過性材料であり、より好ましくはレーザ光Ｌ１の波長に加えてプラズマ光Ｌ２の波長に関しても透過性を有する光透過性材料である。本実施形態においては、窓部材１９の材料は、レーザ光Ｌ１及びプラズマ光Ｌ２の両方の波長に関して透過性を有する材料であって、例えばサファイアである。レーザ光通過窓部１０Ｅの光通過領域（レーザ光Ｌ１が通過する領域）は、遮光性を有する第１包囲部分７１の壁部７１ｂによって画定されている。発光封体１Ｅでは、窓部材１９の光通過領域が壁部７１ｂによって画定されている。換言すれば、プラズマ領域Ｒと光通過開口７７とが並んでいる方向（発光封体１Ｅでは、Ｚ軸方向）から見た場合に、窓部材１９の光通過領域が壁部７１ｂによって包囲されている。

【0093】

包囲部７は、第１包囲部分７１及び第２包囲部分７２を有している。第１包囲部分７１は、包囲空間７３の大部分、三つの光通過開口７４，７６，７７、及び電極用開口７８を画定している。第２包囲部分７２は、電極用開口７９、及び包囲空間７３の電極用開口７９側の一部を画定している。第１包囲部分７１は、電極用開口７８が第１保持部５の貫通孔５１ａと連通した状態で、第１保持部５と一体で形成されている。つまり、第１包囲部分７１は第１保持部５に設けられている。第１包囲部分７１は、電極用開口７９が第２保持部６の貫通孔６１ａと連通した状態で、第２保持部６と一体で形成されている。つまり、第２包囲部分７２は第２保持部６に設けられている。

【0094】

以上説明したように、発光封体１Ｅでは、包囲部７が、プラズマを透過したレーザ光Ｌ１をプラズマ領域Ｒから出射させるレーザ光通過窓部１０Ｅを有している。したがって、ガスＧに対流が発生しにくくなるようにガスＧが対流する空間を狭くしても、当該空間に入射したレーザ光Ｌ１のうちプラズマを透過したレーザ光Ｌ１がレーザ光通過窓部１０Ｅを透過するため、プラズマを透過したレーザ光Ｌ１の照射によって包囲部７が損傷を受けにくくなる。よって、発光封体１Ｅによれば、出力光の品質の向上及び装置としての寿命の向上の両立を図ることができる。
［変形例］

【0095】

本発明は、上述した実施形態に限定されない。例えば、第１実施形態の発光封体１Ａでは、電極用開口２６の内面２６ａには、Ｙ軸方向に沿って延在している溝２８Ａが形成されており、第１保持部５の外面５ａには、Ｙ軸方向に沿って延在しており且つ溝２８Ａ内に配置された凸部５４が設けられていたが、第１保持部５の外面５ａには、Ｙ軸方向に沿って延在している溝が形成されていてもよく、電極用開口２６の内面２６ａには、Ｙ軸方向に沿って延在しており且つ当該溝内に配置された凸部が設けられていてもよい。同様に、第２保持部６の外面６ａには、Ｙ軸方向に沿って延在している溝が形成されていてもよく、電極用開口２７の内面２７ａには、Ｙ軸方向に沿って延在しており且つ当該溝内に配置された凸部が設けられていてもよい。

【0096】

第１実施形態の発光封体１Ａでは、第１包囲部分７１及び第２包囲部分７２は、互いに当接していたが、第１包囲部分７１及び第２包囲部分７２の間には、包囲空間７３におけるガスＧの対流の経路とならない程度の隙間が設けられていてもよい。第３実施形態の発光封体１Ｃでは、包囲部７の第２部分７Ｂの内面７ｂが第２電極４に当接していたが、内面７ｂ及び第２電極４の間には、包囲空間７３におけるガスＧの対流の経路とならない程度の隙間が設けられていてもよい。

【0097】

第１実施形態の発光封体１Ａ及び第２実施形態の発光封体１Ｃでは、三つの光通過開口７４，７５，７６のうち一つの開口が、包囲空間７３に対して狭められていればよい。その場合にも、ガスＧに対流が発生するのを確実に抑制することができる。

【0098】

第１実施形態の発光封体１Ａでは、封入管８は、筐体２内からの気体の排出及び筐体２内への気体の導入を行っているが、封入管８は、筐体２内からの気体の排出及び筐体２内への気体の導入の少なくとも一方を行えばよい。第２実施形態の発光封体１Ｂでは、二つの封入管８Ａ，８Ｂのそれぞれは、筐体２内からの気体の排出及び筐体２内への気体の導入を行っているが、二つの封入管８Ａ，８Ｂのそれぞれは、筐体２内からの気体の排出及び筐体２内への気体の導入の少なくとも一方を行えばよい。

【符号の説明】

【0099】

１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ…発光封体、２…筐体、３…第１電極、４…第２電極、５…第１保持部、５ａ，６ａ…外面、６…第２保持部、７…包囲部、２６ａ，２７ａ…内面、８，８Ａ，８Ｂ…封入管、１０Ａ…レーザ光入射窓部（第１窓部）、１０Ｂ，１０Ｃ…プラズマ光出射窓部（第２窓部）、２１…収容空間、２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂ，２５ａ，２５ｂ…開口、７４ａ，７５ａ，７６ａ，７７ａ…開口端、２６，２７…電極用開口（第３開口）、２８Ａ，２８Ｂ…溝、３１…先端部（第１先端部）、４１…先端部（第２先端部）、５４，６４…凸部、７１…第１包囲部分、７２…第２包囲部分、７３…包囲空間、７４…光通過開口（第１開口）、７５，７６…光通過開口（第２開口）、Ｇ…ガス、Ｌ１…レーザ光（第１光）、Ｌ２…プラズマ光（第２光）、Ｒ…プラズマ領域。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】