特開2024-159289検査装置、検査方法及び検査プログラム

発明の名称　検査装置、検査方法及び検査プログラム

出願人　国立大学法人東北大学　（識別番号 504157024）

　　　　特許公開件数ランキング 391 位（185件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 235 位（186件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-159289

公報発行日　2024年11月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-159289

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