特開2024-159450フォトレジスト収容容器のカバー装置

発明の名称　フォトレジスト収容容器のカバー装置

出願人　セミコン　テク　グローバル　リミテッド　（識別番号 520307702）

　　　　特許公開件数ランキング 11776 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4065 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-159450

公報発行日　2024年11月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-159450

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