特開 2024-158501 配列用マスク

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024158501

(43)【公開日】2024-11-08

(54)【発明の名称】配列用マスク

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/60 20060101AFI20241031BHJP

   H05K 3/34 20060101ALI20241031BHJP

【ＦＩ】

H01L21/92 604H

H01L21/92 604Z

H05K3/34 505A

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023073746

(22)【出願日】2023-04-27

(71)【出願人】

【識別番号】000005810

【氏名又は名称】マクセル株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100148138

【弁理士】

【氏名又は名称】森本 聡

(72)【発明者】

【氏名】中島 貴士

(72)【発明者】

【氏名】堀之内 強

(72)【発明者】

【氏名】原 正吉

(72)【発明者】

【氏名】林田 真幸

【テーマコード（参考）】

5E319

【Ｆターム（参考）】

5E319BB04

5E319CD26

5E319GG20

(57)【要約】

【課題】半田ボールをボール挿入孔内へスムーズに落下させつつ、ボール挿入孔内に落下した半田ボールを収まり良く電極上に搭載することができるようにして、ボール搭載率をより向上させることができるボール挿入孔を備える半田ボールの配列用マスクを提供する。
【解決手段】平面視で角丸正多角形に形成されるボール挿入孔１２の上開口縁１６に対して、ボール挿入孔１２の下開口縁１９を、平面視で上開口縁１６の形状とは異なる形状に形成する。これによれば、下開口縁１９を円形状とするなど、半田ボール２との接触機会が増すような形状として、落下した半田ボール２が電極６上で動くことを抑え、スキージ２６により半田ボール２がボール挿入孔１２から掻き出されることを防いで、半田ボール２を収まり良く電極６上に搭載させることができる。したがって、ボール搭載率に優れた配列用マスクを得ることができる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

下面がワーク（３）と正対するマスク本体（１０）に、当該マスク本体（１０）を上下に貫通する、所定の配列パターンに対応したボール挿入孔（１２）を備える配列用マスクであって、
マスク本体（１０）の上面に形成されるボール挿入孔（１２）の上開口縁（１６）は、平面視で正多角形のコーナー部に位置するアール部（１８）と、当該正多角形の辺部を画成して、当該アール部（１８）に接続する直線部（１７）とで構成される角丸正多角形に形成されており、
マスク本体（１０）の下面に形成されるボール挿入孔（１２）の下開口縁（１９）が、平面視で上開口縁（１６）の形状とは異なる形状に形成されていることを特徴とする配列用マスク。

【請求項2】

下開口縁（１９）は、平面視で正多角形のコーナー部に位置するアール部（２１）と、当該正多角形の辺部を画成して、当該アール部（２１）に接続する直線部（２０）とで構成される、上開口縁（１６）と同じ角数の角丸正多角形に形成されており、
上開口縁（１６）及び下開口縁（１９）は、平面視で上開口縁（１６）の直線部（１７）と下開口縁（１９）の直線部（２０）とが重畳する状態で形成されており、
下開口縁（１９）を画成する角丸正多角形のアール部（２１）の曲率（Ｃ２）が、上開口縁（１６）を画成する角丸正多角形のアール部（１８）の曲率（Ｃ１）よりも小さく形成されている請求項１に記載の配列用マスク。

【請求項3】

下開口縁（１９）が、平面視で上開口縁（１６）を画成する角丸正多角形に内接する円形に形成されている請求項１に記載の配列用マスク。

【請求項4】

下開口縁（１９）は、平面視で上開口縁（１６）と相似状に形成されており、
下開口縁（１９）を画成する角丸正多角形よりも上開口縁（１６）を画成する角丸正多角形が大形に形成されている請求項１に記載の配列用マスク。

【請求項5】

下開口縁（１９）は、平面視で正多角形のコーナー部に位置するアール部（２１）と、当該正多角形の辺部を画成して、当該アール部（２１）に接続する直線部（２０）とで構成される、上開口縁（１６）と同じ角数の角丸正多角形に形成されており、
上開口縁（１６）及び下開口縁（１９）は、平面視で上開口縁（１６）の直線部（１７）と下開口縁（１９）の直線部（２０）とが重畳する状態で形成されており、
下開口縁（１９）を画成する角丸正多角形のアール部（２１）の曲率（Ｃ２）が、上開口縁（１６）を画成する角丸正多角形のアール部（１８）の曲率（Ｃ１）よりも大きく形成されている請求項１に記載の配列用マスク。

【請求項6】

下開口縁（１９）は、平面視で上開口縁（１６）と相似状に形成されており、
上開口縁（１６）を画成する角丸正多角形よりも下開口縁（１９）を画成する角丸正多角形が大形に形成されている請求項１に記載の配列用マスク。

【請求項7】

上開口縁（１６）を画成する角丸正多角形が、角丸正四角形で構成されており、
ボール挿入孔（１２）が、上開口縁（１６）を画成する角丸正四角形の一対の向かい合う辺部である２つの直線部（１７・１７）の伸び方向と、配列用マスクの上面を移動してボール挿入孔（１２）内に半田ボール（２）を落とし込むためのスキージ（２６）の移動方向とが一致する姿勢で設けられている請求項１から６のいずれかひとつに記載の配列用マスク。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えばＢＧＡ（Ball Grid Array）方式の半田バンプの作成に使用される、半田ボールの配列用マスクに関する。

【背景技術】

【0002】

一般に半田バンプは、ワークに形成された電極上にフラックスを塗布する工程と、電極上に半田ボールを搭載させる工程と、搭載された半田ボールを加熱溶解させる工程を経て形成される。電極上に半田ボールを搭載させる工程において、電極の配列パターンに対応した開口パターンを有する配列用マスクを用いることは公知であり、例えば特許文献１には、四角形開口や三角形開口などの多角形状のボール挿入孔を有する配列用マスクが開示されている。特許文献２には、正多角形のコーナー部が丸められた角丸正多角形状のボール挿入孔を有する配列用マスクが開示されている。特許文献１、２におけるボール挿入孔は、マスク本体を上下に貫通するストレート孔で形成されており、マスク本体の上面及び下面に形成されるボール挿入孔の上下の開口縁は同一形状に形成されている。半田ボールの搭載工程においては、ワーク上に配列用マスクを固定したうえでマスク本体上に多数個の半田ボールを載置し、スキージをマスク本体の上面を撫でるように動かす。これにより、各ボール挿入孔内に１個ずつ半田ボールを挿入させて、電極（フラックス）上に半田ボールを搭載させることができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１２－２２７４６６号公報

【特許文献2】特開２０２０－２７８３１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ボール挿入孔の上下の開口縁の形状は、半田ボールの搭載率に多大な影響を与える。より詳しくは、ボール挿入孔の上開口縁の形状は、ボール挿入孔に対する半田ボールの落ち込みやすさに影響を与え、ボール挿入孔の下開口縁の形状は、半田ボールの収まりに影響を与える。なお、「半田ボールの収まり」とは、ボール挿入孔内に落下した半田ボールが、当該ボール挿入孔からスキージにより掻き出され難いことを意味する。

【0005】

特許文献１、２のように、ボール挿入孔が、上下の開口縁が多角形状或いは正多角形状であるとともに、上下にわたって開口寸法が均一なストレート孔で形成されていると、ボール挿入孔内へ半田ボールをスムーズに落下させることはできるものの、落下した半田ボールのボール挿入孔内での収まりは不良となる。つまり、上開口縁と半田ボールとの接触機会を少なくすることができるため、半田ボールをボール挿入孔内へスムーズに落下させることができるものの、落下した半田ボールの下開口縁との接触機会も少なくなるため、落下した半田ボールが電極上で動きやすく、スキージにより半田ボールがボール挿入孔から掻き出されるおそれがある。

【0006】

本発明の目的は、半田ボールをボール挿入孔内へスムーズに落下させつつ、ボール挿入孔内に落下した半田ボールを収まり良く電極上に搭載することができるようにして、ボール搭載率をより向上させることができるボール挿入孔を備える半田ボールの配列用マスクを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明は、下面がワーク３と正対するマスク本体１０に、当該マスク本体１０を上下に貫通する、所定の配列パターンに対応したボール挿入孔１２を備える配列用マスクを対象とする。マスク本体１０の上面に形成されるボール挿入孔１２の上開口縁１６は、平面視で正多角形のコーナー部に位置するアール部１８と、当該正多角形の辺部を画成して、当該アール部１８に接続する直線部１７とで構成される角丸正多角形に形成されている。そして、マスク本体１０の下面に形成されるボール挿入孔１２の下開口縁１９が、平面視で上開口縁１６の形状とは異なる形状に形成されていることを特徴とする。

【0008】

下開口縁１９は、平面視で正多角形のコーナー部に位置するアール部２１と、当該正多角形の辺部を画成して、当該アール部２１に接続する直線部２０とで構成される、上開口縁１６と同じ角数の角丸正多角形に形成されている。上開口縁１６及び下開口縁１９は、平面視で上開口縁１６の直線部１７と下開口縁１９の直線部２０とが重畳する状態で形成されている。下開口縁１９を画成する角丸正多角形のアール部２１の曲率Ｃ２が、上開口縁１６を画成する角丸正多角形のアール部１８の曲率Ｃ１よりも小さく形成されている。

【0009】

下開口縁１９は、平面視で上開口縁１６を画成する角丸正多角形に内接する円形に形成されている。

【0010】

下開口縁１９は、平面視で上開口縁１６と相似状に形成されている。下開口縁１９を画成する角丸正多角形よりも上開口縁１６を画成する角丸正多角形は大形に形成されている。

【0011】

下開口縁１９は、平面視で正多角形のコーナー部に位置するアール部２１と、当該正多角形の辺部を画成して、当該アール部２１に接続する直線部２０とで構成される、上開口縁１６と同じ角数の角丸正多角形に形成されている。上開口縁１６及び下開口縁１９は、平面視で上開口縁１６の直線部１７と下開口縁１９の直線部２０とが重畳する状態で形成されている。下開口縁１９を画成する角丸正多角形のアール部２１の曲率Ｃ２が、上開口縁１６を画成する角丸正多角形のアール部１８の曲率Ｃ１よりも大きく形成されている。

【0012】

下開口縁１９は、平面視で上開口縁１６と相似状に形成されている。上開口縁１６を画成する角丸正多角形よりも下開口縁１９を画成する角丸正多角形は大形に形成されている。

【0013】

上開口縁１６を画成する角丸正多角形が、角丸正四角形で構成されている。ボール挿入孔１２が、上開口縁１６を画成する角丸正四角形の一対の向かい合う辺部である２つの直線部１７・１７の伸び方向と、配列用マスクの上面を移動してボール挿入孔１２内に半田ボール２を落とし込むためのスキージ２６の移動方向とが一致する姿勢で設けられている。

【発明の効果】

【0014】

本発明のように、マスク本体１０の上面に形成されるボール挿入孔１２の上開口縁１６が、平面視で正多角形のコーナー部に位置するアール部１８と、当該正多角形の辺部を画成して、当該アール部１８に接続する直線部１７とで構成される角丸正多角形に形成されていると、上開口縁１６と半田ボール２との接触機会を少なくすることができるため、半田ボール２をボール挿入孔１２内へスムーズに落下させることができる。そのうえで、ボール挿入孔１２の下開口縁１９が、角丸正多角形に形成された上開口縁１６の形状とは異なる形状に形成されていると、例えば下開口縁１９を円形状とするなど、半田ボール２との接触機会が増すような形状とすることで、落下した半田ボール２が電極６上で動くことを抑え、スキージ２６により半田ボール２がボール挿入孔１２から掻き出されることを防いで、半田ボール２を収まり良く電極６上に搭載させることができる。以上より、本発明によれば、ボール搭載率に優れた配列用マスクを得ることができる。

【0015】

具体的には、下開口縁１９は、平面視で正多角形のコーナー部に位置するアール部２１と、当該正多角形の辺部を画成して、当該アール部２１に接続する直線部２０とで構成される、上開口縁１６と同じ角数の角丸正多角形に形成されており、上開口縁１６及び下開口縁１９は、平面視で上開口縁１６の直線部１７と下開口縁１９の直線部２０とが重畳する状態で形成されている。そのうえで、下開口縁１９を画成する角丸正多角形のアール部２１の曲率Ｃ２が、上開口縁１６を画成する角丸正多角形のアール部１８の曲率Ｃ１よりも小さく形成されていると、下開口縁１９のうちアール部２１が占める割合を、上開口縁１６のうちアール部１８が占める割合よりも大きくすることができるので、下開口縁１９のうち円弧部分が占める割合を上開口縁１６よりも相対的に大きくして、下開口縁１９と半田ボール２との接触機会を、上開口縁１６と半田ボール２との接触機会よりも増やすことができる。

【0016】

下開口縁１９が、平面視で上開口縁１６を画成する角丸正多角形に内接する円形に形成されていると、下開口縁１９の全体が円弧状に形成されるので、下開口縁１９と球状の半田ボール２との接触機会を、上開口縁１６と半田ボール２との接触機会よりも増やすことができる。

【0017】

半田ボール２は平面視においてその重心位置がボール挿入孔１２上に位置したとき、該ボール挿入孔１２に落ち込もうとする。そこで本発明では、下開口縁１９は、平面視で上開口縁１６と相似状に形成し、下開口縁１９を画成する角丸正多角形よりも上開口縁１６を画成する角丸正多角形を大形に形成した。これによれば、ボール挿入孔１２を下窄まり状の孔として形成することができるので、例えば、上開口縁１６を大型化することで、より確実に半田ボール２の重心位置をボール挿入孔１２上に位置させることができる。これに対して、下開口縁１９は、半田ボール２の直径寸法よりも僅かに大きな角丸正多角形に形成して、ボール挿入孔１２の下側の開口面積を相対的に小さくすることができるので、下開口縁１９と半田ボール２との接触機会を増やすことができる。

【0018】

下開口縁１９は、平面視で正多角形のコーナー部に位置するアール部２１と、当該正多角形の辺部を画成して、当該アール部２１に接続する直線部２０とで構成される、上開口縁１６と同じ角数の角丸正多角形に形成されており、上開口縁１６及び下開口縁１９は、平面視で上開口縁１６の直線部１７と下開口縁１９の直線部２０とが重畳する状態で形成されている。そのうえで、下開口縁１９を画成する角丸正多角形のアール部２１の曲率Ｃ２は、上開口縁１６を画成する角丸正多角形のアール部１８の曲率Ｃ１よりも大きく形成する。一般的に、平面視における電極６の直径に対して選定される半田ボール２の直径は、電極６の直径と略同一径に設定され、半田ボール２が落下するボール挿入孔１２は、その形状に内接する円の直径が、半田ボール２の直径よりも僅かに大きく設定される。また、フラックス２５は円形の電極６上の略全面に塗布される。そこで本発明のように、下開口縁１９を画成する角丸正多角形のアール部２１の曲率Ｃ２が、上開口縁１６を画成する角丸正多角形のアール部１８の曲率Ｃ１よりも大きく形成されていると、ボール挿入孔１２の下側の開口面積を、ボール挿入孔１２の上側の開口面積に対して大きく形成することができるので、下開口縁１９が電極６上に塗布されたフラックス２５に接触することをより確実に防ぐことができる。したがって、フラックス２５の付着によって半田ボール２がボール挿入孔１２内へ落下できなくなることを防ぐことができる。

【0019】

下開口縁１９は、平面視で上開口縁１６と相似状に形成されており、上開口縁１６を画成する角丸正多角形よりも下開口縁１９を画成する角丸正多角形が大形に形成されていると、ボール挿入孔１２を下拡がり状の孔として形成することができるので、下開口縁１９が電極６上に塗布されたフラックス２５に接触することをより確実に防ぐことができる。

【0020】

上開口縁１６を画成する角丸正多角形が、角丸正四角形で構成されており、ボール挿入孔１２が、上開口縁１６を画成する角丸正四角形の一対の向かい合う辺部である２つの直線部１７・１７の伸び方向と、配列用マスクの上面を移動してボール挿入孔１２内に半田ボール２を落とし込むためのスキージ２６の移動方向とが一致する姿勢で設けられていると、スキージ２６の移動方向にスキージ２６の移動方向の上流側に位置する上開口縁１６の直線部１７を直交させることができる。先に述べたように、半田ボール２は平面視においてその重心位置がボール挿入孔１２上に位置したとき、該ボール挿入孔１２に落ち込もうとするため、スキージ２６の移動方向にスキージ２６の移動方向の上流側に位置する上開口縁１６の直線部１７を直交させることにより、ボール挿入孔１２に半田ボール２を誘い込みやすくすることができ、半田ボール２の搭載率の向上を図ることができる。また、上開口縁１６を形成する一対の向かい合う直線部１７・１７の伸び方向と、スキージ２６の移動方向とを平行に配することができるので、ボール挿入孔１２内に半田ボール２を落とし込むためのスキージ２６がマスク本体１０の上面を摺動移動するとき、該スキージ２６が上開口縁１６に引っ掛かることを防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】本発明の第１実施形態に係る配列用マスクの要部の平面図である。

【図2】配列用マスク及びワークの全体を示す斜視図である。

【図3】配列用マスクの要部の縦断正面図である。

【図4】図１におけるＡ－Ａ線断面図である。

【図5】図１におけるＢ－Ｂ線断面図である。

【図6】配列用マスクの製造工程を示す説明図である。

【図7】配列用マスクの製造工程を示す説明図である。

【図8】本発明の第２実施形態に係る配列用マスクの要部の平面図である。

【図9】本発明の第３実施形態に係る配列用マスクの要部の平面図である。

【図10】本発明の第４実施形態に係る配列用マスクの要部の平面図である。

【図11】本発明の第５実施形態に係る配列用マスクの要部の平面図である。

【図12】（ａ）～（ｃ）は本発明に係る第１実施形態に係る配列用マスクのボール挿入孔の変形例を示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

（第１実施形態） 図１から図７に、本発明に係る半田ボールの配列用マスクの第１実施形態を示す。本実施形態における前後、左右、上下とは、図１から図３に示す交差矢印と、交差矢印の近傍の前後・左右・上下の表記に従う。なお、各図における厚みや幅などの寸法は、実際の様子を示したものではなく、それぞれ模式的に示したものである。

【0023】

この配列用マスク（以下「マスク」と記す。）１は、ＢＧＡ方式の半田バンプ作成における半田ボール２の搭載工程において使用されるものである。図２及び図３において、符号３は、マスク１による半田ボール２の搭載対象となるワークを示す。このワーク３は、例えばガラスエポキシ基板のベース４に複数個の半導体チップ５を搭載し、ワイヤボンドで配線したのち、トランスファモールド封止してなるものであり、半導体チップ５を囲むように、ワーク３の上面には、入出力端子である電極６が所定の配列パターンで形成されている。当該ワーク３は、半田バンプの作成後に個片に切断され、個々のＬＳＩチップとされる。各電極６は円形に形成されており、その直径は半田ボール２の直径と略同一径に設定されている。なお、各電極６は矩形状に形成されることもあり、この場合には、半田ボール２の直径は、矩形状の長辺の長さ寸法と略同一寸法に設定される。

【0024】

図２に示すように、マスク１は、ニッケルやニッケルコバルト等のニッケル合金、銅、その他の電着金属を素材として電鋳法（めっき法）によって形成されたマスク本体１０を備えており、このマスク本体１０を囲むように枠体１１が接合される。マスク本体１０の盤面中央部には、各半導体チップ５に対応して、半田ボール２を投入するための多数独立のボール挿入孔（以下「挿入孔」と記す。）１２を有するパターン領域１３が多数形成されている。パターン領域１３の挿入孔１２は、ワーク３における各半導体チップ５の電極６の配列パターンに対応している。

【0025】

図１及び図３に示すように、挿入孔１２は、マスク本体１０を上下に貫通する貫通孔からなる。半田ボール２は、１００μｍ以下の直径寸法を有するものであり、これに合わせて各挿入孔１２の前後及び左右の寸法は、半田ボール２の直径寸法よりも僅かに大きな寸法を有している。マスク本体１０の上面に形成される挿入孔１２の上開口縁１６は、平面視で角丸正四角形状（角丸正多角形状）に形成されている。より詳しくは、挿入孔１２の上開口縁１６は、前後及び左右方向に走る計４本の直線部１７と、４つのコーナー部に形成された四分円弧状（部分円弧状）のアール部１８とを有する、平面視で角丸正四角形状に形成されている。本実施形態のマスク１では、４つのアール部１８の曲率（半径寸法の逆数）Ｃ１は同一に設定されている。また、四分円弧状に形成されたアール部１８に対して、隣り合う直線部１７・１７は接線接続となるように構成されており、アール部１８と直線部１７とは滑らかに繋がっている。

【0026】

マスク本体１０の下面に形成される挿入孔１２の下開口縁１９は、平面視で角丸正四角形状（角丸正多角形状）に形成されている。より詳しくは、挿入孔１２の下開口縁１９は、前後及び左右方向に走る計４本の直線部２０と、４つのコーナー部に形成された四分円弧状（部分円弧状）のアール部２１とを有する、平面視で角丸正四角形状に形成されている。本実施形態のマスク１では、４つのアール部２１の曲率（半径寸法の逆数）Ｃ２は同一に設定されている。また、四分円弧状に形成されたアール部２１に対して、隣り合う直線部２０・２０は接線接続となるように構成されており、アール部２１と直線部２０とは滑らかに繋がっている。

【0027】

挿入孔１２は、平面視で上開口縁１６の直線部１７と、下開口縁１９の直線部２０とが重畳する状態で形成されている。図１において二点鎖線は、上開口縁１６の直線部１７を延長することで形成される仮想正四角形（仮想正多角形）、及び下開口縁１９の直線部２０を延長することで形成される仮想正四角形（仮想正多角形）を示しており、このように上開口縁１６を画成する角丸正四角形の基準形状となる正四角形と、下開口縁１９を画成する角丸正四角形の基準形状となる正四角形とは、辺寸法が同一の正四角形で構成されている。上下の開口縁１６・１９の角丸正四角形の基準形状となる正四角形の一辺の辺寸法は、半田ボール２の直径寸法の１．０５～１．１５倍に設定することが望ましい。また、挿入孔１２は、角丸正四角形の前後辺である上開口縁１６の２つの直線部１７・１７の伸び方向が、後述するスキージ２６の移動方向（左右方向）と一致するように、マスク本体１０に配置されていることが望ましい。

【0028】

挿入孔１２の上開口縁１６と下開口縁１９とは異なる形状に形成されている。より詳しくは、挿入孔１２の上下の開口縁１６・１９は、ともに角丸正四角形に形成される点で一致するが、上開口縁１６のアール部１８と下開口縁１９のアール部２１とはその曲率が異なり、下開口縁１９のアール部２１の曲率Ｃ２は、上開口縁１６のアール部１８の曲率Ｃ１よりも小さく形成される（Ｃ１＞Ｃ２）。換言すれば、下開口縁１９のアール部２１は、上開口縁１６のアール部１８よりも曲率半径の大きい四分円弧状に形成される。このように構成される挿入孔１２によれば、挿入孔１２の上側の開口面積が相対的に大きく、挿入孔１２の下側の開口面積が相対的に小さく形成される（上開口縁１６で囲まれる面の面積＞下開口縁１９で囲まれる面の面積）。また、下開口縁１９のうちアール部２１が占める割合は、上開口縁１６のうちアール部１８が占める割合よりも大きく形成される。

【0029】

図１及び図４に示すように、上下の開口縁１６・１９の直線部１７・２０どうしを接続する挿入孔１２の内周面は垂直面で構成されている。一方、図１及び図５に示すように、上下の開口縁１６・１９のアール部１８・２１どうしを接続する挿入孔１２の内周面は、下開口縁１９から上開口縁１６に向かって上り傾斜する円弧面で構成されている。円弧面の上り傾斜は、各アール部１８・２１の中央部分が最も緩く、各アール部１８・２１の端部に行くにしたがって垂直に近づく。これら直線部１７・２０どうしを接続する垂直面とアール部１８・２１どうしを接続する円弧面とは滑らかに繋がっており、挿入孔１２は内周面に屈曲部のない貫通孔として形成されている。

【0030】

図２に示すように、マスク本体１０には、該マスク本体１０を支持する四角枠状の枠体１１が接合されている。マスク本体１０と枠体１１との接合は、両者１０・１１を接着剤等により直貼りした形態、あるいはテトロン（登録商標）などの紗を介して両者１０・１１を一体的に接合した形態などがある。該枠体１１は、マスク本体１０の補強用部材を兼ねており、アルミニウムやステンレス鋼の他、４２アロイ、インバー材、スーパーインバー材、ＳＵＳ４３０等の低熱線膨張係数の材質で形成される。枠体１１の厚み寸法は、マスク本体１０の厚み寸法よりも十分に肉厚に形成されており、マスク本体１０の外周縁と不離一体的に接合される。枠体１１の厚み寸法は、例えば０．０５～３ｍｍ程度である。なお、マスク１の全体厚みは、使用する半田ボール２の直径に合わせて設計することができ、特にマスク本体１０の厚み（支持突起２４を設ける場合は当該突起２４の厚みも含む）は半田ボール２の直径と同程度とすることが好ましい。

【0031】

マスク本体１０の下面側、すなわちワーク３に正対する側には、ワーク３との対向間隔を確保する支持突起２４が、下方向に突出状に設けられている。支持突起２４は逆円錐台状に形成されており、半田ボール２の配列作業時においてその下端面がワーク３の表面に常に当接してマスク１とワーク３との対向間隔を確保する。支持突起２４は、パターン領域１３を囲むように格子枠状に設けることができる。支持突起２４の下端面をワーク３の表面に当接させたとき、マスク本体１０の下面とワーク３の表面との対向間隔が、半田ボール２の直径の略半分になるように、支持突起２４の突出寸法を設定するとよい。

【0032】

マスク１を用いた半田ボール２の配列作業は、例えば以下のような手順で行われる。まず、ワーク３の電極６上に、印刷用メタルマスク等を使用してフラックス２５を印刷塗布する（図３参照）。次に、ボール挿入孔１２と電極６とが一致するように、ワーク３上にマスク１を位置合わせしたうえで、マスク１を固定する。この位置合わせ作業は、例えば枠体１１とワーク３との外周縁を位置合わせすることで行われる。なお、ワーク３の下方に磁石を配置することができ、位置合わせ作業が終了した後、該磁石の磁力吸引力によりマスク１をワーク３に不離一体的に固定することが可能である。この固定状態において、支持突起２４の下端面がワーク３の表面に当接することで、マスク１は、図３に示すようなワーク３との対向間隔が確保された離間姿勢に姿勢が保持される。

【0033】

次に、枠体１１の開口部分、すなわちマスク本体１０の上面に多数個の半田ボール２を供給し、先端がブラシ状のスキージ（スキージブラシ）２６を用いてマスク本体１０上で半田ボール２を分散させて、挿入孔１２内に１つずつ半田ボール２を落下させる。本実施形態は、左方向を上流側、右方向を下流側として、左から右に向ってスキージ２６を動かして半田ボール２を挿入孔１２内に落下させ、電極６上に半田ボール２を搭載する。挿入孔１２内に落下した半田ボール２はフラックス２５で仮止め状に粘着保持される。最後に残余の半田ボール２をマスク１の上面から除去したのちに、マスク１を取り外し、半田ボール２を加熱溶解させることで、ワーク３の電極６上に半田バンプを作成することができる。

【0034】

図６および図７は本実施形態に係る配列用マスク１の製造方法を示す。まず、図６（ａ）に示すように、導電性を有する例えばステンレス鋼製や真ちゅう製の母型２８の表面にフォトレジスト層２９を形成する。このフォトレジスト層２９は、ネガタイプの感光性ドライフォトレジストを、所定の高さに合わせて一枚ないし数枚ラミネートして熱圧着により形成することができる。次いで、フォトレジスト層２９の上に、逆円錐台状の支持突起２４に対応する透光孔３０ａを有するパターンフィルム３０（ガラスマスク）を密着させたのち、紫外線光ランプ３１で紫外線光を照射して露光を行う。当該露光は、紫外線光ランプ３１の照射角度や母型２８の傾斜角度を変更しながら行うことができる。紫外線光ランプ３１による露光後は、現像、乾燥の各処理を行って、未露光部分を溶解除去することにより、図６（ｂ）に示すように、支持突起２４に対応するレジスト体３２ａを有する一次パターンレジスト３２を母型２８上に形成した。

【0035】

続いて、上記母型２８を所定の条件に建浴した電鋳槽に入れ、図６（ｃ）に示すようにレジスト体３２ａの高さの範囲内で、母型２８のレジスト体３２ａで覆われていない表面にニッケル等の電着金属を電鋳して、一次電鋳層３３を形成した。ここでは、母型２８の略全面にわたって一次電鋳層３３を形成した。次に、図６（ｄ）に示すように、一次パターンレジスト３２を除去する。後段の剥離工程の作業性を向上させるため、一次電鋳層３３の表面は一次パターンレジスト３２の除去後に研磨処理や剥離処理を施しておくことが望ましい。

【0036】

続いて、図７（ａ）に示すように、一次電鋳層３３および母型２８の表面の全体に、フォトレジスト層３６を形成したうえで、当該フォトレジスト層３６の表面に、挿入孔１２に対応する透光孔３７ａを有するパターンフィルム３７（ガラスマスク）を密着させたのち、紫外線光ランプ３１で紫外線光を照射して露光を行う。当該露光は、紫外線光ランプ３１の照射角度や母型２８の傾斜角度を変更しながら行うことができる。紫外線光ランプ３１による露光後は、現像、乾燥の各処理を行って、未露光部分を溶解除去することにより、図７（ｂ）に示すような挿入孔１２に対応するレジスト体３８ａを有する二次パターンレジスト３８を一次電鋳層３３の表面に形成した。

【0037】

続いて、上記母型２８を所定の条件に建浴した電鋳槽に入れ、先のレジスト体３８ａの高さの範囲内で、母型２８、及びレジスト体３８ａで覆われていない一次電鋳層３３の表面にニッケル等の電着金属を電鋳して、図７（ｃ）に示すような二次電鋳層３９を形成した。次に、二次パターンレジスト３８を溶解除去するとともに、母型２８及び一次電鋳層３３を二次電鋳層３９から剥離（除去）することにより、図７（ｄ）及び図３に示すようなマスク本体１０を得た。最後にマスク本体１０に枠体１１を接合することで、図２に示すようなマスク１を得ることができる。

【0038】

二次電鋳層３９、すなわちマスク本体１０は、それ自体に内方に収縮する方向の応力が作用するようなテンションを加えた状態で枠体１１に支持した形態を採ることができる。換言すれば、マスク本体１０に張力を付与した状態で、該マスク本体１０を枠体１１で支持することができる。マスク本体１０への張力の付与は、母型２８から二次電鋳層３９を剥離する前に、二次電鋳層３９（マスク本体１０）と枠体１１とを接合することで実現できる。これによれば、周囲温度の変化に伴うマスク本体１０の膨張分を、当該収縮方向へのテンションで吸収することができるので、ワーク３に対するマスク本体１０の位置ズレを防ぐことができる。また、マスク本体１０の全体に均一なテンションを与えることができるので、ワーク３に対して半田ボール２を位置精度良く搭載させることができる。

【0039】

以上のように、本実施形態の配列用マスク１では、マスク本体１０の上面に形成される挿入孔１２の上開口縁１６を、平面視で正四角形のコーナー部に位置するアール部１８と、当該正四角形の辺部を画成して、当該アール部１８に接続する直線部１７とで構成される角丸正四角形に形成したので、上開口縁１６と半田ボール２との接触機会を少なくすることができるため、半田ボール２を挿入孔１２内へスムーズに落下させることができる。

【0040】

そのうえで、挿入孔１２の下開口縁１９を、角丸正四角形に形成された上開口縁１６の形状とは異なる形状に形成した。具体的には、下開口縁１９は、平面視で正四角形のコーナー部に位置するアール部２１と、当該正四角形の辺部を画成して、当該アール部２１に接続する直線部２０とで構成される、上開口縁１６と同じ角数の角丸正多角形、すなわち角丸正四角形に形成し、下開口縁１９を画成する角丸正四角形のアール部２１の曲率Ｃ２を、上開口縁１６を画成する角丸正四角形のアール部１８の曲率Ｃ１よりも小さく形成した。これによれば、下開口縁１９のうちアール部２１が占める割合を、上開口縁１６のうちアール部１８が占める割合よりも大きくすることができるので、下開口縁１９のうち円弧部分が占める割合を上開口縁１６よりも相対的に大きくして、下開口縁１９と半田ボール２との接触機会を、上開口縁１６と半田ボール２との接触機会よりも増やすことができる。したがって、落下した半田ボール２が電極６上で動くことを抑え、スキージ２６により半田ボール２が挿入孔１２から掻き出されることを防いで、半田ボール２を収まり良く電極６上に搭載させることができる。以上より、本実施形態によれば、半田ボール２を挿入孔１２内へスムーズに落下させつつ、挿入孔１２内に落下した半田ボール２を収まり良く電極６上に搭載することができるので、ボール搭載率に優れた配列用マスク１を得ることができる。

【0041】

上開口縁１６を角丸正四角形で構成し、挿入孔１２を、上開口縁１６を画成する角丸正四角形の一対の向かい合う辺部である２つの直線部１７・１７の伸び方向と、配列用マスク１の上面を移動して挿入孔１２内に半田ボール２を落とし込むためのスキージ２６の移動方向とが一致する姿勢で設けたので、スキージ２６の移動方向にスキージ２６の移動方向の上流側に位置する上開口縁１６の直線部１７を直交させることができる。半田ボール２は平面視においてその重心位置が挿入孔１２上に位置したとき、該挿入孔１２に落ち込もうとするため、スキージ２６の移動方向にスキージ２６の移動方向の上流側に位置する上開口縁１６の直線部１７を直交させることにより、挿入孔１２に半田ボール２を誘い込みやすくすることができ、半田ボール２の搭載率の向上を図ることができる。また、上開口縁１６を形成する一対の向かい合う直線部１７・１７の伸び方向と、スキージ２６の移動方向とを平行に配することができるので、挿入孔１２内に半田ボール２を落とし込むためのスキージ２６がマスク本体１０の上面を摺動移動するとき、該スキージ２６が上開口縁１６、特に前後の直線部１７・１７に引っ掛かるのを抑制して、スキージ２６がスムーズに挿入孔１２上を通過できるようにすることができる。

【0042】

上記の実施形態では、上開口縁１６の向かい合う２つの直線部１７・１７の伸び方向と、スキージ２６の移動方向とが一致する姿勢でボール挿入孔１２を設けたが、ボール挿入孔１２は、上開口縁１６の向かい合う２つの直線部１７・１７の伸び方向と、スキージ２６の移動方向とが交差する姿勢で設けることもできる。例えば、上開口縁１６の各直線部１７の伸び方向をスキージ２６の移動方向に対して４５°傾斜させて、対角位置にある２つのアール部１８がスキージ２６の移動方向に並ぶ形態を採ることができる。

【0043】

上記の実施形態におけるマスク本体１０と支持突起２４とは、同じ金属の層（二次電鋳層３９）で形成されているが、平板状のマスク本体１０に支持突起２４を接合することもできる。或いは支持突起２４は省略することもできる。支持突起２４を省略する場合のマスク本体１０の製造は、図６（ａ）～（ｄ）の工程を配して、まず母型２８上に図７（ｂ）に示すようなレジスト体３８ａに相当する（挿入孔１２に対応する）レジスト体を有するパターンレジストを形成する。こののち、前記パターンレジストの高さの範囲内で、母型２８の表面にニッケル等の電着金属を電鋳して一次電鋳層を形成する。次に、母型２８及び前記パターンレジストを一次電鋳層から剥離（除去）することにより、平板状の一次電鋳層を得る。支持突起２４を省略する場合には、得られた一次電鋳層をマスク本体１０とする。支持突起２４を設ける場合には、別途支持突起２４に相当する部材を、例えば金属或いは樹脂を素材として機械加工等により作成し、この部材を一次電鋳層からなるマスク本体１０の裏面に不離一体的に接合する。

【0044】

マスク本体１０の製造工程において、フォトレジスト層３６の露光によるレジスト体３８ａの形成方法は、上記製造方法に記載の方法以外に、光の波長が異なる光源を複数用意し、これら複数の光源でフォトレジスト層３６を露光して、所望の形状のレジスト体３８ａを形成する方法、或いは、感度の異なるネガタイプの感光性ドライフォトレジストを複数積層したフォトレジスト層３６を形成し、これを紫外線光ランプ３１で露光して、所望の形状のレジスト体３８ａを形成する方法などがある。

【0045】

また別の方法として、二次パターンレジスト３８に替えて、成形品を用いる方法がある。この場合には、まずレジスト体３８ａに対応する形状の成形品を機械加工等により作成し、これを図６（ｄ）に示す母型２８上に形成された一次電鋳層３３の所定の位置に固定する。続いて、この母型２８を所定の条件に建浴した電鋳槽に入れ、母型２８、及び成形品で覆われていない一次電鋳層３３の表面にニッケル等の電着金属を電鋳して、二次電鋳層３９を形成する。

【0046】

上記の各製造方法では、二次電鋳層３９の形成時に挿入孔１２を形成したが、挿入孔１２は二次電鋳層３９の形成後に形成することができる。この場合には、まず図６（ａ）～（ｄ）の工程を行ったのち、図６（ｄ）に示す母型２８を所定の条件に建浴した電鋳槽に入れ、母型２８及び一次電鋳層３３の表面にニッケル等の電着金属を電鋳して、二次電鋳層３９を形成する。次に、母型２８及び一次電鋳層３３を二次電鋳層３９から剥離（除去）することにより、無孔板に支持突起２４が設けられた二次電鋳層３９からなるマスク本体１０を得る。この二次電鋳層３９に機械加工、レーザー加工或いはエッチング処理を施して、所望の挿入孔１２を形成することにより、挿入孔１２を備えるマスク本体１０を得ることができる。レーザー加工或いはエッチング処理による挿入孔１２の形成は、母型２８及び一次電鋳層３３を二次電鋳層３９から剥離（除去）する前に行うこともできる。支持突起２４を省略した形態のマスク本体１０においても、レーザー加工或いはエッチング処理によって挿入孔１２を形成することができる。

【0047】

（第２実施形態） 図８に、本発明に係る半田ボールの配列用マスクの第２実施形態を示す。本実施形態においては、挿入孔１２の上開口縁１６が角丸正多角形で形成され、挿入孔１２の下開口縁１９が平面視で円形に形成されている点が、第一実施形態と相違する。より詳しくは、挿入孔１２の上開口縁１６は角丸正四角形（角丸正多角形）で形成されており、挿入孔１２の下開口縁１９は、平面視で上開口縁１６を画成する角丸正四角形に内接する円形に形成されている。下開口縁１９を画成する円形の直径は、半田ボール２の直径寸法よりも僅かに大きな寸法を有している。

【0048】

上下の開口縁１６・１９どうしを接続する挿入孔１２の内周面は、下開口縁１９を画成する円形が上開口縁１６を画成する角丸正四角形と内接する挿入孔１２の上下左右の４点において垂直であり、当該垂直部分の中間位置において下開口縁１９から上開口縁１６に向かう上り傾斜が最も緩くなる、傾斜が滑らかに変化する円弧面で形成されている。このように、挿入孔１２は内周面に屈曲部のない貫通孔として形成されている。その他の点は、先の第１実施形態と同じであるので、同一の構成、構造、および部材には同じ符号を付してその説明を省略する。以下の各実施形態においても同じとする。

【0049】

以上のように、本実施形態の配列用マスクでは、下開口縁１９を、平面視で上開口縁１６を画成する角丸正四角形に内接する円形に形成したので、下開口縁１９の全体を円弧状に形成することができ、下開口縁１９と球状の半田ボール２との接触機会を、上開口縁１６と半田ボール２との接触機会よりも大きく増やすことができる。なお、下開口縁１９は、平面視で上開口縁１６を画成する角丸正四角形（角丸正多角形）に収まる円形或いは楕円形に形成することもできる。このように、下開口縁１９を、平面視で上開口縁１６を画成する角丸正四角形（角丸正多角形）に収まる円形或いは楕円形に形成した場合においても、下開口縁１９の全体を円弧状に形成することができ、下開口縁１９と球状の半田ボール２との接触機会を、上開口縁１６と半田ボール２との接触機会よりも大きく増やすことができる。

【0050】

（第３実施形態） 図９に、本発明に係る半田ボールの配列用マスクの第３実施形態を示す。本実施形態においては、上下の開口縁１６・１９が相似状の角丸正四角形（角丸正多角形）で形成されている点が、第１実施形態と相違する。より詳しくは、図９において二点鎖線で示す、上開口縁１６の仮想正四角形（外側）と下開口縁１９の仮想正四角形（内側）とを比較したとき、上開口縁１６の仮想正四角形が相対的に大きく、下開口縁１９の仮想正四角形が相対的に小さく形成されている。つまり、上開口縁１６を画成する角丸正四角形は、下開口縁１９を画成する角丸正四角形よりも大形に形成されている。下開口縁１９の角丸正四角形の基準形状となる正四角形の一辺の辺寸法は、半田ボール２の直径寸法の１．０５～１．１５倍に設定することが望ましく、下開口縁１９を画成する角丸正四角形に対して上開口縁１６を画成する角丸正四角形が大きく形成されている。上下の開口縁１６・１９は、上開口縁１６を画成する角丸正四角形の中心と下開口縁１９を画成する角丸正四角形の中心が一致するように形成されており、上開口縁１６のアール部１８と下開口縁１９のアール部２１との円弧中心も一致するように形成されている。

【0051】

上下の開口縁１６・１９の直線部１７・２０どうしを接続する挿入孔１２の内周面は、下開口縁１９から上開口縁１６に向かって上り傾斜する平滑な傾斜面で構成されている。一方、上下の開口縁１６・１９のアール部１８・２１どうしを接続する挿入孔１２の内周面は、下開口縁１９から上開口縁１６に向かって上り傾斜する円弧面で構成されている。これら直線部１７・２０どうしを接続する傾斜面とアール部１８・２１どうしを接続する円弧面とは滑らかに繋がっており、挿入孔１２は内周面に屈曲部のない下窄まりテーパー状の貫通孔として形成されている。

【0052】

以上のように、本実施形態の配列用マスクでは、下開口縁１９を、平面視で上開口縁１６と相似状に形成し、下開口縁１９を画成する角丸正四角形よりも上開口縁１６を画成する角丸正四角形を大形に形成した。これによれば、挿入孔１２を下窄まり状の孔として形成できるので、上開口縁１６を大形化して、より確実に半田ボール２の重心位置を挿入孔１２上に位置させることができる。これに対して、下開口縁１９は、半田ボール２の直径寸法よりも僅かに大きな角丸正四角形に形成して、挿入孔１２の下側の開口面積を相対的に小さくすることができるので、下開口縁１９と半田ボール２との接触機会を増やすことができる。

【0053】

（第４実施形態） 図１０に、本発明に係る半田ボールの配列用マスクの第４実施形態を示す。本実施形態においては、挿入孔１２の上開口縁１６のアール部１８の曲率Ｃ１と、下開口縁１９のアール部２１の曲率Ｃ２との大小関係が逆である点が、第一実施形態と相違する。より詳しくは、挿入孔１２の上下の開口縁１６・１９は、ともに角丸正四角形に形成される点で一致するが、上開口縁１６のアール部１８と下開口縁１９のアール部２１とは、その曲率が異なり、下開口縁１９のアール部２１の曲率Ｃ２は、上開口縁１６のアール部１８の曲率Ｃ１よりも大きく形成される（Ｃ１＜Ｃ２）。換言すれば、下開口縁１９のアール部２１は、上開口縁１６のアール部１８よりも曲率半径の小さい四分円弧状に形成される。このように構成される挿入孔１２によれば、挿入孔１２の上側の開口面積が相対的に小さく、挿入孔１２の下側の開口面積が相対的に大きく形成される。

【0054】

上下の開口縁１６・１９の直線部１７・２０どうしを接続する挿入孔１２の内周面は垂直面で構成されている。一方、上下の開口縁１６・１９のアール部１８・２１どうしを接続する挿入孔１２の内周面は、下開口縁１９から上開口縁１６に向かってオーバーハングする円弧面で構成されている。円弧面のオーバーハングは、各アール部１８・２１の中央部分が最もきつく、各アール部１８・２１の端部に行くにしたがって垂直に近づく。これら直線部１７・２０どうしを接続する垂直面とアール部１８・２１どうしを接続する円弧面とは滑らかに繋がっており、挿入孔１２は内周面に屈曲部のない貫通孔として形成されている。

【0055】

以上のように、本実施形態の配列用マスクでは、下開口縁１９は、平面視で正四角形のコーナー部に位置するアール部２１と、当該正四角形の辺部を画成して、当該アール部２１に接続する直線部２０とで構成される、上開口縁１６と同じ角数の角丸正多角形、すなわち角丸正四角形に形成し、下開口縁１９を画成する角丸正四角形のアール部２１の曲率Ｃ２は、上開口縁１６を画成する角丸正四角形のアール部１８の曲率Ｃ１よりも大きく形成した。一般的に、平面視における電極６の直径に対して選定される半田ボール２の直径は、電極６の直径と略同一径に設定され、半田ボール２が落下するボール挿入孔１２は、その形状に内接する円の直径が、半田ボール２の直径よりも僅かに大きく設定される。また、フラックス２５は円形の電極６上の略全面に塗布される。そこで本実施形態のように、下開口縁１９を画成する角丸正四角形のアール部２１の曲率Ｃ２が、上開口縁１６を画成する角丸四角角形のアール部１８の曲率Ｃ１よりも大きく形成されていると、挿入孔１２の下側の開口面積を、挿入孔１２の上側の開口面積に対して大きく形成することができるので、下開口縁１９が電極６上に塗布されたフラックス２５に接触することをより確実に防ぐことができる。したがって、フラックス２５の付着によって半田ボール２が挿入孔１２内へ落下できなくなることを防ぐことができる。

【0056】

（第５実施形態） 図１１に、本発明に係る半田ボールの配列用マスクの第５実施形態を示す。本実施形態においては、上下の開口縁１６・１９を画成する角丸正四角形の大小関係が逆である点が、第３実施形態と相違する。より詳しくは、図１１において二点鎖線で示す、上開口縁１６の仮想正四角形と下開口縁１９の仮想正四角形とを比較したとき、上開口縁１６の仮想正四角形（内側）が相対的に小さく、下開口縁１９の仮想正四角形（外側）が相対的に大きく形成されている。つまり、下開口縁１９を画成する角丸正四角形は、上開口縁１６を画成する角丸正四角形よりも大形に形成されている。上開口縁１６の角丸正四角形の基準形状となる正四角形の一辺の辺寸法は、半田ボール２の直径寸法の１．０５～１．１５倍に設定することが望ましく、上開口縁１６を画成する角丸正四角形に対して下開口縁１９を画成する角丸正四角形が大きく形成されている。上下の開口縁１６・１９は、上開口縁１６を画成する角丸正四角形の中心と下開口縁１９を画成する角丸正四角形の中心が一致するように形成されており、上開口縁１６のアール部１８と下開口縁１９のアール部２１との円弧中心も一致するように形成されている。

【0057】

上下の開口縁１６・１９の直線部１７・２０どうしを接続する挿入孔１２の内周面は、下開口縁１９から上開口縁１６に向かってオーバーハングする平滑な傾斜面で構成されている。一方、上下の開口縁１６・１９のアール部１８・２１どうしを接続する挿入孔１２の内周面は、下開口縁１９から上開口縁１６に向かってオーバーハングする円弧面で構成されている。これら直線部１７・２０どうしを接続する傾斜面とアール部１８・２１どうしを接続する円弧面とは滑らかに繋がっており、挿入孔１２は内周面に屈曲部のない上窄まりテーパー状の貫通孔として形成されている。

【0058】

以上のように、本実施形態の配列用マスクでは、下開口縁１９を、平面視で上開口縁１６と相似状に形成し、上開口縁１６を画成する角丸正四角形に対して下開口縁１９を画成する角丸正四角形を大形に形成したので、挿入孔１２を下拡がり状の孔として形成して、下開口縁１９が電極６上に塗布されたフラックス２５に接触することをより確実に防ぐことができる。

【0059】

図１２は、第１実施形態の挿入孔１２の変形例を示している。図１２（ａ）は、挿入孔１２の上下の開口縁１６・１９を、平面視で角丸正三角形（角丸正多角形）としたものであり、図１２（ｂ）は、挿入孔１２の上下の開口縁１６・１９を、平面視で角丸正五角形（角丸正多角形）としたものであり、図１２（ｃ）は、挿入孔１２の上下の開口縁１６・１９を、平面視で角丸正六角形（角丸正多角形）としたものである。これらの変形例においても、下開口縁１９のアール部２１の曲率Ｃ２は上開口縁１６のアール部１８の曲率Ｃ１よりも小さく形成されている（Ｃ１＞Ｃ２）。このように挿入孔１２の上下の開口縁１６・１９を形成する角丸正多角形は角丸正四角形に限られない。第３、第４、及び第５実施形態においても、挿入孔１２の上下の開口縁１６・１９を形成する角丸正多角形は角丸正四角形に限られない。第２実施形態においても、挿入孔１２の上開口縁１６を形成する角丸正多角形は角丸正四角形に限られない。

【0060】

（参考例） 上記各実施形態における挿入孔１２は、正多角形を上開口縁１６の基準形状として構成したが、上開口縁１６の基準形状は長方形で構成することができる。また、凸多角形、凹多角形、星形多角形などで構成することもできる。これらの場合における挿入孔１２の上開口縁１６は、少なくとも１個の半田ボール２を落とし込める大きさに設定する。上開口縁１６の基準形状が長方形の場合、下開口縁１９は平面視で上開口縁１６を画成する長方形に内接する楕円形に形成することができる。上下の開口縁１６・１９は、線対称状或いは点対称状に構成されている形態に限られず、例えば少なくとも１つのアール部１８・２１の曲率が残るアール部１８・２１の曲率とは異なるように形成することもできる。

【0061】

本発明の配列用マスクは、蒸着用マスク、印刷用マスク、はんだボール吸着用マスクとして転用することも可能である。本発明に係る配列用マスクは、国連の提唱する持続可能な開発目標（ＳＤＧｓ : Sustainable Development Goals）の目標９（産業と技術革新の基盤をつくろう）および目標１２（つくる責任、つかう責任）に貢献することができる。

【符号の説明】

【0062】

１ 配列用マスク（マスク）
２ 半田ボール
３ ワーク
１０ マスク本体
１２ ボール挿入孔（挿入孔）
１６ 上開口縁
１７ 直線部
１８ アール部
１９ 下開口縁
２０ 直線部
２１ アール部
２６ スキージ
Ｃ１ 上開口縁を画成する角丸正多角形のアール部の曲率
Ｃ２ 下開口縁を画成する角丸正多角形のアール部の曲率

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】